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JP3628615B2 - ヘテロダインビート画像同期測定装置 - Google Patents

ヘテロダインビート画像同期測定装置 Download PDF

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ヘテロダインビート信号にランダムな位相揺らぎが存在しても、ヘテロダインビート画像が安定に測定できるヘテロダインビート画像同期測定装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、このような分野の技術としては、以下に示すようなものがあった。
【0003】
図4はかかる従来のヘテロダインビート画像測定システムの模式図、図5はその検出原理の説明図である。
【0004】
図4には、反射型マッハ・ツェンダ型干渉計をベースとした実験光学系が示されており、低コヒーレンス光源として波長λ=813nm、波長幅Δλ=16nmのスーパールミネッセントダイオード(SLD)を用いた。入射光はレンズL1を通り、ビームスプリッタ(BS1)にて信号光と参照光に2分される。信号光と参照光は2つの音響光学素子(AOM)にて79.9MHzと79.96MHzにそれぞれ周波数シフトされ、(Δf=40kHz)のビート周波数を得る。被検体から後方散乱した信号光はBS2において参照光と再び合波され、2倍の倍率に拡大するレンズペアL2,L3を通してCCDカメラに撮像する。
【0005】
電荷蓄積型センサであるCCDアレイを光ヘテロダイン検波に応用するため、光ヘテロダイン検出法に新たに周波数同期法を導入した。図4の干渉計において、両AOMをビート周波数Δfに等しい周波数の方形波で駆動して、信号光と参照光をともに周波数Δfのパルス列にする。図5に示すように、CCDの検出面において光干渉信号の時間波形は、Δfでサンプリングされている。CCD素子の低い応答特性(〜30Hz)により、各素子は低周波通過フィルタとして機能し、高い周波数をもつヘテロダイン信号に対応する電荷量を観測時間内で蓄積して出力する。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
2次元の断層画像測定のために結像干渉光学系を用いる場合、従来のAOMなどはビーム系が細いために不適切であり、ピエゾ付きハーフミラーなどによる位相変調か、電気光学効果による非線型結晶を用いた位相変調になる。
【0007】
後者の場合、ビーム幅を考慮すると数ミリになり、高い電圧が必要になり、十分高い周波数特性を有する高電圧電源は容易ではない。
【0008】
また、これより、ヘテロダインビート信号は高次高調波を含む。また、参照波と信号波との位相揺らぎは温度などの環境の揺らぎによって容易に発生する。これらのことは実用化に対して重要な問題である。
【0009】
このように、上記した従来の周波数同期法は、ヘテロダインビート信号に高次高調波が含まれるときには、対応できない。
【0010】
また、ヘテロダインビート信号に位相揺らぎがランダムに含まれるときに対応できないといった問題があった。
【0011】
本発明は、上記状況に鑑みて、ヘテロダインビート信号に含まれる高次高調波をも考慮に入れて検討を行い、ヘテロダインビート信号に、ランダムな位相揺らぎが存在しても、安定にヘテロダインビート画像が測定できるヘテロダインビート画像同期測定装置を提供することを目的とする。
【0012】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記目的を達成するために、
〕ヘテロダインビート画像同期測定装置において、光強度が制御できる光源と、この光源のドライバーと、前記光源からの光を信号光と参照光に2分するビームスプリッタと、前記参照光の位相を変調する位相変調器と、この位相変調器のドライバーと、前記信号光をサンプルに照射してこのサンプルからの信号光と、変調された参照光とを前記ビームスプリッタで合波し、干渉画像を面上に結像する撮像装置と、この撮像装置のコントローラと、画像処理とシステム全体の制御を行うコンピュータとを備え、前記位相変調器のドライバーからの変調信号〔図2(e)〕に同期して、前記光源のドライバーによる照射信号〔図2(d)〕により前記光源は断続的にスイッチングされ、最初の照射信号〔図2(d)〕の最初のパルスの中心は、変調信号〔図2(e)〕より周期/4だけ遅れており、パルス幅はほぼ周期/4であり、第1照射により画像I 0 が得られ、第2照射により画像I 1 が得られ、第3照射により画像I 2 が得られ、前記コンピュータによって、下記の式に従って演算処理することにより、前記撮像装置の画素上でのヘテロダインビート信号に含まれる高次高調波を考慮するとともに、信号光強度IS を位相揺らぎ成分δに依存しないで求め、ランダムな位相揺らぎが存在しても安定にヘテロダインビート画像を測定することを特徴とする。
【0013】
S =(1/4I r ){(S 1 /A) 2 +(S 2 /B) 2
ここで、I r は参照光強度、S 1 はI 0 −I 1 、S 2 はI 0 +I 2 −2I 1 、A,Bは定数である。
【0014】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について詳細に説明する。
【0015】
まず、本発明のヘテロダインビート画像同期測定方法〔ILM(Image Lock−in Measurement)〕の原理について説明する。
【0016】
干渉結像光学系において、1画素は通常のヘテロダインビート信号と同じ式、IHB(t)=Ir +IS +2√(Ir ・IS )×cos〔φ(t)+δ〕 …(1)
で表わされる。
【0017】
ここで、Ir:参照光強度、Is:信号光強度、φ(t):位相変調成分、δ:位相揺らぎ成分である。
【0018】
ここでの最終目的は、信号強度IS を位相揺らぎ成分δに依存しないで求めること、つまり、δを用いないでIS を表わすことである。標準的な正弦波の位相変調を仮定して、ベッセル関数を用いると
【0019】
【数1】
Figure 0003628615
のようになる。さらに、3つのタイミングで照射した画像、つまり、3つの時間領域で時間積分した画像を、I0 、I1 、I2 とする。すなわち、
HB(t)に対して以下の3つの時間領域で積分したものをI0 ,I1 ,I2 とする。
【0020】
I: t0 +NT/4−τ/2≦t≦t0 +NT/4+τ/2 (N=0)
II: t0 +NT/4−τ/2≦t≦t0 +NT/4+τ/2 (N=1)
III :t0 +NT/4−τ/2≦t≦t0 +NT/4+τ/2 (N=2)
…(3)
変調信号に対する全体の時間遅延t0 で、それぞれの時間遅延は、0、周期/4、周期/2であり、積分時間はτである。その結果、画像信号I0 ,I1 ,I2 はそれぞれ、
【0021】
【数2】
Figure 0003628615
【0022】
【数3】
Figure 0003628615
【0023】
【数4】
Figure 0003628615
になる。ここで、
【0024】
【数5】
Figure 0003628615
【0025】
【数6】
Figure 0003628615
のようにS1 、S2 を求める。
【0026】
ここで、t0 については、t0 =T/4が1つのよい条件である。
【0027】
そこで、t 0 =T/4が望ましい理由について、以下説明する。
【0028】
まず、第1に、δによらずIS が求められる条件としてS2 のsinδの項(第2番目の項)が0になる必要がある。つまり、cos(2n+1)ωt0 =0である。
【0029】
このとき、
(2n+1)ωt0 =(2n+1)2πt0 /T=(n′+1/2)π
(全てのnに対してn′が対応すればよい)
Figure 0003628615
0 がnにならず、ある一定値になるには、n=n′であり、
∴t0 =T/4
となればよい。
【0030】
このように、変調信号に対する全体の時間遅延t0 は、周期/4が好ましいことが解析的に得られる。
【0031】
更に、t 0 =T/4であれば、第2に、上記S 2 式において、δによらずI S が求められる条件としてS 2 のcosδの項(第1番目の項)も0にすることができる。
【0032】
以下、その点にIついて説明する。
【0033】
また、τについても周期/4にすると値が安定することが、図3に示すように、数値計算より明らかとなる。
【0034】
なお、図3(A)において
τ=aT、sin2nπ(τ/T)=sin2nπa
n=1,2,3,4,…
であり、nが偶数のときはsin2nπa=0、奇数のときはsin2nπa≠0である。
【0035】
このように、周期/4にすると、sin2nπa=0を得ることができ、上記S 2 式において、δによらずI S が求められる条件としてS 2 のcosδの項(第1番目の項)も0にすることができる。
【0036】
また、図3(B)において、
τ=aT、sin(2n+1)π(τ/T)
n=1,2,3,4,…,に対して、
sin(2n+1)π(τ/T)=sin(2n+1)πa≠0
以上より、a=0.25又は0.75〔τ=(T/4)又は(3T/4)〕のとき値は0とならずに安定に求まる。
【0037】
これより、S1 ,S2 は、
【0038】
【数7】
Figure 0003628615
【0039】
【数8】
Figure 0003628615
になる。この時、
A 2 =(S1 /A)2 +(S2 /B)2 =4Ir S …(7)
より、求めるIS は、
∴IS =(1/4Ir ){(S1 /A)2 +(S2 /B)2 } …(8)
のように求められる。IS は、高次高調波を含んだ解析にも関らずδを含んでいないので、位相揺らぎに対して安定であることがわかる。
【0040】
次に、本発明の測定システムについて説明する。
【0041】
図1は本発明のヘテロダインビート画像同期測定システムの構成図である。
【0042】
この図に示されるように、断続的なON、OFFが出来る光源1、そのドライバー2、サンプル4からの干渉画像を撮像デバイス(CCDカメラ)7面上に結像する結像干渉光学系3、参照光の位相変調器5、その位相変調器5のドライバー6、撮像デバイス7のコントローラ8、画像処理とシステム全体制御を行うコンピュータ9で構成される。
【0043】
図2は本発明にかかるヘテロダインビート画像同期測定タイミングチャートである。つまり、図2(a)は全体のシーケンスを示しており、N周期の画像データは蓄積・表示・クリアを繰り返す。図2(b)はそのシーケンスのエレメントの拡大図、図2(c)はシーケンス図であり、Expは照射、Sは画像データセーブ、Calは演算を示している。図2(d)は照射信号のタイミングチャート、図2(e)は変調信号の波形図、図2(f)はヘテロダインビート信号の波形図である。
【0044】
このヘテロダインビート信号の計測には、浜松ホトニクスC−4880−80を用い、ビニング(2×2)328(H)×247(V)、フレームレート53Hz(19ms)、T/4=4.75ms、変調周波数53Hz、1フレーム/secとすると53回の積算である。
【0045】
変調信号〔図2(e)〕に同期して、照射信号〔図2(d)〕により光源は断続的にスイッチングされる。最初の照射信号〔図2(d)〕の最初のパルスの中心は、変調信号〔図2(e)〕より周期/4だけ遅れており、パルス幅はほぼ周期/4である。Exp1により画像I0 が得られセーブ(S1)、Exp2により画像I1 が得られセーブ(S2)、Exp3により画像I2 が得られ、式(8)に従って演算処理され、セーブ(S3)される。この一連の処理を1周期(P1)とする。以後、S3によって得られた画像をN回積算して最終画像とする。つまり、N回積算・表示・クリア・N回積算・表示・クリアを繰り返す。最終的にN回積算を行った画像を断層画像として出力する。
【0046】
上記したように、
位相揺らぎ抑制方法としては、
〔方法1〕
もし、A(φo ,τ=T/4)=B(φo ,τ=T/4)を満たすφo が求まれば、
Figure 0003628615
∴IS =IC 2 /8A2 r
として、IS が求まる。
〔方法2〕
A 2 =(S1 /A)2 +(S2 /B)2 =4Ir S …(7)
∴IS =(1/4Ir ){(S1 /A)2 +(S2 /B)2 } …(8)
として、IS が求められる。これが1画素でのサンプルからの後方散乱光強度であり、この処理を全ての画素に対して行うことにより画像データが得られる。
【0047】
なお、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、本発明の趣旨に基づいて種々の変形が可能であり、これらを本発明の範囲から排除するものではない。
【0048】
【発明の効果】
以上、詳細に説明したように、本発明によれば、高次高調波を考慮した上で、画像全体に有効な位相揺らぎを抑制する方法を講じたために、大変有効である。
【0049】
したがって、実時間表示の生体用鉛直断面画像測定装置が実現され、基礎医学から臨床医学の分野にわたって、いままでわからなかった様々なことが解明可能である。よって、医学分野、さらに、半導体や他の産業分野への波及効果は多大である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のヘテロダインビート画像同期測定システムの構成図である。
【図2】本発明にかかるヘテロダインビート画像同期測定タイミングチャートである。
【図3】変調信号に対する全体の時間遅延の数値結果を示す図である。
【図4】従来のヘテロダインビート画像測定システムの模式図である。
【図5】従来のへテロダインビート画像検出原理の説明図である。
【符号の説明】
1 光源
2 ドライバー
3 結像干渉光学系
4 サンプル
5 参照光の位相変調器
6 位相変調器のドライバー
7 撮像デバイス(CCDカメラ)
8 撮像デバイスのコントローラ
9 画像処理とシステム全体制御を行うコンピュータ

Claims (1)

  1. (a)光強度が制御できる光源と、
    (b)該光源のドライバーと、
    (c)前記光源からの光を信号光と参照光に2分するビームスプリッタと、
    (d)前記参照光の位相を変調する位相変調器と、
    (e)該位相変調器のドライバーと、
    前記信号光をサンプルに照射して該サンプルからの信号光と、変調された参照光とを前記ビームスプリッタで合波し、干渉画像を面上に結像する撮像装置と、
    該撮像装置のコントローラと、
    )画像処理とシステム全体の制御を行うコンピュータとを備え、
    (i)前記位相変調器のドライバーからの変調信号に同期して、前記光源のドライバーによる照射信号により前記光源は断続的にスイッチングされ、最初の照射信号の最初のパルスの中心は、変調信号より周期/4だけ遅れており、パルス幅はほぼ周期/4であり、第1照射により画像I 0 が得られ、第2照射により画像I 1 が得られ、第3照射により画像I 2 が得られ、前記コンピュータによって、下記の式に従って演算処理することにより、前記撮像装置の画素上でのヘテロダインビート信号に含まれる高次高調波を考慮するとともに、信号光強度IS を位相揺らぎ成分δに依存しないで求め、ランダムな位相揺らぎが存在しても安定にヘテロダインビート画像を測定することを特徴とするヘテロダインビート画像同期測定装置。
    S =(1/4I r ){(S 1 /A) 2 +(S 2 /B) 2
    ここで、I r は参照光強度、S 1 はI 0 −I 1 、S 2 はI 0 +I 2 −2I 1 、A,Bは定数である。
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