JP5641041B2 - モータ装置、モータ装置の製造方法及びロボット装置 - Google Patents
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Description
本願は、2010年3月31日に、日本に出願された特願2010−082556号及び2010年3月31日に、日本に出願された特願2010−083377号に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。
このようなモータ装置として、例えば電動モータや超音波モータなど、高トルクを発生させることが可能なモータ装置が広く知られている(例えば、特許文献1参照)。近年では、ヒューマノイドロボットの関節部分など、より精密な部分を駆動させるモータ装置が求められており、電動モータや超音波モータなどの既存のモータにおいても小型化、トルクの制御性等、細密で高精度な駆動を行うことができる構成が求められている。
以下、図面に基づき、本発明に係る実施の形態を説明する。
図1A及び1Bは、第1実施形態に係るモータ装置MTRの一例を示す概略構成図である。図1Aは正面図であり、図1Bは平面図である。
図1A及び図1Bに示すように、モータ装置MTRは、ベース部BSと、伝達部BTと、駆動部ACと、制御部CONTとを有している。当該モータ装置MTRは、図1A及び図1Bに一点鎖線で示す回転子SFを回転させる。モータ装置MTRは、ベース部BSと伝達部BTとが一部材で形成されている。また、回転子SFは、回転軸(中心軸)C(図1AのZ軸と平行な軸)を有する。
したがって、第一端部21及び第二端部22は、接続部分24及び25を支点としてθZ方向に回動する構成である。第一端部21及び第二端部22は、回転子SFの外周上の基準位置Fを挟んで配置されている。本実施形態では、例えば図1における回転子SFの+Y側端部を基準位置Fとした場合を例に挙げて説明する。
駆動素子31及び駆動素子32は、電気機械変換素子に電圧が印加されることにより、X方向に伸縮する構成である。制御部CONTは駆動部ACに接続されており、当該駆動部ACに対して制御信号を供給可能になっている。
本実施形態に係るモータ装置MTRにおいて、回転子SFを駆動させる原理を説明する。回転子SFを駆動させる際には、回転子SFに巻き掛けられた伝達部BTに有効張力を生じさせ、当該有効張力によって回転子SFにトルクを伝達する。
モータ装置MTRを製造する場合、まず、ベース部BSと伝達部BTとを一部材で形成する。例えば図7に示すように、複数の基板Sを積層させ、当該複数の基板Sをまとめて切削加工して形成する。例えば、ワイヤーなど金属の線状部材Lに電圧を印加して放電させた状態とし、このワイヤーと複数の基板Sとを相対的に移動させながら、糸鋸のように複数の基板Sを切削加工する。
次に、本発明の第2実施形態を説明する。
本実施形態では、モータ装置MTRの動作の際、伝達部BTの弾性変形を利用する点で、第1実施形態とは異なっている。したがって、モータ装置MTRの構成については、伝達部BTが弾性変形可能になっている点以外は、第1実施形態と同一の構成を用いることができる。
なお、図8〜図13においては、駆動素子31及び第一端部21については図中右側を+X方向とし、駆動素子32及び第二端部22については図中左側を+X方向として説明する。
まず、制御部CONTは、図8に示すように、伝達部BTの第一端部21が原点位置0からX1だけ+X方向(図8においては、紙面の右側)に移動するように駆動素子31を変形させる。また、制御部CONTは、伝達部BTの第二端部22が原点位置0からX2だけ−X方向(図8においては、紙面の右側)に移動するように駆動素子32を変形させる。この状態を駆動動作の初期状態とする。このとき、X1及びX2については、下記[数6]を満たす。
次に、図11に示すように、制御部CONTは、第一端部21が原点位置0まで移動すると共に第二端部22が原点位置0よりも+X方向(図11においては、紙面の左側)へ移動するように、駆動素子31と駆動素子32とを同時に変形させる。駆動素子31と駆動素子32とを同時に変形させることにより、伝達部BTが2ΔX1だけ緩む(縮む)こととなり、この結果、伝達部BTと回転子SFとの間に隙間が生じる。回転子SFは、伝達部BTによって摩擦力を受けることなく、慣性回転している状態となる。
制御部CONTは、回転子SFに設けられた検出器により、回転子SFの外周速度vを検出する。制御部CONTは、検出結果に基づき、第一端部21及び第二端部22の移動距離を決定する。回転子SFが静止している状態の上記駆動動作では、第一端部21の初期位置をX1、第二端部22の初期位置をX2とした。回転子SFが慣性回転している状態で、上記同様の目標有効張力を伝達部BTに付加するには、回転子SFの静止状態と同一の環境が必要である。すなわち、回転子SFの外周と伝達部BTとの相対速度をゼロにする必要がある。このため、第一端部21の初期位置及び第二端部22の初期位置を決定するに当たり、回転子SFの外周の所定時間当たりの移動距離を考慮する必要がある。具体的には、第一端部21の初期位置をX1+vΔt、第二端部22の初期位置をX2−vΔtとして設定する。ここで、Δtとしては、例えば制御部CONTのサンプリングタイムなどが挙げられる。
この後、制御部CONTは、第一端部21が原点位置0まで移動すると共に第二端部22が原点位置0よりも+X方向(例えば、図11においては紙面の左側)へ移動するように駆動素子31と駆動素子32とを同時に変形させ、伝達部BTと回転子SFとの間に隙間が生じている間に、第一端部21を移動させること無く第二端部22のみが原点位置0に戻るように駆動素子32を変形させる。この動作により、第一端部21及び第二端部22が共に原点位置0に戻ることになる。復帰動作は、回転子SFの回転速度によらず同一の動作として行うことができる。
本実施形態における実効トルクNeは、駆動動作と復帰動作とを1サイクル行うのに要する時間tall、有効張力の伝達開始から回転子SFが慣性状態になるまでの時間te、目標有効張力Tgoal、回転子SFの半径Rに依存する。具体的には、下記[数8]によって示される。
次に、本発明の第3実施形態を説明する。
図18は、本実施形態に係るモータ装置MTR2の一例を示す概略構成図である。図19は、図18におけるA−A´断面に沿った構成を示す図である。
図18及び図19に示すように、モータ装置MTR2は、ベース部BSと、伝達部BT2と、駆動部AC2と、制御部CONTとを有している。当該モータ装置MTR2は駆動部AC2及び伝達部BT2を用いて回転子SFを回転させる。回転子SFは、回転軸(中心軸)Cを回転軸として回転するようになっている。
換言すると、回転子SFは、貫通部110のうちベルト部123によって囲まれる空間に挿入される。ベルト部123は、例えば回転子SFの少なくとも一部に掛けられる。
ベルト部123と貫通部110の内周面110aとの間には隙間K1が形成されている。当該隙間K1には、弾性部材SPが配置されている。弾性部材SPは、例えば線状に形成されており、一端が例えばベルト部123の外周面123aに接続され、他端が例えば内周面110a(ベース部BS)に接続されている。弾性部材SPは、ベルト部123の延在方向に複数設けられている。複数の弾性部材SPは、例えば等ピッチで配置されている。本実施形態では、弾性部材SPと、ベース部BSと、ベルト部123とが一部材で形成されているが、当該一部材で形成される構成に限られない。
このため、複数の弾性部材SPは、ベルト部123が回転子SFから離れる方向に弾性力を作用させるように形成され、配置されている。
本実施形態に係るモータ装置MTR2において、回転子SFを駆動させる原理を説明する。回転子SFを駆動させる際には、回転子SFに巻き掛けられた伝達部BT2に有効張力を生じさせ、当該有効張力によって回転子SFにトルクを伝達する。
制御部CONTは、有効張力を解除させた後、伝達部BT2の第一端部121及び第二端部122が開始位置に戻るように移動させる(復帰動作)。このように制御部CONTが上記駆動動作と復帰動作とを駆動部AC2に繰り返し行わせることにより、回転子SFがθZ方向に回転し続けることになる。
モータ装置MTR2を製造する場合、まず、ベース部BS、弾性部材SP及び伝達部BT2を一部材で形成する。例えば複数の基板を積層させ、当該複数の基板をまとめて切削加工して形成する。例えば、ワイヤーなど金属の線状部材に電圧を印加して放電させた状態とし、このワイヤーと複数の基板とを相対的に移動させながら、糸鋸のように複数の基板を切削加工する。
次に、本発明の第4実施形態を説明する。
本実施形態では、モータ装置MTR2の動作の際、伝達部BT2の弾性変形を利用する点で、第3実施形態とは異なっている。したがって、モータ装置MTR2の構成については、伝達部BT2が弾性変形可能になっている点以外は、第3実施形態と同一の構成を用いることができる。
なお、図25〜図30においては、駆動素子131及び第一端部121については図中右側を+X方向とし、駆動素子132及び第二端部122については図中左側を+X方向として説明する。
まず、制御部CONTは、図25に示すように、伝達部BT2の第一端部121が原点位置0からX1だけ+X方向(図25においては、紙面の右側)に移動するように駆動素子131を変形させる。また、制御部CONTは、伝達部BT2の第二端部122が原点位置0からX2だけ−X方向(図25においては、紙面の右側)に移動するように駆動素子132を変形させる。この状態を駆動動作の初期状態とする。このとき、X1及びX2については、上記[数6]を満たす。
次に、図28に示すように、制御部CONTは、第一端部121が原点位置0まで移動すると共に第二端部122が原点位置0よりも+X方向(図28においては、紙面の左側)へ移動するように、駆動素子131と駆動素子132とを同時に変形させる。駆動素子131と駆動素子132とを同時に変形させることにより、伝達部BT2が2ΔX1だけ緩む(縮む)こととなり、この結果、伝達部BT2と回転子SFとの間に隙間が生じる。この場合も、上記第3実施形態と同様、弾性部材SPの弾性力により、伝達部BT2と回転子SFとの間に隙間が確保されることになる。回転子SFは、伝達部BT2によって摩擦力を受けることなく、慣性回転している状態となる。
制御部CONTは、回転子SFに設けられた検出器により、回転子SFの外周速度vを検出する。制御部CONTは、検出結果に基づき、第一端部121及び第二端部122の移動距離を決定する。回転子SFが静止している状態の上記駆動動作では、第一端部121の初期位置をX1、第二端部122の初期位置をX2とした。回転子SFが慣性回転している状態で、上記同様の目標有効張力を伝達部BT2に付加するには、回転子SFの静止状態と同一の環境が必要である。すなわち、回転子SFの外周と伝達部BT2との相対速度をゼロにする必要がある。このため、第一端部121の初期位置及び第二端部122の初期位置を決定するに当たり、回転子SFの外周の所定時間当たりの移動距離を考慮する必要がある。具体的には、第一端部121の初期位置をX1+vΔt、第二端部122の初期位置をX2−vΔtとして設定する。ここで、Δtとしては、例えば制御部CONTのサンプリングタイムなどが挙げられる。
この後、制御部CONTは、第一端部121が原点位置0まで移動すると共に第二端部122が原点位置0よりも+X方向(例えば、図28においては紙面の左側)へ移動するように駆動素子131と駆動素子132とを同時に変形させ、伝達部BT2と回転子SFとの間に隙間が生じている間に、第一端部121を移動させること無く第二端部122のみが原点位置0に戻るように駆動素子132を変形させる。この動作により、第一端部121及び第二端部122が共に原点位置0に戻ることになる。復帰動作は、回転子SFの回転速度によらず同一の動作として行うことができる。
本実施形態における実効トルクNeは、駆動動作と復帰動作とを1サイクル行うのに要する時間tall、有効張力の伝達開始から回転子SFが慣性状態になるまでの時間te、目標有効張力Tgoal、回転子SFの半径Rに依存する。具体的には、上記[数8]によって示される。
次に、本発明の第5実施形態を説明する。
図31は、本実施形態に係るモータ装置MTR2の構成を示す図である。本実施形態に係るモータ装置MTR2は、伝達部BT2とベース部BSとの間に弾性体Gが設けられている点で上記各実施形態とは異なっており、他の構成は上記各実施形態の構成と同一である。
例えば隙間K1において弾性部材SPが設けられておらず、弾性体Gのみが配置される構成であっても構わない。
次に、本発明の第6実施形態を説明する。
図14は、上記実施形態のいずれかに記載のモータ装置MTR又はMTR2を備えるロボット装置RBTの一部(指部分の先端)の構成を示す図である。
歯車104bの回転は、当該歯車104bと噛み合った歯車101bに伝達され、歯車101bが回転する。当該歯車101bが回転することで接続部101aも回転し、これにより末節部101が軸部103bを中心に回転する。
例えば、上記各実施形態では、モータ装置MTRを1相のみ設けた場合を例に挙げて説明したが、これに限られることは無く、複数相のモータ装置MTRを用いた構成であっても構わない。例えば図15に示す構成では、モータ装置MTRが回転子SFの回転軸方向に沿って3つ設けられており、三相構造となっている。したがって、当該三相の伝達部BT及び駆動部ACを1相毎に順に駆動させるようにすることができる。このように、三相で交互に駆動を行った場合、張力の振動幅が小さく抑えられることになり、安定した駆動を行うことが可能であることがわかる。例えば、本実施形態におけるモータ装置MTRは、上記実施形態におけるベース部BSを2つ(ベース部BS、第2ベース部)備える構成としてもよいし、上記実施形態におけるベース部BSを3つ(ベース部BS、第2ベース部、第3ベース部)備える構成としてもよい。
また、切り込み部11が設けられてない構成としても勿論構わない。
Claims (37)
- ベース部と、
前記ベース部と一部材で形成され、回転子の外周の少なくとも一部に掛けられる伝達部と、
前記ベース部に支持され、前記回転子と前記伝達部との間を回転力伝達状態として前記伝達部を一定距離移動させると共に前記回転力伝達状態を解消した状態で前記伝達部を所定の位置に復帰させる駆動部と
を備えるモータ装置。 - 前記ベース部は、前記回転子を囲う貫通部を有し、
前記伝達部は、前記貫通部に設けられている
請求項1に記載のモータ装置。 - 前記ベース部は、前記回転子と離間された所定位置に固定される接続部分を有する
請求項1又は請求項2に記載のモータ装置。 - 前記伝達部は、弾性変形可能に形成されている
請求項1から請求項3のうちいずれか一項に記載のモータ装置。 - 前記伝達部は、帯状に形成されている
請求項1から請求項4のうちいずれか一項に記載のモータ装置。 - 前記伝達部は、切り込み部を有する
請求項1から請求項5のうちいずれか一項に記載のモータ装置。 - 前記切り込み部は、前記伝達部の全体に亘って実質的に等間隔で複数設けられている
請求項6に記載のモータ装置。 - 前記伝達部は、前記ベース部に接続された一端部及び他端部を有し、
前記駆動部は、前記一端部及び前記他端部のそれぞれに接続された一対の電気機械変換素子を有する
請求項1から請求項7のうちいずれか一項に記載のモータ装置。 - 前記一端部及び前記他端部は、前記回転子の外周上の基準位置を挟む位置に配置され、
前記一対の電気機械変換素子は、前記一端部及び前記他端部を挟む位置に設けられている
請求項8に記載のモータ装置。 - 前記一対の電気機械変換素子は、前記基準位置における前記回転子の接線方向よりも前記回転子の中心側に向けて変形するように配置されている
請求項9に記載のモータ装置。 - 前記伝達部及び前記ベース部は、一の板状部材に形成されている
請求項1から請求項10のうちいずれか一項に記載のモータ装置。 - 前記回転子は、中空に構成されている
請求項1から請求項11のうちいずれか一項に記載のモータ装置。 - 第2ベース部と、
前記第2ベース部と一部材で形成され、前記回転子の外周の少なくとも一部に掛けられる第2伝達部と、
前記第2ベース部に支持され、前記回転子と前記第2伝達部との間を回転力伝達状態として前記第2伝達部を一定距離移動させると共に前記回転力伝達状態を解消した状態で前記第2伝達部を所定の位置に復帰させる第2駆動部と、を備える
請求項1から請求項12のうちいずれか一項に記載のモータ装置。 - ベース部と、回転子の外周の少なくとも一部に掛けられる伝達部とを一部材で形成し、
前記回転子と前記伝達部との間を回転力伝達状態として前記伝達部を一定距離移動させると共に前記回転力伝達状態を解消した状態で前記伝達部を所定の位置に復帰させる駆動部を前記ベース部に取り付ける
モータ装置の製造方法。 - 前記ベース部及び前記伝達部は、前記一部材を切削加工して形成する
請求項14に記載のモータ装置の製造方法。 - 前記ベース部及び前記伝達部は、鋳造によって形成する
請求項14に記載のモータ装置の製造方法。 - 前記ベース部及び前記伝達部は、押し出し成形によって形成する
請求項14に記載のモータ装置の製造方法。 - 前記ベース部及び前記伝達部は、パターニングによって形成する
請求項14に記載のモータ装置の製造方法。 - 回転子の外周の少なくとも一部に掛けられる伝達部と、
前記回転子と前記伝達部との間を回転力伝達状態として前記伝達部を一定距離移動させると共に前記回転力伝達状態を解消した状態で前記伝達部を所定の位置に復帰させる駆動部と、
前記伝達部に対して前記回転子から離れる方向に弾性力を作用させる弾性部と
を備えるモータ装置。 - 前記弾性部は、前記伝達部の外周面又は内周面に設けられている
請求項19に記載のモータ装置。 - 前記伝達部は、線状、帯状及び鎖状のうちいずれかの形状に形成され、
前記弾性部は、前記伝達部の長手方向に沿って複数設けられた弾性部材を有する
請求項19又は請求項20に記載のモータ装置。 - 前記弾性部は、前記伝達部の振動を低減可能に配置されている
請求項19から請求項21のうちいずれか一項に記載のモータ装置。 - 前記伝達部の外周を囲うベース部を備え、
前記弾性部は、前記伝達部と前記ベース部との間に配置されている
請求項19から請求項22のうちいずれか一項に記載のモータ装置。 - 前記弾性部は、一端が前記伝達部に接続され、他端が前記ベース部に接続されている
請求項23に記載のモータ装置。 - 前記伝達部と前記ベース部と前記弾性部とは、一部材で形成されている
請求項23又は請求項24に記載のモータ装置。 - 前記弾性部は、前記伝達部と前記ベース部との間を埋めるように配置された弾性体を有する
請求項23から請求項25のうちいずれか一項に記載のモータ装置。 - 前記弾性体は、ゲル状に形成されている
請求項26に記載のモータ装置。 - 前記弾性体は、前記伝達部と前記ベース部との間で熱を伝達可能に配置されている
請求項26又は請求項27に記載のモータ装置。 - 前記伝達部は、弾性変形可能に形成されている
請求項19から請求項28のうちいずれか一項に記載のモータ装置。 - 前記伝達部は、一端部及び他端部を有し、
前記駆動部は、前記一端部及び前記他端部のそれぞれに接続された一対の電気機械変換素子を有する
請求項19から請求項29のうちいずれか一項に記載のモータ装置。 - 前記一端部及び前記他端部は、前記回転子の外周上の基準位置を挟む位置に配置され、
前記一対の電気機械変換素子は、前記一端部及び前記他端部を挟む位置に設けられている
請求項30に記載のモータ装置。 - 前記回転子は、中空に構成されている
請求項19から請求項31のうちいずれか一項に記載のモータ装置。 - ベース部と、
前記ベース部と一部材で形成され、回転子の少なくとも一部に掛けられる伝達部と、
前記回転子と前記伝達部との間を回転力伝達状態として前記伝達部を一定距離移動させると共に前記回転力伝達状態を解消した状態で前記伝達部を所定の位置に復帰させる駆動部と、
前記ベース部と一部材で形成され、前記伝達部を支持する部分と、
を備えるモータ装置。 - 回転軸部材と、
前記回転軸部材を回転させるモータ装置と
を備え、
前記モータ装置として、請求項1から請求項13、請求項19から請求項33のうちいずれか一項に記載のモータ装置が用いられている
ロボット装置。 - ベース部と回転子の少なくとも一部に掛けられる伝達部とを一部材の基板に形成することと、
前記伝達部を移動させる駆動部が配置される部分を前記ベース部に形成することと、
を有するモータ装置の製造方法。 - 前記基板を複数積層させて、複数の前記ベース部と複数の前記伝達部とを形成することを含む、
請求項35に記載のモータ装置の製造方法。 - 前記一部材の基板に弾性部を形成することを含む、
請求項35又は請求項36に記載のモータ装置の製造方法。
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Family Cites Families (6)
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| JPH02290170A (ja) * | 1989-02-28 | 1990-11-30 | Toyo Electric Mfg Co Ltd | 超音波モータ |
| JPH02261073A (ja) * | 1989-03-29 | 1990-10-23 | Sony Corp | 超音波モータ |
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