JP2024528130A - 入口ヘッド組立体 - Google Patents

Abstract

除害装置用の入口ヘッド組立体が開示される。入口ヘッド組立体は、半導体処理ツールからの排出流を除害するための除害装置のためのものであり、入口ヘッド組立体は、入口ヘッドと、入口ヘッド内に延び、少なくとも１つのパイロット燃焼反応物流を除害装置の下流側の除害室に供給するように構成されたパイロットノズルと、各々が入口ヘッド内に延び、除害室内の除害のために関連する排出流を供給するように構成された複数の入口ノズルとを備え、複数の入口ノズルは、パイロットノズルの周りに位置決めされる。このようにして、排出流は、パイロットノズルの周りにより接近して集められ、これは、排出流の加熱を改善し、ＤＲＥを改善し、さらに熱損失を低減させ、これにより、供給する必要のある燃焼反応物を低減することが可能になる。
【選択図】 図１

Description

本発明の分野は、除害装置用の入口ヘッド組立体に関する。

除害装置は、公知であり、典型的に、例えば、半導体又はフラットパネルディスプレイ製造産業で使用される製造処理ツールからの排出ガス流を処理するために使用される。このような製造中、残留ペルフルオロ化合物（ＰＦＣ）及び他の化合物が、処理ツールから圧送される排出ガス流中に存在する。ＰＦＣは、排出ガスから除去することが困難であり、環境への放出は、比較的高い温室活性を有することが知られているために望ましくない。

公知の除害装置は、排出ガス流からＰＦＣ及び他の化合物を除去するために燃焼を使用する。典型的に、排出ガス流は、ＰＦＣ及び他の化合物を含む窒素流である。燃料ガスは、排出ガス流と混合され、そのガス流混合物は、入口組立体を使用して、その中での除害のために除害室に運ばれる。

排出ガス流を処理するための技術は存在するが、それぞれに欠点がある。従って、排出ガス流を処理するための改良された技術を提供することが望まれる。

第１の態様によれば、半導体処理ツールからの排出流を除害するための除害装置用の入口ヘッド組立体が提供され、入口ヘッド組立体は、入口ヘッドと、入口ヘッド内に延び、少なくとも１つのパイロット燃焼反応物流を、除害装置の下流側の除害室に供給するように構成された軸方向のパイロットノズルと、複数の入口ノズルとを備え、複数の入口ノズルの各々は、パイロットノズルの軸方向に対して、５°と６０°との間、好ましくは５°と４５°との間、より好ましくは５°と２０°との間の角度で入口ヘッド内に延び、除害室内に除害のための関連する排出流を供給するように構成されており、複数の入口ノズルは、パイロットノズルの周りに位置決めされている。

第１の態様は、既存の構成の問題点が、排出流内のいくつかの化合物の特定の破壊率効率（ＤＲＥ）を達成するための燃焼反応物消費量が、所望よりも大きくなる可能性があることを認識している。従って、入口ヘッド組立体が提供される。入口ヘッド組立体は、除害装置のためのものとすることができる。除害装置は、半導体処理ツールからの排出流を除害することができる。入口ヘッド組立体は、入口ヘッドを備えることができる。入口ヘッド組立体は、パイロットノズルを備えることができる。パイロットノズルは、入口ヘッドの中又はそれを貫通して延びることができる。パイロットノズルは、少なくとも１つのパイロット燃焼反応物流を、除害装置の下流側の除害室に供給するように構成することができる。入口ヘッド組立体は、複数の入口ノズルを備えることができる。各入口ノズルは、入口ヘッドの中又はそれを貫通して延びることができる。各入口ノズルは、除害室内に除害されることになる関連する排出流を供給するように構成することができる。入口ノズルは、パイロットノズルの周りに位置決めすることができる。入口ノズルは、パイロットノズルの軸方向に対して、５°と６０°との間、好ましくは５°と４５°との間、より好ましくは５°と２０°との間の角度に角度付けすることができる。このようにして、排出流は、パイロットノズルの周りに密集してより接近して集められて、パイロットノズルの方に向けられ、これは、排出流の加熱を改善し、ＤＲＥを改善し、熱損失が低減され、これにより、これにより、供給する必要のある燃焼反応物を低減することが可能になる。

複数の入口ノズルの各々は、除害室内に除害のための異なる関連する排出流を供給するように構成することができる。従って、入口ノズルは、異なる潜在的に化学的に不相溶性の排出流を除害室に供給することができる。これは、それらの不相溶性の排出流が、除害室の外側で分離されたままであることを保証し、何らかの好ましくない潜在的に有害な化学反応を除害室の上流側で最小にするのを助ける。

複数の入口ノズルの各々は、内側酸化火炎を提供するために、少なくとも内側燃焼反応物流と共に排出流を供給するように構成することができ、さらに、内側酸化火炎を安定化させるために同軸火炎を提供する外側燃焼反応物流を供給するように構成された外側環状ノズルを備えることができる。従って、入口ノズルは、同軸拡散火炎で安定化された内側酸化火炎を生成することができる。典型的に、これらの拡散火炎は、より低温であり、燃料ガスのコアが酸化剤に富む周囲環境に拡散し、これらの火炎は、表面上に容易に固定するという利点がある。これらの入口ノズルの各々をパイロットの周りにまとめることは、排出流間の熱を共有し、熱損失を低減するのを助け、これは、依然として所要のＤＲＥを維持しながら同軸火炎を提供するために、外側の燃焼反応物が少量だけ供給されることを可能にする。

複数の入口ノズルは、パイロットノズルを少なくとも部分的に取り囲むように位置決めすることができる。

複数の入口ノズルは、パイロットノズルの周りに円周方向に位置決めすることができる。

複数の入口ノズルは、パイロットノズルの周りで円周方向に等間隔とすることができる。

複数の入口ノズルは、パイロットノズルの周りでピッチ円上に位置決めすることができる。

複数の入口ノズル及びパイロットノズルは、流動安定性及び燃焼反応物供給距離のうちの少なくとも１つによって、互いに隣接して相隔たるように位置決めすることができる。従って、ノズルは、その間のわずかな隙間又は間隔でもって互いに隣接又は近接して位置決めすることができる。

パイロットノズルは、少なくとも１つのパイロット燃焼反応物流の燃焼を引き起こすように構成することができ、複数の入口ノズルは、排出流に少なくとも１つの燃焼反応物流に供給するように構成され且つ少なくとも１つのパイロット燃焼反応物流から、入口ノズルの各々によって供給される燃焼反応物流の燃焼を伝播させるように位置決めされている。換言すれば、入口ノズルの各々によって供給された排出流の各々は、パイロットノズルによって供給される着火流から直接着火させることができる。

パイロットノズルは、第１の燃焼反応物流を供給するように構成された内側ノズルと、第１の燃焼反応物流を少なくとも部分的に取り囲む環状カーテンとして、第２の燃焼反応物流を供給するように構成された外側ノズルとを備えることができる。従って、パイロットノズルは、内側流と、同軸の環状の外側流とを有することができる。

入口ヘッド組立体は、入口ヘッド内に延び、少なくとも１つのさらなる燃焼反応物流を除害装置の下流側の除害室に供給するように構成されたさらなる燃焼反応物ノズルを備えることができる。従って、さらなる燃焼反応物を供給する少なくとも１つのさらなる又は追加の燃焼反応物ノズルを設けることができる。

第２の態様によれば、半導体処理ツールからの排出流を除害するための除害装置用の入口ヘッド組立体が提供され、入口ヘッド組立体は、入口ヘッドと、入口ヘッド内に延び、除害装置の下流側の除害室に少なくとも１つのパイロット燃焼反応物流を供給するように構成されたパイロットノズルと、複数の入口ノズルとを備え、複数の入口ノズルの各々は、入口ヘッド内に延び、除害室内に除害のための関連する排出流を供給するように構成されており、複数の入口ノズルは、パイロットノズルの周りに位置決めされており、入口ヘッド組立体は、入口ヘッド内に延び、少なくとも１つのさらなる燃焼反応物流を除害装置の下流側の除害室に供給するように構成された、さらなる燃焼反応物ノズルを備え、複数の入口ノズル及びさらなる燃焼反応物ノズルのうちの少なくとも１つは、パイロットノズルに対して角度付けされるように配向され、好ましくは、複数の入口ノズル及びさらなる燃焼反応物ノズルのうちの少なくとも１つは、パイロット燃焼反応物流に対して角度付けされた排出流及びさらなる燃焼反応物流のうちの少なくとも１つを供給するように配向されている。

特に明記しない限り、以下に述べる燃焼反応物ノズルへの言及は、本発明の第１及び第２の側面の両方を関する。

さらなる燃焼反応物ノズルは、複数の入口ノズルによって除害室に供給されるそれら複数の排出流を少なくとも部分的に取り囲む少なくとも１つのさらなる燃焼反応物流を供給するように構成することができる。従って、さらなる燃焼反応物は、複数の排出流の周りに供給することができる。これは、熱損失を低減して燃焼反応物の使用量を低減しながら、ＤＲＥを改善するために、除害室内の排出流の温度を維持するのを助ける。

さらなる燃焼反応物ノズルは、少なくとも１つのさらなる燃焼反応物流を複数の入口ノズルによって除害室に供給されるそれら複数の排出流を少なくとも部分的に取り囲む環状カーテンとして供給するように構成することができる。

さらなる燃焼反応物ノズルは、複数の入口ノズルの各々によって供給される燃焼反応物流から、少なくとも１つのさらなる燃焼反応物流の燃焼を伝播させるように位置決めすることができる。換言すれば、さらなる燃焼反応物は、入口ノズルによって供給される排出流によって直接着火させることができ、同様に、パイロットノズルによって供給される燃焼反応物流から直接着火させることができる。

さらなる燃焼反応物ノズルは、第１の燃焼反応物流を供給するように構成された第１の燃焼反応物ノズルと、第２の燃焼反応物流を供給するように構成された第２の燃焼反応物ノズルとを備えることができる。

第１の燃焼反応物ノズルは、複数の入口ノズルによって除害室に供給されたそれら複数の排出流を少なくとも部分的に取り囲む第１の環状カーテンとして第１の燃焼反応物流を供給するように構成された第１の環状ノズルを備えることができ、第２の燃焼反応物ノズルは、第１の環状ノズルを少なくとも部分的に取り囲む第２の環状ノズルを備え、第１の環状カーテンを少なくとも部分的に取り囲む第２の環状カーテンとして第２の燃焼反応物流を供給するように構成されている。

さらなる燃焼反応物ノズルは、複数の入口ノズルを少なくとも部分的に取り囲むことができる。従って、入口ノズルによって供給される排出流は、さらなる燃焼反応物ノズルによって供給される燃焼反応物流とパイロットノズルによって供給される燃焼反応物流の両方によって集合的に取り囲むことができる。これは、熱損失を低減し、燃焼反応物の使用量を低減し、一方で、ＤＲＥを改善するために、除害室内の排出流の温度を維持するのを助ける。

さらなる燃焼反応物ノズルは、パイロットノズルと同心円状に位置決めすることができる。

第１の燃焼反応物流は、燃料を含むことができ、第２の燃焼反応物流は、酸化剤を含むことができる。

第２の態様による複数の入口ノズル及びさらなる燃焼反応物ノズルのうちの少なくとも１つは、パイロットノズルと平行に配向することができる。

複数の入口ノズル及びさらなる燃焼反応物ノズルのうちの少なくとも１つは、排出流及びさらなる燃焼反応物流のうちの少なくとも１つをパイロット燃焼反応物流と平行に供給するように配向することができる。

第１の態様によるさらなる燃焼反応物ノズルは、パイロットノズルに対して角度付けされるように配向することができる。

複数の入口ノズル及びさらなる燃焼反応物ノズルのうちの少なくとも１つは、パイロット燃焼反応物流に対して角度付けされた排出流及びさらなる燃焼反応物流のうちの少なくとも１つを供給するように配向することができる。

複数の入口ノズル及びさらなる燃焼反応物ノズルのうちの少なくとも１つは、パイロットノズルの方に配向することができる。

複数の入口ノズル及びさらなる燃焼反応物ノズルのうちの少なくとも１つは、パイロット燃焼反応物流に収束するように、排出流及びさらなる燃焼反応物流のうちの少なくとも１つを供給するように配向することができる。

複数の入口ノズル及びさらなる燃焼反応物ノズルのうちの少なくとも１つは、パイロットノズルから離れるように配向することができる。

複数の入口ノズル及びさらなる燃焼反応物ノズルのうちの少なくとも１つは、パイロット燃焼反応物流から発散するように、排出流及びさらなる燃焼反応物流のうちの少なくとも１つを供給するように配向することができる。

複数の入口ノズルのうちの少なくとも１つ及びさらなる燃焼反応物ノズルは、最大６０°、好ましくは最大４５°、好ましくは最大２０°、好ましくは最大１５°、好ましくは最大１２．５°、好ましくは最大１０°の角度で配向することができる。

第３の態様によれば、半導体処理ツールからの排出流を除害するための除害装置用の入口ヘッド組立体を提供することを含む方法が提供され、入口ヘッド組立体は、入口ヘッドと、入口ヘッド内に延び、除害装置の下流側の除害室に少なくとも１つのパイロット燃焼反応物流を供給するように構成されたパイロットノズルと、各々が入口ヘッド内に延び、除害室内に除害のための関連する排出流を供給するように構成された複数の入口ノズルとを備え、複数の入口ノズルは、パイロットノズルの周りに位置決めされている。

本方法は、上記の入口ヘッド組立体の特徴に対応する特徴を含むことができる。

さらなる特定の好ましい態様は、添付の独立請求項及び従属請求項に記載されている。従属請求項の特徴は、適宜、及び、特許請求の範囲に明示的に記載される以外の組み合わせで独立請求項の特徴と組み合わせることができる。

装置の特徴が、ある機能をもたらすように動作可能であると記載されている場合、これは、その機能をもたらすか、又は、その機能をもたらすように適合又は構成されている装置の特徴を含むことを理解されたい。

ここで、本発明の実施形態を、添付図面を参照しながらさらに説明する。

１つの実施形態による、入口ヘッド組立体の一部の垂直断面図、及び、除害室内から入口ヘッド組立体の方を見た図である。 １つの実施形態による入口ヘッド組立体の一部の垂直断面図である。 １つの実施形態による、入口ヘッド組立体の一部の垂直断面図、及び、除害室内から入口ヘッド組立体の方を見た図である。 図４の入口組立体と、入口ノズルがさらに離間され、パイロットノズルを取り囲んでいない従来の入口組立体との間の相対的パフォーマンスを示す。

実施形態をさらに詳細に説明する前に、まず、概要を説明する。実施形態は、除害装置のための構成を提供し、その中での除害のために１又は２以上の排出流を除害装置に供給する入口ノズルが、除害室内に排出流の除害を助けるための燃焼反応物を供給するパイロットノズルに近接して位置決め又は位置付けされている。パイロットノズルに関連する入口ノズルの位置決めは、熱損失を低減し、除害室内の排出流の温度を上昇させるのを助け、これは、排出流内の化合物の破壊速度効率を改善する。いくつかの実施形態では、入口ノズルは、パイロットノズルの周りに位置決めされており、パイロットノズルによって供給される燃焼反応物が各排出流へ密接に近接するのを保証するようになっている。いくつかの実施形態では、入口ノズルを取り囲むさらなるノズルが設けられ、これは、それらの入口ノズルによって供給される排出流の周りに燃焼反応物を供給する。これはまた、排出流が受ける熱損失を減少させ、除害室内の排出流の温度を上昇させることによって、ＤＲＥを増加させるのを助ける。パイロットノズル、入口ノズル及びさらなるノズルは、燃焼反応物流及び排出流を互いに対して平行に又は角度付けして供給するように位置決め及び／又は構成することができる。これは、排出流内の化合物のＤＲＥを変えるために、排出流と燃焼反応物との間の温度及び／又は相互作用を変えるのを助ける。

入口ヘッド組立体－収束流
図１は、１つの実施形態による、入口ヘッド組立体１０の断面図である。入口ヘッド組立体は、下流側の除害室（図示せず）に取り付けられる入口ヘッド２０を備える。入口ヘッド２０は、入口ヘッド２０の中心に位置決めされたパイロットノズル３０を有する。パイロットノズル３０は、入口ヘッド２０内に延びている。パイロットノズル３０は、燃料３４を（垂直に）軸方向Ａ－Ａで除害室に送給するように構成された内側ノズル３２を有する。パイロットノズルは、燃料３４を取り囲む環状カーテンとして圧縮乾燥空気（ＣＤＡ）３８（又は別の酸化剤）を軸方向Ａ－Ａに送給するように構成された外側ノズル３６を有する。

複数の入口ノズル４０（この例では、６個の入口ノズル４０がある）は、等間隔であり、所定のピッチ円直径でパイロットノズル３２を取り囲む。しかしながら、他の構成も可能であることを理解されたい。入口ノズル４０は、入口ヘッド２０内に延びている。入口ノズル４０の各々は、パイロットノズル３０の配向軸に対して所定の角度で角度付けされている。この例では、パイロットノズル３０は、軸方向Ａ－Ａに配向され、入口ノズル４０の各々は、パイロットノズル（軸方向Ａ－Ａ）に対して１０°の角度で角度付けされている。ノズルは、軸方向Ａ－Ａに対して５°と６０°との間で角度付けすことができる。入口ノズル４０の各々は、関連する排出流４５（この例では、最大６つの異なる排出流であるが、異なる入口ノズル４０を同じ排出流を送給するように構成することもできる）を、必要に応じて、随意的に燃料及び／又は酸化剤と予め混合して、下流側の除害室に送給する。従って、入口ノズル４０の各々は、パイロットノズル３０によって除害室に供給される燃料３４及びＣＤＡ３８に対して所定の角度で、関連する排出流４５を送給する。

パイロットノズル３０と複数の入口ノズル４０の両方を取り囲むさらなる燃焼反応物ノズル５０が設けられている。この例では、さらなる反応物ノズルは、内側燃焼反応物ノズル５２を含み、これは、環状開口部を備え、入口ノズル４０によって供給される排出流を取り囲む燃料５１の環状カーテン５１を送給する。また、さらなる反応物ノズル５０は、外側燃焼反応物ノズル５４を含み、これは、内側燃焼反応物ノズル５２を取り囲むと共に内側燃焼反応物ノズル５２と同心円状に位置付けられ、さらに内側燃焼反応物ノズル５２によって供給される燃料５１の環状カーテンを取り囲むＣＤＡ５３の環状カーテンを供給する環状出口も備える。内側燃焼反応物ノズル５２及び外側燃焼反応物ノズル５４は、パイロットノズル３０によって除害室に供給される燃料３４及びＣＤＡ３８に対して、燃料５１及びＣＤＡ５３を同様に所定の角度で供給するように位置決め及び構成される。

この例では、入口ノズル４０及びさらなる燃焼反応物ノズル５０（及びそれらの構成要素ノズル）の両方は、パイロットノズル３０に対して同じ角度で角度付けされるが、そうである必要はなく、個々のノズル（及びそれらの構成要素ノズル）は、除害要件に応じて別々に角度付けをすることができることを理解されたい。

動作時、パイロットノズル３０は、着火される除害室に燃料３４及びＣＤＡ３８を送給する。入口ノズル４０は、随意的に燃料及び酸化剤が混合された排出流４５をパイロットノズル３０に対して所定の角度で送給し、このことは、排出流４５にパイロット３０から延びる火炎境界上に収束するようにさせ、これは、排出流４５の着火を引き起こす。さらなる燃焼反応物ノズル５０は、燃料５１及びＣＤＡ５３の環状カーテンを送給し、環状カーテンは、排出流４５を取り囲み、排出ガス流４５で着火する。これは、同様にパイロットノズル３０から延びる火炎に向かって収束する、入口ノズル４０から出る排出流４５の周りにさらなる火炎境界をもたらす。この構成は、熱損失を低減させて、除害室内の排出流４５の付近の加熱を改善するのを助け、排出流４５内の化合物の破壊速度効率を改善するのを助ける。

入口ヘッド組立体－平行及び収束流
図２は、１つの実施形態による入口ヘッド組立体１０Ａを示す。この実施形態は、入口ノズル４０Ａが、除害室への入口においてパイロットノズル３０によって供給される燃料３４及びＣＤＡ３８と平行な排出流４５を送給するように構成されることを除いて上述の図１に記載されたものと同様であり、さらなる燃焼反応物ノズル５０によって送給される燃料５１及びＣＤＡ５３は、軸方向Ａ－Ａに対して角度付けされたままである。

入口ヘッド組立体－発散流
さらなる実施形態（図示せず）では、入口ノズル及び／又はさらなる反応物ノズルは、パイロットノズル３０から離れて角度付けされるように構成されており、排出流４５及び／又は燃料５１及びＣＤＡ５４は、パイロットノズル３０によって送給される燃料３４及びＣＤＡ３８から離れて発散した角度で送給されるようになっている。

入口ヘッド組立体－さらなる燃焼反応物ノズルの省略
図３は、１つの実施形態による入口ヘッド組立体１０Ｃを示す。この実施形態は、上述の図１に記載されたものと同様であり、さらなる燃焼反応物ノズル５０は、省略されている。代わりに、それぞれの入口ノズル４０Ｃは、排出流４５を取り囲む環状カーテンとして燃料５１を送給するように構成された第１の外側ノズル６０と、第１の外側ノズル６０の周りで燃料５１を取り囲む環状カーテンとしてＣＤＡを送給するように構成された第２の外側ノズル６２とを備える。

図４は、入口組立体１０Ｃ（線１００）と、入口ノズルがさらに相隔たりパイロットノズルを取り囲んでいない従来の入口組立体（線１１０）との間の相対的パフォーマンスを示す。図に示すように、燃料総量を同じ８０％に設定した場合、入口組立体１０ＣのＤＲＥは、約９３％であるのに対し、従来の入口組立体のＤＲＥは、約８５％である。また、図に示すように、入口組立体１０Ｃは、より少ない燃料で従来の入口組立体と同じＤＲＥを達成することができる。

いくつかの実施形態では、ヘッド及びバーナー内のノズルが近接しているため、パーフルオロ化合物（ＰＦＣ－主にＣＦ₄）を破壊するために作られる高エネルギーの還元火炎は、熱及び反応物を共有できる。このクラスター構成は、ＰＦＣ燃焼で使用される燃料及び酸素を低減するために熱及び反応物の移送を最大化するために、各ノズルをすぐ近くに位置付ける。従って、この構成は、ＣＦ₄燃焼中の燃料及び酸素を低減しながら、ＣＦ₄のＤＲＥを改善する。

いくつかの実施形態では、スイープ（ｓｗｅｐｔ）入口ノズル設計を使用する。この入口ノズルは、排出流又は処理フローガスのバイアスを取り除き、ランス燃料及び流入処理ガスのより良い混合を助け、同軸火炎に入る前の結果として生じる混合物のより長い滞留時間を可能にする。

いくつかの実施形態では、この構成の主な機能は、入口ノズル間の空間を少なくすることであり、ＣＦ₄燃焼中に入口火炎が失う熱が少なくなり、入口火炎は、隣接する入口ノズルからの余分な反応物を利用するようになっており、より高い効率が得られ、ひいては燃料及び酸素の削減が可能になる。入口火炎間の空間を少なくするためにノズルに角度を付けることは、除害中に火炎が熱／反応物を共有することを可能にする。６つの入口ノズルにわたる燃料及び酸素の少ない使用量は、ＤＲＥ性能を維持しながら維持費を下げる。

本明細書では、添付の図面を参照して本発明の例示的な実施形態を詳細に開示してきたが、本発明は、正確な実施形態に限定されるものではなく、添付の特許請求の範囲及びその均等物によって定義される本発明の発想から逸脱することなく、当業者によって種々の変更及び修正を行えることが理解される。

１０；１０Ａ；１０Ｂ；１０Ｃ 入口ヘッド組立体
２０ 入口ヘッド
３０ パイロットノズル
３２ 内側ノズル
３４，５１ 燃料
３６ 外側ノズル
３８，５３ 圧縮乾燥空気（ＣＤＡ）
４０；４０Ａ；４０Ｂ；４０Ｃ 入口ノズル
４５ 排出流
５０；５０Ｂ さらなる燃焼反応物ノズル
５２；５２Ｂ 内側燃焼反応物ノズル５２
５４；５４Ｂ 外側燃焼反応物ノズル５４
６０ 第１の外側ノズル
６２ 第２の外側ノズル

Claims (16)

1. 半導体処理ツールからの排出流を除害するための除害装置用の入口ヘッド組立体であって、前記入口ヘッド組立体は、
   入口ヘッドと、
   前記入口ヘッド内に延び、少なくとも１つのパイロット燃焼反応物流を前記除害装置の下流側の除害室に供給するように構成されたパイロットノズルと、
   複数の入口ノズルであって、前記複数の入口ノズルの各々は、前記パイロットノズルの軸方向に対して５°と６０°との間、好ましくは５°と４５°との間、より好ましくは５°と２０°との間の角度で、前記入口ヘッド内に延びて、前記除害室内に除害のための関連する排出流を供給するように構成されており、前記複数の入口ノズルは、前記パイロットノズルの周りに位置決めされている、前記複数の入口ノズルと、
   を備える、入口ヘッド組立体。
2. 前記複数の入口ノズルは、
   前記パイロットノズルを少なくとも部分的に取り囲むように位置決めさていること、
   前記パイロットノズルの周りで円周方向に位置決めされていること、
   前記パイロットノズルの周りで円周方向に等間隔であること、
   前記パイロットノズルの周りでピッチ円上に位置決めされていること、
   のうちの少なくとも１つである、請求項１に記載の入口ヘッド組立体。
3. 前記複数の入口ノズル及び前記パイロットノズルは、流れ安定性及び燃焼反応物供給距離のうちの少なくとも１つによって、互いに隣接して相隔たるように位置決めされている、請求項１又は２に記載の入口ヘッド組立体。
4. 前記パイロットノズルは、前記少なくとも１つのパイロット燃焼反応物流の燃焼を引き起こすように構成され、前記複数の入口ノズルは、前記排出流に少なくとも１つの燃焼反応物流を供給するように構成され且つ前記少なくとも１つのパイロット燃焼反応物流から、前記複数の入口ノズルの各々によって供給される前記燃焼反応物流の燃焼を伝播させるように位置決めされている、請求項１から３のいずれか一項に記載の入口ヘッド組立体。
5. 前記パイロットノズルは、第１の燃焼反応物流を供給するように構成された内側ノズルと、前記第１の燃焼反応物流を少なくとも部分的に取り囲む環状カーテンとして、第２の燃焼反応物流を供給するように構成された外側ノズルとを備える、請求項１から４のいずれか一項に記載の入口ヘッド組立体。
6. 前記入口ヘッド内に延び、少なくとも１つのさらなる燃焼反応物流を前記除害装置の下流側の除害室に供給するように構成されたさらなる燃焼反応物ノズルを備える、請求項１から５のいずれか一項に記載の入口ヘッド組立体。
7. 半導体処理ツールからの排出流を除害するための除害装置用の入口ヘッド組立体であって、前記入口ヘッド組立体は、
   入口ヘッドと、
   前記入口ヘッド内に延び、少なくとも１つのパイロット燃焼反応物流を前記除害装置の下流側の除害室に供給するように構成されたパイロットノズルと、
   複数の入口ノズルであって、複数の入口ノズルの各々は、前記入口ヘッド内に延び、前記除害室内に除害のための関連する排出流を供給するように構成されており、前記複数の入口ノズルは、前記パイロットノズルの周りに位置決めされている前記複数の入口ノズルと、
   を備え、
   前記入口ヘッド組立体は、
   前記入口ヘッド内に延び、少なくとも１つのさらなる燃焼反応物流を前記除害装置の下流側の除害室に供給するように構成された、さらなる燃焼反応物ノズルを備え、
   前記複数の入口ノズル及び前記さらなる燃焼反応物ノズルのうちの少なくとも１つは、前記パイロットノズルに対して角度付けされるように配向され、好ましくは、前記複数の入口ノズル及び前記さらなる燃焼反応物ノズルのうちの少なくとも１つは、前記パイロット燃焼反応物流に対して角度付けされた前記排出流及び前記さらなる燃焼反応物流のうちの少なくとも１つを供給するように配向されている、入口ヘッド組立体。
8. 前記さらなる燃焼反応物ノズルは、
   前記複数の入口ノズルによって前記除害室に供給される複数の排出流を少なくとも部分的に取り囲む前記少なくとも１つのさらなる燃焼反応物流を供給するように構成されていること、及び
   前記少なくとも１つのさらなる燃焼反応物流を、前記複数の入口ノズルによって前記除害室に供給される複数の排出流を少なくとも部分的に取り囲む環状カーテンとして供給するように構成されていること、
   のうちの少なくとも１つである、請求項６又は７に記載の入口ヘッド組立体。
9. 前記さらなる燃焼反応物ノズルは、前記複数の入口ノズルの各々によって供給される前記燃焼反応物流から、前記少なくとも１つのさらなる燃焼反応物流の燃焼を伝播させるように位置決めされている、請求項６から８に記載の入口ヘッド組立体。
10. 前記さらなる燃焼反応物ノズルは、
    第１の燃焼反応物流を供給するように構成された第１の燃焼反応物ノズル、及び第２の燃焼反応物流を供給するように構成された第２の燃焼反応物ノズルと、
    前記複数の入口ノズルによって前記除害室に供給された複数の排出流を少なくとも部分的に取り囲む第１の環状カーテンとして前記第１の燃焼反応物流を供給するように構成された第１の環状ノズルであって、前記第２の燃焼反応物ノズルは、前記第１の環状ノズルを少なくとも部分的に取り囲む第２の環状ノズルを備え、前記第１の環状カーテンを少なくとも部分的に取り囲む第２の環状カーテンとして前記第２の燃焼反応物流を供給するように構成されている、前記第１の燃焼反応物ノズルと、
    のうちの少なくとも１つを備える、
    請求項６から９のいずれか一項に記載の入口ヘッド組立体。
11. 前記さらなる燃焼反応物ノズルは、前記複数の入口ノズルを少なくとも部分的に取り囲む、及び／又は、前記さらなる燃焼反応物ノズルは、前記パイロットノズルと同心円状に位置決めされる、及び／又は、前記第１の燃焼反応物流は燃料を含み、前記第２の燃焼反応物流は酸化剤を含む、請求項６から１０のいずれか一項に記載の入口ヘッド組立体。
12. 前記複数の入口ノズル及び前記さらなる燃焼反応物ノズルのうちの少なくとも１つは、前記パイロットノズルと平行になるように配向され、好ましくは、前記複数の入口ノズル及び前記さらなる燃焼反応物ノズルのうちの少なくとも１つは、前記パイロット燃焼反応物流と平行に前記排出流及び前記さらなる燃焼反応物流のうちの少なくとも１つを供給するように配向されている、請求項６から１１のいずれか一項に記載の入口ヘッド組立体。
13. 前記複数の入口ノズル及び前記さらなる燃焼反応物ノズルのうちの少なくとも１つは、軸方向に配向された前記パイロットノズルに対して角度付けされるように配向され、好ましくは、前記複数の入口ノズル及び前記さらなる燃焼反応物ノズルのうちの少なくとも１つは、前記パイロット燃焼反応物流の軸方向に対して角度付けされた前記排出流及び前記さらなる燃焼反応物流のうちの少なくとも１つを供給するように配向されている、請求項６から１２のいずれか一項に記載の入口ヘッド組立体。
14. 前記複数の入口ノズル及び前記さらなる燃焼反応物ノズルのうちの少なくとも１つは、前記パイロットノズルの方に配向され、好ましくは、前記複数の入口ノズル及び前記さらなる燃焼反応物ノズルのうちの少なくとも１つは、前記パイロット燃焼反応物流に収束するように、前記排出流及び前記さらなる燃焼反応物流のうちの少なくとも１つを供給するように配向されている、請求項６から１３のいずれか一項に記載の入口ヘッド組立体。
15. 前記複数の入口ノズル及び前記さらなる燃焼反応物ノズルのうちの少なくとも１つは、前記パイロットノズルから離れるように配向され、好ましくは、前記複数の入口ノズル及び前記さらなる燃焼反応物ノズルのうちの少なくとも１つは、前記パイロット燃焼反応物流から発散するように、前記排出流及び前記さらなる燃焼反応物流のうちの少なくとも１つを供給するように配向されている、請求項６から１４のいずれか一項に記載の入口ヘッド組立体。
16. 前記複数の入口ノズル及び前記さらなる燃焼反応物ノズルのうちの少なくとも１つは、最大６０°、好ましくは最大４５°、好ましくは最大２０°、好ましくは最大１５°、好ましくは最大１２．５°、及び好ましくは最大１０°の角度で配向されている、請求項６から１５のいずれか一項に記載の入口ヘッド組立体。

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