JP4899471B2 - ガスバリア性プラスチック容器およびその製造方法 - Google Patents
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Description
発明は、容器表面にプラズマCVD法により薄膜がコーティングされているガスバリア性プラスチック容器において、メタンガスを20sccmチャンバー内に供給して1秒間炭素膜を成膜し、続けて、1秒の間にメタンガス流量を20sccmから0sccmへ、HMDSO流量を0sccmから5sccmへ、酸素流量を0sccmから100sccmへ変化させながらチャンバーへ供給し、1秒間混合層の成膜を行い、さらに続けて、HMDSOを5sccm、酸素を100sccmチャンバー内に供給し4秒間酸化珪素膜を成膜することにより製造された、プラスチック基材上に第1層である炭素膜がコーティングされ、その上に第2層である酸化珪素膜がコーティングされ、前記第1層の炭素膜と第2層の酸化珪素膜の間に、炭素原子含有比率が第1層から第2層に向かって徐々に減少し、珪素原子含有比率及び酸素原子含有比率が第1層から第2層に向かって徐々に増加している該炭素膜と酸化珪素膜の混合層が存在するとともに、前記炭素膜と前記混合層と前記酸化珪素膜の成膜時間の比が1:1:4であることを特徴とするガスバリア性プラスチック容器である。
本発明の請求項2に係る発明は、メタンガスを20sccmチャンバー内に供給して1秒間炭素膜を成膜し、続けて、1秒の間にメタンガス流量を20sccmから0sccmへ、HMDSO流量を0sccmから5sccmへ、酸素流量を0sccmから100sccmへ変化させながらチャンバーへ供給し、1秒間混合層の成膜を行い、さらに続けて、HMDSOを5sccm、酸素を100sccmチャンバー内に供給し4秒間酸化珪素膜を成膜するプラスチック基材からなる容器表面へのプラズマCVD法により、順に第1層である炭素膜、混合層、第2層である酸化珪素膜がコーティングするガスバリア性プラスチック容器の製造方法において、前記混合層が、炭素原子含有比率が第1層から第2層に向かって徐々に減少し、珪素原子含有比率及び酸素原子含有比率が第1層から第2層に向かって徐々に増加する様に形成するとともに、前記炭素膜と前記混合層と前記酸化珪素膜の成膜時間の比が1:1:4であることを特徴とするガスバリア性プラスチック容器の製造方法である。
−テトラメチルジシロキサン、ヘキサメチルジシロキサン、ビニルトリメチルシラン、メチルトリメトキシシラン、ヘキサメチルジシラン、メチルシラン、ジメチルシラン、トリメチルシラン、ジエチルシラン、プロピルシラン、フェニルシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、テトラメトキシシラン、テトラエトキシシラン、フェニルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、オクタメチルシクロテトラシロキサン等の中から選択することができ、特に1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン、ヘキサメチルジシロキサン、オクタメチルシクロテトラシロキサンが好ましい。ただし、これらに限定されるものではなくアミノシラン、シラザン等も用いることができる。
ポリエチレンテレフタレート樹脂製の容量500ml、重量28gのプラスチック容器を、図1に示すような装置によりプラズマCVD法を用いてコーティングした。まずはメタンガスを20sccm(1気圧換算で20ml/min)チャンバー内に供給し、400ワットの高周波電力を印可し1秒間炭素膜を成膜した。更に続けて、メタンガスの供給を止め、HMDSOを5sccm、酸素を100sccmチャンバー内に供給し、400ワットの高周波電力を印可し4秒間酸化珪素膜を成膜した。成膜された薄膜をX線光電子分光分析装置を使って元素分析を行った結果、モコン社製OXITRANを使って酸素透過度を測定した結果、容器に蒸留水を充填、キャップし70℃で1ヶ月保存した場合の膜の剥離の有無を検査した結果を表1に示す。
ポリエチレンテレフタレート樹脂製の容量500ml、重量28gのプラスチック容器
を、図1に示すような装置によりプラズマCVD法を用いてコーティングした。まずはメタンガスを20sccm(1気圧換算で20ml/min)チャンバー内に供給し、400ワットの高周波電力を印可し1秒間炭素膜を成膜した。続けて、メタンガス20sccm、HMDSO5sccm、酸素100sccmをチャンバー内に供給し、400ワットの高周波電力を印可し1秒間混合層の成膜を行った。さらに続けて、メタンガスの供給を止め、HMDSOを5sccm、酸素を100sccmチャンバー内に供給し、400ワットの高周波電力を印可し4秒間酸化珪素膜を成膜した。成膜された薄膜をX線光電子分光分析装置を使って元素分析を行った結果、モコン社製OXITRANを使って酸素透過度を測定した結果、容器に蒸留水を充填、キャップし70℃で1ヶ月保存した場合の膜の剥離の有無を検査した結果を表1に示す。
ポリエチレンテレフタレート樹脂製の容量500ml、重量28gのプラスチック容器を、図1に示すような装置によりプラズマCVD法を用いてコーティングした。まずはメタンガスを20sccm(1気圧換算で20ml/min)チャンバー内に供給し、400ワットの高周波電力を印可し1秒間炭素膜を成膜した。続けて、1秒の間にメタンガス流量を20sccmから0sccmへ、HMDSO流量を0sccmから5sccmへ、酸素流量を0sccmから100sccmへ変化させながらチャンバーへ供給し、400ワットの高周波電力を印可し1秒間混合層の成膜を行った。さらに続けて、HMDSOを5sccm、酸素を100sccmチャンバー内に供給し、400ワットの高周波電力を印可し4秒間酸化珪素膜を成膜した。成膜された薄膜をX線光電子分光分析装置を使って元素分析を行った結果、モコン社製OXITRANを使って酸素透過度を測定した結果、容器に蒸留水を充填、キャップし70℃で1ヶ月保存した場合の膜の剥離の有無を検査した結果を表1に示す。
ポリエチレンテレフタレート樹脂製の容量500ml、重量28gのプラスチック容器を、図1に示すような装置によりプラズマCVD法を用いてコーティングした。HMDSOを5sccm、酸素を100sccmチャンバー内に供給し、400ワットの高周波電力を印可し4秒間酸化珪素膜を成膜した。成膜された薄膜をX線光電子分光分析装置を使って元素分析を行った結果、モコン社製OXITRANを使って酸素透過度を測定した結果、容器に蒸留水を充填、キャップし70℃で1ヶ月保存した場合の膜の剥離の有無を検査した結果を表1に示す。
以下に、実施例と比較例との比較的結果について説明する。実施例1、2、3で得られたガスバリア性プラスチック容器は、酸素透過度については、ほぼ同一の値を示し、ガスバリア性がいずれも良好であった。また、密着性も良く膜剥離はいずれも無かった。比較例1で得られたガスバリア性プラスチック容器は、酸素透過度については、実施例1、2、3とほぼ同一の値であったが、密着性が悪く、膜剥離が有った。
Claims (2)
- 容器表面にプラズマCVD法により薄膜がコーティングされているガスバリア性プラスチック容器において、メタンガスを20sccmチャンバー内に供給して1秒間炭素膜を成膜し、続けて、1秒の間にメタンガス流量を20sccmから0sccmへ、HMDSO流量を0sccmから5sccmへ、酸素流量を0sccmから100sccmへ変化させながらチャンバーへ供給し、1秒間混合層の成膜を行い、さらに続けて、HMDSOを5sccm、酸素を100sccmチャンバー内に供給し4秒間酸化珪素膜を成膜することにより製造された、プラスチック基材上に第1層である炭素膜がコーティングされ、その上に第2層である酸化珪素膜がコーティングされ、前記第1層の炭素膜と第2層の酸化珪素膜の間に、炭素原子含有比率が第1層から第2層に向かって徐々に減少し、珪素原子含有比率及び酸素原子含有比率が第1層から第2層に向かって徐々に増加している該炭素膜と酸化珪素膜の混合層が存在するとともに、前記炭素膜と前記混合層と前記酸化珪素膜の成膜時間の比が1:1:4であることを特徴とするガスバリア性プラスチック容器。
- メタンガスを20sccmチャンバー内に供給して1秒間炭素膜を成膜し、続けて、1秒の間にメタンガス流量を20sccmから0sccmへ、HMDSO流量を0sccmから5sccmへ、酸素流量を0sccmから100sccmへ変化させながらチャンバーへ供給し、1秒間混合層の成膜を行い、さらに続けて、HMDSOを5sccm、酸素を100sccmチャンバー内に供給し4秒間酸化珪素膜を成膜するプラスチック基材からなる容器表面へのプラズマCVD法により、順に第1層である炭素膜、混合層、第2層である酸化珪素膜がコーティングするガスバリア性プラスチック容器の製造方法において、前記混合層が、炭素原子含有比率が第1層から第2層に向かって徐々に減少し、珪素原子含有比率及び酸素原子含有比率が第1層から第2層に向かって徐々に増加する様に形成するとともに、前記炭素膜と前記混合層と前記酸化珪素膜の成膜時間の比が1:1:4であることを特徴とするガスバリア性プラスチック容器の製造方法。
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| JP2005371797A JP4899471B2 (ja) | 2005-12-26 | 2005-12-26 | ガスバリア性プラスチック容器およびその製造方法 |
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| JP2005371797A JP4899471B2 (ja) | 2005-12-26 | 2005-12-26 | ガスバリア性プラスチック容器およびその製造方法 |
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