JP5340181B2 - 液体材料の吐出装置および方法 - Google Patents

Description

本発明は、液体材料を微量に精度良く滴下または飛滴させて吐出する装置および方法に関し、より具体的には、塗布作業中における再吸引動作を吐出精度を低下させることなく最小限とすることを可能とする吐出装置および方法に関する。

液体材料を微量に精度良く滴下または飛滴させて吐出する従来の装置としては、例えば、出願人の開発した特許文献１ないし４に開示される装置がある。
上記従来の吐出装置は、計量部に吸引した液体材料を水密に配置したプランジャーの間欠的な複数回の前進動作により、前進動作毎に滴を飛翔吐出させる吐出方式である。

特開２００３−１９０８７１号公報 特開２００４−１６０３１４号公報 特開２００４−１６０２７６号公報 特開２００５−４０７７０号公報

従来の装置における吐出方式は、計量管に吸引する量に限りがあり、ワーク全体に必要な量の液体材料を吸引させることができない場合があった。この場合、塗布作業の途中で再吸引動作を行う必要があり、生産性が低下するという課題があった。

ここで、計量管のサイズを大きくさせることは、次のような課題を有している。
すなわち、計量管の径を太くして液体材料の吸入量を増加させると、プランジャの径も大きくする必要が生じるため、わずかなプランジャーの移動によって多量の液体材料が滴下されてしまい、結果として微量吐出を行うことが難しくなってしまうという課題がある。
一方で、計量管の長さを長くすると、装置が大型化してしまうほか、吐出精度を向上させることが難しくなるという課題がある。

本発明は、塗布作業中における再吸引動作を吐出精度を低下させることなく最小限とすることを可能とする吐出装置および方法を提供することを目的とする。

本発明の装置は次のように構成されている。すなわち、
第１の発明は、液体材料の貯留部と、プランジャーが挿通される複数の計量部と、プランジャー駆動装置と、各計量部と一対一に対応する複数のノズルと、を備え、計量部へ充填した液体材料を複数回にわたって吐出する液体材料の吐出装置であって、前記プランジャー駆動装置が全てのプランジャーを同時に進退移動させる一のプランジャー駆動装置であることを特徴とする液体材料の吐出装置である。
第２の発明は、第１の発明において、前記計量部を全て同容量に構成したことを特徴とする。
第３の発明は、第１または２の発明において、前記計量部のそれぞれに対し、計量部とノズルを連通する第一位置および計量部と貯留部とを連通する第二位置を有する切替弁を設け、各切替弁の位置を同時に切り替える一のバルブ駆動装置を設けたことを特徴とする。
第４の発明は、第３の発明において、前記プランジャー駆動装置および前記バルブ駆動装置を前記複数の計量部に対して鉛直方向に配置したことを特徴とする。
第５の発明は、第３または４の発明において、前記切替弁が配設されたブロックを設け、当該ブロックに前記貯留容器から各切替弁に液体材料を分岐して流入する流路を設けたことを特徴とする。
第６の発明は、第５の発明において、前記計量部を前記ブロックに装着可能な計量管により構成し、かつ、相互に隣接して配置したことを特徴とする。
第７の発明は、第５の発明において、前記ブロックに計量部を形成したことを特徴とする。
第８の発明は、第７の発明において、前記ブロックに貯留部を形成したことを特徴とする。
第９の発明は、テーブルが設けられた架台と、架台上に延伸され、一の方向に移動可能なフレームと、を備え、当該フレームに第１ないし８のいずれかの発明に係る吐出装置が設けられた塗布装置である。

本発明の方法は次のように構成されている。すなわち、
第１０の発明は、貯留部からプランジャーが挿通される計量部内に液体材料を充填し、プランジャーの進出移動および進出停止を繰り返すことにより前記計量部内の液体材料を複数回にわたって吐出する液体材料の吐出方法において、複数の計量部および各計量部と一対一に対応する複数のノズルを設け、一のプランジャー駆動装置により複数のプランジャーを同時に移動させることにより全計量部内の液体材料を同時に吐出することを特徴とする液体材料の吐出方法である。
第１１の発明は、第１０の発明において、前記計量部のそれぞれに対し、計量部とノズルを連通する第一位置および計量部と貯留部とを連通する第二位置を有する切替弁を設け、各切替弁を一の駆動装置により同時に切り替えながら液体材料の吐出を行うことを特徴とする。

本発明によれば、微量な液体材料を精度良く複数のノズルから滴下させることができる。
また、二の駆動源により装置を構成することができ、さらにこれを縦に配置することにより装置をスリムに構成することができる。
また、供給された液体材料を装置内で分岐して複数の計量部に導入させることができるから、貯留部内に残留する液体材料の量を減らすことができ、液体材料を無駄なく使用することができる。

実施例１に係る滴下装置の正面外観図 図１に示す装置の側面外観図 図２の破線位置の正面断面図 図１の破線位置の側面断面図 図１に示す滴下装置を搭載した塗布装置の斜視図 実施例２に係る滴下装置の正面外観図 図６に示す装置の側面外観図 図７の破線位置の正面断面図

符号の説明

図面に用いた主な符号の凡例を以下に示す。
１ 滴下装置＼５ 塗布装置＼６ テーブル＼７ 架台＼１０ ベース＼１１ 板Ａ＼１２ 板Ｂ＼１３ 板Ｃ＼２０ モータＡ＼２１ スライドベース＼２２ スライダー＼３０ プランジャーＡ＼３１ プランジャーＢ＼３２ 計量管Ａ＼３３ 計量管Ｂ＼３４ ネジＡ＼３５ ネジＢ＼３６ 計量ブロック＼４０ 貯留容器＼４１ 液送チューブ＼４２ 圧力供給管＼４３ 液送パイプ＼４４ 液体材料＼５０ バルブブロック＼５１ モータＢ＼５２ ギヤセット＼５３ シャフトＡ＼５４ シャフトＢ＼５５ ノズルＡ＼５６ ノズルＢ＼５７ バルブＡ＼５８ バルブＢ＼５９ 液体材料供給口＼６０ 制御装置＼６１ バルブ挿着孔Ａ＼６２ バルブ挿着孔Ｂ＼６３ 貯留部＼６４ 計量孔Ａ＼６５ 計量孔Ｂ＼７０ 回転検知機構＼７１ センサ＼７２ 検知板＼８１ 可動フレームＡ＼８２ 可動フレームＢ

最良の形態の本発明は、例えば、隣接して配置された複数の計量部を備える液体材料の吐出装置であって、前記計量部は、それぞれプランジャーと、ノズルとを備え、複数のプランジャーを同時に進退移動させる駆動装置を備える液体材料の吐出装置である。
前記計量部は、プランジャーの進出移動によりノズルから吐出される液体材料が一時的に貯留される空間であり、その体積は微量な液体材料を精度よく吐出するのに適した大きさに構成する。計量部を複数としたのは、一つの計量部の体積を大きくすることなく、計量部全体の体積を大きくするためである。前記計量部の構成としては、例えば、複数の計量部がバルブブロックに装着された複数の計量管であり、バルブブロックは、貯留容器から各計量管に液体材料を分岐して流入する流路を備える態様が開示される。前記計量部の他の構成としては、計量ブロックに複数の計量孔と、貯留容器から各計量孔に液体材料を分岐して流入する流路を設ける態様が開示される。いずれの態様においても、ノズルの先端の水平方向の位置は揃えて配置する。
計量部とノズルとを一対一で対応する構成としたのは、一の計量部から二のノズルに分岐して滴下する態様では、計量部内においてプランジャーにより加圧された液体材料の微妙な流体バランスにより、双方のノズルに均等に液体が流動しない場合があるためである。この点、各計量部がそれぞれノズルを有する構成とすれば、各計量部からノズルの吐出口に至るまでの流路を全て同一の閉じた形状（但し、切替弁が介在してもよい。）にすることができるので精度よく吐出を行うことが可能となる。
また、液体材料の充填時にプランジャーの先端と切替バルブまでの容量を等しくすると、計量部内を摺動するプランジャーを同時に進出して吐出を行うことにより、プランジャーの進出による流路内の体積減少を同じ割合にすることが可能である。全ての計量部を同容量とし、全てのノズルから同量の液体材料を同時に吐出するようにしてもよい。
また、プランジャーの先端部にロッドより幅広のシール部（大径の突起部）を設ければ、摺動面積が小さくなるのでプランジャーを高速に移動することが可能である。この際、計量部とノズルとを連通する流路を実質的に直線になるよう構成するのが好ましい。
また、好ましくは、前記計量部は、それぞれ切替弁を備え、各切替弁を同時に切替る駆動装置を備えることを特徴とする。切替弁は、スライド型、一方向回転型、または往復動回転型のいずれであってもよい。

以下では、本発明の詳細を実施例により説明するが、本発明はこれらの実施例によって何ら限定されるものではない。

《全体構造》
本実施例の装置を、図１ないし図４により説明する。なお、図４においては、プランジャーＢ３１の背面にプランジャーＡ３０があり、ノズルＢ５６の背面にノズルＡ５５があり、バルブＢ５８の背面にバルブＡ５７があり、バルブ挿着孔Ｂ６２の背面にバルブ挿着孔Ａ６１がある。
本実施例の吐出装置は、ベース１０に板Ａ１１、板Ｂ１２及び板Ｃ１３が取り付けられてフレームが構成され、前記フレームに、［１］プランジャー駆動部、［２］プランジャー部、［３］液送部および［４］バルブ部が配設される。

［１］プランジャー駆動部は、モータＡ２０、スライドベース２１、スライダー２２で構成される。
プランジャー駆動部は、板Ｂ１２に固定されるモータＡ２０の回転駆動により、スライダー２２が、ベース１０に固定されるスライドベース２１上をスライドベース２１延伸方向に移動自在に構成される。プランジャー駆動部の各要素は、ベース１０の中心軸に対し線対称に配置されている。

［２］プランジャー部は、プランジャーＡ３０、プランジャーＢ３１、計量管Ａ３２、計量管Ｂ３３で構成される。
プランジャー部は、プランジャーＡ３０およびプランジャーＢ３１が、ネジＡ３４およびネジＢ３５によってそれぞれプランジャー駆動部のスライダー２２に固定される。プランジャーＡ３０が計量管Ａ３２の内壁面に密着摺動するよう挿入され、プランジャーＢ３１が計量管Ｂ３３の内壁面に密着摺動するよう挿入されて構成される。

計量管Ａ３２および計量管Ｂ３３は、バルブブロック５０の上面に穿った孔に装着固定されており、モータＡ２０の駆動により、プランジャーＡ３０およびプランジャーＢ３１が、それぞれ計量管Ａ３２および計量管Ｂ３３の内壁面に密着して摺動する。
ここで、プランジャーＡ３０およびプランジャーＢ３１のそれぞれの計量管側先端は、計量管内の密着を確実にするために、プランジャーの胴部の径よりも幅広の径に構成する（すなわち、シール部を設ける）ことができる。
計量管Ａ３２および計量管Ｂ３３は、ベース１０の中心軸に対し線対称かつ相互に近接して配置されている。このように、本実施例では一つの計量管を長くしたり太くすることなく、複数設けることにより吐出量を増やすことで吐出装置の大型化を防いでいる。

本実施例の装置は、モータＡ２０の回転動作により、プランジャーＡ３０とプランジャーＢ３１が同時に計量管内を前進移動または後退移動するよう構成されている。すなわち、プランジャーＡ３０が計量管Ａ３２内を前進移動するとき、プランジャーＢ３１も同時に計量管Ｂ３３内を前進移動し、プランジャーＡ３０が計量管Ａ３２内を後退移動するとき、プランジャーＢ３１も同時に計量管Ｂ３３内を後退移動する。

［３］液送部は、貯留容器４０及び液送チューブ４１で構成される。
より詳細には、液送部は、液体材料が貯留される貯留容器４０と、前記貯留容器４０とバルブブロック５０とを連通する液送チューブ４１で構成される。
液送チューブ４１は、貯留容器４０底部に延伸する液送パイプ４３と連通し、貯留容器４０の上部に至る圧力供給管４２から供給される空圧の作用により、貯留容器４０に貯留される液体材料をバルブブロック５０に圧送する。
貯留容器４０は、板Ｂ１２上に傾斜をもって載置され、板Ａ１１により胴部を支持されて着脱可能に固定される。

［４］バルブ部は、バルブブロック５０、モータＢ５１、ギヤセット５２、シャフトＡ５３、シャフトＢ５４、ノズルＡ５５、ノズルＢ５６、回転検知機構７０で構成される。
バルブ部は、ベース１０に支持されるモータＢ５１の回転駆動により、ギヤセット５２を介して、並行して配置された二のシャフト即ちシャフトＡ５３およびシャフトＢ５４を回転させ、板Ｃ１３に固定されるバルブブロック５０のバルブ挿着孔Ａ６１およびバルブ挿着孔Ｂ６２内に配設される二のバルブ即ちバルブＡ５７およびバルブＢ５８を回転自在に構成される。各バルブは、各計量管と各ノズルとを連通する貫通孔と、当該貫通孔と直交する周面に、バルブの長さ方向（水平方向）に伸びる溝を有し、当該各溝は各バルブ挿着孔の内壁面と協働して各計量管と貯留容器４０とを連通する流路を構成する。
回転検知機構７０は、センサ７１と検知板７２とから構成される。検知板７２は、切り欠きを有する円盤であり、モータＢ５１の回転に伴って回転する。「コ」の字形に形成されたフォトセンサであるセンサ７１の凹部に検知板７２が位置するよう構成されている。センサ７１は、凹部の上部が発光部、凹部の下部が受光部となっており、検知板７２の切り欠きによって、前記発光部から発せられた光を、前記受光部に対し、投光または遮光させることができる。これにより、センサ７１の受光部に対する発光部からの光の遮光開始位置、または、投光開始位置にもとづきバルブＢ５８の回転位置を制御する。

バルブブロック５０の底部には、ノズルＡ５５とノズルＢ５６が着脱可能に配設される。
バルブブロック５０の上面に穿った孔には、計量管ＡおよびＢが装着固定される。なお、バルブブロック５０の上面に穿った孔そのものを計量管として構成することも当然に可能である。
バルブブロック５０は、液送チューブ４１と連通する液体材料供給口５９から供給された液体材料を、バルブＡ５７およびバルブＢ５８のそれぞれに送るための分岐路を備える流路を有する。このように、供給されたバルブブロック５０で分岐して計量管ＡおよびＢに流入させる構成のため、貯留容器を複数設ける必要がない。

シャフトＡ５３は、バルブＡ５７と着脱可能に連結されて構成される（なお、図２および図４では、シャフトＡ５３はシャフトＢ５４の背面に位置している。）。バルブＡ５７は、シャフトＡ５３の回転動作により、計量管Ａ３２と液送チューブ４１とを連通する第一位置と、計量管Ａ３２とノズルＡ５５とを連通する第二位置と、を取り得る。

シャフトＢ５４は、バルブＢ５８と着脱可能に連結されて構成される。バルブＢ５８は、シャフトＢ５４の回転動作により、計量管Ｂ３３と液送チューブ４１とを連通する第一位置と、計量管Ｂ３３とノズルＢ５６とを連通する第二位置と、を取り得る。

バルブＡ５７及びバルブＢ５８は、モーターＢ５１の回転動作により、同時にそれぞれの第一位置および第二位置に切り替えられるよう構成される。

ところで、モータＡ２０、モータＢ５１は、制御装置６０と接続されており、前記制御装置６０からの指令により動作する。
このように、本実施例の装置は、二のモータを備える。そして、一のモータで複数のプランジャーを同時に移動させ、もう一方のモータで複数のバルブを同時に動作させる。この様な構成において、モータＡ２０とモータＢ５１は、スライダーを介して上下に配置される。この様な配置とすることにより、装置をスリムに構成することができる。なお、モータＡ２０とモータＢ５１は、ベース１０の中心ないしは中心近傍の同軸上に配置することが好ましい。
ＸＹ方向に移動する移動ロボットに本滴下装置を複数搭載するにあたっては、このようなスリムな構成とすることは、滴下装置の搭載数を多くすることができ好ましい。
また、二のモータで全てのプランジャーおよび全てのバルブを動作させることができるので、装置を軽量に構成することができ、前記滴下装置を搭載した塗布装置において、滴下装置をＸ方向またはＹ方向に移動させる場合において都合がよい。

《液材吐出作業》
モータＢ５１を回動動作させ、バルブＡ５７およびバルブＢ５８を第一位置にセットし、計量管Ａ３２および計量管Ｂ３３のそれぞれを液送チューブ４１と連通させる。
次に、モータＡ２０を回転動作させ、プランジャーＡ３０およびプランジャーＢ３１を後退移動させて、計量管Ａ３２および計量管Ｂ３３に、液体材料を必要量吸入する。
続いて、バルブＡ５７およびバルブＢ５８が第二位置となるようモータＢ５１を動作させて、計量管とノズルとを連通させる。即ち、計量管Ａ３２とノズルＡ５５を連通させ、計量管Ｂ３３とノズルＢ５６とを連通させる。
所望量の液体材料を吐出させるために、モータＡ２０を回転動作させ、プランジャーＡ３０およびプランジャーＢ３１を規定量前進移動させて、ノズルＡ５５およびノズルＢ５６から液体材料を吐出する。
このとき、プランジャーＡ３０およびプランジャーＢ３１は、急速前進に続いて急激に停止させることにより、微少量の液体材料を精度良くノズルから滴下させることができる。急速前進に続く急激停止の動作を連続して行うことにより、連続的に液体材料を滴下させることができる。

液体材料を連続して滴下させるのであれば、必要量を事前に吸引しておくことが必要なことは言うまでもない。
ここで、プランジャーの急激前進に続く急激な停止により、微少量の液体材料を精度良くノズルから滴下させる。例えば、計量管の内壁面に密着して摺動するプランジャーの進出移動および進出停止によって、前記計量管と連通する吐出口より吐出される液滴の吐出量を調整する液滴量の調整方法であって、前記吐出口から吐出される液滴が吐出毎に一定の量となるよう、前記進出移動するプランジャーが減速を開始してから停止するまでの移動速度を調整する液滴量の調整方法であり、ここでは、前記プランジャーを後退移動して前記計量管内に液材を貯留容器から吸入し、前記プランジャーの進出移動および進出停止を繰り返すことにより前記計量管内の液体材料を複数回にわたって吐出がなされる。なお、この吐出方法については、出願人が既に、特許文献４で開示している。

所望とする回数の滴下動作を行った後は、再び、モータＢ５１を回動動作させてバルブＡ５７およびバルブＢ５８を第一位置にセットし、上記で説示した動作を繰り返すことにより、吐出作業を連続して行うことができる。

本実施例の滴下装置１を複数搭載した塗布装置５を図５に示す。
塗布装置５は、ワークが載置されるテーブル６を有する架台７と、架台１上に固設された一対の支持体に支持され、架台１の短手方向（Ｘ方向）を横断する可動フレームＡ８１と、同じく架台１のＸ方向を横断する可動フレームＢ８２を備える。可動フレームＡ８１及び可動フレームＢ８２の側面には可動子を介して複数の滴下装置１がＸ方向に移動自在に取り付けられている。滴下装置１は、吐出装置と吐出装置を上下方向（Ｚ方向）に移動自在とするＺ方向駆動装置により構成されている。テーブル６は、ＸガイドレールによりＸ方向に移動自在に構成されており、また、Ｘガイドレールが配設されたＹスライダーおよびＹガイドレールによりＹ方向に移動自在に構成されている。なお、テーブル６に、ワークをθ軸方向に移動させて所定の角度に位置決めするためのθ回転手段を設けてもよい。Ｘ方向およびＹ方向のガイドレールとしては、リニアモータ用マグネットおよび直動ガイドを備える構成が例示されるが、この構成に限定されず、例えば、スライドベースにモータとモータに連動して回転するボールねじを備え、スライダーにボールねじの回転に連動して直進移動するナットを備える構成としてもよい。
本実施例において重要なことは、一の計量管から二のノズルに分岐して滴下する態様ではないことである。即ち、ノズル、計量管およびプランジャーが一つのセットとして構成され、このセットを吐出装置が複数備えていることである。

一の計量管から二のノズルに分岐して滴下する態様では、計量管内においてプランジャーにより加圧された液体材料の微妙な流体バランスにより、双方のノズルに均等に液体が流動しない場合があるが、本実施例のような構成にすることにより、確実に液体材料を滴下させることを可能とする。

本実施例では、二のノズルを配置した吐出装置の構成を例示したが、本実施例の技術的思想には、二以上のノズルを配置した吐出装置の態様が含まれることはいうまでもない。
また、ノズル、計量管およびプランジャーは一つのセットであるから、ノズルの数と同じ数の計量管およびプランジャーを必要とすることもいうまでもない。

《全体構造》
実施例２の装置を、図６ないし図８により説明する。なお、図８においては、プランジャーＢ３１の背面にプランジャーＡ３０があり、ノズルＢ５６の背面にノズルＡ５５があり、バルブＢ５８の背面にバルブＡ５７があり、バルブ挿着孔Ｂ６２の背面にバルブ挿着孔Ａ６１があり、計量孔Ｂ６５の背面に計量孔Ａ６４がある。
本実施例の吐出装置は、バルブ挿着孔Ａ６１およびＢ６２、貯留部６３、並びに計量孔Ａ６４およびＢ６５が形成された計量ブロック３６を備えている点で、実施例１の吐出装置と相違する。
計量ブロック３６は、板Ｃ１３に固定されており、上面にはプランジャーＡ３１およびＢ３１が挿入される孔が設けられており、側面には液送チューブ４１と連通される液体材料供給口５９が設けられている。液体材料供給口５９から供給された液体材料は、計量ブロック３６の内部に形成された貯留部６３に一時的に貯留される。貯留部６３に貯留された液体材料は、バルブＡ５７およびバルブＢ５８のそれぞの周面に形成された溝を介して計量孔Ａ６４および計量孔Ｂ６５に送出される。本吐出装置における液体吸引の手順は、実施例１と同様であり、貯留部６３と計量孔Ａ６４および計量孔Ｂ６５を連通状態とし、モータＡ２０によりプランジャーＡ３０およびプランジャーＢ３１を同時に後退移動することにより行われる。

本吐出装置における液体吐出の手順も実施例１と同様である。まず、ベース１０に支持されるモータＢ５１の回転駆動により、ギヤセット５２を介して、並行して配置された二のシャフト即ちシャフトＡ５３およびシャフトＢ５４を回転させることで、各計量孔と各ノズルとを各バルブに設けられた貫通孔で連通させる。そして、モータＡ２０によりプランジャーＡ３０およびプランジャーＢ３１を同時急激前進させ、それに続く急激な停止により、微少量の液体材料を精度良くノズルから滴下させる。この動作を、計量孔Ａ６４およびＢ６５内に吸引された液体材料が無くなるまで複数回にわたって繰り返して吐出作業を行う。
本実施例の吐出装置においても計量孔、プランジャーおよびノズルを二以上配置することは可能である。また、本実施例の吐出装置を実施例１の塗布装置５に搭載することも当然に可能である。

本発明は、フラットパネルディスプレイ製造工程、例えば、液晶パネル製造工程における液晶滴下工程などの分野に好適である。

Claims (11)

1. 液体材料の貯留部と、プランジャーが挿通される複数の計量部と、プランジャー駆動装置と、各計量部と一対一に対応する複数のノズルと、計量部とノズルとを連通する第一位置および計量部と貯留部とを連通する第二位置を有し、計量部のそれぞれに対して設けられた切替弁と、各切替弁の位置を同時に切り替える一のバルブ駆動装置と、を備え、塗布装置のテーブル上に延伸されたフレームに配設される液体材料の吐出装置であって、
   前記プランジャー駆動装置を全てのプランジャーを同時に進退移動させる一のプランジャー駆動装置とし、かつ、前記プランジャー駆動装置および前記バルブ駆動装置を前記複数の計量部に対して鉛直方向に配置することにより吐出装置を幅細に構成したことを特徴とする液体材料の吐出装置。
2. 前記計量部を全て同容量に構成したことを特徴とする請求項１に記載の液体材料の吐出装置。
3. 前記切替弁が配設されたブロックを設け、当該ブロックに前記貯留容器から各切替弁に液体材料を分岐して流入する流路を設けたことを特徴とする請求項１または２に記載の液体材料の吐出装置。
4. 前記計量部を前記ブロックに装着可能な計量管により構成し、かつ、相互に隣接して配置したことを特徴とする請求項３に記載の液体材料の吐出装置。
5. 前記ブロックに計量部を形成したことを特徴とする請求項３または４に記載の液体材料の吐出装置。
6. 前記ブロックに前記貯留部からの液体材料を一時的に貯留する第２の貯留部を形成したことを特徴とする請求項５に記載の液体材料の吐出装置。
7. 前記液体材料の貯留部を前記複数の計量部に対して鉛直方向に配置し、前記液体材料の貯留部と前記ブロックとを液送チューブで接続したことを特徴とする請求項３、４、５または６に記載の液体材料の吐出装置。
8. テーブルと、テーブル上に延伸されたフレームと、を備え、当該フレームに請求項１、２、３、４、５、６または７に記載の吐出装置が設けられたことを特徴とする塗布装置。
9. 前記吐出装置が複数設けられたことを特徴とする請求項８に記載の塗布装置。
10. 請求項８または９に記載の塗布装置を用いて、テーブル上に載置されたワークに塗布を行うことを特徴とする液体材料の塗布方法。
11. 液体材料が液晶であることを特徴とする請求項１０に記載の液体材料の塗布方法。