JP5201511B2

JP5201511B2 - ウエハの保持テーブル

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Publication number: JP5201511B2
Application number: JP2009008468A
Authority: JP
Inventors: 隆樹谷川; 和哉原田
Original assignee: Takatori Corp
Current assignee: Takatori Corp
Priority date: 2009-01-19
Filing date: 2009-01-19
Publication date: 2013-06-05
Anticipated expiration: 2029-01-19
Also published as: JP2010165962A

Description

本発明は、ウエハの保持テーブルに関する。さらに詳しくは、裏面の外周部をリブ状に残して内周部が研削されたウエハを保持するウエハの保持テーブルに関する。

従来より、半導体の製造工程においては、ウエハの回路パターンに保護テープを貼り付けた後、前記ウエハの裏面を研削して薄厚化し、その後、保護テープに貼り付けられた状態のウエハをダイシングテープを介してダイシングフレームにマウントし、前記保護テープを剥離テープ等で剥離した後、ダイシングしてチップ化することが行われている。

上記ウエハの裏面研削は、携帯機器の小型化の要請からウエハを薄厚化するために、ウエハの表面に形成された回路パターンに保護テープを貼り付けた後、ウエハ裏面を研削するか、エッチング処理等を行うことにより行なわれており、最近では、ウエハの厚みが５０μｍ以下のものも取り扱われるようになってきている。

上記のような従来のウエハの製造工程においては、通常、ウエハは保護テープが貼り付けられた状態で取り扱われ、薄厚化されたウエハを単体で取り扱うことはなかった。

ところで、最近ではダイオード、トランジスタ等の単機能半導体（ディスクリート）用のウエハの製造工程において、ウエハ裏面に電極を形成するため、ウエハ裏面に金属蒸着等で金属薄膜を形成する工程が行われている。このようにウエハ裏面に金属薄膜を形成するには、スパッタリングや蒸着等の高温での処理が必要であり、表面側に貼り付けられた保護テープは処理温度に耐えることができないため剥離する必要がある。また、低温で処理を行う場合であっても、保護テープに使用されている粘着剤等の不純物の混入の面から保護テープが蒸着等の処理の前に剥離されている。このような単機能半導体用のウエハはその後、ダイシングテープを介してダイシングフレームにマウントされ、ダイシング工程を経てチップ化されている。

しかしながら、上記のようなウエハの製造工程においては、薄厚化されたウエハから保護テープが剥離された状態でウエハを取り扱う必要があり、ウエハが反ったり破損したりする問題があった。

そこで、ウエハの反りや破損を防止し、取扱いを容易にすべく、ウエハ裏面にリブ状の外周部を残し、内周部分が研削された凹状のウエハも出てきている（例えば特許文献１）。

本方法によればウエハのリブ状の外周部の厚み（例えば７２５μｍ）は内周部の厚み（例えば５０μｍ）に比べ厚く構成されており、ウエハの反りや破損を防止できるとともに取扱いが容易となる。

上記のウエハの処理工程の一例について図９に基づいて説明すると、まず、図９（ａ）のように表面に回路パターンが形成されたウエハＷが準備され、続いて図９（ｂ）のようにウエハＷの回路パターンに保護テープＴが貼り付けられる。

続いて図９（ｃ）のように表面に保護テープＴが貼り付けられたウエハＷの裏面外周にリブ状外周部７０（例えば厚み７２５μｍ）を残して内周部分を所定の厚み（例えば５０μｍ）に研削し、リブ状外周部７０が形成された凹状のウエハＷが形成される。

続いて図９（ｄ）のように保護テープＴが剥離テープ等で剥離され、図９（ｅ）のようにウエハＷ裏面の内周研削面７３に蒸着又はスパッタリング等で金属膜７１が形成され、続いて図９（ｆ）のように金属膜７１が形成されたウエハＷは再度、回路パターンに保護テープＴが貼り付けられ、図９（ｇ）のようにウエハＷは、リブ状外周部７０を研削して裏面を平坦化するか、または、リブ状外周部７０部分を保護テープＴとともに切断して平坦なウエハＷが形成される。

次にリブ状外周部７０が除去されたウエハＷは、図９（ｈ）のようにダイシングテープＤＴを介してダイシングフレームＤＦにマウントされ、表面の保護テープＴが剥離されてダイシング工程に供される。なお、上記のリブ状外周部７０を除去せずに凹状面にダイシングテープＤＴを貼り付けてダイシングフレームＤＦにマウントする場合もある。

なお、上記のようにウエハの裏面にリブ状外周部を残し、内周部が研削された凹状ウエハの保持テーブルとして、その表面に保護テープが貼り付けられた凹状ウエハのリブ状外周部を係止部材で当接支持するとともに、そのウエハ内周部の凹状部分の空間の内圧を高めてウエハを保持することが開示されている（例えば特許文献２）。

特開２００７−１９４６１号公報（図５、図６）特開２００８−３４７１０

ところで、特許文献１のようにウエハの裏面にリブ状の外周部を設け、その内周部が研削されたウエハは、ウエハ裏面に金属膜を形成する際に保護テープが一度剥離され、この後の処理工程で回路形成面を傷つけないために再度、ウエハ表面の回路パターンに保護テープが貼り付けられる。

しかし、上記特許文献１のようにウエハの裏面にリブ状の外周部を残してその内周部が研削されたウエハへの保護テープの貼り付けに特許文献２のような保持テーブルを用いてウエハに保護テープを貼り付けた場合、ウエハの内周研削部が薄厚化されているために、内周研削部の空間の内圧を高めすぎるとウエハの内周研削部分が盛り上がるようになって均一に保護テープを貼り付けることができない問題やウエハが破損する場合があった。

また、逆にウエハ内周研削部の空間の内圧が低いと、ウエハの内周研削部が撓んで保護テープを貼り付ける際に気泡が入ったり、しわが入ったりする問題があるため、内圧の微細な調整が必要となり、内圧の制御が困難になる問題があった。

また、上記空間を適正な内圧に保ち、ウエハに保護テープを貼り付けても、ウエハ内周部は薄厚化されており、貼り付けローラによる局所的な押圧力で、ウエハ表面が部分的に撓んで、気泡やしわが発生する問題があった。このように、貼り付けローラによる局所的な押圧力に対し、上記内圧を局所的に高めるにはウエハ内周研削部の空間を複数の空間に区画化して各区画部を段階的に圧力制御しなければならず、制御が複雑化する問題がある。

本発明は、上記のように裏面にリブ状外周部を残し、その内周を研削した凹状ウエハを保持するウエハの保持テーブルを提供するとともに、前記凹状ウエハに保護テープを気泡やしわ無く貼り付けることができる保持テーブルを提供することを目的とする。

そこで、請求項１の発明は、裏面の外周部をリブ状に残して内周部が研削されたリブ状外周部と内周研削面とを有するウエハの表面側を上にしてテーブル本体上に載置保持するウエハの保持テーブルであって、前記保持テーブルを、前記テーブル本体上面の内側に設けられ、前記ウエハのリブ状外周部を保持する保持手段と、前記保持手段の内側に前記ウエハの内周研削面と対向するように形成された円形状の凹状部と、前記テーブル本体に設けられ、前記凹状部の底面下方で該凹状部と連通するように複数の通気孔が穿設された穿孔部と、気体の導入口及び排気口を有し、前記穿孔部の下方に前記通気孔と連通するように設けられた中空室と、前記凹状部内に嵌入されるとともに、この嵌入状態で前記凹状部内を浮上可能に設けられた支持板とで形成し、前記ウエハを載置保持する際に、前記保持手段でウエハのリブ状外周部を保持するとともに、前記導入口から中空室内への気体の導入によって前記通気孔から支持板面に向けて空気を噴出せしめるとともにその一部を排気口から排出することにより、該支持板を凹状部内で浮上させてウエハの内周研削面に接触するようにした構成を採用したウエハの保持テーブルである。

また、請求項２の発明は、請求項１記載のウエハの保持テーブルにおいて、前記保持テーブルに保持されたウエハ上に該ウエハよりも広幅の接着テープを引き出す接着テープ供給手段と、前記接着テープをウエハに押圧して貼り付ける貼り付けローラと、前記接着テープをウエハの外周に沿って切断する切断手段とを設け、前記ウエハに貼り付けローラで接着テープを押圧して貼り付けるとともにウエハの外周に沿って前記接着テープを切断するようにした構成を採用したウエハの保持テーブルである。

本発明のウエハの保持テーブルによれば、外周部をリブ状に残し、その内周部が研削された凹状ウエハのリブ状外周部を保持するとともに気体の噴出により浮上する支持板が凹状ウエハの内周研削面に接触してウエハの内周研削面を支持することができるので、ウエハの内周研削部を撓ませることなく平坦に保持することができる。

また、気体の噴出により支持板を浮上させてウエハの内周研削面に接触するようにしたので、ウエハの内周研削部分の研削厚みが変化しても、厚み変化に追従することができ、ウエハの内周研削量の変化に柔軟に対応できる。

また、本発明のウエハの保持テーブルを保護テープ等の接着テープの貼り付け装置に適用すれば、上記凹状ウエハの内周研削部分を撓ませずにウエハを平坦に保持できるので、しわや気泡を発生させること無く接着テープをウエハ表面に貼り付けることができる。

また、本発明の保持テーブルに用いる支持板の表面にフッ素ゴム等のゴムシートを設ければ、上記凹状ウエハの内周研削面に上記支持板が接触してもウエハを傷付けることなく、また、ウエハ裏面に形成された金属膜等に悪影響を及ぼすこともない。

また、本発明の保持テーブルの穿孔部下方に中空室が設けられるとともに、前記中空室に気体導入口と気体排出口が設けられているので、中空室内に導入された気体が複数の通気孔から均一に噴出して支持板が平坦に浮上することでウエハ内周研削面と該支持板が接触し、ウエハを平坦に保持できる。

また、気体導入口から中空室に導入した気体の一部を気体排出口から排出するようにしているので、通気孔から噴出する気体の圧力が高まり過ぎてウエハの内周研削部を破損することがない。

本発明のウエハの保持テーブルの平面図である。本発明のＡ−Ａ方向矢視断面図である。本発明のウエハの保持テーブルに使用する支持板の表面側から見た斜視図である。（ａ）及び（ｂ）は本発明のウエハの保持テーブルの動作の説明図である。本発明のウエハの保持テーブルを適用した保護テープ貼り付け装置の縦断正面図である。（ａ）及び（ｂ）は保護テープ貼り付け装置の保護テープ貼り付け動作の説明図である。（ｃ）及び（ｄ）は保護テープ貼り付け装置の保護テープ貼り付け動作の説明図である。保護テープ貼り付け装置の保護テープ貼り付け動作を説明する概略平面図である。（ａ）乃至（ｈ）はウエハの製造工程の一例を表す説明図である。ウエハの表面側から見た斜視図である。ウエハの裏面側から見た斜視図である。保護テープが貼り付けられたウエハを表面側から見た斜視図である。

以下、この発明のウエハの保持テーブルの実施形態を図１乃至図３に基づいて説明する。

図１は、ウエハの保持テーブルの平面図、図２は図１のＡ−Ａ方向の縦断正面図、図３は、ウエハの保持テーブルに用いる支持板の表面側から見た斜視図である。なお、理解が容易なように図１乃至図１２におけるウエハＷの厚み（内周研削部の厚みも含む）、リブ状外周部７０の幅、支持板１２の厚みは誇張して描いてある。

図１及び図２のようにウエハＷの保持テーブル１は、矩形状のテーブル本体２と、テーブル本体２の内側に設けられたカッター溝３と、ウエハＷのリブ状外周部７０を吸着保持する保持手段としての吸着溝４と、前記吸着溝４の内側にウエハＷの内周研削面７３と対向するように形成された凹状部６と、前記凹状部６の底面下方でその凹状部６と連通するように複数の通気孔８が設けられた穿孔部７と、その穿孔部７の下方に前記通気孔８と連通するように設けられた中空室９と、前記凹状部６に嵌入されるとともに、この嵌入状態で凹状部６内で浮上可能に設けられた支持板１２とから構成されている。

前記カッター溝３は、矩形状のテーブル本体２表面の内側で円周方向にウエハＷの外径よりもやや大径に設けられ、後述する保護テープ貼り付け装置３０でウエハＷにウエハＷの外径よりも広幅の保護テープＴを貼り付けた後、そのウエハＷの外形に沿って保護テープＴを切り抜く際のカッター６３の逃げ溝として作用する。

前記保持手段としての吸着溝４は、カッター溝３の内側にウエハＷ裏面のリブ状外周部７０と対向するように円周方向にウエハＷの厚み分下げられた位置に設けられ、前記吸着溝４の底面の１箇所に吸引孔５が穿設されている。また、その吸引孔５は、バルブ１５を介して図示しない適宜の真空ポンプに接続されており、前記真空ポンプを作用させることで吸着溝４に負圧を働かせてウエハＷのリブ状外周部７０を吸着保持するようになっている。

前記保持テーブル１の凹状部６は、テーブル本体２の表面から掘り下げるように前記吸着溝４の内側にウエハＷの内周研削面７３と対向して形成されている。また、前記凹状部６は、ウエハＷの内周研削面７３とほぼ同径かやや小径に形成されており、前記支持板１２が嵌入可能になっている。

前記穿孔部７は、テーブル本体２の内側で前記凹状部６の底面下方に形成され、その凹状部６と連通するように複数の通気孔８が内周から外周に向けて全体に均等に穿設されている。このように、全体に均等となるように通気孔８を設けておけば、通気孔８から気体を均等に噴出させることができ、支持板を平坦に浮上させることができる。

前記中空室９は、穿孔部７の下方に通気孔８と連通するようにテーブル本体２内部に空間として形成されている。前記中空室９は、その空間の下方が蓋１８により、密閉され、前記蓋１８の中央に気体導入口１０が設けられることでバルブ１６を介して図示しない加圧ポンプによりその内部に気体を導入することが可能となっている。

なお、導入する気体は、通常、埃等異物が混入しないようにフィルタを介した空気を導入すれば良く、金属膜７１への酸化、腐食等の防止として窒素、アルゴン等の不活性なガスを用いることもできる。

また、前記支持板１８の気体導入口１０の側方には２つの気体排出口１１、１１が設けられ、バルブ１７を介して気体導入口１０から導入された気体の一部を排出することが可能になっている。

前記支持板１２は、図２及び図３のように前記凹状部６の内側に嵌入するように凹状部６の内径よりやや小径の円形に形成されており、アルミや樹脂等の比較的軽量で平坦な部材が基板１３として用いられる。

また、この基板１３の上面には、ウエハＷの内周研削面７３と接触する際にウエハＷを傷付けないようにゴムシート１４が接着等により設けられている。このゴムシート１４は、ウエハＷの内周研削面７３と接しても影響を及ぼさないようフッ素ゴムや表面がフッ素処理されたものを好ましく用いることができる。

また、前記ゴムシート１４がウエハＷの内周研削面７３に押し付けられて離れ難くなる場合は、ゴムシート１４の内周研削面７３と接する表面にサンドブラスト加工等を施して細かい凹凸を設けるようにすれば良い。

なお、本実施形態においては、基板１３上にゴムシート１４を設けたが、基板１３単体で使用しても良く、また、この場合、基板１３の内周研削面７３と接する面に加工を直接施すようにしても良い。

また、前記支持板１２は、図２の二点鎖線のように凹状部６の内側に嵌入され、凹状部６内を内壁に沿って水平状態で浮上するようになっている。この時、保持テーブル１の凹状部６内に嵌入載置された支持板１２の上面とウエハＷの内周研削面７３との隙間は０．１〜０．２ｍｍ程度あれば良いが、これに限定されず、導入する気体の圧力や支持板１２の重量等に応じて適宜調整すれば良い。

以上が本発明のウエハＷの保持テーブル１の構成であり、次に前記保持テーブル１の動作について図４（ａ）及び（ｂ）に基づいて説明する。

図４（ａ）のように適宜手段で位置決めされたウエハＷが回路パターンＰの形成面を上にして搬送手段１９によって保持テーブル１上に吸着搬送され、保持テーブル１の吸着溝４上にウエハＷのリブ状外周部７０が位置するようにしてウエハＷが載置される。この搬送は、ウエハＷの表面側外周の回路パターンＰが形成されていない部分を吸着パッド２０で吸着して搬送するようになっている。

なお、上記の搬送手段１９に代えて、非接触ハンドを用いることもでき、また、ウエハＷの回路パターンＰとウエハＷの外周との距離が少ない場合は、ウエハＷの表面側からの保持ではなく、ウエハＷ裏面のリブ状外周部７０を吸着等保持して搬送するようにすれば良く、この場合は、保持テーブル１側の吸着溝４付近に受け渡し用の突没可能な吸着ピン等を設けておけば良い。

次に図４（ｂ）のように吸引孔５と接続された図示しない真空ポンプを作用させるとともにバルブ１５を開いて吸着溝４に負圧を発生させることにより、吸着溝４上に載置されたウエハＷのリブ状外周部７０を吸着して保持テーブル１にウエハＷを保持する。

次にバルブ１６を開けて気体導入口１０から中空室９内に空気を導入するとともに、バルブ１７を開いて気体排出口１１から空気の一部を排気する。この排気量は例えば導入した空気の３割程度を排気すれば良いが、導入される空気の圧力によって適宜調整すれば良く、ウエハＷのリブ状外周部７０の吸着力が負けないように前記吸着力よりも空気の導入圧が小さくなるように設定しておく。

上記、空気の導入に伴い、中空室９内で導入された空気が均一化され、穿孔部７に穿設された通気孔８を通じて空気が凹状部６内に均一に噴出し、支持板１２が凹状部６内を凹状部６の内壁に沿って浮上し、ウエハＷの内周研削面７３と接する状態となる。

なお、上記のように導入された空気の一部が排気されることにより、ウエハＷの保持力が負けてウエハＷが外れたり、内圧が高まり過ぎてウエハＷの内周研削部が破損したりすることがない。また、上記のように空気の一部が排気されることにより通気孔８から空気が噴出するとともに、凹状部６内から通気孔８を通じて一部の空気が中空室９に戻り、支持板１２が適正な圧力で浮上する。

以上が、本発明のウエハの保持テーブルの構成と作用であり、次に本発明のウエハの保持テーブルを適用した接着テープ貼り付け装置について図５乃至図８に基づいて以下に説明する。

図５は本発明のウエハの保持テーブルを適用した保護テープ貼り付け装置３０の縦断正面図である。なお、本実施形態では接着テープとしてウエハＷの回路パターンＰを保護する保護テープＴを用いた例を説明する。

図５のように、機台３１上中央付近に保持テーブル１が設けられ、前記機台３１にベース板３２が立設され、そのベース板３２の右上方にテープ供給リール３３と保護テープＴの粘着面を保護するセパレータ３９を巻き取るセパレータ巻き取りリール４４が設けられている。なお、保護テープＴは、図８のようにウエハＷの外形よりも広幅でロール状のものが用いられる。

また、保持テーブル１の右上方には、供給される保護テープＴを引き出すテープチャック４７とチャック兼剥離ローラ４８が一対となって設けられ、その保護テープＴの供給側には、保護テープＴをウエハＷに貼り付ける貼り付けローラ４５が設けられており、保持テーブル１の上方には保護テープＴをウエハＷの外形に沿って切り抜く切断手段としてのカッター機構５８が設けられている。

また保持テーブル１の左上方には不用部分の保護テープＴを巻き取るテープ巻き取りリール５２が設けられている。

前記テープ供給リール３３から供給された保護テープＴは、ガイドローラ３４を経由し、ダンサローラ３５に掛け渡された後、軸ローラ３７を経由してセパレータ３９を剥離させる剥離ローラ３８に導かれる。

前記剥離ローラ３８で粘着面を保護するセパレータ３９が剥離された保護テープＴは、貼り付けローラ４５、テープチャック４７を経由した後、保持テーブル１上に保持されたウエハＷ上に導かれ、その後、複数のガイドローラ４９、５０、５１を経由してテープ巻き取りリール５２に巻き取られるようになっている。

上記剥離ローラ３８で剥離されたセパレータ３９はガイドローラ４０を経由した後、軸ローラ４１、ダンサローラ４３を経由して巻き取りリール４４に巻き取られるようになっている。

前記貼り付けローラ４５は、シリンダ４６により上下動可能に設けられるとともに、保持テーブル１上を図示しない適宜な駆動手段により水平動可能になっている。

また、前記テープチャック４７は、チャック兼剥離ローラ４８と一対に設けられ、保護テープＴを上下方向から挟持するとともに、保持テーブル１上を図示しない適宜な駆動手段で水平動して保護テープＴをウエハＷ上に引き出すようになっており、この時、テンションアーム３６と連動して保護テープＴの張力を適正に保つようになっている。また、同様に剥離されたセパレータ３９もテンションアーム４２を制御しながら揺動させて張力を適正に保ちながら巻き取るようになっている。

また、チャック兼剥離ローラ４８は、保護テープＴをウエハＷ上に貼り付けてウエハＷの外形に沿って切断した後、保持テーブル１上を転動しながら水平動することで不用部分の保護テープＴを保持テーブル１から剥離させるようになっている。

前記カッター機構５８は、アームに設けられたカッター６３と、モータ固定板６０上に設けられたモータ６１と、このモータ固定板６０を上下動させるシリンダ６２で構成されており、前記カッター機構５８は、モータ固定板６０の上下動により、機台１に立設されたベース板３２上のレール５９に沿って上下動可能になっている。

このカッター機構５８は、シリンダ６２によって下降することにより保護テープＴが貼り付けられたウエハＷの外周に作用し、ウエハＷの外形に沿って保護テープＴを切り抜くようになっている。この時、カッター６３は保持テーブル１に設けられたカッター溝３に沿ってモータ６１により旋回するようになっており、保持テーブル１とカッター６３を損傷しないようになっている。

なお、ウエハＷのノッチ７２は、前記カッター６３とは別途に適宜のカッターを設けたり、前記カッター６３を回転させて切り抜いたりすれば良い。

前記保持テーブル１は、機台１上に設けられたシリンダ５３の上方に接続されて上下動可能に設けられ、前記保持テーブル１の両端下方には支持枠５６、５６が設けられており、両支持枠５６、５６の下端外側にはスライダ５７、５７が設けられている。前記スライダ５７、５７は機台１上に立設して設けられたレール５５、５５に摺動可能に嵌合しており、前記レール５５、５５沿って上下動が可能になっている。

以上が本発明のウエハの保持テーブルを保護テープ貼り付け装置３０に適用した実施形態の構成であり、次に図６乃至図８に基づいて前記保護テープ貼り付け装置３０の保護テープＴの貼り付け動作を以下に説明する。

図６（ａ）のように保持テーブル１上に適宜手段で位置決めされたウエハＷを載置するとともにウエハＷ裏面のリブ状外周部７０を吸着溝４で吸着保持させておき、テープチャック４７とチャック兼剥しローラ４８で保護テープＴを挟持して前記ウエハＷ上に引き出すと同時に貼り付けローラ４５をテープチャック４７の後方まで水平移動させる。

続いて図６（ｂ）のように保持テーブル１の気体導入口１０から空気を中空室９に導入するとともにその空気の一部を気体排出口１１から排出することで、適宜な圧力の空気を複数の通気孔８から均等に噴出させて凹状部６内の支持板１２をその凹状部６内で浮上させ、ウエハＷの内周研削面７３と接触させる。

この状態で保持テーブル１を保護テープＴの下端部まで上昇させて保護テープＴを貼り付けローラ４５でテーブル本体２上に押圧させて接着させる。この時、保護テープＴは、テンションアーム３６で適正な張力に制御されているのでウエハＷには貼り付かない。

次に図７（ｃ）及び図８のように通気孔８から空気を噴出させ、支持板１２をウエハＷの内周研削面７３に接触させた状態を維持しながら、貼り付けローラ４５にシリンダ４６で適宜の押圧力を加えて保持テーブル１上を転動させ、ウエハＷに保護テープＴを貼り付ける。

このようにウエハＷのリブ状外周部７０の吸着保持と内周研削面７３の支持板１２の接触による支持により、貼り付けローラ４５による局所的な押圧力がウエハＷに作用してもウエハＷが平坦に支持され、気泡やしわの発生なくウエハＷに保護テープＴの貼り付けを行うことができる。

続いて図７（ｄ）のようにカッター６３をシリンダ６２により下降させ、モータ６１を作用させてカッター６３を旋回させることでウエハＷの外形に沿って保護テープＴを切断し、図１２のようにウエハＷの回路パターンＰが形成された表面側に保護テープＴが貼り付けられる。

この後、図示しないが適宜の搬送手段でウエハＷを保持テーブル１上から次の工程へ搬送するか、または収納カセット等に収納するとともに、保護テープ貼り付け装置３０は初期状態に復帰する。以後、この動作を繰返し行なうことになる。

以上が本発明のウエハの保持テーブルを適用した保護テープの貼り付け装置３０の実施形態であるが、本発明は上記の実施形態に限定されず、ドライフィルムレジスト等、各種の接着テープをウエハＷに貼り付けることが可能である。

また、本実施形態においては、広幅でロール状の保護テープＴを用いたが、予めウエハＷの形状に形成されたプリカット状の接着テープを用いることもでき、この場合は、保持テーブル１のカッター溝３を廃すれば良い。

また、本実施形態においてはウエハＷのリブ状外周部７０の保持を吸着保持するようにしたが、吸着に代えてウエハＷの外周を半月状のクランプで固定するようにしても良い。この場合は、ウエハＷの外周部を破損しないようクランプのウエハＷとの接触部にゴム等適宜な弾性部材を使用することができる。

また、本実施形態においては保持テーブルの凹状部６の底面に直接支持板１２を嵌入載置させるようにし、通気孔８から噴出する気体を直接支持板１２に作用させるようにしたが、凹状部６内の通気孔８の上面部分に噴出した気体を均一に広げる通気空間を支持板１２よりもやや小径に設け、支持板１２に均一な状態の気体を作用させるようにすれば、支持板１２をさらに安定させた状態で浮上させることができる。

Ｗウエハ
Ｐ回路パターン
Ｔ保護テープ
ＤＦダイシングフレーム
ＤＴダイシングテープ
１保持テーブル
２テーブル本体
３カッター溝
４吸着溝
５吸引孔
６凹状部
７穿孔部
８通気孔
９中空室
１０気体導入口
１１気体排出口
１２支持板
１３基板
１４ゴムシート
１５バルブ
１６バルブ
１７バルブ
１８蓋
１９吸着搬送体
２０吸着パッド
３０保護テープ貼り付け装置
３１機台
３２支持板
３３テープ供給リール
３４ガイドローラ
３５ダンサローラ
３６テンションアーム
３７軸ローラ
３８剥離ローラ
３９セパレータ
４０ガイドローラ
４１軸ローラ
４２テンションアーム
４３ダンサローラ
４４セパレータ巻き取りリール
４５貼り付けローラ
４６シリンダ
４７テープチャック
４８チャック兼剥離ローラ
４９ガイドローラ
５０ガイドローラ
５１ガイドローラ
５２テープ巻き取りリール
５３シリンダ
５４支柱
５５レール
５６支持枠
５７スライダ
５８カッター機構
５９レール
６０モータ固定板
６１モータ
６２シリンダ
６３カッター
７０リブ状外周部
７１金属膜
７２ノッチ
７３内周研削面

Claims

裏面の外周部をリブ状に残して内周部が研削されたリブ状外周部と内周研削面とを有するウエハの表面側を上にしてテーブル本体上に載置保持するウエハの保持テーブルであって、前記保持テーブルを、前記テーブル本体上面の内側に設けられ、前記ウエハのリブ状外周部を保持する保持手段と、前記保持手段の内側に前記ウエハの内周研削面と対向するように形成された円形状の凹状部と、前記テーブル本体に設けられ、前記凹状部の底面下方で該凹状部と連通するように複数の通気孔が穿設された穿孔部と、気体の導入口及び排気口を有し、前記穿孔部の下方に前記通気孔と連通するように設けられた中空室と、前記凹状部内に嵌入されるとともに、この嵌入状態で前記凹状部内を浮上可能に設けられた支持板とで形成し、前記ウエハを載置保持する際に、前記保持手段でウエハのリブ状外周部を保持するとともに、前記導入口から中空室内への気体の導入によって前記通気孔から支持板面に向けて空気を噴出せしめるとともにその一部を排気口から排出することにより、該支持板を凹状部内で浮上させてウエハの内周研削面に接触するようにしたことを特徴とするウエハの保持テーブル。
請求項１記載のウエハの保持テーブルにおいて、前記保持テーブルに保持されたウエハ上に該ウエハよりも広幅の接着テープを引き出す接着テープ供給手段と、前記接着テープをウエハに押圧して貼り付ける貼り付けローラと、前記接着テープをウエハの外周に沿って切断する切断手段とを設け、前記ウエハに貼り付けローラで接着テープを押圧して貼り付けるとともにウエハの外周に沿って前記接着テープを切断するようにしたことを特徴とするウエハの保持テーブル。