JP3104328B2 - 垂直磁気記録装置及び垂直磁気記録再生装置 - Google Patents
垂直磁気記録装置及び垂直磁気記録再生装置Info
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- JP3104328B2 JP3104328B2 JP03274235A JP27423591A JP3104328B2 JP 3104328 B2 JP3104328 B2 JP 3104328B2 JP 03274235 A JP03274235 A JP 03274235A JP 27423591 A JP27423591 A JP 27423591A JP 3104328 B2 JP3104328 B2 JP 3104328B2
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- Recording Or Reproducing By Magnetic Means (AREA)
- Magnetic Record Carriers (AREA)
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、垂直磁気記録装置及び
垂直磁気記録再生装置に係わる。
垂直磁気記録再生装置に係わる。
【0002】
【従来の技術】磁気記録分野において、高記録密度、短
波長化をはかる上で垂直磁気記録が有利である。
波長化をはかる上で垂直磁気記録が有利である。
【0003】更に、この垂直磁気記録において、その垂
直磁気記録媒体として、高保磁力、高残留磁束密度を必
要とし、この要求に対処するものとして種々の研究開発
がなされている。
直磁気記録媒体として、高保磁力、高残留磁束密度を必
要とし、この要求に対処するものとして種々の研究開発
がなされている。
【0004】垂直磁気記録によるリジット・ディスクの
典型的構成として、いくつか提案されているが、これら
はその垂直磁気記録層として、CoCr合金を用いてい
る。
典型的構成として、いくつか提案されているが、これら
はその垂直磁気記録層として、CoCr合金を用いてい
る。
【0005】ところが、このCoCr合金は、その飽和
磁束密度4πMsが、4〜6kG(キロガウス)という
小さいものであるために、,それに比例する再生出力が
実用レベルに達し得なかった。特に垂直磁気記録の特徴
もあって、長波長(λ>1μm)域の再生出力が、従来
から一般に用いられている長手磁気記録媒体に比べて著
しく低かった。又、再生出力は、CoCr層の保磁力の
増大に伴って上昇する傾向があるにもかかわらず、垂直
磁気記録用磁気ヘッド、特に単磁極磁気ヘッドのヘッド
効率の低さ、及び利用できる磁気ヘッド用軟磁性コアー
材料の飽和磁束密度が充分でなく、CoCr層の保磁力
上昇は、得策ではなかった。勿論、CoCrの合金薄膜
の保磁力自体にも限界があり、その上限は高々1500
(Oe)である。
磁束密度4πMsが、4〜6kG(キロガウス)という
小さいものであるために、,それに比例する再生出力が
実用レベルに達し得なかった。特に垂直磁気記録の特徴
もあって、長波長(λ>1μm)域の再生出力が、従来
から一般に用いられている長手磁気記録媒体に比べて著
しく低かった。又、再生出力は、CoCr層の保磁力の
増大に伴って上昇する傾向があるにもかかわらず、垂直
磁気記録用磁気ヘッド、特に単磁極磁気ヘッドのヘッド
効率の低さ、及び利用できる磁気ヘッド用軟磁性コアー
材料の飽和磁束密度が充分でなく、CoCr層の保磁力
上昇は、得策ではなかった。勿論、CoCrの合金薄膜
の保磁力自体にも限界があり、その上限は高々1500
(Oe)である。
【0006】更に、記録密度を示す指標であるD50(長
波長出力に比べ、出力が半減する記録密度)は、磁性層
の異方性磁界の大きさと共に上昇するにもかかわらず、
CoCr合金では、その値は高々4〜6kOeが限界で
あった。
波長出力に比べ、出力が半減する記録密度)は、磁性層
の異方性磁界の大きさと共に上昇するにもかかわらず、
CoCr合金では、その値は高々4〜6kOeが限界で
あった。
【0007】そして、このCoCr系合金においては、
その垂直保磁力HcV はこの合金薄膜のスパッタリング
等の被着成膜時の基板温度が150℃程度に加熱された
場合には、前述の1500(Oe)が得られるものの、
その成膜時の基板温度が室温程度である場合は、約30
0(Oe)という低い値を示す。そして、垂直方向の角
型比(Mr/Ms)V は約0.2である。この場合、そ
の飽和磁束密度Bsが比較的低いという課題と共に、そ
の垂直保磁力HcV は成膜時の基板温度を高くしないと
高い値として得られないことから、その基板としては耐
熱性の低い基板を用いることができない。又、高い基板
温度を必要とすることは工業的に種々の不利益をもたら
す。
その垂直保磁力HcV はこの合金薄膜のスパッタリング
等の被着成膜時の基板温度が150℃程度に加熱された
場合には、前述の1500(Oe)が得られるものの、
その成膜時の基板温度が室温程度である場合は、約30
0(Oe)という低い値を示す。そして、垂直方向の角
型比(Mr/Ms)V は約0.2である。この場合、そ
の飽和磁束密度Bsが比較的低いという課題と共に、そ
の垂直保磁力HcV は成膜時の基板温度を高くしないと
高い値として得られないことから、その基板としては耐
熱性の低い基板を用いることができない。又、高い基板
温度を必要とすることは工業的に種々の不利益をもたら
す。
【0008】これに対して、本出願人は、先に特開平2
−74012号公報、特開平2−74013号公報、特
開平2−73510号公報等において、CoPt基即ち
CoPtを主体とする垂直磁性膜の提案をなした。これ
ら、CoPt基の垂直磁性膜は、その膜厚を大としても
充分大きい保磁力Hcが得られ、又、成膜時の基体温度
を高めることなく、且つ、充分な飽和磁束密度Bsを得
ることができるものである。
−74012号公報、特開平2−74013号公報、特
開平2−73510号公報等において、CoPt基即ち
CoPtを主体とする垂直磁性膜の提案をなした。これ
ら、CoPt基の垂直磁性膜は、その膜厚を大としても
充分大きい保磁力Hcが得られ、又、成膜時の基体温度
を高めることなく、且つ、充分な飽和磁束密度Bsを得
ることができるものである。
【0009】然し乍ら、この種のCoPt基による垂直
磁性膜を用いてその記録及び再生を行っても従前の磁気
ヘッドによる時は、この特徴を充分生かした高密度高出
力記録再生を行うことができない。
磁性膜を用いてその記録及び再生を行っても従前の磁気
ヘッドによる時は、この特徴を充分生かした高密度高出
力記録再生を行うことができない。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上述した点
に鑑み、CoPt系合金による垂直磁気記録媒体による
垂直磁気記録装置及び垂直磁気記録再生装置において、
高密度記録及び高記録再生出力化をはかる。
に鑑み、CoPt系合金による垂直磁気記録媒体による
垂直磁気記録装置及び垂直磁気記録再生装置において、
高密度記録及び高記録再生出力化をはかる。
【0011】
【課題を解決するための手段】本発明においては、図1
にその構成の一例の要部の略線的斜視図を示し、図2に
その磁気記録媒体の一例の断面図を示すように、垂直保
磁力HcV が1500(Oe)以上のCoPtを主体と
する垂直磁性膜1を有し、この垂直磁性膜1が非磁性基
体6上に、補助磁性層7を介して形成されて成り、垂直
磁性膜1および補助磁性層7は、蒸着、あるいはスパッ
タリングによって形成されて成る垂直磁気記録媒体2に
対し、少なくとも、磁気ギャップ部(単磁極構成の場合
は、磁極先端部)が、飽和磁束密度4πMsが19kG
以上の、Feを主体とする軟磁性薄膜3よりなる記録ヘ
ッド4により記録を行う。
にその構成の一例の要部の略線的斜視図を示し、図2に
その磁気記録媒体の一例の断面図を示すように、垂直保
磁力HcV が1500(Oe)以上のCoPtを主体と
する垂直磁性膜1を有し、この垂直磁性膜1が非磁性基
体6上に、補助磁性層7を介して形成されて成り、垂直
磁性膜1および補助磁性層7は、蒸着、あるいはスパッ
タリングによって形成されて成る垂直磁気記録媒体2に
対し、少なくとも、磁気ギャップ部(単磁極構成の場合
は、磁極先端部)が、飽和磁束密度4πMsが19kG
以上の、Feを主体とする軟磁性薄膜3よりなる記録ヘ
ッド4により記録を行う。
【0012】又、本発明は、上述の記録ヘッド4を再生
ヘッドとして用いる。
ヘッドとして用いる。
【0013】又、本発明においては、上述の構成におい
て、その垂直磁性膜1を配向制御層5を介して非磁性基
体6上に形成して、垂直磁気記録媒体2を構成する。
て、その垂直磁性膜1を配向制御層5を介して非磁性基
体6上に形成して、垂直磁気記録媒体2を構成する。
【0014】又、本発明においては、上記補助磁性膜7
は、透磁率の高い材料により形成するものとする。
は、透磁率の高い材料により形成するものとする。
【0015】更に又、本発明においては、その垂直磁気
記録媒体2として、非磁性基体6上に補助磁性層7、配
向制御層5、垂直磁性膜1、保護・潤滑層8が順次形成
された構成とする。
記録媒体2として、非磁性基体6上に補助磁性層7、配
向制御層5、垂直磁性膜1、保護・潤滑層8が順次形成
された構成とする。
【0016】更に、本発明においては、垂直磁気記録媒
体2を、非磁性支持体6の両面に垂直磁性膜1を有する
構成とする。
体2を、非磁性支持体6の両面に垂直磁性膜1を有する
構成とする。
【0017】また、本発明においては、垂直磁気記録媒
体2が、3.5インチ型ディスクで、片面500MB
(メガビット)以上とされた構成とすることができる。
体2が、3.5インチ型ディスクで、片面500MB
(メガビット)以上とされた構成とすることができる。
【0018】更に又、本発明においては垂直磁気記録媒
体2の垂直磁性膜1が、CoとPtの人工格子膜による
構成とする。
体2の垂直磁性膜1が、CoとPtの人工格子膜による
構成とする。
【0019】更に又、本発明においては、磁気ヘッド4
の軟磁性薄膜3がFe−N系合金薄膜又はその積層膜よ
り構成する。
の軟磁性薄膜3がFe−N系合金薄膜又はその積層膜よ
り構成する。
【0020】
【作用】上述したように本発明装置においては、その基
本構成が、垂直保磁力HcV が1500(Oe)以上の
CoPt基による垂直磁性膜1を有し、この垂直磁性膜
1が非磁性基体6上に、補助磁性層7を介して形成され
て成り、垂直磁性膜1および補助磁性層7は、蒸着、あ
るいはスパッタリングによって形成されて成る垂直磁気
記録媒体2を用いると共に、これに対して特に、その磁
気ギャップ即ち、単磁極の形成部において、飽和磁束密
度4πMsが19kG以上の特にFeを主体とする軟磁
性薄膜3よりなる記録ヘッド4を用いたことによって、
上述したCoPt基の垂直磁性層の特徴を充分生かした
高密度及び高記録再生出力を得ることができた。
本構成が、垂直保磁力HcV が1500(Oe)以上の
CoPt基による垂直磁性膜1を有し、この垂直磁性膜
1が非磁性基体6上に、補助磁性層7を介して形成され
て成り、垂直磁性膜1および補助磁性層7は、蒸着、あ
るいはスパッタリングによって形成されて成る垂直磁気
記録媒体2を用いると共に、これに対して特に、その磁
気ギャップ即ち、単磁極の形成部において、飽和磁束密
度4πMsが19kG以上の特にFeを主体とする軟磁
性薄膜3よりなる記録ヘッド4を用いたことによって、
上述したCoPt基の垂直磁性層の特徴を充分生かした
高密度及び高記録再生出力を得ることができた。
【0021】
【実施例】本発明においては、例えばいわゆるリジッド
・ディスク型の記録媒体を用いる磁気記録装置、或いは
磁気記録再生装置に適用し得る。
・ディスク型の記録媒体を用いる磁気記録装置、或いは
磁気記録再生装置に適用し得る。
【0022】垂直磁気記録媒体2、例えばリジット・デ
ィスクは、図2にその一例の略線的断面図を示すよう
に、非磁性基体6の両平滑主面にそれぞれ補助磁性層
7、配向制御層5、垂直磁性膜1、保護・潤滑層8を順
次積層した構成とする。
ィスクは、図2にその一例の略線的断面図を示すよう
に、非磁性基体6の両平滑主面にそれぞれ補助磁性層
7、配向制御層5、垂直磁性膜1、保護・潤滑層8を順
次積層した構成とする。
【0023】或いは、図示しないが、基体6の一主面に
のみ上述した垂直磁性膜1を形成するようにして、これ
の下に補助磁性層7、配向制御層5、又垂直磁性膜1上
に保護・潤滑層8を形成した片面型の構成とすることも
できる。
のみ上述した垂直磁性膜1を形成するようにして、これ
の下に補助磁性層7、配向制御層5、又垂直磁性膜1上
に保護・潤滑層8を形成した片面型の構成とすることも
できる。
【0024】非磁性基体6は、リジット・ディスク基板
例えば硝子基体、或いはPC(ポリカーボネイト)、P
MMC(ポリメタクリレート)等によって構成し得る。
例えば硝子基体、或いはPC(ポリカーボネイト)、P
MMC(ポリメタクリレート)等によって構成し得る。
【0025】補助磁性層7は、例えば、高透磁率を有す
るNiFe、CoNbZr、CoTaZr、或いは準硬
磁性材料のFeCo等を0〜1000nmの膜厚をもっ
てスパッタ、蒸着等によって被着し得る。
るNiFe、CoNbZr、CoTaZr、或いは準硬
磁性材料のFeCo等を0〜1000nmの膜厚をもっ
てスパッタ、蒸着等によって被着し得る。
【0026】又、配向制御層5は、垂直磁性膜1の垂直
性即ち配向性を制御するための膜で、例えばPt、Pd
等を0〜50nm の膜厚をもってスパッタ、蒸着等に
よって被着し得る。
性即ち配向性を制御するための膜で、例えばPt、Pd
等を0〜50nm の膜厚をもってスパッタ、蒸着等に
よって被着し得る。
【0027】又、垂直磁性膜1は、厚さ10〜500n
mをもって、CoPt基例えばCoPtB或いはCoP
tBO系ないしはCoとPtとの超薄膜層の繰返し積層
による人工格子膜によって蒸着、スパッタ等によって形
成し得る。
mをもって、CoPt基例えばCoPtB或いはCoP
tBO系ないしはCoとPtとの超薄膜層の繰返し積層
による人工格子膜によって蒸着、スパッタ等によって形
成し得る。
【0028】即ち、この垂直磁性膜1は例えば、(Co
a PtbBc )100-x 0x ,(a,b,c,xは原子
%) a+b+c=100, 0≦b≦50, 0.1≦c≦30, 0<x≦15 の組成とする。
a PtbBc )100-x 0x ,(a,b,c,xは原子
%) a+b+c=100, 0≦b≦50, 0.1≦c≦30, 0<x≦15 の組成とする。
【0029】或いは〔Coa Ptb Bc M1 d 〕100-x
0x ,(a,b,c,d,xは原子%) a+b+c+d=100, 0≦b≦50, 0.1≦c≦30, 0<d≦30,0≦x≦15 (M1 は、Ti,Zr,V,Cr,Nb,Mo,Ta,
W,Fe,Ni,Si,Al,Ge,Ga,In,S
n,Pb,Sb,Bi,P,Se,C,Zn,Cu,A
g,Au,Ru,Pd,Re)とする。
0x ,(a,b,c,d,xは原子%) a+b+c+d=100, 0≦b≦50, 0.1≦c≦30, 0<d≦30,0≦x≦15 (M1 は、Ti,Zr,V,Cr,Nb,Mo,Ta,
W,Fe,Ni,Si,Al,Ge,Ga,In,S
n,Pb,Sb,Bi,P,Se,C,Zn,Cu,A
g,Au,Ru,Pd,Re)とする。
【0030】または、(Coa Ptb M2 c)100-x 0
x (a,b,c,xは原子%) a+b+c=100, 0≦b≦50, 0.1≦c≦30, 0≦x≦15 (M2 はTi,Zr,V,Cr,Nb,Mo,Ta,
W)とする。
x (a,b,c,xは原子%) a+b+c=100, 0≦b≦50, 0.1≦c≦30, 0≦x≦15 (M2 はTi,Zr,V,Cr,Nb,Mo,Ta,
W)とする。
【0031】保護・潤活層8は、例えばC,TiO2 ,
ZrO2等と潤滑剤の組合せによって膜厚1〜50nm
に被着形成される。この場合の使用される潤滑剤として
は、脂肪酸またはその金属塩、脂肪酸アミド、脂肪酸エ
ステル、脂肪族アルコールまたはそのアルコキシド、脂
肪族アミン、多価アルコール、ソルビタンエステル、マ
ンニッタンエステル、硫黄化脂肪酸、脂肪族メルカプタ
ン、変性シリコーンオイル、パーフルオロアルキルエチ
レンオキシド、パーフルオロポリエーテル類、高級アル
キルスルホン酸またはその金属塩、パーフルオロアルキ
ルスルホン酸またはそのアンモニウム塩あるいはその金
属塩、パーフルオロアルキルカルボン酸またはその金属
塩、パーフルオロアルキルカルボン酸エステルやカルボ
ン酸パーフルオロアルキルエステル等を用いることがで
きる。さらには、より厳しい使用条件に対処し、かつ潤
滑効果を持続するために、上記ポリ(N−パーフルオロ
アルキルカルバモイル)誘導体中に重量比で30:70
〜70:30程度の配合比で極圧剤を併用してもよい。
ZrO2等と潤滑剤の組合せによって膜厚1〜50nm
に被着形成される。この場合の使用される潤滑剤として
は、脂肪酸またはその金属塩、脂肪酸アミド、脂肪酸エ
ステル、脂肪族アルコールまたはそのアルコキシド、脂
肪族アミン、多価アルコール、ソルビタンエステル、マ
ンニッタンエステル、硫黄化脂肪酸、脂肪族メルカプタ
ン、変性シリコーンオイル、パーフルオロアルキルエチ
レンオキシド、パーフルオロポリエーテル類、高級アル
キルスルホン酸またはその金属塩、パーフルオロアルキ
ルスルホン酸またはそのアンモニウム塩あるいはその金
属塩、パーフルオロアルキルカルボン酸またはその金属
塩、パーフルオロアルキルカルボン酸エステルやカルボ
ン酸パーフルオロアルキルエステル等を用いることがで
きる。さらには、より厳しい使用条件に対処し、かつ潤
滑効果を持続するために、上記ポリ(N−パーフルオロ
アルキルカルバモイル)誘導体中に重量比で30:70
〜70:30程度の配合比で極圧剤を併用してもよい。
【0032】上記極圧剤は、境界潤滑領域において部分
的に金属接触を生じたとき、これに伴う摩擦熱によって
金属面と反応し、反応生成物被膜を形成することにより
摩擦・摩耗防止作用を行うものであって、リン酸エステ
ル、亜リン酸エステル又はリン酸レステルアミン塩等の
リン系極圧剤、硫化油脂、モノサルファイド又はポリサ
ルファイド等のイオウ系極圧剤、ヨウ素化合物、臭素化
合物又は塩素化合物等のハロゲン系極圧剤、チオリン酸
塩、チオカルバミン酸塩又は金属アルキルジチオカルバ
ミン酸塩等の有機金属系極圧剤、ジアルキルチオリン酸
アミン、チオフォスフェート又はチオフォスファイト等
の複合型極圧剤等が知られている。
的に金属接触を生じたとき、これに伴う摩擦熱によって
金属面と反応し、反応生成物被膜を形成することにより
摩擦・摩耗防止作用を行うものであって、リン酸エステ
ル、亜リン酸エステル又はリン酸レステルアミン塩等の
リン系極圧剤、硫化油脂、モノサルファイド又はポリサ
ルファイド等のイオウ系極圧剤、ヨウ素化合物、臭素化
合物又は塩素化合物等のハロゲン系極圧剤、チオリン酸
塩、チオカルバミン酸塩又は金属アルキルジチオカルバ
ミン酸塩等の有機金属系極圧剤、ジアルキルチオリン酸
アミン、チオフォスフェート又はチオフォスファイト等
の複合型極圧剤等が知られている。
【0033】また、上述の潤滑剤、極圧剤の他必要に応
じて防錆剤を併用してもよい。使用可能な防錆剤として
は、通常この種の磁気記録媒体の防錆剤として使用され
るものであれば如何なるものでもよく、例えば二価フェ
ノール、アルキルフェノールあるいはニトロソフェノー
ル等のフェノール類、純ナフトール又はニトロ、ニトロ
ソ、アミノ、ハロゲノ置換ナフトール等のナフトール
類、メチルキノン、ヒドロキシキノン、アミノキノン、
ニトロキノン又はハロゲノキノン等のキノン類、ベンゾ
フェノン及びその誘導体であるヒドロキシベンゾフェノ
ン、アミノベンゾフェノン等のジアリールケトン、アク
リジン、4−キノリノール、キヌレン酸又はリボフラビ
ン等の窒素原子を含む複素環化合物、トコフェロール又
はグアノシン等の酸素原子を含む複素環化合物、スルホ
ラン、スルホレン又はビチオン等の硫黄原子を含む複素
環化合物、チオフェノール、ジチゾン又はチオオキシン
等のメルカプト基を有する化合物、エタンチオ酸又はル
ベアン酸等のオチカルボン酸またはその塩、ジアゾスル
フィド又はベンゾチアゾリン等のチアゾール系化合物等
が挙げられる。上記防錆剤は、潤滑剤と混合させて用い
ても良いが、例えば図2に示すように、被磁性支持体1
上に形成された強磁性金属薄膜2の表面に先ず上記防錆
剤4を塗布し、しかる後潤滑剤3を塗布するというよう
に、2層以上に分けて被着する効果が高い。
じて防錆剤を併用してもよい。使用可能な防錆剤として
は、通常この種の磁気記録媒体の防錆剤として使用され
るものであれば如何なるものでもよく、例えば二価フェ
ノール、アルキルフェノールあるいはニトロソフェノー
ル等のフェノール類、純ナフトール又はニトロ、ニトロ
ソ、アミノ、ハロゲノ置換ナフトール等のナフトール
類、メチルキノン、ヒドロキシキノン、アミノキノン、
ニトロキノン又はハロゲノキノン等のキノン類、ベンゾ
フェノン及びその誘導体であるヒドロキシベンゾフェノ
ン、アミノベンゾフェノン等のジアリールケトン、アク
リジン、4−キノリノール、キヌレン酸又はリボフラビ
ン等の窒素原子を含む複素環化合物、トコフェロール又
はグアノシン等の酸素原子を含む複素環化合物、スルホ
ラン、スルホレン又はビチオン等の硫黄原子を含む複素
環化合物、チオフェノール、ジチゾン又はチオオキシン
等のメルカプト基を有する化合物、エタンチオ酸又はル
ベアン酸等のオチカルボン酸またはその塩、ジアゾスル
フィド又はベンゾチアゾリン等のチアゾール系化合物等
が挙げられる。上記防錆剤は、潤滑剤と混合させて用い
ても良いが、例えば図2に示すように、被磁性支持体1
上に形成された強磁性金属薄膜2の表面に先ず上記防錆
剤4を塗布し、しかる後潤滑剤3を塗布するというよう
に、2層以上に分けて被着する効果が高い。
【0034】この構成による垂直磁気記録媒体即ちリジ
ット・ディスクに対して、図1の記録を、特に少くとも
磁気ギャップ部の形成部が4πMs>19kGの軟磁性
材料によって構成した単磁極型ヘッド或いはリング型磁
気ヘッドによる記録磁気ヘッドを用いてその記録を行
う。
ット・ディスクに対して、図1の記録を、特に少くとも
磁気ギャップ部の形成部が4πMs>19kGの軟磁性
材料によって構成した単磁極型ヘッド或いはリング型磁
気ヘッドによる記録磁気ヘッドを用いてその記録を行
う。
【0035】又、再生用磁気ヘッドについては、記録磁
気ヘッドを再生用磁気ヘッドとして兼ねる単磁極ヘッド
或いはリング型ヘッド構成とすることもできるし、又、
記録用ヘッドとは、別に再生専用で短波長再生が可能な
磁気抵抗型或いは、マイクロ波導波路型の磁気ヘッドを
用いることができる。
気ヘッドを再生用磁気ヘッドとして兼ねる単磁極ヘッド
或いはリング型ヘッド構成とすることもできるし、又、
記録用ヘッドとは、別に再生専用で短波長再生が可能な
磁気抵抗型或いは、マイクロ波導波路型の磁気ヘッドを
用いることができる。
【0036】磁気記録用ヘッドに用いる上述した4πM
s>19kGの特性を満足する軟磁性薄膜3としては、
耐摩性にすぐれ、Bsが19kG以上の下記(i)〜
(Xiii)の組成のないしは構成の磁気膜を用いることが
できる。
s>19kGの特性を満足する軟磁性薄膜3としては、
耐摩性にすぐれ、Bsが19kG以上の下記(i)〜
(Xiii)の組成のないしは構成の磁気膜を用いることが
できる。
【0037】(i) Fea Alb Sic Nd (a,
b,c,dは重量%)で、 a+b+c+d=100 70≦a≦95 2≦b≦10 3≦c≦16 0.005≦d≦4
b,c,dは重量%)で、 a+b+c+d=100 70≦a≦95 2≦b≦10 3≦c≦16 0.005≦d≦4
【0038】(ii) Fea Alb Sic Od (a,
b,c,dは重量%)で、 a+b+c+d=100 70≦a≦95 2≦b≦10 4≦c≦15 0.005≦d≦5
b,c,dは重量%)で、 a+b+c+d=100 70≦a≦95 2≦b≦10 4≦c≦15 0.005≦d≦5
【0039】(iii) Fea Ga b Sic (a,b,c
は原子比)で、 a+b+c=100 68≦a≦84 1≦b≦23 9≦c≦31 とし、更にそのFe,Ga,Siの少くとも1種を8〜
15原子%のRuで置換したもの。
は原子比)で、 a+b+c=100 68≦a≦84 1≦b≦23 9≦c≦31 とし、更にそのFe,Ga,Siの少くとも1種を8〜
15原子%のRuで置換したもの。
【0040】(iV) Fex Ny Az (原子%)で、 0.5≦y≦2.5 0.5≦z≦7.5 残部Aとし、そのAが:Si,Al,Ta,B,Mg,
Ca,Sr,Ba,Cr,Mn,Zr,Nb,Ti,M
o,V,W,Hf,Ca,Ge、希土類の1種以上。
Ca,Sr,Ba,Cr,Mn,Zr,Nb,Ti,M
o,V,W,Hf,Ca,Ge、希土類の1種以上。
【0041】(V) 上記(iV)の組成による磁性膜と
非磁性膜との積層によるもの
非磁性膜との積層によるもの
【0042】(Vi) Fe主体で、N,O,Cの1種類
以上を、N,Ox の場合0.1〜5原子%、Cの場合
0.1〜15原子%添加した磁性金属層と、非磁性金属
層との積層によるもの。
以上を、N,Ox の場合0.1〜5原子%、Cの場合
0.1〜15原子%添加した磁性金属層と、非磁性金属
層との積層によるもの。
【0043】(Vii) 純Fe、或いはFeを主成分とす
るFeSi,センダスト,FeGaSi,FeAlG
e,FeCoSi,FeCoSiAl等から成り膜厚が
10〜10000Å、好ましくは50〜5000Åの結
晶質磁性合金薄膜からなる主磁性層と、CoZr,Co
Hf,CoTa,CoNb,NiZr,NiHf,Cu
Zr,CuHf等から成り膜厚が3〜1000Å、好ま
しくは5〜50Åの非晶質非磁性合金薄膜との積層によ
るもの。
るFeSi,センダスト,FeGaSi,FeAlG
e,FeCoSi,FeCoSiAl等から成り膜厚が
10〜10000Å、好ましくは50〜5000Åの結
晶質磁性合金薄膜からなる主磁性層と、CoZr,Co
Hf,CoTa,CoNb,NiZr,NiHf,Cu
Zr,CuHf等から成り膜厚が3〜1000Å、好ま
しくは5〜50Åの非晶質非磁性合金薄膜との積層によ
るもの。
【0044】(Viii) Coを主体とするCoZr,Co
NbZr,Co−(NbまたはTa)−(ZrまたはH
f)の組合せから成る合金、CoHfPd,CoZrM
o,CoZrW,CoZrRe,CoHfMo,CoH
fW,CoHfRe等による非晶質磁性合金による厚さ
50〜10000Åを主磁性層とし、中間層としてCo
Zr,CoHf,CoTa,CoNb,NiZr,Ni
Hf,CuZr,CuHfによる厚さ3〜1000Å、
好ましくは5〜50Åの非晶質合金薄膜の積層によるも
の。
NbZr,Co−(NbまたはTa)−(ZrまたはH
f)の組合せから成る合金、CoHfPd,CoZrM
o,CoZrW,CoZrRe,CoHfMo,CoH
fW,CoHfRe等による非晶質磁性合金による厚さ
50〜10000Åを主磁性層とし、中間層としてCo
Zr,CoHf,CoTa,CoNb,NiZr,Ni
Hf,CuZr,CuHfによる厚さ3〜1000Å、
好ましくは5〜50Åの非晶質合金薄膜の積層によるも
の。
【0045】(iX) (Fea Mb )100-c-d Nc Od
(a,b,c,dは原子%)、(MはSi,Al,T
a,B,Mg,Ca,Sr,Ba,Cr,Mn,Zr,
Nb,Ti,Mo,V,W,Hf,Ga,Ge,希土類
元素の少くとも1種類)なる組成式で表され、その組成
範囲が 0.1≦b≦5 a+b=100 0.5≦c≦15 0.1≦b≦13 によるもの。
(a,b,c,dは原子%)、(MはSi,Al,T
a,B,Mg,Ca,Sr,Ba,Cr,Mn,Zr,
Nb,Ti,Mo,V,W,Hf,Ga,Ge,希土類
元素の少くとも1種類)なる組成式で表され、その組成
範囲が 0.1≦b≦5 a+b=100 0.5≦c≦15 0.1≦b≦13 によるもの。
【0046】(X) (Fee MI f MII g )100-h N
h (e,f,g,hは原子%)、(MI はAl,Ga,
Ti,希土類元素のうちの少くとも1種を、MIIはN
b,Ta,V,Zr,Hfのうちの少くとも1種)なる
組成式で表され、その組成範囲が 0.1≦f≦2.5 0.1≦g≦2.5 e+f+g=100 0.5≦h≦15 によるもの。
h (e,f,g,hは原子%)、(MI はAl,Ga,
Ti,希土類元素のうちの少くとも1種を、MIIはN
b,Ta,V,Zr,Hfのうちの少くとも1種)なる
組成式で表され、その組成範囲が 0.1≦f≦2.5 0.1≦g≦2.5 e+f+g=100 0.5≦h≦15 によるもの。
【0047】(Xi) (Fei MI j MII k )100-m-n
Nm On (i,j,k,m,nは原子%)、(MI はA
l,Ga,Ti,希土類元素のうちの少くとも1種を、
MIIはNb,Ta,V,Zr,Hfのうちの少くとも1
種)なる組成式で表され、その組成範囲が 0.1≦j≦2.5 0.1≦k≦2.5 i+j+k=100 0.5≦m≦15 0.1≦n≦13 によるもの。
Nm On (i,j,k,m,nは原子%)、(MI はA
l,Ga,Ti,希土類元素のうちの少くとも1種を、
MIIはNb,Ta,V,Zr,Hfのうちの少くとも1
種)なる組成式で表され、その組成範囲が 0.1≦j≦2.5 0.1≦k≦2.5 i+j+k=100 0.5≦m≦15 0.1≦n≦13 によるもの。
【0048】(Xii) CoZrを主体と、Nを0.09
〜10原子%含むもの。
〜10原子%含むもの。
【0049】(Xiii) (Fea Mb Nic )d Ne Of
(a,b,c,d,e,fは原子%)、(MはSi,A
l,Ta,B,Mg,Ca,Sr,Ba,Cr,Mn,
Zr,Nb,Ti,Mo,V,W,Hf,Ga,Ge,
希土類元素の少くとも1種)なる組成式で表され、その
組成範囲が 0.1≦b≦5 0.5≦c≦10 a+b+c=100 0.5≦e≦15 0.1≦f≦13 d=100−e−f によるもの。を用い得るが、中でも4πMsが19kG
以上の20kGを容易に得ることができるFe−N系合
金薄膜またはその積層膜を用いることが望ましい。
(a,b,c,d,e,fは原子%)、(MはSi,A
l,Ta,B,Mg,Ca,Sr,Ba,Cr,Mn,
Zr,Nb,Ti,Mo,V,W,Hf,Ga,Ge,
希土類元素の少くとも1種)なる組成式で表され、その
組成範囲が 0.1≦b≦5 0.5≦c≦10 a+b+c=100 0.5≦e≦15 0.1≦f≦13 d=100−e−f によるもの。を用い得るが、中でも4πMsが19kG
以上の20kGを容易に得ることができるFe−N系合
金薄膜またはその積層膜を用いることが望ましい。
【0050】記録磁気ヘッドとしては、例えば非浮上型
の単磁極型垂直磁気ヘッド構成をとり得る。図3はこの
場合の一例の略線的側面図を示すもので、この場合、例
えばセラミック等の絶縁体より成るチップ基板21上に
上述の軟磁性薄膜3を主磁極22として被着形成をする
とか、対のチップ基板21間に挟み込んだ構造をとり得
る。そしてこの主磁極22の周囲に薄膜コイル、ワイヤ
等によるヘッド巻線23が巻装される。
の単磁極型垂直磁気ヘッド構成をとり得る。図3はこの
場合の一例の略線的側面図を示すもので、この場合、例
えばセラミック等の絶縁体より成るチップ基板21上に
上述の軟磁性薄膜3を主磁極22として被着形成をする
とか、対のチップ基板21間に挟み込んだ構造をとり得
る。そしてこの主磁極22の周囲に薄膜コイル、ワイヤ
等によるヘッド巻線23が巻装される。
【0051】主磁極22を有するチップ基板21は、フ
ェライト等のコアチップ24にとりつけられ、ヘッドア
ーム25に、上下に移動案内されるように配設され、コ
アチップ24を含む自重によって垂直記録媒体2即ち、
リジッド・ディスク(ハードディスク)上にその主磁極
22が所要の圧接力をもって対接するようになされてい
る。
ェライト等のコアチップ24にとりつけられ、ヘッドア
ーム25に、上下に移動案内されるように配設され、コ
アチップ24を含む自重によって垂直記録媒体2即ち、
リジッド・ディスク(ハードディスク)上にその主磁極
22が所要の圧接力をもって対接するようになされてい
る。
【0052】一方、図2で説明したように、リジッド・
ディスク磁気記録媒体2が両面型構成をとる場合には、
図3で示すようにディスクの下面側にも前述したと同様
の構成をする単磁極構成の磁気ヘッド4が、ばね機構2
6等によって、所要の押圧力をもって媒体2の裏面に押
し上げられて、これが所要圧接力をもって、ディスク2
に接触するようになされる。
ディスク磁気記録媒体2が両面型構成をとる場合には、
図3で示すようにディスクの下面側にも前述したと同様
の構成をする単磁極構成の磁気ヘッド4が、ばね機構2
6等によって、所要の押圧力をもって媒体2の裏面に押
し上げられて、これが所要圧接力をもって、ディスク2
に接触するようになされる。
【0053】図4は他の単磁気ヘッドの一例の略線的断
面図を示すもので、この場合Ni−Znフェライト等の
補助磁極27上にAl2 O3 等の絶縁層28を介して薄
膜コイルより成るヘッド巻線23が薄膜ないしは厚膜技
術によって形成され、これの上に絶縁層28を介して磁
性体が被着されて磁気ヨーク29が構成されると共にそ
の先端部に上述した軟磁性薄膜3より成る主磁極22が
被着形成された構成をとったものである。30は主磁極
22及び磁気ヨーク29を覆って形成された保護層であ
る。
面図を示すもので、この場合Ni−Znフェライト等の
補助磁極27上にAl2 O3 等の絶縁層28を介して薄
膜コイルより成るヘッド巻線23が薄膜ないしは厚膜技
術によって形成され、これの上に絶縁層28を介して磁
性体が被着されて磁気ヨーク29が構成されると共にそ
の先端部に上述した軟磁性薄膜3より成る主磁極22が
被着形成された構成をとったものである。30は主磁極
22及び磁気ヨーク29を覆って形成された保護層であ
る。
【0054】又、図5は更に他の例の単磁極ヘッドを示
すもので、この例ではフェライト等の補助磁極27に例
えば絶縁層28を介して薄膜コイルより成るヘッド巻線
が形成され、これの上に磁性層から成る磁気ヨーク29
が被着される。一方、セラミック等の被磁性基板31が
設けられ、この被磁性基板31上にヨーク29の先端部
と磁気的に結合する単磁極構成を有する上述した軟磁性
薄膜3による主磁極22を配置した構成とした場合であ
る。
すもので、この例ではフェライト等の補助磁極27に例
えば絶縁層28を介して薄膜コイルより成るヘッド巻線
が形成され、これの上に磁性層から成る磁気ヨーク29
が被着される。一方、セラミック等の被磁性基板31が
設けられ、この被磁性基板31上にヨーク29の先端部
と磁気的に結合する単磁極構成を有する上述した軟磁性
薄膜3による主磁極22を配置した構成とした場合であ
る。
【0055】又、図6は、更に他の単磁極型磁気ヘッド
の側面図を示すもので、この例に於ては、夫々前方端に
耐摩耗性を有する被磁性体33が形成されて媒体との対
接面が形成された対のフェライト等の磁気コア32A及
び32Bの例えば一方のコアに軟磁性薄膜3より成る主
磁極22、被着形成し、両コア32A及び32Bを衝き
合せて主磁極22が両コア32A及び32B間に挾持さ
れるようにした場合である。そして、この場合主磁極2
2のまわりにヘッド巻線23が巻装された構成をとるよ
うにした場合である。又、図7に示す単磁極ヘッドは、
例えばセラミックより成る非磁性基板31上に、所要の
厚さを有する軟磁性薄膜3を被着形成し、これより後方
に延長して同様の軟磁性薄膜或いは他の軟磁性薄膜によ
る肉厚の磁性薄膜が形成された主磁極22を形成する。
そして、基板31に図4で説明したと同様に例えば薄膜
コイルによるヘッド巻線23を形成し、この巻線の中心
部において、主磁極22と磁気的に結合するNiFe等
の磁気ヨーク29を被着し、これの上に保護膜30を形
成した構成とした場合である。又、図8に示す構成にお
いては、例えば非磁性基板上補助磁極27を構成する磁
性層と、非磁性層を介して先端に上述の特性の軟磁性薄
膜3が設けられた主磁極22を形成し、この主磁極22
の上下にそれぞれヘッド巻線23を構成するコイルパタ
ーン32A及び32Bを形成した構成を採った場合であ
る。
の側面図を示すもので、この例に於ては、夫々前方端に
耐摩耗性を有する被磁性体33が形成されて媒体との対
接面が形成された対のフェライト等の磁気コア32A及
び32Bの例えば一方のコアに軟磁性薄膜3より成る主
磁極22、被着形成し、両コア32A及び32Bを衝き
合せて主磁極22が両コア32A及び32B間に挾持さ
れるようにした場合である。そして、この場合主磁極2
2のまわりにヘッド巻線23が巻装された構成をとるよ
うにした場合である。又、図7に示す単磁極ヘッドは、
例えばセラミックより成る非磁性基板31上に、所要の
厚さを有する軟磁性薄膜3を被着形成し、これより後方
に延長して同様の軟磁性薄膜或いは他の軟磁性薄膜によ
る肉厚の磁性薄膜が形成された主磁極22を形成する。
そして、基板31に図4で説明したと同様に例えば薄膜
コイルによるヘッド巻線23を形成し、この巻線の中心
部において、主磁極22と磁気的に結合するNiFe等
の磁気ヨーク29を被着し、これの上に保護膜30を形
成した構成とした場合である。又、図8に示す構成にお
いては、例えば非磁性基板上補助磁極27を構成する磁
性層と、非磁性層を介して先端に上述の特性の軟磁性薄
膜3が設けられた主磁極22を形成し、この主磁極22
の上下にそれぞれヘッド巻線23を構成するコイルパタ
ーン32A及び32Bを形成した構成を採った場合であ
る。
【0056】尚、上述した磁気ヘッドの各例は、単磁極
型磁気ヘッド構成をとった場合で、この場合、垂直磁気
記録媒体2において、透磁率の高い補助磁性層7を設け
ることによって、主磁極22の単磁性薄膜3による先端
から効果的に垂直磁性膜1にその膜面と垂直方向に記録
磁界を与えることができる。
型磁気ヘッド構成をとった場合で、この場合、垂直磁気
記録媒体2において、透磁率の高い補助磁性層7を設け
ることによって、主磁極22の単磁性薄膜3による先端
から効果的に垂直磁性膜1にその膜面と垂直方向に記録
磁界を与えることができる。
【0057】尚、垂直記録媒体2が、一方の面にのみ垂
直磁性膜1を有する片面構成とする場合においては、そ
の垂直磁性膜1を有する側の面に、磁気ヘッド4を対接
ないしは対向させ、これに垂直磁気記録媒体2を挟んで
対向して、補助磁極を設けて、垂直磁気記録媒体2に対
して効率よく垂直記録磁界が与えられるようにすること
ができる。
直磁性膜1を有する片面構成とする場合においては、そ
の垂直磁性膜1を有する側の面に、磁気ヘッド4を対接
ないしは対向させ、これに垂直磁気記録媒体2を挟んで
対向して、補助磁極を設けて、垂直磁気記録媒体2に対
して効率よく垂直記録磁界が与えられるようにすること
ができる。
【0058】又、上述した各例においては、磁気ヘッド
4を単磁極構成とした場合であるが、リング型磁気ヘッ
ド構成とすることもできる。
4を単磁極構成とした場合であるが、リング型磁気ヘッ
ド構成とすることもできる。
【0059】実施例1.飽和磁束密度4πMsが20k
GのFe−Al−N/Si−Nの積層構造の単磁極磁気
ヘッドを用い、4πMsが12kG、垂直保磁力HcV
が3kOe、垂直異方性磁界Hkが15kOeのCoP
tBO磁性膜1により図2のリジッド・ディスクを用い
た。
GのFe−Al−N/Si−Nの積層構造の単磁極磁気
ヘッドを用い、4πMsが12kG、垂直保磁力HcV
が3kOe、垂直異方性磁界Hkが15kOeのCoP
tBO磁性膜1により図2のリジッド・ディスクを用い
た。
【0060】従来例1.パーマロイによる4πMs=1
4kGの単磁極ヘッドを用い、4πMsが6kG以下、
HcV が1.5kOe以下、Hkが7kOe以下のCo
Cr磁性膜によるリジッド・ディスクを用いた。
4kGの単磁極ヘッドを用い、4πMsが6kG以下、
HcV が1.5kOe以下、Hkが7kOe以下のCo
Cr磁性膜によるリジッド・ディスクを用いた。
【0061】実施例1は、従来例1に比し、出力向上と
記録密度の向上がはかられた。図9中曲線91は実施例
1による場合の記録密度と出力との関係の測定曲線で、
曲線92は、同様の垂直磁性膜1に対して、4πMs=
14kG級ヘッドを用いた場合、曲線93はCoCr垂
直磁性膜に対して14kG級の単磁極磁気ヘッドを用い
た場合の夫々の記録密度の出力の相対値を示したもの
で、これらより明らかなように、本発明装置によるとき
は、格段に記録密度特性の向上がはかられている。尚、
3.5インチ型のディスクにおいても、記録密度と、ト
ラック幅及び最短波長の関係を表1に示す。
記録密度の向上がはかられた。図9中曲線91は実施例
1による場合の記録密度と出力との関係の測定曲線で、
曲線92は、同様の垂直磁性膜1に対して、4πMs=
14kG級ヘッドを用いた場合、曲線93はCoCr垂
直磁性膜に対して14kG級の単磁極磁気ヘッドを用い
た場合の夫々の記録密度の出力の相対値を示したもの
で、これらより明らかなように、本発明装置によるとき
は、格段に記録密度特性の向上がはかられている。尚、
3.5インチ型のディスクにおいても、記録密度と、ト
ラック幅及び最短波長の関係を表1に示す。
【0062】
【表1】
【0063】上述したように、本発明による磁気記録媒
体例えばCoPtB−Oの垂直磁性膜1による媒体1を
用いることによりその垂直異方性磁界Hkが向上するこ
とによって記録密度が向上し、又、飽和磁束密度4πM
s及び垂直保磁力HcV の向上によって、出力の向上が
期待できるものであるが、特に本発明においては、その
記録磁気ヘッドとして、飽和磁束密度Bsが19kG以
上を用いるので、効果的に効率の高効率のこれによる再
生出力の向上がはかられ、上述の磁気記録媒体特性を有
効に発揮させることができるものである。
体例えばCoPtB−Oの垂直磁性膜1による媒体1を
用いることによりその垂直異方性磁界Hkが向上するこ
とによって記録密度が向上し、又、飽和磁束密度4πM
s及び垂直保磁力HcV の向上によって、出力の向上が
期待できるものであるが、特に本発明においては、その
記録磁気ヘッドとして、飽和磁束密度Bsが19kG以
上を用いるので、効果的に効率の高効率のこれによる再
生出力の向上がはかられ、上述の磁気記録媒体特性を有
効に発揮させることができるものである。
【0064】
【発明の効果】上述したように本発明によれば、高い垂
直保磁力、飽和磁束密度、異方性磁界を有する垂直磁性
膜による垂直磁気記録媒体を用いることと、高い飽和磁
束密度即ち、4πMsが19kG以上の磁気ヘッドを用
いることによって、より効果的に記録密度及び高効率記
録、したがって高再生出力向上をはかることができた。
直保磁力、飽和磁束密度、異方性磁界を有する垂直磁性
膜による垂直磁気記録媒体を用いることと、高い飽和磁
束密度即ち、4πMsが19kG以上の磁気ヘッドを用
いることによって、より効果的に記録密度及び高効率記
録、したがって高再生出力向上をはかることができた。
【図1】本発明による垂直磁気記録装置の一例の略線的
斜視図である。
斜視図である。
【図2】本発明装置に用いられる垂直磁気記録媒体の一
例の略線的断面図である。
例の略線的断面図である。
【図3】本発明装置に用いる磁気ヘッドの一例の略線的
側面図である。
側面図である。
【図4】磁気ヘッドの他の例の断面図である。
【図5】磁気ヘッドの他の例の断面図である。
【図6】磁気ヘッドの他の例の側面図である。
【図7】磁気ヘッドの他の例の断面図である。
【図8】磁気ヘッドの他の例の斜視図である。
【図9】記録密度特性曲線図である。
1 垂直磁性膜 2 垂直磁気記録媒体 3 軟磁性薄膜 4 磁気ヘッド
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平3−157801(JP,A) 特開 昭53−60204(JP,A) 特開 平2−73510(JP,A) 特開 昭62−36710(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) G11B 5/02 G11B 5/127
Claims (7)
- 【請求項1】 垂直保磁力が、1500(Oe)以上の
CoPtを主体とする垂直磁性膜を有し、該垂直磁性膜
が非磁性基体上に、補助磁性層を介して形成されて成
り、 上記垂直磁性膜および補助磁性層は、蒸着、あるいはス
パッタリングによって形成されて成るものとし、 少なくとも、磁気ギャップ部が、飽和磁束密度4πMs
が19kG以上の、Feを主体とする軟磁性薄膜よりな
る記録ヘッドにより記録を行うことを特徴とする垂直磁
気記録装置。 - 【請求項2】 上記垂直磁性膜が、蒸着、あるいはスパ
ッタリングによるCoとPtとの人工格子膜によって形
成されて成ることを特徴とする請求項1に記載の垂直磁
気記録装置。 - 【請求項3】 請求項1又は2に記載の垂直磁気記録装
置において、 記録ヘッドを再生磁気ヘッドとして用いることを特徴と
する垂直磁気記録再生装置。 - 【請求項4】 請求項1又は3に記載の垂直磁気記録装
置及び垂直磁気記録再生装置において、 非磁性基体上に垂直磁性膜が配向制御層を介して形成さ
れて成ることを特徴とする垂直磁気記録装置及び垂直磁
気記録再生装置。 - 【請求項5】 請求項1又は3に記載の垂直磁気記録装
置及び垂直磁気記録再生装置において、 垂直磁気記録媒体が、非磁性基体上に補助磁性層、配向
制御層、垂直磁性膜、保護・潤滑層が順次形成されてい
ることを特徴とする垂直磁気記録装置及び垂直磁気記録
再生装置。 - 【請求項6】 請求項1又は3に記載の垂直磁気記録装
置及び垂直磁気記録再生装置において、 垂直磁気記録媒体が、非磁性基体の両面に垂直磁性膜を
有して成ることを特徴とする垂直磁気記録装置及び垂直
磁気記録再生装置。 - 【請求項7】 請求項1又は3に記載の垂直磁気記録装
置及び垂直磁気記録再生装置において、 磁気ヘッドの軟磁性薄膜が、Fe−N系合金薄膜又はそ
の積層膜よりなることを特徴とする垂直磁気記録装置及
び垂直磁気記録再生装置。
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03274235A JP3104328B2 (ja) | 1991-10-22 | 1991-10-22 | 垂直磁気記録装置及び垂直磁気記録再生装置 |
| US07/960,887 US5991126A (en) | 1991-10-22 | 1992-10-14 | Perpendicular magnetic recording and perpendicular magnetic reproducing apparatus |
| DE69225765T DE69225765T2 (de) | 1991-10-22 | 1992-10-21 | Magnetaufzeichnungs- und Wiedergabesystem |
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