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JP2025089526A - Liquid ejection head and recording apparatus - Google Patents

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JP2025089526A
JP2025089526A JP2025053773A JP2025053773A JP2025089526A JP 2025089526 A JP2025089526 A JP 2025089526A JP 2025053773 A JP2025053773 A JP 2025053773A JP 2025053773 A JP2025053773 A JP 2025053773A JP 2025089526 A JP2025089526 A JP 2025089526A
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liquid ejection
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Toshiaki Michihiro
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Abstract

To increase connection reliability between a discharge member and a flexible substrate.SOLUTION: A liquid discharge head includes a discharge member, a flexible substrate, and a relay substrate. The discharge member includes a plurality of nozzles for discharging a liquid, a plurality of elements for discharging the liquid from the plurality of nozzles, and a plurality of terminals electrically connected to the plurality of elements respectively. The flexible substrate includes a plurality of signal lines corresponding to the plurality of terminals. The relay substrate connects the discharge member and the flexible substrate electrically. The relay substrate includes a plurality of first pads, a plurality of second pads, and a plurality of wiring lines. The plurality of first pads are joined to the plurality of terminals of the discharge member. The plurality of second pads are joined to the plurality of signal lines of the flexible substrate. The plurality of wiring lines connect the plurality of first pads and the plurality of second pads. An area of each of the plurality of second pads is larger than an area of each of the plurality of first pads.SELECTED DRAWING: Figure 6

Description

開示の実施形態は、液体吐出ヘッドおよび記録装置に関する。 The disclosed embodiments relate to a liquid ejection head and a recording device.

印刷装置として、インクジェット記録方式を利用したインクジェットプリンタやインクジェットプロッタが知られている。このようなインクジェット方式の印刷装置には、液体を吐出させるための液体吐出ヘッドが搭載されている。 Inkjet printers and inkjet plotters that use the inkjet recording method are known as printing devices. Such inkjet printing devices are equipped with a liquid ejection head for ejecting liquid.

かかる液体吐出ヘッドでは、例えば、液体を吐出する吐出部材に設けられた複数の個別電極が異方導電性接合材によって可撓性のフレキシブル基板の複数の信号線にそれぞれ接合されることにより、吐出部材とフレキシブル基板とが電気的に接続されている。 In such a liquid ejection head, for example, a plurality of individual electrodes provided on the ejection member that ejects the liquid are each joined to a plurality of signal lines on a flexible substrate by an anisotropic conductive bonding material, thereby electrically connecting the ejection member and the flexible substrate.

特開2005-212238号公報JP 2005-212238 A

しかしながら、従来の液体吐出ヘッドでは、吐出部材とフレキシブル基板との間の接続信頼性を向上するという点でさらなる改善の余地がある。 However, conventional liquid ejection heads have room for further improvement in terms of improving the connection reliability between the ejection member and the flexible substrate.

実施形態の一態様は、上記に鑑みてなされたものであって、吐出部材とフレキシブル基板との間の接続信頼性を向上することができる液体吐出ヘッドおよび記録装置を提供することを目的とする。 One aspect of the embodiment has been made in consideration of the above, and aims to provide a liquid ejection head and a recording device that can improve the connection reliability between the ejection member and the flexible substrate.

実施形態の一態様による液体吐出ヘッドは、吐出部材と、フレキシブル基板と、中継基板とを備える。吐出部材は、液体を吐出する複数のノズルと、複数のノズルから液体を吐出させる複数の素子と、複数の素子それぞれに電気的に接続された複数の端子とを有する。フレキシブル基板は、複数の端子に対応する複数の信号線を有する。中継基板は、吐出部材とフレキシブル基板とを電気的に接続する。中継基板は、複数の第1パッドと、複数の第2パッドと、複数の配線とを有する。複数の第1パッドは、吐出部材の複数の端子に接合される。複数の第2パッドは、フレキシブル基板の複数の信号線に接合される。複数の配線は、複数の第1パッドと複数の第2パッドとを接続する。複数の第2パッドの各々の面積は、複数の第1パッドの各々の面積よりも大きい。 A liquid ejection head according to one aspect of the embodiment includes an ejection member, a flexible substrate, and a relay substrate. The ejection member has a plurality of nozzles for ejecting liquid, a plurality of elements for ejecting liquid from the plurality of nozzles, and a plurality of terminals electrically connected to each of the plurality of elements. The flexible substrate has a plurality of signal lines corresponding to the plurality of terminals. The relay substrate electrically connects the ejection member and the flexible substrate. The relay substrate has a plurality of first pads, a plurality of second pads, and a plurality of wirings. The plurality of first pads are bonded to the plurality of terminals of the ejection member. The plurality of second pads are bonded to the plurality of signal lines of the flexible substrate. The plurality of wirings connect the plurality of first pads and the plurality of second pads. The area of each of the plurality of second pads is larger than the area of each of the plurality of first pads.

実施形態の一態様によれば、吐出部材とフレキシブル基板との間の接続信頼性を向上することができる。 According to one aspect of the embodiment, the connection reliability between the discharge member and the flexible substrate can be improved.

図1は、実施形態に係るプリンタの概略的な正面を模式的に示す正面図である。FIG. 1 is a front view that illustrates a schematic front view of a printer according to an embodiment. 図2は、実施形態に係るプリンタの概略的な平面を模式的に示す平面図である。FIG. 2 is a plan view that illustrates a schematic plan view of the printer according to the embodiment. 図3は、実施形態に係る液体吐出ヘッドの内部構成を示す側面模式図である。FIG. 3 is a schematic side view showing the internal configuration of the liquid ejection head according to the embodiment. 図4は、実施形態に係る吐出部材およびサポート基板の側断面を示す模式図である。FIG. 4 is a schematic diagram showing a side cross section of the discharge member and the supporting substrate according to the embodiment. 図5は、実施形態に係る吐出部材、中継基板およびフレキシブル基板の構成を示す側面模式図である。FIG. 5 is a schematic side view showing the configurations of the ejection member, relay board, and flexible board according to the embodiment. 図6は、実施形態に係る中継基板とフレキシブル基板との接続部の構成の一例を示す平面模式図である。FIG. 6 is a schematic plan view showing an example of the configuration of a connection portion between the relay substrate and the flexible substrate according to the embodiment. 図7は、実施形態に係る中継基板とフレキシブル基板の接続部の構成の他の一例を示す平面模式図である。FIG. 7 is a schematic plan view showing another example of the configuration of the connection portion between the relay substrate and the flexible substrate according to the embodiment. 図8は、変形例1に係る吐出部材、中継基板およびフレキシブル基板の構成を示す側面模式図である。FIG. 8 is a schematic side view showing the configurations of the ejection member, relay board, and flexible board according to the first modified example. 図9は、変形例2に係る吐出部材、中継基板およびフレキシブル基板の構成を示す側面模式図である。FIG. 9 is a schematic side view showing the configurations of the ejection member, relay board, and flexible board according to the second modification. 図10は、変形例3に係る吐出部材、中継基板およびフレキシブル基板の構成を示す側面模式図である。FIG. 10 is a schematic side view showing the configurations of the ejection member, relay board, and flexible board according to the third modification. 図11は、変形例4に係る吐出部材、中継基板およびフレキシブル基板の構成を示す側面模式図である。FIG. 11 is a schematic side view showing the configurations of the ejection member, relay board, and flexible board according to the fourth modification. 図12は、変形例5に係る液体吐出ヘッドの内部構成を示す側面模式図である。FIG. 12 is a schematic side view showing the internal configuration of a liquid ejection head according to the fifth modified example. 図13は、変形例6に係る液体吐出ヘッドの内部構成を示す側面模式図である。FIG. 13 is a schematic side view showing the internal configuration of a liquid ejection head according to the sixth modified example. 図14は、変形例7に係る液体吐出ヘッドの内部構成を示す側面模式図である。FIG. 14 is a schematic side view showing the internal configuration of a liquid ejection head according to the seventh modified example. 図15は、中継基板の配置位置の一例を示す平面模式図である。FIG. 15 is a schematic plan view showing an example of the arrangement position of the relay board.

以下、添付図面を参照して、本願の開示する液体吐出ヘッドおよび記録装置の実施形態について説明する。なお、以下に示す実施形態により本開示が限定されるものではない。また、図面は模式的なものであり、各要素の寸法の関係、各要素の比率などは、現実と異なる場合があることに留意する必要がある。さらに、図面の相互間においても、互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれている場合がある。 Below, embodiments of the liquid ejection head and recording device disclosed in the present application will be described with reference to the attached drawings. Note that the present disclosure is not limited to the embodiments described below. It should be noted that the drawings are schematic, and the dimensional relationships and ratios of each element may differ from reality. Furthermore, there may be parts in which the dimensional relationships and ratios differ between the drawings.

また、以下に示す実施形態では、「一定」、「直交」、「垂直」あるいは「平行」といった表現が用いられる場合があるが、これらの表現は、厳密に「一定」、「直交」、「垂直」あるいは「平行」であることを要しない。すなわち、上記した各表現は、たとえば製造精度、設置精度などのずれを許容するものとする。 In addition, in the embodiments described below, expressions such as "constant," "orthogonal," "vertical," and "parallel" may be used, but these expressions do not necessarily mean "constant," "orthogonal," "vertical," or "parallel" in the strict sense. In other words, each of the above expressions allows for deviations due to, for example, manufacturing precision, installation precision, and the like.

また、各実施形態は、処理内容を矛盾させない範囲で適宜組み合わせることが可能である。また、以下の各実施形態において同一の部位には同一の符号を付し、重複する説明は省略される。 Furthermore, each embodiment can be combined as appropriate to the extent that the processing content is not contradictory. Furthermore, the same parts in each of the following embodiments are given the same reference numerals, and duplicate explanations are omitted.

<プリンタの構成>
まず、図1および図2を参照して実施形態に係る記録装置の一例であるプリンタ1の概要について説明する。図1は、実施形態に係るプリンタ1の概略的な正面を模式的に示す正面図である。図2は、実施形態に係るプリンタ1の概略的な平面を模式的に示す平面図である。実施形態に係るプリンタ1は、たとえば、カラーインクジェットプリンタである。
<Printer configuration>
First, an overview of a printer 1, which is an example of a recording apparatus according to an embodiment, will be described with reference to Figures 1 and 2. Figure 1 is a front view that shows a schematic front surface of the printer 1 according to an embodiment. Figure 2 is a plan view that shows a schematic plane surface of the printer 1 according to an embodiment. The printer 1 according to an embodiment is, for example, a color inkjet printer.

図1に示すように、プリンタ1は、給紙ローラ2と、ガイドローラ3と、塗布機4と、ヘッドケース5と、複数の搬送ローラ6と、複数のフレーム7と、複数の液体吐出ヘッド8と、搬送ローラ9と、乾燥機10と、搬送ローラ11と、センサ部12と、回収ローラ13とを備える。搬送ローラ6は、搬送部の一例である。 As shown in FIG. 1, the printer 1 includes a paper feed roller 2, a guide roller 3, a coater 4, a head case 5, a plurality of transport rollers 6, a plurality of frames 7, a plurality of liquid ejection heads 8, a transport roller 9, a dryer 10, a transport roller 11, a sensor unit 12, and a recovery roller 13. The transport roller 6 is an example of a transport unit.

さらに、プリンタ1は、プリンタ1の各部を制御する制御部14を有している。制御部14は、給紙ローラ2、ガイドローラ3、塗布機4、ヘッドケース5、複数の搬送ローラ6、複数のフレーム7、複数の液体吐出ヘッド8、搬送ローラ9、乾燥機10、搬送ローラ11、センサ部12および回収ローラ13の動作を制御する。 The printer 1 further includes a control unit 14 that controls each part of the printer 1. The control unit 14 controls the operation of the feed roller 2, the guide roller 3, the applicator 4, the head case 5, the multiple transport rollers 6, the multiple frames 7, the multiple liquid ejection heads 8, the transport roller 9, the dryer 10, the transport roller 11, the sensor unit 12, and the recovery roller 13.

プリンタ1は、印刷用紙Pに液滴を着弾させることにより、印刷用紙Pに画像や文字の記録を行う。印刷用紙Pは、記録媒体の一例である。印刷用紙Pは、使用前において給紙ローラ2に巻かれた状態になっている。プリンタ1は、印刷用紙Pを、給紙ローラ2からガイドローラ3および塗布機4を介してヘッドケース5の内部に搬送する。 The printer 1 records images and characters on the printing paper P by landing droplets on the printing paper P. The printing paper P is an example of a recording medium. Before use, the printing paper P is wound around the paper feed roller 2. The printer 1 transports the printing paper P from the paper feed roller 2 through the guide roller 3 and the coater 4 to the inside of the head case 5.

塗布機4は、コーティング剤を印刷用紙Pに一様に塗布する。これにより、印刷用紙Pに表面処理を施すことができることから、プリンタ1の印刷品質を向上させることができる。 The coater 4 applies the coating agent evenly to the printing paper P. This allows the printing paper P to be surface-treated, improving the printing quality of the printer 1.

ヘッドケース5は、複数の搬送ローラ6と、複数のフレーム7と、複数の液体吐出ヘッド8とを収容する。ヘッドケース5の内部には、印刷用紙Pが出入りする部分などの一部において外部と繋がっている他は、外部と隔離された空間が形成されている。 The head case 5 houses a number of transport rollers 6, a number of frames 7, and a number of liquid ejection heads 8. Inside the head case 5, a space is formed that is isolated from the outside, except for some parts that are connected to the outside, such as the part where the printing paper P enters and exits.

ヘッドケース5の内部空間は、必要に応じて、温度、湿度、および気圧などの制御因子のうち、少なくとも1つが制御部14によって制御される。搬送ローラ6は、ヘッドケース5の内部で印刷用紙Pを液体吐出ヘッド8の近傍に搬送する。 At least one of the control factors such as temperature, humidity, and air pressure of the internal space of the head case 5 is controlled by the control unit 14 as necessary. The transport rollers 6 transport the printing paper P inside the head case 5 to the vicinity of the liquid ejection head 8.

フレーム7は、矩形状の平板であり、搬送ローラ6で搬送される印刷用紙Pの上方に近接して位置している。また、図2に示すように、フレーム7は、長手方向が印刷用紙Pの搬送方向に直交するように位置している。そして、ヘッドケース5の内部には、複数(たとえば、4つ)のフレーム7が、印刷用紙Pの搬送方向に沿って所定の間隔で位置している。 The frame 7 is a rectangular flat plate, and is positioned close to and above the print paper P being transported by the transport rollers 6. As shown in FIG. 2, the frame 7 is positioned so that its longitudinal direction is perpendicular to the transport direction of the print paper P. Inside the head case 5, multiple (e.g., four) frames 7 are positioned at predetermined intervals along the transport direction of the print paper P.

液体吐出ヘッド8には、図示しない液体タンクから液体、たとえば、インクが供給される。液体吐出ヘッド8は、液体タンクから供給される液体を吐出する。 Liquid, such as ink, is supplied to the liquid ejection head 8 from a liquid tank (not shown). The liquid ejection head 8 ejects the liquid supplied from the liquid tank.

制御部14は、画像や文字などのデータに基づいて液体吐出ヘッド8を制御し、印刷用紙Pに向けて液体を吐出させる。液体吐出ヘッド8と印刷用紙Pとの間の距離は、たとえば、0.5~20mm程度である。 The control unit 14 controls the liquid ejection head 8 based on data such as images and characters to eject liquid toward the printing paper P. The distance between the liquid ejection head 8 and the printing paper P is, for example, about 0.5 to 20 mm.

液体吐出ヘッド8は、フレーム7に固定されている。液体吐出ヘッド8は、長手方向が印刷用紙Pの搬送方向に直交するように位置している。 The liquid ejection head 8 is fixed to the frame 7. The liquid ejection head 8 is positioned so that its longitudinal direction is perpendicular to the transport direction of the printing paper P.

すなわち、実施形態に係るプリンタ1は、プリンタ1の内部に液体吐出ヘッド8が固定されている、いわゆるラインプリンタである。なお、実施形態に係るプリンタ1は、ラインプリンタに限られず、いわゆるシリアルプリンタであってもよい。 That is, the printer 1 according to the embodiment is a so-called line printer in which the liquid ejection head 8 is fixed inside the printer 1. Note that the printer 1 according to the embodiment is not limited to a line printer, and may be a so-called serial printer.

シリアルプリンタとは、液体吐出ヘッド8を、印刷用紙Pの搬送方向に交差する方向、たとえば、略直交する方向に往復させるなどして移動させながら記録する動作と、印刷用紙Pの搬送とを交互に行う方式のプリンタである。 A serial printer is a printer that alternates between moving the liquid ejection head 8 back and forth in a direction that intersects with the transport direction of the print paper P, for example, in a direction that is approximately perpendicular to the direction of transport of the print paper P, to perform recording, and transporting the print paper P.

図2に示すように、1つのフレーム7に複数(たとえば、5つ)の液体吐出ヘッド8が固定されている。図2では、印刷用紙Pの搬送方向の前方に3つ、後方に2つの液体吐出ヘッド8が位置している例を示しており、印刷用紙Pの搬送方向において、それぞれの液体吐出ヘッド8の中心が重ならないように液体吐出ヘッド8が位置している。 As shown in FIG. 2, multiple (e.g., five) liquid ejection heads 8 are fixed to one frame 7. FIG. 2 shows an example in which three liquid ejection heads 8 are positioned in front and two in the rear in the transport direction of the print paper P, and the liquid ejection heads 8 are positioned in the transport direction of the print paper P such that the centers of each liquid ejection head 8 do not overlap.

そして、1つのフレーム7に位置する複数の液体吐出ヘッド8によって、ヘッド群8Aが構成されている。4つのヘッド群8Aは、印刷用紙Pの搬送方向に沿って位置している。同じヘッド群8Aに属する液体吐出ヘッド8には、4色のインクが供給される。これにより、プリンタ1は、4つのヘッド群8Aを用いて4色のインクによる印刷を行うことができる。 The head group 8A is made up of multiple liquid ejection heads 8 positioned on one frame 7. The four head groups 8A are positioned along the transport direction of the print paper P. Four colors of ink are supplied to the liquid ejection heads 8 that belong to the same head group 8A. This allows the printer 1 to print with four colors of ink using the four head groups 8A.

各液体吐出ヘッド8から吐出されるインクの色は、たとえば、マゼンタ(M)、イエロー(Y)、シアン(C)およびブラック(K)である。制御部14は、各液体吐出ヘッド8を制御して複数色のインクを印刷用紙Pに吐出することにより、印刷用紙Pにカラー画像を印刷することができる。 The colors of ink ejected from each liquid ejection head 8 are, for example, magenta (M), yellow (Y), cyan (C) and black (K). The control unit 14 controls each liquid ejection head 8 to eject multiple colors of ink onto the printing paper P, thereby printing a color image on the printing paper P.

なお、印刷用紙Pの表面処理をするために、液体吐出ヘッド8からコーティング剤を印刷用紙Pに吐出してもよい。 In addition, to treat the surface of the printing paper P, a coating agent may be ejected onto the printing paper P from the liquid ejection head 8.

また、1つのヘッド群8Aに含まれる液体吐出ヘッド8の個数や、プリンタ1に搭載されているヘッド群8Aの個数は、印刷する対象や印刷条件に応じて適宜変更可能である。たとえば、1つの液体吐出ヘッド8で印刷可能な範囲を印刷するのであれば、プリンタ1に搭載されている液体吐出ヘッド8の個数は1つでもよい。 The number of liquid ejection heads 8 included in one head group 8A and the number of head groups 8A mounted on the printer 1 can be changed as appropriate depending on the object to be printed and the printing conditions. For example, if printing is to be performed within the range that can be printed with one liquid ejection head 8, the number of liquid ejection heads 8 mounted on the printer 1 may be one.

ヘッドケース5の内部で印刷処理された印刷用紙Pは、搬送ローラ9によってヘッドケース5の外部に搬送され、乾燥機10の内部を通る。乾燥機10は、印刷処理された印刷用紙Pを乾燥する。乾燥機10で乾燥された印刷用紙Pは、搬送ローラ11で搬送されて、回収ローラ13で回収される。 The print paper P that has been printed inside the head case 5 is transported to the outside of the head case 5 by the transport rollers 9 and passes through the inside of the dryer 10. The dryer 10 dries the print paper P that has been printed. The print paper P that has been dried in the dryer 10 is transported by the transport rollers 11 and collected by the collection rollers 13.

プリンタ1では、乾燥機10で印刷用紙Pを乾燥することにより、回収ローラ13において、重なって巻き取られる印刷用紙P同士が接着したり、未乾燥の液体が擦れたりすることを抑制することができる。 In the printer 1, the printing paper P is dried in the dryer 10, which prevents the overlapping printing paper P wound up on the recovery roller 13 from sticking together and preventing the wet liquid from rubbing against each other.

センサ部12は、位置センサや速度センサ、温度センサなどにより構成されている。制御部14は、センサ部12からの情報に基づいて、プリンタ1の各部における状態を判断し、プリンタ1の各部を制御することができる。 The sensor unit 12 is composed of a position sensor, a speed sensor, a temperature sensor, etc. The control unit 14 can determine the state of each part of the printer 1 based on information from the sensor unit 12 and control each part of the printer 1.

ここまで説明したプリンタ1では、印刷対象(すなわち、記録媒体)として印刷用紙Pを用いた場合について示したが、プリンタ1における印刷対象は印刷用紙Pに限られず、ロール状の布などを印刷対象としてもよい。 The printer 1 described so far has been shown to use printing paper P as the printing target (i.e., recording medium), but the printing target in the printer 1 is not limited to printing paper P, and the printing target may also be a roll of cloth, etc.

また、プリンタ1は、印刷用紙Pを直接搬送する代わりに、搬送ベルト上に載せて搬送するものであってもよい。搬送ベルトを用いることで、プリンタ1は、枚葉紙や裁断された布、木材、タイルなどを印刷対象とすることができる。 In addition, the printer 1 may transport the print paper P on a transport belt instead of directly transporting it. By using a transport belt, the printer 1 can print on sheets of paper, cut pieces of cloth, wood, tiles, etc.

また、プリンタ1は、液体吐出ヘッド8から導電性の粒子を含む液体を吐出するようにして、電子機器の配線パターンなどを印刷してもよい。また、プリンタ1は、液体吐出ヘッド8から反応容器などに向けて所定量の液体の化学薬剤や化学薬剤を含んだ液体を吐出させて、化学薬品を作製してもよい。 The printer 1 may also print wiring patterns for electronic devices by ejecting liquid containing conductive particles from the liquid ejection head 8. The printer 1 may also produce chemicals by ejecting a predetermined amount of liquid chemicals or liquid containing chemicals from the liquid ejection head 8 toward a reaction vessel or the like.

また、プリンタ1は、液体吐出ヘッド8をクリーニングするクリーニング部を備えていてもよい。クリーニング部は、たとえば、ワイピング処理やキャッピング処理によって液体吐出ヘッド8の洗浄を行う。 The printer 1 may also include a cleaning unit that cleans the liquid ejection head 8. The cleaning unit cleans the liquid ejection head 8, for example, by wiping or capping.

ワイピング処理とは、たとえば、柔軟性のあるワイパーで、液体が吐出される部位の面を払拭することで、液体吐出ヘッド8に付着していた液体を取り除く処理である。 The wiping process is a process of removing liquid adhering to the liquid ejection head 8, for example, by wiping the surface from which the liquid is ejected with a flexible wiper.

また、キャッピング処理は、たとえば、次のように実施する。まず、液体を吐出される部位、たとえば、吐出部材20の第2面20b(図3参照)を覆うようにキャップを被せる(これをキャッピングという)。これにより、第2面20bとキャップとの間に、略密閉された空間が形成される。 The capping process is carried out, for example, as follows. First, a cap is placed over the area from which the liquid is discharged, for example, the second surface 20b of the discharge member 20 (see FIG. 3) (this is called capping). This creates a substantially sealed space between the second surface 20b and the cap.

次に、このような密閉された空間で液体の吐出を繰り返す。これにより、吐出孔(ノズル)163(図4参照)に詰まっていた、標準状態よりも粘度が高い液体や異物などを取り除くことができる。 Next, liquid is repeatedly ejected from this sealed space. This makes it possible to remove liquid with a higher viscosity than the standard state and foreign matter that have been clogging the ejection hole (nozzle) 163 (see Figure 4).

<液体吐出ヘッドの構成>
次に、図3を参照して実施形態に係る液体吐出ヘッド8の構成について説明する。図3は、実施形態に係る液体吐出ヘッド8の内部構成を示す側面模式図である。図3においては、液体吐出ヘッド8の長手方向と直交する側面が示されている。
<Configuration of Liquid Ejection Head>
Next, the configuration of the liquid ejection head 8 according to the embodiment will be described with reference to Fig. 3. Fig. 3 is a schematic side view showing the internal configuration of the liquid ejection head 8 according to the embodiment. Fig. 3 shows a side surface perpendicular to the longitudinal direction of the liquid ejection head 8.

液体吐出ヘッド8は、吐出部材20と、サポート基板30と、中継基板40と、フレキシブル基板50と、駆動IC60と、液体供給部材(不図示)とを備える。吐出部材20、サポート基板30、中継基板40、フレキシブル基板50、駆動IC60および液体供給部材は、不図示の筐体に収容されている。 The liquid ejection head 8 includes an ejection member 20, a support substrate 30, a relay substrate 40, a flexible substrate 50, a driving IC 60, and a liquid supply member (not shown). The ejection member 20, the support substrate 30, the relay substrate 40, the flexible substrate 50, the driving IC 60, and the liquid supply member are housed in a housing (not shown).

以下の説明において、便宜的に、液体吐出ヘッド8において吐出部材20が設けられる方向を「下」と表記し、吐出部材20に対してサポート基板30が設けられる方向を「上」と表記する場合がある。 In the following description, for convenience, the direction in which the ejection member 20 is provided in the liquid ejection head 8 may be referred to as "down" and the direction in which the support substrate 30 is provided relative to the ejection member 20 may be referred to as "up."

吐出部材20は、略平板形状であり、第1面20aと、第1面20aの反対側に位置する第2面20bとを有している。第1面20aは、不図示の開口を有し、サポート基板30からかかる開口を介して吐出部材20の内部に液体が供給される。 The ejection member 20 has a generally flat plate shape and has a first surface 20a and a second surface 20b located on the opposite side of the first surface 20a. The first surface 20a has an opening (not shown), and liquid is supplied from the support substrate 30 to the inside of the ejection member 20 through this opening.

第2面20bには、印刷用紙Pに液体を吐出する複数の吐出孔22(図4参照)が位置している。吐出部材20は、第1面20aから第2面20bに液体を流す流路を内部に有している。 The second surface 20b has a plurality of discharge holes 22 (see FIG. 4) that discharge liquid onto the printing paper P. The discharge member 20 has an internal flow path that allows liquid to flow from the first surface 20a to the second surface 20b.

吐出部材20は、複数の変位素子23(図4参照)を有している。複数の変位素子23は、吐出部材20の第1面20a上に位置している。 The discharge member 20 has a plurality of displacement elements 23 (see FIG. 4). The plurality of displacement elements 23 are located on the first surface 20a of the discharge member 20.

サポート基板30は、吐出部材20の第1面20a上に位置している。サポート基板30は、内部に流路を有しており、液体供給部材から供給される液体を吐出部材20に供給する。また、サポート基板30は、吐出部材20よりも厚い所定の厚みを有し、吐出部材20を補強する機能を有している。 The support substrate 30 is located on the first surface 20a of the discharge member 20. The support substrate 30 has an internal flow path and supplies the liquid supplied from the liquid supply member to the discharge member 20. The support substrate 30 also has a predetermined thickness that is thicker than the discharge member 20, and has the function of reinforcing the discharge member 20.

サポート基板30上には液体供給部材が位置している。液体供給部材には、印刷用紙Pの搬送方向である副走査方向に直交し、かつ印刷用紙Pに平行な方向である主走査方向の両端部に開口(不図示)が設けられている。液体供給部材は、内部に流路を有しており、外部から開口を介して液体が供給される。液体供給部材は、サポート基板30に液体を供給する。また、液体供給部材は、サポート基板30に供給される液体を貯留する。 A liquid supply member is positioned on the support substrate 30. The liquid supply member has openings (not shown) at both ends in the main scanning direction, which is perpendicular to the sub-scanning direction, which is the transport direction of the printing paper P, and parallel to the printing paper P. The liquid supply member has a flow path inside, and liquid is supplied from the outside through the openings. The liquid supply member supplies liquid to the support substrate 30. The liquid supply member also stores the liquid supplied to the support substrate 30.

中継基板40は、吐出部材20の第1面20a上のサポート基板30を挟む2つの位置それぞれに位置している。中継基板40の一端部は、吐出部材20と電気的に接続され、中継基板40の他端部は、フレキシブル基板50と電気的に接続されている。中継基板40は、フレキシブル基板50によって伝達された信号を吐出部材20へ中継する機能を有する。中継基板40は、吐出部材20の第1面20aからの高さがサポート基板30よりも低い。これにより、サポート基板30上に液体供給部材を設置する際に、中継基板40と液体供給部材とが干渉する可能性を低減することができることから、液体供給部材のレイアウトの自由度を向上することができる。 The relay substrates 40 are located at two positions on the first surface 20a of the discharge member 20, sandwiching the support substrate 30. One end of the relay substrate 40 is electrically connected to the discharge member 20, and the other end of the relay substrate 40 is electrically connected to the flexible substrate 50. The relay substrate 40 has a function of relaying a signal transmitted by the flexible substrate 50 to the discharge member 20. The height of the relay substrate 40 from the first surface 20a of the discharge member 20 is lower than that of the support substrate 30. This reduces the possibility of interference between the relay substrate 40 and the liquid supply member when placing the liquid supply member on the support substrate 30, thereby improving the degree of freedom in the layout of the liquid supply member.

フレキシブル基板50は、可撓性を有する配線基板であり、外部から送られた信号を中継基板40に伝達する。フレキシブル基板50の一端部は、中継基板40と電気的に接続され、フレキシブル基板50の他端部は、サポート基板30よりも上方に引き出されており、不図示の配線基板と電気的に接続されている。 The flexible substrate 50 is a flexible wiring substrate, and transmits signals sent from the outside to the relay substrate 40. One end of the flexible substrate 50 is electrically connected to the relay substrate 40, and the other end of the flexible substrate 50 is pulled out above the support substrate 30 and is electrically connected to a wiring substrate (not shown).

駆動IC60は、フレキシブル基板50に搭載されている。駆動IC60は、制御部14(図1参照)から送られた駆動信号に基づいて、吐出部材20における各変位素子23を駆動させる。これにより、駆動IC60は、液体吐出ヘッド8の駆動を制御することができる。 The driving IC 60 is mounted on the flexible substrate 50. The driving IC 60 drives each displacement element 23 in the ejection member 20 based on a driving signal sent from the control unit 14 (see FIG. 1). This allows the driving IC 60 to control the driving of the liquid ejection head 8.

なお、図3は、液体吐出ヘッド8の構成の一例を示すものであり、図3に示した部材以外の部材をさらに含んでもよい。 Note that FIG. 3 shows an example of the configuration of the liquid ejection head 8, and it may further include components other than those shown in FIG. 3.

<吐出部材およびサポート基板の構成>
次に、図4を参照して実施形態に係る吐出部材20およびサポート基板30の構成について説明する。図4は、実施形態に係る吐出部材20およびサポート基板30の側断面
を示す模式図である。
<Configuration of Discharge Member and Support Substrate>
Next, the configurations of the discharge member 20 and the support substrate 30 according to the embodiment will be described with reference to Fig. 4. Fig. 4 is a schematic diagram showing a side cross section of the discharge member 20 and the support substrate 30 according to the embodiment.

図4に示すように、吐出部材20は、複数の加圧室21と、複数の吐出孔22、複数の変位素子23と、複数の端子24とを有している。 As shown in FIG. 4, the discharge member 20 has a plurality of pressure chambers 21, a plurality of discharge holes 22, a plurality of displacement elements 23, and a plurality of terminals 24.

複数の加圧室21は、サポート基板30における複数の流路31にそれぞれ繋がっている。複数の吐出孔22は、複数の加圧室21にそれぞれ繋がっている。複数の変位素子23は、吐出部材20の第1面20a上であって、複数の加圧室21にそれぞれ対応する複数の位置に位置している。 The multiple pressure chambers 21 are each connected to multiple flow paths 31 in the support substrate 30. The multiple discharge holes 22 are each connected to the multiple pressure chambers 21. The multiple displacement elements 23 are located on the first surface 20a of the discharge member 20 at multiple positions corresponding to the multiple pressure chambers 21.

複数の端子24は、吐出部材20の第1面20a上であって、サポート基板30を挟む位置に位置している。複数の端子24は、不図示の電極および配線を介して複数の変位素子23それぞれに電気的に接続されている。かかる複数の端子24には、フレキシブル基板50における複数の信号線がそれぞれ電気的に接続される。そして、フレキシブル基板50によって伝達される信号が端子24から変位素子23に入力されると、変位素子23が変位する。 The multiple terminals 24 are located on the first surface 20a of the discharge member 20 at positions sandwiching the support substrate 30. The multiple terminals 24 are electrically connected to the multiple displacement elements 23 via electrodes and wiring (not shown). The multiple terminals 24 are electrically connected to the multiple signal lines in the flexible substrate 50. When a signal transmitted by the flexible substrate 50 is input from the terminal 24 to the displacement element 23, the displacement element 23 is displaced.

サポート基板30は、吐出部材20の第1面20a上に位置している。サポート基板30は、下面に複数の変位素子23をそれぞれ収容するための複数の空間を有している。サポート基板30は、内部に複数の流路31を有している。複数の流路31は、複数の加圧室21にそれぞれ繋がっている。複数の流路31は、サポート基板30の上面に開口している。また、サポート基板30の上面には、不図示の液体供給部材が位置している。複数の流路31は、液体供給部材に繋がっている。 The support substrate 30 is located on the first surface 20a of the discharge member 20. The support substrate 30 has a plurality of spaces on the lower surface for accommodating a plurality of displacement elements 23, respectively. The support substrate 30 has a plurality of flow paths 31 therein. The plurality of flow paths 31 are connected to the plurality of pressure chambers 21, respectively. The plurality of flow paths 31 open to the upper surface of the support substrate 30. In addition, a liquid supply member (not shown) is located on the upper surface of the support substrate 30. The plurality of flow paths 31 are connected to the liquid supply member.

そして、液体供給部材から流路31を介して吐出部材20の内部に液体が供給されるとともに、対応する変位素子23が変位することにより、加圧室21が押圧され、吐出孔22から液体が吐出される。すなわち、複数の変位素子23は、複数の吐出孔22から液体を吐出させる複数の素子として機能する。 When liquid is supplied from the liquid supply member through the flow path 31 to the inside of the discharge member 20, the corresponding displacement element 23 is displaced, thereby pressing the pressure chamber 21 and discharging the liquid from the discharge hole 22. In other words, the multiple displacement elements 23 function as multiple elements that cause the liquid to be discharged from the multiple discharge holes 22.

図4に示すように、吐出部材20は、ノズルプレート20Aおよびアクチュエータプレート20Bが積層された積層構造を有している。ノズルプレート20Aには、複数の吐出孔22が設けられている。アクチュエータプレート20Bには、複数の加圧室21、複数の変位素子23および複数の端子24が設けられている。ノズルプレート20Aおよびアクチュエータプレート20Bが位置合わせされて積層されることにより、複数の加圧室21と複数の吐出孔22とが互いに連通して吐出部材20が構成される。 As shown in FIG. 4, the discharge member 20 has a laminated structure in which a nozzle plate 20A and an actuator plate 20B are laminated. The nozzle plate 20A has a plurality of discharge holes 22. The actuator plate 20B has a plurality of pressure chambers 21, a plurality of displacement elements 23, and a plurality of terminals 24. The nozzle plate 20A and the actuator plate 20B are aligned and laminated, so that the plurality of pressure chambers 21 and the plurality of discharge holes 22 communicate with each other to form the discharge member 20.

<吐出部材、中継基板およびフレキシブル基板の接続態様>
次に、図5および図6を参照して、吐出部材20、中継基板40およびフレキシブル基板50の接続態様について説明する。図5は、実施形態に係る吐出部材20、中継基板40およびフレキシブル基板50の構成を示す側面模式図である。図6は、実施形態に係る中継基板40とフレキシブル基板50との接続部の構成の一例を示す平面模式図である。図6においては、中継基板40の下面(つまり、吐出部材20へ向けられる面)が示されている。
<Connection of the Discharge Member, Intermediate Board, and Flexible Board>
Next, the connection state of the discharge member 20, relay substrate 40, and flexible substrate 50 will be described with reference to Fig. 5 and Fig. 6. Fig. 5 is a schematic side view showing the configuration of the discharge member 20, relay substrate 40, and flexible substrate 50 according to the embodiment. Fig. 6 is a schematic plan view showing an example of the configuration of the connection portion between the relay substrate 40 and flexible substrate 50 according to the embodiment. Fig. 6 shows the lower surface of the relay substrate 40 (i.e., the surface facing the discharge member 20).

図5に示すように、吐出部材20の第1面20a上には複数の端子24(図4参照)が位置しており、フレキシブル基板50の表面には複数の端子24に対応する複数の信号線51(図6参照)が位置している。中継基板40の一端部は、吐出部材20の複数の端子24に接続され、中継基板40の他端部は、フレキシブル基板50の複数の信号線51に接続されている。すなわち、中継基板40の一端部には複数の第1パッド41(図6参照)が形成されており、これら複数の第1パッド41と吐出部材20の複数の端子24とが導電性接合材401によって接合されている。また、中継基板40の他端部には複数の第2パッド42(図6参照)が形成されており、これら複数の第2パッド42とフレキシブル基板50の複数の信号線51とが導電性接合材402によって接合されている。複数の第1パッド41と複数の第2パッド42とは、複数の配線43によってそれぞれ接続されている。導電性接合材401、402としては、たとえば、異方性導電フィルム(ACF:Anisotropic Conductive Film)を用いることができる。 5, a plurality of terminals 24 (see FIG. 4) are located on the first surface 20a of the discharge member 20, and a plurality of signal lines 51 (see FIG. 6) corresponding to the plurality of terminals 24 are located on the surface of the flexible substrate 50. One end of the relay substrate 40 is connected to the plurality of terminals 24 of the discharge member 20, and the other end of the relay substrate 40 is connected to the plurality of signal lines 51 of the flexible substrate 50. That is, a plurality of first pads 41 (see FIG. 6) are formed on one end of the relay substrate 40, and these plurality of first pads 41 and the plurality of terminals 24 of the discharge member 20 are bonded by a conductive bonding material 401. In addition, a plurality of second pads 42 (see FIG. 6) are formed on the other end of the relay substrate 40, and these plurality of second pads 42 and the plurality of signal lines 51 of the flexible substrate 50 are bonded by a conductive bonding material 402. The plurality of first pads 41 and the plurality of second pads 42 are connected to each other by a plurality of wirings 43. The conductive bonding materials 401 and 402 can be, for example, anisotropic conductive films (ACFs).

図6に示すように、中継基板40において、複数の第2パッド42の各々の面積は、複数の第1パッド41の各々の面積よりも大きい。このように、フレキシブル基板50の複数の信号線51と接合される複数の第2パッド42の各々の面積を大きくすることにより、フレキシブル基板50と中継基板40との接続不良を抑制することができる。すなわち、フレキシブル基板50を中継基板40に接続する際には、フレキシブル基板50の屈曲に伴い第2パッド42からの信号線51へ機械的負荷がかかるが、第2パッド42の面積を大きくすることで、信号線51への機械的負荷を低減させることができる。また、フレキシブル基板50を中継基板40に接続する際には、加熱により導電性接合材402を溶融するため、フレキシブル基板50の熱膨張が生じ、第2パッド42からの信号線51の位置ずれが生じ易い。かかる場合であっても、第2パッド42の面積を大きくすることにより、信号線51の位置ずれが生じていても、第2パッド42と信号線51との電気的な接続を確保することができる。フレキシブル基板50と中継基板40との接続不良を抑制することができることから、中継基板40によってフレキシブル基板50と吐出部材20とを安定的に接続することができる。その結果、実施形態に係る液体吐出ヘッド8によれば、吐出部材20とフレキシブル基板50との間の接続信頼性を向上することができる。なお、第1パッド41および第2パッド42の面積とは、中継基板40を平面視した平面視面積である。 6, in the relay board 40, the area of each of the multiple second pads 42 is larger than the area of each of the multiple first pads 41. In this way, by increasing the area of each of the multiple second pads 42 that are joined to the multiple signal lines 51 of the flexible board 50, it is possible to suppress poor connection between the flexible board 50 and the relay board 40. That is, when the flexible board 50 is connected to the relay board 40, a mechanical load is applied to the signal line 51 from the second pad 42 due to bending of the flexible board 50, but by increasing the area of the second pad 42, the mechanical load on the signal line 51 can be reduced. In addition, when the flexible board 50 is connected to the relay board 40, the conductive bonding material 402 is melted by heating, so that thermal expansion of the flexible board 50 occurs, and the position of the signal line 51 from the second pad 42 is likely to be shifted. Even in such a case, by increasing the area of the second pad 42, the electrical connection between the second pad 42 and the signal line 51 can be ensured even if the position of the signal line 51 is shifted. Since connection failure between the flexible substrate 50 and the relay substrate 40 can be suppressed, the relay substrate 40 can stably connect the flexible substrate 50 and the discharge member 20. As a result, the liquid discharge head 8 according to the embodiment can improve the connection reliability between the discharge member 20 and the flexible substrate 50. The areas of the first pad 41 and the second pad 42 are the planar areas of the relay substrate 40 when viewed from above.

また、複数の第2パッド42は、中継基板40の吐出部材20側の一端部から他端部に向かう方向(以下「第1方向」と呼ぶ。)に沿って並ぶ複数(ここでは、2つ)の領域421に、第1方向と交差する第2方向において互いに隣接しないように位置している。これにより、第2パッド42どうしが干渉しない範囲で第2方向に沿った第2パッド42のサイズを拡大させることができることから、第2パッド42の面積をより大きくすることができる。 The second pads 42 are located in a number of (here, two) regions 421 aligned along a direction from one end of the relay substrate 40 on the discharge member 20 side toward the other end (hereinafter referred to as the "first direction") so as not to be adjacent to each other in a second direction intersecting the first direction. This allows the size of the second pads 42 along the second direction to be increased to an extent that the second pads 42 do not interfere with each other, thereby making it possible to further increase the area of the second pads 42.

また、図5および図6に示すように、複数の第1パッド41、複数の第2パッド42および複数の配線43は、中継基板40の吐出部材20へ向けられる下面に位置している。このように、複数の第1パッド41、複数の第2パッド42および複数の配線43が同一面である中継基板40の下面に位置することにより、複数の配線43の長さを最小限とすることができ、中継基板40における電気抵抗を低減することができる。 As shown in Figures 5 and 6, the first pads 41, the second pads 42, and the wiring 43 are located on the lower surface of the relay substrate 40 facing the discharge member 20. In this way, by locating the first pads 41, the second pads 42, and the wiring 43 on the same surface, the lower surface of the relay substrate 40, the length of the wiring 43 can be minimized, and the electrical resistance in the relay substrate 40 can be reduced.

なお、図6では、複数の第2パッド42を互いに隣接しないように位置させて第2パッド42の面積を大きくする場合を例に示したが、中継基板40において第2パッド42の面積を大きくするための構造は、これに限定されない。例えば、図7に示すように、中継基板40上で複数の配線43のピッチ変換を行うことで第2パッド42の面積を大きくしてもよい。図7は、実施形態に係る中継基板40とフレキシブル基板50の接続部の構成の他の一例を示す平面模式図である。図7に示す複数の配線43は、中継基板40上でピッチ変換されており、複数の第1パッド41側では配線43間のピッチ(間隔)が小さいが複数の第2パッド42側ではピッチ(間隔)が大きくなっている。これにより、第2パッド42どうしが干渉しない範囲で第2方向に沿った第2パッド42のサイズを拡大させることができることから、第2パッド42の面積をより大きくすることができる。 6 shows an example in which the area of the second pads 42 is increased by positioning the second pads 42 so that they are not adjacent to each other, but the structure for increasing the area of the second pads 42 on the relay substrate 40 is not limited to this. For example, as shown in FIG. 7, the area of the second pads 42 may be increased by changing the pitch of the wirings 43 on the relay substrate 40. FIG. 7 is a plan view schematic diagram showing another example of the configuration of the connection between the relay substrate 40 and the flexible substrate 50 according to the embodiment. The wirings 43 shown in FIG. 7 are pitch-changed on the relay substrate 40, and the pitch (spacing) between the wirings 43 is small on the side of the first pads 41, but is large on the side of the second pads 42. This allows the size of the second pads 42 along the second direction to be increased within a range in which the second pads 42 do not interfere with each other, thereby making it possible to further increase the area of the second pads 42.

<液体吐出ヘッドの製造方法>
次に、実施形態に係る液体吐出ヘッド8の製造方法について説明する。まず、吐出部材20の第1面20a上にサポート基板30を設置する。つづいて、ノズルプレート20Aおよびアクチュエータプレート20Bを位置合わせして積層することにより、吐出部材20の積層構造を作成する。つづいて、中継基板40の複数の第1パッド41と吐出部材20の複数の端子24とを導電性接合材401によって接合することにより、中継基板40と吐出部材20とを電気的に接続する。つづいて、中継基板40の複数の第2パッド42とフレキシブル基板50の複数の信号線51とを導電性接合材402によって接合することにより、中継基板40とフレキシブル基板50とを電気的に接続する。その後、サポート基板30上に液体供給部材を設置し、吐出部材20等の部材(および必要に応じてその他の部材)を筐体に収容する。これにより、実施形態に係る液体吐出ヘッド8が得られる。
<Method of Manufacturing Liquid Ejection Head>
Next, a method for manufacturing the liquid ejection head 8 according to the embodiment will be described. First, the support substrate 30 is placed on the first surface 20a of the ejection member 20. Next, the nozzle plate 20A and the actuator plate 20B are aligned and stacked to create a laminated structure of the ejection member 20. Next, the relay substrate 40 and the ejection member 20 are electrically connected by bonding the first pads 41 of the relay substrate 40 to the terminals 24 of the ejection member 20 with a conductive bonding material 401. Next, the relay substrate 40 and the ejection member 20 are electrically connected by bonding the second pads 42 of the relay substrate 40 to the signal lines 51 of the flexible substrate 50 with a conductive bonding material 402. After that, a liquid supply member is placed on the support substrate 30, and the ejection member 20 and other members (and other members as necessary) are housed in the housing. This results in the liquid ejection head 8 according to the embodiment.

<各種変形例>
図8は、変形例1に係る吐出部材20、中継基板40およびフレキシブル基板50の構成を示す側面模式図である。図8に示すフレキシブル基板50は、駆動IC60を搭載しておらず、駆動IC60は、中継基板40の下面(つまり、吐出部材20へ向けられる面)に位置している。このように、駆動IC60を中継基板40の下面に位置させることにより、駆動IC60と吐出部材20との間の配線長を短くすることができることから、駆動IC60と吐出部材20との間の抵抗損失を低減することができる。また、駆動IC60と吐出部材20との間の断線の可能性を低減することができることから、駆動IC60と吐出部材20との接続信頼性を向上することもできる。
<Various modified examples>
8 is a side schematic diagram showing the configuration of the discharge member 20, relay substrate 40, and flexible substrate 50 according to the first modified example. The flexible substrate 50 shown in FIG. 8 does not have a driving IC 60 mounted thereon, and the driving IC 60 is located on the lower surface of the relay substrate 40 (i.e., the surface facing the discharge member 20). By positioning the driving IC 60 on the lower surface of the relay substrate 40 in this manner, the wiring length between the driving IC 60 and the discharge member 20 can be shortened, and therefore the resistance loss between the driving IC 60 and the discharge member 20 can be reduced. In addition, the possibility of disconnection between the driving IC 60 and the discharge member 20 can be reduced, and therefore the connection reliability between the driving IC 60 and the discharge member 20 can be improved.

なお、図8において、中継基板40の駆動IC60とは反対側の上面に放熱部材を設けてもよい。これにより、駆動IC60の放熱性を向上することができる。放熱部材としては、放熱フィン、ペルチェ素子などを用いてもよい。また、駆動IC60を保護カバーによって覆ってもよい。これにより、吐出部材20から吐出された液体が駆動IC60に付着することを抑制することができる。 In addition, in FIG. 8, a heat dissipation member may be provided on the upper surface of the relay substrate 40 opposite the driving IC 60. This improves the heat dissipation of the driving IC 60. The heat dissipation member may be a heat dissipation fin, a Peltier element, or the like. The driving IC 60 may also be covered with a protective cover. This prevents the liquid ejected from the ejection member 20 from adhering to the driving IC 60.

図9は、変形例2に係る吐出部材20、中継基板40およびフレキシブル基板50の構成を示す側面模式図である。図9に示す中継基板40において、複数の第1パッド41は、中継基板40の吐出部材20へ向けられる下面に位置している。また、複数の第2パッド42は、中継基板の上面に位置している。また、複数の配線43は、中継基板40の側面を介して中継基板40の上面および下面に引き回されて位置している。このように、複数の第1パッド41および複数の第2パッド42が中継基板40の下面および上面に位置することにより、中継基板40の異なる面において吐出部材20とフレキシブル基板50とを電気的に接続することができる。これにより、中継基板40の吐出部材20側の一端部から他端部までの幅を小さくした場合であっても、吐出部材20とフレキシブル基板50との干渉が回避されることから、液体吐出ヘッド8の小型化を促進することができる。 9 is a schematic side view showing the configuration of the discharge member 20, relay board 40 and flexible board 50 according to the second modification. In the relay board 40 shown in FIG. 9, the first pads 41 are located on the lower surface of the relay board 40 facing the discharge member 20. The second pads 42 are located on the upper surface of the relay board. The wiring 43 is routed to the upper and lower surfaces of the relay board 40 via the side surfaces of the relay board 40. In this way, the first pads 41 and the second pads 42 are located on the lower and upper surfaces of the relay board 40, so that the discharge member 20 and the flexible board 50 can be electrically connected on different surfaces of the relay board 40. As a result, even if the width from one end to the other end of the relay board 40 on the discharge member 20 side is reduced, interference between the discharge member 20 and the flexible board 50 is avoided, which can promote miniaturization of the liquid discharge head 8.

なお、図9において、複数の配線43は、中継基板40の下面および上面を貫通して位置してもよい。これにより、複数の配線43の長さを短くすることができ、中継基板40における電気抵抗を低減することができる。 In FIG. 9, the multiple wirings 43 may be positioned so as to penetrate the bottom and top surfaces of the relay substrate 40. This allows the length of the multiple wirings 43 to be shortened, and the electrical resistance in the relay substrate 40 to be reduced.

図10は、変形例3に係る吐出部材20、中継基板40およびフレキシブル基板50の構成を示す側面模式図である。変形例3は、中継基板40の構造が変形例2とは異なる。図10に示す中継基板40において、複数の第2パッド42は、複数の第1パッド41と平面視で重なる位置に位置している。これにより、中継基板40の吐出部材20側の一端部から他端部までの幅を最小限とすることができ、液体吐出ヘッド8の小型化をより促進することができる。 Figure 10 is a schematic side view showing the configuration of the ejection member 20, relay substrate 40, and flexible substrate 50 according to variant 3. Variation 3 differs from variant 2 in the structure of the relay substrate 40. In the relay substrate 40 shown in Figure 10, the multiple second pads 42 are positioned so as to overlap the multiple first pads 41 in a plan view. This allows the width from one end of the relay substrate 40 on the ejection member 20 side to the other end to be minimized, further facilitating miniaturization of the liquid ejection head 8.

図11は、変形例4に係る吐出部材20、中継基板40およびフレキシブル基板50の構成を示す側面模式図である。図11に示すフレキシブル基板50は、駆動IC60を搭載しておらず、駆動IC60は、中継基板40の上面(つまり、吐出部材20へ向けられる面とは反対側の面)に位置している。このように、駆動IC60を中継基板40の上面に位置させることにより、吐出部材20から吐出される液体から駆動IC60を保護することができる。 Figure 11 is a schematic side view showing the configuration of the discharge member 20, relay substrate 40, and flexible substrate 50 according to variant example 4. The flexible substrate 50 shown in Figure 11 does not have a driving IC 60 mounted thereon, and the driving IC 60 is located on the top surface of the relay substrate 40 (i.e., the surface opposite to the surface facing the discharge member 20). By positioning the driving IC 60 on the top surface of the relay substrate 40 in this way, the driving IC 60 can be protected from the liquid discharged from the discharge member 20.

図12は、変形例5に係る液体吐出ヘッド8の内部構成を示す側面模式図である。図12に示す液体吐出ヘッド8は、中継基板40の構造が図3に示す液体吐出ヘッド8と異なる。図12に示すように、中継基板40とサポート基板30とが吐出部材20上に位置しており、中継基板40は、吐出部材20の第1面20aからの高さがサポート基板30よりも高い。言い換えると、中継基板40の厚さがサポート基板30の厚さよりも厚い。このように中継基板40の厚さを厚くすることにより、中継基板40の強度を向上させることができる。また、サポート基板30上に液体供給部材を設置する際に、液体供給部材からサポート基板30に付与される負荷を緩和する緩衝材として中継基板40を利用することができる。 12 is a schematic side view showing the internal structure of the liquid ejection head 8 according to the fifth modified example. The liquid ejection head 8 shown in FIG. 12 differs from the liquid ejection head 8 shown in FIG. 3 in the structure of the relay substrate 40. As shown in FIG. 12, the relay substrate 40 and the support substrate 30 are located on the ejection member 20, and the height of the relay substrate 40 from the first surface 20a of the ejection member 20 is higher than that of the support substrate 30. In other words, the thickness of the relay substrate 40 is thicker than that of the support substrate 30. By increasing the thickness of the relay substrate 40 in this way, the strength of the relay substrate 40 can be improved. In addition, when a liquid supply member is placed on the support substrate 30, the relay substrate 40 can be used as a buffer material to reduce the load applied to the support substrate 30 from the liquid supply member.

図13は、変形例6に係る液体吐出ヘッド8の内部構成を示す側面模式図である。図13に示す液体吐出ヘッド8は、中継基板40(図6参照)とサポート基板30とが一体化されている点が図3に示す液体吐出ヘッド8と異なる。言い換えると、中継基板40とサポート基板30とを同じ部材によって形成してもよい。変形例6にかかる液体吐出ヘッド8の例では、中継基板40の機能を備えたサポート基板30が、吐出部材20上に位置している。このように中継基板40とサポート基板30とを一体化させることにより、中継基板40とサポート基板30との間の隙間が無くなり、液体吐出ヘッド8の小型化を促進することができる。 Figure 13 is a schematic side view showing the internal structure of a liquid ejection head 8 according to Modification 6. The liquid ejection head 8 shown in Figure 13 differs from the liquid ejection head 8 shown in Figure 3 in that the relay substrate 40 (see Figure 6) and the support substrate 30 are integrated. In other words, the relay substrate 40 and the support substrate 30 may be formed from the same material. In the example of the liquid ejection head 8 according to Modification 6, the support substrate 30 having the function of the relay substrate 40 is positioned on the ejection member 20. By integrating the relay substrate 40 and the support substrate 30 in this way, the gap between the relay substrate 40 and the support substrate 30 is eliminated, which facilitates miniaturization of the liquid ejection head 8.

図14は、変形例7に係る液体吐出ヘッド8の内部構成を示す側面模式図である。図14に示す液体吐出ヘッド8は、駆動IC60がサポート基板30の下面(つまり、吐出部材20へ向けられる面)に位置している点が図13に示す液体吐出ヘッド8と異なる。このように、駆動IC60をサポート基板30の下面に位置させることにより、駆動IC60と吐出部材20との間の配線長を短くすることができることから、駆動IC60と吐出部材20との間の抵抗損失を低減することができる。また、駆動IC60と吐出部材20との間の断線の可能性を低減することができることから、駆動IC60と吐出部材20との接続信頼性を向上することもできる。 Figure 14 is a schematic side view showing the internal structure of a liquid ejection head 8 according to the seventh modified example. The liquid ejection head 8 shown in Figure 14 differs from the liquid ejection head 8 shown in Figure 13 in that the driving IC 60 is located on the underside of the support substrate 30 (i.e., the surface facing the ejection member 20). By positioning the driving IC 60 on the underside of the support substrate 30 in this way, the wiring length between the driving IC 60 and the ejection member 20 can be shortened, and the resistance loss between the driving IC 60 and the ejection member 20 can be reduced. In addition, the possibility of disconnection between the driving IC 60 and the ejection member 20 can be reduced, and therefore the connection reliability between the driving IC 60 and the ejection member 20 can be improved.

なお、図14において、駆動IC60は、サポート基板30の上面(つまり、吐出部材20へ向けられる面とは反対側の面)に位置してもよい。このように、駆動IC60をサポート基板30の上面に位置させることにより、吐出部材20から吐出される液体から駆動IC60を保護することができる。 In FIG. 14, the driving IC 60 may be located on the upper surface of the support substrate 30 (i.e., the surface opposite to the surface facing the discharge member 20). In this way, by positioning the driving IC 60 on the upper surface of the support substrate 30, the driving IC 60 can be protected from the liquid discharged from the discharge member 20.

また、図14において、駆動IC60は、低温ポリシリコン(LTPS:Low-Temperature Poly Silicon)膜で形成されてもよい。これにより、駆動IC60を小型化することができる。 In addition, in FIG. 14, the driving IC 60 may be formed from a low-temperature polysilicon (LTPS) film. This allows the driving IC 60 to be made smaller.

<その他の変形例>
上述の実施形態では、中継基板40が吐出部材20の第1面20a上のサポート基板30を挟む2つの位置それぞれに位置する例について示したが、中継基板40の配置位置はこれに限定されない。例えば、中継基板40は、図15に示すように、吐出部材20の第1面20a上のサポート基板30を囲む位置に位置してもよい。すなわち、中継基板40の形状は、吐出部材20の第1面20a上のサポート基板30を囲む矩形枠形状であってもよい。これにより、中継基板40の強度を向上させることができる。なお、図15は、中継基板40の配置位置の一例を示す平面模式図である。図15においては、吐出部材20、サポート基板30および中継基板40を第1面20a側から見た状態が示されている。
<Other Modifications>
In the above embodiment, an example in which the relay substrate 40 is located at each of two positions sandwiching the support substrate 30 on the first surface 20a of the discharge member 20 has been shown, but the position of the relay substrate 40 is not limited to this. For example, the relay substrate 40 may be located at a position surrounding the support substrate 30 on the first surface 20a of the discharge member 20 as shown in FIG. 15. That is, the shape of the relay substrate 40 may be a rectangular frame shape surrounding the support substrate 30 on the first surface 20a of the discharge member 20. This can improve the strength of the relay substrate 40. Note that FIG. 15 is a schematic plan view showing an example of the position of the relay substrate 40. In FIG. 15, the discharge member 20, the support substrate 30, and the relay substrate 40 are shown as viewed from the first surface 20a side.

以上のように、実施形態に係る液体吐出ヘッド(例えば、液体吐出ヘッド8)は、吐出部材(例えば、吐出部材20)と、フレキシブル基板(例えば、フレキシブル基板50)と、中継基板(例えば、中継基板40)とを備える。吐出部材は、液体を吐出する複数のノズル(例えば、吐出孔22)と、複数のノズルから液体を吐出させる複数の素子(例えば、変位素子23)と、複数の素子それぞれに電気的に接続された複数の端子(例えば、端子24)とを有する。フレキシブル基板は、複数の端子に対応する複数の信号線(例えば、信号線51)を有する。中継基板は、吐出部材とフレキシブル基板とを電気的に接続する。中継基板は、複数の第1パッド(例えば、第1パッド41)と、複数の第2パッド(例えば、第2パッド42)と、複数の配線(例えば、配線43)とを有する。複数の第1パッドは、吐出部材の複数の端子に接合される。複数の第2パッドは、フレキシブル基板の複数の信号線に接合される。複数の配線は、複数の第1パッドと複数の第2パッドとを接続する。複数の第2パッドの各々の面積は、複数の第1パッドの各々の面積よりも大きい。これにより、実施形態に係る液体吐出ヘッドによれば、吐出部材とフレキシブル基板との間の接続信頼性を向上することができる。 As described above, the liquid ejection head (e.g., liquid ejection head 8) according to the embodiment includes an ejection member (e.g., ejection member 20), a flexible substrate (e.g., flexible substrate 50), and a relay substrate (e.g., relay substrate 40). The ejection member has a plurality of nozzles (e.g., ejection holes 22) that eject liquid, a plurality of elements (e.g., displacement elements 23) that eject liquid from the plurality of nozzles, and a plurality of terminals (e.g., terminals 24) electrically connected to each of the plurality of elements. The flexible substrate has a plurality of signal lines (e.g., signal lines 51) corresponding to the plurality of terminals. The relay substrate electrically connects the ejection member and the flexible substrate. The relay substrate has a plurality of first pads (e.g., first pads 41), a plurality of second pads (e.g., second pads 42), and a plurality of wirings (e.g., wiring 43). The plurality of first pads are bonded to a plurality of terminals of the ejection member. The plurality of second pads are bonded to a plurality of signal lines of the flexible substrate. The multiple wirings connect the multiple first pads and the multiple second pads. The area of each of the multiple second pads is larger than the area of each of the multiple first pads. As a result, the liquid ejection head according to the embodiment can improve the connection reliability between the ejection member and the flexible substrate.

また、複数の第2パッドは、中継基板の吐出部材側の一端部から他端部に向かう第1方向に沿って並ぶ複数の領域(例えば、領域421)に、第1方向と交差する第2方向において互いに隣接しないように位置してもよい。これにより、実施形態に係る液体吐出ヘッドによれば、第2パッドの面積をより大きくすることができる。 The second pads may also be positioned in a number of regions (e.g., region 421) aligned along a first direction from one end of the relay board toward the other end on the ejection member side, so as not to be adjacent to each other in a second direction intersecting the first direction. This allows the liquid ejection head according to the embodiment to have a larger area for the second pads.

また、中継基板は、複数の第1パッドに接続される一端よりも複数の第2パッドに接続される他端において配線間の間隔が大きい複数の配線を有してもよい。これにより、実施形態に係る液体吐出ヘッドによれば、第2パッドの面積をより大きくすることができる。 The relay substrate may also have a plurality of wirings that are spaced apart from one another at one end connected to the plurality of second pads, compared to the other end connected to the plurality of first pads. This allows the liquid ejection head according to the embodiment to have a larger area for the second pads.

また、中継基板は、吐出部材へ向けられる第1面(例えば、下面)と、第1面の反対側に位置する第2面(例えば、上面)とを有してもよい。複数の第1パッド、複数の第2パッドおよび複数の配線は、第1面に位置してもよい。これにより、実施形態に係る液体吐出ヘッドによれば、複数の配線の長さを最小限とすることができ、中継基板における電気抵抗を低減することができる。 The relay substrate may also have a first surface (e.g., a bottom surface) facing the ejection member, and a second surface (e.g., a top surface) located opposite the first surface. The first pads, the second pads, and the wiring may be located on the first surface. As a result, according to the liquid ejection head of the embodiment, the length of the wiring can be minimized, and the electrical resistance in the relay substrate can be reduced.

また、液体吐出ヘッドは、吐出部材の駆動を制御する駆動IC(例えば、駆動IC60)をさらに備えてもよい。駆動ICは、第1面に位置してもよい。これにより、実施形態に係る液体吐出ヘッドによれば、駆動ICと吐出部材との間の抵抗損失を低減することができる。また、駆動ICと吐出部材との接続信頼性を向上することもできる。 The liquid ejection head may further include a driving IC (e.g., driving IC 60) that controls the driving of the ejection member. The driving IC may be located on the first surface. As a result, according to the liquid ejection head of the embodiment, the resistance loss between the driving IC and the ejection member can be reduced. Also, the connection reliability between the driving IC and the ejection member can be improved.

また、中継基板は、吐出部材へ向けられる第1面と、第1面の反対側に位置する第2面と、第1面と第2面とに繋がる側面とを有してもよい。複数の第1パッドは、第1面に位置してもよい。複数の第2パッドは、第2面に位置してもよい。複数の配線は、側面を介して第1面および第2面に引き回されて位置してもよく、若しくは、第1面および第2面を貫通して位置してもよい。これにより、実施形態に係る液体吐出ヘッドによれば、中継基板の吐出部材側の一端部から他端部までの幅を小さくした場合であっても、吐出部材とフレキシブル基板との干渉が回避されることから、液体吐出ヘッドの小型化を促進することができる。 The relay board may have a first surface facing the ejection member, a second surface located on the opposite side of the first surface, and a side surface connecting the first surface and the second surface. The first pads may be located on the first surface. The second pads may be located on the second surface. The wiring may be routed to the first surface and the second surface via the side surface, or may be located penetrating the first surface and the second surface. As a result, according to the liquid ejection head of the embodiment, even if the width from one end to the other end on the ejection member side of the relay board is reduced, interference between the ejection member and the flexible board is avoided, which promotes miniaturization of the liquid ejection head.

また、複数の第2パッドは、複数の第1パッドと平面視で重なる位置に位置してもよい。これにより、実施形態に係る液体吐出ヘッドによれば、中継基板の吐出部材側の一端部から他端部までの幅を最小限とすることができ、液体吐出ヘッドの小型化をより促進することができる。 The second pads may be positioned so as to overlap the first pads in a plan view. This allows the liquid ejection head according to the embodiment to minimize the width from one end of the relay board on the ejection member side to the other end, further facilitating miniaturization of the liquid ejection head.

また、液体吐出ヘッドは、吐出部材の駆動を制御する駆動IC(例えば、駆動IC60)をさらに備えてもよい。駆動ICは、第2面に位置してもよい。これにより、実施形態に係る液体吐出ヘッドによれば、吐出部材から吐出される液体から駆動ICを保護することができる。 The liquid ejection head may further include a driving IC (e.g., driving IC 60) that controls the driving of the ejection member. The driving IC may be located on the second surface. As a result, according to the liquid ejection head of the embodiment, the driving IC can be protected from the liquid ejected from the ejection member.

また、液体吐出ヘッドは、吐出部材の上に位置し、内部に吐出部材に供給される液体が流れる流路(例えば、流路31)を有するサポート基板(例えば、サポート基板30)をさらに備えてもよい。これにより、実施形態に係る液体吐出ヘッドによれば、サポート基板によって吐出部材を補強しつつ、吐出部材に液体を供給することができる。 The liquid ejection head may further include a support substrate (e.g., support substrate 30) located above the ejection member and having a flow path (e.g., flow path 31) through which liquid supplied to the ejection member flows. As a result, the liquid ejection head according to the embodiment can supply liquid to the ejection member while reinforcing the ejection member with the support substrate.

また、中継基板は、吐出部材の上に位置してもよい。そして、中継基板は、吐出部材からの高さがサポート基板よりも低くてもよい。これにより、実施形態に係る液体吐出ヘッドによれば、サポート基板上に液体供給部材を設置する際に、中継基板と液体供給部材とが干渉する可能性を低減することができることから、液体供給部材のレイアウトの自由度を向上することができる。 The relay substrate may be located above the ejection member. The relay substrate may be lower in height from the ejection member than the support substrate. As a result, with the liquid ejection head according to the embodiment, the possibility of interference between the relay substrate and the liquid supply member when placing the liquid supply member on the support substrate can be reduced, thereby improving the freedom of layout of the liquid supply member.

また、中継基板は、吐出部材の上に位置してもよい。そして、中継基板は、吐出部材からの高さがサポート基板よりも高くてもよい。これにより、実施形態に係る液体吐出ヘッドによれば、中継基板の強度を向上させることができる。また、サポート基板上に液体供給部材を設置する際に、液体供給部材からサポート基板に付与される負荷を緩和する緩衝材として中継基板を利用することができる。 The relay substrate may be located above the ejection member. The height of the relay substrate from the ejection member may be greater than the support substrate. This allows the liquid ejection head according to the embodiment to have an improved strength of the relay substrate. Furthermore, when placing the liquid supply member on the support substrate, the relay substrate can be used as a buffer material to reduce the load applied from the liquid supply member to the support substrate.

また、中継基板とサポート基板とは、一体化されていてもよい。これにより、実施形態に係る液体吐出ヘッドによれば、中継基板とサポート基板との間の隙間が無くなり、液体吐出ヘッドの小型化を促進することができる。 The intermediate substrate and the support substrate may also be integrated. This eliminates any gaps between the intermediate substrate and the support substrate in the liquid ejection head according to the embodiment, facilitating miniaturization of the liquid ejection head.

また、サポート基板は、吐出部材へ向けられる第1面(例えば、下面)と、第1面の反対側に位置する第2面(例えば、上面)とを有してもよい。液体吐出ヘッドは、吐出部材の駆動を制御する駆動ICをさらに備えてもよい。駆動ICは、第1面または第2面に位置してもよい。これにより、実施形態に係る液体吐出ヘッドによれば、駆動ICと吐出部材との間の抵抗損失を低減することができる。また、駆動ICと吐出部材との接続信頼性を向上することもできる。また、吐出部材から吐出される液体から駆動ICを保護することができる。 The support substrate may also have a first surface (e.g., a bottom surface) facing the ejection member, and a second surface (e.g., a top surface) located on the opposite side of the first surface. The liquid ejection head may further include a driving IC that controls the driving of the ejection member. The driving IC may be located on the first surface or the second surface. As a result, according to the liquid ejection head of the embodiment, it is possible to reduce resistance loss between the driving IC and the ejection member. It is also possible to improve the connection reliability between the driving IC and the ejection member. It is also possible to protect the driving IC from liquid ejected from the ejection member.

また、駆動ICは、低温ポリシリコン膜で形成されてもよい。これにより、実施形態に係る液体吐出ヘッドによれば、駆動ICを小型化することができる。 The driving IC may also be formed from a low-temperature polysilicon film. This allows the driving IC to be miniaturized according to the liquid ejection head of the embodiment.

さらなる効果や変形例は、当業者によって容易に導き出すことができる。このため、本発明のより広範な態様は、以上のように表しかつ記述した特定の詳細及び代表的な実施形態に限定されるものではない。したがって、添付の特許請求の範囲及びその均等物によって定義される総括的な発明の概念の精神又は範囲から逸脱することなく、様々な変更が可能である。 Further advantages and modifications may readily occur to those skilled in the art. Therefore, the invention in its broader aspects is not limited to the specific details and representative embodiments shown and described above. Accordingly, various modifications may be made without departing from the spirit or scope of the general inventive concept as defined by the appended claims and equivalents thereof.

1 プリンタ
8 液体吐出ヘッド
14 制御部
20 吐出部材
21 加圧室
22 吐出孔
23 変位素子
24 端子
30 サポート基板
31 流路
40 中継基板
41 第1パッド
42 第2パッド
43 配線
50 フレキシブル基板
51 信号線
60 駆動IC
421 領域
REFERENCE SIGNS LIST 1 Printer 8 Liquid ejection head 14 Control unit 20 Ejection member 21 Pressure chamber 22 Ejection hole 23 Displacement element 24 Terminal 30 Support substrate 31 Flow path 40 Intermediate substrate 41 First pad 42 Second pad 43 Wiring 50 Flexible substrate 51 Signal line 60 Drive IC
421 Area

Claims (15)

液体を吐出する複数のノズルと、前記複数のノズルから液体を吐出させる複数の素子と、前記複数の素子それぞれに電気的に接続された複数の端子とを有する吐出部材と、
前記複数の端子に対応する複数の信号線を有するフレキシブル基板と、
前記吐出部材と前記フレキシブル基板とを電気的に接続する中継基板と
を備え、
前記中継基板は、
前記吐出部材の前記複数の端子に接合される複数の第1パッドと、
前記フレキシブル基板の前記複数の信号線に接合される複数の第2パッドと、
前記複数の第1パッドと前記複数の第2パッドとを接続する複数の配線と
を有し、
前記複数の第2パッドの各々の面積は、前記複数の第1パッドの各々の面積よりも大きい、液体吐出ヘッド。
an ejection member having a plurality of nozzles for ejecting liquid, a plurality of elements for ejecting liquid from the plurality of nozzles, and a plurality of terminals electrically connected to the plurality of elements,
a flexible substrate having a plurality of signal lines corresponding to the plurality of terminals;
a relay substrate that electrically connects the discharge member and the flexible substrate,
The relay substrate is
A plurality of first pads joined to the plurality of terminals of the discharge member;
a plurality of second pads joined to the plurality of signal lines of the flexible substrate;
a plurality of wirings connecting the plurality of first pads and the plurality of second pads;
A liquid ejection head, wherein an area of each of the plurality of second pads is larger than an area of each of the plurality of first pads.
前記複数の第2パッドは、前記中継基板の前記吐出部材側の一端部から他端部に向かう第1方向に沿って並ぶ複数の領域に、前記第1方向と交差する第2方向において互いに隣接しないように位置する、請求項1に記載の液体吐出ヘッド。 The liquid ejection head according to claim 1, wherein the second pads are positioned in a plurality of regions aligned along a first direction from one end of the relay board toward the other end of the relay board on the ejection member side, so as not to be adjacent to each other in a second direction intersecting the first direction. 前記中継基板は、
前記複数の第1パッドに接続される一端よりも前記複数の第2パッドに接続される他端において配線間の間隔が大きい前記複数の配線を有する、請求項1に記載の液体吐出ヘッド。
The relay substrate is
The liquid ejection head according to claim 1 , further comprising a plurality of wirings, the wirings having a larger distance between each other end connected to the plurality of second pads than between each other end connected to the plurality of first pads.
前記中継基板は、前記吐出部材へ向けられる第1面と、前記第1面の反対側に位置する第2面とを有し、
前記複数の第1パッド、前記複数の第2パッドおよび前記複数の配線は、前記第1面に位置する、請求項1に記載の液体吐出ヘッド。
the relay substrate has a first surface facing the ejection member and a second surface located opposite to the first surface;
The liquid ejection head according to claim 1 , wherein the first pads, the second pads and the wirings are located on the first surface.
前記吐出部材の駆動を制御する駆動ICをさらに備え、
前記駆動ICは、前記第1面に位置する、請求項4に記載の液体吐出ヘッド。
A driving IC for controlling the driving of the ejection member is further provided.
The liquid ejection head according to claim 4 , wherein the driving IC is located on the first surface.
前記中継基板は、前記吐出部材へ向けられる第1面と、前記第1面の反対側に位置する第2面と、前記第1面と前記第2面とに繋がる側面とを有し、
前記複数の第1パッドは、前記第1面に位置し、
前記複数の第2パッドは、前記第2面に位置し、
前記複数の配線は、前記側面を介して前記第1面および前記第2面に引き回されて位置する、若しくは、前記第1面および前記第2面を貫通して位置する、請求項1に記載の液体吐出ヘッド。
the relay substrate has a first surface facing the ejection member, a second surface located opposite to the first surface, and a side surface connecting the first surface and the second surface;
the first pads are located on the first surface;
the second pads are located on the second surface;
The liquid ejection head according to claim 1 , wherein the plurality of wirings are positioned by being routed to the first surface and the second surface via the side surfaces, or are positioned by penetrating the first surface and the second surface.
前記複数の第2パッドは、前記複数の第1パッドと平面視で重なる位置に位置する、請求項6に記載の液体吐出ヘッド。 The liquid ejection head according to claim 6, wherein the second pads are positioned so as to overlap the first pads in a plan view. 前記吐出部材の駆動を制御する駆動ICをさらに備え、
前記駆動ICは、前記第2面に位置する、請求項6に記載の液体吐出ヘッド。
A driving IC for controlling the driving of the ejection member is further provided.
The liquid ejection head according to claim 6 , wherein the driving IC is located on the second surface.
前記吐出部材の上に位置し、内部に前記吐出部材に供給される前記液体が流れる流路を有するサポート基板をさらに備える、請求項1に記載の液体吐出ヘッド。 The liquid ejection head according to claim 1, further comprising a support substrate located above the ejection member and having a flow path therein through which the liquid supplied to the ejection member flows. 前記中継基板は、前記吐出部材の上に位置し、
前記中継基板は、前記吐出部材からの高さが前記サポート基板よりも低い、請求項9に記載の液体吐出ヘッド。
the relay board is located on the ejection member,
The liquid ejection head according to claim 9 , wherein the intermediate substrate is lower in height from the ejection member than the support substrate.
前記中継基板は、前記吐出部材の上に位置し、
前記中継基板は、前記吐出部材からの高さが前記サポート基板よりも高い、請求項9に記載の液体吐出ヘッド。
the relay board is located on the ejection member,
The liquid ejection head according to claim 9 , wherein the intermediate substrate is higher in height from the ejection member than the support substrate.
前記中継基板と前記サポート基板とは、一体化されている、請求項9に記載の液体吐出ヘッド。 The liquid ejection head according to claim 9, wherein the relay substrate and the support substrate are integrated. 前記サポート基板は、前記吐出部材へ向けられる第1面と、前記第1面の反対側に位置する第2面とを有し、
前記吐出部材の駆動を制御する駆動ICをさらに備え、
前記駆動ICは、前記第1面または前記第2面に位置する、請求項12に記載の液体吐出ヘッド。
the support substrate has a first surface facing the ejection member and a second surface located opposite the first surface;
A driving IC for controlling the driving of the ejection member is further provided.
The liquid ejection head according to claim 12 , wherein the driving IC is located on the first surface or the second surface.
前記駆動ICは、低温ポリシリコン(LTPS:Low-Temperature Poly Silicon)膜で形成される、請求項13に記載の液体吐出ヘッド。 The liquid ejection head according to claim 13, wherein the driving IC is formed from a low-temperature polysilicon (LTPS) film. 請求項1~14のいずれか一つに記載の液体吐出ヘッドを備える記録装置。 A recording device equipped with a liquid ejection head according to any one of claims 1 to 14.
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