JP3528057B2 - 脱気装置 - Google Patents
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、液体に含まれた空気
その他の気体を除去するようにした脱気装置に関する。
その他の気体を除去するようにした脱気装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、液体に含まれた空気その他の気体
を除去するのに使用する脱気装置として、透過膜チュー
ブが内部に設けられた真空チャンバー（脱気チャンバ
ー）に、真空ポンプを接続してなる脱気装置が知られて
いる（例えば特開平４−２０３４７９号公報）。
を除去するのに使用する脱気装置として、透過膜チュー
ブが内部に設けられた真空チャンバー（脱気チャンバ
ー）に、真空ポンプを接続してなる脱気装置が知られて
いる（例えば特開平４−２０３４７９号公報）。
【０００３】気体を除去すべき液体を透過膜チューブ内
に流通させ、チューブ壁を通して液体に含まれる空気そ
の他の気体を真空チャンバー側へ透過させて除去するよ
うにしている。真空チャンバー内は数１０Ｔｏｒｒ台の
予め定めた圧力が維持されるように、真空チャンバーに
設けた圧力センサーの出力信号に基づいて、前記真空ポ
ンプの起動、停止を制御回路を介して制御している。
に流通させ、チューブ壁を通して液体に含まれる空気そ
の他の気体を真空チャンバー側へ透過させて除去するよ
うにしている。真空チャンバー内は数１０Ｔｏｒｒ台の
予め定めた圧力が維持されるように、真空チャンバーに
設けた圧力センサーの出力信号に基づいて、前記真空ポ
ンプの起動、停止を制御回路を介して制御している。
【０００４】前記透過膜チューブは、真空チャンバーに
１乃至６系統で設けられる。この種の脱気装置が用いら
れる液体クロマトグラフィー装置において、グラジエン
ト法による分析を行なう場合の、水、メチルアルコー
ル、テトラヒドロフラン、アセトニトリル等の複数キャ
リア液体の如く、数種の液体の脱気を同時並行的に行な
う必要性に対応可能としたものである。
１乃至６系統で設けられる。この種の脱気装置が用いら
れる液体クロマトグラフィー装置において、グラジエン
ト法による分析を行なう場合の、水、メチルアルコー
ル、テトラヒドロフラン、アセトニトリル等の複数キャ
リア液体の如く、数種の液体の脱気を同時並行的に行な
う必要性に対応可能としたものである。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】前記の脱気装置におい
て、被脱気液体がテトラヒドロフラン、酢酸エチル、メ
タノール、エタノール、ヘキサン等、有機系溶剤の場
合、被脱気液体自体が透過膜を透過して脱気チャンバー
側に浸出し、浸出した有機系溶剤で脱気チャンバーに接
続した真空ポンプその他の排気系を損傷する問題点があ
った。
て、被脱気液体がテトラヒドロフラン、酢酸エチル、メ
タノール、エタノール、ヘキサン等、有機系溶剤の場
合、被脱気液体自体が透過膜を透過して脱気チャンバー
側に浸出し、浸出した有機系溶剤で脱気チャンバーに接
続した真空ポンプその他の排気系を損傷する問題点があ
った。
【０００６】有機系溶剤が脱気チャンバー側に浸出した
場合、真空ポンプ内では有機系溶剤が気相と液相間の相
変化のみを繰り返して、真空ポンプによる外部排出が実
行されない事態が生ずる。このような事態になると、有
機系溶剤によって、真空ポンプを構成した金属部品の腐
蝕や、合成ゴム製のＯリングその他のシール部品の膨潤
が生じ、真空ポンプの運転不能や弁機能の喪失による排
気不能等の故障を起していたものである。複数の溶剤の
複合によって、予期しない障害を起すこともあった。
場合、真空ポンプ内では有機系溶剤が気相と液相間の相
変化のみを繰り返して、真空ポンプによる外部排出が実
行されない事態が生ずる。このような事態になると、有
機系溶剤によって、真空ポンプを構成した金属部品の腐
蝕や、合成ゴム製のＯリングその他のシール部品の膨潤
が生じ、真空ポンプの運転不能や弁機能の喪失による排
気不能等の故障を起していたものである。複数の溶剤の
複合によって、予期しない障害を起すこともあった。
【０００７】このような排気気体の凝縮が真空ポンプ内
で生ずるのは、真空ポンプの使用目的上避けられないこ
とであった。即ち、真空ポンプを介して排気する気体
は、最終的には、大気圧下へ順次排出する必要があり、
この為、排気気体は真空ポンプ内で大気圧より高い圧力
に圧縮する必要がある。この結果として排気気体の露点
が低下し、凝縮を生ずるからである。従って、前記真空
チャンバー内に、定期的又は間欠的に、空気を導入し
て、真空チャンバーおよび真空ポンプ内の凝縮液を空気
と共に、強制的に排気するような手法が従来あったが、
凝縮液による機器或いは部品の損傷は避けられないの
で、根本的な解決手段とは言えないものであった。
で生ずるのは、真空ポンプの使用目的上避けられないこ
とであった。即ち、真空ポンプを介して排気する気体
は、最終的には、大気圧下へ順次排出する必要があり、
この為、排気気体は真空ポンプ内で大気圧より高い圧力
に圧縮する必要がある。この結果として排気気体の露点
が低下し、凝縮を生ずるからである。従って、前記真空
チャンバー内に、定期的又は間欠的に、空気を導入し
て、真空チャンバーおよび真空ポンプ内の凝縮液を空気
と共に、強制的に排気するような手法が従来あったが、
凝縮液による機器或いは部品の損傷は避けられないの
で、根本的な解決手段とは言えないものであった。
【０００８】この発明は以上の如くの問題点を根本的に
解決し、有機系溶剤の脱気であっても、排気系の損傷を
起すことなく運転を続行できるようにした脱気装置を提
供することを目的としている。
解決し、有機系溶剤の脱気であっても、排気系の損傷を
起すことなく運転を続行できるようにした脱気装置を提
供することを目的としている。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するこ
の発明は、排気気体に常時所定量の大気を導入し、およ
び／または排気気体を加熱し、排気気体の凝縮が起らな
いようにしたものである。
の発明は、排気気体に常時所定量の大気を導入し、およ
び／または排気気体を加熱し、排気気体の凝縮が起らな
いようにしたものである。
【００１０】即ちこの発明は、透過膜チューブを収容し
た真空チャンバーと、該真空チャンバーに接続した排気
用の真空ポンプとからなる脱気装置において、前記真空
ポンプは、カスケード形ポンプ又はダイヤフラム形ポン
プであって、該ポンプの排気気体の吸入室に、排気気体
の吸入通路のコンダクタンスより小さいコンダクタンス
に絞った大気導入部が設けてあることを特徴とする脱気
装置である。
た真空チャンバーと、該真空チャンバーに接続した排気
用の真空ポンプとからなる脱気装置において、前記真空
ポンプは、カスケード形ポンプ又はダイヤフラム形ポン
プであって、該ポンプの排気気体の吸入室に、排気気体
の吸入通路のコンダクタンスより小さいコンダクタンス
に絞った大気導入部が設けてあることを特徴とする脱気
装置である。
【００１１】また他の発明は、透過膜チューブを収容し
た真空チャンバーと、該真空チャンバーに接続した排気
用の真空ポンプとからなる脱気装置において、前記真空
ポンプは、カスケード形ポンプ又はダイヤフラム形ポン
プであって、該ポンプの排気気体の吸入室に、加熱手段
が設けてあることを特徴とする脱気装置である。
た真空チャンバーと、該真空チャンバーに接続した排気
用の真空ポンプとからなる脱気装置において、前記真空
ポンプは、カスケード形ポンプ又はダイヤフラム形ポン
プであって、該ポンプの排気気体の吸入室に、加熱手段
が設けてあることを特徴とする脱気装置である。
【００１２】次に他の発明は、透過膜チューブを収容し
た真空チャンバーと、該真空チャンバーに接続した排気
用の真空ポンプとからなる脱気装置において、前記真空
ポンプは、カスケード形ポンプ又はダイヤフラム形ポン
プであって、該ポンプの排気気体の吸入室に、排気気体
の吸入通路のコンダクタンスより小さいコンダクタンス
に絞った大気導入部が設けてあると共に、加熱手段が設
けてあることを特徴とする脱気装置である。
た真空チャンバーと、該真空チャンバーに接続した排気
用の真空ポンプとからなる脱気装置において、前記真空
ポンプは、カスケード形ポンプ又はダイヤフラム形ポン
プであって、該ポンプの排気気体の吸入室に、排気気体
の吸入通路のコンダクタンスより小さいコンダクタンス
に絞った大気導入部が設けてあると共に、加熱手段が設
けてあることを特徴とする脱気装置である。
【００１３】また、前記真空ポンプは、１又は複数の直
列接続構成とすることができるものである。
列接続構成とすることができるものである。
【００１４】また、前記大気導入部は、ニードルバルブ
を介設した管、キャピラリー又はオリフィスで構成する
ことができるものである。
を介設した管、キャピラリー又はオリフィスで構成する
ことができるものである。
【００１５】
【作用】この発明の脱気装置によれば、真空ポンプの吸
入室には、真空チャンバー内の脱気気体と大気が同時に
吸入され、および／または吸入室に吸入された気体が加
熱される結果、吸入された気体中に含まれた凝縮性気体
の分圧が降下し、および／または露点より高温とし凝縮
を起すことなく外部へ排気することができる。
入室には、真空チャンバー内の脱気気体と大気が同時に
吸入され、および／または吸入室に吸入された気体が加
熱される結果、吸入された気体中に含まれた凝縮性気体
の分圧が降下し、および／または露点より高温とし凝縮
を起すことなく外部へ排気することができる。
【００１６】
【実施例】以下この発明の実施例を図を参照して説明す
る。
る。
【００１７】図１はこの発明の第１実施例の脱気装置の
構成図であって、真空チャンバー１と真空ポンプ２とを
備えている。真空チャンバー１は内部に透過膜チューブ
３（図は１系統で示してあるが複数系統とすることもで
きる）が収容してあり、透過膜チューブ３内に被脱気液
体を流通させるようになっている。
構成図であって、真空チャンバー１と真空ポンプ２とを
備えている。真空チャンバー１は内部に透過膜チューブ
３（図は１系統で示してあるが複数系統とすることもで
きる）が収容してあり、透過膜チューブ３内に被脱気液
体を流通させるようになっている。
【００１８】真空ポンプ２は、カスケード形のポンプで
あって、有底筒状としたポンプケーシング４、５が、開
口部を対向させて設けられ、ピストン６がポンプケーシ
ング４、５間で往復移動可能に設けられている。ピスト
ン６の往復移動は、ピストン６に係合させた偏心カム７
をモータ８で回転させて行うもので、モータ８の制御回
路９は真空チャンバー１に取付けた圧力センサ１０の信
号を得てモータ８のＯＮ、ＯＦＦ制御が行なわれるよう
になっている。図中１１はピストン６に装着したＯリン
グで、ポンプケーシング４、５の内壁面との間で気密を
保持するようになっている。又、１２は真空チャンバー
１とポンプケーシング４間を接続した導管、１３はポン
プケーシング４とポンプケーシング５間を接続した導管
であり、１４はポンプケーシング５に接続した排気管で
ある。各導管１２、１３および排気管１４には、夫々逆
止弁１５が介設してあり、気体の流通方向が矢示１６の
ように規制されている。尚、前記導管１３はピストン６
の内部に、長手方向に沿って貫通路を形成し、その中に
逆止弁を設置した構造とすることもできる。
あって、有底筒状としたポンプケーシング４、５が、開
口部を対向させて設けられ、ピストン６がポンプケーシ
ング４、５間で往復移動可能に設けられている。ピスト
ン６の往復移動は、ピストン６に係合させた偏心カム７
をモータ８で回転させて行うもので、モータ８の制御回
路９は真空チャンバー１に取付けた圧力センサ１０の信
号を得てモータ８のＯＮ、ＯＦＦ制御が行なわれるよう
になっている。図中１１はピストン６に装着したＯリン
グで、ポンプケーシング４、５の内壁面との間で気密を
保持するようになっている。又、１２は真空チャンバー
１とポンプケーシング４間を接続した導管、１３はポン
プケーシング４とポンプケーシング５間を接続した導管
であり、１４はポンプケーシング５に接続した排気管で
ある。各導管１２、１３および排気管１４には、夫々逆
止弁１５が介設してあり、気体の流通方向が矢示１６の
ように規制されている。尚、前記導管１３はピストン６
の内部に、長手方向に沿って貫通路を形成し、その中に
逆止弁を設置した構造とすることもできる。
【００１９】前記ポンプケーシング４、５のうち、後段
（高圧側）のポンプケーシング５には、別の導管１７の
一端が接続してあり、該導管１７にニードルバルブ１８
が介設してある。導管１７およびニードルバルブ１８は
ポンプケーシング５に対する大気導入部１９を構成して
いるもので、この大気導入部１９のコンダクタンスは、
導管１３と逆止弁１５で構成されている、ポンプケーシ
ング５の吸入通路２０のコンダクタンスより小さく調整
する。
（高圧側）のポンプケーシング５には、別の導管１７の
一端が接続してあり、該導管１７にニードルバルブ１８
が介設してある。導管１７およびニードルバルブ１８は
ポンプケーシング５に対する大気導入部１９を構成して
いるもので、この大気導入部１９のコンダクタンスは、
導管１３と逆止弁１５で構成されている、ポンプケーシ
ング５の吸入通路２０のコンダクタンスより小さく調整
する。
【００２０】例えば、大気導入部１９のコンダクタンス
を吸入通路２０のコンダクタンスとほぼ等しい程度に調
整すると、ポンプケーシング５に吸入される気体は、真
空チャンバー１側から排気した気体と大気をほぼ１対１
の割合とすることができ、排気した気体中に含まれたガ
ス（特に凝縮性気体）の分圧を約１／２に下げることが
できる。従って、実際に排気する気体の成分、性質等を
考慮して、ニードルバルブ１８の開度を調整し、コンダ
クタンスを設定する。
を吸入通路２０のコンダクタンスとほぼ等しい程度に調
整すると、ポンプケーシング５に吸入される気体は、真
空チャンバー１側から排気した気体と大気をほぼ１対１
の割合とすることができ、排気した気体中に含まれたガ
ス（特に凝縮性気体）の分圧を約１／２に下げることが
できる。従って、実際に排気する気体の成分、性質等を
考慮して、ニードルバルブ１８の開度を調整し、コンダ
クタンスを設定する。
【００２１】上記実施例の脱気装置において、透過膜チ
ューブ３に被脱気液体を流通すると共に、真空ポンプ２
を運転状態にすると、被脱気液体中に含まれた気体を真
空チャンバー１側に透過させて、真空ポンプ２で除去す
ることができる。
ューブ３に被脱気液体を流通すると共に、真空ポンプ２
を運転状態にすると、被脱気液体中に含まれた気体を真
空チャンバー１側に透過させて、真空ポンプ２で除去す
ることができる。
【００２２】真空チャンバー１内の圧力は圧力センサ１
０で検出されて、所定の圧力に維持されるように、真空
ポンプ２が制御回路９でＯＮ、ＯＦＦ制御される。各部
の圧力の一例を示すと、真空チャンバー１内で約４５To
rr（６０００Ｐａ）、ポンプケーシング４内で２０〜２
００Torr（２６００〜２６０００Ｐａ）、ポンプケーシ
ング５内で７０〜７６０Torr（９０００〜１０１０００
Ｐａ）である。
０で検出されて、所定の圧力に維持されるように、真空
ポンプ２が制御回路９でＯＮ、ＯＦＦ制御される。各部
の圧力の一例を示すと、真空チャンバー１内で約４５To
rr（６０００Ｐａ）、ポンプケーシング４内で２０〜２
００Torr（２６００〜２６０００Ｐａ）、ポンプケーシ
ング５内で７０〜７６０Torr（９０００〜１０１０００
Ｐａ）である。
【００２３】上記の如くの脱気作用において、若干の被
脱気液体自体も透過膜チューブ３を透過し、排気気体中
に混入する。被脱気液体がテトラヒドロフラン、酢酸エ
チル、メタノール、エタノール、ヘキサン等の有機系溶
剤のような場合、これらの透過液体が、ポンプケーシン
グ５において、凝縮を生じて、Ｏリング１１や、ポンプ
ケーシング５（金属製の場合）、更には逆止弁１５のシ
ール部品等を損傷していたものである。ポンプケーシン
グ５では排気気体を大気圧より高い圧力に加圧すること
によって、逆止弁１５を通して大気側へ放出していた為
である。
脱気液体自体も透過膜チューブ３を透過し、排気気体中
に混入する。被脱気液体がテトラヒドロフラン、酢酸エ
チル、メタノール、エタノール、ヘキサン等の有機系溶
剤のような場合、これらの透過液体が、ポンプケーシン
グ５において、凝縮を生じて、Ｏリング１１や、ポンプ
ケーシング５（金属製の場合）、更には逆止弁１５のシ
ール部品等を損傷していたものである。ポンプケーシン
グ５では排気気体を大気圧より高い圧力に加圧すること
によって、逆止弁１５を通して大気側へ放出していた為
である。
【００２４】然るに、実施例の脱気装置においては、前
記の通り、ポンプケーシング５には、大気導入部１９を
通して大気が導入されて、凝縮性の排気気体の分圧を低
下させるので、逆止弁１５を通して加圧放出する工程に
おいても、凝縮を生ずることなく排出が行なわれる。こ
の結果、Ｏリング１１その他の部材の損傷を防止するこ
とができる。
記の通り、ポンプケーシング５には、大気導入部１９を
通して大気が導入されて、凝縮性の排気気体の分圧を低
下させるので、逆止弁１５を通して加圧放出する工程に
おいても、凝縮を生ずることなく排出が行なわれる。こ
の結果、Ｏリング１１その他の部材の損傷を防止するこ
とができる。
【００２５】図２はこの発明の第２実施例の脱気装置の
構成図である。前記実施例の大気導入部に代えて、ポン
プケーシング５に対する加熱手段として、ヒータ２１を
設けたものである。ヒータ２１はヒータコントローラ２
２で制御されるもので、ヒータコントローラ２２は制御
回路９から与えられる、真空チャンバー１の圧力変化率
に基づいて、ヒータ２１を制御し、ポンプケーシング５
を所定の温度（例えば２５〜５０℃）に加熱できるよう
にしてある。他の部分は前記実施例と同様の構成である
ので、同一部材には同一符号を付して表わし、説明を省
略する。
構成図である。前記実施例の大気導入部に代えて、ポン
プケーシング５に対する加熱手段として、ヒータ２１を
設けたものである。ヒータ２１はヒータコントローラ２
２で制御されるもので、ヒータコントローラ２２は制御
回路９から与えられる、真空チャンバー１の圧力変化率
に基づいて、ヒータ２１を制御し、ポンプケーシング５
を所定の温度（例えば２５〜５０℃）に加熱できるよう
にしてある。他の部分は前記実施例と同様の構成である
ので、同一部材には同一符号を付して表わし、説明を省
略する。
【００２６】この実施例では、凝縮性の気体がポンプケ
ーシング５側に導かれる場合、ヒータ２１を介して気体
が加熱されて露点より十分高い温度にできるので、凝縮
を生じることなく逆止弁１５を通して外部に排出するこ
とができる。
ーシング５側に導かれる場合、ヒータ２１を介して気体
が加熱されて露点より十分高い温度にできるので、凝縮
を生じることなく逆止弁１５を通して外部に排出するこ
とができる。
【００２７】ポンプケーシング５内で凝縮が生ずる場
合、ピストン６の往復移動に従って、凝縮性気体は、ポ
ンプケーシング５内で凝縮・気化をくり返し、液相と気
相間で相変化し、排気が行なわれなくなる。このように
なると、ポンプケーシング４からポンプケーシング５へ
の気体移動も行なわれなくなり、結局、真空ポンプ２の
機能が低下し、真空チャンバー１の圧下低下が起らなく
なる。このような状況は、圧力センサ１０、制御回路９
を通してヒータコントローラ２２へ伝えられて、ヒータ
２１により加熱を強化させるので、ポンプ機能の低下を
避け、かつ排気気体を凝縮させることなく、外部へ排出
し、ポンプケーシング５、Ｏリング１１、逆止弁１５等
の損傷を防止することができる。
合、ピストン６の往復移動に従って、凝縮性気体は、ポ
ンプケーシング５内で凝縮・気化をくり返し、液相と気
相間で相変化し、排気が行なわれなくなる。このように
なると、ポンプケーシング４からポンプケーシング５へ
の気体移動も行なわれなくなり、結局、真空ポンプ２の
機能が低下し、真空チャンバー１の圧下低下が起らなく
なる。このような状況は、圧力センサ１０、制御回路９
を通してヒータコントローラ２２へ伝えられて、ヒータ
２１により加熱を強化させるので、ポンプ機能の低下を
避け、かつ排気気体を凝縮させることなく、外部へ排出
し、ポンプケーシング５、Ｏリング１１、逆止弁１５等
の損傷を防止することができる。
【００２８】次に図３はこの発明の第３実施例の脱気装
置の構成図である。前記第１、第２実施例の大気導入部
１９と加熱手段としてのヒータ２１の両方を設けた構成
としてある。従って、前記各実施例と同一の部材には同
一の符号を付して、説明は省略する。
置の構成図である。前記第１、第２実施例の大気導入部
１９と加熱手段としてのヒータ２１の両方を設けた構成
としてある。従って、前記各実施例と同一の部材には同
一の符号を付して、説明は省略する。
【００２９】この実施例では、ポンプケーシング５へは
大気が所定の割合で導入されて、凝縮性気体の分圧が低
下し、かつヒータ２１で加熱されて露点より十分高い温
度の気体とできるので、凝縮を無くし、Ｏリング１１そ
の他の損傷を防止することができる。
大気が所定の割合で導入されて、凝縮性気体の分圧が低
下し、かつヒータ２１で加熱されて露点より十分高い温
度の気体とできるので、凝縮を無くし、Ｏリング１１そ
の他の損傷を防止することができる。
【００３０】図４は、前記大気導入部１９の他の実施例
を示したもので、（ａ）はキャピラリー２３をポンプケ
ーシング５へ接続して大気導入部１９を構成した場合、
（ｂ）はポンプケーシング５の側壁へオリフィス２４を
形成して大気導入部１９を構成した場合である。何れ
も、大気導入部１９のコンダクタンスを一定とする場合
に、キャピラリー２３の長さやオリフィス２４の径を設
定して実施することができる。
を示したもので、（ａ）はキャピラリー２３をポンプケ
ーシング５へ接続して大気導入部１９を構成した場合、
（ｂ）はポンプケーシング５の側壁へオリフィス２４を
形成して大気導入部１９を構成した場合である。何れ
も、大気導入部１９のコンダクタンスを一定とする場合
に、キャピラリー２３の長さやオリフィス２４の径を設
定して実施することができる。
【００３１】図５、および図６は前記実施例のカスケー
ド形のポンプに代えて、ダイヤフラム形のポンプを用い
た実施例で、図５はダイヤフラム形の真空ポンプ２５、
２６を２個直列に接続した実施例、図６はダイヤフラム
形のポンプ１個を接続した実施例である。図中２７がダ
イヤフラムであり、２８がダイヤフラムの駆動装置（振
動源）、２９が圧力センサ１０の信号を受けて、真空ポ
ンプ２５、２６を制御する制御回路である。
ド形のポンプに代えて、ダイヤフラム形のポンプを用い
た実施例で、図５はダイヤフラム形の真空ポンプ２５、
２６を２個直列に接続した実施例、図６はダイヤフラム
形のポンプ１個を接続した実施例である。図中２７がダ
イヤフラムであり、２８がダイヤフラムの駆動装置（振
動源）、２９が圧力センサ１０の信号を受けて、真空ポ
ンプ２５、２６を制御する制御回路である。
【００３２】図５の実施例の後段の真空ポンプ２６並び
に図６の実施例の真空ポンプ２５の吸入室２５ａ、２６
ａには、ニードルバルブ１８を介設した導管２９の一端
を接続して、大気導入部３０を設けてある。この大気導
入部３０のコンダクタンスは、吸入側のコンダクタンス
よりは小さくしてある。他の部材については、前記実施
例と同一機能の部材には同一符号を付して説明を省略す
る。
に図６の実施例の真空ポンプ２５の吸入室２５ａ、２６
ａには、ニードルバルブ１８を介設した導管２９の一端
を接続して、大気導入部３０を設けてある。この大気導
入部３０のコンダクタンスは、吸入側のコンダクタンス
よりは小さくしてある。他の部材については、前記実施
例と同一機能の部材には同一符号を付して説明を省略す
る。
【００３３】このような、ダイヤフラム形の真空ポンプ
２５、２６を用いた脱気装置においても、大気導入部３
０を設けた吸入室２５ａ、２６ａ内では、凝縮性ガスの
分圧が低下するので、排気管１４を通して大気圧下へ排
出するに際しても、凝縮が生じるのを避け、ダイヤフラ
ム、逆止弁１５等が損傷するのを防止することができ
る。
２５、２６を用いた脱気装置においても、大気導入部３
０を設けた吸入室２５ａ、２６ａ内では、凝縮性ガスの
分圧が低下するので、排気管１４を通して大気圧下へ排
出するに際しても、凝縮が生じるのを避け、ダイヤフラ
ム、逆止弁１５等が損傷するのを防止することができ
る。
【００３４】ダイヤフラム形の真空ポンプ２５、２６へ
ヒータによる加熱手段を設けて、吸入気体を露点より高
い温度に加熱して凝縮を防止することも可能であるの
で、前記のような大気導入部２８に代えて、又は加えて
加熱手段を設けて脱気装置を構成することもできる。
ヒータによる加熱手段を設けて、吸入気体を露点より高
い温度に加熱して凝縮を防止することも可能であるの
で、前記のような大気導入部２８に代えて、又は加えて
加熱手段を設けて脱気装置を構成することもできる。
【００３５】
【発明の効果】以上に説明した通り、この発明によれ
ば、透過膜チューブを透過した凝縮性気体が凝縮を生ず
ることなく排出できるので、Ｏリングその他のポンプ構
成部材や弁構成部材の損傷を防止できる効果があると共
に、排気機能が損なわれないので、脱気性能の優れた脱
気装置を提供できる効果がある。
ば、透過膜チューブを透過した凝縮性気体が凝縮を生ず
ることなく排出できるので、Ｏリングその他のポンプ構
成部材や弁構成部材の損傷を防止できる効果があると共
に、排気機能が損なわれないので、脱気性能の優れた脱
気装置を提供できる効果がある。
【図１】この発明の第１実施例の構成図である。
【図２】この発明の第２実施例の構成図である。
【図３】この発明の第３実施例の構成図である。
【図４】大気導入部の他の実施例の図で、（ａ）はキャ
ピラリー、（ｂ）はオリフィスとした実施例の一部拡大
断面図である。
ピラリー、（ｂ）はオリフィスとした実施例の一部拡大
断面図である。
【図５】ダイヤフラム形の真空ポンプ（２段）を用いた
実施例の構成図である。
実施例の構成図である。
【図６】同じくダイヤフラム形の真空ポンプ（１段）を
用いた実施例の構成図である。
用いた実施例の構成図である。
１ 真空チャンバー
２ 真空ポンプ
３ 透過膜チューブ
４、５ ポンプケーシング
６ ピストン
７ 偏心カム
８ モータ
９ 制御回路
１０ 圧力センサ
１１ Ｏリング
１２、１３ 導管
１４ 排気管
１５ 逆止管
１６ 矢示
１７ 導管
１８ ニードルバルブ
１９ 大気導入部
２０ 吸入通路
２１ ヒータ
２２ ヒータコントローラ
２３ キャピラリー
２４ オリフィス
２５、２６ 真空ポンプ
２７ ダイヤフラム
２８ 駆動装置
２９ 導管
３０ 大気導入部
Claims (5)
- 【請求項１】 透過膜チューブを収容した真空チャンバ
ーと、該真空チャンバーに接続した排気用の真空ポンプ
とからなる脱気装置において、前記真空ポンプは、カス
ケード形ポンプ又はダイヤフラム形ポンプであって、該
真空ポンプの排気気体の吸入室に、排気気体の吸入通路
のコンダクタンスより小さいコンダクタンスに絞った大
気導入部が設けてあることを特徴とする脱気装置。 - 【請求項２】 透過膜チューブを収容した真空チャンバ
ーと、該真空チャンバーに接続した排気用の真空ポンプ
とからなる脱気装置において、前記真空ポンプは、カス
ケード形ポンプ又はダイヤフラム形ポンプであって、該
真空ポンプの排気気体の吸入室に、加熱手段が設けてあ
ることを特徴とする脱気装置。 - 【請求項３】 透過膜チューブを収容した真空チャンバ
ーと、該真空チャンバーに接続した排気用の真空ポンプ
とからなる脱気装置において、前記真空ポンプは、カス
ケード形ポンプ又はダイヤフラム形ポンプであって、該
真空ポンプの排気気体の吸入室に、排気気体の吸入通路
のコンダクタンスより小さいコンダクタンスに絞った大
気導入部が設けてあると共に、加熱手段が設けてあるこ
とを特徴とする脱気装置。 - 【請求項４】 真空ポンプは１又は複数の直列接続構成
とした請求項１乃至３のいずれか一項記載の脱気装置。 - 【請求項５】 大気導入部は、ニードルバルブが介設さ
れていて前記真空ポンプの排気気体の吸入室に一端が接
続されている導管、前記真空ポンプの排気気体の吸入室
に接続されていて長さ調節可能なキャピラリー、又は、
前記真空ポンプの排気気体の吸入室の側壁に形成されて
いて径の大きさを調節することが可能なオリフィスによ
って構成したことを特徴とする請求項１又は３記載の脱
気装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16367394A JP3528057B2 (ja) | 1994-07-15 | 1994-07-15 | 脱気装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16367394A JP3528057B2 (ja) | 1994-07-15 | 1994-07-15 | 脱気装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0824509A JPH0824509A (ja) | 1996-01-30 |
| JP3528057B2 true JP3528057B2 (ja) | 2004-05-17 |
Family
ID=15778426
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16367394A Expired - Fee Related JP3528057B2 (ja) | 1994-07-15 | 1994-07-15 | 脱気装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3528057B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4533614B2 (ja) | 2003-10-10 | 2010-09-01 | 株式会社イーアールシー | 真空制御システム |
-
1994
- 1994-07-15 JP JP16367394A patent/JP3528057B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0824509A (ja) | 1996-01-30 |
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