JP2996033B2 - クリーンストッカ - Google Patents
クリーンストッカInfo
- Publication number
- JP2996033B2 JP2996033B2 JP4336459A JP33645992A JP2996033B2 JP 2996033 B2 JP2996033 B2 JP 2996033B2 JP 4336459 A JP4336459 A JP 4336459A JP 33645992 A JP33645992 A JP 33645992A JP 2996033 B2 JP2996033 B2 JP 2996033B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- clean
- blower
- power supply
- stocker
- gas
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Ventilation (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、例えば半導体製造分野
でシリコンウェーハなどを収納するクリーンストッカに
関する。
でシリコンウェーハなどを収納するクリーンストッカに
関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体の製造プロセスでは、シリコンウ
ェーハを次工程に移送するまでの間に一時的に清浄空間
内で保管するためにクリーンストッカが使われている。
このクリーンストッカは、前面扉付きの筐体内に画成し
た物品収納庫の庫内に高性能フィルタを通じてクリーン
エアを供給する送風機，およびクリーンガス源に接続し
て筐体内に引き込み配管したバックアップ用のガス供給
導管を備えて構成されたものであり、次に従来における
クリーンストッカの構成，およびその運転制御回路を図
４（ａ),（ｂ）に示す。
ェーハを次工程に移送するまでの間に一時的に清浄空間
内で保管するためにクリーンストッカが使われている。
このクリーンストッカは、前面扉付きの筐体内に画成し
た物品収納庫の庫内に高性能フィルタを通じてクリーン
エアを供給する送風機，およびクリーンガス源に接続し
て筐体内に引き込み配管したバックアップ用のガス供給
導管を備えて構成されたものであり、次に従来における
クリーンストッカの構成，およびその運転制御回路を図
４（ａ),（ｂ）に示す。
【０００３】まず図４（ａ）において、１はクリーンス
トッカの筐体、２は前面扉、３は筐体１の内部に画成し
た物品収納庫、４は収納棚、５は物品収納庫３の背後に
配備した高性能フィルタ、６は高性能フィルタ５に通じ
る風胴内に設置した送風機、７は筐体１の空気吸込口に
備えたプレフィルタ、８は外部のクリーンガス源（窒素
ガス）９に接続して筐体内部に引き込み配管したガス供
給管、１０はガス供給管９の開閉コック（手動式）、１
１は運転制御用の操作パネルである。
トッカの筐体、２は前面扉、３は筐体１の内部に画成し
た物品収納庫、４は収納棚、５は物品収納庫３の背後に
配備した高性能フィルタ、６は高性能フィルタ５に通じ
る風胴内に設置した送風機、７は筐体１の空気吸込口に
備えたプレフィルタ、８は外部のクリーンガス源（窒素
ガス）９に接続して筐体内部に引き込み配管したガス供
給管、１０はガス供給管９の開閉コック（手動式）、１
１は運転制御用の操作パネルである。
【０００４】かかる構成で、シリコンウェーハなどの物
品１２は物品収納庫３の棚４に並べて保管される。そし
て、通常の使用時には前面扉２を開放状態のまま送風機
６を運転し、プレフィルタ７を通じて周囲より吸い込ん
だエアを高性能フィルタ５を経て清浄化した上で物品収
納庫３の庫内に供給し、庫内を清浄空間に維持するよう
にしている。なお、クリーンストッカ内に通風するクリ
ーンエアの流れを矢印で表す。一方、定期点検などで所
内電源を予告停電させる場合には、事前に筐体１の前面
扉２を閉じた上でガス供給管９の開閉コック１０を開
き、ストッカ内にクリーンガスを加圧導入して送風機６
の停止中に外部からの塵埃侵入を防ぐようにしている。
品１２は物品収納庫３の棚４に並べて保管される。そし
て、通常の使用時には前面扉２を開放状態のまま送風機
６を運転し、プレフィルタ７を通じて周囲より吸い込ん
だエアを高性能フィルタ５を経て清浄化した上で物品収
納庫３の庫内に供給し、庫内を清浄空間に維持するよう
にしている。なお、クリーンストッカ内に通風するクリ
ーンエアの流れを矢印で表す。一方、定期点検などで所
内電源を予告停電させる場合には、事前に筐体１の前面
扉２を閉じた上でガス供給管９の開閉コック１０を開
き、ストッカ内にクリーンガスを加圧導入して送風機６
の停止中に外部からの塵埃侵入を防ぐようにしている。
【０００５】また、図４（ｂ）は前記送風機６に対する
運転制御回路であり、図において、FMは送風機のファン
モータ、HCCBは所内電源に接続した回路遮断器、MCは電
磁接触器、THはサーマルリレー、SWは投入, 釈放用の押
しボタンスイッチである。
運転制御回路であり、図において、FMは送風機のファン
モータ、HCCBは所内電源に接続した回路遮断器、MCは電
磁接触器、THはサーマルリレー、SWは投入, 釈放用の押
しボタンスイッチである。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところで、前記構成の
クリーンストッカでは、電源故障などが原因で予告なし
に停電が発生した場合には送風機６が停止するために、
クリーンストッカの庫内に周囲から塵埃を含む汚染空気
が侵入して保管中の物品１２をパーティクル汚染する。
なお、このような不測の停電が発生した場合には、保守
員がクリーンストッカの前面扉２を閉じて開閉コック１
０を開き、庫内にクリーンガスを導入する緊急処置を行
うようにしているが、停電発生時点からクリーンガス供
給を開始するまでに僅かな時間でもクリーンエアの無通
風状態があると、この間に周囲から庫内に汚染空気が侵
入してパーティクル汚染の発生するおそれがある。
クリーンストッカでは、電源故障などが原因で予告なし
に停電が発生した場合には送風機６が停止するために、
クリーンストッカの庫内に周囲から塵埃を含む汚染空気
が侵入して保管中の物品１２をパーティクル汚染する。
なお、このような不測の停電が発生した場合には、保守
員がクリーンストッカの前面扉２を閉じて開閉コック１
０を開き、庫内にクリーンガスを導入する緊急処置を行
うようにしているが、停電発生時点からクリーンガス供
給を開始するまでに僅かな時間でもクリーンエアの無通
風状態があると、この間に周囲から庫内に汚染空気が侵
入してパーティクル汚染の発生するおそれがある。
【０００７】本発明は上記の点にかんがみなされたもの
であり、その目的は前記課題を解決し、不測に停電が発
生した場合でもクリーンストッカの庫内をクリーン雰囲
気に継続維持できるような停電対策機能を備えたクリー
ンストッカを提供することにある。
であり、その目的は前記課題を解決し、不測に停電が発
生した場合でもクリーンストッカの庫内をクリーン雰囲
気に継続維持できるような停電対策機能を備えたクリー
ンストッカを提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明のクリーンストッカにおいては、物品を収納
する庫内空間を清浄状態に維持するクリーンストッカで
あり、前面扉付きの筐体内に画成した物品収納庫に向け
高性能フィルタを通じてクリーンエアを供給する送風
機，およびクリーンガス源に接続して筐体内に引き込み
配管したバックアップ用のガス供給管を備え、不測の停
電発生時に前記送風機の電源をバッテリに切替えて給電
を継続する非常用電源装置を備えたクリーンストッカに
おいて、停電発生時に非常用電源装置からの給電を受け
て自動的に前面扉を閉じる扉閉塞手段と、弁を開いて庫
内へのクリーンガス供給を開始するガス供給管の電磁弁
と、クリーンガス供給開始後に送風機の運転を停止する
制御手段を備えたものとする。
に、本発明のクリーンストッカにおいては、物品を収納
する庫内空間を清浄状態に維持するクリーンストッカで
あり、前面扉付きの筐体内に画成した物品収納庫に向け
高性能フィルタを通じてクリーンエアを供給する送風
機，およびクリーンガス源に接続して筐体内に引き込み
配管したバックアップ用のガス供給管を備え、不測の停
電発生時に前記送風機の電源をバッテリに切替えて給電
を継続する非常用電源装置を備えたクリーンストッカに
おいて、停電発生時に非常用電源装置からの給電を受け
て自動的に前面扉を閉じる扉閉塞手段と、弁を開いて庫
内へのクリーンガス供給を開始するガス供給管の電磁弁
と、クリーンガス供給開始後に送風機の運転を停止する
制御手段を備えたものとする。
【０００９】
【作用】上記の構成で、所内電源からの給電を受けて送
風機を運転し、物品収納庫内にクリーンエアを送風して
いる定常運転状態で不測に停電が発生すると、電源喪失
を検知して非常用電源装置が瞬時に動作して電源をバッ
テリに切り替え、送風機を継続運転して庫内にクリーン
エアを供給する。なお、バッテリは少なくとも数分間は
送風機を連続運転できるような容量のものを使用する。
そして、停電発生するとバッテリを非常電源として物品
収納庫の前面を閉塞するように開放していた前面扉を閉
位置に駆動するとともに、ガス供給管の電磁弁を開放し
て庫内にクリーンガスを供給開始する。さらにクリーン
ガス供給開始から一定時間が経過した後に送風機の運転
を自動停止する。これにより、保守員の手を煩わすこと
なく必要な緊急措置を自動的に実行することができる。
なお、扉閉塞手段としては、モータ駆動方式，あるいは
エアシリンダ，付勢バネなどを駆動源とする各種駆動方
式で対応できる。
風機を運転し、物品収納庫内にクリーンエアを送風して
いる定常運転状態で不測に停電が発生すると、電源喪失
を検知して非常用電源装置が瞬時に動作して電源をバッ
テリに切り替え、送風機を継続運転して庫内にクリーン
エアを供給する。なお、バッテリは少なくとも数分間は
送風機を連続運転できるような容量のものを使用する。
そして、停電発生するとバッテリを非常電源として物品
収納庫の前面を閉塞するように開放していた前面扉を閉
位置に駆動するとともに、ガス供給管の電磁弁を開放し
て庫内にクリーンガスを供給開始する。さらにクリーン
ガス供給開始から一定時間が経過した後に送風機の運転
を自動停止する。これにより、保守員の手を煩わすこと
なく必要な緊急措置を自動的に実行することができる。
なお、扉閉塞手段としては、モータ駆動方式，あるいは
エアシリンダ，付勢バネなどを駆動源とする各種駆動方
式で対応できる。
【００１０】
【実施例】以下、本発明の参考例ならびに実施例を図面
に基づいて詳細に説明する。なお、図中で図４に対応す
る同一部材には同じ符号が付してある。 参考例： 図１（ａ),（ｂ）は本発明の参考例を示すものであり、
クリーンストッカには不測な停電の発生時に送風機６を
継続運転させる無停電方式の非常電源装置１3が新たに
追加装備されている。この非常電源装置１３は（ｂ）図
で示すようにバッテリ１４と組み合わせて回路遮断器MC
CBと電磁接触器MCとの間の電源回路に接続されており、
さらに該非常電源装置１３には停電発生と同時に警報を
発するアラーム手段として警報ランプ１５，ブザー１６
などが外部接続されている。
に基づいて詳細に説明する。なお、図中で図４に対応す
る同一部材には同じ符号が付してある。 参考例： 図１（ａ),（ｂ）は本発明の参考例を示すものであり、
クリーンストッカには不測な停電の発生時に送風機６を
継続運転させる無停電方式の非常電源装置１3が新たに
追加装備されている。この非常電源装置１３は（ｂ）図
で示すようにバッテリ１４と組み合わせて回路遮断器MC
CBと電磁接触器MCとの間の電源回路に接続されており、
さらに該非常電源装置１３には停電発生と同時に警報を
発するアラーム手段として警報ランプ１５，ブザー１６
などが外部接続されている。
【００１１】かかる構成において、クリーンストッカの
定常運転中に不測に停電が発生して所内電源が喪失する
と、非常電源装置１３は停電発生を検知してバッテリ１
４を瞬時に送風機６の駆動モータMFの電源回路に投入す
る。これにより、送風機６はバッテリ１４からの給電を
受けて中断なく継続運転するとともに、同時に警報ラン
プ１５，ブザー１６が作動して警報を発する。
定常運転中に不測に停電が発生して所内電源が喪失する
と、非常電源装置１３は停電発生を検知してバッテリ１
４を瞬時に送風機６の駆動モータMFの電源回路に投入す
る。これにより、送風機６はバッテリ１４からの給電を
受けて中断なく継続運転するとともに、同時に警報ラン
プ１５，ブザー１６が作動して警報を発する。
【００１２】一方、この警報を受けた保守員はクリーン
ストッカの設置場所に急行してクリーンストッカの前面
扉２を閉じ、さらにガス供給管８の開閉コック１０を開
いてクリーンガス源（窒素ガス）９からクリーンストッ
カ内にクリーンガスを加圧供給するとともに、その後に
押しボタンスイッチSW (切) を押して送風機６の運転を
停止する緊急措置を行う。
ストッカの設置場所に急行してクリーンストッカの前面
扉２を閉じ、さらにガス供給管８の開閉コック１０を開
いてクリーンガス源（窒素ガス）９からクリーンストッ
カ内にクリーンガスを加圧供給するとともに、その後に
押しボタンスイッチSW (切) を押して送風機６の運転を
停止する緊急措置を行う。
【００１３】これにより、クリーンストッカに対して送
風機６の運転によるクリーンエア供給からクリーンガス
供給への移行が中断なく継続して行われので、物品収納
庫３の庫内雰囲気が常にクリーン状態に維持される。 実施例： 次に、本発明の実施例を図２，図３（ａ),（ｂ）に示
す。この実施例においては、前記参考例と比べて次記の
点で異なる。すなわち、クリーンストッカに引き込み配
管したガス供給管８には手動式の開閉コックに代えて電
磁弁１７が接続されており、さらにストッカの前面扉２
が図３で表すようなバネ付勢式の自動閉塞扉として構成
されている。
風機６の運転によるクリーンエア供給からクリーンガス
供給への移行が中断なく継続して行われので、物品収納
庫３の庫内雰囲気が常にクリーン状態に維持される。 実施例： 次に、本発明の実施例を図２，図３（ａ),（ｂ）に示
す。この実施例においては、前記参考例と比べて次記の
点で異なる。すなわち、クリーンストッカに引き込み配
管したガス供給管８には手動式の開閉コックに代えて電
磁弁１７が接続されており、さらにストッカの前面扉２
が図３で表すようなバネ付勢式の自動閉塞扉として構成
されている。
【００１４】ここで、図３における前面扉２は各棚段ご
とに左右２枚に分割されたスライド式扉としてなり、引
張りバネ１８により常時閉じる方向に付勢されていると
ともに、通常は釈放ソレノイド１９と連動するストッパ
２０により開放位置に拘束保持されている。なお、前面
扉２の閉塞手段としては、図示例のバネ付勢方式のほか
に、モータ，エアシリンダによる駆動方式を採用するこ
ともできる。また、図２に示した運転制御回路には、前
記の電磁弁１７，および釈放ソレノイド１９に対応する
動作コイル１７ａ，１９ａがファンモータFMを停止制御
する補助リレーRyとともに非常用電源装置１３に外部接
続されている。
とに左右２枚に分割されたスライド式扉としてなり、引
張りバネ１８により常時閉じる方向に付勢されていると
ともに、通常は釈放ソレノイド１９と連動するストッパ
２０により開放位置に拘束保持されている。なお、前面
扉２の閉塞手段としては、図示例のバネ付勢方式のほか
に、モータ，エアシリンダによる駆動方式を採用するこ
ともできる。また、図２に示した運転制御回路には、前
記の電磁弁１７，および釈放ソレノイド１９に対応する
動作コイル１７ａ，１９ａがファンモータFMを停止制御
する補助リレーRyとともに非常用電源装置１３に外部接
続されている。
【００１５】かかる構成のクリーンストッカにおいて、
定常運転中に不測に停電が発生すると、参考例で述べた
と同様に非常用電源装置１３が瞬時に動作し、ファンモ
ータFMの電源をバッテリ１４に切り替えて送風機６を中
断なく継続運転するとともに、同時にバッテリ１４から
給電を受けて前記の動作コイル１７ａ，１９ａ, および
補助リレー（タイマ）Ryが励磁される。これにより、い
ままで閉じていたガス供給管８の電磁弁１７が開いてク
リーンガス源９からクリーンガスをクリーンストッカに
供給開始するとともに、図３における釈放ソレノイド１
９がストッパ２０を釈放してバネ１８の付勢により前面
扉２を閉じて物品収納庫３の前面を閉塞する。そして一
定時間後には補助リレーRyが限時動作して電磁接触器MC
をトリップし、送風機６のファンモータFMを運転停止す
る。これにより、クリーンストッカの物品収納庫３は、
送風機６によるクリーンエアの庫内送風状態からクリー
ンガスによりパージされた状態に切り替わり、以降はク
リーンガスの連続した加圧供給により清浄雰囲気に維持
される。したがってこの実施例によれば、保守員が現場
に不在の場合にも自動的に対応できる。
定常運転中に不測に停電が発生すると、参考例で述べた
と同様に非常用電源装置１３が瞬時に動作し、ファンモ
ータFMの電源をバッテリ１４に切り替えて送風機６を中
断なく継続運転するとともに、同時にバッテリ１４から
給電を受けて前記の動作コイル１７ａ，１９ａ, および
補助リレー（タイマ）Ryが励磁される。これにより、い
ままで閉じていたガス供給管８の電磁弁１７が開いてク
リーンガス源９からクリーンガスをクリーンストッカに
供給開始するとともに、図３における釈放ソレノイド１
９がストッパ２０を釈放してバネ１８の付勢により前面
扉２を閉じて物品収納庫３の前面を閉塞する。そして一
定時間後には補助リレーRyが限時動作して電磁接触器MC
をトリップし、送風機６のファンモータFMを運転停止す
る。これにより、クリーンストッカの物品収納庫３は、
送風機６によるクリーンエアの庫内送風状態からクリー
ンガスによりパージされた状態に切り替わり、以降はク
リーンガスの連続した加圧供給により清浄雰囲気に維持
される。したがってこの実施例によれば、保守員が現場
に不在の場合にも自動的に対応できる。
【００１６】
【発明の効果】以上述べたように本発明の構成によれ
ば、次記の効果を奏する。クリーンストッカの定常運転
中に不測に停電が発生した場合でも、瞬時に非常用電源
装置が動作して送風機を無停電方式で継続運転し、物品
収納庫内にクリーンエアを中断なく送風し続けて庫内雰
囲気をクリーンな状態に維持し、庫内に保管したシリコ
ンウェーハなどの物品をパーティクル汚染から防護する
ことができる。さらに、本発明の構成によれば、上記の
効果に加えて、保守員が現場に不在な状況にあっても、
停電発生と同時に送風機によるクリーンエア供給からク
リーンガス供給への切替えに必要な一連の作業を自動的
に実行することができ、保守管理に対する信頼性がより
一層向上する。
ば、次記の効果を奏する。クリーンストッカの定常運転
中に不測に停電が発生した場合でも、瞬時に非常用電源
装置が動作して送風機を無停電方式で継続運転し、物品
収納庫内にクリーンエアを中断なく送風し続けて庫内雰
囲気をクリーンな状態に維持し、庫内に保管したシリコ
ンウェーハなどの物品をパーティクル汚染から防護する
ことができる。さらに、本発明の構成によれば、上記の
効果に加えて、保守員が現場に不在な状況にあっても、
停電発生と同時に送風機によるクリーンエア供給からク
リーンガス供給への切替えに必要な一連の作業を自動的
に実行することができ、保守管理に対する信頼性がより
一層向上する。
【図１】本発明の参考例に対応する構成図であり、
（ａ）はクリーンストッカの構成断面図、（ｂ）はその
運転制御回路図
（ａ）はクリーンストッカの構成断面図、（ｂ）はその
運転制御回路図
【図２】本発明の実施例に対応するクリーンストッカの
運転制御回路図
運転制御回路図
【図３】本発明の実施例に採用した自動閉塞式前面扉の
構成図であり、（ａ）は扉閉塞機構を表した平面図、
（ｂ）はクリーンストッカ全体の正面図
構成図であり、（ａ）は扉閉塞機構を表した平面図、
（ｂ）はクリーンストッカ全体の正面図
【図４】従来におけるクリーンストッカの構成図であ
り、（ａ）はクリーンストッカの構成断面図、（ｂ）は
（ａ）図における送風機の運転制御回路図
り、（ａ）はクリーンストッカの構成断面図、（ｂ）は
（ａ）図における送風機の運転制御回路図
１ クリーンストッカの筐体 ２ 前面扉 ３ 物品収納庫 ５ 高性能フィルタ ６ 送風機 ８ ガス供給管 ９ クリーンガス源 １０ 開閉コック １２ 物品 １３ 非常用電源装置 １４ バッテリ １５ 警報ランプ １６ 警報ブザー １７ 電磁弁 １８ 扉の付勢バネ １９ 釈放ソレノイド ２０ ストッパ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) B65G 1/00 - 1/20 F24F 7/06
Claims (1)
- 【請求項１】物品を収納する庫内空間を清浄状態に維持
するクリーンストッカであり、前面扉付きの筐体内に画
成した物品収納庫に向け高性能フィルタを通じてクリー
ンエアを供給する送風機，およびクリーンガス源に接続
して筐体内に引き込み配管したバックアップ用のガス供
給管を備え、不測の停電発生時に前記送風機の電源をバ
ッテリに切替えて給電を継続する非常用電源装置を備え
たクリーンストッカにおいて、停電発生時に非常用電源
装置からの給電を受けて自動的に前面扉を閉じる扉閉塞
手段と、弁を開いて庫内へのクリーンガス供給を開始す
るガス供給管の電磁弁と、クリーンガス供給開始後に送
風機の運転を停止する制御手段を備えたことを特徴とす
るクリーンストッカ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4336459A JP2996033B2 (ja) | 1992-12-17 | 1992-12-17 | クリーンストッカ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4336459A JP2996033B2 (ja) | 1992-12-17 | 1992-12-17 | クリーンストッカ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06183511A JPH06183511A (ja) | 1994-07-05 |
| JP2996033B2 true JP2996033B2 (ja) | 1999-12-27 |
Family
ID=18299357
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4336459A Expired - Fee Related JP2996033B2 (ja) | 1992-12-17 | 1992-12-17 | クリーンストッカ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2996033B2 (ja) |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN102575858B (zh) | 2009-08-16 | 2015-02-04 | G-Con制造有限公司 | 组件式自足可移动的净化房 |
| US9795957B2 (en) | 2009-08-16 | 2017-10-24 | G-Con Manufacturing, Inc. | Modular, self-contained, mobile clean room |
| JP5716968B2 (ja) * | 2012-01-04 | 2015-05-13 | 株式会社ダイフク | 物品保管設備 |
| DK3058147T3 (da) | 2013-10-14 | 2023-01-30 | G Con Mfg Inc | Forbindelsesenhed til at forbinde modulære mobile rum og tilsvarende fremgangsmåde til forbindelse |
| JP6427269B2 (ja) | 2014-07-11 | 2018-11-21 | ジー−コン マニュファクチャリング インク． | クリーンルーム、隔離若しくは閉じ込めキュービクル、ポッド、又はモジュールにユーティリティを供給するモジュール式部分 |
| BR112022002854B1 (pt) | 2019-08-15 | 2023-01-31 | G-Con Manufacturing, Inc | Aparelho de construção modular para fabricação de sala limpa farmacêutica e método de montar um aparelho de sala limpa modular para fabricação de sala limpa farmacêutica |
| US11492795B2 (en) | 2020-08-31 | 2022-11-08 | G-Con Manufacturing, Inc. | Ballroom-style cleanroom assembled from modular buildings |
| WO2024236651A1 (ja) * | 2023-05-12 | 2024-11-21 | 株式会社Fuji | 自動倉庫 |
-
1992
- 1992-12-17 JP JP4336459A patent/JP2996033B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH06183511A (ja) | 1994-07-05 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2996033B2 (ja) | クリーンストッカ | |
| US8425172B2 (en) | Reticle manipulation device | |
| JP2005533381A (ja) | 半導体基板のダメージ保護システム | |
| JPH08280106A (ja) | 配電盤の冷却装置 | |
| JPH08205330A (ja) | 配電盤の冷却装置 | |
| JP2021191980A (ja) | ヒートポンプ装置 | |
| JP3866840B2 (ja) | 不活性ガス供給設備 | |
| JP3005307B2 (ja) | 低温庫の警報装置 | |
| JP2012057192A (ja) | 逆流防止システム及び該逆流防止システムを備えた真空ポンプ | |
| JPH06206605A (ja) | 半導体ウエハなどの保管庫及び保管方法 | |
| WO2023021882A1 (ja) | 空気調和装置 | |
| KR100461845B1 (ko) | 액체운송장치의 안정성 확보 시스템 | |
| JPH04181253A (ja) | クリーンストッカ | |
| JPH0250036A (ja) | 換気空調制御装置 | |
| US3812306A (en) | Switching mechanism | |
| JP2000356379A (ja) | クリーンルーム設備 | |
| JPH0719678A (ja) | 空気調和機の制御装置 | |
| JPH065557Y2 (ja) | 排煙口装置 | |
| JPH04205101A (ja) | 冷凍装置用制御回路 | |
| JPS63195500A (ja) | 空気供給装置 | |
| JPH07100452A (ja) | 工場建家の開口部からの粉塵侵入防止方法及び装置 | |
| JPH0566076A (ja) | 冷却装置 | |
| JPH0640052B2 (ja) | 環境試験装置 | |
| JPS5886335A (ja) | 換気設備の建屋内過大圧力保護装置 | |
| JPH0330781Y2 (ja) |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081029 Year of fee payment: 9 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |