JP2725248B2 - 電磁シールド用パネル - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 （目的） 本発明は、電磁シールドルーム用パネルに関する。

最近、医療機器、OA機器等の精密電子・電気機器の電
磁波、磁気による誤動作や、計測ミスを防止することが
重要視され、シールドルームの施工が増大している。

ところが、電磁波シールドを施す場合は、高周波領域
での電界分が主体となるため、アルミニウムや銅等の高
導電材が使用されるが、磁界シールドの場合は低周波領
域での磁界分が主体となりアモルファス金属やパーマロ
イ等の高透磁率材が使用され、電磁波シールドとは全く
別の扱いとなっていた。

特に、MRIやコンピュータルームにおいては、ペース
メーカ所持者に対する配慮（5G以下とする）や、コンピ
ュータの誤動作を起さない限界（0.5G以下）までの磁界
のシールドと、電磁波の影響（例えばMRIの場合は、１
〜100M Hz）で誤診を起さないようにシールドを施す必
要があるわけであるが、今までは磁界、電界に対して別
別の施工をしていたためコストアップとなっていた。

次に、これらの磁気または電磁シールドルームの施工
方法としては、躯体に張設される間仕切的施工が主体で
ある。すなわち、躯体に、軽量鉄骨や木で枠を構成し、
その上に、合板または、コンクリートパネル等を張付
け、シールド材である材料（電界の場合は銅アルミニウ
ム、磁界の場合はアモルファス、パーマロイ）を固定
し、更にその上に仕上用に合板またはコンクリートパネ
ルを施工し、目地止めをした後、塗装により仕上をして
いるため、かなりの工数を要し、コスト高となってい
る。

本発明は、前述した従来技術の不具合を解決し、簡単
に施工できるシールド材を提供することを解決すべき課
題とする。

（構成） 本発明は前述した課題を解決するために、Ｌ字アング
ル又はパイプで構成された４角形の枠、その枠上に配さ
れた鉄板、けい素鋼板、アルミニウム板、又は銅板、そ
の端部がＬ字アングルおよびパイプに沿って90°曲げら
れた箱形状をしており、さらに、その上に配された軟磁
性非晶質合金部を有し、非晶質合金部が厚さ５〜100μ
ｍ、アスペクト比10〜15,000のフレーク状軟磁性非晶質
合金片を積層してなる構造であり、隣り合うパネルの折
り曲げ部同志を突き合わせ、ボルトとナットにて接続固
定する電磁シールド用パネルを提供する。

電磁波シールドを施す場合はアルミニウムまたは銅の
高導電材を使用すればかなりシールド率を向上させるこ
とができるが、ある程度のシールド率であれば、鉄、け
い素鋼等の磁性体でも接続が充分であれば可能である。

磁気シールドに対しては、アルミニウム、銅では全く
効果はなく、鉄、けい素鋼でも透磁率が低いため不充分
である。高透磁率非晶質金属であれば高効率で磁気シー
ルドできる。この非晶質金属は、薄帯状であれば幅が狭
いため、複合化の際に施工性が複雑となるため、非晶質
合金片の積層体が好ましい。

非晶質合金片の厚さを５μｍ未満にすると非晶質合金
片の製造が困難であり、これが100μｍを越えて厚くな
ると非晶質化が難しくなるのでこの厚さは、５〜100μ
ｍとする。特に好ましい厚さ20〜60μｍである。非晶質
合金片のアスペクト比が10未満では、非晶質合金片の透
磁率が低下し、非晶質合金片の磁気シールド特性が変化
するためと積層が難しくなり、磁気シールド性が劣化す
るようになる。他方、上記アスペクト比が15,000を越え
ると、非晶質合金片の取扱いが面倒となり生産性が低下
するようになる。アスペクト比の特に好ましい範囲は50
〜10,000である。

前述したフレーク状の軟磁性非晶質合金片は以下の如
く作られる。本出願人が先きに特開昭58−6907号公報に
開示しているキャビテーション法（熔融合金に対して漏
れ性の小さな表面層を有し、高速で回転しているロール
表面に熔融金属を供給し、この熔融金属を微細な熔融金
属滴に分断した後、引続いてこの熔融金属滴を高速で回
転する金属回転体に衝突させて急冷凝固させる方法）に
よって、Co_68.8Fe_4.2Si₁₆B₁₁（元素記号に付した数字は
当該元素成分の原子％を表す。以下同じ。）の非晶質合
金フレークを作製した。この非晶質合金の磁歪は零、飽
和磁束密度は7000G、透磁率は10000、結晶化温度は512
℃である。

（実施例１） Ｌ字アングル３で第１図に示すように４角形を構成
し、その上に2.3mm厚の鉄板２を折り曲げ、点溶接に
て、箱型形状を作製した。第１、２図の如く、更に、そ
の鉄板２の上に前述した如き非晶質合金片積層シート１
を、粘着剤にて形状に沿うように貼付け加工し、600mm
幅×1,200mm長さ×50mm高さのパネルとした。このパネ
ルの高さ方向の中心部には、100mmピッチでボルト締用
穴５加工を施しておく。このパネルを用いて4.8m幅×6m
長さ×2.4m高さのシールドルームを製作した。パネル同
志は、あらかじめあけておいた穴５同志にボルト・ナッ
ト６で締め付けた後、第３図に示すように、鉄板２同志
が接続するように溶接８を施した。またコーナ部は第４
図に示すように補助アングル10を用いてボルト11で固定
した後アングル10と鉄板を溶接した。この結果このシー
ルドルームは、静磁界5Gを1G以下とすることができ、か
つ、500K Hz〜1G Hzにおいて60dB以上の減衰率を得るこ
とができ静磁界の磁気シールドから高周波領域の電磁シ
ールドまで可能となり、従来の軽量鉄骨を用いた施工方
法に比べ工期が３分の２と短縮され、コスト的にも安く
なった。

（実施例２） 実施例１における非晶質合金片積層シート１におい
て、非晶質合金片重量が1kg/m²で、ポリエステルフィル
ムの代りに、25μｍのアルミニウムフィルムを用いたシ
ートとした。

パネルは実施例１と同様に、Ｌ字アングル３を用い
て、枠を構成し、その上に、0.5mm厚のけい素鋼板２を
箱形状に固定し、更にその上に上記非晶質合金片積層シ
ート１を粘着で固定した。形状的には全く実施例１と同
様とした。このパネルの上面に更に、耐熱合板９を第５
図のように貼り付けたものとした。

シールドルームは、4.8m幅×6m長さ×2.4m高さとし、
パネル同志の接合部は、アルミニウムの補助材７で両ア
ングル３をかくすようにキャップした後、ボルト６締と
した。コーナ部は第４図のようにＬ字の補助アングル10
を用いた後、必要に応じアルミニウム補助材７でキャッ
プした後、ボルト11締とした。このシールドルームは、
50Hzの500mGの磁界を50mGとすることができ、M Hz〜10M
Hzにおいて80dB以上の減衰率を得ることができた。ま
た、組立後耐熱合板９の目地止めをした後、塗装のみで
仕上げをすることができ工期が従来の半分とすることが
できた。

実施例３ 第６図に示す如く、50mm角のアルミニウムパイプ４に
て、枠を構成し、2mm厚のアルミニウム板２で箱形状を
作製し、更にその上に、実施例１に示した非晶質合金片
積層シートの非晶質合金片重量が1kg/m²としたシート３
を貼り付け、600mm幅×2,400mm長さ×50mm高さのパネル
とした。

このパネルを用いて、4.2m幅×6m長さ×2.4m高さのシ
ールドルームを製作した。接続部は第７図のようにアル
ミニウムの補助材７を用いて、ボルト６締としした。ま
たコーナ部は第８図に示すように、Ｌ字アングルを用い
て固定した。

このシールドルームは、変動磁界100mGを20mG以下と
することができ、かつ1M Hz〜100M Hzにおいて、100dB
以上の減衰率を得ることができた。工期も非常に短縮さ
れ、３分の２とすることができた。

以上の他に、ルーム内の磁界を外部に漏洩したくない
場合のシールドルームの作製は、非晶質合金積層シート
を、外側に配置する必要があるため、パネルの組立は実
施例１〜３とは逆となるため、第９、10図のようにコー
ナ部を施工する必要がある。また、補助材を用いる場合
は、第11、12図に示すような施工方法を取れば良い。

（効果） 本発明パネルは、電磁シールド特性と、磁気シールド
特性の優れたシールド特性を有するシールド材である。

次に、電磁および磁気シールドルームを施工する際、
軽量鉄骨や木で躯体に枠組を施す従来の施工方法と異な
り、パネル同志の折曲げ部同志に、あらかじめ穴をあけ
ておき、その部分にボルトおよびナットで締め付けるこ
とにより簡単に、接続が出きるため、非常に工期が短縮
される。

また、電磁シールドで特に周波数の高い場合は、わず
かな空間が問題となるため、パネル同志の折り曲げ部を
溶接するか、コの字型の補助材を、ボルト締部に配置す
ることで合せ部からの漏洩を防止でき、電気的に導電を
得ることができる。

更に、パネルの前面に仕上げ用のコンクリートパネル
または、耐熱合板をあらじめ取付けておけば、組立後パ
ネル間の目地止め処理と塗装のみで仕上げられるため非
常な工期短縮となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一例のパネルの斜視図、第２図はその
断面図、第３図は突き合せ部の断面図、第４図はコーナ
部の一例の断面図、第５図は補助材を用いた突き合せ部
の断面図、第６図はパイプを用いた例の断面図、第７図
は補助材とパイプを用いた突き合せ部の断面図、第８図
はパイプを用いたコーナ部を示す断面図、第９、10図は
非晶質合金を外壁とした各例を示す断面図、第11、12図
は補助材を用い且つ非晶質合金を外壁とした各例の断面
図である。 図中 １……非晶質合金積層シート ２……鉄、けい素鋼、アルミニウム、銅 ３……Ｌ字アングル ４……パイプ ５……穴 ６……ボルト・ナット ７……補助材 ８……溶接 ９……耐熱合板、コンクリートパネル 10……補助Ｌ字アングル

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 戸田 幸生 埼玉県熊谷市熊谷810 株式会社リケン 熊谷事業所内 (72)発明者 西村 和弘 埼玉県熊谷市熊谷810 株式会社リケン 熊谷事業所内 (56)参考文献 特開 昭62−146337（ＪＰ，Ａ)

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】Ｌ字アングル又はパイプで構成された４角
   形の枠、その枠上に配された鉄板、けい素鋼板、アルミ
   ニウム板、又は銅板、その端部がＬ字アングルおよびパ
   イプに沿って90°曲げられた箱形状をしており、さら
   に、その上に配された軟磁性非晶質合金部を有し、非晶
   質合金部が厚さ５〜100μｍ、アスペクト比10〜15,000
   のフレーク状軟磁性非晶質合金片を積層してなる構造で
   あり、隣り合うパネルの折り曲げ部同志を突き合わせ、
   ボルトとナットにて接続固定する電磁シールド用パネ
   ル。