JP2980225B2 - ワイヤーソー - Google Patents
ワイヤーソーInfo
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23D57/00—Sawing machines or sawing devices not covered by one of the preceding groups B23D45/00 - B23D55/00
- B23D57/003—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts
- B23D57/0053—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts of drives for saw wires; of wheel mountings; of wheels
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65H—HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
- B65H54/00—Winding, coiling, or depositing filamentary material
- B65H54/02—Winding and traversing material on to reels, bobbins, tubes, or like package cores or formers
- B65H54/28—Traversing devices; Package-shaping arrangements
- B65H54/2833—Traversing devices driven by electromagnetic means
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
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- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Winding Filamentary Materials (AREA)
- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
- Processing Of Stones Or Stones Resemblance Materials (AREA)
Description
【０００１】
【発明の利用分野】本発明はワイヤーソーに係り、特
に、円柱状の半導体インゴットを、走行するワイヤーで
多数の薄板状のウェーハに切断するワイヤーソーに関す
る。
に、円柱状の半導体インゴットを、走行するワイヤーで
多数の薄板状のウェーハに切断するワイヤーソーに関す
る。
【０００２】
【従来の技術】半導体インゴット、セラミック等の被加
工物を多数の薄板状のウェーハに切断する切断装置の一
つにワイヤーソーがある。このワイヤーソーは、ワイヤ
ーが複数の溝付きローラ間にワイヤーが巻掛けられてワ
イヤー列が形成されると共に、ワイヤーの一方端は一方
のリールに巻回され、他方端は他方のリールに巻回され
る。そして、ワイヤーが一方のリールと他方のリールと
の間を高速で往復走行する際に、前記ワイヤー列に被加
工物を押し当てると共に、ワイヤー列に砥粒を含む加工
液を供給して砥粒のラッピング作用により被加工物を多
数の薄板状のウェーハに切断するものである。
工物を多数の薄板状のウェーハに切断する切断装置の一
つにワイヤーソーがある。このワイヤーソーは、ワイヤ
ーが複数の溝付きローラ間にワイヤーが巻掛けられてワ
イヤー列が形成されると共に、ワイヤーの一方端は一方
のリールに巻回され、他方端は他方のリールに巻回され
る。そして、ワイヤーが一方のリールと他方のリールと
の間を高速で往復走行する際に、前記ワイヤー列に被加
工物を押し当てると共に、ワイヤー列に砥粒を含む加工
液を供給して砥粒のラッピング作用により被加工物を多
数の薄板状のウェーハに切断するものである。
【０００３】そして、一方のリール及び他方のリールの
近傍にそれぞれワイヤー案内装置が配設され、リールか
らワイヤーがリールの長手方向に対して略直角に繰り出
されるように案内すると共に、リールに巻き取られるワ
イヤーが所定ピッチで巻き取られるように案内する。従
来のワイヤーソーのワイヤー案内装置は、特公平５─３
４１２３に開示されているものがある。このワイヤーソ
ーのワイヤー案内装置は、夫々のリールに沿ってねじ桿
が設けられ、このねじ桿にはワイヤー案内用ガイドプー
リを備えた走行体が螺合され、ねじ桿の回動により走行
体を往復移動させると共に、このねじ桿にはリールによ
り引き出されるワイヤーの左右偏位を検知する検出手段
を設け、この検出手段によりねじ桿の回転数を制御し
て、ワイヤーがリールの長手方向に対して略直角に繰り
出されるようにしている。
近傍にそれぞれワイヤー案内装置が配設され、リールか
らワイヤーがリールの長手方向に対して略直角に繰り出
されるように案内すると共に、リールに巻き取られるワ
イヤーが所定ピッチで巻き取られるように案内する。従
来のワイヤーソーのワイヤー案内装置は、特公平５─３
４１２３に開示されているものがある。このワイヤーソ
ーのワイヤー案内装置は、夫々のリールに沿ってねじ桿
が設けられ、このねじ桿にはワイヤー案内用ガイドプー
リを備えた走行体が螺合され、ねじ桿の回動により走行
体を往復移動させると共に、このねじ桿にはリールによ
り引き出されるワイヤーの左右偏位を検知する検出手段
を設け、この検出手段によりねじ桿の回転数を制御し
て、ワイヤーがリールの長手方向に対して略直角に繰り
出されるようにしている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ワイヤーソーのワイヤー案内装置は、ワイヤーの左右偏
位を検出する検出手段を設け、リールからワイヤーを繰
り出す際にこの検出手段でワイヤーの左右偏位を検出し
て走行体の移動を制御する必要があり、複雑な機構を有
しているために誤動作等が発生し易いという欠点があっ
た。
ワイヤーソーのワイヤー案内装置は、ワイヤーの左右偏
位を検出する検出手段を設け、リールからワイヤーを繰
り出す際にこの検出手段でワイヤーの左右偏位を検出し
て走行体の移動を制御する必要があり、複雑な機構を有
しているために誤動作等が発生し易いという欠点があっ
た。
【０００５】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たもので、ワイヤーの左右偏位を検知する検知手段を必
要とせずに正しくワイヤーを繰り出すことができ、機構
が簡単なため誤動作が発生しにくいと共に、省エネにも
なるワイヤーソーを提供することを目的とする。
たもので、ワイヤーの左右偏位を検知する検知手段を必
要とせずに正しくワイヤーを繰り出すことができ、機構
が簡単なため誤動作が発生しにくいと共に、省エネにも
なるワイヤーソーを提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決する為の手段】本発明は、前記目的を達成
するために、ワイヤーが巻回された一対のリールをモー
タで回転させることによりワイヤーを走行させ、その走
行するワイヤーを複数個の溝付ローラに巻きかけてワイ
ヤ列を形成し、該ワイヤ列に被加工物を押し当てること
により、該被加工物を多数の薄板状のウェーハに切断す
るワイヤーソーにおいて、前記一対のリールの軸がそれ
ぞれ上下方向に配置されることを特徴とするワイヤーソ
ー。
するために、ワイヤーが巻回された一対のリールをモー
タで回転させることによりワイヤーを走行させ、その走
行するワイヤーを複数個の溝付ローラに巻きかけてワイ
ヤ列を形成し、該ワイヤ列に被加工物を押し当てること
により、該被加工物を多数の薄板状のウェーハに切断す
るワイヤーソーにおいて、前記一対のリールの軸がそれ
ぞれ上下方向に配置されることを特徴とするワイヤーソ
ー。
【０００７】
【作用】本発明によれば、一対のリールの軸がそれぞれ
上下方向に配置される。
上下方向に配置される。
【０００８】
【実施例】以下添付図面に従って本発明に係るワイヤー
ソーの好ましい実施例について詳説する。図１は、本発
明に係るワイヤーソーの全体構成図である。図１に示す
ように、一方のリール１２に巻回されたワイヤー１４
は、ワイヤー案内装置１６、複数のガイドローラ１８、
１８、ダンサローラ２０を経由して３本の溝付きローラ
２２、２２、２２に順次巻き掛けられてワイヤー列２４
を形成した後、複数のガイドローラ１８、１８、ダンサ
ローラ２０、ワイヤー案内装置１６を経て他方のリール
２６に巻き取られるワイヤー走行路を形成する。
ソーの好ましい実施例について詳説する。図１は、本発
明に係るワイヤーソーの全体構成図である。図１に示す
ように、一方のリール１２に巻回されたワイヤー１４
は、ワイヤー案内装置１６、複数のガイドローラ１８、
１８、ダンサローラ２０を経由して３本の溝付きローラ
２２、２２、２２に順次巻き掛けられてワイヤー列２４
を形成した後、複数のガイドローラ１８、１８、ダンサ
ローラ２０、ワイヤー案内装置１６を経て他方のリール
２６に巻き取られるワイヤー走行路を形成する。
【０００９】また、夫々のリール１２、２６は、下部同
軸上に配置された正逆回転可能な駆動モータ２８、３０
に連結されると共に、３本のうちの１本の溝付きローラ
２２は正逆回転可能な駆動モータ３２に連結される。こ
れにより、一方のリール１２から繰り出されたワイヤー
１４は、図中実線矢印３４方向に高速走行（６００ｍ／
分以上）しながら他方のリール２６に巻き取られる。ま
た、他方のリール２６に巻き取られたワイヤー１４は図
中破線矢印３６方向に逆走行して一方のリール１２に巻
き取られる。即ち、ワイヤー１４は一方のリール１２と
他方のリール２６の間を往復走行する。
軸上に配置された正逆回転可能な駆動モータ２８、３０
に連結されると共に、３本のうちの１本の溝付きローラ
２２は正逆回転可能な駆動モータ３２に連結される。こ
れにより、一方のリール１２から繰り出されたワイヤー
１４は、図中実線矢印３４方向に高速走行（６００ｍ／
分以上）しながら他方のリール２６に巻き取られる。ま
た、他方のリール２６に巻き取られたワイヤー１４は図
中破線矢印３６方向に逆走行して一方のリール１２に巻
き取られる。即ち、ワイヤー１４は一方のリール１２と
他方のリール２６の間を往復走行する。
【００１０】また、ワイヤー列２４には、砥液貯留タン
ク３８に貯留された砥粒（通常、ＧＣ♯６００〜♯１０
００程度のものが使用される）を含む加工液４０が砥液
供給ノズル４２から供給される。２本の砥液供給ノズル
４２を設けた理由は、ワイヤー１４の往復走行に対応さ
せるためである。また、ダンサロール２０には、所定重
量の錘４４が吊設され、錘４４の荷重によりワイヤー走
行路を走行するワイヤー１４に常に所要の張力が付与さ
れる。また、ワイヤー走行路の途中にはワイヤー洗浄槽
４６が設けられ、ワイヤーに付着した加工液４０をワイ
ヤー１４から除去する。
ク３８に貯留された砥粒（通常、ＧＣ♯６００〜♯１０
００程度のものが使用される）を含む加工液４０が砥液
供給ノズル４２から供給される。２本の砥液供給ノズル
４２を設けた理由は、ワイヤー１４の往復走行に対応さ
せるためである。また、ダンサロール２０には、所定重
量の錘４４が吊設され、錘４４の荷重によりワイヤー走
行路を走行するワイヤー１４に常に所要の張力が付与さ
れる。また、ワイヤー走行路の途中にはワイヤー洗浄槽
４６が設けられ、ワイヤーに付着した加工液４０をワイ
ヤー１４から除去する。
【００１１】また、前記ワイヤー列２４の下方には、ワ
ーク送りテーブル４８が設けられ、このワーク送りテー
ブル４８はモータ５０で回動するネジ桿５２により切断
送り方向（図中Ｙ−Ｙ方向）に移動可能に設けられると
共に、ワーク送りテーブル４８のワイヤー列２４側に
は、被加工物である半導体インゴット５４がワークブロ
ック５６とスライスベース５８を介して支持される。こ
れにより、ワーク送りテーブル４８を切断送り方向（ワ
イヤー列２４側）に移動させると、半導体インゴット５
４は高速走行するワイヤー列２４に押し当てられ、ワイ
ヤー列２４に供給される加工液４０の砥粒によるラッピ
ング作用により半導体インゴット５４を多数の薄板状の
ウェーハに切断する。
ーク送りテーブル４８が設けられ、このワーク送りテー
ブル４８はモータ５０で回動するネジ桿５２により切断
送り方向（図中Ｙ−Ｙ方向）に移動可能に設けられると
共に、ワーク送りテーブル４８のワイヤー列２４側に
は、被加工物である半導体インゴット５４がワークブロ
ック５６とスライスベース５８を介して支持される。こ
れにより、ワーク送りテーブル４８を切断送り方向（ワ
イヤー列２４側）に移動させると、半導体インゴット５
４は高速走行するワイヤー列２４に押し当てられ、ワイ
ヤー列２４に供給される加工液４０の砥粒によるラッピ
ング作用により半導体インゴット５４を多数の薄板状の
ウェーハに切断する。
【００１２】次に、図２に従って、前記ワイヤー案内装
置１６の第１の構成について説明する。ワイヤー案内装
置１６は、上記したワイヤーソー１０において、一方の
リール１２と他方のリール２６の近傍に夫々設けられ、
ワイヤー１４の繰り出し時には、ワイヤー１４がリール
１２、２６の長手方向に対して略直角に繰り出されるよ
うに案内すると共に、ワイヤー１４の巻取り時には、ワ
イヤー１４がリール１２、２６に所定ピッチで巻き取ら
れるように案内するものである。尚、リール１２側とリ
ール２６側に配設されるワイヤー案内装置１６は同一の
構造である為、リール２６側のワイヤー案内装置１６で
以下に説明する。
置１６の第１の構成について説明する。ワイヤー案内装
置１６は、上記したワイヤーソー１０において、一方の
リール１２と他方のリール２６の近傍に夫々設けられ、
ワイヤー１４の繰り出し時には、ワイヤー１４がリール
１２、２６の長手方向に対して略直角に繰り出されるよ
うに案内すると共に、ワイヤー１４の巻取り時には、ワ
イヤー１４がリール１２、２６に所定ピッチで巻き取ら
れるように案内するものである。尚、リール１２側とリ
ール２６側に配設されるワイヤー案内装置１６は同一の
構造である為、リール２６側のワイヤー案内装置１６で
以下に説明する。
【００１３】ワイヤー案内装置１６はリール２６の長手
方向に平行に、リニアモータスケール６０及び一対のレ
ール６２、６２が配設される。また、レール６２上には
リニアモータスライダ６４が設けられ、このリニアモー
タスライダ６４は、リニアモータスケール６０を駆動
（ＯＮ）するとリニアモータ機構によりレール６２に沿
ってスライドすると共に、駆動を解除（ＯＦＦ）すると
スライド自在な状態に維持される。また、リニアモータ
スケール６０をＯＮにした時の、リニアモータスライダ
６４のスライド区間は、レール６２に沿って配設された
一対のリミットスイッチ６６、６６で規制され、リニア
モータスライダ６４がリミットスイッチ６６に当接する
と、リニアモータスライダ６４のスライド方向が切り換
えられる。また、リニアモータスライダ６４には、ワイ
ヤー１４を支持してリニアモータスライダ６４のスライ
ドに応じてワイヤー１４を案内するガイドローラ６８
と、リール１２、２６から延びたワイヤー１４の方向を
レール６２に沿って方向転換させる転換ローラ７０が設
けられ、ワイヤー１４の張力が転換ロール７０で方向転
換されることによりリニアモータスライダ６４には図中
Ａ方向のスライド力Ｆ1が与えられる。また、リニアモ
ータスライダ６４はロープ７１を介して定力発生器７２
に連繋され、リニアモータスライダ６４には定力発生器
７２により、前記スライド力Ｆ1 の反対向でスライド力
Ｆ1 と同じ大きさの付勢力Ｆ2 が与えられる。定力発生
器７２としては、スプリング方式やリニアモータスライ
ダ６４に連繋したロープ７１をプーリ（図示せず）で方
向転換してロープ７１の先端に錘（図示せず）を吊設す
るウエイト方式等を使用することができる。これによ
り、リニアモータスケール６０がＯＦＦの状態では、リ
ニアモータスライダ６４はスライド力Ｆ1 と付勢力Ｆ2
でバランスされる。
方向に平行に、リニアモータスケール６０及び一対のレ
ール６２、６２が配設される。また、レール６２上には
リニアモータスライダ６４が設けられ、このリニアモー
タスライダ６４は、リニアモータスケール６０を駆動
（ＯＮ）するとリニアモータ機構によりレール６２に沿
ってスライドすると共に、駆動を解除（ＯＦＦ）すると
スライド自在な状態に維持される。また、リニアモータ
スケール６０をＯＮにした時の、リニアモータスライダ
６４のスライド区間は、レール６２に沿って配設された
一対のリミットスイッチ６６、６６で規制され、リニア
モータスライダ６４がリミットスイッチ６６に当接する
と、リニアモータスライダ６４のスライド方向が切り換
えられる。また、リニアモータスライダ６４には、ワイ
ヤー１４を支持してリニアモータスライダ６４のスライ
ドに応じてワイヤー１４を案内するガイドローラ６８
と、リール１２、２６から延びたワイヤー１４の方向を
レール６２に沿って方向転換させる転換ローラ７０が設
けられ、ワイヤー１４の張力が転換ロール７０で方向転
換されることによりリニアモータスライダ６４には図中
Ａ方向のスライド力Ｆ1が与えられる。また、リニアモ
ータスライダ６４はロープ７１を介して定力発生器７２
に連繋され、リニアモータスライダ６４には定力発生器
７２により、前記スライド力Ｆ1 の反対向でスライド力
Ｆ1 と同じ大きさの付勢力Ｆ2 が与えられる。定力発生
器７２としては、スプリング方式やリニアモータスライ
ダ６４に連繋したロープ７１をプーリ（図示せず）で方
向転換してロープ７１の先端に錘（図示せず）を吊設す
るウエイト方式等を使用することができる。これによ
り、リニアモータスケール６０がＯＦＦの状態では、リ
ニアモータスライダ６４はスライド力Ｆ1 と付勢力Ｆ2
でバランスされる。
【００１４】次に、上記の如く構成されたワイヤー案内
装置１６の作用をリール２６側のワイヤー案内装置１６
で説明する。リール２６からワイヤー１４を繰り出す時
には、リニアモータスケール６０をＯＦＦの状態にす
る。これにより、リニアモータスライダ６４は、ワイヤ
ー１４の張力による図中Ａ方向のスライド力Ｆ1 と、定
力発生器７２による図中Ｂ方向の付勢力Ｆ2 によりバラ
ンスされた状態になる。この状態で、リール２６がワイ
ヤー１４を繰り出す方向に回転してワイヤー１４を繰り
出すと、ワイヤー１４の繰出し位置はリール２６の長手
方向に沿って、例えば図中２点鎖線で示したように偏位
する。このワイヤー１４の繰出し位置の偏位により、偏
位力Ｆ3 がリニアモータスライダ６４をＡ方向にスライ
ドさせる力として加わる。この結果、この偏位力Ｆ3 に
より、リニアモータスライダ６４はワイヤー１４の繰出
し位置の偏位がなくなるまで図中Ａ方向にスライドす
る。これにより、リニアモータスライダ６４をワイヤー
１４の繰出し位置の偏位に追従させてスライドさせるこ
とができるので、リール１２、２６からワイヤー１４を
リール２６の長手方向に対して略直角に正しく繰り出す
ことができ、ワイヤー１４がガイドローラ６８から外れ
ることがない。
装置１６の作用をリール２６側のワイヤー案内装置１６
で説明する。リール２６からワイヤー１４を繰り出す時
には、リニアモータスケール６０をＯＦＦの状態にす
る。これにより、リニアモータスライダ６４は、ワイヤ
ー１４の張力による図中Ａ方向のスライド力Ｆ1 と、定
力発生器７２による図中Ｂ方向の付勢力Ｆ2 によりバラ
ンスされた状態になる。この状態で、リール２６がワイ
ヤー１４を繰り出す方向に回転してワイヤー１４を繰り
出すと、ワイヤー１４の繰出し位置はリール２６の長手
方向に沿って、例えば図中２点鎖線で示したように偏位
する。このワイヤー１４の繰出し位置の偏位により、偏
位力Ｆ3 がリニアモータスライダ６４をＡ方向にスライ
ドさせる力として加わる。この結果、この偏位力Ｆ3 に
より、リニアモータスライダ６４はワイヤー１４の繰出
し位置の偏位がなくなるまで図中Ａ方向にスライドす
る。これにより、リニアモータスライダ６４をワイヤー
１４の繰出し位置の偏位に追従させてスライドさせるこ
とができるので、リール１２、２６からワイヤー１４を
リール２６の長手方向に対して略直角に正しく繰り出す
ことができ、ワイヤー１４がガイドローラ６８から外れ
ることがない。
【００１５】一方、リール２６にワイヤー１４を巻き取
る時には、リニアモータスケール６０をＯＮの状態にし
て、リニアモータスライダ６４を一対のリミットスイッ
チ６６、６６の間で所定速度で往復走行させる。この状
態で、リール２６がワイヤー１４を巻き取る方向に回転
してワイヤー１４を巻き取るので、ワイヤー１４をリー
ル２６に所定ピッチで正しく巻き取ることができる。
る時には、リニアモータスケール６０をＯＮの状態にし
て、リニアモータスライダ６４を一対のリミットスイッ
チ６６、６６の間で所定速度で往復走行させる。この状
態で、リール２６がワイヤー１４を巻き取る方向に回転
してワイヤー１４を巻き取るので、ワイヤー１４をリー
ル２６に所定ピッチで正しく巻き取ることができる。
【００１６】このように、ワイヤー案内装置１６は上記
の如く構成されているので、ワイヤー１４の繰り出し時
には、従来のワイヤー案内装置に必要であったワイヤー
位置の偏位を検出する検出手段が不要になると共に、走
行体の移動をネジ桿で制御する必要もなくなる。また、
機構が簡単な為、誤動作が発生しにくい。また、ワイヤ
ー繰り出し時には、リニアモータスライダ６０の駆動力
を必要としないので、動力の削減になり省エネになる。
更には、走行体の駆動をリニアモータ機構に構成したの
で、ワイヤー案内装置１６をコンパクト化することがで
きる。
の如く構成されているので、ワイヤー１４の繰り出し時
には、従来のワイヤー案内装置に必要であったワイヤー
位置の偏位を検出する検出手段が不要になると共に、走
行体の移動をネジ桿で制御する必要もなくなる。また、
機構が簡単な為、誤動作が発生しにくい。また、ワイヤ
ー繰り出し時には、リニアモータスライダ６０の駆動力
を必要としないので、動力の削減になり省エネになる。
更には、走行体の駆動をリニアモータ機構に構成したの
で、ワイヤー案内装置１６をコンパクト化することがで
きる。
【００１７】次に、図３に従って、ワイヤー案内装置の
第２の構成について説明する。尚、上記の第１の構成の
ワイヤー案内装置と同じ部材、装置には同符号を付して
説明する。リール２６の長手方向に平行に一対のレール
６２、６２が配設され、レール６２上にはスライド自在
な走行体７４が配設される。また、レール６２に沿って
配設された一対のプーリ７６、７６の間には、無端状ベ
ルト７８が懸け渡されると共に、前記走行体７４の片端
が無端状ベルト７８に支持されている。また、一方のプ
ーリ７６には、クラッチ８０を介して正逆回転可能な駆
動モータ８２が連結される共に、他方のプーリ７６に
は、走行体７４の位置を監視するエンコーダ８４が設け
られる。これにより、クラッチ８０を繋いだ状態で駆動
モータ８２を作動させると、走行体７４はレール６２上
の所定区間を往復走行し、クラッチ８０を切ると、走行
体７４はスライド自在な状態が維持される。また、走行
体７４にはワイヤー１４を支持して走行体７４のスライ
ドに応じてワイヤー１４を案内するガイドローラ６８
と、リール２６から延びたワイヤー１４の方向をレール
６２に沿って方向転換させる転換ローラ７０が設けら
れ、走行体７４は図中Ａ方向にＦ1 のスライド力が与え
られる。また、走行体７４は定力発生器７２により、前
記スライド力Ｆ1 の反対向でスライド力Ｆ1 と同じ大き
さの付勢力Ｆ2 が与えられる。これにより、クラッチ８
０が切られた状態では、走行体７４はスライド力Ｆ1 と
付勢力Ｆ2 でバランスされる。尚、右端状ベルト７８の
代わりにラックとピニオンを使用してもよい。
第２の構成について説明する。尚、上記の第１の構成の
ワイヤー案内装置と同じ部材、装置には同符号を付して
説明する。リール２６の長手方向に平行に一対のレール
６２、６２が配設され、レール６２上にはスライド自在
な走行体７４が配設される。また、レール６２に沿って
配設された一対のプーリ７６、７６の間には、無端状ベ
ルト７８が懸け渡されると共に、前記走行体７４の片端
が無端状ベルト７８に支持されている。また、一方のプ
ーリ７６には、クラッチ８０を介して正逆回転可能な駆
動モータ８２が連結される共に、他方のプーリ７６に
は、走行体７４の位置を監視するエンコーダ８４が設け
られる。これにより、クラッチ８０を繋いだ状態で駆動
モータ８２を作動させると、走行体７４はレール６２上
の所定区間を往復走行し、クラッチ８０を切ると、走行
体７４はスライド自在な状態が維持される。また、走行
体７４にはワイヤー１４を支持して走行体７４のスライ
ドに応じてワイヤー１４を案内するガイドローラ６８
と、リール２６から延びたワイヤー１４の方向をレール
６２に沿って方向転換させる転換ローラ７０が設けら
れ、走行体７４は図中Ａ方向にＦ1 のスライド力が与え
られる。また、走行体７４は定力発生器７２により、前
記スライド力Ｆ1 の反対向でスライド力Ｆ1 と同じ大き
さの付勢力Ｆ2 が与えられる。これにより、クラッチ８
０が切られた状態では、走行体７４はスライド力Ｆ1 と
付勢力Ｆ2 でバランスされる。尚、右端状ベルト７８の
代わりにラックとピニオンを使用してもよい。
【００１８】そして、リール２６からワイヤー１４を繰
り出す時には、クラッチ８０を切った状態にする。これ
により、走行体７４は、ワイヤー１４の張力による図中
Ａ方向のスライド力Ｆ1 と、定力発生器７２による図中
Ｂ方向の付勢力Ｆ2 によりバランスされた状態になる。
この状態で、リール２６がワイヤー１４を繰り出す方向
に回転してワイヤー１４を繰り出すと、ワイヤー１４の
繰出し位置はリール２６の長手方向に沿って、例えば図
中２点鎖線で示したように偏位する。このワイヤー１４
の偏位により、偏位力Ｆ3 が走行体７４をＡ方向にスラ
イドさせる力として加わる。この結果、走行体７４は、
この偏位力Ｆ3 によりワイヤー１４の繰出し位置の偏位
がなくなるまで図中Ａ方向にスライドする。これによ
り、走行体７４をワイヤー１４の繰出し位置の偏位に追
従させてスライドさせることができるので、リール２６
からワイヤー１４をリール２６の長手方向に対して略直
角に正しく繰り出すことができる。
り出す時には、クラッチ８０を切った状態にする。これ
により、走行体７４は、ワイヤー１４の張力による図中
Ａ方向のスライド力Ｆ1 と、定力発生器７２による図中
Ｂ方向の付勢力Ｆ2 によりバランスされた状態になる。
この状態で、リール２６がワイヤー１４を繰り出す方向
に回転してワイヤー１４を繰り出すと、ワイヤー１４の
繰出し位置はリール２６の長手方向に沿って、例えば図
中２点鎖線で示したように偏位する。このワイヤー１４
の偏位により、偏位力Ｆ3 が走行体７４をＡ方向にスラ
イドさせる力として加わる。この結果、走行体７４は、
この偏位力Ｆ3 によりワイヤー１４の繰出し位置の偏位
がなくなるまで図中Ａ方向にスライドする。これによ
り、走行体７４をワイヤー１４の繰出し位置の偏位に追
従させてスライドさせることができるので、リール２６
からワイヤー１４をリール２６の長手方向に対して略直
角に正しく繰り出すことができる。
【００１９】一方、リール２６にワイヤー１４を巻き取
る時には、クラッチ８０を繋いだ状態にして駆動モータ
８２を作動させ、走行体７４をエンコーダ８４で監視し
ながらレール６２上の所定区間を所定速度で往復走行さ
せる。この状態で、リール２６がワイヤー１４を巻き取
る方向に回転してワイヤー１４を巻き取るので、ワイヤ
ー１４をリールに所定ピッチで正しく巻き取ることがで
きる。
る時には、クラッチ８０を繋いだ状態にして駆動モータ
８２を作動させ、走行体７４をエンコーダ８４で監視し
ながらレール６２上の所定区間を所定速度で往復走行さ
せる。この状態で、リール２６がワイヤー１４を巻き取
る方向に回転してワイヤー１４を巻き取るので、ワイヤ
ー１４をリールに所定ピッチで正しく巻き取ることがで
きる。
【００２０】従って、第２の構成のワイヤー案内装置の
場合も第１の構成のワイヤー案内装置と同様の効果を奏
することができる。次に、図４に従って、ワイヤー案内
装置の第３の構成について説明する。第３の構成のワイ
ヤー案内装置１６は、第２の構成のワイヤ案内装置の走
行体７４を往復走行させる駆動方式を変えたものであ
る。即ち、リール２６の長手方向に平行に配設されたレ
ール６２上の走行体７４の片端にはピン８６が突設さ
れ、このピン８６はアーム８８の先端部に形成された長
孔９０に連結される。またアーム８８の基端部は揺動軸
９２に支持されると共に、揺動軸９２は図示しないクラ
ッチを介して正逆回転可能な駆動モータ９４に連結され
る。これにより、クラッチを繋いだ状態で駆動モータ９
４を作動させると、アーム８８は図中Ｃ−Ｄ方向に揺動
するので、走行体７４は図中Ａ−Ｂ方向に往復走行し、
クラッチを切ると走行体７４はスライド自在な状態が維
持される。その他は第２の構成のワイヤー案内装置と同
様である。
場合も第１の構成のワイヤー案内装置と同様の効果を奏
することができる。次に、図４に従って、ワイヤー案内
装置の第３の構成について説明する。第３の構成のワイ
ヤー案内装置１６は、第２の構成のワイヤ案内装置の走
行体７４を往復走行させる駆動方式を変えたものであ
る。即ち、リール２６の長手方向に平行に配設されたレ
ール６２上の走行体７４の片端にはピン８６が突設さ
れ、このピン８６はアーム８８の先端部に形成された長
孔９０に連結される。またアーム８８の基端部は揺動軸
９２に支持されると共に、揺動軸９２は図示しないクラ
ッチを介して正逆回転可能な駆動モータ９４に連結され
る。これにより、クラッチを繋いだ状態で駆動モータ９
４を作動させると、アーム８８は図中Ｃ−Ｄ方向に揺動
するので、走行体７４は図中Ａ−Ｂ方向に往復走行し、
クラッチを切ると走行体７４はスライド自在な状態が維
持される。その他は第２の構成のワイヤー案内装置と同
様である。
【００２１】従って、第３の構成のワイヤー案内装置の
場合も第１の構成のワイヤー案内装置の構成と同様の効
果を奏することができる。
場合も第１の構成のワイヤー案内装置の構成と同様の効
果を奏することができる。
【００２２】
【発明の効果】以上説明したように、第１の発明に係る
ワイヤーソーのワイヤー案内装置によれば、リールから
繰り出されるワイヤーの繰出し位置が偏位する偏位力を
利用して、走行体を偏位に追従させてスライドさせるこ
とができるので、リールからワイヤーをリールの長手方
向に対して略直角に正しく繰り出すことができる。
ワイヤーソーのワイヤー案内装置によれば、リールから
繰り出されるワイヤーの繰出し位置が偏位する偏位力を
利用して、走行体を偏位に追従させてスライドさせるこ
とができるので、リールからワイヤーをリールの長手方
向に対して略直角に正しく繰り出すことができる。
【００２３】第２の発明によれば、第１の発明に走行体
を往復走行させる駆動手段を備えるようにし、リールか
らワイヤーを繰り出す時には、駆動手段の駆動力を解除
すると共に、リールにワイヤーを巻き取る時には、駆動
手段を駆動するようにした。これにより、第１の発明と
同様の作用によりリールからワイヤーをリールの長手方
向に対して略直角に正しく繰り出すことができると共
に、駆動手段で走行体を往復走行させることによりリー
ルにワイヤーを所定ピッチで巻き取ることができる。
を往復走行させる駆動手段を備えるようにし、リールか
らワイヤーを繰り出す時には、駆動手段の駆動力を解除
すると共に、リールにワイヤーを巻き取る時には、駆動
手段を駆動するようにした。これにより、第１の発明と
同様の作用によりリールからワイヤーをリールの長手方
向に対して略直角に正しく繰り出すことができると共
に、駆動手段で走行体を往復走行させることによりリー
ルにワイヤーを所定ピッチで巻き取ることができる。
【００２４】従って、本発明のワイヤーソーのワイヤー
案内装置は、ワイヤー繰り出し時には、従来のワイヤー
案内装置に必要であったワイヤー位置の偏位を検出する
検出手段が不要になると共に、走行体の移動をネジ桿で
制御する必要もなくなる。また、機構が簡単な為、誤動
作が発生しにくい。また、ワイヤー繰り出し時には、駆
動手段の駆動力を必要としないので、動力の削減になり
省エネになる。更には、走行体の駆動をリニアモータ機
構に構成したので、駆動手段と、軌道及び走行体を一体
化することができ、ワイヤー案内装置をコンパクト化す
ることができる。
案内装置は、ワイヤー繰り出し時には、従来のワイヤー
案内装置に必要であったワイヤー位置の偏位を検出する
検出手段が不要になると共に、走行体の移動をネジ桿で
制御する必要もなくなる。また、機構が簡単な為、誤動
作が発生しにくい。また、ワイヤー繰り出し時には、駆
動手段の駆動力を必要としないので、動力の削減になり
省エネになる。更には、走行体の駆動をリニアモータ機
構に構成したので、駆動手段と、軌道及び走行体を一体
化することができ、ワイヤー案内装置をコンパクト化す
ることができる。
【図１】図１は、ワイヤーソーの全体構成を説明する説
明図
明図
【図２】図２は、ワイヤー案内装置の第１の構成を説明
する説明図
する説明図
【図３】図３は、ワイヤー案内装置の第２の構成を説明
する説明図
する説明図
【図４】図４は、ワイヤー案内装置の第３の構成を説明
する説明図
する説明図
１０…ワイヤーソー １２、２６…リール １４…ワイヤー １６…ワイヤー案内装置 ２２…溝付きローラ ４０…加工液 ４２…砥液供給ノズル ４８…ワーク送りテーブル ５４…半導体インゴット ６０…リニアモータスケール ６４…リニアモータスライダ ６６…リミットスイッチ ６８…ガイドローラ ７０…方向転換ローラ ７２…定力発生器 ７４…走行体 ７６…プーリ ７８…無端状ベルト ８０…クラッチ ８２、９２…駆動モータ ８６…ピン ８８…アーム ９０…長孔
Claims (3)
- 【請求項１】 ワイヤーが巻回された一対のリールをモ
ータで回転させることによりワイヤーを走行させ、その
走行するワイヤーを複数個の溝付ローラに巻きかけてワ
イヤ列を形成し、該ワイヤ列に被加工物を押し当てるこ
とにより、該被加工物を多数の薄板状のウェーハに切断
するワイヤーソーにおいて、 前記一対のリールの軸がそれぞれ上下方向に配置される
ことを特徴とするワイヤーソー。 - 【請求項２】 前記モータを前記リールの下部同軸上に
配置して連結したことを特徴とする請求項１のワイヤー
ソー。 - 【請求項３】 前記リールから繰り出されるワイヤーが
前記リールの上下方向に対して略直角に繰り出されるよ
うに案内すると共に、前記リールに巻き取られるワイヤ
ーが前記リールに所定ピッチで巻き取られるように案内
するワイヤー案内装置を前記リールと平行になるように
上下方向に配置したことを特徴とする請求項１のワイヤ
ーソー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP357394A JP2980225B2 (ja) | 1994-01-18 | 1994-01-18 | ワイヤーソー |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP357394A JP2980225B2 (ja) | 1994-01-18 | 1994-01-18 | ワイヤーソー |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07205017A JPH07205017A (ja) | 1995-08-08 |
| JP2980225B2 true JP2980225B2 (ja) | 1999-11-22 |
Family
ID=11561199
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP357394A Expired - Lifetime JP2980225B2 (ja) | 1994-01-18 | 1994-01-18 | ワイヤーソー |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2980225B2 (ja) |
Families Citing this family (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5944007A (en) * | 1996-02-08 | 1999-08-31 | Tokyo Rope Mfg. Co., Ltd. | Wire type slicing machine and method |
| EP0827822A4 (en) * | 1996-02-28 | 2004-08-18 | Tokyo Rope Mfg Co | WIRE SAW AND WIRE SAW METHOD |
| JP5127209B2 (ja) * | 2005-11-29 | 2013-01-23 | 京セラ株式会社 | 半導体基板の製造方法 |
| JP5177701B2 (ja) * | 2009-02-16 | 2013-04-10 | コマツＮｔｃ株式会社 | トラバース制御方法およびその装置 |
| CN103708282A (zh) * | 2013-12-31 | 2014-04-09 | 吴江市松陵镇铭益自动化机械设备厂 | 一种分线机 |
| CN106429641B (zh) * | 2014-11-20 | 2017-11-03 | 芜湖长润特种铜线有限公司 | 一种铜线收线盘可调式开合加固装置的使用方法 |
| CN104409174B (zh) * | 2014-11-20 | 2017-01-11 | 芜湖长润特种铜线有限公司 | 一种铜线收线盘开合加固装置 |
| CN105438887A (zh) * | 2015-12-27 | 2016-03-30 | 天津尚吉液压设备有限公司 | 一种布线均匀的收卷装置总装结构 |
| WO2019008530A1 (en) * | 2017-07-07 | 2019-01-10 | Meyer Burger (Switzerland) Ag | METHOD FOR WINDING A CUTTING WIRE |
| JP7105433B2 (ja) * | 2017-08-07 | 2022-07-25 | 株式会社クリハラント | 切断補助装置およびそれを有するワイヤー式切断装置 |
| CN107840192A (zh) * | 2017-11-30 | 2018-03-27 | 浙江新瑞欣精密线锯有限公司 | 一种线锯的烘干收线装置 |
| CN108015199B (zh) * | 2017-12-30 | 2019-08-06 | 苏州欧鹏自动化设备有限公司 | 线缆切断装置 |
| CN110255284B (zh) * | 2019-06-19 | 2021-04-20 | 江苏锡安达防爆股份有限公司 | 一种三相电机定子绕线设备 |
-
1994
- 1994-01-18 JP JP357394A patent/JP2980225B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07205017A (ja) | 1995-08-08 |
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