JP4225152B2

JP4225152B2 - 光パワーモニタ装置

Info

Publication number: JP4225152B2
Application number: JP2003279327A
Authority: JP
Inventors: 知己佐野
Original assignee: Sumitomo Electric Industries Ltd
Current assignee: Sumitomo Electric Industries Ltd
Priority date: 2003-07-24
Filing date: 2003-07-24
Publication date: 2009-02-18
Anticipated expiration: 2023-07-24
Also published as: JP2005043762A

Description

本発明は、入力ポートに入力する光のパワーをモニタする光パワーモニタ装置に関するものである。

非特許文献１に記載された光パワーモニタ装置は、表面に溝が形成された基板と、その溝に配置された光ファイバと、その溝中の光ファイバの途中に斜めに配置された光フィルタと、基板上に配置され光フィルタにより反射された特定波長の光のパワーをモニタする受光素子とを備える。光フィルタの前後では、光ファイバは、その光フィルタの傾斜に合わせて斜めに切断されている。

この光パワーモニタ装置では、光ファイバの一端（入力ポート）に入力した光は光ファイバを伝搬して行って光フィルタに達し、その光のうちの特定波長の光は光フィルタにより反射されて基板の上方に出て行き、基板の上方に出た光は受光素子によりパワーがモニタされる。光フィルタを透過した光は、光ファイバを更に伝搬して行って、光ファイバの他端（出力ポート）から出力される。
T. Uno, et al., "Novel 1.3/1.55 μm dual-wavelength receiver having embedded fiber circuit for optical subscriber systems", OFC'96 Technical Digest, TuJ5 (1996)

上記の従来の光パワーモニタ装置では、光フィルタにより反射された光は、光ファイバのクラッド領域を通過し、更に、光ファイバと受光素子との間にある媒体を通過して、受光素子に到達する。したがって、光フィルタにより反射された光が受光素子に到達するまでの光路上にある物質の散乱や屈折率の温度特性に因り、受光素子における受光感度が影響を受ける。また、基板上に受光素子が接着剤により固定されていることから、その接着剤の線膨張係数や塗布量の不均一性に因り、受光素子の位置が温度によって異なり、受光素子における受光感度が影響を受ける可能性がある。このように、上記の従来の光パワーモニタ装置では、受光感度の温度依存性が大きい。

また、上記の従来の光パワーモニタ装置では、光フィルタにより反射された光が受光素子に到達するまでの光路上に光学的な界面が存在し、その界面を光が通過することに因り偏波依存損失が発生する。また、その界面の一方の側が空気であると、偏波依存損失は更に大きい。

本発明は、上記問題点を解消する為になされたものであり、受光感度の温度依存性および偏波依存性を低減することができる光パワーモニタ装置を提供することを目的とする。

本発明に係る光パワーモニタ装置は、入力ポートに入力する光のパワーをモニタする光パワーモニタ装置であって、(1) 入力ポートに入力した光を集光する第１レンズと、第１レンズによる光の集光位置に設けられ入力ポートに入力した光の少なくとも一部を透過させ他の光を反射させる光フィルタと、光フィルタにより反射された光を集光して出力ポートから出力させる第２レンズと、が表面に形成されている透明部材と、(2) 透明部材の表面に形成された光フィルタを透過して透明部材の外部に出た光のパワーをモニタする受光素子と、を備えることを特徴とする。さらに、第１レンズおよび第２レンズが透明部材の第１面に形成され、光フィルタが透明部材の第１面に平行な他の第２面に形成されていることを特徴とする。

この光パワーモニタ装置では、透明部材の表面に第１レンズ，第２レンズおよび光フィルタが形成されている。入力ポートに入力した光は、第１レンズにより収斂され、透明部材内を進んで光フィルタ上に集光される。光フィルタ上に集光された光の一部は光フィルタを透過し、その他の光は光フィルタにより反射される。光フィルタにより反射された光は、透明部材内を進んで第２レンズに入力し、第２レンズにより収斂され、出力ポートから出力される。一方、光フィルタを透過した光は、透明部材の外部に出て、透明部材と受光素子との間の空間を経て受光素子に入力し、受光素子によりパワーがモニタされる。

本発明に係る光パワーモニタ装置は、入力ポート、出力ポート、透明部材および受光素子それぞれの間の相対的方位関係を固定する方位固定手段を備えるのが好適である。また、本発明に係る光パワーモニタ装置は、入力ポートと透明部材との間の距離、出力ポートと透明部材との間の距離、および、透明部材と受光素子との間の距離、それぞれを固定する距離固定手段を備えるのが好適である。これらの場合には、光パワーモニタ装置は容易に作製され得る。

本発明に係る光パワーモニタ装置では、透明部材の線膨張係数は、温度変動があったときにも第１レンズおよび第２レンズそれぞれの透明部材側の集光位置を光フィルタ上に存在させ得るものであるのが好適である。この場合には、入力ポートから出力ポートへの光結合の効率の温度依存性が低減され得る。

本発明に係る光パワーモニタ装置は、光フィルタが特定波長の光をパワー分岐するのが好適であり、この場合には、その特定波長の光のパワーをモニタする上で好都合である。

本発明に係る光パワーモニタ装置は、特定波長における光フィルタの透過率の偏波依存性が５％以下であるのが好適であり、この場合には、入力ポートに入力する光の偏波状態に拘わらず、安定して特定波長の光のパワーをモニタすることができる。

本発明に係る光パワーモニタ装置は、光フィルタの透過率の波長依存性が５％以下であるのが好適であり、この場合には、入力ポートに入力する光の波長が多少変動したとしても、安定して特定波長の光のパワーをモニタすることができる。

本発明に係る光パワーモニタ装置は、入力ポート、出力ポート、第１レンズ、第２レンズおよび受光素子が複数組設けられ、複数組の第１レンズおよび第２レンズが１つの透明部材の表面に配列されて形成されているのが好適である。この場合には、これら複数組それぞれにおいて、各々の入力ポートに入力した光のパワーがモニタされる。また、複数組の第１レンズおよび第２レンズが１つの透明部材の表面に配列されて形成されていることにより、この光パワーモニタ装置は容易に作製され得る。

本発明に係る光パワーモニタ装置は、複数組の入力ポートおよび出力ポートそれぞれの間の相対的位置関係を固定する第１位置固定手段を更に備えるのが好適である。また、本発明に係る光パワーモニタ装置は、複数個の受光素子それぞれの間の相対的位置関係を固定する第２位置固定手段を更に備えるのが好適である。これらの場合には、光パワーモニタ装置は更に容易に作製され得る。

本発明に係る光パワーモニタ装置は、複数組それぞれについて個々に光フィルタが設けられていてもよいが、複数組の第１レンズおよび第２レンズに対して共通に光フィルタが設けられているのが好適であり、後者の場合には、透明部材の表面に光フィルタを容易に形成することができる。

本発明によれば、受光感度の温度依存性および偏波依存性が低減され得る。

以下、添付図面を参照して、本発明を実施するための最良の形態を詳細に説明する。なお、図面の説明において同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。また、各図において説明の便宜の為にｘｙｚ直交座標系が示されている。

図１は、本実施形態に係る光パワーモニタ装置１の斜視図である。この図に示される光パワーモニタ装置１は、光ファイバアレイ部１０、透明部材２０、フォトダイオードアレイ部３０、ガイドピン４１〜４４およびスペーサ５１〜５８を備える。なお、この図ではスペーサ５３，５７は現れていない。この光パワーモニタ装置１は、光ファイバ９１₁〜９１₄，９２₁〜９２₄とともに用いられる。

光ファイバアレイ部１０、透明部材２０およびフォトダイオードアレイ部３０それぞれは、概略形状が直方体であり、各々の４隅に４本のガイドピン４１〜４４を互いに平行に貫通させる貫通孔を有している。棒状のガイドピン４１〜４４それぞれが延在する方向をｚ軸方向とする。光ファイバアレイ部１０、透明部材２０およびフォトダイオードアレイ部３０それぞれは、各辺がｘ軸，ｙ軸およびｚ軸の何れかと平行となるよう配置されている。

光ファイバアレイ部１０と透明部材２０との間には４つのスペーサ５１〜５４が設けられている。４つのスペーサ５１〜５４それぞれは、パイプ形状のものであって、長さが互いに等しい。スペーサ５１はガイドピン４１が貫通しており、スペーサ５２はガイドピン４２が貫通しており、スペーサ５３はガイドピン４３が貫通しており、また、スペーサ５４はガイドピン４４が貫通している。

透明部材２０とフォトダイオードアレイ部３０との間には４つのスペーサ５５〜５８が設けられている。４つのスペーサ５５〜５８それぞれは、パイプ形状のものであって、長さが互いに等しい。スペーサ５５はガイドピン４１が貫通しており、スペーサ５６はガイドピン４２が貫通しており、スペーサ５７はガイドピン４３が貫通しており、また、スペーサ５８はガイドピン４４が貫通している。

光ファイバアレイ部１０は、８本の光ファイバ９１₁〜９１₄，９２₁〜９２₄を２次元配列する為の貫通孔を有している。８本の光ファイバ９１₁〜９１₄，９２₁〜９２₄のうち光ファイバアレイ部１０により保持されている部分はｚ軸方向に平行であり、光ファイバ９１₁〜９１₄がｘｚ平面に平行な面上に配列され、光ファイバ９２₁〜９２₄がｘｚ平面に平行な面上に配列され、光ファイバ９１₁および光ファイバ９２₁がｙｚ平面に平行な面上に配列され、光ファイバ９１₂および光ファイバ９２₂がｙｚ平面に平行な面上に配列され、光ファイバ９１₃および光ファイバ９２₃がｙｚ平面に平行な面上に配列され、また、光ファイバ９１₄および光ファイバ９２₄がｙｚ平面に平行な面上に配列されている。光ファイバアレイ部１０は、透明部材２０に対向する面上に、光ファイバ９１₁〜９１₄，９２₁〜９２₄それぞれの端面が位置している。

透明部材２０は、光ファイバ９１₁〜９１₄，９２₁〜９２₄の端面から入出射する光に対して透明な材料（例えば石英ガラス）からなる。透明部材２０は、光ファイバアレイ部１０に対向する面上にレンズ２１₁〜２１₄，２２₁〜２２₄が形成されている。レンズ２１₁〜２１₄，２２₁〜２２₄それぞれは、透明部材２０の表面が成形されたものであり、互いに同等の形状を有し、互いに同等の光学特性を有する。なお、この図ではレンズ２１₄，２２₁〜２２₃は現れていない。透明部材２０上のレンズ２１₁は光ファイバ９１₁の端面に略対向する位置にあり、透明部材２０上のレンズ２１₂は光ファイバ９１₂の端面に略対向する位置にあり、透明部材２０上のレンズ２１₃は光ファイバ９１₃の端面に略対向する位置にあり、透明部材２０上のレンズ２１₄は光ファイバ９１₄の端面に略対向する位置にあり、透明部材２０上のレンズ２２₁は光ファイバ９２₁の端面に略対向する位置にあり、透明部材２０上のレンズ２２₂は光ファイバ９２₂の端面に略対向する位置にあり、透明部材２０上のレンズ２２₃は光ファイバ９２₃の端面に略対向する位置にあり、また、透明部材２０上のレンズ２２₄は光ファイバ９２₄の端面に略対向する位置にある。

透明部材２０は、フォトダイオードアレイ部３０に対向する面上に光フィルタ２３が形成されている。光フィルタ２３は、入力する光の少なくとも一部を透過させ、他の光を反射させるものであり、例えば誘電体多層膜からなる。光フィルタ２３は、特定波長の光をパワー分岐するのが好適であり、例えば、特定波長において透過率が１０％で反射率が９０％であるのが好適である。また、特定波長における光フィルタ２３の透過率の偏波依存性が５％以下であるのが好適であり、この場合には、入力ポートに入力する光の偏波状態に拘わらず、安定して特定波長の光のパワーをモニタすることができる。また、光フィルタ２３の透過率の波長依存性が５％以下であるのが好適であり、この場合には、入力ポートに入力する光の波長が多少変動したとしても、安定して光のパワーをモニタすることができる。

フォトダイオードアレイ部３０は、透明部材２０に対向する面上に受光素子として４つのフォトダイオード３１₁〜３１₄を有している。なお、この図ではフォトダイオード３１₂〜３１₄は現れていない。４つのフォトダイオード３１₁〜３１₄はｘ軸方向に配列されている。フォトダイオード３１₁は、光ファイバ９１₁の端面から出射された光のうちレンズ２１₁および光フィルタ２３を経た光を受光し、その光のパワーをモニタする。フォトダイオード３１₂は、光ファイバ９１₂の端面から出射された光のうちレンズ２１₂および光フィルタ２３を経た光を受光し、その光のパワーをモニタする。フォトダイオード３１₃は、光ファイバ９１₃の端面から出射された光のうちレンズ２１₃および光フィルタ２３を経た光を受光し、その光のパワーをモニタする。また、フォトダイオード３１₄は、光ファイバ９１₄の端面から出射された光のうちレンズ２１₄および光フィルタ２３を経た光を受光し、その光のパワーをモニタする。

図２は、本実施形態に係る光パワーモニタ装置１に含まれる透明部材２０の斜視図である。この図に示されるように、透明部材２０は、光ファイバアレイ部１０に対向する面上にレンズ２１₁〜２１₄，２２₁〜２２₄が形成されている。レンズ２１₁〜２１₄はｘ軸方向に配列されており、レンズ２２₁〜２２₄もｘ軸方向に配列されている。

図３は、本実施形態に係る光パワーモニタ装置１に含まれるフォトダイオードアレイ部３０の斜視図である。この図に示されるように、フォトダイオードアレイ部３０は、透明部材２０に対向する面上に４つのフォトダイオード３１₁〜３１₄を有している。フォトダイオード３１₁〜３１₄はｘ軸方向に配列されている。

図４は、本実施形態に係る光パワーモニタ装置１のｘｚ断面図であり、光ファイバ９１₁〜９１₄それぞれの光軸を含む面で切断したときの断面を示している。図５は、本実施形態に係る光パワーモニタ装置１のｙｚ断面図であり、光ファイバ９１₁，９２₁それぞれの光軸を含む面で切断したときの断面を示している。これらの図において、各光ファイバの端面から入出射する光の中心が一点鎖線で示されている。また、以下の説明においてｎは１以上４以下の各整数を表す。

透明部材２０の一方の面に形成されたレンズ２１_n，２２_nそれぞれの光軸は、光ファイバ９１_n，９２_nそれぞれの光軸と平行である。しかし、レンズ２１_nおよび光ファイバ９１_nそれぞれの光軸は、共通の直線上にあるのではなく、ｙ軸方向にずれている。また、レンズ２２_nおよび光ファイバ９２_nそれぞれの光軸は、共通の直線上にあるのではなく、ｙ軸方向にずれている。

レンズ２１_nは、光ファイバアレイ部１０の表面に位置する光ファイバ９１_nの端面（入力ポート）から発散光として出力された光を入力し、その光を光フィルタ２３上に集光する。透明部材２０の他方の面に形成された光フィルタ２３は、レンズ２１_nにより集光されて到達した光を入力して、その光のうちの少なくとも一部を透過させ、他の光をレンズ２２_nへ反射させる。レンズ２２_nは、光フィルタ２３により反射されて到達した光を入力して集光し、光ファイバアレイ部１０の表面に位置する光ファイバ９２_nの端面（出力ポート）に該光を入力させる。フォトダイオード３１_nは、光フィルタ２３を透過して透明部材２０の外部に出た一部の光を受光して、その光のパワーをモニタする。

次に、本実施形態に係る光パワーモニタ装置１の動作について説明する。光ファイバ２１_nを導波してきた光は、その光ファイバ２１_nの端面から出力されて、光パワーモニタ装置１の入力ポートに入力する。光ファイバ２１_nの端面から出力された光は、発散しながらｚ軸に平行に進んでレンズ２１_nに入力し、レンズ２１_nにより収斂される。レンズ２１_nにより収斂された光は、ｚ軸方向に対して或る角度をなす方向に透明部材２０内を進み、光フィルタ２３上に集光される。光フィルタ２３上に集光された光の一部は光フィルタ２３を透過し、残部の光は光フィルタ２３により反射される。

光フィルタ２３により反射された光は、発散しながらｚ軸方向に対して或る角度をなす方向に透明部材２０内を進んでレンズ２２_nに入力し、レンズ２２_nにより収斂される。レンズ２２_nにより収斂された光は、ｚ軸に平行に進んで光ファイバ９２_nの端面に集光され、光パワーモニタ装置１の出力ポートから出力されて光ファイバ９２_nの端面に入力する。一方、光フィルタ２３を透過した光は、透明部材２０の外部に出て、透明部材２０とフォトダイオードアレイ部３０との間の空間を経てフォトダイオード３１_nに入力し、フォトダイオード３１_nによりパワーがモニタされる。

以上のように、本実施形態に係る光パワーモニタ装置１では、光ファイバ９１_nの端面（入力ポート）から光フィルタ２３へ至るまでの光路（以下「第１光路」という。）においてレンズ２１_nが集光光学系をなしており、光フィルタ２３から光ファイバ９２_nの端面（出力ポート）へ至るまでの光路（以下「第２光路」という。）においてレンズ２２_nが集光光学系をなしている。光フィルタ２３からフォトダイオード３１_nへ至るまでの光路（以下「第３光路」という。）において界面が存在しない。また、第１光路，第２光路および第３光路それぞれにおいて、接着剤その他の光を散乱させる媒体が設けられることは無い。したがって、本実施形態に係る光パワーモニタ装置１は、受光感度の温度依存性および偏波依存性が低減され得る。

なお、ガイドピン４１〜４４は、光ファイバ９１₁〜９１₄の端面（入力ポート）、光ファイバ９２₁〜９２₄の端面（出力ポート）、透明部材２０およびフォトダイオード３１₁〜３１₄それぞれの間の相対的方位関係を固定するものであり、方位固定手段として作用する。スペーサ５１〜５８は、光ファイバ９１₁〜９１₄の端面（入力ポート）と透明部材２０との間の距離、光ファイバ９２₁〜９２₄の端面（出力ポート）と透明部材２０との間の距離、および、透明部材２０とフォトダイオード３１₁〜３１₄との間の距離、それぞれを固定するものであり、距離固定手段として作用する。光ファイバアレイ部１０は、４組の入力ポートおよび出力ポートそれぞれの間の相対的位置関係を固定する第１位置固定手段として作用する。フォトダイオードアレイ部３０は、４個のフォトダイオードフォトダイオード３１₁〜３１₄それぞれの間の相対的位置関係を固定する第２位置固定手段として作用する。光パワーモニタ装置１は、このような方位固定手段、距離固定手段、第１位置固定手段または第２位置固定手段を備えることにより、組み立ての際に各構成部品の位置決めや光軸調整が不要または容易となって、高精度のものが容易に作製され得る。

また、透明部材２０の線膨張係数は、温度変動があったときにもレンズ２１_nおよびレンズ２２_nそれぞれの透明部材２０側の集光位置を光フィルタ２３上に存在させ得るものであるのが好適である。すなわち、温度変動があったときに、レンズ２１_nおよびレンズ２２_nそれぞれの透明部材２０側の集光位置のｚ軸方向の変動の量と、透明部材２０のｚ軸方向の熱膨張または熱収縮の量とが、互いに同程度であるのが好適である。

レンズ２１_nおよびレンズ２２_nそれぞれの透明部材２０側の焦点距離（各レンズが形成されている面と透明部材２０側の集光位置との間の距離）ｆは、透明部材２０の屈折率ｎおよび各レンズのレンズ面の曲率βを変数とする関数で表される。透明部材２０の屈折率ｎは、温度Ｔを変数とする関数で表される。各レンズのレンズ面の曲率βも、温度Ｔを変数とする関数で表される。また、透明部材２０のｚ軸方向の厚み（各レンズが形成されている面と光フィルタ２３との間の距離）も、温度Ｔを変数とする関数で表される。

そして、透明部材２０の線膨張係数をαとし、基準温度Ｔ₀における透明部材２０のｚ軸方向の厚みをｄ₀とすると、使用温度範囲（例えば−２０℃〜＋８０℃）内の任意の温度Ｔ（＝Ｔ₀＋ΔＴ）において、レンズ２１_nおよびレンズ２２_nそれぞれの透明部材２０側の焦点距離と透明部材２０のｚ軸方向の厚みとが互いに略等しいのが好適であり、すなわち、上記の各パラメータの間に
ｆ(β(Ｔ),ｎ(Ｔ))＝ｄ₀(１＋αΔＴ) …(1)
なる関係式が成り立つのが好適である。このような条件を満たす材料からなる透明部材２０を用いることにより、本実施形態に係る光パワーモニタ装置１は、光ファイバ９１_nの端面（入力ポート）から光ファイバ９２_nの端面（出力ポート）への光結合の効率の温度依存性が低減され得る。

本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、種々の変形が可能である。例えば、上記実施形態に係る光パワーモニタ装置１では４チャンネルに対して共通に光フィルタ２３が透明部材２０の表面に形成されていたが、４チャンネルそれぞれについて個々に光フィルタが設けられていてもよい。前者の場合には、透明部材２０の表面に光フィルタ２３を容易に形成することができる。一方、後者の場合には、チャンネル毎に光フィルタの透過波長を異なるものとすることで、チャンネル毎にモニタする光の波長を異なるものとすることが容易にできる。また、上記実施形態に係る光パワーモニタ装置１は４チャンネルのものであったが、本発明ではチャンネル数は任意である。

本実施形態に係る光パワーモニタ装置１の斜視図である。本実施形態に係る光パワーモニタ装置１に含まれる透明部材２０の斜視図である。本実施形態に係る光パワーモニタ装置１に含まれるフォトダイオードアレイ部３０の斜視図である。本実施形態に係る光パワーモニタ装置１のｘｚ断面図である。本実施形態に係る光パワーモニタ装置１のｙｚ断面図である。

符号の説明

１…光パワーモニタ装置、１０…光ファイバアレイ部、２０…透明部材、２１₁〜２１₄，２２₁〜２２₄…レンズ、２３…光フィルタ、３０…フォトダイオードアレイ部、３１₁〜３１₄…フォトダイオード、４１〜４４…ガイドピン、５１〜５８…スペーサ、９１₁〜９１₄，９２₁〜９２₄…光ファイバ。

Claims

入力ポートに入力する光のパワーをモニタする光パワーモニタ装置であって、
前記入力ポートに入力した光を集光する第１レンズと、前記第１レンズによる光の集光位置に設けられ前記入力ポートに入力した光の少なくとも一部を透過させ他の光を反射させる光フィルタと、前記光フィルタにより反射された光を集光して前記出力ポートから出力させる第２レンズと、が表面に形成されている透明部材と、
前記透明部材の表面に形成された前記光フィルタを透過して前記透明部材の外部に出た光のパワーをモニタする受光素子と、
を備え、
前記第１レンズおよび前記第２レンズが前記透明部材の第１面に形成され、
前記光フィルタが前記透明部材の前記第１面に平行な他の第２面に形成されている、
ことを特徴とする光パワーモニタ装置。
前記入力ポート、前記出力ポート、前記透明部材および前記受光素子それぞれの間の相対的方位関係を固定する方位固定手段を備えることを特徴とする請求項１記載の光パワーモニタ装置。
前記入力ポートと前記透明部材との間の距離、前記出力ポートと前記透明部材との間の距離、および、前記透明部材と前記受光素子との間の距離、それぞれを固定する距離固定手段を備えることを特徴とする請求項１記載の光パワーモニタ装置。
前記透明部材の線膨張係数が、温度変動があったときにも前記第１レンズおよび前記第２レンズそれぞれの前記透明部材側の集光位置を前記光フィルタ上に存在させ得るものである、ことを特徴とする請求項１記載の光パワーモニタ装置。
前記光フィルタが特定波長の光をパワー分岐することを特徴とする請求項１記載の光パワーモニタ装置。
前記特定波長における前記光フィルタの透過率の偏波依存性が５％以下であることを特徴とする請求項１記載の光パワーモニタ装置。
前記光フィルタの透過率の波長依存性が５％以下であることを特徴とする請求項１記載の光パワーモニタ装置。
前記入力ポート、前記出力ポート、前記第１レンズ、前記第２レンズおよび前記受光素子が複数組設けられ、
複数組の前記第１レンズおよび前記第２レンズが１つの前記透明部材の表面に配列されて形成されている、
ことを特徴とする請求項１記載の光パワーモニタ装置。
複数組の前記入力ポートおよび前記出力ポートそれぞれの間の相対的位置関係を固定する第１位置固定手段を更に備えることを特徴とする請求項８記載の光パワーモニタ装置。
複数個の前記受光素子それぞれの間の相対的位置関係を固定する第２位置固定手段を更に備えることを特徴とする請求項８記載の光パワーモニタ装置。
複数組の前記第１レンズおよび前記第２レンズに対して共通に前記光フィルタが設けられていることを特徴とする請求項８記載の光パワーモニタ装置。