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JP2998751B1 - Ball mounting jig and method - Google Patents

Ball mounting jig and method

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JP2998751B1
JP2998751B1 JP10249729A JP24972998A JP2998751B1 JP 2998751 B1 JP2998751 B1 JP 2998751B1 JP 10249729 A JP10249729 A JP 10249729A JP 24972998 A JP24972998 A JP 24972998A JP 2998751 B1 JP2998751 B1 JP 2998751B1
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Japan
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ball
mounting
jig
conductive
electronic component
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好孝 京極
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NEC Corp
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    • H10W72/536
    • H10W72/5363
    • H10W90/756

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  • Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
  • Wire Bonding (AREA)
  • Measuring Leads Or Probes (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
  • Connecting Device With Holders (AREA)

Abstract

【要約】 【課題】 導電性ボールを電子部品に搭載するときのボ
ールの位置ずれを防止し、ボール付き電子部品の検査を
するときの部品の破壊を防止する。 【解決手段】 導電性ボール3を電子部品に搭載する装
置において、電子部品1の長手方向にふくらんだ搭載面
と合致する曲面を近似した段状のボール保持面14を有
し、ボールを吸着する吸着孔を有する構造のボール搭載
治具10を用いる。この治具により、導電性ボール3の
搭載時の位置ずれ、搭載ミスを防止する。このボール保
持面を弾性体、ノズル等を使用することにより、さら
に、好適なボール搭載治具10とする。ボールの搭載方
法について、本発明の治具を使用し、また、ボールが搭
載面に接触した状態で真空吸着を解除する方法により、
位置ずれを防止するとともに、部品の破壊をも防止す
る。また、本発明の応用として、ボール付き電子部品を
検査する好適な検査ピン支持治具を提供する。
A ball is prevented from being displaced when a conductive ball is mounted on an electronic component, and the component is prevented from being broken when an electronic component with a ball is inspected. An apparatus for mounting a conductive ball (3) on an electronic component has a stepped ball holding surface (14) that approximates a curved surface that matches a mounting surface swelled in the longitudinal direction of the electronic component (1) to attract the ball. A ball mounting jig 10 having a structure having suction holes is used. This jig prevents misalignment and mounting errors when the conductive balls 3 are mounted. By using an elastic body, a nozzle and the like for the ball holding surface, a more suitable ball mounting jig 10 is obtained. For the method of mounting the ball, using the jig of the present invention, and by releasing the vacuum suction while the ball is in contact with the mounting surface,
Prevents misalignment and destruction of components. Further, as an application of the present invention, a suitable inspection pin support jig for inspecting an electronic component with a ball is provided.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、導電性ボールを配
線基板、半導体チップその他の電子部品に搭載するボー
ル搭載装置で用いるボール搭載治具およびその方法に関
するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a ball mounting jig used in a ball mounting apparatus for mounting a conductive ball on a wiring board, a semiconductor chip and other electronic components, and a method therefor .

【0002】[0002]

【従来の技術】従来から、電子部品の小型化、軽量化が
様々な方法で実施されている。近年、導電性ボールを外
部端子とすることによって、電子部品の小型化が行われ
ている。その一例を、図4及び図5を用いて説明する。
図4は、リード付き電子部品の概略図で、(a)は外観
斜視図を、(b)は拡大断面図を示している。図5は、
CSP(Chip Size Package)の概略図
で、(a)は外観斜視図を、(b)は拡大断面図を示し
ている。
2. Description of the Related Art Conventionally, electronic parts have been reduced in size and weight by various methods. In recent years, electronic components have been miniaturized by using conductive balls as external terminals. An example thereof will be described with reference to FIGS.
4A and 4B are schematic views of an electronic component with leads, wherein FIG. 4A is an external perspective view, and FIG. 4B is an enlarged sectional view. FIG.
1 is a schematic view of a CSP (Chip Size Package), in which (a) is an external perspective view and (b) is an enlarged sectional view.

【0003】図4に示すように、リード2付き電子部品
1では、半導体チップ1aの電極パッドは金ワイヤー2
aを介してリード2に接続されている。また、図11に
示すように、CSP1bでは、CSP1bの電極パッド
に直接導電性ボール3が転写されている。
As shown in FIG . 4 , in an electronic component 1 with leads 2, an electrode pad of a semiconductor chip 1a is a gold wire 2
It is connected to the lead 2 via a. Further, as shown in FIG. 11, in the CSP 1b, the conductive balls 3 are directly transferred to the electrode pads of the CSP 1b.

【0004】このように、半導体チップ1aの外部端子
としては、金ワイヤー2aとリード2が必要であるが、
CSP1bの外部端子としては、導電性ボール3のみを
使用しているため、CSP1bは非常に小型化、軽量化
されている。したがって、導電性ボール3を有するCS
P1bは、実用に供されており、今後さらなる発展が期
待される。
As described above, gold wires 2a and leads 2 are required as external terminals of the semiconductor chip 1a.
Since only the conductive balls 3 are used as the external terminals of the CSP 1b, the CSP 1b is extremely reduced in size and weight. Therefore, CS having conductive balls 3
P1b is in practical use, and further development is expected in the future.

【0005】導電性ボールを搭載する方法について、従
来例として図6を用いて説明する。図6は、従来のボー
ル搭載治具における要部の拡大断面図である。同図にお
いて、ボール搭載治具10は、ボール搭載装置(図示せ
ず)の搭載部11に取り付けられている。ボール搭載治
具10は、CSP1bの電極パッドに対応する突起部1
3を有する平板状の構造としてある。さらに、その突起
部13には、導電性ボール3を真空吸着する吸着孔12
が設けられている。また、この突起部13の先端を結ん
で構成される仮想ボール保持面は平面状となっている。
A method for mounting conductive balls will be described as a conventional example with reference to FIG . FIG. 6 is an enlarged sectional view of a main part of a conventional ball mounting jig. In FIG. 1, a ball mounting jig 10 is attached to a mounting portion 11 of a ball mounting device (not shown). The ball mounting jig 10 has a protrusion 1 corresponding to the electrode pad of the CSP 1b.
3 as a plate-like structure. Further, the protrusion 13 has a suction hole 12 for vacuum suction of the conductive ball 3.
Is provided. The virtual ball holding surface formed by connecting the tips of the projections 13 is planar.

【0006】このような構成からなるボール搭載装置に
よって、導電性ボール3を搭載する場合は、初めに、全
ての突起部13に各1個の導電性ボール3を、真空吸着
により保持する。次に、搭載部11は、導電性ボール3
を保持したまま、CSP1bの上部に移動し、位置を調
整後下降し、フラックスや接着剤等の粘着物質が塗布さ
れたCSP1bの上に、導電性ボール3を押しつけたの
ち、真空吸着を解除する。最後に、搭載部11が上昇す
ることにより、導電性ボール3はCSP1bに搭載され
る。
When the conductive balls 3 are mounted by the ball mounting apparatus having such a configuration, first, one conductive ball 3 is held on all the projections 13 by vacuum suction. Next, the mounting part 11 is provided with the conductive balls 3.
Is moved to the upper part of the CSP 1b while keeping the position, the position is adjusted and then lowered, the conductive ball 3 is pressed on the CSP 1b coated with an adhesive substance such as a flux or an adhesive, and then the vacuum suction is released. . Finally, the conductive ball 3 is mounted on the CSP 1b by raising the mounting portion 11.

【0007】また、図示してないが、導電性ボールに検
査ピンを当接して検査を行なう電子部品検査装置の検査
ピン支持治具は、非導電性の材料からなる平板状の本体
に、検査ポイントに対応して検査ピン支持面に貫通孔が
設けられており、検査ピンが貫通孔に突設されている。
また、検査ピンの先端を結んで構成される仮想検査ピン
支持面は平面状となっている。
Although not shown, the inspection pin supporting jig of the electronic component inspection apparatus for performing an inspection by abutting an inspection pin on a conductive ball includes a flat main body made of a non-conductive material. A through-hole is provided in the inspection pin support surface corresponding to the point, and the inspection pin protrudes from the through-hole.
The virtual test pin support surface formed by connecting the tips of the test pins is flat.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】ところで、電子部品は
小型化、軽量化により、電子部品としての強度を十分に
確保できなくなってきている。すなわち、導電性ボール
を搭載される電子部品の搭載面が、強度不足またはプロ
セス上の残留熱応力により、反り、歪み等により、曲面
に変形することがある。
However, due to the miniaturization and weight reduction of electronic components, it has become impossible to secure sufficient strength as electronic components. That is, the mounting surface of the electronic component on which the conductive ball is mounted may be deformed into a curved surface due to warpage, distortion, or the like due to insufficient strength or residual thermal stress in the process.

【0009】このように、導電性ボールの搭載面が、曲
面に変形しているときは、平面状のボール保持面に吸着
された導電性ボールは、全てが搭載面に接触せず、一部
の導電性ボールは搭載面から浮いていることになる。こ
の浮いた導電性ボールは、粘着物質に接触していないた
め、真空吸着を解除すると、搭載面に落下する。このと
き、搭載面の状況により、定められた位置に導電性ボー
ルが搭載されなくなり、位置ずれを生じる問題がある。
As described above, when the conductive ball mounting surface is deformed into a curved surface, all of the conductive balls adsorbed on the flat ball holding surface do not come into contact with the mounting surface but are partially contacted. The conductive balls are floating from the mounting surface. Since the floating conductive ball does not contact the adhesive substance, it drops to the mounting surface when the vacuum suction is released. At this time, depending on the condition of the mounting surface, there is a problem that the conductive ball is no longer mounted at a predetermined position, resulting in displacement.

【0010】さらに、上記問題を解決するために、電子
部品の搭載面の反りを矯正し、浮いた導電性ボールを粘
着物質に接触させようとして、真空吸着を解除する前に
搭載部を大きな力で押し込むことがある。このとき、搭
載面が曲面に大きく変形しているときは、各電極パッド
に均一に導電性ボールが当たらないために、加圧が均一
とならず、導電性ボールが搭載されないといった問題が
ある。さらに、例えばCSPにおいては押し込む力によ
り、局所的に大きな力が加わり、半導体チップを破壊す
るおそれもある。
Further, in order to solve the above problem, the mounting surface of the electronic component is corrected for warpage, and the mounting portion is subjected to a large force before releasing the vacuum suction in order to bring the floating conductive ball into contact with the adhesive substance. May be pushed in. At this time, when the mounting surface is largely deformed into a curved surface, since the conductive balls do not uniformly hit each electrode pad, there is a problem that the pressure is not uniform and the conductive balls are not mounted. Further, for example, in a CSP, a large force is locally applied due to a pushing force, and there is a possibility that a semiconductor chip may be broken.

【0011】また、検査ピンを導電性ボールに当接して
検査を行なう電子部品検査装置において、導電性ボール
の先端を結んで構成される仮想面が曲面であるときは、
検査ピンの一部が導電性ボールに当接せず、正確な検査
を行なうことができないという問題がある。そこで、検
査ピンを導電性ボールに強く当接させると、一部の検査
ピンが強く当接し、大きな半導体チップにおいては、電
子部品を破壊するおそれがある。
In an electronic component inspection apparatus for performing an inspection by contacting an inspection pin with a conductive ball, when a virtual surface formed by connecting the tips of the conductive ball is a curved surface,
There is a problem that a part of the inspection pin does not contact the conductive ball, so that an accurate inspection cannot be performed. Therefore, when the test pins are strongly contacted with the conductive balls, some test pins are strongly contacted, and in a large semiconductor chip, there is a possibility that an electronic component is broken.

【0012】本発明は、上記の問題を解決すべくなされ
たものであり、導電性ボールを電子部品に搭載する場合
に、ボールを確実に搭載することのできるボール搭載装
置とその方法の提供を目的とする。
The present invention has been made to solve the above problems.
When mounting conductive balls on electronic components
Ball mounting equipment that can securely mount the ball
The purpose is to provide a device and its method.

【0013】[0013]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の請求項1記載のボール搭載治具は、導電性
ボールを配線基板、半導体チップその他の電子部品に搭
載するボール搭載治具において、前記電子部品の搭載面
曲面に近似した段状のボール保持面を有する治具本体
と、前記電子部品の導電性ボール搭載位置に対応して、
前記ボール保持面にあけられた吸着孔からなる構成とし
てある。
According to a first aspect of the present invention, there is provided a ball mounting jig for mounting a conductive ball on a wiring board, a semiconductor chip, or other electronic components. A jig body having a stepped ball holding surface approximated to a curved surface of the mounting surface of the electronic component, and a conductive ball mounting position of the electronic component,
It is configured to include suction holes formed in the ball holding surface .

【0014】これにより、導電性ボールをほぼ位置ずれ
なく搭載するとともに、ボール搭載治具を廉価に製作す
ることができる。
As a result, the conductive balls are almost displaced.
And mount the ball mounting jig at low cost.
Can be

【0015】請求項2記載の発明は、請求項1記載のボ
ール搭載治具において、前記治具本体が、ボール保持面
を形成する弾性体と、この弾性体の裏面に取り付けられ
た剛体とからなる構成としてある。
According to a second aspect of the present invention, a button according to the first aspect is provided.
In the jig mounting jig, the jig main body has a ball holding surface.
Forming an elastic body, attached to the back of this elastic body
And a rigid body.

【0016】これにより、個々の電子部品の微妙な曲面
に対応して、ボール保持面が弾性変 形するため、より良
い位置精度で導電性ボールを搭載する。
Thus, the delicate curved surface of each electronic component
In response to, for ball holding surface is elastic deformation, more good
Mount conductive balls with high positional accuracy.

【0017】請求項3記載のボール搭載方法は、導電性
ボールを配線基板、半導体チップその他の電子部品に搭
載する方法であって、前記請求項1又は2記載のボール
搭載治具を用いて前記導電性ボールを保持し、前記導電
性ボールが前記電子部品に接触した状態で、吸着孔また
はノズルにおける吸着を解除する方法としてある。
According to a third aspect of the present invention, there is provided a ball mounting method comprising:
Balls are mounted on wiring boards, semiconductor chips and other electronic components.
A ball mounting method according to claim 1 or 2, wherein
Using a mounting jig to hold the conductive ball,
While the conductive ball is in contact with the electronic component,
Is a method for releasing the suction at the nozzle.

【0018】これにより、導電性ボールが、電子部品の
搭載面に塗布された粘着物質に確実に接触し、位置ずれ
を防止するとともに、必要以上に導電性ボールを搭載面
に押し付けないので、電子部品の破壊を防止することが
できる。
Thus, the conductive balls can be used for the electronic parts.
Reliable contact with the adhesive substance applied to the mounting surface and displacement
To prevent conductive balls from being mounted more than necessary.
To prevent damage to electronic components.
it can.

【0019】[0019]

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、この発明
の実施の形態について説明する。なお、参照する図面
は、この発明が理解できる程度に各構成成分の大きさ、
形状および配置関係を概略的に示してあるに過ぎない。
したがって、この発明は図示例にのみ限定されるもので
はない。また、図1〜3は、本実施形態の理解を助ける
ため、ボール搭載治具を裏返して図示している。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. It should be noted that the drawings to be referred to show the size of each component so that the present invention can be understood,
It merely shows the shape and arrangement.
Therefore, the present invention is not limited only to the illustrated example. 1 to 3 show the ball mounting jig upside down to facilitate understanding of the present embodiment.

【0020】 <第1の実施の形態>図1を用いて第1の実施形態について説明する。図1
は、中央部のくぼみを近似した段状のボール搭載治具の
概略図で、(a)は斜視投影図を、(b)は(a)のA
−A'拡大断面図を示している。 なお、図示していない
が、電子部品の搭載面は、中央部が凸状の曲面となって
いる。
[0020] A first embodiment will be described with reference to FIG. 1 <First Embodiment>. FIG.
Is a stepped ball mounting jig that approximates the depression in the center.
In the schematic diagram, (a) is a perspective projection view, (b) is A of (a).
It shows the -A 'enlarged sectional view. Not shown
However, the mounting surface of the electronic components has a convex curved surface at the center.
I have.

【0021】[0021] 同図において、ボール搭載治具10は、正In the figure, the ball mounting jig 10 is
方形の平板状の治具本体10aからなる構造としてあAs a structure composed of a rectangular flat jig body 10a,
り、治具本体10aは、図示しない電子部品の搭載面のThe jig main body 10a has a mounting surface for an electronic component (not shown).
曲面に近似した中央部が凹状の段状の形状からなるボーBode with a concave stepped shape in the center approximated to a curved surface
ル保持面14を有している。まA holding surface 14. Ma た、ボール保持面14にThe ball holding surface 14
は、ボール搭載位置に対応してあけられた吸着孔12をIs to attach the suction holes 12 drilled corresponding to the ball mounting position.
設けてある。It is provided.

【0022】[0022] 従来のボール搭載治具10では、導電性ボIn the conventional ball mounting jig 10, a conductive ball
ールを反ったCSPに搭載するときは、図7に示すようWhen mounting the tool on a warped CSP, as shown in FIG.
に一部の導電性ボールは搭載面から浮いており、粘着物Some of the conductive balls are floating from the mounting surface.
質に接触しない。これに対し、本発明の第1実施形態にDo not touch the quality. On the other hand, in the first embodiment of the present invention,
よるボール搭載治具10では、ボール保持面14が、搭In the ball mounting jig 10, the ball holding surface 14
載面と近似的に合致する形状であることにより、ボールThe ball has a shape that approximately matches the mounting surface,
保持面14の吸着孔12吸着された全ての導電性ボールAll the conductive balls sucked by the suction holes 12 of the holding surface 14
は、搭載時にほぼ同時に、電子部品の搭載面の粘着物質Is the adhesive substance on the mounting surface of the electronic component
に接触し、導電性ボールの位置ずれを防止する。To prevent misalignment of the conductive ball.

【0023】[0023] このような構造とすることにより、保持面With such a structure, the holding surface
の加工が容易となり、廉価なボール搭載治具10を製作Processing becomes easy and inexpensive ball mounting jig 10 is manufactured.
することができる。can do.

【0024】 <第2の実施の形態> 図2 を用いて第2の実施形態について説明する。図2
は、長手方向のくぼみを近似した段状のボール搭載治具
の概略図で,(a)は斜視投影図を、(b)は(a)の
A−A'断面図を示している。同図において、ボール搭
載治具10は、長方形の平板状の治具本体10aからな
る構造としてあり、治具本体10aは、図示しない電子
部品の搭載面に合致する長手方向にくぼんだ曲面を近似
する段状の形状を有するボール保持面14を有してい
る。また、ボール保持面14には、ボール搭載位置に対
応してあけられた吸着孔12を設けてある。このような
構造とすることにより、保持面の加工が容易となり、廉
価なボール搭載治具10を製作することができる。
[0024] <Second embodiment> FIG. UsingSecondAn embodiment will be described.FIG.
Is a stepped ball mounting jig that approximates the longitudinal depression
(A) is a perspective projection view and (b) is a schematic view of (a).
It shows the AA ′ cross-sectional view. In FIG.
The mounting jig 10 comprises a rectangular flat jig body 10a.
The jig body 10a is provided with an electronic device (not shown).
Approximate a concave surface in the longitudinal direction that matches the mounting surface of the component
Ball holding surface 14 having a stepped shape
You. Also, the ball holding surface 14 has a position corresponding to the ball mounting position.
A correspondingly formed suction hole 12 is provided. like this
With the structure, the processing of the holding surface is easy and
It is possible to manufacture a costly ball mounting jig 10.

【0025】 さらに具体的に説明すると、次のようにな
る。例えば、導電性ボールを搭載する電子部品が、短辺
14mm、長辺20mmの長方形の形状で、長辺方向に
1.27mmピッチで一列15個の電極パッドが2列、
配置されており、さらに、電子部品の搭載面の中央部が
突出するように0.05mm反った形状となっていると
する。なお、電極パッド外形は、0.6mmであり、導
電性ボール径は、0.55mmであるとする。
[0025] More specifically described, as follows. For example, an electronic component on which conductive balls are mounted has a rectangular shape with a short side of 14 mm and a long side of 20 mm, and two rows of 15 electrode pads in a row at a pitch of 1.27 mm in the long side direction.
It is assumed that they are arranged and that they have a shape warped by 0.05 mm so that the center of the mounting surface of the electronic component protrudes. Note that the outer shape of the electrode pad is 0.6 mm, and the diameter of the conductive ball is 0.55 mm.

【0026】 この電子部品に従来の平面状のボール保持
面14を有するボール搭載治具10によってボールを搭
載したところ、部品中央部では、0.1mm以内の位置
ずれが、部品端部においては0.2mm以上の位置ずれ
となり、またボールの搭載ミスがでるといった不具合も
発生した。
When a ball is mounted on the electronic component by using a conventional ball mounting jig 10 having a flat ball holding surface 14, a positional deviation of 0.1 mm or less at the center of the component and 0 mm at the end of the component. .2 mm or more, and there was a problem that a ball mounting error occurred.

【0027】 これに対し、実施形態に係るボール搭載治
具10として、0.017mmの段差を3段設けること
により中央部がくぼんだボール保持面14を形成した。
このボール搭載治具によってボールを搭載したところ、
ボール保持面14の吸着孔12に吸着された全ての導電
性ボールは、搭載時にほぼ同時に、電子部品の搭載面の
粘着物質に接触した。その結果、部品端部においても位
置ずれは0.1mm以内となり、ボールの搭載ミスもな
くなった。
[0027] In contrast, as a ball mounting jig 10 according to the embodiment, to form a ball holding surface 14 recessed central portion by providing three stages a step of 0.017 mm.
When the ball was mounted by this ball mounting jig,
All of the conductive balls sucked into the suction holes 12 of the ball holding surface 14 came into contact with the adhesive substance on the mounting surface of the electronic component almost at the time of mounting. As a result, the displacement at the end of the component was within 0.1 mm, and the mounting error of the ball was eliminated.

【0028】 <第3の実施の形態> 図3 を用いて第3の実施形態について説明する。図3
は、弾性体付きボール搭載治具を示す側断面図である。
この実施形態のボール搭載治具10は、平板状の有機物
その他の弾性体15と平板状の金属、セラミックその他
の剛体16を重ねて接合してある平板状の治具本体10
aからなる構造としてある。治具本体10aの弾性体1
5の表面には、図示しない電子部品の搭載面に合致する
長手方向にくぼんだ曲面を近似する段状の形状を有する
ボール保持面14を設けてある。また、ボール保持面1
4には、ボール搭載位置に対応してあけられた吸着孔1
2を設けてある。
[0028] <Third embodiment> FIG. UsingThirdAn embodiment will be described.FIG.
FIG. 3 is a side sectional view showing a ball mounting jig with an elastic body.
The ball mounting jig 10 of this embodiment is a flat organic material.
Other elastic body 15 and flat metal, ceramic, etc.
Jig body 10 in which rigid bodies 16 are overlapped and joined
a. Elastic body 1 of jig body 10a
5 matches the mounting surface of an electronic component (not shown).
Has a stepped shape approximating a concave surface in the longitudinal direction
A ball holding surface 14 is provided. Also, the ball holding surface 1
Reference numeral 4 denotes a suction hole 1 that is opened corresponding to the ball mounting position.
2 is provided.

【0029】 ボール保持面14は、搭載時に弾性変形す
ることにより、搭載面とより近似的に合致する形状とな
り、さらに良好に導電性ボールの位置ずれを防止する。
また、ボール保持面を平面状としても、弾性体の変形に
より位置ずれを防止するが、第3の実施例においては、
より良好に導電性ボールの位置ずれを防止する。なお、
弾性体15と剛体16は平板状以外の形状であっても良
い。(以下の実施形態においても、同様である。)
The ball holding surface 14 is elastically deformed at the time of mounting, so that the ball holding surface 14 has a shape that more approximately matches the mounting surface, thereby further preventing the conductive ball from being displaced.
Further, even flat ball holding surface, but to prevent positional displacement by deformation of the elastic body, in the third embodiment,
The conductive ball can be prevented from being displaced more favorably. In addition,
The elastic body 15 and the rigid body 16 may have a shape other than a flat plate shape. (The same applies to the following embodiments.)

【0030】 次に、本実施形態における導電性ボールの
搭載方法につき、図6及び図7を用いて説明する。図7
は、反ったCSP対するボール搭載治具の側断面図を
している。図6において、導電性ボール3を搭載する方
法としては、初めに、全ての吸着孔12に各1個の導電
性ボール3を、真空吸着により保持する。次に、搭載部
11は、導電性ボール3を保持したまま、CSP1bの
上部に移動し、位置を調整後下降し、フラックスや接着
剤等の粘着物質が塗布されたCSP1bの上に、導電性
ボール3を押しつけたのち、真空吸着を解除する。最後
に、搭載部11が上昇することにより、導電性ボール3
はCSP1bに搭載される。
[0030] Next, a method of mounting a conductive ball according to the present embodiment will be described with reference to FIGS. FIG.
Shows a side sectional view of a ball mounting jig for a warped CSP. In FIG. 6 , as a method of mounting the conductive balls 3, first, one conductive ball 3 is held in all the suction holes 12 by vacuum suction. Next, the mounting part 11 moves to the upper part of the CSP 1b while holding the conductive ball 3, and after adjusting the position, descends, and the conductive part 3 is placed on the CSP 1b coated with an adhesive such as flux or adhesive. After pressing the ball 3, the vacuum suction is released. Finally, the mounting portion 11 is raised, so that the conductive balls 3
Is mounted on the CSP 1b.

【0031】 ところが、図7に示すように、CSP1b
の搭載面が曲面に変形しているときは、突起部13の先
端を結んで構成される仮想面が平面状となる突起部13
に吸着された導電性ボール3は、全てが搭載面に接触で
きず、一部の導電性ボール3は搭載面から浮いているこ
とになり、粘着物質に接触していない。
[0031] However, as shown in FIG. 7, CSP1b
When the mounting surface is deformed into a curved surface, the virtual surface formed by connecting the tips of the protrusions 13 becomes a flat surface.
All of the conductive balls 3 adsorbed on the surface cannot come into contact with the mounting surface, and some of the conductive balls 3 float from the mounting surface and do not come into contact with the adhesive substance.

【0032】 そこで、請求項1又は2のいずれかのボー
ル搭載治具を用いることによって、CSP1bの搭載面
が曲面に変形しても導電性ボールをCSP1bの搭載面
に接触させることができる。
[0032] Therefore, by using either a ball mounting jig according to claim 1 or 2, can be mounting surface of CSP1b is contacted conductive balls be modified into a curved surface on the mounting surface of the CSP1b.

【0033】 さらに、全ての導電性ボール3が搭載面に
接触した状態で、吸着孔またはノズルにおける吸着を解
除することにより、導電性ボール3は、粘性物質の粘着
力により、搭載面に仮固着され、位置ずれなく搭載され
る。
Furthermore, in a state where all of the conductive ball 3 in contact with the mounting surface, by releasing the suction in the suction holes or nozzles, conductive balls 3, the adhesive force of the viscous substance, the temporary fixing to the mounting surface It is mounted without displacement.

【0034】 また、CSP1bの反りを矯正するために
大きな力を加える必要がないため、必要以上に導電性ボ
ールを搭載面に押しつけることにより、搭載ミスを防止
するとともに、不必要な力を加えることによる電子部品
の破壊を防止することができる。
Further , since it is not necessary to apply a large force to correct the warpage of the CSP 1b, the conductive ball is pressed more than necessary to the mounting surface, thereby preventing mounting errors and applying unnecessary force. Of the electronic component can be prevented.

【0035】 上述した実施の形態においては、この発明
を特定の条件で構成した例について説明したが、この発
明は、種々の変更例を含むものである。また、ボール搭
載治具としてあるが、その形状、構造について、例えば
搭載部と一体化したとしても、無論、本発明に含まれ
る。
In the above-described embodiment, an example in which the present invention is configured under specific conditions has been described. However, the present invention includes various modifications. In addition, although it is a ball mounting jig, its shape and structure are, of course, included in the present invention even if integrated with the mounting portion.

【0036】[0036]

【発明の効果】以上のように、この発明のボール搭載治
具によれば、電子部品の搭載面の曲面に近似する段状の
面と合致するボール保持面を用いることにより、導電性
ボールを適正な位置に、搭載ミスをすることなく搭載す
ることができる。
As described above, the ball mounting cure of the present invention is
According to the tool, a stepped shape approximating the curved surface of the mounting surface of the electronic component
By using a ball holding surface that matches the surface,
Mount the ball in the correct position without mistake
Can be

【0037】 また、本発明によるボール搭載治具を用い
て搭載し、導電性ボールが搭載面に接触した状態で、吸
着孔またはノズルにおける吸着を解除する搭載方法によ
り、導電性ボールを位置ずれなく、また、搭載ミスをす
ることなく搭載することができるとともに、電子部品を
破壊することなく搭載することができる。
Further , the conductive ball is mounted using the ball mounting jig according to the present invention, and in a state where the conductive ball is in contact with the mounting surface, the conductive ball is released from suction by the suction hole or the nozzle. In addition, mounting can be performed without mounting errors, and mounting can be performed without breaking electronic components.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】図1は、中央部のくぼみを近似した段状のボー
ル搭載治具の概略図で、(a)は斜視投影図を、(b)
は(a)のA−A'拡大断面図を示している。
FIG. 1 shows a stepped bow approximating a central depression.
(A) is a perspective projection view, (b)
(A) is an AA 'enlarged sectional view of (a).

【図2】図2は、長手方向のくぼみを近似した段状のボ
ール搭載治具の概略図で,(a)は斜視投影図を、
(b)は(a)のA−A'断面図を示している。
FIG. 2 shows a stepped bore approximating a longitudinal depression.
(A) is a perspective projection view,
(B) shows an AA ′ cross-sectional view of (a).

【図3】図3は、弾弾性体付きボール搭載治具を示す側
断面図である。
FIG. 3 is a side showing a ball mounting jig with an elastic body .
It is sectional drawing.

【図4】図4は、リード付き電子部品の概略図で、
(a)は外観斜視図を、(b)は 拡大断面図を示してい
る。
FIG. 4 is a schematic view of an electronic component with a lead.
(A) is an external perspective view, and (b) is an enlarged sectional view.
You.

【図5】図5は、CSP(Chip Size Pack
age)の概略図で、(a)は外観斜視図を、(b)は
拡大断面図を示している。
FIG. 5 is a CSP (Chip Size Pack);
(a) is an outline perspective view, and (b) is a schematic view of FIG.
FIG. 3 shows an enlarged sectional view.

【図6】図6は、従来のボール搭載治具における要部の
拡大断面図である。
FIG. 6 is a view showing a main part of a conventional ball mounting jig.
It is an expanded sectional view.

【図7】図7は、反ったCSP対するボール搭載治具の
側断面図で、は従来のボール搭載治具の側断面図を示し
ている。
FIG. 7 is a view showing a ball mounting jig for a warped CSP .
In the side sectional view, shows the side sectional view of the conventional ball mounting jig.
ing.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 電子部品 1a 半導体チップ 1b CSP (Chip Size Package) 2 リード 2a 金ワイヤー 3 導電性ボール 4 配線基板 10 ボール搭載治具 10a 治具本体 11 搭載部 12 吸着孔 13 突起部 14 ボール保持面 15 弾性体 16 剛体 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Electronic component 1a Semiconductor chip 1b CSP (Chip Size Package) 2 Lead 2a Gold wire 3 Conductive ball 4 Wiring board 10 Ball mounting jig 10a Jig main body 11 Mounting part 12 Suction hole 13 Projection part 14 Ball holding surface 15 Elastic body 16 Rigid body

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 導電性ボールを配線基板、半導体チップ
その他の電子部品に搭載するボール搭載治具において、 前記電子部品の搭載面の曲面に近似した段状のボール保
持面を有する治具本体と、 前記電子部品の導電性ボール搭載位置に対応して、前記
ボール保持面にあけられた吸着孔とを具備したことを特
徴とするボール搭載治具。
1. A ball mounting jig for mounting a conductive ball on a wiring board, a semiconductor chip and other electronic components, comprising: a jig main body having a stepped ball holding surface approximating a curved surface of a mounting surface of the electronic component; Corresponding to the conductive ball mounting position of the electronic component,
A ball mounting jig comprising: a suction hole formed in a ball holding surface .
【請求項2】 前記治具本体が、ボール保持面を形成す
る弾性体と、この弾性体の裏面に取り付けられた剛体と
からなることを特徴とする請求項1記載のボール搭載治
具。
2. The ball mounting jig according to claim 1 , wherein said jig body comprises an elastic body forming a ball holding surface and a rigid body attached to a back surface of said elastic body.
【請求項3】 導電性ボールを配線基板、半導体チップ
その他の電子部品に搭載する方法であって、 前記請求項1又は2記載のボール搭載治具を用いて前記
導電性ボールを保持し、 前記導電性ボールが前記電子部品に接触した状態で、吸
着孔またはノズルにおける吸着を解除することを特徴と
するボール搭載方法。
3. A method for mounting a conductive ball on a wiring board, a semiconductor chip, or another electronic component, comprising: holding the conductive ball by using the ball mounting jig according to claim 1 ; A ball mounting method, wherein the suction in the suction hole or the nozzle is released while the conductive ball is in contact with the electronic component.
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