JP5324222B2 - ナノ構造およびそれを実施する光起電力セル - Google Patents

Description

発明の分野
本発明は、一般に、ナノスケール構造およびこれらの構造を作製するための処理に関する。

背景
太陽エネルギーを利用し、それを電気的エネルギーに変換する太陽電池パネルは、よく知られている。代表的には、ソーラーパネルは、基本的な４つの部分：光起電力（ＰＶ）セル、負荷コントローラ、バッテリおよびインバータを備える。この４つの部分のうち、ＰＶセルは、太陽光の存在下で電気を発生することができるｐ−ｎ接合ダイオードであり、周期表における１３族（ＩＩＩ族）または１５族（Ｖ族）のいずれかの元素でドーピングされた結晶シリコン（例えば、多結晶シリコン）から作製されることが多い。これらのドーパント原子をそのシリコンに加えると、そのドーパント原子が、結晶格子中のケイ素原子に取って代わり、本来そこに存在したケイ素原子とほぼ同じ様式で隣接ケイ素原子と結合する。しかしながら、これらのドーパントは、ケイ素原子と同じ数の価電子を有しないので、余分な電子または「正孔」が結晶格子中に存在するようになる。その電子は、ケイ素のバンドギャップエネルギーと少なくとも同じエネルギーを運搬する光子を吸収すると自由になる。その電子および正孔が固体のケイ素材料内を自由に動き回ることにより、ケイ素は伝導性になる。吸収事象がｐ−ｎ接合に近くになるにつれて、電子−正孔対の移動度が大きくなる。

ケイ素のバンドギャップエネルギーよりも低いエネルギーを有する光子が結晶構造に衝突するとき、電子および正孔は、移動性にならない。電子および正孔によって吸収されるようになる光子のエネルギーの代わりに、光子によって運搬されるエネルギーの量とバンドギャップエネルギーとの差が熱に変換される。

太陽エネルギーを電力に変換するという概念は、非常に魅力的であるが、その効率が一般に１５％の範囲しかないので、従来の太陽電池パネルは、使用が限られている。この低効率は、一部には、現在のＰＶセルの平面配置ならびに電極とＰ−Ｎ接合との距離が比較的遠いことに起因する。低効率であることは、一定量の電気を得るためには一層大きく重いアレイが必要であることを意味するが、それは、太陽電池パネルのコストを上げ、また、大型建造物への使用を制限してしまう。

太陽電池に最もよく使用される材料は、ケイ素である。結晶シリコンには、３つのカテゴリ：単結晶シリコン、多結晶シリコンおよびリボンシリコンがある。単結晶または単一結晶のウエハで作製された太陽電池は、それら３つのうち最も高い効率である約２０％を有する。残念なことに、単結晶セルは、高価であり、また、円形であるためにモジュールを完全に張り巡らせることができない。多結晶シリコンは、鋳塊（ｃａｓｔ ｉｎｇｏｔ）から作製される。鋳塊は、大型のるつぼを溶融ケイ素で満たし、そして慎重に冷却し、固めることによって作製される。多結晶シリコンは、単結晶よりも高価ではないが、その効率は、処理条件によっては約１０〜１４％しかない。リボンシリコンは、ＰＶグレードシリコンの最新の主要カテゴリである。リボンシリコンは、溶融ケイ素から平らで薄いフィルムを引き上げることによって形成され、多結晶構造を有する。１１〜１３％というシリコンリボンの効率範囲もまた、単結晶シリコンより低い。これらの技術のほとんどは、約３００μｍ厚のウエハに基づいている。ＰＶセルは、作製されたあと、互いにろう着してモジュールが形成される。

開発中の別の技術は、多接合太陽電池であり、これは、実際の使用において１８．５％未満の効率をもたらすと考えられている。多接合セルを作製する処理および材料は、桁外れに高価である。これらのセルは、複数のガリウム／インジウム／ヒ化物層を必要とする。現在のところ最もよいものは、６重接合セルになると見られている。

ＰＶセルおよび他の技術を実現する有望なものは、ナノテクノロジーである。しかしながら、ナノテクノロジーを実践する１つの問題は、微小導体が、後に続く処理条件に耐えられない可能性があるということである。例えば、その微小導体を形成する金属は、化学蒸着（ＣＶＤ）などの高温処理の間に融解し得る。

従って、暗に示されているように、ＰＶセルおよび他の電気的構造を作製するために利用可能な技術は、高コストの作製ならびに処理の限界によってある程度限られてしまう。

ゆえに、高いアスペクト比を有するが、ＣＶＤなどの処理に耐えることができるナノ構造を作製することができるようになることが望ましい。

また、平均効率よりも高く、いくつかの実施形態において約２０％超の効率を有する太陽電池の作製することが可能になることが望まれる。

要旨
本発明の１つの実施形態に係る光起電力ナノ構造は、第１の電極に接続された導電性ナノケーブル、そのナノケーブルの少なくとも２面に沿って伸びている第２の電極およびそのナノケーブルと第２の電極との間に形成される光起電力的に活性なｐ−ｎ接合を含む。

上記ナノケーブルは、ｐ−ケイ素およびｎ−ケイ素を含むケイ素から構築されていてもよい。

１つの態様において、ナノケーブルは、細長く、第１の電極に接続されている１つの軸端を有する。別の態様において、ナノケーブルは、第１の電極と一体的に形成される。

１つの実施形態は、ナノケーブルを用いてｐ−ｎ接合を形成するためにナノケーブルと第２の電極との間に位置する層を含む。そのような実施形態において、ナノケーブルは、ケイ素から構築されていてもよく、上記層もまた、ケイ素から構築されていてもよい。

電気的絶縁層が、第１の電極を覆ってもよい。
第３の電極が、第１の電極に対して平行な面に沿って存在してもよく、導電性ビアによって第１の電極に接続されていてもよい。

さらなる実施形態において、１対の層が、ｐ−ｎ接合を形成するために、ナノケーブルと第２の電極との間に位置してもよい。導電層を、ナノケーブル上に直接形成してもよい。

１つの実施形態に係る光起電力アレイは、上記のような複数の光起電力ナノ構造を含む。ナノケーブルの軸は、互いに平行であってもよいし、互いに平行でなくてもよい。さらに、光起電力ナノ構造の軸は、アレイに対して垂直の方向に傾いていてもよい。好ましくは、ナノ構造は、互いに電気的に分離されている。導電片が、第２の電極に接続されてい
てもよく、アレイの少なくとも一部を渡って伸びていてもよい。

本発明の１つの実施形態に係るナノ構造を形成するための方法は、導電層の上に位置する絶縁層に孔を形成する工程およびナノケーブルが、その絶縁層を通って伸び、そこから突出するように、導電層と接触しているナノケーブルを形成する工程を含む。

さらに、ナノケーブルは、ケイ素から構築されていてもよい。また、ナノケーブルは、細長くてもよい。

第２の電極を、ナノケーブルの上に形成してもよい。
ナノケーブルを用いて光起電力のｐ−ｎ接合を形成するために、ナノケーブルと第２の電極との間に位置する層を形成してもよい。ナノケーブルは、ケイ素から構築されていてもよく、上記層は、ケイ素から構築されていてもよい。その層は、少なくとも部分的に化学蒸着によって形成され得る。

光起電力のｐ−ｎ接合を形成するために、ナノケーブルと第２の電極との間に位置する１対の層を形成してもよい。さらに、その層を、少なくとも部分的に化学蒸着によって形成することができる。第２の導電層を、ナノケーブル上に直接形成してもよい。

上記導電層が、それに対して平行な面に沿って存在する第３の電極と導電性ビアによって接続されていてもよい。

本発明の実施形態に係るシリコンコアを用いてナノ構造を形成するための方法は、ナノケーブルが自由端を有するように、ケイ素基体上にシリコンナノケーブルを形成する工程、ナノケーブルの側面および自由端の上に少なくとも１層を形成する工程ならびにナノケーブルの上に電極を形成する工程を含む。

好ましくは、電極は、少なくとも１層を完全に覆う。
ナノケーブルを用いて光起電力のｐ−ｎ接合を形成するために、ナノケーブルと電極との間に位置する層を形成してもよい。

ナノケーブルと電極との間に位置する１対の層を形成してもよく、その１対の層は、光起電力のｐ−ｎ接合を形成する。さらに、導電層をナノケーブル上に直接形成してもよい。

なおも別の実施形態に係るシリコンコアを用いてナノ構造のアレイを形成するための方法は、導電性シリコンナノケーブルのアレイを形成する工程、シリコンナノケーブルの各々の上にシード層を堆積する工程およびシード層の各々の上に少なくとも１層を電気めっきする工程を含む。好ましくは、電気めっきされた層は、互いに電気的に分離されている。

本発明に従って作製されたナノケーブルアレイは、従来の薄膜太陽電池と比較して、改善された効率および信頼性を示す太陽電池として使用され得る。本発明の実施形態に従って作製されたナノ構造はまた、コアとして軟質の金属（例えば、金または銅）を用いて作製したナノケーブルよりも頑強である。さらに、本発明のいくつかの実施形態に従って作製されたナノケーブルは、ナノケーブルとその支持体との間の接触物が、同じ材料（例えば、ケイ素）から作製されているので、改善された導電率を有する。

実施形態の詳細な説明
以下の説明は、本発明を実施するために現在企図されている最良の形態である。この説明は、本発明の一般原理を明示する目的でなされるものであり、本明細書中で特許請求される本発明の概念を限定すると意味しない。さらに、本明細書中で記載する特定の特徴は、可能な様々な組み合わせおよび並べ替えの各々ならびにそれらのいずれかにおいて、記載する他の特徴と組み合わせて使用することができる。

本発明の実施形態は、太陽電池という状況で本明細書中において記載される。しかしながら、本明細書中で提供される太陽電池の実施形態が、例示的な用途に過ぎず、本発明のナノケーブル配列が、本明細書中に開示される用途または実施形態に限定されないことが理解されるべきである。

薄膜法（ｔｈｉｎ ｆｉｌｍ ａｐｐｒｏａｃｈ）は、典型的にはモジュールに基づくものである。モジュール基体全体は、所望の層で被覆され、レーザースクライバによって個別のセルに区分けされる。本開示は、薄膜太陽電池のナノアレイを開示する。現在の薄膜技術とは異なってナノシステムが処理されることに注意することが重要である。４つの主要な薄膜法は、アモルファスシリコン、セレン化銅インジウム（通常、ＣＩＳと呼ばれるＣｕＩｎＳｅ_２）および通常ＣＩＧＳと呼ばれるセレン化銅インジウムガリウム（ＣｕＩｎ_ｘＧａ_１−ｘＳｅ_ｘ）およびＣｄＴｅ／ＣｄＳである。

図１は、効率が向上した太陽電池を実施するために使用され得る例示的なソーラーブラシ１０の斜視図である。示されるように、ソーラーブラシ１０は、基体１２、第１の導電層１４、絶縁層１６、第２の導電層１８および複数の剛毛２０を有する。剛毛２０は、特定の実施形態において円柱状の形態であるように示されているが、剛毛２０は、他の任意の形態をとってもよく、それらとしては、円錐形、長方形、半球状または分枝した剛毛などの複雑な形状などが挙げられるがこれらに限定されない。剛毛２０の各々は、その中心を通って伸びているナノケーブルおよびそのナノケーブルを取り巻く半導体の層を有する。剛毛は、滑らかに、または粗く改変され得る。粗い剛毛は、表面積をさらに増大させるか、または内部反射を改善することによって、光吸収効率を向上し得る。非対称な孔膜を用いることによって様々な形状を得ることができる。１つ以上の導電片３２は、アレイまたはその一部を渡って伸びることにより、アレイから電気を運び去ることを助け、それによってこのブラシの効率全体を改善する。効率の上昇は、より大きいアレイにおいてより顕著である。そのような片３２は、光を最小限に遮断するように非常に薄いものが好ましい。

図面において、剛毛２０の軸は、アレイの面に対して垂直（直角）を向いているが、剛毛の軸は、わずかに（垂直から数度）または著しく（例えば、４０〜８９°）傾いていてもよいことに注意されたい。なぜ傾いた配置が望ましい場合があるかという理由は、光がアレイに対して直角の方向で透過するときに、光が妨害されずにアレイに侵入することを減少するためである。

図２は、金属ナノケーブルを有するソーラーブラシ１０の側断面図である。示されるように、剛毛２０の各々は、その中心を通って伸びているナノケーブル２２を有する。ナノケーブル２２は、典型的にはｐ層導体であり、絶縁層１６を通って伸びて第１の導電層１４と電気的に連結している。十分な厚さのｐ型半導電層２４が、ナノケーブル２２を取り囲み、十分な厚さのｎ型半導電層２６が、ｐ型半導電層２４を被覆しており、それによって剛毛２０の各々において光起電力的に活性なｐ−ｎ接合がもたらされる。ｎ層導体を、剛毛２０の頂部および絶縁層１６の上に堆積することにより、第２の導電層１８を形成する。

光子吸収事象がｐ−ｎ接合に近くになるにつれて、その事象によって使用可能な電気が生じる可能性が高くなる。ナノブラシの場合において、光子が、線形経路に沿って伸びて、セルの反対側で材料と接触し得ることによって、各ナノ剛毛において２倍の通過（ｄｏｕｂｌｅ ｐａｓｓ）が達成されるので、反射性のバック接点層（ｒｅｆｌｅｃｔｉｖｅ
ｂａｃｋ ｃｏｎｔａｃｔｉｎｇ ｌａｙｅｒ）は、必要ない。図２に５つの円柱形の外観のソーラーブラシＰＶセルを示す。このように、光子がこの外観の中心からわずかにはずれて通過する場合、このブラシ構造では１０個のｐ型層（太陽光に関する事象が起きる層）の等価物と同程度に多く接触するようになる可能性を有する。ｐ層導体が、十分に小さい場合、ほとんどの光子が、より厚い５層の等価物を通過し得る。実際の場合において、１ｃｍ^２あたり何百万本の剛毛を備えるソーラーブラシは、利用可能なすべての光子エネルギーの１００％の効率に効果的に近づき得る。

基体１２は、導電性材料であっても、非導電性材料（導電性材料で被覆されている）であってもよく、堅くても、可撓性であってもよい。例えば、基体１２は、ガラス、ドーピングされたケイ素、金属、ポリマー、セラミックス、ダイアモンドまたは種々の複合性の材料であり得る。薄い金属箔またはある特定のポリマーは、可撓性が所望される場合に使用することができる。ナノケーブルの構造的完全性は、材料の選択によって変化する。脆いかまたは容易に変形可能な剛毛の場合において、可撓性の基体材料は、剛体または半剛体の表面に接着される場合に使用され得る。空気力学的表面（例えば、飛行機の部品、自動車の屋根）に対してＰＶセルが所望されるとき、成形面／可撓膜が、特に役立ち得る。他の実施形態において、ナノケーブルを強化することにより、さらなる構造的完全性がもたらされ、伸縮可能なアレイ、変形可能なアレイおよび弾性的に変形可能なアレイなどが可能になる。

剛毛２０の各々は、別々のナノスケール光起電力セルである。表面のみが光に曝露される従来の平らな光起電力セルの構造と比較して、ソーラーブラシ１０は、可視１平方メートルあたりの「ｘｙｚ」表面積を有する。従って、所与の体積について、ソーラーブラシ１０は、従来の平らなＰＶセルの「ｘｙ」表面積よりも数百倍または数千倍大きい有用な表面積を有する。ソーラー剛毛２０間の面積は、十分広いので、ブラシが大部分の光子に対して吸収性になる。さらに、剛毛は、十分薄いので部分的に透明であり得る。この有効な透明度によって、日の出から日没までに生じる有効なエネルギー発生が増大し得るのに対し、平らなＰＶセルは、太陽がＰＶ表面上に対して垂直であるとき最適に働く。ソーラーブラシからの効率的なエネルギー発生が、従来のＰＶセル技術よりも数倍高いと予想されるので、発生する１キロワットあたりの重量は、何倍も低くなる。これにより、小規模な用途での使用（例えば、電子デバイス（携帯電話、コンピュータ、ＰＤＡなど）の充電）、中規模の用途での使用（例えば、工業的および農業的な発電用の屋根上の軽量のエネルギー）および大規模な用途での使用（例えば、輸送（自動車、飛行機、船）用の軽量のエネルギー供給源）が可能となり得る。セルの効率はまた、光の少ない条件下での発電を改善し得る。幅広いスペクトル吸着によって、夜間にも赤外光から発電し得る。

可撓性のナノポア基体を、金属堆積用の基体１２として使用することができる。基体１２は、薄い導電性シート上に塗布されるかまたは構築される膜であり得、任意の所望の形状に作製され得る。膜孔への金属堆積が生じた後、ナノケーブル２２が形成される。他のＰＶテープおよびフィルムが、ＸＹ可撓性および強度を有するが、それらは、限定されており、また、他の技術では、硬いかまたは可撓性の長持ちする太陽電池のＸＹＺ構造は可能にならない。ソーラーブラシの多様な形状により、固定された位置からの太陽曝露、最適な美的魅力および輸送用途に対する最小空力抵抗についてＰＶセルを最適化することが可能になる。反射基体と組み合わされた特定の形状により、組み合わされたＰＶフィルムおよび太陽集光器を効率的にもたらすことができる。

ソーラーブラシ１０に使用され得る材料の組み合わせが多く存在する。１つの構成は、Ｓｉ薄膜の使用である。他の構成としては、ＣｄＴｅ／ＣｄＳ（ＣｄＴｅ／ＣｄＳ／ＳｎＯ_２／ＩＴＯ／ガラス）、ＧａＡｓ／ＧａＩｎＰ、ＣｕＩｎＧａＳｅ_２、Ｃｕ（Ｉｎ_ｘＧａ_１−ｘ）（Ｓ，Ｓｅ）_２、ＣｕＩｎ_１−ｘＧａ_ｘＳｅ_１−ｙＳ_ｙ、ＣＧＳｅ／ＣｄＳ、ＣｕＩｎ_ｘＧａ_１−ｘＴｅ_２／ｎ−ＩｎＳｅ、ＣｄＳ／ＣＩＧＳ界面、ＺｎＳ／ＣＩＧＳ、Ｃｕ_２Ｓ−ＣｄＳ、ＣｕＩｎＳ_２またはＣｕ_ｘＳ、ＣｕＩｎＳ_２およびＣｕＩｎ_５Ｓ_８の混合物、Ｃｕ（Ｉｎ，Ｇａ）Ｓｅ_２／ＣｄＳ、ＣＩＳ／Ｉｎ_２Ｓｅ_３、ＩｎＮ、ＣＩＳ／Ｉｎ_２Ｓｅ_３、ＺｎＳ_ｘＳｅ_１−ｘ、ＧａＩｎＰ／ＧａＡｓ、ＧａＩｎＰ／ＧａＡｓ／Ｇｅ、ＧａＡｓ／ＣＩＳ、ａ−Ｓｉ／ＣＩＧＳ（ａ−Ｓｉは、アモルファスＳｉ／水素合金）、ＦｅＳ_２、Ｃｕ_２Ｏ、ＩＴＯ／ａ−ＣＮｘ（Ａｌショットキー薄膜窒化炭素太陽電池）およびＭｏＳ_２ベースの太陽電池が挙げられるか、またはより一般には：ＮｉおよびＣｕ付加層を有するＭＸ２（Ｍ＝Ｍｏ，Ｗ；Ｘ＝Ｓ，Ｓｅ）薄膜が同様に使用され得る。Ａｌ_２Ｏ_３層は、ＣｕＩｎＧａＳｅ_２タイプのＰＶセルとともに拡散障壁として使用され得る。製造工程は、単結晶材料を形成する多結晶の堆積の強化を可能にする高温での熱アニールを含み得る。あるいは、層の単結晶成長は、中温での遅い層の成長によって好まれるはずである。単結晶堆積は、最適な電子輸送および光子吸収のために重要である。

様々な材料の堆積としては、化学蒸着、溶相堆積、電気化学堆積、電気化学的に誘起されるゾル−ゲル堆積、電気化学原子層エピタクシ、無電解堆積、ｅ−ビーム蒸着、電気泳動または遠心分離によるゾル−ゲル、電子線リソグラフィ、走査プローブリソグラフィ、圧力注入、重合および電気重合ならびに熱分解（ｐｙｒｏｌｙｔｉｃ ｄｅｃｏｎｐｏｓｉｔｉｏｎ）が挙げられ得る。ナノケーブルはまた、化学蒸着によって触媒部位から成長し得、基体からウェットエッチングまたはドライエッチングなどがなされ得る。

ＰＶセルを設計するとき、考慮することの１つは、光束である。所与の点における大気を通過する光子の数は、光子を受け取るＰＶセルの改変に関係なく、比較的一定のままである。ＰＶセルに適した形状を決定するとき、間隙の面積および剛毛頂部の面積を計算することによって開始することが便利である。

図３は、剛毛２０の頂部を示しているソーラーブラシ１０の上面図である。剛毛２０は、規則的に配置しているように示されているが、この配列は、用途に合わせて変更可能である。剛毛２０の頂部は、π（Ｄ／２）^２ρ（式中、Ｄは、剛毛の直径であり、ρは、ケーブル密度（ケーブルの数／単位面積）である）と計算されるＡ_ｔｏｐをあわせた面積を有する。ＰＶセルの総面積（Ａ_{ｔｏｔａｌ}）は、Ｗ×Ｌである。次いで、剛毛間の間隙の面積は、以下の式を用いて計算することができる：
Ａ_{ｔｏｔａｌ}＝Ａ_ｔｏｐ＋Ａ_ｇａｐ
同じ計算の間に、所与のケーブル密度についての間隔の空き具合が、所与の形状に対して実行可能であるか否かを判定することが有用である。文献に基づいて、ナノケーブル２２の直径Ｄ（ナノケーブル）が５０ｎｍであるとき、ＰＶ剛毛最小直径Ｄは、約２２０ｎｍである。Ｄ（ナノケーブル）＝１５０ｎｍのとき、ＰＶ剛毛の光学的な最小の厚さは、約３２０ｎｍである。剛毛２０の物理的な直径は、ナノケーブル２２の直径よりも５０〜１００ｎｍ大きいが、外殻が透明であるので、これらの数値は、光学的な直径の計算に使用されるべきである。光学的な直径は、太陽効率を計算するために使用され、物理的な直径は、処理の限界を決定するために使用される。

いくつかの公的に利用可能な情報源は、トラックエッチング膜を使用するときのナノケーブルにとって最も好ましい密度（ρ）範囲を開示しており、その密度は、
ρ＝１０^６−１０^９孔／ｃｍ^２＝１０^１０−１０^１３孔／ｍ^２
である。金属酸化物の鋳型を使用するとき、密度範囲は：
ρ＝１０^８−１０^１２孔／ｍ^２
にシフトする。低密度の場合について、１０^−１０ｍ^２あたり１ケーブル、すなわち１０^−５×１０^−５平方ｍの中心に１ケーブル存在するので、ケーブルの中心間の距離（「セルの間隔」）は、１０^−５ｍすなわち１００００ｎｍである。この数値から剛毛の直径（図３を参照のこと）を減算する。セルの間隔は、ケーブル直径よりも小さくなく、好ましくはケーブル直径よりも大きいので、非現実的な物理的間隔に関する場合は、表１における計算から排除した。光学的な間隔Ｓは、以下によって与えられる：
Ｓ＝セルの間隔−剛毛の直径
光学的な間隔が決定した後に、ＰＶ剛毛の頂部の面積（Ａ_ｔｏｐ）ならびに剛毛間の面積（Ａ_ｇａｐ）を決定する。表１は、平面状の表面積の大部分が、剛毛頂部ではなくＰＶセルの間隙内に存在することを示している。しかしながら、頂部の表面積の有意水準を有する最も好ましい範囲内の構造点が存在する。

平面状の面積および面積あたりの質量は、後方反射を決定するために非常に重要である。平面状のセルについて、反射によって、光が吸収されて電気を発生する機会を得る前に、多くの光がＰＶセルの外にはね返ってしまう。しかしながら、後方反射は、セルの裏面に光をはね返らせることによって平面状のセルの利益になり得、それにより、セルが同じ光の流れから光子を吸収する機会が２回生じる。しかしながら、後方反射は、平面状のセルにおける吸収事象の回数を増大させる一方で、単位体積あたりに発生する熱の量も増大させてしまう。ソーラーブラシ１０の場合では、剛毛頂部に当たる光子の一部が、ＰＶセルから反射して離れ得るだけである。

ソーラーブラシ１０の１つの実施形態において、光の９６％超がＡ_ｇａｐに入る。いくつかのことが、その間隙に入る光に生じる：（ａ）光が吸収され、（ｂ）光が剛毛を垂直に通って次の最も近い剛毛に透過する（図２に示されるように）、そして／または（ｃ）光が入射角に等しい反射角でソーラーブラシに下向きに反射する。各々の場合において、間隙からの光は、剛毛に続く。大部分の光は、吸収されるか、またはブラシに対して垂直に通る。後方反射は、材料の厚さならびに材料のタイプに関連する。ソーラーブラシは、何百万本の薄い剛毛から作製されているので、ソーラーブラシは、ほとんど「透明」になる。従って、θ＝９０°（ここで、θを、ＰＶセル基体の平面に対する日光の角度と定義する）以外のすべての場合において、後方反射は、極小さい。９６％以上の光が間隙内部に入り、各剛毛が９０％の透明度を有すると仮定される場合、後方反射は、最大０．０４％である。

侵入光の深さおよび面積もまた計算される。これは、どれくらい均一に光が、ＰＶブラシを通過して分散され得るかの基準である。光の侵入は、以下の式に支配される：
Ｔ_ｐｅｎ＝侵入の厚さ＝Ｓｔａｎθ
厚さまたは剛毛の高さは、最大侵入に関連する。多くの場合における光の流れに対する平
均侵入は、約θ／２である。しかしながら、θが９０°に近づくにつれ、セルの底面は、理論的には光で溢れ得る。しかしながら、現実には、光は、剛毛の形状の不規則さの影響を受けるので、この溢れるという作用は、極わずかであるか、または実際に起こらない。

表２は、どれくらい深く光が侵入しているか、そして、Ｔ_ｐｅｎをＴ（全体の剛毛の高さ）で割ることによって、第１の透過においてどれくらいの部分面積が使用されているかを示している。これは、どれくらい最初の光が減衰するかの基準である。減衰する光が多くなると、最大温度が低下するか、またはセルにおけるホットスポットが少なくなり、その結果、全体の効率が向上する。

ＰＶセル基体の平面に対する日光の角度についての関数としての１００μｍセルに対する侵入パーセンテージは、単純に１０倍低い。侵入％は、重要な構造基準である。透明なケーブルについて、１０％侵入である場合、光は、ＰＶケーブルの１０回の透過と同程度に少なく、光子は、剛毛１本あたり２回ｐ−ｎ接合を通過し得るので、平均光子は、ｐ−ｎ接合を最大２０回通過し得る。光の流れに対して適切な吸収の機会を保証するために、その日の大部分に対して２０％未満を標的にするような構造基準を設定することがおそらく最良である。θが９０°に向かうとき、ｔａｎθは∞に向かい、一時的に侵入レベルが１００％になる。しかしながら、最適化は、実地試験の結果に関する。

ＰＶ吸収総面積は、頂部に対してよりも剛毛２０の側面に対してのほうがずっと大きい。Ａ_ｃｅｌｌは、以下：
Ａ_ｃｅｌｌ＝Ｔ（π）（Ｄρ／２）
（式中、Ｔは、ケーブルの高さであり、Ｄは、ＰＶ剛毛の光学的な直径であり、ρは、単位面積当たりの剛毛の数である）によって与えられるＰＶブラシが利用可能な表面積である。ほとんどの光吸収は、一度にセルの半分の面を照らす日光から生じるものであると仮定されるので、この量を２で割る。同様に散乱光からの吸収事象がかなり存在するが、大部分の光子は、直接日光から来るものである。表３では、いくつかのＡ_ｃｅｌｌの計算値をまとめ、高密度のセルの間隔および剛毛の高さを有するＰＶセル表面積が急速に増大することを示している。「セルの間隔」とは、１本の剛毛中心からその隣の剛毛の中心までを測定したものである。

侵入面積は、以下の式に示されるように侵入の深さに比例している：
Ａ_ｐｅｎ＝光が最初に侵入した面積＝Ｔ_ｐｅｎ（π）（Ｄρ）
ここで、Ａ_ｇａｐ＞＞Ａ_ｔｏｐである場合、光の減衰は、以下の式によって示される：
Ａ_ｐｅｎ＝Ｔ_ｐｅｎ／Ｔ^＊Ａ_{ｔｏｔａｌ}
Ａ_ｐｅｎおよびＡ_ｇａｐ（表１）から、セルに生じる光の減衰量を示す計算がなされ得る。光の減衰は、日光の吸収事象および均一な加熱に対する機会にとって重要である。どこにホットスポットが存在したとしても、変換効率が急速に低下する。ホットスポットが生じる傾向にある集中光がどこに存在したとしても、吸収事象に対する機会と光子の数との比が低下する。

図２に示されるような金属ナノケーブル２２を有する剛毛２０は、良好な発電を示すが、このナノケーブル２２は、軟質金属（例えば、金または銅）から作製されている場合、脆弱であり得る。従って、そのような実施形態におけるナノ構造を強化することまたはより強いナノワイヤを使用することが望ましい場合がある。

図４Ａ〜４Ｆは、シリコン−オン−インシュレータ（ＳＯＩ）技術を用いてソーラーブラシを作製するための例示的な方法を図示している。この方法により、典型的な導電性金属よりも強い材料を有するナノケーブルが作製され、それによって、高温で別の様式で脆弱性であり得るナノケーブルに対して構造的な支持が与えられる。図４Ａ〜４Ｆは、ナノケーブルがケイ素から作製されている実施例を図示しているが、そのナノケーブルは、他の「硬い」かまたは頑強な導電性材料（例えば、ダイアモンドまたは金属酸化物）から作製され得る。作製されるナノケーブルは、好ましくは単結晶である。

図４Ａは、第１の二酸化ケイ素層５２の上に形成されたｐ型シリコンウエハ５０を示している。ｐ型シリコンウエハ５０は、約５００μｍの厚さであり得るが、本発明は、それに限定されない。第１の二酸化ケイ素層５２は、ｐ型シリコンウエハ５０よりも薄くてもよい。しかしながら、図４Ｂに示されるように、二酸化ケイ素層５２は、ガラス／石英片５４などのより厚い基体に接着され得る。ガラス／石英５４は、ＳＯＩ構造に対する取っ手として作用する。他の実施形態において、基体は、ガラス／石英以外の材料（例えば、プラスチック）から作製され得る。さらなる実施形態において、ｐ型シリコンウエハ５０は、ブラシのすべてのナノケーブルではなく１本または数本のナノケーブルに結合しているｐ型材料の別々の部分を含み得る。

図４Ｃに示されるように、ｐ型シリコンウエハ５０は、例えば、従来のＳＯＩ作製技術によって、ｐ型シリコンウエハ５０の薄層（例えば、１〜５μｍ）だけが残るように部分的に除去される。次いで、任意の電気絶縁層５６、例えば、第２の二酸化ケイ素層をｐ型シリコンウエハ５０上に成長することにより、ｐ型シリコンウエハ５０を、第１の二酸化ケイ素層５２と第２の二酸化ケイ素層５６との間に挟む。第２の二酸化ケイ素層５６は、任意の適当なプロセス（例えば、熱酸化、プラズマ誘起化学蒸着（ｐｌａｓｍａ ｅｎｈａｎｃｅｄ ｃｈｅｍｉｃａｌ ｖａｐｏｒ ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ；ＰＥ−ＣＶＤ）またはレイリー不安定性（Ｒａｙｌｅｉｇｈ ｉｎｓｔａｂｉｌｉｔｉｅｓ）によって作られる部位（「レイリー部位（Ｒａｙｌｅｉｇｈ ｓｉｔｅ）」）の熱酸化）を用いて形成され得る。レイリー部位は、当該分野で公知である。

図４Ｄは、例えば、インプリンティングリソグラフィー、エッチングなどを用いて、第２の二酸化ケイ素層５６を貫通して孔が形成されることを示している。次いで、ｐ−シリコンナノケーブル５８（ｐ−シリコンナノワイヤとも呼ばれる）を成長させて、その孔を通って伸長させることにより、第２の二酸化ケイ素層５６よりも高くなり、好ましくは、伸長される、すなわち、軸の長さが幅または直径よりも長くなる。ｐ型シリコンウエハ５０は、ナノケーブル５８に対する電極として作用する。

この実施形態において、金属（例えば、銅および金）ではなくケイ素を使用してナノケーブル５８を形成する１つの理由は、ケイ素が、高温処理に耐えることができるからである。本発明者らは、材料（例えば、金、Ｉｎ、ＴｅおよびＳ）が高価であるので、目的の表面上に直接向かい合っているチャンバの隅々にまで材料を堆積する他の処理（例えば、ＣＶＤ、スパッタリングなど）と比較して材料の浪費が少なくすむように、電気めっきによってそのような材料の層を形成することが望ましいことを見出した。しかしながら、電気めっきするためには、典型的にはシード層が必要である。シード層を堆積するために、ＣＶＤを使用してもよい。シリコンナノケーブルは、ＣＶＤに関連する高温に耐えることができる。シリコンナノケーブルを成長させるために電気めっきを使用してもよい。

本発明者らはまた、ＣＶＤの欠陥率が、めっきよりも一層低いので、いくつかの層をもっぱらＣＶＤによって形成することが望ましいことも見出した。また、シリコンナノケーブルは、ＣＶＤに関連する高温に耐えることができる。

シリコンナノケーブル５８を形成するためのいくつかの方法が、企図される。実例となる１つの方法は、例えば金のシード層を用いてＣＶＤを使用する。ＳｉＯ_２基体５２上に金を堆積する。次いで、絶縁層５６を堆積する。孔を絶縁層に形成し、ＣＶＤを用いて孔を貫通してナノケーブル５８を形成する。そして、その次の処理工程でＣＶＤを使用してもよい。

別の実例となる方法は、一旦、ナノケーブルを形成したら、その上に金属を電気めっきすることによってそのナノケーブルを強くすること以外は、前パラグラフのとおり進める。

なおも別の実例となる方法において、ナノケーブルは、ｐ−シリコンウエハ５０から一体的に形成される。ナノワイヤキャップをｐ−シリコンウエハ上にインプリントする。キャップの下以外のすべてのｐ−シリコン層から材料をエッチングすることによって、ナノワイヤを形成する。次いで、新しく形成されたナノワイヤの上にＣＶＤ、めっきなどを行うことにより、ｐ−ｎ接合を形成し得、そして導体を被覆し得る。変法において、ＣＶＤを用いてナノワイヤをｐ層およびｎ層で被覆すること以外は、その変法は、類似した方法である。

さらなる変法において、金属をＳｉナノケーブルの表面上に蒸着することができ、そしてＰＶ材料をその上に電気めっきすることができる。

ナノケーブル５８は、任意の所望の距離だけ離して配置され得る。例示的な実施形態において、ナノケーブル５８の各々は、直径約１００ｎｍ、高さ約５μｍ〜何百μｍであり、そして約２００ｎｍ離して配置される（図３に示されるような中心間の間隔）。

図４Ｅは、ナノケーブル５８の上にｎ型シリコン層６０を堆積することによって、ｐ−ｎ接合を形成することを示している。ｎ型シリコン層６０は、例えば、化学蒸着による無触媒成長を用いることによって堆積され得る。アモルファスシリコーンフィルムもまた、ＰＥ−ＣＶＤを用いて作製され得る。第１の二酸化ケイ素層５２およびガラス／石英５４は、図４Ｅから省略した。

図４Ｆは、酸化インジウムスズ（ＩＴＯ）などの実質的に透明な導電性材料の層をｎ型シリコン６０の上に堆積して、実質的に透明な電極層６２を形成することを示している。最初に形成するとき、ｎ−型シリコン層６０のすべてを互いに接続し、ナノケーブル５８間の第２の二酸化ケイ素層５６に接触するブランケット層として透明な電極層６２をウエハの上に堆積する。その回路を完成するために、ｐ型シリコン層５０の一方の側面に別の電極を接続してもよい。

従来の平らなバルク−シリコン太陽電池パネルと比較して、図４Ｆの構造は、一層大きい光吸収用の表面積を有する。例えば、ケイ素の１ｃｍ×１ｃｍ片である従来の平らなソーラーパネルは、光吸収用に表面積１ｃｍ^２を有する。それに対して、４μｍの高さの約２００ｎｍによって分離されているシリコンの１ｃｍ^２領域上に形成される２００ｎｍナノケーブルコアは、約１６ｃｍ^２の光吸収領域を有することになる。この光吸収領域の劇的な増大により、著しい効率向上がもたらされる。

図４Ｆ（ならびに図５および６）の構造はまた、信頼性に関して平面状のセルを越える利点を提供する。平面状のセルにおいて、１つの欠点は、一連のセル全体が短絡し得る点である。対照的に、１つの不完全にめっきされたナノケーブル５８は、絶縁層５６によってその隣のケーブルから電気的に分離しているので、その隣のケーブルの性能に影響を及ぼさない。このように、本発明のいくつかの実施形態では、電気めっきの信頼できる使用によってナノ構造を形成することが可能となる。さらに、電気めっきは、希少金属の節約に関して一層有効である。

図４Ｆの構造が、ナノケーブルを通る高い抵抗に関する問題を有する場合、この問題を軽減するための工程が利用可能である。例えば、ｐ−ｎ接合におけるキャリアは、電極を見つけるまで、ナノケーブル５８およびｐ型シリコン層５０を通って移動する。このキャリアの移動によって、熱による電力の著しい損失が生じる。

前述の実施形態および本明細書中に記載の他の実施形態において、コンポーネントのｐ−特性およびｎ−特性が、逆転され得ることが理解されるべきである。例えば、ナノケーブルは、ｎ−シリコンから形成され得るのに対し、相補的な被覆層（ｃｏｍｐｌｅｍｅｎｔａｒｙ ｏｖｅｒｌａｙｅｒ）は、ｐ−シリコンから形成され得る。

さらなる層が、加えられ得るか、または本明細書中に記載の実施形態のいずれかから除去され得ること、そして実施形態の様々な部分を、本発明の精神および範囲から逸脱することなく組み合わせることによって様々な組み合わせおよび並べ替えを作り出してもよいことが理解されるべきである。

図５は、抵抗が高いという問題を克服するか、または少なくとも軽減するように設計されたナノケーブル構造（例えば、太陽電池の剛毛２０）を示している。孔を第１の二酸化ケイ素層５２およびガラス／石英５４に設け、導電性材料で満たすことにより、導電性ビアを作製し、それにより、キャリアが第２の電極６４に達するために移動しなければならない距離が短くなる。第２の電極６４を作製している材料（この実施例では、金）を用いて、ガラス／石英５４を通って伸びているこれらの孔を満たしてもよい。透明な電極層６２はまた、部分的に除去されてもよく（例えば、エッチングによって）、それにより、ｎ型シリコン層６０のすべてが互いに電気的に連結することなく、ｎ型シリコン層６０の頂部の部分が残る。

図６は、上記のように二酸化ケイ素層においてリソグラフィで形成された孔を通って成長するナノケーブル５８を含む代替のナノケーブル構造（例えば、剛毛２０）を示している。しかしながら、図４Ｆまたは図５に示される構造とは異なり、この代替のナノケーブル構造は、任意の導電層７０（例えば、金の導電層）ならびにｐ層およびｎ層７２、７４（ＣｄＴｅ層７２およびＣｄＳ層７４であり得、ナノケーブル５８の上に堆積していてもよい）を有する。ＣｄＴｅ層７２およびＣｄＳ層７４は、電流の流れを発生するために必要なｐ−ｎ接合を形成する。アルミニウム電極７６は、ＣｄＳ層７４の上に形成され、各ナノケーブルに対して別々の電気的な接触を形成するように部分的に除去される。この代替のナノケーブル構造は、図４Ｆおよび図５の構造よりも著しく低い抵抗を有する。ナノケーブル５８の周囲に形成される金の層７０に起因して、キャリアは、ナノケーブル全体を通って移動する必要がない。

図６の剛毛を処理することにより、種々の光起電力デバイスが形成され得る。金の層７０が、１００Å以下の厚さを有する場合、金の層７０は、可視光線に対してほとんど透明である。ｐ型シリコンを使用する場合、ナノケーブルは、その構造を通じて良好な透明度を維持する。ナノケーブルコアが金属から作製される場合、ナノケーブルのほとんどは、ナノケーブルコアが反射性であるだけで、透明のままである。しかしながら、ほとんどの
光子がコアに衝突せずにナノケーブルを通過するので、ナノケーブルコアの反射性は、ソーラーブラシまたは光起電力デバイスの性能全体に劇的に影響を及ぼさない。さらに、反射が生じたとしても、大部分の光子は、ソーラーブラシに深く反射される。

さらなる方法において、Ｓｉまたはポリシリコンを、基体（例えば、ガラスの基体）上に成長し、Ｓｉまたはポリシリコン上でのシリコンナノケーブルの電場支援型指向性成長（ｅｌｅｃｔｒｉｃ−ｆｉｅｌｄ−ａｓｓｉｓｔｅｄ ｄｉｒｅｃｔｉｏｎａｌ ｇｒｏｗｔｈ）を使用する。電場がナノケーブルの整列を助ける場合は、シリコンナノケーブルの成長は、指向性でなくてもよい。

図４Ｂと図４Ｃとの間で部分的に除去されたｐ型シリコンウエハ５０は、別の処理に「再利用」され得る。このようにして、複数のソーラーブラシが、単一のｐ型シリコンウエハ５０から形成され得る。

発電力は、１日あたりの平均電力に関する。Ｃａｌｉｆｏｒｎｉａにおける様々な町についての日照時間（ｓｕｎ ｈｏｕｒｓ）の中央値は、Ｇｏ Ｓｏｌａｒ（登録商標）社のウェブページ（ｗｗｗ．ｓｏｌａｒｅｘｐｅｒｔ．ｃｏｍ／Ｐｖｉｎｓｏｌａｔｉｏｎ．ｈｔｍｌ）によると６．１８ｋＷ／（日^＊ｍ^２）である。太陽エネルギーは、米国国立再生可能エネルギー研究所の知見によって公的に利用可能なデータに基づいて、平均して１日あたり約６時間取り出される。分布は、一般に、以下の分布を有するガウス曲線として与えられる：

μの平均＝６時間、σの標準偏差＝１時間および平均的な日の総和電力（ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ ｐｏｗｅｒ）を６．１８ｋｗｈ／ｍ^２と仮定すると、最大エネルギーが得られる。ｘ＝μのとき、理論上の最大発電量は、約４．９３３ｋＷ時／ｍ^２である。層状にすることと、太陽光に関する事象の各々がｐ−ｎ接合付近で生じる重要性と、ホットスポットの減少とに関するＥＵ研究に基づくと、ＣｄＴｅ系は、その理論的な効率限界に近づき得る。効率は、単一層系によって３０％の高さを得ることができ、本発明者らが、高バンドギャップ系と低バンドギャップ系（後に記述する）とを併せる場合、効率は、より高くなる可能性がある。分布は、図７に示されるとおりである。

電力の計算は、以下のとおり行われる：
Ｐ＝６．１８ｋＷｈ／（ｍ^２×ｄ）（Ｃａｌｉｆｏｒｎｉａ市に対する平均値から）
Ｐ_{Ｂｒｕｓｈ}＝Ｐ×Ｅ×Ｏ
例えば、ＣｄＴｅ／ＣｄＳ ＰＶセルについてＥ＝２９（２９％効率）およびＯ＝配向性獲得（ｏｒｉｅｎｔａｔｉｏｎ ｇａｉｎ）１．４４（４４％増）の場合、Ｐ_{Ｂｒｕｓｈ}＝２．６０ｋＷ時／（ｍ^２×ｄ）（ＣＡにおける平均的な町における平均的な日）。しかしながら、ブラシは、方向を調整することによって、約４４．８％増の効率を獲得することができることに注意されたい。ソーラーブラシ１０の配向性は、性能に対して多大な影響を及ぼし得る。平面状のＰＶモジュールは、配向性が不良であることから最大４４％の電力を損失し、しばしば「太陽コンパス」を用いて再配向する必要がある。ソーラーブラシ１０は、その独特の構造に起因して、再配向の必要がない。

太陽からの光の大部分は、大気中に散乱する。ソーラーブラシ１０を用いて散乱光を集めることによって、より高いエネルギー産生がもたらされるはずである。複数接続された太陽電池からさらにエネルギーを得ることにより、その効率を、現在可能であると考えられている効率の２倍に増大させ得る。

ソーラーブラシ１０は、所与の材料についての最大理論効率におそらく近づく。ブラシは、ほぼ透明に作製され得るので、ほとんどの光は、セルを通過し続ける。実際に、ブラシは、∞の厚さであるように思われる。剛毛が、安定な太陽光の吸収に十分な厚さで設計され得るので、各吸収事象は、ｐ−ｎ接合付近において起き得る。ｐ−ｎ接合付近の吸収事象の発生は、セル効率を向上する。

セル効率を向上するための別の手がかりは、局在性の加熱を減少させることである。太陽光の吸収が起きるたびに、そのエネルギーの一部が電子を放出し、エネルギーの一部がセルを加熱する。この加熱は、セルの効率を低下させる。セルが後方反射に依存するとき、セルは、所与の面積に対して熱負荷を倍増する。太陽は、空を横断するので、侵入角度は変化し続け、太陽光の流れの軌道が変化し続けるので、光子が衝突する「新しい」材料が多量に存在する。ソーラーブラシ１０を用いるとき、層の厚さを制御することによってより多くの吸収事象をｐ−ｎ接合付近で起こすことができ、光の流れは、より多い量のＰＶ材料を通過することになる。多重接合材料が、将来において効率を最大にする手がかりであると考えられている。表５は、いくつかの材料についての潜在的な効率、バンドギャップおよびフィールド効率（ｆｉｅｌｄ ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙ）を示している。

好ましくは、効率を現在の技術と比較することにより、最大電力の増加が得られる。表６は、Ｃａｌｉｆｏｒｎｉａの場合の潜在的なエネルギー効率および発電能力を示している。

太陽集光器を使用することにより、ブラシに対する発電量および実効面積を著しく増大することができる。太陽集光器は、表面に対して直角である広い領域の光を向け直すことができ、それによって、ブラシの深さにおける表面積を利用する。図１によって示される侵入の深さは、剛毛間の距離×ｔａｎθである。θが９０°に近づくとき、ｔａｎθは、∞に近づき、必要な侵入レベルが達成される。太陽電池の実効面積は、侵入の深さ（ｄｅｐｔ）を剛毛の高さで割り、そしてそれに面積を掛けることによって計算される。１つの実施形態における、高効率で高い位置にある太陽電池の出力電力は、太陽集光器を用いて５０〜２８５ｋＷ／日／ｍ^２である。その出力範囲を、好ましくは、本明細書中に示される方法および構造よりもおそらく非常に高価である処理によって作製される単一シリコンＰＶアレイについて最良の既知実地結果に基づく０．９４ｋＷ／日／ｍ^２の最大出力と比較する。

比較実施例として、Ｋｏｎａｒｋａは、プリントされたポリマーが、すべての可視スペクトルからエネルギーを発生する技術を使用する。ｈｔｔｐ：／／ｗｗｗ．ｋｏｎａｒｋａｔｅｃｈ．ｃｏｍ／ａｂｏｕｔ／に記載されているように、ＰＶポリマーは、ポリマーシート上にプリントされている。材料は、二酸化チタンに色素を注入し、ポリマー上にその材料をプリントすることによって作製される。Ｋｏｎａｒｋａ ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙは、１０％効率が得られ、約８年間持続すると予想している。それに対して、ソーラーブラシ１０に使用される本明細書中で開示された材料は、２５〜３０年の時間枠の寿命を有する。Ｋｏｎａｒｋａの処理は、ソーラーブラシ１０よりも高価でない可能性があるが、約２％の効率のＰＶセルをもたらすだけである。さらに、これらのＰＶセルは、集光器に適合する形状を有しない場合がある。ゆえに、所定の日に発生すると予想されるＫｏｎａｒｋａのＰＶフィルムの最大発電量は、約０．１１ｋＷ／ｍ^２であり得るのに対し、本ブラシは、Ｋｏｎａｒｋａシステムが発生する電力の４５０〜２５００倍を発生し得る。

表７は、８”円盤状ＰＶセルの発電量を示している。欄の表題の定義に対して、上の表３を基準としている。

ソーラーブラシ１０は、直径１１”の円盤から作製され得るか、または酸化物鋳型を用いて任意の寸法のフィルムから成長され得る。それらは、既存のフォトリソグラフィ装置およびスパッタリング装置を使用することができる。直径８”の円盤を使用する場合、その円盤は、同じ材料で作製された０．９７〜５．５８ｍ^２の平面状セルからの電力と等しい電力を発生し得る。完全な反射器を太陽光集光器において使用した場合、最小の円盤サイズは、ＰＶセル面積を最大限利用するために直径１．１ｍ〜１４．８ｍの範囲であり得る。完全な反射器は存在しないので、エネルギーの一部は、吸収されずに失われ、誤った方向に反射し得る。直径２〜２５ｍを用いることにより、最大エネルギーが生じ得る。
所望であれば、一層小さいユニットを作製することができ、そのサイズは、求められる電力および設置場所に関連する。８”円盤は、円盤上の材料の最終的な面積に応じて、１．６〜２４．４２ｋＷ／日を発生し得る。このシステムはまた、好ましくは、基体金属を加熱する過度なシステムなしに適正な電流伝導をもたらす大きさである。

円盤サイズが小さいと、洗浄が容易になり、経時的な効率損失が減少する。中央の円盤の面積が非常に小さいので、大きいセルでは実行不可能な様式で洗浄するためにすばやく動かせるように設計され得る。

所与の規格に形作られ、そして、硬化された、可撓性であるかまたは堅い基体上にナノケーブルを形成するための多岐にわたる方法は、フィルムの効率に影響を及ぼす。

約３，０００℃の融点を有するハードコーティング（例えば、ＴｉＮ、ＺｒＮまたはＨｆＮ）を、反射率を最小にするためか、またはナノケーブルを強化してその硬度を高めるために、ある層に対して使用してもよい。

冷却液を使用して、そのシステムを冷却してもよい。
様々な実施形態を上で説明してきたが、それらは、例として示しただけであり、限定するものではないことを理解するべきである。従って、好ましい実施形態の広さおよび範囲は、上記の例示的な実施形態のいずれによっても限定されるべきでないが、以下の特許請求の範囲およびその等価物に従ってのみ規定されるべきである。

図１は、効率が向上した太陽電池パネルを実施するために使用され得る例示的なソーラーブラシの斜視図である。 図２は、例示的なソーラーブラシの側断面図である。 図３は、ソーラーブラシ剛毛の配列を示しているソーラーブラシの上面図である。 図４Ａは、シリコンナノケーブルを備えたソーラーブラシ剛毛を作製する例示的な方法を図示している。 図４Ｂは、シリコンナノケーブルを備えたソーラーブラシ剛毛を作製する例示的な方法を図示している。 図４Ｃは、シリコンナノケーブルを備えたソーラーブラシ剛毛を作製する例示的な方法を図示している。 図４Ｄは、シリコンナノケーブルを備えたソーラーブラシ剛毛を作製する例示的な方法を図示している。 図４Ｅは、シリコンナノケーブルを備えたソーラーブラシ剛毛を作製する例示的な方法を図示している。 図４Ｆは、シリコンナノケーブルを備えたソーラーブラシ剛毛を作製する例示的な方法を図示している。 図５は、抵抗が低い剛毛の側断面図である。 図６は、ＣｄＴｅ／ＣｄＳ ｐ−ｎ接合を有する剛毛の代替の実施形態の側断面図である。 図７は、平面状の太陽電池についての潜在的な発電量を示しているグラフである。

Claims (24)

1. 第１の電極と、前記第１の電極の上に配置された絶縁層と、複数の光起電力ナノ構造とを含む光起電力アレイであって、
   前記絶縁層は、その中に多数の孔を有し、
   前記光起電力ナノ構造の各々は、
   前記絶縁層の前記多数の孔のうちの１つを通って伸び、そこから突出し、前記第１の電極に接続されている導電性ナノケーブルと、
   前記ナノケーブルの少なくとも２面に沿って伸びている第２の電極と、
   前記ナノケーブルと前記第２の電極との間に形成された光起電力的に活性なｐ−ｎ接合と、
   前記ナノケーブルの上に堆積され、前記ｐ−ｎ接合を形成するために前記ナノケーブルおよび第２の電極の間に配置された、少なくとも一層のｎ型層とを含み、
   前記複数の光起電力ナノ構造の各々の前記少なくとも１層のｎ型層は、他の全ての前記複数の光起電力ナノ構造から電気的に分離しており、
   前記複数の光起電力ナノ構造は、その前記ナノケーブル部分の間に固体材料がない状態で、互いに離されている、光起電力アレイ。
2. 前記ナノケーブルが、ケイ素から構築されている、請求項１に記載の光起電力アレイ。
3. 前記ナノケーブルは、その長手方向に沿った全ての点における断面直径が実質的に一定であり、前記長手方向は真っすぐである、請求項１に記載の光起電力アレイ。
4. 前記ナノケーブルが、細長く、前記第１の電極に接続されている１つの軸端を有する、請求項１に記載の光起電力アレイ。
5. 前記ナノケーブルが、前記第１の電極と一体的に形成される、請求項１に記載の光起電力アレイ。
6. 前記少なくとも一層のｎ型層は、前記ナノケーブルとともに前記ｐ−ｎ接合を形成している、請求項１に記載の光起電力アレイ。
7. 前記ナノケーブルが、ケイ素から構築されており、前記少なくとも一層のｎ型層が、ケイ素から構築されている、請求項１に記載の光起電力アレイ。
8. 前記第１の電極に対して平行な面に沿って存在し、導電性ビアによって前記第１の電極に接続されている第３の電極をさらに含む、請求項１に記載の光起電力アレイ。
9. 前記少なくとも一層のｎ型層は、前記ナノケーブルと前記第２の電極との間に位置する１対の層を含み、該１対の層が前記ｐ−ｎ接合を形成する、請求項１に記載の光起電アレイ。
10. 前記光起電力ナノ構造の各々は、前記ナノケーブルと前記１対の層との間の前記ナノケーブル上に直接形成される導電層をさらに含む、請求項９に記載の光起電力アレイ。
11. 前記ナノケーブルの軸が、互いに平行である、
    請求項１に記載の光起電力アレイ。
12. 前記光起電力ナノ構造の軸が、前記アレイに対して垂直の方向に傾いている、請求項１に記載の光起電力アレイ。
13. 前記第２の電極に接続されており、前記アレイの少なくとも一部を渡って伸びている導
    電片をさらに含む、請求項１に記載の光起電力アレイ。
14. 請求項１に記載の光起電力アレイを形成するための方法であって、
    第１の電極の上に位置する絶縁層に多数の孔を形成する工程と、
    １つのナノケーブルが、前記絶縁層のそれぞれの孔を通って伸び、そこから突出するように、前記第１の電極と接触しているナノケーブルを形成する工程と
    を含む、方法。
15. 前記ナノケーブルが、ケイ素から構築されている、請求項１４に記載の方法。
16. 前記ナノケーブルが、細長い、請求項１４に記載の方法。
17. 前記ナノケーブルの上に第２の電極を形成する工程をさらに含む、請求項１４に記載の方法。
18. 前記ナノケーブルを用いて光起電力のｐ−ｎ接合を形成するために、前記ナノケーブルと前記第２の電極との間に位置する層を形成する工程をさらに含む、請求項１７に記載の方法。
19. 前記ナノケーブルが、ケイ素から構築されており、前記層が、ケイ素から構築されている、請求項１８に記載の方法。
20. 前記層が、少なくとも部分的に化学蒸着によって形成される、請求項１８に記載の方法。
21. 光起電力のｐ−ｎ接合を形成するために、前記ナノケーブルと前記第２の電極との間に位置する１対の層を形成する工程をさらに含む、請求項１７に記載の方法。
22. 前記１対の層が、少なくとも部分的に化学蒸着によって形成される、請求項２１に記載の方法。
23. 前記ナノケーブル上に直接第２の導電層を形成する工程をさらに含む、請求項２１に記載の方法。
24. 前記導電層が、それに対して平行に存在する第３の電極に導電性ビアによって接続されている、請求項１４に記載の方法。