JP4288182B2 - 流体のための調量装置、特に自動車用噴射弁 - Google Patents

Description

本発明は、請求項１の上位概念部に記載の、圧力下にある調量流体を調量するための調量装置に関する。広義には調量弁又は噴射弁とも呼ばれるこの形式の装置は、主要コンポーネントとして、弁ニードルを駆動する電気機械的なアクチュエータと、液圧式の長さ補償装置とを有しており、特に内燃機関のための噴射弁として使用される。

このような装置が、既にドイツ連邦共和国特許第１９９４００５６号明細書につき公知になっている。

自動車技術においては、ますます噴射システムが使用されるようになっている。これらの燃料システムでは、燃料が高圧下で、シリンダに配置された噴射弁に供給される。シリンダの燃焼室内への直接的な噴射工程が、噴射弁の開閉によりトリガされ、この場合に、噴射弁は、現代的なアクチュエータを介して制御される。これらのアクチュエータは、高い切換速度、及びこの高い切換速度に関係した燃料消費と排ガスに関する公知の利点を達成するために、特に圧電的な原理に基づいて作動する。

弁ニードルの調節距離を発生させる、現代的な固体−アクチュエータの軸方向の長さ変化が、まず励起電圧の印加時にアクチュエータ−ボディの短時間の伸張により引き起こされる。しかしながら、別の影響、特に温度変化が同様にアクチュエータの長さ変化につながる。この長さ変化は、もちろん比較的ゆっくりと起こる。このような非動的な長さ変化にもかかわらず、アクチュエータの一定の所定調節距離、ひいては、等しく維持される弁ニードル行程を保証するためには、液圧式の長さ補償装置を噴射弁に組み込むことが公知である。この長さ補償装置は主に液圧室を有しており、この液圧室は、絞られた形で液圧的に補償室に接続されている。伸張する圧電式アクチュエータは、液圧ピストンが、作業流体を充填された液圧室に圧力を加えるように作用する。迅速な動的な伸張時には、絞りは圧力若しくは流体補償を可能にせず、これにより、液圧式ピストン及びアクチュエータは、液圧室の流体クッションに支持される。これにより、アクチュエータは弁作動時にケーシングに対して相対的に不動である。これに対して、遅い伸張時には、液圧室と補償室との間の補償工程は、両室内に等しい大きさの圧力が形成され、アクチュエータが再び、長さ変化の補償下にケーシング側で固定されるまで行われる。これにより、新たな短時間の弁操作のために、再び完全な一定の調節距離が提供されている。

上に述べたドイツ連邦共和国特許公開第１９９４００５６号明細書には、調量弁が記載されている。この調量弁の特徴は、一方では、長さ補償装置の液圧式ピストンと液圧室とを、アクチュエータの、弁ニードルに向かい合った端面に直列に配置することにある。このアクチュエータは、作業室の内部に取り付けられており、この作業室は、（軸線方向の）の長さ全体にわたって補償室として働き、作業流体を充填可能である。この場合、作業室は軸線方向の金属ベローにより、アクチュエータ内室（アクチュエータを備えており、作業流体を備えていない）と、アクチュエータ外室（この場合、作業流体を有する補償室）とに軸線方向で分離されていてよい。

他方では、この公知の調量弁の長さ補償システムは、液圧的に閉じられておらず、作業流体として特別な液圧流体を充填されている。むしろ液圧室は、作業室を介して圧力充填可能になっており、作業室自体は、弁室若しくは調量流体供給部に対して液圧的に開放されている。補償システムの作業流体と基本圧力とは、従って直接に調量流体自体により、若しくは流体供給部を介して供給された圧力、この場合には燃料圧の形で与えられている。これにより、液圧室は増大するように加えられる３００ｂａｒまでの高い燃料圧を負荷され、アクチュエータは、対応して高い液圧的な圧力プレロード下に置かれる得る。この圧力プレロードは、動的な運転時に有害な引張り応力からアクチュエータを保護する。液圧室は、高い圧力により、キャビテーションなしに充填可能であり、さらに短時間に、調量開口のより迅速な閉鎖のために必要とされる著しく高い引張り力を受け止めることができる。

ドイツ連邦共和国特許公開第１９８３８８６２号明細書につき、圧電式アクチュエータを備えた、請求項１の上位概念部に記載のものとは異なる噴射弁が公知である。この噴射弁では、液圧式の長さ補償システムが、システム内で規定された基本圧力により直接的に加圧されており、かつ燃料圧の使用下に付加的に間接的に加圧されている。この明細書の長さ補償装置は、構造的に、液圧室と液圧蓄圧器（この液圧蓄圧室は、部分的に補償室の機能を果たす）とを前提としており、これらの液圧室と液圧蓄圧器とは、両方とも弁ニードル側で、アクチュエータのためのスペースの外側に別々に配置されている。この補償システムは、燃料に対して気密にシールされており、典型的には２５ｂａｒの基本圧力下にある液圧流体により圧力充填されている。この液圧蓄圧器は、燃料充填された流体室へ向かって少なくとも部分的に柔軟な外壁を有しているが、この外壁の形式及び配置についてはさらに規定されていない。少なくとも部分的に柔軟な外壁の弾性により、この外壁に印可された燃料圧は、液圧蓄圧室内の基本圧力に付加的に累積される。この場合、生ぜしめられた全圧力は、特にアクチュエータの圧力プレロードの形で提供されている。補償システムと、燃料を充填された流体室との間の低下した差圧が、弁ニードルへの、燃料圧とは無関係の閉鎖力を保証する。

改良された噴射弁、特に駆動エレメントとして圧電式の多層アクチュエータ（ＰＭＡ）を備えた、直接噴射式の希薄燃焼方式エンジンのための高圧噴射弁の構造では、最適な形式で、既に公知の要求に対して付加的に次の要求が留意されるべきである。しかしながら、この場合、個々の要求はしばしば互いに競合関係にある。
−確立された構成形式の広範な維持、
−アクチュエータの十分な損失熱導出、
−調量したい燃料に対するアクチュエータの気密なシール、
−連続運転時の高い機械的な弾性、耐圧性、漏れに対する耐性、並びに高い振幅を備えた燃料−圧力振動からのシールエレメントの十分な保護が保証されていること、
−弁ニードルに直接に作用するか、又は弁ニードルに機械的に直接に結合されたエレメント、例えばシールエレメントによって弁ニードルに導入される、圧力に基づいた力の補償、
−液圧的な長さ補償が、−４０℃から＋１５０℃までの典型的な温度間隔の噴射弁の機能を保証し、かつ自動的に、熱的な全ての変化、アクチュエータのへたり効果（Ｓｅｔｚｅｆｆｅｋｔ）により引き起こされる全ての変化、圧力に基づいた全ての長さ変化、及び製造公差により引き起こされる全ての長さ分散を補償するようになっていることが望ましく、それ故、特に製造時に材料として例えばアンバーの代わりに鋼を使用することができること、
−駆動側では、全ての可動な部分を溶接によって密着状態に保持することができるようになっており、これにより、ギャップを介した行程損失が生じないようになっていることが望ましい。

本発明の課題は、調量装置を改良して、上に述べた要求特性をできるだけ広範に満たし、特にアクチュエータの気密なシール及び熱導出の最適化を可能にするものを提供することである。高い液圧的な圧力プレロードの利点が維持されることが望ましい。この場合に、最適化された長さ補償装置が、全体として簡単な形式で調量装置内に組込可能になっていなければならない。

この課題は、本発明によれば、請求項１に記載の調量装置により解決される。有利な構成が従属請求項に記載されている。

本発明によれば、作業室は、気密にシールされた分離ダイアフラムにより、アクチュエータを有するアクチュエータ室と流体室とに分離されている。この場合に、流体室は調量流体により圧力充填可能であり、かつアクチュエータ室と液圧室とは、作業流体として液圧流体を充填されており、これにより、液圧流体内には、分離ダイアフラムを介して伝達された、調量流体の圧力が基礎圧力を形成可能となっており、前記分離ダイアフラムが軸線方向に軟性であって、前記分離ダイアフラムの内径が、気密にシールするように弁ニードルに結合されており、かつ前記分離ダイアフラムの外径が、気密にシールするように作業室の内壁に結合されている。

従って、本発明の思想は、アクチュエータを有する作業室に直接に調量流体により圧力充填するのではなく、作業室をアクチュエータ室と流体室とに分割する、圧力伝達性の分離ダイアフラムを介して、調量流体の圧力を間接的に利用し、これにより、液圧的に閉じられた長さ補償システムを著しく高い基礎圧力により負荷することに基づいている。これにより、まず液圧室が、高い引張り力を受け止めることができる状態に置かれる。このことにより、慣性力により液圧室内にキャビテーションが生じることなしに、極めて迅速なニードル閉鎖が可能になる。高い基本圧力が、アクチュエータの、特に理想的な液圧による圧力プレロード、すなわち極めてわずかなばね定数時に高い力を形成する。

本発明による、液圧的な補償システムの間接的な加圧は、場合によっては起こり得る、アクチュエータと調量流体との直接的な接触の欠点を阻止すること、若しくは特別な液圧流体によるアクチュエータの包囲を必然的に伴うことができる利点を得ることを可能にする。アクチュエータを有利な形式で取り囲むシリコーン油は、噴射弁のケーシング及びシリンダヘッドへの、アクチュエータの損失熱の導出を改良する。

本発明によれば、液圧流体、多くの場合にはシリコーン油の基本圧力は、ほぼ、分離ダイアフラムを介して伝達された、調量流体、多くの場合には燃料の圧力によってのみ形成される。従って、分離ダイアフラムを介しては、理想的には圧力差は低下しないので、分離ダイアフラムは機械的に極めて柔軟に形成されていてよく、これにより、分離ダイアフラムはシールするだけでなく、圧力伝達する機能をも果たす。特に軸線方向に軟性の分離ダイアフラムを設け、この分離ダイアフラムの内径が気密にシールするように弁ニードルに結合されており、かつ外径が気密にシールするように作業室の内壁に結合されていると有利である。このことは、分離ダイアフラムが二重金属ベロー装置により形成されていることにより、特に簡単に効果的に実現される。

有利な１実施例は次のことにより達成される。すなわち、弁ニードルが、流体室と調量開口との間の領域で２つの狭いニードル案内部を通って、ケーシング内を軸線方向に案内されており、弁ニードルが、調量開口側のニードル案内部の領域に面取り部を有しており、これにより、流体供給部から供給された調量流体が妨げられずに調量開口へ到達することができるようになっており、流体室側のニードル案内部が極めて狭く形成されており、これにより、調量開口側のニードル案内部と流体室との間の結合が不可能となっているか、又は強く絞られた液圧的な結合のみが可能となっており、調量流体が、流体供給部の分岐部によって、流体室へ向かって、この流体室の圧力充填のために供給可能になっていることにより達成される。このことにより、弁の迅速な切換により引き起こされた圧力波が、上側のニードル案内部の上方のスペースに進入し、そこで、例えば軸線方向に軟性の分離ダイアフラムを損傷することができないようになっている。

次の実施例では、本発明の調量装置を図面の符号に基づきさらに詳しく説明する。

図１Ａは、噴射弁のケーシング１を、断面した側面図の形で示している。調量開口２が、弁ニードル３によって閉じられている。すなわち、弁ニードル３と、この弁ニードル３を駆動するアクチュエータ４とが静止位置に位置している。

アクチュエータ４は、ケーシング１の作業室５の内部に取り付けられており、端面にそれぞれ１つの終端キャップを備えている。この場合に、上側の終端キャップは、軸線方向摺動可能な液圧式ピストン６の形で形成されている。この液圧式ピストン６の上方には、液圧室７が配置されており、この液圧室７は、液圧式ピストン６とケーシング１との間に設けられた第１の嵌合部８により、絞られて、液圧的に作業室５に接続されている。この場合に、第１の嵌合部８は次のように設計されている、すなわち、アクチュエータ４の迅速な長さ変化時に、液圧式ピストン６がケーシング１に対して相対的に不動であるように設計されている。

内径が気密にシールするように弁ニードル３に結合されており、かつ外径が気密にシールするように作業室５の内壁に結合されている、軸線方向に軟性の分離ダイアフラム９により、燃料を充填された流体室１１が、シリコーン油を充填されたアクチュエータ室１０から分離される。分離ダイアフラム９は、同時に３つの条件を満たしていることが望ましい。

すなわち、分離ダイアフラム９は次のように形成されていることが望ましい。すなわち、基本圧力の重要ではない小さな変化につながることもあり得る、アクチュエータ室１０内のシリコーン油の熱に基づいた容量変化を、分離ダイアフラム９の形状の調整によって問題なしに受け止めることができるように形成されていることが望ましい。この場合、分離ダイアフラム９は極めて柔軟に形成されており、これにより、力が弁ニードル３に導入されないようになっていることが望ましい。さらに、分離ダイアフラム９は、温度抵抗性及び燃料抵抗性に形成されていることが望ましい。分離ダイアフラム９へのこれらの必要条件が、特に簡単な形式で、図１Ａに示した二重金属ベロー装置により満たされる。このような形式の分離ダイアフラム９により、燃料圧は損失なしに、アクチュエータ室１０のシリコーン油に伝達される。

燃料圧にほぼ対応する、長さ補償システム内の高い基本圧力が、複数の観点から見て有利に作用する。場合によっては、噴射弁にシリコーン油を充填する場合に液圧室７に共に閉じ込められた小気泡が、このことにより液圧室７の剛性にもはや不都合に影響することができない程度に強く圧縮される。シリコーン油内の燃料圧は、アクチュエータ４内の十分に高い圧力プレロードをも保証する。なぜならば、場合によっては、例えば金属ベロー１２による機械的な圧力プレロードに対して付加的に、さらに液圧的な圧力プレロードが作用するからである。この液圧的な圧力プレロードは、アクチュエータ・シールのための金属ベロー１２の液圧的に有効な横断面と、上側の金属ベロー貫通案内部１３若しくはニードルシール座の液圧的に有効な面との差から計算され、２５０ｂａｒまでの典型的な燃料圧時には、３０００Ｎまでであってよい。Ｗｉｔｚｅｎｍａｎｎ社の、特にタイプＢＥ３９５１０の市販の量産ベローが、アクチュエータ・シールへの必要条件をほぼ満たす。

アクチュエータユニットが、圧電式の多層アクチュエータ（ＰＭＡ）４から成っている。このアクチュエータ４は、上側の終端キャップと下側の終端キャップ１４との間で気密にシールされて、アクチュエータ４を有する金属ベロー１２内に、機械的な圧力プレロード下で溶接されている。多層−圧電アクチュエータの他に、基本的には別の形式の固体アクチュエータ、例えば磁気ひずみ式のアクチュエータ又は電気ひずみ式のアクチュエータを、有利には弁駆動装置として使用することもできる。本発明による調量装置を作動させるための、それ自体公知の方法は次のことに基づいている。すなわち、電気的な信号を加えることにより、アクチュエータ４は軸線方向に迅速に伸張され、これにより、液圧室７により支持されるようになっており、かつアクチュエータ４の伸張により、弁ニードル３が調量開口２から持ち上げられ、これにより、流体が計量開口２から制御されて放出可能になっている。調量工程を終了するためには、アクチュエータは放電され、少なくとも金属ベロー１２、及びアクチュエータ室１０内の基本圧力によって与えられた液圧的な圧力プレロードの引張り応力により収縮せしめられ、これにより、弁ニードル３は、再びシールするように外側から調量開口２に座着せしめられ、流体の放出が終了する。

上側の終端キャップは、段階的な液圧式ピストン６の形で形成されている。この液圧式ピストン６は、ケーシング１と共に液圧室７を限定している。２つの狭い隙間ばめ８及び１５の形の二重案内部が、液圧室７を、強く絞られた流体の接続部の形でシールする。できるだけ小さい直径を備えた上側の嵌合部１５は、液圧室７を、上側の金属ベロー貫通案内部１３を有する室に対してシールする。できるだけ大きい直径を備えた下側の嵌合部８は、液圧室７を、下方へ向かって、アクチュエータ室１０の容積に対してシールする。小さい嵌合部直径と大きい嵌合部直径の間のリング面は、液圧的に有効な液圧ピストン面に相当する。すなわち、
Ｃ_ｋ＝ａ_ｋ／ｋ・ｈ_ｋ
により、液圧室７の剛性Ｃ_ｋが、シリコーン油の圧縮率ｋと、有効なピストン面ａ_ｋと室高さｈ_ｋとから計算される。このことから明らかに判るように、大きい有効なピストン面と、わずかな室高さが、高い室剛性につながる。このような形式の液圧室７のための典型的に達成可能な剛性値は、１００Ｎ／μｍをはるかに越える。

下側の端部が、上側の狭い隙間ばめ１５の上方で上側の終端キャップ（液圧式ピストン６）で密にシールされるように、かつ上側の端部がケーシング１で密にシールされるように、それぞれ溶接により固定されている上側の金属ベロー貫通案内部１３は、燃料圧下にあるシリコーン油を外室に対してシールする。上側の終端キャップとケーシング１との間の相対運動は、金属ベロー１３によっては妨げられない。上側の金属ベロー貫通案内部１３の液圧的に有効な直径は、弁ニードル３の下側の端部とケーシング１とから形成された円錐座弁１６の、シールする直径に等しくなるように選択されている（ｄ_{−ｓｉｔｚ}）。このことにより、ケーシングに対して相対的に可動であり、燃料により、及び燃料圧下にあるシリコーン油により燃料圧を負荷されている部分（弁ニードル３、及び上側の終端キャップを備えたアクチュエータユニット）全体では、軸線方向に有効な全ての圧力が互いに補償し合い、ケーシング１と可動な部分との間に結果として軸線方向の力が生じないことが達成される。

一方では、上側の金属ベロー貫通案内部１３を介して、上側の終端キャップ６の上側の終端面１７が直接に外室に隣接しており、他方では、上側の終端キャップ６の下側の終端面が、金属ベロー１２の、シリコーン油に対して気密にシールされたアクチュエータ内室１８内のアクチュエータ４に向けられているので、アクチュエータ４の電気的な接続部１９は、終端キャップ６に設けられた孔を介してアクチュエータ４から外室へ簡単に導出され得る。

弁ニードル３は、アクチュエータユニットの下側の終端キャップ１４に、例えば溶接により堅固に結合されている。弁ニードル３は、２つの狭い嵌合部を介して、ケーシング１内を軸線方向に案内される。下側のニードル案内部２６の領域（Ａ−Ａ線に沿った横断面図、図１Ｂ参照）に、弁ニードル嵌合部は面取り部２０を有しており、これにより、供給された燃料は妨げられることなしに円錐シール座１６に到達することができる。これに対して、上側のニードル案内部２１（Ｂ−Ｂ線に沿った横断面図、図１Ｃ参照）は全円筒状に構成されていてよい。なぜならば、噴射の間に円錐シール座１６へ流れる燃料は、ここを通過する必要はないからである。それどころか、燃料のための上側のニードル案内部２１は、強く絞られているように構成することが望ましい。なぜならば、このことにより、弁の迅速な切換により引き起こされた圧力波が、上側のニードル案内部２１の上方の室内に伝搬され、例えば軸線方向に軟性の分離ダイアフラム９を損傷する恐れがないからである。流体室１１は、有利には、分岐部２３を介して流体供給部２４から燃料を加圧することができる。

噴射弁の静止時には、下側の弁ニードル端部と、ケーシング１の下側の端部とから形成された円錐座弁１６が、一方ではケーシング１に、かつ他方では弁ニードル３に支持されたニードル戻しばね２２により閉鎖された状態に保持される。

全体として、さらに次の利点を有する調量装置がもたらされる。

わずかな機能コンポーネントを有する液圧式のコンデンサの簡単な構造が、静的な押圧力の完璧な補償と同様に可能である。アクチュエータ室１０内の圧力は弁座を負荷解除しない。改良された損失熱導出のためには、場合によってはアクチュエータ内室１８にもシリコーン油を充填してよい。十分な圧力差が燃料圧から周囲へ加工する上側の金属ベロー貫通案内部１３は、狭い隙間ばめ（Ｓｐｉｅｌｐａｓｓｕｎｇ）を介して、噴射工程で円錐座において、迅速な開閉により引き起こされる圧力波から何重にも連結解除される。このような圧力波は金属ベローを強く負荷しかねない。さらに、前記金属ベロー貫通案内部１３は、弁ニードル運動の負荷サイクルに支配されない。金属ベロー貫通案内部１３は、上側のケーシング部分と上側の終端キャップ６との間に、例えば温度変化又は燃料圧変化により引き起こされる相対運動のみを補償する。分離ダイアフラム９は、弁ニードル運動の負荷サイクルにさらされているが、しかし分離ダイアフラム９は、圧力差による負荷には支配されていない。既に述べたように、電気的な接続部１９は、高圧シールなしに快適に終端キャップ６を通って外側へ案内され得る。

図２は、それ自体公知の管状ばね２５を備えた、本発明による調量装置の構成を示している。前記管状ばね２５内には、アクチュエータ４が挿入されており、かつ管状ばね２５により、アクチュエータ４は（燃料圧とは無関係に）圧力プレロードされる。従って、管状ばね２５は、この場合には金属ベロー１２の代わりである。この実施例では、もちろん外側への接続部１９の案内は高圧シールされた形で行わなければならない。しかしながら、アクチュエータ４により形成された損失熱は、有利にはさらにより良好に導出され得る。さらに、シリコーン油は、火花消滅する特性をも有しており、この特性は、２ＫＶ／ｍｍまでの電界強度で作動されるアクチュエータ４の耐久性に役立つ。

プレロード力は、たいていは液圧式の場合よりも著しくわずかであり、このことは、切換時にアクチュエータの低減された電気的なエネルギ及び出力消費につながる。

直接に駆動される、外方へ開かれた噴射弁の横断面図である。

図１ＡのＡ−Ａ線に沿った横断面図である。

図１ＡのＢ−Ｂ線に沿った横断面図である。

図１Ａによる噴射弁の別の１実施例を示す横断面図である。

Claims (6)

1. 圧力下にある調量流体を調量するための調量装置であって、該調量装置が、
   ケーシング（１）を有しており、該ケーシング（１）が、調量開口（２）を備えており、該調量開口（２）が、弁ニードル（３）の摺動により制御可能になっており、
   軸線方向に長さ変化可能な電気機械的なアクチュエータ（４）を有しており、該アクチュエータ（４）が、ケーシング（１）の作業室（５）の内部に取り付けられており、アクチュエータ（４）の一方の端面が弁ニードル（３）に結合されており、かつ他方の端面が、軸線方向摺動可能な液圧式ピストン（６）に結合されており、
   液圧室（７）を有しており、該液圧室（７）が、液圧式ピストン（６）とケーシング（１）との間に設けられた第１の隙間ばめ（８）を介して、絞られた形で液圧的に作業室（５）に接続されており、前記第１の隙間ばめ（８）が、次のように、すなわち、アクチュエータ（４）の迅速な長さ変化時に、液圧式ピストン（６）が、ケーシング（１）に対して相対的に固定されているように設計されており、
   作業室（５）及び液圧室（７）が、作業流体を充填可能になっている、
   形式のものにおいて、
   前記作業室（５）が、気密にシールされた分離ダイアフラム（９）により、アクチュエータ（４）を有するアクチュエータ室（１０）と流体室（１１）とに分離されており、
   流体室（１１）が、調量流体により圧力充填可能になっており、かつアクチュエータ室（１０）と液圧室（７）とが、作業流体として液圧流体を充填されており、
   分離ダイアフラム（９）を通って伝達された、調量流体の圧力が、液圧流体内に基本圧力を形成可能であって、
   前記分離ダイアフラム（９）が軸線方向に軟性であって、前記分離ダイアフラム（９）の内径が、気密にシールするように弁ニードル（３）に結合されており、かつ前記分離ダイアフラム（９）の外径が、気密にシールするように作業室（５）の内壁に結合されている、
   ことを特徴とする、圧力下にある調量流体を調量するための調量装置。
2. 分離ダイアフラム（９）が、二重金属ベロー装置により形成されている、請求項１記載の調量装置。
3. 弁ニードル（３）が、流体室（１１）と調量開口（２）との間の領域で、２つの狭いニードル案内部（２１，２６）を通って、ケーシング（１）内を軸線方向に案内されており、
   弁ニードル（３）が、調量開口側のニードルガイド（２６）の領域に面取り部（２０）を有しており、これにより、流体供給部（２４）から供給された調量流体が、妨げられずに調量開口（２）へ到達することができるようになっており、
   流体室側のニードルガイド（２１）が、調量開口側のニードル案内部（２６）と流体室（１１）との間の液圧的な接続が可能でないか、又は強く絞られた液圧的な接続のみが可能であるように設計されており、
   流体供給部（２４）の分岐部（２３）により、調量流体が流体室（１１）の方へ、該流体室（１１）の圧力充填のために供給可能になっている、請求項１又は２記載の調量装置。
4. アクチュエータ（４）が、軸線方向に柔軟な金属ベロー（１２）の内部に配置されており、該金属ベロー（１２）が、アクチュエータ（４）の、弁ニードル側の端面の領域及び液圧ピストン（６）に、シールするように固定されており、かつアクチュエータ室（１０）を、アクチュエータ内室（１８）と、液圧流体を充填されたアクチュエータ外室（１１）とに分割している、請求項１から３までのいずれか１項記載の調量装置。
5. アクチュエータ内室（１８）も、液圧流体を充填されている、請求項４記載の調量装置。
6. アクチュエータ（４）が、管状ばね（２５）内に取り付けられており、該管状ばね（２５）により、圧力プレロードをかけられるようになっている、請求項１から３までのいずれか１項記載の調量装置。

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