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JP3117365B2 - スクロール型真空ポンプ - Google Patents

スクロール型真空ポンプ

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Publication number
JP3117365B2
JP3117365B2 JP06172004A JP17200494A JP3117365B2 JP 3117365 B2 JP3117365 B2 JP 3117365B2 JP 06172004 A JP06172004 A JP 06172004A JP 17200494 A JP17200494 A JP 17200494A JP 3117365 B2 JP3117365 B2 JP 3117365B2
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JP
Japan
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scroll
vacuum pump
motor
inert gas
pump
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JP06172004A
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English (en)
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JPH0821392A (ja
Inventor
貞行 琴浦
勝 近藤
修二 芳賀
雅友 田沼
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Anest Iwata Corp
Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Original Assignee
Anest Iwata Corp
Mitsubishi Heavy Industries Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Anest Iwata Corp, Mitsubishi Heavy Industries Ltd filed Critical Anest Iwata Corp
Priority to JP06172004A priority Critical patent/JP3117365B2/ja
Publication of JPH0821392A publication Critical patent/JPH0821392A/ja
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C29/00—Component parts, details or accessories of pumps or pumping installations, not provided for in groups F04C18/00 - F04C28/00
    • F04C29/04—Heating; Cooling; Heat insulation
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C2240/00—Components
    • F04C2240/40—Electric motor
    • F04C2240/403—Electric motor with inverter for speed control

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Applications Or Details Of Rotary Compressors (AREA)
  • Rotary Pumps (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はスクロール型真空ポンプ
に関する。
【０００２】
【従来の技術及びその課題】従来のスクロール型真空ポ
ンプの１例が図２に示されている。旋回スクロール１及
びこれに図示のように噛合する固定スクロール２、３に
よってスクロール型ポンプ機構４が構成される。
【０００３】モータ10及び回転軸５はケーシング21内に
密封されている。モータ10のステータ10B はケーシング
21に固定され、ロータ10A は回転軸５に固定されてい
る。回転軸５の両端は軸受８、９を介してケーシング21
に支持され、その偏心クランク5Aは軸受７を介して旋回
スクロール１に軸支されている。
【０００４】しかして、モータ10に端子22から通電して
これを回転させると、回転軸５の偏心クランク5Aによっ
て旋回スクロール１が駆動され、旋回スクロール１は自
転阻止機構６により自転を阻止されることによって公転
旋回する。
【０００５】これにより被処理ガスが吸気口23から吸入
チャンバ24を経て旋回スクロール1と固定スクロール
２、３を噛合させることによって限界された作動室25内
に入り、旋回スクロール１の公転旋回により作動室25が
その容積を減じながらうず巻の中心に移動するのに伴っ
て圧縮された後、排気口26から外部に排出される。
【０００６】このポンプの運転によってポンプ機構４、
モータ10、軸受７、８、９から発熱し、これらの温度が
上昇するのを抑制するため、水室27に冷却水を循環させ
る。
【０００７】また、被処理ガスが腐蝕性ガス、爆発性ガ
ス又は有害ガスの場合には大気圧より若干高圧の室素等
からなる不活性ガスを導入口28からケーシング21内に導
入してこれら被処理ガスがケーシング21の外部に漏洩す
るのを防止するとともにモータ10、回転軸５、軸受７、
８、９等が腐蝕性ガスによって腐蝕するのを保護する。
【０００８】
【課題を解決しようとする課題)上記従来
の真空ポンプは冷却水で冷却する必要があるため、冷却
水を供給できる設備がある所以外では使用することがで
きなかった。 【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は上記課題を解決
するために発明されたものであって、その要旨とすると
ころは、旋回スクロールとこれに噛合する固定スクロー
ルと上記旋回スクロールの自転を阻止して公転旋回させ
るための自転阻止機構からなるスクロール型ポンプ機
構、このスクロール型ポンプ機構を回転軸を介して駆動
するモータ及び上記回転軸を軸支する軸受をケーシング
内に密封するとともにこのケーシング内に不活性ガスを
導入してなるスクロール型真空ポンプにおいて、上記モ
ータの回転数を一定に維持するインバータと、上記真空
ポンプにその外部から冷却風を吹き付ける冷却フアン
と、この冷却フアンの異常時上記インバータに指令して
上記モータを停止させるインターロックと、上記不活性
ガスの導管に介装されこの不活性ガスの圧力が異常に上
昇したときに作動する安全弁と、この安全弁の上流側に
介装されたオリフィスを具備することを特徴とするスク
ロール型真空ポンプにある。
【００１０】
【００１１】
【００１２】
【００１３】
【作用】本発明においては、真空ポンプの運転時、冷却
フアンによって冷却風を外部から吹きつけることによっ
て真空ポンプを冷却する。
【００１４】そして、インバータによってモータの回転
数を一定に維持することによってモータの回転数増加に
基づく真空ポンプの温度上昇を防止する。
【００１５】冷却フアンの異常時にはインターロックか
らインバータに指令してモータを停止する。
【００１６】不活性ガスの圧力が異常上昇したとき安全
弁が作動して不活性ガスを放出することによりケーシン
グ内の不活性ガスの圧力を所定値以下に維持すると同時
に上記安全弁の上流側に設けたオリフィスによって不活
性ガスの流量を安全弁からの放出量以下に制限する。
【００１７】
【００１８】
【実施例】本発明の１実施例が図１に示されている。真
空ポンプ30のスクロール型ポンプ機構31はモータ32から
回転軸33を介して駆動される。スクロール型ポンプ機構
３１、モータ32及び回転軸33はケーシング34及び35内に
密封されている。回転軸33は軸受36、37を介してケーシ
ング34及び35に軸支され、これら軸受36、37もケーシン
グ34及び35内に密封されている。
【００１９】モータ32には商用電源38からの電流が電線
43、インバータ39、電線44を介して供給される。このイ
ンバータ39はモータ32の回転数を一定に維持することに
よってスクロール型ポンプ機構31、モータ32、軸支36、
37からの発熱を抑制する。真空ポンプ30の周囲には複数
個( 図には３個）の冷却フアン40が配設され、これら複
数個の冷却フアン40は真空ポンプ30にその外部から冷却
風を吹き付けるようになっている。
【００２０】各冷却フアン40にはそれぞれ回転数検知器
41が付設され、これら回転数検知器41は冷却フアン40の
回転数が所定値以下に低下したり停止する等の異常を検
知した場合にはこれを信号線45を介してインバータ39に
内蔵されたインターロック42に出力する。すると、イン
ターロック42はインバータ39からモータ34に供給される
電流を遮断し又はその周波数を零とすることによってモ
ータ32を停止する。
【００２１】ケーシング34、35内には室素等の不活性ガ
スが導管46を介して供給され、この導管46には真空ポン
プ30に近接して安全弁47が介装されている。この安全弁
47は導管46及びケーシング34、35内の不活性ガスの圧力
が所定以上に上昇したときに作動して不活性ガスを大気
に放出することによりケーシング34、35内の不活性ガス
圧力を所定値に維持する。
【００２２】そして、安全弁47の上流側には不活性ガス
の流量を安全弁47からの放出量以下に制限するためのオ
リフィス48が設けられている。
【００２３】
【発明の効果】本発明においては、冷却フアンによって
冷却風を吹き付けることによって真空ポンプを冷却しそ
の温度の異常上昇を抑制できるので、従来のものと異な
り冷却水の供給設備がない所にも真空ポンプを据え付け
てこれを運転することができる。
【００２４】また、従来の真空ポンプにおいてはモータ
に供給される商用電源の周波数が50Hzから60Hzに変化す
ると、回転軸の軸受温度が約15deg ℃上昇するが、本発
明においてはモータの回転数を一定に維持するインバー
タを設けたため、商用電源の周波数が変化した場合であ
ってもモータの回転数を一定に維持してスクロール型ポ
ンプ機構、モータ、軸受等からの発熱量を所定値以下に
保つことができる。
【００２５】また、ケーシング内に導入される不活性ガ
スの導管にこの不活性ガスの圧力が異常上昇したときに
作動する安全弁と、この安全弁の上流側にオリフィスを
設けたため、ケーシング内の不活性ガスの圧力の異常上
昇を防止してケーシングの破壊を防止できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の１実施例を示す略示的構成図である。
【図２】従来の真空ポンプを示す略示的縦断面図であ
る。
【符号の説明】
30 真空ポンプ 31 スクロール型ポンプ機構 32 モータ 33 回転軸 34、35 ケーシング 40 冷却フアン 41 回転数検知機器 38 商用電源 39 インバータ 42 インターロック 46 不活性ガスの導管 47 安全弁
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 芳賀 修二 横浜市港北区新吉田町3176番地 岩田塗 装機工業株式会社 横浜工場内 (72)発明者 田沼 雅友 横浜市港北区新吉田町3176番地 岩田塗 装機工業株式会社 横浜工場内 (56)参考文献 特開 平５−157076（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−24316（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−110889（ＪＰ，Ａ) 実開 平３−61189（ＪＰ，Ｕ) 実開 平６−1786（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) F04C 23/00 - 29/10 331

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 旋回スクロールとこれに噛合する固定ス
    クロールと上記旋回スクロールの自転を阻止して公転旋
    回させるための自転阻止機構からなるスクロール型ポン
    プ機構、このスクロール型ポンプ機構を回転軸を介して
    駆動するモータ及び上記回転軸を軸支する軸受をケーシ
    ング内に密封するとともにこのケーシング内に不活性ガ
    スを導入してなるスクロール型真空ポンプにおいて、上
    記モータの回転数を一定に維持するインバータと、上記
    真空ポンプにその外部から冷却風を吹き付ける冷却フア
    ンと、この冷却フアンの異常時上記インバータに指令し
    て上記モータを停止させるインターロックと、上記不活
    性ガスの導管に介装されこの不活性ガスの圧力が異常に
    上昇したときに作動する安全弁と、この安全弁の上流側
    に介装されたオリフィスを具備することを特徴とするス
    クロール型真空ポンプ。
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