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JP4016101B2 - 磁性メモリ、磁性メモリアレイ、磁性メモリの記録方法、及び磁性メモリの読み出し方法 - Google Patents

磁性メモリ、磁性メモリアレイ、磁性メモリの記録方法、及び磁性メモリの読み出し方法 Download PDF

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、マグネティック・ランダム・アクセス・メモリ(MRAM)として好適に用いることのできる不揮発性の磁性メモリ及び磁性メモリ、さらには前記磁性メモリに対する情報の記録方法及び読み出し方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
種々の電子機器が宇宙空間などの特殊な環境下で用いられるようになり、このため放射線などに晒されても記録された情報が失われることのない記録装置の確立が求められている。かかる観点より、放射線などに対する耐性が高く、情報の不揮発性を有するとともに、簡単な構造の磁性メモリセルを有するMRAMの開発が盛んに進められている。
【0003】
従来の磁性メモリセルは長方形状を呈し、その磁化の向きに応じて0又は1の情報を記録するようにしている。しかしながら、このような磁性メモリセルにおいては、その形状に起因して前記磁化に起因した磁束がセル外部へ漏洩してしまっていた。一方で、MRAMの記録容量を増大させるべく、複数の磁性メモリセルを高密度で配列する試みがなされているが、この場合においては、上述した漏洩磁界によって隣接する磁性メモリセルに対して甚大な影響を与えてしまい、結果的に実用的な高密度MRAMを得ることはできないでいた。
【0004】
このような観点から、本発明者らは、磁性メモリの形状をリング形状とし、前記磁性メモリを前記リング形状に沿って右回り(時計回り)又は左回り(反時計回り)に渦状に磁化させ、これら磁化の向きに応じて0又は1の情報を記録するようにした磁性メモリを開発した(特願2002−73681参照)。
【0005】
この場合においては、前記磁性メモリから磁束が漏洩しないため、これら磁性メモリを高密度に配列して例えばMRAMを作製した場合においても、漏洩磁界が隣接する磁性メモリに悪影響を与えないため、前記磁性メモリを高密度に集積することができるようになる。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記磁性メモリを構成する情報を記録するための磁性層の厚さが小さくなると、上述したような渦状の磁化を生ぜしめることが困難になり、前記渦状磁化を利用した情報の記録を実行することができない場合があった(「Physical Review Letters, 83巻、5号、p1042−1045(1999年)」参照)。
【0007】
本発明は、磁性層の厚さに関係なく渦状磁化を生成することができ、前記渦状磁化の向きに応じて情報を安定的に記録できるようにした磁性メモリ及び磁性メモリアレイを提供することを目的とする。さらには、前記磁性メモリに対する情報の記録方法及び再生方法を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成すべく、本発明は、外周部を円弧状に切り欠いてなる、厚さが1nm〜10nmの、リング形状の膜面を有する磁性層を具え、前記磁性層を前記リング状の膜面に沿って右回り(時計回り)又は左回り(反時計回り)に渦状に磁化させて0又は1の情報を記録するようにしたことを特徴とする磁気メモリである。
【0009】
本発明者らは、磁性メモリアレイについて鋭意検討を重ねた結果、磁性メモリを構成するリング状の磁性層の外周の一部を、断面が垂直となるように切り欠くことによって、前記磁性層の厚さが小さい場合においても、前記磁性層中に右回り(時計回り)又は左回り(反時計回り)の渦状の磁化を簡易に生ぜしめることができることを見出した。
【0010】
したがって、本発明によれば、前記磁性層を1nm〜10nm程度まで薄くした場合においても、前記磁性層中に上述した渦状磁化を簡易に生ぜしめることができ、前記渦状磁化の向きに応じて0又は1の情報を記録することができる。
【0011】
また、前記磁性層からの前記渦状磁化に基づく漏洩磁界が発生しないため、前記磁性層を含む磁性メモリを高密度に配列して、磁性メモリアレイを作製した場合においても、隣接する磁性メモリ同士が前記漏洩磁界によって影響を受けることはない。したがって、実用に供することのできる高密度な磁性メモリアレイを提供することができるようになる。
【0012】
本発明の磁性メモリのその他の特徴、並びに本発明の磁性メモリの記録方法及び読み出し方法については、以下の発明の実施の形態において詳細に説明する。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を発明の実施の形態に則して詳細に説明する。
図1は、本発明の磁性メモリを構成する磁性層の形状を概略的に示す図であり、図2は、図1に示す磁性層中の磁化状態を示す図である。図1に示すように、磁性層11はリング状を呈し、その外周部は垂直な断面を有するように円弧状に切り欠かれている。このように、磁性層11が切り欠き部12を有するリング状を呈することによって、例えば磁性層11の厚さを1nm〜10nm程度まで小さくした場合においても、図2(a)及び(b)に示すように、磁性層11中に右回り(時計回り)又は左回り(反時計回り)の渦状磁化を生ぜしめることができるようになる。
【0014】
したがって、図2に示すように、例えば右回りの渦状磁化に対して0を割り当て、左回りの渦状磁化に対して1を割り当てるようにすれば、これらの0又は1の値に応じて、磁性層11中に所定の情報を記録させることができるようになる。
【0015】
なお、磁性層11中における右回り及び左回りの磁化は、磁性層11に対して500Oe〜2000Oe程度の大きさの磁場を互いに逆向きに印加することによって実施するが、図2(a)から図2(b)の状態に移行する際、あるいは図2(b)から図2(a)の状態に移行する際、図2(c)に示すような磁化状態を経るようになる。
【0016】
切り欠き部12の高さhの、リング形状の磁性層11の外径H1に対する比(h/H1)は、0.01以上であることが好ましく、さらには0.05以上であることが好ましい。磁性層11の外周部を上述したような大きさで切り欠くことにより、本発明の目的をより効果的に達成することができる。
【0017】
なお、前記比(h/H1)の上限は特に規定されるものではないが、0.2であることが好ましい。前記比を0.2を超えて大きくしても本発明の作用効果のさらなる向上を図ることができないとともに、磁性層11中に上述した渦状の磁化を生成させることができず、磁性層11を磁性メモリとして使用できなくなる場合がある。
【0018】
また、磁性層11のリング形状に保持するためには、切り欠き部12の高さhと、磁性層11の外径H1及び内径H2とは、h<(H1−H2)/2なる関係を満足する必要がある。
【0019】
磁性層11は、例えばNi−Fe、Ni−Fe−Co、及びCo−Feなどの室温強磁性体から構成することができる。なお、室温強磁性体とは、室温において強磁性的性質を示す磁性体を意味し、上述した磁性材料の他に公知の磁性材料を含むことができる。
【0020】
また、磁性層11の厚さは1nm〜10nmに設定することが好ましく、さらには3nm〜5nmに設定することが好ましい。これによって、十分な大きさの渦状磁化を生ぜしめることができ、0又は1に対応した所定の情報を安定的に記録することができるようになる。
【0021】
図3は、図1に示す磁性層を含む磁性メモリの具体的な一態様を示す構成図である。図3に示す磁性メモリ30においては、図1に示すような磁性層21上において、非磁性層22を介して追加の磁性層23が形成されるとともに、追加の磁性層23上において反強磁性層24が形成されている。磁性層21は、上述したように外周部を切り欠いたリング形状を呈しており、非磁性層22から反強磁性層24も磁性層21と同心円状に積層されてなり、それぞれリング形状を呈するように構成されている。
【0022】
磁性層21は、上述したように右回り(時計回り)又は左回り(反時計回りに)に磁化され、その磁化に応じて0又は1が割り当てられ、所定の情報が記録されるようになっている。
【0023】
図3に示す磁性メモリ30において、追加の磁性層23は、予め右回り(時計方向)又は左回り(反時計方向)に渦状磁化されており、この磁化は反強磁性層24との交換結合によって固定されている。なお、磁性層21と追加の磁性層23とは非磁性層22によって磁気的に分断されている。
【0024】
磁性層21は、上述したような室温強磁性体から構成することができ、1nm〜10nmの厚さに形成することができる。また、追加の磁性層23についても同様の室温強磁性体から構成することができ、1nm〜10nmの厚さに形成する。
【0025】
非磁性層22は、Cu、Ag、及びAuなどの非磁性材料から構成することができ、反強磁性層24はMn−Ir、Mn−Pt、及びFe−Mnなどの反強磁性材料から構成することができる。なお、非磁性層22の厚さ及び反強磁性層24の厚さは、それぞれ磁性層21及び追加の磁性層23間を磁気的に分断できるように、さらには追加の磁性層23中の磁化を交換結合を通じて磁気的に固定できるように適宜に設定する。
【0026】
磁性層21に対して所定の磁場が印加され、磁化状態が図2(a)から図2(b)に示すように変化する際、又は図2(b)から図2(a)に示すように変化する際、追加の磁性層23の磁化方向に応じて磁性メモリ30の電気抵抗が大きく変化する。
【0027】
図4は、磁化のスイッチング過程における磁性メモリ30の電気抵抗変化を概念的に示すグラフである。例えば、追加の磁性層23が右回り(時計方向)に磁化されているとすると、磁性層21の磁化状態が図2(a)(右回り)から図2(b)(左回り)に示すように変化する際、図4(a)に示すように、印加磁場のスイッチング過程における零磁場近傍において磁性メモリ30の電気抵抗は大きく増大する。一方、磁性層21の磁化状態が図2(b)(左回り)から図2(a)(右回り)に示すように変化する際、図4(b)に示すように、印加磁場のスイッチング過程における零磁場近傍において磁性メモリ30の電気抵抗は大きく減少する。
【0028】
なお、磁性メモリ30からの0又は1情報の読み出しは、磁性層21の磁化の向きの、追加の磁性層23の磁化の向きに対する相対的な関係に依存した抵抗値による電流値変化に基づいて実行する。すなわち、磁性層21が右回り又は左回りに渦状に磁化されて、磁性層21の磁化の向きと追加の磁性層23の磁化の向きとが同じ(平行)である場合においては、磁性メモリ30の電気抵抗は減少する。したがって、このときに磁性メモリ30を流れる電流値は大きくなる。
【0029】
一方、磁性層21の渦状磁化の向きと追加の磁性層23の渦状磁化の向きとが逆(反平行)である場合においては、磁性メモリ30の電気抵抗は増大する。したがって、このときに磁性メモリ30を流れる電流値は小さくなる。
【0030】
すなわち、追加の磁性層23を予め右回り又は左回りに渦状磁化させておいた場合において、磁性層21の所定の磁場を印加して磁化された渦状磁化の向き、すなわち記録させた0又は1の情報に応じて磁性メモリ30の電気抵抗が変化する。したがって、このときの電流値変化を計測することによって、磁性層21の記録された0又は1の情報を読み出すことができるようになる。
【0031】
【実施例】
磁性層及び追加の磁性層をNi−20at%Fe合金から厚さ5nmに形成し、非磁性層をCuから厚さ2.5nmに形成し、反強磁性層をFe−40at%Mn合金から厚さ10nmに形成して、図3に示すような磁性メモリを作製した。なお、各層はそれぞれリング形状とし、外径及び内径はそれぞれ1000nm及び500nmとした。また、切り欠き部の高さは50nmとした。
【0032】
このようにして得た磁性メモリに対して所定の磁場を印加し、磁性メモリにおける記録層としての前記磁性層中の磁化がどのようにして変化するのかについてシュミレーションした。図5にシュミレーション結果を示す。
【0033】
図5から明らかなように、印加磁場を2000Oeから−100Oeに変化させた場合において、図5(a)〜(e)に示すように、磁性層中における左回り(反時計回り)の磁化の占める割合が、右回り(時計回り)の磁化の占める割合に比較して徐々に増加し、前記磁化の向きが右回りから左回りに変化することが確認された。同様に、印加磁場を−2000Oeから100Oeに変化させた場合において、図5(f)〜(j)に示すように、磁性層中における右回り(時計回り)の磁化の占める割合が、左回り(反時計回り)の磁化の占める割合に比較して徐々に増加し、前記磁化の向きが左回りから右回りに変化することが確認された。
【0034】
以上、具体例を示しながら発明の実施の形態に則して本発明を説明してきたが、本発明は上記内容に限定されるものではなく、本発明の範疇を逸脱しない範囲において、あらゆる変形や変更が可能である。
【0035】
【発明の効果】
以上説明したように、磁性層の厚さに関係なく渦状磁化を生成することができ、前記渦状磁化の向きに応じて情報を安定的に記録できるようにした磁性メモリ及び磁性メモリアレイを提供することができる。さらには、前記磁性メモリに対する情報の記録方法及び再生方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の磁性メモリを構成する磁性層の形状を概略的に示す図である。
【図2】 図1に示す磁性層中の磁化状態を示す図である。
【図3】 磁性メモリの具体的な一態様を示す構成図である。
【図4】 磁化のスイッチング過程における磁性メモリの電気抵抗変化を概念的に示すグラフである。
【図5】 磁性メモリを構成する磁性層における磁化のスイッチング過程を示すシュミレーション図である。
【符号の説明】
11、21 磁性層
12 切り欠き部
22 非磁性層
23 追加の磁性層
24 反強磁性層
30 磁性メモリ

Claims (18)

  1. 外周部を円弧状に切り欠いてなる、厚さが1nm〜10nmの、リング形状の膜面を有する磁性層を具え、前記磁性層を前記リング状の膜面に沿って右回り(時計回り)又は左回り(反時計回り)に渦状に磁化させて0又は1の情報を記録するようにしたことを特徴とする磁性メモリ。
  2. 前記磁性層の外周部における切り欠き部の高さをhとし、前記磁性層の外径をH1とした場合において、前記切り欠き部の高さhと前記外径H1との比(h/H1)が0.01以上であることを特徴とする、請求項1に記載の磁性メモリ。
  3. 前記磁性層は室温強磁性体から構成されることを特徴とする、請求項1又は2に記載の磁性メモリ。
  4. 前記磁性層上において、非磁性層を介してリング形状の膜面を有する追加の磁性層を設けたことを特徴とする、請求項1〜3のいずれか一に記載の磁性メモリ。
  5. 前記追加の磁性層は室温強磁性体から構成されたことを特徴とする、請求項4に記載の磁性メモリ。
  6. 前記追加の磁性層の厚さが1nm〜10nmであることを特徴とする、請求項4又は5に記載の磁性メモリ。
  7. 前記追加の磁性層の、前記磁性層と対向する面とは反対側の主面と隣接するようにして反強磁性層を設けたことを特徴とする、請求項4〜6のいずれか一に記載の磁性メモリ。
  8. 前記追加の磁性層は、前記リング状の膜面に沿って右回り(時計回り)又は左回り(反時計回り)で渦状に磁化されていることを特徴とする、請求項4〜7のいずれか一に記載の磁性メモリ。
  9. 前記追加の磁性層における磁化の向きが固定されていることを特徴とする、請求項7又は8に記載の磁性メモリ。
  10. 請求項1〜9のいずれか一に記載の磁性メモリを複数規則的に配列してなることを特徴とする、磁性メモリアレイ。
  11. リング形状の膜面を有する磁性層を具える磁性メモリの記録方法であって、
    前記磁性層は、1nm〜10nmの厚さを有するとともに、外周部を円弧状に切り欠いてなり、
    前記磁性層を前記リング状の膜面に沿って右回り(時計回り)又は左回り(反時計回り)に磁化させて0又は1の情報を記録するようにしたことを特徴とする、磁性メモリの記録方法。
  12. 前記磁性層の外周部における切り欠き部の高さをhとし、前記磁性層の外径をH1とした場合において、前記切り欠き部の高さhと前記外径H1との比(h/H1)が0.01以上であることを特徴とする、請求項11に記載の磁性メモリの記録方法。
  13. 前記磁性層は室温強磁性体から構成されることを特徴とする、請求項11又は12に記載の磁性メモリの記録方法。
  14. リング形状の膜面を有する磁性層を具える磁性メモリの読み出し方法であって、
    前記磁性層は、1nm〜10nmの厚さを有するとともに、外周部を円弧状に切り欠いてなり、
    前記磁性層上において、非磁性層を介してリング状の膜面を有する追加の磁性層を設けるとともに、前記追加の磁性層を前記リング状の膜面に沿って右回り(時計回り)又は左回り(反時計回り)に渦状に磁化し、前記磁性層を前記リング状の膜面に沿って右回り(時計回り)又は左回り(反時計回り)に渦状に磁化させて記録した0又は1の情報を、前記追加の磁性層における磁化の向きと前記磁性層における磁化の向きとの依存した抵抗値に基づく電流値変化から読み出すようにしたことを特徴とする、磁性メモリの読み出し方法。
  15. 前記追加の磁性層の、前記磁性層と対向する面とは反対側の主面と隣接するようにして反強磁性層を設け、前記追加の磁性層の磁化の向きを固定したことを特徴とする、請求項14に記載の磁性メモリの読み出し方法。
  16. 前記磁性層の外周部における切り欠き部の高さをhとし、前記磁性層の外径をH1とした場合において、前記切り欠き部の高さhと前記外径H1との比(h/H1)が0.01以上であることを特徴とする、請求項14又は15に記載の磁性メモリの読み出し方法。
  17. 前記磁性層は室温強磁性体から構成されることを特徴とする、請求項14〜16のいずれか一に記載の磁性メモリの読み出し方法。
  18. 前記追加の磁性層の厚さが1nm〜10nmであることを特徴とする、請求項14〜17のいずれか一に記載の磁性メモリの読み出し方法。
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