JP4090292B2 - 染料含有硬化性組成物、並びに、それを使用したカラーフィルターおよびその製造方法 - Google Patents
染料含有硬化性組成物、並びに、それを使用したカラーフィルターおよびその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4090292B2 JP4090292B2 JP2002187670A JP2002187670A JP4090292B2 JP 4090292 B2 JP4090292 B2 JP 4090292B2 JP 2002187670 A JP2002187670 A JP 2002187670A JP 2002187670 A JP2002187670 A JP 2002187670A JP 4090292 B2 JP4090292 B2 JP 4090292B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- group
- dye
- acid
- meth
- curable composition
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Optical Filters (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
- Addition Polymer Or Copolymer, Post-Treatments, Or Chemical Modifications (AREA)
- Materials For Photolithography (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶表示素子（ＬＣＤ）や固体撮像素子（ＣＣＤ、ＣＭＯＳ等）に用いられるカラーフィルターの着色画像の形成に好適なカラーフィルター用の染料含有硬化性組成物に関する。
【０００２】
【従来の技術】
液晶表示素子や固体撮像素子に用いられるカラーフィルターを作製する方法としては、染色法、印刷法、電着法及び顔料分散法が知られている。
【０００３】
このうち顔料分散法は、顔料を種々の感光性組成物に分散させた着色感放射線性組成物を用いてフォトリソ法によってカラーフィルターを作製する方法であり、顔料を使用しているために光や熱等に安定であるという利点を有している。またフォトリソ法によってパターニングするため、位置精度が高く、大画面、高精細カラーディスプレイ用カラーフィルターを作製するのに好適な方法として広く利用されてきた。
【０００４】
しかし、近年、固体撮像素子用のカラーフィルターにおいては更なる高精細化が望まれており、従来の顔料分散系では解像度が向上せず、また顔料の粗大粒子による色むらが発生する等の問題がある。このため、固体撮像素子のように微細パターンを有するカラーフィルターが要求される用途には適さなかった。
【０００５】
この問題を解決する為、従来から染料の使用が特開平６−７５３７５号公報等により提案されているが、染料含有の硬化性組成物は新たな問題点を含んでいる。すなわち、
（１）通常の色素はアルカリ水溶液又は有機溶剤のいずれかに溶解性が低い為、所望のスペクトルを有する液状の硬化性組成物を得るのが困難である。
（２）染料は、硬化性組成物中の他の成分と相互作用を示す場合が多い為、硬化部、非硬化部の溶解性（現像性）の調節が困難である。
（３）染料のモル吸光係数（ε）が低い場合は、多量の染料を添加しなければならず、硬化性組成物中の重合性化合物（モノマー）やバインダー、光重合開始剤等の他の成分を減らさざるを得なくなるため、組成物の硬化性、硬化後の耐熱性、（非）硬化部の現像性が低下する等の問題を生じる。
（４）染料は一般的に顔料に比べ、耐光性、耐熱性に劣る。
等である。
【０００６】
また、半導体作製用途の場合とは異なり、固体撮像素子用カラーフィルター作製用途の場合には特にその膜厚が１．５μｍ以下であることを要求される。このため、所望の色濃度を得るためには硬化性組成物中に多量の色素を添加しなければならず、前述の問題を生じる結果となる。
これらの問題の為、高精細カラーフィルター用の微細かつ薄膜の着色パターンに関する実用上の要求性能を満足することは困難であった。
【０００７】
一方、特開平１０−６８８１２号公報には、側鎖に（メタ）クリロイル基を有する単量体、アルコール系水酸基を有する単量体、カルボン酸基を有する単量体を含有する、三元系以上のバインダーを使用した感光性着色組成物が開示されている。しかし、該感光性着色組成物は顔料を用いた場合を想定しており、有機溶剤可溶性の染料を使用する例については一切記載されていない。また、この三元系以上のポリマーはアルコール系水酸基を含んでいる為、ポリマーのＴｇ（ガラス転移温度）や溶融粘度が下がる等の原因で、パターン形状の耐熱性に問題があり、更なる向上が望まれる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、高感度、高解像力、高耐熱性、広い現像ラチチュードを有し、しかも染料の溶出がなく生産性の高い染料含有硬化性組成物、並びに、それを使用したカラーフィルターおよびその製造方法を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明によれば、下記構成のカラーフィルター用着色剤含有硬化性組成物、並びに、それを使用したカラーフィルターおよびその製造方法が提供されて、本発明の目的が達成される。
【００１０】
＜１＞バインダー、有機溶剤および有機溶剤可溶性染料を含んでなるカラーフィルター作製用染料含有硬化性組成物であって、前記バインダーが、下記一般式（Ｉ）で表される構造単位を含み、かつ、ガラス転移温度が０〜２５０℃の範囲にあることを特徴とするカラーフィルター作製用染料含有硬化性組成物。
【化２】
（一般式（Ｉ）中、Ｒ1は水素原子またはメチル基を、Ｒ2は酸素原子、−ＮＨ−基または−Ｎ（Ｒ3−Ｒ4）−基を、Ｒ3は置換基を有していても良い二価の基を、Ｒ4は不飽和二重結合を含む基を、それぞれ表す。）
【００１１】
＜２＞ 前記一般式（Ｉ）におけるＲ4が、ビニル基、アリル基、（メタ）アクリロイル基、スチリル基、ビニルエステル基、ビニルエーテル基からなる群より選ばれた基であることを特徴とする前記＜１＞のカラーフィルター作製用染料含有硬化性組成物である。
【００１２】
＜３＞ 前記一般式（Ｉ）におけるＲ3が、置換基を有していてもよいアルキレン基またはアルキレンオキシ基またはエチルオキシカルボニルアミノエチル基であることを特徴とする前記＜１＞または＜２＞のカラーフィルター作製用染料含有硬化性組成物である。
【００１３】
＜４＞ 前記バインダーが、水可溶性またはアルカリ可溶性であることを特徴とする前記＜１＞〜＜３＞のいずれか１のカラーフィルター作製用染料含有硬化性組成物である。
【００１４】
＜５＞ 前記一般式（Ｉ）で表される構造単位と共重合される成分がアルコール系水酸基を含まないことを特徴とする前記＜１＞〜＜４＞のいずれか１のカラーフィルター作製用染料含有硬化性組成物である。
【００１５】
＜６＞前記有機溶剤可溶性染料が、酸性染料、酸性染料と含窒素化合物との塩又は酸性染料のスルホンアミド体であることを特徴とする前記＜１＞〜＜５＞のいずれか１のカラーフィルター作製用染料含有硬化性組成物である。
【００１６】
＜７＞前記酸性染料がアゾ系、キサンテン系、アンスラキノン系またはフタロシアニン系の酸性染料であることを特徴とする前記＜１＞〜＜６＞のいずれか１のカラーフィルター作製用染料含有硬化性組成物である。
【００１７】
＜８＞更にモノマー及び光重合開始剤を含むことを特徴とする前記＜１＞〜＜７＞のいずれか１に記載のカラーフィルター作製用染料含有硬化性組成物である。
＜９＞ 前記＜１＞〜＜８＞のいずれか１のカラーフィルター作製用染料含有硬化性組成物を用いて作製されることを特徴とするカラーフィルターである。
【００１８】
＜１０＞ 前記＜１＞〜＜８＞のいずれか１のカラーフィルター作製用染料含有硬化性組成物を支持体上に塗布後、マスクを通して露光し、現像してパターンを形成することを特徴とするカラーフィルターの製造方法である。該製造方法は、必要により上記パターンを加熱および／または露光により硬化する工程を含んでいてもよいし、これらの工程を複数回繰り返すものであってもよい。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明のカラーフィルター作製用染料含有硬化性組成物、並びに、それを使用したカラーフィルターおよびその製造方法について詳述する。
【００２０】
《カラーフィルター作製用染料含有硬化性組成物》
本発明のカラーフィルター作製用染料含有硬化性組成物（以下において単に「染料含有硬化性組成物」ということがある。）は、バインダー、有機溶剤および有機溶剤可溶性染料を含んでなる染料含有硬化性組成物であって、前記バインダーが、下記一般式（Ｉ）で表される構造単位を含み、かつ、ガラス転移温度が０〜２５０℃の範囲にあることを特徴とする。
【００２１】
【化３】
（一般式（Ｉ）中、Ｒ1は水素原子またはメチル基を、Ｒ2は酸素原子、−ＮＨ−基または−Ｎ（Ｒ3−Ｒ4）−基を、Ｒ3は置換基を有していても良い二価の基を、Ｒ4は不飽和二重結合を含む基を、それぞれ表す。）
【００２２】
（バインダー）
本発明におけるバインダーは、前記一般式（Ｉ）で表される構造単位を含み、かつ、ガラス転移温度が０〜２５０℃の範囲にある。本発明におけるバインダーは、重合性側鎖を有する共重合体である。本発明の染料含有硬化性組成物は、本発明におけるバインダーを使用することにより、未露光部現像性、露光部残膜率、パターン形状耐熱性に関して従来よりも優れた染料含有硬化性組成物を得ることができる。
【００２３】
一般式（Ｉ）で表される構造単位について説明する。
一般式（Ｉ）中、Ｒ1は水素原子またはメチル基を表す。これらは、膜の強度、弾性率、粘弾性、耐熱性、現像性、ポリマーのＴｇ、溶解性、合成適性等を考慮して自由に選択することができる。
一般式（Ｉ）中、Ｒ2は酸素原子、−ＮＨ−基または−Ｎ（Ｒ3−Ｒ4）−基を表す。これらについても、膜の強度、弾性率、粘弾性、耐熱性、現像性、合成適性、ポリマーのＴｇ、溶解性等を考慮して自由に選択することができる。
【００２４】
一般式（Ｉ）中、Ｒ3は置換基を有していても良い二価の基を表す。前記Ｒ3として、好適には、置換基を有していてもよい炭素数１〜３０の二価のアルキレン基、アルキレンオキシ基またはエチルオキシカルボニルアミノエチル基から選択される基が挙げられる。
【００２５】
前記Ｒ3で表される二価の基としては、炭素数１〜２５の二価のアルキレン基、アルキレンオキシ基またはエチルオキシカルボニルアミノエチル基が好ましく、炭素数１〜２０の二価のアルキレン基、アルキレンオキシ基またはエチルオキシカルボニルアミノエチル基がさらに好ましく、メチレン基、エチレン基、プロピレン基、ブチレン基、エチレンオキシ基、ジエチレンオキシ基、トリエチレンオキシ基、エチルオキシカルボニルアミノエチル基が特に好ましい。これらの基は置換基を有していても良い。
【００２６】
前記Ｒ3の置換基としては、炭素数１〜２０のアルキル基が好ましく、なかでも、炭素数１〜１５のアルキル基が好ましく、炭素数１〜１０のアルキル基がさらに好ましく、炭素数１〜７のアルキル基が特に好ましい。
前記置換基として具体的には、原料および合成適性等を考慮すると、メチル基、エチル基、分岐または直鎖のプロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基が最も好ましい。
但し、アルコール系水酸基はＴｇを低下させる場合があるため、好ましい例から除外される。
【００２７】
Ｒ4は不飽和二重結合を含む基を表し、具体的には、ビニルオキシ基、アリルオキシ基、（メタ）アクリロイルオキシ基、４−ビニルフェニルオキシ基、４−ビニルフェニルメチルオキシ基、ビニルエステル基等が好ましい。中でも、Ｒ4としては、ビニルオキシ基、アリルオキシ基、（メタ）アクリロイルオキシ基、４−ビニルフェニルメチルオキシ基、ビニルエステル基がより好ましく、アリルオキシ基、（メタ）アクリロイルオキシ基、４−ビニルフェニルメチルオキシ基が特に好ましい。
【００２８】
一般式（Ｉ）で表される構造単位を含む本発明におけるバインダーのＴｇは、バインダー自体の分子量、分子構造、水素結合性相互作用の利用等により調整可能であり、併用するバインダーのＴｇ、併用するバインダーおよび他の成分との親和性、系全体の粘弾性等を考慮して決定される。バインダーのＴｇが低すぎると、形成されたパターンの耐熱性が低下し、熱フローという問題が発生する。また塗布膜の粘着性が増加し、作業性が低下する等の問題も発生する。この点からもアルコール系水酸基をバインダー中に含有することは好ましくない。また、アルコール系水酸基は比較的水素結合性相互作用も弱い為、この観点からも大きな効果を発揮できない場合が多い。
本発明におけるバインダーのＴｇは、２０〜２５０℃の範囲にあることが好ましく、３０〜２５０℃の範囲にあることが更に好ましく、４０〜２５０℃の範囲にあることが特に好ましい。また、本発明におけるバインダーは、他のバインダーと併用することも可能である。尚、前記他のバインダーについては後述する。
【００２９】
本発明におけるバインダー中の一般式（Ｉ）で表される構造単位のモル分率は、９５〜５モル％が好ましく、９０〜１０モル％が更に好ましく、８５〜１５モル％が特に好ましい。
【００３０】
本発明におけるバインダーの分子量は、重量平均分子量で、５００〜１０００００００Ｄａ（ダルトン：分子量の単位）が好ましく、１０００〜５００００００Ｄａが更に好ましく、２０００〜５００００００Ｄａが特に好ましい。
【００３１】
一般式（Ｉ）で表される構造単位とともに本発明におけるバインダーを構成する成分（いわゆる共重合成分）としては、（二元以上の）共重合が可能であれば特に限定されない。前記共重合成分としては、例えば、特開昭５９−４４６１５号、特公昭５４−３４３２７号、特公昭５８−１２５７７号、特公昭５４−２５９５７号、特開昭５９−５３８３６号、特開昭５９−７１０４８号明細書に記載されているようなメタクリル酸共重合体、アクリル酸共重合体、イタコン酸共重合体、クロトン酸共重合体、（無水）マレイン酸共重合体、部分エステル化マレイン酸共重合体、部分アミド化マレイン酸共重合体に使用されているモノマー、（メタ）アクリレート類、（メタ）アクリルアミド類、ビニル基を有する芳香族炭化水素環類、ビニル基を有するヘテロ芳香族環類、無水マレイン酸、イタコン酸エステル類、クロトン酸エステル類、（メタ）アクリロニトリル、（メタ）クロトンニトリル、各種スチレン類、各種ベンゾイルオキシエチレン類、各種アセトキシエチレン類、ビニルカルバゾール類、ビニルピロリドン、等が挙げられる。
【００３２】
この中でも、前記共重合成分としては、（メタ）アクリル酸、置換基を有していても良い炭素数１〜２５の（シクロ）アルキル（メタ）アクリレート、置換基を有していても良い炭素数１〜２５のビシクロ環を有する（メタ）アクリレート、置換基を有していても良い炭素数１〜２５のアラルキル（メタ）アクリレート、置換基を有していても良い炭素数１〜２５のアリール（メタ）アクリレート、
【００３３】
（メタ）アクリルアミド、置換基を有していても良い炭素数１〜２５の２級または３級の（シクロ）アルキル（メタ）アクリルアミド、置換基を有していても良い炭素数１〜２５の２級または３級のビシクロ環を有する（メタ）アクリルアミド、置換基を有していても良い炭素数１〜２５の２級または３級のアラルキル（メタ）アクリルアミド、置換基を有していても良い炭素数１〜２５の２級または３級のアリール（メタ）アクリルアミド、置換基を有していても良い炭素数１〜２５の（メタ）アクリロイルモルホリン、
【００３４】
ビニル基を有する置換または無置換の炭素数１〜２５の芳香族炭化水素環、ビニル基を有する置換または無置換の炭素数１〜２５のヘテロ芳香族環、無水マレイン酸、置換または無置換の炭素数１〜２５の（α−メチル−）スチレン、ビニルイミダゾール、ビニルトリアゾール、無水マレイン酸、置換または無置換の炭素数１〜２５の部分エステル化マレイン酸共重合体、置換または無置換の炭素数１〜２５の部分アミド化マレイン酸、メチルジャスモネート、
【００３５】
イタコン酸、置換基を有していても良い炭素数１〜２５のイタコン酸（シクロ）アルキルエステル、置換基を有していても良い炭素数１〜２５のビシクロ環を有するイタコン酸エステル、置換基を有していても良い炭素数１〜２５のイタコン酸アラルキルエステル、置換基を有していても良い炭素数１〜２５のイタコン酸アリールエステル、
【００３６】
クロトン酸、置換基を有していても良い炭素数１〜２５のクロトン酸（シクロ）アルキルエステル、置換基を有していても良い炭素数１〜２５のビシクロ環を有するクロトン酸エステル、置換基を有していても良い炭素数１〜２５のクロトン酸アラルキルエステル、置換基を有していても良い炭素数１〜２５のクロトン酸アリールエステル、
【００３７】
置換基を有していても良い炭素数１〜２５のベンゾイルオキシエチレン類、置換基を有していても良い炭素数１〜２５のアセトキシエチレン類、（メタ）アクリロニトリル、（メタ）クロトンニトリル、置換基を有していても良い炭素数１〜２５のビニルカルバゾール、ビニルピロリドン、が好ましい。
【００３８】
これらなかでも中でも、（メタ）アクリル酸、置換基を有していても良い炭素数１〜２０の（シクロ）アルキル（メタ）アクリレート、置換基を有していても良い炭素数１〜２０のビシクロ環を有する（メタ）アクリレート、置換基を有していても良い炭素数１〜２０のアラルキル（メタ）アクリレート、置換基を有していても良い炭素数１〜２０のアリール（メタ）アクリレート、
【００３９】
（メタ）アクリルアミド、置換基を有していても良い炭素数１〜２０の２級または３級の（シクロ）アルキル（メタ）アクリルアミド、置換基を有していても良い炭素数１〜２０の２級または３級のビシクロ環を有する（メタ）アクリルアミド、置換基を有していても良い炭素数１〜２０の２級または３級のアラルキル（メタ）アクリルアミド、置換基を有していても良い炭素数１〜２０の２級または３級のアリール（メタ）アクリルアミド；置換基を有していても良い炭素数１〜２０の（メタ）アクリロイルモルホリン、
【００４０】
ビニル基を有する置換または無置換の炭素数１〜２０の芳香族炭化水素環、ビニル基を有する置換または無置換の炭素数の１〜２０ヘテロ芳香族環、無水マレイン酸、置換または無置換の炭素数１〜２０の部分エステル化マレイン酸共重合体、置換または無置換の炭素数１〜２０の部分アミド化マレイン酸、置換または無置換の炭素数１〜２０の（α−メチル−）スチレン類、メチルジャスモネート、
【００４１】
イタコン酸、置換基を有していても良い炭素数１〜２０のイタコン酸（シクロ）アルキルエステル、置換基を有していても良い炭素数１〜２０のビシクロ環を有するイタコン酸エステル、置換基を有していても良い炭素数１〜２０のイタコン酸アラルキルエステル、置換基を有していても良い炭素数１〜２０のイタコン酸アリールエステル、
【００４２】
クロトン酸、置換基を有していても良い炭素数１〜２０のクロトン酸（シクロ）アルキルエステル、置換基を有していても良い炭素数１〜２０のビシクロ環を有するクロトン酸エステル、置換基を有していても良い炭素数１〜２０のクロトン酸アラルキルエステル、置換基を有していても良い炭素数１〜２０のクロトン酸アリールエステル、
【００４３】
置換基を有していても良い炭素数１〜２０のベンゾイルオキシエチレン類、置換基を有していても良い炭素数１〜２０のアセトキシエチレン類、置換基を有していても良い炭素数１〜２０のビニルカルバゾール、ビニルピロリドン；（メタ）アクリロニトリル、（メタ）クロトンニトリル、がより好ましい。
【００４４】
さらに、これらの中でも、（メタ）アクリル酸、置換基を有していても良い、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、直鎖または分岐のプロピル（メタ）アクリレート、直鎖または分岐のブチル（メタ）アクリレート、直鎖または分岐のペンチル（メタ）アクリレート、ノルマルヘキシル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、ノルマルヘプチル（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシル（メタ）アクリレート、ノルマルオクチル（メタ）アクリレート、ノルマルデシル（メタ）アクリレート、ノルマルドデシル（メタ）アクリレート、
【００４５】
置換基を有していても良いアダマンチル（メタ）アクリレート、イソボルニル（メタ）アクリレート、ノルボルナンメチル（メタ）アクリレート、ノルボルネンメチル（メタ）アクリレート；置換基を有していても良いベンジル（メタ）アクリレート、ナフチルメチル（メタ）アクリレート、アントラセンメチル（メタ）アクリレート、フェニルエチル（メタ）アクリレート；置換基を有していても良いフェニル（メタ）アクリレート、ナフチル（メタ）アクリレート、
【００４６】
（メタ）アクリルアミド、置換基を有していても良い（ジ）メチル（メタ）アクリルアミド、（ジ）エチル（メタ）アクリルアミド、直鎖または分岐の（ジ）プロピル（メタ）アクリルアミド、直鎖または分岐の（ジ）ブチル（メタ）アクリルアミド、直鎖または分岐の（ジ）ペンチル（メタ）アクリルアミド、（ジ）ノルマルヘキシル（メタ）アクリルアミド、（ジ）シクロヘキシル（メタ）アクリルアミド、（ジ−）２−エチルヘキシル（メタ）アクリルアミド；置換基を有していても良いアダマンチル（メタ）アクリルアミド、ノルアダマンチル（メタ）アクリルアミド；置換基を有していても良いベンジル（メタ）アクリルアミド、ナフチルエチル（メタ）アクリルアミド、フェニルエチル（メタ）アクリルアミド；置換基を有していても良い（ジ）フェニル（メタ）アクリルアミド、ナフチル（メタ）アクリルアミド、（メタ）アクリロイルモルホリン、ピペリジルアクリルアミド、ピロリジルアクリルアミド、
【００４７】
（α−メチル−）スチレン、ビニルピリジン、ビニルイミダゾール、ビニルトリアゾール、無水マレイン酸、メチルジャスモネート；イタコン酸；クロトン酸、置換基を有していても良い、メチルクロトネート、エチル（クロトネート、直鎖または分岐のプロピルクロトネート、直鎖または分岐のブチルクロトネート、直鎖または分岐のペンチルクロトネート、ノルマルヘキシルクロトネート、シクロヘキシルクロトネート、ノルマルヘプチルクロトネート、２−エチルヘキシルクロトネート、ノルマルオクチルクロトネート、ノルマルデシルクロトネート、ノルマルドデシルクロトネート；置換基を有していても良いアダマンチルクロトネート、イソボルニルクロトネート、ノルボルナンメチルクロトネート、ノルボルネンメチルクロトネート；置換基を有していても良いベンジルクロトネート、ナフチルメチルクロトネート、アントラセンメチルクロトネート、フェニルエチルクロトネート；
置換基を有していても良いフェニルクロトネート、ナフチルクロトネート、
【００４８】
置換基を有していても良いベンゾイルオキシエチレン、置換基を有していても良いアセトキシエチレン、置換基を有していても良いビニルカルバゾール、ビニルピロリドン等が特に好ましい。
また、前記のカルボキシル基は、金属塩となっていても良い。
【００４９】
前記置換基としては、炭素数１〜２０のアルキル基、炭素数１〜２０のアルコキシ基、炭素数１〜２０のアラルキル基、炭素数１〜２０のアリール基、炭素数１〜２０のアシルオキシ基、炭素数１〜２０のアシル基、炭素数１〜２０のアルコキシカルボニル基、炭素数１〜２０のアリールカルボニル基、炭素数１〜２０のジアルキルアミノ基、炭素数１〜２０のアルキルアミノ基、ハロゲン原子、シアノ基、フリル基、フルフリル基、テトラヒドロフリル基、テトラヒドロフルフリル基、アルキルチオ基、トリメチルシリル基、トリフルオロメチル基、カルボキシル基、チエニル基、モルホリノ基、モルホリノカルボニル基、等が好ましい。
【００５０】
こられの中でも前記置換基としては、炭素数１〜１５のアルキル基、炭素数１〜１５のアルコキシ基、炭素数１〜１５のアラルキル基、炭素数１〜１５のアリール基、炭素数１〜１５のアシルオキシ基、炭素数１〜１５のアシル基、炭素数１〜１５のアルコキシカルボニル基、炭素数１〜１５のアリールカルボニル基、炭素数１〜１５のジアルキルアミノ基、炭素数１〜１５のアルキルアミノ基、ハロゲン原子、シアノ基、フリル基、フルフリル基、テトラヒドロフリル基、テトラヒドロフルフリル基、アルキルチオ基、トリメチルシリル基、トリフルオロメチル基、カルボキシル基、チエニル基、モルホリノ基、モルホリノカルボニル基、等がより好ましい。
【００５１】
さらに、前記置換基としては、メチル基、エチル基、直鎖または分岐のプロピル基、直鎖または分岐のブチル基、直鎖または分岐のペンチル基、ノルマルヘキシル基、シクロヘキシル基、ノルマルヘプチル基、２−エチルヘキシル基、ノルマルオクチル基、ノルマルデシル基、ノルマルドデシル基、メチルオキシ基、エチルオキシ基、直鎖または分岐のプロピルオキシ基、直鎖または分岐のブチルオキシ基、直鎖または分岐のペンチルオキシ基、ノルマルヘキシルオキシ基、シクロヘキシルオキシ基、ノルマルヘプチルオキシ基、２−エチルヘキシルオキシ基、ノルマルオクチルオキシ基、ノルマルデシルオキシ基、ノルマルドデシルオキシ基、ベンジル基、フェネチル基、ナフチルメチル基、ナフチルエチル基、フェニル基、ナフチル基、
【００５２】
メチルカルボニルオキシ基、エチルカルボニルオキシ基、直鎖または分岐のプロピルカルボニルオキシ基、直鎖または分岐のブチルカルボニルオキシ基、直鎖または分岐のペンチルカルボニルオキシ基、ノルマルヘキシルカルボニルオキシ基、シクロヘキシルカルボニルオキシ基、ノルマルヘプチルカルボニルオキシ基、２−エチルヘキシルカルボニルオキシ基、ノルマルオクチルカルボニルオキシ基、ノルマルデシルカルボニルオキシ基、ノルマルドデシルカルボニルオキシ基、
【００５３】
メチルカルボニル基（アセチル基）、エチルカルボニル基、直鎖または分岐のプロピルカルボニル基、直鎖または分岐のブチルカルボニル基、直鎖または分岐のペンチルカルボニル基、ノルマルヘキシルカルボニル基、シクロヘキシルカルボニル基、ノルマルヘプチルカルボニル基、２−エチルヘキシルカルボニル基、ノルマルオクチルカルボニル基、ノルマルデシルカルボニル基、ノルマルドデシルカルボニル基、
【００５４】
メチルオキシカルボニル基、エチルオキシカルボニル基、直鎖または分岐のプロピルオキシカルボニル基、直鎖または分岐のブチルオキシカルボニル基、直鎖または分岐のペンチルオキシカルボニル基、ノルマルヘキシルオキシカルボニル基、シクロヘキシルオキシカルボニル基、ノルマルヘプチルオキシカルボニル基、２−エチルヘキシルオキシカルボニル基、ノルマルオクチルオキシカルボニル基、ノルマルデシルオキシカルボニル基、ノルマルドデシルオキシカルボニル基、
【００５５】
ベンゾイル基、ナフチルカルボニル基；（ジ）メチルアミノ基、（ジ）エチルアミノ基、直鎖または分岐の（ジ）プロピルアミノ基、直鎖または分岐の（ジ）ブチルアミノ基、直鎖または分岐の（ジ）ペンチルアミノ基、（ジ）ノルマルヘキシルアミノ基、（ジ）シクロヘキシルアミノ基、（ジ）ノルマルヘプチルアミノ基、（ジ）２−エチルヘキシルアミノ基；フッ素原子、塩素原子、臭素原子；シアノ基、フリル基、フルフリル基、テトラヒドロフリル基、テトラヒドロフルフリル基、アルキルチオ基、トリメチルシリル基、トリフルオロメチル基、カルボキシル基、チエニル基、モルホリノ基、モルホリノカルボニル基、等が特に好ましい。
また、これらの置換基はさらに前記の置換基で置換されていても良い。但し、アルコール系水酸基はＴｇを低下させる場合があるため、好ましい置換基の例から除外される。
また、（メタ）アクリロニトリル、（メタ）クロトンニトリルも特に好ましい共重合成分（共重合モノマー）の例として挙げられる。
【００５６】
前記共重合性分としては、その他親水性を有するモノマーとして、燐酸、燐酸エステル、４級アンモニウム塩、エチレンオキシ鎖、プロピレンオキシ鎖、スルホン酸およびその塩、モルホリノエチル基等を含んだモノマー等も有用である。
前記のスルホン酸基、カルボン酸基は、金属塩となっていても良い。
本発明におけるバインダーにおいて、共重合するモノマーの種類や数は特に限定されないが、１〜１２種が好ましく、１〜８種がより好ましく、１〜５種が特に好ましい。
【００５７】
以下に本発明におけるバインダーの具体例（１）〜（１６）を挙げるが、本発明は、これらに限定されるものではない。
【００５８】
【化４】
【００５９】
【化５】
【００６０】
【化６】
【００６１】
（有機溶剤可溶性染料）
つぎに有機溶剤可溶性染料（以下、単に「染料」という場合がある。）について説明する。染料は、スルホン酸やカルボン酸等の酸性基を有する酸性染料、酸性染料と含窒素化合物との塩、酸性染料のスルホンアミド体等が使用でき、硬化性組成物溶液として溶解させることが出来るものであれば特に限定されないが、有機溶剤や現像液に対する溶解性、吸光度、硬化性組成物中の他の成分との相互作用、耐光性、耐熱性等の必要とする性能の全てを考慮して選択される。
【００６２】
以下に酸性染料の具体例を挙げるが、本発明はこれらに限定されるものではない。
ａｃｉｄ ａｌｉｚａｒｉｎ ｖｉｏｌｅｔ Ｎ；ａｃｉｄ ｂｌａｃｋ１，２，２４，４８；ａｃｉｄ ｂｌｕｅ１，７，９，２５，２９，４０，４５，６２，７０，７４，８０，８３，９０，９２，１１２，１１３，１２０，１２９，１４７；ａｃｉｄ ｃｈｒｏｍｅ ｖｉｏｌｅｔ Ｋ；ａｃｉｄ Ｆｕｃｈｓｉｎ；ａｃｉｄ ｇｒｅｅｎ １，３，５，２５，２７，５０；ａｃｉｄ ｏｒａｎｇｅ ６，７，８，１０，１２，５０，５１，５２，５６，６３，７４，９５；ａｃｉｄ ｒｅｄ １，４，８，１４，１７，１８，２６，２７，２９，３１，３４，３５，３７，４２，４４，５０，５１，５２，５７，６６，７３，８０，８７，８８，９１，９２，９４，９７，１０３，１１１，１１４，１２９，１３３，１３４，１３８，１４３，１４５，１５０，１５１，１５８，１７６，１８３，１９８，２１１，２１５，２１６，２１７，２４９，２５２，２５７，２６０，２６６，２７４；ａｃｉｄ ｖｉｏｌｅｔ ６Ｂ，７，９，１７，１９；ａｃｉｄ ｙｅｌｌｏｗ １，３，９，１１，１７，２３，２５，２９，３４，３６，４２，５４，７２，７３，７６，７９，９８，９９，１１１，１１２，１１４，１１６；ｆｏｏｄ ｙｅｌｌｏｗ ３，およびこれらの誘導体が挙げられる。
【００６３】
前記酸性染料のスルホンアミド体としては、前記酸性染料のスルホンアミド誘導体が好適に使用できる。
【００６４】
前記の有機溶剤可溶性染料の中でも、アゾ系、キサンテン系、アンスラキノン系若しくはフタロシアニン系の酸性染料、または、これらの酸性染料と含窒素化合物との塩、或いはこれらの酸性染料から誘導されるスルホンアミド化合物が特に好ましい。
【００６５】
前記酸性染料と塩を形成する含窒素化合物、および、前記酸性染料とアミド結合を形成する含窒素化合物について説明する。前記含窒素化合物は、塩またはアミド化合物の有機溶剤や現像液に対する溶解性、塩形成性、染料の吸光度・色価、硬化性組成物中の他の成分との相互作用等の全てを勘案して選択される。吸光度・色価の観点のみで選択すると、前記含窒素化合物はできるだけ分子量の低いものがこのましく、そのなかで、分子量２２０以下であることが好ましく、分子量２００以下であることがより好ましく、分子量１８０以下であることが特に好ましい。
以下に前記含窒素化合物の具体例を挙げるが、本発明はこれらに限定されるものではない。また、下記化合物中、「−ＮＨ−基」を有さないものは、アミド結合を形成する含窒素化合物ではない。
【００６６】
【化７】
【００６７】
【化８】
【００６８】
【化９】
【００６９】
【化１０】
【００７０】
【化１１】
【００７１】
【化１２】
【００７２】
【化１３】
【００７３】
【化１４】
【００７４】
【化１５】
【００７５】
【化１６】
【００７６】
【化１７】
【００７７】
つぎに有機溶剤可溶性染料の使用濃度について説明する。本発明の染料含有硬化性組成物の全固形成分中における染料の濃度は、染料の種類によって異なるが、０．５〜８０質量％が好ましく、０．５〜６０質量％がさらに好ましく、０．５〜５０質量％が特に好ましい。
【００７８】
本発明の染料含有硬化性組成物を、ネガ型の硬化性組成物に使用する場合は、染料および本発明におけるバインダーの他に、バインダーポリマー、光重合開始剤、光酸発生剤、モノマー、架橋剤、界面活性剤、熱重合禁止剤等を含んでもよい。
また、本発明の染料含有硬化性組成物を、ポジ型の硬化性組成物に使用する場合は、前記素材の他に、ナフトキノンジアジド化合物等のバインダーの溶解抑制剤、酸によりアルカリ溶解性が向上するバインダー等が含まれていてもよい。
以下、これらの材料について説明する。
【００７９】
（他のバインダー）
一般式（Ｉ）で表される構造単位を含むバインダーと併用する他のバインダーについて説明する。一般式（Ｉ）で表される構造単位を含むバインダーと併用する他のバインダーはアルカリ可溶性であれば、特に限定されないが、耐熱性、現像性、入手性等の観点から選ばれることが好ましい。
前記アルカリ可溶性のバインダーとしては、線状有機高分子重合体で、有機溶剤に可溶で、弱アルカリ水溶液で現像できるものが好ましい。このような線状有機高分子重合体としては、側鎖にカルボン酸を有するポリマー、例えば特開昭５９−４４６１５号、特公昭５４−３４３２７号、特公昭５８−１２５７７号、特公昭５４−２５９５７号、特開昭５９−５３８３６号、特開昭５９−７１０４８号の各公報に記載されているようなメタクリル酸共重合体、アクリル酸共重合体、イタコン酸共重合体、クロトン酸共重合体、マレイン酸共重合体、部分エステル化マレイン酸共重合体等があり、また同様に側鎖にカルボン酸を有する酸性セルロース誘導体が有用である。この他に水酸基を有するポリマーに酸無水物を付加させたもの等やポリヒドロキシスチレン系樹脂、ポリシロキサン系樹脂、ポリ（２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート）、ポリビニールピロリドンやポリエチレンオキサイド、ポリビニルアルコール、等も有用である。
また、上述した一般式（Ｉ）で表される構造単位とともに本発明におけるバインダーを構成する成分（いわゆる共重合成分）からなるバインダーも有用に使用される。
【００８０】
さらに、前記他のバインダーとして、親水性を有するモノマーを共重合したものであっても良く、この例としては、アルコキシアルキル（メタ）アクリレート、ヒドロキシアルキル（メタ）アクリレート、グリセロール（メタ）アクリレート、（メタ）アクリルアミド、Ｎ−メチロールアクリルアミド、２級および３級のアルキルアクリルアミド、ジアルキルアミノアルキル（メタ）アクリレート、モルホリン（メタ）アクリレート、Ｎ−ビニルピロリドン、Ｎ−ビニルカプロラクタム、ビニルイミダゾール、ビニルトリアゾール、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、分岐または直鎖のプロピル（メタ）アクリレート、分岐または直鎖のブチル（メタ）アクリレート、フェノキシヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート等が上げられる。
【００８１】
一般式（Ｉ）で表される構造単位を含み、ガラス転移温度（Ｔｇ）が０〜２５０℃の範囲にある本発明におけるバインダーと併用する他のバインダーは、系の粘弾性やＴｇを所望の範囲に維持できれば、アルコール系水酸基を含んでも構わない。
その他前記親水性を有するモノマーとしては、テトラヒドロフルフリル基、燐酸、燐酸エステル、４級アンモニウム塩、エチレンオキシ鎖、プロピレンオキシ鎖、スルホン酸およびその塩、モルホリノエチル基等を含んだモノマー等も有用である。
また、架橋効率を向上させるために、重合性基を側鎖に有してもよく、アリル基、（メタ）アクリル基、アリルオキシアルキル基等を側鎖に含有したポリマー等も有用である。これらの重合性基を含有するポリマーの例としては、ＫＳレジスト−１０６（大阪有機化学工業株式会社製）、サイクロマーＰシリーズ（ダイセル化学工業株式会社製）等が挙げられる。
【００８２】
さらに、前記他のバインダーとしては、硬化皮膜の強度をあげるためにアルコール可溶性ナイロンや２，２−ビス−（４−ヒドロキシフェニル）−プロパンとエピクロルヒドリンのポリエーテル等も有用である。
これら各種バインダーのなかでも、耐熱性の観点で、ポリヒドロキシスチレン系樹脂、ポリシロキサン系樹脂、アクリル系樹脂、アクリルアミド系樹脂、アクリル／アクリルアミド共重合体樹脂が好ましく、現像性制御の観点でアクリル系樹脂、アクリルアミド系樹脂、アクリル／アクリルアミド共重合体樹脂、一般式（Ｉ）で表される構造単位とともに高分子化合物を構成する成分（いわゆる共重合成分）からなるバインダーが好ましい。
前記アクリル系樹脂としては、ベンジル（メタ）アクリレート、（メタ）アクリル、ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、（メタ）アクリルアミド等から選ばれるモノマーからなる共重合体及び、ＫＳレジスト−１０６（大阪有機化学工業株式会社製）、サイクロマーＰシリーズ等が好ましい。
【００８３】
また、アルカリ可溶性フェノール樹脂も有用である。該アルカリ可溶性フェノール樹脂としては、例えばノボラック樹脂又はビニル重合体等が挙げられる。ノボラック樹脂としては、例えばフェノール類とアルデヒド類とを酸触媒の存在下に縮合させて得られるものが挙げられる。フェノール類としては、例えばフェノール、クレゾール、エチルフェノール、ブチルフェノール、キシレノール、フェニルフェノール、カテコール、レゾルシノール、ピロガロール、ナフトールもしくはビスフェノールＡ等が挙げられる。これらのフェノール類は単独で、或いは２種以上組み合わせて用いられる。アルデヒド類としては、例えばホルムアルデヒド、パラホルムアルデヒド、アセトアルデヒド、プロピオンアルデヒドもしくはベンズアルデヒド等が挙げられる。ノボラック樹脂として具体的には、例えばメタクレゾール、パラクレゾールもしくはこれらの混合物とホルマリンとの縮合生成物が挙げられる。これらのノボラック樹脂は分別等の手段を用いて分子量分布を調節してもよい。又、ビスフェノールＣもしくはビスフェノールＡ等のフェノール性水酸基を有する低分子量成分を前記ノボラック樹脂に混合してもよい。
【００８４】
前記他のバインダーの重量平均分子量（ＧＰＣ法で測定されたポリスチレン換算値）は、５００〜１０００００００Ｄａ（ダルトン：分子量の単位）が好ましく、１０００〜５００００００Ｄａが更に好ましく、２０００〜５００００００Ｄａが特に好ましい。
【００８５】
また、前記他のバインダーは、本発明におけるバインダーと併用して使用されるものであり、本発明におけるバインダーのみの使用で十分に性能を発揮できる場合は使用しなくても構わない。
また、本発明におけるバインダーと他のバインダーとを併用する場合、前記他のバインダーの本発明の染料含有硬化性組成物中の使用量は、組成物中の全固形分に対して０〜９０質量％が好ましく、０〜８０質量％がより好ましく、０〜７０質量％が特に好ましい。
【００８６】
〈架橋剤〉
本発明においては、補足的に架橋剤を用いて更に高度に硬化させた膜を得ることも可能である。以下、架橋剤について説明する。
本発明に使用可能な架橋剤としては、架橋反応により膜硬化を行えるものであれば特に限定はなく、例えば、（ａ）エポキシ樹脂、（ｂ）メチロール基、アルコキシメチル基、及びアシロキシメチル基から選ばれる少なくとも一つの置換基で置換された、メラミン化合物、グアナミン化合物、グリコールウリル化合物又はウレア化合物、（ｃ）メチロール基、アルコキシメチル基、及びアシロキシメチル基から選ばれる少なくとも一つの置換基で置換された、フェノール化合物、ナフトール化合物又はヒドロキシアントラセン化合物、が挙げられる。中でも、多感応エポキシ樹脂が好ましい。
【００８７】
前記（ａ）エポキシ樹脂としては、エポキシ基を有し、かつ架橋性を有するものであればいずれであってもよく、例えば、ビスフェノールＡジグリシジルエーテル、エチレングリコールジグリシジルエーテル、ブタンジオールジグリシジルエーテル、へキサンジオールジグリシジルエーテル、ジヒドロキシビフェニルジグリシジルエーテル、フタル酸ジグリシジルエステル、Ｎ，Ｎ−ジグリシジルアニリン等の２価のグリシジル基含有低分子化合物、同様に、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテル、トリメチロールフェノールトリグリシジルエーテル、ＴｒｉｓＰ−ＰＡトリグリシジルエーテル等に代表される３価のグリシジル基含有低分子化合物、同様に、ペンタエリスリトールテトラグリシジルエーテル、テトラメチロールビスフェノールＡテトラグリシジルエーテル等に代表される４価のグリシジル基含有低分子化合物、同様に、ジペンタエリスリトールペンタグリシジルエーテル、ジペンタエリスリトールヘキサグリシジルエーテル等の多価グリシジル基含有低分子化合物、ポリグリシジル（メタ）アクリレート、２，２−ビス（ヒドロキシメチル）−１−ブタノールの１，２−エポキシ−４−（２−オキシラニル）シクロヘキサン付加物等に代表されるグリシジル基含有高分子化合物、等が挙げられる。
【００８８】
前記架橋剤（ｂ）に含まれるメチロール基、アルコキシメチル基、アシロキシメチル基が置換している数としては、メラミン化合物の場合２〜６、グリコールウリル化合物、グアナミン化合物、ウレア化合物の場合は２〜４であるが、好ましくはメラミン化合物の場合５〜６、グリコールウリル化合物、グアナミン化合物、ウレア化合物の場合は３〜４である。
以下、前記（ｂ）のメラミン化合物、グアナミン化合物、グリコールウリル化合物及びウレア化合物を総じて、（ｂ）に係る(メチロール基、アルコキシメチル基又はアシロキシメチル基含有)化合物という。
【００８９】
前記（ｂ）に係るメチロール基含有化合物は、（ｂ）に係るアルコキシメチル基含有化合物をアルコール中で塩酸、硫酸、硝酸、メタンスルホン酸等の酸触媒存在下、加熱することにより得られる。前記（ｂ）に係るアシロキシメチル基含有化合物は、（ｂ）に係るメチロール基含有化合物を塩基性触媒存在下、アシルクロリドと混合攪拌することにより得られる。
【００９０】
以下、前記置換基を有する（ｂ）に係る化合物の具体例を挙げる。
前記メラミン化合物として、例えば、ヘキサメチロールメラミン、ヘキサメトキシメチルメラミン、ヘキサメチロールメラミンのメチロール基の１〜５個がメトキシメチル化した化合物又はその混合物、ヘキサメトキシエチルメラミン、ヘキサアシロキシメチルメラミン、ヘキサメチロールメラミンのメチロール基の１〜５個がアシロキシメチル化した化合物又はその混合物、などが挙げられる。
【００９１】
前記グアナミン化合物として、例えば、テトラメチロールグアナミン、テトラメトキシメチルグアナミン、テトラメチロールグアナミンの１〜３個のメチロール基をメトキシメチル化した化合物又はその混合物、テトラメトキシエチルグアナミン、テトラアシロキシメチルグアナミン、テトラメチロールグアナミンの１〜３個のメチロール基をアシロキシメチル化した化合物又はその混合物などが挙げられる。
【００９２】
前記グリコールウリル化合物としては、例えば、テトラメチロールグリコールウリル、テトラメトキシメチルグリコールウリル、テトラメチロールグリコールウリルのメチロール基の１〜３個をメトキシメチル化した化合物又はその混合物、テトラメチロールグリコールウリルのメチロール基の１〜３個をアシロキシメチル化した化合物又はその混合物、などが挙げられる。
【００９３】
前記ウレア化合物として、例えば、テトラメチロールウレア、テトラメトキシメチルウレア、テトラメチロールウレアの１〜３個のメチロール基をメトキシメチル化した化合物又はその混合物、テトラメトキシエチルウレア、などが挙げられる。
これら（ｂ）に係る化合物は、単独で使用してもよく、組合わせて使用してもよい。
【００９４】
前記（ｃ）の架橋剤、即ち、メチロール基、アルコキシメチル基、及びアシロキシメチル基から選ばれる少なくとも一つの基で置換された、フェノール化合物、ナフトール化合物又はヒドロキシアントラセン化合物は、前記架橋剤（ｂ）の場合と同様、熱架橋により上塗りフォトレジストとのインターミキシングを抑制すると共に、膜強度を更に高めるものである。以下、これら化合物を総じて、（ｃ）に係るメチロール基、アルコキシメチル基又はアシロキシメチル基含有化合物ということがある。
【００９５】
前記架橋剤（ｃ）に含まれるメチロール基、アシロキシメチル基又はアルコキシメチル基の数としては、一分子当り最低２個必要であり、熱架橋性及び保存安定性の観点から、骨格となるフェノール化合物の２位，４位が全て置換されている化合物が好ましい。また、骨格となるナフトール化合物、ヒドロキシアントラセン化合物も、ＯＨ基のオルト位、パラ位が全て置換されている化合物が好ましい。前記フェノール化合物の３位又は５位は、未置換であっても置換基を有していてもよい。
前記ナフトール化合物においても、ＯＨ基のオルト位以外は、未置換であっても置換基を有していてもよい。
【００９６】
前記（ｃ）に係るメチロール基含有化合物は、フェノール性ＯＨ基の２位又は４位が水素原子である化合物を原料に用い、これを水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、アンモニア、テトラアルキルアンモニウムヒドロキシド等の、塩基性触媒の存在下でホルマリンと反応させることにより得られる。
前記（ｃ）に係るアルコキシメチル基含有化合物は、（ｃ）に係るメチロール基含有化合物をアルコール中で塩酸、硫酸、硝酸、メタンスルホン酸等の酸触媒の存在下で加熱することにより得られる。
前記（ｃ）に係るアシロキシメチル基含有化合物は、（ｃ）に係るメチロール基含有化合物を塩基性触媒の存在下アシルクロリドと反応させることにより得られる。
【００９７】
架橋剤（ｃ）における骨格化合物としては、フェノール性ＯＨ基のオルト位又はパラ位が未置換の、フェノール化合物、ナフトール、ヒドロキシアントラセン化合物等が挙げられ、例えば、フェノール、クレゾールの各異性体、２，３−キシレノ−ル、２，５−キシレノ−ル、３，４−キシレノール、３，５−キシレノール、ビスフェノールＡなどのビスフェノール類、４，４’−ビスヒドロキシビフェニル、ＴｒｉｓＰ−ＰＡ（本州化学工業（株）製）、ナフトール、ジヒドロキシナフタレン、２，７−ジヒドロキシアントラセン、等が使用される。
【００９８】
前記架橋剤（ｃ）の具体例としては、フェノール化合物として、例えば、トリメチロールフェノール、トリ（メトキシメチル）フェノール、トリメチロールフェノールの１〜２個のメチロール基をメトキシメチル化した化合物、トリメチロール−３−クレゾール、トリ（メトキシメチル）−３−クレゾール、トリメチロール−３−クレゾールの１〜２個のメチロール基をメトキシメチル化した化合物、２，６−ジメチロール−４−クレゾール等のジメチロールクレゾール、テトラメチロールビスフェノールＡ、テトラメトキシメチルビスフェノールＡ、テトラメチロールビスフェノールＡの１〜３個のメチロール基をメトキシメチル化した化合物、テトラメチロール−４，４’−ビスヒドロキシビフェニル、テトラメトキシメチル−４，４’−ビスヒドロキシビフェニル、ＴｒｉｓＰ−ＰＡのヘキサメチロール体、ＴｒｉｓＰ−ＰＡのヘキサメトキシメチル体、ＴｒｉｓＰ−ＰＡのヘキサメチロール体の１〜５個のメチロール基をメトキシメチル化した化合物、ビスヒドロキシメチルナフタレンジオール、等が挙げられる。
【００９９】
また、ヒドロキシアントラセン化合物として、例えば、１，６−ジヒドロキシメチル−２，７−ジヒドロキシアントラセン等が挙げられ、アシロキシメチル基含有化合物として、例えば、前記メチロール基含有化合物のメチロール基を、一部又は全部アシロキシメチル化した化合物等が挙げられる。
【０１００】
これらの化合物の中で好ましいものとしては、トリメチロールフェノール、ビスヒドロキシメチル−ｐ−クレゾール、テトラメチロールビスフェノールＡ、ＴｒｉｓＰ−ＰＡ（本州化学工業（株）製）のヘキサメチロール体又はそれらのメチロール基がアルコキシメチル基及びメチロール基とアルコキシメチル基の両方で置換されたフェノール化合物が挙げられる。
これら（ｃ）に係る化合物は、単独で使用してもよく、組合わせて使用してもよい。
【０１０１】
本発明においては、前記架橋剤を必ずしも含有する必要はない。含有する場合、架橋剤（ａ）〜（ｃ）の染料含有硬化性組成物における総含有量としては、素材により異なるが、該硬化性組成物の固形分（質量）に対して、０〜７０質量％が好ましく、０〜５０質量％がより好ましく、０〜３０質量％が特に好ましい。
【０１０２】
〈モノマー若しくはオリゴマー〉
次に、少なくとも１つのエチレン性不飽和基を有するモノマー若しくはオリゴマーについて説明する。
少なくとも１つのエチレン性不飽和基を有するモノマー若しくはオリゴマーとしては、少なくとも１つの付加重合可能なエチレン性二重結合を有する、常圧下で１００℃以上の沸点を持つ化合物が好ましい。後述の光重合開始剤等と共に含有することにより、本発明の染料含有硬化性組成物をネガ型に構成することができ、また、硬化性を更に向上させる観点から、ポジ型の染料含有硬化性組成物に含有してもよい。
【０１０３】
その例としては、ポリエチレングリコールモノ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールモノ（メタ）アクリレート、フェノキシエチル（メタ）アクリレート、等の単官能のアクリレートやメタアクリレート；ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールエタントリ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、ヘキサンジオール（メタ）アクリレート、
【０１０４】
トリメチロールプロパントリ（アクリロイルオキシプロピル）エーテル、トリ（アクリロイロキシエチル）イソシアヌレート、グリセリンやトリメチロールエタン等の多官能アルコールにエチレンオキサイドやプロピレンオキサイドを付加させた後（メタ）アクリレート化したもの、特公昭４８−４１７０８号、特公昭５０−６０３４号、特開昭５１−３７１９３号の各公報に記載されているようなウレタンアクリレート類、特開昭４８−６４１８３号、特公昭４９−４３１９１号、特公昭５２−３０４９０号各公報に記載されているポリエステルアクリレート類、エポキシ樹脂と（メタ）アクリル酸の反応生成物であるエポキシアクリレート類等の多官能のアクリレートやメタアクリレート及びこれらの混合物を挙げることができる。更に、日本接着協会誌Ｖol．２０、Ｎo.７、３００〜３０８頁に光硬化性モノマー及びオリゴマーとして紹介されているものが挙げられる。
【０１０５】
〈光重合開始剤等〉
次に、光重合開始剤について説明する。光重合開始剤は、本発明の染料含有硬化性組成物をネガ型に構成する場合に、前記モノマー等と共に含有し、また、ポジ型に構成する場合に必要に応じて含有される。光重合開始剤としては、前記モノマー若しくはオリゴマーを重合させ得るものであれば、特に限定されないが、特性、開始効率、吸収波長、入手性、コスト等の観点で選ばれるのが好ましい。
【０１０６】
前記光重合開始剤としては、例えば、ハロメチルオキサジアゾール化合物及びハロメチル−ｓ−トリアジン化合物から選択される少なくとも一つの活性ハロゲン化合物、３−アリール置換クマリン化合物、ロフィン２量体、ベンゾフェノン化合物、アセトフェノン化合物及びその誘導体、シクロペンタジエン−ベンゼン−鉄錯体及びその塩、オキシム系化合物、等が挙げられる。
【０１０７】
ハロメチルオキサジアゾール化合物である活性ハロゲン化合物としては、特公昭５７−６０９６号公報に記載の２−ハロメチル−５−ビニル−１，３，４−オキサジアゾール化合物等や、２−トリクロロメチル−５−スチリル−１，３，４−オキサジアゾール、２−トリクロロメチル−５−（ｐ−シアノスチリル）−１，３，４−オキサジアゾール、２−トリクロロメチル−５−（ｐ−メトキシスチリル）−１，３，４−オキサジアゾール、等が挙げられる。
【０１０８】
ハロメチル−ｓ−トリアジン系化合物である活性ハロゲン化合物としては、特公昭５９−１２８１号公報に記載のビニル−ハロメチル−ｓ−トリアジン化合物、特開昭５３−１３３４２８号公報に記載の２−（ナフト−１−イル）−４，６−ビス−ハロメチル−ｓ−トリアジン化合物及び４−（ｐ−アミノフェニル）−２，６−ジ−ハロメチル−ｓ−トリアジン化合物、等が挙げられる。
【０１０９】
具体的には、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−ｐ−メトキシスチリル−ｓ−トリアジン、２，６−ビス（トリクロロメチル）−４−（３，４−メチレンジオキシフェニル）−１，３，５−トリアジン、２，６−ビス（トリクロロメチル）−４−（４−メトキシフェニル）−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−（１−ｐ−ジメチルアミノフェニル−１，３−ブタジエニル）−ｓ−トリアジン、２−トリクロロメチル−４−アミノ−６−ｐ−メトキシスチリル−ｓ−トリアジン、２−（ナフト−１−イル）−４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリアジン、２−（４−メトキシ−ナフト−１−イル）−４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリアジン、２−（４−エトキシ−ナフト−１−イル）−４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリアジン、２−（４−ブトキシ−ナフト−１−イル）−４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリアジン、２−〔４−（２−メトキシエチル）−ナフト−１−イル〕−４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリアジン、
【０１１０】
２−〔４−（２−エトキシエチル）−ナフト−１−イル〕−４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリアジン、２−〔４−（２−ブトキシエチル）−ナフト−１−イル〕−４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリアジン、２−（２−メトキシ−ナフト−１−イル）−４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリアジン、２−（６−メトキシ−５−メチル−ナフト−２−イル）−４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリアジン、２−（６−メトキシ−ナフト−２−イル）−４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリアジン、２−（５−メトキシ−ナフト−１−イル）−４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリアジン、２−（４，７−ジメトキシ−ナフト−１−イル）−４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリアジン、２−（６−エトキシ−ナフト−２−イル）−４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリアジン、２−（４，５−ジメトキシ−ナフト−１−イル）−４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリアジン、
【０１１１】
４−〔ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（エトキシカルボニルメチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｏ−メチル−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（エトキシカルボニルメチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（クロロエチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｏ−メチル−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（クロロエチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｐ−Ｎ−クロロエチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｐ−Ｎ−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（フェニル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｐ−Ｎ−クロロエチルカルボニルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、
【０１１２】
４−〔ｐ−Ｎ−（ｐ−メトキシフェニル）カルボニルアミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｍ−Ｎ，Ｎ−ジ（エトキシカルボニルメチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｍ−ブロモ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（エトキシカルボニルメチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｍ−クロロ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（エトキシカルボニルメチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｍ−フロロ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（エトキシカルボニルメチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｏ−ブロモ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（エトキシカルボニルメチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｏ−クロロ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（エトキシカルボニルメチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、
【０１１３】
４−〔ｏ−フロロ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（エトキシカルボニルメチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｏ−ブロモ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（クロロエチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｏ−クロロ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（クロロエチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｏ−フロロ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（クロロエチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｍ−ブロモ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（クロロエチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｍ−クロロ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（クロロエチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、
【０１１４】
４−〔ｍ−フロロ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（クロロエチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｍ−ブロモ−ｐ−Ｎ−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｍ−クロロ−ｐ−Ｎ−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｍ−フロロ−ｐ−Ｎ−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｏ−ブロモ−ｐ−Ｎ−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｏ−クロロ−ｐ−Ｎ−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、
【０１１５】
４−（ｏ−フロロ−ｐ−Ｎ−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｍ−ブロモ−ｐ−Ｎ−クロロエチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｍ−クロロ−ｐ−Ｎ−クロロエチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｍ−フロロ−ｐ−Ｎ−クロロエチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｏ−ブロモ−ｐ−Ｎ−クロロエチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｏ−クロロ−ｐ−Ｎ−クロロエチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｏ−フロロ−ｐ−Ｎ−クロロエチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン等が挙げられる。
【０１１６】
その他、緑化学社製のＴＡＺシリーズ（例えば、ＴＡＺ−１０７、ＴＡＺ−１１０、ＴＡＺ−１０４、ＴＡＺ−１０９、ＴＡＺ−１４０、ＴＡＺ−２０４、ＴＡＺ−１１３、ＴＡＺ−１２３、ＴＡＺ−１０４）、ＰＡＮＣＨＩＭ社製のＴシリーズ（例えば、Ｔ−ＯＭＳ、Ｔ−ＢＭＰ、Ｔ−Ｒ、Ｔ−Ｂ）、チバガイギー社製のイルガキュアシリーズ（例えば、イルガキュア６５１、イルガキュア１８４、イルガキュア５００、イルガキュア１０００、イルガキュア１４９、イルガキュア８１９、イルガキュア２６１）、ダロキュアシリーズ（例えばダロキュア１１７３）、４，４′−ビス（ジエチルアミノ）−ベンゾフェノン、２−（Ｏ−ベンゾイルオキシム）−１−[４−（フェニルチオ）フェニル]−１，２−オクタンジオン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−４−モルホリノブチロフェノン、２，２−ジメトキシ−２−フェニルアセトフェノン、
【０１１７】
２−（ｏ−クロルフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾリル二量体、２−（ｏ−フルオロフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾリル二量体、２−（ｏ−メトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾリル二量体、２−（ｐ−メトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾリル二量体、２−（ｐ−ジメトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾリル二量体、２−（２，４−ジメトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾリル二量体、２−（ｐ−メチルメルカプトフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾリル二量体、ベンゾインイソプロピルエーテル、等も有用に用いられる。
【０１１８】
これら光重合開始剤には、増感剤や光安定剤を併用することができる。
その具体例として、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾイン、９−フルオレノン、２−クロロ−９−フルオレノン、２−メチル−９−フルオレノン、９−アントロン、２−ブロモ−９−アントロン、２−エチル−９−アントロン、９，１０−アントラキノン、２−エチル−９，１０−アントラキノン、２−ｔ−ブチル−９，１０−アントラキノン、２，６−ジクロロ−９，１０−アントラキノン、キサントン、２−メチルキサントン、２−メトキシキサントン、２−メトキシキサントン、チオキサントン、２，４−ジエチルチオキサントン、アクリドン、１０−ブチル−２−クロロアクリドン、ベンジル、ジベンジルアセトン、ｐ−（ジメチルアミノ）フェニルスチリルケトン、ｐ−（ジメチルアミノ）フェニル−ｐ−メチルスチリルケトン、ベンゾフェノン、ｐ−（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン（又はミヒラーケトン）、ｐ−（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、ベンゾアントロン等や特公昭５１−４８５１６号公報記載のベンゾチアゾール系化合物等や、チヌビン１１３０、同４００等が挙げられる。
【０１１９】
本発明の染料含有硬化性組成物には、上述の光重合開始剤のほかに他の公知の開始剤を使用することができる。
具体的には、米国特許第２，３６７，６６０号明細書に開示されているビシナールポリケトルアルドニル化合物、米国特許第２，３６７，６６１号及び第２，３６７，６７０号明細書に開示されているα−カルボニル化合物、米国特許第２，４４８，８２８号明細書に開示されているアシロインエーテル、米国特許第２，７２２，５１２号明細書に開示されているα−炭化水素で置換された芳香族アシロイン化合物、米国特許第３，０４６，１２７号及び第２，９５１，７５８号明細書に開示されている多核キノン化合物、米国特許第３，５４９，３６７号明細書に開示されているトリアリルイミダゾールダイマー／ｐ−アミノフェニルケトンの組合せ、特公昭５１−４８５１６号公報に開示されているベンゾチアゾール系化合物／トリハロメチール−ｓ−トリアジン系化合物、等を挙げることができる。
【０１２０】
光重合開始剤（及び公知の開始剤）の総使用量としては、前記モノマー固形分（質量）に対して、０．０１質量％〜５０質量％が好ましく、１質量％〜３０質量％がより好ましく、１質量％〜２０質量％が特に好ましい。該使用量が、０．０１質量％より少ないと重合が進み難くなることがあり、５０質量％を超えると、重合率は大きくなるが分子量が低くなり膜強度が弱くなることがある。
【０１２１】
〈熱重合防止剤〉
本発明の染料含有硬化性組成物には、以上のほか、更に熱重合防止剤を加えておくことが好ましい。例えば、ハイドロキノン、ｐ−メトキシフェノール、ジ−ｔ−ブチル−ｐ−クレゾール、ピロガロール、ｔ−ブチルカテコール、ベンゾキノン、４，４′−チオビス（３−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、２，２′−メチレンビス（４−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、２−メルカプトベンゾイミダゾール等が有用である。
【０１２２】
〈ナフトキノンジアジド化合物〉
本発明の染料含有硬化性組成物をポジ型に構成する場合、ナフトキノンジアジド化合物を含有することができる。ナフトキノンジアジド化合物としては、例えば、ｏ−ナフトキノンジアジド−５−スルホン酸エステル又はスルホン酸アミド、あるいはｏ−ナフトキノンジアジド−４−スルホン酸エステル又はスルホン酸アミド、等が挙げられる。これらのエステル又はアミドは、例えば、特開平２−８４６５０号公報及び特開平３−４９４３７号公報に一般式（Ｉ）として記載されているフェノール化合物等を用いて公知の方法により製造することができる。
【０１２３】
前記のアルカリ可溶性フェノール樹脂及び架橋剤は、通常、溶剤中に全質量に対してそれぞれ２〜５０質量％及び２〜３０質量％程度の割合で溶解させる。また、前記のナフトキノンジアジド化合物及び染料は、通常、前記アルカリ可溶性樹脂及び架橋剤を含む溶液に対して、それぞれ２〜３０質量％及び２〜５０質量％程度の割合で添加する。また更に、カラーフィルター用レジスト組成物には、例えば均一な塗布性を付与するための平滑剤等の当該技術分野で慣用されている各種の添加剤を加えることもできる。
【０１２４】
〈溶剤〉
本発明の染料含有硬化性組成物を調製する際には一般に溶剤が用いられる。溶剤は、各成分の溶解性や染料含有硬化性組成物の塗布性を満足すれば基本的に特に限定されないが、特に染料、バインダーの溶解性、塗布性、安全性を考慮して選ばれることが好ましい。
【０１２５】
前記溶剤としては、エステル類、例えば、酢酸エチル、酢酸−ｎ−ブチル、酢酸イソブチル、ギ酸アミル、酢酸イソアミル、酢酸イソブチル、プロピオン酸ブチル、酪酸イソプロピル、酪酸エチル、酪酸ブチル、アルキルエステル類、乳酸メチル、乳酸エチル、オキシ酢酸メチル、オキシ酢酸エチル、オキシ酢酸ブチル、メトキシ酢酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチル、等；
【０１２６】
３−オキシプロピオン酸メチル、３−オキシプロピオン酸エチル等の３−オキシプロピオン酸アルキルエステル類、例えば、３−メトキシプロピオン酸メチル、３−メトキシプロピオン酸エチル、３−エトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル、等；２−オキシプロピオン酸メチル、２−オキシプロピオン酸エチル、２−オキシプロピオン酸プロピル等の２−オキシプロピオン酸アルキルエステル類、例えば、２−メトキシプロピオン酸メチル、２−メトキシプロピオン酸エチル、２−メトキシプロピオン酸プロピル、２−エトキシプロピオン酸メチル、２−エトキシプロピオン酸エチル、２−オキシ−２−メチルプロピオン酸メチル、２−オキシ−２−メチルプロピオン酸エチル、２−メトキシ−２−メチルプロピオン酸メチル、２−エトキシ−２−メチルプロピオン酸エチル、等；ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、２−オキソブタン酸メチル、２−オキソブタン酸エチル、等；
【０１２７】
エーテル類、例えば、ジエチレングリコールジメチルエーテル、テトラヒドロフラン、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールメチルエーテル、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールプロピルエーテルアセテート、等；
【０１２８】
ケトン類、例えば、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、２−ヘプタノン、３−ヘプタノン、等；芳香族炭化水素類、例えば、トルエン、キシレン、等が好ましい。
【０１２９】
これらのうち、３−エトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル、エチルセロソルブアセテート、乳酸エチル、ジエチレングリコールジメテルエーテル、酢酸ブチル、３−メトキシプロピオン酸メチル、２−ヘプタノン、シクロヘキサノン、エチルカルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールメチルエーテル、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート等がより好ましい。
【０１３０】
〈各種添加物〉
本発明の染料含有硬化性組成物には、必要に応じて、各種添加物、例えば充填剤、前記以外の高分子化合物、界面活性剤、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、凝集防止剤等を配合することかできる。
【０１３１】
前記各種添加物の具体例としては、ガラス、アルミナ等の充填剤；ポリビニルアルコール、ポリアクリル酸、ポリエチレングリコールモノアルキルエーテル、ポリフロロアルキルアクリレート等の結着樹脂以外の高分子化合物；ノニオン系、カチオン系、アニオン系等の界面活性剤；ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス（２−メトキシエトキシ）シラン、Ｎ−（２−アミノエチル）−３−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、Ｎ−（２−アミノエチル）−３−アミノプロピルトリメトキシシラン、３−アミノプロピルトリエトキシシラン、３−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、３−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン、３−クロロプロピルメチルジメトキシシラン、３−クロロプロピルトリメトキシシラン、３−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、３−メルカプトプロピルトリメトキシシラン等の密着促進剤；２，２−チオビス（４−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、２，６−ジ−ｔ−ブチルフェノール等の酸化防止剤；２−（３−ｔ−ブチル−５−メチル−２−ヒドロキシフェニル）−５−クロロベンゾトリアゾール、アルコキシベンゾフェノン等の紫外線吸収剤；及びポリアクリル酸ナトリウム等の凝集防止剤を挙げることができる。
【０１３２】
また、非画像部のアルカリ溶解性を促進し、本発明の染料含有硬化性組成物の現像性の更なる向上を図る場合には、該組成物に有機カルボン酸、好ましくは分子量１０００以下の低分子量有機カルボン酸の添加を行うことができる。
具体的には、例えば、ギ酸、酢酸、プロピオン酸、酪酸、吉草酸、ピバル酸、カプロン酸、ジエチル酢酸、エナント酸、カプリル酸等の脂肪族モノカルボン酸；シュウ酸、マロン酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、スベリン酸、アゼライン酸、セバシン酸、ブラシル酸、メチルマロン酸、エチルマロン酸、ジメチルマロン酸、メチルコハク酸、テトラメチルコハク酸、シトラコン酸等の脂肪族ジカルボン酸；トリカルバリル酸、アコニット酸、カンホロン酸等の脂肪族トリカルボン酸；安息香酸、トルイル酸、クミン酸、ヘメリト酸、メシチレン酸等の芳香族モノカルボン酸；フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、トリメリト酸、トリメシン酸、メロファン酸、ピロメリト酸等の芳香族ポリカルボン酸；フェニル酢酸、ヒドロアトロパ酸、ヒドロケイ皮酸、マンデル酸、フェニルコハク酸、アトロパ酸、ケイ皮酸、ケイ皮酸メチル、ケイ皮酸ベンジル、シンナミリデン酢酸、クマル酸、ウンベル酸等のその他のカルボン酸が挙げられる。
【０１３３】
《カラーフィルター》
次に、本発明のカラーフィルターについて、その製造方法を通じて詳述する。
本発明のカラーフィルターの製造方法においては、既述の本発明の染料含有硬化性組成物が用いられる。
本発明の染料含有硬化性組成物がネガ型に構成されている場合、ネガ型染料含有硬化性組成物を支持体上に回転塗布、流延塗布、ロール塗布等の塗布方法により塗布して感放射線性組成物層を形成し、該層を所定のマスクパターンを介して露光し、現像液で現像することによって、ネガ型の着色パターンを形成する（画像形成工程）。また、必要により、形成された着色パターンを加熱及び／又は露光により硬化する硬化工程を含んでいてもよい。
【０１３４】
本発明の染料含有硬化性組成物がポジ型に構成されている場合、ポジ型染料含有硬化性組成物を支持体上に回転塗布、流延塗布、ロール塗布等の塗布方法により塗布して感放射線性組成物層を形成し、該層を所定のマスクパターンを介して露光し、現像液で現像することによって、ポジ型の着色パターンを形成した後（画像形成工程）、形成された着色パターンを加熱して硬化する（ポストベーク）。
【０１３５】
カラーフィルターの作製においては、ネガ型の場合は、前記画像形成工程（及び必要により硬化工程）を所望の色相数だけ繰り返すことにより、ポジ型の場合は、前記画像形成工程及びポストベークを所望の色相数だけ繰り返すことにより、所望の色相よりなるカラーフィルターを作製することができる。
この際に使用される光若しくは放射線としては、特にｇ線、ｈ線、ｉ線等の紫外線が好ましく用いられる。
【０１３６】
前記基板としては、例えば、液晶表示素子等に用いられるソーダガラス、パイレックス（Ｒ）ガラス、石英ガラス及びこれらに透明導電膜を付着させたものや、撮像素子等に用いられる光電変換素子基板、例えばシリコン基板等や、相補性金属酸化膜半導体（ＣＭＯＳ）等が挙げられる。これらの基板は、各画素を隔離するブラックストライプが形成されている場合もある。
また、これらの基板上には、必要により、上部の層との密着改良、物質の拡散防止あるいは基板表面の平坦化のために下塗り層を設けてもよい。
【０１３７】
前記現像液としては、本発明の染料含有硬化性組成物の未硬化部を溶解する一方、照射部は溶解しない組成よりなるものであればいかなるものも用いることができる。具体的には、種々の有機溶剤の組合わせやアルカリ性の水溶液を用いることができる。前記有機溶剤としては、本発明の染料含有硬化性組成物を調製する際に使用される前述の溶剤が挙げられる。
【０１３８】
前記アルカリ性の水溶液としては、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム，硅酸ナトリウム、メタ硅酸ナトリウム、アンモニア水、エチルアミン、ジエチルアミン、ジメチルエタノールアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、コリン、ピロール、ピペリジン、１，８−ジアザビシクロ−〔５．４．０〕−７−ウンデセン等のアルカリ性化合物を、濃度が０．００１〜１０質量％、好ましくは０．０１〜１質量％となるように溶解してなるアルカリ性水溶液が好適である。尚、このようなアルカリ性水溶液からなる現像液を使用した場合は、一般に、現像後水で洗浄する。
【０１３９】
また、本発明のカラーフィルターは、液晶表示素子やＣＣＤ等の固体撮像素子に用いることができ、特に１００万画素を超えるような高解像度のＣＣＤ素子やＣＭＯＳ素子等に好適である。本発明のカラーフィルタは、例えば、ＣＣＤを構成する各画素の受光部と集光するためのマイクロレンズとの間に配置されるカラーフィルタとして用いることができる。
【０１４０】
【実施例】
本発明を実施例により更に具体的に説明するが、本発明はその主旨を越えない限り以下の実施例に限定されるものではない。なお、特に断りのない限り、「部」は質量基準である。
【０１４１】
［実施例１］
（１）染料レジスト溶液の調製
前記組成を混合して溶解し、染料レジスト溶液を調製した。
【０１４２】
（２）下塗り層付ガラス基板の作製
ガラス基板（コーニング１７３７）を１％ＮａＯＨ水で超音波洗浄した後、水洗、脱水ベーク（２００℃／３０分）を行った。
ついで富士フイルムアーチ社製ＣＴ−２０００Ｌの溶液を、洗浄したガラス基板上に膜厚２μｍになるようにスピンコーターを用いて塗布し、２２０℃で１時間加熱乾燥して、下塗り層付ガラス基板を得た。
【０１４３】
（３）染料レジストの露光・現像（画像形成）
前記（１）で得られた染料レジスト溶液を前記（２）で得られた下塗り層付ガラス基板の下塗り層の上に膜厚が１μｍになるようにスピンコーターを用いて塗布し、１２０℃で１２０秒間プリベークした。
ついで、ｉ線縮小投影露光装置を使用して、塗布膜に３６５ｎｍの波長で２μｍのアイランドパターンマスクを通して１０００ｍＪ／ｃｍ2の露光量で照射した。露光後、６０％ＣＤ−２０００（富士フイルム・アーチ社製）現像液を使用して、２６℃で９０秒の時間で現像した。次いで、流水で２０秒間リンスした後、スプレー乾燥した。
【０１４４】
（４）評価
画像形成およびパターン形状は光学顕微鏡およびＳＥＭ写真観察により通常の方法で確認した。
−耐熱性−
形成されたパターンの耐熱性は、現像後のパターンを２００℃で１０分間加熱した後、該パターン形状の変化をＳＥＭ写真によって目視により下記基準にしたがって評価した。形状変化の少ないものほど耐熱性に優れる。
〔基準〕
◎：パターン形状が全く、あるいは殆ど変化しなかった。
○：加熱前後でのパターン下端幅の変化が１０％未満であった。
×：加熱前後でのパターン下端幅の変化が１０％以上であった。
【０１４５】
−未露光部現像性・露光部残膜率−
未露光部現像性、露光部残膜率は、色度計ＭＣＰＤ−１０００（大塚電子製）で測定した。未露光部現像性、露光部残膜率は、現像前後の吸光度値の維持率を示す。未露光部では値のより小さい方が、露光部では値のより大きい方がそれぞれ現像性、残膜性が良好であることを示す。
前記の各評価の結果を下記表１に示す。
【０１４６】
［実施例２〜７］
実施例１の（１）染料レジスト溶液の調製において、バインダーである具体例（１）の化合物（本発明におけるバインダー）に代えて、下記表１に示すバインダーをそれぞれ用いたこと以外、実施例１と同様にして、染料含有硬化性組成物を調製し、更にパターン画像を形成すると共に、同様の評価を行なった。
【０１４７】
［比較例１］
実施例１の（１）染料レジスト溶液の調製の調製において、バインダーである具体例（１）の化合物（本発明におけるバインダー）に代えて、（メタクリル酸ベンジル）−（メタクリル酸）−（メタクリル酸−２−ヒドロキシエチル）共重合体（モル比＝６０：２０：２０）を用いた以外は実施例１と同様にして、染料含有硬化性組成物を調製し、更にパターン画像を形成すると共に、同様の評価を行なった。
【０１４８】
［比較例２］
実施例１の（１）染料レジスト溶液の調製において、バインダーである具体例（１）の化合物（本発明におけるバインダー）に代えて、（メタクリル酸ベンジル）−（メタクリル酸）共重合体（モル比＝６０：４０）を用いた以外は実施例１と同様にして、染料含有硬化性組成物を調製し、更にパターン画像を形成すると共に、同様の評価を行なった。
【０１４９】
【表１】
【０１５０】
表１に示される様に、本発明におけるバインダーを使用することにより、未露光部現像性、露光部残膜率、パターン形状耐熱性に関して従来よりも優れた染料含有硬化性組成物を得ることができた。これにより、本発明のバインダーを用いると、十分な重合性、硬化性、耐熱性が得られ、さらに、未露光部現像性や画像部残膜率も良好な性能が得られ、各種カラーフィルター用の染料含有硬化性組成物として有用な事は明らかである。また、前記染料含有硬化性組成物で用いた黄色染料を異色の染料に代え、二色目を塗布し、該塗布時の色素溶出及び混色を観察したが、良好であった。
【０１５１】
一方、比較例１および２に示されるように、▲１▼重合性基がなく架橋能力が不足で、▲２▼親水性バランスや染料との相互作用の調整が施されてない等の欠点を有する比較例のバインダーを使用すると、未露光部現像性、露光部残膜率、パターン形状耐熱性において、著しく劣る結果となり、実用に耐えないレジストであることが明白である。
また、比較例のバインダーのＴｇは実施例のバインダーのＴｇと著しく異なる値ではない為、重合性基の効果が大きいことが示唆される。
【０１５２】
［実施例８〜１４］
実施例１〜７のガラス基板をシリコンウエハー基板に代えた他は，全て同様の操作を行い、パターン画像を得た。未露光部現像性、露光部の残膜率は実施例１〜７と同じ結果が得られた。
尚、実施例８〜１４においては、シリコンウエハー基板を用いており、実施例１〜７と異なるが、染料レジスト溶液は実施例１〜１４を通してすべて下塗り層上に塗布されているため、実質的に違いが生じることはなく、同じ諸性能が得られた。
【０１５３】
［実施例１５］
実施例１の（１）染料レジスト溶液の調製において、「ａｃｉｄ ｙｅｌｌｏｗ４２のビス（ジトリルグアニジン）塩」に代えて、「Ｖａｌｉｆａｓｔ Ｒｅｄ−１３６０（オリエント化学社製）」を用いた他は、全て実施例１と同様の操作を行い、パターン画像を得た。未露光部現像性、露光部の残膜率は実施例１と同じ結果が得られた。
【０１５４】
［実施例１６］
実施例１の（１）染料レジスト溶液の調製において、「ａｃｉｄ ｙｅｌｌｏｗ４２のビス（ジトリルグアニジン）塩」に代えて、「Ｖａｌｉｆａｓｔ Ｂｌｕｅ−２６２０（オリエント化学社製）」を用いた他は、全て実施例１と同様の操作を行い、パターン画像を得た。未露光部現像性、露光部の残膜率は実施例１と同じ結果が得られた。
【０１５５】
［実施例１７］
実施例１の（１）染料レジスト溶液の調製において、「ａｃｉｄ ｙｅｌｌｏｗ４２のビス（ジトリルグアニジン）塩」に代えて、「２，７−Ｎａｐｈｔｈａｌｅｎｅｄｉｓｕｌｆｏｎｉｃ ａｃｉｄ，３−［（５−ｃｈｌｏｒｏ−２−ｐｈｅｎｏｘｙｐｈｅｎｙｌ）ｈｙｄｒａｚｏｎｏ］−３，４−ｄｉｈｙｄｒｏ−４−ｏｘｏ−５−［（ｐｈｅｎｙｌｓｕｌｆｏｎｙｌ）ａｍｉｎｏ］−，ｄｉｔｏｌｙｌｇｕａｎｉｄｉｎｅ ｓａｌｔ」を用いた他は、全て実施例１と同様の操作を行い、パターン画像を得た。
未露光部現像性、露光部の残膜率は実施例１と同じ結果が得られた。
【０１５６】
［比較例３］
実施例１の（１）染料レジスト溶液の調製において、バインダーを（アクリル酸ブチル）−（メタクリル酸−２−ヒドロキシエチル）−（アクリル酸）共重合体（モル比＝６０：２０：２０；分子量Ｍｗ＝１３０００）に代えた他はすべて実施例１と同様に行った。結果を表２に示す。
【０１５７】
［比較例４］
実施例１の（１）染料レジスト溶液の調製において、バインダーを（メタクリロイルオキシエチルメタクリレート）−（メタクリル酸−２−ヒドロキシエチル）−（アクリル酸ブチル）−（アクリル酸）共重合体（モル比＝２０：２０：４０：２０；分子量Ｍｗ＝１２０００）に代えた他はすべて実施例１と同様に行った。結果を表２に示す。
尚、表２中「ＭＯＥＭＡ」はメタクリロイルオキシエチルメタクリレートを表す。
【０１５８】
【表２】
××：耐熱試験前後のパターン下端幅の変化率が２０％以上である。
【０１５９】
比較例３に示されるように、▲１▼重合性基がなく架橋能力が不足で、▲２▼親水性バランスや染料との相互作用の調整が施されておらず、▲３▼Ｔｇが非常に低い、等の欠点を有する比較例３のバインダーを使用すると、未露光部現像性、露光部残膜率、パターン形状耐熱性において、著しく劣る結果となり、実用に耐えないレジストであることが明白である。
【０１６０】
また、比較例４に示されるように、重合性基を有していても、▲１▼親水性バランスや染料との相互作用の調整が施されておらず、▲３▼Ｔｇが非常に低い、等の欠点を有する比較例４のバインダーを使用すると、未露光部現像性、露光部残膜率、パターン形状耐熱性において、著しく劣る結果となり、実用に耐えないレジストであることが明白である。
【０１６１】
【発明の効果】
本発明の溶剤可溶性染料含有組成物は、高い重合性およびパターン耐熱性が得られること等から、高感度、高透過率、高解像度が可能であり、また広い現像ラチチュードを有し、かつ染料の溶出、混色、熱劣化および光劣化がなく生産性の高い溶剤可溶性染料含有硬化性組成物およびそれを使用したカラーフィルターを提供することが出来る。
なかでも、特に、高いパターン耐熱性が得られることが本発明の主旨である。
また本発明の溶剤可溶性染料含有組成物を用いることで、簡便でコストパフォーマンスの高いカラーフィルターおよびその製造方法を提供できる。
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶表示素子（ＬＣＤ）や固体撮像素子（ＣＣＤ、ＣＭＯＳ等）に用いられるカラーフィルターの着色画像の形成に好適なカラーフィルター用の染料含有硬化性組成物に関する。
【０００２】
【従来の技術】
液晶表示素子や固体撮像素子に用いられるカラーフィルターを作製する方法としては、染色法、印刷法、電着法及び顔料分散法が知られている。
【０００３】
このうち顔料分散法は、顔料を種々の感光性組成物に分散させた着色感放射線性組成物を用いてフォトリソ法によってカラーフィルターを作製する方法であり、顔料を使用しているために光や熱等に安定であるという利点を有している。またフォトリソ法によってパターニングするため、位置精度が高く、大画面、高精細カラーディスプレイ用カラーフィルターを作製するのに好適な方法として広く利用されてきた。
【０００４】
しかし、近年、固体撮像素子用のカラーフィルターにおいては更なる高精細化が望まれており、従来の顔料分散系では解像度が向上せず、また顔料の粗大粒子による色むらが発生する等の問題がある。このため、固体撮像素子のように微細パターンを有するカラーフィルターが要求される用途には適さなかった。
【０００５】
この問題を解決する為、従来から染料の使用が特開平６−７５３７５号公報等により提案されているが、染料含有の硬化性組成物は新たな問題点を含んでいる。すなわち、
（１）通常の色素はアルカリ水溶液又は有機溶剤のいずれかに溶解性が低い為、所望のスペクトルを有する液状の硬化性組成物を得るのが困難である。
（２）染料は、硬化性組成物中の他の成分と相互作用を示す場合が多い為、硬化部、非硬化部の溶解性（現像性）の調節が困難である。
（３）染料のモル吸光係数（ε）が低い場合は、多量の染料を添加しなければならず、硬化性組成物中の重合性化合物（モノマー）やバインダー、光重合開始剤等の他の成分を減らさざるを得なくなるため、組成物の硬化性、硬化後の耐熱性、（非）硬化部の現像性が低下する等の問題を生じる。
（４）染料は一般的に顔料に比べ、耐光性、耐熱性に劣る。
等である。
【０００６】
また、半導体作製用途の場合とは異なり、固体撮像素子用カラーフィルター作製用途の場合には特にその膜厚が１．５μｍ以下であることを要求される。このため、所望の色濃度を得るためには硬化性組成物中に多量の色素を添加しなければならず、前述の問題を生じる結果となる。
これらの問題の為、高精細カラーフィルター用の微細かつ薄膜の着色パターンに関する実用上の要求性能を満足することは困難であった。
【０００７】
一方、特開平１０−６８８１２号公報には、側鎖に（メタ）クリロイル基を有する単量体、アルコール系水酸基を有する単量体、カルボン酸基を有する単量体を含有する、三元系以上のバインダーを使用した感光性着色組成物が開示されている。しかし、該感光性着色組成物は顔料を用いた場合を想定しており、有機溶剤可溶性の染料を使用する例については一切記載されていない。また、この三元系以上のポリマーはアルコール系水酸基を含んでいる為、ポリマーのＴｇ（ガラス転移温度）や溶融粘度が下がる等の原因で、パターン形状の耐熱性に問題があり、更なる向上が望まれる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、高感度、高解像力、高耐熱性、広い現像ラチチュードを有し、しかも染料の溶出がなく生産性の高い染料含有硬化性組成物、並びに、それを使用したカラーフィルターおよびその製造方法を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明によれば、下記構成のカラーフィルター用着色剤含有硬化性組成物、並びに、それを使用したカラーフィルターおよびその製造方法が提供されて、本発明の目的が達成される。
【００１０】
＜１＞バインダー、有機溶剤および有機溶剤可溶性染料を含んでなるカラーフィルター作製用染料含有硬化性組成物であって、前記バインダーが、下記一般式（Ｉ）で表される構造単位を含み、かつ、ガラス転移温度が０〜２５０℃の範囲にあることを特徴とするカラーフィルター作製用染料含有硬化性組成物。
【化２】
（一般式（Ｉ）中、Ｒ1は水素原子またはメチル基を、Ｒ2は酸素原子、−ＮＨ−基または−Ｎ（Ｒ3−Ｒ4）−基を、Ｒ3は置換基を有していても良い二価の基を、Ｒ4は不飽和二重結合を含む基を、それぞれ表す。）
【００１１】
＜２＞ 前記一般式（Ｉ）におけるＲ4が、ビニル基、アリル基、（メタ）アクリロイル基、スチリル基、ビニルエステル基、ビニルエーテル基からなる群より選ばれた基であることを特徴とする前記＜１＞のカラーフィルター作製用染料含有硬化性組成物である。
【００１２】
＜３＞ 前記一般式（Ｉ）におけるＲ3が、置換基を有していてもよいアルキレン基またはアルキレンオキシ基またはエチルオキシカルボニルアミノエチル基であることを特徴とする前記＜１＞または＜２＞のカラーフィルター作製用染料含有硬化性組成物である。
【００１３】
＜４＞ 前記バインダーが、水可溶性またはアルカリ可溶性であることを特徴とする前記＜１＞〜＜３＞のいずれか１のカラーフィルター作製用染料含有硬化性組成物である。
【００１４】
＜５＞ 前記一般式（Ｉ）で表される構造単位と共重合される成分がアルコール系水酸基を含まないことを特徴とする前記＜１＞〜＜４＞のいずれか１のカラーフィルター作製用染料含有硬化性組成物である。
【００１５】
＜６＞前記有機溶剤可溶性染料が、酸性染料、酸性染料と含窒素化合物との塩又は酸性染料のスルホンアミド体であることを特徴とする前記＜１＞〜＜５＞のいずれか１のカラーフィルター作製用染料含有硬化性組成物である。
【００１６】
＜７＞前記酸性染料がアゾ系、キサンテン系、アンスラキノン系またはフタロシアニン系の酸性染料であることを特徴とする前記＜１＞〜＜６＞のいずれか１のカラーフィルター作製用染料含有硬化性組成物である。
【００１７】
＜８＞更にモノマー及び光重合開始剤を含むことを特徴とする前記＜１＞〜＜７＞のいずれか１に記載のカラーフィルター作製用染料含有硬化性組成物である。
＜９＞ 前記＜１＞〜＜８＞のいずれか１のカラーフィルター作製用染料含有硬化性組成物を用いて作製されることを特徴とするカラーフィルターである。
【００１８】
＜１０＞ 前記＜１＞〜＜８＞のいずれか１のカラーフィルター作製用染料含有硬化性組成物を支持体上に塗布後、マスクを通して露光し、現像してパターンを形成することを特徴とするカラーフィルターの製造方法である。該製造方法は、必要により上記パターンを加熱および／または露光により硬化する工程を含んでいてもよいし、これらの工程を複数回繰り返すものであってもよい。
【００１９】
【発明の実施の形態】
以下、本発明のカラーフィルター作製用染料含有硬化性組成物、並びに、それを使用したカラーフィルターおよびその製造方法について詳述する。
【００２０】
《カラーフィルター作製用染料含有硬化性組成物》
本発明のカラーフィルター作製用染料含有硬化性組成物（以下において単に「染料含有硬化性組成物」ということがある。）は、バインダー、有機溶剤および有機溶剤可溶性染料を含んでなる染料含有硬化性組成物であって、前記バインダーが、下記一般式（Ｉ）で表される構造単位を含み、かつ、ガラス転移温度が０〜２５０℃の範囲にあることを特徴とする。
【００２１】
【化３】
（一般式（Ｉ）中、Ｒ1は水素原子またはメチル基を、Ｒ2は酸素原子、−ＮＨ−基または−Ｎ（Ｒ3−Ｒ4）−基を、Ｒ3は置換基を有していても良い二価の基を、Ｒ4は不飽和二重結合を含む基を、それぞれ表す。）
【００２２】
（バインダー）
本発明におけるバインダーは、前記一般式（Ｉ）で表される構造単位を含み、かつ、ガラス転移温度が０〜２５０℃の範囲にある。本発明におけるバインダーは、重合性側鎖を有する共重合体である。本発明の染料含有硬化性組成物は、本発明におけるバインダーを使用することにより、未露光部現像性、露光部残膜率、パターン形状耐熱性に関して従来よりも優れた染料含有硬化性組成物を得ることができる。
【００２３】
一般式（Ｉ）で表される構造単位について説明する。
一般式（Ｉ）中、Ｒ1は水素原子またはメチル基を表す。これらは、膜の強度、弾性率、粘弾性、耐熱性、現像性、ポリマーのＴｇ、溶解性、合成適性等を考慮して自由に選択することができる。
一般式（Ｉ）中、Ｒ2は酸素原子、−ＮＨ−基または−Ｎ（Ｒ3−Ｒ4）−基を表す。これらについても、膜の強度、弾性率、粘弾性、耐熱性、現像性、合成適性、ポリマーのＴｇ、溶解性等を考慮して自由に選択することができる。
【００２４】
一般式（Ｉ）中、Ｒ3は置換基を有していても良い二価の基を表す。前記Ｒ3として、好適には、置換基を有していてもよい炭素数１〜３０の二価のアルキレン基、アルキレンオキシ基またはエチルオキシカルボニルアミノエチル基から選択される基が挙げられる。
【００２５】
前記Ｒ3で表される二価の基としては、炭素数１〜２５の二価のアルキレン基、アルキレンオキシ基またはエチルオキシカルボニルアミノエチル基が好ましく、炭素数１〜２０の二価のアルキレン基、アルキレンオキシ基またはエチルオキシカルボニルアミノエチル基がさらに好ましく、メチレン基、エチレン基、プロピレン基、ブチレン基、エチレンオキシ基、ジエチレンオキシ基、トリエチレンオキシ基、エチルオキシカルボニルアミノエチル基が特に好ましい。これらの基は置換基を有していても良い。
【００２６】
前記Ｒ3の置換基としては、炭素数１〜２０のアルキル基が好ましく、なかでも、炭素数１〜１５のアルキル基が好ましく、炭素数１〜１０のアルキル基がさらに好ましく、炭素数１〜７のアルキル基が特に好ましい。
前記置換基として具体的には、原料および合成適性等を考慮すると、メチル基、エチル基、分岐または直鎖のプロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基が最も好ましい。
但し、アルコール系水酸基はＴｇを低下させる場合があるため、好ましい例から除外される。
【００２７】
Ｒ4は不飽和二重結合を含む基を表し、具体的には、ビニルオキシ基、アリルオキシ基、（メタ）アクリロイルオキシ基、４−ビニルフェニルオキシ基、４−ビニルフェニルメチルオキシ基、ビニルエステル基等が好ましい。中でも、Ｒ4としては、ビニルオキシ基、アリルオキシ基、（メタ）アクリロイルオキシ基、４−ビニルフェニルメチルオキシ基、ビニルエステル基がより好ましく、アリルオキシ基、（メタ）アクリロイルオキシ基、４−ビニルフェニルメチルオキシ基が特に好ましい。
【００２８】
一般式（Ｉ）で表される構造単位を含む本発明におけるバインダーのＴｇは、バインダー自体の分子量、分子構造、水素結合性相互作用の利用等により調整可能であり、併用するバインダーのＴｇ、併用するバインダーおよび他の成分との親和性、系全体の粘弾性等を考慮して決定される。バインダーのＴｇが低すぎると、形成されたパターンの耐熱性が低下し、熱フローという問題が発生する。また塗布膜の粘着性が増加し、作業性が低下する等の問題も発生する。この点からもアルコール系水酸基をバインダー中に含有することは好ましくない。また、アルコール系水酸基は比較的水素結合性相互作用も弱い為、この観点からも大きな効果を発揮できない場合が多い。
本発明におけるバインダーのＴｇは、２０〜２５０℃の範囲にあることが好ましく、３０〜２５０℃の範囲にあることが更に好ましく、４０〜２５０℃の範囲にあることが特に好ましい。また、本発明におけるバインダーは、他のバインダーと併用することも可能である。尚、前記他のバインダーについては後述する。
【００２９】
本発明におけるバインダー中の一般式（Ｉ）で表される構造単位のモル分率は、９５〜５モル％が好ましく、９０〜１０モル％が更に好ましく、８５〜１５モル％が特に好ましい。
【００３０】
本発明におけるバインダーの分子量は、重量平均分子量で、５００〜１０００００００Ｄａ（ダルトン：分子量の単位）が好ましく、１０００〜５００００００Ｄａが更に好ましく、２０００〜５００００００Ｄａが特に好ましい。
【００３１】
一般式（Ｉ）で表される構造単位とともに本発明におけるバインダーを構成する成分（いわゆる共重合成分）としては、（二元以上の）共重合が可能であれば特に限定されない。前記共重合成分としては、例えば、特開昭５９−４４６１５号、特公昭５４−３４３２７号、特公昭５８−１２５７７号、特公昭５４−２５９５７号、特開昭５９−５３８３６号、特開昭５９−７１０４８号明細書に記載されているようなメタクリル酸共重合体、アクリル酸共重合体、イタコン酸共重合体、クロトン酸共重合体、（無水）マレイン酸共重合体、部分エステル化マレイン酸共重合体、部分アミド化マレイン酸共重合体に使用されているモノマー、（メタ）アクリレート類、（メタ）アクリルアミド類、ビニル基を有する芳香族炭化水素環類、ビニル基を有するヘテロ芳香族環類、無水マレイン酸、イタコン酸エステル類、クロトン酸エステル類、（メタ）アクリロニトリル、（メタ）クロトンニトリル、各種スチレン類、各種ベンゾイルオキシエチレン類、各種アセトキシエチレン類、ビニルカルバゾール類、ビニルピロリドン、等が挙げられる。
【００３２】
この中でも、前記共重合成分としては、（メタ）アクリル酸、置換基を有していても良い炭素数１〜２５の（シクロ）アルキル（メタ）アクリレート、置換基を有していても良い炭素数１〜２５のビシクロ環を有する（メタ）アクリレート、置換基を有していても良い炭素数１〜２５のアラルキル（メタ）アクリレート、置換基を有していても良い炭素数１〜２５のアリール（メタ）アクリレート、
【００３３】
（メタ）アクリルアミド、置換基を有していても良い炭素数１〜２５の２級または３級の（シクロ）アルキル（メタ）アクリルアミド、置換基を有していても良い炭素数１〜２５の２級または３級のビシクロ環を有する（メタ）アクリルアミド、置換基を有していても良い炭素数１〜２５の２級または３級のアラルキル（メタ）アクリルアミド、置換基を有していても良い炭素数１〜２５の２級または３級のアリール（メタ）アクリルアミド、置換基を有していても良い炭素数１〜２５の（メタ）アクリロイルモルホリン、
【００３４】
ビニル基を有する置換または無置換の炭素数１〜２５の芳香族炭化水素環、ビニル基を有する置換または無置換の炭素数１〜２５のヘテロ芳香族環、無水マレイン酸、置換または無置換の炭素数１〜２５の（α−メチル−）スチレン、ビニルイミダゾール、ビニルトリアゾール、無水マレイン酸、置換または無置換の炭素数１〜２５の部分エステル化マレイン酸共重合体、置換または無置換の炭素数１〜２５の部分アミド化マレイン酸、メチルジャスモネート、
【００３５】
イタコン酸、置換基を有していても良い炭素数１〜２５のイタコン酸（シクロ）アルキルエステル、置換基を有していても良い炭素数１〜２５のビシクロ環を有するイタコン酸エステル、置換基を有していても良い炭素数１〜２５のイタコン酸アラルキルエステル、置換基を有していても良い炭素数１〜２５のイタコン酸アリールエステル、
【００３６】
クロトン酸、置換基を有していても良い炭素数１〜２５のクロトン酸（シクロ）アルキルエステル、置換基を有していても良い炭素数１〜２５のビシクロ環を有するクロトン酸エステル、置換基を有していても良い炭素数１〜２５のクロトン酸アラルキルエステル、置換基を有していても良い炭素数１〜２５のクロトン酸アリールエステル、
【００３７】
置換基を有していても良い炭素数１〜２５のベンゾイルオキシエチレン類、置換基を有していても良い炭素数１〜２５のアセトキシエチレン類、（メタ）アクリロニトリル、（メタ）クロトンニトリル、置換基を有していても良い炭素数１〜２５のビニルカルバゾール、ビニルピロリドン、が好ましい。
【００３８】
これらなかでも中でも、（メタ）アクリル酸、置換基を有していても良い炭素数１〜２０の（シクロ）アルキル（メタ）アクリレート、置換基を有していても良い炭素数１〜２０のビシクロ環を有する（メタ）アクリレート、置換基を有していても良い炭素数１〜２０のアラルキル（メタ）アクリレート、置換基を有していても良い炭素数１〜２０のアリール（メタ）アクリレート、
【００３９】
（メタ）アクリルアミド、置換基を有していても良い炭素数１〜２０の２級または３級の（シクロ）アルキル（メタ）アクリルアミド、置換基を有していても良い炭素数１〜２０の２級または３級のビシクロ環を有する（メタ）アクリルアミド、置換基を有していても良い炭素数１〜２０の２級または３級のアラルキル（メタ）アクリルアミド、置換基を有していても良い炭素数１〜２０の２級または３級のアリール（メタ）アクリルアミド；置換基を有していても良い炭素数１〜２０の（メタ）アクリロイルモルホリン、
【００４０】
ビニル基を有する置換または無置換の炭素数１〜２０の芳香族炭化水素環、ビニル基を有する置換または無置換の炭素数の１〜２０ヘテロ芳香族環、無水マレイン酸、置換または無置換の炭素数１〜２０の部分エステル化マレイン酸共重合体、置換または無置換の炭素数１〜２０の部分アミド化マレイン酸、置換または無置換の炭素数１〜２０の（α−メチル−）スチレン類、メチルジャスモネート、
【００４１】
イタコン酸、置換基を有していても良い炭素数１〜２０のイタコン酸（シクロ）アルキルエステル、置換基を有していても良い炭素数１〜２０のビシクロ環を有するイタコン酸エステル、置換基を有していても良い炭素数１〜２０のイタコン酸アラルキルエステル、置換基を有していても良い炭素数１〜２０のイタコン酸アリールエステル、
【００４２】
クロトン酸、置換基を有していても良い炭素数１〜２０のクロトン酸（シクロ）アルキルエステル、置換基を有していても良い炭素数１〜２０のビシクロ環を有するクロトン酸エステル、置換基を有していても良い炭素数１〜２０のクロトン酸アラルキルエステル、置換基を有していても良い炭素数１〜２０のクロトン酸アリールエステル、
【００４３】
置換基を有していても良い炭素数１〜２０のベンゾイルオキシエチレン類、置換基を有していても良い炭素数１〜２０のアセトキシエチレン類、置換基を有していても良い炭素数１〜２０のビニルカルバゾール、ビニルピロリドン；（メタ）アクリロニトリル、（メタ）クロトンニトリル、がより好ましい。
【００４４】
さらに、これらの中でも、（メタ）アクリル酸、置換基を有していても良い、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、直鎖または分岐のプロピル（メタ）アクリレート、直鎖または分岐のブチル（メタ）アクリレート、直鎖または分岐のペンチル（メタ）アクリレート、ノルマルヘキシル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、ノルマルヘプチル（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシル（メタ）アクリレート、ノルマルオクチル（メタ）アクリレート、ノルマルデシル（メタ）アクリレート、ノルマルドデシル（メタ）アクリレート、
【００４５】
置換基を有していても良いアダマンチル（メタ）アクリレート、イソボルニル（メタ）アクリレート、ノルボルナンメチル（メタ）アクリレート、ノルボルネンメチル（メタ）アクリレート；置換基を有していても良いベンジル（メタ）アクリレート、ナフチルメチル（メタ）アクリレート、アントラセンメチル（メタ）アクリレート、フェニルエチル（メタ）アクリレート；置換基を有していても良いフェニル（メタ）アクリレート、ナフチル（メタ）アクリレート、
【００４６】
（メタ）アクリルアミド、置換基を有していても良い（ジ）メチル（メタ）アクリルアミド、（ジ）エチル（メタ）アクリルアミド、直鎖または分岐の（ジ）プロピル（メタ）アクリルアミド、直鎖または分岐の（ジ）ブチル（メタ）アクリルアミド、直鎖または分岐の（ジ）ペンチル（メタ）アクリルアミド、（ジ）ノルマルヘキシル（メタ）アクリルアミド、（ジ）シクロヘキシル（メタ）アクリルアミド、（ジ−）２−エチルヘキシル（メタ）アクリルアミド；置換基を有していても良いアダマンチル（メタ）アクリルアミド、ノルアダマンチル（メタ）アクリルアミド；置換基を有していても良いベンジル（メタ）アクリルアミド、ナフチルエチル（メタ）アクリルアミド、フェニルエチル（メタ）アクリルアミド；置換基を有していても良い（ジ）フェニル（メタ）アクリルアミド、ナフチル（メタ）アクリルアミド、（メタ）アクリロイルモルホリン、ピペリジルアクリルアミド、ピロリジルアクリルアミド、
【００４７】
（α−メチル−）スチレン、ビニルピリジン、ビニルイミダゾール、ビニルトリアゾール、無水マレイン酸、メチルジャスモネート；イタコン酸；クロトン酸、置換基を有していても良い、メチルクロトネート、エチル（クロトネート、直鎖または分岐のプロピルクロトネート、直鎖または分岐のブチルクロトネート、直鎖または分岐のペンチルクロトネート、ノルマルヘキシルクロトネート、シクロヘキシルクロトネート、ノルマルヘプチルクロトネート、２−エチルヘキシルクロトネート、ノルマルオクチルクロトネート、ノルマルデシルクロトネート、ノルマルドデシルクロトネート；置換基を有していても良いアダマンチルクロトネート、イソボルニルクロトネート、ノルボルナンメチルクロトネート、ノルボルネンメチルクロトネート；置換基を有していても良いベンジルクロトネート、ナフチルメチルクロトネート、アントラセンメチルクロトネート、フェニルエチルクロトネート；
置換基を有していても良いフェニルクロトネート、ナフチルクロトネート、
【００４８】
置換基を有していても良いベンゾイルオキシエチレン、置換基を有していても良いアセトキシエチレン、置換基を有していても良いビニルカルバゾール、ビニルピロリドン等が特に好ましい。
また、前記のカルボキシル基は、金属塩となっていても良い。
【００４９】
前記置換基としては、炭素数１〜２０のアルキル基、炭素数１〜２０のアルコキシ基、炭素数１〜２０のアラルキル基、炭素数１〜２０のアリール基、炭素数１〜２０のアシルオキシ基、炭素数１〜２０のアシル基、炭素数１〜２０のアルコキシカルボニル基、炭素数１〜２０のアリールカルボニル基、炭素数１〜２０のジアルキルアミノ基、炭素数１〜２０のアルキルアミノ基、ハロゲン原子、シアノ基、フリル基、フルフリル基、テトラヒドロフリル基、テトラヒドロフルフリル基、アルキルチオ基、トリメチルシリル基、トリフルオロメチル基、カルボキシル基、チエニル基、モルホリノ基、モルホリノカルボニル基、等が好ましい。
【００５０】
こられの中でも前記置換基としては、炭素数１〜１５のアルキル基、炭素数１〜１５のアルコキシ基、炭素数１〜１５のアラルキル基、炭素数１〜１５のアリール基、炭素数１〜１５のアシルオキシ基、炭素数１〜１５のアシル基、炭素数１〜１５のアルコキシカルボニル基、炭素数１〜１５のアリールカルボニル基、炭素数１〜１５のジアルキルアミノ基、炭素数１〜１５のアルキルアミノ基、ハロゲン原子、シアノ基、フリル基、フルフリル基、テトラヒドロフリル基、テトラヒドロフルフリル基、アルキルチオ基、トリメチルシリル基、トリフルオロメチル基、カルボキシル基、チエニル基、モルホリノ基、モルホリノカルボニル基、等がより好ましい。
【００５１】
さらに、前記置換基としては、メチル基、エチル基、直鎖または分岐のプロピル基、直鎖または分岐のブチル基、直鎖または分岐のペンチル基、ノルマルヘキシル基、シクロヘキシル基、ノルマルヘプチル基、２−エチルヘキシル基、ノルマルオクチル基、ノルマルデシル基、ノルマルドデシル基、メチルオキシ基、エチルオキシ基、直鎖または分岐のプロピルオキシ基、直鎖または分岐のブチルオキシ基、直鎖または分岐のペンチルオキシ基、ノルマルヘキシルオキシ基、シクロヘキシルオキシ基、ノルマルヘプチルオキシ基、２−エチルヘキシルオキシ基、ノルマルオクチルオキシ基、ノルマルデシルオキシ基、ノルマルドデシルオキシ基、ベンジル基、フェネチル基、ナフチルメチル基、ナフチルエチル基、フェニル基、ナフチル基、
【００５２】
メチルカルボニルオキシ基、エチルカルボニルオキシ基、直鎖または分岐のプロピルカルボニルオキシ基、直鎖または分岐のブチルカルボニルオキシ基、直鎖または分岐のペンチルカルボニルオキシ基、ノルマルヘキシルカルボニルオキシ基、シクロヘキシルカルボニルオキシ基、ノルマルヘプチルカルボニルオキシ基、２−エチルヘキシルカルボニルオキシ基、ノルマルオクチルカルボニルオキシ基、ノルマルデシルカルボニルオキシ基、ノルマルドデシルカルボニルオキシ基、
【００５３】
メチルカルボニル基（アセチル基）、エチルカルボニル基、直鎖または分岐のプロピルカルボニル基、直鎖または分岐のブチルカルボニル基、直鎖または分岐のペンチルカルボニル基、ノルマルヘキシルカルボニル基、シクロヘキシルカルボニル基、ノルマルヘプチルカルボニル基、２−エチルヘキシルカルボニル基、ノルマルオクチルカルボニル基、ノルマルデシルカルボニル基、ノルマルドデシルカルボニル基、
【００５４】
メチルオキシカルボニル基、エチルオキシカルボニル基、直鎖または分岐のプロピルオキシカルボニル基、直鎖または分岐のブチルオキシカルボニル基、直鎖または分岐のペンチルオキシカルボニル基、ノルマルヘキシルオキシカルボニル基、シクロヘキシルオキシカルボニル基、ノルマルヘプチルオキシカルボニル基、２−エチルヘキシルオキシカルボニル基、ノルマルオクチルオキシカルボニル基、ノルマルデシルオキシカルボニル基、ノルマルドデシルオキシカルボニル基、
【００５５】
ベンゾイル基、ナフチルカルボニル基；（ジ）メチルアミノ基、（ジ）エチルアミノ基、直鎖または分岐の（ジ）プロピルアミノ基、直鎖または分岐の（ジ）ブチルアミノ基、直鎖または分岐の（ジ）ペンチルアミノ基、（ジ）ノルマルヘキシルアミノ基、（ジ）シクロヘキシルアミノ基、（ジ）ノルマルヘプチルアミノ基、（ジ）２−エチルヘキシルアミノ基；フッ素原子、塩素原子、臭素原子；シアノ基、フリル基、フルフリル基、テトラヒドロフリル基、テトラヒドロフルフリル基、アルキルチオ基、トリメチルシリル基、トリフルオロメチル基、カルボキシル基、チエニル基、モルホリノ基、モルホリノカルボニル基、等が特に好ましい。
また、これらの置換基はさらに前記の置換基で置換されていても良い。但し、アルコール系水酸基はＴｇを低下させる場合があるため、好ましい置換基の例から除外される。
また、（メタ）アクリロニトリル、（メタ）クロトンニトリルも特に好ましい共重合成分（共重合モノマー）の例として挙げられる。
【００５６】
前記共重合性分としては、その他親水性を有するモノマーとして、燐酸、燐酸エステル、４級アンモニウム塩、エチレンオキシ鎖、プロピレンオキシ鎖、スルホン酸およびその塩、モルホリノエチル基等を含んだモノマー等も有用である。
前記のスルホン酸基、カルボン酸基は、金属塩となっていても良い。
本発明におけるバインダーにおいて、共重合するモノマーの種類や数は特に限定されないが、１〜１２種が好ましく、１〜８種がより好ましく、１〜５種が特に好ましい。
【００５７】
以下に本発明におけるバインダーの具体例（１）〜（１６）を挙げるが、本発明は、これらに限定されるものではない。
【００５８】
【化４】
【００５９】
【化５】
【００６０】
【化６】
【００６１】
（有機溶剤可溶性染料）
つぎに有機溶剤可溶性染料（以下、単に「染料」という場合がある。）について説明する。染料は、スルホン酸やカルボン酸等の酸性基を有する酸性染料、酸性染料と含窒素化合物との塩、酸性染料のスルホンアミド体等が使用でき、硬化性組成物溶液として溶解させることが出来るものであれば特に限定されないが、有機溶剤や現像液に対する溶解性、吸光度、硬化性組成物中の他の成分との相互作用、耐光性、耐熱性等の必要とする性能の全てを考慮して選択される。
【００６２】
以下に酸性染料の具体例を挙げるが、本発明はこれらに限定されるものではない。
ａｃｉｄ ａｌｉｚａｒｉｎ ｖｉｏｌｅｔ Ｎ；ａｃｉｄ ｂｌａｃｋ１，２，２４，４８；ａｃｉｄ ｂｌｕｅ１，７，９，２５，２９，４０，４５，６２，７０，７４，８０，８３，９０，９２，１１２，１１３，１２０，１２９，１４７；ａｃｉｄ ｃｈｒｏｍｅ ｖｉｏｌｅｔ Ｋ；ａｃｉｄ Ｆｕｃｈｓｉｎ；ａｃｉｄ ｇｒｅｅｎ １，３，５，２５，２７，５０；ａｃｉｄ ｏｒａｎｇｅ ６，７，８，１０，１２，５０，５１，５２，５６，６３，７４，９５；ａｃｉｄ ｒｅｄ １，４，８，１４，１７，１８，２６，２７，２９，３１，３４，３５，３７，４２，４４，５０，５１，５２，５７，６６，７３，８０，８７，８８，９１，９２，９４，９７，１０３，１１１，１１４，１２９，１３３，１３４，１３８，１４３，１４５，１５０，１５１，１５８，１７６，１８３，１９８，２１１，２１５，２１６，２１７，２４９，２５２，２５７，２６０，２６６，２７４；ａｃｉｄ ｖｉｏｌｅｔ ６Ｂ，７，９，１７，１９；ａｃｉｄ ｙｅｌｌｏｗ １，３，９，１１，１７，２３，２５，２９，３４，３６，４２，５４，７２，７３，７６，７９，９８，９９，１１１，１１２，１１４，１１６；ｆｏｏｄ ｙｅｌｌｏｗ ３，およびこれらの誘導体が挙げられる。
【００６３】
前記酸性染料のスルホンアミド体としては、前記酸性染料のスルホンアミド誘導体が好適に使用できる。
【００６４】
前記の有機溶剤可溶性染料の中でも、アゾ系、キサンテン系、アンスラキノン系若しくはフタロシアニン系の酸性染料、または、これらの酸性染料と含窒素化合物との塩、或いはこれらの酸性染料から誘導されるスルホンアミド化合物が特に好ましい。
【００６５】
前記酸性染料と塩を形成する含窒素化合物、および、前記酸性染料とアミド結合を形成する含窒素化合物について説明する。前記含窒素化合物は、塩またはアミド化合物の有機溶剤や現像液に対する溶解性、塩形成性、染料の吸光度・色価、硬化性組成物中の他の成分との相互作用等の全てを勘案して選択される。吸光度・色価の観点のみで選択すると、前記含窒素化合物はできるだけ分子量の低いものがこのましく、そのなかで、分子量２２０以下であることが好ましく、分子量２００以下であることがより好ましく、分子量１８０以下であることが特に好ましい。
以下に前記含窒素化合物の具体例を挙げるが、本発明はこれらに限定されるものではない。また、下記化合物中、「−ＮＨ−基」を有さないものは、アミド結合を形成する含窒素化合物ではない。
【００６６】
【化７】
【００６７】
【化８】
【００６８】
【化９】
【００６９】
【化１０】
【００７０】
【化１１】
【００７１】
【化１２】
【００７２】
【化１３】
【００７３】
【化１４】
【００７４】
【化１５】
【００７５】
【化１６】
【００７６】
【化１７】
【００７７】
つぎに有機溶剤可溶性染料の使用濃度について説明する。本発明の染料含有硬化性組成物の全固形成分中における染料の濃度は、染料の種類によって異なるが、０．５〜８０質量％が好ましく、０．５〜６０質量％がさらに好ましく、０．５〜５０質量％が特に好ましい。
【００７８】
本発明の染料含有硬化性組成物を、ネガ型の硬化性組成物に使用する場合は、染料および本発明におけるバインダーの他に、バインダーポリマー、光重合開始剤、光酸発生剤、モノマー、架橋剤、界面活性剤、熱重合禁止剤等を含んでもよい。
また、本発明の染料含有硬化性組成物を、ポジ型の硬化性組成物に使用する場合は、前記素材の他に、ナフトキノンジアジド化合物等のバインダーの溶解抑制剤、酸によりアルカリ溶解性が向上するバインダー等が含まれていてもよい。
以下、これらの材料について説明する。
【００７９】
（他のバインダー）
一般式（Ｉ）で表される構造単位を含むバインダーと併用する他のバインダーについて説明する。一般式（Ｉ）で表される構造単位を含むバインダーと併用する他のバインダーはアルカリ可溶性であれば、特に限定されないが、耐熱性、現像性、入手性等の観点から選ばれることが好ましい。
前記アルカリ可溶性のバインダーとしては、線状有機高分子重合体で、有機溶剤に可溶で、弱アルカリ水溶液で現像できるものが好ましい。このような線状有機高分子重合体としては、側鎖にカルボン酸を有するポリマー、例えば特開昭５９−４４６１５号、特公昭５４−３４３２７号、特公昭５８−１２５７７号、特公昭５４−２５９５７号、特開昭５９−５３８３６号、特開昭５９−７１０４８号の各公報に記載されているようなメタクリル酸共重合体、アクリル酸共重合体、イタコン酸共重合体、クロトン酸共重合体、マレイン酸共重合体、部分エステル化マレイン酸共重合体等があり、また同様に側鎖にカルボン酸を有する酸性セルロース誘導体が有用である。この他に水酸基を有するポリマーに酸無水物を付加させたもの等やポリヒドロキシスチレン系樹脂、ポリシロキサン系樹脂、ポリ（２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート）、ポリビニールピロリドンやポリエチレンオキサイド、ポリビニルアルコール、等も有用である。
また、上述した一般式（Ｉ）で表される構造単位とともに本発明におけるバインダーを構成する成分（いわゆる共重合成分）からなるバインダーも有用に使用される。
【００８０】
さらに、前記他のバインダーとして、親水性を有するモノマーを共重合したものであっても良く、この例としては、アルコキシアルキル（メタ）アクリレート、ヒドロキシアルキル（メタ）アクリレート、グリセロール（メタ）アクリレート、（メタ）アクリルアミド、Ｎ−メチロールアクリルアミド、２級および３級のアルキルアクリルアミド、ジアルキルアミノアルキル（メタ）アクリレート、モルホリン（メタ）アクリレート、Ｎ−ビニルピロリドン、Ｎ−ビニルカプロラクタム、ビニルイミダゾール、ビニルトリアゾール、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、分岐または直鎖のプロピル（メタ）アクリレート、分岐または直鎖のブチル（メタ）アクリレート、フェノキシヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート等が上げられる。
【００８１】
一般式（Ｉ）で表される構造単位を含み、ガラス転移温度（Ｔｇ）が０〜２５０℃の範囲にある本発明におけるバインダーと併用する他のバインダーは、系の粘弾性やＴｇを所望の範囲に維持できれば、アルコール系水酸基を含んでも構わない。
その他前記親水性を有するモノマーとしては、テトラヒドロフルフリル基、燐酸、燐酸エステル、４級アンモニウム塩、エチレンオキシ鎖、プロピレンオキシ鎖、スルホン酸およびその塩、モルホリノエチル基等を含んだモノマー等も有用である。
また、架橋効率を向上させるために、重合性基を側鎖に有してもよく、アリル基、（メタ）アクリル基、アリルオキシアルキル基等を側鎖に含有したポリマー等も有用である。これらの重合性基を含有するポリマーの例としては、ＫＳレジスト−１０６（大阪有機化学工業株式会社製）、サイクロマーＰシリーズ（ダイセル化学工業株式会社製）等が挙げられる。
【００８２】
さらに、前記他のバインダーとしては、硬化皮膜の強度をあげるためにアルコール可溶性ナイロンや２，２−ビス−（４−ヒドロキシフェニル）−プロパンとエピクロルヒドリンのポリエーテル等も有用である。
これら各種バインダーのなかでも、耐熱性の観点で、ポリヒドロキシスチレン系樹脂、ポリシロキサン系樹脂、アクリル系樹脂、アクリルアミド系樹脂、アクリル／アクリルアミド共重合体樹脂が好ましく、現像性制御の観点でアクリル系樹脂、アクリルアミド系樹脂、アクリル／アクリルアミド共重合体樹脂、一般式（Ｉ）で表される構造単位とともに高分子化合物を構成する成分（いわゆる共重合成分）からなるバインダーが好ましい。
前記アクリル系樹脂としては、ベンジル（メタ）アクリレート、（メタ）アクリル、ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、（メタ）アクリルアミド等から選ばれるモノマーからなる共重合体及び、ＫＳレジスト−１０６（大阪有機化学工業株式会社製）、サイクロマーＰシリーズ等が好ましい。
【００８３】
また、アルカリ可溶性フェノール樹脂も有用である。該アルカリ可溶性フェノール樹脂としては、例えばノボラック樹脂又はビニル重合体等が挙げられる。ノボラック樹脂としては、例えばフェノール類とアルデヒド類とを酸触媒の存在下に縮合させて得られるものが挙げられる。フェノール類としては、例えばフェノール、クレゾール、エチルフェノール、ブチルフェノール、キシレノール、フェニルフェノール、カテコール、レゾルシノール、ピロガロール、ナフトールもしくはビスフェノールＡ等が挙げられる。これらのフェノール類は単独で、或いは２種以上組み合わせて用いられる。アルデヒド類としては、例えばホルムアルデヒド、パラホルムアルデヒド、アセトアルデヒド、プロピオンアルデヒドもしくはベンズアルデヒド等が挙げられる。ノボラック樹脂として具体的には、例えばメタクレゾール、パラクレゾールもしくはこれらの混合物とホルマリンとの縮合生成物が挙げられる。これらのノボラック樹脂は分別等の手段を用いて分子量分布を調節してもよい。又、ビスフェノールＣもしくはビスフェノールＡ等のフェノール性水酸基を有する低分子量成分を前記ノボラック樹脂に混合してもよい。
【００８４】
前記他のバインダーの重量平均分子量（ＧＰＣ法で測定されたポリスチレン換算値）は、５００〜１０００００００Ｄａ（ダルトン：分子量の単位）が好ましく、１０００〜５００００００Ｄａが更に好ましく、２０００〜５００００００Ｄａが特に好ましい。
【００８５】
また、前記他のバインダーは、本発明におけるバインダーと併用して使用されるものであり、本発明におけるバインダーのみの使用で十分に性能を発揮できる場合は使用しなくても構わない。
また、本発明におけるバインダーと他のバインダーとを併用する場合、前記他のバインダーの本発明の染料含有硬化性組成物中の使用量は、組成物中の全固形分に対して０〜９０質量％が好ましく、０〜８０質量％がより好ましく、０〜７０質量％が特に好ましい。
【００８６】
〈架橋剤〉
本発明においては、補足的に架橋剤を用いて更に高度に硬化させた膜を得ることも可能である。以下、架橋剤について説明する。
本発明に使用可能な架橋剤としては、架橋反応により膜硬化を行えるものであれば特に限定はなく、例えば、（ａ）エポキシ樹脂、（ｂ）メチロール基、アルコキシメチル基、及びアシロキシメチル基から選ばれる少なくとも一つの置換基で置換された、メラミン化合物、グアナミン化合物、グリコールウリル化合物又はウレア化合物、（ｃ）メチロール基、アルコキシメチル基、及びアシロキシメチル基から選ばれる少なくとも一つの置換基で置換された、フェノール化合物、ナフトール化合物又はヒドロキシアントラセン化合物、が挙げられる。中でも、多感応エポキシ樹脂が好ましい。
【００８７】
前記（ａ）エポキシ樹脂としては、エポキシ基を有し、かつ架橋性を有するものであればいずれであってもよく、例えば、ビスフェノールＡジグリシジルエーテル、エチレングリコールジグリシジルエーテル、ブタンジオールジグリシジルエーテル、へキサンジオールジグリシジルエーテル、ジヒドロキシビフェニルジグリシジルエーテル、フタル酸ジグリシジルエステル、Ｎ，Ｎ−ジグリシジルアニリン等の２価のグリシジル基含有低分子化合物、同様に、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテル、トリメチロールフェノールトリグリシジルエーテル、ＴｒｉｓＰ−ＰＡトリグリシジルエーテル等に代表される３価のグリシジル基含有低分子化合物、同様に、ペンタエリスリトールテトラグリシジルエーテル、テトラメチロールビスフェノールＡテトラグリシジルエーテル等に代表される４価のグリシジル基含有低分子化合物、同様に、ジペンタエリスリトールペンタグリシジルエーテル、ジペンタエリスリトールヘキサグリシジルエーテル等の多価グリシジル基含有低分子化合物、ポリグリシジル（メタ）アクリレート、２，２−ビス（ヒドロキシメチル）−１−ブタノールの１，２−エポキシ−４−（２−オキシラニル）シクロヘキサン付加物等に代表されるグリシジル基含有高分子化合物、等が挙げられる。
【００８８】
前記架橋剤（ｂ）に含まれるメチロール基、アルコキシメチル基、アシロキシメチル基が置換している数としては、メラミン化合物の場合２〜６、グリコールウリル化合物、グアナミン化合物、ウレア化合物の場合は２〜４であるが、好ましくはメラミン化合物の場合５〜６、グリコールウリル化合物、グアナミン化合物、ウレア化合物の場合は３〜４である。
以下、前記（ｂ）のメラミン化合物、グアナミン化合物、グリコールウリル化合物及びウレア化合物を総じて、（ｂ）に係る(メチロール基、アルコキシメチル基又はアシロキシメチル基含有)化合物という。
【００８９】
前記（ｂ）に係るメチロール基含有化合物は、（ｂ）に係るアルコキシメチル基含有化合物をアルコール中で塩酸、硫酸、硝酸、メタンスルホン酸等の酸触媒存在下、加熱することにより得られる。前記（ｂ）に係るアシロキシメチル基含有化合物は、（ｂ）に係るメチロール基含有化合物を塩基性触媒存在下、アシルクロリドと混合攪拌することにより得られる。
【００９０】
以下、前記置換基を有する（ｂ）に係る化合物の具体例を挙げる。
前記メラミン化合物として、例えば、ヘキサメチロールメラミン、ヘキサメトキシメチルメラミン、ヘキサメチロールメラミンのメチロール基の１〜５個がメトキシメチル化した化合物又はその混合物、ヘキサメトキシエチルメラミン、ヘキサアシロキシメチルメラミン、ヘキサメチロールメラミンのメチロール基の１〜５個がアシロキシメチル化した化合物又はその混合物、などが挙げられる。
【００９１】
前記グアナミン化合物として、例えば、テトラメチロールグアナミン、テトラメトキシメチルグアナミン、テトラメチロールグアナミンの１〜３個のメチロール基をメトキシメチル化した化合物又はその混合物、テトラメトキシエチルグアナミン、テトラアシロキシメチルグアナミン、テトラメチロールグアナミンの１〜３個のメチロール基をアシロキシメチル化した化合物又はその混合物などが挙げられる。
【００９２】
前記グリコールウリル化合物としては、例えば、テトラメチロールグリコールウリル、テトラメトキシメチルグリコールウリル、テトラメチロールグリコールウリルのメチロール基の１〜３個をメトキシメチル化した化合物又はその混合物、テトラメチロールグリコールウリルのメチロール基の１〜３個をアシロキシメチル化した化合物又はその混合物、などが挙げられる。
【００９３】
前記ウレア化合物として、例えば、テトラメチロールウレア、テトラメトキシメチルウレア、テトラメチロールウレアの１〜３個のメチロール基をメトキシメチル化した化合物又はその混合物、テトラメトキシエチルウレア、などが挙げられる。
これら（ｂ）に係る化合物は、単独で使用してもよく、組合わせて使用してもよい。
【００９４】
前記（ｃ）の架橋剤、即ち、メチロール基、アルコキシメチル基、及びアシロキシメチル基から選ばれる少なくとも一つの基で置換された、フェノール化合物、ナフトール化合物又はヒドロキシアントラセン化合物は、前記架橋剤（ｂ）の場合と同様、熱架橋により上塗りフォトレジストとのインターミキシングを抑制すると共に、膜強度を更に高めるものである。以下、これら化合物を総じて、（ｃ）に係るメチロール基、アルコキシメチル基又はアシロキシメチル基含有化合物ということがある。
【００９５】
前記架橋剤（ｃ）に含まれるメチロール基、アシロキシメチル基又はアルコキシメチル基の数としては、一分子当り最低２個必要であり、熱架橋性及び保存安定性の観点から、骨格となるフェノール化合物の２位，４位が全て置換されている化合物が好ましい。また、骨格となるナフトール化合物、ヒドロキシアントラセン化合物も、ＯＨ基のオルト位、パラ位が全て置換されている化合物が好ましい。前記フェノール化合物の３位又は５位は、未置換であっても置換基を有していてもよい。
前記ナフトール化合物においても、ＯＨ基のオルト位以外は、未置換であっても置換基を有していてもよい。
【００９６】
前記（ｃ）に係るメチロール基含有化合物は、フェノール性ＯＨ基の２位又は４位が水素原子である化合物を原料に用い、これを水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、アンモニア、テトラアルキルアンモニウムヒドロキシド等の、塩基性触媒の存在下でホルマリンと反応させることにより得られる。
前記（ｃ）に係るアルコキシメチル基含有化合物は、（ｃ）に係るメチロール基含有化合物をアルコール中で塩酸、硫酸、硝酸、メタンスルホン酸等の酸触媒の存在下で加熱することにより得られる。
前記（ｃ）に係るアシロキシメチル基含有化合物は、（ｃ）に係るメチロール基含有化合物を塩基性触媒の存在下アシルクロリドと反応させることにより得られる。
【００９７】
架橋剤（ｃ）における骨格化合物としては、フェノール性ＯＨ基のオルト位又はパラ位が未置換の、フェノール化合物、ナフトール、ヒドロキシアントラセン化合物等が挙げられ、例えば、フェノール、クレゾールの各異性体、２，３−キシレノ−ル、２，５−キシレノ−ル、３，４−キシレノール、３，５−キシレノール、ビスフェノールＡなどのビスフェノール類、４，４’−ビスヒドロキシビフェニル、ＴｒｉｓＰ−ＰＡ（本州化学工業（株）製）、ナフトール、ジヒドロキシナフタレン、２，７−ジヒドロキシアントラセン、等が使用される。
【００９８】
前記架橋剤（ｃ）の具体例としては、フェノール化合物として、例えば、トリメチロールフェノール、トリ（メトキシメチル）フェノール、トリメチロールフェノールの１〜２個のメチロール基をメトキシメチル化した化合物、トリメチロール−３−クレゾール、トリ（メトキシメチル）−３−クレゾール、トリメチロール−３−クレゾールの１〜２個のメチロール基をメトキシメチル化した化合物、２，６−ジメチロール−４−クレゾール等のジメチロールクレゾール、テトラメチロールビスフェノールＡ、テトラメトキシメチルビスフェノールＡ、テトラメチロールビスフェノールＡの１〜３個のメチロール基をメトキシメチル化した化合物、テトラメチロール−４，４’−ビスヒドロキシビフェニル、テトラメトキシメチル−４，４’−ビスヒドロキシビフェニル、ＴｒｉｓＰ−ＰＡのヘキサメチロール体、ＴｒｉｓＰ−ＰＡのヘキサメトキシメチル体、ＴｒｉｓＰ−ＰＡのヘキサメチロール体の１〜５個のメチロール基をメトキシメチル化した化合物、ビスヒドロキシメチルナフタレンジオール、等が挙げられる。
【００９９】
また、ヒドロキシアントラセン化合物として、例えば、１，６−ジヒドロキシメチル−２，７−ジヒドロキシアントラセン等が挙げられ、アシロキシメチル基含有化合物として、例えば、前記メチロール基含有化合物のメチロール基を、一部又は全部アシロキシメチル化した化合物等が挙げられる。
【０１００】
これらの化合物の中で好ましいものとしては、トリメチロールフェノール、ビスヒドロキシメチル−ｐ−クレゾール、テトラメチロールビスフェノールＡ、ＴｒｉｓＰ−ＰＡ（本州化学工業（株）製）のヘキサメチロール体又はそれらのメチロール基がアルコキシメチル基及びメチロール基とアルコキシメチル基の両方で置換されたフェノール化合物が挙げられる。
これら（ｃ）に係る化合物は、単独で使用してもよく、組合わせて使用してもよい。
【０１０１】
本発明においては、前記架橋剤を必ずしも含有する必要はない。含有する場合、架橋剤（ａ）〜（ｃ）の染料含有硬化性組成物における総含有量としては、素材により異なるが、該硬化性組成物の固形分（質量）に対して、０〜７０質量％が好ましく、０〜５０質量％がより好ましく、０〜３０質量％が特に好ましい。
【０１０２】
〈モノマー若しくはオリゴマー〉
次に、少なくとも１つのエチレン性不飽和基を有するモノマー若しくはオリゴマーについて説明する。
少なくとも１つのエチレン性不飽和基を有するモノマー若しくはオリゴマーとしては、少なくとも１つの付加重合可能なエチレン性二重結合を有する、常圧下で１００℃以上の沸点を持つ化合物が好ましい。後述の光重合開始剤等と共に含有することにより、本発明の染料含有硬化性組成物をネガ型に構成することができ、また、硬化性を更に向上させる観点から、ポジ型の染料含有硬化性組成物に含有してもよい。
【０１０３】
その例としては、ポリエチレングリコールモノ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールモノ（メタ）アクリレート、フェノキシエチル（メタ）アクリレート、等の単官能のアクリレートやメタアクリレート；ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、トリメチロールエタントリ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、ヘキサンジオール（メタ）アクリレート、
【０１０４】
トリメチロールプロパントリ（アクリロイルオキシプロピル）エーテル、トリ（アクリロイロキシエチル）イソシアヌレート、グリセリンやトリメチロールエタン等の多官能アルコールにエチレンオキサイドやプロピレンオキサイドを付加させた後（メタ）アクリレート化したもの、特公昭４８−４１７０８号、特公昭５０−６０３４号、特開昭５１−３７１９３号の各公報に記載されているようなウレタンアクリレート類、特開昭４８−６４１８３号、特公昭４９−４３１９１号、特公昭５２−３０４９０号各公報に記載されているポリエステルアクリレート類、エポキシ樹脂と（メタ）アクリル酸の反応生成物であるエポキシアクリレート類等の多官能のアクリレートやメタアクリレート及びこれらの混合物を挙げることができる。更に、日本接着協会誌Ｖol．２０、Ｎo.７、３００〜３０８頁に光硬化性モノマー及びオリゴマーとして紹介されているものが挙げられる。
【０１０５】
〈光重合開始剤等〉
次に、光重合開始剤について説明する。光重合開始剤は、本発明の染料含有硬化性組成物をネガ型に構成する場合に、前記モノマー等と共に含有し、また、ポジ型に構成する場合に必要に応じて含有される。光重合開始剤としては、前記モノマー若しくはオリゴマーを重合させ得るものであれば、特に限定されないが、特性、開始効率、吸収波長、入手性、コスト等の観点で選ばれるのが好ましい。
【０１０６】
前記光重合開始剤としては、例えば、ハロメチルオキサジアゾール化合物及びハロメチル−ｓ−トリアジン化合物から選択される少なくとも一つの活性ハロゲン化合物、３−アリール置換クマリン化合物、ロフィン２量体、ベンゾフェノン化合物、アセトフェノン化合物及びその誘導体、シクロペンタジエン−ベンゼン−鉄錯体及びその塩、オキシム系化合物、等が挙げられる。
【０１０７】
ハロメチルオキサジアゾール化合物である活性ハロゲン化合物としては、特公昭５７−６０９６号公報に記載の２−ハロメチル−５−ビニル−１，３，４−オキサジアゾール化合物等や、２−トリクロロメチル−５−スチリル−１，３，４−オキサジアゾール、２−トリクロロメチル−５−（ｐ−シアノスチリル）−１，３，４−オキサジアゾール、２−トリクロロメチル−５−（ｐ−メトキシスチリル）−１，３，４−オキサジアゾール、等が挙げられる。
【０１０８】
ハロメチル−ｓ−トリアジン系化合物である活性ハロゲン化合物としては、特公昭５９−１２８１号公報に記載のビニル−ハロメチル−ｓ−トリアジン化合物、特開昭５３−１３３４２８号公報に記載の２−（ナフト−１−イル）−４，６−ビス−ハロメチル−ｓ−トリアジン化合物及び４−（ｐ−アミノフェニル）−２，６−ジ−ハロメチル−ｓ−トリアジン化合物、等が挙げられる。
【０１０９】
具体的には、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−ｐ−メトキシスチリル−ｓ−トリアジン、２，６−ビス（トリクロロメチル）−４−（３，４−メチレンジオキシフェニル）−１，３，５−トリアジン、２，６−ビス（トリクロロメチル）−４−（４−メトキシフェニル）−１，３，５−トリアジン、２，４−ビス（トリクロロメチル）−６−（１−ｐ−ジメチルアミノフェニル−１，３−ブタジエニル）−ｓ−トリアジン、２−トリクロロメチル−４−アミノ−６−ｐ−メトキシスチリル−ｓ−トリアジン、２−（ナフト−１−イル）−４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリアジン、２−（４−メトキシ−ナフト−１−イル）−４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリアジン、２−（４−エトキシ−ナフト−１−イル）−４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリアジン、２−（４−ブトキシ−ナフト−１−イル）−４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリアジン、２−〔４−（２−メトキシエチル）−ナフト−１−イル〕−４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリアジン、
【０１１０】
２−〔４−（２−エトキシエチル）−ナフト−１−イル〕−４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリアジン、２−〔４−（２−ブトキシエチル）−ナフト−１−イル〕−４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリアジン、２−（２−メトキシ−ナフト−１−イル）−４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリアジン、２−（６−メトキシ−５−メチル−ナフト−２−イル）−４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリアジン、２−（６−メトキシ−ナフト−２−イル）−４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリアジン、２−（５−メトキシ−ナフト−１−イル）−４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリアジン、２−（４，７−ジメトキシ−ナフト−１−イル）−４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリアジン、２−（６−エトキシ−ナフト−２−イル）−４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリアジン、２−（４，５−ジメトキシ−ナフト−１−イル）−４，６−ビス−トリクロロメチル−ｓ−トリアジン、
【０１１１】
４−〔ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（エトキシカルボニルメチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｏ−メチル−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（エトキシカルボニルメチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（クロロエチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｏ−メチル−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（クロロエチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｐ−Ｎ−クロロエチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｐ−Ｎ−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（フェニル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｐ−Ｎ−クロロエチルカルボニルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、
【０１１２】
４−〔ｐ−Ｎ−（ｐ−メトキシフェニル）カルボニルアミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｍ−Ｎ，Ｎ−ジ（エトキシカルボニルメチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｍ−ブロモ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（エトキシカルボニルメチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｍ−クロロ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（エトキシカルボニルメチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｍ−フロロ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（エトキシカルボニルメチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｏ−ブロモ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（エトキシカルボニルメチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｏ−クロロ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（エトキシカルボニルメチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、
【０１１３】
４−〔ｏ−フロロ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（エトキシカルボニルメチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｏ−ブロモ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（クロロエチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｏ−クロロ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（クロロエチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｏ−フロロ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（クロロエチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｍ−ブロモ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（クロロエチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−〔ｍ−クロロ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（クロロエチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、
【０１１４】
４−〔ｍ−フロロ−ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（クロロエチル）アミノフェニル〕−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｍ−ブロモ−ｐ−Ｎ−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｍ−クロロ−ｐ−Ｎ−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｍ−フロロ−ｐ−Ｎ−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｏ−ブロモ−ｐ−Ｎ−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｏ−クロロ−ｐ−Ｎ−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、
【０１１５】
４−（ｏ−フロロ−ｐ−Ｎ−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｍ−ブロモ−ｐ−Ｎ−クロロエチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｍ−クロロ−ｐ−Ｎ−クロロエチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｍ−フロロ−ｐ−Ｎ−クロロエチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｏ−ブロモ−ｐ−Ｎ−クロロエチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｏ−クロロ−ｐ−Ｎ−クロロエチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン、４−（ｏ−フロロ−ｐ−Ｎ−クロロエチルアミノフェニル）−２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン等が挙げられる。
【０１１６】
その他、緑化学社製のＴＡＺシリーズ（例えば、ＴＡＺ−１０７、ＴＡＺ−１１０、ＴＡＺ−１０４、ＴＡＺ−１０９、ＴＡＺ−１４０、ＴＡＺ−２０４、ＴＡＺ−１１３、ＴＡＺ−１２３、ＴＡＺ−１０４）、ＰＡＮＣＨＩＭ社製のＴシリーズ（例えば、Ｔ−ＯＭＳ、Ｔ−ＢＭＰ、Ｔ−Ｒ、Ｔ−Ｂ）、チバガイギー社製のイルガキュアシリーズ（例えば、イルガキュア６５１、イルガキュア１８４、イルガキュア５００、イルガキュア１０００、イルガキュア１４９、イルガキュア８１９、イルガキュア２６１）、ダロキュアシリーズ（例えばダロキュア１１７３）、４，４′−ビス（ジエチルアミノ）−ベンゾフェノン、２−（Ｏ−ベンゾイルオキシム）−１−[４−（フェニルチオ）フェニル]−１，２−オクタンジオン、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−４−モルホリノブチロフェノン、２，２−ジメトキシ−２−フェニルアセトフェノン、
【０１１７】
２−（ｏ−クロルフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾリル二量体、２−（ｏ−フルオロフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾリル二量体、２−（ｏ−メトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾリル二量体、２−（ｐ−メトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾリル二量体、２−（ｐ−ジメトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾリル二量体、２−（２，４−ジメトキシフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾリル二量体、２−（ｐ−メチルメルカプトフェニル）−４，５−ジフェニルイミダゾリル二量体、ベンゾインイソプロピルエーテル、等も有用に用いられる。
【０１１８】
これら光重合開始剤には、増感剤や光安定剤を併用することができる。
その具体例として、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾイン、９−フルオレノン、２−クロロ−９−フルオレノン、２−メチル−９−フルオレノン、９−アントロン、２−ブロモ−９−アントロン、２−エチル−９−アントロン、９，１０−アントラキノン、２−エチル−９，１０−アントラキノン、２−ｔ−ブチル−９，１０−アントラキノン、２，６−ジクロロ−９，１０−アントラキノン、キサントン、２−メチルキサントン、２−メトキシキサントン、２−メトキシキサントン、チオキサントン、２，４−ジエチルチオキサントン、アクリドン、１０−ブチル−２−クロロアクリドン、ベンジル、ジベンジルアセトン、ｐ−（ジメチルアミノ）フェニルスチリルケトン、ｐ−（ジメチルアミノ）フェニル−ｐ−メチルスチリルケトン、ベンゾフェノン、ｐ−（ジメチルアミノ）ベンゾフェノン（又はミヒラーケトン）、ｐ−（ジエチルアミノ）ベンゾフェノン、ベンゾアントロン等や特公昭５１−４８５１６号公報記載のベンゾチアゾール系化合物等や、チヌビン１１３０、同４００等が挙げられる。
【０１１９】
本発明の染料含有硬化性組成物には、上述の光重合開始剤のほかに他の公知の開始剤を使用することができる。
具体的には、米国特許第２，３６７，６６０号明細書に開示されているビシナールポリケトルアルドニル化合物、米国特許第２，３６７，６６１号及び第２，３６７，６７０号明細書に開示されているα−カルボニル化合物、米国特許第２，４４８，８２８号明細書に開示されているアシロインエーテル、米国特許第２，７２２，５１２号明細書に開示されているα−炭化水素で置換された芳香族アシロイン化合物、米国特許第３，０４６，１２７号及び第２，９５１，７５８号明細書に開示されている多核キノン化合物、米国特許第３，５４９，３６７号明細書に開示されているトリアリルイミダゾールダイマー／ｐ−アミノフェニルケトンの組合せ、特公昭５１−４８５１６号公報に開示されているベンゾチアゾール系化合物／トリハロメチール−ｓ−トリアジン系化合物、等を挙げることができる。
【０１２０】
光重合開始剤（及び公知の開始剤）の総使用量としては、前記モノマー固形分（質量）に対して、０．０１質量％〜５０質量％が好ましく、１質量％〜３０質量％がより好ましく、１質量％〜２０質量％が特に好ましい。該使用量が、０．０１質量％より少ないと重合が進み難くなることがあり、５０質量％を超えると、重合率は大きくなるが分子量が低くなり膜強度が弱くなることがある。
【０１２１】
〈熱重合防止剤〉
本発明の染料含有硬化性組成物には、以上のほか、更に熱重合防止剤を加えておくことが好ましい。例えば、ハイドロキノン、ｐ−メトキシフェノール、ジ−ｔ−ブチル−ｐ−クレゾール、ピロガロール、ｔ−ブチルカテコール、ベンゾキノン、４，４′−チオビス（３−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、２，２′−メチレンビス（４−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、２−メルカプトベンゾイミダゾール等が有用である。
【０１２２】
〈ナフトキノンジアジド化合物〉
本発明の染料含有硬化性組成物をポジ型に構成する場合、ナフトキノンジアジド化合物を含有することができる。ナフトキノンジアジド化合物としては、例えば、ｏ−ナフトキノンジアジド−５−スルホン酸エステル又はスルホン酸アミド、あるいはｏ−ナフトキノンジアジド−４−スルホン酸エステル又はスルホン酸アミド、等が挙げられる。これらのエステル又はアミドは、例えば、特開平２−８４６５０号公報及び特開平３−４９４３７号公報に一般式（Ｉ）として記載されているフェノール化合物等を用いて公知の方法により製造することができる。
【０１２３】
前記のアルカリ可溶性フェノール樹脂及び架橋剤は、通常、溶剤中に全質量に対してそれぞれ２〜５０質量％及び２〜３０質量％程度の割合で溶解させる。また、前記のナフトキノンジアジド化合物及び染料は、通常、前記アルカリ可溶性樹脂及び架橋剤を含む溶液に対して、それぞれ２〜３０質量％及び２〜５０質量％程度の割合で添加する。また更に、カラーフィルター用レジスト組成物には、例えば均一な塗布性を付与するための平滑剤等の当該技術分野で慣用されている各種の添加剤を加えることもできる。
【０１２４】
〈溶剤〉
本発明の染料含有硬化性組成物を調製する際には一般に溶剤が用いられる。溶剤は、各成分の溶解性や染料含有硬化性組成物の塗布性を満足すれば基本的に特に限定されないが、特に染料、バインダーの溶解性、塗布性、安全性を考慮して選ばれることが好ましい。
【０１２５】
前記溶剤としては、エステル類、例えば、酢酸エチル、酢酸−ｎ−ブチル、酢酸イソブチル、ギ酸アミル、酢酸イソアミル、酢酸イソブチル、プロピオン酸ブチル、酪酸イソプロピル、酪酸エチル、酪酸ブチル、アルキルエステル類、乳酸メチル、乳酸エチル、オキシ酢酸メチル、オキシ酢酸エチル、オキシ酢酸ブチル、メトキシ酢酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチル、等；
【０１２６】
３−オキシプロピオン酸メチル、３−オキシプロピオン酸エチル等の３−オキシプロピオン酸アルキルエステル類、例えば、３−メトキシプロピオン酸メチル、３−メトキシプロピオン酸エチル、３−エトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル、等；２−オキシプロピオン酸メチル、２−オキシプロピオン酸エチル、２−オキシプロピオン酸プロピル等の２−オキシプロピオン酸アルキルエステル類、例えば、２−メトキシプロピオン酸メチル、２−メトキシプロピオン酸エチル、２−メトキシプロピオン酸プロピル、２−エトキシプロピオン酸メチル、２−エトキシプロピオン酸エチル、２−オキシ−２−メチルプロピオン酸メチル、２−オキシ−２−メチルプロピオン酸エチル、２−メトキシ−２−メチルプロピオン酸メチル、２−エトキシ−２−メチルプロピオン酸エチル、等；ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、２−オキソブタン酸メチル、２−オキソブタン酸エチル、等；
【０１２７】
エーテル類、例えば、ジエチレングリコールジメチルエーテル、テトラヒドロフラン、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールメチルエーテル、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールプロピルエーテルアセテート、等；
【０１２８】
ケトン類、例えば、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、２−ヘプタノン、３−ヘプタノン、等；芳香族炭化水素類、例えば、トルエン、キシレン、等が好ましい。
【０１２９】
これらのうち、３−エトキシプロピオン酸メチル、３−エトキシプロピオン酸エチル、エチルセロソルブアセテート、乳酸エチル、ジエチレングリコールジメテルエーテル、酢酸ブチル、３−メトキシプロピオン酸メチル、２−ヘプタノン、シクロヘキサノン、エチルカルビトールアセテート、ブチルカルビトールアセテート、プロピレングリコールメチルエーテル、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート等がより好ましい。
【０１３０】
〈各種添加物〉
本発明の染料含有硬化性組成物には、必要に応じて、各種添加物、例えば充填剤、前記以外の高分子化合物、界面活性剤、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、凝集防止剤等を配合することかできる。
【０１３１】
前記各種添加物の具体例としては、ガラス、アルミナ等の充填剤；ポリビニルアルコール、ポリアクリル酸、ポリエチレングリコールモノアルキルエーテル、ポリフロロアルキルアクリレート等の結着樹脂以外の高分子化合物；ノニオン系、カチオン系、アニオン系等の界面活性剤；ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス（２−メトキシエトキシ）シラン、Ｎ−（２−アミノエチル）−３−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、Ｎ−（２−アミノエチル）−３−アミノプロピルトリメトキシシラン、３−アミノプロピルトリエトキシシラン、３−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、３−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、２−（３，４−エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン、３−クロロプロピルメチルジメトキシシラン、３−クロロプロピルトリメトキシシラン、３−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、３−メルカプトプロピルトリメトキシシラン等の密着促進剤；２，２−チオビス（４−メチル−６−ｔ−ブチルフェノール）、２，６−ジ−ｔ−ブチルフェノール等の酸化防止剤；２−（３−ｔ−ブチル−５−メチル−２−ヒドロキシフェニル）−５−クロロベンゾトリアゾール、アルコキシベンゾフェノン等の紫外線吸収剤；及びポリアクリル酸ナトリウム等の凝集防止剤を挙げることができる。
【０１３２】
また、非画像部のアルカリ溶解性を促進し、本発明の染料含有硬化性組成物の現像性の更なる向上を図る場合には、該組成物に有機カルボン酸、好ましくは分子量１０００以下の低分子量有機カルボン酸の添加を行うことができる。
具体的には、例えば、ギ酸、酢酸、プロピオン酸、酪酸、吉草酸、ピバル酸、カプロン酸、ジエチル酢酸、エナント酸、カプリル酸等の脂肪族モノカルボン酸；シュウ酸、マロン酸、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、スベリン酸、アゼライン酸、セバシン酸、ブラシル酸、メチルマロン酸、エチルマロン酸、ジメチルマロン酸、メチルコハク酸、テトラメチルコハク酸、シトラコン酸等の脂肪族ジカルボン酸；トリカルバリル酸、アコニット酸、カンホロン酸等の脂肪族トリカルボン酸；安息香酸、トルイル酸、クミン酸、ヘメリト酸、メシチレン酸等の芳香族モノカルボン酸；フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、トリメリト酸、トリメシン酸、メロファン酸、ピロメリト酸等の芳香族ポリカルボン酸；フェニル酢酸、ヒドロアトロパ酸、ヒドロケイ皮酸、マンデル酸、フェニルコハク酸、アトロパ酸、ケイ皮酸、ケイ皮酸メチル、ケイ皮酸ベンジル、シンナミリデン酢酸、クマル酸、ウンベル酸等のその他のカルボン酸が挙げられる。
【０１３３】
《カラーフィルター》
次に、本発明のカラーフィルターについて、その製造方法を通じて詳述する。
本発明のカラーフィルターの製造方法においては、既述の本発明の染料含有硬化性組成物が用いられる。
本発明の染料含有硬化性組成物がネガ型に構成されている場合、ネガ型染料含有硬化性組成物を支持体上に回転塗布、流延塗布、ロール塗布等の塗布方法により塗布して感放射線性組成物層を形成し、該層を所定のマスクパターンを介して露光し、現像液で現像することによって、ネガ型の着色パターンを形成する（画像形成工程）。また、必要により、形成された着色パターンを加熱及び／又は露光により硬化する硬化工程を含んでいてもよい。
【０１３４】
本発明の染料含有硬化性組成物がポジ型に構成されている場合、ポジ型染料含有硬化性組成物を支持体上に回転塗布、流延塗布、ロール塗布等の塗布方法により塗布して感放射線性組成物層を形成し、該層を所定のマスクパターンを介して露光し、現像液で現像することによって、ポジ型の着色パターンを形成した後（画像形成工程）、形成された着色パターンを加熱して硬化する（ポストベーク）。
【０１３５】
カラーフィルターの作製においては、ネガ型の場合は、前記画像形成工程（及び必要により硬化工程）を所望の色相数だけ繰り返すことにより、ポジ型の場合は、前記画像形成工程及びポストベークを所望の色相数だけ繰り返すことにより、所望の色相よりなるカラーフィルターを作製することができる。
この際に使用される光若しくは放射線としては、特にｇ線、ｈ線、ｉ線等の紫外線が好ましく用いられる。
【０１３６】
前記基板としては、例えば、液晶表示素子等に用いられるソーダガラス、パイレックス（Ｒ）ガラス、石英ガラス及びこれらに透明導電膜を付着させたものや、撮像素子等に用いられる光電変換素子基板、例えばシリコン基板等や、相補性金属酸化膜半導体（ＣＭＯＳ）等が挙げられる。これらの基板は、各画素を隔離するブラックストライプが形成されている場合もある。
また、これらの基板上には、必要により、上部の層との密着改良、物質の拡散防止あるいは基板表面の平坦化のために下塗り層を設けてもよい。
【０１３７】
前記現像液としては、本発明の染料含有硬化性組成物の未硬化部を溶解する一方、照射部は溶解しない組成よりなるものであればいかなるものも用いることができる。具体的には、種々の有機溶剤の組合わせやアルカリ性の水溶液を用いることができる。前記有機溶剤としては、本発明の染料含有硬化性組成物を調製する際に使用される前述の溶剤が挙げられる。
【０１３８】
前記アルカリ性の水溶液としては、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム，硅酸ナトリウム、メタ硅酸ナトリウム、アンモニア水、エチルアミン、ジエチルアミン、ジメチルエタノールアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、コリン、ピロール、ピペリジン、１，８−ジアザビシクロ−〔５．４．０〕−７−ウンデセン等のアルカリ性化合物を、濃度が０．００１〜１０質量％、好ましくは０．０１〜１質量％となるように溶解してなるアルカリ性水溶液が好適である。尚、このようなアルカリ性水溶液からなる現像液を使用した場合は、一般に、現像後水で洗浄する。
【０１３９】
また、本発明のカラーフィルターは、液晶表示素子やＣＣＤ等の固体撮像素子に用いることができ、特に１００万画素を超えるような高解像度のＣＣＤ素子やＣＭＯＳ素子等に好適である。本発明のカラーフィルタは、例えば、ＣＣＤを構成する各画素の受光部と集光するためのマイクロレンズとの間に配置されるカラーフィルタとして用いることができる。
【０１４０】
【実施例】
本発明を実施例により更に具体的に説明するが、本発明はその主旨を越えない限り以下の実施例に限定されるものではない。なお、特に断りのない限り、「部」は質量基準である。
【０１４１】
［実施例１］
（１）染料レジスト溶液の調製
前記組成を混合して溶解し、染料レジスト溶液を調製した。
【０１４２】
（２）下塗り層付ガラス基板の作製
ガラス基板（コーニング１７３７）を１％ＮａＯＨ水で超音波洗浄した後、水洗、脱水ベーク（２００℃／３０分）を行った。
ついで富士フイルムアーチ社製ＣＴ−２０００Ｌの溶液を、洗浄したガラス基板上に膜厚２μｍになるようにスピンコーターを用いて塗布し、２２０℃で１時間加熱乾燥して、下塗り層付ガラス基板を得た。
【０１４３】
（３）染料レジストの露光・現像（画像形成）
前記（１）で得られた染料レジスト溶液を前記（２）で得られた下塗り層付ガラス基板の下塗り層の上に膜厚が１μｍになるようにスピンコーターを用いて塗布し、１２０℃で１２０秒間プリベークした。
ついで、ｉ線縮小投影露光装置を使用して、塗布膜に３６５ｎｍの波長で２μｍのアイランドパターンマスクを通して１０００ｍＪ／ｃｍ2の露光量で照射した。露光後、６０％ＣＤ−２０００（富士フイルム・アーチ社製）現像液を使用して、２６℃で９０秒の時間で現像した。次いで、流水で２０秒間リンスした後、スプレー乾燥した。
【０１４４】
（４）評価
画像形成およびパターン形状は光学顕微鏡およびＳＥＭ写真観察により通常の方法で確認した。
−耐熱性−
形成されたパターンの耐熱性は、現像後のパターンを２００℃で１０分間加熱した後、該パターン形状の変化をＳＥＭ写真によって目視により下記基準にしたがって評価した。形状変化の少ないものほど耐熱性に優れる。
〔基準〕
◎：パターン形状が全く、あるいは殆ど変化しなかった。
○：加熱前後でのパターン下端幅の変化が１０％未満であった。
×：加熱前後でのパターン下端幅の変化が１０％以上であった。
【０１４５】
−未露光部現像性・露光部残膜率−
未露光部現像性、露光部残膜率は、色度計ＭＣＰＤ−１０００（大塚電子製）で測定した。未露光部現像性、露光部残膜率は、現像前後の吸光度値の維持率を示す。未露光部では値のより小さい方が、露光部では値のより大きい方がそれぞれ現像性、残膜性が良好であることを示す。
前記の各評価の結果を下記表１に示す。
【０１４６】
［実施例２〜７］
実施例１の（１）染料レジスト溶液の調製において、バインダーである具体例（１）の化合物（本発明におけるバインダー）に代えて、下記表１に示すバインダーをそれぞれ用いたこと以外、実施例１と同様にして、染料含有硬化性組成物を調製し、更にパターン画像を形成すると共に、同様の評価を行なった。
【０１４７】
［比較例１］
実施例１の（１）染料レジスト溶液の調製の調製において、バインダーである具体例（１）の化合物（本発明におけるバインダー）に代えて、（メタクリル酸ベンジル）−（メタクリル酸）−（メタクリル酸−２−ヒドロキシエチル）共重合体（モル比＝６０：２０：２０）を用いた以外は実施例１と同様にして、染料含有硬化性組成物を調製し、更にパターン画像を形成すると共に、同様の評価を行なった。
【０１４８】
［比較例２］
実施例１の（１）染料レジスト溶液の調製において、バインダーである具体例（１）の化合物（本発明におけるバインダー）に代えて、（メタクリル酸ベンジル）−（メタクリル酸）共重合体（モル比＝６０：４０）を用いた以外は実施例１と同様にして、染料含有硬化性組成物を調製し、更にパターン画像を形成すると共に、同様の評価を行なった。
【０１４９】
【表１】
【０１５０】
表１に示される様に、本発明におけるバインダーを使用することにより、未露光部現像性、露光部残膜率、パターン形状耐熱性に関して従来よりも優れた染料含有硬化性組成物を得ることができた。これにより、本発明のバインダーを用いると、十分な重合性、硬化性、耐熱性が得られ、さらに、未露光部現像性や画像部残膜率も良好な性能が得られ、各種カラーフィルター用の染料含有硬化性組成物として有用な事は明らかである。また、前記染料含有硬化性組成物で用いた黄色染料を異色の染料に代え、二色目を塗布し、該塗布時の色素溶出及び混色を観察したが、良好であった。
【０１５１】
一方、比較例１および２に示されるように、▲１▼重合性基がなく架橋能力が不足で、▲２▼親水性バランスや染料との相互作用の調整が施されてない等の欠点を有する比較例のバインダーを使用すると、未露光部現像性、露光部残膜率、パターン形状耐熱性において、著しく劣る結果となり、実用に耐えないレジストであることが明白である。
また、比較例のバインダーのＴｇは実施例のバインダーのＴｇと著しく異なる値ではない為、重合性基の効果が大きいことが示唆される。
【０１５２】
［実施例８〜１４］
実施例１〜７のガラス基板をシリコンウエハー基板に代えた他は，全て同様の操作を行い、パターン画像を得た。未露光部現像性、露光部の残膜率は実施例１〜７と同じ結果が得られた。
尚、実施例８〜１４においては、シリコンウエハー基板を用いており、実施例１〜７と異なるが、染料レジスト溶液は実施例１〜１４を通してすべて下塗り層上に塗布されているため、実質的に違いが生じることはなく、同じ諸性能が得られた。
【０１５３】
［実施例１５］
実施例１の（１）染料レジスト溶液の調製において、「ａｃｉｄ ｙｅｌｌｏｗ４２のビス（ジトリルグアニジン）塩」に代えて、「Ｖａｌｉｆａｓｔ Ｒｅｄ−１３６０（オリエント化学社製）」を用いた他は、全て実施例１と同様の操作を行い、パターン画像を得た。未露光部現像性、露光部の残膜率は実施例１と同じ結果が得られた。
【０１５４】
［実施例１６］
実施例１の（１）染料レジスト溶液の調製において、「ａｃｉｄ ｙｅｌｌｏｗ４２のビス（ジトリルグアニジン）塩」に代えて、「Ｖａｌｉｆａｓｔ Ｂｌｕｅ−２６２０（オリエント化学社製）」を用いた他は、全て実施例１と同様の操作を行い、パターン画像を得た。未露光部現像性、露光部の残膜率は実施例１と同じ結果が得られた。
【０１５５】
［実施例１７］
実施例１の（１）染料レジスト溶液の調製において、「ａｃｉｄ ｙｅｌｌｏｗ４２のビス（ジトリルグアニジン）塩」に代えて、「２，７−Ｎａｐｈｔｈａｌｅｎｅｄｉｓｕｌｆｏｎｉｃ ａｃｉｄ，３−［（５−ｃｈｌｏｒｏ−２−ｐｈｅｎｏｘｙｐｈｅｎｙｌ）ｈｙｄｒａｚｏｎｏ］−３，４−ｄｉｈｙｄｒｏ−４−ｏｘｏ−５−［（ｐｈｅｎｙｌｓｕｌｆｏｎｙｌ）ａｍｉｎｏ］−，ｄｉｔｏｌｙｌｇｕａｎｉｄｉｎｅ ｓａｌｔ」を用いた他は、全て実施例１と同様の操作を行い、パターン画像を得た。
未露光部現像性、露光部の残膜率は実施例１と同じ結果が得られた。
【０１５６】
［比較例３］
実施例１の（１）染料レジスト溶液の調製において、バインダーを（アクリル酸ブチル）−（メタクリル酸−２−ヒドロキシエチル）−（アクリル酸）共重合体（モル比＝６０：２０：２０；分子量Ｍｗ＝１３０００）に代えた他はすべて実施例１と同様に行った。結果を表２に示す。
【０１５７】
［比較例４］
実施例１の（１）染料レジスト溶液の調製において、バインダーを（メタクリロイルオキシエチルメタクリレート）−（メタクリル酸−２−ヒドロキシエチル）−（アクリル酸ブチル）−（アクリル酸）共重合体（モル比＝２０：２０：４０：２０；分子量Ｍｗ＝１２０００）に代えた他はすべて実施例１と同様に行った。結果を表２に示す。
尚、表２中「ＭＯＥＭＡ」はメタクリロイルオキシエチルメタクリレートを表す。
【０１５８】
【表２】
××：耐熱試験前後のパターン下端幅の変化率が２０％以上である。
【０１５９】
比較例３に示されるように、▲１▼重合性基がなく架橋能力が不足で、▲２▼親水性バランスや染料との相互作用の調整が施されておらず、▲３▼Ｔｇが非常に低い、等の欠点を有する比較例３のバインダーを使用すると、未露光部現像性、露光部残膜率、パターン形状耐熱性において、著しく劣る結果となり、実用に耐えないレジストであることが明白である。
【０１６０】
また、比較例４に示されるように、重合性基を有していても、▲１▼親水性バランスや染料との相互作用の調整が施されておらず、▲３▼Ｔｇが非常に低い、等の欠点を有する比較例４のバインダーを使用すると、未露光部現像性、露光部残膜率、パターン形状耐熱性において、著しく劣る結果となり、実用に耐えないレジストであることが明白である。
【０１６１】
【発明の効果】
本発明の溶剤可溶性染料含有組成物は、高い重合性およびパターン耐熱性が得られること等から、高感度、高透過率、高解像度が可能であり、また広い現像ラチチュードを有し、かつ染料の溶出、混色、熱劣化および光劣化がなく生産性の高い溶剤可溶性染料含有硬化性組成物およびそれを使用したカラーフィルターを提供することが出来る。
なかでも、特に、高いパターン耐熱性が得られることが本発明の主旨である。
また本発明の溶剤可溶性染料含有組成物を用いることで、簡便でコストパフォーマンスの高いカラーフィルターおよびその製造方法を提供できる。
Claims (6)
- バインダー、有機溶剤および有機溶剤可溶性染料を含んでなるカラーフィルター作製用染料含有硬化性組成物であって、前記バインダーが、下記一般式（Ｉ）で表される構造単位を含み、かつ、ガラス転移温度が０〜２５０℃の範囲にあることを特徴とするカラーフィルター作製用染料含有硬化性組成物。
- 前記有機溶剤可溶性染料が、酸性染料、酸性染料と含窒素化合物との塩又は酸性染料のスルホンアミド体であることを特徴とする請求項１に記載のカラーフィルター作製用染料含有硬化性組成物。
- 前記酸性染料がアゾ系、キサンテン系、アンスラキノン系またはフタロシアニン系の酸性染料であることを特徴とする請求項２に記載のカラーフィルター作製用染料含有硬化性組成物。
- 更にモノマー及び光重合開始剤を含むことを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載のカラーフィルター作製用染料含有硬化性組成物。
- 請求項１〜４のいずれか１項に記載のカラーフィルター作製用染料含有硬化性組成物を用いて作製されるカラーフィルター。
- 請求項１〜４のいずれか１項に記載のカラーフィルター作製用染料含有硬化性組成物を支持体上に塗布後、マスクを通して露光し、現像してパターンを形成することを特徴とするカラーフィルターの製造方法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002187670A JP4090292B2 (ja) | 2002-06-27 | 2002-06-27 | 染料含有硬化性組成物、並びに、それを使用したカラーフィルターおよびその製造方法 |
| KR1020030035869A KR101001936B1 (ko) | 2002-06-07 | 2003-06-04 | 염료 함유 경화성 조성물, 컬러필터 및 그 제조방법 |
| US10/455,413 US7358033B2 (en) | 2002-06-07 | 2003-06-06 | Dye-containing curable composition, color filter, and producing process thereof |
| US11/965,931 US7745076B2 (en) | 2002-06-07 | 2007-12-28 | Dye-containing curable composition, color filter, and producing process thereof |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002187670A JP4090292B2 (ja) | 2002-06-27 | 2002-06-27 | 染料含有硬化性組成物、並びに、それを使用したカラーフィルターおよびその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2004029518A JP2004029518A (ja) | 2004-01-29 |
| JP4090292B2 true JP4090292B2 (ja) | 2008-05-28 |
Family
ID=31182635
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002187670A Expired - Fee Related JP4090292B2 (ja) | 2002-06-07 | 2002-06-27 | 染料含有硬化性組成物、並びに、それを使用したカラーフィルターおよびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4090292B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011093955A (ja) * | 2009-10-27 | 2011-05-12 | Toppan Printing Co Ltd | カラーフィルタ用含染料着色組成物、カラーフィルタ及びその製造方法、それを具備する液晶表示装置並びに有機ｅｌディスプレイ |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101001936B1 (ko) | 2002-06-07 | 2010-12-17 | 후지필름 가부시키가이샤 | 염료 함유 경화성 조성물, 컬러필터 및 그 제조방법 |
| WO2006041106A1 (ja) * | 2004-10-14 | 2006-04-20 | Nissan Chemical Industries, Ltd. | 有機溶媒溶解性染料を含有するレジスト組成物及びそれを用いるカラーフィルター |
| WO2006043442A1 (ja) * | 2004-10-19 | 2006-04-27 | Nissan Chemical Industries, Ltd. | コバルト系染料含有レジスト組成物及びそれを用いるカラーフィルター |
| JP4924813B2 (ja) * | 2004-10-29 | 2012-04-25 | 日産化学工業株式会社 | 光酸発生剤を含む染料含有レジスト組成物及びそれを用いるカラーフィルター |
| CN103717629B (zh) * | 2011-08-10 | 2016-05-18 | 大阪有机化学工业株式会社 | 金刚烷系聚合物 |
| JP2015068962A (ja) * | 2013-09-27 | 2015-04-13 | 富士フイルム株式会社 | 着色硬化性組成物、カラーフィルタ、カラーフィルタの製造方法、及び、表示装置 |
| KR101995930B1 (ko) * | 2015-02-25 | 2019-07-03 | 동우 화인켐 주식회사 | 양자점을 포함하는 경화 조성물, 이를 이용하여 제조된 컬러필터 및 화상표시장치 |
| TWI781917B (zh) * | 2016-02-03 | 2022-11-01 | 日商富士軟片股份有限公司 | 樹脂膜、樹脂膜的製造方法、光學濾波器、積層體、固體攝像元件、圖像顯示裝置以及紅外線感測器 |
| KR101943707B1 (ko) * | 2016-08-25 | 2019-01-29 | 삼성에스디아이 주식회사 | 감광성 도전 페이스트 조성물 및 이를 이용하여 제조된 터치 스크린 패널 |
-
2002
- 2002-06-27 JP JP2002187670A patent/JP4090292B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011093955A (ja) * | 2009-10-27 | 2011-05-12 | Toppan Printing Co Ltd | カラーフィルタ用含染料着色組成物、カラーフィルタ及びその製造方法、それを具備する液晶表示装置並びに有機ｅｌディスプレイ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2004029518A (ja) | 2004-01-29 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7745076B2 (en) | Dye-containing curable composition, color filter, and producing process thereof | |
| JP4679959B2 (ja) | ネガ型着色剤含有硬化性組成物、並びに、カラーフィルタおよびその製造方法 | |
| JP4689442B2 (ja) | 着色硬化性組成物、カラーフィルタ及びその製造方法 | |
| JP3967947B2 (ja) | 染料含有ネガ型硬化性組成物、カラーフィルタ及びその製造方法 | |
| JP4041750B2 (ja) | 染料含有硬化性組成物、カラーフィルタ及びその製造方法 | |
| JP4090292B2 (ja) | 染料含有硬化性組成物、並びに、それを使用したカラーフィルターおよびその製造方法 | |
| JP2003295427A (ja) | 着色感光性樹脂組成物、並びに、これを用いたカラーフィルター及びその製造方法 | |
| JP2003344998A (ja) | マゼンタ用感光性着色組成物、カラーフィルターの製造方法、及びカラーフィルター | |
| JP2004246106A (ja) | 染料含有硬化性組成物、カラーフィルタ及びその製造方法 | |
| JP2004286809A (ja) | 染料含有硬化性組成物、並びに、これを用いたカラーフィルターおよびその製造方法 | |
| JP4002516B2 (ja) | 染料含有硬化性組成物、カラーフィルタ及びその製造方法 | |
| JP2004002631A (ja) | 染料含有硬化性組成物、並びに、これを使用したカラーフィルターおよびその製造方法 | |
| JP2004286810A (ja) | 染料含有硬化性組成物、並びに、これを用いたカラーフィルターおよびその製造方法 | |
| JP2005266149A (ja) | 染料含有硬化性組成物、カラーフィルタ及びその製造方法 | |
| JP4102604B2 (ja) | カラーフィルタ及びその製造方法 | |
| JP4322609B2 (ja) | 染料含有ネガ型硬化性組成物、並びに、カラーフィルタ及びその製造方法 | |
| JP4322608B2 (ja) | カラーフィルタ及びその製造方法 | |
| JP2004157455A (ja) | 染料含有硬化性組成物、カラーフィルタ及びその製造方法 | |
| JP4064849B2 (ja) | 染料含有硬化性組成物、並びに、これを使用したカラーフィルターおよびその製造方法 | |
| JP2005283679A (ja) | 染料含有ネガ型硬化性組成物、カラーフィルターおよびその製造方法 | |
| JP2005265994A (ja) | 染料含有硬化性組成物、カラーフィルタ及びその製造方法 | |
| JP2004325660A (ja) | 染料含有硬化性組成物、カラーフィルタおよびその製造方法 | |
| JP5052360B2 (ja) | 染料含有ネガ型硬化性組成物、カラーフィルタ及びその製造方法 | |
| JP2005274967A (ja) | 染料含有ネガ型硬化性組成物、カラーフィルターおよびその製造方法 | |
| JP2004246105A (ja) | 染料含有硬化性組成物、カラーフィルタおよびその製造方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050210 |
|
| A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20061212 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070918 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070925 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20071119 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20080219 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20080226 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4090292 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110307 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110307 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120307 Year of fee payment: 4 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120307 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130307 Year of fee payment: 5 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130307 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140307 Year of fee payment: 6 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |