JP4983137B2 - Filtration device and coating device using the same - Google Patents
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Description
本発明は、基板上に着色フォトレジストなどを塗布する塗布装置用の濾過装置に関するものであり、特に、新しい中空柱状濾過フィルタに交換した後に行う、液ヌキの作業に要する時間を短縮することができ、また、その終点を正確に容易に判断することができ、更には、リーク箇所の特定に要する時間を短縮することができる濾過装置及び塗布装置に関する。 The present invention relates to a filtration device for a coating apparatus that coats a colored photoresist or the like on a substrate, and in particular, can reduce the time required for the work of liquid scum performed after replacement with a new hollow columnar filter. In addition, the present invention relates to a filtering device and a coating device that can accurately and easily determine the end point thereof, and further reduce the time required for specifying a leak portion.
液晶表示装置やプラズマディスプレイパネルにおいて、カラー表示、反射率の低減、コントラストの改善、分光特性制御などの目的にカラーフィルタを用いることは有用な手段となっている。
この表示装置に用いるカラーフィルタは、多くの場合、画素として形成されて使用されるものである。表示装置用カラーフィルタの画素を形成する方法として、これまで実用されてきた方法には、フォトリソグラフィー法、印刷法などがあげられる。
In a liquid crystal display device or a plasma display panel, it is a useful means to use a color filter for purposes such as color display, reflectance reduction, contrast improvement, and spectral characteristic control.
In many cases, the color filter used in the display device is formed and used as a pixel. As a method for forming a pixel of a color filter for a display device, a photolithography method, a printing method, and the like can be cited as methods that have been put into practical use.
例えば、顔料分散法は、このフォトリソグラフィー法の一方法であるが、この顔料分散法において使用するカラーフィルタ形成用の着色フォトレジストは、ガラス基板上に、例えば、スピンコータを用いて回転塗布され、この塗膜にフォトマスクを介してＵＶ露光、現像処理がおこなわれ表示装置用カラーフィルタの着色画素として形成される。 For example, the pigment dispersion method is one method of this photolithography method, but a colored photoresist for forming a color filter used in this pigment dispersion method is spin-coated on a glass substrate using, for example, a spin coater, This coating film is subjected to UV exposure and development processing through a photomask, and is formed as a colored pixel of a color filter for a display device.
従来、液晶表示装置の製造プロセスにおいて、着色フォトレジストなどの塗布装置としては、ノズルからガラス基板の中央部に塗布液を滴下した後、ガラス基板を回転させ塗布液を延展させる上記スピンコータが多く用いられてきた。
しかし、カラーフィルタを製造するガラス基板の大型化に伴い、例えば、５５０ｍｍ×６５０ｍｍ程度以上の大きさのガラス基板においては、着色フォトレジストの塗布装置として、スリットコータとスピンコータを併用したコータを用いる方法、すなわち、ガラス基板上に着色フォトレジストをスリットコータで塗布して塗布膜を形成し、塗布膜が形成されたガラス基板をスピンコータで回転し塗布膜を延展させ塗膜とする塗布装置が採用されはじめた。
Conventionally, in a manufacturing process of a liquid crystal display device, as a coating device such as a colored photoresist, the spin coater that rotates a glass substrate and spreads the coating solution after dropping the coating solution from a nozzle to the center of the glass substrate is often used. Has been.
However, with the increase in size of a glass substrate for producing a color filter, for example, in a glass substrate having a size of about 550 mm × 650 mm or more, a method of using a coater using a slit coater and a spin coater as a coating device for a colored photoresist. In other words, a coating apparatus is employed in which a colored photoresist is applied on a glass substrate with a slit coater to form a coating film, and the glass substrate on which the coating film is formed is rotated with a spin coater to spread the coating film. began.
この塗布装置は、ガラス基板の大型化に伴い顕著に現れてくる上記スピンコータの弱点、すなわち、ガラス基板の中央部の塗布膜の膜厚と端部の塗布膜の膜厚の膜厚差を縮小させ、また、着色フォトレジストの利用率を向上させることを狙いとしたものである。この塗布装置により、ガラス基板が大型でも膜厚差の縮小した塗布膜が得られ、また、着色フォトレジストの利用率は大幅に改善された。
しかし、この塗布装置では、大型のガラス基板を回転させるモーターなどの機械的制約から、装置を更に大型化するのは難しい。
This coating apparatus reduces the weakness of the spin coater that appears prominently with the increase in size of the glass substrate, that is, the difference in film thickness between the coating film at the center and the coating film at the edge of the glass substrate. It is also aimed to improve the utilization rate of the colored photoresist. With this coating apparatus, a coating film having a reduced film thickness difference was obtained even when the glass substrate was large, and the utilization rate of the colored photoresist was greatly improved.
However, in this coating apparatus, it is difficult to further increase the size of the apparatus due to mechanical restrictions such as a motor that rotates a large glass substrate.
これらのコータに代わって、精度の高いスリットコータの開発、実用が進んでいる。スリットコータは、ガラス基板を載置した定盤を、或いは塗布ヘッドを水平移動させながらスリットノズルから塗布液をガラス基板に塗布する方法であり、１ｍ×１．３ｍ、或いは１．５ｍ×１．８ｍ程度の大きさのガラス基板にも対応ができるようになった。 Instead of these coaters, the development and practical use of highly accurate slit coaters are progressing. The slit coater is a method of applying a coating solution to a glass substrate from a slit nozzle while horizontally moving a surface plate on which a glass substrate is placed or an application head, and is 1 m × 1.3 m or 1.5 m × 1. A glass substrate having a size of about 8 m can be accommodated.
一方、上記着色フォトレジストは、例えば、高分子樹脂に顔料を分散剤を用いて分散させ、この分散液に重合性モノマー、光重合開始剤、増感剤、溶剤などを添加して調製されるものであるが、着色フォトレジスト中の微小な顔料粒子は凝集し易く、この顔料粒子が核となって着色フォトレジスト中には凝集体が生じ易いものである。
着色フォトレジストは、着色フォトレジスト中においては、分散剤によって高分子樹脂に顔料を分散させ、分散した顔料の凝集を防ぎ、分散系としての平衡を保つ機能を果たすようにしている。しかし、着色フォトレジスト中で分散している粒径約１μｍ以下の微小な顔料粒子は凝集し易く、この顔料粒子が核となって、着色フォトレジストには凝集体が生じ易い。
On the other hand, the colored photoresist is prepared, for example, by dispersing a pigment in a polymer resin using a dispersant, and adding a polymerizable monomer, a photopolymerization initiator, a sensitizer, a solvent, or the like to the dispersion. However, the minute pigment particles in the colored photoresist are likely to aggregate, and the pigment particles serve as nuclei, and aggregates are likely to occur in the colored photoresist.
In the colored photoresist, the pigment is dispersed in the polymer resin by a dispersant so as to prevent the dispersed pigment from agglomerating and to maintain a balance as a dispersion system. However, fine pigment particles having a particle size of about 1 μm or less dispersed in the colored photoresist tend to aggregate, and the pigment particles tend to form nuclei and aggregates are likely to occur in the colored photoresist.
このような凝集体は、その粒径が数μｍに達するものもあり、これが着色フォトレジストの中に存在したまま、塗布装置の吐出ノズルよりガラス基板上に滴下され、表示装置用カラーフィルタの画素が形成されると、カラーフィルタの画素上に凝集体が固着した状態になり、カラーフィルタとしては異物と称する欠陥となる。 Some of these agglomerates have a particle size of several μm, and are dropped on the glass substrate from the discharge nozzle of the coating device while being present in the colored photoresist, so that the pixel of the color filter for the display device Is formed, the aggregates are fixed on the pixels of the color filter, and the color filter becomes a defect called foreign matter.
図１は、ガラス基板上に着色フォトレジストを塗布する塗布装置における着色フォトレジストの供給系の一例を模式的に示した説明図である。図１は、塗布装置がスピンコータの場合を例としたものである。
図１に示す着色フォトレジストの供給系（２０）において、レジスト貯蔵容器（２１）の中の着色フォトレジスト（２２）は、外部からの空気又は窒素などの気体による加圧によって、流路の配管（２３）、第１ポンプ（Ｐ１）、一次濾過装置（３０）、流路の配管（２５）、第２ポンプ（Ｐ１）、最終段フィルタ装置（２６）を経て、吐出ノズル（２７）よりスピンコータのハウジング（２８）内のガラス基板（１０）上に適量が滴下されるようになっている。
FIG. 1 is an explanatory view schematically showing an example of a colored photoresist supply system in a coating apparatus for applying a colored photoresist on a glass substrate. FIG. 1 shows an example in which the coating apparatus is a spin coater.
In the colored photoresist supply system (20) shown in FIG. 1, the colored photoresist (22) in the resist storage container (21) is piped in the flow path by pressurization with a gas such as air or nitrogen from the outside. (23), the first pump (P1), the primary filtration device (30), the pipe (25) of the flow path, the second pump (P1), and the final-stage filter device (26), and then the spin coater from the discharge nozzle (27) An appropriate amount is dropped on the glass substrate (10) in the housing (28).
図１に示す供給系（２０）においては、上記凝集体や供給系内のパーティクルなどを一次濾過装置（３０）によって捕捉し、吐出ノズル（２７）の直前に設けられた最終段フィルタ装置（２６）によって、更に小さな凝集体やパーティクルなどを捕捉し、吐出ノズル（２７）の先端部よりガラス基板（１０）上に着色フォトレジストを滴下すようにしている。 In the supply system (20) shown in FIG. 1, the agglomerates, particles in the supply system, and the like are captured by the primary filtration device (30), and the final stage filter device (26 provided just before the discharge nozzle (27). ) Captures smaller aggregates, particles, and the like, and drops the colored photoresist onto the glass substrate (10) from the tip of the discharge nozzle (27).
図２は、図１中の一次濾過装置（３０）の一例を拡大し、その断面を示す説明図である。図２に示すように、この一例として示す一次濾過装置（３０）は、例えば、中空円筒状ケーシング（３１）の下面の中央部に濾過する着色フォトレジストの注入口（３２）、その上面の中央部に濾過した着色フォトレジストの注出口（３３）が設けられている。 FIG. 2 is an explanatory diagram showing an enlarged cross section of an example of the primary filtration device (30) in FIG. As shown in FIG. 2, the primary filtration device (30) shown as an example of this is, for example, a colored photoresist injection port (32) for filtering into the central portion of the lower surface of the hollow cylindrical casing (31), and the center of the upper surface thereof. The filtered photoresist outlet (33) is provided in the part.
中空円筒状ケーシング（３１）の中空部（３７）内には、中空柱状濾過フィルタ（３４）が設けられている。中空柱状濾過フィルタ（３４）は、例えば、中空円柱状のものであり、その上端部を注出口（３３）に対向させ、締具（３６）と中空円筒状ケーシング（３１）の上面の内面に設けられた台座（３５）で下端部と上端部が挟持されて台座（３５）を介して中空円筒状ケーシング（３１）に固定されている。
尚、中空円筒状ケーシング（３１）の材料としては、不透明な材料を用いていることが多い。
In the hollow portion (37) of the hollow cylindrical casing (31), a hollow columnar filter (34) is provided. The hollow columnar filter (34) is, for example, a hollow columnar shape, and the upper end thereof is opposed to the spout (33), and on the inner surfaces of the upper surface of the fastener (36) and the hollow cylindrical casing (31). The lower end and the upper end are sandwiched by the provided pedestal (35) and are fixed to the hollow cylindrical casing (31) via the pedestal (35).
As the material of the hollow cylindrical casing (31), an opaque material is often used.
図１に示す流路の配管（２３）は、注入口（３２）に接続しており、第１ポンプ（Ｐ１）の作動により、レジスト貯蔵容器（２１）の中の着色フォトレジスト（２２）は吸引され、中空円筒状ケーシング（３１）の中空部（３７）内へと加圧注入される。図２中、矢印で示すように、中空部（３７）内へと加圧注入された着色フォトレジスト（２２）は、中空柱状濾過フィルタ（３４）の外周壁から中空柱状濾過フィルタ（３４）に入り内周壁から中空柱状濾過フィルタ（３４）の中空部（３８）に至り、中空円筒状ケーシング（３１）の上面に設けらた注出口（３３）から、図１に示す流路の配管（２５）を経て第２ポンプ（Ｐ１）、最終段フィルタ装置（２６）、吐出ノズル（２７）に至る。この間、中空柱状濾過フィルタ（３４）において、着色フォトレジスト（２２）中の前記凝集体やパーティクルなどが捕捉される。 The pipe (23) of the flow path shown in FIG. 1 is connected to the injection port (32), and the colored photoresist (22) in the resist storage container (21) is moved by the operation of the first pump (P1). It is sucked and pressurized and injected into the hollow part (37) of the hollow cylindrical casing (31). As shown by the arrows in FIG. 2, the colored photoresist (22) pressure-injected into the hollow portion (37) is transferred from the outer peripheral wall of the hollow columnar filter (34) to the hollow columnar filter (34). From the inner peripheral wall to the hollow portion (38) of the hollow columnar filter (34) and from the spout (33) provided on the upper surface of the hollow cylindrical casing (31), the pipe of the flow path (25 ) To the second pump (P1), the final stage filter device (26), and the discharge nozzle (27). During this time, the aggregates and particles in the colored photoresist (22) are captured in the hollow columnar filter (34).
しかしながら、図２に示すように、着色フォトレジスト（２２）中に気泡（４０）が混入していることがあっても、気泡（４０）は、中空柱状濾過フィルタ（３４）によって捕捉されず、気泡（４０）は着色フォトレジスト（２２）中に存在したまま吐出ノズル（２７）よりガラス基板（１０）上に滴下される。
着色フォトレジスト（２２）中に混入した気泡（４０）が、中空柱状濾過フィルタ（３４）によって捕捉されず、吐出ノズル（２７）より滴下されてしまうのは、図２に示すように、中空円筒状ケーシング（３１）の上面が、上面の中央部に向かって高くなるような傾斜面でなく、平坦な構造の上面であっても同様である。
However, as shown in FIG. 2, even if bubbles (40) may be mixed in the colored photoresist (22), the bubbles (40) are not captured by the hollow columnar filter (34), The bubbles (40) are dropped on the glass substrate (10) from the discharge nozzle (27) while existing in the colored photoresist (22).
The bubbles (40) mixed in the colored photoresist (22) are not trapped by the hollow columnar filter (34) but are dropped from the discharge nozzle (27) as shown in FIG. The same is true even if the upper surface of the casing (31) is not an inclined surface that rises toward the center of the upper surface but an upper surface with a flat structure.
着色フォトレジスト（２２）中に気泡（４０）が混入したまま吐出ノズル（２７）よりガラス基板（１０）上に滴下され、表示装置用カラーフィルタの着色画素が形成されると、カラーフィルタの着色画素上では、その部位の膜厚が薄くなったり、その部位の膜が欠落したピンホール等が生じ、カラーフィルタとしてはピンホールと称する欠陥となる。 When bubbles (40) are mixed in the colored photoresist (22) and dropped onto the glass substrate (10) from the discharge nozzle (27) to form the color pixels of the color filter for the display device, the color filter is colored. On the pixel, the film thickness of the part becomes thin, or a pinhole or the like in which the film of the part is missing occurs, so that the color filter becomes a defect called a pinhole.
着色フォトレジスト（２２）中に気泡（４０）が混入するのは、例えば、新しい中空柱状濾過フィルタ（３４）に交換した後に、着色フォトレジストの供給を再開すると、交換時の中空円筒状ケーシング（３１）の開放によって、中空円筒状ケーシング（３１）内、及び配管（２３）内にては着色フォトレジスト（２２）と空気が混ざり、着色フォトレジスト中に気泡が発生する場合、或いは、何らかの原因により、供給系（２０）の気密が破れ、空気がリーク（混入）し、着色フォトレジスト中に気泡が発生する場合などである。 The bubbles (40) are mixed in the colored photoresist (22), for example, when the supply of the colored photoresist is resumed after replacement with a new hollow columnar filter (34), and the hollow cylindrical casing ( 31), the colored photoresist (22) and air are mixed in the hollow cylindrical casing (31) and in the pipe (23), and bubbles are generated in the colored photoresist. For example, the airtightness of the supply system (20) is broken, air leaks (mixes), and bubbles are generated in the colored photoresist.
従って、実際の作業においては、新しい中空柱状濾過フィルタ（３４）に交換した後には、供給系（２０）に混ざった空気（気泡）を排出するために、液ヌキと称する作業、すなわち、吐出ノズル（２７）より着色フォトレジスト（２２）を吐出させ、供給系（２０）内の気泡を一掃する。
しかし、この液ヌキの作業には、当然、相応の時間、及び着色フォトレジストの損失が伴うといった問題がある。
Therefore, in the actual work, after replacing with a new hollow columnar filter (34), in order to discharge the air (bubbles) mixed in the supply system (20), the work called liquid nuisance, that is, the discharge nozzle The colored photoresist (22) is discharged from (27), and the bubbles in the supply system (20) are wiped out.
However, there is a problem that the operation of this liquid nuisance naturally involves a corresponding time and loss of the colored photoresist.
また、この液ヌキの作業では、供給系（２０）内から気泡（４０）が一掃されたか否かの終点を正確に判断するのは難しいことである。この判断を誤って、気泡（４０）が一部残されたまま塗布作業を再開すると、ピンホールが発生することになる。或いは、安全を見込んで過度な着色フォトレジスト（２２）の吐出を行うと、時間及び着色フォトレジストの損失が過度なものとなる。
従って、液ヌキの作業の終点を正確に容易に判断する方法が求められている。
Further, in this liquid scum operation, it is difficult to accurately determine the end point of whether or not the bubbles (40) have been cleared from the supply system (20). If this determination is mistaken and the coating operation is resumed with some of the bubbles (40) left, pinholes will occur. Alternatively, if an excessive amount of colored photoresist (22) is discharged for safety, the time and loss of the colored photoresist become excessive.
Therefore, there is a need for a method for accurately and easily determining the end point of the liquid scouring operation.
また、上記供給系（２０）の気密の破れによる空気のリーク（混入）は、塗布装置の運転中に発生することが多い。この際に、供給系（２０）のリーク箇所を短時間で特定することは難しく、装置の運転を停止して、その対応に時間を費やしてしまうこともある。
本発明は、上記問題を解決するためになされたものであり、着色フォトレジストを用い顔料分散法により表示装置用カラーフィルタを製造する際に、着色フォトレジストを塗布する塗布装置の供給系において、新しい中空柱状濾過フィルタに交換した後に行う、供給系に混ざった気泡を排出するための液ヌキの作業に要する時間を短縮することができ、ま
た、液ヌキの作業の終点を正確に容易に判断することができ、更には、供給系の気密の破れたリーク箇所の特定に要する時間を短縮することができる濾過装置を提供することを課題とするものである。
The present invention has been made to solve the above problems, and in the supply system of a coating apparatus for applying a colored photoresist when a color filter for a display device is manufactured by a pigment dispersion method using the colored photoresist, After replacing with a new hollow columnar filter, it can reduce the time required for the work of liquid to discharge bubbles mixed in the supply system, and the end point of the work of liquid can be determined accurately and easily. Furthermore, it is an object of the present invention to provide a filtration device that can shorten the time required to identify a leaked portion of a supply system that is not airtight.
また、本発明は、上記濾過装置を、着色フォトレジストの供給系の濾過装置として用いた塗布装置を提供することを課題とする。 Moreover, this invention makes it a subject to provide the coating device which used the said filtration apparatus as a filtration apparatus of the supply system of a colored photoresist.
本発明は、着色フォトレジストを塗布する塗布装置用の濾過装置であって、
Ａ）１）その下面の中央部に配管と接続する注入口、上面の中央部に配管と接続する注出口を有する中空筒状ケーシングを有し、
２）該中空筒状ケーシングの上面は前記注出口の有る中央部から外縁に向けて一定の傾きで徐々に高くなる傾斜面を有しており、該上面の外縁には気泡排出口を有し、該上面の少なくとも外縁近傍の部位には中空部内を観視できる透明板を嵌めた窓を設け、
３）該中空筒状ケーシングの下面は前記注入口の有る中央部から外縁に向けて一定の傾きで徐々に高くなる傾斜面を有し、
Ｂ）前記中空筒状ケーシングの中空部内にて、その下端部を注入口に対向させ、締具と中空筒状ケーシングの下面の内面に設けられた台座で上端部と下端部が挟持されて台座を介して中空筒状ケーシングに固定されている中空柱状濾過フィルタを少なくとも具備するこ
とを特徴とする濾過装置である。
The present invention is a filtration device for a coating device for applying a colored photoresist,
A) 1) a hollow cylindrical casing closed inlet connected to the pipe in the center of its lower surface, a spout for connecting the pipe to the central portion of the upper surface,
2) the upper surface of the hollow cylindrical casing has have a inclined surface that gradually increases with a constant slope towards the outer edge from the center portion having the said spout, the outer edge of the upper surface has a bubble outlet , At least a portion of the upper surface near the outer edge is provided with a window fitted with a transparent plate capable of viewing the inside of the hollow portion ,
3) The lower surface of the hollow cylindrical casing has an inclined surface that gradually increases with a certain inclination from the central portion of the injection port toward the outer edge,
B) In the hollow portion of the hollow cylindrical casing, the lower end thereof is opposed to the injection port, and the upper end and the lower end are sandwiched between the fastener and the pedestal provided on the inner surface of the lower surface of the hollow cylindrical casing. A filtration apparatus comprising at least a hollow columnar filtration filter fixed to a hollow cylindrical casing through a wall.
また、本発明は、上記の濾過装置を、着色フォトレジストの供給系の濾過装置として用いたことを特徴とする塗布装置である。 The present invention is also a coating apparatus characterized by using the above-described filtration device as a filtration device for a colored photoresist supply system.
本発明は、Ａ）１）その下面の中央部に配管と接続する注入口、上面の中央部に配管と接続する注出口を有し、２）この上面は注出口の有る中央部から外縁に向けて徐々に高くなるように傾斜をしており、この上面の外縁には気泡排出口を有し、上面の少なくとも外縁近傍の部位には中空部内を観視できる透明な材料が用いられている中空筒状ケーシング、Ｂ）上記中空筒状ケーシングの中空部内にて、その下端部を注入口に対向させ、締具と中空筒状ケーシングの下面の内面に設けられた台座で上端部と下端部が挟持されて台座を介して中空筒状ケーシングに固定されている中空柱状濾過フィルタを少なくとも具備する濾過装置であるので、新しい中空柱状濾過フィルタに交換した後に行う、供給系に混ざった気泡を排出するための液ヌキの作業に要する時間を短縮することができ、また、液ヌキの作業の終点を正確に容易に判断することができ、更には、供給系の気密の破れたリーク箇所の特定に要する時間を短縮することができる濾過装置となる。 The present invention has A) 1) an inlet connected to the pipe at the center of the lower surface, and a spout connected to the pipe at the center of the upper surface. 2) This upper surface extends from the central portion where the spout is located to the outer edge. The upper surface has a bubble discharge port at the outer edge of the upper surface, and a transparent material that allows the inside of the hollow portion to be observed is used at least in the vicinity of the outer edge of the upper surface. Hollow cylindrical casing, B) The upper end and the lower end of the fastener and the pedestal provided on the inner surface of the lower surface of the hollow cylindrical casing with the lower end facing the inlet in the hollow portion of the hollow cylindrical casing Is a filtration device having at least a hollow columnar filtration filter that is sandwiched and fixed to a hollow cylindrical casing via a pedestal, so that air bubbles mixed in the supply system are discharged after replacement with a new hollow columnar filtration filter. Liquid to do The time required for the work can be shortened, the end point of the liquid scum work can be accurately and easily determined, and further, the time required for identifying the leaked portion where the airtightness of the supply system is broken is shortened. It becomes a filtration device that can.
また、本発明は、上記濾過装置を、着色フォトレジストの供給系の濾過装置として用いた塗布装置であるので、新しい中空柱状濾過フィルタに交換した後に行う、供給系に混ざった気泡を排出するための液ヌキの作業に要する時間を短縮することができ、また、液ヌキの作業の終点を正確に容易に判断することができ、更には、供給系の気密の破れたリーク箇所の特定に要する時間を短縮することができる塗布装置となる。 In addition, since the present invention is a coating apparatus using the above-described filtration device as a filtration device for a colored photoresist supply system, in order to discharge bubbles mixed in the supply system, which is performed after replacement with a new hollow columnar filter. It is possible to reduce the time required for the work of the liquid scum, to easily and accurately determine the end point of the work of the liquid squirrel, and to identify the leaked portion where the airtightness of the supply system is broken. The coating apparatus can reduce the time.
本発明を実施の形態に基づいて以下に説明する。
図３は、本発明による濾過装置の一実施例を説明する断面図である。図３に示すように、この濾過装置（５０）は、中空筒状ケーシング（５１）の下面の中央部に濾過する着色フォトレジストを供給する配管と接続する注入口（５２）、その上面の中央部に濾過した着色フォトレジストを排出する配管と接続する注出口（５３）が設けられている。
The present invention will be described below based on the embodiments.
FIG. 3 is a cross-sectional view illustrating an embodiment of the filtration device according to the present invention. As shown in FIG. 3, the filtration device (50) includes an injection port (52) connected to a pipe for supplying a colored photoresist to be filtered to the central portion of the lower surface of the hollow cylindrical casing (51), and the center of the upper surface thereof. A spout (53) connected to a pipe for discharging the filtered colored photoresist is provided in the part.
中空筒状ケーシング（５１）の水平断面形状は限定されないが、円形であること、すなわち、中空円筒状ケーシングであることが好ましい。中空筒状ケーシング（５１）の上面は、注出口（５３）が設けられている中央部から外縁に向けて徐々に高くなるように傾斜をしている。また、この上面の外縁には気泡排出口（６０）が設けられている。気泡排出口（６０）の個数は限定されず、適宜に設定される。また、この上面の外縁近傍の部位には中空部（５７）内を外部から観視できるように透明な材料（７０）が用いられている。 Although the horizontal cross-sectional shape of a hollow cylindrical casing (51) is not limited, It is preferable that it is circular, ie, it is a hollow cylindrical casing. The upper surface of the hollow cylindrical casing (51) is inclined so as to gradually increase from the center where the spout (53) is provided toward the outer edge. A bubble discharge port (60) is provided at the outer edge of the upper surface. The number of bubble outlets (60) is not limited and is set as appropriate. In addition, a transparent material (70) is used at a portion of the upper surface near the outer edge so that the inside of the hollow portion (57) can be viewed from the outside.
この上面は、上面の全面に透明な材料（７０）が用いられていてもよいが、少なくとも、外縁近傍の部位には透明な材料（７０）が用いられていることを要する。この部位は外縁の全周でなくてもよい。
また、この部位は透明な材料（７０）に代わり、透明板を嵌めた密閉された窓であってもよい。この窓の個数は限定されない。
For this upper surface, a transparent material (70) may be used for the entire upper surface, but it is necessary that the transparent material (70) is used at least in the vicinity of the outer edge. This part may not be the entire circumference of the outer edge.
Also, this site is instead transparent material (70) may be sealed window fitted with a transparent plate. The number of windows is not limited.
中空筒状ケーシング（５１）の中空部（５７）内には、中空柱状濾過フィルタ（５４）が設けられている。この水平断面形状は限定されないが、円形であること、すなわち、中空円柱状濾過フィルタであることが好ましい。
中空柱状濾過フィルタ（５４）は、その下端部を注入口（５２）に対向させ、締具（５６）と中空筒状ケーシング（５１）の下面の内面に設けられた台座（５５）によって、その上端部と下端部が挟持された状態て台座（５５）を介して中空筒状ケーシング（５１）の下面の内面に固定されている。
A hollow columnar filter (54) is provided in the hollow portion (57) of the hollow cylindrical casing (51). The horizontal cross-sectional shape is not limited, but is preferably circular, that is, a hollow cylindrical filter.
The hollow columnar filter (54) has its lower end opposed to the inlet (52), and the fastener (56) and the base (55) provided on the inner surface of the lower surface of the hollow cylindrical casing (51) It is being fixed to the inner surface of the lower surface of a hollow cylindrical casing (51) via the base (55) in the state where the upper end part and the lower end part were clamped.
例えば、図２に示す一次濾過装置（３０）に代わり、本発明による濾過装置（５０）を図１に示す供給系（２０）に用いた場合、濾過装置（５０）の注入口（５２）に、図１に示す流路の配管（２３）が接続され、濾過装置（５０）の注出口（５３）に、流路の配管（２５）が接続される。
第１ポンプ（Ｐ１）の作動により、レジスト貯蔵容器（２１）の中の着色フォトレジスト（２２）は吸引され、中空柱状濾過フィルタ（５４）の中空部（５８）内へと加圧注入される。
For example, when the filtration device (50) according to the present invention is used in the supply system (20) shown in FIG. 1 instead of the primary filtration device (30) shown in FIG. 2, the inlet (52) of the filtration device (50) is used. The flow path pipe (23) shown in FIG. 1 is connected, and the flow path pipe (25) is connected to the spout (53) of the filtration device (50).
By the operation of the first pump (P1), the colored photoresist (22) in the resist storage container (21) is sucked and pressurized and injected into the hollow portion (58) of the hollow columnar filter (54). .
図３中、矢印で示すように、中空部（５８）内へと加圧注入された着色フォトレジスト（２２）は、中空柱状濾過フィルタ（５４）の内周壁から中空柱状濾過フィルタ（５４）に入り外周壁から中空筒状ケーシング（５１）の中空部（５７）に至り、中空円筒状ケーシング（５１）の上面に設けらた注出口（５３）から、図１に示す流路の配管（２５）を経て第２ポンプ（Ｐ１）、最終段フィルタ装置（２６）、吐出ノズル（２７）に至る。この間、中空柱状濾過フィルタ（５４）において、着色フォトレジスト（２２）中の前記凝集体やパーティクルなどが捕捉される。 As shown by the arrows in FIG. 3, the colored photoresist (22) pressure-injected into the hollow portion (58) is transferred from the inner peripheral wall of the hollow columnar filter (54) to the hollow columnar filter (54). From the inlet outer peripheral wall to the hollow portion (57) of the hollow cylindrical casing (51), from the spout (53) provided on the upper surface of the hollow cylindrical casing (51), the pipe of the flow path (25 ) To the second pump (P1), the final stage filter device (26), and the discharge nozzle (27). During this time, the aggregates and particles in the colored photoresist (22) are captured in the hollow columnar filter (54).
また、着色フォトレジスト（２２）中に気泡（４０）が混入していることがあっても、気泡（４０）は、中空柱状濾過フィルタ（５４）によって捕捉されずに通過する。しかし、中空筒状ケーシング（５１）の上面は、中央部から外縁に向けて徐々に高くなるように傾斜をしているために、図３に示すように、中空筒状ケーシング（５１）の上面の外縁に気泡（４０）は滞留する。
従って、着色フォトレジスト（２２）中に気泡（４０）が存在したまま濾過装置（５０）の注出口（５３）から排出されることは大幅に減少し、気泡（４０）が混入した着色フォトレジスト（２２）がガラス基板（１０）上に滴下されることはなくなる。
Further, even if bubbles (40) may be mixed in the colored photoresist (22), the bubbles (40) pass through without being trapped by the hollow columnar filter (54). However, since the upper surface of the hollow cylindrical casing (51) is inclined so as to gradually increase from the center toward the outer edge, as shown in FIG. 3, the upper surface of the hollow cylindrical casing (51). Bubbles (40) stay on the outer edge of the.
Therefore, the discharge from the spout (53) of the filtration device (50) while the bubbles (40) are present in the colored photoresist (22) is greatly reduced, and the colored photoresist in which the bubbles (40) are mixed. (22) will not be dripped onto the glass substrate (10).
本発明による濾過装置（５０）を用いることにより、例えば、新しい中空柱状濾過フィルタ（３４）に交換した後に、供給系（２０）に混ざった空気（気泡）を排出する際には、主に、中空筒状ケーシング（５１）の上面に設けられた気泡排出口（６０）から気泡（
４０）の排出を行うことができる。
By using the filtration device (50) according to the present invention, for example, when the air (bubbles) mixed in the supply system (20) is discharged after being replaced with a new hollow columnar filter (34), mainly, From the bubble discharge port (60) provided on the upper surface of the hollow cylindrical casing (51), bubbles (
40) can be discharged.
濾過装置（５０）の気泡排出口（６０）より気泡（４０）を排出させる、この泡ヌキの作業では、気泡（４０）は上面の外縁に滞留しているので、気泡排出口（６０）から気泡排出配管（図示せず）を経て外部へと、短時間で気泡（４０）を排出させることが可能となる。
すなわち、吐出ノズル（２７）より着色フォトレジスト（２２）を吐出させる、前記液ヌキの作業における、相応の時間は短縮され、また、着色フォトレジストの損失は減少する。
In this bubble cleaning operation, in which the bubble (40) is discharged from the bubble discharge port (60) of the filtration device (50), the bubble (40) stays at the outer edge of the upper surface. It is possible to discharge the bubbles (40) in a short time to the outside through a bubble discharge pipe (not shown).
That is, a corresponding time in the operation of the liquid leakage, in which the colored photoresist (22) is discharged from the discharge nozzle (27), is shortened, and the loss of the colored photoresist is reduced.
また、この泡ヌキの作業において、気泡（４０）が一掃されたか否かの終点の判断は、上面の外縁近傍の部位には透明な材料が用いられているので、気泡（４０）の滞留の状態を観視することによって、より正確に行うことが可能となる。 Further, in this bubble cleaning operation, the determination of the end point of whether or not the bubble (40) has been wiped out is made of a transparent material in the vicinity of the outer edge of the upper surface. By observing the state, it is possible to perform more accurately.
また、例えば、供給系（２０）内から気泡（４０）を一掃したときに、早合点で気泡は一掃されたものと判断を誤って塗布作業を再開しても、上面の外縁近傍の部位には透明な材料が用いられているので、早い時点で気泡（４０）は未だ残留していることが容易に判り、上記泡ヌキの作業を再び行うこともできる。 Further, for example, when the bubble (40) is wiped out from the supply system (20), even if it is determined that the bubble has been wiped out at the early match point and the application operation is restarted, the region near the outer edge of the upper surface Since a transparent material is used, it can be easily seen that the bubbles (40) still remain at an early point, and the above operation of the bubble removal can be performed again.
また、例えば、塗布装置の運転中に、供給系（２０）の気密の破れによって空気のリーク（混入）が発生しても、外縁の透明な部位の状態を観視することによって、リークの発生を早い時点で認知することができ、また、供給系（２０）のリーク箇所を特定する際には、少なくとも、供給系（２０）の前半（レジスト貯蔵容器（２１）〜濾過装置（５０）の間）の箇所か、或いは供給系の後半の箇所かの判断は即座にできるので、リークへの対応時間は短縮されたものとなる。 Further, for example, even if an air leak (mixture) occurs due to an airtight break of the supply system (20) during the operation of the coating apparatus, the occurrence of the leak occurs by observing the state of the transparent portion of the outer edge. Can be recognized at an early point of time, and when specifying the leak location of the supply system (20), at least the first half of the supply system (20) (from the resist storage container (21) to the filtration device (50)). It is possible to immediately determine whether it is a part of (between) or the latter part of the supply system, so that the response time to the leak is shortened.
１０・・・ガラス基板
２０・・・着色フォトレジストの供給系
２１・・・レジスト貯蔵容器
２２・・・着色フォトレジスト
２３、２５・・・配管
２６・・・最終段フィルタ装置
２７・・・吐出ノズル
２８・・・ハウジング
３０・・・一次濾過装置
３１・・・中空円筒状ケーシング
３２、５２・・・着色フォトレジストの注入口
３３、５３・・・着色フォトレジストの注出口
３４、５４・・・中空柱状濾過フィルタ
３５、５５・・・台座
３６、５６・・・締具
３７・・・中空円筒状ケーシングの中空部
３８、５８・・・中空柱状濾過フィルタの中空部
４０・・・気泡
５０・・・本発明による濾過装置
５１・・・中空筒状ケーシング
５７・・・中空筒状ケーシングの中空部
６０・・・気泡排出口
７０・・・透明な材料
Ｐ１・・・第１ポンプ
Ｐ２・・・第２ポンプ
DESCRIPTION OF
Claims (2)
Ａ）１）その下面の中央部に配管と接続する注入口、上面の中央部に配管と接続する注出口を有する中空筒状ケーシングを有し、
２）該中空筒状ケーシングの上面は前記注出口の有る中央部から外縁に向けて一定の傾きで徐々に高くなる傾斜面を有しており、該上面の外縁には気泡排出口を有し、該上面の少なくとも外縁近傍の部位には中空部内を観視できる透明板を嵌めた窓を設け、
３）該中空筒状ケーシングの下面は前記注入口の有る中央部から外縁に向けて一定の傾きで徐々に高くなる傾斜面を有し、
Ｂ）前記中空筒状ケーシングの中空部内にて、その下端部を注入口に対向させ、締具と中空筒状ケーシングの下面の内面に設けられた台座で上端部と下端部が挟持されて台座を介して中空筒状ケーシングに固定されている中空柱状濾過フィルタを少なくとも具備することを特徴とする濾過装置。 A filtering device for a coating device for applying a colored photoresist,
A) 1) a hollow cylindrical casing closed inlet connected to the pipe in the center of its lower surface, a spout for connecting the pipe to the central portion of the upper surface,
2) the upper surface of the hollow cylindrical casing has have a inclined surface that gradually increases with a constant slope towards the outer edge from the center portion having the said spout, the outer edge of the upper surface has a bubble outlet , At least a portion of the upper surface near the outer edge is provided with a window fitted with a transparent plate capable of viewing the inside of the hollow portion ,
3) The lower surface of the hollow cylindrical casing has an inclined surface that gradually increases with a certain inclination from the central portion of the injection port toward the outer edge,
B) In the hollow portion of the hollow cylindrical casing, the lower end thereof is opposed to the injection port, and the upper end and the lower end are sandwiched between the fastener and the pedestal provided on the inner surface of the lower surface of the hollow cylindrical casing. A filtration apparatus comprising at least a hollow columnar filtration filter fixed to a hollow cylindrical casing through a wall.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2006211684A JP4983137B2 (en) | 2006-08-03 | 2006-08-03 | Filtration device and coating device using the same |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2006211684A JP4983137B2 (en) | 2006-08-03 | 2006-08-03 | Filtration device and coating device using the same |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2008041791A JP2008041791A (en) | 2008-02-21 |
| JP4983137B2 true JP4983137B2 (en) | 2012-07-25 |
Family
ID=39176501
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2006211684A Expired - Fee Related JP4983137B2 (en) | 2006-08-03 | 2006-08-03 | Filtration device and coating device using the same |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4983137B2 (en) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8684705B2 (en) | 2010-02-26 | 2014-04-01 | Entegris, Inc. | Method and system for controlling operation of a pump based on filter information in a filter information tag |
| US8727744B2 (en) * | 2010-02-26 | 2014-05-20 | Entegris, Inc. | Method and system for optimizing operation of a pump |
| TWI563351B (en) | 2010-10-20 | 2016-12-21 | Entegris Inc | Method and system for pump priming |
| KR101151568B1 (en) * | 2011-02-14 | 2012-05-31 | 주식회사 엘지실트론 | Apparatus for receiving chemical |
| JP2016164961A (en) * | 2014-10-30 | 2016-09-08 | キヤノン株式会社 | Liquid discharging device, nanoimprint device, liquid-containing tank for nanoimprint, method for manufacturing hardened material pattern, method for manufacturing optical component, method for manufacturing circuit board, and method for manufacturing imprint mold |
| WO2016067525A1 (en) * | 2014-10-30 | 2016-05-06 | Canon Kabushiki Kaisha | Liquid ejection device, nanoimprinting apparatus, nanoimprinting liquid storage tank, method of manufacturing cured product pattern, method of manufacturing optical component, method of manufacturing circuit board, and method of manufacturing imprinting mold |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10192614A (en) * | 1997-01-10 | 1998-07-28 | Brother Ind Ltd | Purification device |
| JP3266848B2 (en) * | 1997-03-03 | 2002-03-18 | 東京エレクトロン株式会社 | Coating device and coating method |
| JPH1133471A (en) * | 1997-07-23 | 1999-02-09 | Tokyo Electron Ltd | Coating device |
| JP2004358414A (en) * | 2003-06-06 | 2004-12-24 | Seiko Epson Corp | Filtration device and filtration method |
-
2006
- 2006-08-03 JP JP2006211684A patent/JP4983137B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2008041791A (en) | 2008-02-21 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090724 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100726 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
| A521 | Written amendment |
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|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120327 |
|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
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| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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