JP4083152B2 - ワイヤーソー装置 - Google Patents

Description

本発明は、張架されたワイヤーをその軸線方向に走行させるとともに被加工物に押し当て、同被加工物を切断するワイヤーソー装置に関する。

従来から、所定の張力を与えられながら架設された（張架された）複数のワイヤーをその軸線方向に走行させるとともに被加工物に押し当て、同時に同ワイヤーに砥粒を分散させた加工液（スラリー）を滴下しながら同ワイヤーによって同被加工物を切断するワイヤーソー装置が知られている（例えば、特許文献１を参照。）。
特開２００３−８９０５０（請求項５）

このような従来のワイヤーソー装置の一つについて、斜視図である図１１を参照しながら説明する。このワイヤーソー装置は、ワイヤー１０と、一対の円筒形ローラ１１，１２と、モータ１３と、テーブル１４と、テーブル移動装置１５と、加工液供給管１６とを備えている。

ワイヤー１０は、円筒形ローラ１１，１２に交互に巻き付けられることにより、一つの平面（互いに直交するＸ，Ｙ及びＺ軸からなる座標におけるＸ−Ｙ平面と平行な平面）において互いに平行となるように張架された複数の切断用ワイヤーＷを形成している。ローラ１１はモータ１３により回動せしめられるようになっている。これにより、切断用ワイヤーＷは、各軸線の方向（Ｘ軸方向）に走行するようになっている。なお、簡潔に図示するため、図１１において切断用ワイヤーＷの本数は４本とされている。

テーブル１４は、上面にセラミックスの焼結体などの被加工物３０を載置するようになっている。被加工物３０は、接着剤によりテーブル１４上に固定され、テーブル１４とともに移動装置１５により上下動せしめられるようになっている。加工液供給管１６は、切断用ワイヤーＷの上方において、その軸線が切断用ワイヤーＷの軸線と直交する方向（Ｙ軸方向）となるように配設されている。加工液供給管１６には、その底面側にスリットが形成されている。加工液Ｓは、図示しないポンプから加工液供給管１６の内部に供給され、スリットを介して下方に落下するようになっている。

以上の構成により、ワイヤーソー装置は、切断用ワイヤーＷを走行させるとともに加工液Ｓを切断用ワイヤーＷに向けて落下させ、同時に移動装置１５によってテーブル１４上の被加工物３０を複数の切断用ワイヤーＷに押し付けることにより、被加工物３０を切断するようになっている。

しかしながら、加工液Ｓは、粘性がある液体であるため、側面図である図１２に示したように、加工液供給管１６のスリットから下方に向けて落下するするにつれて次第に中央に集まる（凝集する）。このため、加工液Ｓは、複数の切断用ワイヤーＷの両端部側にある切断用ワイヤーＷ１，Ｗ２に直接的には到達しなくなり、落下した際に跳ね返ることにより、或いは、被加工物３０上に留まることにより切断用ワイヤーＷ１，Ｗ２に到達していた。この結果、特に加工速度を上昇させた場合や、加工液Ｓの品質が変化した場合などにおいて、加工液Ｓの供給が両端部側にある切断用ワイヤーＷ１，Ｗ２に対して不十分となり、これらの切断用ワイヤーＷ１，Ｗ２によって切断された被加工物３０の切断面が波打ち、平坦な平面にならないという問題があった。

この問題に対処するため、図１３に示したように、切断開始前の被加工物３０と加工液供給管１６との距離を短くすると、総ての切断用ワイヤーＷに加工液Ｓが行き渡るようになる。ところが、被加工物３０の切断方向（Ｚ軸方向）の長さ（高さ）が大きい場合、図１４に示したように、切断途中で加工液供給管１６と被加工物３０とが当接し、被加工物３０を切断できないという別の問題が生じる。この問題に対し、切断開始前の状態にある被加工物３０と加工液供給管１６との距離を被加工物３０の高さより僅かに長くしておけば、切断途中で加工液供給管１６と被加工物３０とは当接しなくなる。しかし、この場合、被加工物３０の高さが変更になる毎に切断開始前の被加工物３０と加工液供給管１６との距離を調整しなければならず、作業が煩雑となるという更に別の問題が発生する。

本発明によるワイヤーソー装置は、上記課題を解決するためになされたものであり、
一つの平面内において互いに平行となるように張架された複数のワイヤーと、
前記複数のワイヤーのそれぞれを同複数のワイヤーの各軸線方向に走行させる走行手段と、
前記複数のワイヤーの下方に配置されるとともに上面に被加工物を載置するテーブルと、
前記被加工物が載置されたテーブルと前記複数のワイヤーとの少なくとも一方を前記平面と交差する方向に相対移動させることにより同被加工物を同複数のワイヤーに押し付ける移動手段と、
前記複数のワイヤーの上方位置から下方に向けて加工液を落下させる加工液供給開口を有する加工液供給手段と、
を備え、
前記加工液供給手段により前記加工液供給開口から前記加工液を下方に落下させるとともに前記移動手段により前記被加工物を前記走行させられている複数のワイヤーに押し付けることによって同被加工物を切断するワイヤーソー装置であって、
前記加工液供給手段の加工液供給開口と前記複数のワイヤーとの間に配設され、前記加工液供給開口から落下する加工液が同複数のワイヤーと前記被加工物との当接箇所に到達するように、同加工液が落下する際の同加工液の形状を制御する加工液落下形状制御手段を備えている。

これによれば、軸線方向に走行中の複数のワイヤーに被加工物が押し付けられ（当接せしめられ）、これにより被加工物が切断される。このとき、ワイヤー上方にある加工液供給手段の加工液供給開口から落下する加工液は、加工液落下形状制御手段の存在により、複数のワイヤーと被加工物との総ての当接箇所に到達するようになる。従って、加工液は、複数のワイヤーが被加工物を切断している箇所に安定して存在するようになる。この結果、被加工物の切断面は予定された平坦な平面となる。

更に、前記加工液供給手段は、
前記複数のワイヤーのうち前記平面内において同複数のワイヤーの各軸線に直交する方向の両端に位置する二本のワイヤー上の任意の点の各鉛直上方位置近傍の二箇所の特定点を結ぶように伸びる軸線を有し且つ前記加工液供給開口として同軸線に実質的に平行に同二箇所の特定点近傍位置の間に亘って延設されたスリット状開口を底面側に有する管状部材及び同管状部材の内部に前記加工液を供給するポンプからなり、
前記加工液落下形状制御手段は、
前記加工液供給開口と前記ワイヤーとの間に配置されるとともに前記被加工物に当接したときに撓屈する可撓性の薄板からなる。

この場合、可撓性の薄板は、加工液に対する濡れ性が良好であることが好ましい。また、スリット状開口とは、いわゆるスリットであってもよく、或いは、多数の小径の穴が直線的に（実質的にスリットと同様な機能を果たすように）並べられたものであってもよい。

これによれば、加工液は、ポンプによって管状部材に供給され、管状部材の底面側に設けられた加工液供給開口であるスリット状開口から落下する。この加工液の落下時の形状は、加工液がスリット状開口から落下を開始する時点において前記複数のワイヤーの両端のワイヤー間距離と略等しい幅（二箇所の特定点近傍位置間の距離）を有する膜状であり、且つ、加工液の落下途中においてスリット状開口とワイヤーとの間に配置された薄板により制御される。この結果、加工液を狙いとする箇所（即ち、複数のワイヤーと被加工物との総ての当接箇所）に確実に到達させることができる。更に、この薄板は、被加工物に当接したときに撓屈する可撓性を備えている。従って、被加工物の切断中において薄板が被加工物と万一当接しても、被加工物に損傷が発生しない。

更に、前記加工液落下形状制御手段は、
前記二箇所の特定点近傍位置にて前記管状部材に係止されるとともに同管状部材から下方に向けて垂下した少なくとも二つの帯状部材であってもよい。

前述したように、加工液は、スリット状開口から膜状に落下する。従って、上記構成のように、その膜の両端を下方に垂下した帯状部材によって制御すれば、加工液を広い範囲に容易に到達させることができる。なお、本明細書において、帯状部材とは、加工液の形状を制御し得る剛性を備えていればよく、例えば、帯状部材の幅が非常に狭く、実質的に線状部材と呼べる部材も帯状部材に含まれる。

また、前記加工液落下形状制御手段は、
前記二箇所の特定点近傍位置の間において前記管状部材に係止されるとともに同管状部材から下方に向けて垂下した帯状部材を含んでいてもよい。

これによれば、帯状部材の個数や係止位置を自由に変更できるので、落下時の加工液の形状を所望の形状に容易に制御することができる。

この場合、前記加工液落下形状制御手段は、
前記複数の帯状部材の各下端部近傍を前記管状部材と略平行となるように連結した連結部材を含んでいてもよい。

これによれば、スリット状開口から落下する加工液は、帯状部材を介して連結部材に導かれ、その後、同連結部材から自由落下せしめられる。従って、加工液が最終的に事実上の落下を開始する箇所（連結部材）と被加工物との距離を小さくできるので、加工液を狙いとする箇所に確実に到達させることができる。また、帯状部材だけの場合、帯状部材下端部近傍で加工液の量が不足し、加工液の膜が切れてしまう可能性もあるが、上記連結部材により、このような膜切れを回避することができる。

また、前記加工液落下形状制御手段は、
前記二箇所の特定点近傍位置の一方から他方に亘り延在するとともに前記管状部材から下方に向けて垂下した膜状部材を含んでいてもよい。

これによれば、膜状部材により、落下時の加工液の形状を容易に制御することができる。

更に、前記加工液落下形状制御手段は、管状部材と独立分離していてもよい。即ち、加工液落下形状制御手段は、前記複数のワイヤーの上方且つ前記管状部材のスリット状開口の略鉛直下方において同管状部材と平行に伸びた支持部材と、同支持部材に係止されるとともに同支持部材からから下方に向けて垂下し且つ前記被加工物に当接したときに撓屈する可撓性の帯状部材とから構成することもできる。

これによれば、管状部材のスリット状開口から一旦落下した加工液は、ワイヤーに到達する前に支持部材に捕捉され、その支持部材から帯状部材により形状が制御されながら更に落下する。また、この帯状部材は、被加工物に当接したときに撓屈する可撓性を備えているから、被加工物の切断中において被加工物と当接しても、被加工物に損傷が発生しない。以上のことから、加工液が最終的に事実上の落下を開始する箇所（支持部材）と被加工物との距離を小さくできるので、加工液を狙いとする箇所により確実に到達させることができる。

以下、本発明によるワイヤーソー装置の各実施形態について、図面を参照しながら説明する。
（第１実施形態）
本発明の第１実施形態に係るワイヤーソー装置は、斜視図である図１、正面図である図２及び図２の１−１線に沿った平面にてワイヤーソー装置を切断した断面図である図３に示したように、ワイヤー１０と、一対の円筒形ローラ１１，１２と、モータ１３と、テーブル１４と、移動手段としてのテーブル移動装置１５と、加工液供給手段としての加工液供給管１６と、加工液落下形状制御手段としての帯状部材１７と、を備えている。

ローラ１１は、互いに直交するＸ，Ｙ及びＺ軸からなる座標におけるＹ軸方向に沿ったローラ１１の軸線周りに回動可能となるように図示しないワイヤーソー装置の基体に支持されている。ローラ１１の中心軸は、モータ１３の回転軸と連結されている。ローラ１１は、モータ１３により、その軸線周りに時計回り及び反時計回りに交互に回動せしめられるようになっている。

ローラ１２は、ローラ１１と同一形状を有している。ローラ１２は、Ｙ軸方向に沿ったローラ１２の軸線周りに回動可能となるように図示しないワイヤーソー装置の基体に支持されている。ローラ１２の高さはローラ１１の高さと同一である。

円筒形ローラ１１，１２には、図示しない張力付与機構により一定の張力が付与されたワイヤー１０が交互に巻き付けられている。これにより、ワイヤー１０は、一つの平面（Ｘ−Ｙ平面と平行な平面）において互いに平行となるように、Ｘ軸方向に張架された複数の切断用ワイヤーＷを形成している。

以上の構成により、ローラ１１がモータ１３により回動せしめられたとき、切断用ワイヤーＷは、各切断用ワイヤーＷの軸線の方向（Ｘ軸方向）に沿って前後に走行するようになっている。

テーブル１４は、切断用ワイヤーＷの下方（Ｚ軸負方向）に配設されている。テーブル１４は、上面に被加工物３０を載置するとともに、被加工物３０を接着剤により固定するようになっている。移動装置１５は、テーブル１４を上下方向（Ｚ軸正及び負方向）に移動せしめるようになっている。なお、被加工物３０は接着剤によって所定の冶具に固定され、この冶具をテーブル１４の上に固定することにより、被加工物３０をテーブル１４の上に相対的に固定しても良い。

加工液供給管１６は、例えば金属からなる直線状の管状部材（パイプ、中空ノズル）である。加工液供給管１６は、切断用ワイヤーＷの上方であって、且つ、切断用ワイヤーＷの上方を通るワイヤーＷ’の下方の空間に配置（Ｘ−Ｙ平面と平行に配置）されている。加工液供給管１６は、平面視で、その中心軸が切断用ワイヤーＷの軸線に所定の角度（ここでは、９０度）をもって交差する（即ち、直交する）方向（Ｙ軸方向）に伸びるように基体（図３にて符号Ｂにより示す。）に固定されている。

換言すると、加工液供給管１６は、複数の切断用のワイヤーＷのうち、同複数の切断用ワイヤーＷが張架されている前記平面（Ｘ−Ｙ平面に平行な平面）内において同複数のワイヤーの各軸線に直交する方向の両端に位置する二本のワイヤー（複数の切断用ワイヤーＷの両端部側にある切断用ワイヤー）Ｗａ，Ｗｂ上の任意の点Ｐ１，Ｐ２の各鉛直上方位置近傍の二箇所の特定点Ｑ１，Ｑ２を結ぶように伸びる軸線を有している。

加工液供給管１６は、図２及び加工液供給管１６の軸線に直交する平面により加工液供給管１６及びその近傍を切断した断面の拡大図である図４に示したように、その底面側に加工液供給管１６の中心軸に平行に、且つ前記特定点Ｑ１近傍位置から前記特定点Ｑ２近傍位置まで伸びるように形成されたスリット（加工液供給開口、スリット状開口）１６ａを備えている。この加工液供給管１６の内部には、図３に示したように、貯蔵タンクＴ内に貯蔵されている加工液（砥粒を含み所定の粘性を備えるスラリー）Ｓがポンプ１８により供給される。この結果、加工液Ｓは、図２及び図３に示したように、加工液供給管１６のスリット１６ａから下方に落下する。

複数（本例では９本）の帯状部材１７のそれぞれは、図１及び図３に示したように、幅狭の帯状であり、薄い可撓性の樹脂の薄板からなっている。各帯状部材１７は、図４に示したように、加工液供給管１６に巻かれることにより係止されている。各帯状部材１７は、加工液供給管１６のスリット１６ａの直下部近傍から下方（Ｚ軸負方向）に垂下している。

複数の帯状部材１７のうちの二つは、複数の切断用ワイヤーＷの両端に位置する二本のワイヤーＷａ，Ｗｂの各鉛直上方位置近傍の二箇所の位置（即ち、二箇所の特定点Ｑ１，Ｑ２の近傍位置）において加工液供給管１６に係止されている。以下、これらの帯状部材１７を両端部の帯状部材１７ａ，１７ｂと称呼する。他の７本の帯状部材１７は、両端部の帯状部材１７ａ，１７ｂの間において略等距離毎に（略等間隔をもって）加工液供給管１６に係止されている。帯状部材１７は、加工液Ｓの落下時の形状を制御することが可能な程度であり、且つ、図５に示したように、被加工物３０に当接した際に撓屈し被加工物３０の表面を損傷することがない程度の剛性を備えている。

次に、このように構成されたワイヤーソー装置の作動について説明する。このワイヤーソー装置により切断されるべき被加工物３０は、例えば、セラミック（セラミックの焼結体）であり、テーブル１４上に接着剤により固定される。

次いで、モータ１３が駆動され、これにより切断用ワイヤーＷは各切断用ワイヤーＷの軸線の方向（Ｘ軸方向）に沿って前後に走行する。また、ポンプ１８が駆動され、これにより加工液Ｓが加工液供給管１６の内部に供給される。これにより、加工液Ｓは、図２及び図３に示したように加工液供給管１６（スリット１６ａ）から下方に落下する。そして、移動装置１５によってテーブル１４が上方に移動せしめられる。この結果、被加工物３０は、走行中の切断用ワイヤーＷに押し付けられ（当接せしめられ）、切断用ワイヤーＷにより切断される。

このとき、加工液Ｓの形状は、帯状部材１７により、加工液Ｓの中央に集まる凝集の程度が自然落下時よりも進まず、且つ、加工液Ｓが複数の切断用ワイヤーＷと被加工物３０との当接箇所に到達するように制御される。より具体的に述べると、スリット１６ａから吐出した加工液Ｓは、帯状部材１７に沿いながら（帯状部材１７に絡みながら）、略鉛直下方に落下する。従って、加工液Ｓは図１２に示したように中央に集まることなく、図３に示したように、広い幅（Ｙ軸方向の長さ）を有しながら落下する。これにより、加工液Ｓは、両端に位置する二本の切断用ワイヤーＷａ，Ｗｂを含む複数の切断用ワイヤーＷの全部と被加工物３０との当接箇所に直接到達する。その結果、加工液Ｓは、複数の切断用ワイヤーＷが被加工物３０を切断している総ての箇所に安定して供給される（存在する）ようになるので、被加工物３０の切断面は予定された平坦な平面となる。

（第２実施形態）
次に、本発明の第２実施形態に係るワイヤーソー装置について説明する。第２実施形態に係るワイヤーソー装置は、図６に示したように、加工液供給管１６と切断開始前の被加工物３０との距離Ｌ１を第１実施形態のワイヤーソー装置より短くするとともに、第１実施形態の帯状部材１７よりも長手方向の長さが短い帯状部材を二箇所の特定点Ｑ１，Ｑ２の近傍位置にのみ配設した点（帯状部材１７ａ，１７ｂのみを備える点）において、同第１実施形態のワイヤーソー装置と相違している。

このワイヤーソー装置によれば、加工液Ｓが加工液供給管１６（スリット１６ａ）から膜状に落下するとき、その膜の両端の流れを加工液供給管１６から鉛直下方に垂下した帯状部材１７ａ，１７ｂにより略鉛直下方に向けることができる。その結果、このワイヤーソー装置は、少ない帯状部材を使用しながら、加工液Ｓを比較的広い範囲に落下させることができる。更に、このワイヤーソー装置は、使用する加工液Ｓの量を少なくしても、加工液Ｓを総ての切断用ワイヤーＷに容易且つ確実に到達させることができるので、加工液Ｓの無駄な使用を回避することができる。

なお、本実施形態においては、加工液供給管１６と切断開始前の被加工物３０との距離Ｌ１を第１実施形態のワイヤーソー装置より短くするとともに、帯状部材１７ａ，１７ｂの長手方向の長さを第１実施形態の帯状部材１７よりも短くしているが、距離Ｌ１及び帯状部材１７ａ，１７ｂの長手方向の長さは、第１実施形態と同様に長くてもよい。即ち、本実施形態は、加工液Ｓを所望の位置に到達させることができれば、距離Ｌ１や帯状部材の長さは適宜定めることができ、更に、帯状部材を２本とすることができる例である。

（第３実施形態）
次に、本発明の第３実施形態に係るワイヤーソー装置について説明する。第３実施形態に係るワイヤーソー装置は、図７に示したように、加工液供給管１６と切断開始前の被加工物３０との距離Ｌ２を第２実施形態のワイヤーソー装置における距離Ｌ１と略同等の距離とし、且つ、帯状部材１７ａ，１７ｂと同等の帯状部材（ここでは４本の帯状部材１７ｃ，１７ｄ，１７ｅ，１７ｆ）を二箇所の特定点Ｑ１，Ｑ２の近傍位置の間に１本以上備えたものである。

即ち、第３実施形態のワイヤーソー装置は、合計で６本の帯状部材１７ａ〜１７ｆを加工液供給管１６のスリット１６ａから下方に垂下させてなる装置である。帯状部材１７ａ〜１７ｆの間隔は、加工液供給管１６のＹ軸方向中央ほど大きく、端部に近づくほど小さくなっている。換言すると、複数の帯状部材１７ａ〜１７ｆは、前記二箇所の特定点Ｑ１，Ｑ２の近傍位置に近づくほどその密度が高くなるように配設されている。

この第３実施形態のワイヤーソー装置は、必要に応じて帯状部材の個数や係止位置を自由に変更できるので、落下時の加工液の形状を所望の形状に容易に制御することができる。

（第４実施形態）
次に、本発明の第４実施形態に係るワイヤーソー装置について説明する。第４実施形態に係るワイヤーソー装置は、図８に示したように、複数の帯状部材１７の各下端部近傍（帯状部材１７のＺ軸負方向側端部）を連結する連結部材１９を備えた点のみにおいて第１実施形態のワイヤーソー装置と相違している。連結部材１９は、帯状部材と同一の材質からなり、Ｙ軸方向に長手方向を有する帯状部材である。

これによれば、加工液供給管１６のスリットから落下する加工液Ｓは、帯状部材１７を介して連結部材１９に導かれ、その後、連結部材１９から自由落下せしめられる。従って、加工液Ｓが最終的に事実上の落下を開始する箇所（連結部材１９）と被加工物３０との距離Ｌ３を小さくできるので、加工液Ｓを狙いとする箇所に確実に到達させることができる。また、帯状部材１７だけの場合、帯状部材１７の下端部近傍で加工液Ｓの量が不足し、加工液Ｓの膜が切れてしまう可能性もあるが、本実施形態においては、連結部材１９の存在によりこのような膜切れを回避することができる。

（第５実施形態）
次に、本発明の第５実施形態に係るワイヤーソー装置について説明する。第５実施形態に係るワイヤーソー装置は、図９に示したように、第１実施形態の複数の帯状部材１７に代えて、膜状部材２０（加工液落下形状制御手段を構成する可撓性の薄板の一例）を備えた点のみにおいて第１実施形態と相違している。この膜状部材２０は、帯状部材１７と同一の材質からなる可撓性の薄板である。膜状部材２０は、前記二箇所の特定点Ｑ１，Ｑ２の近傍位置の一方から他方に亘り延在するとともに管状部材１６から下方に向けて垂下するように管状部材１６に係止されている。

これによれば、加工液供給管１６のスリットから落下する加工液Ｓは、膜状部材２０に沿って落下し、その下端部から複数の切断用ワイヤーＷに向けて自由落下する。膜状部材２０は加工液Ｓと濡れ性の良い材質からなっているから、加工液Ｓは膜状部材２０の略全面に沿って落下する。従って、加工液Ｓが最終的に事実上の落下を開始する箇所（膜状部材２０の下端）と被加工物３０との距離Ｌ４を小さくできるので、加工液Ｓを狙いとする箇所に確実に到達させることができる。

（第６実施形態）
次に、本発明の第６実施形態に係るワイヤーソー装置について説明する。第６実施形態に係るワイヤーソー装置は、図１０に示したように、第１実施形態の複数の帯状部材１７に代えて、管状部材１６と独立分離した支持部材２１及び支持部材２１に係止されるとともに同支持部材２１らから下方に向けて垂下した複数の帯状部材２２を備えた点のみにおいて第１実施形態と相違している。

この支持部材２１は、複数の切断用ワイヤーＷの上方（切断用ワイヤーＷが形成されているＸ−Ｙ平面に平行な平面より上方）であり、且つ、管状部材１６の鉛直下方において管状部材１６と平行に伸びた薄板体である。支持部材２１は、基体Ｂに支持されている。この支持部材２１の表面は、加工液Ｓと濡れ性の良い材料で被覆されている。

帯状部材２２は、第１実施形態の帯状部材１７と同一の材質からなっている。従って、帯状部材２２は、被加工物３０に当接したときに撓屈する可撓性を有している。また、帯状部材２２は、第１実施形態の帯状部材１７よりも長手方向の長さが短くなっている。帯状部材２２の一つは特定点Ｑ１の略鉛直下方近傍位置に配置され、他の一つは特定点Ｑ２の略鉛直下方近傍位置に配置されている。

これによれば、管状部材１６のスリット１６ａから一旦落下した加工液Ｓは、切断用のワイヤーＷに到達する前に支持部材２１に捕捉され、その支持部材２１から帯状部材２２により形状が制御されながら更に落下する。また、この帯状部材２２は、被加工物３０に当接したときに撓屈する可撓性を備えているから、被加工物３０の切断中において被加工物３０と当接しても、被加工物３０に損傷が発生しない。以上のことから、加工液Ｓが最終的に事実上の落下を開始する箇所（支持部材２１）と被加工物３０との距離Ｌ５を小さくでき、更に、加工液Ｓの落下形状が帯状部材２２によって制御されるので、加工液Ｓを狙いとする箇所に確実に到達させることができる。

以上、説明したように、本発明によるワイヤーソー装置の各実施形態によれば、複数の切断用ワイヤーＷが被加工物３０を切断している箇所に加工液Ｓを無駄なく供給することができるので、被加工物３０の切断面を予定された平坦な平面とすることができる。更に、帯状部材１７、２２及び膜状部材２０等の薄板（加工液落下形状制御手段）は、被加工物３０に当接したときに撓屈する可撓性を備えている。従って、被加工物３０の切断中において薄板が被加工物３０と万一当接しても、被加工物３０に損傷が発生しない。また、被加工物３０に損傷が発生しないことから、加工液供給管１６である管状部材（スリット状開口）と切断開始前にある被加工物３０との距離を被加工物の切断距離（高さ）に近い距離に設定することもできる。この結果、加工液は凝集する前に複数のワイヤーと被加工物との当接箇所に到達するから、加工液の使用量をより少量としても加工液を精度良く狙いの箇所に到達させることが可能となる。

なお、本発明は上記各実施形態に限定されることはなく、本発明の範囲内において種々の変形例を採用することができる。例えば、上記各実施形態は、９本の切断用ワイヤーＷが同一面内に張架されたワイヤーソー装置であったが、切断用ワイヤーＷの本数及びそれらの間隔は特に限定されない。また、上記各実施形態においては、テーブル１４が上方に移動せしめられていたが、テーブル１４（従って、被加工物３０）を固定し、切断用ワイヤーＷ及び加工液供給管１６等を下方に移動せしめて、被加工物３０を切断してもよい。即ち、ワイヤーソー装置は、被加工物３０が載置されたテーブル１４と複数のワイヤーＷとの少なくとも一方を切断用ワイヤーＷが張架されている平面と交差する方向に相対移動させることにより、被加工物３０を複数の切断用ワイヤーＷに押し付けて切断するように構成されていてもよい。

また、上記各実施形態において、加工液供給管１６に形成された加工液供給開口は、スリット１６ａであったが、実質的にスリット１６ａと同様な「膜状に加工液Ｓを吐出する機能」を果たすように、多数の小径の穴が直線的に並べられてなるスリット状開口であってもよい。

本発明の第１実施形態に係るワイヤーソー装置の斜視図である。 図１に示したワイヤーソー装置の正面図である。 図２の１−１線に沿った平面にてワイヤーソー装置を切断した断面図である。 図１に示した加工液供給管及びその近傍を切断した断面の拡大図である。 図１に示した帯状部材と被加工物とが当接した状態を示した図である。 本発明の第２実施形態に係るワイヤーソー装置の部分断面図である。 本発明の第３実施形態に係るワイヤーソー装置の部分断面図である。 本発明の第４実施形態に係るワイヤーソー装置の部分断面図である。 本発明の第５実施形態に係るワイヤーソー装置の部分断面図である。 本発明の第６実施形態に係るワイヤーソー装置の部分断面図である。 従来のワイヤーソー装置の斜視図である。 従来のワイヤーソー装置の部分断面図である。 従来のワイヤーソー装置の部分断面図である。 従来のワイヤーソー装置の部分断面図である。

符号の説明

１０…ワイヤー、１１，１２…円筒形ローラ、１３…モータ、１４…テーブル、１５…テーブル移動装置、１６…加工液供給管（管状部材）、１６ａ…スリット（加工液供給開口）、１７，１７ａ〜１７ｆ…帯状部材、１８…ポンプ、１９…連結部材、２０…膜状部材、２１…支持部材、２２…帯状部材、３０…被加工物、Ｑ１，Ｑ２…特定点、Ｓ…加工液、Ｗ…切断用ワイヤー。

Claims (6)

1. 一つの平面内において互いに平行となるように張架された複数の切断用のワイヤーと、
   前記複数のワイヤーのそれぞれを同複数のワイヤーの各軸線方向に走行させる走行手段と、
   前記複数のワイヤーの下方に配置されるとともに上面に被加工物を載置するテーブルと、
   前記被加工物が載置されたテーブルと前記複数のワイヤーとの少なくとも一方を前記平面と交差する方向に相対移動させることにより同被加工物を同複数のワイヤーに押し付ける移動手段と、
   前記複数のワイヤーの上方位置から下方に向けて加工液を落下させる加工液供給開口を有する加工液供給手段と、
   を備え、
   前記加工液供給手段により前記加工液供給開口から前記加工液を下方に落下させるとともに前記移動手段により前記被加工物を前記走行させられている複数のワイヤーに押し付けることによって同被加工物を切断するワイヤーソー装置であって、
   前記加工液供給手段の加工液供給開口と前記複数のワイヤーとの間に配設され、前記加工液供給開口から落下する加工液が同複数のワイヤーと前記被加工物との当接箇所に到達するように、同加工液が落下する際の同加工液の形状を制御する加工液落下形状制御手段を備えたワイヤーソー装置において、
   前記加工液供給手段は、
   前記複数のワイヤーのうち前記平面内において同複数のワイヤーの各軸線に直交する方向の両端に位置する二本のワイヤー上の任意の点の各鉛直上方位置近傍の二箇所の特定点を結ぶように伸びる軸線を有し且つ前記加工液供給開口として同軸線に実質的に平行に同二箇所の特定点近傍位置の間に亘って延設されたスリット状開口を底面側に有する管状部材及び同管状部材の内部に前記加工液を供給するポンプからなり、
   前記加工液落下形状制御手段は、
   前記加工液供給開口と前記ワイヤーとの間に配置されるとともに前記被加工物に当接したときに撓屈する可撓性の薄板からなるワイヤーソー装置。
2. 請求項１に記載のワイヤーソー装置において、
   前記加工液落下形状制御手段は、
   前記二箇所の特定点近傍位置にて前記管状部材に係止されるとともに同管状部材から下方に向けて垂下した少なくとも二つの帯状部材を含むワイヤーソー装置。
3. 請求項２に記載のワイヤーソー装置において、
   前記加工液落下形状制御手段は、
   前記二箇所の特定点近傍位置の間において前記管状部材に係止されるとともに同管状部材から下方に向けて垂下した帯状部材を含むワイヤーソー装置。
4. 請求項１又は請求項２に記載のワイヤーソー装置において、
   前記加工液落下形状制御手段は、
   前記複数の帯状部材の各下端部近傍を前記管状部材と略平行となるように連結した連結部材を含むワイヤーソー装置。
5. 請求項１に記載のワイヤーソー装置において、
   前記加工液落下形状制御手段は、
   前記二箇所の特定点近傍位置の一方から他方に亘り延在するとともに前記管状部材から下方に向けて垂下した膜状部材を含むワイヤーソー装置。
6. 請求項１に記載のワイヤーソー装置において、
   前記加工液落下形状制御手段は、
   前記複数のワイヤーの上方且つ前記管状部材のスリット状開口の略鉛直下方において同管状部材と平行に伸びた支持部材と、同支持部材に係止されるとともに同支持部材からから下方に向けて垂下し且つ前記被加工物に当接したときに撓屈する可撓性の帯状部材とからなるワイヤーソー装置。

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