JP5652315B2 - 流量測定装置 - Google Patents

Description

本発明は、流路内を流れる流体の流量を測定するための流量測定装置に関し、より詳細には、流体の物性変化による出力特性の変化を低減して、高精度に流量を測定することができる流量測定装置に関する。

従来、流路内を流れるガスなどの流体（以下、測定対象流体と称する）の流量を測定するために、流路内の温度分布の変化に基づいて測定対象流体の流量を測定する熱式の流量計測装置が用いられている。

図１３は、熱式の流量計測装置における温度分布の変化を説明するための模式図であり、図１３（ａ）は、測定対象流体が流れていない状態の温度分布を示し、図１３（ｂ）は、測定対象流体が流れている状態の温度分布を示す。

図１３（ａ）に示されるように、測定対象流体が流れていない状態では、マイクロヒータ１８１によって周辺に存在する測定対象流体が加熱されて、マイクロヒータ１８１に対して上流側に配置されたサーモパイル１８２と下流側に配置されたサーモパイル１８３とに亘って均等な温度分布が生じる。

この状態で、図中の矢印の方向に測定対象流体の流れが生じると、図１３（ｂ）に示されるように、マイクロヒータ１８１周辺の温度分布が計測対象流体の流れの下流側、すなわち、サーモパイル１８３側に偏る。このため、サーモパイル１８２では測定対象流体が流れていない状態よりも低い温度が検出され、サーモパイル１８３では測定対象流体が流れていない状態よりも高い温度が検出される。

このように、熱式の流量測定装置では、サーモパイル１８２およびサーモパイル１８３によって検出された温度の差分に基づいて、流路内を流れる測定対象流体を算出することで、精度の高い流量測定を可能としている。

ところが、測定対象流体の種類や組成などが変わると、熱伝導率や比熱、粘性、密度などの物性値も変化する。このため、従来の熱式の流量測定装置では、出力特性が測定対象流体の物性値に応じて変化するという問題があった。

図１４（ａ）（ｂ）は、物性値が異なるＧａｓＡおよびＧａｓＢをそれぞれ所定の流量（Ｌ／ｍｉｎ）で流路１２１に流したときの温度分布を示す模式図であり、図１５は、図１４（ａ）（ｂ）に示されるＧａｓＡおよびＧａｓＢの流量（Ｌ／ｍｉｎ）と流量測定装置の出力値（Ｖ）との関係を示すグラフである。

図１４（ａ）（ｂ）に示されるように、同じ流量の測定対象流体を流路１２１に流した場合であっても、物性値が異なるＧａｓＡとＧａｓＢとでは、マイクロヒータ１８１周辺の温度分布が異なる。

このため、図１５に示されるように、物性値が異なるＧａｓＡとＧａｓＢとでは、同じ流量であっても流量測定装置の出力値（Ｖ）が変化しており、この変化量は流量の増加に伴って大きくなる。

このように、従来の熱式の流量測定装置では、測定対象流体の物性値が変化した場合、流量測定装置の出力特性が変化するため、高精度な流量測定が困難であった。

このような問題に対して、特許文献１および特許文献２には、測定対象流体の物性値を検出する物性値センサを備えた流量測定装置が開示されている。

図１６は、特許文献１に開示された流量測定装置が備えるマイクロフローセンサ２０７の構成を示す上面図であり、図１７は、特許文献２に開示された流量測定装置の外観を示す斜視図である。

図１６に示されるように、特許文献１のマイクロフローセンサ２０７は、流量測定用のサーモパイル２８２・２８３と物性値測定用のサーモパイル２７２・２７３とが、マイクロヒータ２８１の４辺に沿って基板２０５上に配置されている。

具体的には、測定対象流体の流れ方向Ｒに対して、マイクロヒータ２８１の上流側に流量測定用のサーモパイル２８２が配置され、下流側に流量測定用のサーモパイル２８３が配置されている。さらに、マイクロヒータ２８１の長手方向（流れ方向Ｒと直交する方向）の両端に物性値測定用のサーモパイル２７２・２７３が配置されている。

また、図１７に示されるように、特許文献２の流量測定装置３０１は、主流路３２１の内壁に流量センサ３０８が配置され、主流路３２１から分岐して設けられたセル３３６の内部に物性値センサ３０７が配置されている。

特許文献１および特許文献２によれば、物性値センサの出力値に基づいて測定対象流体の物性値を算出し、算出した物性値を用いて測定対象流体の流量を補正することで、測定対象流体の物性変化に起因する流量測定装置の出力特性の変化を低減することができる。

特許第４０５０８５７号公報（２００７年１２月７日登録） 米国特許第５２３７５２３号公報（１９９３年８月１７日登録）

ここで、流量センサおよび物性値センサは、固有の検出レンジを有しており、測定対象流体の流量がこの検出レンジから外れると、測定精度が低下したり、測定不能になる。このため、流量測定装置の測定精度を高めるためには、流量センサおよび物性値センサの検出レンジに応じた最適な流量を個別に制御する必要がある。

しかしながら、特許文献１の技術では、基板２０５上に設けられた流量検出用のサーモパイル２８２・２８３と物性検出用のサーモパイル２７２・２７３とが同一の流路内に配置された構成であるため、流量センサおよび物性値センサごとに、最適な流量を個別に制御することができない。

このため、特許文献１の技術では、物性値センサ（物性検出用のサーモパイル２７２・２７３）の出力特性が流量の影響を受けて変化するので、算出された物性値に対して、さらに流量に応じた補正を行う必要がある。すなわち、下記の計算式（１）に示されるように、流量出力値を補正するために検出した物性値（係数）を、補正前の流量出力値を用いて補正する必要がある。

したがって、特許文献１の技術では、物性値による誤差を完全に補正することができないため、測定対象流体の流量を高精度に測定することができない。

また、特許文献２の技術では、主流路３２１とセル３３６とは１つの管で連通した構成であるため、セル３３６への測定対象流体の流入・流出が停滞し、セル３３６内の測定対象流体を効率的に置換することができない。

このため、特許文献２の技術では、例えば、測定対象流体の物性が変化した場合、セル３３６に配置された物性値センサ３０７を流れる測定対象流体と、主流路３２１に配置された流量センサ３０８を流れる測定対象流体との物性が異なり、物性値センサ３０７によって適切な物性値を検出することができない。

したがって、特許文献２の技術では、物性値による正確な補正ができないため、測定対象流体の流量を高精度に測定することができない。

本発明は、上記の課題に鑑みてなされたものであって、その目的は、測定対象流体の物性変化による出力特性の変化を低減して、測定対象流体の流量を高精度に測定することができる流量測定装置を実現することにある。

本発明に係る流量測定装置は、上記の課題を解決するために、主流路を流れる測定対象流体の流量を検出するための流量検出部と、測定対象流体を加熱する加熱部および測定対象流体の温度を検出する温度検出部を有する、測定対象流体の物性値を検出するための物性値検出部と、一端が前記主流路内に開口した第１流入口に連通し、且つ、他端が前記主流路内に開口した第１流出口に連通した、前記物性値検出部が配置された物性値検出流路を有する副流路部と、前記物性値検出部から出力された検出信号に基づいて算出された測定対象流体の物性値を用いて、前記流量検出部から出力された検出信号に基づいて算出された測定対象流体の流量を補正する流量補正部と、を備え、前記加熱部および前記温度検出部は、測定対象流体の流れ方向と直交する方向に並んで配置されており、前記流量検出部は、前記物性値検出流路を除く位置に配置されていることを特徴としている。

上記の構成では、物性値検出部は物性値検出流路に配置され、流量検出部は物性値検出流路を除く位置に配置されている。このため、例えば、物性値検出流路の幅を調整して物性値検出流路を流れる測定対象流体の流量を制御することで、流量の影響によって物性値検出部の出力特性が変化することを抑止することができ、さらに、測定対象流体の流れによる乱流の発生を効果的に抑制することが可能となる。

したがって、上記の構成によれば、流量補正部は、物性値検出部から出力された検出信号に基づいて算出された精度の高い物性値を用いて、流量検出部から出力された検出信号に基づいて算出された測定対象流体の流量を正確に補正することができる。

また、上記の構成では、物性値検出部は、一端が主流路内に開口した第１流入口に連通し、且つ、他端が主流路内に開口した第１流出口に連通した、物性値検出流路に配置されている。このため、測定対象流体の流れが停滞することなく、第１流入口から第１流出口へ流れるため、物性値検出部周辺に存在する測定対象流体の置換を効率的に行うことができる。

したがって、上記の構成によれば、主流路を流れる測定対象流体の物性値が変化した場合であっても、適切な物性値に基づいて、測定対象流体の流量を補正することが可能となる。

さらに、上記の構成では、物性値検出部が有する加熱部および温度検出部は、物性値検出領域に流入する測定対象流体の流れ方向と直交する方向に並んで配置されている。測定対象流体の流れによって温度分布は下流側に偏るため、流れ方向と直交する方向の温度分布の変化は、測定対象流体の流れ方向の温度分布の変化に比べて小さい。このため、加熱部および温度検出部を測定対象流体の流れ方向と直交する方向に並んで配置することで、温度分布の変化による温度検出部の出力特性の変化を低減することができる。

したがって、上記の構成によれば、測定対象流体の流れによる温度分布の変化の影響を低減して、物性値検出部による検出精度を向上させることが可能となる。

それゆえ、本発明によれば、測定対象流体の物性変化による出力特性の変化を低減して、高精度に測定対象流体の流量を測定することができる流量測定装置を実現することができる。

また、本発明に係る流量測定装置では、前記副流路部は、前記流量検出部が配置された流量検出流路をさらに有しており、前記流量検出流路は、一端が前記第１流入口に連通し、且つ、他端が前記第１流出口に連通しており、前記第１流入口から流入した測定対象流体を、前記物性値検出流路および前記流量検出流路に分流させることが好ましい。

上記の構成では、副流路部は、流量検出部が配置された流量検出流路をさらに有し、流入口から流入した測定対象流体を、物性値検出流路および流量検出流路のそれぞれに分流させる。このように、同じ流入口から流入させた測定対象流体を物性値検出流路および流量検出流路に分流させることで、物性値検出部および流量測定部は、温度、濃度などの条件が等しい測定対象流体に基づいて物性値および流量を検出することができる。また、例えば、物性値検出流路および流量検出流路の幅を調整することで、物性値検出流路および流量検出流路を流れる測定対象流体の流量を個別に制御することが可能となる。

したがって、上記の構成によれば、流量測定装置の測定精度を向上させることができる。

また、本発明に係る流量測定装置では、前記物性値検出流路は、前記流量検出流路内に設けられており、前記流量検出流路内を流れる測定対象流体の一部を前記物性値検出流路に流入させることが好ましい。

上記の構成では、物性値検出流路は、流量検出流路内に設けられており、流量検出流路内を流れる測定対象流体の一部を前記物性値検出流路に流入させる。このため、物性値検出部および流量測定部は、温度、濃度などの条件が等しい測定対象流体に基づいて物性値および流量を検出すると共に、副流路部に占める物性値検出部および流量測定部の割合を減少させることが可能となる。

したがって、上記の構成によれば、流量測定装置の測定精度を向上させることができると共に、流量測定装置の小型化を図ることができる。

また、本発明に係る流量測定装置では、前記副流路部は、前記流量検出部が配置された流量検出流路をさらに有しており、前記流量検出流路は、一端が前記主流路内に開口した第２流入口に連通し、且つ、他端が前記主流路内に開口した第２流出口に連通していることが好ましい。

上記の構成では、副流路部は、一端が主流路内に開口した第２流入口に連通し、且つ、他端が主流路内に開口した第２流出口に連通している流量検出流路をさらに有する。すなわち、副流路部は、物性値検出流路および流量検出流路を、独立した２つの副流路として有する。このため、物性値検出流路および流量検出流路の幅を調整することで、物性値検出流路および流量検出流路を流れる測定対象流体の流量を個別に制御することが可能となる。

したがって、上記の構成によれば、物性値検出流路および流量検出流路を、主流路の任意の位置にそれぞれ設けることができると共に、流量測定装置の測定精度を向上させることができる。

また、本発明に係る流量測定装置では、前記流量検出部は、前記主流路に配置されていることが好ましい。

上記の構成では、物性値検出部が物性値検出流路に配置され、流量検出部が主流路に配置されている。このため、物性値検出流路を流れる測定対象流体の流量を個別に制御することが可能となる。

したがって、上記の構成によれば、流量測定装置の測定精度を向上させることができる。

また、本発明に係る流量測定装置では、前記加熱部は、当該加熱部の長手方向が測定対象流体の流れ方向に沿って配置されていることが好ましい。

上記の構成では、加熱部の長手方向が測定対象流体の流れ方向に沿って配置されているため、加熱部は測定対象流体の流れ方向に亘って広範囲に測定対象流体を加熱することが可能となる。このため、測定対象流体の流れによって温度分布が下流側に偏った場合であっても、温度検出部の出力特性の変化を低減することができる。

したがって、上記の構成によれば、測定対象流体の流れによる温度分布の変化の影響を低減して、物性値検出部による検出精度を向上させることができる。

また、本発明に係る流量測定装置では、前記温度検出部は、当該温度検出部の長手方向が測定対象流体の流れ方向に沿って配置されていることが好ましい。

上記の構成では、温度検出部の長手方向が測定対象流体の流れ方向に沿って配置されているため、温度検出部は測定対象流体の流れ方向に亘って広範囲に温度を検出することが可能となる。このため、測定対象流体の流れによって温度分布が下流側に偏った場合であっても、温度検出部の出力特性の変化を低減することができる。

したがって、上記の構成によれば、測定対象流体の流れによる温度分布の変化の影響を低減して、物性値検出部による検出精度を向上させることができる。

以上のように、本発明に係る流量測定装置は、主流路を流れる測定対象流体の流量を検出するための流量検出部と、測定対象流体を加熱する加熱部および測定対象流体の温度を検出する温度検出部を有する、測定対象流体の物性値を検出するための物性値検出部と、一端が前記主流路内に開口した第１流入口に連通し、且つ、他端が前記主流路内に開口した第１流出口に連通した、前記物性値検出部が配置された物性値検出流路を有する副流路部と、前記物性値検出部から出力された検出信号に基づいて算出された測定対象流体の物性値を用いて、前記流量検出部から出力された検出信号に基づいて算出された測定対象流体の流量を補正する流量補正部と、を備え、前記加熱部および前記温度検出部は、測定対象流体の流れ方向と直交する方向に並んで配置されており、前記流量検出部は、前記物性値検出流路を除く位置に配置されている。

それゆえ、本発明によれば、測定対象流体の物性変化による出力特性の変化を低減して、高精度に測定対象流体の流量を測定することができる流量測定装置を実現することができるという効果を奏する。

図１（ａ）は、実施形態１に係る流量測定装置を示す分解斜視図であり、図１（ｂ）は、図１（ａ）に示される流量測定装置を示す透視図である。 図１に示される副流路部を示す斜視図である。 図３（ａ）は、図２に示される物性値センサの概略構成を示す上面図であり、図３（ｂ）は、図２に示される流量センサの概略構成を示す上面図である。 図２に示される物性値検出用流路および流量検出用流路に分留する測定対象流体の流量を説明するための模式図である。 図４に示される物性値センサおよび流量センサの出力値と流量との関係を示すグラフである。 図１に示される流量測定装置が備える制御部の要部構成を示すブロック図である。 図６に示される制御部の処理の流れを示すフローチャートである。 図４に示される副流路部の上面に形成された、物性値検出用流路および流量検出用流路の変形例を示す上面図である。 図３（ａ）に示される物性値センサの変形例の概略構成を示す上面図である。 図１０（ａ）は、実施形態２に係る流量測定装置を示す斜視図であり、図１０（ｂ）は、図１０（ａ）に示される流量測定装置を示す断面図であり、図１０（ｃ）は、図１０（ａ）に示される副流路部を示す上面図である。 図１１（ａ）は、実施形態３に係る流量測定装置を示す斜視図であり、図１１（ｂ）は、図１１（ａ）に示される副流路部を示す上面図である。 図１２（ａ）は、実施形態４に係る流量測定装置を示す斜視図であり、図１２（ｂ）は、図１２（ａ）に示される副流路部を示す斜視図であり、図１２（ｃ）は、図１２（ａ）に示される副流路部を示す上面図である。 熱式の流量計測装置における温度分布の変化を説明するための模式図であり、図１３（ａ）は、測定対象流体が流れていない状態の温度分布を示し、図１３（ｂ）は、測定対象流体が流れている状態の温度分布を示す。 図１４（ａ）（ｂ）は、物性値が異なるＧａｓＡおよびＧａｓＢをそれぞれ所定の流量（Ｌ／ｍｉｎ）で流路に流したときの温度分布を示す模式図である。 図１４（ａ）（ｂ）に示されるＧａｓＡおよびＧａｓＢの流量（Ｌ／ｍｉｎ）と流量測定装置の出力値（Ｖ）との関係を示すグラフである。 従来の流量測定装置が備えるマイクロフローセンサの構成を示す上面図である。 従来の流量測定装置の外観を示す斜視図である。

〔実施形態１〕
本発明に係る流量測定装置の第一の実施形態について、図１〜図９に基づいて説明すれば、以下のとおりである。本実施形態では、本発明に係る流量測定装置を用いて、ガスなどの流体（以下、測定対象流体と称する）の流量を測定する場合について説明する。

（１）流量測定装置の構成
まず、図１〜４を参照して、本実施形態に係る流量測定装置の構成について説明する。

図１（ａ）は、本実施形態に係る流量測定装置１を示す分解斜視図であり、図１（ｂ）は、図１（ａ）に示される流量測定装置１を示す透視図である。

図１（ａ）（ｂ）に示されるように、流量測定装置１は、主流路２１が形成された主流路部２と、副流路３１が形成された副流路部３と、シール４と、回路基板５と、カバー６とを備えている。

主流路部２は、長手方向に貫通した主流路２１が内部に形成された管状部材である。主流路部２の内周面には、測定対象流体の流れ方向Ｏに対して、上流側に流入口（第１流入口）３４Ａが形成され、下流側に流出口（第１流出口）３５Ａが形成されている。

なお、本実施形態では、主流路部２の軸方向の長さは約５０ｍｍであり、内周面の直径（主流路２１の直径）は約２０ｍｍであり、主流路部２の外周面の直径は約２４ｍｍである。

副流路部３は、主流路部２の上に設けられており、その内部および上面には、副流路３１が形成されている。副流路３１は、流入口３４Ａに連通し、他端が流出口３５Ａに連通している。流量測定装置１では、副流路３１は、流入用流路３４と、物性値検出用流路３２と、流量検出用流路３３と、流出用流路３５とから構成されている。

流入用流路３４は、主流路２１を流れる測定対象流体を流入させて、物性値検出用流路３２および流量検出用流路３３に分流させるための流路である。流入用流路３４は、主流路２１と垂直な方向に、副流路部３を貫通して形成されており、一端が流入口３４Ａに連通し、他端は主流路部２の上面で開口して、物性値検出用流路３２および流量検出用流路３３に連通している。これにより、主流路２１を流れる測定対象流体の一部を、流入用流路３４を介して、物性値検出用流路３２および流量検出用流路３３に分流させることができる。

物性値検出用流路（物性値検出流路）３２は、副流路部３の上面に形成された、主流路２１と平行な方向に延在する略コの字型の流路である。物性値検出用流路３２は、長手方向（主流路２１と平行な方向）に延在する部分に、測定対象流体の物性値を検出するための物性値センサ７が配置された物性値検出領域３６を有している。物性値検出用流路３２の一端は、流入用流路３４を介して流入口３４Ａに連通しており、他端は、流出用流路３５を介して流出口３５Ａに連通している。

流量検出用流路（流量検出流路）３３は、副流路部３の上面に形成された、主流路２１と平行な方向に延在する略コの字型の流路である。流量検出用流路３３は、長手方向（主流路２１と平行な方向）に延在する部分に、測定対象流体の流量を検出するための流量センサ８が配置された流量検出領域３７を有している。流量検出用流路３３の一端は、流入用流路３４を介して流入口３４Ａに連通しており、他端は、流出用流路３５を介して流出口３５Ａに連通している。

なお、図面では、説明の便宜上、物性値センサ７および流量センサ８と、回路基板５とが分離された状態で図示しているが、物性値センサ７および流量センサ８は、回路基板５に実装された状態で物性値検出領域３６または流量検出領域３７に配置されている。

流出用流路３５は、物性値検出用流路３２および流量検出用流路３３を通過した測定対象流体を、主流路２１に流出させるための流路である。流出用流路３５は、主流路２１と垂直な方向に、副流路部３を貫通して形成されており、一端が流出口３５Ａに連通し、他端は主流路部２の上面で開口して、物性値検出用流路３２および流量検出用流路３３に連通している。これにより、物性値検出用流路３２および流量検出用流路３３を通過した測定対象流体を、流出用流路３５を介して、主流路２１に流出させることができる。

このように、同じ流入口３４Ａから流入させた測定対象流体を、物性値検出用流路３２および流量検出用流路３３に分流させることで、物性値センサ７および流量センサ８は、温度、濃度などの条件が等しい測定対象流体に基づいて物性値および流量を検出することができる。したがって、流量測定装置１の測定精度を向上させることができる。

なお、流量測定装置１では、副流路部３にシール４を嵌め込んだ後、回路基板５が配置され、さらにカバー６によって回路基板５を副流路部３に固定することで、副流路部３の内部の気密性を確保している。

図２は、図１（ａ）に示される副流路部３を示す斜視図である。図２に示されるように、物性値検出用流路３２は、略コの字型の一端が流入用流路３４に連通し、他端が流出用流路３５に連通している。同様に、流量検出用流路３３は、略コの字型の一端が流入用流路３４に連通し、他端が流出用流路３５に連通している。

また、物性値検出用流路３２と流量検出用流路３３との両端部も互いに連通しており、物性値検出用流路３２および流量検出用流路３３は、副流路部３の上面において矩形状の流路を構成している。

流量測定装置１では、物性値検出領域３６および流量検出領域３７は、何れも副流路部３の上面と垂直な方向から見たときの形状が正方形であり、流入用流路３４と流出用流路３５とを結ぶ直線に対して対象となる位置にそれぞれ形成されている。

なお、本実施形態では、物性値検出領域３６および流量検出領域３７の一辺の長さは、何れも約４ｍｍである。

また、本実施形態では、物性値検出領域３６および流量検出領域３７の形状を正方形としているが、本発明はこれに限定されない。物性値検出領域３６および流量検出領域３７の形状は、物性値センサ７および流量センサ８が配置可能であればよく、配置される物性値センサ７および流量センサ８の形状に応じて決定される。

したがって、例えば、物性値検出用流路３２の幅よりも、物性値センサ７のサイズが小さい場合には、物性値検出領域３６の幅を物性値検出用流路３２の幅に一致させてもよい。この場合、物性値検出用流路３２の長手方向に延在する部分は、直線形状に形成されることとなる。なお、流量検出領域３７についても同様である。

図３（ａ）は、図２に示される物性値センサ７の概略構成を示す上面図であり、図３（ｂ）は、図２に示される流量センサ８の概略構成を示す上面図である。

図３（ａ）に示されるように、物性値センサ７は、測定対象流体を加熱するマイクロヒータ（加熱部）７１と、測定対象流体の温度を検出する第１物性値サーモパイル（温度検出部）７２および第２物性値サーモパイル（温度検出部）７３とを備えている。マイクロヒータ７１と、第１物性値サーモパイル７２および第２物性値サーモパイル７３とは、物性値検出領域３６において、測定対象流体の流れ方向と直交する方向に並んで配置されている。

第１物性値サーモパイル７２および第２物性値サーモパイル７３は、マイクロヒータ７１を挿んで左右対称に配置されており、マイクロヒータ７１の両側の対称な位置の温度を検出する。

ここで、測定対象流体の流れによって温度分布は下流側に偏るため、流れ方向と直交する方向の温度分布の変化は、測定対象流体の流れ方向の温度分布の変化に比べて小さい。このため、第１物性値サーモパイル７２と、マイクロヒータ７１と、第２物性値サーモパイル７３とを、この順で測定対象流体の流れ方向と直交する方向に並んで配置することにより、温度分布の変化による第１物性値サーモパイル７２および第２物性値サーモパイル７３の出力特性の変化を低減することができる。したがって、測定対象流体の流れによる温度分布の変化の影響を低減して、物性値センサ７による検出精度を向上させることができる。

また、マイクロヒータ７１の長手方向が測定対象流体の流れ方向に沿って配置されているため、マイクロヒータ７１は測定対象流体の流れ方向に亘って広範囲に測定対象流体を加熱することが可能となる。このため、測定対象流体の流れによって温度分布が下流側に偏った場合であっても、第１物性値サーモパイル７２および第２物性値サーモパイル７３の出力特性の変化を低減することができる。したがって、測定対象流体の流れによる温度分布の変化の影響を低減して、測定対象流体の流れによる温度分布の変化の影響を低減して、物性値センサ７による検出精度を向上させることができる。

さらに、第１物性値サーモパイル７２および第２物性値サーモパイル７３の長手方向が測定対象流体の流れ方向に沿って配置されているため、第１物性値サーモパイル７２および第２物性値サーモパイル７３は測定対象流体の流れ方向に亘って広範囲に温度を検出することが可能となる。このため、測定対象流体の流れによって温度分布が下流側に偏った場合であっても、第１物性値サーモパイル７２および第２物性値サーモパイル７３の出力特性の変化を低減することができる。したがって、測定対象流体の流れによる温度分布の変化の影響を低減して、物性値センサ７による検出精度を向上させることができる。

一方、図３（ｂ）に示されるように、流量センサ８は、測定対象流体を加熱するマイクロヒータ８１と、測定対象流体の温度を検出する第１流量サーモパイル８２および第２流量サーモパイル８３とを備えている。マイクロヒータ８１と、第１流量サーモパイル８２および第２流量サーモパイル８３とは、流量検出領域３７において、測定対象流体の流れ方向に並んで配置されている。

第１流量サーモパイル８２および第２流量サーモパイル８３は、マイクロヒータ８１の上流側に第１流量サーモパイル８２が配置され、下流側に第２流量サーモパイル８３が配置されて、マイクロヒータ８１を挿んで対称な位置の温度を検出する。

流量測定装置１では、物性値センサ７および流量センサ８に、実質的に同一構造のセンサが用いられており、測定対象流体の流れ方向に対する配置角度を９０°異ならせて配置されている。これにより、同一構造のセンサを物性値センサ７または流量センサ８として機能させることが可能となるため、流量測定装置１の製造コストを低減することができる。

ここで、流量測定装置１では、物性値検出用流路３２と流量検出用流路３３とは、長手方向に延在する流路の幅がそれぞれ異なっており、物性値検出用流路３２の物性値センサ７が配置された流路の幅は、流量検出用流路３３の流量センサ８が配置された流路の幅よりも狭くなっている。これにより、流量測定装置１では、物性値検出用流路３２および流量検出用流路３３に分流される測定対象流体の流量を、それぞれ個別に制御されている。

図４は、図２に示される物性値検出用流路３２および流量検出用流路３３に分流する測定対象流体の流量を説明するための模式図である。図４に示されるように、本実施形態では、物性値検出用流路３２には流量Ｐの測定対象流体が分流され、流量検出用流路３３には流量Ｑの測定対象流体が流れるように、物性値検出用流路３２および流量検出用流路３３の幅が設定されている。

この流量Ｐおよび流量Ｑの値は、主流路２１を流れる測定対象流体の流量によって変動するものであるが、通常の使用態様において、流量Ｐは物性値センサ７の検出レンジ内の値となり、流量Ｑは流量センサ８の検出レンジ内の値となるように、物性値検出用流路３２および流量検出用流路３３の幅がそれぞれ設定されている。

なお、本実施形態では、物性値検出用流路３２の幅は約０．４ｍｍであり、流量検出用流路３３の幅は約０．８ｍｍである。

このように、流量測定装置１では、物性値検出用流路３２および流量検出用流路３３に分流する測定対象流体の流量を、それぞれの幅を調整することで個別に制御することが可能である。このため、物性値センサ７の検出レンジに応じて物性値検出領域３６を流れる測定対象流体の流量を制御し、流量センサ８の検出レンジに応じて流量検出領域３７を流れる測定対象流体の流量を制御することができる。

したがって、物性値センサ７は、固有の検出レンジに応じた最適な流量で、測定対象流体の物性値を検出することができるので、物性値センサ７の検出精度を高めることができる。

同様に、流量センサ８は、固有の検出レンジに応じた最適な流量で、測定対象流体の流量を検出することができるので、物性値センサ７の検出精度を高めることができる。

図５は、図４に示される物性値センサ７および流量センサ８の出力値と流量との関係を示すグラフである。図５では、横軸が流量（％）、縦軸が各センサの出力値（％）を規定しており、物性値センサ７および流量センサ８の検出レンジの最大流量を１００％、最大流量時のセンサ出力値を１００％として規定している。

図５に示されるように、流量センサ８の出力値は、流量検出領域３７を流れる測定対象流体の流量の増加に伴って増加するのに対して、物性値センサ７の出力値は、物性値検出領域３６を流れる測定対象流体の流量変化の影響を受けず一定である。

このように、流量測定装置１によれば、物性値センサ７は、測定対象流体の流量変化の影響を受けることなく測定対象流体の物性値を検出することができるので、物性値の検出精度を高めることができる。

（２）制御部の構成
次に、流量測定装置１が備える制御部の構成を、図６を参照して説明する。図６は、図１に示される流量測定装置１が備える制御部５１の要部構成を示すブロック図である。図６に示されるように、制御部５１は、流量算出部５２と、物性値算出部５３と、流量補正部５４とを備えている。物性値算出部５３は、第１物性値サーモパイル７２および第２物性値サーモパイル７３に接続されている。また、流量算出部５２は、第１流量サーモパイル８２および第２流量サーモパイル８３に接続されている。

流量算出部５２は、第１流量サーモパイル８２および第２流量サーモパイル８３から出力された温度検出信号に基づいて、測定対象流体の流量を算出するものである。具体的には、流量算出部５２は、第１流量サーモパイル８２から出力された温度検出信号と第２流量サーモパイル８３から出力された温度検出信号との差分を算出し、温度検出信号の差分に基づいて、測定対象流体の流量を算出する。そして、流量算出部５２は、算出した測定対象流体の流量を流量補正部５４に出力する。

物性値算出部５３は、第１物性値サーモパイル７２および第２物性値サーモパイル７３から出力された温度検出信号に基づいて、測定対象流体の物性値を算出するものである。具体的には、物性値算出部５３は、第１物性値サーモパイル７２および第２物性値サーモパイル７３から出力された温度検出信号の平均値に基づいて、熱伝導率、熱拡散、または比熱などによって決定される物性値（例えば、熱拡散定数など）を算出する。物性値算出部５３は、算出した測定対象流体の物性値を流量補正部５４に出力する。

流量補正部５４は、物性値算出部５３から出力された測定対象流体の物性値を用いて、流量算出部５２から出力された測定対象流体の流量を補正するものである。具体的には、流量補正部５４は、物性値算出部５３から測定対象流体の物性値が出力されたとき、当該物性値を用いて、流量算出部５２から出力された測定対象流体の流量を補正し、補正後の流量を算出する。

（３）流量測定装置の処理
次に、流量測定装置１が備える制御部５１の処理の流れについて、図７を参照して説明する。図７は、図６に示される制御部５１の処理の流れを示すフローチャートである。

図７に示されるように、流量算出部５２は、第１流量サーモパイル８２および第２流量サーモパイル８３から温度検出信号が出力されたとき、２つの温度検出信号に基づいて、測定対象流体の流量を算出する（Ｓ１）。

具体的には、流量算出部５２は、第１流量サーモパイル８２から出力された温度検出信号と第２流量サーモパイル８３から出力された温度検出信号との差分を算出する。さらに、流量算出部５２は、算出した温度検出信号の差分に基づいて、測定対象流体の流量を算出する。

なお、第１流量サーモパイル８２および第２流量サーモパイル８３から出力された温度検出信号に基づいて測定対象流体の流量を算出する手法は、公知のものを用いることができる。流量算出部５２は、算出した測定対象流体の流量を流量補正部５４に出力する。

また、物性値算出部５３は、第１物性値サーモパイル７２および第２物性値サーモパイル７３から温度検出信号が出力されたとき、２つの温度検出信号の平均値に基づいて、測定対象流体の物性値を算出する（Ｓ２）。

測定対象流体を伝わる熱の速度は、熱伝導率、熱拡散または比熱などによって決定される熱拡散定数などの物性値に対応しているため、マイクロヒータ７１と、第１物性値サーモパイル７２および第２物性値サーモパイル７３との温度差を検出することによって、熱拡散定数を求めることができる。例えば、マイクロヒータ７１と、第１物性値サーモパイル７２および第２物性値サーモパイル７３との温度差が大きいほど、熱拡散定数（熱伝導率）は小さくなる。

このような性質を利用して、測定対象流体の流れ方向と直交する方向に配置された第１物性値サーモパイル７２および第２物性値サーモパイル７３によって測定対象流体の温度を検出することにより、測定対象流体の物性値を算出することができる。

ここで、流量測定装置１では、物性値センサ７の検出レンジに応じて物性値検出領域３６を流れる測定対象流体の流量が制御されているため、第１物性値サーモパイル７２および第２物性値サーモパイル７３は、測定対象流体の流量の影響を受けずにマイクロヒータ７１から発せられた熱を検出することができる。

このため、第１物性値サーモパイル７２および第２物性値サーモパイル７３は、一定の出力特性を維持したまま、温度検出信号を物性値算出部５３に出力することができるので、物性値算出部５３は、高い精度をもって物性値を算出することができる。物性値算出部５３は、算出した測定対象流体の物性値を流量補正部５４に出力する。

次に、流量補正部５４は、物性値算出部５３から測定対象流体の物性値が出力されたとき、当該物性値を用いて、流量算出部５２から出力された測定対象流体の流量を補正し、補正後の流量を算出する（Ｓ３）。具体的には、流量補正部５４は、下記の計算式（２）を用いて、補正後の流量を算出する。

このように、流量測定装置１では、物性値センサ７の出力特性が測定対象流体の流量の影響を受けないため、流量補正部５４は、従来のように、物性値算出部５３から出力された測定対象流体の物性値に対して流量に応じた補正を行うことなく、流量算出部５２から出力された測定対象流体の流量を補正することができる。

したがって、流量測定装置１によれば、流量センサ８によって検出された測定対象流体の流量を、物性値センサ７によって検出された物性値に基づいて適切に補正することができるため、測定対象流体の流量を高精度に測定することができる。

（４）総括
以上のように、本実施形態に係る流量測定装置１は、主流路２１を流れる測定対象流体の流量を検出するための流量センサ８と、測定対象流体を加熱するマイクロヒータ７１および測定対象流体の温度を検出する第１物性値サーモパイル７２・第２物性値サーモパイル７３を有する、測定対象流体の物性値を検出するための物性値センサ７と、一端が主流路２１内に開口した流入口３４Ａに連通し、且つ、他端が主流路２１内に開口した流出口３５Ａに連通した、物性値センサ７が配置された物性値検出用流路３２を有する副流路部３と、物性値センサ７から出力された検出信号に基づいて算出された測定対象流体の物性値を用いて、流量センサ８から出力された検出信号に基づいて算出された測定対象流体の流量を補正する流量補正部５４と、を備え、マイクロヒータ７１および第１物性値サーモパイル７２・第２物性値サーモパイル７３は、測定対象流体の流れ方向と直交する方向に並んで配置されており、流量センサ８は、物性値検出用流路３２を除く位置に配置されている。

流量測定装置１では、物性値センサ７は物性値検出用流路３２に配置され、流量センサ８は流量検出用流路３３に配置されている。このため、例えば、物性値検出用流路３２の幅を調整して物性値検出用流路３２を流れる測定対象流体の流量を制御することで、流量の影響によって物性値センサ７の出力特性が変化することを抑止することができ、さらに、測定対象流体の流れによる乱流の発生を効果的に抑制することが可能となる。

したがって、流量測定装置１によれば、流量補正部５４は、物性値センサ７から出力された温度検出信号に基づいて算出された精度の高い物性値を用いて、流量センサ８から出力された温度検出信号に基づいて算出された測定対象流体の流量を正確に補正することができる。

また、流量測定装置１では、物性値センサ７は、一端が主流路２１内に開口した流入口３４Ａに連通し、且つ、他端が主流路２１内に開口した流出口３５Ａに連通した、物性値検出用流路３２に配置されている。このため、測定対象流体の流れが停滞することなく、流入口３４Ａから流出口３５Ａへ流れるため、物性値センサ７周辺に存在する測定対象流体の置換を効率的に行うことができる。

したがって、流量測定装置１によれば、主流路２１を流れる測定対象流体の物性値が変化した場合であっても、適切な物性値に基づいて、測定対象流体の流量を正確に補正することが可能となる。

さらに、測定対象流体の流れによって温度分布は下流側に偏るため、流れ方向と直交する方向の温度分布の変化は、測定対象流体の流れ方向の温度分布の変化に比べて小さいため、第１物性値サーモパイル７２と、マイクロヒータ７１と、第２物性値サーモパイル７３とを、測定対象流体の流れ方向と直交する方向に並んで配置することにより、温度分布の変化による第１物性値サーモパイル７２および第２物性値サーモパイル７３の出力特性の変化を低減することができる。したがって、測定対象流体の流れによる温度分布の変化の影響を低減して、物性値センサ７による検出精度を向上させることができる。

それゆえ、本実施形態によれば、測定対象流体の物性変化による出力特性の変化を低減して、高精度に測定対象流体の流量を測定することができる流量測定装置１を実現することができる。

（５）変形例
次に、本実施形態に係る流量測定装置１の変形例について、図８および図９を参照して説明する。

（５−１）変形例１
本実施形態では、図４に示されるように、物性値検出用流路３２および流量検出用流路３３が、何れも略コの字型に形成された構成について説明したが、本発明はこれに限定されない。物性値検出用流路３２および流量検出用流路３３は、物性値検出領域３６および流量検出領域３７を通過する測定対象流体の流量が制御可能な幅に設定されていれば、その形状は特に限定されない。

図８（ａ）〜（ｄ）は、図４に示される副流路部３の上面に形成された、物性値検出用流路３２および流量検出用流路３３の変形例を示す上面図である。

図８（ａ）に示されるように、例えば、物性値検出用流路３２を直線状に形成し、流量検出用流路３３を略コの字型に形成してもよい。

また、図８（ｂ）〜図８（ｄ）に示されるように、流量検出領域３７に対して測定対象流体を流入させる方向と直交する方向から物性値検出領域３６に対して測定対象流体を流入させるように、物性値検出用流路３２を形成してもよい。

この場合、物性値センサ７と流量センサ８との配置角度を一致させることができるため、流量測定装置１の製造過程において、回路基板５に物性値センサ７および流量センサ８を実装する工程を簡略化することができる。

（５−２）変形例２
本実施形態では、図３（ａ）に示されるように、物性値センサ７は、測定対象流体を加熱するマイクロヒータ７１と、測定対象流体の温度を検出する第１物性値サーモパイル７２および第２物性値サーモパイル７３とを備え、第１物性値サーモパイル７２および第２物性値サーモパイル７３が、マイクロヒータ７１を挿んで左右対称に配置された構成について説明したが、本発明はこれに限定されない。

図９は、図３（ａ）に示される物性値センサ７の変形例の概略構成を示す上面図である。図９に示されるように、第２物性値サーモパイル７３を省略して、マイクロヒータ７１と、第１物性値サーモパイル７２とで、物性値センサ７ａを構成してもよい。

このように、マイクロヒータ７１と第１物性値サーモパイル７２を、測定対象流体の流れ方向と直交する方向に並べて配置することで、物性値センサ７ａを実現してもよい。

〔実施形態２〕
本発明に係る流量測定装置の第二の実施形態について、図１０に基づいて説明すれば、以下のとおりである。なお、実施形態１と同様の部材に関しては、同じ符号を付し、その説明を省略する。

本実施形態に係る流量測定装置は、流量センサが主流路に配置される点で、実施形態１に係る流量測定装置と異なっている。

図１０（ａ）は、本実施形態に係る流量測定装置１ａを示す斜視図であり、図１０（ｂ）は、図１０（ａ）に示される流量測定装置１ａを示す断面図であり、図１０（ｃ）は、図１０（ａ）に示される副流路部３ａを示す上面図である。

図１０（ａ）〜図１０（ｃ）に示されるように、流量測定装置１ａでは、主流路部２ａの内周面の流入口３４Ａと流出口３５Ａとの間に、開口部３７Ａが形成されている。

副流路部３ａの内部には、流量センサ８が配置されたセル状の流量検出領域３７ａが形成されており、流量検出領域３７ａは開口部３７Ａに連通している。このため、流量検出領域３７ａには、開口部３７Ａを介して主流路２１ａを流れる測定対象流体が流入し、流量センサ８によってその流量が検出される。

なお、開口部３７Ａの大きさを制御調整することによって、主流路２１ａから流量検出領域３７ａに流入する測定対象流体の流量を制御することができる。

副流路３１ａは、流入用流路３４と、物性値検出用流路３２と、流出用流路３５とから構成されており、物性値検出用流路３２は、長手方向に延在する流路に、測定対象流体の物性値を検出するための物性値センサ７が配置された物性値検出領域３６を有している。

このように、流量測定装置１ａでは、物性値センサ７が副流路３１ａに配置され、流量センサ８が主流路２１ａに配置されている。このため、流量測定装置１ａでは、物性値センサ７の検出レンジに応じた流量を制御することが可能である。

それゆえ、本実施形態によれば、測定対象流体の物性変化による出力特性の変化を低減して、高精度に測定対象流体の流量を測定することができる流量測定装置１ａを実現することができる。

〔実施形態３〕
本発明に係る流量測定装置の第三の実施形態について、図１１に基づいて説明すれば、以下のとおりである。なお、実施形態１および２と同様の部材に関しては、同じ符号を付し、その説明を省略する。

本実施形態に係る流量測定装置は、独立した２つの副流路を有する点で、実施形態１および２に係る流量測定装置と異なっている。

図１１（ａ）は、本実施形態に係る流量測定装置１ｂを示す斜視図であり、図１１（ｂ）は、図１１（ａ）に示される副流路部３を示す上面図である。

図１１（ａ）および図１１（ｂ）に示されるように、流量測定装置１ｂでは、副流路部３ｂは、その内部および上面に第１副流路３１ｂおよび第２副流路３１Ｂが形成されている。

第１副流路３１ｂは、流入用流路３４ｂと、物性値検出用流路３２ｂと、流出用流路３５ｂとから構成されており、物性値検出用流路３２ｂは、長手方向に延在する流路に、測定対象流体の物性値を検出するための物性値センサ７が配置された物性値検出領域３６を有している。

第２副流路３１Ｂは、流入用流路３４Ｂと、流量検出用流路３３Ｂと、流出用流路３５Ｂとから構成されており、流量検出用流路３３Ｂは、長手方向に延在する流路に、測定対象流体の流量を検出するための流量センサ８が配置された流量検出領域３７を有している。

このように、流量測定装置１ｂでは、副流路部３ｂが独立した２つの副流路である第１副流路３１ｂおよび第２副流路３１Ｂを有しており、物性値センサ７が第１副流路３１ｂに配置され、流量センサ８が第２副流路３１Ｂに配置されている。このため、流量測定装置１ｂによれば、物性値センサ７および流量センサ８の検出レンジに応じた流量を、個別に制御することが可能である。

それゆえ、本実施形態によれば、測定対象流体の物性変化による出力特性の変化を低減して、高精度に測定対象流体の流量を測定することができる流量測定装置１ｂを実現することができる。

〔実施形態４〕
本発明に係る流量測定装置の第四の実施形態について、図１２に基づいて説明すれば、以下のとおりである。なお、実施形態１〜３と同様の部材に関しては、同じ符号を付し、その説明を省略する。

本実施形態に係る流量測定装置は、物性値検出用流路が、流量検出用流路内に形成されている点で、実施形態１〜３に係る流量測定装置と異なっている。

図１２（ａ）は、本実施形態に係る流量測定装置１ｃを示す斜視図であり、図１２（ｂ）は、図１２（ａ）に示される副流路部３ｃを示す斜視図であり、図１２（ｃ）は、図１２（ａ）に示される副流路部３ｃを示す上面図である。

図１２（ａ）〜図１２（ｃ）に示されるように、流量測定装置１ｃでは、副流路部３ｃは、その内部および上面に副流路（第１副流路）３１ｃが形成されている。

副流路３１ｃは、流入用流路３４と、物性値検出用流路３２ｃと、流量検出用流路３３ｃと、流出用流路３５とから構成されている。

副流路３１ｃでは、物性値検出用流路３２ｃが、流量検出用流路３３ｃ内の流量検出領域３７ｃに形成されており、測定対象流体の流れ方向に対して上流側に流量センサ８が配置され、下流側に物性値センサ７が配置されている。

ここで、物性値検出用流路３２ｃは、測定対象流体の流量を制御するための流量制御部材４０によって、流量検出領域３７ｃと仕切られており、物性値センサ７は流量制御部材４０の内部に配置されている。

流量制御部材４０は、物性値検出領域３６ｃを通過する測定対象流体の流量を制御するためのものであり、第１側壁部４０ａと第２側壁部４０ｂとから構成されている。第１側壁部４０ａおよび第２側壁部４０ｂは何れも略コの字型の板状部材であり、それぞれの端部を対向させた状態で、所定の間隔をおいて配置されている。

したがって、第１側壁部４０ａと第２側壁部４０ｂとの間隔を制御することによって、流量制御部材４０の内部、すなわち、物性値検出領域３６ｃを通過する測定対象流体の流量を調整することができる。

このように、流量測定装置１ｃでは、副流路部３ｃが副流路３１ｃ内に、流量制御部材４０を備え、流量制御部材４０の内部に物性値検出領域３６ｃが設けられているため、副流路３１ｃ内の任意の位置に物性値検出領域３６ｃを設けることが可能となる。また、流量制御部材４０を備えることで、物性値検出領域３６ｃを通過する測定対象流体の流量を容易に制御することができる。

このように、物性値検出用流路３２ｃが、流量検出用流路３３ｃ内に形成されて構成デっても、物性値センサ７および流量センサ８の検出レンジに応じた流量を個別に制御することが可能である。

それゆえ、本実施形態によれば、測定対象流体の物性変化による出力特性の変化を低減して、高精度に測定対象流体の流量を測定することができる流量測定装置１ｃを実現することができる。

本発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。

本発明に係る流量測定装置は、ガスメータ、燃焼機器、自動車内燃機関、または燃料電池などに好適に利用することがきる。

１ 流量測定装置
３ 副流路部
３ａ 副流路部
３ｂ 副流路部
３ｃ 副流路部
７ 物性値センサ（物性値検出部）
８ 流量センサ（流量検出部）
２１ 主流路
３１ 副流路
３１ａ 副流路
３１ｂ 第１副流路
３１Ｂ 第２副流路
３１ｃ 副流路
３２ 物性値検出用流路（物性値検出流路）
３２ｂ 物性値検出用流路（物性値検出流路）
３２ｃ 物性値検出用流路（物性値検出流路）
３３ 流量検出用流路（流量検出流路）
３３Ｂ 流量検出用流路（流量検出流路）
３３ｃ 流量検出用流路（流量検出流路）
３４ 流入用流路
３４Ａ 流入口（第１流入口）
３５ 流出用流路
３５Ａ 流出口（第１流出口）
３６ 物性値検出領域
５４ 流量補正部
７１ マイクロヒータ（加熱部）
７２ 第１物性値サーモパイル（温度検出部）
７３ 第２物性値サーモパイル（温度検出部）

Claims (6)

1. 主流路を流れる測定対象流体の流量を検出するための流量検出部と、
   測定対象流体を加熱する加熱部および測定対象流体の温度を検出する温度検出部を有する、測定対象流体の物性値を検出するための物性値検出部と、
   一端が前記主流路内に開口した第１流入口に連通し、且つ、他端が前記主流路内に開口した第１流出口に連通した、前記物性値検出部が配置された物性値検出流路を有する副流路部と、
   前記物性値検出部から出力された検出信号に基づいて算出された測定対象流体の物性値を用いて、前記流量検出部から出力された検出信号に基づいて算出された測定対象流体の流量を補正する流量補正部と、
   を備え、
   前記加熱部および前記温度検出部は、測定対象流体の流れ方向と直交する方向に並んで配置されており、
   前記流量検出部は、前記物性値検出流路を除く位置に配置されており、
   前記副流路部は、前記流量検出部が配置された流量検出流路をさらに有しており、
   前記物性値検出流路および前記流量検出流路は、前記主流路の外部に設けられていることを特徴とする流量測定装置。
2. 前記流量検出流路は、一端が前記第１流入口に連通し、且つ、他端が前記第１流出口に連通しており、
   前記第１流入口から流入した測定対象流体を、前記物性値検出流路および前記流量検出流路に分流させることを特徴とする請求項１に記載の流量測定装置。
3. 前記物性値検出流路は、前記流量検出流路内に設けられており、
   前記流量検出流路内を流れる測定対象流体の一部を前記物性値検出流路に流入させることを特徴とする請求項２に記載の流量測定装置。
4. 前記流量検出流路は、一端が前記主流路内に開口した第２流入口に連通し、且つ、他端が前記主流路内に開口した第２流出口に連通していることを特徴とする請求項１に記載の流量測定装置。
5. 前記加熱部は、当該加熱部の長手方向が測定対象流体の流れ方向に沿って配置されていることを特徴とする請求項１から４の何れか１項に記載の流量測定装置。
6. 前記温度検出部は、当該温度検出部の長手方向が測定対象流体の流れ方向に沿って配置されていることを特徴とする請求項１から５の何れか１項に記載の流量測定装置。

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