JP3170628U

JP3170628U - 熱転写成形装置

Info

Publication number: JP3170628U
Application number: JP2011004052U
Authority: JP
Inventors: 勝市菊池
Original assignee: 安田工機株式会社
Priority date: 2011-07-13
Filing date: 2011-07-13
Publication date: 2011-09-22
Anticipated expiration: 2021-07-13

Abstract

【課題】スタンパ等のパターン形成手段を用いた熱転写成形において、被加工材を均一に押圧して安定的かつ高精度な熱転写を実施することができる熱転写成形装置を提供する。【解決手段】固定側枠体２５と、これと合着する可動側枠体３５によって形成されるチャンバ４０と、固定側枠体に配置され固定熱板２１を有する固定側部材２０と、固定熱板と対向配置された可動熱板３１を有する可動側部材３０と、固定熱板の上部に配置されチャンバを固定側チャンバ４１と可動側チャンバ４６に区画し表裏にパターン形成手段Ｓが配置された被加工材Ｍが載置されるダイヤフラム部材５０と、固定熱板とダイヤフラム部材との間に介在される金属製の網状部材５５と、固定側チャンバ内を減圧する固定側減圧手段６０と、固定側チャンバ内を加圧する加圧手段６５と、可動側チャンバ内を減圧する可動側減圧手段７０とを備える。【選択図】図２

Description

本考案は、スタンパと称されるパターン形成手段を用いて被加工材に対し型面を熱転写する熱転写成形装置に関する。

一般に、熱可塑性樹脂等からなる被加工材に対してパターン形成手段によって熱転写成形する場合、まず、固定熱板を有する固定側部材上に被加工材が載置される。次に、固定側部材に対して可動熱板を有する可動側部材が前進して被加工材を加熱加圧する。こうして熱転写成形は行われる。このような熱転写成形を行う装置として、例えば、可動側部材の前進時に真空チャンバを形成し、この真空チャンバ内を減圧した状態で被加工材を加熱加圧する構成の成形装置が提案されている（例えば、特許文献１等参照）。

前述の成形装置において熱転写が行われる熱可塑性樹脂等からなる被加工材は、材料段階の成型ロットごとに板厚にばらつきが生じる。１枚の樹脂板内においても厚さのばらつきが生じる等のため、板厚の約±５〜１０％程度の厚さの精度となる。そのため、固定側部材や可動側部材の精度を向上させたとしても、被加工材に対して均一に押圧することは決して容易ではない。

このように、上記の不均一な押圧状態による熱転写成形では、被加工材が必要以上に変形することがあり、製品の品質が低下することが問題となる。逆に、被加工材を変形させないように加圧力を抑えて調整すると、転写自体が不安定となり、品質のばらつきが問題であった。これらの問題は、被加工材が大型になるほど板厚のばらつきも大きくなるため、より大きな影響を及ぼすことが懸念されている。

特開２００３−１７０５号公報

本考案は前記の点に鑑みなされたものであり、スタンパ等のパターン形成手段を用いた熱転写成形において、被加工材を均一に押圧して安定的かつ高精度な熱転写を実施することができる熱転写成形装置を提供するものである。

すなわち、請求項１の考案は、固定側枠体と、該固定側枠体と合着する可動側枠体とによって形成されるチャンバと、前記固定側枠体に配置され、固定熱板を有する固定側部材と、前記固定側部材に対して進退し、前記固定熱板と対向配置された可動熱板を有する可動側部材と、前記固定熱板の上部に配置され、前記チャンバを固定側チャンバと可動側チャンバとに区画するとともに表裏にパターン形成手段が配置された被加工材が載置されるダイヤフラム部材と、前記固定熱板と前記ダイヤフラム部材との間に介在される金属製の網状部材と、前記固定側枠体に設けられ、前記固定側チャンバ内を減圧する固定側減圧手段と、前記固定側枠体に設けられ、前記固定側チャンバ内を加圧する加圧手段と、前記可動側枠体に設けられ、前記可動側チャンバ内を減圧する可動側減圧手段とを備えたことを特徴とする熱転写成形装置に係る。

請求項２の考案は、前記被加工材の外周を包囲する成形枠部材が前記ダイヤフラム部材に配置されている請求項１に記載の熱転写成形装置に係る。

請求項１の考案に係る熱転写成形装置によると、固定側枠体と、該固定側枠体と合着する可動側枠体とによって形成されるチャンバと、前記固定側枠体に配置され、固定熱板を有する固定側部材と、前記固定側部材に対して進退し、前記固定熱板と対向配置された可動熱板を有する可動側部材と、前記固定熱板の上部に配置され、前記チャンバを固定側チャンバと可動側チャンバとに区画するとともに表裏にパターン形成手段が配置された被加工材が載置されるダイヤフラム部材と、前記固定熱板と前記ダイヤフラム部材との間に介在される金属製の網状部材と、前記固定側枠体に設けられ、前記固定側チャンバ内を減圧する固定側減圧手段と、前記固定側枠体に設けられ、前記固定側チャンバ内を加圧する加圧手段と、前記可動側枠体に設けられ、前記可動側チャンバ内を減圧する可動側減圧手段とを備えたため、被加工材を均一に押圧して安定的かつ高精度な熱転写を実施することができる熱転写成形装置を実現することができる。そこで、製品の品質の低下を防止するとともに、被加工材に対する転写を精度よくかつ安定して実施することができる。

請求項２の考案に係る熱転写成形装置によると、請求項１の考案において、前記被加工材の外周を包囲する成形枠部材が前記ダイヤフラム部材に配置されているため、成形枠部材がダイヤフラム部材の押し上げを規制して被加工材の角部への過剰な押圧を抑制し被加工材の変形を防止できる。また、成形枠部材を配置することによって、ダイヤフラム部材の持ち上がりを規制してダイヤフラム部材の無理な引き延ばしを抑制することができる。

本考案の一実施例に係る熱転写成形装置の要部断面図である。加工前の固定側枠体と可動側枠体の開放状態の主要部断面図である。固定側枠体と可動側枠体の合着状態の主要部断面図である。被加工材の加圧時の主要部断面図である。被加工材の加熱及び冷却加圧時の主要部断面図である。図５の固定側チャンバ付近の部分拡大図である。固定側枠体と可動側枠体の合着解除時の主要部断面図である。加工後の固定側枠体と可動側枠体の開放状態の主要部断面図である。

図１は本考案の一実施例に係る熱転写成形装置１０の概観の要部断面図である。熱転写成形装置１０において、例えば、ＰＭＭＡやポリカーボネート等の熱可塑性樹脂からなる被加工材Ｍはその表層から加熱されて可塑化し、スタンパと称されるパターン形成手段Ｓの型面パターンが加圧により被加工材Ｍの表層に押し当てられて熱転写成形される。この実施例の熱可塑性樹脂からなる被加工材Ｍは、例えば液晶テレビジョン、液晶ディスプレイ等の各種表示装置に装着されるバックライト用の導光板として加工される。むろん、被加工材Ｍはその他の材料を用い、各種用途に加工することは可能である。

図１を用い請求項１の考案に規定する熱転写成形装置１０の主要構成を説明する。加工対象となる被加工材Ｍはパターン形成手段Ｓ（スタンパ）とともに固定熱板２１を有する固定側部材２０側に載置される。この固定側部材２０に対して進退し、固定熱板２１と対向配置された可動熱板３１を有する可動側部材３０が備えられる。そして、被加工材Ｍは可動側部材３０側からの押圧を受ける。固定側部材２０は固定側枠体（下枠体）２５の内部に配置され、これと対応して可動側部材３０も可動側枠体（上枠体）３５の内部に配置される。固定側枠体２５と、この固定側枠体２５と合着する可動側枠体３５によってチャンバ４０が形成される。チャンバ４０は熱転写成形装置１０に減圧状態（真空状態）を維持する区画である。後出の図３等が参照される。

固定熱板２１の上部にダイヤフラム部材５０が配置され、チャンバ４０はダイヤフラム部材５０を境に下方の固定側チャンバ４１と上方の可動側チャンバ４６に区画される。そして、被加工材Ｍの上下両面にパターン形成手段Ｓが配置され、ダイヤフラム部材５０上に載置される。実施例では厚さ約３ｍｍの耐熱ゴムのシートが用いられる。

実施例の熱転写成形装置１０では、固定熱板２１とダイヤフラム部材５０との間に金属製の網状部材５５が介在される。網状部材５５は固定熱板２１からの熱伝導性等を考慮して１インチ当たり３００ないし６００メッシュの網目のステンレス鋼の金網とした。

この実施例では、チャンバ４０（固定側チャンバ４１と可動側チャンバ４６）内の加圧並びに減圧を行う給気、脱気のための部材が備えられる。固定側チャンバ４１内を減圧する固定側減圧手段６０は固定側枠体２５に設けられる。そして固定側チャンバ４１内を加圧する加圧手段６５は固定側枠体２５に設けられる。また、可動側チャンバ４６内を減圧する可動側減圧手段７０は可動側枠体３５に設けられる。

加えて、請求項２の考案に規定するように、被加工材Ｍの外周を包囲する成形枠部材２９はダイヤフラム部材５０上に配置される。成形枠部材２９は枠形状（口の字形状）の部材として構成され、その内部に被加工材Ｍと同一形状の開口部分が設けられる。開口部分の大きさは、板状の被加工材よりもごくわずか、例えば０．５ｍｍ程度大きく形成される。この成形枠部材２９では、開口部分に被加工材Ｍとパターン形成手段Ｓが収納されるため、被加工材Ｍとパターン形成手段Ｓとの位置関係を一定に保持することができる。なお、後述する成形工程の説明からも明らかであるように、成形枠部材２９の高さは、パターン形成手段Ｓ、被加工材Ｍ、パターン形成手段Ｓの３枚積層体よりも幾分低く設定される。また、成形枠部材２９の内面側は鏡面仕上げされている。理由として、成形時に被加工材を構成する樹脂が熱膨張したとき、被加工材の端面部分が成形枠部材に接触する。そうすると、成形枠部材の内面粗さが被加工材に転写される。このため、鏡面仕上げとすることにより余計な転写を防ぐ必要があるためである。

図１において、符号１１は機台、１１Ａは機台１１の下板部材、１１Ｂは機台１１の上板部材、１２は可動部材３０を進退させるための作動機構、１３は作動機構１２に形成された作動シリンダ部、１３ａ，１３ｂは作動シリンダ部１３に接続された作動流体のための流出入部、１４は下板部材１１Ａと上板部材１１Ｂとを連結するロッド部、１５はロッド部１４に進退自在に配置されたスライド部材、３４は作動ピストン、３６はばね等の弾性部材である。

また、図１中の符号８０は作動シリンダ部１３に作動流体を供給するポンプ、８１は作動流体が貯留されたタンク、８２はポンプ８０を作動させるサーボモータ、８３は流出入部１３ａ，１３ｂに配置された圧力センサ、８４は可動部材３０の位置を検知するためにスライド部材１５に配置された位置検知手段、８５は圧力センサ８３及び位置検知手段８４に基づいてサーボモータ８２を制御するコントローラ、８６はそのサーボアンプである。各部材の構成から把握されるように、可動部材３０（可動側枠体３５）の降下と上昇の進退動作は公知のＰＬＣ等からなるコントローラ８５に従い適式に制御される。

図１とともに図２以降の主要部断面図を含め熱転写成形装置１０の主要構造を説明する。図１参照の機台１１の下板部材１１Ａ上に設置された固定側枠体２５の内部に固定側部材２０が収容される。固定側部材２０の上部に固定熱板２１が配置される。固定側部材２０と固定熱板２１の間に断熱板２２が介装され、固定側部材２０が受ける熱の影響が緩和される。固定熱板２１には複数の温調流体流路２１ａが形成され、加熱用流体または冷却用流体が温調流体流路２１ａ内を流通することにより固定熱板２１は所定温度に加熱もしくは冷却される。固定熱板２１の温度は同固定熱板内に組み込まれた温度センサ２３により測定される。

可動側部材３０は、図１参照のスライド部材１５と締結され、作動機構１２に形成された作動シリンダ部１３に嵌挿される作動ピストン３４と一体に形成される。可動側枠体３５は弾性部材３６を介してスライド部材１５に懸架されており、可動側部材３０は作動機構１２による油圧制御を受けたスライド部材１５の進退に連動して作動される。その結果、可動側部材３０は固定側部材２０に対して進退動作可能となる。可動側枠体３５と可動側部材３０の間にパッキン等からなるシール部材３７が装着され、可動側部材３０の側面は可動側枠体３５から圧接される。

可動側部材３０には、直下の固定熱板２１と対向配置された可動熱板３１が装着される。可動側部材３０と可動熱板３１の間に断熱板３２が介装され、可動側部材３０が受ける熱の影響が緩和される。可動熱板３１にも複数の温調流体流路３１ａが形成され、加熱用流体または冷却用流体が温調流体流路３１ａを流通することにより可動熱板３１は所定温度に加熱もしくは冷却される。可動熱板３１の温度は同可動熱板内に組み込まれた温度センサ３３により測定される。

特に図３等に開示するように、チャンバ４０は、可動側部材３０の前進（降下）に伴い可動側枠体３５が前進することにより、可動側枠体３５が固定側枠体２５を圧接して形成される。実施例における被加工材Ｍとパターン形成手段Ｓの配置例では、被加工材Ｍの一面側と固定側部材２０の固定熱板２１との間に配置される第１パターン形成手段Ｓ１と、被加工材Ｍの他面側と可動側部材３０の可動熱板３１との間に配置される第２パターン形成手段Ｓ２からなる。この「（固定側部材２０側）｜（Ｓ１）｜（Ｍ）｜（Ｓ２）｜（可動側部材３０側）」とする配置により、被加工材Ｍの両面に所定の型面パターンが熱転写形成される。なお、被加工材Ｍの表面を平滑に仕上げたい場合には、鏡面仕上げのパターン形成手段Ｓ（スタンパ）が用いられる。

ダイヤフラム部材５０は固定熱板２１の上部に配置され、同ダイヤフラム部材５０によりチャンバ４０は固定側チャンバ４１と可動側チャンバ４６に区画される。ダイヤフラム部材５０上に第１パターン形成手段Ｓ１とともに被加工材Ｍが載置される。さらに、固定熱板２１の直上かつダイヤフラム部材５０の直下に金属製の網状部材５５が介在される。ダイヤフラム部材５０及び金属製の網状部材５５は固定シール枠２６を介して固定側枠体２５に気密性を確保するように固定される。また、図示の例では、可動側枠体３５が固定側枠体２５（固定シール枠２６）を圧接した際のチャンバ４０内の気密性を高めるため、パッキン等からなる当接シール部材３８が備えられる。

固定側減圧手段６０は固定側枠体２５に設けられ、同固定側枠体内の通気孔６２、切換バルブ６１を介して図示しない真空ポンプに接続される。当該固定側減圧手段６０により固定側チャンバ４１内の脱気に伴う減圧とその停止が行われる。加圧手段６５は固定側枠体２５に設けられ、同固定側枠体内の通気孔６７、切換バルブ６６を介して図示しないコンプレッサーに接続される。当該加圧手段６５により固定側チャンバ４１内の給気に伴う加圧とその停止が行われる。可動側減圧手段７０は可動側枠体３５に設けられ、同可動側枠体内の通気孔７２、切換バルブ７１を介して図示しない真空ポンプに接続される。当該可動側減圧手段７０により可動側チャンバ４６内の脱気に伴う減圧とその停止が行われる。当該熱転写成形装置１０の固定側チャンバ４１と可動側チャンバ４６には、それぞれ各チャンバ４１，４６内の圧力を検出するための圧力センサ（図示せず）が設けられている。

次に、図２ないし図９を用い本考案の熱転写成形装置１０による被加工材Ｍに対する熱転写成形を説明する。

図２は熱転写成形装置１０の可動側部材３０の後退時であり、固定側枠体２５と可動側枠体３５の開放状態の主要部断面図である。前述のとおり、ダイヤフラム部材５０上の所定位置に第１パターン形成手段Ｓ１、この上に位置合わせした被加工材Ｍ、さらに第２パターン形成手段Ｓ２が載置される。被加工材Ｍやパターン形成手段Ｓの取り付けに際し、熱転写成形装置１０外で固定側部材２０に被加工材Ｍ等が載置された後、これらは公知の搬送装置（図示せず）等を用いて所定位置まで移動されて、機台１１の下板部材１１Ａ上に設置される。あるいは、機台１１上に固定された固定側部材２０へ直接被加工材Ｍ及びパターン形成手段Ｓ（Ｓ１，Ｓ２）を載置してもよい。図２の状態において、加圧手段６５の給気は停止して固定側減圧手段６０により脱気されるため、固定側チャンバ４１内の減圧は進む。

あらかじめ固定側チャンバ４１内を減圧することにより、次に示す図３の可動側チャンバ４６の減圧時にダイヤフラム部材５０が引き寄せられるような不用意な変形を防ぐことができる。

図３は固定側枠体２５と可動側枠体３５の合着状態の主要部断面図である。機台１１の下板部材１１Ａ上に固定側部材２０が設置されると、作動機構１２の作動シリンダ部１３によって可動側部材３０はスライド部材１５とともに固定側部材２０に向けて前進する。図３に示すように、固定側部材２０の固定側枠体２５と可動側部材３０の可動側枠体３５は接触後に圧接して、ダイヤフラム部材５０により固定側チャンバ４１と可動側チャンバ４６とに区画されたチャンバ４０が形成される。図３の状態において、加圧手段６５の給気は停止中で固定側減圧手段６０の脱気により固定側チャンバ４１内の減圧は進む。同時に可動側減圧手段７０の脱気により可動側チャンバ４６内の減圧も進む。

図４は被加工材Ｍの加圧時の主要部断面図である。チャンバ４０の形成後、可動側部材３０の前進（降下）は一旦停止され、固定側減圧手段６０により脱気中の固定側チャンバ４１が所定の圧力まで減圧されたことが適宜圧力センサにより確認され、固定側チャンバ４１の脱気を継続させた状態で可動側減圧手段７０により可動側チャンバ４６の脱気も継続して行われる。チャンバ４０（４１，４６）内の減圧がある程度進んだ時点でそして、可動側部材３０の前進（降下）が始まり被加工材Ｍ並びにパターン形成手段Ｓ（Ｓ１，Ｓ２）に対する設定した圧力の押圧が維持される。

図５は被加工材Ｍの加熱及び冷却加圧時の主要部断面図である。図４と比較して、可動側チャンバ４６では可動側減圧手段７０による脱気が継続する。固定側チャンバ４１では固定側減圧手段６０による脱気が停止し加圧手段６５からの給気が始まり、同固定側チャンバ４１の内圧が高められる。同図のチャンバの状態において固定熱板２１（温調流体流路２１ａ）及び可動熱板３１（温調流体流路３１ａ）への水蒸気あるいはシリコーンオイル等の熱流体の供給により、固定熱板２１及び可動熱板３１の調温が始まり、同時に可動側部材３０による設定した圧力の押圧が続けられる。あらかじめ設定された適宜の制御プログラムに基づいて被加工材Ｍに対する加圧力や加熱温度等が制御され、最適な加熱状態が維持される。

そして、一定時間の加熱及び加圧が行われた後に熱流体の供給は停止する。続いて、同じ固定熱板２１及び可動熱板３１の温調流体流路２１ａ，３１ａ内へ冷水等の流体が供給され、冷却が始まる。こうして所定温度に調温されて被加工材Ｍの両表層にパターン形成手段Ｓ１，Ｓ２によるパターンが熱転写成形される。熱転写成形終了後、固定熱板２１及び可動熱板３１の加熱、冷却による成形は終了する。

図示から自明なように、固定側部材２０にダイヤフラム部材５０や網状部材５５が設けられているため、固定熱板２１からの熱伝導効率は低下する。そこで、固定熱板２１側を可動熱板３１側よりも高温とするべく最適に温度制御される。

図６は図５の各チャンバ状態におけるダイヤフラム部材５０と金属製網状部材５５の部分拡大図である。図６を用いダイヤフラム部材５０及び金属製網状部材５５の作用、さらに成形枠部材２９の作用を説明する。図５の各チャンバ状態から把握されるように、固定側チャンバ４１では加圧手段６５から流入する給気により内圧が高められる。このため、可撓性を有するダイヤフラム部材５０は、固定側チャンバ４１内の空気を受けて上方へ押し上げられる。図中の金属製網状部材５５に付した太矢印が参照される。

ここで、網状部材５５を省略してダイヤフラム部材５０のみ配されていた場合を仮定する。この場合、図２ないし図４の固定側チャンバ４１の脱気時では、ダイヤフラム部材５０が減圧により撓むため、固定側チャンバ４１内の空気の逃げ道がダイヤフラム部材５０により塞がれ、空気がダイヤフラム部材５０と固定熱板２１との間に所々残存してしまう。そのため、残存した空気に起因してパターン形成手段Ｓ１の変形が不可避となる。つまり、パターン形成手段Ｓ１と被加工材Ｍとの圧着に不均一な部分が生じ、出来上がる被加工材製品の成形精度を下げてしまうおそれがある。そこで、固定熱板２１とダイヤフラム部材５０との間に網状部材５５を介在させることにより、網状部材５５の網目構造によりダイヤフラム部材５０と固定熱板２１との間の空気の逃げ道を確保することができる。結果として、ダイヤフラム部材５０と固定熱板２１との間の空気は残留しなくなり、ダイヤフラム部材５０の全面を固定熱板２１に均一に密着させることができる。

また、図５及び図６の固定側チャンバ４１の給気時では、網状部材５５の網目構造により、固定側チャンバ４１内の空気が網状部材５５を介してダイヤフラム部材５０の下部側全面を押し上げることができる。そのため、可動熱板３１によりパターン形成手段Ｓ（Ｓ１，Ｓ２）と被加工材Ｍとをダイヤフラム部材５０を介して固定熱板２１側に押圧した状態で、固定熱板２１から熱を受けながら被加工材Ｍを可動熱板３１側へ均等に押し付けることができる。

次に、成形枠部材２９を省略した場合を仮定する。図５及び図６の固定側チャンバ４１の給気時では、ダイヤフラム部材５０の全面が押し上げられた際、被加工材Ｍ（加えてパターン形成手段Ｓ）の角部（外周部）はダイヤフラム部材５０により押圧されてしまう。このような場合、各熱板２１，３１により加熱されると、ダイヤフラム部材５０の圧力で被加工材Ｍの角部が変形し、出来上がる被加工材製品の精度を下げてしまうおそれがある。そこで、被加工材Ｍの外周を包囲するように成形枠部材２９を配置することによって、成形枠部材２９がダイヤフラム部材５０の押し上げを規制して被加工材Ｍの角部への過剰な押圧を抑制する。そこで、被加工材Ｍの外周を包囲することにより被加工材Ｍの角部の変形が防止される。

また、成形枠部材２９を省略した場合、固定側チャンバ４１の給気時では、押し上げられたダイヤフラム部材５０が被加工材Ｍの角部に引っかかる。その状態から被加工材Ｍ、パターン形成手段Ｓと接触していない部分のダイヤフラム部材５０がさらに持ち上がり大きく伸ばされることがある。このような場合、ダイヤフラム部材５０は過剰な引き延ばしにより損傷する恐れがある。そこで、成形枠部材２９を配置することによって、成形枠部材２９はダイヤフラム部材５０の押し上げを規制し、ダイヤフラム部材５０の被加工材Ｍの角部による無理な引き延ばしが抑制される。従って、固定側チャンバ４１の給気時にダイヤフラム部材５０が損傷する恐れがない。

図７は固定側枠体と可動側枠体の合着解除時の主要部断面図である。加圧手段６５からの給気は停止中であり、固定側減圧手段６０により脱気は継続し固定側チャンバ４１は減圧状態となる。そして、可動側減圧手段７０では、脱気停止後に切換バルブ７１を減圧から大気圧開放に切り換え可動側チャンバ４６内に大気が導入される。可動側チャンバ４６の内圧上昇により可動側部材３０の後退（上昇）は比較的容易に始まる。こうして、被加工材Ｍに対する熱転写成形は完了する。

図８は熱転写成形装置１０の可動側部材３０の後退時であり、固定側枠体２５と可動側枠体３５の開放状態の主要部断面図である。同図の時点において、熱転写成形し終えた被加工材Ｍやパターン形成手段Ｓ２等が装置内から取り外される。なお、加圧手段６５の給気は停止して固定側減圧手段６０により脱気されるため、固定側チャンバ４１内の減圧は進む。そこで、ダイヤフラム部材５０が不用意に持ち上がる等の変形が回避される。そして、前出の図２等にて説明したように、再び新たに未加工の被加工材やパターン成形手段が所定位置に載置され、これまでに図３ないし図７にて説明した熱転写成形が繰り返される。

１０熱転写成形装置
２０固定側部材
２１固定熱板
２５固定側枠体
２９成形枠部材
３０可動側部材
３１可動熱板
３５可動側枠体
４０チャンバ
４１固定側チャンバ
４６可動側チャンバ
５０ダイヤフラム部材
５５金属製の網状部材
６０固定側減圧手段
６５加圧手段
７０可動側減圧手段
Ｍ被加工材
Ｓ（Ｓ１，Ｓ２）パターン形成手段

Claims

固定側枠体と、該固定側枠体と合着する可動側枠体とによって形成されるチャンバと、
前記固定側枠体に配置され、固定熱板を有する固定側部材と、
前記固定側部材に対して進退し、前記固定熱板と対向配置された可動熱板を有する可動側部材と、
前記固定熱板の上部に配置され、前記チャンバを固定側チャンバと可動側チャンバとに区画するとともに表裏にパターン形成手段が配置された被加工材が載置されるダイヤフラム部材と、
前記固定熱板と前記ダイヤフラム部材との間に介在される金属製の網状部材と、
前記固定側枠体に設けられ、前記固定側チャンバ内を減圧する固定側減圧手段と、
前記固定側枠体に設けられ、前記固定側チャンバ内を加圧する加圧手段と、
前記可動側枠体に設けられ、前記可動側チャンバ内を減圧する可動側減圧手段
とを備えたことを特徴とする熱転写成形装置。
前記被加工材の外周を包囲する成形枠部材が前記ダイヤフラム部材に配置されている請求項１に記載の熱転写成形装置。