JP2025118141A - 研磨装置及び研磨方法 - Google Patents

Abstract

【課題】ガラス基板の端面を良好な表面性状に加工できる研磨装置及び研磨方法を提供する。
【解決手段】回転する円形状の研磨部材１０の外周をガラス基板Ｇの端面Ｇａに接触させながら端面Ｇａに沿って相対的に移動させて端面Ｇａを研磨する研磨装置１００であって、回転軸２１を回転させる回転駆動部２０と、回転駆動部２０の回転軸２１に設けられて研磨部材１０が取り付けられるチャック３０と、を備え、研磨部材１０は、中心に把持穴１１を有し、チャック３０は、把持穴１１の内周面に密着して研磨部材１０を把持する把持部３１を有する。
【選択図】図４

Description

本発明は、研磨装置及び研磨方法に関する。

ガラス基板は、切断面である端面の傷等の欠陥から割れが生じることがある。このため、ガラス基板の端面に対して研磨加工が施される。

このガラス基板の端面に対して研磨加工を行う研磨装置としては、ガラス基板の端面に回転する砥石などの研磨部材を当接させながらガラス基板の端面に沿って相対移動させるものがある（例えば、特許文献１～５参照）。

特開２０２３－１２６６６１号公報 特開２０００－１６７７５３号公報 実開平２－３１６５１号公報 国際公開第２０１１／１１３９８２号 特開２０１５－１８７０４２号公報

ところで、研磨部材に芯ずれが生じていると、ガラス基板の端面を研磨した際に、図１２に示すように、ガラス基板Ｇの端面Ｇａに、微小な山部Ｐと谷部Ｖとが周期的に形成されるうねりが生じる。特に、生産性を高めるために、ガラス基板Ｇの端面Ｇａと研磨部材との加工時における相対移動速度である加工速度を速めると、図１３に示すように、ガラス基板Ｇの端面Ｇａにおけるうねりが大きくなる。

そして、ガラス基板Ｇの端面Ｇａに大きなうねりが生じると、仕上げ用の研磨部材による仕上げ加工後に良好な表面性状が得られないことがある。例えば、うねりの谷部Ｖでは、研磨部材との接触圧が低下して仕上げが不十分となり、うねりの山部Ｐでは研磨部材との接触圧が高くなり、高負荷による熱で剥離、焼け、微細な欠けが生じるおそれがある。

そこで本発明は、ガラス基板の端面を良好な表面性状に加工できる研磨装置及び研磨方法を提供することを目的とする。

本発明は下記構成からなる。
（１） 回転する円形状の研磨部材の外周をガラス基板の端面に接触させながら前記端面に沿って相対的に移動させて前記端面を研磨する研磨装置であって、
回転軸を回転させる回転駆動部と、
前記回転駆動部の前記回転軸に設けられて前記研磨部材が取り付けられるチャックと、
を備え、
前記研磨部材は、中心に把持穴を有し、
前記チャックは、前記把持穴の内周面に密着して前記研磨部材を把持する把持部を有する、
研磨装置。
（２） 上記の研磨装置によって、前記ガラス基板の端面を研磨する、
研磨方法。

本発明によれば、ガラス基板の端面を良好な表面性状に加工できる研磨装置及び研磨方法を提供できる。

図１は、本実施形態に係る研磨装置の側面図である。 図２は、研磨装置によるガラス基板の研磨について説明する模式図である。 図３は、本実施形態に係る研磨装置を説明する概略側面図である。 図４は、本実施形 態に係る研磨装置の研磨部材及びチャックを説明する概略斜視図である。 図５Ａは、研磨したガラス基板の端面の模式図である。 図５Ｂは、研磨したガラス基板の端面の模式図である。 図５Ｃは、研磨したガラス基板の端面の模式図である。 図６は、研磨装置の各寸法を説明する概略構成図である。 図７は、参考例に係る研磨装置を説明する概略側面図である。 図８は、参考例に係る研磨装置におけるアーバーが取り付けられた研磨部材及びチャックを説明する概略斜視図である。 図９は、外周振れ寸法の繰り返し精度の結果を示す箱ひげ図である。 図１０は、例１の研磨装置で研磨したガラス基板の端面のうねりを示すグラフである。 図１１は、例２の研磨装置で研磨したガラス基板の端面のうねりを示すグラフである。 図１２は、研磨したガラス基板の端面に生じるうねりを示す模式図である。 図１３は、研磨したガラス基板の端面に生じるうねりを示す模式図である。

以下、本発明の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。
図１は、本実施形態に係る研磨装置１００の側面図である。図２は、研磨装置１００によるガラス基板Ｇの研磨について説明する模式図である。図３は、本実施形態に係る研磨装置１００を説明する概略側面図である。図４は、本実施形態に係る研磨装置１００の研磨部材１０及びチャック３０を説明する概略斜視図である。

図１～図４に示すように、本実施形態に係る研磨装置１００は、研磨部材１０を備えており、この研磨部材１０によってガラス基板Ｇの端面Ｇａを研磨する装置である。

研磨部材１０は、平面視円形状に形成された砥石であり、その中心に把持穴１１を有している。研磨部材１０は、その周面に、研磨凹部１２を有している。本例では、研磨部材１０には、複数の研磨凹部１２が軸方向に配列されている。

研磨装置１００では、一方向の回転方向Ｒへ回転する研磨部材１０の周面の研磨凹部１２にガラス基板Ｇの端面Ｇａを接触させ、研磨部材１０とガラス基板Ｇとを、ガラス基板Ｇの端面Ｇａに沿って送り方向Ｘへ相対的に移動させることにより、切断面である端面Ｇａを研磨して面取りする（図２参照）。

図５Ａ～図５Ｃは、それぞれ研磨装置１００によって研磨したガラス基板Ｇの端面Ｇａの形状を示す模式図である。図５Ａに示すように、研磨部材１０の研磨凹部１２によって研磨することにより、ガラス基板Ｇの端面Ｇａは、断面視円弧状に研磨されて両角部Ｃ１，Ｃ２が面取りされる。本例では、端面Ｇａにおける頂部Ｔと、両角部Ｃ１，Ｃ２とが異なる曲率半径の円弧形状に形成される。これにより、端面Ｇａにおける傷等の欠陥が除去されて割れの発生が抑えられる。なお、端面Ｇａの形状は、上記の例に限らない。例えば、端面Ｇａは、図５Ｂに示すように、頂部Ｔ及び両角部Ｃ１，Ｃ２を平面形状となるように研磨される場合もあり、図５Ｃに示すように、頂部Ｔを平面形状とし、両角部Ｃ１，Ｃ２を断面視円弧状となるように研磨される場合もある。

研磨装置１００は、回転駆動部２０と、チャック３０と、を備えている（図３参照）。回転駆動部２０は、回転軸２１を備えており、駆動モータ（図示略）によって回転軸２１を回転させる。本例では、回転駆動部２０は、その底部から回転軸２１が下方へ向かって延在されている。

チャック３０は、研磨部材１０を把持するもので、回転軸２１の下端に、例えば、ボルト止めされて取り付けられる。このチャック３０は、チャック本体３２と、このチャック本体３２よりも小径の円形状の把持部３１とを有している。把持部３１は、チャック本体３２の下端に設けられており、把持部３１が研磨部材１０を把持する。なお、チャック３０としては、チャック本体３２における把持部３１が設けられた下端に外周へ張り出すフランジを有していてもよく、この場合、把持部３１に把持させる研磨部材１０をフランジに締結して固定できる。

本例では、チャック３０に把持された研磨部材１０は、その外周の振れ寸法が１μｍ以上が好ましい。チャック３０に把持された研磨部材１０の外周の振れ寸法が１μｍ以下だと振れが小さすぎて砥石負荷が上がりすぎるため、良好な切れ味が維持できないおそれがある。これに対して、その外周の振れ寸法が２０μｍ以下が好ましく、１０μｍ以下が好ましい。チャック３０に把持された研磨部材１０の外周の振れ寸法が２０μｍ以上だとうねりが大きくなり、製品の品質に影響が生じるおそれがある。したがって、チャック３０に把持された研磨部材１０の外周の振れ寸法が１μｍ～２０μｍとされていると、うねりを抑えつつガラス板Ｇの端面Ｇａを良好に研磨できる。

チャック３０としては、油圧式チャックまたはコレットチャックが用いられる。油圧式チャックは、油圧によって把持部３１の外周部における膨出領域を弾性変形させて外周面を径方向外方へ膨出させ、把持部３１の外周面を研磨部材１０の把持穴１１の内周面へ均等に密着させて研磨部材１０を高い精度で把持する。コレットチャックは、周方向に複数分割された円筒状のコレットからなる把持部３１を備えており、このコレットの中心にドローバーを引き込んで拡径させて外周面を研磨部材１０の把持穴１１の内周面へ均等に密着させ、研磨部材１０を高い精度で把持する。なお、コレットチャックの場合、研磨部材１０の把持穴１１の内周面に密着する膨出領域は、コレットの全長にわたる領域となる。

チャック３０は、作動ネジ３３を有しており、この作動ネジ３３を操作することにより（図４参照）、チャック３０の把持部３１に対して研磨部材１０が着脱される。油圧式チャックの場合、作動ネジ３３を操作することにより、ピストン（図示略）が進退されて内部の流路に充填された油圧が調整され、チャック３０の把持部３１に対して研磨部材１０が着脱される。コレットチャックの場合、作動ネジ３３を操作することにより、ドローバーが進退されてコレットからなる把持部３１が拡径または縮径されて研磨部材１０が着脱される。

次に、研磨部材１０及びチャック３０の把持部３１における各寸法について説明する。
図６は、研磨部材１０及びチャック３０の把持部３１における各寸法を示す概略図である。
図６において、各符号は次の寸法を表している。
Ｄ１：研磨部材１０の外径
Ｄ２：研磨部材１０の内径
Ｔ：研磨部材１０の厚み
ｄ：把持部３１の外径
ｈ：把持部３１の軸方向の長さ
Ｈ：把持部３１の膨出領域３１ａによるクランプ代
Ｌ：把持穴１１の内周面と把持部３１の外周面とのクリアランス

本例に係る研磨装置１００では、以下の（１）～（３）の寸法関係とされている。
（１）把持部３１における把持穴１１の内周面に密着するクランプ代Ｈと、研磨部材１０の厚みＴとの比率Ｈ／Ｔが０．０２以上である。このような寸法関係とすれば、がたつきなく把持部３１に研磨部材１０を把持させることができる。なおクランプ代Ｈとは、把持部３１の外周部における弾性変形させる膨出領域のことをいう。
（２）研磨部材１０の内径Ｄ２と、研磨部材１０の外径Ｄ１との比率Ｄ２／Ｄ１が０．０１以上である。このような寸法関係とすれば、研磨部材１０によってガラス基板Ｇの端面Ｇａを良好に研磨できる。
（３）把持穴１１の内周面と把持部３１の外周面とのクリアランスＬが０．００１ｍｍ以上０．２ｍｍ以下である。このような寸法関係とすれば、把持部３１への研磨部材１０の良好な装着作業性を確保しつつ、把持部３１によって研磨部材１０を良好に把持できる。

また、研磨装置１００では、チャック３０の把持部３１の先端部は、他の部分と同一径のストレート形状、他の部分よりも小径部分を有する段付き形状あるいは次第に窄まる先細り形状とされている。なお、把持部３１の先端部は、例えば、先端面から５ｍｍ程度の部分である。そして、段付き形状とする場合、小径部分を他の部分よりも０．２ｍｍ程度小径とするのが好ましく、また、先細り形状とする場合も、先端面での外径を他の部分よりも０．２ｍｍ程度小径とするのが好ましい。なお、把持部３１の先端部を先細り形状とする場合、その外周面は、断面視で直線状に傾斜するテーパ形状に限らず、断面視で円弧形状とされていてもよい。特に、把持部３１の先端部の形状を、段付き形状や先細り形状とすることにより、研磨部材１０の把持穴１１へ把持部３１を容易に挿し込むことができ、把持部３１への研磨部材１０の装着作業性を向上できる。

次に、上記構成の研磨装置１００によってガラス基板Ｇの端面Ｇａを研磨する場合について説明する。

（把持工程）
チャック３０の把持部３１を把持穴１１に挿入させるようにチャック３０に研磨部材１０を配置させる。この状態において、チャック３０の作動ネジ３３を操作し、油圧によって把持部３１の外周部を膨出させ、その外周面を把持穴１１の内周面に密着させる。これにより、チャック３０に研磨部材１０を把持させる。なお、チャック３０としてコレットチャックを用いる場合は、コレットからなる把持部３１を把持穴１１に挿入させるように研磨部材１０を配置させ、チャック３０の作動ネジ３３を操作してドローバーをコレットからなる把持部３１の中心に引き込んで把持部３１を拡径させ、その外周面を把持穴１１の内周面に密着させる。これにより、チャック３０に研磨部材１０を把持させる。

（研磨工程）
回転駆動部２０によって回転軸２１を回転させることにより研磨部材１０を回転させ、この研磨部材１０の周面の研磨凹部１２にガラス基板Ｇの端面Ｇａを接触させる。そして、研磨部材１０とガラス基板Ｇとを、ガラス基板Ｇの端面Ｇａに沿って送り方向Ｘへ相対移動させる（図４参照）。このとき、ガラス基板Ｇの端面Ｇａと研磨部材１０とを相対的に移動させる加工速度を０．１ｍ／ｍｉｎ～５０ｍ／ｍｉｎとする。このようにして研磨装置１００によって研磨されたガラス基板Ｇの端面Ｇａは、断面視円弧状に研磨されて両角部Ｃ１，Ｃ２が面取りされる（図５参照）。なお、加工速度としては、１ｍ/ｍｉｎ以上が好ましく、１０ｍ/ｍｉｎ以上がより好ましい。

ここで、参考例について説明する。
図７は、参考例に係る研磨装置２００を説明する概略側面図である。図８は、参考例に係る研磨装置２００におけるアーバー５０が取り付けられた研磨部材１０及びチャック４０を説明する概略斜視図である。

図７及び図８に示すように、参考例に係る研磨装置２００では、一般的に用いられるチャック４０によって研磨部材１０を把持する。チャック４０は、把持部４１を有しており、この把持部４１によって研磨部材１０を把持する。

研磨部材１０には、アーバー５０が取り付けられている。このアーバー５０は、研磨部材１０の上面に固定される円板状の固定板部５１と、この固定板部５１の中心から上方へ延在するロッド５２とを有している。

チャック４０の把持部４１は、チャック穴４２を有しており、このチャック穴４２にアーバー５０のロッド５２が挿し込まれる。このチャック４０は、油圧によってチャック穴４２の内周部を弾性変形させて径方向内方へ膨出させることにより、ロッド５２を把持する。

このように、参考例に係る研磨装置２００では、チャック４０は、研磨部材１０に固定したアーバー５０を介して研磨部材１０を把持する。このため、チャック４０に把持された研磨部材１０は、その外周の振れ寸法が大きくなってしまう。

これに対して、本実施形態に係る研磨装置１００によれば、研磨部材１０の中心の把持穴１１の内周面にチャック３０の把持部３１を密着させることにより、研磨部材１０をチャック３０に把持させる構造であるので、研磨部材１０にアーバー５０を固定し、アーバー５０のロッド５２を外周側から把持するチャック４０を備える研磨装置２００と比べ、構造を簡略化しつつ研磨部材１０の把持精度を高めることができ、繰り返し把持した際の繰り返し精度も改善できる。

これにより、回転中心に対する研磨部材１０の芯ぶれを抑制し、研磨部材１０によってガラス基板Ｇの端面Ｇａを研磨した際のうねりの発生を抑えることができる。したがって、生産性を高めるために加工速度を速めても良好に仕上げることができ、仕上げ後のガラス基板Ｇの端面Ｇａを良好な表面性状にできる。

特に、チャック３０は、油圧によって把持部３１を径方向外方へ膨出させて研磨部材１０の把持穴１１の内周面に密着させる構造であるので、油圧によって把持部３１を径方向外方へ膨出させることにより、研磨部材１０を容易に把持できる。また、把持穴１１の内周面に対して周方向にわたって把持部３１を均等に密着させ、より高精度な把持が可能である。なお、コレットからなる把持部３１を拡径させて研磨部材１０の把持穴１１の内周面に密着させる構造のコレットチャックをチャック３０として用いる場合においても、把持穴１１の内周面に対して周方向にわたって把持部３１を均等に密着させて高精度な把持が可能である。

しかも、チャック３０に把持された研磨部材１０は、外周の振れ寸法が２０μｍ以下、特に１０μｍ以下に抑えられているので、研磨部材１０によってガラス基板Ｇの端面Ｇａを研磨した際のうねりの発生を抑えることができる。これにより、加工速度を速めても良好に仕上げることができる。

そして、上記の研磨装置１００によって、ガラス基板Ｇの端面Ｇａを研磨する研磨方法によれば、チャック３０による研磨部材１０の把持精度を高めることができるので、回転中心に対する研磨部材１０の芯ぶれを抑制し、ガラス基板Ｇの端面Ｇａを研磨した際のうねりの発生を抑えることができる。したがって、０．１ｍ／ｍｉｎ～５０ｍ／ｍｉｎの加工速度において、仕上げ後のガラス基板Ｇの端面Ｇａを良好な表面性状にできる。つまり、低速から高速の幅広い範囲の加工速度において、研磨部材１０によってガラス基板Ｇの端面Ｇａを研磨した際のうねりの発生を抑えることができる。特に、生産性を高めるために加工速度を、例えば、２５ｍ／ｍｉｎ以上の高速としても、仕上げ後のガラス基板Ｇの端面Ｇａを良好な表面性状にできる。つまり、速い加工速度で生産性を高めつつ、端面Ｇａが良好な表面性状に仕上げられたガラス基板Ｇが得られる。

なお、上記実施形態では、平面視矩形状のガラス基板Ｇの端面Ｇａを研磨する場合を例示したが、研磨対象のガラス基板Ｇとしては、平面視矩形状に限らず、円形状等の他の形状であってもよい。

例１の研磨装置（実施形態の研磨装置１００）及び例２の研磨装置（参考例の研磨装置２００）について、外周振れ寸法、外周振れ寸法の繰り返し精度、ガラス基板の端面のうねり、ガラス基板の端面の表面性状、ガラス基板の端面の粗さ及びカレットの占有率の評価を行った。なお、例１は実施例であり、例２は比較例である。

（外周振れ寸法の評価）
（１）評価方法
例１の研磨装置及び例２の研磨装置に研磨部材を把持させ、研磨部材の外周の振れ寸法をダイヤルゲージによって測定して評価した。振れ寸法の測定は、３つの研磨部材Ａ～Ｃについてそれぞれ行った。

（２）評価結果
外周振れ寸法の評価結果を表１に示す。

表１に示すように、例１では、研磨部材Ａ～Ｃのいずれにおいても、外周振れ寸法が１０μｍ以内に抑えられた。これに対して、例２では、研磨部材Ａ～Ｃのいずれにおいても、外周振れ寸法が１０μｍを超えていた。このように、例１では、研磨部材の把持精度が高められた。

（外周振れ寸法の繰り返し精度の評価）
（１）評価方法
例１の研磨装置及び例２の研磨装置に研磨部材を繰り返し把持させ、研磨部材の外周振れ寸法をダイヤルゲージによって測定して評価した。研磨部材としては、外周振れ寸法の評価で用いた研磨部材Ａを用い、この研磨部材Ａの把持を１０回繰り返した。

（２）評価結果
図９は、外周振れ寸法における最小値、第１四分位、第２四分位、第３四分位、最大値及び平均値を示す箱ひげ図であり、平均値は×で示している。
図９に示すように、例１では、外周振れ寸法が抑えられるとともに、繰り返しの把持における外周振れ寸法のばらつきも抑えられた。これに対して、例２では、大きな外周振れ寸法となり、しかも、繰り返しの把持における外周振れ寸法のばらつきも大きくなった。このように、例１では、研磨部材の把持精度が高められるとともに、繰り返し把持した際にも安定して精度良く把持できた。

（研磨加工後のガラス基板の端面の評価）
（１）評価方法
例１の研磨装置及び例２の研磨装置に研磨部材Ａを把持させてガラス基板Ｇの端面Ｇａを研磨し、端面Ｇａのうねり（μｍ）、端面Ｇａの頂部Ｔにおける表面粗さＲａ（μｍ）及びカレットの占有率（カレット評価）について評価した。なお、端面Ｇａを研磨する際の加工速度は、２５ｍ／ｍｉｎ及び３５ｍ／ｍｉｎとした。

（２）評価結果
各評価の結果を表２に示す。
なお、図１０は、例１の研磨装置で研磨したガラス基板Ｇの端面Ｇａのうねりを示し、図１１は、例２の研磨装置２００で研磨したガラス基板Ｇの端面Ｇａのうねりを示す。

表２に示すように、例１では、端面Ｇａにおける山部Ｐと谷部Ｖとを有するうねりの研磨痕ＰＶ値は、加工速度２５ｍ／ｍｉｎ及び加工速度３５ｍ／ｍｉｎのいずれにおいても８μｍであった。このように、例１においては、加工速度２５ｍ／ｍｉｎ及び加工速度３５ｍ／ｍｉｎのいずれの場合も、うねりを抑えることができた（図１０参照）。これに対して、例２では、端面Ｇａにおける山部Ｐと谷部Ｖとを有するうねりの研磨痕ＰＶ値は、加工速度２５ｍ／ｍｉｎにおいて２５μｍであり、加工速度３５ｍ／ｍｉｎにおいて３４μｍであった。このように、例２においては、加工速度２５ｍ／ｍｉｎ及び加工速度３５ｍ／ｍｉｎのいずれの場合も、比較的大きなうねりが生じた（図１１参照）。

また、例１では、端面Ｇａの頂部Ｔにおける表面粗さＲａは、加工速度２５ｍ／ｍｉｎにおいて０．０６μｍであり、加工速度３５ｍ／ｍｉｎにおいて０．０７６９μｍであった。このように、例１においては、加工速度２５ｍ／ｍｉｎ及び加工速度３５ｍ／ｍｉｎのいずれの場合も、研磨後の端面Ｇａは、滑らかで良好な表面性状であった。これに対して、例２では、端面Ｇａの頂部Ｔにおける表面粗さＲａは、加工速度２５ｍ／ｍｉｎにおいて０．０９６μｍであり、加工速度３５ｍ／ｍｉｎにおいて０．２６１７μｍであった。このように、例２においては、加工速度２５ｍ／ｍｉｎ及び加工速度３５ｍ／ｍｉｎのいずれの場合も、例１と比較し、研磨後の端面Ｇａに粗い箇所が散見される表面性状であった。

さらに、例１での端面Ｇａの頂部Ｔにおけるカレット評価は、加工速度２５ｍ／ｍｉｎ及び加工速度３５ｍ／ｍｉｎのいずれにおいても、Ａ評価（占有率４％未満）であった。これに対して、例２での端面Ｇａの頂部Ｔにおけるカレット評価は、加工速度２５ｍ／ｍｉｎにおいて、Ｂ評価（占有率４％以上８％未満）であり、加工速度３５ｍ／ｍｉｎにおいて、Ｃ評価（占有率８％以上）であった。

以上のように、研磨部材１０の把持穴１１に把持部３１の外周面を密着させて内周側から把持するチャック３０を用いた例１では、高速加工速度（２５ｍ／ｍｉｎ）及びさらに高速の加工速度（３５ｍ／ｍｉｎ）のいずれの場合においても、研磨後のガラス基板Ｇの端面Ｇａにおけるうねりを抑えることができた。これにより、良好な表面性状の端面Ｇａが得られ、カレットの占有率も抑えられることがわかった。これに対して、研磨部材１０にアーバー５０を固定し、このアーバー５０のロッド５２を把持部４１で外周側から把持するチャック４０を用いた例２では、高速加工速度（２５ｍ／ｍｉｎ）及びさらに高速の加工速度（３５ｍ／ｍｉｎ）のいずれの場合においても、研磨後のガラス基板Ｇの端面Ｇａにおけるうねりが大きくなった。特に、例２では、さらに高速の加工速度（３５ｍ／ｍｉｎ）の場合に、端面Ｇａの表面性状が粗くなり、カレットの占有率も高くなった。

以上のことから、例１によれば、仕上げ研磨において、端面Ｇａのうねりが大きいために使用できなかった仕上げ用の研磨部材を使用でき、さらなる品質改善が図れる。また、うねりを抑えることで良品率を向上できる。高速加工速度（例えば、２５ｍ／ｍｉｎ）でもさらに高速の加工速度（例えば、３５ｍ／ｍｉｎ）としても、いずれも同等レベルの品質が得られることがわかった。

このように、本発明は上記の実施形態に限定されるものではなく、実施形態の各構成を相互に組み合わせることや、明細書の記載、並びに周知の技術に基づいて、当業者が変更、応用することも本発明の予定するところであり、保護を求める範囲に含まれる。

以上の通り、本明細書には次の事項が開示されている。
（１） 回転する円形状の研磨部材の外周をガラス基板の端面に接触させながら前記端面に沿って相対的に移動させて前記端面を研磨する研磨装置であって、
回転軸を回転させる回転駆動部と、
前記回転駆動部の前記回転軸に設けられて前記研磨部材が取り付けられるチャックと、
を備え、
前記研磨部材は、中心に把持穴を有し、
前記チャックは、前記把持穴の内周面に密着して前記研磨部材を把持する把持部を有する、研磨装置。
この研磨装置によれば、研磨部材の中心の把持穴の内周面にチャックの把持部を密着させることにより、研磨部材をチャックに把持させる構造であるので、研磨部材にアーバーを固定し、アーバーのロッドを外周側から把持するチャックを備える装置と比べ、構造を簡略化しつつ研磨部材の把持精度を高めることができ、繰り返し把持した際の繰り返し精度も改善できる。
これにより、回転中心に対する研磨部材の芯ぶれを抑制し、研磨部材によってガラス基板の端面を研磨した際のうねりの発生を抑えることができる。したがって、生産性を高めるために加工速度を速めても良好に仕上げることができ、仕上げ後のガラス基板の端面を良好な表面性状にできる。

（２） 前記把持部における前記把持穴の内周面に密着するクランプ代Ｈと前記研磨部材の厚みＴとの比率Ｈ／Ｔが０．０２以上である、（１）に記載の研磨装置。
この研磨装置によれば、がたつきなく把持部に研磨部材を把持させることができる。

（３） 前記研磨部材の内径Ｄ２と前記研磨部材の外径Ｄ１との比率Ｄ２／Ｄ１が０．０１以上である、（１）または（２）に記載の研磨装置。
この研磨装置によれば、研磨部材によってガラス基板の端面を良好に研磨できる。

（４） 前記把持穴の内周面と前記把持部の外周面とのクリアランスＬが０．００１ｍｍ以上０．２ｍｍ以下である、（１）～（３）のいずれか１つに記載の研磨装置。
この研磨装置によれば、把持部への研磨部材の良好な装着作業性を確保しつつ、把持部によって研磨部材を良好に把持できる。

（５） 前記把持部の先端部は、他の部分と同一径のストレート形状、他の部分よりも小径部分を有する段付き形状あるいは次第に窄まる先細り形状とされている、（１）～（４）のいずれか１つに記載の研磨装置。
この研磨装置によれば、特に、把持部の先端部の形状を、段付き形状や先細り形状とすることにより、研磨部材の把持穴へ把持部を容易に挿し込むことができ、把持部への研磨部材の装着作業性を向上できる。

（６） 前記チャックは、油圧によって前記把持部を径方向外方へ膨出させて前記研磨部材の前記把持穴の内周面に密着させる油圧式チャックまたは周方向に複数分割された円筒状のコレットからなる前記把持部の中心にドローバーを引き込んで拡径させて前記研磨部材の前記把持穴の内周面に密着させるコレットチャックである、（１）～（５）のいずれか１つに記載の研磨装置。
この研磨装置によれば、油圧式チャックの場合、油圧によって把持部を径方向外方へ膨出させることにより、研磨部材を容易に把持できる。また、コレットチャックの場合、ドローバーを引き込んでコレットからなる把持部を拡径させることにより、研磨部材を容易に把持できる。これらの油圧式チャックまたはコレットチャックによれば、把持穴の内周面に対して周方向にわたって把持部を均等に密着させ、より高精度な把持が可能である。

（７） （１）～（６）のいずれか一つに記載の研磨装置によって、前記ガラス基板の端面を研磨する、
研磨方法。

（８） 前記ガラス基板の前記端面と前記研磨部材とを相対的に移動させる加工速度を、０．１ｍ／ｍｉｎ以上とする、（７）に記載の研磨方法。
この研磨方法によれば、加工速度を０．１ｍ／ｍｉｎ以上とすることにより、低速から高速の幅広い範囲の加工速度において、研磨部材によってガラス基板の端面を研磨した際のうねりの発生を抑えることができる。特に、うねりを抑えつつ高速で加工すれば、速い加工速度で生産性を高めつつ、端面が良好な表面性状に仕上げられたガラス基板が得られる。

１０ 研磨部材
１１ 把持穴
２０ 回転駆動部
２１ 回転軸
３０ チャック
３１ 把持部
１００ 研磨装置
Ｇ ガラス基板
Ｇａ 端面

Claims (8)

1. 回転する円形状の研磨部材の外周をガラス基板の端面に接触させながら前記端面に沿って相対的に移動させて前記端面を研磨する研磨装置であって、
   回転軸を回転させる回転駆動部と、
   前記回転駆動部の前記回転軸に設けられて前記研磨部材が取り付けられるチャックと、
   を備え、
   前記研磨部材は、中心に把持穴を有し、
   前記チャックは、前記把持穴の内周面に密着して前記研磨部材を把持する把持部を有する、
   研磨装置。
2. 前記把持部における前記把持穴の内周面に密着するクランプ代Ｈと前記研磨部材の厚みＴとの比率Ｈ／Ｔが０．０２以上である、
   請求項１に記載の研磨装置。
3. 前記研磨部材の内径Ｄ２と前記研磨部材の外径Ｄ１との比率Ｄ２／Ｄ１が０．０１以上である、
   請求項１に記載の研磨装置。
4. 前記把持穴の内周面と前記把持部の外周面とのクリアランスＬが０．００１ｍｍ以上０．２ｍｍ以下である、
   請求項１に記載の研磨装置。
5. 前記把持部の先端部は、他の部分と同一径のストレート形状、他の部分よりも小径部分を有する段付き形状あるいは次第に窄まる先細り形状とされている、
   請求項１に記載の研磨装置。
6. 前記チャックは、油圧によって前記把持部を径方向外方へ膨出させて前記研磨部材の前記把持穴の内周面に密着させる油圧式チャックまたは周方向に複数分割された円筒状のコレットからなる前記把持部の中心にドローバーを引き込んで拡径させて前記研磨部材の前記把持穴の内周面に密着させるコレットチャックである、
   請求項１に記載の研磨装置。
7. 請求項１～６のいずれか一項に記載の研磨装置によって、前記ガラス基板の端面を研磨する、
   研磨方法。
8. 前記ガラス基板の前記端面と前記研磨部材とを相対的に移動させる加工速度を、０．１ｍ／ｍｉｎ以上とする、
   請求項７に記載の研磨方法。