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JP4009221B2 - 振動子を用いた分析方法 - Google Patents

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JP4009221B2
JP4009221B2 JP2003120335A JP2003120335A JP4009221B2 JP 4009221 B2 JP4009221 B2 JP 4009221B2 JP 2003120335 A JP2003120335 A JP 2003120335A JP 2003120335 A JP2003120335 A JP 2003120335A JP 4009221 B2 JP4009221 B2 JP 4009221B2
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  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、振動子を用い、液体中に含まれる微量物質を分析する技術にかかり、特に、その分析が高精度で行われるようにした分析技術に関する。
【0002】
【従来の技術】
DNA・タンパク質など生体物質の相互作用を測定する方法として、また抗原抗体反応を応用した測定などにQCMの原理が使われている。
【0003】
従来QCMを用いたバイオセンサーは、センサーである圧電素子(水晶振動子など)を発振させて共振周波数を連続で測定するか、インピーダンスアナライザーを用い共振点(インーピーダンスが最小となる点)の周波数を連続で測定し、その周波数変化より、圧電素子表面への吸着した物質の量を測定していた。
【0004】
ところが液中に浸された圧電素子(水晶振動子)の共振周波数は、質量が変化した場合の他、粘性が変化した場合にも変動する。質量の変化による周波数変動を質量効果と呼び、粘性変化による周波数変動を粘性効果と呼ぶと、周波数変動のうち、質量効果による変動量と粘性効果による変動量は、共振周波数の変動のみを測定している従来方式では分離することができない。
【0005】
例えば、周波数変動を測定し、DNA・タンパク質など生体物質の相互作用を調べようとしたり、周波数変動によって抗原抗体反応を調べようとする場合は、しばしば測定系に注入する試料と、使用されているバッファー液(生化学用緩衝液であり、主な含有物はNaClとKCL等である)の粘性が異なるために、測定された周波数変動の値が、DNA・タンパク質などの結合または抗原抗体の結合によって生じた質量効果によるものか、温度変化や試料の添加によって生じた粘性効果によるものなのか区別がつかず、正確な測定ができない。
【0006】
なお、振動子を用いた分析技術は下記のような先行技術がある。
【特許文献1】
特開2002−148295
【特許文献2】
特開2002−156368
【特許文献3】
特開平4−1554
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は上記従来技術の不都合を解決するために創作されたものであり、その目的は、粘性効果の影響が無く、振動子の重量変化を正確に求める技術を提供する。
【0008】
【課題を解決するための手段】
先ず、本願のような振動子を使用した分析方法の原理を説明する。下記は、基本文献(Anhong Zhou, et al., Impedance analysis for the investigation of the behaviors of piezoelectric quartz crystal in the liquid at harmonic resonance, Sensors and Actuators B 67(2000)68-75)の概要であり、本願発明の前提となる技術である。
【0009】
<概要>
1.調波共振(harmonic resource)におけるSauerbrey方程式の導出
結晶の発振周波数fは、
【0010】
【数1】
Figure 0004009221
【0011】
で表すことができる。ここで、hは調波数(h = 1、3、5...)、(μQおよびρQはそれぞれ水晶のせん断弾性係数および密度、tQは結晶の厚さである。
【0012】
数式(1)のtQに関する偏導関数f、および結晶表面の質量の少量変化(< 1%)dm,dm = ρQAdtQ,について考えると、周波数変化Δfmと質量変化Δmの間の関係は、簡単に導出することができる。
【0013】
【数2】
Figure 0004009221
【0014】
ここで、Aは電極の圧電作用面積、Nは液体と接触している面数である。N = 1且つh = 1であるときに、数式(2)がSauerbrey方程式[4]になることは明らかである。
【0015】
数式(2)では、電極表面上の異物膜が剛性であり、かつ十分に薄いものと仮定している。
【0016】
実際には、粘性液体中のPQCの周波数変化は、質量アドレイヤのみに関係するのではなく、例えば液体の密度および粘性など、物理化学的特性[3]にも関係している。
【0017】
2.調波共振における粘性効果
PQC(piezoelectric quartz crystals)は、図1に示すように、Butterworth-Van Dyke(BVD)等価回路モデル[17、18]で電気的に表すことができる。電極面積をA、調波数をhとすると、インピーダンスZは次のように表すことができる[19]。
【0018】
【数3】
Figure 0004009221
【0019】
ここで、
【0020】
【数4】
Figure 0004009221
【0021】
である。ここで、Zの実数部はレジスタンス(RL)、虚数部はリアクタンス(XL)であり、ρLおよびηLはそれぞれ液体の絶対密度および絶対粘性である。
【0022】
結晶が理想粘性液体(ニュートン液体)中にある場合、Mason[20]によれば、(機械的)せん断インピーダンスは、
【0023】
【数5】
Figure 0004009221
【0024】
によって与えられる。ここで、mLは結晶にかかる粘性液体負荷の等価振動質量であり、数式(3)と数式(4)を組み合わせることによって得られる。
【0025】
【数6】
Figure 0004009221
【0026】
この場合、数式(4a)のmLは、数式(2)のmと同じである。数式(4a)を数式(2)に代入すると、液体負荷による周波数変化ΔfLが得られる(パラメータNを考慮する)。
【0027】
【数7】
Figure 0004009221
【0028】
N = 1、h = 1の場合、数式(5)は、KanazawaおよびGordon[7]が水晶中のせん断波と液体中の減衰応力波とを結合するモデルから導出した予測と一致する。
数式(5)は、液相中のPQCの周波数応答に対する粘性効果を表している。したがって、液体負荷および質量効果によるおおよその全周波数変化(Δf)が得られる。
【0029】
【数8】
Figure 0004009221
【0030】
この結果は、Martinら[16]によって導出された、連続体電気機械モデルに基づく結果と合致している。
ただし、発振器方式によってモニターされる周波数変化は、ΔfmでもΔfLでもなく、全周波数変化(Δf)のみに限定されていることを強調しておく。
【0031】
3.ΔfとR1の関係
インピーダンス解析では、Martinらのモデル[16]は、PQCを効果的に同時質量および液体負荷で特徴づけることができる。液体負荷のかかった状態にあるPQCの動抵抗R2は、次のように表される[16]。
【0032】
【数9】
Figure 0004009221
【0033】
ここで、L1は真空中の動インダクタンスを表し、
【0034】
【数10】
Figure 0004009221
【0035】
で与えられる。
数式(8)を(7)に代入すると、
【0036】
【数11】
Figure 0004009221
【0037】
が得られる。ここで、K0は、参照[16]で定義されている定数である。K0 2=e2 26/(c66ε22)であり、c66は、圧電強化(piezoelectrically stiffend)水晶弾性定数、e26およびε22はそれぞれ水晶の圧電応力定数および誘電率である。
【0038】
液体中の結晶の場合、Martinのモデルでは、動抵抗R1は2つの部分に分割され、R1 = Rq + R2とされた。Rqは、非摂動PQC(すなわち真空中または空気中で共振するPQC)の動抵抗である。例えば、空気中で測定したRqは、既存の9MHz結晶では約15.0Ωである。これに対して、純水(20℃)中の同じ結晶について測定したR1は、約228 Ωである。Δf対R1の関係を簡単に得るために、質量効果および粘性効果のみを考慮する場合には、本研究では、R1とR2とは略等しい(R1≒R2)と見なすことが妥当である。したがって、おおよそのΔf対R1の関係は、数式(6)と数式(7)を組み合わせることによって得ることができる。
【0039】
【数12】
Figure 0004009221
【0040】
数式(8)のL1を考慮すると、数式(10)の傾きは、
【0041】
【数13】
Figure 0004009221
【0042】
で表される。
この傾きは、Nやhではなく、f0、K0、C0(またはL1)にのみ関係している。真空中(または空気中)のL1を測定すれば、この傾きの理論値が得られる。
【0043】
下記は、参照文献である。
[3]:D.A.Buttry,M.D.Ward, Measurement of interfacial processes at electrode surfaces with the electrochemical quartz crystal microbalance, Chem. Rev. 92 (1992) 1355-1379.
[4]:G.Sauerbrey,Verwendung von schwingquarzen zur wagung dunner schichten und zur mikrowagung, Z. Phys. 155(1959)206-222.[7]:K.K.Kanazawa, J.G. Gordon II, The oscillation frequency of a quartz resonator in contact with a liquid, Anal. Chem. Acta 175 (1985)99-105.
[16]:S.J. Martin, V.E. Granstaff, G.C.Frye, Characterizaiton of a quartz microbalance with simultaneous mass and liquid loading, Anal.Chem. 63 (1991)2272-2281
[17]:W.G.Cady,Piezoelectricity, Dover, New York, 1964.
[18]:V.E. Bottom, in: Introduction to Crystal Unit Design, Van Nostrand-Reinhold, New York, 1982, p, 120.
[19]:W.P. Mason, Piezoelectric Crystals and Their Applications to Ultrasonics, Van Nostrand, Princeton, NJ, p. 339.[20]:W.P. Mason, Electromechanical Transducers and Wave Filters, Van Nostrand-Reinhold, New York, 1948.
<周波数に関する考察>
次に、アドミタンスを符号Y、コンダクタンスを符号G、サセプタンスを符号Bで表し(アドミタンスY=コンダクタンスG+j・サセプタンスB)、角周波数を符号ωで表したとき、コンダクタンスGとサセプタンスBは、図1の等価回路の等価直列レジスタンスR1と、等価直列キャパシタンスC1と、等価直列インダクタンスL1とから、下記(a)、(b)式のように表すことができる。
【0044】
【数14】
Figure 0004009221
【0045】
直列共振状態を与える角周波数を共振角周波数ωsとすると、h=1のときの共振角周波数ωsでは、ωs1−1/(ωs1)=0が成り立つから、共振角周波数ωsは下記(c)式で表される。
【0046】
【数15】
Figure 0004009221
【0047】
角周波数ωに対応する周波数をf(f=ω/(2π))で表すと、共振周波数fsは、下記(d)式で表される。
【0048】
【数16】
Figure 0004009221
【0049】
h=1の共振状態のときのコンダクタンスGは1/R1である。
ここで、共振状態のときのコンダクタンスGの値を符号Gsで表し、その半分の値を半値コンダクタンスGs/2とし、半値コンダクタンスGs/2を与える角周波数を半値角周波数とすると、半値角周波数は2個存在する。それぞれω1、ω21<ω2)で表すと、各半値角周波数ω1、ω2は下記(e)、(f)式で与えられる。
【0050】
【数17】
Figure 0004009221
【0051】
図2は、h=1のときの共振角周波数ωs、半値角周波数ω1、ω2とコンダクタンスGの関係を示すグラフである。
【0052】
大きい方の半値角周波数ω2に対応する半値周波数f2は、下記(g)式で表すことができる。
【0053】
【数18】
Figure 0004009221
【0054】
上記(g)式の第2項中、C1の値は小さいからR1 21 2は微小量であり、無視できる。従って、(g)式は下記(h)式に書き直すことができる。
【0055】
【数19】
Figure 0004009221
【0056】
上記(h)式の第2項は、共振周波数fsに等しいから、結局、半値周波数f2は、下記(i1)式で表される。
【0057】
【数20】
Figure 0004009221
【0058】
粘性変化と質量変化の両方があった場合、等価直列キャパシタンスC1は変化せず、等価直列インダクタンスL1と等価直列レジスタンスR1とが変化するものとすると、R1とL1とfsは、ΔR1とΔL1とΔfsになるので、半値周波数f2の微小変化量Δf2は下記(i2)式で表すことができる。
【0059】
【数21】
Figure 0004009221
【0060】
ここで、上記(d)式においてL1のみ変化する場合には、Δfsは、
【0061】
【数22】
Figure 0004009221
【0062】
となるため、上式を用いて、(i2)式を書き換えると、下記(i3)式が得られる。
【0063】
【数23】
Figure 0004009221
【0064】
実際にfs=27MHzの水晶振動子は液中でR1≒200Ω、L1≒2×10-3Hの値となるので、(i13)式のR1/(8πL1s)は下記値となる。
【0065】
【数24】
Figure 0004009221
【0066】
上記値は1よりも十分小さいので、(i3)式は下記(j)式に近似することができる。
【0067】
【数25】
Figure 0004009221
【0068】
質量効果と粘性効果だけを考慮する場合、周波数変動Δfは、上記(10)式で表されるから、共振周波数fsの微小変化量Δfsは、上記(10)式を用い、直ちに下記(k)式で表すことができる。
【0069】
【数26】
Figure 0004009221
【0070】
(k)式を(j)式に代入すると、(j)式の第1項が(k)式の第2項で消去され、半値周波数f2の微小変化量Δf2は、下記(l)式で表すことができる。
【0071】
【数27】
Figure 0004009221
【0072】
上記(l)式には、等価直列抵抗R1の微小変化量ΔR1を含む項が消去され、質量mの微小変化量Δmを変数とする項だけが残っている。即ち、粘性変化による影響の項が消去され、質量負荷のみによる周波数変化となる。
【0073】
従って共振周波数fsを測定するのではなく半値周波数f2を測定することにより、粘性の影響を排除した質量負荷による周波数変化のみを測定することが可能となる。
【0074】
質量変化により、共振状態のときのコンダクタンスGの値も変化するため、半値周波数f2を測定する際には、半値周波数f2を測定する直前に共振状態のコンダクタンスGsを測定し、その値から半値コンダクタンスGs/2を算出し、半値コンダクタンスGs/2を与える周波数を半値周波数f2として求めるとよい。
【0075】
なお、上記はh=1の場合であって、基本共振周波数での直列共振状態のときのコンダクタンスGの半分の値を用いたが、2以上のh場合についても同様である。即ち、図3に示したように、h=nのときの直列共振状態を与える共振周波数をf(n)sで表し、f(n)sのときのコンダクタンスGの値をG(n)sで表すと、各nに対し、半値コンダクタンスG(n)s/2を与える半値周波数f(n)1及びf(n)2が決まる。各nに関し、大きい方の半値周波数f(n)2の変動を測定して質量変化を求める場合も、粘性変化の影響は消去される。
【0076】
本発明は上記の原理に基いており、請求項1記載の発明は、結晶板と、前記結晶板の両面に配置された第1、第2の電極を有する振動子を液体中に浸漬し、前記第1、第2の電極間に交流信号を印加し、前記交流信号の周波数と前記振動子の電気的特性の関係から、前記振動子の重量変化を求める分析方法であって、前記振動子が直列共振状態にあるときのコンダクタンスの半分の大きさの半値コンダクタンスを与える半値周波数であって、前記直列共振状態を与える共振周波数に近く、且つ、共振周波数よりも大きな周波数である半値周波数の変化から、前記振動子の重量変化を求める分析方法である。
請求項2記載の発明は、前記振動子に、前記半値周波数を含むと予想される周波数範囲の前記交流信号を繰り返し入力し、時間経過に対する前記振動子の重量変化を求める請求項1項記載の分析方法である。
請求項3記載の発明は、前記液体中に試料を投入する前に、前記半値周波数の初期値を求め、前記半値周波数の前記初期値に対する変動量から、前記振動子の重量変化を求める請求項1又は請求項2のいずれか1項記載の分析方法である。
請求項4記載の発明は、前記振動子のコンダクタンスの極値を測定し、前記極値から前記半値周波数を求める請求項1乃至請求項3のいずれか1項記載の分析方法である。
請求項5記載の発明は、前記極値は、前記振動子のコンダクタンスの最大値を用いる請求項4記載の分析方法である。
請求項6記載の発明は、前記振動子の共振周波数と等価回路の定数から、前記半値周波数を求める請求項1乃至請求項3のいずれか1項記載の分析方法である。
【0077】
【発明の実施の形態】
本発明の測定方法を、本発明に用いる振動子及び測定装置と共に説明する。
図4(a)は、本実施の形態の測定用セル2の断面図、同図(b)は、同測定用セルの水晶振動子3の平面図、同図(c)は断面図である。
【0078】
振動子3は、図4(b)、(c)に示すように、結晶板30を有しており、この結晶板30の表面側と裏面側とは、第1、第2の電極31、32がそれぞれ配置されている。結晶板30は、例えば水晶や石英等の結晶が円板状に成形されて構成されており、第1、第2の電極31、32は、金属薄膜が所定形状にパターンニングされて構成されており、第1の電極31は、一部が裏面側まで回り込んでいる。
【0079】
第1、第2の電極31、32は、結晶板30の裏面位置で、第1、第2のスプリング24、25の一端に接続されている。第1、第2のスプリング24、25の他端は、第1、第2の端子ピン26、27に接続されている。第1、第2のスプリング24、25は金属製であり、第1、第2の電極31、32は、第1、第2のスプリング24、25によって、第1、第2の端子ピン26、27に電気的に接続されている。
【0080】
符号23は、絶縁性を有する台座であり、第1、第2の接続ピン26、27は、ガラスシール28によって、この台座23に固定されている。
【0081】
次に、セル2は、図4(a)に示すように、例えばアクリル樹脂が円筒形に成形されて成るセル本体20を有している。
【0082】
セル本体20の底部よりもやや上の位置には、フランジ部21が形成されており、振動子3は、セル本体20の底面側からセル本体20の内部に挿入されており、振動子3の外周部分がフランジ部21に当接されている。
【0083】
その状態では、第1、第2のスプリング24、25は圧縮され、その復元力によって振動子3がフランジ部21に押圧される。
【0084】
振動子3とフランジ部21とが接触する部分には、接着剤が配置されており、第1、第2のスプリング24、25によって振動子3の外周がフランジ部21に押圧された状態で、台座23がセル本体20の底面に固定されると、振動子3は、接着剤によってフランジ部21に固定される。
【0085】
この状態では、振動子3を底面とし、セル本体20の上部を側面とする液密な有底円筒容器状の収容部20aが構成される。
【0086】
第1、第2の端子ピン26、27は、台座23の底面から、セル本体20の外部に導出されており、第1、第2の端子ピン26、27を測定機器等の外部回路に接続すると、第1、第2の電極31、32は、その外部回路に接続される。
【0087】
第1、第2の電極31、32のうち、ここでは、結晶板30の表面側、即ち、収容部20aの底面に露出する位置には第1の電極31が配置されており、その第1の電極31の表面には、反応膜33が配置されている。反応膜33は、測定対象である特定成分と反応し、又はその特定成分を吸着する材料で構成されている。
【0088】
そして、図5に示すように、台29の上にセル2を配置し、測定対象である特定成分を溶解させる溶媒、あるいは特定成分を分散させる液体であって、その特定成分が含まれていない状態の液体を、収容部20a内に注入する。
【0089】
図5の符号7は、その液体を示しており、この状態では、反応膜33は液体7に接触する。第1の電極31の反対側に位置する第2の電極32は、液体7には接触しない。従って、この例では上記各式((1)〜(10)式)中のNは1である。
【0090】
図6の符号1は測定装置であり、上述したセル2と、ネットワークアナライザーやインピーダンスアナライザー等から成る分析装置4と、分析装置4を制御し、その測定値を演算する制御装置5とを有している。
【0091】
セル2は分析装置4に接続されており、分析装置2は所望周波数の交流信号をセル2に出力し、その周波数下でのセル2のコンダクタンスGを測定できるように構成されている。
【0092】
ここで、制御装置5は、分析装置4の動作を制御し、分析装置4がセル2に出力する信号の周波数を変化させると共に、周波数と測定結果とを対応させ、演算結果と共に記憶するように構成されている。
【0093】
ここで、共振周波数fsを含む所定範囲内で周波数を変化させ、周波数とコンダクタンスGの関係を測定する場合、共振状態では、コンダクタンスGは極値を取る。特に、h=1の共振状態は、コンダクタンスGの極値は最大値を与えるから、測定値中で最大コンダクタンスGmaxを与える周波数が共振周波数fsであることが容易に分かる。試料投入前の共振周波数fsの測定値は、共振周波数fsの初期値となる。
【0094】
また、h=1では、最大コンダクタンスGmaxの1/2の値、即ち半値コンダクタンスGs/2を与え、且つ、共振周波数fsよりも大きな周波数を測定結果から逆に求めると、その値が半値周波数f2であることが分かる。試料投入前の値は半値周波数f2の初期値fM2(t=0)である。
【0095】
次に、液体7中に、測定対象である特定成分を含む液体を試料として注入すると、特定成分が反応膜33と反応又は吸着し、反応膜33の重量が増加し始める。
【0096】
ここで、試料を投入した後、セル2に印加する信号の周波数を、共振周波数fsの初期値と半値周波数f2の初期値を含む所定範囲で変化させながら印加し、セル2のコンダクタンスGを測定する。
【0097】
例えば、1秒おきに半値周波数f2を求める場合、交流信号の周波数を所定範囲で変化させながらコンダクタンスGの最大値を1秒間隔で測定することになる。
【0098】
そして、コンダクタンスGの測定値から、その極値(h=1では、最大コンダクタンスGmax)を求め、その値の1/2の半値コンダクタンスを与える半値周波数f2を求める。試料投入後、一定間隔(例えば1秒毎)にこれを繰り返す。
【0099】
ここで、半値周波数f2の測定値を、fM2(t=1)、fM2(t=2)、……(tは時間を表す。)とすると、各測定値fM2(t=1)、fM2(t=2)、fM2(t=1)……と初期値fM2(t=0)の周波数差分から、質量変動を求めることができる。質量変動から、測定対象の液体中の特定成分の濃度が分かる。
【0100】
なお、1秒ごとに測定結果を記録しておき、測定終了後、半値周波数f2とその変動を求めることもできる。
【0101】
次に、実測結果のグラフを用い、本発明が高精度であることを説明する。
【0102】
共振周波数fs又は半値周波数f2の測定値と初期値の差分を周波数差分Δfとする。図6は、振動子を水中に浸漬し、水温を20℃〜35°まで5℃刻みで上げていった場合の時間経過と周波数差分Δfの関係を示すグラフである。図6中、符号a1は半値周波数f2の周波数差分Δfの変化を示す曲線であり、符号a2は共振周波数fsの周波数差分Δfの変化を示す曲線である。
【0103】
液温の上昇とともに液の粘性が減少するため、共振周波数fsの周波数差分Δfの変化は大きい。それに対し、半値周波数f2の周波数差分Δfの変化はゼロである(僅かな変化は、温度変化による水晶振動子の特性変動である。)。
【0104】
図7は、質量効果と粘性効果の両方が生じたときの周波数差分Δfの経時変化を示すグラフであり、符号b1が半値周波数f2の周波数差分Δfの変動を示し、b2が共振周波数fsの周波数差分Δfの変動を示している。
【0105】
このグラフの場合、先ず、振動子3をバッファー液中に浸漬した時刻を測定開始時間とし、測定開始時間から300秒経過したときに第1の試料(アビジン)を注入し、次に、1200秒経過したときに第2の試料(グリセロールとアビジンの混合液(アビジンの濃度は1回目と同じ))を注入し、2400秒経過したときに、第3の試料(グリセロールのみであり、量は2回目と同じである。)を注入した。
【0106】
各試料中、アビジンは反応膜33に付着し質量効果を与えるが、グリセロールは反応膜33に付着せず、粘性効果だけを与える。
【0107】
第1の試料の投入により、アビジンの付着によって周波数差分Δfは変化するが、半値周波数f2については一定の傾きで変化するのに対し、共振周波数fsの周波数差分Δfは、グリセロールによる粘性効果で周波数が大きく減少している。
【0108】
なお、上記例では、直列共振状態のときにコンダクタンスGを測定し、その1/2の値から半値周波数f2を求めたが、直列共振状態のときにコンダクタンスGを測定せず、共振周波数fsの測定値や等価回路の定数R1、L1、C1を用いて半値周波数f2を算出することもできる。
【0109】
例えば、振動子3のレジスタンスR1、インダクタンスL1、及び共振周波数fsを測定すれば、コンダクタンスGを測定しなくても、(i1)式から半値周波数f2を算出することができる。
【0110】
また、インピーダンスアナライザー等でQ値(Q=fs/(f2−f1))やD値(D=1/Q)を測定すれば、f2=fs+fs/(2・Q)から、半値周波数f2を求めることができる。
【0111】
要するに、本発明は、コンダクタンスGを実測し、半値周波数f2を求める場合に限定されるものではなく、コンダクタンスG以外の値を測定して半値周波数f2を求める場合も含まれる。
【0112】
【発明の効果】
従来方式ではバッファー液と試料の粘性が異なると正確な測定ができなかったが、本発明では、バッファー液と粘性が異なる試料を使用した場合の変性効果や温度変化による変性効果の影響を受けないので、正確な測定をすることが可能となった。
【0113】
従って、本発明は、粘性の高い血液の検査や、食品に含まれる菌の検査において高い効果を発揮する。
【0114】
また、温度の影響がないことから、装置にバッファー液の入ったセルをセットした後、バッファーの液温が装置でセットした温度になるまで、安定待ちの時間が短縮され、スループットが高くなった。
【0115】
更にまた、水を多く含む物質は吸着の際水も一緒に振動するため、従来技術では、真値よりも大きい周波数変動があったならば、本発明によれば正しく測定することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】振動子の等価回路
【図2】信号の周波数と振動子のコンダクタンスとの関係を示すグラフ
【図3】高次の共振状態を説明するためのグラフ
【図4】(a)〜(c):本発明の用いる振動子、及びその振動子を用いた測定セルを説明するための図
【図5】測定装置全体を説明するための図
【図6】温度変化と周波数変動の関係を説明するためのグラフ
【図7】質量効果及び粘性効果と周波数変動の関係を説明するためのグラフ
【符号の説明】
3……振動子
30……結晶板
31……第1の電極
32……第2の電極
G……コンダクタンス
2……半値周波数
s……共振周波数

Claims (6)

  1. 結晶板と、前記結晶板の両面に配置された第1、第2の電極を有する振動子を液体中に浸漬し、前記第1、第2の電極間に交流信号を印加し、前記交流信号の周波数と前記振動子の電気的特性の関係から、前記振動子の重量変化を求める分析方法であって、
    前記振動子が直列共振状態にあるときのコンダクタンスの半分の大きさの半値コンダクタンスを与える半値周波数であって、前記直列共振状態を与える共振周波数に近く、且つ、共振周波数よりも大きな周波数である半値周波数の変化から、前記振動子の重量変化を求める分析方法。
  2. 前記振動子に、前記半値周波数を含むと予想される周波数範囲の前記交流信号を繰り返し入力し、時間経過に対する前記振動子の重量変化を求める請求項1項記載の分析方法。
  3. 前記液体中に試料を投入する前に、前記半値周波数の初期値を求め、前記半値周波数の前記初期値に対する変動量から、前記振動子の重量変化を求める請求項1又は請求項2のいずれか1項記載の分析方法。
  4. 前記振動子のコンダクタンスの極値を測定し、前記極値から前記半値周波数を求める請求項1乃至請求項3のいずれか1項記載の分析方法。
  5. 前記極値は、前記振動子のコンダクタンスの最大値を用いる請求項4記載の分析方法。
  6. 前記振動子の共振周波数と等価回路の定数から、前記半値周波数を求める請求項1乃至請求項3のいずれか1項記載の分析方法。
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