JP5168321B2 - 搬送体昇降装置 - Google Patents
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Description
この搬送体昇降装置では、昇降機構が上部位置と下部位置とに基台を昇降させる。下部位置から上部位置に基台を上昇させるとき、制御手段は、基台に搬送体が支持された状態で上位置決め部が基台に上側から接触する昇降位置を上部位置として昇降機構を制御する。したがって、搬送体が支持されて吊り部材が伸びた状態で、上位置決め部が上昇する基台に上側から接触して上部位置に基台が位置決めされるように昇降機構が制御される。このため、搬送体が支持されていない状態では、上位置決め部がなければ、吊り部材が伸びない分、昇降位置は上部位置より上方の位置になる。しかし、この装置では、上位置決め部が基台に上側から当接するので、基台は上昇できない。つまり、搬送体が支持されていない状態では、搬送体が支持される分吊り部材が伸びた状態で基台が上位置決め部に接触して上部位置で位置決めされる。
これにより、上部位置から下部位置に基台を下降させるとき、制御手段は、基台に搬送体が支持されていない状態で、下位置決め部が下降する基台に下側から接触する昇降位置を下部位置として昇降機構を制御する。したがって、搬送体が支持されずに吊り部材があまり伸びていない状態で、下位置決め部が基台に接触して下部位置に基台が位置決めされるように昇降機構が制御される。一方、搬送体が支持された状態では、下位置決め部がなければ、昇降位置は下部位置より下方の位置になる。しかし、下位置決め部が基台に下側から接触するので、基台は下降できない。このため、搬送体が支持されて吊り部材が伸びた状態で基台が下位置決め部に接触して位置決めされ、搬送体が支持された状態でも位置ずれしない。
図1に示すように、有軌道台車システム1は、例えば、カセットCに収納された大型のガラス基板等の物品を複数の処理装置、搬入口および搬出口のそれぞれの受け渡し部8との間で搬送する装置である。有軌道台車システム1は、固定軌道2と、可動軌道3と、搬送台車4と、固定非接触給電線5と、可動非接触給電線6と、給電線支持体7と、を備えている。固定軌道2は、天井から吊り下げられており、さらに、固定軌道2の周囲は囲まれた清浄空間になっている。
搬送台車4は、図2および図3に示すように、カセットCを載置可能な載置部15と、固定軌道2および可動軌道3を走行可能な走行部16とを有している。載置部15は矩形枠形状の部材である。載置部15の下面には、走行部16を取り付けるための第1取付部15aおよび第2取付部15bが設けられている。第1取付部15aは走行方向の前側に配置されている。第2取付部15bは、走行方向の後側に配置されている。
昇降装置30は、図4、図5および図6に示すように、搬送台車4を支持する昇降基台32と、昇降機構34と、上ストッパ36と、下ストッパ38と、昇降機構34を制御する制御装置40と、を備えている。なお、昇降装置30の説明では、搬送台車4の走行方向を前後方向と定義し、前後方向と直交する方向を左右方向と定義し、昇降方向を上下方向と定義する。
昇降基台32は、水平に配置されたレール載置部42と、レール載置部42の右側面に上下方向に配置された昇降フレーム44と、を有している。したがって、昇降基台32は、側面視L字状に構成されている。レール載置部42上には、可動軌道3の走行レール11および走行ガイド12が固定されている。可動軌道3の走行レール11および走行ガイド12は、搬送台車4の前後方向長さより僅かに長い。走行レール11の第1走行レール11aおよび第1走行ガイド12aは、搬送台車4の走行方向の左側に配置され、第2走行レール11bおよび第2走行ガイド12bは、右側に配置される。
昇降機構34は、吊り部材としての昇降チェーン62を用いて、固定軌道2に連結される上部位置と、固定軌道2から分離される下部位置とに昇降基台32を昇降させる。昇降機構34は、昇降基台32をガイドする前後一対の昇降ガイドレール50と、昇降ガイドレール50を支持する固定フレーム52と、昇降基台32を昇降駆動する昇降駆動部54と、を有している。を有している。
昇降駆動部54は、昇降モータ56と、前後一対の駆動スプロケット58と、前後一対の従動スプロケット60と、駆動スプロケット58および従動スプロケット60に掛けわたれる前後一対の昇降チェーン62と、を有している。
駆動スプロケット58は、固定フレーム52の下部に前後方向に沿って配置された駆動軸63に回転不能に連結されている。駆動軸63は、昇降モータ56によりチェーン駆動される。
上ストッパ36は、上昇する昇降基台32に上側から接触するように上部位置に対応して配置された位置決め部材である。上ストッパ36は、図4のA部および図6のB部に拡大して示すように、メンテナンス軌道10の分断部分側から可動軌道3側に突出して配置された板状の部材である。上ストッパ36は、メンテナンス軌道10の第1走行レール11aおよび第2走行レール11bの下面に近接してメンテナンス軌道10の支持部材に固定されている。
下ストッパ38は、下降する昇降基台32に下側から当接するように下部位置に対応して配置された位置決め部材である。下ストッパ38は、固定フレーム52の先端側において、走行レール11の下方に対向して配置されている。
制御装置40は、固定フレーム52の右端に配置された制御盤68の内部に配置されている。制御装置40は、図8に示すように、昇降装置30の昇降モータ56および可変非接触給電線6の後述する給電線支持体69を制御する。制御装置40には、昇降位置検出部57と、昇降モータ56と、給電線支持体69の2本の電動シリンダ82と、通信部59と、その他のセンサと、が接続されている。昇降位置検出部57は、昇降モータ56の回転数の検出により昇降基台32の昇降位置を検出する、たとえばロータリエンコーダを用いている。通信部59は、搬送台車4の制御部及び図示しない上位コンピュータと通信を行う。
固定非接触給電線5は、図1に示すように、固定軌道2に沿って配置され、搬送台車4に非接触で電力を供給するための給電線である。固定非接触給電線5は、図2および図4に示すように上下に間隔を隔てて配置された2組のリッツ線5aおよびリッツ線5bにより構成されている。固定非接触給電線5には、図1に示すように、電源装置61から電力が供給されている。固定非接触給電線5は、固定軌道2のループ軌道9では、たとえば、右側の第2走行レール11b右側で図示しない給電線支持部材により支持されている。一方、メンテナンス軌道10では、左側の第1走行レール11aの左側に分岐部から分断部分の手前側までおよび分断部分から合流部まで配置されている。なお、ループ軌道9のメンテナンス軌道10への分岐部およびメンテナンス軌道10からの合流部では、所定距離だけ固定非接触給電線5が第2走行レール11bの左側にもメンテナンス軌道10と連続して配置されている。
可動非接触給電線6は、図4および図7に示すように、可動軌道3に対して固定軌道2側から進出および退避可能に配置され、搬送台車4に非接触で電力を供給するための給電線である。可動非接触給電線6には、電源装置61から電力が供給されている。可動非接触給電線6は、図7に示すように上下に間隔を隔てて配置された2組のリッツ線6aおよびリッツ線6bにより構成されている。可動非接触給電線6は、メンテナンス軌道10の分断部分の両側に固定非接触給電線5と対向して配置されている。従って、この実施形態では、メンテナンス軌道10の第2走行レール11bの左側に配置されている。
制御装置40は、昇降装置30および給電線支持体69を制御する。搬送台車4がメンテナンス軌道10を介して可動軌道3に進入して下部位置に下降させる指令を受けると、制御装置40は、給電線支持体69の可動部72を進出位置に進出させる。また、昇降基台32を上部位置に上昇させる。これにより、搬送台車4への電源の供給が可能になり、可動軌道3に進入可能になる。この昇降基台32の上昇時には、上ストッパ36が上当接部64に当接して昇降基台32が上部位置に位置決めされる。上部位置は、搬送台車4が昇降基台32に支持されたときの昇降位置で上ストッパ36が上当接部64に接触する位置である。したがって、この場合、昇降基台32に搬送台車4は、支持されていないので、昇降チェーン62は位置決めされるまでは搬送台車4による伸びは生じていない。このため、上ストッパ36が無ければ、上部位置より上の位置で停止するが、上ストッパ36が上方から上当接部64に当接して上部位置に昇降基台32が位置決めされる。上ストッパ36による上方からの位置決めにより、昇降チェーン62は搬送台車4の自重分に伸びることになる。
また、搬送台車4が可動軌道3からはずれても可動部72は、進出位置を維持する。可動部72は、昇降基台32の下降命令および上昇命令を受けると退避位置に退避する。可動部72が進出位置にあると、制御装置40は、可動部72を退避位置に移動させてから昇降機構34を制御する。
(A)昇降装置30は、搬送台車4を昇降可能な装置である。昇降装置30は、搬送台車4を支持する昇降基台32と、昇降機構34と、上ストッパ36と、昇降位置検出部57と、制御装置40と、を備えている。昇降機構34は、昇降チェーン62と昇降モータ56を用いて、上部位置と下部位置とに昇降基台32を昇降させる。上ストッパ36は、上昇する昇降基台32に上側から当接するように上部位置に対応して配置されている。昇降位置検出部57は、昇降機構34における昇降位置を検出可能である。制御装置40は、昇降部32に搬送台車4が支持された状態で昇降基台32が上ストッパ36に接触する昇降位置を昇降機構34における上部位置として記憶し、昇降基台32を上昇させるときには昇降位置検出部57によって昇降機構34における上部位置が検出されると昇降機構34を停止するように昇降モータ56を位置決め制御する。
この昇降装置30では、昇降機構34が昇降基台32を上部位置と下部位置とに昇降させる。下部位置から上部位置に昇降基台32を上昇させるとき、制御装置40は、昇降基台32に搬送台車4が支持された状態で上ストッパ36が昇降基台32の上面に接触する昇降位置を上部位置として昇降機構34を制御する。したがって、搬送台車4が支持されて昇降チェーン62が伸びた状態で、上ストッパ36が上昇する昇降基台32に上側から接触して上部位置に昇降基台32が位置決めされるように昇降機構34が制御される。このため、搬送台車4が支持されていない状態では、上ストッパ36がなければ、吊り部材が伸びない分、昇降位置は上部位置より上方の位置になる。しかし、昇降装置30では、上ストッパ36が昇降基台32に上側から当接するので、昇降基台32は上昇できない。つまり、搬送台車4が支持される分昇降チェーン62が伸びた状態で昇降基台32が上位置決め部に接触して上部位置で位置決めされる。
ここでは、昇降基台32に上側から当接する上ストッパ36を設けている。また、搬送台車4が昇降基台32に支持された状態で上昇する昇降基台32に上ストッパ36が上側から接触する昇降位置を上部位置として昇降機構34を位置決め制御している。このため、上部位置に昇降基台32が確実に位置決めされる。また、搬送台車4が支持されていない状態では、搬送台車4の質量に相当する張力だけが上ストッパ36に作用するだけになる。このため、簡素な構成で大きな力が作用することなくかつ位置ずれしにくく昇降基台32を上部位置に位置決めできるようになる。
これにより、上部位置から下部位置に昇降基台32を下降させるとき、制御装置40は、昇降基台32に搬送台車4が支持されていない状態で、下ストッパ38が下降する昇降基台32に下側から接触する昇降位置を下部位置として昇降機構34を制御する。したがって、搬送台車4が支持されずに昇降チェーン34があまり伸びていない状態で、下ストッパ38が昇降基台32に接触して下部位置に昇降基台32が位置決めされるように昇降機構34が制御される。このため、搬送台車4が支持された状態では、下ストッパ38がなければ、昇降位置は下部位置より下方の位置になる。しかし、下ストッパ38が昇降基台32に下側から接触するので、昇降基台32は下降できない。このため、搬送台車4が支持されて吊り部材が伸びた状態で、基台が下ストッパ38に接触して位置決めされ、搬送台車4が支持された状態でも位置ずれしない。
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。特に、本明細書に書かれた複数の実施形態および変形例は必要に応じて任意に組合せ可能である。
2 固定軌道
3 可動軌道
4 搬送台車
5 固定非接触給電線
5a リッツ線
5b リッツ線
6 可動非接触給電線
6a リッツ線
6b リッツ線
7 給電線支持体
8 受け渡し部
9 ループ軌道
10 メンテナンス軌道
11 走行レール
11a 第1走行レール
11b 第2走行レール
12 走行ガイド
12a 第1走行ガイド
12b 第2走行ガイド
15 載置部
15a 第1取付部
15b 第2取付部
16 走行部
16a 駆動走行部
16b 従動走行部
20a 駆動フレーム
20b 従動フレーム
21a 左駆動輪
21b 右駆動輪
21c 左従動輪
21d 右従動輪
22a 左固定ガイドローラ
22b 右固定ガイドローラ
23a 左分岐ガイドローラ
23b 右分岐ガイドローラ
24a 左駆動モータ
24b 右駆動モータ
28a 左ピックアップユニット
28b 右ピックアップユニット
29a 左取付ブラケット
29b 右取付ブラケット
30 昇降装置
32 昇降基台
34 昇降機構
36 上ストッパ
38 下ストッパ
40 制御装置
40a 上部位置決め制御部
40b 下部位置決め制御部
42 レール載置部
44 昇降フレーム
45 ガイドフレーム
46a 第1ガイドローラ
46b 第2ガイドローラ
46c 第3ガイドローラ
47 第1ガイドブラケット
48 第2ガイドブラケット
50 昇降ガイドレール
50a 左規制面
50b 右規制面
50c 前後規制面
52 固定フレーム
52a 支柱
54 昇降駆動部
56 昇降モータ
57 昇降位置検出部
58 駆動スプロケット
59 通信部
60 従動スプロケット
62 昇降チェーン
63 駆動軸
64 上当接部
66 下当接部
68 制御盤
69 給電線支持体
70 固定部
72 可動部
76 駆動部
78 配線ブラケット
80 配線支持部
82 電動シリンダ
82a シリンダロッド
84 ブラケット
Claims (3)
- 搬送体を昇降可能な搬送体昇降装置であって、
前記搬送体を支持する基台と、
吊り部材と昇降モータを用いて、上部位置と下部位置とに前記基台を昇降させる昇降機構と、
上昇する前記基台に上側から当接するように前記上部位置に対応して配置された上位置決め部と、
前記昇降機構における昇降位置を検出可能な昇降位置検出部と、
前記基台に前記搬送体が支持された状態で前記基台が前記上位置決め部に接触する昇降位置を前記昇降機構における上部位置として記憶し、前記基台を上昇させるときには前記昇降位置検出部によって前記昇降機構における上部位置が検出されると前記昇降機構を停止するように前記昇降モータを位置決め制御する制御手段と、
を備えた搬送体昇降装置。 - 下降する前記基台に下側から当接するように前記下部位置に対応して配置された下位置決め部をさらに備え、
前記制御手段は、前記搬送体が支持されていない状態で前記基台が前記下位置決め部に接触する昇降位置を前記昇降機構における下部位置として記憶し、前記基台を下降させるときには前記昇降位置検出部によって前記昇降機構における下部位置が検出されると前記昇降機構を停止するように前記昇降モータを位置決め制御する、請求項1に記載の搬送体昇降装置。 - 前記昇降機構は、前記基台の側方の片側に設けられている、請求項1または2に記載の搬送体昇降装置。
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