JP2832395B2 - フレキシブルプリント基板の製造方法 - Google Patents
フレキシブルプリント基板の製造方法Info
- Publication number
- JP2832395B2 JP2832395B2 JP27140690A JP27140690A JP2832395B2 JP 2832395 B2 JP2832395 B2 JP 2832395B2 JP 27140690 A JP27140690 A JP 27140690A JP 27140690 A JP27140690 A JP 27140690A JP 2832395 B2 JP2832395 B2 JP 2832395B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- flexible printed
- printed circuit
- circuit board
- heat
- polyimide
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 9
- 229920005575 poly(amic acid) Polymers 0.000 claims description 14
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 claims description 14
- 229920006259 thermoplastic polyimide Polymers 0.000 claims description 14
- 239000011888 foil Substances 0.000 claims description 13
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 13
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 12
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 12
- 239000002904 solvent Substances 0.000 claims description 9
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 7
- 239000004952 Polyamide Substances 0.000 claims description 3
- 239000002253 acid Substances 0.000 claims description 3
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 claims description 3
- 239000002243 precursor Substances 0.000 claims description 3
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 2
- ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylformamide Chemical compound CN(C)C=O ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 8
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 6
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 6
- 239000011889 copper foil Substances 0.000 description 6
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- YEJRWHAVMIAJKC-UHFFFAOYSA-N 4-Butyrolactone Chemical compound O=C1CCCO1 YEJRWHAVMIAJKC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZHBXLZQQVCDGPA-UHFFFAOYSA-N 5-[(1,3-dioxo-2-benzofuran-5-yl)sulfonyl]-2-benzofuran-1,3-dione Chemical compound C1=C2C(=O)OC(=O)C2=CC(S(=O)(=O)C=2C=C3C(=O)OC(C3=CC=2)=O)=C1 ZHBXLZQQVCDGPA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- DLFVBJFMPXGRIB-UHFFFAOYSA-N Acetamide Chemical compound CC(N)=O DLFVBJFMPXGRIB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IAZDPXIOMUYVGZ-UHFFFAOYSA-N Dimethylsulphoxide Chemical compound CS(C)=O IAZDPXIOMUYVGZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZHNUHDYFZUAESO-UHFFFAOYSA-N Formamide Chemical compound NC=O ZHNUHDYFZUAESO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N N-Methylpyrrolidone Chemical compound CN1CCCC1=O SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N Phenol Chemical compound OC1=CC=CC=C1 ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N Tetrahydrofuran Chemical compound C1CCOC1 WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GTDPSWPPOUPBNX-UHFFFAOYSA-N ac1mqpva Chemical compound CC12C(=O)OC(=O)C1(C)C1(C)C2(C)C(=O)OC1=O GTDPSWPPOUPBNX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 2
- YCIMNLLNPGFGHC-UHFFFAOYSA-N catechol Chemical compound OC1=CC=CC=C1O YCIMNLLNPGFGHC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 2
- -1 diamine compound Chemical class 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 2
- IWDCLRJOBJJRNH-UHFFFAOYSA-N p-cresol Chemical compound CC1=CC=C(O)C=C1 IWDCLRJOBJJRNH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 2
- 239000003495 polar organic solvent Substances 0.000 description 2
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 2
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 2
- RYHBNJHYFVUHQT-UHFFFAOYSA-N 1,4-Dioxane Chemical compound C1COCCO1 RYHBNJHYFVUHQT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QLVKECUOHNDWOI-UHFFFAOYSA-N 2-oxo-1,3,2$l^{5}-diazaphosphonan-2-amine Chemical compound NP1(=O)NCCCCCCN1 QLVKECUOHNDWOI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XUSNPFGLKGCWGN-UHFFFAOYSA-N 3-[4-(3-aminopropyl)piperazin-1-yl]propan-1-amine Chemical compound NCCCN1CCN(CCCN)CC1 XUSNPFGLKGCWGN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VQVIHDPBMFABCQ-UHFFFAOYSA-N 5-(1,3-dioxo-2-benzofuran-5-carbonyl)-2-benzofuran-1,3-dione Chemical compound C1=C2C(=O)OC(=O)C2=CC(C(C=2C=C3C(=O)OC(=O)C3=CC=2)=O)=C1 VQVIHDPBMFABCQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
- FXHOOIRPVKKKFG-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylacetamide Chemical compound CN(C)C(C)=O FXHOOIRPVKKKFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SUAKHGWARZSWIH-UHFFFAOYSA-N N,N‐diethylformamide Chemical compound CCN(CC)C=O SUAKHGWARZSWIH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N O-Xylene Chemical compound CC1=CC=CC=C1C CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004696 Poly ether ether ketone Substances 0.000 description 1
- 239000004962 Polyamide-imide Substances 0.000 description 1
- 239000004695 Polyether sulfone Substances 0.000 description 1
- 239000004697 Polyetherimide Substances 0.000 description 1
- 239000004734 Polyphenylene sulfide Substances 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000004945 aromatic hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 239000002585 base Substances 0.000 description 1
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000003851 corona treatment Methods 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- CCAFPWNGIUBUSD-UHFFFAOYSA-N diethyl sulfoxide Chemical compound CCS(=O)CC CCAFPWNGIUBUSD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 229910021645 metal ion Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000013508 migration Methods 0.000 description 1
- 230000005012 migration Effects 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- AJFDBNQQDYLMJN-UHFFFAOYSA-N n,n-diethylacetamide Chemical compound CCN(CC)C(C)=O AJFDBNQQDYLMJN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002989 phenols Chemical class 0.000 description 1
- 238000009832 plasma treatment Methods 0.000 description 1
- 239000002798 polar solvent Substances 0.000 description 1
- 229920002312 polyamide-imide Polymers 0.000 description 1
- 229920001230 polyarylate Polymers 0.000 description 1
- 229920006393 polyether sulfone Polymers 0.000 description 1
- 229920002530 polyetherether ketone Polymers 0.000 description 1
- 229920001601 polyetherimide Polymers 0.000 description 1
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 229920000069 polyphenylene sulfide Polymers 0.000 description 1
- HNJBEVLQSNELDL-UHFFFAOYSA-N pyrrolidin-2-one Chemical compound O=C1CCCN1 HNJBEVLQSNELDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 150000003457 sulfones Chemical class 0.000 description 1
- 150000003462 sulfoxides Chemical class 0.000 description 1
- 150000003512 tertiary amines Chemical class 0.000 description 1
- YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N tetrahydrofuran Natural products C=1C=COC=1 YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005979 thermal decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 239000008096 xylene Substances 0.000 description 1
- 150000003739 xylenols Chemical class 0.000 description 1
Landscapes
- Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
Description
し、更に詳しくは、熱可塑性ポリイミドを接着層として
用いるフレキシブルプリント基板において、その接着性
を高めることが出来るフレキシブルプリント基板の製造
方法に関する。
・高性能化に伴いその重要性が高まりつつあると同時
に、さらなる高密度化のため、その要求性は厳しくなり
つつある。特に近年、フレキシブルプリント基板におい
ても部品の表面実装などが多用され、フレキシブルプリ
ント基板に直接かかる温度も高くなっている。
っかく基材フィルムとしてポリイミドなどの耐熱性フィ
ルムを用いても、フレキシブルプリント基板全体とし
て、高い耐熱性を示すことが出来ないという問題が指摘
されている。このような問題を解決するための一手段と
して、接着剤層として熱可塑性ポリイミドを使う方法が
提案されている。例えば、特開平1−244841には、金属
箔に低熱膨張性ポリイミドと熱可塑性ポリイミドを積層
し、これを2枚融着して得られる両面導体の積層体とそ
の製法が示されている。
ブルプリント基板が種々検討されているが、例えばエポ
キシ系やアクリル系などの接着剤を用いる場合に比較す
ると、接着強度に劣るという欠点があった。
ポリイミドを用いたフレキシブルプリント基板の製造方
法とその接着強度の関係について種々検討した結果、耐
熱性フィルムと金属箔が熱可塑性ポリイミドを介して接
合されているフレキシブルプリント基板の製造に際し、
熱可塑性ポリイミドの前駆体であるポリアミド酸を溶液
状態で耐熱性フィルムあるいは金属箔のどちらか、また
は両方に塗布し、溶剤を揮発させたのち、加熱圧着と同
時にイミド化させることにより、所期の目的が達成され
ることを見出し、本発明に到達した。
とも金属箔と誘電体フィルムからなる積層体及びこれら
の金属箔を、あるパターンでエッチングして回路を形成
したものをいう。
始温度より低い温度に軟化点を有するようなポリイミド
のことであり、実際には400℃以下に軟化点を持つよう
なポリイミドを用いることが好ましい。具体的には、例
えば下記一般式(I)に示されるようなポリイミドが好
適である。
あるポリアミド酸の状態で用いるが、このポリアミド酸
の製法については、公知のポリアミド酸重合方法を用い
ることができる。すなわち、適当なジアミン化合物と、
このジアミン化合物と実質的に等モルの適当な二酸無水
物を極性有機溶媒中で反応させることによって得られ
る。
ルフォキシド、ジエチルスルフォキシドなどのスルフォ
キシド系溶媒、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジエ
チルホルムアミドなどのホルムアミド系溶媒、N,N−ジ
メチルアセトアミド、N,N−ジエチルアセトアミドなど
のアセトアミド系溶媒、N−メチル−2−ピロリドンな
どのピロリドン系溶媒、フェノール、o−、m−、また
はp−クレゾール、キシレノール、ハロゲン化フェノー
ル、カテコールなどのフェノール系溶媒、あるいはヘキ
サメチレンフォスフォルアミド、γ−ブチロラクトン、
1,4−ジオキサン、テトラヒドロフランなどを挙げるこ
とができ、これらは単独または混合物として用いるのが
望ましいが、さらにはキシレン、トルエンのような芳香
族炭化水素の使用も可能である。
媒中に5〜40重量%、好ましくは10〜30%溶解されてい
るのが、取扱いの面からも望ましい。
は金属箔のどちらか、または両方に塗布し、溶剤を揮発
させたのち、加熱圧着と同時にイミド化させるが、金属
箔への溶液の塗布は金属箔の表面から樹脂溶液層への金
属イオンのマイグレーションや金属箔の腐食などの問題
を生じる可能性があるので、耐熱フィルム側に塗布する
のが最も好ましい。
する方法は、コンマコーター、ロールコータ、ナイフコ
ータ、ドクターブレード、フローコータ等の公知の塗布
手段で30〜500μmの均一な厚さに流延塗布することが
できる。ポリアミド酸溶液を塗布された耐熱フィルムま
たは金属箔は、イミド化が充分に起こらない温度で加熱
することによって溶媒を除去する。具体的には120℃以
下が好ましく、80℃以下がより好ましい。この時、加熱
のみでなく、系を減圧してもよい。
方法などを採用することができる。また、加熱時のイミ
ド化を促進するため、ポリアミド酸溶液中に予めイミド
化触媒として第三級アミンを添加しておくこともでき
る。
以上の温度をかけることが望ましい。また圧力は10〜15
0kg/cm2で行うことが好ましい。
2〜50μmが好ましい。
ミド、ポリアミドイミド、ポリエーテルイミド、ポリエ
ーテルスルフォン、ポリアリレート、ポリエーテルエー
テルケトン、ポリアミド、ポリフェニレンスルフィド、
ポリパラバン酸などを用いることができるが、用いる熱
可塑性ポリイミドのTgよりも高いTgを持つことがフレキ
シブルプリント基板全体の物性上好ましいことから、ポ
リイミドを用いるのがもっとも好ましい。接着力をより
高くするため、耐熱性フィルムの表面をコロナ処理、プ
ラズマ処理、サンドブラスト処理、アルカリ処理などの
方法で活性化してもよい。
ましい。
箔、ニッケル箔などが使用可能であるが、コストや物性
バランスの点から、銅箔を用いるのが最も好ましい。
が、本発明は実施例の範囲に限定されるものではない。
ンテトラカルボン酸二無水物を、DSDAは3,3′,4,4′,
ジフェニルスルフォンテトラカルボン酸二無水物を、BA
PSはビスアミンフェノキシフェニルスルフォンを、BAPP
はビスアミノフェノキシフェニルプロパンを、DMFはジ
メチルホルムアミドを示す。ピール強度の測定はJIS
C 5016の方法に準じて行った。
度18重量%、粘度2000poiseのポリアミド酸溶液を得
た。この溶液を、厚さ25μmポリイミドフィルム「アピ
カル」(商品名、鐘淵化学工業(株)製)上に一様に塗
布し、これを50℃で30分乾燥した後、ポリアミド酸塗布
面に35μmの銅箔を重ねて、300℃で50kg/cm2にて、30
分プレスした。このフレキシブルプリント基板のピール
強度を測定したところ2.1kg/cmであった。
度18重量%、粘度2000poiseのポリアミド酸溶液を得
た。この溶液を、実施例1で用いた厚さ25μmの「アピ
カル」上に一様に塗布し、これを50℃で30分乾燥した
後、ポリアミド酸塗布面に35μmの銅箔を重ねて、320
℃で50kg/cm2にて、30分プレスした。このフレキシブル
プリント基板のピール強度を測定したところ1.9kg/cmで
あった。
ス板上に塗布し、100℃で1時間、200℃で1時間、300
℃で1時間加熱してポリイミドフィルムを得た。このポ
リイミドフィルムを、銅箔と実施例1で用いた厚さ25μ
mの「アピカル」の間にはさみ、320℃で50kg/cm2に
て、30分プレスした。このフレキシブルプリント基板の
ピール強度を測定したところ1.0kg/cmであった。
ス板上に塗布し、100℃で1時間、200℃で1時間、300
℃で1時間、350℃で30分加熱してポリイミドフィルム
を得た。このポリイミドフィルムを、銅箔と実施例1で
用いた厚さ25μmの「アピカル」の間にはさみ、320℃
で50kg/cm2にて、30分プレスした。このフレキシブルプ
リント基板のピール強度を測定したところ0.7kg/cmであ
った。
Claims (4)
- 【請求項1】耐熱性フィルムと金属箔が熱可塑性ポリイ
ミドを介して接合されているフレキシブルプリント基板
を製造するに際し、熱可塑性ポリイミドの前駆体である
ポリアミド酸を溶液状態で耐熱性フィルムあるいは金属
箔のどちらか、または両方に塗布し、溶剤を揮発させた
のち、加熱圧着と同時にイミド化させることを特徴とす
るフレキシブルプリント基板の製造方法。 - 【請求項2】ポリアミド酸溶液を耐熱性フィルムに塗布
する請求項1記載の製造方法。 - 【請求項3】耐熱性フィルムがポリイミドフィルムであ
る請求項1又は2記載の製造方法。 - 【請求項4】熱可塑性ポリイミドが下記一般式(I)で
示される構造単位を有する請求項1、2又は3記載の製
造方法。 (図中、R1は のいずれか、R2は のいずれかである。)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27140690A JP2832395B2 (ja) | 1990-10-08 | 1990-10-08 | フレキシブルプリント基板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27140690A JP2832395B2 (ja) | 1990-10-08 | 1990-10-08 | フレキシブルプリント基板の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04146690A JPH04146690A (ja) | 1992-05-20 |
| JP2832395B2 true JP2832395B2 (ja) | 1998-12-09 |
Family
ID=17499610
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27140690A Expired - Lifetime JP2832395B2 (ja) | 1990-10-08 | 1990-10-08 | フレキシブルプリント基板の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2832395B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09148695A (ja) * | 1995-11-24 | 1997-06-06 | Mitsui Toatsu Chem Inc | フレキシブルプリント回路基板及びその製造方法 |
| JP2000096010A (ja) * | 1998-09-22 | 2000-04-04 | Toray Ind Inc | 半導体装置用接着テープ |
| JP2002322292A (ja) * | 2001-04-23 | 2002-11-08 | Nitto Denko Corp | 熱融着性ポリイミド樹脂フィルムとこれを用いた多層配線板 |
| JP2006247957A (ja) * | 2005-03-09 | 2006-09-21 | Asahi Kasei Corp | 金属−樹脂積層体 |
| KR101277602B1 (ko) | 2006-05-17 | 2013-06-21 | 가부시키가이샤 피아이 기쥬츠 켄큐쇼 | 금속 복합 필름 및 그 제조 방법 |
-
1990
- 1990-10-08 JP JP27140690A patent/JP2832395B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04146690A (ja) | 1992-05-20 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7285321B2 (en) | Multilayer substrates having at least two dissimilar polyimide layers, useful for electronics-type applications, and compositions relating thereto | |
| US7348064B2 (en) | Low temperature polyimide adhesive compositions and methods relating thereto | |
| JP4221290B2 (ja) | 樹脂組成物 | |
| TWI500501B (zh) | Second layer double sided flexible metal laminated board and manufacturing method thereof | |
| CN102450110B (zh) | 柔性电路板及其制造方法 | |
| JP3934057B2 (ja) | 電子材料用積層体 | |
| JP2002113812A (ja) | ポリイミドと導体層の積層体およびそれを用いてなる多層配線板ならびにその製造方法 | |
| CN101998761A (zh) | 一种金属积层板及其制备方法 | |
| JP5468913B2 (ja) | レジスト付き多層ポリイミドフィルム及びその製造方法 | |
| JP4373433B2 (ja) | 両面金属積層板及びその製造方法 | |
| JP2832395B2 (ja) | フレキシブルプリント基板の製造方法 | |
| JP2002307608A (ja) | 積層体の製造方法および多層プリント配線板 | |
| JP2006188025A (ja) | 銅張積層板 | |
| JP3076060B2 (ja) | フレキシブルプリント基板及びその製造方法 | |
| JP2729063B2 (ja) | フレキシブル金属箔積層板の製造方法 | |
| JP2927531B2 (ja) | フレキシブルプリント基板及びその製造方法 | |
| JP2003118054A (ja) | 積層体並びに多層プリント配線板 | |
| JP2002322276A (ja) | 新規な熱可塑性ポリイミド樹脂 | |
| KR20120134666A (ko) | 후막 폴리이미드 금속박 적층체의 제조방법 | |
| JP3805546B2 (ja) | 耐熱性ボンディングシートの製造方法 | |
| JP2514313B2 (ja) | フレキシブル銅張回路基板 | |
| JP4151008B2 (ja) | ポリイミドフィルム積層体、その製造方法およびフレキシブル回路基板 | |
| JPS61182941A (ja) | フレキシブル銅張回路基板の製法 | |
| JP2004111650A (ja) | プリント配線板用絶縁接着シート及びプリント配線板 | |
| JPH0575224A (ja) | 表面にポリアミツク酸層を有するポリイミドフイルム及びこれを用いたフレキシブル印刷回路用基板 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 9 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071002 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081002 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081002 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 11 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091002 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091002 Year of fee payment: 11 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 12 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101002 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Year of fee payment: 13 Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111002 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term | ||
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111002 Year of fee payment: 13 |