JP2024110670A - SHEET PROCESSING APPARATUS AND SHEET PROCESSING METHOD - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、シート処理装置およびシート処理方法に関する。 The present invention relates to a sheet processing device and a sheet processing method.
接着シート基材を支持面に貼付し、接着シート基材の切込の外側に形成された不要シートを支持面から剥離するシート処理装置が知られている(例えば、特許文献1参照)。 A sheet processing device is known that attaches an adhesive sheet base material to a support surface and peels off the unnecessary sheet formed outside the cuts in the adhesive sheet base material from the support surface (see, for example, Patent Document 1).
特許文献1に記載された粘着テープ貼付け剥離装置(シート処理装置)は、基板支持テーブル6(支持手段)の表面F(支持面)に施された非粘着処理が劣化したことを検知しないため、非粘着性能が消失した支持面に余剰粘着テープTa(不要シート)が貼り付いてしまい、不要シートが支持面から剥離されない剥離不良が発生するという不都合がある。 The adhesive tape application and removal device (sheet processing device) described in Patent Document 1 does not detect the deterioration of the non-adhesive treatment applied to the surface F (support surface) of the substrate support table 6 (support means), so excess adhesive tape Ta (unnecessary sheet) sticks to the support surface where the non-adhesive performance has been lost, resulting in a removal failure in which the unnecessary sheet is not removed from the support surface.
本発明の目的は、不要シートが支持面から剥離されない剥離不良が発生することを防止することができるシート処理装置およびシート処理方法を提供することにある。 The object of the present invention is to provide a sheet processing apparatus and a sheet processing method that can prevent the occurrence of a peeling failure in which an unnecessary sheet is not peeled off from a support surface.
本発明は、請求項に記載した構成を採用した。 The present invention employs the configuration described in the claims.
本発明によれば、支持面に施された非粘着処理が劣化したことを検知するので、不要シートが支持面から剥離されない剥離不良が発生することを防止することができる。 According to the present invention, deterioration of the non-adhesive treatment applied to the support surface is detected, so that peeling failures in which the unnecessary sheet cannot be peeled off from the support surface can be prevented.
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるX軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸およびY軸は、所定平面内の軸とし、Z軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Y軸と平行な図1の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がX軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がY軸と平行な図1中手前方向で「後」がその逆方向とする。
Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
In this embodiment, the X-axis, Y-axis, and Z-axis are mutually orthogonal, the X-axis and Y-axis are axes within a specified plane, and the Z-axis is an axis orthogonal to the specified plane. Furthermore, in this embodiment, the view from the front direction of Fig. 1 parallel to the Y-axis is used as a reference, and when indicating directions, "up" is the direction of the Z-axis arrow, "down" is the opposite direction, "left" is the direction of the X-axis arrow, "right" is the opposite direction, "front" is the front direction in Fig. 1 parallel to the Y-axis, and "rear" is the opposite direction.
シート処理装置EAは、帯状の接着シート基材ABを供給する供給工程を実施する供給手段10と、供給された接着シート基材ABを非粘着処理が施された支持面としてのシート支持面62Bに押圧して貼付する押圧工程を実施する押圧手段20と、シート支持面62Bに貼付された接着シート基材ABに当該接着シート基材ABを貫通する閉ループ状の切込を形成し、当該切込の外側に不要シートUSを形成する切断工程を実施する切断手段30と、不要シートUSをシート支持面62Bから剥離する剥離工程を実施する剥離手段40と、シート支持面62Bに施された非粘着処理が劣化したことを検知する検知工程を実施する検知手段50とを備え、接着シート基材ABを支持する支持工程を実施する支持手段60の近傍に配置されている。
The sheet processing device EA includes a
供給手段10は、剥離シートRLの一方の面に接着シート基材ABが仮着された原反RSを支持する支持ローラ11Aと、原反RSを案内するガイドローラ11B、11Cと、ガイドローラ11Bとの間に原反RSを挟み込む押付部材11Dを出力軸11Eで支持する駆動機器としての直動モータ11Fと、ガイドローラ11Cを支持し、接着シート基材ABの張力を測定可能な張力検出手段としてのロードセル11Gと、剥離縁11Hで剥離シートRLを折り返し、当該剥離シートRLから接着シート基材ABを剥離する剥離部材としての剥離板11Jと、図示しない出力軸で駆動ローラ11Kを支持する駆動機器としての回動モータ11Lと、駆動ローラ11Kとで剥離シートRLを挟み込むピンチローラ11Mと、図示しない駆動機器の出力軸に支持され、シート処理装置EAの自動運転が行われている間、ピンチローラ11Mとの間に存在する剥離シートRLに常に所定の張力を付与し、当該剥離シートRLを回収する回収手段としての回収ローラ11Nと、駆動機器としてのリニアモータ11Pのスライダ11Q(図1(B)参照)に支持された駆動機器としてのリニアモータ11Rと、リニアモータ11Rの図示しないスライダに支持され、当該供給手段10を構成する前述の構成部材のうち支持ローラ11Aおよび回収ローラ11N以外の各部材を支持するフレーム11Sと、駆動機器としてのリニアモータ12Aのスライダ12Bに支持されたフレーム12Cと、フレーム12Cに支持され、不要シートUSを折り返してシート支持面62Bから剥離する剥離部材としての剥離ローラ12Dと、フレーム12Cに支持された駆動機器としての回動モータ12Eの図示しない出力軸に支持され、ピンチローラ12Fとで不要シートUSを挟み込む駆動ローラ12Gと、フレーム12Cに支持された図示しない駆動機器の出力軸に支持され、シート処理装置EAの自動運転が行われている間、駆動ローラ12Gとの間に存在する不要シートUSに常に所定の張力を付与し、当該不要シートUSを回収する回収手段としての回収ローラ12Hとを備えている。
The supply means 10 includes a
押圧手段20は、リニアモータ12Aのスライダ12Jにブラケット12Kを介して支持された駆動機器としての直動モータ21と、直動モータ21の出力軸21Aにブラケット21Bを介して回転可能に支持された押圧ローラ22とを備えている。
The
切断手段30は、駆動機器としての多関節ロボット31と、多関節ロボット31の作業アーム31Aにブラケット31Bを介して支持された切断刃32とを備えている。
多関節ロボット31は、その作業範囲内において切断刃32を何れの位置、何れの角度にでも変位可能な所謂6軸ロボットである。
The cutting means 30 includes an articulated
The articulated
剥離手段40は、供給手段10と兼用されており、リニアモータ12Aと、フレーム12Cと、剥離ローラ12Dと、回動モータ12Eと、ピンチローラ12Fと、駆動ローラ12Gと、回収ローラ12Hとを備えている。
The
検知手段50は、供給された接着シート基材ABの位置を検知するカメラや投影機等の撮像手段や、光学センサや超音波センサ等の各種センサ等で構成されたシート位置検知手段51を備え、シート位置検知手段51の検知結果を基に、シート支持面62Bに施された非粘着処理が劣化したことを検知する構成とされている。
本実施形態の場合、検知手段50は、供給された接着シート基材ABの上下方向位置を検知することで、シート支持面62Bの非粘着処理が劣化したことを検知する構成とされている。また、検知手段50は、シート支持面62Bの非粘着処理が劣化したことを検知すると、各手段に対して電気や電波等の所定の信号である検知信号を出力するとともに、表示器やスピーカ等の図示しない警告機器にも検知信号を出力するようになっている。
The detection means 50 is equipped with a sheet position detection means 51 composed of an imaging means such as a camera or projector that detects the position of the supplied adhesive sheet base material AB, and various sensors such as an optical sensor or an ultrasonic sensor, and is configured to detect deterioration of the non-adhesive treatment applied to the
In this embodiment, the detection means 50 is configured to detect the deterioration of the non-adhesive treatment of the
支持手段60は、駆動機器としての直動モータ61と、直動モータ61の出力軸61Aに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段(保持手段)によって被着体WKの吸着保持が可能な被着体支持面62Aと接着シート基材ABを支持するシート支持面62Bとを有するテーブル62とを備えている。
シート支持面62Bには、フッ素樹脂コーティングやシリコンコーティング等のコーティング処理や、ブラスト加工やエッチング加工等による粗面処理等の非粘着処理が施されている。
The support means 60 includes a
The
以上のシート処理装置EAの動作を説明する。
先ず、図1(A)中実線で示す初期位置に各部材が配置されたシート処理装置EAに対し、当該シート処理装置EAの使用者(以下、単に「使用者」という)が同図のように原反RSをセットした後、図示しない操作パネルやパーソナルコンピュータ等の操作手段を介して自動運転開始の信号を入力する。次いで、使用者または、多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段が、図1(A)に示すように、被着体WKを被着体支持面62A上の所定の位置に載置すると、支持手段60が図示しない減圧手段および直動モータ61を駆動し、被着体支持面62Aでの被着体WKの吸着保持を開始するとともに、テーブル62を上昇させる。
The operation of the sheet processing apparatus EA will now be described.
First, a user of the sheet processing apparatus EA (hereinafter simply referred to as "user") sets the original web RS on the sheet processing apparatus EA, in which each member is arranged in the initial position shown by the solid line in Fig. 1(A), as shown in the figure, and then inputs a signal to start automatic operation via an operation means such as an operation panel or a personal computer (not shown). Next, when the user or a transport means (not shown) such as an articulated robot or a belt conveyor places the adherend WK at a predetermined position on the
その後、押圧手段20が直動モータ21を駆動し、図1(A)中二点鎖線で示すように、押圧ローラ22を下降させて接着シート基材ABをシート支持面62Bに所定の押圧力で押さえ付ける。次に、供給手段10が回動モータ11L、12Eを駆動し、剥離シートRLおよび接着シート基材ABを巻き取り、支持手段60上に位置する接着シート基材ABの張力が所定値となったことがロードセル11Gによって検知されると、回動モータ11L、12Eの駆動を停止する。そして、供給手段10が直動モータ11Fを駆動し、押付部材11Dとガイドローラ11Bとで原反RSを挟み込み、接着シート基材ABの供給を抑制する。次いで、供給手段10および押圧手段20がリニアモータ11P、11R、12Aを駆動し、図1(B)に示すように、押圧ローラ22を右方に移動させつつ、ロードセル11Gで検出される張力が所定値からずれないようにフレーム11Sを左右方向および上下方向へ移動させ、押圧ローラ22で接着シート基材ABをシート支持面62Bおよび被着体WKに押圧して貼付する。
Then, the pressing means 20 drives the
被着体WKへの接着シート基材ABの貼付が完了すると、切断手段30が多関節ロボット31を駆動し、図1(B)中二点鎖線で示すように、切断刃32を接着シート基材ABに突き刺し、当該切断刃32を被着体WKの外周に沿って移動させる。これにより、接着シート基材ABに閉ループ状の切込が形成され、当該切込の内側に接着シートASが形成されて被着体WK上に貼付された状態で残り、当該切込の外側に不要シートUSが形成される。その後、剥離手段40がリニアモータ12Aおよび回動モータ12Eを駆動し、図1(B)中二点鎖線および図1(C)中実線で示すように、フレーム12Cを右方に移動させながら不要シートUSをシート支持面62Bから剥離しつつ、回収ローラ12Hで不要シートUSを回収する。ここで、シート支持面62Bの非粘着処理が劣化した場合、図1(C)中二点鎖線で示すように、不要シートUSが剥離し難くなり、非粘着処理が劣化していない場合に比べて剥離に遅れが生じる。次に、支持手段60が図示しない減圧手段の駆動を停止し、被着体支持面62Aでの被着体WKの吸着保持を解除する。そして、使用者または図示しない搬送手段が、接着シートASが貼付された被着体WKを次工程に搬送すると、供給手段10および押圧手段20が直動モータ11F、21を駆動し、押付部材11Dとガイドローラ11Bとによる原反RSの挟み込みを解除するとともに、押圧ローラ22を上昇させる。
When the attachment of the adhesive sheet base material AB to the adherend WK is completed, the cutting means 30 drives the articulated
次いで、供給手段10が回動モータ12Eの駆動を停止させた状態で、各手段がそれぞれの駆動機器を駆動し、図1(A)に示すように、各部材を初期位置に復帰させて接着シート基材ABをシート支持面62B上に供給する。ここで、シート支持面62Bの非粘着処理が劣化していない場合、シート支持面62B上に供給された接着シート基材ABの上下方向位置が所定の位置範囲内に収まる。一方、シート支持面62Bの非粘着処理の劣化により剥離に遅れが生じた不要シートUSに連続する接着シート基材ABをシート支持面62B上に供給すると、当該接着シート基材ABに歪みや撓みが生じ、その上下方向位置が所定の位置範囲から外れる。
Next, with the supply means 10 stopping the drive of the
その後、検知手段50がシート位置検知手段51を駆動し、供給された接着シート基材ABの上下方向位置を検知し、シート位置検知手段51の検知結果を基に、シート支持面62Bの非粘着処理が劣化したか否かを検知する。この際、供給された接着シート基材ABの上下方向位置が所定の位置範囲内に位置していることをシート位置検知手段51が検知すると、検知手段50は、シート支持面62Bの非粘着処理が劣化していないことを検知し、各手段や図示しない警告機器に対して検知信号を出力せず、以降上記同様の動作が繰り返される。一方、供給された接着シート基材ABの上下方向位置が所定の位置範囲から外れていることをシート位置検知手段51が検知すると、検知手段50は、シート支持面62Bの非粘着処理が劣化したことを検知し、各手段および図示しない警告機器に対して検知信号を出力する。次に、各手段および警告機器が検知信号を受信すると、各手段が次の動作を行わずに待機するとともに、警告機器が表示器やスピーカ等を介して光や音等の警告シグナルを発し、シート支持面62Bの非粘着処理が劣化したことを使用者に伝える。そして、使用者は、テーブル62の交換や非粘着処理の修復等を行った後、図示しない操作手段を介して自動運転開始の信号を再度入力し、以降上記同様の動作が繰り返される。
Then, the detection means 50 drives the sheet position detection means 51 to detect the vertical position of the supplied adhesive sheet base material AB, and based on the detection result of the sheet position detection means 51, detects whether the non-adhesive treatment of the
以上のような実施形態によれば、シート支持面62Bに施された非粘着処理が劣化したことを検知するので、不要シートUSがシート支持面62Bから剥離されない剥離不良が発生することを防止することができる。
According to the above embodiment, deterioration of the non-adhesive treatment applied to the
以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれる。 As described above, the best configurations, methods, etc. for implementing the present invention have been disclosed in the above description, but the present invention is not limited thereto. In other words, the present invention has been mainly illustrated and described with reference to specific embodiments, but those skilled in the art can make various modifications to the above-described embodiments in terms of shape, material, quantity, and other detailed configurations without departing from the scope of the technical idea and purpose of the present invention. Furthermore, the descriptions limiting the shapes, materials, etc. disclosed above are provided as examples to facilitate understanding of the present invention, and do not limit the present invention. Therefore, descriptions of the names of components that remove some or all of the limitations on the shapes, materials, etc. are included in the present invention.
例えば、供給手段10は、剥離シートRLに仮着されていない接着シート基材ABを供給してもよいし、張力検出手段として、圧力センサやレギュレータ等、接着シート基材ABの張力を検出可能なものであれば、どのようなものを採用してもよいし、単一の駆動機器でフレーム11Sを移動させてもよいし、支持ローラ11Aやガイドローラ11B、11C等の各ローラの代わりに板状部材やシャフト部材等で、原反RSや剥離シートRLを支持したり案内したり、剥離シートRLや不要シートUSを回収したりしてもよいし、巻回されることなく、例えばファンフォールド折りにされた原反RSから当該原反RSを供給してもよいし、巻回することなく、例えばファンフォールド折りにしたり、シュレッダ等で切り刻んだり、無造作に集積したりして剥離シートRLや不要シートUSを回収する回収手段を採用してもよいし、回収手段を採用しなくてもよいし、本発明のシート処理装置EAに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよく、本発明のシート処理装置EAに備わっていない場合、例えば、他の装置や使用者が接着シートASを供給してもよい。
For example, the supply means 10 may supply the adhesive sheet base material AB that is not temporarily attached to the release sheet RL, and any device capable of detecting the tension of the adhesive sheet base material AB, such as a pressure sensor or regulator, may be used as the tension detection means, the
押圧手段20は、上記で例示したものに代えてまたは併用して、駆動機器としての直動モータの出力軸に支持された押圧部材を備え、当該直動モータで押圧部材を下降させて接着シート基材ABを被着体WKおよびシート支持面62Bに押圧して貼付する構成としてもよいし、接着シート基材ABを被着体WKに貼付しなくてもよい。
In place of or in combination with the above-mentioned examples, the
切断手段30は、被着体WKの外縁に切断刃32を押し当てるようにして接着シート基材ABに切込を形成してもよいし、接着シートASが被着体WKの外縁と同形状となるように接着シート基材ABに切込を形成してもよいし、被着体WKの外縁よりも被着体WKから離れた位置で接着シート基材ABに切込を形成してもよいし、被着体WKの外縁よりも内側で接着シート基材ABに切込を形成してもよいし、被着体WKの外縁の形状とは関係なく接着シート基材ABに切込を形成してもよいし、接着シート基材ABのみを切断してもよいし、接着シート基材ABおよび被着体WKの両方を切断してもよいし、多関節ロボット31に対して切断刃32が着脱可能または着脱不能な構成でもよい。
The cutting means 30 may form a cut in the adhesive sheet base material AB by pressing the
剥離手段40は、供給手段10と兼用されなくてもよく、例えば、駆動機器としての直動モータの出力軸に支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の減圧手段によって吸着保持が可能な保持部材を備え、当該保持部材で保持した不要シートUSをシート支持面62Bから離間させて不要シートUSを剥離する構成としてもよい。
The peeling means 40 does not have to be used as the
検知手段50は、シート位置検知手段51に代えてまたは併用して、不要シートUSを剥離する負荷を検知する負荷検知手段を備え、当該負荷検知手段の検知結果を基に、シート支持面62Bに施された非粘着処理が劣化したことを検知してもよく、例えば、負荷検知手段は、剥離ローラ12Dとピンチローラ12Fとの間で不要シートUSを案内するガイドローラと、当該ガイドローラを支持し、当該ガイドローラに付与される不要シートUSの張力を検出可能な張力検出手段としてのロードセルとを備え、不要シートUSを剥離する負荷としての張力を当該ロードセルで検知してもよいし、負荷検知用のテープをシート支持面62Bに貼付する貼付手段と、張力検出手段としてのロードセルを介してリニアモータや直動モータ等の駆動機器に支持されたメカチャックやチャックシリンダ等の把持手段とを備え、シート支持面62Bに貼付した負荷検知用のテープを把持手段で把持し、駆動機器で当該把持手段をシート支持面62Bに対して移動させて負荷検知用のテープを剥離する際の負荷をロードセルで検知してもよい。
検知手段50は、シート位置検知手段51に代えてまたは併用して、カメラや投影機等の撮像手段や、光学センサや超音波センサ等の各種センサ等で構成された剥離遅延検知手段を備え、当該剥離遅延検知手段によって、図1(C)中二点鎖線で示すように、不要シートUSの剥離に遅れが生じ、剥離ローラ12Dとピンチローラ12Fとの間の不要シートUSがシート支持面62B側に向かって湾曲したことを検知することで、シート支持面62Bに施された非粘着処理が劣化したことを検知する構成とされてもよい。
検知手段50は、シート位置検知手段51に代えてまたは併用して、カメラや投影機等の撮像手段や、光学センサや超音波センサ等の各種センサ等で構成された支持面状態検知手段を備え、当該支持面状態検知手段によって、シート支持面62Bに施されたコーティングの剥がれを検知したり、コーティングの厚さが薄くなったことを検知したり、シート支持面62Bの粗面処理による凹凸が減少したことを検知したりすることで、シート支持面62Bに施された非粘着処理が劣化したことを検知する構成とされてもよい。
検知手段50は、供給された接着シート基材ABの幅方向(前後方向)の中央部または一端部等の一部の上下方向位置をシート位置検知手段51で検知したり、供給された接着シート基材ABの幅方向の一端から他端までの上下方向位置をシート位置検知手段51で検知したり、供給された接着シート基材ABの前後方向位置をシート位置検知手段51で検知したり、接着シート基材ABの幅方向および/または供給方向(左右方向)に複数のシート位置検知手段51を並設し、当該複数のシート位置検知手段51で接着シート基材ABの複数個所の上下方向位置や前後方向位置を検知したりすることで、接着シート基材ABの歪みや撓みを検知してシート支持面62Bに施された非粘着処理が劣化したことを検知してもよいし、シート支持面62Bの非粘着処理が劣化したことを検知した場合、誤検知や検知不良の可能性を排除するために再度検知工程を実施したり、使用者が接着シート基材ABを手動で供給した後に改めて検知工程を実施したりしてもよい。
The detection means 50 may include a load detection means for detecting the load applied to peel off the unnecessary sheet US instead of or in combination with the sheet position detection means 51, and may detect the deterioration of the non-adhesive treatment applied to the
The detection means 50 may be provided with a peeling delay detection means composed of an imaging means such as a camera or a projector, or various sensors such as an optical sensor or an ultrasonic sensor, in place of or in combination with the sheet position detection means 51, and the peeling delay detection means may be configured to detect that a delay has occurred in the peeling of the unnecessary sheet US, as shown by the dotted line in Figure 1 (C), and that the unnecessary sheet US between the
The detection means 50, in place of or in combination with the sheet position detection means 51, may be provided with a support surface condition detection means composed of an imaging means such as a camera or a projector, and various sensors such as an optical sensor or an ultrasonic sensor, and the support surface condition detection means may be configured to detect peeling of the coating applied to the
The detection means 50 may detect the up-down position of a part, such as the center or one end in the width direction (front-rear direction) of the supplied adhesive sheet base material AB using the sheet position detection means 51, detect the up-down position from one end to the other end in the width direction of the supplied adhesive sheet base material AB using the sheet position detection means 51, detect the front-rear position of the supplied adhesive sheet base material AB using the sheet position detection means 51, or provide a plurality of sheet position detection means 51 in parallel in the width direction and/or supply direction (left-right direction) of the adhesive sheet base material AB and detect the up-down and front-rear positions of a plurality of locations on the adhesive sheet base material AB using the plurality of sheet position detection means 51 to detect distortion or bending of the adhesive sheet base material AB and detect deterioration of the non-adhesive treatment applied to the
支持手段60は、被着体支持面62Aで吸着保持ができないテーブル62が採用されてもよいし、シート支持面62Bで接着シート基材ABを吸着保持してもよいし、吸着保持しなくてもよいし、被着体WKを支持しなくてもよいし、本発明のシート処理装置EAに備わっていてもよいし、備わっていなくてもよい。
The support means 60 may be a table 62 that cannot be adsorbed and held on the
シート処理装置EAは、支持手段60とともに天地反転して配置したり、横向きに配置したりしてもよい。 The sheet processing device EA may be arranged upside down together with the support means 60 or arranged sideways.
接着シート基材AB、接着シートASおよび被着体WKの材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シート基材AB、接着シートASおよび被着体WKは、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、接着シート基材ABは、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着シート基材ABが採用された場合は、当該接着シート基材ABを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、接着シート基材ABは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材と接着剤層とが積層された2層のもの、基材と接着剤層との間に1または複数の中間層が積層された3層または3層以上のもの、基材の上面に1または複数のカバー層が積層された3層または3層以上のもの、基材、中間層またはカバー層が剥離可能に設けられたもの、接着剤層のみからなる単層の両面接着シート、1または複数の中間層の両最外面に接着剤層が積層された両面接着シート等、どのようなものでもよい。さらに、被着体WKとしては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂等の単体物であってもよいし、それら2つ以上で形成された複合物であってもよく、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートASは、機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。 The material, type, shape, etc. of the adhesive sheet substrate AB, adhesive sheet AS, and adherend WK are not particularly limited. For example, the adhesive sheet substrate AB, adhesive sheet AS, and adherend WK may be circular, elliptical, polygonal such as triangular or rectangular, or other shapes, and the adhesive sheet substrate AB may be pressure-sensitive, heat-sensitive, or other adhesive form. When a heat-sensitive adhesive sheet substrate AB is used, the adhesive sheet substrate AB may be bonded by an appropriate method such as providing a heating means such as a suitable coil heater or the heating side of a heat pipe to heat the adhesive sheet substrate AB. In addition, the adhesive sheet substrate AB may be any of the following: a single layer of adhesive layer only, a two-layer substrate with a substrate and an adhesive layer laminated, a three-layer substrate with one or more intermediate layers laminated between the substrate and the adhesive layer, a three-layer substrate with one or more cover layers laminated on the upper surface of the substrate, a substrate, an intermediate layer or a cover layer provided in a peelable manner, a double-sided adhesive sheet with a single layer of adhesive layer only, a double-sided adhesive sheet with adhesive layers laminated on both outermost surfaces of one or more intermediate layers, etc. Furthermore, the adherend WK may be, for example, a single object such as food, a resin container, a semiconductor wafer such as a silicon semiconductor wafer or a compound semiconductor wafer, a circuit board, an information recording substrate such as an optical disk, a glass plate, a steel plate, a ceramic, a wooden board or a resin, or a composite formed of two or more of them, and may be a member or an article of any shape. In addition, the adhesive sheet AS can be read in terms of its function or purpose, and can refer to any sheet, film, tape, etc., such as an information label, decorative label, protective sheet, dicing tape, die attach film, die bonding tape, or recording layer-forming resin sheet.
本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、押圧手段は、接着シート基材を非粘着処理が施された支持面に押圧して貼付可能なものであればどんなものでもよく、出願当初の技術常識に照らし合わせてその技術範囲内のものであればなんら限定されることはない(その他の手段および工程も同じ)。 The means and steps of the present invention are not limited in any way as long as they can perform the operations, functions or steps described for those means and steps, and are in no way limited to the components and steps of just one embodiment shown in the above embodiment. For example, the pressing means may be anything that can press and attach the adhesive sheet substrate to a support surface that has been treated to be non-adhesive, and is not limited in any way as long as it is within the scope of the common general technical knowledge at the time of filing (the same goes for the other means and steps).
前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、2軸または3軸以上の関節を備えた多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる。
前記実施形態において、ローラ等の回転部材が採用されている場合、当該回転部材を回転駆動させる駆動機器を備えてもよいし、回転部材の表面や回転部材自体をゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、回転部材の表面や回転部材自体を変形しない部材で構成してもよいし、ローラの代わりに回転するまたは回転しないシャフトやブレード等の他の部材を採用してもよいし、押圧ローラや押圧ヘッド等の押圧手段や押圧部材といった被押圧物を押圧するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、ローラ、丸棒、ブレード材、ブラシ状部材の他、大気やガス等の気体の吹き付けによるものを採用してもよいし、押圧するものをゴム、樹脂、スポンジ等の変形可能な部材で構成してもよいし、金属や樹脂等の変形しない部材で構成してもよいし、剥離板や剥離ローラ等の剥離手段や剥離部材といった被剥離物を剥離するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、板状部材、丸棒、ローラ等の部材を採用してもよいし、剥離するものをゴムや樹脂等の変形可能な部材で構成してもよいし、変形しない部材で構成してもよいし、支持(保持)手段や支持(保持)部材等の被支持部材(被保持部材)を支持(保持)するものが採用されている場合、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤(接着シート、接着テープ)、粘着剤(粘着シート、粘着テープ)、磁力、ベルヌーイ吸着、吸引吸着、駆動機器等で被支持部材を支持(保持)する構成を採用してもよいし、切断手段や切断部材等の被切断部材を切断または、被切断部材に切込や切断線を形成するものが採用されている場合、上記で例示したものに代えてまたは併用して、カッター刃、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等で切断するものを採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断するものを移動させて切断するようにしたりしてもよい。
The driving equipment in the above-described embodiments may be electric equipment such as a rotary motor, a linear motor, a single-axis robot, or a multi-joint robot having joints on two or more axes, or an actuator such as an air cylinder, a hydraulic cylinder, a rodless cylinder, or a rotary cylinder, or a direct or indirect combination of these may also be used.
In the above-mentioned embodiment, when a rotating member such as a roller is used, a driving device for rotating the rotating member may be provided, the surface of the rotating member or the rotating member itself may be made of a deformable member such as rubber or resin, or the surface of the rotating member or the rotating member itself may be made of a non-deformable member, or other members such as a rotating or non-rotating shaft or blade may be used instead of the roller, when a pressing means or pressing member such as a pressing roller or a pressing head that presses the object to be pressed is used, a roller, a round bar, a blade material, a brush-like member, or a member that blows air or gas may be used instead of or in combination with the above-mentioned examples, the pressing means may be made of a deformable member such as rubber, resin, sponge, or may be made of a non-deformable member such as metal or resin, and when a peeling means or peeling member such as a peeling plate or peeling roller that peels the object to be peeled is used, instead of or in combination with the above-mentioned examples, In combination, a plate-shaped member, a round bar, a roller, or the like may be used, the peeling member may be made of a deformable member such as rubber or resin, or may be made of a non-deformable member, and when a supporting (holding) means or a supporting (holding) member that supports (holds) a supported member (held member) is used, a gripping means such as a mechanical chuck or a chuck cylinder, Coulomb force, adhesive (adhesive sheet, adhesive tape), pressure sensitive adhesive (adhesive sheet, adhesive tape), magnetic force, Bernoulli adsorption, suction adsorption, a driving device, or the like may be used to support (hold) the supported member, and when a cutting means or a cutting member that cuts a member to be cut or forms an incision or cutting line in a member to be cut is used, a cutter blade, a laser cutter, an ion beam, fire, heat, water pressure, an electric heating wire, a spray of gas or liquid, or the like may be used instead of or in combination with the above examples, or a cutting means that moves a cutting means by combining an appropriate driving device to cut the cutting means.
EA…シート処理装置
20…押圧手段
30…切断手段
40…剥離手段
50…検知手段
51…シート位置検知手段
62B…シート支持面(支持面)
AB…接着シート基材
US…不要シート
EA: sheet processing apparatus 20: pressing means 30: cutting means 40: peeling means 50: detection means 51: sheet position detection means 62B: sheet support surface (support surface)
AB: Adhesive sheet base material US: Unnecessary sheet
Claims (3)
前記支持面に貼付された接着シート基材に当該接着シート基材を貫通する閉ループ状の切込を形成し、当該切込の外側に不要シートを形成する切断手段と、
前記不要シートを前記支持面から剥離する剥離手段とを備え、
前記支持面に施された前記非粘着処理が劣化したことを検知する検知手段を備えていることを特徴とするシート処理装置。 a pressing means for pressing the supplied adhesive sheet base material against a supporting surface that has been subjected to a non-adhesive treatment to adhere the adhesive sheet base material to the supporting surface;
a cutting means for forming a closed-loop cut penetrating the adhesive sheet base material attached to the support surface and for forming an unnecessary sheet on the outside of the cut;
a peeling means for peeling off the unnecessary sheet from the support surface,
2. A sheet processing apparatus comprising: a detection unit for detecting deterioration of the non-adhesive treatment applied to the support surface.
前記支持面に貼付された接着シート基材に当該接着シート基材を貫通する閉ループ状の切込を形成し、当該切込の外側に不要シートを形成する切断工程と、
前記不要シートを前記支持面から剥離する剥離工程とを実施し、
前記支持面に施された前記非粘着処理が劣化したことを検知する検知工程を実施することを特徴とするシート処理方法。 a pressing step of pressing and attaching the supplied adhesive sheet base material to a supporting surface that has been subjected to a non-adhesive treatment;
a cutting step of forming a closed-loop cut penetrating the adhesive sheet base material attached to the support surface and forming an unnecessary sheet on the outside of the cut;
A peeling step of peeling the unnecessary sheet from the support surface is carried out;
A sheet processing method comprising: carrying out a detection step of detecting deterioration of the non-adhesive treatment applied to the support surface.
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