JP3609331B2 - 位置検出機能を備えたマニホールドバルブ - Google Patents
位置検出機能を備えたマニホールドバルブ Download PDFInfo
- Publication number
- JP3609331B2 JP3609331B2 JP2000276684A JP2000276684A JP3609331B2 JP 3609331 B2 JP3609331 B2 JP 3609331B2 JP 2000276684 A JP2000276684 A JP 2000276684A JP 2000276684 A JP2000276684 A JP 2000276684A JP 3609331 B2 JP3609331 B2 JP 3609331B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- valve
- manifold
- mounting surface
- magnet
- intermediate block
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
- F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F15B13/00—Details of servomotor systems ; Valves for servomotor systems
- F15B13/02—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors
- F15B13/06—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors for use with two or more servomotors
- F15B13/08—Assemblies of units, each for the control of a single servomotor only
- F15B13/0803—Modular units
- F15B13/0807—Manifolds
- F15B13/0817—Multiblock manifolds
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K37/00—Special means in or on valves or other cut-off apparatus for indicating or recording operation thereof, or for enabling an alarm to be given
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
- F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F15B13/00—Details of servomotor systems ; Valves for servomotor systems
- F15B13/02—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors
- F15B13/06—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors for use with two or more servomotors
- F15B13/08—Assemblies of units, each for the control of a single servomotor only
- F15B13/0803—Modular units
- F15B13/0832—Modular valves
- F15B13/0839—Stacked plate type valves
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
- F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F15B13/00—Details of servomotor systems ; Valves for servomotor systems
- F15B13/02—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors
- F15B13/06—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors for use with two or more servomotors
- F15B13/08—Assemblies of units, each for the control of a single servomotor only
- F15B13/0803—Modular units
- F15B13/0846—Electrical details
- F15B13/0857—Electrical connecting means, e.g. plugs, sockets
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
- F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F15B13/00—Details of servomotor systems ; Valves for servomotor systems
- F15B13/02—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors
- F15B13/06—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors for use with two or more servomotors
- F15B13/08—Assemblies of units, each for the control of a single servomotor only
- F15B13/0803—Modular units
- F15B13/0846—Electrical details
- F15B13/086—Sensing means, e.g. pressure sensors
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
- F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F15B13/00—Details of servomotor systems ; Valves for servomotor systems
- F15B13/02—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors
- F15B13/06—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors for use with two or more servomotors
- F15B13/08—Assemblies of units, each for the control of a single servomotor only
- F15B13/0803—Modular units
- F15B13/0875—Channels for electrical components, e.g. for cables or sensors
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K27/00—Construction of housing; Use of materials therefor
- F16K27/003—Housing formed from a plurality of the same valve elements
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K37/00—Special means in or on valves or other cut-off apparatus for indicating or recording operation thereof, or for enabling an alarm to be given
- F16K37/0025—Electrical or magnetic means
- F16K37/0041—Electrical or magnetic means for measuring valve parameters
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T137/00—Fluid handling
- Y10T137/8158—With indicator, register, recorder, alarm or inspection means
- Y10T137/8225—Position or extent of motion indicator
- Y10T137/8242—Electrical
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T137/00—Fluid handling
- Y10T137/8593—Systems
- Y10T137/86493—Multi-way valve unit
- Y10T137/86574—Supply and exhaust
- Y10T137/86582—Pilot-actuated
- Y10T137/86614—Electric
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T137/00—Fluid handling
- Y10T137/8593—Systems
- Y10T137/86493—Multi-way valve unit
- Y10T137/86574—Supply and exhaust
- Y10T137/86622—Motor-operated
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T137/00—Fluid handling
- Y10T137/8593—Systems
- Y10T137/877—With flow control means for branched passages
- Y10T137/87885—Sectional block structure
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- Valve Housings (AREA)
- Indication Of The Valve Opening Or Closing Status (AREA)
- Magnetically Actuated Valves (AREA)
- Multiple-Way Valves (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、マニホールドベース上に搭載した電磁弁の動作位置をマグネットと磁気センサーとで検出することができる、位置検出機能付きのマニホールドバルブに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
マグネットと磁気センサーとを使用してスプールの動作位置を検出できるようにした電磁弁は、例えば実開平２−６６７８４号公報に開示されているようにすでに公知である。この電磁弁は、スプールの外周にマグネットを取り付けると共に、ケーシングに磁気を感知する磁気センサーを取り付けたもので、スプールが一方の切換位置に移動したとき上記磁気センサーがマグネットを感知してオンとなり、スプールが他方の切換位置に移動したとき磁気センサーがマグネットから離れてオフになるようにしたものである。そして上記磁気センサーは、電磁弁のケーシングから外部に導出したリード線によってコントローラーに接続されている。
【０００３】
一方、この種の電磁弁には、それをマニホールドベース上に搭載することによってマニホールドバルブとして使用されるものがある。このマニホールドバルブは通常、マニホールドベース上に一個又は複数個の電磁弁が搭載されていて、これらの各電磁弁に上記マニホールドベースを通じて圧力流体と電力とが一括して供給されるように構成されている。
【０００４】
このようなマニホールドバルブにおいても、上述した公知例と同様に、各電磁弁の動作位置をマグネットと磁気センサーとを使用して検出することができる。しかしながらその場合に、公知例のように磁気センサーを電磁弁のケーシングに取り付けたのでは、導線をケーシングの外を引き回してマニホールドベースの電気接続部に導入、接続しなければならないため、配線作業が面倒で乱雑になったり、導線が他の作業の邪魔になるなどの問題を生じ易い。また、メンテナンスに当たってマニホールドベースと電磁弁とを分離する際に、導線でマニホールドベースに接続されているセンサーをケーシングから取り外すか、あるいは上記導線をマニホールドベースから切り離すなどの作業を行わなければならず、取り扱いが面倒である。
【０００５】
電磁弁やマニホールドベースの内部に挿通孔を設け、この挿通孔を通じて導線を電気接続部に導くようにすれば上述した問題を解決することができるが、電磁弁やマニホールドベースには既に複数の流路や取付孔等が複雑に入り込んだ状態に設けられているため、新たに導線用の挿通孔を設けるのは困難である。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の技術的課題は、磁気センサーの取り付けが簡単で配線も容易であると共に、メンテナンス時の取り扱いも容易な位置検出機能を備えたマニホールドバルブを提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明によれば、圧力流体をコントロールするための電磁弁と、この電磁弁に圧力流体と電力とを供給するためのマニホールドベースと、これらの電磁弁とマニホールドベースとの間に介設される中間ブロックとを、順次重設して一体に結合することにより構成されたマニホールドバルブが提供される。
上記電磁弁は、上記中間ブロックに取り付けるための取付面を有するケーシングと、このケーシングの内部に設けられた流体コントロール用の弁部材と、この弁部材を駆動する電磁式の駆動手段と、上記ケーシングの取付面に開口する複数の通孔と、上記弁部材と同期して変移するように設けられた位置検出用のマグネットと、上記ケーシングの取付面に該マグネットと対応するように設けられたセンサー取付用の窪みとを有している。
また、上記マニホールドベースは、上記中間ブロックを搭載するための搭載面と、この搭載面に開口する複数の通孔と、電磁弁制御用のコントローラーに接続するための第１プラグとを有している。
さらに上記中間ブロックは、上記電磁弁を搭載するための上面側の第１取付面と、上記マニホールドベースに搭載するための底面側の第２取付面と、上記電磁弁とマニホールドベースとの通孔同士を相互に連通する複数の連通孔と、上記電磁弁に形成された窪みと対応する第１取付面上の位置に該第１取付面から電磁弁側に突出するように設置され、この第１取付面への電磁弁の搭載により上記窪み内に嵌合する少なくとも１つの磁気センサーと、この磁気センサーと上記第１プラグとを結ぶ導線を挿通させるための挿通孔とを有している。
【０００８】
上記構成を有する本発明のマニホールドバルブは、マニホールドベースと電磁弁との間に中間ブロックを介在させ、この中間ブロックに磁気センサーを設けると共に、この磁気センサーとマニホールドベース内の第１プラグとを結ぶ導線を通すための挿通孔を設けているため、磁気センサーの取り付けが簡単であると共に、導線を外部に引き回す必要がないため配線作業も簡単で整然と配線することができる。しかも、複数の流路や取付孔等が複雑に入り込んだ状態に設けられている電磁弁やマニホールドベースに上記挿通孔を新たに設ける必要がないため、構造が簡単で設計も容易になる。
また、上記中間ブロックに磁気センサーを突出状態に設けると共に、電磁弁のケーシングに窪みを設け、中間ブロック上に電磁弁を搭載することによって磁気センサーが上記窪み内の所定の位置に取り付けられるようにしたので、磁気センサーの取り付けが簡単であり、しかも、メンテナンスに当たってマニホールドベースと電磁弁とを分離する際に、マニホールドベースから磁気センサーを取り外したり、導線をマニホールドベースから切り離す必要がないため、取り扱いも容易である。
【０００９】
本発明において好ましくは、上記中間ブロックの第１取付面に上記窪みに嵌合する中空の突部が設けられ、この突部内に磁気センサーを収容することにより該突部が、上記中間ブロックと電磁弁とを連結する際の位置決め手段と、上記磁気センサーを中間ブロックの第１取付面から突出した状態に保持するためのホルダーとを兼ねていることである。
【００１０】
本発明の具体的な構成態様によれば、上記電磁弁がスプール式の電磁弁であると共に、上記駆動手段が電磁操作式の１つ又は２つのパイロット弁であって、上記弁部材の両側にそれぞれパイロット流体の作用により動作するピストンを有している。そして、これらの弁部材又はピストンの何れかに上記マグネットが取り付けられるか、あるいは、何れか一方のピストンと弁部材との間にこれらのピストン及び弁部材と同期して変移するようにマグネットホルダーが介設され、このマグネットホルダーに上記マグネットが取り付けられている。
【００１１】
上記マグネットは、圧力流体又はパイロット流体から隔絶された状態に取り付けることが望ましい。
【００１２】
【発明の実施の形態】
図１〜図３は本発明に係るマニホールドバルブの第１実施形態を示すもので、このマニホールドバルブ１００は、圧縮空気等の圧力流体をコントロールするための電磁弁１と、この電磁弁１に圧力流体と電力とを供給するためのマニホールドベース２と、これらの電磁弁１とマニホールドベース２との間に介設される中間ブロック３とを、順次重設して一体に結合することにより構成されている。
【００１３】
上記電磁弁１はダブルパイロット式の電磁弁で、主弁４と、該主弁４の一端に並べて取り付けられた２つの電磁操作式のパイロット弁５ａ，５ｂとを有し、これらのパイロット弁５ａ，５ｂで主弁４を切り換えるものである。上記主弁４は５ポート弁として構成され、非磁性体からなるケーシング６を有している。このケーシング６は、矩形断面を有する第１部材６ａと、その一端に連結されて上記パイロット弁５ａ，５ｂを取付けるためのアダプターを兼ねる第２部材６ｂと、他端に連結されてケーシングの端部を閉じるエンドプレートとして機能する第３部材６ｃと、この第３部材６ｃと上記第１部材６ａとの間に介設された第４部材６ｄとからなっていて、このケーシング６の下面は、上記中間ブロックの上面に搭載して固定するための実質的に平らな取付面１ａとなっている。
【００１４】
上記取付面１ａの第１部材６ａの底面に当たる部分には、供給通孔Ｐ１ と、その両側に位置する２つの出力通孔Ａ１ ，Ｂ１ と、さらにその両側に位置する２つの排出通孔ＥＡ１ ，ＥＢ１ とが設けられている。また、上記第１部材６ａの内部には、これらの各通孔が軸線方向に並んで開口する弁孔７が設けられ、この弁孔７内に、流路切換用の弁部材であるスプール８が摺動自在に収容されている。
【００１５】
上記スプール８の外周には、上記各ポート間を結ぶ流路同士を相互に区画するための複数のシール部材９が設けられると共に、スプール８の両端部外周に、該スプール８の端部が臨む呼吸室１０と弁孔７内の作動流体の流路との間を遮断する端部シール部材９ａがそれぞれ設けられている。
【００１６】
一方、上記第２部材６ｂ及び第３部材６ｃには、ピストン室１１ａ，１１ｂがそれぞれ形成されている。このうち第２部材６ｂに形成された第１ピストン室１１ａは大径で、その中には大径の第１ピストン１２ａが摺動自在に収容されている。また、第３部材６ｃに形成された第２ピストン室１１ｂは上記第１ピストン室１１ａより小径で、その中には小径の第２ピストン１２ｂが摺動自在に収容されている。これらのピストンのうち第１ピストン１２ａは、スプール８の端面に分離自在に当接するか又は該スプール８と一体に連結されており、他方の第２ピストン１２ｂは、第４部材６ｄ内に摺動自在に設けられたマグネットホルダー１９を介してスプール８の端面に当接している。このマグネットホルダー１９は円柱状をしていて、上記スプール８及び第２ピストン１２ｂと同期して上記呼吸室１０内を摺動する。
【００１７】
上記各ピストン１２ａ，１２ｂの背面側、即ちスプール８側の面とは反対側の面には、それぞれ第１及び第２の圧力室１３ａ，１３ｂが形成され、各ピストン１２ａ，１２ｂとスプール８との間には、それぞれ図示しない通孔により外部に開放する上記呼吸室１０，１０が形成されており、これらの圧力室１３ａ，１３ｂと呼吸室１０，１０との間は、上記ピストン１２ａ，１２ｂの外周に取り付けられたピストンパッキン１５，１５で気密に遮断されている。
【００１８】
大径の第１ピストン１２ａ側に位置する上記第１圧力室１３ａは、パイロット供給流路１６、補助ブロック１４に設けられた手動操作機構１７ａ（図２参照）、一方のパイロット弁５ａ、及びパイロット出力流路１８ａを介して上記供給ポートＰに連通している。また、小径の第２ピストン１２ｂ側に位置する第２圧力室１３ｂは、上記パイロット供給流路１６、他方のパイロット弁５ｂ、パイロット出力流路１８ｂ、手動操作機構１７ｂ、及びパイロット出力流路１８ｃを介して上記供給ポートＰに連通している。
【００１９】
そして、一方のパイロット弁５ａがオフとなって第１圧力室１３ａが大気に開放されると共に、他方のパイロット弁５ｂがオンとなって第２圧力室１３ｂに上記パイロット出力流路１８ｂ及び１８ｃを通じてパイロット供給流路１６からのパイロット流体が供給されているときは、第２ピストン１２ｂによりスプール８が押され、図１に示すように左側に移動した第１切換位置を占める。この状態から上記パイロット弁５ａ，５ｂが切り換わり、パイロット弁５ａがオンとなってパイロット弁５ｂがオフになると、第２圧力室１３ｂが大気に開放して第１圧力室１３ａにパイロット流体が供給されるため、ピストン１２ａによりスプール８が押されて右側に移動し、第２切換位置に切り換わる。
【００２０】
上記手動操作機構１７ａ，１７ｂはそれぞれ、パイロット弁５ａ，５ｂがオンになった場合と同様の切換状態を手動で再現させるためのもので、停電時やパイロット弁が故障した場合などに使用するものである。即ち、手動操作機構１７ａは、パイロット弁５ａに対応するもので、操作子１７ｃを押し下げることによりパイロット供給流路１６とパイロット出力流路１８ａとが直接連通し、第１圧力室１３ａに供給ポートＰからパイロット流体が供給される。他方の手動操作機構１７ｂはパイロット弁５ｂに対応していて、操作子１７ｃを押し下げることによりパイロット供給流路１６とパイロット出力流路１８ｃが直接連通し、第２圧力室１３ｂに供給ポートＰからパイロット流体が供給される。
【００２１】
なお、上記パイロット弁５ａ，５ｂは、ソレノイドへの通電によってパイロット流路を開閉する電磁操作式のパイロット弁であって、その構成及び作用は公知のものと同じであるため、その具体的な説明は省略する。
【００２２】
上記マグネットホルダー１９には、スプール８の動作位置を検出する際の被検出体となるマグネット２０が取り付けられている。このマグネット２０は、例えば合成樹脂や合成ゴムのような軟質の弾性基材中に、磁性を持つ金属粉末を混合して、円周の一部に切欠を有するリング状に形成したものを好適に使用することができ、このマグネット２０が、上記マグネットホルダー１９の外周に形成された取付溝内に弾力的に拡径した状態で嵌め込むことにより取り付けられている。そして、スプール８と共に変移するこのマグネット２０を中間ブロック３に取付けた磁気センサー２１で検出することにより、上記スプール８の動作位置を検出できるようにしている。
【００２３】
このように上記マグネット２０を呼吸室１０内に設けることにより、該マグネット２０が圧力流体やパイロット流体と接触するのを防ぐことができるため、流体中に水分や化学ミストあるいは金属粉のような磁性体粒子等が含まれていたとしても、該マグネット２０がそれらと接触して錆びたり腐食したりあるいは磁性体粒子を吸着したりするようなことがなく、磁力の低下による位置検出精度の低下や、吸着した微細粒子によるスプール８の動作不良等を生じることがない。
【００２４】
上記電磁弁１のケーシング６における取付面１ａには、第４部材６ｄの底面となる位置に、上記磁気センサー２１が嵌合する実質的に矩形の断面形状を有する窪み２２が、上記マグネット２０に近接する深さに切り込まれている。
【００２５】
また、上記マニホールドベース２は、厚さ（横幅）方向に複数個を接合して使用するスタッキングタイプのもので、非磁性体により形成されていて、一半側に設けられた流路形成部２Ａと他半側に設けられた電気接続部２Ｂとを有し、該マニホールドベース２の上面には、これらの流路形成部２Ａと電気接続部２Ｂとに跨がるように搭載面２ａが形成されている。上記流路形成部２Ａと電気接続部２Ｂとは、一体に形成しても、別体に形成して相互に連結しても良い。
【００２６】
上記流路形成部２Ａには、マニホールドベース２を厚さ方向に貫通する供給流路Ｐ及び排出流路Ｅが設けられると共に、該マニホールドベース２の端面に開口する２つの出力ポートＡ，Ｂが設けられている。そして、これらの供給流路Ｐと排出流路Ｅ及び各出力ポートＡ，Ｂがそれぞれ、流路形成部２Ａの内部に形成された連通孔を通じて上記搭載面２ａ上に開口する供給通孔Ｐ２ と２つの排出通孔ＥＡ２ ，ＥＢ２ 及び２つの出力通孔Ａ２ ，Ｂ２ に連通し、この搭載面２ａ上に電磁面を搭載したときこれらの各通孔が、該電磁面の取付面１ａに開口する供給通孔Ｐ１ と２つの排出通孔ＥＡ１ ，ＥＢ１ 及び２つの出力通孔Ａ１ ，Ｂ１ にそれぞれ連通するようになっている。
【００２７】
図中２４は、複数のマニホールドベース２を接合して締結する際にボルトを挿通するための締結孔、２５，２６はマニホールドベース２の両面の相対する位置に設けられた位置決め用の突起と嵌合孔とで、突起２５が隣接するマニホールドベース２の嵌合孔２６内に嵌合するようになっている。
【００２８】
また、上記電気接続部２Ｂは、接続用の電気部品を収容するための収容室２７を有し、この収容室２７内に、電磁弁制御用のコントローラーから導かれる導線の先端の第１ソケット（図示せず）を接続するための第１プラグ２８と、この第１プラグ２８に電気的に接続された第１プリント基板２９と、この第１プリント基板２９に接続された第２ソケット３０ａとが設けられている。この第２ソケット３０ａには、上記中間ブロック３に取り付けられた第２プラグ３０ｂが接続される。
【００２９】
上記中間ブロック３は、上記電磁弁１とマニホールドベース２との間に外部にはみ出すことがないように取り付けられるもので、これらの電磁弁１又はマニホールドベース２とほぼ同じ長さ及び厚さ（横幅）を有するように形成され、上記電磁弁１を搭載するための上面側の第１取付面３ａと、マニホールドベース２に搭載するための底面側の第２取付面３ｂとを有している。
【００３０】
この中間ブロック３は、上記電磁弁１の主弁４及びマニホールドベース２の流路形成部２Ａに対応する第１部分３Ａと、パイロット弁５ａ，５ｂ及びマニホールドベース２の電気接続部２Ｂに対応する第２部分２Ｂとからなっていて、上記第１部分３Ａには、上記第１取付面３ａと第２取付面３ｂとの間を結ぶ複数の連通孔３５が設けられ、これらの連通孔３５により、上記電磁弁１の取付面１ａとマニホールドベース２の搭載面２ａとにそれぞれ開口する複数の通孔同士が相互に連通されるようになっている。
【００３１】
また、上記中間ブロック３の第１取付面３ａには、上記電磁弁１に形成された窪み２２と対応する位置に、該窪み２２にほぼぴったりと嵌合する大きさの矩形断面を有するキャップ形の突部３７が上方に突出するように形成されている。この突部３７内には上記磁気センサー２１が、中間ブロック３の内部に設けた第１中継室３８側から挿入され、この突部３７によって該磁気センサー２１が、搭載面２ａから電磁弁１側に向けて突出した状態に保持されている。そして、上記第１取付面３ａ上へ電磁弁１を搭載することにより、上記突部３７が窪み２２内に嵌合して中間ブロック３と電磁弁１との位置決めが行われると共に、この突部３７を介して磁気センサー２１が窪み２２内に嵌合状態に取り付けられるようになっている。従って上記突部３７は、中間ブロック３と電磁弁１とを結合する際の位置決め手段と、上記磁気センサー２１を中間ブロック３から突出状態に保持するためのホルダーとを兼ねるものである。この突部３７は、中間ブロック３と一体に形成されているが、別に形成して中間ブロック３に固定しても良い。
【００３２】
一方、上記中間ブロック３の第２部分３Ｂには、第２中継室３９が形成され、この中継室３９内に上記第２プラグ３０ｂと、この第２プラグ３０ｂに接続された第２中継基板４０と、この第２中継基板４０に接続された第３ソケット４１ａとが設けられ、第１取付面３ａ上に電磁弁１を搭載したときこの第３ソケット４１ａが、該電磁弁１に取り付けられた第３プラグ４１ｂに接続されるようになっている。また、上記第２中継基板４０には、上記磁気センサー２１が、第１中継室３８内に設けられた第１中継基板４２と、挿通孔４３内を延びる導線４４とを通じて相互に接続されている。上記挿通孔４３は、図３からも分かるように、中間ブロック３の中央部に両中継室３８，３９を結ぶように設けられたもので、上記複数の連通孔３５の中央を横切っているが、これらの連通孔３５からは隔絶されている。
なお、上記中間ブロック３は、複数の部材を結合することにより構成されているが、全体を一体に形成することもできる。
【００３３】
上記構成を有するマニホールドバルブ１００は、マニホールドベース２と電磁弁１との間に中間ブロック３を介在させ、この中間ブロック３に磁気センサー２１を保持させると共に、この磁気センサー２１とマニホールドベース２内の第１プラグ２８とを結ぶ導線４４を通すための挿通孔４３を設けているため、上記磁気センサー２１の取り付けが簡単であると共に、上記導線４４を外部に引き回す必要がないため配線作業も簡単で整然と配線することができる。しかも、複数の流路や取付孔等が複雑に入り込んだ状態に設けられている電磁弁１やマニホールドベース２に上記挿通孔４３を新たに設ける必要がないため、構造が簡単で設計も容易になる。
【００３４】
また、上記中間ブロック３に磁気センサー２１を突出状態に設けると共に、電磁弁１のケーシング６に窪み２２を設け、中間ブロック３上に電磁弁１を搭載することによって磁気センサー２１が上記窪み２２内の所定の位置に自動的に取り付けられるようにしたので、該磁気センサー２１の取り付けが簡単であり、しかも、メンテナンスに当たってマニホールドベース２と電磁弁１とを分離する際にも、マニホールドベース１から磁気センサー１を取り外したり、導線４４をマニホールドベース２から切り離す必要がないため、取り扱いも容易である。
さらに、電磁弁１のケーシング６の一部として上記第４部材６ｄを設け、この第４部材６ｄ内にマグネットホルダー１９を設けてマグネット２０を取り付けるようにしているため、該マグネット２０の設置が容易である。
【００３５】
なお、上記実施例では、上記マグネットホルダー１９及びマグネット２０を、第４部材６ｄに保持させることによってケーシング６のパイロット弁５ａ，５ｂを取り付けた側とは反対の側、即ち第１部材６ａと第３部材６ｃとの間に設けているが、それらをパイロット弁５ａ，５ｂを取り付けた側、即ち第１部材６ａと第２部材６ｂとの間に設けることもできる。この場合、磁気センサー２１もそれに対応する位置に設けることは言うまでもないことである。
【００３６】
図４及び図５は本発明に係るマニホールドバルブの第２実施例を示すもので、この第２実施例のマニホールドバルブ２００が上記第１実施例のマニホールドバルブ１００と異なる点は、第１実施例ではケーシング６に第４部材６ｄを設けてマグネットホルダー１９を保持させ、このマグネットホルダー１９にマグネット２０を取り付けているのに対し、この第２実施例では、上記のような第４部材６ｄ及びマグネットホルダー１９を設けることなく、ピストンに直接マグネット２０を取り付けている点である。即ち、大径の第１ピストン１２ａの外周にマグネット２０を取り付けると共に、ケーシング６の第２部材６ｂの下面に窪み２２を形成し、中間ブロック３における第１取付面３ａの上記窪み２２に対応する位置に突部３７を形成して磁気センサー２１を保持させている。
【００３７】
上記マグネット２０は、ピストン１２ａのピストンパッキン１５よりは呼吸室１０側に寄った位置に取り付けることにより、パイロット流体と接触するのを防止している。
また、上記磁気センサー２１は、第２中継室３９内に設置された第１中継基板４２と、この第１中継基板４２に接続された第４ソケット４６ａと、この第４ソケット４６ａに切り離し自在に接続された第４プラグ４６ｂと、この第４プラグ４６ｂに接続された導線４７とを介して第２中継基板４０に接続されている。
【００３８】
従ってこの第２実施例においては、中間ブロック３に第１実施例のような第１中継室３８や挿通孔４３は設けられておらず、上記第２中継室３９が挿通孔４３を兼ねている。しかし、この場合にも第１中継室３８や挿通孔４３が設けられた中間ブロック３を使用できることは勿論である。
なお、第２実施例の上記以外の構成は実質的に第１実施例と同じであるため、主要な同一構成部分に第１実施例と同一の符号を付してその説明は省略する。
【００３９】
上記第１ピストン１２ａにマグネット２０を取り付ける代わりに、反対側の第２ピストン１２ｂにマグネット２０を取り付けることもできる。この場合には、窪み２２及び磁気センサー２１もこのマグネット２０に対応する位置に設けられる。また、中間ブロック３として第１実施例のように第１中継室３８や挿通孔４３を有するものが使用され、磁気センサー２１からの導線が挿通孔４３を通じて第２中継基板４０に接続される。
【００４０】
図６は本発明に係るマニホールドバルブの第３実施例を示すもので、この第３実施例のマニホールドバルブ３００が上記第１及び第２実施例と異なる点は、マグネット２０をスプール８に直接取り付けている点である。即ち、スプール８の端部の端部シール部材９ａよりも呼吸室１０側に寄った位置に、圧力流体から完全に遮断した状態に上記マグネット２０が取り付けられている。この場合、ケーシング６の第１部材６ａの下面に窪み２２が形成されると共、中間ブロック３の該窪み２２と対応する位置に磁気センサー２１を保持する突部３７が形成されている。
【００４１】
なお、第３実施例の上記以外の構成は実質的に第２実施例と同じであるため、主要な同一構成部分に第２実施例と同一の符号を付してその説明は省略する。
【００４２】
上記各実施例では、中間ブロック３に中空キャップ状の突部３７を形成し、この突部３７内に磁気センサー２１を収容することにより、該磁気センサー２１を中間ブロック３に第１取付面３ａから突出した状態に保持させているが、磁気センサー２１の取り付け方法はこのようなものに限定されない。例えば、上記突部３７を先端が開放する中空筒形に形成し、この突部内に磁気センサー２１を収容しても良い。あるいは、このような突部３７を設けることなく、磁気センサー２１をそのまま外部に露出させて窪み内に取り付けても良い。
【００４３】
また、上記各実施例では、窪み２２内に１つの磁気センサー２１を取り付けるようにしているが、２つあるいは３つ以上の磁気センサーを取り付けても良い。このように複数の磁気センサーを所要の間隔をおいて取り付けることにより、スプールの両ストローク端の位置や、ストローク中の中間位置、あるいはその他の任意の位置を簡単かつ確実に検出することができる。
【００４４】
さらに、上記実施例の電磁弁においては、２つのピストンの径を大小に違えているが、同径のピストンを使用することもできる。
あるいは、上記電磁弁として、１つのパイロット弁でスプールを切り換えるシングルパイロット式の電磁弁を用いることもできる。
また本発明は、スプール式以外の電磁弁を有するマニホールドバルブ、例えばポペット式の電磁弁を有するマニホールドバルブにも適用することができる。
【００４５】
【発明の効果】
以上に詳述したように、本発明によれば、磁気センサーの取り付けが簡単で配線も容易であると共に、メンテナンス時の取り扱いも容易な位置検出機能を備えたマニホールドバルブを得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るマニホールドバルブの第１実施例を示す要部断面図である。
【図２】図１のマニホールドバルブを分解しかつ要部を破断して示す斜視図である。
【図３】図１におけるＩＩＩ−ＩＩＩ線での断面図である。
【図４】本発明に係るマニホールドバルブの第２実施例を示す断面図である。
【図５】図４のマニホールドバルブを分解しかつ要部を破断して示す斜視図である。
【図６】本発明に係るマニホールドバルブの第３実施例を示す要部断面図である。
【符号の説明】
１００，２００，３００ マニホールドバルブ
Ｐ１ ，Ｐ２ 供給通孔
Ａ１ ，Ａ２ ，Ｂ１ ，Ｂ２ 出力通孔
ＥＡ１ ，ＥＡ２ ，ＥＢ１ ，ＥＢ２ 排出通孔
１ 電磁弁
１ａ 取付面
２ マニホールドベース
２ａ 搭載面
３ 中間ブロック
３ａ 第１取付面
３ｂ 第２取付面
５ａ，５ｂ パイロット弁
６ ケーシング
８ スプール
１２ａ，１２ｂ ピストン
１９ マグネットホルダー
２０ マグネット
２１ 磁気センサー
２２ 窪み
２８ 第１プラグ
３５ 連通孔
３７ 突部
３８ 挿通孔
３９ 導線
【発明の属する技術分野】
本発明は、マニホールドベース上に搭載した電磁弁の動作位置をマグネットと磁気センサーとで検出することができる、位置検出機能付きのマニホールドバルブに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
マグネットと磁気センサーとを使用してスプールの動作位置を検出できるようにした電磁弁は、例えば実開平２−６６７８４号公報に開示されているようにすでに公知である。この電磁弁は、スプールの外周にマグネットを取り付けると共に、ケーシングに磁気を感知する磁気センサーを取り付けたもので、スプールが一方の切換位置に移動したとき上記磁気センサーがマグネットを感知してオンとなり、スプールが他方の切換位置に移動したとき磁気センサーがマグネットから離れてオフになるようにしたものである。そして上記磁気センサーは、電磁弁のケーシングから外部に導出したリード線によってコントローラーに接続されている。
【０００３】
一方、この種の電磁弁には、それをマニホールドベース上に搭載することによってマニホールドバルブとして使用されるものがある。このマニホールドバルブは通常、マニホールドベース上に一個又は複数個の電磁弁が搭載されていて、これらの各電磁弁に上記マニホールドベースを通じて圧力流体と電力とが一括して供給されるように構成されている。
【０００４】
このようなマニホールドバルブにおいても、上述した公知例と同様に、各電磁弁の動作位置をマグネットと磁気センサーとを使用して検出することができる。しかしながらその場合に、公知例のように磁気センサーを電磁弁のケーシングに取り付けたのでは、導線をケーシングの外を引き回してマニホールドベースの電気接続部に導入、接続しなければならないため、配線作業が面倒で乱雑になったり、導線が他の作業の邪魔になるなどの問題を生じ易い。また、メンテナンスに当たってマニホールドベースと電磁弁とを分離する際に、導線でマニホールドベースに接続されているセンサーをケーシングから取り外すか、あるいは上記導線をマニホールドベースから切り離すなどの作業を行わなければならず、取り扱いが面倒である。
【０００５】
電磁弁やマニホールドベースの内部に挿通孔を設け、この挿通孔を通じて導線を電気接続部に導くようにすれば上述した問題を解決することができるが、電磁弁やマニホールドベースには既に複数の流路や取付孔等が複雑に入り込んだ状態に設けられているため、新たに導線用の挿通孔を設けるのは困難である。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の技術的課題は、磁気センサーの取り付けが簡単で配線も容易であると共に、メンテナンス時の取り扱いも容易な位置検出機能を備えたマニホールドバルブを提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するため、本発明によれば、圧力流体をコントロールするための電磁弁と、この電磁弁に圧力流体と電力とを供給するためのマニホールドベースと、これらの電磁弁とマニホールドベースとの間に介設される中間ブロックとを、順次重設して一体に結合することにより構成されたマニホールドバルブが提供される。
上記電磁弁は、上記中間ブロックに取り付けるための取付面を有するケーシングと、このケーシングの内部に設けられた流体コントロール用の弁部材と、この弁部材を駆動する電磁式の駆動手段と、上記ケーシングの取付面に開口する複数の通孔と、上記弁部材と同期して変移するように設けられた位置検出用のマグネットと、上記ケーシングの取付面に該マグネットと対応するように設けられたセンサー取付用の窪みとを有している。
また、上記マニホールドベースは、上記中間ブロックを搭載するための搭載面と、この搭載面に開口する複数の通孔と、電磁弁制御用のコントローラーに接続するための第１プラグとを有している。
さらに上記中間ブロックは、上記電磁弁を搭載するための上面側の第１取付面と、上記マニホールドベースに搭載するための底面側の第２取付面と、上記電磁弁とマニホールドベースとの通孔同士を相互に連通する複数の連通孔と、上記電磁弁に形成された窪みと対応する第１取付面上の位置に該第１取付面から電磁弁側に突出するように設置され、この第１取付面への電磁弁の搭載により上記窪み内に嵌合する少なくとも１つの磁気センサーと、この磁気センサーと上記第１プラグとを結ぶ導線を挿通させるための挿通孔とを有している。
【０００８】
上記構成を有する本発明のマニホールドバルブは、マニホールドベースと電磁弁との間に中間ブロックを介在させ、この中間ブロックに磁気センサーを設けると共に、この磁気センサーとマニホールドベース内の第１プラグとを結ぶ導線を通すための挿通孔を設けているため、磁気センサーの取り付けが簡単であると共に、導線を外部に引き回す必要がないため配線作業も簡単で整然と配線することができる。しかも、複数の流路や取付孔等が複雑に入り込んだ状態に設けられている電磁弁やマニホールドベースに上記挿通孔を新たに設ける必要がないため、構造が簡単で設計も容易になる。
また、上記中間ブロックに磁気センサーを突出状態に設けると共に、電磁弁のケーシングに窪みを設け、中間ブロック上に電磁弁を搭載することによって磁気センサーが上記窪み内の所定の位置に取り付けられるようにしたので、磁気センサーの取り付けが簡単であり、しかも、メンテナンスに当たってマニホールドベースと電磁弁とを分離する際に、マニホールドベースから磁気センサーを取り外したり、導線をマニホールドベースから切り離す必要がないため、取り扱いも容易である。
【０００９】
本発明において好ましくは、上記中間ブロックの第１取付面に上記窪みに嵌合する中空の突部が設けられ、この突部内に磁気センサーを収容することにより該突部が、上記中間ブロックと電磁弁とを連結する際の位置決め手段と、上記磁気センサーを中間ブロックの第１取付面から突出した状態に保持するためのホルダーとを兼ねていることである。
【００１０】
本発明の具体的な構成態様によれば、上記電磁弁がスプール式の電磁弁であると共に、上記駆動手段が電磁操作式の１つ又は２つのパイロット弁であって、上記弁部材の両側にそれぞれパイロット流体の作用により動作するピストンを有している。そして、これらの弁部材又はピストンの何れかに上記マグネットが取り付けられるか、あるいは、何れか一方のピストンと弁部材との間にこれらのピストン及び弁部材と同期して変移するようにマグネットホルダーが介設され、このマグネットホルダーに上記マグネットが取り付けられている。
【００１１】
上記マグネットは、圧力流体又はパイロット流体から隔絶された状態に取り付けることが望ましい。
【００１２】
【発明の実施の形態】
図１〜図３は本発明に係るマニホールドバルブの第１実施形態を示すもので、このマニホールドバルブ１００は、圧縮空気等の圧力流体をコントロールするための電磁弁１と、この電磁弁１に圧力流体と電力とを供給するためのマニホールドベース２と、これらの電磁弁１とマニホールドベース２との間に介設される中間ブロック３とを、順次重設して一体に結合することにより構成されている。
【００１３】
上記電磁弁１はダブルパイロット式の電磁弁で、主弁４と、該主弁４の一端に並べて取り付けられた２つの電磁操作式のパイロット弁５ａ，５ｂとを有し、これらのパイロット弁５ａ，５ｂで主弁４を切り換えるものである。上記主弁４は５ポート弁として構成され、非磁性体からなるケーシング６を有している。このケーシング６は、矩形断面を有する第１部材６ａと、その一端に連結されて上記パイロット弁５ａ，５ｂを取付けるためのアダプターを兼ねる第２部材６ｂと、他端に連結されてケーシングの端部を閉じるエンドプレートとして機能する第３部材６ｃと、この第３部材６ｃと上記第１部材６ａとの間に介設された第４部材６ｄとからなっていて、このケーシング６の下面は、上記中間ブロックの上面に搭載して固定するための実質的に平らな取付面１ａとなっている。
【００１４】
上記取付面１ａの第１部材６ａの底面に当たる部分には、供給通孔Ｐ１ と、その両側に位置する２つの出力通孔Ａ１ ，Ｂ１ と、さらにその両側に位置する２つの排出通孔ＥＡ１ ，ＥＢ１ とが設けられている。また、上記第１部材６ａの内部には、これらの各通孔が軸線方向に並んで開口する弁孔７が設けられ、この弁孔７内に、流路切換用の弁部材であるスプール８が摺動自在に収容されている。
【００１５】
上記スプール８の外周には、上記各ポート間を結ぶ流路同士を相互に区画するための複数のシール部材９が設けられると共に、スプール８の両端部外周に、該スプール８の端部が臨む呼吸室１０と弁孔７内の作動流体の流路との間を遮断する端部シール部材９ａがそれぞれ設けられている。
【００１６】
一方、上記第２部材６ｂ及び第３部材６ｃには、ピストン室１１ａ，１１ｂがそれぞれ形成されている。このうち第２部材６ｂに形成された第１ピストン室１１ａは大径で、その中には大径の第１ピストン１２ａが摺動自在に収容されている。また、第３部材６ｃに形成された第２ピストン室１１ｂは上記第１ピストン室１１ａより小径で、その中には小径の第２ピストン１２ｂが摺動自在に収容されている。これらのピストンのうち第１ピストン１２ａは、スプール８の端面に分離自在に当接するか又は該スプール８と一体に連結されており、他方の第２ピストン１２ｂは、第４部材６ｄ内に摺動自在に設けられたマグネットホルダー１９を介してスプール８の端面に当接している。このマグネットホルダー１９は円柱状をしていて、上記スプール８及び第２ピストン１２ｂと同期して上記呼吸室１０内を摺動する。
【００１７】
上記各ピストン１２ａ，１２ｂの背面側、即ちスプール８側の面とは反対側の面には、それぞれ第１及び第２の圧力室１３ａ，１３ｂが形成され、各ピストン１２ａ，１２ｂとスプール８との間には、それぞれ図示しない通孔により外部に開放する上記呼吸室１０，１０が形成されており、これらの圧力室１３ａ，１３ｂと呼吸室１０，１０との間は、上記ピストン１２ａ，１２ｂの外周に取り付けられたピストンパッキン１５，１５で気密に遮断されている。
【００１８】
大径の第１ピストン１２ａ側に位置する上記第１圧力室１３ａは、パイロット供給流路１６、補助ブロック１４に設けられた手動操作機構１７ａ（図２参照）、一方のパイロット弁５ａ、及びパイロット出力流路１８ａを介して上記供給ポートＰに連通している。また、小径の第２ピストン１２ｂ側に位置する第２圧力室１３ｂは、上記パイロット供給流路１６、他方のパイロット弁５ｂ、パイロット出力流路１８ｂ、手動操作機構１７ｂ、及びパイロット出力流路１８ｃを介して上記供給ポートＰに連通している。
【００１９】
そして、一方のパイロット弁５ａがオフとなって第１圧力室１３ａが大気に開放されると共に、他方のパイロット弁５ｂがオンとなって第２圧力室１３ｂに上記パイロット出力流路１８ｂ及び１８ｃを通じてパイロット供給流路１６からのパイロット流体が供給されているときは、第２ピストン１２ｂによりスプール８が押され、図１に示すように左側に移動した第１切換位置を占める。この状態から上記パイロット弁５ａ，５ｂが切り換わり、パイロット弁５ａがオンとなってパイロット弁５ｂがオフになると、第２圧力室１３ｂが大気に開放して第１圧力室１３ａにパイロット流体が供給されるため、ピストン１２ａによりスプール８が押されて右側に移動し、第２切換位置に切り換わる。
【００２０】
上記手動操作機構１７ａ，１７ｂはそれぞれ、パイロット弁５ａ，５ｂがオンになった場合と同様の切換状態を手動で再現させるためのもので、停電時やパイロット弁が故障した場合などに使用するものである。即ち、手動操作機構１７ａは、パイロット弁５ａに対応するもので、操作子１７ｃを押し下げることによりパイロット供給流路１６とパイロット出力流路１８ａとが直接連通し、第１圧力室１３ａに供給ポートＰからパイロット流体が供給される。他方の手動操作機構１７ｂはパイロット弁５ｂに対応していて、操作子１７ｃを押し下げることによりパイロット供給流路１６とパイロット出力流路１８ｃが直接連通し、第２圧力室１３ｂに供給ポートＰからパイロット流体が供給される。
【００２１】
なお、上記パイロット弁５ａ，５ｂは、ソレノイドへの通電によってパイロット流路を開閉する電磁操作式のパイロット弁であって、その構成及び作用は公知のものと同じであるため、その具体的な説明は省略する。
【００２２】
上記マグネットホルダー１９には、スプール８の動作位置を検出する際の被検出体となるマグネット２０が取り付けられている。このマグネット２０は、例えば合成樹脂や合成ゴムのような軟質の弾性基材中に、磁性を持つ金属粉末を混合して、円周の一部に切欠を有するリング状に形成したものを好適に使用することができ、このマグネット２０が、上記マグネットホルダー１９の外周に形成された取付溝内に弾力的に拡径した状態で嵌め込むことにより取り付けられている。そして、スプール８と共に変移するこのマグネット２０を中間ブロック３に取付けた磁気センサー２１で検出することにより、上記スプール８の動作位置を検出できるようにしている。
【００２３】
このように上記マグネット２０を呼吸室１０内に設けることにより、該マグネット２０が圧力流体やパイロット流体と接触するのを防ぐことができるため、流体中に水分や化学ミストあるいは金属粉のような磁性体粒子等が含まれていたとしても、該マグネット２０がそれらと接触して錆びたり腐食したりあるいは磁性体粒子を吸着したりするようなことがなく、磁力の低下による位置検出精度の低下や、吸着した微細粒子によるスプール８の動作不良等を生じることがない。
【００２４】
上記電磁弁１のケーシング６における取付面１ａには、第４部材６ｄの底面となる位置に、上記磁気センサー２１が嵌合する実質的に矩形の断面形状を有する窪み２２が、上記マグネット２０に近接する深さに切り込まれている。
【００２５】
また、上記マニホールドベース２は、厚さ（横幅）方向に複数個を接合して使用するスタッキングタイプのもので、非磁性体により形成されていて、一半側に設けられた流路形成部２Ａと他半側に設けられた電気接続部２Ｂとを有し、該マニホールドベース２の上面には、これらの流路形成部２Ａと電気接続部２Ｂとに跨がるように搭載面２ａが形成されている。上記流路形成部２Ａと電気接続部２Ｂとは、一体に形成しても、別体に形成して相互に連結しても良い。
【００２６】
上記流路形成部２Ａには、マニホールドベース２を厚さ方向に貫通する供給流路Ｐ及び排出流路Ｅが設けられると共に、該マニホールドベース２の端面に開口する２つの出力ポートＡ，Ｂが設けられている。そして、これらの供給流路Ｐと排出流路Ｅ及び各出力ポートＡ，Ｂがそれぞれ、流路形成部２Ａの内部に形成された連通孔を通じて上記搭載面２ａ上に開口する供給通孔Ｐ２ と２つの排出通孔ＥＡ２ ，ＥＢ２ 及び２つの出力通孔Ａ２ ，Ｂ２ に連通し、この搭載面２ａ上に電磁面を搭載したときこれらの各通孔が、該電磁面の取付面１ａに開口する供給通孔Ｐ１ と２つの排出通孔ＥＡ１ ，ＥＢ１ 及び２つの出力通孔Ａ１ ，Ｂ１ にそれぞれ連通するようになっている。
【００２７】
図中２４は、複数のマニホールドベース２を接合して締結する際にボルトを挿通するための締結孔、２５，２６はマニホールドベース２の両面の相対する位置に設けられた位置決め用の突起と嵌合孔とで、突起２５が隣接するマニホールドベース２の嵌合孔２６内に嵌合するようになっている。
【００２８】
また、上記電気接続部２Ｂは、接続用の電気部品を収容するための収容室２７を有し、この収容室２７内に、電磁弁制御用のコントローラーから導かれる導線の先端の第１ソケット（図示せず）を接続するための第１プラグ２８と、この第１プラグ２８に電気的に接続された第１プリント基板２９と、この第１プリント基板２９に接続された第２ソケット３０ａとが設けられている。この第２ソケット３０ａには、上記中間ブロック３に取り付けられた第２プラグ３０ｂが接続される。
【００２９】
上記中間ブロック３は、上記電磁弁１とマニホールドベース２との間に外部にはみ出すことがないように取り付けられるもので、これらの電磁弁１又はマニホールドベース２とほぼ同じ長さ及び厚さ（横幅）を有するように形成され、上記電磁弁１を搭載するための上面側の第１取付面３ａと、マニホールドベース２に搭載するための底面側の第２取付面３ｂとを有している。
【００３０】
この中間ブロック３は、上記電磁弁１の主弁４及びマニホールドベース２の流路形成部２Ａに対応する第１部分３Ａと、パイロット弁５ａ，５ｂ及びマニホールドベース２の電気接続部２Ｂに対応する第２部分２Ｂとからなっていて、上記第１部分３Ａには、上記第１取付面３ａと第２取付面３ｂとの間を結ぶ複数の連通孔３５が設けられ、これらの連通孔３５により、上記電磁弁１の取付面１ａとマニホールドベース２の搭載面２ａとにそれぞれ開口する複数の通孔同士が相互に連通されるようになっている。
【００３１】
また、上記中間ブロック３の第１取付面３ａには、上記電磁弁１に形成された窪み２２と対応する位置に、該窪み２２にほぼぴったりと嵌合する大きさの矩形断面を有するキャップ形の突部３７が上方に突出するように形成されている。この突部３７内には上記磁気センサー２１が、中間ブロック３の内部に設けた第１中継室３８側から挿入され、この突部３７によって該磁気センサー２１が、搭載面２ａから電磁弁１側に向けて突出した状態に保持されている。そして、上記第１取付面３ａ上へ電磁弁１を搭載することにより、上記突部３７が窪み２２内に嵌合して中間ブロック３と電磁弁１との位置決めが行われると共に、この突部３７を介して磁気センサー２１が窪み２２内に嵌合状態に取り付けられるようになっている。従って上記突部３７は、中間ブロック３と電磁弁１とを結合する際の位置決め手段と、上記磁気センサー２１を中間ブロック３から突出状態に保持するためのホルダーとを兼ねるものである。この突部３７は、中間ブロック３と一体に形成されているが、別に形成して中間ブロック３に固定しても良い。
【００３２】
一方、上記中間ブロック３の第２部分３Ｂには、第２中継室３９が形成され、この中継室３９内に上記第２プラグ３０ｂと、この第２プラグ３０ｂに接続された第２中継基板４０と、この第２中継基板４０に接続された第３ソケット４１ａとが設けられ、第１取付面３ａ上に電磁弁１を搭載したときこの第３ソケット４１ａが、該電磁弁１に取り付けられた第３プラグ４１ｂに接続されるようになっている。また、上記第２中継基板４０には、上記磁気センサー２１が、第１中継室３８内に設けられた第１中継基板４２と、挿通孔４３内を延びる導線４４とを通じて相互に接続されている。上記挿通孔４３は、図３からも分かるように、中間ブロック３の中央部に両中継室３８，３９を結ぶように設けられたもので、上記複数の連通孔３５の中央を横切っているが、これらの連通孔３５からは隔絶されている。
なお、上記中間ブロック３は、複数の部材を結合することにより構成されているが、全体を一体に形成することもできる。
【００３３】
上記構成を有するマニホールドバルブ１００は、マニホールドベース２と電磁弁１との間に中間ブロック３を介在させ、この中間ブロック３に磁気センサー２１を保持させると共に、この磁気センサー２１とマニホールドベース２内の第１プラグ２８とを結ぶ導線４４を通すための挿通孔４３を設けているため、上記磁気センサー２１の取り付けが簡単であると共に、上記導線４４を外部に引き回す必要がないため配線作業も簡単で整然と配線することができる。しかも、複数の流路や取付孔等が複雑に入り込んだ状態に設けられている電磁弁１やマニホールドベース２に上記挿通孔４３を新たに設ける必要がないため、構造が簡単で設計も容易になる。
【００３４】
また、上記中間ブロック３に磁気センサー２１を突出状態に設けると共に、電磁弁１のケーシング６に窪み２２を設け、中間ブロック３上に電磁弁１を搭載することによって磁気センサー２１が上記窪み２２内の所定の位置に自動的に取り付けられるようにしたので、該磁気センサー２１の取り付けが簡単であり、しかも、メンテナンスに当たってマニホールドベース２と電磁弁１とを分離する際にも、マニホールドベース１から磁気センサー１を取り外したり、導線４４をマニホールドベース２から切り離す必要がないため、取り扱いも容易である。
さらに、電磁弁１のケーシング６の一部として上記第４部材６ｄを設け、この第４部材６ｄ内にマグネットホルダー１９を設けてマグネット２０を取り付けるようにしているため、該マグネット２０の設置が容易である。
【００３５】
なお、上記実施例では、上記マグネットホルダー１９及びマグネット２０を、第４部材６ｄに保持させることによってケーシング６のパイロット弁５ａ，５ｂを取り付けた側とは反対の側、即ち第１部材６ａと第３部材６ｃとの間に設けているが、それらをパイロット弁５ａ，５ｂを取り付けた側、即ち第１部材６ａと第２部材６ｂとの間に設けることもできる。この場合、磁気センサー２１もそれに対応する位置に設けることは言うまでもないことである。
【００３６】
図４及び図５は本発明に係るマニホールドバルブの第２実施例を示すもので、この第２実施例のマニホールドバルブ２００が上記第１実施例のマニホールドバルブ１００と異なる点は、第１実施例ではケーシング６に第４部材６ｄを設けてマグネットホルダー１９を保持させ、このマグネットホルダー１９にマグネット２０を取り付けているのに対し、この第２実施例では、上記のような第４部材６ｄ及びマグネットホルダー１９を設けることなく、ピストンに直接マグネット２０を取り付けている点である。即ち、大径の第１ピストン１２ａの外周にマグネット２０を取り付けると共に、ケーシング６の第２部材６ｂの下面に窪み２２を形成し、中間ブロック３における第１取付面３ａの上記窪み２２に対応する位置に突部３７を形成して磁気センサー２１を保持させている。
【００３７】
上記マグネット２０は、ピストン１２ａのピストンパッキン１５よりは呼吸室１０側に寄った位置に取り付けることにより、パイロット流体と接触するのを防止している。
また、上記磁気センサー２１は、第２中継室３９内に設置された第１中継基板４２と、この第１中継基板４２に接続された第４ソケット４６ａと、この第４ソケット４６ａに切り離し自在に接続された第４プラグ４６ｂと、この第４プラグ４６ｂに接続された導線４７とを介して第２中継基板４０に接続されている。
【００３８】
従ってこの第２実施例においては、中間ブロック３に第１実施例のような第１中継室３８や挿通孔４３は設けられておらず、上記第２中継室３９が挿通孔４３を兼ねている。しかし、この場合にも第１中継室３８や挿通孔４３が設けられた中間ブロック３を使用できることは勿論である。
なお、第２実施例の上記以外の構成は実質的に第１実施例と同じであるため、主要な同一構成部分に第１実施例と同一の符号を付してその説明は省略する。
【００３９】
上記第１ピストン１２ａにマグネット２０を取り付ける代わりに、反対側の第２ピストン１２ｂにマグネット２０を取り付けることもできる。この場合には、窪み２２及び磁気センサー２１もこのマグネット２０に対応する位置に設けられる。また、中間ブロック３として第１実施例のように第１中継室３８や挿通孔４３を有するものが使用され、磁気センサー２１からの導線が挿通孔４３を通じて第２中継基板４０に接続される。
【００４０】
図６は本発明に係るマニホールドバルブの第３実施例を示すもので、この第３実施例のマニホールドバルブ３００が上記第１及び第２実施例と異なる点は、マグネット２０をスプール８に直接取り付けている点である。即ち、スプール８の端部の端部シール部材９ａよりも呼吸室１０側に寄った位置に、圧力流体から完全に遮断した状態に上記マグネット２０が取り付けられている。この場合、ケーシング６の第１部材６ａの下面に窪み２２が形成されると共、中間ブロック３の該窪み２２と対応する位置に磁気センサー２１を保持する突部３７が形成されている。
【００４１】
なお、第３実施例の上記以外の構成は実質的に第２実施例と同じであるため、主要な同一構成部分に第２実施例と同一の符号を付してその説明は省略する。
【００４２】
上記各実施例では、中間ブロック３に中空キャップ状の突部３７を形成し、この突部３７内に磁気センサー２１を収容することにより、該磁気センサー２１を中間ブロック３に第１取付面３ａから突出した状態に保持させているが、磁気センサー２１の取り付け方法はこのようなものに限定されない。例えば、上記突部３７を先端が開放する中空筒形に形成し、この突部内に磁気センサー２１を収容しても良い。あるいは、このような突部３７を設けることなく、磁気センサー２１をそのまま外部に露出させて窪み内に取り付けても良い。
【００４３】
また、上記各実施例では、窪み２２内に１つの磁気センサー２１を取り付けるようにしているが、２つあるいは３つ以上の磁気センサーを取り付けても良い。このように複数の磁気センサーを所要の間隔をおいて取り付けることにより、スプールの両ストローク端の位置や、ストローク中の中間位置、あるいはその他の任意の位置を簡単かつ確実に検出することができる。
【００４４】
さらに、上記実施例の電磁弁においては、２つのピストンの径を大小に違えているが、同径のピストンを使用することもできる。
あるいは、上記電磁弁として、１つのパイロット弁でスプールを切り換えるシングルパイロット式の電磁弁を用いることもできる。
また本発明は、スプール式以外の電磁弁を有するマニホールドバルブ、例えばポペット式の電磁弁を有するマニホールドバルブにも適用することができる。
【００４５】
【発明の効果】
以上に詳述したように、本発明によれば、磁気センサーの取り付けが簡単で配線も容易であると共に、メンテナンス時の取り扱いも容易な位置検出機能を備えたマニホールドバルブを得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係るマニホールドバルブの第１実施例を示す要部断面図である。
【図２】図１のマニホールドバルブを分解しかつ要部を破断して示す斜視図である。
【図３】図１におけるＩＩＩ−ＩＩＩ線での断面図である。
【図４】本発明に係るマニホールドバルブの第２実施例を示す断面図である。
【図５】図４のマニホールドバルブを分解しかつ要部を破断して示す斜視図である。
【図６】本発明に係るマニホールドバルブの第３実施例を示す要部断面図である。
【符号の説明】
１００，２００，３００ マニホールドバルブ
Ｐ１ ，Ｐ２ 供給通孔
Ａ１ ，Ａ２ ，Ｂ１ ，Ｂ２ 出力通孔
ＥＡ１ ，ＥＡ２ ，ＥＢ１ ，ＥＢ２ 排出通孔
１ 電磁弁
１ａ 取付面
２ マニホールドベース
２ａ 搭載面
３ 中間ブロック
３ａ 第１取付面
３ｂ 第２取付面
５ａ，５ｂ パイロット弁
６ ケーシング
８ スプール
１２ａ，１２ｂ ピストン
１９ マグネットホルダー
２０ マグネット
２１ 磁気センサー
２２ 窪み
２８ 第１プラグ
３５ 連通孔
３７ 突部
３８ 挿通孔
３９ 導線
Claims (6)
- 圧力流体をコントロールするための電磁弁と、この電磁弁に圧力流体と電力とを供給するためのマニホールドベースと、これらの電磁弁とマニホールドベースとの間に介設される中間ブロックとを、順次重設して一体に結合することにより構成され、
上記電磁弁が、上記中間ブロックに取り付けるための取付面を有するケーシングと、このケーシングの内部に設けられた流体コントロール用の弁部材と、この弁部材を駆動する電磁式の駆動手段と、上記ケーシングの取付面に開口する複数の通孔と、上記弁部材と同期して変移するように設けられた位置検出用のマグネットと、上記ケーシングの取付面に該マグネットと対応するように設けられたセンサー取付用の窪みとを有し、
上記マニホールドベースが、上記中間ブロックを搭載するための搭載面と、この搭載面に開口する複数の通孔と、電磁弁制御用のコントローラーに接続するための第１プラグとを有し、
上記中間ブロックが、上記電磁弁を搭載するための上面側の第１取付面と、上記マニホールドベースに搭載するための底面側の第２取付面と、上記電磁弁とマニホールドベースとの通孔同士を相互に連通させる複数の連通孔と、上記電磁弁に形成された窪みと対応する第１取付面上の位置に該第１取付面から電磁弁側に突出するように設置され、この第１取付面への電磁弁の搭載により上記窪み内に嵌合する少なくとも１つの磁気センサーと、この磁気センサーと上記第１プラグとを結ぶ導線を挿通させるための挿通孔とを有する、
ことを特徴とする位置検出機能を備えたマニホールドバルブ。 - 請求項１に記載のマニホールドバルブにおいて、上記中間ブロックの第１取付面に上記窪みに嵌合する中空の突部が設けられ、この突部内に磁気センサーを収容することにより該突部が、上記中間ブロックと電磁弁とを連結する際の位置決め手段と、上記磁気センサーを中間ブロックの第１取付面から突出した状態に保持するためのホルダーとを兼ねていることを特徴とする位置検出機能を備えたマニホールドバルブ。
- 請求項１又は２に記載のマニホールドバルブにおいて、上記電磁弁がスプール式の電磁弁であると共に、上記駆動手段が電磁操作式の１つ又は２つのパイロット弁であって、上記弁部材の両側にそれぞれパイロット流体の作用により動作するピストンを有し、これらの弁部材又はピストンの何れかに上記マグネットが取り付けられていることを特徴とする位置検出機能を備えたマニホールドバルブ。
- 請求項１又は２に記載のマニホールドバルブにおいて、上記電磁弁がスプール式の電磁弁であると共に、上記駆動手段が電磁操作式の１つ又は２つのパイロット弁であって、上記弁部材の両側にそれぞれパイロット流体の作用により動作するピストンを有し、何れか一方のピストンと弁部材との間にこれらのピストン及び弁部材と同期して変移するようにマグネットホルダーが介設され、このマグネットホルダーに上記マグネットが取り付けられていることを特徴とする位置検出機能を備えたマニホールドバルブ。
- 請求項４に記載のマニホールドバルブにおいて、上記パイロット弁が電磁弁のケーシングにおける一方のピストン側の端面に取り付けられていて、他方のピストンと弁部材との間に上記マグネットホルダーが介設されていることを特徴とする位置検出機能を備えたマニホールドバルブ。
- 請求項３から５までの何れかに記載のマニホールドバルブにおいて、上記マグネットが、圧力流体又はパイロット流体から隔絶された状態に取り付けられていることを特徴とする位置検出機能を備えたマニホールドバルブ。
Priority Applications (7)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000276684A JP3609331B2 (ja) | 2000-09-12 | 2000-09-12 | 位置検出機能を備えたマニホールドバルブ |
| TW090214129U TW510465U (en) | 2000-09-12 | 2001-08-17 | Manifold valve having position detecting function |
| US09/933,841 US6505642B2 (en) | 2000-09-12 | 2001-08-22 | Manifold valve having position detecting function |
| DE60129900T DE60129900T2 (de) | 2000-09-12 | 2001-08-29 | Ventilmodul mit Positionssensor |
| EP01307338A EP1186814B1 (en) | 2000-09-12 | 2001-08-29 | Manifold valve with position detector |
| CNB011412925A CN1162632C (zh) | 2000-09-12 | 2001-09-12 | 具有位置监测功能的岐管阀 |
| KR10-2001-0056067A KR100415784B1 (ko) | 2000-09-12 | 2001-09-12 | 위치검출기능을 구비한 매니폴드밸브 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000276684A JP3609331B2 (ja) | 2000-09-12 | 2000-09-12 | 位置検出機能を備えたマニホールドバルブ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002089742A JP2002089742A (ja) | 2002-03-27 |
| JP3609331B2 true JP3609331B2 (ja) | 2005-01-12 |
Family
ID=18762109
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000276684A Expired - Fee Related JP3609331B2 (ja) | 2000-09-12 | 2000-09-12 | 位置検出機能を備えたマニホールドバルブ |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6505642B2 (ja) |
| EP (1) | EP1186814B1 (ja) |
| JP (1) | JP3609331B2 (ja) |
| KR (1) | KR100415784B1 (ja) |
| CN (1) | CN1162632C (ja) |
| DE (1) | DE60129900T2 (ja) |
| TW (1) | TW510465U (ja) |
Families Citing this family (39)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3590772B2 (ja) * | 2001-01-16 | 2004-11-17 | Ｓｍｃ株式会社 | センサ付き電磁弁 |
| JP3968647B2 (ja) * | 2002-06-11 | 2007-08-29 | Ｓｍｃ株式会社 | 位置検出機構を備えたマニホールドバルブ |
| JP4003219B2 (ja) * | 2002-06-25 | 2007-11-07 | Ｓｍｃ株式会社 | 位置検出機構を備えたマニホールドバルブ |
| JP4072756B2 (ja) * | 2002-07-05 | 2008-04-09 | Ｓｍｃ株式会社 | センサー付きマニホールドバルブ |
| JP3843060B2 (ja) * | 2002-11-07 | 2006-11-08 | Ｓｍｃ株式会社 | 基板搭載型マニホールドバルブ |
| US20050011556A1 (en) * | 2003-06-17 | 2005-01-20 | Mariusz Dudzik | Spool position detection for a hydraulic valve |
| JP5062264B2 (ja) * | 2003-12-22 | 2012-10-31 | 株式会社不二越 | ポペット位置検出装置付ポペット弁 |
| JP4122500B2 (ja) * | 2004-10-15 | 2008-07-23 | Ｓｍｃ株式会社 | 電磁弁 |
| JP4228370B2 (ja) * | 2004-10-25 | 2009-02-25 | Ｓｍｃ株式会社 | 電磁パイロット式切換弁 |
| JP4474668B2 (ja) * | 2005-01-31 | 2010-06-09 | Ｓｍｃ株式会社 | 位置検出機構付き切換弁 |
| JP4492876B2 (ja) * | 2005-06-30 | 2010-06-30 | 株式会社不二越 | スプール位置検出装置付スプール弁 |
| JP5242547B2 (ja) * | 2006-03-28 | 2013-07-24 | ノルグレン・ゲゼルシャフト・ミト・ベシュレンクテル・ハフツング | ロッド用の変位センサ |
| FR2901851B1 (fr) * | 2006-06-02 | 2010-11-19 | Parker Hannifin France Holding | Ilot pour distibuteurs pneumatiques |
| JP4224862B2 (ja) * | 2006-10-12 | 2009-02-18 | Ｓｍｃ株式会社 | バルブ装置 |
| MX2010005630A (es) * | 2007-11-27 | 2010-06-02 | Norgren Gmbh | Infrabase de valvula de flujo optimizado. |
| US8201580B2 (en) * | 2008-01-14 | 2012-06-19 | Sti Srl | High flow capacity positioner |
| US8271141B2 (en) * | 2008-06-09 | 2012-09-18 | Ross Operating Valve Company | Control valve system with cycle monitoring, diagnostics and degradation prediction |
| DE102008059594A1 (de) | 2008-11-28 | 2010-06-02 | Festo Ag & Co. Kg | Sensormodul, Ventilanordnung und Verfahren zur Bestimmung einer Ventilstellung |
| JP5963459B2 (ja) * | 2012-01-31 | 2016-08-03 | 住友重機械工業株式会社 | クライオポンプおよびクライオポンプの修理方法 |
| FR2987087B1 (fr) * | 2012-02-16 | 2016-01-29 | Asco Joucomatic Sa | Dispositif de diagnostic modulaire integrable a un distributeur pneumatique ou electropneumatique |
| FR2994470B1 (fr) | 2012-08-07 | 2014-08-29 | Asco Joucomatic Sa | Dispositif de detection de position de tiroir de distributeur pneumatique |
| DE102012024333B4 (de) * | 2012-12-13 | 2022-11-03 | Festo Se & Co. Kg | Ventileinrichtung |
| US9709177B2 (en) * | 2015-01-13 | 2017-07-18 | Honeywell International Inc. | Two-position, two-stage servo valve |
| CN107208665B (zh) * | 2015-06-09 | 2020-02-14 | 费斯托股份有限两合公司 | 阀组件 |
| JP2017062146A (ja) * | 2015-09-24 | 2017-03-30 | Ｋｙｂ株式会社 | スプール弁位置検出装置 |
| FR3054289B1 (fr) * | 2016-07-20 | 2018-07-20 | L'air Liquide, Societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude | Robinet pour fluide sous pression |
| JP6825405B2 (ja) * | 2017-02-15 | 2021-02-03 | 日本電産トーソク株式会社 | バルブ装置 |
| CN110603385B (zh) | 2017-03-07 | 2022-11-22 | 阿斯科公司 | 在用于歧管组件的电磁阀中预测失效的装置和方法 |
| DE102017002471A1 (de) * | 2017-03-10 | 2018-09-13 | Hydac Systems & Services Gmbh | Steuereinrichtung |
| US11408450B2 (en) | 2017-09-18 | 2022-08-09 | Asco, L.P. | Device and method for monitoring response time in a valve manifold assembly |
| JP2019152291A (ja) * | 2018-03-05 | 2019-09-12 | 日本電産トーソク株式会社 | スプール弁装置 |
| DE102018208614A1 (de) * | 2018-05-30 | 2019-12-05 | Robert Bosch Gmbh | Ventil |
| JP7244328B2 (ja) * | 2019-03-28 | 2023-03-22 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ及び該真空ポンプの制御装置 |
| AT17071U1 (de) * | 2020-02-26 | 2021-04-15 | Msg Mechatronic Systems Gmbh | Ventil für ein Kraftfahrzeug |
| GB2596863A (en) * | 2020-07-10 | 2022-01-12 | Norgen Ltd | Diagnostic valve island |
| JP7566607B2 (ja) * | 2020-12-10 | 2024-10-15 | 住友重機械工業株式会社 | スプール型流量制御弁およびその製造方法 |
| CN115324969B (zh) * | 2022-08-30 | 2025-03-18 | 北京天玛智控科技股份有限公司 | 先导模块及多路阀 |
| DE102023107648A1 (de) * | 2023-03-27 | 2024-10-02 | Festo Se & Co. Kg | Ventilanordnung und Verfahren zur Installation einer Ventilanordnung |
| DE102024111099A1 (de) * | 2024-04-19 | 2025-10-23 | Festo Se & Co. Kg | Entlüftungsmodul für eine Ventileinheit und Verfahren zum Nachrüsten einer Ventilanordnung |
Family Cites Families (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4928730A (en) * | 1987-07-30 | 1990-05-29 | Tokyo Keiki Company, Ltd. | Proportional electromagnetic valve having amplifier therein |
| JPH0266784A (ja) | 1988-08-31 | 1990-03-06 | Nec Corp | 磁気ヘッド挿入用治具 |
| JPH0288079A (ja) * | 1988-09-26 | 1990-03-28 | Teijin Ltd | 呼吸用気体供給装置 |
| DE4222637C2 (de) * | 1992-07-10 | 1998-12-10 | Festo Ag & Co | Ventilanordnung |
| US5565770A (en) * | 1994-07-15 | 1996-10-15 | Lubriquip, Inc. | Linear position sensor including a first open housing having a reciprocal, biased magnet holder and magnet and removable second housing having a hall sensor |
| US5826616A (en) * | 1996-11-19 | 1998-10-27 | Isi Norgren, Inc. | Valve spool position detector apparatus |
| JP3634675B2 (ja) * | 1999-07-12 | 2005-03-30 | Ｓｍｃ株式会社 | 位置検出機能付き切換弁 |
| JP3468454B2 (ja) * | 1999-07-12 | 2003-11-17 | Ｓｍｃ株式会社 | 位置検出機能付き切換弁 |
| US6164323A (en) * | 1999-07-12 | 2000-12-26 | Numatics, Incorporated | Solenoid valve control system |
| JP3467213B2 (ja) * | 1999-07-12 | 2003-11-17 | Ｓｍｃ株式会社 | 位置検出機能付きパイロット式切換弁 |
| JP3468455B2 (ja) * | 1999-07-13 | 2003-11-17 | Ｓｍｃ株式会社 | 位置検出機能付きパイロット式切換弁 |
| JP3530775B2 (ja) * | 1999-07-16 | 2004-05-24 | Ｓｍｃ株式会社 | 電磁弁の動作管理装置 |
| JP3590762B2 (ja) * | 2000-09-05 | 2004-11-17 | Ｓｍｃ株式会社 | 位置検出機能を備えたマニホールドバルブ |
-
2000
- 2000-09-12 JP JP2000276684A patent/JP3609331B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2001
- 2001-08-17 TW TW090214129U patent/TW510465U/zh not_active IP Right Cessation
- 2001-08-22 US US09/933,841 patent/US6505642B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2001-08-29 EP EP01307338A patent/EP1186814B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2001-08-29 DE DE60129900T patent/DE60129900T2/de not_active Expired - Lifetime
- 2001-09-12 CN CNB011412925A patent/CN1162632C/zh not_active Expired - Fee Related
- 2001-09-12 KR KR10-2001-0056067A patent/KR100415784B1/ko not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR20020021044A (ko) | 2002-03-18 |
| US6505642B2 (en) | 2003-01-14 |
| CN1342859A (zh) | 2002-04-03 |
| KR100415784B1 (ko) | 2004-01-24 |
| EP1186814A3 (en) | 2003-02-26 |
| JP2002089742A (ja) | 2002-03-27 |
| DE60129900D1 (de) | 2007-09-27 |
| EP1186814B1 (en) | 2007-08-15 |
| US20020029809A1 (en) | 2002-03-14 |
| EP1186814A2 (en) | 2002-03-13 |
| DE60129900T2 (de) | 2008-05-08 |
| TW510465U (en) | 2002-11-11 |
| CN1162632C (zh) | 2004-08-18 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3609331B2 (ja) | 位置検出機能を備えたマニホールドバルブ | |
| JP3590762B2 (ja) | 位置検出機能を備えたマニホールドバルブ | |
| JP4003219B2 (ja) | 位置検出機構を備えたマニホールドバルブ | |
| KR100483862B1 (ko) | 위치검출기구를 구비한 매니폴드밸브 | |
| US6854707B2 (en) | Solenoid valve with terminal box | |
| EP0713991B1 (en) | Double solenoid type electromagnetic valve | |
| JP4310548B2 (ja) | 電磁弁組立体 | |
| KR100718885B1 (ko) | 메뉴얼 버튼을 갖는 전자밸브 | |
| JP3637282B2 (ja) | 磁気センサ付き電磁弁 | |
| JP3696075B2 (ja) | 磁気センサー付き切換弁 | |
| KR20040004045A (ko) | 센서가 부착된 매니폴드밸브 | |
| KR100670632B1 (ko) | 전자 파일롯식 스위칭 밸브 | |
| JP4680807B2 (ja) | パイロット式切換弁 | |
| JPH102432A (ja) | マニホールド | |
| JPH01169183A (ja) | マニホールド弁 | |
| KR20010015224A (ko) | 위치검출기능을 가진 파일럿식 전환밸브 | |
| JP2003100513A (ja) | 電磁弁の電気信号供給装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040330 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040427 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040625 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20041005 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20041013 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 3609331 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081022 Year of fee payment: 4 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091022 Year of fee payment: 5 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101022 Year of fee payment: 6 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121022 Year of fee payment: 8 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131022 Year of fee payment: 9 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |