JP3019585B2 - スケール装置 - Google Patents
スケール装置Info
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- JP3019585B2 JP3019585B2 JP04045738A JP4573892A JP3019585B2 JP 3019585 B2 JP3019585 B2 JP 3019585B2 JP 04045738 A JP04045738 A JP 04045738A JP 4573892 A JP4573892 A JP 4573892A JP 3019585 B2 JP3019585 B2 JP 3019585B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- coupling member
- slider
- carrier
- scale
- side coupling
- Prior art date
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- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば工作機械に取り
付けられる磁気スケール等に設けられた目盛りが読み取
られる際に好適なスケール装置に関する。
付けられる磁気スケール等に設けられた目盛りが読み取
られる際に好適なスケール装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】工作機械等の基準面側には、長尺のメイ
ンスケールが取り付けられ、メインスケールは、その長
さ方向に沿って例えば磁気のＮ極、Ｓ極が交互に着磁さ
れて目盛りが形成されている。
ンスケールが取り付けられ、メインスケールは、その長
さ方向に沿って例えば磁気のＮ極、Ｓ極が交互に着磁さ
れて目盛りが形成されている。
【０００３】一方、工具台（移動テーブル）側には、メ
インスケールと対向する位置にスライダが設けられてお
り、スライダの検出ヘッド（例えば、磁気ヘッド）によ
り目盛りが読み取られる。
インスケールと対向する位置にスライダが設けられてお
り、スライダの検出ヘッド（例えば、磁気ヘッド）によ
り目盛りが読み取られる。
【０００４】この場合、メインスケールとスライダとが
相対的に移動され、その移動に伴って、目盛り検出信号
（例えば、電気信号）が検出ヘッドにより得られ、スケ
ール装置（リニアエンコーダ）として使用される。
相対的に移動され、その移動に伴って、目盛り検出信号
（例えば、電気信号）が検出ヘッドにより得られ、スケ
ール装置（リニアエンコーダ）として使用される。
【０００５】また、スライダが支持されるスライダ固定
部には、キャリアが設けられ、このキャリアによりスラ
イダが移動される。
部には、キャリアが設けられ、このキャリアによりスラ
イダが移動される。
【０００６】そして、スライダとキャリアとの間には、
キャリアとメインスケールとの間における機械的（構造
上発生する）位置ずれに起因するスライダの走行変動抑
制のために自在部材（バネ等で構成される）が介在され
ている。
キャリアとメインスケールとの間における機械的（構造
上発生する）位置ずれに起因するスライダの走行変動抑
制のために自在部材（バネ等で構成される）が介在され
ている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、メイン
スケールの固定部材（ハウジング）とキャリアとの取付
誤差、スケール装置等の構成部品が有する部品公差、あ
るいはそれら構成部品の組立誤差等により、自在部材に
傾きが生じる場合が有るとともに、スライダがメインス
ケールに対して斜め方向に移動される場合が有る。その
ため、目盛りの検出精度に大きな誤差が生ずるおそれが
有った。
スケールの固定部材（ハウジング）とキャリアとの取付
誤差、スケール装置等の構成部品が有する部品公差、あ
るいはそれら構成部品の組立誤差等により、自在部材に
傾きが生じる場合が有るとともに、スライダがメインス
ケールに対して斜め方向に移動される場合が有る。その
ため、目盛りの検出精度に大きな誤差が生ずるおそれが
有った。
【０００８】本発明の目的は、取付誤差、部品公差、あ
るいは組立誤差等に起因する検出精度誤差を修正可能と
されたスケール装置を提供することにある。
るいは組立誤差等に起因する検出精度誤差を修正可能と
されたスケール装置を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明に係るスケール装
置は、例えば図１、図２に示す如く、キャリア９と対向
可能な位置とされてスライダ３に突出形成されたスライ
ダ側カップリング部材１３Ａと、このスライダ３の移動
方向に沿う姿勢とされてこのキャリア９に突出形成さ
れ、この突出端部に球状凸部１３ａが設けられたキャリ
ア側カップリング部材１３Ｂと、このキャリア側カップ
リング部材１３Ｂの突出方向に沿う一方端部にこのスラ
イダ側カップリング部材１３Ａの突出端面上を摺動可能
とされた第１連結部が設けられると共に、他方端部にこ
の球状凸部１３ａの外周側面と線接触可能とされた凹状
の第２連結部１３ｂが各々設けられ、このスライダ側カ
ップリング部材１３Ａとキャリア側カップリング部材１
３Ｂとの間に介在される中間カップリング部材１３Ｃ
と、を有するものである。また本発明スケール装置は例
えば図１、図６、図７に示す如く上述において、中間カ
ップリング部材１３Ｃの凹状側の、キャリア側カップリ
ング部材１３Ｂの端部球状凸部１３ａの外周側面と接触
する内接円１３ｓの略内側に、少なくとも１か所の貫通
部１３ｈを有するものである。
置は、例えば図１、図２に示す如く、キャリア９と対向
可能な位置とされてスライダ３に突出形成されたスライ
ダ側カップリング部材１３Ａと、このスライダ３の移動
方向に沿う姿勢とされてこのキャリア９に突出形成さ
れ、この突出端部に球状凸部１３ａが設けられたキャリ
ア側カップリング部材１３Ｂと、このキャリア側カップ
リング部材１３Ｂの突出方向に沿う一方端部にこのスラ
イダ側カップリング部材１３Ａの突出端面上を摺動可能
とされた第１連結部が設けられると共に、他方端部にこ
の球状凸部１３ａの外周側面と線接触可能とされた凹状
の第２連結部１３ｂが各々設けられ、このスライダ側カ
ップリング部材１３Ａとキャリア側カップリング部材１
３Ｂとの間に介在される中間カップリング部材１３Ｃ
と、を有するものである。また本発明スケール装置は例
えば図１、図６、図７に示す如く上述において、中間カ
ップリング部材１３Ｃの凹状側の、キャリア側カップリ
ング部材１３Ｂの端部球状凸部１３ａの外周側面と接触
する内接円１３ｓの略内側に、少なくとも１か所の貫通
部１３ｈを有するものである。
【００１０】
【作用】本発明に係るスケール装置では、スライダ側カ
ップリング部材１３Ａとキャリア側カップリング部材１
３Ｂとが中間カップリング部材１３Ｃを介して連結さ
れ、中間カップリング部材１３Ｃの一方端部はスライダ
側カップリング部材１３Ａの突出端面に対して摺動可能
とされると共に、他方端部はキャリア側カップリング部
材１３Ｂの球状凸部１３ａに接触可能とされているの
で、スライダ３がメインスケール１７の長手方向に対し
て斜め方向に移動された場合、あるいは装置の使用中に
スライダ固定部とメインスケール１７との離間距離が変
化した場合（平行偏差）には、中間カップリング部材１
３Ｃが移動し、且つこの中間カップリング部材１３Ｃは
常時キャリア側カップリング部材１３Ｂと確実に接触さ
れている。
ップリング部材１３Ａとキャリア側カップリング部材１
３Ｂとが中間カップリング部材１３Ｃを介して連結さ
れ、中間カップリング部材１３Ｃの一方端部はスライダ
側カップリング部材１３Ａの突出端面に対して摺動可能
とされると共に、他方端部はキャリア側カップリング部
材１３Ｂの球状凸部１３ａに接触可能とされているの
で、スライダ３がメインスケール１７の長手方向に対し
て斜め方向に移動された場合、あるいは装置の使用中に
スライダ固定部とメインスケール１７との離間距離が変
化した場合（平行偏差）には、中間カップリング部材１
３Ｃが移動し、且つこの中間カップリング部材１３Ｃは
常時キャリア側カップリング部材１３Ｂと確実に接触さ
れている。
【００１１】
【実施例】以下、本発明に係るスケール装置の好適な実
施例を図面に基づいて説明する。
施例を図面に基づいて説明する。
【００１２】図１は本例によるスケール装置を示し、こ
のスケール装置は、検出ヘッド５が設けられたスライダ
３と、スライダ３が支持されるスライダ固定部７とを有
している。
のスケール装置は、検出ヘッド５が設けられたスライダ
３と、スライダ３が支持されるスライダ固定部７とを有
している。
【００１３】検出ヘッド５ではスライダ３が長尺のメイ
ンスケール１７上を移動されたときに、メインスケール
１７に形成された目盛りが検出される構成とされてい
る。
ンスケール１７上を移動されたときに、メインスケール
１７に形成された目盛りが検出される構成とされてい
る。
【００１４】なお、メインスケール１７に形成される目
盛りとしては、メインスケール１７の長手方向に沿って
磁気のＮ極、Ｓ極が交互に着磁された方式のもの、光学
式、容量式のもの等が挙げられ、検出ヘッド５は各々の
方式に対応して、例えば磁気ヘッドで構成される。
盛りとしては、メインスケール１７の長手方向に沿って
磁気のＮ極、Ｓ極が交互に着磁された方式のもの、光学
式、容量式のもの等が挙げられ、検出ヘッド５は各々の
方式に対応して、例えば磁気ヘッドで構成される。
【００１５】また、スライダ３、メインスケール１７等
は、図２から理解されるように、管状のアルミ製ハウジ
ング１０内に収納され、ハウジング１０には、スライダ
固定部７を移動させるための開口溝１２が形成されてい
る。
は、図２から理解されるように、管状のアルミ製ハウジ
ング１０内に収納され、ハウジング１０には、スライダ
固定部７を移動させるための開口溝１２が形成されてい
る。
【００１６】そして、開口溝１２にはハウジング１０内
に切削油等の侵入防止用部材１２Ａ（ゴム等で形成され
ている）が設けられている。
に切削油等の侵入防止用部材１２Ａ（ゴム等で形成され
ている）が設けられている。
【００１７】なお、スライダ３は、ベアリング１５、１
５Ａ、２３を介してメインスケール１７と接触され、ベ
アリング１５、１５Ａをメインスケール１７に圧接させ
る押圧バネ１９、ベアリング２３をメインスケール１７
に圧接させるための押圧バネ２１がスライダ固定部７に
各々設けられている。
５Ａ、２３を介してメインスケール１７と接触され、ベ
アリング１５、１５Ａをメインスケール１７に圧接させ
る押圧バネ１９、ベアリング２３をメインスケール１７
に圧接させるための押圧バネ２１がスライダ固定部７に
各々設けられている。
【００１８】そして、スライダ３は、スライダ固定部７
に形成された支持部１１とキャリア９を介してスライダ
固定部７に支持されており、支持部１１とキャリア９と
は、各々押圧バネ２０、カップリング１３によりスライ
ダ３と連結されている。
に形成された支持部１１とキャリア９を介してスライダ
固定部７に支持されており、支持部１１とキャリア９と
は、各々押圧バネ２０、カップリング１３によりスライ
ダ３と連結されている。
【００１９】また、カップリング１３はスライダ３に形
成されたスライダ側カップリング部材１３Ａ、キャリア
９に形成されたキャリア側カップリング部材１３Ｂ、お
よびカップリング部材１３Ａと１３Ｂとの間に介在され
る中間カップリング部材１３Ｃとを有している。
成されたスライダ側カップリング部材１３Ａ、キャリア
９に形成されたキャリア側カップリング部材１３Ｂ、お
よびカップリング部材１３Ａと１３Ｂとの間に介在され
る中間カップリング部材１３Ｃとを有している。
【００２０】そして、押圧バネ２０がスライダ３をキャ
リア９方向に押圧する押圧力により、カップリング１３
が一体的に連結される構成とされている。
リア９方向に押圧する押圧力により、カップリング１３
が一体的に連結される構成とされている。
【００２１】ここで、カップリング部材１３Ａはキャリ
ア９と対向可能な位置とされてスライダ３に形成される
一方、カップリング部材１３Ｂはスライダ３が移動され
る方向（メインスケール１７の長手方向）に沿う姿勢と
されてキャリア９から棒状に突出形成されている。
ア９と対向可能な位置とされてスライダ３に形成される
一方、カップリング部材１３Ｂはスライダ３が移動され
る方向（メインスケール１７の長手方向）に沿う姿勢と
されてキャリア９から棒状に突出形成されている。
【００２２】また、カップリング部材１３Ｂの突出端部
には球状の凸部１３ａが設けられている。
には球状の凸部１３ａが設けられている。
【００２３】この場合、凸部１３ａはカップリング部材
１３Ｂと一体に形成される場合、カップリング部材１３
Ｂにベアリング等の球状体が取り付けられる場合等が挙
げられる。
１３Ｂと一体に形成される場合、カップリング部材１３
Ｂにベアリング等の球状体が取り付けられる場合等が挙
げられる。
【００２４】そして、カップリング部材１３Ｃがカップ
リング部材１３Ａと対向する端部は、カップリング部材
１３Ｃがカップリング部材１３Ａの突出端面に対して摺
動可能（すなわち、スライダ３が移動される方向に垂直
な平面上で移動可能）とされ、カップリング部材１３Ｃ
の一方端部は、その突出端面に連結されている（第１連
結部）。
リング部材１３Ａと対向する端部は、カップリング部材
１３Ｃがカップリング部材１３Ａの突出端面に対して摺
動可能（すなわち、スライダ３が移動される方向に垂直
な平面上で移動可能）とされ、カップリング部材１３Ｃ
の一方端部は、その突出端面に連結されている（第１連
結部）。
【００２５】この場合、カップリング部材１３Ｃがカッ
プリング部材１３Ａの突出端面に対して摺動可能とする
構成としては、両部材の間にベアリングが介裝される方
式などが挙げられる。
プリング部材１３Ａの突出端面に対して摺動可能とする
構成としては、両部材の間にベアリングが介裝される方
式などが挙げられる。
【００２６】次に、カップリング部材１３Ｃの他方端部
には円錐状凹面の第２連結部（以下、凹部と称する）１
３ｂが形成されており、カップリング部材１３Ｂの凸部
１３ａが凹部１３ｂ内に圧接されることにより、両カッ
プリング部材１３Ｂ、１３Ｃとが各々連結される。
には円錐状凹面の第２連結部（以下、凹部と称する）１
３ｂが形成されており、カップリング部材１３Ｂの凸部
１３ａが凹部１３ｂ内に圧接されることにより、両カッ
プリング部材１３Ｂ、１３Ｃとが各々連結される。
【００２７】この場合、中間カップリング部材１３Ｃの
凹部１３ｂとキャリア側カップリング部材１３Ｂ端部の
球状凸部１３ａとは押圧バネ２０により常に接触し、接
触部はそれぞれ内接・外接しその接触部は略円形１３ｓ
の線接触となる。中間カップリング部材１３Ｃの凹部１
３ｂの内接円１３ｓの内側に相当する部分に、図６、図
７Ａに示す如く円筒状の貫通孔１３ｈを設ける。この貫
通孔１３ｈとして図７Ｂに示す如く複数個例えば３個設
けても良いし、図７Ｃに示す如く角柱状例えば四角柱状
であっても良い。またこのカップリング部材１３Ｃが図
７Ｄに示す如く四角柱状であっても良い。
凹部１３ｂとキャリア側カップリング部材１３Ｂ端部の
球状凸部１３ａとは押圧バネ２０により常に接触し、接
触部はそれぞれ内接・外接しその接触部は略円形１３ｓ
の線接触となる。中間カップリング部材１３Ｃの凹部１
３ｂの内接円１３ｓの内側に相当する部分に、図６、図
７Ａに示す如く円筒状の貫通孔１３ｈを設ける。この貫
通孔１３ｈとして図７Ｂに示す如く複数個例えば３個設
けても良いし、図７Ｃに示す如く角柱状例えば四角柱状
であっても良い。またこのカップリング部材１３Ｃが図
７Ｄに示す如く四角柱状であっても良い。
【００２８】この貫通孔１３ｈの空洞及び中間カップリ
ング部材１３Ｃの凹部１３ｂとキャリアカップリング部
材１３Ｂの球状凸部１３ａとの接触部略内側部分にグリ
ース等の粘性の高い潤滑材２４を蓄える如くする。この
ようにすることによりスライダカップリング部材１３Ａ
と中間カップリング部材１３Ｃとキャリア側カップリン
グ部材１３Ｂとが押圧バネ２０により接し組合わさると
きに、グリースは各カップリング部材の接触面内に略密
封される。よって、各カップリングの接触面に常に潤滑
材２４が接触することにより、各カップリング間の接触
抵抗を減らすことができ、常にカップリングは理想的に
動作する。
ング部材１３Ｃの凹部１３ｂとキャリアカップリング部
材１３Ｂの球状凸部１３ａとの接触部略内側部分にグリ
ース等の粘性の高い潤滑材２４を蓄える如くする。この
ようにすることによりスライダカップリング部材１３Ａ
と中間カップリング部材１３Ｃとキャリア側カップリン
グ部材１３Ｂとが押圧バネ２０により接し組合わさると
きに、グリースは各カップリング部材の接触面内に略密
封される。よって、各カップリングの接触面に常に潤滑
材２４が接触することにより、各カップリング間の接触
抵抗を減らすことができ、常にカップリングは理想的に
動作する。
【００２９】またこの場合、凸部１３ａの外周側面と、
凹部１３ｂの内周側面とは内接円１３ｓの線接触される
構成とされているので、凸部１３ａと凹部１３ｂとの単
位面積当たりの圧力が小さくなる。
凹部１３ｂの内周側面とは内接円１３ｓの線接触される
構成とされているので、凸部１３ａと凹部１３ｂとの単
位面積当たりの圧力が小さくなる。
【００３０】従って、凸部１３ａと凹部１３ｂとの摩耗
が極めて小さく、耐久性が向上される結果、精度の高い
連結状態が安定して維持される。
が極めて小さく、耐久性が向上される結果、精度の高い
連結状態が安定して維持される。
【００３１】なお、凹部１３ｂとしては、カップリング
部材１３Ｃに円錐状凹面を形成する他に、カップリング
部材１３Ｃにリング状部材を設ける方法等が挙げられ
る。
部材１３Ｃに円錐状凹面を形成する他に、カップリング
部材１３Ｃにリング状部材を設ける方法等が挙げられ
る。
【００３２】また、カップリング部材１３Ｃがカップリ
ング部材１３Ａ、１３Ｂと対向する位置に、各々スラス
トベアリング、ピボット軸受が設けられる構成も好適で
ある。
ング部材１３Ａ、１３Ｂと対向する位置に、各々スラス
トベアリング、ピボット軸受が設けられる構成も好適で
ある。
【００３３】以上のように構成されたスケール装置で
は、図３から理解されるように、装置のスライダ固定部
７（キャリア９）がメインスケール１７に対して角度α
だけ傾斜した場合、押圧バネ２０の可撓性により、支持
部１１はその位置がずれるが、凹部１３ｂと凸部１３ａ
とが確実に連結されているので、スライダ３はメインス
ケール１７に対して適正な姿勢で保持される。
は、図３から理解されるように、装置のスライダ固定部
７（キャリア９）がメインスケール１７に対して角度α
だけ傾斜した場合、押圧バネ２０の可撓性により、支持
部１１はその位置がずれるが、凹部１３ｂと凸部１３ａ
とが確実に連結されているので、スライダ３はメインス
ケール１７に対して適正な姿勢で保持される。
【００３４】また、図４から理解されるように、スライ
ダ固定部７がメインスケール１７から図中Ｐ方向へ移動
（平行偏差；通常の離間位置よりもメインスケール１７
から離間した位置となった）場合、カップリング部材１
３Ｃがスライダ固定部７の移動距離に対応する距離Ｘだ
け移動される。加えて、凸部１３ａと凹部１３ｂとの連
結も確実に維持されるため、スライダ３はメインスケー
ル１７に対して適正な姿勢で保持される。
ダ固定部７がメインスケール１７から図中Ｐ方向へ移動
（平行偏差；通常の離間位置よりもメインスケール１７
から離間した位置となった）場合、カップリング部材１
３Ｃがスライダ固定部７の移動距離に対応する距離Ｘだ
け移動される。加えて、凸部１３ａと凹部１３ｂとの連
結も確実に維持されるため、スライダ３はメインスケー
ル１７に対して適正な姿勢で保持される。
【００３５】さらに、図５から理解されるように、メイ
ンスケール１７が所定の姿勢位置（図中、２点鎖線で示
されている）から角度βだけ傾いている場合には、押圧
バネ２０、カップリング部材１３Ｂが移動してその傾き
が修正される結果、スライダ３は適正な姿勢で保持され
ている。なお、検出誤差をΔε、メインスケール１７の
変位量をＹとした場合、誤差Δε＝Ｙｔａｎβとなる。
ンスケール１７が所定の姿勢位置（図中、２点鎖線で示
されている）から角度βだけ傾いている場合には、押圧
バネ２０、カップリング部材１３Ｂが移動してその傾き
が修正される結果、スライダ３は適正な姿勢で保持され
ている。なお、検出誤差をΔε、メインスケール１７の
変位量をＹとした場合、誤差Δε＝Ｙｔａｎβとなる。
【００３６】以上説明したようにこの実施例では、スラ
イダ３が押圧バネ２０、カップリング部材１３Ａ、１３
Ｂ、１３Ｃを介してスライダ固定部７に取り付けられて
いる。従って、スケール装置の取付誤差、部品公差、あ
るいは組立誤差等に起因して、スライダ３がメインスケ
ール１７に対して斜め方向に移動された場合、あるいは
平行偏差が生じた場合にも、スライダ３が常時メインス
ケール１７に対して適正な姿勢で保持される。
イダ３が押圧バネ２０、カップリング部材１３Ａ、１３
Ｂ、１３Ｃを介してスライダ固定部７に取り付けられて
いる。従って、スケール装置の取付誤差、部品公差、あ
るいは組立誤差等に起因して、スライダ３がメインスケ
ール１７に対して斜め方向に移動された場合、あるいは
平行偏差が生じた場合にも、スライダ３が常時メインス
ケール１７に対して適正な姿勢で保持される。
【００３７】すなわち、取付誤差、部品公差あるいは組
立誤差等に起因する検出精度誤差が修正されるととも
に、キャリア９とスライダ３との間で伝達される力が高
精度に維持される結果、極めて精度の高い測定が可能と
なる。尚、本発明は上述実施例に限ることなく本発明の
要旨を逸脱することなく、その他種々の構成が採り得る
ことは勿論である。
立誤差等に起因する検出精度誤差が修正されるととも
に、キャリア９とスライダ３との間で伝達される力が高
精度に維持される結果、極めて精度の高い測定が可能と
なる。尚、本発明は上述実施例に限ることなく本発明の
要旨を逸脱することなく、その他種々の構成が採り得る
ことは勿論である。
【００３８】
【発明の効果】以上の説明で理解されるように、この発
明に係るスケール装置では、スライダ側カップリング部
材とキャリア側カップリング部材とが中間カップリング
部材を介して連結され、中間カップリング部材の一方端
部はスライダ側カップリング部材の突出端面に対して摺
動可能とされるとともに、他方端部はキャリア側カップ
リング部材の球状凸部に接触可能とされている。
明に係るスケール装置では、スライダ側カップリング部
材とキャリア側カップリング部材とが中間カップリング
部材を介して連結され、中間カップリング部材の一方端
部はスライダ側カップリング部材の突出端面に対して摺
動可能とされるとともに、他方端部はキャリア側カップ
リング部材の球状凸部に接触可能とされている。
【００３９】従って、取付誤差、部品公差、あるいは組
立誤差等に起因して、スライダがメインスケールの長手
方向に対して斜め方向に移動された場合、あるいは装置
の使用中にスライダ固定部とメインスケールとの離間距
離が変化した場合（平行偏差）には、中間カップリング
部材が移動し、かつ中間カップリング部材は常時キャリ
ア側カップリング部材と確実に接触されている。
立誤差等に起因して、スライダがメインスケールの長手
方向に対して斜め方向に移動された場合、あるいは装置
の使用中にスライダ固定部とメインスケールとの離間距
離が変化した場合（平行偏差）には、中間カップリング
部材が移動し、かつ中間カップリング部材は常時キャリ
ア側カップリング部材と確実に接触されている。
【００４０】その結果、取付誤差、部品公差、あるいは
組立誤差等に起因する検出精度誤差が修正されるととも
に、キャリアとスライダとの間で伝達される力が高い精
度となるので、極めて精度の高い測定が可能となる。
組立誤差等に起因する検出精度誤差が修正されるととも
に、キャリアとスライダとの間で伝達される力が高い精
度となるので、極めて精度の高い測定が可能となる。
【図１】本発明に係るスケール装置の好適な実施例の構
成図である。
成図である。
【図２】図１におけるII矢視を示す構成説明図である。
【図３】スライダ固定部が傾いた状態の説明図である。
【図４】平行偏差が生じた状態の説明図である。
【図５】メインスケールが傾いた状態の説明図である。
【図６】本発明の要部の例の拡大断面図である。
【図７】図６のＡ−Ａ線断面図である。
１ スケール装置 ３ スライダ ７ スライダ固定部 ９ キャリア １３Ａ スライダ側カップリング部材 １３Ｂ キャリア側カップリング部材 １３Ｃ 中間カップリング部材 １３ａ 凸部 １３ｂ 凹部 １３ｈ 貫通孔 １３ｓ 内接円 ２０ 押圧バネ ２４ 潤滑材
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G01B 21/00 - 21/32 G01B 7/00 - 7/34
Claims (2)
- 【請求項１】 キャリアと対向可能な位置とされてスラ
イダに突出形成されたスライダ側カップリング部材と、 前記スライダの移動方向に沿う姿勢とされて前記キャリ
アに突出形成され、該突出端部に球状凸部が設けられた
キャリア側カップリング部材と、 前記キャリア側カップリング部材の突出方向に沿う一方
端部に前記スライダ側カップリング部材の突出端面上を
摺動可能とされた第１連結部が設けられると共に、他方
端部に前記球状凸部の外周側面と接触可能とされた凹状
の第２連結部が各々設けられ、前記スライダ側カップリ
ング部材とキャリア側カップリング部材との間に介在さ
れる中間カップリング部材と、 を有することを特徴とするスケール装置。 - 【請求項２】 中間カップリング部材の凹状側の、キャ
リア側カップリング部材の端部球状凸部の外周側面と接
触する内接円の略内側に、少なくとも１か所の貫通部を
有することを特徴とする請求項１に記載のスケール装
置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7800191 | 1991-04-10 | ||
| JP3-78001 | 1991-04-10 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0587552A JPH0587552A (ja) | 1993-04-06 |
| JP3019585B2 true JP3019585B2 (ja) | 2000-03-13 |
Family
ID=13649567
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP04045738A Expired - Fee Related JP3019585B2 (ja) | 1991-04-10 | 1992-03-03 | スケール装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3019585B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7743527B2 (en) | 2007-10-31 | 2010-06-29 | Mori Seiki Co., Ltd. | Position detector |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5972658B2 (ja) * | 2012-05-11 | 2016-08-17 | Dmg森精機株式会社 | スケール装置 |
| DE102014005283B4 (de) | 2013-04-10 | 2025-05-28 | Dmg Mori Seiki Co., Ltd. | Längenmessvorrichtung |
-
1992
- 1992-03-03 JP JP04045738A patent/JP3019585B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7743527B2 (en) | 2007-10-31 | 2010-06-29 | Mori Seiki Co., Ltd. | Position detector |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0587552A (ja) | 1993-04-06 |
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