JP2662215B2 - 細胞保持装置 - Google Patents
細胞保持装置Info
- Publication number
- JP2662215B2 JP2662215B2 JP61274031A JP27403186A JP2662215B2 JP 2662215 B2 JP2662215 B2 JP 2662215B2 JP 61274031 A JP61274031 A JP 61274031A JP 27403186 A JP27403186 A JP 27403186A JP 2662215 B2 JP2662215 B2 JP 2662215B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- oxide film
- cells
- substrate
- holding device
- resist
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C12—BIOCHEMISTRY; BEER; SPIRITS; WINE; VINEGAR; MICROBIOLOGY; ENZYMOLOGY; MUTATION OR GENETIC ENGINEERING
- C12N—MICROORGANISMS OR ENZYMES; COMPOSITIONS THEREOF; PROPAGATING, PRESERVING, OR MAINTAINING MICROORGANISMS; MUTATION OR GENETIC ENGINEERING; CULTURE MEDIA
- C12N13/00—Treatment of microorganisms or enzymes with electrical or wave energy, e.g. magnetism, sonic waves
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C12—BIOCHEMISTRY; BEER; SPIRITS; WINE; VINEGAR; MICROBIOLOGY; ENZYMOLOGY; MUTATION OR GENETIC ENGINEERING
- C12M—APPARATUS FOR ENZYMOLOGY OR MICROBIOLOGY; APPARATUS FOR CULTURING MICROORGANISMS FOR PRODUCING BIOMASS, FOR GROWING CELLS OR FOR OBTAINING FERMENTATION OR METABOLIC PRODUCTS, i.e. BIOREACTORS OR FERMENTERS
- C12M23/00—Constructional details, e.g. recesses, hinges
- C12M23/20—Material Coatings
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C12—BIOCHEMISTRY; BEER; SPIRITS; WINE; VINEGAR; MICROBIOLOGY; ENZYMOLOGY; MUTATION OR GENETIC ENGINEERING
- C12M—APPARATUS FOR ENZYMOLOGY OR MICROBIOLOGY; APPARATUS FOR CULTURING MICROORGANISMS FOR PRODUCING BIOMASS, FOR GROWING CELLS OR FOR OBTAINING FERMENTATION OR METABOLIC PRODUCTS, i.e. BIOREACTORS OR FERMENTERS
- C12M35/00—Means for application of stress for stimulating the growth of microorganisms or the generation of fermentation or metabolic products; Means for electroporation or cell fusion
- C12M35/02—Electrical or electromagnetic means, e.g. for electroporation or for cell fusion
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
- G01N15/10—Investigating individual particles
- G01N15/14—Optical investigation techniques, e.g. flow cytometry
- G01N15/149—Optical investigation techniques, e.g. flow cytometry specially adapted for sorting particles, e.g. by their size or optical properties
Landscapes
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Wood Science & Technology (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Bioinformatics & Cheminformatics (AREA)
- Zoology (AREA)
- Genetics & Genomics (AREA)
- Biotechnology (AREA)
- Microbiology (AREA)
- Biomedical Technology (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Sustainable Development (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Cell Biology (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Immunology (AREA)
- Clinical Laboratory Science (AREA)
- Apparatus Associated With Microorganisms And Enzymes (AREA)
- Micro-Organisms Or Cultivation Processes Thereof (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、細胞融合等に際して多数の細胞を個々に隔
離して安定に保持するのに適した細胞保持装置に関す
る。 〔従来の技術〕 細胞を１個ずつ配列せしめる従来の技術として特開昭
60−251877号公報に記載のように、細胞を流体的手段で
搬送し、所望の位置に１個ずつ供給するという方法が知
られている。 〔発明が解決しようとする問題点〕 上記従来技術では、細胞を１個ずつ供給して整列さ
せ、例えばマイクロインジェクション，細胞電気生理実
験，電子顕微鏡観察等を行う場合、１個の細胞を整列も
しくは固定せしめるのに、手技による方法にたよってい
るため１回の処理に長時間を要している。このため、個
々の細胞の履歴を均一化するのが困難であるばかりでな
く、細胞の活性低下を生じていた。一方、ポリ−Ｌ−リ
ジンによる細胞の固定方法もあるが、細胞に対する毒性
が懸念されている。細胞に活性低下の原因の一つは、細
胞の活性度を維持したまま安定して保持する好適な手段
が存在しなかったためである。 本発明の目的は、多量の細胞を短時間に平面上に配列
せしめ、確実にその位置を安定させて保持する手段を与
えることにある。 〔問題点を解決するための手段〕 上記目的は、Si単結晶基板上に、リソグラフィを利用
して高精度な穴の配列パターンを形成し、次いで、化学
エッチングにおける異方性エッチングや等方性エッチン
グ、又はドライエッチングを用いて多数の凹部を形成す
ることによって達成される。〔作 用〕 Si単結晶基板は、リソグラフィの技術を利用すること
によって、細胞保持装置の規則的な配列の位置関係の高
精度化を可能とし、異方性エッチングによって、３次元
的な複雑形状の細胞隔離用凹部の加工を容易にする。凹
部が形成されたSi基板は細胞を確実に隔離する作用をす
る。 〔実施例〕 以下、本発明について実施例を用いて説明する。第１
図は、本発明に係る細胞保持装置を示す。図において、
１はSi単結晶基板、２は基板上に形成した、細胞を格納
し保持するための凹部を示す。基板上には、この凹部が
２次元的に配列されており、数多くの細胞を個々に隔離
し、保持した状態で操作することが可能である。 次に、該凹部の形状の詳細について述べる。第２図
は、Si単結晶基板の面方位が（100）の場合に得た凹部
の形状を示す。凹部は四角錐台形であり、細胞を挿入し
易く、細胞を個々に隔離する壁３と、保持するに充分な
強度の底板４を有している。なお、底板４は、第３図に
示すようにスリット５を部分的に設けた構造にすること
によって流体の出入を可能とし、液中での細胞の操作を
行うことができる。また、底板４は、第４図に示すよう
に、酸化膜６で代用することもできる。酸化膜（SiO2）
は透明体であり、このような構造の凹部を用いれば挿入
した細胞の様子を顕微鏡等により観察可能であり、細胞
手術やマイクロインジェクションの操作が可能となる。
なお、SiO2底板に、第３図に示したようなスリットを部
分的に設けた構造も可能である。 次に（110）の面方位をもつSi単結晶基板に形成した
凹部形状の詳細を第５図に示す。すなわち、第５図
（ａ）のように基板の一方に、微小粒子を挿入するため
の半球状の穴23を有し、もう一方から、スリット状の深
穴８が、半球状穴23に達する構造となっている。また、
その側断面図は第５図（ｂ）に示すように、半球状穴23
から下方に広がるように深穴８が形成されている。 次に、上述の凹部形状に関する製造方法の詳細につい
て示す。第６図は、第２図および第４図で示した凹部の
形成方法を示す図である。まず、基板１の表面に酸化膜
６を形成する（第６図（ａ））。その後、片面にレジス
ト９を塗布する（第６図（ｂ））。次いで、露光装置を
用いた露光および現像によってホトレジスト９に四角形
開口パターン10を形成する（第６図（ｃ））。次に、ホ
トレジスト９をマスクとして、フッ化水素酸等で酸化膜
６をエッチングして、酸化膜６に四角形の開口パターン
11を形成する（第６図（ｄ））。さらに、ホトレジスト
９を除去した後、酸化膜６をマスクとしてKOH等のアル
カリ水溶液、又はヒドラジン等のアミン系水溶液を用い
て適当な時間エッチングを行うことにより、基板１の表
面と約54.7゜の角度を有する｛111｝系の面からなる側
壁３と、底板４が形成される（第６図（ｅ））。この状
態で酸化膜を除去することによって、第２図で示した構
造の凹部を得ることができる。第６図（ｅ）の状態から
さらにエッチングを行うと（第６図（ｆ））、第４図で
示した底板部が酸化膜６から成る凹部を得ることができ
る。 次に、底板が、部分的に開口した構造の凹部の製造プ
ロセスについて第７図，第８図を用いて説明する。 第７図は、底板が酸化膜から成る時の製造プロセスを
示す。基板１の両面に酸化膜６を形成し、第６図（ａ）
〜（ｄ）と同様のプロセスを経る（第７図（ａ））。次
いで、裏面にレジスト９を塗布する（第７図（ｂ））。
さらに、表面の四角形開口パターン11と位置関係がずれ
ないように、裏面のレジスト９に部分的に開口したパタ
ーン12を形成する。次にレジスト９をマスクとして酸化
膜６をエッチングし、パターン13を形成する（第７図
（ｄ））。最後に、レジストを除去し、酸化膜６をマス
クとして、KOH水溶液によるエッチングを行い、所望の
形状の凹部を得る（第７図（ｅ））。 次に、第３図に示した底の部分がSiの場合のスリット
付底板の形成方法を第８図を用いて説明する。始めに、
Si単結晶基板１に酸化膜６を形成する（第８図
（ａ））。次いで、基板の一方にレジスト９を塗布する
（第８図（ｂ））。レジスト９に対して、第６図および
第７図と同様に、パターン14を形成し（第８図
（ｃ））、次いで酸化膜のパターン15を形成する（第８
図（ｄ））。レジスト９を除去して、KOH水溶液により
異方性エッチングを行うことにより、｛111｝面が生
じ、第８図（ｅ）に示すみぞ16が得られる。次いで、酸
化膜を除去して（第８図（ｆ））。再度全表面に酸化膜
を形成する（第８図（ｇ））。さらに、みぞを形成した
面の反対側にレジスト９を塗布して（第８図（ｈ））、
それに四角形のレジストパターン17を形成し（第８図
（ｉ））、さらに先と同様の手順で酸化膜に四角形の開
口パターン18を形成する（第８図（ｊ））。レジスト除
去後、適当な時間，異方性エッチングを行うことによ
り、部分的に開口した底板が形成される（第８図
（ｋ））。最後に、酸化膜６を除去して使用する（第８
図（ｌ））。なお、この後、再度、全表面に酸化膜を形
成して使用することも可能である。 次に、第５図で示した凹形構造の形成プロセスを第９
図を用いて説明する。これまでの実施例と同様に、Si単
結晶ウエハ１に、酸化膜６を形成する（第９図
（ａ））。次に、いずれか片側の面にクロムおよび金の
蒸着層19を形成する（第９図（ｂ））。レジスト９を塗
布した後、露光装置による露光および、現像を行って、
円形の開口パターン20を形成する（第９図（ｃ））。次
いで、レジストをマスクとして、金とクロムのそれぞれ
を、ヨウ素ヨウ化アンモン水溶液および、硝酸第２セリ
ウムアンモニウム水溶液で除去し、円形パターン21を形
成する（第９図（ｅ））。次に、酸化膜をエッチングし
円形パターン22を得る（第９図（ｅ））。レジスト除去
後、クロムおよび金の蒸着膜および酸化膜をマスクとし
て、フッ酸および硝酸の混合液により等方的にSiをエッ
チングし、半球状の凹部23を得る（第９図（ｆ））。次
いで、クロムと金の蒸着膜および酸化膜６を除去し、新
たに酸化膜を形成した後、裏面にレジストを塗布する
（第９図（ｇ））。次いで、このレジストにパターン24
を形成し、前記実施例と同様の手順により酸化膜の開口
パターン25を形成する（第９図（ｈ），（ｉ））。レジ
ストを除去し、酸化膜をマスクとして、KOH水溶液によ
り、異方性エッチングを行う（第９図（ｊ））。この場
合、パターンの方向と、Si単結晶基板の結晶方位を適切
に選択することによって、パターン８の様な平行みぞを
得ることができる。最後に、酸化膜を除去して、水抜き
スリットを有する半球形の凹部を得る（第９図
（ｋ））。なお、この後、再度酸化膜を全表面に形成し
て使用することも可能である。 上記実施例においては、一枚のSi単結晶基板上に凹部
を形成したが、第10図に示すように、二枚のSi単結晶基
板1,1′に別々に凹部を形成して、組合せた構造も本発
明によれば容易に実施できる。また、Si単結晶基板に凹
部を形成したものにガラス基板等の他の材料から成る基
板をはり合せた構造などの変形も容易である。さらに、
上記実施例では、面方位が（100），（110）２つのウエ
ハについてだけ述べたが、他の面方位をもつウエハにつ
いても適用可能である。 また、上記実施例では、エッチングの方法として、湿
式による等方エッチングと異方性エッチングを使用して
いるが、ドライエッチングによる加工でも細胞を格納す
る凹部を形成できることは勿論である。 上記実施例では、細胞を機械的に隔離し保持する凹部
について述べたが、細胞を一層安定に配列せしめるため
に、既に形成した凹部の底板に細胞を電気的に吸着する
ための電極を形成することも効果的である。 〔発明の効果〕 以上の説明から明らかなように、この発明に係る細胞
保持装置においては、Si単結晶基板を使用することによ
り、異方性エッチングや等方性エッチングの手段で複雑
で微細な穴を加工でき、各細胞を個々に安定して隔離し
保持することが可能である。また、Si単結晶であるた
め、機械的強度もすぐれてばらつきがなく、さらに、リ
ソグラフィの技術を用いて、正確な位置関係の下に多数
の凹部を配列できる。細胞を一層安定に配列せしめるた
めに、既に形成した凹部の底板に粒子を吸引するための
電極を形成することも可能である。この結果、バイオ機
器に装着して細胞の操作を大量に、高速に、効率的に行
うことができ、自動的に操作する上でも効果がある。
離して安定に保持するのに適した細胞保持装置に関す
る。 〔従来の技術〕 細胞を１個ずつ配列せしめる従来の技術として特開昭
60−251877号公報に記載のように、細胞を流体的手段で
搬送し、所望の位置に１個ずつ供給するという方法が知
られている。 〔発明が解決しようとする問題点〕 上記従来技術では、細胞を１個ずつ供給して整列さ
せ、例えばマイクロインジェクション，細胞電気生理実
験，電子顕微鏡観察等を行う場合、１個の細胞を整列も
しくは固定せしめるのに、手技による方法にたよってい
るため１回の処理に長時間を要している。このため、個
々の細胞の履歴を均一化するのが困難であるばかりでな
く、細胞の活性低下を生じていた。一方、ポリ−Ｌ−リ
ジンによる細胞の固定方法もあるが、細胞に対する毒性
が懸念されている。細胞に活性低下の原因の一つは、細
胞の活性度を維持したまま安定して保持する好適な手段
が存在しなかったためである。 本発明の目的は、多量の細胞を短時間に平面上に配列
せしめ、確実にその位置を安定させて保持する手段を与
えることにある。 〔問題点を解決するための手段〕 上記目的は、Si単結晶基板上に、リソグラフィを利用
して高精度な穴の配列パターンを形成し、次いで、化学
エッチングにおける異方性エッチングや等方性エッチン
グ、又はドライエッチングを用いて多数の凹部を形成す
ることによって達成される。〔作 用〕 Si単結晶基板は、リソグラフィの技術を利用すること
によって、細胞保持装置の規則的な配列の位置関係の高
精度化を可能とし、異方性エッチングによって、３次元
的な複雑形状の細胞隔離用凹部の加工を容易にする。凹
部が形成されたSi基板は細胞を確実に隔離する作用をす
る。 〔実施例〕 以下、本発明について実施例を用いて説明する。第１
図は、本発明に係る細胞保持装置を示す。図において、
１はSi単結晶基板、２は基板上に形成した、細胞を格納
し保持するための凹部を示す。基板上には、この凹部が
２次元的に配列されており、数多くの細胞を個々に隔離
し、保持した状態で操作することが可能である。 次に、該凹部の形状の詳細について述べる。第２図
は、Si単結晶基板の面方位が（100）の場合に得た凹部
の形状を示す。凹部は四角錐台形であり、細胞を挿入し
易く、細胞を個々に隔離する壁３と、保持するに充分な
強度の底板４を有している。なお、底板４は、第３図に
示すようにスリット５を部分的に設けた構造にすること
によって流体の出入を可能とし、液中での細胞の操作を
行うことができる。また、底板４は、第４図に示すよう
に、酸化膜６で代用することもできる。酸化膜（SiO2）
は透明体であり、このような構造の凹部を用いれば挿入
した細胞の様子を顕微鏡等により観察可能であり、細胞
手術やマイクロインジェクションの操作が可能となる。
なお、SiO2底板に、第３図に示したようなスリットを部
分的に設けた構造も可能である。 次に（110）の面方位をもつSi単結晶基板に形成した
凹部形状の詳細を第５図に示す。すなわち、第５図
（ａ）のように基板の一方に、微小粒子を挿入するため
の半球状の穴23を有し、もう一方から、スリット状の深
穴８が、半球状穴23に達する構造となっている。また、
その側断面図は第５図（ｂ）に示すように、半球状穴23
から下方に広がるように深穴８が形成されている。 次に、上述の凹部形状に関する製造方法の詳細につい
て示す。第６図は、第２図および第４図で示した凹部の
形成方法を示す図である。まず、基板１の表面に酸化膜
６を形成する（第６図（ａ））。その後、片面にレジス
ト９を塗布する（第６図（ｂ））。次いで、露光装置を
用いた露光および現像によってホトレジスト９に四角形
開口パターン10を形成する（第６図（ｃ））。次に、ホ
トレジスト９をマスクとして、フッ化水素酸等で酸化膜
６をエッチングして、酸化膜６に四角形の開口パターン
11を形成する（第６図（ｄ））。さらに、ホトレジスト
９を除去した後、酸化膜６をマスクとしてKOH等のアル
カリ水溶液、又はヒドラジン等のアミン系水溶液を用い
て適当な時間エッチングを行うことにより、基板１の表
面と約54.7゜の角度を有する｛111｝系の面からなる側
壁３と、底板４が形成される（第６図（ｅ））。この状
態で酸化膜を除去することによって、第２図で示した構
造の凹部を得ることができる。第６図（ｅ）の状態から
さらにエッチングを行うと（第６図（ｆ））、第４図で
示した底板部が酸化膜６から成る凹部を得ることができ
る。 次に、底板が、部分的に開口した構造の凹部の製造プ
ロセスについて第７図，第８図を用いて説明する。 第７図は、底板が酸化膜から成る時の製造プロセスを
示す。基板１の両面に酸化膜６を形成し、第６図（ａ）
〜（ｄ）と同様のプロセスを経る（第７図（ａ））。次
いで、裏面にレジスト９を塗布する（第７図（ｂ））。
さらに、表面の四角形開口パターン11と位置関係がずれ
ないように、裏面のレジスト９に部分的に開口したパタ
ーン12を形成する。次にレジスト９をマスクとして酸化
膜６をエッチングし、パターン13を形成する（第７図
（ｄ））。最後に、レジストを除去し、酸化膜６をマス
クとして、KOH水溶液によるエッチングを行い、所望の
形状の凹部を得る（第７図（ｅ））。 次に、第３図に示した底の部分がSiの場合のスリット
付底板の形成方法を第８図を用いて説明する。始めに、
Si単結晶基板１に酸化膜６を形成する（第８図
（ａ））。次いで、基板の一方にレジスト９を塗布する
（第８図（ｂ））。レジスト９に対して、第６図および
第７図と同様に、パターン14を形成し（第８図
（ｃ））、次いで酸化膜のパターン15を形成する（第８
図（ｄ））。レジスト９を除去して、KOH水溶液により
異方性エッチングを行うことにより、｛111｝面が生
じ、第８図（ｅ）に示すみぞ16が得られる。次いで、酸
化膜を除去して（第８図（ｆ））。再度全表面に酸化膜
を形成する（第８図（ｇ））。さらに、みぞを形成した
面の反対側にレジスト９を塗布して（第８図（ｈ））、
それに四角形のレジストパターン17を形成し（第８図
（ｉ））、さらに先と同様の手順で酸化膜に四角形の開
口パターン18を形成する（第８図（ｊ））。レジスト除
去後、適当な時間，異方性エッチングを行うことによ
り、部分的に開口した底板が形成される（第８図
（ｋ））。最後に、酸化膜６を除去して使用する（第８
図（ｌ））。なお、この後、再度、全表面に酸化膜を形
成して使用することも可能である。 次に、第５図で示した凹形構造の形成プロセスを第９
図を用いて説明する。これまでの実施例と同様に、Si単
結晶ウエハ１に、酸化膜６を形成する（第９図
（ａ））。次に、いずれか片側の面にクロムおよび金の
蒸着層19を形成する（第９図（ｂ））。レジスト９を塗
布した後、露光装置による露光および、現像を行って、
円形の開口パターン20を形成する（第９図（ｃ））。次
いで、レジストをマスクとして、金とクロムのそれぞれ
を、ヨウ素ヨウ化アンモン水溶液および、硝酸第２セリ
ウムアンモニウム水溶液で除去し、円形パターン21を形
成する（第９図（ｅ））。次に、酸化膜をエッチングし
円形パターン22を得る（第９図（ｅ））。レジスト除去
後、クロムおよび金の蒸着膜および酸化膜をマスクとし
て、フッ酸および硝酸の混合液により等方的にSiをエッ
チングし、半球状の凹部23を得る（第９図（ｆ））。次
いで、クロムと金の蒸着膜および酸化膜６を除去し、新
たに酸化膜を形成した後、裏面にレジストを塗布する
（第９図（ｇ））。次いで、このレジストにパターン24
を形成し、前記実施例と同様の手順により酸化膜の開口
パターン25を形成する（第９図（ｈ），（ｉ））。レジ
ストを除去し、酸化膜をマスクとして、KOH水溶液によ
り、異方性エッチングを行う（第９図（ｊ））。この場
合、パターンの方向と、Si単結晶基板の結晶方位を適切
に選択することによって、パターン８の様な平行みぞを
得ることができる。最後に、酸化膜を除去して、水抜き
スリットを有する半球形の凹部を得る（第９図
（ｋ））。なお、この後、再度酸化膜を全表面に形成し
て使用することも可能である。 上記実施例においては、一枚のSi単結晶基板上に凹部
を形成したが、第10図に示すように、二枚のSi単結晶基
板1,1′に別々に凹部を形成して、組合せた構造も本発
明によれば容易に実施できる。また、Si単結晶基板に凹
部を形成したものにガラス基板等の他の材料から成る基
板をはり合せた構造などの変形も容易である。さらに、
上記実施例では、面方位が（100），（110）２つのウエ
ハについてだけ述べたが、他の面方位をもつウエハにつ
いても適用可能である。 また、上記実施例では、エッチングの方法として、湿
式による等方エッチングと異方性エッチングを使用して
いるが、ドライエッチングによる加工でも細胞を格納す
る凹部を形成できることは勿論である。 上記実施例では、細胞を機械的に隔離し保持する凹部
について述べたが、細胞を一層安定に配列せしめるため
に、既に形成した凹部の底板に細胞を電気的に吸着する
ための電極を形成することも効果的である。 〔発明の効果〕 以上の説明から明らかなように、この発明に係る細胞
保持装置においては、Si単結晶基板を使用することによ
り、異方性エッチングや等方性エッチングの手段で複雑
で微細な穴を加工でき、各細胞を個々に安定して隔離し
保持することが可能である。また、Si単結晶であるた
め、機械的強度もすぐれてばらつきがなく、さらに、リ
ソグラフィの技術を用いて、正確な位置関係の下に多数
の凹部を配列できる。細胞を一層安定に配列せしめるた
めに、既に形成した凹部の底板に粒子を吸引するための
電極を形成することも可能である。この結果、バイオ機
器に装着して細胞の操作を大量に、高速に、効率的に行
うことができ、自動的に操作する上でも効果がある。
【図面の簡単な説明】
第１図は、Si基板上に多数の凹部を形成した細胞保持装
置の正面図および側面図、第２図，第３図，第４図は、
（100）ウエハ上に形成した凹部の構造を示す上面図お
よび、断面図、第５図は、（110）ウエハ上に形成した
凹部の構造を示す断面図、第６図は第２図，第４図に示
した凹部の製造プロセスを示す断面図、第７図は、第４
図の凹部の底板に開口を形成するときの製造プロセスを
示す断面図、第８図は、第３図で示した凹部の製造プロ
セスを示す断面図、第９図は、第５図で示した凹部の製
造プロセスを示す断面図、第10図は、はり合せによる細
胞保持装置を示す断面図である。 １……Si単結晶基板 ２……細胞を格納する凹部 ６……酸化膜
置の正面図および側面図、第２図，第３図，第４図は、
（100）ウエハ上に形成した凹部の構造を示す上面図お
よび、断面図、第５図は、（110）ウエハ上に形成した
凹部の構造を示す断面図、第６図は第２図，第４図に示
した凹部の製造プロセスを示す断面図、第７図は、第４
図の凹部の底板に開口を形成するときの製造プロセスを
示す断面図、第８図は、第３図で示した凹部の製造プロ
セスを示す断面図、第９図は、第５図で示した凹部の製
造プロセスを示す断面図、第10図は、はり合せによる細
胞保持装置を示す断面図である。 １……Si単結晶基板 ２……細胞を格納する凹部 ６……酸化膜
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 河村 喜雄
国分寺市東恋ヶ窪１丁目280番地 株式
会社日立製作所中央研究所内
(72)発明者 鶴岡 久
国分寺市東恋ヶ窪１丁目280番地 株式
会社日立製作所基礎研究所内
(56)参考文献 特開 昭59−31685（ＪＰ，Ａ)
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 １．上側表面から下側表面まで貫通し、１個の細胞を隔
離して収容するための孔を複数有する基板と、前記基板
の下側表面に設けられ、前記孔内に収容された細胞を支
持するための支持部材とからなり、前記支持部材の前記
孔に対応するそれぞれの部分の各々には、前記孔内に収
容された細胞が通過できない大きさの径の貫通孔が複数
設けられていることを特徴とする細胞保持装置。 ２．上記基板が、シリコン単結晶体からなっていること
を特徴とする特許請求の範囲第１項に記載の細胞保持装
置。 ３．上記支持部材が、透明な物質で構成されていること
を特徴とする特許請求の範囲第１項に記載の細胞保持装
置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61274031A JP2662215B2 (ja) | 1986-11-19 | 1986-11-19 | 細胞保持装置 |
| US07/122,269 US4894343A (en) | 1986-11-19 | 1987-11-18 | Chamber plate for use in cell fusion and a process for production thereof |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61274031A JP2662215B2 (ja) | 1986-11-19 | 1986-11-19 | 細胞保持装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63129980A JPS63129980A (ja) | 1988-06-02 |
| JP2662215B2 true JP2662215B2 (ja) | 1997-10-08 |
Family
ID=17535993
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61274031A Expired - Lifetime JP2662215B2 (ja) | 1986-11-19 | 1986-11-19 | 細胞保持装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4894343A (ja) |
| JP (1) | JP2662215B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1752221A1 (en) | 2005-08-05 | 2007-02-14 | Fujitsu Limited | Automatic microinjection apparatus and cell trapping plate |
| KR20180058732A (ko) | 2015-09-29 | 2018-06-01 | 도쿄 오카 고교 가부시키가이샤 | 기판, 구조체, 구조체의 제조 방법, 세포의 선별 방법, 세포의 제조 방법, 및 분비물의 생산 방법 |
| WO2018105608A1 (ja) | 2016-12-07 | 2018-06-14 | 東京応化工業株式会社 | 粒子捕捉デバイス |
Families Citing this family (112)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5310674A (en) * | 1982-05-10 | 1994-05-10 | Bar-Ilan University | Apertured cell carrier |
| JP2564322B2 (ja) * | 1987-10-07 | 1996-12-18 | 株式会社日立製作所 | 細胞融合装置 |
| US5183744A (en) * | 1988-10-26 | 1993-02-02 | Hitachi, Ltd. | Cell handling method for cell fusion processor |
| JPH03247276A (ja) * | 1990-02-27 | 1991-11-05 | Hitachi Ltd | 細胞の配列方法及び装置 |
| NZ237412A (en) * | 1990-03-12 | 1992-08-26 | Agronomique Inst Nat Rech | Electrical stimulation of cell cultures |
| FR2659347B1 (fr) * | 1990-03-12 | 1994-09-02 | Agronomique Inst Nat Rech | Dispositif de culture de cellules assurant leur immobilisation. |
| JP2966904B2 (ja) * | 1990-08-08 | 1999-10-25 | 株式会社日立製作所 | 細胞の処理方法、および処理装置 |
| US5173158A (en) * | 1991-07-22 | 1992-12-22 | Schmukler Robert E | Apparatus and methods for electroporation and electrofusion |
| US5449620A (en) * | 1994-01-25 | 1995-09-12 | Thomas Jefferson University | Apparatus and method for culturing embryonic stem cells |
| US6074609A (en) * | 1996-04-24 | 2000-06-13 | Glaxo Wellcome Inc. | Systems for arraying beads |
| US5767877A (en) * | 1996-08-13 | 1998-06-16 | Xerox Corporation | Toner jet printer |
| US5889541A (en) * | 1996-10-09 | 1999-03-30 | Xerox Corporation | Two-dimensional print cell array apparatus and method for delivery of toner for printing images |
| US6149869A (en) * | 1996-10-23 | 2000-11-21 | Glaxo Wellcome Inc. | Chemical synthesizers |
| US6042789A (en) * | 1996-10-23 | 2000-03-28 | Glaxo Group Limited | System for parallel synthesis of organic compounds |
| WO1998022819A1 (de) * | 1996-11-16 | 1998-05-28 | Nmi Naturwissenschaftliches Und Medizinisches Institut An Der Universität Tübingen In Reutlingen Stiftung Bürgerlichen Rechts | Mikroelementenanordnung, verfahren zum kontaktieren von in einer flüssigen umgebung befindlichen zellen und verfahren zum herstellen einer mikroelementenanordnung |
| US6083761A (en) * | 1996-12-02 | 2000-07-04 | Glaxo Wellcome Inc. | Method and apparatus for transferring and combining reagents |
| AU9786798A (en) * | 1997-10-10 | 1999-05-03 | Biosepra Inc. | Aligned multiwell multiplate stack and method for processing biological/chemicalsamples using the same |
| US5962250A (en) * | 1997-10-28 | 1999-10-05 | Glaxo Group Limited | Split multi-well plate and methods |
| US7244349B2 (en) * | 1997-12-17 | 2007-07-17 | Molecular Devices Corporation | Multiaperture sample positioning and analysis system |
| US20020144905A1 (en) * | 1997-12-17 | 2002-10-10 | Christian Schmidt | Sample positioning and analysis system |
| CA2316966C (en) | 1997-12-17 | 2008-04-08 | Horst Vogel | Positioning and electrophysiological characterization of individual cells and reconstituted membrane systems on microstructured carriers |
| US6083682A (en) * | 1997-12-19 | 2000-07-04 | Glaxo Group Limited | System and method for solid-phase parallel synthesis of a combinatorial collection of compounds |
| US6210910B1 (en) | 1998-03-02 | 2001-04-03 | Trustees Of Tufts College | Optical fiber biosensor array comprising cell populations confined to microcavities |
| EP1064353B1 (en) * | 1998-03-18 | 2002-11-06 | Massachusetts Institute Of Technology | Vascularized perfused microtissue/micro-organ arrays |
| WO1999064581A1 (en) | 1998-06-10 | 1999-12-16 | University Of South Florida | Electrofusion chamber |
| GB9812783D0 (en) | 1998-06-12 | 1998-08-12 | Cenes Ltd | High throuoghput screen |
| US7060431B2 (en) * | 1998-06-24 | 2006-06-13 | Illumina, Inc. | Method of making and decoding of array sensors with microspheres |
| DE19859459A1 (de) | 1998-12-22 | 2000-06-29 | Evotec Biosystems Ag | Mikrosysteme zur Zellpermeation und Zellfusion |
| GB9908681D0 (en) * | 1999-04-16 | 1999-06-09 | Central Research Lab Ltd | Apparatus for, and method of, introducing a substance into an object |
| AU5061300A (en) * | 1999-06-30 | 2001-01-22 | Danish Institute of Agricultural Sciences, The | Microchamber for embryo cell culture |
| SE9902817D0 (sv) | 1999-07-30 | 1999-07-30 | A & Science Invest Ab | A method for selective electrofusion of at least two fusion partners having cell-like membranes |
| US6488829B1 (en) * | 1999-08-05 | 2002-12-03 | Essen Instruments Inc | High-throughput electrophysiological measurement apparatus |
| US7167615B1 (en) | 1999-11-05 | 2007-01-23 | Board Of Regents, The University Of Texas System | Resonant waveguide-grating filters and sensors and methods for making and using same |
| US6692952B1 (en) | 1999-11-10 | 2004-02-17 | Massachusetts Institute Of Technology | Cell analysis and sorting apparatus for manipulation of cells |
| US20060128006A1 (en) * | 1999-11-10 | 2006-06-15 | Gerhardt Antimony L | Hydrodynamic capture and release mechanisms for particle manipulation |
| WO2001035071A2 (en) * | 1999-11-10 | 2001-05-17 | Massachusetts Institute Of Technology | Cell analysis and sorting apparatus for manipulation of cells |
| US6471917B1 (en) | 2000-04-11 | 2002-10-29 | Affymax, Inc. | System and method for single or multiple bead distribution with an adjustable capillary |
| IL136232A0 (en) * | 2000-05-18 | 2001-05-20 | Bar Ilan University Res Author | Measurements of enzymatic activity in a single, individual cell in population |
| US6541243B1 (en) * | 2000-06-05 | 2003-04-01 | Axon Instruments, Inc. | Perfusion chamber for electrophysiological testing of oocytes |
| MXPA02002500A (es) * | 2000-07-07 | 2004-09-10 | Baxter Int | Sistema medico, metodo y aparato utilizando sensores micro-electromecanicos. |
| US7270730B2 (en) * | 2000-08-04 | 2007-09-18 | Essen Instruments, Inc. | High-throughput electrophysiological measurement system |
| US7067046B2 (en) * | 2000-08-04 | 2006-06-27 | Essen Instruments, Inc. | System for rapid chemical activation in high-throughput electrophysiological measurements |
| US20050158702A1 (en) * | 2000-09-05 | 2005-07-21 | Stuelpnagel John R. | Cellular arrays comprising encoded cells |
| US20050058990A1 (en) * | 2001-03-24 | 2005-03-17 | Antonio Guia | Biochip devices for ion transport measurement, methods of manufacture, and methods of use |
| US20040146849A1 (en) * | 2002-01-24 | 2004-07-29 | Mingxian Huang | Biochips including ion transport detecting structures and methods of use |
| EP1372828A4 (en) * | 2001-03-24 | 2008-10-29 | Aviva Biosciences Corp | BIOCHIPS WITH ION TRANSPORTATION STRUCTURES AND USE METHOD |
| US20050009004A1 (en) * | 2002-05-04 | 2005-01-13 | Jia Xu | Apparatus including ion transport detecting structures and methods of use |
| US20050196746A1 (en) * | 2001-03-24 | 2005-09-08 | Jia Xu | High-density ion transport measurement biochip devices and methods |
| US20060029955A1 (en) * | 2001-03-24 | 2006-02-09 | Antonio Guia | High-density ion transport measurement biochip devices and methods |
| DE10128574A1 (de) * | 2001-06-13 | 2003-01-02 | Infineon Technologies Ag | Vorrichtung und Verfahren zur Manipulation von Vesikeln |
| US6923939B1 (en) * | 2001-07-05 | 2005-08-02 | Uop Llc | Heat activated membrane introduction apparatus and method for screening materials |
| EP1438385A1 (en) * | 2001-10-25 | 2004-07-21 | Bar-Ilan University | Interactive transparent individual cells biochip processor |
| FR2833703B1 (fr) * | 2001-12-19 | 2004-04-02 | Tijani Gharbi | Dispositif d'accrochage de tissu biologique, systeme de mesure utilisant un tel dispositif et procede de fixation d'un tissu biologique utilisant un tel dispositif |
| WO2003093494A2 (en) * | 2002-05-04 | 2003-11-13 | Aviva Biosciences Corporation | Apparatus including ion transport detecting structures and methods of use |
| JP4171775B2 (ja) * | 2002-08-26 | 2008-10-29 | 賢二 安田 | 核酸分析装置 |
| FR2844052B1 (fr) * | 2002-08-28 | 2005-07-01 | Commissariat Energie Atomique | Dispositif de mesure de l'activite electrique d'elements biologiques et ses applications |
| AU2003277153A1 (en) | 2002-09-27 | 2004-04-19 | The General Hospital Corporation | Microfluidic device for cell separation and uses thereof |
| US20060099570A1 (en) * | 2002-12-23 | 2006-05-11 | Damgaard Lars R | Device and method for non-invasive measurement of the individual metabolic rate of a substantially spherical metabolizing particle |
| US7887752B2 (en) * | 2003-01-21 | 2011-02-15 | Illumina, Inc. | Chemical reaction monitor |
| IL154677A0 (en) * | 2003-02-27 | 2003-09-17 | Univ Bar Ilan | A method and apparatus for manipulating an individual cell |
| WO2004092403A1 (en) * | 2003-04-03 | 2004-10-28 | University Of Washington | Microwell arrays with nanoholes |
| AU2003255643A1 (en) * | 2003-06-05 | 2005-01-21 | Vincent Thomas Armbruster | Measuring system for measuring at least one characteristic of a biological tissue and method for fixing a biological tissue to a measuring system of this type |
| WO2004113877A1 (en) * | 2003-06-13 | 2004-12-29 | The General Hospital Corporation | Microfluidic systems for size based removal of red blood cells and platelets from blood |
| US9200245B2 (en) | 2003-06-26 | 2015-12-01 | Seng Enterprises Ltd. | Multiwell plate |
| US7888110B2 (en) | 2003-06-26 | 2011-02-15 | Seng Enterprises Ltd. | Pico liter well holding device and method of making the same |
| WO2004113492A1 (en) * | 2003-06-26 | 2004-12-29 | Molecular Cytomics Ltd. | Improved materials for constructing cell-chips, cell-chip covers, cell-chip coats, processed cell-chips and uses thereof |
| US8597597B2 (en) * | 2003-06-26 | 2013-12-03 | Seng Enterprises Ltd. | Picoliter well holding device and method of making the same |
| US7982751B2 (en) * | 2003-07-11 | 2011-07-19 | The University Of North Carolina | Methods and systems for controlling a computer using a video image and for combining the video image with a computer desktop |
| US20050064524A1 (en) * | 2003-08-11 | 2005-03-24 | Mordechai Deutsch | Population of cells utilizable for substance detection and methods and devices using same |
| EP1711166A1 (en) * | 2004-02-03 | 2006-10-18 | Chemagis Ltd. | Stable amorphous forms of montelukast sodium |
| WO2005084374A2 (en) * | 2004-03-03 | 2005-09-15 | The General Hospital Corporation | Magnetic device for isolation of cells and biomolecules in a microfluidic environment |
| CN101061213B (zh) * | 2004-05-19 | 2012-12-19 | 麻省理工学院 | 灌注的三维细胞/组织疾病模型 |
| US7403647B2 (en) * | 2004-09-13 | 2008-07-22 | Seng Enterprises Ltd. | Method for identifying an image of a well in an image of a well-bearing component |
| EP1763665A1 (en) * | 2004-07-07 | 2007-03-21 | Seng Enterprises Limited | Method and device for identifying an image of a well in an image of a well-bearing component |
| US20080009051A1 (en) * | 2004-08-25 | 2008-01-10 | Seng Enterprises Ltd. | Method and Device for Isolating Cells |
| JP2006197880A (ja) * | 2005-01-21 | 2006-08-03 | Fujitsu Ltd | 細胞捕捉装置および細胞捕捉方法 |
| ATE480324T1 (de) | 2005-01-25 | 2010-09-15 | Seng Entpr Ltd | Mikrofluidische vorrichtung zur untersuchung zellen |
| JP4579745B2 (ja) * | 2005-03-31 | 2010-11-10 | 富士通株式会社 | 細胞捕捉装置 |
| US20070026415A1 (en) * | 2005-07-29 | 2007-02-01 | Martin Fuchs | Devices and methods for enrichment and alteration of circulating tumor cells and other particles |
| US20070026417A1 (en) * | 2005-07-29 | 2007-02-01 | Martin Fuchs | Devices and methods for enrichment and alteration of circulating tumor cells and other particles |
| US20070196820A1 (en) | 2005-04-05 | 2007-08-23 | Ravi Kapur | Devices and methods for enrichment and alteration of cells and other particles |
| US20070026413A1 (en) * | 2005-07-29 | 2007-02-01 | Mehmet Toner | Devices and methods for enrichment and alteration of circulating tumor cells and other particles |
| US20070026414A1 (en) * | 2005-07-29 | 2007-02-01 | Martin Fuchs | Devices and methods for enrichment and alteration of circulating tumor cells and other particles |
| DE102005034043B4 (de) * | 2005-07-18 | 2019-12-12 | Südzucker Aktiengesellschaft Mannheim/Ochsenfurt | Gemisch, enthaltend L-Carnitin und Trehalulose, sowie Produkt enthaltend das Gemisch |
| US8921102B2 (en) | 2005-07-29 | 2014-12-30 | Gpb Scientific, Llc | Devices and methods for enrichment and alteration of circulating tumor cells and other particles |
| US20070026416A1 (en) * | 2005-07-29 | 2007-02-01 | Martin Fuchs | Devices and methods for enrichment and alteration of circulating tumor cells and other particles |
| US20090181421A1 (en) * | 2005-07-29 | 2009-07-16 | Ravi Kapur | Diagnosis of fetal abnormalities using nucleated red blood cells |
| JP2009509173A (ja) * | 2005-09-23 | 2009-03-05 | デルタ デザイン インコーポレーティッド | デバイスハンドラ用の単一カメラ三ポイントビジョンアライメントシステム |
| US20070141555A1 (en) * | 2005-10-11 | 2007-06-21 | Mordechai Deutsch | Current damper for the study of cells |
| ES2549205T3 (es) * | 2005-10-14 | 2015-10-26 | Unisense Fertilitech A/S | Determinación de un cambio en una población de células |
| WO2007052245A1 (en) * | 2005-11-03 | 2007-05-10 | Seng Enterprises Ltd. | Method and device for studying floating, living cells |
| JP4844161B2 (ja) * | 2006-02-23 | 2011-12-28 | パナソニック株式会社 | 細胞電気生理センサとそれを用いた測定方法およびその製造方法 |
| US20060223999A1 (en) * | 2006-05-10 | 2006-10-05 | Chemagis Ltd. | Process for preparing montelukast and precursors thereof |
| US20080206877A1 (en) * | 2007-02-22 | 2008-08-28 | The State Of Oregon Acting By And Through The State Board Of Higher Education On Behalf Of | Reactors for selective enhancement reactions and methods of using such reactors |
| DE602008005746D1 (de) * | 2007-06-29 | 2011-05-05 | Unisense Fertilitech As | Vorrichtung, system und verfahren zur beobachtung und/oder kultivierung mikroskopischer objekte |
| DE102007046516A1 (de) * | 2007-09-28 | 2009-04-02 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Vorrichtung und Verfahren zur Konditionierung biologischer Zellen |
| US9145540B1 (en) | 2007-11-15 | 2015-09-29 | Seng Enterprises Ltd. | Device for the study of living cells |
| EP2237887A2 (en) | 2007-12-26 | 2010-10-13 | Seng Enterprises Ltd. | Device for the study of living cells |
| KR101015978B1 (ko) | 2008-04-18 | 2011-02-25 | 대한민국 | 수정란 융합접시 |
| US7842912B2 (en) * | 2008-05-23 | 2010-11-30 | Delta Design, Inc. | Camera based vision alignment with device group guiding for semiconductor device testing handlers |
| JP2011526782A (ja) * | 2008-07-05 | 2011-10-20 | ウニセンス フェルティリテック アー／エス | １対１識別システム |
| US8106349B2 (en) * | 2008-07-16 | 2012-01-31 | Delta Design, Inc. | Vision alignment with multiple cameras and common coordinate at contactor for IC device testing handlers |
| US20100075411A1 (en) * | 2008-09-22 | 2010-03-25 | Cecchi Michael D | Specimen manipulation device for micro manipulation and biopsy in assisted reproduction and in vitro fertilization |
| JP4849278B2 (ja) * | 2009-03-27 | 2012-01-11 | セイコーエプソン株式会社 | 細胞処理デバイス、細胞処理カートリッジおよび体液処理システム |
| JP5665284B2 (ja) * | 2009-05-29 | 2015-02-04 | キヤノン株式会社 | 物体保持用シート、試験方法及び物体処理装置 |
| US20110010122A1 (en) * | 2009-07-07 | 2011-01-13 | Delta Design, Inc. | Calibrating separately located cameras with a double sided visible calibration target for ic device testing handlers |
| US8187979B2 (en) * | 2009-12-23 | 2012-05-29 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | Workpiece patterning with plasma sheath modulation |
| US8329009B2 (en) | 2010-04-09 | 2012-12-11 | Molecular Devices, Llc | High throughput screening of ion channels |
| KR101631479B1 (ko) * | 2014-01-07 | 2016-06-20 | 한국과학기술연구원 | 세포 스페로이드의 전기적 특성을 분석하기 위한 전극 구조체 |
| JP6142042B1 (ja) | 2016-03-18 | 2017-06-07 | 株式会社村田製作所 | 有核細胞の濾過用フィルターおよびそれを用いた濾過方法 |
| CN109415674B (zh) * | 2017-03-10 | 2021-10-26 | 株式会社村田制作所 | 细胞过滤滤除器 |
| JP6249124B1 (ja) * | 2017-04-26 | 2017-12-20 | 株式会社村田製作所 | 有核細胞の濾過用フィルターおよびそれを用いた濾過方法 |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US790043A (en) * | 1903-12-28 | 1905-05-16 | Hermann Fiedler | False bottom for mash-tuns. |
| US3359192A (en) * | 1965-03-12 | 1967-12-19 | Balco Filtertechnik Gmbh | Process of manufacturing a sieve plate having apertures of nonuniform crosssection |
| US3482709A (en) * | 1967-11-17 | 1969-12-09 | Larson Co Charles O | Inclined pegboard mounting displays |
| CA979375A (en) * | 1972-06-26 | 1975-12-09 | Delta Precision Casting Co. | Pocket screen assemblies for centrifugal separators and replacements therefor |
| DE3207581A1 (de) * | 1982-03-03 | 1983-09-15 | Hein, Lehmann AG, 4000 Düsseldorf | Plattenfoermiges siebelement |
| IL68507A (en) * | 1982-05-10 | 1986-01-31 | Univ Bar Ilan | System and methods for cell selection |
| US4441972A (en) * | 1983-04-08 | 1984-04-10 | D.E.P. Systems, Inc. | Apparatus for electrofusion of biological particles |
| US4746962A (en) * | 1984-08-29 | 1988-05-24 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Photoelectric conversion device and method of making the same |
| US4785191A (en) * | 1987-04-17 | 1988-11-15 | Stemcor Corporation | Interconnected array of photosensors for simultaneously sensing light intensities at each of a number of locations |
-
1986
- 1986-11-19 JP JP61274031A patent/JP2662215B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1987
- 1987-11-18 US US07/122,269 patent/US4894343A/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1752221A1 (en) | 2005-08-05 | 2007-02-14 | Fujitsu Limited | Automatic microinjection apparatus and cell trapping plate |
| KR20180058732A (ko) | 2015-09-29 | 2018-06-01 | 도쿄 오카 고교 가부시키가이샤 | 기판, 구조체, 구조체의 제조 방법, 세포의 선별 방법, 세포의 제조 방법, 및 분비물의 생산 방법 |
| US11359175B2 (en) | 2015-09-29 | 2022-06-14 | Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd. | Substrate, structure, structure-manufacturing method, cell-sorting method, cell-manufacturing method, and secretion-producing method |
| WO2018105608A1 (ja) | 2016-12-07 | 2018-06-14 | 東京応化工業株式会社 | 粒子捕捉デバイス |
| KR20190091271A (ko) | 2016-12-07 | 2019-08-05 | 도오꾜오까고오교 가부시끼가이샤 | 입자 포착 디바이스 |
| US11384331B2 (en) | 2016-12-07 | 2022-07-12 | Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd. | Particle capture device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63129980A (ja) | 1988-06-02 |
| US4894343A (en) | 1990-01-16 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2662215B2 (ja) | 細胞保持装置 | |
| US6255721B1 (en) | Method and tool for handling micro-mechanical structures | |
| US6465355B1 (en) | Method of fabricating suspended microstructures | |
| US6600201B2 (en) | Systems with high density packing of micromachines | |
| US11952266B2 (en) | Micro-device structures with etch holes | |
| WO2005069001A1 (ja) | マイクロウェルアレイチップ及びその製造方法 | |
| EP0404799A1 (en) | INTEGRATED GRID TUNNEL MICROSCOPE. | |
| JP2006506237A (ja) | 集積構造体およびその製造方法 | |
| WO2001033614A1 (en) | Method for fabricating arrays of micro-needles | |
| US12515947B2 (en) | Method and arrangement for assembly of microchips into a separate substrate | |
| US12006205B2 (en) | Micro-device structures with etch holes | |
| WO1982002979A1 (en) | A method of fabricating screen lens array plates | |
| US11088007B1 (en) | Component tethers with spacers | |
| US6953704B2 (en) | Systems with high density packing of micromachines | |
| WO1999056176A1 (en) | Low-cost photoplastic cantilever | |
| EP0212713A2 (en) | Process for manufacturing a mask for use in X-ray photolithography using a monolithic support and resulting structure | |
| TWI787565B (zh) | 用於移轉表面層至凹穴上之方法 | |
| JPH0251832A (ja) | リソグラフイ装置用ビーム形成絞りの製造方法 | |
| JP2005533263A (ja) | 超小型電子ばね接触子の基準位置合わせ目標 | |
| JP2007033186A (ja) | 微小試料台 | |
| JP2624737B2 (ja) | 細胞融合用チヤンバ | |
| US7018545B2 (en) | Component separating device, method of manufacturing the device, and method of separating fine solid component by using the device | |
| EP2851749B1 (en) | X-ray mask structure and method for preparing the same | |
| JP3100901B2 (ja) | 薄膜シリコン太陽電池の製造方法 | |
| JP4347433B2 (ja) | マイクロ多極電極の製造方法 |