JP5085641B2 - 効率的な流体移動を伴う流体動力２重ピストン作動装置および実施方法 - Google Patents

Description

本発明は、流体圧力によって作動するバルブ作動装置に関する。本発明は、作動装置のさまざまな部分に対して加圧流体を供給するためのポートの位置を最適化して、２つのピストンおよび２つのラックがバルブを機械的に作動させるために使用される部材を協働して回転させることを可能にする。バルブ作動装置における供給ポートの配置がより一層最適化されるため、位置センサおよびパイロット弁を共に近接して配置させることができ、このことにより位置センサおよびパイロット弁を一体化させることができる。

バルブを作動させる従来の作動装置は、電動モータ、電動ソレノイド、ガス圧力、または油圧を用いて機械的な入力を供給してバルブを作動させている。自動バルブを操作する加圧流体の分野においては、ダイアフラム（diaphragm）および回転作動装置は加圧流体を使用してバルブの開閉を行っている。

従来の回転作動装置は、シャフトまたは他の回転可能な部材を回転させるためにリンク機構、またはラックおよびピニオン機構を使用している。回転可能な部材は、弁、一般的にはボール弁またはバタフライ弁の異なるシャフトまたは弁棒（stem）に連結されている。回転可能な部材が回転すると、弁の弁棒が弁内に設けられたボールまたはバタフライを回転させて流体を遮断する位置から流体を通流させる位置へ移動し、またはその逆にも移動する。

リンク機構、またはラックおよびピニオン機構を使用するか否かに関わることなく、流体動力作動装置はピストンを有するエアシリンダを用いている。このピストンは、そのいずれかの側に供給される高いまたは低い流体圧力に応じて移動する。

従来の作動装置のいくつかは２つのエアシリンダを使用している。このような構造においては、一方のシリンダのピストンは他方のシリンダのピストンとは反対の方向に移動する。このようにして各ピストンは内側または外側へ共に移動する。各シリンダは、ずれて配置されており、中央ピニオンを回転させるラックを同調して押したり引いたりする。各シリンダの外端に流体を同時に供給するために、加圧流体の供給路に沿ってＴ字部が設けられている。このＴ字部が連結されていることにより、加圧流体が２つの別々の流れに分割されて、２つのシリンダのうちのいずれか一方に供給される。

従来の作動装置のいくつかにおいては、作動装置のハウジングの一部に一体化されて作動装置自体にＴ字部が組み込まれている。図１ａおよび図１ｂは、ハウジング３に取り囲まれた左側ピストン５および右側ピストン７を含む従来の回転作動装置１を有する構造の一例を示す上面図である。図１ａに示すように、圧縮空気がハウジングの一側面に設けられたポート１９に流入する。ポート１９から流入した圧縮空気はピストン５および７を移動させ、対応して取り付けられたラック１３および１５を離し、このことにより回転部材１８およびピニオン１７を反時計回りに回転させる。ポート１９を通ってボリューム１０に圧縮空気が流入している間、ピストン７の右側に設けられたボリューム１１からの空気とピストン５の左側に設けられたボリューム９からの空気がハウジングの一側面に設けられたポート２１から流出している。作動装置を逆方向に作動させる場合、圧縮空気がポート２１に供給され、ポート１９は図１ｂに示すように流出口として機能する。このようにボリューム９および１１を連結する一体化されたＴ字部２３を設けることにより、Ｔ字部を形成するための外部配管が不要となる。

しかしながら、この一体化されたＴ字部２３はハウジング３内にスペースが必要となるため、このハウジング３は、加圧流体を分割して供給するとともに各シリンダを連結する流体通路を収容するために十分な大きさに形成する必要がある。作動装置のハウジングには、連結／取付穴の他の多くのタイプ、または他の特徴部が必要とされてハウジングの内部、とりわけハウジングの頂部に取り付けられるため、従来のバルブ作動装置では、一体化されたＴ字部と、作動装置を操作するために必要とされるその他の連結／取付穴とを融通して配置しなければならない。一体化されたＴ字部を形成する流路は、一般的にハウジング内にドリルで穴開けされる。このため、製造工程の複雑さを低減させるために、ハウジングに一体化される流路は可能な限り屈曲部が設けられることがないように形成されており、他の連結／取付穴に干渉することなくハウジングの内部にＴ字部を配置することはより一層困難になる。このことによりポート１９および２１とこれらに対応する流路は、一般的にハウジングの一側面に設けられる。

一般に、作動装置の回転部材の位置を監視するために位置センサが使用されている。この位置センサを取り付けるために適した位置は、回転部材１８が取り付けられた作動装置１の表面である。回転部材１８の一方の端部はバルブの弁棒またはシャフトに連結するように構成されているため、バルブの反対側となる作動装置１の表面は位置センサを取り付けることが可能になっている。ほとんどの作動装置１およびバルブにおいては、この好適な表面が作動装置の頂部に設けられている。しかしながら、作動装置１およびバルブは図１ａおよび図１ｂに示すものより、より異なる方向に向いているため、バルブの反対側の表面は作動装置の“頂部”に設けられることがない。バルブの位置センサはハウジング上において所定の利用可能領域を占有する。このように従来の作動装置においては、ポート１９および２１は、作動装置のうちバルブの位置センサが設けられる面とは異なる面に設ける必要がある。

圧縮空気を供給するため、またはポート１９および２１を必要に応じて曲げるために、パイロット弁が使用されることがある。このパイロット弁は、プログラマブル論理制御装置（ＰＬＣ）のようなコンピュータ制御から送られてくる信号に応答する電動バルブとして構成されることが多い。最もよく性能を発揮させて利便性を向上させるために、パイロット弁は作動装置１のうちポート１９および２１の近傍に直接取り付けられている。

スペースを節約し、製造コストを低減させて使用者の利便性を向上させることを目的として、作動装置を操作するために使用される位置センサおよびパイロット弁を一体化させる必要がある。しかしながら上述したスペースの制約のために、ハウジングの同一の面にパイロット弁および位置センサを設けることは困難である。このため、位置センサとパイロット弁の一体化が困難になっている。したがって、作動装置の各シリンダの端部に加圧流体が供給されるように簡素化することが必要であり、このことにより、製造者は障害を少なくしてハウジングに流体供給ポートを自由に配置させることができる。さらに、作動装置のうちバルブが取り付けられる側とは反対側に位置センサ／パイロット弁組合体を一体化して配置させることを可能にする必要がある。

本発明は、従来の作動装置の上述した、または他の欠点を一つ以上解決することを目的とする。

本発明は、ピストンを保持するように構成された空洞を有するハウジングを備えたバルブ作動装置を提供する。第１歯付ラックに第１ピストンが取り付けられ、第２歯付ラックに第２ピストンが取り付けられている。第１歯付ラックに係合する少なくとも一つのピニオンに、回転軸を有する回転部材が取り付けられ、この回転部材は第１ピストンまたは第２ピストンの移動に応じて回転する。第１ピストンの第１の側における空洞内に第１ボリュームが形成されている。第１ピストンの第２の側における空洞内に第２ボリュームが形成されている。第２ボリュームの反対側となる第２ピストンの一方の側における空洞内に第３ボリュームが形成されている。空洞の外側に第１流体ポートが設けられ、この第１流体ポートは第１流体流路を介して第１ボリュームに流体連通している。空洞の外側に第２流体ポートが設けられ、この第２流体ポートは第２ボリュームに流体連通している。ハウジングの内部であって空洞の外側に第２流体流路が設けられ、この第２流体流路は、第１流体流路から分離され、第１ボリュームおよび第３ボリュームに連結されて、第１流体流路とは独立して第１ボリュームと第３ボリュームとの間を流体連通している。

本発明は、ハウジング内において第１ピストンを移動させるために、第１流体流路を介して第１ピストンの第１の側に設けられた第１ボリュームに連結された第１ポートに加圧流体を供給する工程を備えたバルブ作動装置の作動方法を提供する。第２ボリュームに連結された第２ポートから空気が排出される。第２ピストンを移動させるために、第１流路とは独立して第１ボリュームを第３ボリュームに連結するとともに第１ボリューム、第２ボリューム、および第３ボリュームの外側に設けられた中間流路を介して、第１ボリュームから第２ピストンに隣接する第３ボリュームに空気が移送される。第１ピストンおよび第２ピストンにかみ合うことによって連結された回転自在な部材が回転する。

添付された図面と関連して以下に示す詳細な説明を参照することによってより一層よく理解されることと同じように、本発明の完全な理解および本発明の多くの付随的な利点が、容易に確かめられる、および／または得られるであろう。

本発明の好適な実施の形態を、図面を参照して以下に述べる。いくつかの図面にわたって同様な符号は同様なおよび／または類似の部材を示す。

図２は、本発明による作動装置１００の実施の形態を示す正面図である。作動装置１００はバルブ２００に取り付けられている。この作動装置１００は、端部キャップ１３１を有するハウジング１０３を備え、この端部キャップ１３１は、端部キャップボルト１３３によってハウジングに取り付けられている。ハウジング１０３の頂部に位置表示器１２５が取り付けられ、回転軸またはカップリングなどの回転部材１１８の位置が表示されている。ハウジング１０３の表面に取付穴１４３が貫通し、ハウジング１０３に外部部品が取り付けられるように構成されている。例えば、この取付穴は、回転部材１１８が回転した範囲を検出することをも目的として使用される位置センサを取り付けるために使用することができる。いくつかの場合には、回転部材１１８はハウジング１０３の表面を越えて垂直方向に突出している。またいくつかの場合には、回転部材はハウジング１０３の表面を越えて垂直方向に突出することがなく、単に露出するだけで回転部材の回転の範囲が測定可能となるように構成されている。その他の場合には、回転部材はハウジング１０３の底面だけに露出してバルブ２００に連結されるように構成されている。

図３は、バルブ２００を省略した図２の作動装置を示す上面図である。左側ピストン１０５は左側ラック１１３に連結され、右側ピストン１０７は右側ラック１１５に連結されている。これらのピストンが互いに離れるように移動する場合、ラック１１３および１１５は離れていく。ラック１１３および１１５が外側に移動すると、ピニオン１１７は反時計回り方向に回転部材１１８を回転させる。逆に左側ピストン１０５および右側ピストン１１７が互いに近づくように移動する場合、ピニオン１１７は時計回り方向に回転部材１１８を回転させる。

回転部材１１８は、バルブ２００内に設けられたボール、バタフライ、または他の流体閉塞装置に連結されている。回転部材１１８が回転すると、バルブ２００内に設けられた流体閉塞装置も回転する。このようにして、バルブ２００はピストン１０５および１０７の移動に対応して開閉する。

ポート１１９により内側ボリューム１１０に加圧流体が供給されて反時計回り方向にバルブ作動装置が回転し、ポート１２１によりボリューム１０９および１１１に加圧流体が供給されて反時計回り方向にバルブ作動装置が回転する。ポート１１９も１２１も加圧されない場合、ポートは、ピストンをシリンダ内に移動させるためにシリンダ内の流体を抜くための流出口として機能する。

作動装置を作動させるために使用される加圧流体の最も一般的なタイプは圧縮空気であり、以下の記述では、流体というよりはむしろ空気を用いて述べる。しかしながら、本発明は、例えば窒素または作動油などの他のタイプの加圧流体を用いることもできる。

図３に示すように、ポート１１９はハウジング１０３を貫通し、内側ボリューム１１０に流体連通している。いったん圧縮空気が内側ボリューム１１０に流入されると、ピストン１０５および１０７が互いに離れて端部キャップ１３１の方向に移動する。

圧縮空気がポート１１９に流入する場合、ピストン１０５および１０７が外側に移動しボリューム１０９および１１１の大きさがそれぞれ減少する。ボリューム１０９のサイズが減少すると、空気がポート１４１を通って中間流路１３５およびボリューム１１１に流れる。ピストン１０５が外側へ移動する場合ピストン１０７も外側へ移動するため、ボリューム１０９のサイズが減少すると同時にボリューム１１１のサイズも減少している。このため、ボリューム１１１から流出される空気は圧力が低い領域を求め、ポート１３７を通って第１流路１２７に流れてポート１２１から流出する。

上述した構造においては、例えば図１ａおよび図１ｂに示されたＴ字部１２３のようなＴ字部が不要となる。Ｔ字部１２３を排除することにより、ポート１１９および１２１をハウジング１０３の同じ表面に設けることができ、同様にして位置表示器１２５を設ける、または回転部材１１８の一端部を配置させることもできる。このようにしてポート１１９および１２１を位置表示器１２５または回転部材１１８に極めて近接して設けることができる。このため、バルブの状態を表示するために使用される位置センサ（図示せず）およびポート１１９および１２１に対して流入および流出する圧縮空気の流れを制御するために使用されるパイロット弁（図示せず）が互いに一体化されて、コンパクトかつ容易に交換自在な単一のパッケージにすることができる。

図３および図４に示すように、ポート１４１は、典型的にはボリューム１０９の壁に設けられている。例えば、このポート１４１は、ピストン１０５の移動方向に対して直交する方向にドリルで穴開けされていてもよい。この場合、ポート１４１は中間流路１３５に連結されて流体連通している。この構造による一つの利点は、ポート１４１がピストン１０５または端部キャップ１３１ではなくハウジング１０３内に位置しているということである。このため、Ｏリングまたは他のシール装置を用いることなく、ポート１４１を中間流路１３５に連結させることができる。

ポート１４１と同様に、ポート１３９は、ピストン１０７の移動方向に平行なボリューム１１１の壁に設けられ、Ｏリングまたは他のシール装置を用いることなく、ポート１３９を中間流路１３５に連結させることができる。このようにしてポート１４１およびポート１３９が、信頼性のある簡素な方法で中間流路１３５を介して互いに流体連通している。さらに、ポート１４１およびポート１３９、ひいてはボリューム１０９および１１１が、ポート１２１および第１流路１２７とは独立して流体連通している。

上述したように、ボリューム１０９および１１１の壁に設ける代わりに、ポート１４１および１３９を他の位置に設けてもよい。例えば、端部キャップ１３１内に左側および右側ポート１４１および１３９が設けられて、端部キャップ１３１内に形成された流路を介して中間流路１３５に連結させることができる。この構造による一つの利点は、ハウジング１０３に穴を開けることなくポート１３９および１４１を中間流路１３５に連結させることができることである。このような構造においては、中間流路１３５は端部キャップ１３１内に機械加工された溝に連結されてボリューム１０９および１１１に流体連通される。一般に溝は空洞内に穴を開ける場合よりも容易に加工することができるため、ポート１４１および１３９をより一層容易に製造することができる。

中間流路１３５はハウジング１０３の一面に設けられているため、ボリューム１０９の外側の領域からボリューム１１１の外側の領域まで延ばすことができる。また、中間流路１３５は略直線状に形成されていることが好ましく、このことにより、ドリルで穴を開けることによって形成させることができる。ハウジングのうち、回転部材が露出する、またはポート１１９および１２１が位置する面とは異なる面に中間流路１３５が設けられることにより、中間流路はハウジング１０３の母材内に、曲げられることなくボリューム１０９からボリューム１１１に延びる空間を有している。このようにして、上述した構造により、ポート１１９および１２１を共に比較的近接させるとともに、ハウジング１０３のうち位置表示器１２５または回転部材１１８が露出される位置と同じ面に配置させることができ、同時に中間流路１３５をハウジング１０３の一体化部分として形成することができる。

このように、上述した本発明によれば、ポート１１９および１２１を、ハウジング１０３のうち回転部材１１８の一端部と同じ面に配置させることができるため、回転部材の回転の範囲を監視する位置センサを、ポート１１９および１２１に向かう圧縮空気の流れを制御するために使用される3弁に一体化させることができる。このことは、従来の作動装置では実現することができなかった。

図５に、押さえねじ１５３によって作動装置１００に取り付けられる一体化されたセンサ／弁組合体１５０が示されている。圧縮空気は連結部１５１を通り、その後一体化されたセンサ／弁組合体１５０に組み込まれた一体化されたパイロット弁によって切り換えられて、ポート１１９またはポート１２１を通って流れていく。

一体化されたセンサ／弁組合体１５０が押さえねじ１５３によって作動装置１００に取り付けられているため、ポート１１９および１２１は、一体化されたセンサ／バルブ組合体１５０の内部流路に対してＯリングまたはガスケットによって密閉されている。このようにしてポート１１９および１２１にねじを形成することが不要となる。あるいは、ポートに圧縮シールを使用する管用ねじ（pipe-thread）または平行ねじ（straight thread）によりねじを形成することもできる。

さらに図５に示すように、一体化されたセンサ／弁組合体１５０は、作動装置１００のうちバルブ２００が取り付けられる側とは反対側に取り付けられている。本発明によるポート１１９および１２１の位置が従来技術のように他の連結部／ポートの存在によって制限されることがないため、ポート１１９および１２１は、作動装置の大きさまたは形状にかかわることなく、回転部材１１８に対して同じ関係で配置させることができる。したがって、同一の一体化されたセンサ／弁組合体１５０を、その取り付け方法を変えることなく、異なる大きさの作動装置およびバルブに使用することができる。このように本発明により、バルブ位置センサとパイロット弁とを一体化して単一モジュールにし、さまざまなバルブ作動装置に容易に使用することができる。さらに、一体化されたセンサ／弁組合体１５０を、作動装置のうちバルブが取り付けられる側とは反対側（図２に示す頂部）に取り付けることができる。このため、一体化されたセンサ／弁組合体１５０の設置または交換をより一層便利にかつ容易に行うことができる。

上述した構造に加えて、本発明の他の実施の形態が可能である。たとえば、ポート１１９および１２１を直接連結する代わりに、一つ以上のパイロット弁が、一体化されたセンサ／弁組合体１５０の内部に配置されて、ポート１１９および１２１に中間連結部を介して連結してもよい。他の実施の形態においては、パイロット弁は、空気作動スプール弁のような第２の弁を作動させてもよい。このスプール弁により、必要な場合にポート１１９および１２１に空気が供給される。

本発明の多くの付随的な変形およびバリエーションが上述した記載に沿って可能である。このため、添付した特許請求の範囲内において、本発明はこの明細書の記述とは異なる形態も実施可能であることは理解されるべきである。

図１ａは、従来の２重動作の作動装置を示す上面図である。 図１ｂは、従来の２重動作の作動装置を示す上面図である。 図２は、本発明の実施の形態によってバルブに取り付けられた作動装置を示す正面図である。 図３は、図２の作動装置の上面図である。 図４は、内部流路を示す図２の作動装置の正面図である。 図５は、一体化されたバルブの位置センサ／パイロット弁組立体が取り付けられた図２の作動装置の斜視図である。

Claims (18)

1. バルブ作動装置であって、
   単一の部材により形成され、空洞と第１の面とを有するハウジングと、
   空洞内に設けられ、第１歯付ラックに取り付けられた第１ピストンと、
   空洞内に設けられ、第２歯付ラックに取り付けられた第２ピストンと、
   回転軸を有し、第１歯付ラックに係合する少なくとも一つのピニオンに取り付けられ、第１ピストンの移動に応じて回転する回転部材と、
   第１ピストンの第１の側における空洞内に形成された第１ボリュームと、
   第１ピストンの第２の側における空洞内に形成された第２ボリュームと、
   第２ボリュームの反対側となる第２ピストンの一方の側における空洞内に形成された第３ボリュームと、
   回転部材の回転軸から見た場合に第２ボリュームに対向すると共に外部第１流体入力部への連結のために直接アクセス可能となるように当該バルブ作動装置の外部に直接露出された第１の面に設けられた第１流体ポートであって、空洞の外側に設けられ、第１流体流路を介して第１ボリュームに流体連通する第１流体ポートと、
   回転部材の回転軸から見た場合に第２ボリュームに対向すると共に外部第２流体入力部への連結のために直接アクセス可能となるように当該バルブ作動装置の外部に直接露出された第１の面に設けられた第２流体ポートであって、空洞の外側に設けられ、第２ボリュームに流体連通する第２流体ポートと、
   ハウジングの内部であって空洞の外側に設けられ、第１流体流路から分離され、第１ボリュームおよび第３ボリュームに連結されて、第１流体流路とは独立して第１ボリュームと第３ボリュームとの間を流体連通する第２流体流路と、を備えたことを特徴とするバルブ作動装置。
2. ハウジングは、
   第１の面に隣接する第２の面と、
   この第２の面に隣接するとともに、ハウジングに対して第１の面と反対側に位置し、回転部材が露出される開口を含む第３の面と、
   第４の面と、を有していることを特徴とする請求項１に記載のバルブ作動装置。
3. 第１の面は回転部材が露出される開口を含むことを特徴とする請求項２に記載のバルブ作動装置。
4. 第１の面は少なくとも一つの取付穴を含むことを特徴とする請求項３に記載のバルブ作動装置。
5. 第１流体ポートおよび第２流体ポートにねじが形成されることがないことを特徴とする請求項４に記載のバルブ作動装置。
6. 第１流体ポートおよび第２流体ポートのうちの少なくとも一方に取り付けられた少なくとも一つの自動空気弁を更に備えたことを特徴とする請求項５に記載のバルブ作動装置。
7. 自動空気弁は回転部材の回転位置を検出するバルブの位置センサに一体化されていることを特徴とする請求項６に記載のバルブ作動装置。
8. ハウジングは、第５の面および第６の面と、この第５の面および第６の面に、第１の面と空洞との間に設けられた少なくとも一つのボルト穴を介してそれぞれボルトで固定される第１の端部キャップおよび第２の端部キャップとを有していることを特徴とする請求項３に記載のバルブ作動装置。
9. 第１流体流路に連結されるとともに第１ピストンの移動方向に平行な第１ボリュームの一面に設けられた第１内部ポートによって第１ポートと第１ボリュームとの間が流体連通していることを特徴とする請求項１に記載のバルブ作動装置。
10. 第１ピストンの移動軸に平行な第１ボリュームの一面に設けられた第２内部ポートと、
    第２ピストンの移動軸に平行な第３ボリュームの一面に設けられた第３内部ポートと、を更に備え、
    第２流路が第２内部ポートを第３内部ポートに流体連通するように連結していることを特徴とする請求項９に記載のバルブ作動装置。
11. 第２流路は、空洞と回転部材が貫通することがないハウジングの一面との間に設けられていることを特徴とする請求項１０に記載のバルブ作動装置。
12. 第１流路は、空洞と回転部材が貫通するハウジングの一面との間に設けられていることを特徴とする請求項１１に記載のバルブ作動装置。
13. バルブ作動装置であって、
    単一の部材により形成され、空洞と第１の面とを有するハウジングと、
    空洞内に設けられ、第１歯付ラックに取り付けられた第１ピストンと、
    空洞内に設けられ、第２歯付ラックに取り付けられる第２ピストンと、
    回転軸を有し、第１歯付ラックに係合する少なくとも一つのピニオンに取り付けられ、第１ピストンの移動に応じて回転する回転部材と、
    第１ピストンの第１の側における空洞内に形成された第１ボリュームと、
    第１ピストンの第２の側における空洞内に形成された第２ボリュームと、
    第２ボリュームの反対側となる第２ピストンの一方の側における空洞内に形成された第３ボリュームと、
    回転部材の回転軸から見た場合に第２ボリュームに対向すると共に外部第１流体入力部への連結のために直接アクセス可能となるように当該バルブ作動装置の外部に直接露出された第１の面に設けられた第１流体ポートであって、空洞の外側に設けられ、第１流体流路を介して第１ボリュームに流体連通する第１流体ポートと、
    回転部材の回転軸から見た場合に第２ボリュームに対向すると共に外部第２流体入力部への連結のために直接アクセス可能となるように当該バルブ作動装置の外部に直接露出された第１の面に設けられた第２流体ポートであって、空洞の外側に設けられ、第２ボリュームに流体連通する第２流体ポートと、
    第１流体流路とは独立して第１ボリュームおよび第３ボリュームとの間を流体連通する手段と、を備えたことを特徴とするバルブ作動装置。
14. バルブ作動装置の作動方法であって、
    外部第１流体入力部への連結のために直接アクセス可能となるように当該バルブ作動装置の外部に直接露出されるとともに単一の部材により形成されたハウジングの第１の面に設けられた第１ポートであって、ハウジング内において第１ピストンを移動させるために、第１流体流路を介して第１ピストンの第１の側に設けられた第１ボリュームに連結され、回転部材の回転軸から見た場合に第１ピストンの第２の側に設けられた第２ボリュームに対向する第１の面に設けられた第１ポートに、加圧流体を供給する工程と、
    第２ボリュームに連結された第２ポートであって、回転部材の回転軸から見た場合に第２ボリュームに対向すると共に外部第２流体入力部への連結のために直接アクセス可能となるように当該バルブ作動装置の外部に直接露出された第１の面に設けられた第２ポートから、流体を排出する工程と、
    第２ピストンを移動させるために、第１流路とは独立して第１ボリュームを第３ボリュームに連結するとともに第１ボリューム、第２ボリューム、および第３ボリュームの外側に設けられた中間流路を介して、第１ボリュームから第２ピストンに隣接する第３ボリュームに流体を移送する工程と、
    第１ピストンおよび第２ピストンにかみ合うことによって連結された回転部材を回転させる工程と、を備えたことを特徴とするバルブ作動装置の作動方法。
15. 第１ポートに加圧流体を供給する工程において、第１シリンダの移動方向に平行な第１ボリュームの一面に設けられた第１内部ポートを介して加圧流体が供給されることを特徴とする請求項１４に記載の方法。
16. 第１ボリュームから第３ボリュームに流体を移送する工程において、第１ピストンの移動方向に平行な第１ボリュームの一面に設けられた第２内部ポートを通って第１ボリュームから流体を排出することを特徴とする請求項１５に記載の方法。
17. 第１ボリュームから第３ボリュームに流体を移送する工程において、第２ピストンの移動方向に平行な第３ボリュームの一面に設けられた第３内部ポートを通って第３ボリュームに流体を供給することを特徴とする請求項１６に記載の方法。
18. 中間流路は、ハウジングのうち第１ポートおよび第２ポートとは異なる面に設けられていることを特徴とする請求項１７に記載の方法。

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