JP3001612B2 - スキャナ用ガルバノメータの作動制御装置 - Google Patents
スキャナ用ガルバノメータの作動制御装置Info
- Publication number
- JP3001612B2 JP3001612B2 JP2164956A JP16495690A JP3001612B2 JP 3001612 B2 JP3001612 B2 JP 3001612B2 JP 2164956 A JP2164956 A JP 2164956A JP 16495690 A JP16495690 A JP 16495690A JP 3001612 B2 JP3001612 B2 JP 3001612B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- galvanometer
- command current
- scanner
- control device
- operation control
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K9/00—Arc welding or cutting
- B23K9/12—Automatic feeding or moving of electrodes or work for spot or seam welding or cutting
- B23K9/127—Means for tracking lines during arc welding or cutting
- B23K9/1272—Geometry oriented, e.g. beam optical trading
- B23K9/1274—Using non-contact, optical means, e.g. laser means
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Geometry (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Manipulator (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は溶接ロボットの溶接線を探索するアークセン
サ用のスキャナとして使用されるガルバノメータの作動
制御装置に関し、特にガルバノメータの動作角の有効利
用範囲を広げたスキャナ用ガルバノメータの作動制御装
置に関する。
サ用のスキャナとして使用されるガルバノメータの作動
制御装置に関し、特にガルバノメータの動作角の有効利
用範囲を広げたスキャナ用ガルバノメータの作動制御装
置に関する。
従来、アークセンサ用のスキャナとして使用されるガ
ルバノメータは、レーザビームを正確に走査させるため
に、振り角の検出機能を持つタイプを用いていた。
ルバノメータは、レーザビームを正確に走査させるため
に、振り角の検出機能を持つタイプを用いていた。
しかし、このタイプのガルバノメータは、振り角の検
出機構の分だけ寸法が大きく、専用の駆動回路を必要と
し、構造が複雑で、高価なものであった。また、検出さ
れた振り角はアナログ値として出力されるため、A/Dコ
ンバータを必要とし、制御回路が複雑でノイズにも弱い
ものであった。
出機構の分だけ寸法が大きく、専用の駆動回路を必要と
し、構造が複雑で、高価なものであった。また、検出さ
れた振り角はアナログ値として出力されるため、A/Dコ
ンバータを必要とし、制御回路が複雑でノイズにも弱い
ものであった。
そこで、安価でかつ小型で、振り角の検出機能を持た
ないタイプのガルバノメータが用いられるようになっ
た。このタイプのガルバノメータは、駆動電流を流し込
むだけで動作させることが出来るため、回路も簡単なも
ので済み、ノイズの影響も受けない。
ないタイプのガルバノメータが用いられるようになっ
た。このタイプのガルバノメータは、駆動電流を流し込
むだけで動作させることが出来るため、回路も簡単なも
ので済み、ノイズの影響も受けない。
しかし、従来の検出機能を持たないタイプのガルバノ
メータでは、以下のような制御方式を用いて動作させて
おり、それぞれに問題点があった。
メータでは、以下のような制御方式を用いて動作させて
おり、それぞれに問題点があった。
（１）第６図（ａ）に示すガルバノメータ22は、外部に
レーザビーム26の検出機構40が設けられている。検出機
構40はスリット40aと受光器40bとから構成される。レー
ザ発振器21からのレーザビーム26は、揺動ミラー23によ
って反射され、スリット40aを通過する。アークセンサ
は、このときのガルバノメータ22の振れ角θｏを基準点
として、レーザビームによる溶接線探索のための測定を
開始する。
レーザビーム26の検出機構40が設けられている。検出機
構40はスリット40aと受光器40bとから構成される。レー
ザ発振器21からのレーザビーム26は、揺動ミラー23によ
って反射され、スリット40aを通過する。アークセンサ
は、このときのガルバノメータ22の振れ角θｏを基準点
として、レーザビームによる溶接線探索のための測定を
開始する。
しかし、このガルバノメータ22では、レーザビームの
検出機構40が必要となるため、構成が複雑になる。
検出機構40が必要となるため、構成が複雑になる。
（２）第６図（ｂ）に示すガルバノメータ22は、サイン
波形をした駆動指令電流で作動し、ガルバノメータ22の
振り角θは常に一定の遅れを持ってサイン波形に追従す
る。
波形をした駆動指令電流で作動し、ガルバノメータ22の
振り角θは常に一定の遅れを持ってサイン波形に追従す
る。
しかし、ガルバノメータ22は、右振りから左振り（あ
るいはその逆）に変化する折れ曲がり点近傍Ａでは、振
り角の変化が小さい。一方、アークセンサは所定時間間
隔（例えば2560回／秒）Δｔでワークとの距離を測定す
る。このため、折れ曲がり点近傍Ａでは測定回数が密に
なり、測定に無駄な部分が発生する。
るいはその逆）に変化する折れ曲がり点近傍Ａでは、振
り角の変化が小さい。一方、アークセンサは所定時間間
隔（例えば2560回／秒）Δｔでワークとの距離を測定す
る。このため、折れ曲がり点近傍Ａでは測定回数が密に
なり、測定に無駄な部分が発生する。
（３）折れ曲がり点での測定の無駄をなくすため、三角
波形で作動させた場合，第６図（ｃ）に示すように、ガ
ルバノメータ22は、一定の遅れを持って三角波形Ｂに追
従する。
波形で作動させた場合，第６図（ｃ）に示すように、ガ
ルバノメータ22は、一定の遅れを持って三角波形Ｂに追
従する。
しかし、折れ曲がり点でオーバシュートを生じる。ま
た、三角波形Ｂに対して、右振りと左振りとで遅れの向
きが反対になる。このため、折れ曲がり点近傍Ｃでは測
定が正確に行えず、無駄な部分となる。
た、三角波形Ｂに対して、右振りと左振りとで遅れの向
きが反対になる。このため、折れ曲がり点近傍Ｃでは測
定が正確に行えず、無駄な部分となる。
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、
振り角が全動作角にわたって正確に制御されて、レーザ
ビームによる測定が無駄なく有効に行われるスキャナ用
ガルバノメータの作動制御装置を提供することを目的と
する。
振り角が全動作角にわたって正確に制御されて、レーザ
ビームによる測定が無駄なく有効に行われるスキャナ用
ガルバノメータの作動制御装置を提供することを目的と
する。
本発明では上記課題を解決するために、溶接ロボット
の溶接線を探索するアークセンサの、揺動ミラーと一体
に成ってレーザビームを走査させるスキャナ用ガルバノ
メータの作動制御装置において、前記ガルバノメータの
振り角、前記振り角の角速度及び前記振り角の角加速度
に対応する電流を加算して求められたガルバノメータ駆
動指令電流の波形データを記憶するメモリと、前記メモ
リから所定間隔で前記波形データを出力させるアドレス
回路と、前記メモリの出力を受け、アナログ値に変換す
るD/A変換器と、前記D/A変換器の出力信号を増幅して、
前記ガルバノメータを駆動するガルバノメータ駆動回路
と、前記ガルバノメータによって回転する前記揺動ミラ
ーと、を有することを特徴とするスキャナ用ガルバノメ
ータの作動制御装置が、提供される。
の溶接線を探索するアークセンサの、揺動ミラーと一体
に成ってレーザビームを走査させるスキャナ用ガルバノ
メータの作動制御装置において、前記ガルバノメータの
振り角、前記振り角の角速度及び前記振り角の角加速度
に対応する電流を加算して求められたガルバノメータ駆
動指令電流の波形データを記憶するメモリと、前記メモ
リから所定間隔で前記波形データを出力させるアドレス
回路と、前記メモリの出力を受け、アナログ値に変換す
るD/A変換器と、前記D/A変換器の出力信号を増幅して、
前記ガルバノメータを駆動するガルバノメータ駆動回路
と、前記ガルバノメータによって回転する前記揺動ミラ
ーと、を有することを特徴とするスキャナ用ガルバノメ
ータの作動制御装置が、提供される。
ガルバノメータ駆動指令電流は、定速指令電流と加減
速用指令電流とを合成して得られる。メモリは、その波
形データを記憶する。アドレス回路は、メモリから所定
間隔で波形データを出力させ、D/A変換器は、このメモ
リの出力を受けアナログ値に変換し、駆動回路でガルバ
ノメータを駆動する。ガルバノメータは揺動ミラーを揺
動して、溶接線を探索する。
速用指令電流とを合成して得られる。メモリは、その波
形データを記憶する。アドレス回路は、メモリから所定
間隔で波形データを出力させ、D/A変換器は、このメモ
リの出力を受けアナログ値に変換し、駆動回路でガルバ
ノメータを駆動する。ガルバノメータは揺動ミラーを揺
動して、溶接線を探索する。
このため、ガルバノメータは、ガルバノメータ駆動指
令電流の波形に応じて、振り角の折れ曲がり点以外では
一定の角速度で、振り角の折れ曲がり点では一定の角加
速度でそれぞれ作動する。従って、振り角が全動作角に
わたって正確に制御される。また、折れ曲がり点におい
て、振り角の方向転換が微小時間で行われる。さらに、
三角波形の折れ曲がり点で生じていたオーバシュートも
生じない。その結果、レーザビーム走査による溶接線探
索のための測定が無駄なく有効に行われる。
令電流の波形に応じて、振り角の折れ曲がり点以外では
一定の角速度で、振り角の折れ曲がり点では一定の角加
速度でそれぞれ作動する。従って、振り角が全動作角に
わたって正確に制御される。また、折れ曲がり点におい
て、振り角の方向転換が微小時間で行われる。さらに、
三角波形の折れ曲がり点で生じていたオーバシュートも
生じない。その結果、レーザビーム走査による溶接線探
索のための測定が無駄なく有効に行われる。
以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。
第２図は溶接ロボットの外観図である。ロボット１の
ハンド２の先端にトーチ３が結合されている。トーチ３
にはアークセンサユニット20が設けられている。ロボッ
ト１はロボット制御装置７によって制御される。ロボッ
ト制御装置７の内部にはアークセンサ制御部10が内蔵さ
れている。
ハンド２の先端にトーチ３が結合されている。トーチ３
にはアークセンサユニット20が設けられている。ロボッ
ト１はロボット制御装置７によって制御される。ロボッ
ト制御装置７の内部にはアークセンサ制御部10が内蔵さ
れている。
第３図はトーチ近傍の詳細図である。トーチ３の先端
からは電極４が出ている。ワーク31とワーク32は溶接す
るために重ねられており、アークセンサユニットはレー
ザ光（探索用レーザビーム）26を出力して、ワーク31と
ワーク32の継ぎ目を検出する。
からは電極４が出ている。ワーク31とワーク32は溶接す
るために重ねられており、アークセンサユニットはレー
ザ光（探索用レーザビーム）26を出力して、ワーク31と
ワーク32の継ぎ目を検出する。
第４図はアークセンサユニットとアークセンサ制御部
のブロック図である。アークセンサ制御部10はミラー走
査部11、レーザ駆動部12、信号検出部13からなる。ミラ
ー走査部11は後述の揺動ミラー23のスキャナ用ガルバノ
メータ22を駆動する駆動回路等から構成されている。そ
の詳細は後述する。
のブロック図である。アークセンサ制御部10はミラー走
査部11、レーザ駆動部12、信号検出部13からなる。ミラ
ー走査部11は後述の揺動ミラー23のスキャナ用ガルバノ
メータ22を駆動する駆動回路等から構成されている。そ
の詳細は後述する。
アークセンサユニット20はレーザ発振器21、スキャナ
用ガルバノメータ22、スキャナ用ガルバノメータ22によ
って揺動される揺動ミラー23を有する。また、レンズ2
4、受光素子25を有する。
用ガルバノメータ22、スキャナ用ガルバノメータ22によ
って揺動される揺動ミラー23を有する。また、レンズ2
4、受光素子25を有する。
スキャナ用ガルバノメータ22は、ねじれバネ、磁石、
磁石に巻かれたコイル、及びダンパ（図示せず）から成
り、その軸（図示せず）に揺動ミラー23が一体に取り付
けられている。このガルバノメータ22は、コイルに通電
されたガルバノメータ駆動指令電流に比例したトルクと
ねじれバネによる制御トルクとがつり合う角度まで揺動
ミラー23を回転させる。その詳細は後述する。
磁石に巻かれたコイル、及びダンパ（図示せず）から成
り、その軸（図示せず）に揺動ミラー23が一体に取り付
けられている。このガルバノメータ22は、コイルに通電
されたガルバノメータ駆動指令電流に比例したトルクと
ねじれバネによる制御トルクとがつり合う角度まで揺動
ミラー23を回転させる。その詳細は後述する。
レーザ発振器21はレーザ駆動部12の駆動電力を受け
て、レーザ発振を行い、レーザ光26を出力する。ガルバ
ノメータ22はミラー走査部11からの駆動指令電流によっ
て駆動され、揺動ミラー23を揺動する。揺動ミラー23は
レーザ光26を走査し、ワーク31、32の継ぎ目を検出す
る。レーザ光26はワーク31、32で反射され、レンズ24で
集光され、受光素子25に入力される。受光素子25は入射
光を受け、信号を出力する。その信号に基づいて、ワー
ク31とワーク32の継ぎ目及び継ぎ目の位置が検出され
る。これらの検出信号はロボット制御装置７に送られ、
ロボット制御装置７はこれらの信号を使用して、トーチ
３を溶接開始点に位置決めする。また、溶接開始後はト
ーチ３が溶接線を追従するように制御する。
て、レーザ発振を行い、レーザ光26を出力する。ガルバ
ノメータ22はミラー走査部11からの駆動指令電流によっ
て駆動され、揺動ミラー23を揺動する。揺動ミラー23は
レーザ光26を走査し、ワーク31、32の継ぎ目を検出す
る。レーザ光26はワーク31、32で反射され、レンズ24で
集光され、受光素子25に入力される。受光素子25は入射
光を受け、信号を出力する。その信号に基づいて、ワー
ク31とワーク32の継ぎ目及び継ぎ目の位置が検出され
る。これらの検出信号はロボット制御装置７に送られ、
ロボット制御装置７はこれらの信号を使用して、トーチ
３を溶接開始点に位置決めする。また、溶接開始後はト
ーチ３が溶接線を追従するように制御する。
第１図はミラー走査部の詳細図である。クロック回路
41はクロック信号をアドレスカウンタ42に与える。アド
レスカウンタ42はクロック信号を受けて、カウント動作
を行い、カウント出力をメモリ43に入力する。メモリ43
はROMであり、内部にガルバノメータ22を駆動させるた
めのガルバノメータ駆動指令電流の波形データが格納さ
れている。メモリ43から出力されるガルバノメータ駆動
指令電流の波形データは、D/Aコンバータ44によってア
ナログ信号に変換され、スキャナ駆動回路45に送られ
る。スキャナ駆動回路45はガルバノメータ22を駆動し、
揺動ミラー23を駆動し、レーザ光26を走査して、溶接線
の探索を行う。
41はクロック信号をアドレスカウンタ42に与える。アド
レスカウンタ42はクロック信号を受けて、カウント動作
を行い、カウント出力をメモリ43に入力する。メモリ43
はROMであり、内部にガルバノメータ22を駆動させるた
めのガルバノメータ駆動指令電流の波形データが格納さ
れている。メモリ43から出力されるガルバノメータ駆動
指令電流の波形データは、D/Aコンバータ44によってア
ナログ信号に変換され、スキャナ駆動回路45に送られ
る。スキャナ駆動回路45はガルバノメータ22を駆動し、
揺動ミラー23を駆動し、レーザ光26を走査して、溶接線
の探索を行う。
第５図は、ガルバノメータ駆動指令電流の波形を決定
する手順を説明するための図である。この駆動指令電流
Ｉの波形は次のようにして求められる。
する手順を説明するための図である。この駆動指令電流
Ｉの波形は次のようにして求められる。
（１）まず、ガルバノメータ22の振り角θの動作波形を
想定する（第５図（ａ））。基本的には、折れ曲がり点
近傍の加減速期間ΔT1を除いて、三角波形で作動させ
る。加減速期間ΔT1はできる限り小さく想定する（例え
ば周期ΔＴの1/50〜1/100、ただし、図では拡大して描
いてある。）。この加減速期間ΔT1は、ガルバノメータ
22に流し込める電流容量に制限され、加減速期間ΔT1を
短くする程必要な電流は大きくなる。
想定する（第５図（ａ））。基本的には、折れ曲がり点
近傍の加減速期間ΔT1を除いて、三角波形で作動させ
る。加減速期間ΔT1はできる限り小さく想定する（例え
ば周期ΔＴの1/50〜1/100、ただし、図では拡大して描
いてある。）。この加減速期間ΔT1は、ガルバノメータ
22に流し込める電流容量に制限され、加減速期間ΔT1を
短くする程必要な電流は大きくなる。
（２）振り角θの角速度ｄθ/dtを設定する（第５図
（ｂ））。加減速期間ΔT1では角速度ｄθ/dtが一定に
変化するように、それ以外の期間ΔT2では角速度ｄθ/d
tが所定値αとなるようにそれぞれ設定する。
（ｂ））。加減速期間ΔT1では角速度ｄθ/dtが一定に
変化するように、それ以外の期間ΔT2では角速度ｄθ/d
tが所定値αとなるようにそれぞれ設定する。
（３）振り角θの角加速度d2θ/dt2を設定する（第５図
（ｃ））。加減速期間ΔT1で角速度ｄθ/dtが一定に変
化するようにするため、角加速度d2θ/dt2を所定値βに
設定する。それ以外の期間ΔT2では、角速度ｄθ/dtに
変化がないため、角加速度d2θ/dt2を０にする。
（ｃ））。加減速期間ΔT1で角速度ｄθ/dtが一定に変
化するようにするため、角加速度d2θ/dt2を所定値βに
設定する。それ以外の期間ΔT2では、角速度ｄθ/dtに
変化がないため、角加速度d2θ/dt2を０にする。
（４）以上のようにして設定された振り角θ、角速度ｄ
θ/dt、角加速度d2θ/dt2を次式（１）に示すガルバノ
メータの運動方程式に代入し、駆動指令電流Ｉを求め
る。ガルバノメータ22は、駆動指令電流Ｉに比例した駆
動トルクで作動する。
θ/dt、角加速度d2θ/dt2を次式（１）に示すガルバノ
メータの運動方程式に代入し、駆動指令電流Ｉを求め
る。ガルバノメータ22は、駆動指令電流Ｉに比例した駆
動トルクで作動する。
Ｊ×（d2θ/dt2）＋Ｃ×（ｄθ/dt）＋Ｋ×θ＝Ｉ ……（１） ここで、 J:ガルバノメータ22と揺動ミラー23の各慣性モーメン
トの和 C:ガルバノメータ22と揺動ミラー23の粘性係数 K:ガルバノメータ22と揺動ミラー23のトルク係数 θ：ガルバノメータ22と揺動ミラー23の振り角 I:ガルバノメータ22と揺動ミラー23に供給される駆動
指令電流 この方程式（１）は、振り角θ、角速度ｄθ/dt、及
び角加速度d2θ/dt2を設定し、式（１）に代入して得ら
れた値Ｉを駆動指令電流としてガルバノメータ22に供給
すると、ガルバノメータ22は、想定した作動を行うこと
を意味している。定数Ｊ、Ｃ、Ｋはガルバノメータ22に
固有な値であり、実験値から求められる。
トの和 C:ガルバノメータ22と揺動ミラー23の粘性係数 K:ガルバノメータ22と揺動ミラー23のトルク係数 θ：ガルバノメータ22と揺動ミラー23の振り角 I:ガルバノメータ22と揺動ミラー23に供給される駆動
指令電流 この方程式（１）は、振り角θ、角速度ｄθ/dt、及
び角加速度d2θ/dt2を設定し、式（１）に代入して得ら
れた値Ｉを駆動指令電流としてガルバノメータ22に供給
すると、ガルバノメータ22は、想定した作動を行うこと
を意味している。定数Ｊ、Ｃ、Ｋはガルバノメータ22に
固有な値であり、実験値から求められる。
このようにして求められたガルバノメータ駆動指令電
流Ｉは、第５図（ｄ）に示すように、三角波形電流I a
に加減速用指令電流I bを加えた波形になる。
流Ｉは、第５図（ｄ）に示すように、三角波形電流I a
に加減速用指令電流I bを加えた波形になる。
この加減速用指令電流I bは、波形が二次曲線からな
り、その指令期間ΔT1が駆動指令電流Ｉの周期ΔＴの1/
50〜1/100となる。従って、ガルバノメータ22は、折れ
曲がり点において振り角の方向転換が極めて短時間で行
われ、その作動も一定の角加速度βで行われる。
り、その指令期間ΔT1が駆動指令電流Ｉの周期ΔＴの1/
50〜1/100となる。従って、ガルバノメータ22は、折れ
曲がり点において振り角の方向転換が極めて短時間で行
われ、その作動も一定の角加速度βで行われる。
第５図（ｄ）に示した駆動指令電流Ｉは、ベースにし
た三角波形電流Ioに対するガルバノメータの作動遅れ分
を補正して得られたものである。
た三角波形電流Ioに対するガルバノメータの作動遅れ分
を補正して得られたものである。
このように、本実施例では、ガルバノメータ22に供給
される駆動指令電流Ｉの波形を、三角波形電流I aに加
減速用指令電流I bを加えた波形にした。このため、ガ
ルバノメータ22は、駆動指令電流Ｉの波形に応じて、振
り角の折れ曲がり点近傍以外では一定の角速度αで、振
り角の折れ曲がり点近傍では一定の角加速度βでそれぞ
れ作動する。従って、振り角が全動作角にわたって正確
に制御される。また、折れ曲がり点において、振り角の
方向転換が極めて短時間で行われる。さらに、三角波形
の折れ曲がり点で生じていたオーバシュートも生じな
い。その結果、レーザビーム走査による溶接線探索のた
めの測定が無駄なく有効に行われる。
される駆動指令電流Ｉの波形を、三角波形電流I aに加
減速用指令電流I bを加えた波形にした。このため、ガ
ルバノメータ22は、駆動指令電流Ｉの波形に応じて、振
り角の折れ曲がり点近傍以外では一定の角速度αで、振
り角の折れ曲がり点近傍では一定の角加速度βでそれぞ
れ作動する。従って、振り角が全動作角にわたって正確
に制御される。また、折れ曲がり点において、振り角の
方向転換が極めて短時間で行われる。さらに、三角波形
の折れ曲がり点で生じていたオーバシュートも生じな
い。その結果、レーザビーム走査による溶接線探索のた
めの測定が無駄なく有効に行われる。
以上説明したように本発明では、スキャナ用ガルバノ
メータが、ガルバノメータ駆動指令電流の波形に応じ
て、振り角の折れ曲がり点以外では一定の角速度で、振
り角の折れ曲がり点では一定の角加速度でそれぞれ作動
するように構成した。従って、ガルバノメータの振り角
が全動作角にわたって正確に制御される。また、折れ曲
がり点において、振り角の方向転換が微小時間で行われ
る。さらに、三角波形の折れ曲がり点で生じていたオー
バシュートも生じない。その結果、レーザビーム走査に
よる溶接線探索のための測定が無駄なく有効に行われ
る。
メータが、ガルバノメータ駆動指令電流の波形に応じ
て、振り角の折れ曲がり点以外では一定の角速度で、振
り角の折れ曲がり点では一定の角加速度でそれぞれ作動
するように構成した。従って、ガルバノメータの振り角
が全動作角にわたって正確に制御される。また、折れ曲
がり点において、振り角の方向転換が微小時間で行われ
る。さらに、三角波形の折れ曲がり点で生じていたオー
バシュートも生じない。その結果、レーザビーム走査に
よる溶接線探索のための測定が無駄なく有効に行われ
る。
第１図はミラー走査部の詳細図、 第２図は溶接ロボットの外観図、 第３図はトーチ近傍の詳細図、 第４図はアークセンサユニットとアークセンサ制御部の
ブロック図、 第５図はガルバノメータ駆動指令電流の波形を決定する
手順を説明するための図、 第６図（ａ）、（ｂ）及び（ｃ）は従来の検出機能を持
たないガルバノメータの制御方式を説明するための図で
ある。 １……ロボット 10……アークセンサ制御部 11……ミラー走査部 20……アークセンサユニット 22……スキャナ用ガルバノメータ 23……揺動ミラー 42……アドレスカウンタ 43……メモリ（ROM） 44……D/Aコンバータ 45……スキャナ駆動回路
ブロック図、 第５図はガルバノメータ駆動指令電流の波形を決定する
手順を説明するための図、 第６図（ａ）、（ｂ）及び（ｃ）は従来の検出機能を持
たないガルバノメータの制御方式を説明するための図で
ある。 １……ロボット 10……アークセンサ制御部 11……ミラー走査部 20……アークセンサユニット 22……スキャナ用ガルバノメータ 23……揺動ミラー 42……アドレスカウンタ 43……メモリ（ROM） 44……D/Aコンバータ 45……スキャナ駆動回路
フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭58−143315（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G02B 26/10
Claims (6)
- 【請求項１】溶接ロボットの溶接線を探索するアークセ
ンサの、揺動ミラーと一体に成ってレーザビームを走査
させるスキャナ用ガルバノメータの作動制御装置におい
て、 前記ガルバノメータの振り角、前記振り角の角速度及び
前記振り角の角加速度にそれぞれ対応する電流を加算し
て求められたガルバノメータ駆動指令電流の波形データ
を記憶するメモリと、 前記メモリから所定間隔で前記波形データを出力させる
アドレス回路と、 前記メモリの出力を受け、アナログ値に変換するD/A変
換器と、 前記D/A変換器の出力信号を増幅して、前記ガルバノメ
ータを駆動するガルバノメータ駆動回路と、 前記ガルバノメータによって回転する前記揺動ミラー
と、 を有することを特徴とするスキャナ用ガルバノメータの
作動制御装置。 - 【請求項２】前記ガルバノメータ駆動指令電流は、前記
ガルバノメータの作動方向折り返し時点の作動を所定角
加速度に設定する加減速用指令電流と、前記ガルバノメ
ータの作動方向折り返し時点以外の作動を所定角速度に
設定する定速指令電流とから構成されることを特徴とす
る請求項１記載のスキャナ用ガルバノメータの作動制御
装置。 - 【請求項３】前記加減速用指令電流は、波形が二次曲線
から成ることを特徴とする請求項１記載のスキャナ用ガ
ルバノメータの作動制御装置。 - 【請求項４】前記加減速用指令電流は、指令期間が微小
時間であることを特徴とする請求項１記載のスキャナ用
ガルバノメータの作動制御装置。 - 【請求項５】前記微小時間は、前記ガルバノメータ駆動
指令電流の周期の1/50〜1/100であることを特徴とする
請求項４記載のスキャナ用ガルバノメータの作動制御装
置。 - 【請求項６】前記ガルバノメータ駆動指令電流は、駆動
指令電流に対する前記ガルバノメータの作動の遅れ分を
補正した電流であることを特徴とする請求項１記載のス
キャナ用ガルバノメータの作動制御装置。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2164956A JP3001612B2 (ja) | 1990-06-22 | 1990-06-22 | スキャナ用ガルバノメータの作動制御装置 |
| DE69115226T DE69115226T2 (de) | 1990-06-22 | 1991-05-28 | Methode zum steuern von galvanometerbewegungen von scannern. |
| PCT/JP1991/000722 WO1992000542A1 (fr) | 1990-06-22 | 1991-05-28 | Procede de commande du deplacement d'un galvanometre pour scanneur |
| EP91909842A EP0487737B1 (en) | 1990-06-22 | 1991-05-28 | Method of controlling operations of galvanometer for scanner |
| US07/834,566 US5214531A (en) | 1990-06-22 | 1991-05-28 | Operation control system for a scanning galvanometer |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2164956A JP3001612B2 (ja) | 1990-06-22 | 1990-06-22 | スキャナ用ガルバノメータの作動制御装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0456820A JPH0456820A (ja) | 1992-02-24 |
| JP3001612B2 true JP3001612B2 (ja) | 2000-01-24 |
Family
ID=15803062
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2164956A Expired - Lifetime JP3001612B2 (ja) | 1990-06-22 | 1990-06-22 | スキャナ用ガルバノメータの作動制御装置 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5214531A (ja) |
| EP (1) | EP0487737B1 (ja) |
| JP (1) | JP3001612B2 (ja) |
| DE (1) | DE69115226T2 (ja) |
| WO (1) | WO1992000542A1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102590227B1 (ko) * | 2023-06-15 | 2023-10-17 | 주식회사 인포웍스 | 갈바노 미러 스캐너 |
Families Citing this family (18)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5546217A (en) * | 1993-11-05 | 1996-08-13 | Decagon Devices, Inc. | Laser scanning apparatus |
| US6090555A (en) * | 1997-12-11 | 2000-07-18 | Affymetrix, Inc. | Scanned image alignment systems and methods |
| US6741344B1 (en) * | 1994-02-10 | 2004-05-25 | Affymetrix, Inc. | Method and apparatus for detection of fluorescently labeled materials |
| US20030017081A1 (en) * | 1994-02-10 | 2003-01-23 | Affymetrix, Inc. | Method and apparatus for imaging a sample on a device |
| US5631734A (en) * | 1994-02-10 | 1997-05-20 | Affymetrix, Inc. | Method and apparatus for detection of fluorescently labeled materials |
| US5650868A (en) * | 1995-06-07 | 1997-07-22 | Compaq Computer Corporation | Data transfer system |
| EP0902885A4 (en) * | 1996-05-16 | 2006-09-27 | Affymetrix Inc | SYSTEMS AND METHODS FOR DETECTION OF BRANDED PRODUCTS |
| KR100392466B1 (ko) * | 2000-02-29 | 2003-07-22 | 주식회사 이오테크닉스 | 갈바노미터 스캐너를 제어하기 위한 장치 및 방법 |
| US7763827B2 (en) * | 2004-12-30 | 2010-07-27 | Medtronic, Inc. | Method and apparatus for laser welding incorporating galvanometer delivery |
| US8055098B2 (en) * | 2006-01-27 | 2011-11-08 | Affymetrix, Inc. | System, method, and product for imaging probe arrays with small feature sizes |
| US9445025B2 (en) | 2006-01-27 | 2016-09-13 | Affymetrix, Inc. | System, method, and product for imaging probe arrays with small feature sizes |
| US8553733B2 (en) * | 2007-02-26 | 2013-10-08 | Hamamatsu Photonics K.K. | Light source device, observation device, and processing device |
| US7806585B2 (en) * | 2007-06-22 | 2010-10-05 | Decagon Devices, Inc. | Apparatus, method, and system for measuring water activity and weight |
| KR20090039042A (ko) * | 2007-10-17 | 2009-04-22 | 삼성전자주식회사 | 광 주사 장치를 가지는 화상 형성 장치 및 그 위치 정렬방법 |
| JP5238479B2 (ja) * | 2008-04-01 | 2013-07-17 | 株式会社トプコン | Ｍｅｍｓミラー走査器の駆動方法及びｍｅｍｓアクチュエータ走査器の駆動方法及びｍｅｍｓアクチュエータの回転角制御方法 |
| JP5176823B2 (ja) * | 2008-09-25 | 2013-04-03 | ブラザー工業株式会社 | 光走査装置、画像表示装置及び光走査装置の駆動方法 |
| CN110976439B (zh) * | 2019-12-24 | 2020-10-20 | 中国科学院半导体研究所 | 提高激光清洗表面均匀程度的激光清洗方式和设备 |
| CN115015876B (zh) * | 2021-03-05 | 2025-09-02 | 上海禾赛科技有限公司 | 扫描振镜的扭力结构、扫描振镜及其制作方法 |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3321766A (en) * | 1966-06-08 | 1967-05-23 | Cons Electrodynamics Corp | Closed-loop galvanometer servo system |
| DE2827074A1 (de) * | 1977-06-21 | 1979-01-04 | Canon Kk | Aufzeichnungsgeraet |
| JPS5574511A (en) * | 1978-11-30 | 1980-06-05 | Toshiba Corp | Driving system of optical scanning device |
| US4568816A (en) * | 1983-04-19 | 1986-02-04 | Unimation, Inc. | Method and apparatus for manipulator welding apparatus with improved weld path definition |
| JPS60117102A (ja) * | 1983-11-30 | 1985-06-24 | Hitachi Ltd | 溶接線倣い検出装置 |
| GB2157419A (en) * | 1984-04-11 | 1985-10-23 | Elco Ass R D | Optical sensor for for use in controlling a robot |
| JPS61157932U (ja) * | 1985-03-20 | 1986-09-30 | ||
| JPH0637273A (ja) * | 1992-07-17 | 1994-02-10 | Toshiba Corp | 半導体装置とその製造方法 |
-
1990
- 1990-06-22 JP JP2164956A patent/JP3001612B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1991
- 1991-05-28 WO PCT/JP1991/000722 patent/WO1992000542A1/ja not_active Ceased
- 1991-05-28 US US07/834,566 patent/US5214531A/en not_active Expired - Fee Related
- 1991-05-28 EP EP91909842A patent/EP0487737B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1991-05-28 DE DE69115226T patent/DE69115226T2/de not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102590227B1 (ko) * | 2023-06-15 | 2023-10-17 | 주식회사 인포웍스 | 갈바노 미러 스캐너 |
| WO2024258047A1 (ko) * | 2023-06-15 | 2024-12-19 | 주식회사 인포웍스 | 갈바노 미러 스캐너 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5214531A (en) | 1993-05-25 |
| EP0487737A1 (en) | 1992-06-03 |
| DE69115226T2 (de) | 1996-05-02 |
| WO1992000542A1 (fr) | 1992-01-09 |
| EP0487737A4 (en) | 1992-10-21 |
| DE69115226D1 (de) | 1996-01-18 |
| EP0487737B1 (en) | 1995-12-06 |
| JPH0456820A (ja) | 1992-02-24 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3001612B2 (ja) | スキャナ用ガルバノメータの作動制御装置 | |
| US4214154A (en) | Light beam scanning apparatus | |
| JPH11129176A (ja) | センサを用いたカリブレーション方法 | |
| JP2002090681A (ja) | 光学走査装置および３次元測定装置 | |
| JPH03113410A (ja) | レーザ走査装置 | |
| JPH01153253A (ja) | 非接触倣い方法 | |
| JP2798928B2 (ja) | 位置決め制御装置 | |
| JP2726326B2 (ja) | アークセンサ及び溶接線の探索方法 | |
| JPH0421812A (ja) | ビームスキャナ | |
| JPH0348755B2 (ja) | ||
| JPS6082277A (ja) | 溶接線追尾センサ | |
| JPS61226198A (ja) | レ−ザ加工制御装置 | |
| JP2692409B2 (ja) | ビームスキャナ | |
| JPH0491880A (ja) | レーザ加工機のピアス完了検出装置 | |
| JP2904556B2 (ja) | レーザ加工装置 | |
| KR100338378B1 (ko) | 동적 레이저 마킹 장치 및 그 방법 | |
| JPS63231286A (ja) | レ−ザビ−ムを用いた移動体の追尾距離測定装置 | |
| JPH04262886A (ja) | 光ビーム偏向装置用制御信号発生装置 | |
| JPH02116748A (ja) | メカニカルセクタスキャナ | |
| JPH0437816A (ja) | ビームスキャナ | |
| JPH02121789A (ja) | 光走査レーザー加工装置 | |
| JPH06307853A (ja) | 自動追尾式測量機 | |
| JPS61234306A (ja) | 光学式測定装置 | |
| JPS58198779A (ja) | 超音波センサ−装置 | |
| JP3170890B2 (ja) | ジャイロのドリフト抑制回路 |