JP4091851B2

JP4091851B2 - 接触式測定機の衝突検知装置

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Publication number: JP4091851B2
Application number: JP2003020054A
Authority: JP
Inventors: 幸寛坂田; 義幸大森; 和志埜口
Original assignee: Mitutoyo Corp
Current assignee: Mitutoyo Corp
Priority date: 2003-01-29
Filing date: 2003-01-29
Publication date: 2008-05-28
Anticipated expiration: 2023-01-29
Also published as: JP2004233131A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、接触式測定機の衝突検知装置に関する。
【０００２】
【背景技術】
従来より、測定子に一定以上の外力が作用したときに、この測定子を支持するプローブの損傷を最小限に抑える機能を有する測定機として、図６に示されるような真円度測定機１が知られている。
この真円度測定機１は、本体１０と、この本体１０の上面一側寄りに配置され被測定物Ｗを回転駆動させる被測定物回転機構２０と、本体１０の上面他側寄りに垂直に立設されたコラム３０と、このコラム３０の長手方向に昇降可能に設けられたスライダ３１と、このスライダ３１に被測定物Ｗと離接する方向へ移動可能に設けられた水平アーム３２と、この水平アーム３２の先端に交換可能に設けられたプローブ５０とを備えている。
この真円度測定機１において、プローブ５０と被測定物Ｗとを相対移動させる相対移動手段は、被測定物回転機構２０、スライダ３１、および、水平アーム３２により構成されている。
【０００３】
プローブ５０としては、例えば非特許文献１に示すような構成が知られている。すなわち、プローブ５０は、図７に示されるように、水平アーム３２の先端に設けられたプローブ本体５１と、このプローブ本体５１の支点（図示せず）で変位可能かつ復帰可能に支持されたホルダ本体５２１、スタイラス５３、および、ホルダ本体５２１にスタイラス５３を図８に示されるように交換可能かつ弾性的に狭持する板ばね５２２を含んで構成されたスタイラスホルダ５２とを備えている。
ホルダ本体５２１は、プローブ本体５１の支点で変位可能かつ復帰可能に支持された支持体５２１Ａと、スタイラス５３の側面を支持する側面支持体５２１Ｂとを備えている。
板ばね５２２は、断面略く字状に屈曲形成され、その屈曲された頂点近傍には凸部５２２Ａが設けられている。
側面支持体５２１Ｂおよび板ばね５２２は、互いに略対向するように、それぞれの基端近傍で支持体５２１Ａにねじ止めされている。
【０００４】
スタイラス５３には、先端側面に被測定物Ｗに当接する測定子５３１が、スタイラス５３がスタイラスホルダ５２に狭持されたときに凸部５２２Ａが当接される位置に、凸部５２２Ａが係合する凹部５３２が設けられ、これにより、スタイラス５３に作用する外力が一定未満のときには、凸部５２２Ａと凹部５３２の係合により、スタイラス５３はホルダ本体５２１の定位置に位置決めされている。
【０００５】
この真円度測定機１は、たとえば、プローブ５０の移動中にスタイラス５３が異物に衝突したときや、測定中に測定子５３１が被測定物Ｗの表面を滑らかに移動できないとき、すなわち、スタイラス５３に一定以上の外力が作用したときには、スタイラス５３が定位置からずらされるとともに、板ばね５２２がスタイラス５３から離れる方向に弾性変形され、スタイラス５３がスタイラスホルダ５２から外れることにより、それ以上のプローブ５０の損傷を回避するものであった。
【０００６】
一方で、測定子に一定以上の外力が作用したときに、この異常状態を検知し、測定子の移動制御を指令する指令手段を含んで構成された測定機が知られている（たとえば、特許文献１、２参照）。
【０００７】
【非特許文献１】
ミツトヨ精密測定機器・総合カタログＣａｔａｌｏｇＮｏ．１３２００１年４月発行発行：株式会社ミツトヨ第４０９頁標準検出器コードＮｏ．１２ＡＡＢ８０２
【特許文献１】
特開２０００−１４６５６６号公報
【特許文献２】
特開２００１−１４７１１５号公報
【０００８】
特許文献１の測定機は、可動レバー本体、測定子を有する測定子ホルダ、および、測定子ホルダを可動レバー本体に対して定位置に位置決めしかつ移動可能に支持する３点支持機構を含んで構成され、測定子の移動量から被測定物の寸法測定を行う検出器と、測定子ホルダが定位置からずらされたときにそれを検知し検出器の移動を制御する指令手段とを備えている。
【０００９】
３点支持機構は、可動レバー本体の先端側面と測定子ホルダの基端側面との間に１２０°間隔に設けられた３つの位置決め手段と、両端が可動レバー本体およびホルダ本体に固定された引っ張りばねとを備えている。
位置決め手段は、可動レバーの先端側面に設けられた２個一組の導電性の球体と、この球体の間に係合されかつホルダ本体の基端側面に設けられた導電性の円柱体とから構成されている。
指令手段は、位置決め手段の２個の球体と１個の円柱体とを接点とし、かつ、各接点が導線を介して電気的に直列に配置された衝突検知回路を有している。
通常は、各接点の球体と円柱体は、引っ張りばねの作用により、それぞれ接触しているので、衝突検知回路は閉じられており、測定子ホルダは定位置に位置決めされている。
【００１０】
この測定機は、測定子に一定以上の外力が作用したときに、引っ張りばねが弾性変形されることで測定子ホルダが定位置からずらされ、このずれに伴い、いずれかの接点の接触が解除され衝突検知回路が開かれることにより、指令手段が異常状態を検知し検出器の移動を制御するものであった。
【００１１】
特許文献２の測定機における、衝突検知装置（以下、Ｚ方向衝突検知装置、と略す）は、非接触式プローブに取り付けられたホルダと、リング状の衝突検知部と、この衝突検知部をホルダに対して非接触式プローブの軸方向に変位可能かつ復帰可能に保持する保持手段と、ホルダに対する衝突検知部の移動を検知し非接触式プローブの移動を制御する指令手段とを備えている。
衝突検知部に物体が衝突すると、衝突検知部がホルダに対してプローブの軸方向（Ｚ方向）に移動し、それを指令手段が検知し非接触式プローブの移動方向を制御していた。
非接触式プローブの軸方向と直交する方向の衝突に対しては、Ｚ方向衝突検知装置の先端に、特許文献１の３点支持機構および指令手段と同様の機能を有するＸＹ方向衝突検知装置を設けることにより衝突を検知していた。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、たとえば、特許文献１の測定機は、可動レバー本体に測定子ホルダを支持する引っ張りばねと、指令手段のスイッチ機能を有する球体および円柱体とが別々の部材で設けられていた。
また、衝突検知回路は、各接点が導線を介して電気的に直列に配置されているので、たとえば、いずれかの導線が断線することでも異常状態を検知してしまい、測定子に外力が作用しなくても指令手段が誤作動し検出器の移動が制御されることがあった。
特許文献２のＺ方向衝突検知装置は、衝突検知部の先端が、非接触式プローブの先端と被測定物の間になるように構成されているので、接触式プローブを有する測定機に用いることができなかった。
【００１３】
本発明の目的は、簡単な構成で衝突を確実に検知できる、接触式測定機の衝突検知装置を提供する、ことにある。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
本発明の接触式測定機の衝突検知装置は、プローブ本体、このプローブ本体に変位可能かつ復帰可能に支持されたスタイラスホルダ、および、このスタイラスホルダに保持されたスタイラスを有するプローブと、このプローブと被測定物とを相対移動させる相対移動手段とを備え、前記スタイラスホルダは、前記プローブ本体に変位可能かつ復帰可能に支持されたホルダ本体と、このホルダ本体に前記スタイラスを交換可能かつ弾性的に狭持するばねとを含んで構成され、前記相対移動手段により前記プローブと前記被測定物とを相対移動させながら、前記スタイラスホルダの変位を基に被測定物の寸法や表面性状を測定する接触式測定機の衝突検知装置において、前記ばねの少なくとも一部に形成された導電性を有する一方の接点と、前記スタイラスと前記ばねとの間に設けられ、前記ホルダ本体に対して前記スタイラスを定位置に位置決めするとともに、前記スタイラスに一定以上の外力が作用したときに前記スタイラスを前記定位置からずらし、かつ、前記ばねを弾性変形させる位置決め手段と、前記ばねが弾性変形されたときに、前記一方の接点が接触または離間される導電性を有する他方の接点と、前記一方の接点と前記他方の接点とが接触または離間されたときに、前記相対移動手段に、前記被測定物に対する前記プローブの相対移動の停止、または、前記被測定物に対して前記プローブが退避する方向への相対移動を指令する指令手段と、を備えたことを特徴とする。
【００１５】
この発明によれば、スタイラスに一定以上の外力が作用すると、位置決め手段が、スタイラスを定位置からずらすとともに、スタイラスを狭持しているばねを弾性変形させる。ばねが弾性変形すると、一方の接点と他方の接点が接触または離間し、このとき、指令手段が、相対移動手段に、被測定物または異物に対するプローブの相対移動の停止、または、被測定物または異物とプローブとが退避する方向への相対移動を指令する。一方の接点および他方の接点は、指令手段のスイッチ機能を有している。
したがって、ばねが、スタイラスを狭持する機能と指令手段のスイッチ機能を有しており、従来のように、スタイラスを保持する部材と指令手段のスイッチを別々の部材とする必要が無いので、部品数を少なくでき簡単な構成とすることができる。
スタイラスが、ばねを含むスタイラスホルダで狭持されており、スタイラスに作用する一定以上の外力により、定位置から容易にずらされる構成なので、異常状態を確実に検知することができる。
スタイラスに直接作用する一定以上の外力を検知する構成なので、接触式測定機に用いることができる。
【００１６】
本発明の接触式測定機の衝突検知装置において、前記スタイラスホルダは、前記プローブ本体に前記スタイラスの軸と略直交する方向に変位可能かつ復帰可能に支持された前記ホルダ本体と、前記ばねとを含んで構成され、前記一方の接点と前記他方の接点とは、前記スタイラスホルダの変位方向に対向配置され、かつ、前記スタイラスホルダの変位方向のうち、前記スタイラスの側面に設けられた測定子を前記被測定物に当接させて前記被測定物の寸法や前記表面性状を測定するときに前記スタイラスが変位する方向である測定方向とは逆方向の一定未満の外力が前記スタイラスに作用したときに、前記スタイラスが前記位置決め手段により前記定位置に位置決めされたまま前記ばねとともに前記逆方向に変位することで、前記両接点が接触または離間して前記指令が出力されるように配置されていることが望ましい。
この発明によれば、スタイラスに測定方向の外力が作用すると、このスタイラスを狭持しているスタイラスホルダが指令手段を作動させない方向に変位するので指令は出力されないが、スタイラスに測定方向とは逆方向の外力が作用すると、スタイラスホルダが指令手段を作動させる方向に変位するので指令が出力される。
したがって、スタイラスに作用する測定方向とは逆方向の外力が一定未満であっても、異常状態を検知することができる。
【００１７】
本発明の接触式測定機の衝突検知装置において、前記位置決め手段は、前記スタイラスおよび前記ばねのいずれかの一方に設けられた凹部と、前記スタイラスおよび前記ばねのいずれかの他方に設けられ、前記凹部に係合する凸部と備えていることが望ましい。
この発明によれば、位置決め手段に、容易に係合を解除させることができる凹部と凸部を設けたので、スタイラスに一定以上の外力が作用したときには、凹部と凸部との係合が解除されることにより、この異常状態を検知することができる。
したがって、位置決め手段を、簡単な構造の凹部と凸部で構成することができる。
【００１８】
本発明の接触式測定機の衝突検知装置において、前記凹部および前記凸部のうち、少なくとも一方が略錐体状に形成されていることが望ましい。
この発明によれば、凹部および／または凸部は斜面を有する略錐体状に形成されているので、凹部および凸部は略錐体の斜面に沿って滑らかにずらされ、ばねも連続的に弾性変形する。したがって、一方の接点と他方の接点との接触または離間をより瞬間的に検知することができる。
一組の凹部と凸部で、スタイラスに作用する全ての方向からの一定以上の外力を検知することができる。
【００１９】
本発明の接触式測定機の衝突検知装置において、前記ばね、および、前記一方の接点が１本の板ばねで形成され、この板ばねに前記凹部または前記凸部が設けられていることが望ましい。
この発明によれば、指令手段のスイッチ機能を有する一方の接点、および、位置決め手段としての凹部または凸部を、１本の板ばねに設けたので、部品数を少なくでき簡単な構成とすることができる。
【００２０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明していく。
図１〜図４には、本発明の一実施形態に係る接触式測定機の衝突検知装置を有するプローブ４０が示されている。
なお、これら図１〜図４の説明に当たって、前述した図６〜図８と同一構成要件については、同一符号を付し、その説明を省略もしくは簡略化する。
プローブ４０は、前述した真円度測定機１に取り付けられる。
このプローブ４０は、図１に示されるように、プローブ本体４１と、このプローブ本体４１の支点（図示せず）で変位可能かつ復帰可能に支持されたスタイラスホルダ４２と、このスタイラスホルダ４２に保持されたスタイラス４３とを備えている。
【００２１】
スタイラスホルダ４２は、プローブ本体４１の支点で揺動可能に支持されたホルダ本体５２１と、このホルダ本体５２１にスタイラス４３を交換可能かつ弾性的に狭持する衝突検知板ばね４２２とを備えている。
ホルダ本体５２１は、支持体５２１Ａと、側面支持体５２１Ｂとを備えている。
側面支持体５２１Ｂおよび衝突検知板ばね４２２は、互いに略対向するようにそれぞれの基端近傍で支持体５２１Ａにねじ止めされている。
図２には、図１におけるII−II線に沿う矢視断面図が示されている。
側面支持体５２１Ｂのスタイラス４３との接触面は、図２に示されるように、スタイラス４３の側面形状に沿った曲面に形成されている。
衝突検知板ばね４２２は、スタイラス４３と略対向する面に円錐状に形成された位置決め手段としての凸部４２２Ａと、この凸部４２２Ａが設けられた面の裏面の先端に接点４２２Ｂとを、それぞれ備えている。
衝突検知板ばね４２２は、側面支持体５２１Ｂに離接する方向のみに弾性変形可能に設けられている。
【００２２】
プローブ本体４１には、衝突検知板ばね４２２が弾性変形したときに、接点４２２Ｂが接触される他方の接点としての電気接点用板ばね４１１と、この両者が接触したときに、相対移動手段（被測定物回転機構２０、スライダ３１、水平アーム３２）に、被測定物Ｗに対するプローブ４０の相対移動の停止、または、被測定物Ｗとプローブ４０とが退避する方向への相対移動を指令するとともに、異常警報を出し作業者に異常状態を知らせる指令手段（図示せず）とが備えられている。
接点４２２Ｂと電気接点用板ばね４１１とは、スタイラスホルダ４２の変位方向に対向配置されており、また、この両者は、指令手段のスイッチ機能を有している。
【００２３】
スタイラス４３は、先端側面に測定子５３１を備えているとともに、スタイラス４３がスタイラスホルダ４２に狭持されたときに凸部４２２Ａが係合される位置決め手段としての凹部４３２を備えている。凹部４３２は、凸部４２２Ａの先端近傍と対応する円錐状に形成されている。
スタイラス４３に作用する外力が一定未満のときには、凸部４２２Ａと凹部４３２の係合により、スタイラス４３は、ホルダ本体５２１の定位置に位置決めされている。
【００２４】
本実施形態の作用を説明する。
説明のために、図３に示されるように、測定方向（スタイラスホルダ４２の変位方向）の外力をＦｘ１、測定方向と逆方向の外力をＦｘ２、測定方向と直交する方向の外力をＦｙ１，Ｆｙ２、スタイラス４３の先端方向からの外力をＦｚ２とする。
スタイラス４３に、測定方向の力、つまり、Ｆｘ１方向の外力が作用すると、この外力によりスタイラスホルダ４２が変位し、接点４２２Ｂと電気接点用板ばね４１１とが離間するので指令手段は作動しない。
【００２５】
逆に、スタイラス４３に測定方向とは反対方向の力、たとえば、図４に示されるように、スタイラス４３が被測定物Ｗまたは物体Ｍに衝突することにより、スタイラス４３に、Ｆｘ２方向の外力が作用すると、この外力によりスタイラスホルダ４２が変位し、接点４２２Ｂと電気接点用板ばね４１１とが接触する。この接触により、指令手段が相対移動手段に、被測定物Ｗまたは物体Ｍに対するプローブ４０の相対移動の停止、または、被測定物Ｗまたは物体Ｍとプローブ４０とが退避する方向への相対移動を指令するとともに、異常警報を出し作業者に異常状態を知らせる。
つまり、スタイラス４３に作用する外力が一定未満であっても指令手段が作動する。
【００２６】
スタイラス４３に、図２に示されるようなＦｙ１、Ｆｙ２、または、図１に示されるようなＦｚ２方向の外力が作用すると、これらの方向からの外力はスタイラスホルダ４２の変位方向とは異なるので、スタイラスホルダ４２は変位せず指令手段は作動しない。
しかし、この外力が一定以上になると、凸部４２２Ａと凹部４３２の係合が解除され、凸部４２２Ａは凹部４３２の斜面に沿って相対的にずらされる。すると、衝突検知板ばね４２２が弾性変形し、接点４２２Ｂと電気接点用板ばね４１１とが接触するので、指令手段から相対移動停止等の指令が出される。
【００２７】
前述のような実施形態によれば、次のような効果がある。
衝突検知板ばね４２２が、スタイラス４３を狭持する機能と指令手段のスイッチ機能を有しており、従来のように、スタイラスホルダと指令手段のスイッチとを別々に設ける必要がないので、部品数を少なくでき簡単な構成とすることができる。
スタイラス４３が、衝突検知板ばね４２２を含むスタイラスホルダ４２で狭持されており、スタイラス４３に作用する一定以上の外力により、定位置から容易にずらされる構成なので、異常状態を確実に検知することができる。
特に、本実施形態では、接点４２２Ｂと電気接点用板ばね４１１とをスタイラスホルダ４２の変位方向に対向配置したので、スタイラス４３に作用する測定方向とは逆方向（Ｆｘ２方向）の外力が一定未満であっても、この異常状態を検知することができる。
【００２８】
スタイラス４３に、直接作用する一定以上の外力を検知する構成なので、接触式測定機に用いることができる。
また、衝突検知板ばね４２２の弾性力や、スタイラス４３に外力が作用していないときの接点４２２Ｂと電気接点用板ばね４１１との距離を変えることにより、異常状態の検知感度を容易に変えることができる。
【００２９】
位置決め手段に、容易に係合を解除させることができる凸部４２２Ａと凹部４３２を設けたので、スタイラス４３に一定以上の外力が作用したときには、凸部４２２Ａと凹部４３２との係合が解除されることにより、この異常状態を検知することができる。
したがって、位置決め手段を、簡単な構造の凸部４２２Ａと凹部４３２で構成とすることができる。
【００３０】
凸部４２２Ａおよび凹部４３２は、斜面を有する円錐状に形成されているので、凸部４２２Ａおよび凹部４３２は円錐の斜面に沿って滑らかにずらされ、衝突検知板ばね４２２も連続的に弾性変形する。したがって、接点４２２Ｂと電気接点用板ばね４１１との接触をより瞬間的に検知することができる。
一組の凸部４２２Ａと凹部４３２で、スタイラス４３に作用する全ての方向からの一定以上の外力を検知することができる。
また、円錐の頂点角度を変えれば、凸部４２２Ａおよび凹部４３２の相対的なずれ量に対する、衝突検知板ばね４２２の弾性変形量を容易に変えることができるので、異常状態の検知感度を容易に変えることができる。
【００３１】
指令手段のスイッチ機能を有する接点４２２Ｂ、および、位置決め手段としての凸部４２２Ａを、１本の衝突検知板ばね４２２に設けたので、部品数を少なくでき簡単な構成とすることができる。
【００３２】
なお、本発明は前記実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良は本発明に含まれるものである。
凸部４２２Ａおよび凹部４３２を円錐状としたが角錐状としても良く、一方が他方に係合する形状ならば、両者の形状は問われない。
スタイラス４３に凹部４３２を、衝突検知板ばね４２２に凸部４２２Ａをそれぞれ設けたが、スタイラス４３に凸部を、衝突検知板ばね４２２に凹部を設けても良い。
位置決め手段を、凹部と凸部からなる構成としたが、磁石等の別の位置決め手段を用いても良い。
【００３３】
指令手段のスイッチを、接点４２２Ｂと電気接点用板ばね４１１と（以下、接点同士、と略す）が接触したときに指令手段が作動する構成（メイク接点）としたが、接点同士が離間したときに指令手段が作動する構成（ブレイク接点）としても良い。
たとえば、衝突検知板ばね４２２を、図５（Ａ）に示すように形成しても良い。この構成において、スタイラス４３に一定以上の外力が作用していないときには、接点同士が接触しているので指令手段は作動しないが、一定以上の外力が作用すると、衝突検知板ばね４２２が変形し接点同士が離間するので指令手段が作動する。
また、図５（Ｂ）に示すように、スタイラス４３を導電性材料で形成し、凸部４２２Ａに接点４２２Ｂの役割を持たせ、さらに電気接点用板ばね４１１をスタイラス４３と側面支持体５２１Ｂとが接触する部分に設ける構成としても良い。この構成において、スタイラス４３に一定以上の外力が作用していないときには、接点同士がスタイラス４３を介して電気的に接触しているので指令手段は作動しないが、一定以上の外力が作用しスタイラス４３がスタイラスホルダ４２から外れると、接点同士が離間するので指令手段が作動する。
【００３４】
上述したように指令手段のスイッチをブレイク接点で構成すれば、衝突検出装置の信頼性を向上させることができる。
つまり、メイク接点を用いる場合には、異常状態において接点同士が接触していても接点の錆やゴミの影響で電気的に接触せずに、指令手段が作動しない場合がある。
これに対して、ブレイク接点を用いる場合には、接点同士が常時接触しているので錆やゴミの影響を受け難く、異常状態において接点同士が離間したときに確実に指令手段を作動させることができる。また、正常状態において万が一、錆やゴミの影響で接点同士が電気的に接触していない状態となり指令手段が作動しても、実際に衝突などが発生したわけではなく実害は少ないので、いわゆるフェイルセーフを考慮した構成とすることができる。
【００３５】
電気接点用板ばね４１１をプローブ本体４１に固定する構成としたが、電気接点用板ばね４１１を絶縁材料を介して衝突検知板ばね４２２の基端部またはホルダ本体５２１に固定する構成としても良い。
【００３６】
【発明の効果】
本発明によれば、簡単な構成で衝突を確実に検知できる、接触式測定機の衝突検知装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態に係る衝突検知装置を有するプローブの正面図。
【図２】図１のII−II線に沿う矢視断面図。
【図３】前記実施形態における、プローブに作用する外力の作用方向の説明模式図。
【図４】前記実施形態における、衝突検知方法の説明図。
【図５】本発明の他の実施形態に係る衝突検知装置の要部の正面図。
【図６】従来の真円度測定機の正面図。
【図７】従来の真円度測定機のプローブの正面図。
【図８】従来の真円度測定機のプローブの正面図。
【符号の説明】
１真円度測定機（接触式測定機）
２０被測定物回転機構（相対移動手段）
３１スライダ（相対移動手段）
３２水平アーム（相対移動手段）
４０プローブ
４１プローブ本体
４２スタイラスホルダ
４３スタイラス
４１１電気接点用板ばね（他方の接点）
４２２衝突検知板ばね（ばね）
４２２Ａ凸部（位置決め手段）
４２２Ｂ接点（一方の接点）
４３２凹部（位置決め手段）
５２１ホルダ本体

Claims

プローブ本体、このプローブ本体に変位可能かつ復帰可能に支持されたスタイラスホルダ、および、このスタイラスホルダに保持されたスタイラスを有するプローブと、このプローブと被測定物とを相対移動させる相対移動手段とを備え、
前記スタイラスホルダは、前記プローブ本体に変位可能かつ復帰可能に支持されたホルダ本体と、このホルダ本体に前記スタイラスを交換可能かつ弾性的に狭持するばねとを含んで構成され、前記相対移動手段により前記プローブと前記被測定物とを相対移動させながら、前記スタイラスホルダの変位を基に被測定物の寸法や表面性状を測定する接触式測定機の衝突検知装置において、
前記ばねの少なくとも一部に形成された導電性を有する一方の接点と、
前記スタイラスと前記ばねとの間に設けられ、前記ホルダ本体に対して前記スタイラスを定位置に位置決めするとともに、前記スタイラスに一定以上の外力が作用したときに前記スタイラスを前記定位置からずらし、かつ、前記ばねを弾性変形させる位置決め手段と、
前記ばねが弾性変形されたときに、前記一方の接点が接触または離間される導電性を有する他方の接点と、
前記一方の接点と前記他方の接点とが接触または離間されたときに、前記相対移動手段に、前記被測定物に対する前記プローブの相対移動の停止、または、前記被測定物に対して前記プローブが退避する方向への相対移動を指令する指令手段と、
を備えたことを特徴とする接触式測定機の衝突検知装置。
請求項１に記載の接触式測定機の衝突検知装置において、
前記スタイラスホルダは、前記プローブ本体に前記スタイラスの軸と略直交する方向に変位可能かつ復帰可能に支持された前記ホルダ本体と、前記ばねとを含んで構成され、
前記一方の接点と前記他方の接点とは、前記スタイラスホルダの変位方向に対向配置され、かつ、前記スタイラスホルダの変位方向のうち、前記スタイラスの側面に設けられた測定子を前記被測定物に当接させて前記被測定物の寸法や前記表面性状を測定するときに前記スタイラスが変位する方向である測定方向とは逆方向の一定未満の外力が前記スタイラスに作用したときに、前記スタイラスが前記位置決め手段により前記定位置に位置決めされたまま前記ばねとともに前記逆方向に変位することで、前記両接点が接触または離間して前記指令が出力されるように配置されている、
ことを特徴とする接触式測定機の衝突検知装置。
請求項１または請求項２に記載の接触式測定機の衝突検知装置において、
前記位置決め手段は、前記スタイラスおよび前記ばねのいずれかの一方に設けられた凹部と、前記スタイラスおよび前記ばねのいずれかの他方に設けられ、前記凹部に係合する凸部と備えた、
ことを特徴とする接触式測定機の衝突検知装置。
請求項３に記載の接触式測定機の衝突検知装置において、
前記凹部および前記凸部のうち、少なくとも一方が略錐体状に形成されている、
ことを特徴とする接触式測定機の衝突検知装置。
請求項３または請求項４に記載の接触式測定機の衝突検知装置において、
前記ばね、および、前記一方の接点が１本の板ばねで形成され、この板ばねには、前記凹部または前記凸部が設けられている、
ことを特徴とする接触式測定機の衝突検知装置。