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JP3101965B2 - 誘電体磁器組成物 - Google Patents

誘電体磁器組成物

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JP3101965B2
JP3101965B2 JP07039791A JP3979195A JP3101965B2 JP 3101965 B2 JP3101965 B2 JP 3101965B2 JP 07039791 A JP07039791 A JP 07039791A JP 3979195 A JP3979195 A JP 3979195A JP 3101965 B2 JP3101965 B2 JP 3101965B2
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JP
Japan
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JP07039791A
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誠一郎 平原
信儀 藤川
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Kyocera Corp
Original Assignee
Kyocera Corp
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Publication date
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  • Control Of Motors That Do Not Use Commutators (AREA)
  • Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
  • Ceramic Capacitors (AREA)
  • Inorganic Insulating Materials (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、マイクロ波、ミリ波等
の高周波領域において、高いQ値を有する誘電体磁器組
成物に関するものであり、例えば、マイクロ波やミリ波
などの周波数領域において使用される種々の共振器用材
料やMIC用誘電体基板材料、誘電体導波路用材料や積
層型セラミックコンデンサ等に用いることができる誘電
体磁器組成物に関する。
【0002】
【従来技術】従来、誘電体磁器は、マイクロ波やミリ波
等の高周波領域において、誘電体共振器、MIC用誘電
体基板や導波路等に広く利用されている。
【0003】従来より、この種の誘電体磁器としては、
例えばBaO−TiO2 材料、ZrO−SnO2 −Ti
2 材料等が知られており、10GHzにおいて誘電率
が35〜40、Q値が数1000〜10000程度、共
振周波数の温度係数τfが±10ppm/℃以下の特性
を有している。
【0004】
【発明が解決しようとする問題点】最近では通信分野
等、より高周波数帯を利用する試みがなされており、誘
電体材料に対してはより高いQ値が要求され、また、使
用周波数が高くなるに従って共振器、基板等の寸法が小
型になるため、アプリケ−ションに際して扱い易い適当
な誘電率が要求されている。
【0005】しかしながら、上記した従来の材料では、
Q値が低く、また誘電率が高すぎるため、10GHz以
上の高周波数帯での使用に際して実用的レベルにないの
が現状である。
【0006】また、従来の誘電体磁器組成物は、磁器密
度を向上するために高温で焼成しなければならず、ま
た、高温で焼成しても十分な磁器密度を得ることが困難
であり、強度が弱く、高Q値を得にくいという問題点が
あった。
【0007】本発明者等はこのような要求に応えること
ができる材料を研究したところ、低誘電率で高Q値を有
するBaO、MgO、WO3 、TaO5/2 からなる誘電
体磁器組成物を開発し、先に特願平4−284322号
に特許出願した。
【0008】しかしながら、近年においては、さらに低
誘電率で高Q値が要求されるとともに、高強度化が要求
されていた。
【0009】
【問題点を解決するための手段】本発明者等はこのよう
な要求に応えることができる材料を研究したところ、B
aO、MgO、WO3 、TaO5/2 からなる組成物に対
して、B、P、Si、アルカリ金属元素を少なくとも1
種以上を含有させることにより、BaO、MgO、WO
3 、TaO5/2 からなる誘電体磁器組成物よりも磁器密
度(かさ比重)およびQ値を向上することができること
を見出し、本発明に至った。
【0010】即ち、本発明の誘電体磁器組成物は、金属
元素として少なくともBa,Mg,W,Taを含有し、
これらの成分のモル比による組成式をxBaO・yMg
O・zWO3 ・wTaO5/2 と表わした時、前記x、
y、z、wが、0.40≦x≦0.55、0.10≦y
≦0.40、0<z≦0.30、0<w≦0.40、
0.20≦z+w≦0.40、x+y+z+w=1.0
0を満足する主成分100重量部に対して、ほう酸化
合物をB2 3 換算で0.01重量部以上0.20重量
部以下、りん化合物をP量で0.005重量部以上1
重量部以下、SiO2 を0.01重量部以上1重量部
以下、アルカリ金属含有化合物を炭酸塩換算で0.0
1重量部以上1重量部未満、上記〜から選ばれる少
なくとも一種を添加含有するものである。
【0011】また、金属元素として少なくともBa,M
g,W,Taを含有し、これらの成分のモル比による組
成式をxBaO・yMgO・zWO3 ・wTaO5/2
表わした時、前記x、y、z、wが、0.40≦x≦
0.55、0.10≦y≦0.40、0<z≦0.3
0、0<w≦0.40、0.20≦z+w≦0.40、
x+y+z+w=1.00を満足する組成物1モル部に
対して、Sn、Mn、Caおよび周期律表第3a族、4
a族元素から選ばれる少なくとも1種を0.2モル部以
下の割合で含有した主成分100重量部に対して、ほ
う酸化合物をB2 3 換算で0.01重量部以上0.2
0重量部以下、りん化合物をP量で0.005重量部
以上1重量部以下、SiO2 を0.01重量部以上1
重量部以下、アルカリ金属含有化合物を炭酸塩換算で
0.01重量部以上1重量部未満、上記〜から選ば
れる少なくとも一種を添加含有するものである。
【0012】本発明では、金属元素として少なくともB
a,Mg,W,Taを含有し、これらの成分のモル比に
よる組成式をxBaO・yMgO・zWO3 ・wTaO
5/2と表わした時、前記x、y、z、wが、0.40≦
x≦0.55、0.10≦y≦0.40、0<z≦0.
30、0<w≦0.40、0.20≦z+w≦0.4
0、x+y+z+w=1.00を満足する主成分とする
ものであるが、BaOのモル比xを0.40≦x≦0.
55としたのは、xが0.40未満の場合にはQ値が低
下し焼結が困難となり、0.55を越える場合にはQ値
が低下するからである。xは0.45≦x≦0.55が
特に望ましい。
【0013】また、MgOのモル比yを0.10≦y≦
0.40としたのは、yが0.10未満の場合には焼結
が困難となり、あるいはQ値の低下を招き、0.40を
越える場合にはQ値が低下するからである。yは0.1
0≦y≦0.30が特に望ましい。さらに、WO3 のモ
ル比zを0<z≦0.30としたのは、zが0.30を
越える場合にはQ値が低下するからである。zを0.0
1≦z≦0.26が特に望ましい。また、TaO5/2
モル比wを0<w≦0.40としたのは、wが0.40
以上の場合にはQ値が低下するからである。wは0<w
≦0.33であることが望ましい。
【0014】さらに、0.20≦z+w≦0.40とし
たのは、z+wが0.2未満の場合や0.4を越える場
合には、Q値が低下あるいは焼結不良となるからであ
る。
【0015】また、本発明においては、0.17≦5|
x−0.5|+y+0.2z<0.94を満足すること
が望ましい。この値が0.17未満の場合や0.94以
上の場合には、Q値が低下したり、焼結不良となる傾向
にあるからである。
【0016】さらに、本発明の誘電体磁器組成物では、
上記組成物に1モル部に対して、Sn、Mn、Caおよ
び周期律表第3a族、4a族元素から選ばれる少なくと
も1種を0.2モル部以下の割合で含有するものを主成
分としても良い。主成分にSn、Mn、Caおよび周期
律表第3a族、4a族元素から選ばれる少なくとも1種
を0.2モル部以下の割合で含有させることにより、焼
結性を改善したり、誘電特性を制御、特に共振周波数の
温度係数τfをプラス側に移行させたりすることができ
る。一方、Sn、Mn、Caおよび周期律表第3a族、
4a族元素から選ばれる少なくとも1種を0.2モル部
より多く含有させると、Q値が低下するからである。
【0017】そして、本発明の誘電体磁器組成物では、
前記主成分100重量部に対して、ほう酸化合物をB
2 3 換算で0.01重量部以上0.20重量部以下、
りん化合物をP量で0.005重量部以上1重量部以
下、SiO2 を0.01重量部以上1重量部以下、
アルカリ金属含有化合物を炭酸塩換算で0.01重量部
以上1重量部未満、上記〜から選ばれる少なくとも
一種を添加含有するものである。
【0018】主成分100重量部に対して、ほう酸化合
物の含有量をB2 3 換算で0.01重量部以上0.2
0重量部以下としたのは、0.01重量部未満の場合は
焼成温度の低下や磁器密度(かさ比重)およびQ値の向
上に効果がなく、0.20重量部を越える場合はQ値が
400より低下するからである。ほう酸化合物の含有量
はB2 3 換算で0.025重量部以上0.2重量部以
下が望ましい。
【0019】また、主成分100重量部に対して、りん
化合物の含有量をP量で0.005重量部以上1.00
0重量部以下としたのは、0.005重量部未満の場合
は焼成温度の低下や磁器密度(かさ比重)およびQ値の
向上に効果がなく、1.000重量部を越える場合はQ
値が4000より低下するからである。りん化合物の含
有量はP量で0.025重量部以上0.05重量部以下
が望ましい。
【0020】さらに、主成分100重量部に対して、S
iO2 を0.01重量部以上1.00重量部以下とした
のは、0.01重量部未満の場合は焼成温度の低下や磁
器密度(かさ比重)およびQ値の向上に効果がなく、
1.00重量部を越える場合はQ値が4000より低下
するからである。SiO2 は0.01重量部以上0.1
重量部以下であることが望ましい。
【0021】また、主成分100重量部に対して、アル
カリ金属含有化合物を炭酸塩換算で0.01重量部以上
1重量部未満としたのは、0.01重量部未満の場合は
焼成温度の低下や磁器密度(かさ比重)およびQ値の向
上に効果がなく、1重量部以上の場合はQ値が4000
より低下するからである。アルカリ金属含有化合物は炭
酸塩換算で0.01重量部以上0.9重量部以下である
ことが望ましい。
【0022】ここでほう酸化合物としてはB2 3 、コ
レマナイト、CaB2 4 、ZnB2 4 等がある。ま
た、リン化合物としてはH3 PO4 、P2 5 等があ
る。またアルカリ金属としてはLi、Na、K、Rb、
Csがある。
【0023】本発明に基づき磁器を作製する方法として
は、例えば、Ba、Mg、W、Taの酸化物あるいは焼
成により酸化物を生成する水酸化物、炭酸塩、硝酸塩等
の金属塩を原料として用い、これらを前述した主成分の
範囲になるように秤量した後、充分に混合する。その
後、混合物を900〜1300℃で仮焼処理する。得ら
れた仮焼物に、例えば、B2 3 のようなほう酸化合
物、P2 5 のようなリン化合物、SiO2 、Li2
3 のようなアルカリ金属含有化合物のうち少なくとも
一種を所定量となるように秤量し添加して、混合粉砕す
る。そしてこれをプレス成形やドクタ−ブレ−ド法等の
成形方法により所定の形状に成形する。次に成形体を大
気中等の酸化性雰囲気中で1300〜1600℃で焼成
することにより誘電体磁器を得ることができる。
【0024】
【作用】本発明の誘電体磁器組成物では、Ba,Mg,
W,Taを含有する主成分に対して、あるいはこれにS
n、Mn、Caおよび周期律表第3a族、4a族元素か
ら選ばれる少なくとも1種を含有する主成分に対して、
ほう酸化合物、りん化合物、SiO2 、アルカリ金属含
有化合物を所定量含有することにより、BaO、Mg
O、WO3 、TaO5/2 からなる組成物よりも高い磁器
強度およびQ値を有し、かつ4000以上のQ値を有
し、しかも共振周波数の温度係数τfを一定領域で自由
に制御することができるとともに、高い磁器密度(かさ
比重)により高強度を実現することができる。
【0025】
【実施例】
実施例1 原料として純度99%以上のBaCO3 、MgCO3
WO3 、Ta2 5の粉末を用いて、組成が表1に示す
割合となるように秤量し、純水を媒体とし、ボ−ルミル
にて20時間湿式混合した。次にこの混合物を乾燥(脱
水)し、1200℃で2時間仮焼した。この仮焼物を粉
砕し、所定形状に成形し、1400〜1550℃で6時
間焼成し、後述する方法によりかさ比重、比誘電率、Q
値および共振周波数の温度係数τfを求めた。この結果
を表2に示す。また、前記仮焼物にB2 3 、H3 PO
4 、SiO2 、アルカリ金属含有化合物をそれぞれ表3
〜表6に示した割合となるように秤量し、イソプロピル
アルコ−ルを媒体とし、ボ−ルミルにて20時間湿式混
合した後、バインダ−としてパラフィンワックスを1〜
10重量%加えてから乾燥し、メッシュを通して整粒し
た。
【0026】
【表1】
【0027】
【表2】
【0028】
【表3】
【0029】
【表4】
【0030】
【表5】
【0031】
【表6】
【0032】次に該整粒物を約1トン/cm2 の圧力で
直径10mm、高さ5mmの円柱状に成形した。さらに
この成形体を大気中で1400〜1550℃2時間焼成
して誘電体磁器を得た。かくして得られた磁器はJIS
規格C2141−1978(電気絶縁用セラミック材料
試験方法)に基づいてにかさ比重を求めた。また、磁器
の両面を平面研磨し、誘電特性評価用の試料(直径8m
m、高さ6mmの円柱状)を作製した。誘電特性の評価
は、前記試料を用いて誘電体円柱共振器法にて周波数約
10GHzにおける比誘電率とQ値を測定した。また、
−40〜85℃の温度範囲における共振周波数を測定
し、25℃での共振周波数を基準にして共振周波数の温
度係数τfを算出した。
【0033】表1に主成分の組成、表2に主成分のかさ
比重、比誘電率、Q値および共振周波数の温度係数τf
を示し、表3〜6にB、P、Si、アルカリ金属それぞ
れ所定の化合物に換算した含有量と、かさ比重、比誘電
率、Q値、共振周波数の温度係数τfの結果を示した。
【0034】これらの表1〜6により、本発明の誘電体
磁器組成物では、B、P、Si、アルカリ金属を含有す
ることによって、BaO、MgO、WO3 、TaO5/2
からなる組成物よりもかさ比重およびQ値が向上し、比
誘電率が15以上、Q値が4000以上、共振周波数の
温度係数τfが±30ppm/℃以内の優れた特性を有
することがわかる。
【0035】実施例2 原料として純度99%以上のBaCO3 、MgCO3
WO3 、Ta2 5 およびY2 3 、La2 3 、Ce
2 、Nd2 3 、Pr6 11、Sm2 3 、Hf
2 、ZrO2 、MnCO3 、SnO2 、TiO2 、C
aCO3 を用いて、表7に示す割合に秤量し、以下実施
例1と同様な方法で磁器を作製し、同様な測定を行なっ
た。表7に組成を、表8にかさ比重、比誘電率、Q値、
共振周波数の温度係数τfの測定結果を示した。
【0036】
【表7】
【0037】
【表8】
【0038】表7および表8によれば、主成分に、S
n、Mn、Caおよび周期律表第3a族、4a族元素か
ら選ばれる少なくとも1種を所定量含む場合にも、B、
P、Si、アルカリ金属を含有することによって、Ba
O、MgO、WO3 、TaO5/ 2 からなる組成物よりも
かさ比重およびQ値が向上し、比誘電率が15以上、Q
値が4000以上、共振周波数の温度係数τfが±30
ppm/℃以内の優れた特性を有することがわかる。ま
た、主成分に、Sn、Mn、Caおよび周期律表第3a
族、4a族元素を含有すると、共振周波数の温度係数τ
fがプラス側に移行し、誘電特性を制御できることが判
る。
【0039】
【発明の効果】以上詳述した通り、本発明によれば、B
aO、MgO、WO3、Ta2 5 から成る主成分、あ
るいはこれにSn、Mn、Caおよび周期律表第3a
族、第4a族元素を含んだ主成分に対して、B、P、S
i、アルカリ金属元素を所定量含有することにより、B
aO、MgO、WO3 、TaO5/2 からなる組成物より
かさ比重が向上し、高強度とすることができるととも
に、10GHzでのQ値が高く、かつ、10GHzでQ
値が少なくとも4000以上の高い特性を有し、共振周
波数の温度係数τfを±30ppm/℃以内に制御する
ことができる。また、主成分に、Sn、Mn、Caおよ
び周期律表第3a族、4a族元素を含有することによ
り、焼結性を向上するとともに、共振周波数の温度係数
τfをプラス側に移行し、誘電特性を制御できる。
【0040】これによりマイクロ波やミリ波などの周波
数領域において使用される種々の共振器用材料やMIC
用誘電体基板材料、誘電体導波路用材料等に最適とする
ことができる。

Claims (8)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】金属元素として少なくともBa,Mg,
    W,Taを含有し、これらの成分のモル比による組成式
    を xBaO・yMgO・zWO3 ・wTaO5/2 と表わした時、前記x、y、z、wが、 0.40≦x≦0.55 0.10≦y≦0.40 0<z≦0.30 0<w≦0.40 0.20≦z+w≦0.40 x+y+z+w=1.00 を満足する主成分100重量部に対して、ほう酸化合物
    をB2 3 換算で0.01重量部以上0.20重量部以
    下添加含有することを特徴とする誘電体磁器組成物。
  2. 【請求項2】金属元素として少なくともBa,Mg,
    W,Taを含有し、これらの成分のモル比による組成式
    を xBaO・yMgO・zWO3 ・wTaO5/2 と表わした時、前記x、y、z、wが、 0.40≦x≦0.55 0.10≦y≦0.40 0<z≦0.30 0<w≦0.40 0.20≦z+w≦0.40 x+y+z+w=1.00 を満足する主成分100重量部に対して、りん化合物を
    P量で0.005重量部以上1重量部以下添加含有する
    ことを特徴とする誘電体磁器組成物。
  3. 【請求項3】金属元素として少なくともBa,Mg,
    W,Taを含有し、これらの成分のモル比による組成式
    を xBaO・yMgO・zWO3 ・wTaO5/2 と表わした時、前記x、y、z、wが、 0.40≦x≦0.55 0.10≦y≦0.40 0<z≦0.30 0<w≦0.40 0.20≦z+w≦0.40 x+y+z+w=1.00 を満足する主成分100重量部に対して、SiO2
    0.01重量部以上1重量部以下添加含有することを特
    徴とする誘電体磁器組成物。
  4. 【請求項4】金属元素として少なくともBa,Mg,
    W,Taを含有し、これらの成分のモル比による組成式
    を xBaO・yMgO・zWO3 ・wTaO5/2 と表わした時、前記x、y、z、wが、 0.40≦x≦0.55 0.10≦y≦0.40 0<z≦0.30 0<w≦0.40 0.20≦z+w≦0.40 x+y+z+w=1.00 を満足する主成分100重量部に対して、アルカリ金属
    含有化合物を炭酸塩換算で0.01重量部以上1重量部
    未満添加含有することを特徴とする誘電体磁器組成物。
  5. 【請求項5】金属元素として少なくともBa,Mg,
    W,Taを含有し、これらの成分のモル比による組成式
    を xBaO・yMgO・zWO3 ・wTaO5/2 と表わした時、前記x、y、z、wが、 0.40≦x≦0.55 0.10≦y≦0.40 0<z≦0.30 0<w≦0.40 0.20≦z+w≦0.40 x+y+z+w=1.00 を満足する組成物1モル部に対して、Sn、Mn、Ca
    および周期律表第3a族、4a族元素から選ばれる少な
    くとも1種を0.2モル部以下(0を含まず)の割合で
    含有した主成分100重量部に対して、ほう酸化合物を
    2 3 換算で0.01重量部以上0.20重量部以下
    添加含有することを特徴とする誘電体磁器組成物。
  6. 【請求項6】金属元素として少なくともBa,Mg,
    W,Taを含有し、これらの成分のモル比による組成式
    を xBaO・yMgO・zWO3 ・wTaO5/2 と表わした時、前記x、y、z、wが、 0.40≦x≦0.55 0.10≦y≦0.40 0<z≦0.30 0<w≦0.40 0.20≦z+w≦0.40 x+y+z+w=1.00 を満足する組成物1モル部に対して、Sn、Mn、Ca
    および周期律表第3a族、4a族元素から選ばれる少な
    くとも1種を0.2モル部以下(0を含まず)の割合で
    含有した主成分100重量部に対して、りん化合物をP
    量で0.005重量部以上1重量部以下添加含有するこ
    とを特徴とする誘電体磁器組成物。
  7. 【請求項7】金属元素として少なくともBa,Mg,
    W,Taを含有し、これらの成分のモル比による組成式
    を xBaO・yMgO・zWO3 ・wTaO5/2 と表わした時、前記x、y、z、wが、 0.40≦x≦0.55 0.10≦y≦0.40 0<z≦0.30 0<w≦0.40 0.20≦z+w≦0.40 x+y+z+w=1.00 を満足する組成物1モル部に対して、Sn、Mn、Ca
    および周期律表第3a族、4a族元素から選ばれる少な
    くとも1種を0.2モル部以下(0を含まず)の割合で
    含有した主成分100重量部に対して、SiO2 を0.
    01重量部以上1重量部以下添加含有することを特徴と
    する誘電体磁器組成物。
  8. 【請求項8】金属元素として少なくともBa,Mg,
    W,Taを含有し、これらの成分のモル比による組成式
    を xBaO・yMgO・zWO3 ・wTaO5/2 と表わした時、前記x、y、z、wが、 0.40≦x≦0.55 0.10≦y≦0.40 0<z≦0.30 0<w≦0.40 0.20≦z+w≦0.40 x+y+z+w=1.00 を満足する組成物1モル部に対して、Sn、Mn、Ca
    および周期律表第3a族、4a族元素から選ばれる少な
    くとも1種を0.2モル部以下(0を含まず)の割合で
    含有した主成分100重量部に対して、アルカリ金属含
    有化合物を炭酸塩換算で0.01重量部以上1重量部未
    満添加含有することを特徴とする誘電体磁器組成物。
JP07039791A 1995-02-28 1995-02-28 誘電体磁器組成物 Expired - Fee Related JP3101965B2 (ja)

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