JP5218183B2 - 液体吐出ヘッド及びその製造方法、画像形成装置 - Google Patents

Description

本発明は液体吐出ヘッド及びその製造方法、画像形成装置に関する。

プリンタ、ファクシミリ、複写装置、プロッタ、これらの複合機等の画像形成装置として、例えばインク液滴を吐出する液体吐出ヘッド（液滴吐出ヘッド）からなる記録ヘッドを用いた液体吐出記録方式の画像形成装置としてインクジェット記録装置などが知られている。この液体吐出記録方式の画像形成装置は、記録ヘッドからインク滴を、搬送される用紙（紙に限定するものではなく、ＯＨＰなどを含み、インク滴、その他の液体などが付着可能なものの意味であり、被記録媒体あるいは記録媒体、記録紙、記録用紙などとも称される。）に対して吐出して、画像形成（記録、印字、印写、印刷も同義語で使用する。）を行なうものであり、記録ヘッドが主走査方向に移動しながら液滴を吐出して画像を形成するシリアル型画像形成装置と、記録ヘッドが移動しない状態で液滴を吐出して画像を形成するライン型ヘッドを用いるライン型画像形成装置がある。

なお、本願において、液体吐出記録方式の「画像形成装置」は、紙、糸、繊維、布帛、皮革、金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックス等の媒体に液体を吐出して画像形成を行う装置を意味し、また、「画像形成」とは、文字や図形等の意味を持つ画像を媒体に対して付与することだけでなく、パターン等の意味を持たない画像を媒体に付与すること（単に液滴を媒体に着弾させること）をも意味する。また、「インク」とは、インクと称されるものに限らず、記録液、定着処理液、液体などと称されるものなど、画像形成を行うことができるすべての液体の総称として用い、例えば、ＤＮＡ試料、レジスト、パターン材料、樹脂なども含まれる。

液体吐出ヘッドは、例えば、ノズル板、流路板、振動板（圧電型或いは静電型の場合）圧電素子等の複数の板状の部材からなり、これらを接着剤で貼り合わせて積層化して構成される。特に、流路板と振動板やノズル板との接合においては、流路の封止性を確保するために、部材を貼り合わせたときに流路内に接着剤がはみ出す体積の接着剤を使って接着することが一般的である（特許文献１）。

また、液体吐出ヘッドの充填性を向上するため、液室内部の壁面を親水化処理することが一般的に知られている。親水化処理としては、例えば、ポリカーボネートで構成された液室部材をアミン系溶剤で表面を溶解した後、樹脂を再析出させてインクと接する部分を多孔質構造とする親水化処理（粗面化処理）を行うことが知られている（特許文献２）。

また、ノズル板と流路板とを接合する接着層が親水膜層を兼ねるようにすることも知られている（特許文献３）。

特開２００２−２５４６４２号公報 特開平４−０３３９６６３号公報 特開２００６−３２６８７３号公報

上述したようにヘッドを構成する部材を接合する接着剤としては、主材が主にエポキシ樹脂、アクリル樹脂、シリコーン樹脂、ウレタン樹脂などの樹脂で構成され、通常疎水性を示す樹脂である。そのため、ヘッドへのインクの初期充填時、液室内にはみ出した接着剤は、液室に入ろうとするインクをはじき出そうとする抵抗が働き、液室のインク充填性を損なう作用を持つことになり、初期充填において充填が失敗するノズルが発生することがある。特に、この問題は、ノズル数が多いラインヘッドのような長尺ヘッド、個別液室や流路の幅が狭く、液室の大きさに対してはみだした接着剤の体積の割合が大きくなるノズルピッチが３００ｄｐｉ相当以上の高集積ヘッドにおいて顕著になる。

そこで、通常は、接着剤のはみ出し量を制御し、封止性を確保した上で極力少量となるように制御している。しかしながら、接着剤の量が少ないと、ノズル数が多い長尺ヘッドにおいては、液室の数が多いため、ロバスト性として全ての液室について封止性を確保することが困難となってしまい、また、液室の大きさに対してはみだした接着剤の体積の割合が大きい高集積ヘッドにおいては、同じく全ての液室についてはみだし量を同じに制御することは困難である。このことが、ノズル数が多い長尺ヘッドや高集積ヘッドの歩留まりを低下させる要因の一つとなっている。

ここで、特許文献２のように、充填性を向上するため液室内部の壁面を親水化するために、ポリカーボネートで構成された液室部材を用いるものにあっては、液室部材が樹脂で構成されたヘッドに適用が限定される。また、一度硬化した樹脂を溶解するため、接着剤の界面剥離等のおそれや部材間の結合の歪みが発生するという問題が生じるおそれがある。また、一度樹脂を溶媒で液室が満たされた状態で溶解させているため、溶解した樹脂が液室内に溶解した状態で拡散して、再析出したときに目的としない箇所（例えば、流体抵抗部やノズル孔など、流路が細くなっている場所で再析出しやすいと考えられる）に樹脂が析出して、流路を細くしたり、塞いでしまったりするおそれがあり、長時間にわたって多量の樹脂を溶解することができない。その結果、図１２に示すように、粗面化される凹凸の深さは限定され、表面近傍のみが荒れた状態になる。

本願発明は上記の課題に鑑みてなされたものであり、ヘッドの初期充填性の向上することを目的とする。

上記の課題を解決するため、本発明に係る液体吐出ヘッドは、
液体の滴を吐出するノズルが連通する液室を有する液体吐出ヘッドにおいて、
前記液室の壁面を形成する部材同士を接合する接着剤の前記液室内に食み出した部分は、少なくとも表面に露出した複数の孔を有する多孔質構造であって、前記孔が内部で互いに連通している
構成とした。

本発明に係る液体吐出ヘッドは、
液体の滴を吐出するノズルが連通する液室を有する液体吐出ヘッドにおいて、
前記液室の壁面を形成する部材の少なくとも一部の表面部分に樹脂層が形成され、前記樹脂層は少なくとも表面に露出した複数の孔を有する多孔質構造であって、前記孔が内部で互いに連通している
構成とした。

ここで、前記表面に露出していない孔も内部で連通している構成とできる。

また、前記複数の孔は、表面側の孔径よりも深部側の孔径が小さい構成とできる。

本発明に係る液体吐出ヘッドの製造方法は、
液体の滴を吐出するノズルが連通する液室を有する液体吐出ヘッドの製造方法において、
前記液室の壁面を形成する部材同士を溶媒に樹脂を溶解した接着剤で貼り合わせ、
前記接着剤の硬化が完了する前に、前記接着剤の前記液室内に食み出した部分の前記溶媒を、前記溶媒よりも前記樹脂の溶解度が低い他の溶媒で液置換することで前記樹脂を析出する
構成とした。

本発明に係る液体吐出ヘッドの製造方法は、
液体の滴を吐出するノズルが連通する液室を有する液体吐出ヘッドにおいて、
前記液室の壁面を形成する部材の少なくとも一部の表面部分に溶媒に樹脂を溶解した層を形成し、
前記層の硬化が完了する前に、前記溶媒を、前記溶媒よりも前記樹脂の溶解度が低い他の溶媒で液置換することで前記樹脂を析出する
構成とした。

ここで、前記樹脂を溶解した溶媒は不揮発性又は難揮発性溶媒である構成とできる。

本発明に係る画像形成装置は、本発明に係る液体吐出ヘッドを備えたものである。

本発明に係る液体吐出ヘッドによれば、液室の壁面を形成する部材を接合する接着剤のうちの液室内に食み出した部分は、少なくとも表面に露出した複数の孔を有する多孔質構造であって、孔が内部で互いに連通している構造としたので、親水性（親液性）が高くなり、初期充填性が向上する。

本発明に係る液体吐出ヘッドによれば、液室の壁面を形成する部材の少なくとも一部の表面部分に樹脂層が形成され、樹脂層は少なくとも表面に露出した複数の孔を有する多孔質構造であって、孔が内部で互いに連通している構成としたので、親水性（親液性）が高くなり、初期充填性が向上する。

本発明に係る液体吐出ヘッドの製造方法によれば、液室の壁面を形成する部材同士を溶媒に樹脂を溶解した接着剤で貼り合わせ、接着剤の硬化が完了する前に、接着剤の液室内に食み出した部分の溶媒を、溶媒よりも樹脂の溶解度が低い他の溶媒で液置換することで樹脂を析出する構成としたので、液室内に食み出した接着剤を多孔質構造であって孔が内部に互いに連通している構造とすることができる。

本発明に係る液体吐出ヘッドの製造方法によれば、液室の壁面を形成する部材の少なくとも一部の表面部分に溶媒に樹脂を溶解した層を形成し、層の硬化が完了する前に、溶媒を、溶媒よりも樹脂の溶解度が低い他の溶媒で液置換することで樹脂を析出する構成としたので、液室の壁面を形成する部材の少なくとも一部の表面部分を多孔質構造であって孔が内部に互いに連通している構造とすることができる。

本発明に係る画像形成装置によれば、本発明に係る液体吐出ヘッドを備えるので、初期充填性が向上する。

本発明に係る液体吐出ヘッドの一例を示す斜視図である。 図１のＡ−Ａ線に沿う同ヘッドのノズル配列方向と直交する方向（液室長手方向）に沿う断面説明図である。 同ヘッドのノズル配列方向（液室短手方向）に沿う断面説明図である。 ノズル板、流路板及び振動板の接合部分の拡大説明図である。 本発明を接着剤の食み出し部分に適用した接合部分の模式的拡大説明図である。 同じく接着剤の食み出し部分に適用した接合部分の他の例を示す模式的拡大説明図である。 同じく接着剤の食み出し部分に適用した接合部分の更に他の例を示す模式的拡大説明図である。 同じく接着剤の食み出し部分に適用した接合部分の更にまた他の例を示す模式的拡大説明図である。 本発明をノズル板に適した接合部分の模式的説明図である。 本発明を振動板に適した接合部分の模式的説明図である。 本発明に係る画像形成装置の一例を示す全体構成図である。 従来の粗面化処理をした液室部材の表面状態を説明する模式的説明図である。

以下、本発明の実施形態について添付図面を参照して説明する。まず、本発明に係る液体吐出ヘッドの一例について図１ないし図３を参照して説明する。なお、図１は同液体吐出ヘッドの外観斜視説明図、図２は図１のＡ−Ａ線に沿う液室長手方向（液室の並び方向と直交する方向）に沿う断面説明図、図３は同じく液室短手方向（液室の並び方向）に沿う断面説明図である。

この液体吐出ヘッドは、ＳＵＳ基板で形成した流路基板（液室基板）１と、この流路基板１の下面に接合した振動板部材２と、流路基板１の上面に接合したノズル板３とを有し、これらによって液滴（液体の滴）を吐出するノズル４が連通する個別流路としての液室（以下「加圧液室」というが、圧力室、加圧室、流路などとも称される。）６、加圧液室６に液体であるインク（記録液）を供給する供給路を兼ねた流体抵抗部７、複数の加圧液室６に記録液を供給する共通液室８を形成している。なお、共通液室８には図示しない液体タンクから供給路を介して記録液が供給される。

ここで、流路基板１は、リストリクタプレート１Ａとチャンバーブレート１Ｂとを接着して構成している。この流路基板１は、ＳＵＳ基板を、酸性エッチング液を用いてエッチング、あるいは打ち抜き（プレス）などの機械加工することで、各加圧液室６、流体抵抗部７、共通液室８などの開口をそれぞれ形成している。なお、流体抵抗部７は、リストリクタプレート１Ａの部分を開口し、チャンバーブレート１Ｂの部分を開口しないことで形成している。

振動板部材２は、流路基板１を構成するチャンバーブレート１Ｂに接着剤で接合している。この振動板部材２は、金属板、樹脂板、金属板と樹脂層の積層部材などで構成され、加圧液室６の壁面を形成する部分は変形可能な振動板領域２Ａとしている。

ノズル板３は、各加圧液室６に対応して直径１０〜３０μｍの多数のノズル４を形成し、流路基板１のリストリクタプレート１Ａに接着剤で接合している。このノズル板３としては、ステンレス、ニッケルなどの金属、ポリイミド樹脂フィルムなどの樹脂、シリコン、及びそれらの組み合わせからなるものを用いることができる。また、ノズル面（吐出方向の表面：吐出面）には、インクとの撥水性を確保するため、メッキ被膜、あるいは撥水剤コーティングなどの周知の方法で撥水膜を形成している。

そして、振動板部材２の面外側（加圧液室６と反対面側）には圧電アクチュエータ１０を配置している。圧電アクチュエータ１０は、複数の圧電素子柱１２ａをハーフカットの溝加工（スリット加工）によって分断することなくことなく形成した圧電素子部材１２と、この圧電素子部材１２を接合したベース部材１３とを備えている。そして、圧電素子部材２２の各圧電素子柱１２ａは、１つおきに駆動する圧電素子柱（駆動圧電素子柱）１２Ａと駆動しない圧電素子柱（非駆動圧電素子柱）１２Ｂとして使用する。圧電素子部材１２の圧電素子柱１２Ａの一端面には駆動波形を与えるためのＦＰＣケーブルなどの配線部材１４が接続される。

なお、圧電素子部材１２は、厚さ１０〜５０μｍ／１層のチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）の圧電層と、厚さ数μｍ／１層の銀・パラジューム（ＡｇＰｄ）からなる内部電極層とを交互に積層したものであり、内部電極を交互に端面の端面電極（外部電極）である図示しない個別電極及び共通電極にそれぞれ電気的に接続したものである。この圧電素子部材は、ｄ３３（ｄ３３は内部電極面に垂直（厚み方向）の伸び縮みを指す。）方向の圧電定数を利用した圧電素子柱１２Ａの伸縮により振動板領域２Ａを変位させて加圧液室６を収縮、膨張させるようになっている。圧電素子柱１２Ａに駆動信号が印加され充電が行われると伸長し、また圧電素子柱１２Ａに充電された電荷が放電すると反対方向に収縮する。

なお、本実施形態では、ｄ３３方向の変位を用いた構成をとっているが、圧電素子柱１２Ａの圧電方向としてｄ３１方向の変位を用いて加圧液室６内インクを加圧する構成とすることもできる。

さらに、振動板部材２の周囲にはフレーム部材１７を接着剤で接合している。そして、このフレーム部材１７には、振動板部材２で構成した変形可能な部分としてのダイアフラム部２Ｃを介して共通液室８に隣接するバッファ室１８を形成している。ダイアフラム部２Ｃは共通液室８及びバッファ室１８の壁面を形成する。なお、バッファ室１８は連通路２０を介して大気と連通させている。

このように構成した液体吐出ヘッドにおいては、例えば駆動圧電素子柱１２Ａに印加する電圧を基準電位から下げることによって駆動圧電素子柱１２Ａが収縮し、振動板部材２の振動板領域２Ａが下降して加圧液室６の容積が膨張することで、加圧液室６内に記録液が流入し、その後、駆動圧電素子柱１２Ａに印加する電圧を上げて駆動圧電素子柱１２Ａを積層方向に伸長させ、振動板領域２Ａをノズル４方向に変形させて加圧液室６の容積／体積を収縮させることにより、加圧液室６内の記録液が加圧され、ノズル４から記録液の滴が吐出（噴射）される。

そして、駆動圧電素子柱１２Ａに印加する電圧を基準電位に戻すことによって振動板領域２Ａが初期位置に復元し、加圧液室６が膨張して負圧が発生するので、このとき、共通液室８から加圧液室６内に記録液が充填される。そこで、ノズル４のメニスカス面の振動が減衰して安定した後、次の液滴吐出のための動作に移行する。

なお、このヘッドの駆動方法については上記の例（引き−押し打ち）に限るものではなく、駆動波形の与えた方によって引き打ちや押し打ちなどを行うこともできる。

次に、この液体吐出ヘッドにおける流路板１、振動板部材２及びノズル板３の接合部分の詳細について図４ないし図６をも参照して説明する。
図４にも示すように、流路板１と振動板部材２、流路板１とノズル板３とはそれぞれ接着剤３０で接合される。このとき、接着剤３０の一部は液室６内に食み出して接合される（食み出した部分を「食み出し部分３１」とする。そこで、この液室６内に食み出した接着剤３０の食み出し部分３１は、図５に示すように、少なくとも表面に露出した複数の孔３２を有する多孔質構造であって、孔３２が内部で互いに連通している構造としている。なお、図６に表面部分の構造を簡略化して模式的に示している。

このように、液室６にはみ出した接着剤３０の食み出し部分３１を多孔質構造とし、更に個々の孔３２が互いに内部で連通している構造とすることで、疎水性材料から構成される接着剤３０に親水性を付与でき、更に孔３２が互いに連なっていることによって孔３２内の空気が抜けやすくなり、孔３２へのインクの充填性が高くなり、即ち単なる多孔質構造よりも親水性が高くなる。個々の液室６に対するインクの初期充填時の充填成功率を向上することができ、初期充填性が向上する。

この場合、図７に示すように、孔３２の連通が食み出し部分３２の内部で表面に露出しない孔３２ａについて連通する多孔質構造とすることができる。これにより、孔３２が直近に無くても孔３２同士が連通する構成となり、表面に露出した孔３２が少数でも相互に連通した構成とすることができる。

これにより、孔３２が連通する通路がより多岐に形成され、孔３２に対するインクの充填性がより高くなり、より高い親水性を得ることができる。また、表面に露出した孔３２が多いと、親水性が増す反面、表面積も大きく、材料としての強度も低くなり、発塵の原因となるが、このように内部で連通することによって表面に露出した孔３２が比較的少なくても互いに連通していることで荒れ具合が少ない割に高い親水性を持たせることができる。

また、図８に示すように、表面側の孔３２よりも深部側の孔３２を小さくする（径を小さくする）多孔質構造とすることができる。毛管力は径が小さいほど強くなる。したがって、深部の孔３２ほど径を小さくしてインクを孔３２内に引き込む力を強くすることで、親水性を一層強くすることができる。

このように、本発明によれば、液室構成部材（ノズル板、流路板、振動板）を接合する接着剤を例に取ると、液室にはみ出した接着剤の界面の撥水性が低下し、接着剤のはみ出しの大小の影響を小さなものにしてロバスト性を高めながら、個々の液室の性能としてもインクの充填成功率を向上することができる。

本発明は、液室でインクに接する部材であれば親水性を付与することができる。例えば、ノズル板３の液室面、振動板部材２の液室面、流路板１、接着時に流路にはみ出てインクに接する接着剤３０等（以下、これらのインクに接する部材を「接液部材」と総称し、インクに接する部分を「接液部分」という。）に対して有効である。

ここで、接液部材のインクに接する部分は、溶媒に溶解した樹脂が硬化する前に、前記溶媒をこの溶媒よりも樹脂の溶解度が低い他の溶媒で液置換して樹脂を析出させることで、製膜時、表面を多孔質構造とすることができる。接液部材の材料全量が親溶媒に溶解する材料であってもよいし、接液部材の接液部分のインクに接触する面に樹脂を塗布してから上記工法で樹脂を析出させてもよい。ただし、上記親溶媒に溶解した樹脂は、接液部分の材料の全量とすることで、深部まで多孔質化することができるため、より親水性の強い構造を得ることができる。

具体的には、溶媒に高分子ポリマー／高分子モノマー／高分子オリゴマーが溶解した溶液を接液部材に塗布して、また溶媒が揮発して飛んでいない状態のうちに、ポリマーが溶解しない、あるいは、溶解し難い溶媒（例えば水−グリセリン混合溶液等が用いられる。）にすばやく浸漬すると、２つの溶媒の液−液界面で置換が起こり、急激な溶解度の低下により、ポリマーが析出して成膜する。このとき、ポリマーは上述した多孔質構造を持つ膜になる。

通常、表面に近いほど孔径（開口径）の大きい傾向をもった多孔質膜となる。孔径はポリマーに対して溶解度の低い溶媒の種類や粘度、固形分濃度などにより変化する。一般に、溶解液の粘度が高いほど、置換がゆっくりと起こって孔径は小さいものとなり、孔の数が少なくなり、孔がある深度も浅くなり、孔も連なりにくくなる。逆に、粘度が低いほど、置換が起こりやすく、孔径は大きいものとなり、孔の数が多くなり、孔がある深度が深くなり、孔が連なりやすくなる。孔径があまり小さいと、インクに対して撥水性（撥インク性）を示すため好ましくなく、孔径があまり大きいと、表面積が増えることから発塵性が大幅に増すといった不具合が起こる。したがって、孔径は適度に調整する必要がある。

例えば、溶解液の粘度を一定以上に高い粘度に調整し、図８に示したように、孔３２を連ならせ、更には深部にある孔３２ほど径の小さい孔とした多孔質構造とすることで、前述したように、毛管力は径が小さいほど力は強くなることから、インクを孔３２に引き込む力が強く、親水性を一層強くすることができる。

例えば、通常樹脂に対して溶解度の低い溶媒である水を用いる場合では、水と親和性が高く粘度の高い有機溶剤を混合するとよい。グリセリン、２−プロパノール、エチレングリコール、トリエチレングリコール、２−ピロリドン等を混合するとよい。

このとき使用する水溶性有機溶剤としては、例えば、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド等のアミド類、アセトン等のケトン類、テトラヒドロフラン、ジオキサン等のエーテル類、ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール等のポリアルキレングリコール類、エチレングリコール、プロピレングリコール、ブチレングリコール、トリエチレングリコール、１，２，６−ヘキサントリオール、チオジグリコール、ヘキシレングリコール、ジエチレングリコール等のアルキレングリコール類、エチレングリコールメチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、トリエチレングリコールモノメチルエーテル等の多価アルコールの低級アルキルエーテル類、エタノール、イソプロピルアルコール、ｎ−ブチルアルコール、イソブチルアルコール等の１価アルコール類の他、グリセリン等が挙げられる。

上記水溶性有機溶剤の含有量については、溶解する樹脂の種類と溶解液の粘度に合わせ適宜調整する必要があり、特に制限はないが、例えば、処理液全質量の５〜６０％、更には５〜４０％が好適な範囲である。これら範囲でサプライの表面張力によって接着剤樹脂が孔径を最適とするよう適宜調整を行うことが好ましい。

樹脂にできる孔径は、接着剤の樹脂の種類、溶媒に溶けた接着剤樹脂の濃度、溶媒の粘度、更には浸漬の速さ、温度等にも影響を受けるため有機溶剤の濃度等条件の適宜調整が必要である。インクの表面張力にもよるが、およそ表面付近の孔の孔径が５μｍ以上ほどのマイクロポーラース膜とすると接着剤層はインクに対して親水性を示す。例えば、ポリアクリロニトリルの５０ｗｔ％ＮＭＰ溶液を塗布した膜であれば、浸漬するグリセリン水溶液は５％〜４０％程度が最適である。

本発明において、接液部材の接液部分の樹脂を溶解する溶媒は揮発性が低い材料を用いることが好ましい。これは、溶媒置換法が樹脂を溶かした溶媒が揮発する前に接液部材を溶解度の低い溶媒に浸漬するために、接着剤塗布から浸漬までの時間的余裕を取り、工法として製造しやすくすることができるためである。

例えばＮ−メチル−２−ピロリドン、ジメチルアジペート、ピメリン酸、モノメチルグルタレート、モノメチルピメレート、モノメチルアゼレート、モノメチルセバケート、モノエチルアジペート、ジメチルサクシネート、ジメチルグルタレート、ジメチルアジペート、ジメチルピメレート、ジメチルスブレート、ジメチルアゼレート、グルタリルクロライド、アジポイルクロライド、およびピメロイルクロライド等が挙げられる。

樹脂には、ポリスチレン、スチレン−アクリロニトリル共重合体、スチレン−ブタジエン共重合体、スチレン−無水マレイン酸共重合体、ポリエステル、ポリ塩化ビニル、塩化ビニル−酢酸ビニル共重合体、ポリ酢酸ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリアリレート樹脂、フェノキシ樹脂、ポリカーボネート、酢酸セルロース樹脂、エチルセルロース樹脂、ポリビニルブチラール、ポリビニルホルマール、ポリビニルトルエン、ポリ−Ｎ−ビニルカルバゾール、アクリル樹脂、シリコーン樹脂、エポキシ樹脂、メラミン樹脂、ウレタン樹脂、フェノール樹脂、アルキッド樹脂などの熱可塑性、熱硬化性樹脂または光硬化性樹脂が挙げられる。

特に、本発明は液室数の多いラインヘッドのような長尺ヘッドや高集積のヘッドにおいて効果が大きいが、このようなヘッドでは、特に接液部材の高精度な接合が必要であり、このため接液部材としての接着剤に用いる樹脂としては樹脂の中でも熱収縮／熱膨潤の変化幅が小さいエポキシ樹脂に対して実施することが好ましい。また、耐薬品性が高く接液性に優れることから使用可能なサプライの種類の幅を大きく取ることができる。多孔質に構造とすることで、表面積が増えるため、耐薬品性はより求められることになる。

エポキシ樹脂としては、例えば、グリシジルアミン型のエポキシ樹脂、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂、グリシジルエステル型エポキシ樹脂、ウレタン変性エポキシ樹脂、ポリスルフィド変性エポキシ樹脂、ゴム変性エポキシ樹脂、ポリアルキレングリコール型エポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、ビスフェノールＡの骨格に脂肪族骨格（例えば炭化水素鎖やポリエーテル鎖）を追加したエポキシ樹脂等が挙げられる。

また、他に添加剤として、シランカップリング剤を添加することもできる。特に、ウェハ等のＳｉ部材への接着にはシランカップリング剤を使用することで部材へのぬれ性が向上し、接着強度が向上する。これは、加水分解して生成されるシラノール基がＳｉ部材等と接合し、強い接着強度が発現するからである。

具体的には、例えば次のようなものがある。３−アミノプロピルトリエトキシシラン、３−フェニルアミノプロピルトリメトキシシラン、３−（２−アミノエチル)アミノプロピルトリメトキシシラン等のアミノシランカップリング剤、３―グリシドキシプロピロトリメトキシシラン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、３―グリシジルオキシプロピルトリメトキシシラン、３―グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン等のエポキシシランカップリング剤、ビニルシランカップリング剤、３−アクリロキシプロピルトリメトキシシラン等のアクリルシランカップリング剤、３−メタクリロキシプロピルメチルジメトキシシラン、メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン等のメタクリロキシシランカップリング剤などである。

このシランカップリング剤の添加量は、エポキシ樹脂組成物や薄膜転写法やスプレー法等の塗布方法により変化するが、エポキシ樹脂組成物の合計１００重量部に対して０．１〜１０重量部が好ましい。０．１重量部未満であると、ぬれ性が低下し、１０重量部を超えると、樹脂の凝集力が低下し、接着強度や信頼性が低下する。

また、シランカップリング剤はあらかじめ部材に塗布しておき、その後に接着剤用エポキシ樹脂組成物を塗布してもよい。接液部材への塗布方法としては、いかなる薄膜塗布法を用いてもよく、例えばシランカップリング剤をメタノール、エタノール等の有機溶媒に溶いて塗布する場合や、ビスフェノールＡ型のエポキシ樹脂に拡散させ、塗布する。

また、ウレタン鎖状高分子を添加することもできる。ウレタン鎖上高分子は、エポキシ樹脂中に拡散し、樹脂全体に柔軟性を与え、接着強度を向上させることができる。また、接着剤の硬化のための加熱時において、流動性が上昇するエポキシ樹脂の粘度調整剤として働き、非接着部への流れ出しを抑制する効果がある。

また、高分子粒子を加えることが可能である。例えば、具体的にはポリエチレン粒子、ポリプロピレン粒子、架橋ポリメチルメタクリレート粒子、架橋ポリスチレン粒子、ポリウレタン樹脂粒子、フェノール樹脂粒子、エポキシ樹脂粒子等などが挙げられる。特にこれらに限定されるものではない。高分子粒子を使用することで、硬化接着時の染み出しを防止することができ、更に硬化物に可撓性を与えることができ、接着強度が向上する。

特に、架橋ポリアクリレート系粒子においてはエポキシ樹脂の硬化の際、流動性の増したエポキシ樹脂をゲル化し、染み出し防止に寄与するだけでなく、柔軟性を硬化物に付与することもでき、接着強度を増加させる効果もある。エポキシ樹脂組成物の粘度調整も混合量で任意に調整でき、塗布工程などの作業性を良好にする。これら高分子粒子の粒径は小さい方が好ましく、特に１μｍ以下であることが特に好ましい。粒径が１μｍ以上である場合、微細塗布接着が困難となり、更に硬化接着時における染み出しの防止効果が少なくなり、接着強度も低下する。

なお、高分子粒子の混合量としては、染み出し防止の点などからエポキシ樹脂１００重量部に対して４０重量部以下が好ましい。４０重量部を越えると粘度上昇でエポキシ樹脂組成物の塗布性が損なわれる。その上、耐インク性が劣化する傾向にある。なお、充填剤の混合に当たっては、均一分散するために三本ロール等で混練し、微細化して使用することが望ましい。なお、これら無機フィラーと高分子粒子は併用して用いることによって、より効果が出る。

また、無機充填剤を加えることが可能である。具体的には、酸化チタン、シリカを一種又は二種以上併用して使用されることが好ましい。また、これら無機充填剤の粒径は小さい方が好ましく、特に１μｍ以下、１次粒子が１００ｎｍ以下程度のものであることが特に好ましい。粒径が１μｍ以上である場合、微細塗布接着が困難となり、更に硬化接着時における染み出しの防止効果が少なくなる。

無機充填剤を混合する場合、エポキシ樹脂組成物の粘度調整が容易にでき、種々塗布粘度に対応することができる。さらに、無機充填剤添加は硬化物の耐インク性を向上させる。これら充填剤を添加する場合の添加量は、本発明のエポキシ樹脂組成物、特に充填剤そのものの種類により大きく変化するが、エポキシ樹脂１００重量部に対して、１００重量部以内が望ましい。更に硬化物の耐インク性の面からもこの範囲内が好ましい。ただし、１００重量部を越えると、粘度上昇でエポキシ樹脂組成物の塗布性が損なわれる。その上、接着性が劣化する傾向にある。なお、充填剤の混合に当たっては、均一分散するために三本ロール等で混練し、微細化して使用することが好ましい。

なお、無機充填剤を使用する際にシランカップリング剤及びチタンカップリング剤などを使用することが好ましい。

また、粘度調整のため、反応性希釈剤を添加することもできる。反応性希釈剤としては、低粘度なエポキシ反応性希釈剤であれば使用することができる。特に、反応性基が２官能以上であることが好ましく、例えば、ジグリシジルエーテル、ブタンジオールジグリシジルエーテル、ジグリシジルアニリン、ネオペンチルグリコールグリシジルエーテル、シクロヘキサンジメタノールジグリシジルエーテル、アルキレンジグリシジルエーテル、ポリグリコールジグリシジルエーテル、ポリプロピレングリコールジグリシジルエーテル、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテル、グリセリントリグリシジルエーテルなどが挙げられる。これらは単独で用いても、混合して用いても良い。

反応性希釈剤の量は、エポキシ樹脂（Ａ）、もしくはエポキシ樹脂（Ａ）とエポキシ樹脂（Ｃ）の合計、１００重量部に対して、１００重量部以下が好ましい。この重量が１００重量部を越えると、希釈効果はあるものの、最終硬化物である接着剤用エポキシ樹脂組成物そのものの物性が変化し、接着強度や、硬化性が低下したりする。

また、前記接着剤用エポキシ樹脂構成物を接着する部材に均一に塗布する方法としては、各部位、部材によって異なるが、一般に使用される均一塗布法であれば良く、例えば、スクリーン印刷法、スピンコート法、転写法、ディスペンサー方式、スプレー方式、フィルム転写方式等があるが、これらに限定されるものではない。これら方法にあわせた粘度調整を接着剤用エポキシ樹脂組成物は行うことができ、有効である。例えば、スプレー方式ではメチルエチルケトン等の有機溶媒を用いて希釈することで、部材に対して均一な塗布が可能になる。

さらに、接着剤用エポキシ樹脂組成物の塗布膜厚は各部材の接着及びヘッドの性能に影響を及ぼさない範囲であればよく、例えば静電型ヘッドのノズル板と流路部材の接着の場合、接着剤用エポキシ樹脂組成物の流れ出しが噴射特性に影響を与えるため、塗布膜厚を１μｍ程度にする必要がある。なお、液室上面に塗布する方法は転写法、またはスプレー法により膜厚を制御する。

転写法とは、ローラにドクターブレードで接着剤用エポキシ樹脂組成物を薄膜化し、転写パッドにより、ローラから接着剤用エポキシ樹脂組成物を転写し、更に転写パッドから液室上面に接着剤用エポキシ樹脂組成物を転写する方法である。

なお、本発明で用いる接着剤用エポキシ樹脂組成物は、サーマルアクチュエータ、圧電アクチュエータ、静電アクチュエータなどの各種のアクチュエータを滴吐出用駆動手段として用いる各種の液体吐出ヘッドに使用可能であり、液体吐出ヘッド製造における、各々部材の接着に利用できる。特に、インクに接する部材の接着において効果がある。

接着剤自体について、酢酸ビニル系樹脂、ロジン系樹脂を添加した酢酸ビニル系樹脂、メトキシ化ポリアミド樹脂、塩化ビニル共重合体、塩素化ポリプロピレン樹脂などを用いた場合、印刷インキに軟化、膨潤、溶解するため、接着剤の量が少ないと耐刷性が低下し、接着剤の量が多いと鮮明な印刷物が得られない。また、ジイソシアネートとポリオエーテルジオールとの反応プレポリマーであるウレタン接着剤を用いる場合は、耐インキ性が良いので少量で耐刷強度は大きいものの、接着剤溶液のポットライフの管理、湿度の調整が困難であり、硬化ムラを生じ易い。

以下、具体的な実施例について説明する。
［ヘッドの製造方法及び初期充填成功率］
（実施例１）アクリル樹脂接着剤
（１）アクリル樹脂接着剤（スリーボンド社製３０Ｙ−２９６Ｇ）をＮ−メチル−２−ピロリドンに溶解して固形分濃度１５％とした接着剤を、液室幅をインクジェットプリンタＧＸ３０００（（株）ＲＩＣＯＨ製：以下「使用プリンタ」という。）に搭載されているインクジェットヘッドの半分とした１５０ｄｐｉ相当で液室６が配列された流路板に転写塗布装置にて塗布を行った。
（２）（１）において接着剤が塗布された流路板に対して、振動板とノズル板のアライメントを合わせて重ねた上で、ＵＶ接着剤にて仮固定を行った。
（３）（２）において仮固定された振動板、流路板、ノズル板を超音波振動をかけた３０％グリセリン水溶液内にすばやく浸漬した後、１ｈ放置する。
（４）３０％グリセリン水溶液から（３）の部材を引き上げ、真空チャンバーに入れ、減圧して流路内から溶媒を引き出す。
（５）１００℃−３０分間の乾燥を行った後、１５０℃−１０ｈの加熱を行い、接着剤を硬化する。
（６）（５）に対してその他部材を接着固定して試作ヘッドＡ１を構成する。
（７）（６）の試作ヘッドＡ１に対して、使用プリンタに使用される純正インクを充填し、初期充填の成功及び不成功を記録する。前記試作ヘッドＡ１は２０個製作し、初期充填の成功率を算出した。

（実施例２）ウレタン樹脂接着剤
接着剤にウレタン樹脂接着剤（武田薬品工業社製 タケネートＡ２６０）を使用した以外は実施例1と同様にして、製作した２０個の試作ヘッドＢ１について同様にしてインクを充填し、初期充填の成功率を算出した。

（実施例３）エポキシ樹脂接着剤
接着剤に下記処方によるエポキシ樹脂接着剤を使用した以外は実施例1と同様にして、製作した２０個の試作ヘッドＣ１について同様にしてインクを充填し、初期充填の成功率を算出した。
アミン型エポキシ樹脂（JER社製、ＪＥＲ６３０） ２５重量部
ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂（ＪＥＲ社製、ＪＥＲ１００９） ７５重量部
潜在性硬化剤（四国化成社製、２−フェニルーイミダゾール） ４重量部
シランカップリング剤（東レ・ダウコーニング社製、Ｚ６０４０） １重量部
ＳｉＯ_２フィラー（日本アエロジル社製、ＲＹ２００） ５重量部

（実施例４）シリコーン樹脂接着剤
接着剤にシリコーン樹脂接着剤（東レ・ダウコーニング社製、ダウコーニング３４０）を使用した以外は実施例1と同様にして、製作した２０個の試作ヘッドＤ１について同様にしてインクを充填し、初期充填の成功率を算出した。

（比較例１）アクリル樹脂接着剤
（１）アクリル樹脂接着剤（スリーボンド社製、３０Ｙ−２９６Ｇ）をＮＭＰに溶解して固形分濃度５０％とした接着剤を、液室幅を使用プリンタに搭載されているインクジェットヘッドの半分とした１５０ｄｐｉ相当で液室６が配列された流路板に転写塗布装置にて塗布を行った。
（２）（１）において接着剤が塗布された流路板に対して、振動板とノズル板を、アライメントを合わせて重ねた上で、ＵＶ接着剤にて仮固定を行った
（３）１５０℃−５ｈの加熱を行い、接着剤を硬化する。
（４）（３）に対してその他部材を接着固定した試作ヘッドＡ２を構成する。
（５）（４）の試作ヘッドＡ２に対して、使用プリンタの純正インクを充填し、初期充填の成功及び不成功を記録する。前記試作ヘッドＡ２は２０個製作し、初期充填の成功率を算出した。

(比較例２)ウレタン樹脂接着剤
接着剤に一液型ウレタン接着剤（武田薬品工業社製タケネートＡ２６０）を使用した以外は比較例１と同様にして、製作した２０個の試作ヘッドＢ２に対して同様にしてインクを充填し、初期充填の成功率を算出した。

（比較例３）エポキシ樹脂接着剤
接着剤に下記処方によるエポキシ樹脂接着剤を使用した以外は比較例１と同様にして、製作した２０個の試作ヘッドＣ２に対して同様にしてインクを充填し、初期充填の成功率を算出した。
アミン型エポキシ樹脂（ＪＥＲ社製、ＪＥＲ６３０） ２５重量部
ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂（ＪＥＲ社製、ＪＥＲ１００９） ７５重量部
潜在性硬化剤（四国化成社製、２−フェニルーイミダゾール） ４重量部
シランカップリング剤（東レ・ダウコーニング社製、Ｚ６０４０） １重量部
ＳｉＯ２フィラー（日本アエロジル社製、ＲＹ２００） ５重量部

（比較例４）シリコーン樹脂接着剤
接着剤にシリコーン樹脂接着剤（ダウコ−ニング３４０）を使用した以外は比較例１と同様にして、製作した２０個の試作ヘッドＤ２に対して同様にしてインクを充填し、初期充填の成功率を算出した。

実施例１〜４及び比較例１〜４の各初期充填成功率を、表１に示している。

この表１の結果から、アクリル樹脂、ウレタン樹脂、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂において、溶媒置換法で液室に食み出した接着剤を多孔質にした状態で硬化させたヘッドでは、同接着剤を界面が平坦な状態で加熱硬化させたヘッドと比較して初期充填率が向上した。シリコーン樹脂接着剤は初期の初インク性が高いため、初期充填成功率は比較的アクリル樹脂接着剤、ウレタン樹脂接着剤、エポキシ接着剤と比較して小さかった。

［接液後吐出成功率］
（実施例５）アクリル樹脂接着剤
実施例1と同様に試作ヘッドＡ１に前記インクを充填した後、５０℃で６ヶ月保持したのち、流路内部を洗浄し、再度前記インクを充填して吐出を行った。これを２０個のヘッドＡ１に対して行い、その成功率を算出した。

（実施例６）ウレタン樹脂接着剤
実施例２と同様に試作ヘッドＢ１に前記インクを充填した後、５０℃で６ヶ月保持したのち、流路内部を洗浄し、再度前記インクを充填して吐出を行った。これを２０個のヘッドＡ１に対して行い、その成功率を算出した。

（実施例７）エポキシ樹脂接着剤
実施例３と同様に試作ヘッドＣ１に前記インクを充填した後、５０℃で６ヶ月保持したのち、流路内部を洗浄し、再度前記インクを充填して吐出を行った。これを２０個のヘッドＡ１に対して行い、その成功率を算出した。

（実施例８）シリコーン樹脂接着剤
実施例４と同様に試作ヘッドＤ１に前記インクを充填した後、５０℃で６ヶ月保持したのち、流路内部を洗浄し、再度前記インクを充填して吐出を行った。これを２０個のヘッドＡ１に対して行い、その成功率を算出した。

実施例１ないし４についても初期充填後吐出を行い、同様にして成功率を算出した。実施例１ないし８の吐出成功率の結果を表２に示している。

この表２からアクリル樹脂、ウレタン樹脂、シリコーン樹脂において、溶媒置換法で液室に食み出した接着剤を多孔質にした状態で硬化させたヘッドでは、インク接液を行うと接着剤が溶出するなどして不吐出ノズルが発生する確率が増えた。相対的に、エポキシ樹脂接着剤は耐薬品性が強いため接液後も吐出安定性が変化せず、他のアクリル樹脂、ウレタン樹脂、シリコーン樹脂よりも充填成功率が高かった。

（比較例５）
実施例３に対して、接着剤の固形分濃度５０％とした以外は実施例1と同様にして塗布を行って製作した試作ヘッド２０個について前記インクを充填し、初期充填の成功率を算出した。

（比較例６）
実施例３に対して、置換液をグリセリン水溶液６０％とした以外は実施例1と同様にして塗布を行って製作した試作ヘッド２０個について前記インクを充填し、初期充填の成功率を算出した。

（比較例７）
比較例３のヘッドＣ２に対して、メチルエチルケトンを３０分充填した後、グリセリン水溶液３０％でメチルエチルケトンを置換した２０個のヘッドＣ３について前記インクを充填し、初期充填の成功率を算出した。

（比較例８）
（１）接着剤に下記処方によるエポキシ樹脂接着剤を使用してＮＭＰに溶解して固形分濃度５０％とした接着剤を、液室幅を使用プリンタ搭載ヘッドの半分とした１５０ｄｐｉ相当で液室を配列した流路板に転写塗布装置にて振動板との接着面に塗布を行った。
ミン型エポキシ樹脂（ＪＥＲ社製、ＪＥＲ６３０） ２５重量部
ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂（ＪＥＲ社製、ＪＥＲ１００９） ７５重量部
潜在性硬化剤（四国化成社製、２−フェニルーイミダゾール） ４重量部
シランカップリング剤（東レ・ダウコーニング社製、Ｚ６０４０） １重量部
ＳｉＯ２フィラー（日本アエロジル社製、ＲＹ２００） ５重量部
（２）（１）において接着剤が塗布された流路板に対して、振動板をアライメントを合わせて重ねた上で、ＵＶ接着剤にて仮固定を行った。
（３）１５０℃−５ｈの加熱を行い、接着剤を硬化する。
（４）接着固定された流路板と振動板をメチルエチルケトン１００％に３０分浸漬後、３０％グリセリン水溶液に手早く移し入れ、メチルエチルケトンを洗浄する。
（５）（１）と同様にしてノズル板との接着面に同接着剤を塗布する。
（６）１５０℃−５ｈの加熱を行い、接着剤を硬化する。
（７）（６）に対してその他部材を接着固定した試作ヘッドＣ４を構成する。
（８）（７）の試作ヘッドＣ４に対して、前記インクを充填し、初期充填の成功/不成功を記録する。前記試作ヘッドＣ４は２０個作成し、初期充填の成功率を算出した。

実施例１及び比較例５ないし８についての吐出成功率の結果を表３に示している。

この表３の結果から、工法において、接着剤の固形分濃度をより高く、または置換液のグリセリン濃度をより高くすると、置換される溶液の粘度が高いために置換がゆっくりと進み、出来た孔は小さく、少なく、浅くに分散し、孔が連ならないものとなった。このため、比較例５、６で親インク性は置換液への浸漬を行わない場合(比較例１）とさほど変わらず、初期重点の成功率は同程度となった。

また、比較例７のように後から親水化処理を行ったところ、溶出した接着剤が原因でノズル孔の目詰まりがおこり不吐出となるノズルができた。流路の親水化はされたものの、比較例３よりも初期充填の成功率は低下した。また、比較例８のように後から再析出による親水化処理を行ったところ、若干親水化処理を行わない比較例３よりも初期充填率は向上が見られた。ただし、ノズル孔の目詰まりを避けるため、接着剤の塗布を振動板の接着とノズル板の接着とで二回に分けて行わなければならず、工程の工数が多くなり、また、加熱を二度行っているため歪が大きくなり、歩留りが悪くなる面があった。

次に、ノズル板３の多孔質化を行った例について説明する。
（実施例９）
（１）ポリアクリロニトリルをＮ−メチル−２−ピロリドンに溶解して固形分濃度15％とした接着剤を、液室幅を使用プリンタ搭載ヘッドのノズル板に転写塗布装置にて塗布を行った。
（２）（１）においてポリアクリロニトリルが塗布されたノズル板に対して、３０％グリセリン水溶液内にすばやく浸漬した後、１ｈ放置する。
（３）ノズル板を３０％グリセリン水溶液から取り出して乾燥を行う。
（４）振動板とノズル板と液室幅を使用プリンタ搭載ヘッドの半分とした１５０ｄｐｉ相当の液室配列の流路板を、アライメントを合わせて重ねた上で、ＵＶ接着剤にて仮固定を行った。
（５）１５０℃−５ｈの加熱を行い、接着剤を硬化する。
（６）（５）に対してその他部材を接着固定した試作ヘッドJを構成する。
（７）（６）の試作ヘッドＪに対して、前記インクを充填し、初期充填の成功及び不成功を記録する。前記試作ヘッドJは２０個製作し、初期充填の成功率を算出した。

ノズル板を多孔質化した例について図９に示している。ノズル板３は液室側表面に多孔質の樹脂層３５が形成されて、接着剤３０で流路板１と接合されている。

次に、振動板を多孔質化して例について説明する。
（実施例１０）
（１）ポリアクリロニトリルをＮ−メチル−２−ピロリドンに溶解して固形分濃度１５％とした接着剤を、液室幅を使用プリンタ搭載ヘッドの振動板に転写塗布装置にて塗布を行った。
（２）（１）においてポリアクリロニトリルが塗布された振動板に対して、３０％グリセリン水溶液内にすばやく浸漬した後、１ｈ放置する。
（３）振動板を３０％グリセリン水溶液から取り出して乾燥を行う。
（４）振動板とノズル板と液室幅を使用プリンタ搭載ヘッドの半分とした１５０ｄｐｉ相当で液室を配列した流路板を、アライメントを合わせて重ねた上で、ＵＶ接着剤にて仮固定を行った
（５）１５０℃−５ｈの加熱を行い、接着剤を硬化する。
（６）（５）に対してその他部材を接着固定した試作ヘッドＫを構成する。
（７）（６）の試作ヘッドＫに対して、前記インクを充填し、初期充填の成功及び不成功を記録する。前記試作ヘッドＫは２０個製作し、初期充填の成功率を算出した。

振動板部材を多孔質化した例について図１０に示している。振動板部材２は液室側表面に多孔質の樹脂層３５が形成されて、接着剤３０で流路板１と接合されている。

実施例９、１０の初期充填成功率を比較例１とともに表４に示している。

この表４の結果から、ノズル或いは振動板の接液面の多孔質化を行ったところ、初期充填性が向上する。

以上説明したように、液室にはみ出た接着剤が孔が連なった多孔質構造であるため、接着剤表面は孔が持つ毛管力により親水性を示し、更に孔が連通しているため孔内の空気が逃げやすく高い浸水性を示すことができる。これにより液室のインク充填が妨げられず、初期充填性の高い液体吐出ヘッドを得られる。

また、孔が部材内部で互いに連通している構造は、表面に孔が露出していない孔でも連通している構造とする。孔が直近に無くても孔同士が連通する構成となり、表面に露出した孔が少数でも連通した構成とできる。したがって、連通する通路がより多岐に形成され、より孔のインクの充填性が高くなり、インク充填性がより高くなる。

また、インクに接触する表面より深部にある孔ほど孔の径が小さい構造とすることで、毛管力は径が小さいほど力は強くなることから、インクを孔に引き込む力が強く、親水性を一層強くすることができる。

また、ノズル板の液室面を多孔質化することで、初期充填性を向上できるとともに、ノズル板の液室面は表面積が大きくより初期充填性の向上効果が高い。また、アンカー効果により、部材間の接着強度も向上する。

また、振動板の液室面を多孔質化することで、初期充填性を向上できるとともに、振動板の液室面は表面積が大きくより初期充填性の向上効果が高い。また、アンカー効果により、部材間の接着強度も向上する。

また、接着剤の液室内にはみ出た部分を多孔質化することで、初期充填性を向上できる。樹脂である接着剤は撥水性が高いため、親水化処理を行うことで、効果が高く、充填性はより高くなる。

また、接合する部材の接合面、例えばノズル板と流路板、振動板と流路板との間の接合面において、接着剤層は多孔質構造ではない構造とすることで、接合部材の接合面で挟まれた部位では空孔が無い構造とし、剥離強度を確保することができる。

また、液室内に食み出した接着剤の多孔質化を、溶媒に溶解した樹脂に対して、前記溶媒よりも樹脂の溶解度の低い溶媒で溶媒を液置換し樹脂を析出させる方法により行うことで、エッチングによる削りだしのように微細なゴミを出すことも無く低コストで多孔質構造とすることができる。

また、前記溶媒に溶解した樹脂は液室でインクに触れる部材のインクに触れる部分の材料の全量である構成とすることで、樹脂層を形成しつつ親水性を示す膜を、厚みをもって形成することができる。これにより、孔を多数、深部にまで形成することができ、高い親水性を得ることができ、充填性をより向上することができる。

また、前記樹脂を溶解した溶媒は不揮発性、あるいは難揮発性溶媒とする。溶媒に溶解した樹脂の塗布から溶解度の低い溶媒への浸漬を行うまでの工程において、樹脂を溶解した溶媒が揮発しない、あるいは、揮発し難いことで工程上の時間的余裕を確保することができる。

次に、本発明に係る液体吐出ヘッドを備える本発明に係る画像形成装置の一例について図１１を参照して説明する。なお、図１１は同装置の機構部全体の概略構成図である。
次に、本発明に係る液体吐出ヘッドを含む本発明に係る画像形成装置の一例について図１１を参照して説明する。なお、図１１は同装置の機構部全体の概略構成図である。
この画像形成装置は、装置本体２０１の内部に画像形成部２０２等を有し、装置本体２０１の下方側に多数枚の記録媒体（用紙）２０３を積載可能な給紙トレイ２０４を備え、この給紙トレイ２０４から給紙される用紙２０３を取り込み、搬送機構２０５によって用紙２０３を搬送しながら画像形成部２０２によって所要の画像を記録した後、装置本体２０１の側方に装着された排紙トレイ２０６に用紙２０３を排紙する。

また、装置本体２０１に対して着脱可能な両面ユニット２０７を備え、両面印刷を行うときには、一面（表面）印刷終了後、搬送機構２０５によって用紙２０３を逆方向に搬送しながら両面ユニット２０７内に取り込み、反転させて他面（裏面）を印刷可能面として再度搬送機構２０５に送り込み、他面（裏面）印刷終了後排紙トレイ２０６に用紙２０３を排紙する。

ここで、画像形成部２０２は、例えばブラック（Ｋ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）の各色の液滴を吐出する、フルライン型の４個の本発明に係る液体吐出ヘッドで構成した記録ヘッド２１１ｋ、２１１ｃ、２１１ｍ、２１１ｙ（色を区別しないときには「記録ヘッド２１１」という。）を備え、各記録ヘッド２１１は液滴を吐出するノズルを形成したノズル面を下方に向けてヘッドホルダ２１３に装着している。

また、各記録ヘッド２１１に対応してヘッドの性能を維持回復するための維持回復機構２１２ｋ、２１２ｃ、２１２ｍ、２１２ｙ（色を区別しないときには「維持回復機構２１２」という。）を備え、パージ処理、ワイピング処理などのヘッドの性能維持動作時には、記録ヘッド２１１と維持回復機構２１２とを相対的に移動させて、記録ヘッド２１１のノズル面に維持回復機構２１２を構成するキャッピング部材などを対向させる。

なお、ここでは、記録ヘッド２１１は、用紙搬送方向上流側から、ブラック、シアン、マゼンタ、イエローの順に各色の液滴を吐出する配置としているが、配置及び色数はこれに限るものではない。また、ライン型ヘッドとしては、各色の液滴を吐出する複数のノズル列を所定間隔で設けた１又は複数のヘッドを用いることもできるし、ヘッドとこのヘッドに記録液を供給する記録液カートリッジを一体とすることも別体とすることもできる。さらに、２つのヘッドを段違いで直線状に並べてライン型ヘッドとすることもできる。

給紙トレイ２０４の用紙２０３は、給紙コロ（半月コロ）２２１と図示しない分離パッドによって１枚ずつ分離され装置本体２０１内に給紙され、搬送ガイド部材２２３のガイド面２２３ａに沿ってレジストローラ２２５と搬送ベルト２３３との間に送り込まれ、所定のタイミングでガイド部材２２６を介して搬送機構２０５の搬送ベルト２３３に送り込まれる。

また、搬送ガイド部材２２３には両面ユニット２０７から送り出される用紙２０３を案内するガイド面２２３ｂも形成されている。更に、両面印刷時に搬送機構２０５から戻される用紙２０３を両面ユニット２０７に案内するガイド部材２２７も配置している。

搬送機構２０５は、駆動ローラである搬送ローラ２３１と従動ローラ２３２との間に掛け渡した無端状の搬送ベルト２３３と、この搬送ベルト２３３を帯電させるための帯電ローラ２３４と、画像形成部２０２に対向する部分で搬送ベルト２３３の平面性を維持するプラテン部材２３５と、搬送ベルト２３３から送り出す用紙２０３を搬送ローラ２３１側に押し付ける押さえコロ２３６と、その他図示しないが、搬送ベルト２３３に付着した記録液（インク）を除去するためのクリーニング手段である多孔質体などからなるクリーニングローラなどを有している。

この搬送機構２０５の下流側には、画像が記録された用紙２０３を排紙トレイ２０６に送り出すための排紙ローラ２３８及び拍車２３９を備えている。

このように構成した画像形成装置において、搬送ベルト２３３は矢示方向に周回移動し、高電位の印加電圧が印加される帯電ローラ３３４と接触することで帯電される。この場合、帯電ローラ２３４の帯電電圧は所定の時間間隔で極性を切り替えることによって、搬送ベルト２３３を所定の帯電ピッチで帯電させる。

ここで、この高電位に帯電した搬送ベルト２３３上に用紙２０３が給送されると、用紙２０３内部が分極状態になり、搬送ベルト２３３上の電荷と逆極性の電荷が用紙２０３の搬送ベルト２３３と接触している面に誘電され、搬送ベルト２３３上の電荷と搬送される用紙２０３上に誘電された電荷同士が互いに静電的に引っ張り合い、用紙２０３は搬送ベルト２３３に静電的に吸着される。このようにして、搬送ベルト２３３に強力に吸着した用紙２０３は反りや凹凸が校正され、高度に平らな面が形成される。

そして、搬送ベルト２３３を周回させて用紙２０３を移動させ、記録ヘッド２１１から液滴を吐出することで、用紙２０３上に所要の画像が形成され、画像が記録された用紙２０３は排紙ローラ２３８によって排紙トレイ２０６に排紙される。

このように、この画像形成装置においては本発明に係る液体吐出ヘッドからなる記録ヘッドを備えているので初期充填性が向上し、安定した滴吐出特性が得られ、安定して高画質画像を形成することができる。

なお、上記実施形態では本発明をプリンタ構成の画像形成装置に適用した例で説明したが、これに限るものではなく、例えば、プリンタ／ファックス／コピア複合機などの画像形成装置に適用することができる。また、狭義のインク以外の液体や定着処理液などを用いる画像形成装置にも適用することができる。

１ 流路板
２ 振動板部材
３ ノズル板
４ ノズル
６ 個別液室
１０ 共通液室
１２ 圧電素子部材
３０ 接着剤
３１ 接着剤の食み出し部分
３２ 孔
２１１ｋ、２１１ｃ、２１１ｍ、２１１ｙ 記録ヘッド（液体吐出ヘッド）

Claims (8)

1. 液体の滴を吐出するノズルが連通する液室を有する液体吐出ヘッドにおいて、
   前記液室の壁面を形成する部材同士を接合する接着剤の前記液室内に食み出した部分は、少なくとも表面に露出した複数の孔を有する多孔質構造であって、前記孔が内部で互いに連通している
   ことを特徴とする液体吐出ヘッド。
2. 液体の滴を吐出するノズルが連通する液室を有する液体吐出ヘッドにおいて、
   前記液室の壁面を形成する部材の少なくとも一部の表面部分に樹脂層が形成され、前記樹脂層は少なくとも表面に露出した複数の孔を有する多孔質構造であって、前記孔が内部で互いに連通している
   ことを特徴とする液体吐出ヘッド。
3. 前記表面に露出していない孔も内部で連通していることを特徴とする請求項１又は２に記載の液体吐出ヘッド。
4. 前記複数の孔は、表面側の孔径よりも深部側の孔径が小さいことを特徴とする請求項３に記載の液体吐出ヘッド。
5. 液体の滴を吐出するノズルが連通する液室を有する液体吐出ヘッドの製造方法において、
   前記液室の壁面を形成する部材同士を溶媒に樹脂を溶解した接着剤で貼り合わせ、
   前記接着剤の硬化が完了する前に、前記接着剤の前記液室内に食み出した部分の前記溶媒を、前記溶媒よりも前記樹脂の溶解度が低い他の溶媒で液置換することで前記樹脂を析出する
   ことを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
6. 液体の滴を吐出するノズルが連通する液室を有する液体吐出ヘッドにおいて、
   前記液室の壁面を形成する部材の少なくとも一部の表面部分に溶媒に樹脂を溶解した層を形成し、
   前記層の硬化が完了する前に、前記溶媒を、前記溶媒よりも前記樹脂の溶解度が低い他の溶媒で液置換することで前記樹脂を析出する
   ことを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
7. 前記樹脂を溶解した溶媒は不揮発性又は難揮発性溶媒であることを特徴とする請求項５又は６に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
8. 請求項１ないし４のいずれかに記載の液体吐出ヘッドを備えていることを特徴とする画像形成装置。

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