JP3264005B2 - 真空コンデンサ - Google Patents
真空コンデンサInfo
- Publication number
- JP3264005B2 JP3264005B2 JP34850592A JP34850592A JP3264005B2 JP 3264005 B2 JP3264005 B2 JP 3264005B2 JP 34850592 A JP34850592 A JP 34850592A JP 34850592 A JP34850592 A JP 34850592A JP 3264005 B2 JP3264005 B2 JP 3264005B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bellows
- vacuum capacitor
- vacuum
- phosphor bronze
- current
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims description 24
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 18
- 229910000906 Bronze Inorganic materials 0.000 claims description 15
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 15
- 239000010974 bronze Substances 0.000 claims description 15
- KUNSUQLRTQLHQQ-UHFFFAOYSA-N copper tin Chemical compound [Cu].[Sn] KUNSUQLRTQLHQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 15
- 238000007747 plating Methods 0.000 claims description 13
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims description 10
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 8
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000004332 silver Substances 0.000 claims description 5
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 3
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 7
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000002500 effect on skin Effects 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005299 abrasion Methods 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000010687 lubricating oil Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造装置の高周
波電源や大電力発振回路におけるインピーダンス調整等
に用いられる可変形の真空コンデンサに関する。
波電源や大電力発振回路におけるインピーダンス調整等
に用いられる可変形の真空コンデンサに関する。
【０００２】
【従来の技術】図１はこの種の一般的な可変形真空コン
デンサの断面構造図であり、例えばその両端に銅製のフ
ランジ１１ａ，１１ｂが付いたセラミック１２で側面部
を形成し、この側面部を固定導体１３と金属製蓋体１４
とで閉塞して、高耐力真空誘電体を充填するための真空
容器１０を形成している。
デンサの断面構造図であり、例えばその両端に銅製のフ
ランジ１１ａ，１１ｂが付いたセラミック１２で側面部
を形成し、この側面部を固定導体１３と金属製蓋体１４
とで閉塞して、高耐力真空誘電体を充填するための真空
容器１０を形成している。
【０００３】固定導体１３内側には、内径の異なる複数
の略円筒状電極板を同心円状に一定間隔をもって設けて
固定電極１５を形成しており、また、この固定電極１５
の各電極間隙内に非接触状態で挿出入する内径の異なる
複数の円筒状電極板で可動電極１６を形成している。こ
の可動電極１６は、可動導体１８に設けられる。
の略円筒状電極板を同心円状に一定間隔をもって設けて
固定電極１５を形成しており、また、この固定電極１５
の各電極間隙内に非接触状態で挿出入する内径の異なる
複数の円筒状電極板で可動電極１６を形成している。こ
の可動電極１６は、可動導体１８に設けられる。
【０００４】可動導体１８は、可動電極１６の背面側に
中空リード部１８ａを有しており、その中空リード部側
面が、図１に示すように、軸受１７で摺動自在に支持さ
れている。中空リード部１８ａの端部内壁には、めねじ
１８ｂが形成されている。
中空リード部１８ａを有しており、その中空リード部側
面が、図１に示すように、軸受１７で摺動自在に支持さ
れている。中空リード部１８ａの端部内壁には、めねじ
１８ｂが形成されている。
【０００５】１９は静電容量調整ねじであり、頭部１９
ａと、前記めねじ１８ｂに挿入されるおねじ１９ｂとか
ら成る。この静電容量調整ねじ１９は、図示するよう
に、蓋体１４略中央部に形成された支持体、即ち、ねじ
受け部２０と回転トルクを低減するためのスラストベア
リング２１とで支持されており、その頭部１９ａを手動
又はモータ等を用いて回転させることで、可動導体１８
を上下動させる。これにより、固定電極１５と可動電極
１６との交叉面積が変わるので、両電極１５，１６に夫
々異なる極性の電圧が印加されたときに電極間に生じる
静電容量の値を連続的に変化させることができる。
ａと、前記めねじ１８ｂに挿入されるおねじ１９ｂとか
ら成る。この静電容量調整ねじ１９は、図示するよう
に、蓋体１４略中央部に形成された支持体、即ち、ねじ
受け部２０と回転トルクを低減するためのスラストベア
リング２１とで支持されており、その頭部１９ａを手動
又はモータ等を用いて回転させることで、可動導体１８
を上下動させる。これにより、固定電極１５と可動電極
１６との交叉面積が変わるので、両電極１５，１６に夫
々異なる極性の電圧が印加されたときに電極間に生じる
静電容量の値を連続的に変化させることができる。
【０００６】２２は軟質金属製のベローズであり、真空
容器１０内を気密に保持しながら可動導体１８（可動電
極１６）が上下動できるように、蓋体１４内壁及び軸受
１７に一端縁を接合するとともに、他端縁を可動導体１
８に接合している。この他端縁を中空リード部１８ａ側
表面に接合する構造のものもある。中空リード部１８ａ
とそれをガイドする軸受１７との間は潤滑油で絶縁され
るため、真空容器１０内部ではこのベローズ２２を通電
する構造となっている。即ち、蓋体１４に設けられた外
部電源端子（図示省略）と可動電極１６との通電路をこ
のベローズ２２が兼ねている。
容器１０内を気密に保持しながら可動導体１８（可動電
極１６）が上下動できるように、蓋体１４内壁及び軸受
１７に一端縁を接合するとともに、他端縁を可動導体１
８に接合している。この他端縁を中空リード部１８ａ側
表面に接合する構造のものもある。中空リード部１８ａ
とそれをガイドする軸受１７との間は潤滑油で絶縁され
るため、真空容器１０内部ではこのベローズ２２を通電
する構造となっている。即ち、蓋体１４に設けられた外
部電源端子（図示省略）と可動電極１６との通電路をこ
のベローズ２２が兼ねている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】ところで、真空コンデ
ンサに要求される特性の一つに、損失が低く、通電時の
発熱が少ないことがある。上記構造をとる真空コンデン
サでは、ベローズ２２の材質が上記特性に大きな影響を
与える。従来、ベローズ２２の材質にはリン青銅が主に
用いられているが、このリン青銅ベローズの導電率は、
１０％ＩＡＣＳ（Internationnal Amealed Copper Stan
dard：国際標準軟銅に対する固有導電率比）程度であ
り、高周波用途では、通電時に真空コンデンサの表面温
度が上昇する問題があった。そのため、許容最大電流値
を上げることができなかった。
ンサに要求される特性の一つに、損失が低く、通電時の
発熱が少ないことがある。上記構造をとる真空コンデン
サでは、ベローズ２２の材質が上記特性に大きな影響を
与える。従来、ベローズ２２の材質にはリン青銅が主に
用いられているが、このリン青銅ベローズの導電率は、
１０％ＩＡＣＳ（Internationnal Amealed Copper Stan
dard：国際標準軟銅に対する固有導電率比）程度であ
り、高周波用途では、通電時に真空コンデンサの表面温
度が上昇する問題があった。そのため、許容最大電流値
を上げることができなかった。
【０００８】本発明は、かかる問題点に鑑みてなされた
もので、その目的とするところは、高周波電流の通電能
力を高める構造の真空コンデンサを提供することにあ
る。
もので、その目的とするところは、高周波電流の通電能
力を高める構造の真空コンデンサを提供することにあ
る。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成する本発
明の構成は、可動電極の変位に追随して真空容器内を気
密に保持すると共に外部電源端子との通電路を兼ねるリ
ン青銅ベローズを有する真空コンデンサにおいて、前記
リン青銅ベローズの表面に、リン青銅よりも導電率の高
いメッキ材質、例えば、銅系材質、銀系材質でメッキ処
理を施したことを特徴とする。
明の構成は、可動電極の変位に追随して真空容器内を気
密に保持すると共に外部電源端子との通電路を兼ねるリ
ン青銅ベローズを有する真空コンデンサにおいて、前記
リン青銅ベローズの表面に、リン青銅よりも導電率の高
いメッキ材質、例えば、銅系材質、銀系材質でメッキ処
理を施したことを特徴とする。
【００１０】
【作用】真空コンデンサに通電する電流の周波数が数Ｍ
ＨZのオーダーになると、高周波電流は表皮効果により
ベローズのごく表面に集中するので、この表面部分に、
リン青銅よりも導電率の高いメッキ材質でメッキ処理を
施すことで、電気抵抗が低減し、電流が流れ易くなる。
従って、通電時の発熱が抑制され、真空コンデンサの許
容最大電流値が上がる。
ＨZのオーダーになると、高周波電流は表皮効果により
ベローズのごく表面に集中するので、この表面部分に、
リン青銅よりも導電率の高いメッキ材質でメッキ処理を
施すことで、電気抵抗が低減し、電流が流れ易くなる。
従って、通電時の発熱が抑制され、真空コンデンサの許
容最大電流値が上がる。
【００１１】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照して説明
する。なお、本発明は従来の真空コンデンサを改良した
ものなので、図１に示した構成部品と同一のものについ
てはその説明を省略し、異なる部分についてのみ説明す
る。
する。なお、本発明は従来の真空コンデンサを改良した
ものなので、図１に示した構成部品と同一のものについ
てはその説明を省略し、異なる部分についてのみ説明す
る。
【００１２】本実施例では、図１に示した構造の真空コ
ンデンサにおいて、ベローズ２２を高導電率のメッキ材
質を用いてメッキ処理したリン青銅で構成したものであ
る。リン青銅は、強靭性、弾性、耐摩耗性に優れ、且つ
前述のように、導電率も１０％ＩＡＣＳ程度が確保され
るので、ベローズ２２のベースに適している。
ンデンサにおいて、ベローズ２２を高導電率のメッキ材
質を用いてメッキ処理したリン青銅で構成したものであ
る。リン青銅は、強靭性、弾性、耐摩耗性に優れ、且つ
前述のように、導電率も１０％ＩＡＣＳ程度が確保され
るので、ベローズ２２のベースに適している。
【００１３】図２は本発明の一実施例による真空コンデ
ンサの通電電流−表面温度特性図であり、メッキ材質と
して銅（Ｃｕ）を用いた場合（銅メッキリン青銅ベロー
ズ）の例を実線で示している。また、比較例として、メ
ッキを行わないリン青銅ベローズを用いた従来の真空コ
ンデンサによる値も破線で示している。これらの値は、
夫々、静電容量を５００［ｐＦ］、使用周波数を１３.
５６［ＭＨZ］、通電電流Ｉ（＝ωＣＶ：ωは角周波
数、Ｃは静電容量、Ｖは印加電圧）を印加電圧Ｖにより
可変した場合の例である。
ンサの通電電流−表面温度特性図であり、メッキ材質と
して銅（Ｃｕ）を用いた場合（銅メッキリン青銅ベロー
ズ）の例を実線で示している。また、比較例として、メ
ッキを行わないリン青銅ベローズを用いた従来の真空コ
ンデンサによる値も破線で示している。これらの値は、
夫々、静電容量を５００［ｐＦ］、使用周波数を１３.
５６［ＭＨZ］、通電電流Ｉ（＝ωＣＶ：ωは角周波
数、Ｃは静電容量、Ｖは印加電圧）を印加電圧Ｖにより
可変した場合の例である。
【００１４】図２を参照すると、銅メッキリン青銅ベロ
ーズを用いた真空コンデンサの方が、従来のものよりも
通電電流値に対する表面温度上昇が抑制されていること
がわかる。これは、通電電流が、表皮効果によりベロー
ズ２２のごく表面に集中し、高導電性のメッキ膜が有効
となることによる。これにより通電時の温度上昇が抑制
され、許容最大電流値が高くなる。
ーズを用いた真空コンデンサの方が、従来のものよりも
通電電流値に対する表面温度上昇が抑制されていること
がわかる。これは、通電電流が、表皮効果によりベロー
ズ２２のごく表面に集中し、高導電性のメッキ膜が有効
となることによる。これにより通電時の温度上昇が抑制
され、許容最大電流値が高くなる。
【００１５】なお、以上は、銅（Ｃｕ）メッキ処理を施
した場合の例であるが、メッキ材質として導電率がほぼ
同じの他の銅系材質を用いても良い。また、導電率のよ
り優れる純銀（Ａｇ）等の銀系材質でメッキ膜を施せば
より通電能力に優れたベローズ２２が得られ、真空コン
デンサの特性向上に寄与し得る。
した場合の例であるが、メッキ材質として導電率がほぼ
同じの他の銅系材質を用いても良い。また、導電率のよ
り優れる純銀（Ａｇ）等の銀系材質でメッキ膜を施せば
より通電能力に優れたベローズ２２が得られ、真空コン
デンサの特性向上に寄与し得る。
【００１６】
【発明の効果】以上説明したように、本発明では、可動
電極の変位に追随して真空容器内を気密に保持すると共
に外部電源端子との通電路を兼ねるリン青銅ベローズの
表面に、より導電率の高い銅系材質又は銀系材質でメッ
キ処理を施したので、通電能力が向上し、高周波電流通
電時の発熱が防止される効果がある。これにより、真空
コンデンサの許容最大電流値が高くなり、使用回路ある
いは装置に収納された場合に、その冷却の必要が無くな
ると共に、該回路等の信頼性向上が図れる。
電極の変位に追随して真空容器内を気密に保持すると共
に外部電源端子との通電路を兼ねるリン青銅ベローズの
表面に、より導電率の高い銅系材質又は銀系材質でメッ
キ処理を施したので、通電能力が向上し、高周波電流通
電時の発熱が防止される効果がある。これにより、真空
コンデンサの許容最大電流値が高くなり、使用回路ある
いは装置に収納された場合に、その冷却の必要が無くな
ると共に、該回路等の信頼性向上が図れる。
【図１】本発明が適用される可変形真空コンデンサの断
面構造図。
面構造図。
【図２】本発明の一実施例による真空コンデンサの通電
電流−表面温度特性図。
電流−表面温度特性図。
１０…真空容器 １６…可動電極 ２２…ベローズ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01G 5/14 H01G 5/01
Claims (3)
- 【請求項１】 可動電極の変位に追随して真空容器内を
気密に保持すると共に外部電源端子との通電路を兼ねる
リン青銅ベローズを有する真空コンデンサにおいて、前
記リン青銅ベローズの表面に、リン青銅よりも導電率の
高いメッキ材質でメッキ処理を施したことを特徴とする
真空コンデンサ。 - 【請求項２】 前記メッキ材質は、銅系材質であること
を特徴とする請求項１記載の真空コンデンサ。 - 【請求項３】 前記メッキ材質は、銀系材質であること
を特徴とする請求項１記載の真空コンデンサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34850592A JP3264005B2 (ja) | 1992-12-28 | 1992-12-28 | 真空コンデンサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP34850592A JP3264005B2 (ja) | 1992-12-28 | 1992-12-28 | 真空コンデンサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06204083A JPH06204083A (ja) | 1994-07-22 |
| JP3264005B2 true JP3264005B2 (ja) | 2002-03-11 |
Family
ID=18397471
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP34850592A Expired - Lifetime JP3264005B2 (ja) | 1992-12-28 | 1992-12-28 | 真空コンデンサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3264005B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8335071B2 (en) | 2007-11-20 | 2012-12-18 | Meidensha Corporation | Vacuum capacitor |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005174988A (ja) | 2003-12-08 | 2005-06-30 | Meidensha Corp | 真空コンデンサ |
-
1992
- 1992-12-28 JP JP34850592A patent/JP3264005B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8335071B2 (en) | 2007-11-20 | 2012-12-18 | Meidensha Corporation | Vacuum capacitor |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06204083A (ja) | 1994-07-22 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US3054029A (en) | Electrical condenser | |
| KR0138031B1 (ko) | 회전 양극형 x선관 장치 | |
| JP3264005B2 (ja) | 真空コンデンサ | |
| JP3264004B2 (ja) | 真空コンデンサ | |
| US2439255A (en) | Capacitor switch | |
| JP3264006B2 (ja) | 真空コンデンサ | |
| US3492545A (en) | Electrically and thermally conductive malleable layer embodying lead foil | |
| JP2005174988A (ja) | 真空コンデンサ | |
| JPH0778729A (ja) | 真空コンデンサ | |
| US4002957A (en) | Trimmable fixed hermetically sealed capacitor | |
| JPH10284347A (ja) | 真空可変コンデンサ | |
| US5576673A (en) | Small, low-pass filter for high power applications | |
| JP2897542B2 (ja) | 超電導スイッチ | |
| JP3885343B2 (ja) | 真空コンデンサ | |
| JP4678239B2 (ja) | 真空可変コンデンサ | |
| JP3160950B2 (ja) | 真空コンデンサ | |
| JPH05251763A (ja) | 酸化物超電導限流導体の製造方法 | |
| JP3882407B2 (ja) | 真空コンデンサ | |
| JPH10289838A (ja) | 固体電解コンデンサ | |
| JP3245971B2 (ja) | 真空コンデンサ | |
| US2496034A (en) | Inductor | |
| JP3316896B2 (ja) | コンデンサ | |
| JP3245923B2 (ja) | 真空コンデンサ | |
| US2937348A (en) | Filter | |
| JP2024000027A (ja) | 真空コンデンサ |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081228 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091228 Year of fee payment: 8 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101228 Year of fee payment: 9 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111228 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121228 Year of fee payment: 11 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |