JP4098025B2

JP4098025B2 - Laser superposition spot welding equipment

Info

Publication number: JP4098025B2
Application number: JP2002223867A
Authority: JP
Inventors: 洋介川人; 昌樹近藤; 勝裕栗山
Original assignee: Panasonic Corp; Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Corp; Panasonic Holdings Corp
Priority date: 2002-07-31
Filing date: 2002-07-31
Publication date: 2008-06-11
Anticipated expiration: 2022-07-31
Also published as: JP2004058141A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はレーザによる重ね合わせスポット溶接装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
複数の金属材料（溶接対象物、被加工物）を重ね合わせて一方の面側からレーザ光を照射して複数の金属材料を溶接するスポット溶接が広く行われている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
上記のレーザによる重ね合わせスポット溶接において以下の３つの課題が存在する。
【０００４】
第一の課題は、接合ギャップによる未溶接の問題である。溶接しようとする金属材料を重ね合わせたときに溶接箇所の金属材料間に隙間（接合ギャップ）が存在すると、両金属材料を良好に溶接することができず、未溶接箇所が発生する。レーザ重ね合わせ溶接では、溶接対象物の厚みの１０〜２０％以上の接合ギャップが存在すると一般に溶接するのが難しくなる。この接合ギャップによる未溶接箇所の発生を防止する方法として、レーザピーク強度を上げて加工することが知られている。しかし、レーザピーク強度を上げ過ぎると、加工領域にある溶融材料が吹き飛んでしまい、加工後に穴が埋まらない溶接不良であるアンダーフィルドスポットウェルド（アンダーフィルド溶接）が発生してしまう。一般的に個々の溶接対象物ごとに接合ギャップが異なるため、溶接対象物ごとに溶接条件を制御することなしに何千もの加工を行うと、そのうちのいくらかには未溶接あるいはアンダーフィルドスポットウェルドが生じてしまう恐れがある。この現象は、銅やアルミニウムといった難加工材料では、加工できる条件範囲が狭いために一層顕在化する。従って、未溶接やアンダーフィルドスポットウェルドが生じないようにレーザピーク強度を制御することが望まれるが、加工中に何を測定し、何を判断基準として、いつレーザピーク強度をどのように変化させればよいかは十分に検討されていないのが現状である。
【０００５】
第二の課題は、溶接形状および溶接割れの問題である。銅やアルミニウム等の難加工材料の熱伝導率は、基本波ＹＡＧレーザを用いたレーザ溶接が適用される炭素鋼やニッケル等の材料に比べて、２から３倍高い。従って、溶接完了後レーザ照射を停止すると前述の難加工材料は急冷却され、その結果、加工中心部が盛り上がり、加工周辺部が陥没する溶接形状となりやすい。また、アルミニウムにマグネシュウムが混入された合金では、急冷却により溶接割れが生じやすくなる。このような溶接形状および溶接割れは、溶接部の接合強度を低下させる原因となる。
【０００６】
そこで、このような溶接形状および溶接割れを防止する方法として、ゆっくりと冷却することが有効であることが知られている。しかしながら、個々の溶接対象物に対して、加工中に何を測定し、何を判断基準として、どのような手段を採ればよいかは十分に検討されていないのが現状である。
【０００７】
第三の課題は、溶融スポット径のサイズのばらつきの問題である。一般的に、溶融スポット径のサイズは、溶接中に画像認識で計測すればよいと思われているが、１００μｓオーダーの非常に短い時間で画像認識し処理を行い、溶融スポット径のサイズを求め、レーザの指令電圧にまで反映させるのは、現状の技術ではかなりの困難性がある。その反面、精密機器および多機能電子機器ではマイクロ領域（約φ２ｍｍ以下）の加工が求められ、目的の溶融スポット径サイズに対して一桁高い精度が要求される。
【０００８】
本発明は、レーザによる重ね合わせスポット溶接における上記の課題を解決することを目的とする。即ち、本発明の第１の目的は、レーザによる重ね合わせスポット溶接において、接合ギャップの存在による未溶接箇所の発生を防止することにある。また、本発明の第２の目的は、レーザによる重ね合わせスポット溶接において、溶接形状が良好で溶接割れの発生を防止することにある。更に、本発明の第３の目的は、レーザによる重ね合わせスポット溶接において、溶融スポット径を安定化させることにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
【００１２】
本発明の重ね合わせスポット溶接装置は、レーザ光を被加工物の加工点に照射することで加工する加工装置と、前記加工点における前記レーザ光の反射光を、前記反射光を集光する第一の集光レンズと、前記第一の集光レンズの焦点位置に配置されたピンホールと、前記ピンホールを通過した反射光を集光する第二の集光レンズとからなる共焦点型光学系を用いて強調して計測する反射光計測装置と、前記加工点で発生する熱放射光を計測する熱放射光計測装置と、前記反射光計測装置及び前記熱放射光計測装置からの出力信号に基づいて前記レーザ光の強度を変更する制御装置とを備えることを特徴とする。これにより、加工条件範囲を広げることができ、接合ギャップによる未溶接の発生を防止でき、加工品質を向上できる。また、良好な溶接形状が得られ、溶接割れを防止することができる。
【００１５】
【発明の実施の形態】
（実施の形態１）
図１は実施の形態１のスポット溶接装置の概略構成図である。この装置は、インプロセスで加工状態を判断し、レーザ強度を制御するものである。
【００１６】
図１において、１は被加工物であり、純度９９．９％、サイズ４０×５０ｍｍ×厚み１００μｍのタフピッチ銅を２枚重ね合わせたものを用いた。この被加工物１を、厚さ１ｍｍの鉄板２枚からなる磁性金属２とコバルト磁石３との間に挟んで固定した。また、使用するレーザとしては、波長１０６４ｎｍのレーザ光を発する基本波ＹＡＧレーザ２１と波長５３２ｎｍのレーザ光を発する第２高調波ＹＡＧレーザ２０を用いた。表１にこれらのレーザの照射条件を示す。
【００１７】
【表１】

【００１８】
また、図２（Ａ）及び図２（Ｂ）は、それぞれ基本波ＹＡＧレーザ２１からのレーザ光及び第２高調波ＹＡＧレーザ２０からのレーザ光の波形図である。図２（Ａ）及び図２（Ｂ）において、横軸は時間、縦軸はレーザピーク強度を示す。ここで、レーザピーク強度は、レーザ光の投入エネルギー（レーザパワー）をＥ（単位：Ｊ）、照射時間をＴ（単位：s）としたとき、Ｅ／Ｔ（単位：Ｗ）で表される。
【００１９】
以下、図１及び図２を参照しながら、実施の形態１に係るスポット溶接技術の動作手順を説明する。
【００２０】
基本波ＹＡＧレーザ２１からのレーザ光（以下、「基本波ＹＡＧレーザ光」という）を、反射ミラー１９で反射させ、次いで波長１０６４ｎｍの光を９８％反射し、波長５３２ｎｍの光を８０％以上通過させるビームスプリッター１８で反射させることにより、基本波ＹＡＧレーザ光を第２高調波ＹＡＧレーザ２０からのレーザ光（以下、「第２高調波ＹＡＧレーザ光」という）に空間的に重畳させた。更に、重畳したこれらのレーザ光を、波長１０６４ｎｍおよび波長５３２ｎｍの光をいずれも９８％反射して、波長１３００ｎｍの近赤外光（熱放射光）を９０％以上透過させるビームスプリッター６で折り返し、集光レンズ５で被加工物１上の加工点４に集光させた。
【００２１】
加工点４からの反射光およびこれと同軸の熱放射光（波長１３００ｎｍ）をビームスプリッター６に入射させた。入射した反射光のほとんどはビームスプリッター６で反射されるが、２％程度はこれを通過する。ビームスプリッター６を通過した反射光及び熱放射光は、波長６３２．８ｎｍの光のみを反射するビームスプリッター２２を通過後、波長１３００ｎｍの熱放射光を反射し、波長１０６４ｎｍ及び波長５３２ｎｍの反射光を透過させるビームスプリッター７で反射光と熱放射光とに分離された。
【００２２】
次いで、ビームスプリッター７を通過した反射光は、波長１０６４ｎｍの光のみを透過させるバンドパスフィルター８を通過後、集光レンズ９で直径１００μｍのピンホール１０に集光された後、集光レンズ１１で再び集光され、ＳＩのフォトセンサー１２上に集光された。この集光された波長１０６４ｎｍの反射光をフォトセンサー１２で計測した。ここで、ピンホール１０の位置は、レンズ９の焦点位置である。以上のような共焦点型光学系を用いることで、加工時に発生するプルーム（加工部から吹き出す金属蒸気）が基本波ＹＡＧレーザ光の反射光に及ぼす影響を最小限に抑えて、加工表面からの基本波ＹＡＧレーザ光の反射光を強調して取り出すことが可能となる。
【００２３】
一方、ビームスプリッター７で反射された波長１３００ｎｍの熱放射光は、波長１０６４ｎｍの光のみを１０^-7倍に減衰させるノッチフィルター１４を通過し、さらに波長１３００ｎｍの光を透過させるバンドパスフィルター１５を通過し、石英の集光レンズ１６でＩｎＧａＡｓのフォトセンサー１７上に集光された。
【００２４】
さらに、加工中の加工点４の状態をレーザ光と同軸方向からリアルタイムで観測するために、Ｈｅ−Ｎｅレーザ２４を照明光の光源として用いた。これからの光（照明光）を、ハーフミラー２５、波長６３２．８ｎｍの光を透過させるバンドパスフィルター２６を順に通過させ、波長６３２．８ｎｍの光のみを反射するビームスプリッター２２で反射させ、ビームスプリッター６を透過させ、集光レンズ５で被加工物１上の加工点４に集光させた。加工点４からの波長６３２．８ｎｍの反射光は、上記と逆の経路をたどり、ハーフミラー２５で往路の光と分離されて、１秒間に１８０００コマ撮影可能な高速度カメラ２３に入射される。
【００２５】
図３にフォトセンサ１２で計測した波長１０６４ｎｍの反射光の強度の変化の様子を、また図４にフォトセンサ１７で計測した波長１３００ｎｍの熱放射光の強度の変化の様子を示す。これらの変化の様子と、高速度カメラ２３で観測された加工状態の変化との関連について検討した結果、加工点４にキーホールが発生したのとほぼ同時に、反射光強度の減少と熱放射光強度の増加とが開始することが分かった。ここで、キーホールとは、加工点４が溶融されて形成される、開口径が小さく、深さが深い穴を言う。キーホールは、溶接が良好に進行していることの判断指標になるものである。そして、加工が進行するにつれて、反射光強度が更に減少し、熱放射光強度が更に増加することも分かった。
【００２６】
また、図４において、熱放射光強度量の増加の程度が、時刻ｔ１で鈍化し、時刻ｔ２で再び増加し始めているが、これは、接合ギャップとも関連することを表している。即ち、熱放射光強度の増加の程度が鈍化した時刻ｔ１は、レーザ光の入射側に配置されたタフピッチ銅の下面（レーザ光の入射側とは反対側）の直前にまでキーホールが形成された時と一致していた。また、熱放射光強度の増加が再び開始した時刻ｔ２は、レーザ光の入射側とは反対側に配置されたタフピッチ銅の上面にキーホールが形成され始めた時と一致していた。
【００２７】
本発明者らは、種々のサンプルについて実験を行った結果、接合ギャップが大きくて未溶接となる場合には、熱放射光強度の増加の程度が鈍化した後、再び増加に転じることがないことを見い出した。そして、このような熱放射光強度の増加の程度が再び増加に転じることがないサンプルであっても、基本波ＹＡＧレーザ光の強度を増加させると、熱放射光強度が増加し始め、キーホールが成長し、未溶接が防止できることをも見い出した。
【００２８】
そこで、図１に示すように、加工点４の表面からの波長１０６４ｎｍの反射光を受光するフォトセンサ１２の出力信号、及び熱放射光を受光するフォトセンサ１７の出力信号を、周波数５ｋＨｚ以下の電気信号を通過させるローパスフィルター２７を介して制御装置１３に入力させた。そして、反射光強度が減少し、且つ熱放射光強度の増加の程度が鈍化した時点（上記の時刻ｔ１）を検出し、この時点で制御装置１３により基本波ＹＡＧレーザ２１のレーザピーク強度を１．９ｋＷから１．９５ｋＷへ２％程度増加させた（図２（Ａ））。このレーザ照射条件で多数のサンプルについて行った実験の結果、接合ギャップが３０μｍ程度の場合でも未溶接を発生することなく溶接できることを確認した。
【００２９】
なお、制御装置１３としては、フォトセンサ１７，２７からの信号を処理するＡ−Ｄ変換機能、Ｄ−Ａ変換機能、及び各種演算を行う機能を備え、１５０μｓごとに基本波ＹＡＧレーザ２１と第２高調波ＹＡＧレーザ２０に出力する電圧を調整できるものを用いた。
【００３０】
一方、基本波ＹＡＧレーザ２１のレーザピーク強度を２ｋＷで一定に維持した場合には、加工点４の表面の溶融金属がが吹き飛んでアンダーフィルドスポットウェルドが発生する場合があり、安定して溶接ができなかった。また、基本波ＹＡＧレーザ２１のレーザピーク強度を１．７ｋＷで一定に維持した場合には、未接合が１％程度の頻度で発生した。
【００３１】
純銅の適正な加工条件は非常に狭く、かつ不安定であるが、本実施の形態１に示したように、加工中に加工点４からのレーザ光の反射光強度および熱放射光強度を計測し、反射光強度が減少し且つ熱放射光強度の増加の程度が鈍化した時点でレーザ強度を増加させることにより、加工条件範囲を広げることができ、接合ギャップによる未溶接の発生を防止でき、加工品質を向上できる。
【００３２】
（実施の形態２）
図５は実施の形態２のスポット溶接装置の概略構成図である。この装置は、インプロセスで加工状態を判断し、レーザ強度を制御するものである。
【００３３】
図５において、１は被加工物であり、サイズ４０×５０ｍｍ×厚み１００μｍのマグネシュウムを含むアルミニウムを２枚重ね合わせたものを用いた。この被加工物１を、厚さ１ｍｍの鉄板２枚からなる磁性金属２とコバルト磁石３との間に挟んで固定した。また、使用するレーザとしては、波長１０６４ｎｍのレーザ光を発する基本波ＹＡＧレーザ２１を用いた。上記被加工物１の波長１０６４ｎｍのレーザ光の吸収率は０．２３である。
【００３４】
以下、図５を参照しながら、実施の形態２に係るスポット溶接技術の動作手順を説明する。
【００３５】
基本波ＹＡＧレーザ２１のレーザ光を、波長１３００ｎｍ以上の光を９０％以上透過させるビームスプリッター６で折り返し、集光レンズ５で被加工物１上の加工点４に集光させた。
【００３６】
加工点４からの反射光およびこれと同軸の熱放射光（波長１３００ｎｍ）をビームスプリッター６に入射させた。入射した反射光のほとんどはビームスプリッター６で反射されるが、２％程度はこれを通過する。ビームスプリッター６を通過した反射光及び熱放射光は、波長１３００ｎｍの熱放射光を反射し、波長１０６４ｎｍの反射光を透過させるビームスプリッター７で反射光と熱放射光とに分離された。
【００３７】
次いで、ビームスプリッター７を通過した反射光は、波長１０６４ｎｍの光のみを透過させるバンドパスフィルター８を通過後、集光レンズ９で直径１００μｍのピンホール１０に集光された後、集光レンズ１１で再び集光され、ＳＩのフォトセンサー１２上に集光された。この集光された波長１０６４ｎｍの反射光をフォトセンサー１２で計測した。ここで、ピンホール１０の位置は、レンズ９の焦点位置である。以上のような共焦点型光学系を用いることで、加工時に発生するプルーム（加工部から吹き出す金属蒸気）が基本波ＹＡＧレーザの反射光に及ぼす影響を最小限に抑えて、加工表面からの基本波ＹＡＧレーザ光の反射光を強調して取り出すことが可能となる。
【００３８】
一方、ビームスプリッター７で反射された波長１３００ｎｍの熱放射光は、波長１０６４ｎｍの光のみを１０^-7倍に減衰させるノッチフィルター１４を通過し、さらに波長１３００ｎｍの光を透過させるバンドパスフィルター１５を通過し、石英の集光レンズ１６でＩｎＧａＡｓのフォトセンサー１７上に集光された。
【００３９】
１００サンプルについて、波長１０６４ｎｍの反射光を受光するフォトセンサ１２の出力信号、及び熱放射光を受光するフォトセンサ１７の出力信号を、５ｋＨｚ以下の周波数の電気信号を通すローパスフィルター２７を通過させて、溶接時の反射光強度及び熱放射光強度の変化を測定した。そして、各サンプルごとに、レーザ光照射終了直後の反射光強度と、熱放射光強度の最大値の９０％を超えている時間とを求めた。また、各サンプルごとに表面と裏面の溶融径を求めた。そして、表面と裏面の溶融径と、レーザ照射終了直後の反射光強度及び熱放射光強度の最大値の９０％を超えている時間との相関をとった。この結果より、レーザ光照射中の反射光強度と熱放射光強度の変化を加工中にリアルタイムで計測することにより、目的とするサイズの溶融径に達したか否かの判断が可能になることを確認した。
【００４０】
そこで、図５に示すように、加工点４の表面からの波長１０６４ｎｍの反射光を受光するフォトセンサ１２の出力信号、及び熱放射光を受光するフォトセンサ１７の出力信号を、周波数５ｋＨｚ以下の電気信号を通過させるローパスフィルター２７を介して制御装置に１３に入力させた。そして、反射光強度及び熱放射光強度を測定しながら、被加工物１にレーザ光を照射した。そして、反射光強度及び熱放射光強度に基づいて加工点４の溶融部が目的とする径に達したことを確認した後、更にレーザ光の照射を継続し、反射光強度が増加し、且つ熱放射光強度が減少した時、制御機器１３により基本波ＹＡＧレーザ２１のレーザ光強度を減少させた。ここで、減少の程度は、レーザ光強度の減少によって生ずる熱放射光強度の変化量が、溶融部が目的とする径に達した時点でレーザ光の照射を停止し自然冷却した時に観測される熱放射光強度の変化量の１０分の１になるように制御した。その結果、良好な溶接形状が得られ、溶接割れを防止することができた。
【００４１】
なお、制御装置１３としては、フォトセンサ１７，２７からの信号を処理するＡ−Ｄ変換機能、Ｄ−Ａ変換機能、及び各種演算を行う機能を備え、１５０μｓごとに基本波ＹＡＧレーザ２１に出力する電圧を調整できるものを用いた。
【００４２】
本実施の形態２に示したように、目的とするサイズの接合部を形成した後もレーザ光の照射を継続し、加工点からの反射光強度が増加し且つ熱放射光強度が減少した時点でレーザ光の強度を減少させることにより、加工点の冷却速度が緩和されるので、良好な溶接形状が得られ、溶接割れを防止することができる。従って、溶接部の接合強度の向上が期待できる。
【００４３】
（実施の形態３）
図６は実施の形態３のスポット溶接装置の概略構成図である。この装置は、インプロセスで加工状態を判断し、レーザ光の照射時間を制御するものである。
【００４４】
図６において、１は被加工物であり、サイズ４０×５０ｍｍ×厚み１００μｍのマグネシュウムを含むアルミニウムを２枚重ね合わせたものを用いた。この被加工物１を、厚さ１ｍｍの鉄板２枚からなる磁性金属２とコバルト磁石３との間に挟んで固定した。また、使用するレーザとしては、波長１０６４ｎｍのレーザ光を発する基本波ＹＡＧレーザ２１を用いた。
【００４５】
以下、図６を参照しながら、実施の形態３に係るスポット溶接技術の動作手順を説明する。
【００４６】
基本波ＹＡＧレーザ２１のレーザ光を、波長１３００ｎｍ以上の光を９０％以上透過させるビームスプリッター６で折り返し、集光レンズ５で被加工物１上の加工点４に集光させた。レーザ光の加工点４でのスポット径はφ３００μｍとした。
【００４７】
加工点４からの反射光およびこれと同軸の熱放射光（波長１３００ｎｍ）をビームスプリッター６に入射させた。入射した反射光のほとんどはビームスプリッター６で反射されるが、２％程度はこれを通過する。ビームスプリッター６を通過した反射光及び熱放射光は、波長１３００ｎｍの熱放射光を反射し、波長１０６４ｎｍの反射光を透過させるビームスプリッター７で反射光と熱放射光とに分離された。
【００４８】
ビームスプリッター７で反射された波長１３００ｎｍの熱放射光は、波長１０６４ｎｍの光のみを１０^-7倍に減衰させるノッチフィルター１４を通過し、さらに波長１３００ｎｍの光を透過させるバンドパスフィルター１５を通過し、加工点４での像を１：１で結像する石英の集光レンズ２８でマスク２９に集光され、これを通過して、集光レンズ１６で再び集光され、ＩｎＧａＡｓのフォトセンサー１７上に集光された。
【００４９】
マスク２９の位置は集光レンズ２８の焦点位置である。マスク２９は、石英にアルミを蒸着させた後、リング状にアルミをくり抜いて形成した。リング状のくり抜き部分が開口となる。リング状の開口の内径は３００μｍ、外径は３５０μｍとした。このような開口を備えるマスク２９を介して加工点４からの熱放射光を測定することにより、加工点４でのマスク２９の開口に相当する部分からの熱放射光のみを選択的に観測できる。
【００５０】
レーザ光を被加工物１の加工点４に照射すると、被加工物１の材料が溶融を開始する。これと並行して加工点４から熱放射光が発せられる。熱放射光の強度は、それを発する地点での温度（溶融状態）に応じて変化する。従って、あらかじめ被加工物１と同一の材料が溶融時に発する熱放射光の強度を測定しておき、これとレーザ光を照射したときにフォトセンサ１７で観測される熱放射光の強度とを比較することで、加工点４の状態を知ることができる。
【００５１】
また、レーザ光はその光スポットの中心で最大となる強度分布を有するから、溶融部は光スポットの中心から徐々に外方向に拡大していく。従って、熱放射光が発せられる範囲も光スポットの中心から外方向に拡大する。
【００５２】
従って、図６に示した装置を用いてフォトセンサ１７で熱放射光の強度を測定し、それがあらかじめ測定した溶融状態の熱放射光の強度に達したとき、加工点４の溶融部がマスク２９のリング状の開口に相当する大きさまで拡大したことになる。
【００５３】
そこで、レーザ光を照射中に加工点４から発せられる熱放射光をフォトセンサ１７で検出し、その出力信号を５ｋＨｚ以下の周波数の電気信号を通過させるローパスフィルター２７を介して制御装置１３に入力させた。そして、熱放射光の強度があらかじめ求めておいたアルミニウムが溶融時に発生する熱放射光の強度に達したとき、制御装置１３がレーザ２１を停止するように設定した。その結果、溶融スポットのサイズ（径）を安定化させることができた。
【００５４】
なお、制御装置１３としては、フォトセンサ１７からの信号を処理するＡ−Ｄ変換機能、Ｄ−Ａ変換機能、及び各種演算を行う機能を備え、１５０μｓごとに基本波ＹＡＧレーザ２１に出力する電圧を調整できるものを用いた。
【００５５】
上記においてマスク２９の開口径は、目標とする溶融スポット径に対応させて変更することは言うまでもない。
【００５６】
本実施の形態３に示したように、レーザ光を照射中に目標とする大きさの溶融スポットの外周部に相当する地点から発生する熱放射光を計測し、前記熱放射光の強度が、あらかじめ測定しておいた溶融時に発生する熱放射光の強度に達した時に前記レーザ光の照射を停止することにより、１００μｓオーダーの非常に短い時間に溶融スポット径を認識でき、溶融スポットのサイズを安定化させることができる。この結果、溶接部の接合強度の安定化が期待できる。
【００５７】
【発明の効果】
【００６０】
本発明の重ね合わせスポット溶接装置によれば、レーザを被加工物の加工点に照射することで加工する加工装置と、前記加工点における前記レーザ光の反射光を、前記反射光を集光する第一の集光レンズと、前記第一の集光レンズの焦点位置に配置されたピンホールと、前記ピンホールを通過した反射光を集光する第二の集光レンズとからなる共焦点型光学系を用いて強調して計測する反射光計測装置と、前記加工点で発生する熱放射光を計測する熱放射光計測装置と、前記反射光計測装置及び前記熱放射光計測装置からの出力信号に基づいて前記レーザ光の強度を変更する制御装置とを備えるので、加工条件範囲を広げることができ、接合ギャップによる未溶接の発生を防止でき、加工品質を向上できる。また、良好な溶接形状が得られ、溶接割れを防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施の形態１のスポット溶接装置の概略構成図である。
【図２】図２（Ａ）は基本波ＹＡＧレーザからのレーザ光の波形図、図２（Ｂ）は第２高調波ＹＡＧレーザからのレーザ光の波形図である。
【図３】実施の形態１における波長１０６４ｎｍの反射光の強度の変化の様子を示した図である。
【図４】実施の形態１における波長１３００ｎｍの熱放射光の強度の変化の様子を示した図である。
【図５】本発明の実施の形態２のスポット溶接装置の概略構成図である。
【図６】本発明の実施の形態３のスポット溶接装置の概略構成図である。
【符号の説明】
１被加工物
２磁性金属
３コバルト磁石
４加工点
５集光レンズ
６ビームスプリッター
７ビームスプリッター
８バンドパスフィルター
９集光レンズ
１０ピンホール
１１集光レンズ
１２ＳＩフォトセンサー
１３制御機器
１４ノッチフィルター
１５バンドパスフィルター
１６石英の集光レンズ
１７ＩｎＧａＡｓフォトセンサー
１８ビームスプリッター
１９反射ミラー
２０第２高調波ＹＡＧレーザ
２１基本波ＹＡＧレーザ
２２ビームスプリッター
２３高速度カメラ
２４Ｈｅ−Ｎｅレーザ
２５ハーフミラー
２６バンドパスフィルター
２７ローパスフィルター
２８石英の集光レンズ
２９マスク[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a superposition spot soluble SeSSo location by laser.
[0002]
[Prior art]
Spot welding is widely performed in which a plurality of metal materials (a workpiece to be welded and a workpiece) are overlapped and irradiated with a laser beam from one surface side to weld the plurality of metal materials.
[0003]
[Problems to be solved by the invention]
The following three problems exist in the above-mentioned laser spot welding by laser.
[0004]
The first problem is an unwelded problem due to the joining gap. If there is a gap (joining gap) between the metal materials at the welding locations when the metal materials to be welded are overlapped, the two metal materials cannot be welded well, and unwelded locations are generated. In laser overlay welding, it is generally difficult to weld if there is a joint gap of 10 to 20% or more of the thickness of the welding object. As a method for preventing the occurrence of an unwelded portion due to this joining gap, it is known to process by increasing the laser peak intensity. However, if the laser peak intensity is increased too much, the molten material in the processing region is blown off, and underfill spot weld (underfill welding), which is a poor weld that does not fill the hole after processing, occurs. In general, the welding gap varies from one welded object to another, so if you perform thousands of operations without controlling the welding conditions for each welded object, some of them have unwelded or underfilled spot welds. There is a risk of it. This phenomenon becomes more prominent in difficult-to-process materials such as copper and aluminum because the range of conditions that can be processed is narrow. Therefore, it is desirable to control the laser peak intensity so that unwelded and underfilled spot welds do not occur. However, what is measured during processing and what is used as a criterion for how and when the laser peak intensity is changed. The current situation is that it has not been fully examined.
[0005]
The second problem is the problem of weld shape and weld cracking. The heat conductivity of difficult-to-process materials such as copper and aluminum is 2 to 3 times higher than materials such as carbon steel and nickel to which laser welding using a fundamental wave YAG laser is applied. Therefore, when the laser irradiation is stopped after the welding is completed, the above difficult-to-process material is rapidly cooled, and as a result, the processing center portion is raised and the processing peripheral portion is likely to be depressed. Moreover, in an alloy in which magnesium is mixed in aluminum, weld cracking is likely to occur due to rapid cooling. Such weld shapes and weld cracks cause a decrease in the joint strength of the weld.
[0006]
Therefore, it is known that it is effective to cool slowly as a method of preventing such a weld shape and weld crack. However, at present, what is measured during processing and what measures should be taken for individual welding objects is not sufficiently studied.
[0007]
The third problem is a problem of variation in the size of the melt spot diameter. In general, it is thought that the size of the melt spot diameter may be measured by image recognition during welding, but the image is recognized and processed in a very short time of the order of 100 μs to obtain the size of the melt spot diameter. However, it is quite difficult to reflect even the laser command voltage with the current technology. On the other hand, in precision equipment and multifunctional electronic equipment, processing in the micro region (about φ2 mm or less) is required, and an accuracy that is one digit higher than the target melt spot diameter size is required.
[0008]
An object of the present invention is to solve the above-mentioned problems in laser spot welding. That is, the first object of the present invention is to prevent the occurrence of an unwelded portion due to the presence of a joint gap in laser spot welding. A second object of the present invention is to prevent welding cracks from occurring with a good weld shape in laser spot welding. Furthermore, a third object of the present invention is to stabilize the melt spot diameter in laser spot welding.
[0009]
[Means for Solving the Problems]
[0012]
An overlapping spot welding apparatus according to the present invention includes a processing device that processes a laser beam on a processing point of a workpiece, and a first laser beam that reflects the reflected light of the laser beam at the processing point. Confocal optics comprising one condenser lens, a pinhole disposed at the focal position of the first condenser lens, and a second condenser lens that collects the reflected light that has passed through the pinhole Reflected light measuring device for emphasizing and measuring using a system, thermal synchrotron radiation measuring device for measuring thermal synchrotron light generated at the processing point, and output signals from the reflected light measuring device and the thermal synchrotron radiation measuring device And a control device for changing the intensity of the laser beam based on the above. Thereby, the processing condition range can be expanded, the occurrence of unwelding due to the joining gap can be prevented, and the processing quality can be improved. In addition, a good weld shape can be obtained and weld cracking can be prevented.
[0015]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
(Embodiment 1)
FIG. 1 is a schematic configuration diagram of the spot welding apparatus according to the first embodiment. This apparatus determines the processing state in-process and controls the laser intensity.
[0016]
In FIG. 1, reference numeral 1 denotes a workpiece, which is obtained by superposing two pieces of tough pitch copper having a purity of 99.9%, a size of 40 × 50 mm, and a thickness of 100 μm. The workpiece 1 was sandwiched and fixed between a magnetic metal 2 made of two iron plates having a thickness of 1 mm and a cobalt magnet 3. Further, as a laser to be used, a fundamental wave YAG laser 21 that emits laser light having a wavelength of 1064 nm and a second harmonic YAG laser 20 that emits laser light having a wavelength of 532 nm were used. Table 1 shows the irradiation conditions of these lasers.
[0017]
[Table 1]

[0018]
2A and 2B are waveform diagrams of laser light from the fundamental wave YAG laser 21 and laser light from the second harmonic YAG laser 20, respectively. 2A and 2B, the horizontal axis indicates time, and the vertical axis indicates laser peak intensity. Here, the laser peak intensity is represented by E / T (unit: W), where E (unit: J) is the laser beam input energy (laser power) and T (unit: s) is the irradiation time. .
[0019]
Hereinafter, the operation procedure of the spot welding technique according to the first embodiment will be described with reference to FIGS. 1 and 2.
[0020]
The laser beam from the fundamental wave YAG laser 21 (hereinafter referred to as “fundamental wave YAG laser beam”) is reflected by the reflection mirror 19, then reflects 98% of light having a wavelength of 1064 nm, and passes 80% or more of light having a wavelength of 532 nm. The fundamental wave YAG laser beam was spatially superimposed on the laser beam from the second harmonic YAG laser 20 (hereinafter referred to as “second harmonic YAG laser beam”) by reflecting the beam with the beam splitter 18. Further, these superimposed laser beams are reflected by a beam splitter 6 that reflects 98% of light having a wavelength of 1064 nm and a wavelength of 532 nm, and transmits 90% or more of near-infrared light (thermal radiation light) having a wavelength of 1300 nm, The light was condensed at the processing point 4 on the workpiece 1 by the condenser lens 5.
[0021]
Reflected light from the processing point 4 and thermal radiation light coaxial with the reflected light (wavelength 1300 nm) were made incident on the beam splitter 6. Most of the incident reflected light is reflected by the beam splitter 6, but about 2% passes through it. The reflected light and the thermal radiation light that have passed through the beam splitter 6 pass through the beam splitter 22 that reflects only the light of wavelength 632.8 nm, reflect the thermal radiation light of wavelength 1300 nm, and reflect the light of wavelength 1064 nm and wavelength 532 nm. The reflected light and the heat radiation light were separated by the beam splitter 7 to be transmitted.
[0022]
Next, the reflected light that has passed through the beam splitter 7 passes through a band-pass filter 8 that transmits only light having a wavelength of 1064 nm, and is then condensed by the condenser lens 9 into a pinhole 10 having a diameter of 100 μm, and then the condenser lens 11. Then, the light was condensed again on the photosensor 12 of SI. The condensed reflected light having a wavelength of 1064 nm was measured by the photosensor 12. Here, the position of the pinhole 10 is the focal position of the lens 9. By using the confocal optical system as described above, the plume (metal vapor blown out from the processing part) generated during processing is minimized and the influence on the reflected light of the fundamental wave YAG laser light is minimized. The reflected light of the fundamental wave YAG laser light can be emphasized and extracted.
[0023]
On the other hand, thermal radiation light having a wavelength of 1300 nm reflected by the beam splitter 7 passes through a notch filter 14 that attenuates only light having a wavelength of 1064 nm by 10 ⁻⁷ times, and further passes through a bandpass filter 15 that transmits light having a wavelength of 1300 nm. The light was passed through and focused on an InGaAs photosensor 17 by a quartz condenser lens 16.
[0024]
Furthermore, the He—Ne laser 24 was used as a light source of illumination light in order to observe the state of the processing point 4 being processed in real time from the coaxial direction with the laser light. The light (illumination light) from now passes through the half mirror 25 and the bandpass filter 26 that transmits the light of wavelength 632.8 nm in order, and is reflected by the beam splitter 22 that reflects only the light of wavelength 632.8 nm. 6 was transmitted, and the light was condensed at the processing point 4 on the workpiece 1 by the condenser lens 5. The reflected light having a wavelength of 632.8 nm from the processing point 4 follows the reverse path, and is separated from the forward light by the half mirror 25 and is incident on the high-speed camera 23 capable of photographing 18000 frames per second. .
[0025]
FIG. 3 shows how the intensity of reflected light having a wavelength of 1064 nm measured by the photosensor 12 changes, and FIG. 4 shows how the intensity of thermal radiation light having a wavelength of 1300 nm measured by the photosensor 17 changes. As a result of examining the relation between the state of these changes and the change in the machining state observed by the high-speed camera 23, almost simultaneously with the generation of the keyhole at the machining point 4, the decrease in the reflected light intensity and the thermal radiation light. It was found that an increase in intensity began. Here, the keyhole is a hole having a small opening diameter and a deep depth formed by melting the processing point 4. The keyhole is an index for determining that welding is proceeding well. It was also found that the reflected light intensity further decreased and the thermal radiation light intensity further increased as the processing progressed.
[0026]
In FIG. 4, the degree of increase in the amount of heat radiation light intensity slows down at time t <b> 1 and starts increasing again at time t <b> 2, which indicates that it is also related to the junction gap. That is, at time t1 when the increase in the intensity of the heat radiation light slows down, a keyhole is formed just before the lower surface of the tough pitch copper disposed on the laser light incident side (the side opposite to the laser light incident side). It coincided with the time. Further, the time t2 when the increase of the thermal radiation light intensity started again coincided with the time when the keyholes started to be formed on the upper surface of the tough pitch copper disposed on the side opposite to the laser light incident side.
[0027]
As a result of experiments on various samples, the present inventors have found that when the joint gap is large and unwelded, the degree of increase in thermal radiation light intensity has slowed and then does not start increasing again. I found out. Even in a sample in which the degree of increase in the intensity of the thermal radiation light does not start to increase again, if the intensity of the fundamental wave YAG laser light is increased, the intensity of the thermal radiation light starts to increase, and the keyhole It has also been found that unwelding can be prevented.
[0028]
Therefore, as shown in FIG. 1, the output signal of the photosensor 12 that receives the reflected light having a wavelength of 1064 nm from the surface of the processing point 4 and the output signal of the photosensor 17 that receives the heat radiation light have a frequency of 5 kHz or less. The signal was input to the control device 13 through a low-pass filter 27 that allows an electric signal to pass therethrough. Then, a point in time when the reflected light intensity decreases and the degree of increase in the thermal radiation light intensity slows down (the above time t1) is detected, and at this point, the control device 13 sets the laser peak intensity of the fundamental wave YAG laser 21 to 1. It was increased by about 2% from 9.9 kW to 1.95 kW (FIG. 2A). As a result of experiments conducted on a large number of samples under this laser irradiation condition, it was confirmed that welding was possible without causing unwelding even when the joining gap was about 30 μm.
[0029]
The control device 13 includes an AD conversion function for processing signals from the

photosensors

17 and 27, a DA conversion function, and a function for performing various calculations. The one capable of adjusting the voltage output to the second harmonic YAG laser 20 was used.
[0030]
On the other hand, if the laser peak intensity of the fundamental wave YAG laser 21 is kept constant at 2 kW, the molten metal on the surface of the processing point 4 may be blown off, resulting in underfill spot welds. could not. Further, when the laser peak intensity of the fundamental wave YAG laser 21 was kept constant at 1.7 kW, non-bonding occurred at a frequency of about 1%.
[0031]
The appropriate processing conditions for pure copper are very narrow and unstable, but as shown in the first embodiment, the reflected light intensity and thermal radiation light intensity of the laser beam from the processing point 4 are measured during processing. Then, by increasing the laser intensity at the time when the reflected light intensity decreases and the degree of increase in the thermal radiation light intensity slows down, the processing condition range can be expanded, and the occurrence of unwelded due to the joint gap can be prevented, Processing quality can be improved.
[0032]
(Embodiment 2)
FIG. 5 is a schematic configuration diagram of the spot welding apparatus according to the second embodiment. This apparatus determines the processing state in-process and controls the laser intensity.
[0033]
In FIG. 5, reference numeral 1 denotes a workpiece, which is obtained by superposing two pieces of aluminum containing magnesium having a size of 40 × 50 mm × thickness of 100 μm. The workpiece 1 was sandwiched and fixed between a magnetic metal 2 made of two iron plates having a thickness of 1 mm and a cobalt magnet 3. Further, as a laser to be used, a fundamental wave YAG laser 21 that emits laser light having a wavelength of 1064 nm was used. The absorptivity of the laser beam having a wavelength of 1064 nm of the workpiece 1 is 0.23.
[0034]
Hereinafter, the operation procedure of the spot welding technique according to the second embodiment will be described with reference to FIG.
[0035]
The laser beam from the fundamental wave YAG laser 21 was turned back by a beam splitter 6 that transmits 90% or more of light having a wavelength of 1300 nm or longer, and focused on a processing point 4 on the workpiece 1 by a condenser lens 5.
[0036]
Reflected light from the processing point 4 and thermal radiation light coaxial with the reflected light (wavelength 1300 nm) were made incident on the beam splitter 6. Most of the incident reflected light is reflected by the beam splitter 6, but about 2% passes through it. The reflected light and thermal radiation light that passed through the beam splitter 6 were separated into reflected light and thermal radiation light by the beam splitter 7 that reflects thermal radiation light having a wavelength of 1300 nm and transmits reflected light having a wavelength of 1064 nm.
[0037]
Next, the reflected light that has passed through the beam splitter 7 passes through a band-pass filter 8 that transmits only light having a wavelength of 1064 nm, and is then condensed by the condenser lens 9 into a pinhole 10 having a diameter of 100 μm, and then the condenser lens 11. Then, the light was condensed again on the photosensor 12 of SI. The condensed reflected light having a wavelength of 1064 nm was measured by the photosensor 12. Here, the position of the pinhole 10 is the focal position of the lens 9. By using the confocal optical system as described above, the plume (metal vapor blown out from the processing part) generated during processing is minimally affected by the reflected light of the fundamental wave YAG laser, and the fundamental from the processing surface The reflected light of the wave YAG laser light can be emphasized and extracted.
[0038]
On the other hand, thermal radiation light having a wavelength of 1300 nm reflected by the beam splitter 7 passes through a notch filter 14 that attenuates only light having a wavelength of 1064 nm by 10 ⁻⁷ times, and further passes through a bandpass filter 15 that transmits light having a wavelength of 1300 nm. The light was passed through and focused on an InGaAs photosensor 17 by a quartz condenser lens 16.
[0039]
For 100 samples, the output signal of the photosensor 12 that receives reflected light having a wavelength of 1064 nm and the output signal of the photosensor 17 that receives thermal radiation light are passed through a low-pass filter 27 that passes an electrical signal having a frequency of 5 kHz or less. The change in reflected light intensity and thermal radiation light intensity during welding was measured. For each sample, the reflected light intensity immediately after the end of the laser light irradiation and the time exceeding 90% of the maximum value of the thermal radiation light intensity were obtained. Moreover, the melt diameter of the front surface and the back surface was calculated | required for every sample. Then, a correlation was taken between the melt diameters of the front surface and the back surface and the time exceeding 90% of the maximum values of the reflected light intensity and the thermal radiation light intensity immediately after the end of laser irradiation. From this result, it is possible to determine whether or not the melt size of the target size has been reached by measuring the changes in reflected light intensity and thermal radiation light intensity during laser light irradiation in real time during processing. It was confirmed.
[0040]
Therefore, as shown in FIG. 5, the output signal of the photosensor 12 that receives reflected light having a wavelength of 1064 nm from the surface of the processing point 4 and the output signal of the photosensor 17 that receives heat radiation light have a frequency of 5 kHz or less. The control device was inputted to 13 through a low-pass filter 27 that allows electric signals to pass. The workpiece 1 was irradiated with laser light while measuring the reflected light intensity and the heat radiation light intensity. Then, after confirming that the melted portion of the processing point 4 has reached the target diameter based on the reflected light intensity and the heat radiation light intensity, the laser light irradiation is further continued, the reflected light intensity is increased, and When the intensity of the thermal radiation light decreased, the laser beam intensity of the fundamental wave YAG laser 21 was decreased by the control device 13. Here, the degree of decrease is observed when the amount of change in the thermal radiation light intensity caused by the decrease in the laser light intensity is stopped when the laser beam irradiation is stopped and the natural cooling is performed when the melting portion reaches the target diameter. Control was performed so that the amount of change in the intensity of thermal radiation was one tenth. As a result, a good weld shape was obtained and weld cracking could be prevented.
[0041]
The control device 13 has an A / D conversion function for processing signals from the

photosensors

17 and 27, a D / A conversion function, and a function for performing various calculations, and outputs to the fundamental wave YAG laser 21 every 150 μs. The voltage that can be adjusted was used.
[0042]
As shown in the second embodiment, the laser beam irradiation is continued even after the junction of the desired size is formed, and the reflected light intensity from the processing point increases and the thermal radiation light intensity decreases. By reducing the intensity of the laser beam, the cooling rate of the processing point is reduced, so that a good weld shape can be obtained and weld cracking can be prevented. Therefore, improvement in the joint strength of the welded portion can be expected.
[0043]
(Embodiment 3)
FIG. 6 is a schematic configuration diagram of the spot welding apparatus according to the third embodiment. This apparatus determines the processing state in-process and controls the irradiation time of the laser beam.
[0044]
In FIG. 6, reference numeral 1 denotes a workpiece, which is a laminate of two aluminum pieces containing magnesium of size 40 × 50 mm × thickness 100 μm. The workpiece 1 was sandwiched and fixed between a magnetic metal 2 made of two iron plates having a thickness of 1 mm and a cobalt magnet 3. Further, as a laser to be used, a fundamental wave YAG laser 21 that emits laser light having a wavelength of 1064 nm was used.
[0045]
Hereinafter, the operation procedure of the spot welding technique according to the third embodiment will be described with reference to FIG.
[0046]
The laser beam from the fundamental wave YAG laser 21 was turned back by a beam splitter 6 that transmits 90% or more of light having a wavelength of 1300 nm or longer, and focused on a processing point 4 on the workpiece 1 by a condenser lens 5. The spot diameter at the laser beam processing point 4 was set to φ300 μm.
[0047]
Reflected light from the processing point 4 and thermal radiation light coaxial with the reflected light (wavelength 1300 nm) were made incident on the beam splitter 6. Most of the incident reflected light is reflected by the beam splitter 6, but about 2% passes through it. The reflected light and thermal radiation light that passed through the beam splitter 6 were separated into reflected light and thermal radiation light by the beam splitter 7 that reflects thermal radiation light having a wavelength of 1300 nm and transmits reflected light having a wavelength of 1064 nm.
[0048]
Thermal radiation light having a wavelength of 1300 nm reflected by the beam splitter 7 passes through a notch filter 14 that attenuates only light having a wavelength of 1064 nm by 10 ⁻⁷ times, and further passes through a bandpass filter 15 that transmits light having a wavelength of 1300 nm. Then, the image at the processing point 4 is focused on the mask 29 by the quartz condensing lens 28 that forms an image of 1: 1, passes through this, is condensed again by the condensing lens 16, and is collected by the InGaAs photosensor 17. Focused on top.
[0049]
The position of the mask 29 is the focal position of the condenser lens 28. The mask 29 was formed by depositing aluminum on quartz and then hollowing out the aluminum in a ring shape. A ring-shaped cut-out portion becomes an opening. The inner diameter of the ring-shaped opening was 300 μm, and the outer diameter was 350 μm. By measuring the thermal radiation from the processing point 4 through the mask 29 having such an opening, only the thermal radiation from the portion corresponding to the opening of the mask 29 at the processing point 4 can be selectively observed. .
[0050]
When the processing point 4 of the workpiece 1 is irradiated with laser light, the material of the workpiece 1 starts to melt. In parallel with this, heat radiation light is emitted from the processing point 4. The intensity of the heat radiation light changes according to the temperature (melted state) at the point where it emits it. Therefore, the intensity of the thermal radiation emitted when the same material as the workpiece 1 is melted is measured in advance, and this is compared with the intensity of the thermal radiation observed by the photosensor 17 when the laser beam is irradiated. By doing so, the state of the processing point 4 can be known.
[0051]
Further, since the laser beam has a maximum intensity distribution at the center of the light spot, the melted portion gradually expands outward from the center of the light spot. Accordingly, the range in which the heat radiation light is emitted also expands outward from the center of the light spot.
[0052]
Therefore, when the intensity of the thermal radiation light is measured by the photosensor 17 using the apparatus shown in FIG. 6 and reaches the intensity of the thermal radiation light in the molten state measured in advance, the molten part at the processing point 4 is masked. That is, it has been enlarged to a size corresponding to 29 ring-shaped openings.
[0053]
Therefore, the thermal radiation light emitted from the processing point 4 during the laser light irradiation is detected by the photosensor 17, and the output signal is input to the control device 13 through the low-pass filter 27 that passes an electric signal having a frequency of 5 kHz or less. I let you. Then, the control device 13 was set to stop the laser 21 when the intensity of the heat radiation light reached the intensity of the heat radiation light generated when the aluminum that had been obtained in advance was melted. As a result, the size (diameter) of the melting spot could be stabilized.
[0054]
The control device 13 has an AD conversion function for processing a signal from the photosensor 17, a DA conversion function, and a function for performing various calculations, and a voltage output to the fundamental wave YAG laser 21 every 150 μs. The thing which can adjust was used.
[0055]
In the above description, it is needless to say that the opening diameter of the mask 29 is changed in accordance with the target melting spot diameter.
[0056]
As shown in the third embodiment, the thermal radiation generated from a point corresponding to the outer peripheral portion of the melt spot having a target size during laser irradiation is measured, and the intensity of the thermal radiation is By stopping the irradiation of the laser beam when reaching the intensity of the heat radiation light generated during melting, which has been measured in advance, the melt spot diameter can be recognized in a very short time of the order of 100 μs, and the size of the melt spot can be reduced. Can be stabilized. As a result, stabilization of the joint strength of the welded portion can be expected.
[0057]
【The invention's effect】
[0060]
According to the overlay spot welding apparatus of the present invention, a processing apparatus that performs processing by irradiating a processing point of a workpiece with a laser, and the reflected light of the laser beam at the processing point is collected. A confocal type comprising a first condenser lens, a pinhole disposed at a focal position of the first condenser lens, and a second condenser lens that collects reflected light passing through the pinhole Reflected light measurement device that emphasizes and measures using an optical system, thermal radiation light measurement device that measures thermal radiation generated at the processing point, output from the reflected light measurement device and the thermal radiation light measurement device Since the control device that changes the intensity of the laser beam based on the signal is provided, the processing condition range can be expanded, the occurrence of unwelding due to the joining gap can be prevented, and the processing quality can be improved. In addition, a good weld shape can be obtained and weld cracking can be prevented.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a spot welding apparatus according to a first embodiment of the present invention.
FIG. 2A is a waveform diagram of laser light from a fundamental wave YAG laser, and FIG. 2B is a waveform diagram of laser light from a second harmonic YAG laser.
FIG. 3 is a diagram showing a change in intensity of reflected light having a wavelength of 1064 nm in the first embodiment.
4 is a diagram showing a change in intensity of thermal radiation light having a wavelength of 1300 nm in Embodiment 1. FIG.
FIG. 5 is a schematic configuration diagram of a spot welding apparatus according to a second embodiment of the present invention.
FIG. 6 is a schematic configuration diagram of a spot welding apparatus according to a third embodiment of the present invention.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Workpiece 2 Magnetic metal 3 Cobalt magnet 4 Processing point 5 Condensing lens 6 Beam splitter 7 Beam splitter 8 Band pass filter 9 Condensing lens 10 Pin hole 11 Condensing lens 12 SI photo sensor 13 Control device 14 Notch filter 15 Band Pass filter 16 Quartz condenser lens 17 InGaAs photo sensor 18 Beam splitter 19 Reflecting mirror 20 Second harmonic YAG laser 21 Fundamental wave YAG laser 22 Beam splitter 23 High speed camera 24 He-Ne laser 25 Half mirror 26 Band pass filter 27 Low-pass filter 28 Quartz condenser lens 29 Mask

Claims

A processing device for processing by irradiating the processing point of the workpiece with laser light;
The reflected light of the laser beam at the processing point passes through the first condensing lens that condenses the reflected light, a pinhole disposed at the focal position of the first condensing lens, and the pinhole A reflected light measurement device that emphasizes and measures using a confocal optical system that includes a second condenser lens that collects the reflected light.
A thermal synchrotron radiation measuring device for measuring thermal synchrotron radiation generated at the processing point; and
And a control device that changes the intensity of the laser beam based on output signals from the reflected light measurement device and the thermal radiation light measurement device.