JP2024077030A - Surface modifier and method for manufacturing printed wiring board - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、表面改質剤、及びプリント配線板の製造方法に関する。
より詳しくは、金属層と樹脂層との間の密着性をより向上させることができる表面改質剤、及び当該表面改質剤を用いたプリント配線板の製造方法に関する。
The present invention relates to a surface modifier and a method for producing a printed wiring board.
More specifically, the present invention relates to a surface modifier capable of further improving adhesion between a metal layer and a resin layer, and a method for producing a printed wiring board using the surface modifier.
近年、データ社会化の進展により、配線が高密度かつ高精細であるプリント配線板(「プリント基板」ともいう。)が求められている。プリント配線板の製造工程においては、金属層や金属配線の表面に、エッチングレジスト、めっきレジスト、ソルダーレジスト、プリプレグ等の樹脂材料が接合される。プリント配線板の製造工程及び製造後の製品においては、金属層と樹脂層との間に高い密着性が求められる。 In recent years, with the advancement of the data society, there is a demand for printed wiring boards (also called "printed circuit boards") with high density and high definition wiring. In the manufacturing process of printed wiring boards, resin materials such as etching resist, plating resist, solder resist, and prepreg are bonded to the surface of the metal layer and metal wiring. In the manufacturing process of printed wiring boards and in the products after manufacture, high adhesion is required between the metal layer and the resin layer.
そこで、従来は、金属層と樹脂層の密着性を高めるために、金属層の表面を粗面化し、アンカー効果による接着を行っていた。しかしながら、粗面化された金属層の表面は、5G、6Gなどの通信技術で用いる短波長な電波に対して伝送損失の原因になり得る。そのため、金属層の表面を粗面化せずに金属層と樹脂層の密着性を高める技術が求められている。 Conventionally, in order to increase the adhesion between the metal layer and the resin layer, the surface of the metal layer has been roughened and adhesion has been achieved through the anchor effect. However, the roughened surface of the metal layer can cause transmission loss for the short-wavelength radio waves used in communication technologies such as 5G and 6G. Therefore, there is a demand for technology that can increase the adhesion between the metal layer and the resin layer without roughening the surface of the metal layer.
金属層の表面を粗面化せずに金属層と樹脂層の密着性を高める方法として、以下のような技術が知られている。特許文献1は、金属層の表面に樹脂層との接着性を向上する接着性向上用の被膜を形成する方法を開示している。特許文献2は、含硫黄化合物及び含窒素化合物を感光性樹脂中に含有させて密着性を向上させる方法を開示している。特許文献3は、アミノ基を有する含窒素化合物を含む処理液を用いて、金属表面に有機被膜を形成し、金属と樹脂の密着性を向上させる方法を開示している。
The following techniques are known as methods for improving the adhesion between a metal layer and a resin layer without roughening the surface of the metal layer.
しかしながら、これらの技術では、金属層と樹脂層の密着性はある程度は向上するものの、未だ十分な密着性が得られていなかった。 However, although these techniques improve the adhesion between the metal layer and the resin layer to a certain extent, sufficient adhesion has not yet been achieved.
本発明は、上記問題・状況に鑑みてなされたものであり、その解決課題は、金属層と樹脂層との間の密着性をより向上させることができる表面改質剤、及び当該表面改質剤を用いたプリント配線板の製造方法を提供することである。 The present invention was made in consideration of the above problems and circumstances, and the problem to be solved is to provide a surface modifier that can further improve the adhesion between a metal layer and a resin layer, and a method for manufacturing a printed wiring board using the surface modifier.
本発明者は、上記課題を解決すべく、上記課題の原因等について検討した結果、金属層に塗布した前後の吸光度の変化率が特定の範囲内である表面改質剤は金属層と樹脂層との間の密着性を向上させる性能が高いことを見いだし、本発明に至った。
すなわち、本発明に係る上記課題は、以下の手段により解決される。
In order to solve the above problems, the present inventors investigated the causes of the above problems and found that a surface modifier whose rate of change in absorbance before and after application to a metal layer is within a specific range has high performance in improving adhesion between a metal layer and a resin layer, thereby arriving at the present invention.
That is, the above-mentioned problems of the present invention are solved by the following means.
1.金属層と樹脂層の間に表面改質層を形成する表面改質剤であって、
下記式Aで求められる吸光度変化率Zが、5~30%の範囲内である
ことを特徴とする表面改質剤。
式A Z[%]=(X-Y)/X×100
[塗布前の前記表面改質剤の吸光度を、吸光度Xとする。銅板への塗布後に前記銅板に付着せず余剰となった前記表面改質剤の吸光度を、吸光度Yとする。各吸光度は、分光光度測定で得られる吸収スペクトルの300~800nmの波長域内における最大吸収極大の吸光度を採用する。]
1. A surface modifier that forms a surface modification layer between a metal layer and a resin layer,
A surface modifier characterized in that a rate of change in absorbance Z calculated by the following formula A is within a range of 5 to 30%.
Formula A Z [%] = (X-Y) / X x 100
[The absorbance of the surface modifier before application is defined as absorbance X. The absorbance of the excess surface modifier that does not adhere to the copper plate after application to the copper plate is defined as absorbance Y. Each absorbance is the absorbance of the maximum absorption maximum in the wavelength range of 300 to 800 nm of the absorption spectrum obtained by spectrophotometric measurement.]
2.前記吸光度変化率Zが、10~30%の範囲内である
ことを特徴とする第1項に記載の表面改質剤。
2. The surface modifier according to
3.前記吸光度変化率Zが、15~25%の範囲内である
ことを特徴とする第1項に記載の表面改質剤。
3. The surface modifier according to
4.吸着剤化合物を含有し、
前記吸着剤化合物が、含窒素化合物である
ことを特徴とする第1項に記載の表面改質剤。
4. Contains an adsorbent compound;
2. The surface modifier according to
5.吸着剤化合物及び溶剤化合物を含有し、
前記吸着剤化合物が、含窒素化合物であり、
前記溶剤化合物が、水又はアルコール類である
ことを特徴とする第1項に記載の表面改質剤。
5. Contains an adsorbent compound and a solvent compound;
the adsorbent compound is a nitrogen-containing compound;
2. The surface modifier according to
6.吸着剤化合物及び溶剤化合物を含有し、
前記吸着剤化合物が、含窒素複素環化合物であり、
前記溶剤化合物が、水又はアルコール類である
ことを特徴とする第1項に記載の表面改質剤。
6. Contains an adsorbent compound and a solvent compound;
the adsorbent compound is a nitrogen-containing heterocyclic compound;
2. The surface modifier according to
7.吸着剤化合物及び溶剤化合物を含有し、
前記吸着剤化合物が、6-5縮合環、5-5縮合環、及び5員環のうち少なくともいずれかを有する含窒素複素環化合物であり、
前記溶剤化合物が、水又はアルコール類である
ことを特徴とする第1項に記載の表面改質剤。
7. Contains an adsorbent compound and a solvent compound,
the adsorbent compound is a nitrogen-containing heterocyclic compound having at least one of a 6-5 fused ring, a 5-5 fused ring, and a 5-membered ring,
2. The surface modifier according to
8.吸着剤化合物及び溶剤化合物を含有し、
前記吸着剤化合物が、下記一般式W、一般式X、又は一般式Yで表される構造を有する含窒素複素環化合物であり、
前記溶剤化合物が、水又はアルコール類である
ことを特徴とする第1項に記載の表面改質剤。
The adsorbent compound is a nitrogen-containing heterocyclic compound having a structure represented by the following general formula W, general formula X, or general formula Y:
2. The surface modifier according to
9.プリント配線板の製造方法であって、
金属層の上に、第1項から第8項までのいずれか一項に記載の表面改質剤を塗布して、厚さ15nm以下の表面改質層を形成する工程を有する
ことを特徴とするプリント配線板の製造方法。
9. A method for manufacturing a printed wiring board, comprising the steps of:
9. A method for producing a printed wiring board, comprising the step of applying the surface modifier according to any one of
10.前記表面改質層の厚さが5nm以下である
ことを特徴とする第9項に記載のプリント配線板の製造方法。
10. The method for producing a printed wiring board according to claim 9, wherein the thickness of the surface modification layer is 5 nm or less.
11.前記金属層が、銅又は銅合金を主成分とする層である
ことを特徴とする第9項に記載のプリント配線板の製造方法。
11. The method for producing a printed wiring board according to item 9, wherein the metal layer is a layer containing copper or a copper alloy as a main component.
本発明の上記手段により、金属層と樹脂層との間の密着性をより向上させることができる表面改質剤、及び当該表面改質剤を用いたプリント配線板の製造方法を提供することができる。 The above-mentioned means of the present invention can provide a surface modifier that can further improve the adhesion between a metal layer and a resin layer, and a method for manufacturing a printed wiring board using the surface modifier.
本発明の効果の発現機構又は作用機構については、明確にはなっていないが、以下のように推察している。 Although the mechanism by which the effects of the present invention are expressed or acted upon has not been clarified, it is speculated as follows.
吸着剤化合物が多く積層して構成された表面改質層では、層内で凝集破壊が起きてしまうため、金属層と樹脂層との間の密着性を十分に向上させることができない。そのため、表面改質層は、吸着剤化合物の単分子層であることが理想的である。吸着剤化合物の金属層への吸着力が強過ぎると、金属層の上で積層し過ぎてしまい、単分子層又はこれに近い層を形成できない。一方、吸着剤化合物の金属層への吸着力が弱過ぎても、吸着量が少なくなり過ぎてしまうため、表面改質層を十分に形成できない。したがって、表面改質剤が含有する吸着剤化合物の吸着力は、単分子層又はこれに近い層を形成するために、適度であることが好ましい。 In a surface modification layer formed by laminating a large amount of adsorbent compound, cohesive failure occurs within the layer, and therefore the adhesion between the metal layer and the resin layer cannot be sufficiently improved. Therefore, it is ideal for the surface modification layer to be a monolayer of the adsorbent compound. If the adsorption force of the adsorbent compound to the metal layer is too strong, too much of the compound will be laminated on the metal layer, and a monolayer or a layer close to it will not be formed. On the other hand, if the adsorption force of the adsorbent compound to the metal layer is too weak, the amount of adsorption will be too small, and the surface modification layer will not be formed sufficiently. Therefore, it is preferable that the adsorption force of the adsorbent compound contained in the surface modification agent is moderate in order to form a monolayer or a layer close to it.
ここで、本発明の表面改質剤は、下記式Aで求められる吸光度変化率Zが、5~30%の範囲内であることを特徴とする。
式A Z[%]=(X-Y)/X×100
[塗布前の前記表面改質剤の吸光度を、吸光度Xとする。銅板への塗布後に前記銅板に付着せず余剰となった前記表面改質剤の吸光度を、吸光度Yとする。各吸光度は、分光光度測定で得られる吸収スペクトルの300~800nmの波長域内における最大吸収極大の吸光度を採用する。]
Here, the surface modifier of the present invention is characterized in that the absorbance change rate Z calculated by the following formula A is within the range of 5 to 30%.
Formula A Z [%] = (X-Y) / X x 100
[The absorbance of the surface modifier before application is defined as absorbance X. The absorbance of the excess surface modifier that does not adhere to the copper plate after application to the copper plate is defined as absorbance Y. Each absorbance is the absorbance of the maximum absorption maximum in the wavelength range of 300 to 800 nm of the absorption spectrum obtained by spectrophotometric measurement.]
この吸光度変化率Zは、表面改質剤における吸着剤化合物の吸着力の指標となるパラメーターである。表面改質剤を銅板に塗布すると、表面改質剤が含有する吸着剤化合物の一部が銅板に付着する。この付着した吸着剤化合物の量に応じて、塗布後の表面改質剤における吸着剤化合物の含有量が低下し、それに伴い表面改質剤の吸光度も低下する。吸着剤化合物の吸着力が強い程、塗布による吸着量が多くなり、吸光度の低下が大きくなるため、表面改質剤の吸光度変化率Zは大きくなる。表面改質剤の吸光度変化率Zは、吸着剤化合物の種類のみでなく、吸着剤化合物の含有量や他の成分等によっても変わる。本発明者は、5~30%の範囲内の吸光度変化率Zを示す表面改質剤であれば、吸着剤化合物の吸着力が適度であることを見いだした。本発明の表面改質剤は、この条件を満たすことによって吸着剤化合物の吸着力が適度であるため、金属層と樹脂層との間の密着性を高いレベルで向上させることができる。 This absorbance change rate Z is a parameter that is an index of the adsorption force of the adsorbent compound in the surface modifier. When the surface modifier is applied to a copper plate, a part of the adsorbent compound contained in the surface modifier adheres to the copper plate. Depending on the amount of the adsorbent compound adhered, the content of the adsorbent compound in the surface modifier after application decreases, and the absorbance of the surface modifier also decreases accordingly. The stronger the adsorption force of the adsorbent compound, the greater the amount of adsorption by application and the greater the decrease in absorbance, so the absorbance change rate Z of the surface modifier increases. The absorbance change rate Z of the surface modifier varies not only depending on the type of adsorbent compound, but also on the content of the adsorbent compound and other components. The inventor has found that a surface modifier that shows an absorbance change rate Z in the range of 5 to 30% has an appropriate adsorption force of the adsorbent compound. By satisfying this condition, the surface modifier of the present invention has an appropriate adsorption force of the adsorbent compound, so that it is possible to improve the adhesion between the metal layer and the resin layer to a high level.
本発明の表面改質剤は、金属層と樹脂層の間に表面改質層を形成する表面改質剤であって、上記式Aで求められる吸光度変化率Zが、5~30%の範囲内であることを特徴とする。
この特徴は、下記実施形態に共通する又は対応する技術的特徴である。
The surface modifier of the present invention is a surface modifier that forms a surface modification layer between a metal layer and a resin layer, and is characterized in that the absorbance change rate Z calculated by the above formula A is within the range of 5 to 30%.
This feature is a technical feature common to or corresponding to the following embodiments.
本発明の表面改質剤の実施形態としては、吸光度変化率Zが、10~30%の範囲内であることが好ましく、15~25%の範囲内であることがより好ましい。これによって、表面改質剤が含有する成分の、金属層の表面への吸着量がより適度になり、単分子層を形成しやすくなる。そのため、金属層と樹脂層との間の密着性をより向上させることができる。 In an embodiment of the surface modifier of the present invention, the absorbance change rate Z is preferably in the range of 10 to 30%, and more preferably in the range of 15 to 25%. This allows the amount of components contained in the surface modifier to be more appropriately adsorbed to the surface of the metal layer, making it easier to form a monolayer. This can further improve the adhesion between the metal layer and the resin layer.
本発明の表面改質剤の実施形態としては、吸着剤化合物を含有し、前記吸着剤化合物が、含窒素化合物であることが好ましい。 In one embodiment of the surface modifier of the present invention, it is preferable that the surface modifier contains an adsorbent compound, and that the adsorbent compound is a nitrogen-containing compound.
含窒素化合物は、窒素原子が金属層と強く相互作用しやすいことにより、密着向上性が高い。 Nitrogen-containing compounds have a high adhesion improving effect because nitrogen atoms tend to interact strongly with metal layers.
本発明の表面改質剤の実施形態としては、吸着剤化合物及び溶剤化合物を含有し、前記吸着剤化合物が、含窒素化合物であり、前記溶剤化合物が、水又はアルコール類であることが好ましい。水又はアルコール類は、含窒素化合物を溶解させやすい。 An embodiment of the surface modifier of the present invention contains an adsorbent compound and a solvent compound, and it is preferable that the adsorbent compound is a nitrogen-containing compound and the solvent compound is water or an alcohol. Water or an alcohol easily dissolves nitrogen-containing compounds.
本発明の表面改質剤の実施形態としては、吸着剤化合物及び溶剤化合物を含有し、前記吸着剤化合物が、含窒素複素環化合物であり、前記溶剤化合物が、水又はアルコール類であることが好ましい。含窒素複素環化合物は、窒素原子が金属層と強く相互作用しやすいのに加えて、複素環構造部が樹脂層と強く相互作用しやすいため、より密着向上性が高い。 In an embodiment of the surface modifier of the present invention, it is preferable that the surface modifier contains an adsorbent compound and a solvent compound, the adsorbent compound being a nitrogen-containing heterocyclic compound, and the solvent compound being water or an alcohol. The nitrogen-containing heterocyclic compound has a higher adhesion improving effect because the nitrogen atom is likely to interact strongly with the metal layer, and the heterocyclic structure is likely to interact strongly with the resin layer.
本発明の表面改質剤の実施形態としては、吸着剤化合物及び溶剤化合物を含有し、前記吸着剤化合物が、6-5縮合環、5-5縮合環、及び5員環のうち少なくともいずれかを有する含窒素複素環化合物であり、前記溶剤化合物が、水又はアルコール類であることが好ましい。このような含窒素複素環化合物は、より密着向上性が高い。 An embodiment of the surface modifier of the present invention contains an adsorbent compound and a solvent compound, and the adsorbent compound is preferably a nitrogen-containing heterocyclic compound having at least one of a 6-5 condensed ring, a 5-5 condensed ring, and a 5-membered ring, and the solvent compound is preferably water or an alcohol. Such nitrogen-containing heterocyclic compounds have a higher adhesion improving property.
本発明の表面改質剤の実施形態としては、吸着剤化合物及び溶剤化合物を含有し、前記吸着剤化合物が、下記一般式W、一般式X、又は一般式Yで表される構造を有する含窒素複素環化合物であり、前記溶剤化合物が、水又はアルコール類であることが好ましい。これによって、このような含窒素複素環化合物は、より密着向上性が高い。 In an embodiment of the surface modifier of the present invention, it is preferable that the surface modifier contains an adsorbent compound and a solvent compound, the adsorbent compound being a nitrogen-containing heterocyclic compound having a structure represented by the following general formula W, general formula X, or general formula Y, and the solvent compound being water or an alcohol. This allows such a nitrogen-containing heterocyclic compound to have a higher adhesion improving property.
本発明のプリント配線板の製造方法であって、金属層の上に、本発明の表面改質剤を塗布して、厚さ15nm以下の表面改質層を形成する工程を有することを特徴とする。 The method for manufacturing a printed wiring board of the present invention is characterized by having a step of applying the surface modifier of the present invention onto a metal layer to form a surface modification layer having a thickness of 15 nm or less.
本発明のプリント配線板の製造方法の実施形態としては、前記表面改質層の厚さが5nm以下であることが好ましい。これによって、金属層と樹脂層との間の密着性をより向上させることができる。 In an embodiment of the method for manufacturing a printed wiring board of the present invention, the thickness of the surface modification layer is preferably 5 nm or less. This can further improve the adhesion between the metal layer and the resin layer.
本発明のプリント配線板の製造方法の実施形態としては、加工性や導電性の観点から、前記金属層が、銅又は銅合金を主成分とする層であることが好ましい。 In an embodiment of the method for manufacturing a printed wiring board of the present invention, from the viewpoint of processability and electrical conductivity, it is preferable that the metal layer is a layer mainly composed of copper or a copper alloy.
以下、本発明とその構成要素、及び本発明を実施するための形態・態様について詳細な説明をする。なお、本願において、「~」は、その前後に記載される数値を下限値及び上限値として含む意味で使用する。 The present invention, its components, and the forms and modes for implementing the present invention are described in detail below. Note that in this application, "~" is used to mean that the numerical values before and after it are included as the lower and upper limits.
[表面改質剤の概要]
本発明の表面改質剤は、金属層と樹脂層の間に表面改質層を形成する表面改質剤であって、下記式Aで求められる吸光度変化率Zが、5~30%の範囲内であることを特徴とする表面改質剤。
[Overview of surface modifiers]
The surface modifier of the present invention is a surface modifier that forms a surface modified layer between a metal layer and a resin layer, and is characterized in that the absorbance change rate Z calculated by the following formula A is within the range of 5 to 30%.
式A Z[%]=(X-Y)/X×100
[塗布前の前記表面改質剤の吸光度を、吸光度Xとする。銅板への塗布後に前記銅板に付着せず余剰となった前記表面改質剤の吸光度を、吸光度Yとする。各吸光度は、分光光度測定で得られる吸収スペクトルの300~800nmの波長域内における最大吸収極大の吸光度を採用する。]
Formula A Z [%] = (X-Y) / X x 100
[The absorbance of the surface modifier before application is defined as absorbance X. The absorbance of the excess surface modifier that does not adhere to the copper plate after application to the copper plate is defined as absorbance Y. Each absorbance is the absorbance of the maximum absorption maximum in the wavelength range of 300 to 800 nm of the absorption spectrum obtained by spectrophotometric measurement.]
吸光度Xは、具体的には、吸着剤化合物の含有量を20質量ppmに調整した表面改質剤の吸光度である。吸光度Xは、具体的には、以下の方法で求めることができる。まず、表面改質剤における吸着剤化合物の含有量を測定する。当該含有量が20質量ppm未満である場合は、溶媒を蒸発させて濃縮し、当該含有量を20質量ppmに調整する。当該含有量が20質量ppm超である場合は、表面改質剤が含有する溶媒の種類に関わらず、イオン交換水を用いて希釈し、当該含有量を20質量ppmに調整する。吸着剤化合物の含有量を20質量ppmに調整した表面改質剤から分光光度測定で吸収スペクトルを得る。当該吸収スペクトルの、300~800nmの波長域内における最大吸収極大の吸光度を、吸光度Xとする。 Specifically, absorbance X is the absorbance of a surface modifier in which the content of the adsorbent compound is adjusted to 20 ppm by mass. Specifically, absorbance X can be determined by the following method. First, the content of the adsorbent compound in the surface modifier is measured. If the content is less than 20 ppm by mass, the solvent is evaporated to concentrate and the content is adjusted to 20 ppm by mass. If the content is more than 20 ppm by mass, the surface modifier is diluted with ion-exchanged water regardless of the type of solvent contained in the surface modifier, and the content is adjusted to 20 ppm by mass. An absorption spectrum is obtained by spectrophotometric measurement from the surface modifier in which the content of the adsorbent compound is adjusted to 20 ppm by mass. The absorbance of the maximum absorption maximum in the wavelength range of 300 to 800 nm in the absorption spectrum is taken as absorbance X.
吸光度Yは、具体的には、以下の方法で求めることができる。まず、10cm×10cmの銅板に、上記の方法で吸着剤化合物の含有量を20質量ppmに調整した表面改質剤100mLを、スプレー装置にて循環させながら1分間塗布する。このスプレー装置には、銅板に付着せず余剰となった表面改質剤が、タンクを経由して循環し、繰り返し塗布される仕組みのものを用いる。塗布のスプレー圧は0.2MPaとし、塗布温度は25℃とする。1分間の塗布後に、スプレー装置のタンクに残っている表面改質剤を取り出す。取り出した表面改質剤から分光光度測定で吸収スペクトルを得る。当該吸収スペクトルの、300~800nmの波長域内における最大吸収極大の吸光度を、吸光度Yとする。 Specifically, the absorbance Y can be determined by the following method. First, 100 mL of the surface modifier, the content of which has been adjusted to 20 ppm by mass using the above method, is applied to a 10 cm x 10 cm copper plate for 1 minute while circulating with a spray device. The spray device used is one in which the surplus surface modifier that does not adhere to the copper plate is circulated through a tank and repeatedly applied. The spray pressure for application is 0.2 MPa, and the application temperature is 25°C. After application for 1 minute, the surface modifier remaining in the tank of the spray device is removed. An absorption spectrum is obtained from the removed surface modifier by spectrophotometric measurement. The absorbance of the maximum absorption maximum in the wavelength range of 300 to 800 nm in the absorption spectrum is taken as the absorbance Y.
本発明の表面改質剤は、吸光度変化率Zが、10~30%の範囲内であることが好ましく、15~25%の範囲内であることがより好ましい。これによって、表面改質剤が含有する成分の、金属層の表面への吸着量がより適度になり、単分子層を形成しやすくなる。そのため、金属層と樹脂層との間の密着性をより向上させることができる。 The surface modifier of the present invention preferably has an absorbance change rate Z in the range of 10 to 30%, and more preferably in the range of 15 to 25%. This allows the components contained in the surface modifier to be more appropriately adsorbed to the surface of the metal layer, making it easier to form a monolayer. This makes it possible to further improve the adhesion between the metal layer and the resin layer.
[表面改質剤の成分]
本発明の表面改質剤は、少なくとも吸着剤化合物と溶剤化合物とを含有することが好ましい。
[Surface modifier components]
The surface modifier of the present invention preferably contains at least an adsorbent compound and a solvent compound.
吸着剤化合物は、表面改質層を形成し、金属層と樹脂層の密着性を向上させることができる化合物である。吸着剤化合物は、金属層の表面に吸着して表面改質層を形成することが好ましい。金属層の表面への吸着は、化学吸着であることが好ましい。 The adsorbent compound is a compound that can form a surface modification layer and improve the adhesion between the metal layer and the resin layer. It is preferable that the adsorbent compound adsorbs to the surface of the metal layer to form a surface modification layer. The adsorption to the surface of the metal layer is preferably chemical adsorption.
吸着剤化合物は、非感光性であることが好ましい。「非感光性」とは、表面改質層を形成する工程における通常の条件下では、光を吸収して、分子内の結合が開裂したり、分子同士が重合したりすることがない性質のことをいう。 The adsorbent compound is preferably non-photosensitive. "Non-photosensitive" refers to the property of not absorbing light and not cleaving the bonds within the molecule or polymerizing the molecules together under normal conditions in the process of forming the surface modification layer.
吸着剤化合物は、含窒素化合物であることが好ましい。含窒素化合物は、窒素原子が金属層と強く相互作用しやすいことにより、密着向上性が高い。 The adsorbent compound is preferably a nitrogen-containing compound. Nitrogen-containing compounds have high adhesion improving properties because the nitrogen atoms tend to interact strongly with the metal layer.
吸着剤化合物は、含窒素複素環化合物であることがより好ましい。含窒素複素環化合物は、窒素原子が金属層と強く相互作用しやすいのに加えて、複素環構造部が樹脂層と強く相互作用しやすいため、より密着向上性が高い。 It is more preferable that the adsorbent compound is a nitrogen-containing heterocyclic compound. Nitrogen-containing heterocyclic compounds have a higher adhesion improving effect because the nitrogen atoms tend to interact strongly with the metal layer, and the heterocyclic structure tends to interact strongly with the resin layer.
吸着剤化合物は、密着向上性の観点から、6-5縮合環、5-5縮合環、及び5員環のうち少なくともいずれかを有する含窒素複素環化合物であることがより好ましい。 From the viewpoint of improving adhesion, it is more preferable that the adsorbent compound is a nitrogen-containing heterocyclic compound having at least one of a 6-5 condensed ring, a 5-5 condensed ring, and a 5-membered ring.
吸着剤化合物は、密着向上性の観点から、下記一般式W、一般式X、又は一般式Yで表される構造を有する含窒素複素環化合物であることがより好ましい。これらの中でも、下記一般式W、又は一般式Yで表される構造を有する含窒素複素環化合物であることがより好ましい。 From the viewpoint of improving adhesion, the adsorbent compound is more preferably a nitrogen-containing heterocyclic compound having a structure represented by the following general formula W, general formula X, or general formula Y. Among these, it is more preferable that the adsorbent compound is a nitrogen-containing heterocyclic compound having a structure represented by the following general formula W or general formula Y.
[一般式W中、Rn1及びRn2は、それぞれ独立に、アルキル基を表す。Lは、連結基を表す。W1~W7は、それぞれ独立に、炭素原子又は窒素原子を表し、少なくとも2つ以上が窒素原子であり、そのうちの1つがNHであり、W1~W7で縮合環を形成する。mは、1以上の整数を表す。] [In the general formula W, Rn1 and Rn2 each independently represent an alkyl group. L represents a linking group. W1 to W7 each independently represent a carbon atom or a nitrogen atom, at least two of which are nitrogen atoms, one of which is NH, and W1 to W7 together form a condensed ring. m represents an integer of 1 or more.]
mは、1~4の整数を表すことがより好ましい。 More preferably, m represents an integer from 1 to 4.
一般式Wで表される構造を有する含窒素複素環化合物は、密着向上性の観点から、下記一般式1で表される構造を有することがより好ましい。
From the viewpoint of improving adhesion, it is more preferable that the nitrogen-containing heterocyclic compound having a structure represented by general formula W has a structure represented by the following
[一般式1式中、Rn1及びRn2は、それぞれ独立に、アルキル基を表す。Lは、連結基を表す。R1は、水素原子、アルキル基、アリール基又はヘテロアリール基を表し、さらに置換基を有してもよい。R2は、アルキル基、アリール基、アルコキシ基、アリールオキシ基、カルボキシ基、エステル基、アミド基、ヘテロアリール基又はハロゲノ基を表す。nは、それぞれ0~4の整数を表す。mは、1以上の整数を表す。複数の置換基R2を有する場合は、各置換基R2は相互に同一であっても異なっていてもよい。また、複数のnを有する場合は、それぞれのnは相互に同一であっても異なっていてもよく、さらに、複数のmを有する場合は、それぞれのmは相互に同一であっても異なっていてもよい。]
[In the
R1が有してもよい置換基としては、例えば、アルキル基、アリール基、アルコキシ基、アリールオキシ基、カルボキシ基、エステル基、アミド基、ヘテロアリール基又はハロゲノ基(ハロゲン原子)等が挙げられる。 Examples of the substituent that R 1 may have include an alkyl group, an aryl group, an alkoxy group, an aryloxy group, a carboxy group, an ester group, an amide group, a heteroaryl group, and a halogeno group (a halogen atom).
R2は、アルキル基、アリール基、アルコキシ基、又はアリールオキシ基を表すことがより好ましい。 More preferably, R2 represents an alkyl group, an aryl group, an alkoxy group, or an aryloxy group.
mは、1~4の整数を表すことがより好ましい。 More preferably, m represents an integer from 1 to 4.
一般式1で表される構造を有する含窒素複素環化合物は、密着向上性の観点から、下記一般式5で表される構造を有することがより好ましい。
From the viewpoint of improving adhesion, it is more preferable that the nitrogen-containing heterocyclic compound having the structure represented by
[一般式5中、Rn1及びRn2は、それぞれ独立に、アルキル基を表す。Lは、連結基を表す。R2は、アルキル基、アリール基、アルコキシ基、アリールオキシ基、カルボキシ基、エステル基、アミド基、ヘテロアリール基又はハロゲノ基(ハロゲン原子)を表す。nは、それぞれ0~4の整数を表す。mは、1以上の整数を表す。複数の置換基R2を有する場合は、各置換基R2は相互に同一であっても異なっていてもよい。]
[In
Rn1及びRn2は、炭素数1~6のアルキル基を表すことがより好ましい。 More preferably, Rn1 and Rn2 each represent an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms.
R2は、アルキル基、アリール基、アルコキシ基、又はアリールオキシ基を表すことがより好ましい。 More preferably, R2 represents an alkyl group, an aryl group, an alkoxy group, or an aryloxy group.
mは、1~4の整数を表すことがより好ましい。 More preferably, m represents an integer from 1 to 4.
[一般式X中、X1~X5は、それぞれ独立に、窒素原子又はCR1を表す。R1は、それぞれ独立に、水素原子、アリール基、ヘテロアリール基、アルキル基、アルケニル基、アルキニル基、アルコキシ基、アミノ基、シアノ基、チオール基、カルボニル基、ハロゲノ基、トリフルオロメチル基、又は、ヒドロキシ基を表し、さらに置換基を有していても良い。] [In the general formula X, X 1 to X 5 each independently represent a nitrogen atom or CR 1. Each R 1 independently represents a hydrogen atom, an aryl group, a heteroaryl group, an alkyl group, an alkenyl group, an alkynyl group, an alkoxy group, an amino group, a cyano group, a thiol group, a carbonyl group, a halogeno group, a trifluoromethyl group, or a hydroxyl group, and may further have a substituent.]
CR1は、アリール基又はヘテロアリール基を有することが好ましい。当該アリール基又はヘテロアリール基にアルキル基、アルコキシ基、カルボニル基が置換されていることがより好ましい。 CR 1 preferably has an aryl group or a heteroaryl group, and more preferably the aryl group or the heteroaryl group is substituted with an alkyl group, an alkoxy group or a carbonyl group.
X1、X2及びX4が、CR1を表し、X3及びX5が、窒素原子を表すことがより好ましい。 More preferably, X 1 , X 2 and X 4 represent CR 1 , and X 3 and X 5 represent a nitrogen atom.
[一般式Y中、Rn1及びRn2は、それぞれ独立に、アルキル基を表す。Lは、連結基を表す。Y1~Y5は、それぞれ独立に、炭素原子又は窒素原子を表し、少なくとも2つ以上が窒素原子であり、そのうちの1つがNHであり、Y1~Y5で複素環を形成する。mは、1以上の整数を表す。] [In the general formula Y, Rn1 and Rn2 each independently represent an alkyl group. L represents a linking group. Y1 to Y5 each independently represent a carbon atom or a nitrogen atom, at least two of which are nitrogen atoms, one of which is NH, and Y1 to Y5 together form a heterocycle. m represents an integer of 1 or more.]
mは、1~4の整数を表すことがより好ましい。 More preferably, m represents an integer from 1 to 4.
一般式Yで表される構造を有する含窒素複素環化合物は、密着向上性の観点から、下記一般式2~4で表される構造を有することがより好ましい。
From the viewpoint of improving adhesion, it is more preferable that the nitrogen-containing heterocyclic compound having a structure represented by general formula Y has a structure represented by the following
R1が有してもよい置換基としては、例えば、アルキル基、アリール基、アルコキシ基、アリールオキシ基、カルボキシ基、エステル基、アミド基、ヘテロアリール基又はハロゲノ基(ハロゲン原子)等が挙げられる。 Examples of the substituent that R 1 may have include an alkyl group, an aryl group, an alkoxy group, an aryloxy group, a carboxy group, an ester group, an amide group, a heteroaryl group, and a halogeno group (a halogen atom).
R2は、アルキル基、アリール基、アルコキシ基、又はアリールオキシ基を表すことがより好ましい。 More preferably, R2 represents an alkyl group, an aryl group, an alkoxy group, or an aryloxy group.
mは、1~4の整数を表すことがより好ましい。 More preferably, m represents an integer from 1 to 4.
含窒素化合物の例を以下に挙げる。本発明に係る含窒素化合物はこれらに限定されない。 The following are examples of nitrogen-containing compounds. The nitrogen-containing compounds of the present invention are not limited to these.
本発明の表面改質剤が含有する吸着剤化合物は、一種のみでも二種以上でもよい。 The surface modifier of the present invention may contain only one type of adsorbent compound or two or more types of adsorbent compounds.
本発明の表面改質剤は、溶解性の観点から、溶剤化合物として少なくとも水又はアルコール類を含有することが好ましい。水は、特に限定されないが、不純物の含有量を減らす観点から、イオン交換水、蒸留水、純水等が好ましい。アルコール類としては、例えばメタノール、エタノール、2-プロパノール等が挙げられる。溶剤化合物として、水又はアルコール類を二種以上併用してもよい。 From the viewpoint of solubility, the surface modifier of the present invention preferably contains at least water or an alcohol as a solvent compound. The water is not particularly limited, but from the viewpoint of reducing the content of impurities, ion-exchanged water, distilled water, pure water, etc. are preferable. Examples of alcohols include methanol, ethanol, 2-propanol, etc. Two or more types of water or alcohols may be used in combination as the solvent compound.
水とアルコール類の質量比は、100:0~50:50の範囲内が好ましく、100:0~75:25の範囲内がより好ましい。これによって、吸着剤化合物の単分子層を形成しやすくなる。 The mass ratio of water to alcohol is preferably within the range of 100:0 to 50:50, and more preferably within the range of 100:0 to 75:25. This makes it easier to form a monolayer of the adsorbent compound.
吸着剤化合物の濃度は、表面改質剤全体に対して、0.001~0.01質量%の範囲内が好ましく、0.001~0.004質量%の範囲内がより好ましく、0.001~0.002質量%の範囲内がさらに好ましい。これによって、吸着剤化合物の単分子層を形成しやすくなる。 The concentration of the adsorbent compound is preferably in the range of 0.001 to 0.01% by mass, more preferably in the range of 0.001 to 0.004% by mass, and even more preferably in the range of 0.001 to 0.002% by mass, relative to the total surface modifier. This makes it easier to form a monolayer of the adsorbent compound.
表面改質剤は、上記以外の成分を含有していてもよい。他の成分としては、界面活性剤、防腐剤、安定化剤、酸、塩基、pH調整剤等が挙げられる。 The surface modifier may contain components other than those mentioned above. Other components include surfactants, preservatives, stabilizers, acids, bases, pH adjusters, etc.
表面改質剤のマグネシウムイオン濃度は、5質量ppm以下が好ましい。また、表面改質剤の硫化物イオン濃度は、5質量ppm以下が好ましい。これらによって、吸着剤化合物がマグネシウムイオンや硫化物イオンと反応してしまい、吸着剤化合物が金属層と反応しにくくなることを、抑制できる。 The magnesium ion concentration of the surface modifier is preferably 5 ppm by mass or less. The sulfide ion concentration of the surface modifier is preferably 5 ppm by mass or less. This prevents the adsorbent compound from reacting with magnesium ions or sulfide ions, which makes it difficult for the adsorbent compound to react with the metal layer.
[プリント配線板の製造方法]
本発明の表面改質剤は、プリント配線板の製造に用いることができる。具体的には、プリント配線板の製造において、パターン形成前の金属板(金属層)に、金属配線パターン形成用のエッチングレジスト(樹脂層)を接着させる際に、用いることができる。また、プリント配線板の製造において、パターン形成がされていてもされていなくてもよい金属板(金属層)に、樹脂フィルム、プリプレグ等の樹脂シート(樹脂層)を接着させる際に、用いることができる。
[Method of manufacturing a printed wiring board]
The surface modifier of the present invention can be used in the manufacture of printed wiring boards. Specifically, in the manufacture of printed wiring boards, it can be used when adhering an etching resist (resin layer) for forming a metal wiring pattern to a metal plate (metal layer) before pattern formation. In addition, in the manufacture of printed wiring boards, it can be used when adhering a resin sheet (resin layer) such as a resin film or prepreg to a metal plate (metal layer) that may or may not be patterned.
本発明のプリント配線板の製造方法の一実施形態は、金属層の上に、本発明の表面改質剤を塗布して、表面改質層を形成する工程を有する。本発明のプリント配線板の製造方法の一実施形態は、形成した表面改質層の上に、樹脂層を形成する工程を更に有する。 One embodiment of the method for producing a printed wiring board of the present invention includes a step of applying the surface modifier of the present invention onto a metal layer to form a surface modification layer. One embodiment of the method for producing a printed wiring board of the present invention further includes a step of forming a resin layer on the formed surface modification layer.
金属層に用いられる金属としては、例えば、金、銀、白金、亜鉛、パラジウム、ロジウム、オスミウム、ルテニウム、イリジウム、銅、ニッケル、コバルト、鉄、スズ、クロム、チタン、タンタル、タングステン、インジウム、アルミニウム、鉛、モリブデンなどの金属、又はこれらの合金を用いることができる。これら中でも、加工性や導電性の観点から、銅又は銅合金を主成分とすることが好ましい。「主成分」とは、50質量%以上含有される成分のことをいう。 Metals that can be used in the metal layer include, for example, gold, silver, platinum, zinc, palladium, rhodium, osmium, ruthenium, iridium, copper, nickel, cobalt, iron, tin, chromium, titanium, tantalum, tungsten, indium, aluminum, lead, molybdenum, and other metals, or alloys thereof. Among these, from the viewpoint of workability and electrical conductivity, it is preferable to use copper or a copper alloy as the main component. "Main component" refers to a component that is contained in an amount of 50% by mass or more.
金属層は、金属箔や、めっき、真空成膜法により形成することができる。 The metal layer can be formed using metal foil, plating, or vacuum deposition.
金属層の厚さは特に限定されず、例えば、形成する金属配線パターン等の厚さに応じた厚さとすればよい。 The thickness of the metal layer is not particularly limited, and may be, for example, a thickness that corresponds to the thickness of the metal wiring pattern to be formed.
本発明のプリント配線板の製造方法において表面改質剤を塗布する金属層は、絶縁層の上に金属層が形成された金属張積層板の金属層であってもよい。この場合、金属張積層板の絶縁層は、例えば樹脂シートやプリプレグである。 In the method for producing a printed wiring board of the present invention, the metal layer to which the surface modifier is applied may be the metal layer of a metal-clad laminate in which a metal layer is formed on an insulating layer. In this case, the insulating layer of the metal-clad laminate is, for example, a resin sheet or a prepreg.
表面改質層は、金属層の上に、本発明の表面改質剤を塗布し、乾燥させることで形成することができる。 The surface modification layer can be formed by applying the surface modification agent of the present invention onto a metal layer and drying it.
表面改質層の厚さは、特に限定されないが、密着向上性の観点から、15nm以下が好ましく、10nm以下がより好ましく、5nm以下がさらに好ましい。 The thickness of the surface modification layer is not particularly limited, but from the viewpoint of improving adhesion, it is preferably 15 nm or less, more preferably 10 nm or less, and even more preferably 5 nm or less.
樹脂層が含有する樹脂は、特に限定しないが、アクリロニトリル/スチレン共重合樹脂(AS樹脂)、アクリロニトリル/ブタジエン/スチレン共重合樹脂(ABS樹脂)、フッ素樹脂、ポリアミド、ポリエチレン、ポリエチレンテレフタレート、ポリ塩化ビニリデン、ポリ塩化ビニル、ポリカーボネート、ポリスチレン、ポリサルホン、ポリプロピレン、シクロポリオレフィン樹脂、液晶ポリマー等の熱可塑性樹脂や、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、ポリイミド、ポリウレタン、ビスマレイミド・トリアジン樹脂、変性ポリフェニレンエーテル、シアネートエステル等の熱硬化性樹脂、あるいは紫外線硬化性エポキシ樹脂、紫外線硬化性アクリル樹脂等の紫外線硬化性樹脂等を挙げることができる。これらの樹脂は官能基によって変性されていてもよく、ガラス繊維、アラミド繊維、その他の繊維等で強化されていてもよい。 The resin contained in the resin layer is not particularly limited, but examples thereof include thermoplastic resins such as acrylonitrile/styrene copolymer resin (AS resin), acrylonitrile/butadiene/styrene copolymer resin (ABS resin), fluororesin, polyamide, polyethylene, polyethylene terephthalate, polyvinylidene chloride, polyvinyl chloride, polycarbonate, polystyrene, polysulfone, polypropylene, cyclopolyolefin resin, and liquid crystal polymer, thermosetting resins such as epoxy resin, phenolic resin, polyimide, polyurethane, bismaleimide-triazine resin, modified polyphenylene ether, and cyanate ester, and ultraviolet-curing resins such as ultraviolet-curing epoxy resin and ultraviolet-curing acrylic resin. These resins may be modified with functional groups and may be reinforced with glass fibers, aramid fibers, and other fibers.
樹脂層がエッチングレジストである場合、例えば、アルカリ可溶性樹脂を含む紫外線硬化性エポキシ樹脂、紫外線硬化性アクリル樹脂、ポリイミドが好ましく用いられる。エッチングレジストは、フォトリソグラフィによるパターニングが可能な感光性樹脂を含有するものであれば特に限定されない。エッチングレジストは、ドライフィルムレジストでもよく、液状のレジストでもよい。また、エッチングレジストは、露光により感光した部分がパターンとなるネガ型であってもよく、露光により感光していない部分がパターンとなるポジ型のいずれであってもよい。 When the resin layer is an etching resist, for example, an ultraviolet-curable epoxy resin containing an alkali-soluble resin, an ultraviolet-curable acrylic resin, or a polyimide is preferably used. The etching resist is not particularly limited as long as it contains a photosensitive resin that can be patterned by photolithography. The etching resist may be a dry film resist or a liquid resist. The etching resist may be either a negative type in which the part exposed to light forms a pattern, or a positive type in which the part not exposed to light forms a pattern.
樹脂層が樹脂フィルム又はプリプレグである場合、例えば、フッ素樹脂やシクロポリオレフィン樹脂、液晶ポリマー、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、ポリイミド、ビスマレイミド・トリアジン樹脂、変性ポリフェニレンエーテル、シアネートエステルを含む樹脂が好ましく用いられる。 When the resin layer is a resin film or prepreg, for example, resins containing fluororesin, cyclopolyolefin resin, liquid crystal polymer, epoxy resin, phenolic resin, polyimide, bismaleimide-triazine resin, modified polyphenylene ether, and cyanate ester are preferably used.
以下、本発明の表面改質剤を用いて金属配線パターンを形成する方法の一例を示す。 Below is an example of a method for forming a metal wiring pattern using the surface modifier of the present invention.
プリント配線板の製造において、例えば以下の工程(A)~(F)を有することで、金属配線パターンを形成することができる。
工程(A):絶縁層の上に金属層が形成された金属張積層板を酸洗浄する工程
工程(B):前記金属張積層板の前記金属層の上に、本発明の表面改質剤を用いて表面改質層を形成する工程
工程(C):前記表面改質層の上に、感光性樹脂を含有するレジスト層を形成する工程
工程(D):前記レジスト層を、露光及び現像によりパターニングする工程
工程(E):前記レジスト層を介して、前記表面改質層及び前記金属層をエッチングする工程
工程(F):前記金属張積層板から前記レジスト層を剥離する工程
In the manufacture of a printed wiring board, for example, a metal wiring pattern can be formed by the following steps (A) to (F).
Step (A): A step of acid-washing a metal-clad laminate having a metal layer formed on an insulating layer. Step (B): A step of forming a surface-modified layer on the metal layer of the metal-clad laminate using the surface modifier of the present invention. Step (C): A step of forming a resist layer containing a photosensitive resin on the surface-modified layer. Step (D): A step of patterning the resist layer by exposure and development. Step (E): A step of etching the surface-modified layer and the metal layer through the resist layer. Step (F): A step of peeling off the resist layer from the metal-clad laminate.
各工程を図1~図6を用いながら説明する。 Each step will be explained using Figures 1 to 6.
工程(A)では、絶縁層1の上に金属層2が形成された金属張積層板5(図1参照。)を、酸洗浄する。これによって、表面改質剤と金属層との相互作用の阻害となる、金属表面に付着している汚れや酸化防止剤、酸化被膜などを除去できる。酸洗浄液は特に限定されず、従来公知のもの用いることができる。また、酸洗浄後に水洗してもよい。
In step (A), a metal-clad laminate 5 (see FIG. 1), in which a
絶縁層1は、プリント配線板の基材となる絶縁性の層である。絶縁層1は、樹脂等の絶縁材からなり、紙やガラスなどの基材に樹脂を含浸させたプリプレグであってもよい。
The insulating
工程(B)では、金属張積層板5の金属層2の上に、本発明の表面改質剤を用いて表面改質層3を形成する(図2参照。)。具体的には、金属層2の上に表面改質剤を塗布して、表面改質層3を形成する。
In step (B), the
工程(B)と次の工程(C)の間に、表面改質層3が形成された金属張積層板5を水洗する工程を有することが好ましい。これによって、金属層との相互作用が不十分で余分である表面改質剤を除去できる。
Between step (B) and the next step (C), it is preferable to have a step of washing the metal-clad
工程(C)では、表面改質層3の上に、感光性樹脂を含有するレジスト層4を形成する(図3参照。)。この状態の積層体6は、金属層2、表面改質層3及びレジスト層4を備える。
In step (C), a resist
レジスト層4には、上述のエッチングレジストを用いることができる。レジスト層4は、ドライフィルムレジストを貼合したり、液状のレジスト材料を塗布したりすることで形成できる。
The above-mentioned etching resist can be used for the resist
工程(D)では、レジスト層4を、露光及び現像によりパターニングする(図4参照。)。具体的には、レジスト層4を任意のパターン状に露光できるフォトマスクを用いてレジスト層4を露光し、その後、現像液を用いてレジスト層4のうち不要な部分を溶解除去することで、パターニングする。現像後には水洗することが好ましい。
In step (D), the resist
露光条件及び現像条件は、特に限定されず、従来公知のものを適用することができる。 The exposure and development conditions are not particularly limited, and conventionally known conditions can be used.
工程(E)では、レジスト層4を介して、表面改質層3及び金属層2をエッチングする(図5参照。)。具体的には、エッチング液を用いたウェットエッチングにより、レジスト層4が除去された部分の表面改質層3及び金属層2を溶解することで、表面改質層3及び金属層2をパターニングする。
In step (E), the
エッチング条件は、特に限定されず、従来公知のものを適用することができる。 The etching conditions are not particularly limited, and conventionally known conditions can be applied.
工程(F)では、金属張積層板5からレジスト層4を剥離する(図6参照。)。このとき、表面改質層3は金属層2上に残っていてもよく、レジスト層4とともに剥離されていてもよい。
In step (F), the resist
レジスト層4の剥離方法は特に限定されないが、剥離液を用いて剥離することが好ましい。当該剥離液は特に限定されず、従来公知のものを適用することができる。
The method for removing the resist
以上の工程により、金属配線パターン7を形成することができる。
The above steps allow the
この金属配線パターンの形成方法では、密着向上性の高い本発明の表面改質剤を用いることで、工程(E)での金属層とレジスト層の密着性が高い。これにより、金属層とレジスト層の間へのエッチング液の浸み込みを防止でき、高密度かつ高精細な金属配線パターンを形成することが可能となる。そのため、当該金属配線パターンを有するプリント配線板に、必要に応じた電子部品を取り付けることによって、高密度かつ高精細なプリント回路板を製造することが可能となる。 In this method for forming a metal wiring pattern, the surface modifier of the present invention, which has a high adhesion improving effect, is used, thereby achieving high adhesion between the metal layer and the resist layer in step (E). This makes it possible to prevent the etching solution from penetrating between the metal layer and the resist layer, making it possible to form a high-density, high-definition metal wiring pattern. Therefore, by attaching electronic components as required to a printed wiring board having the metal wiring pattern, it becomes possible to manufacture a high-density, high-definition printed circuit board.
以下、実施例を挙げて本発明を具体的に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。なお、下記実施例において、特記しない限り、操作は室温(25℃)で行われた。また、特記しない限り、「%」及び「部」は、それぞれ、「質量%」及び「質量部」を意味する。 The present invention will be specifically explained below with reference to examples, but the present invention is not limited to these. In the following examples, unless otherwise specified, operations were performed at room temperature (25°C). Furthermore, unless otherwise specified, "%" and "parts" mean "% by mass" and "parts by mass", respectively.
<表面改質剤の調製>
表Iに記載の質量比でイオン交換水とエタノールを混合し、溶媒を調製した。この溶媒に、表Iに記載の吸着剤化合物を、含有量が0.002質量%(20質量ppm)となるように添加した。これにより、各表面改質剤(本発明1~16、比較例1~6)を調製した。吸着剤化合物の構造は以下に示すとおりである。
<Preparation of Surface Modifier>
A solvent was prepared by mixing ion-exchanged water and ethanol in the mass ratio shown in Table I. To this solvent, an adsorbent compound shown in Table I was added so that the content was 0.002 mass% (20 mass ppm). In this way, each surface modifier (
各表面改質剤のマグネシウムイオン濃度、pH、及び硫化物イオン濃度を、JIS K 0101の工業水試験方法に従って測定した。測定結果は表Iに示すとおりである。 The magnesium ion concentration, pH, and sulfide ion concentration of each surface modifier were measured according to the industrial water testing method of JIS K 0101. The measurement results are shown in Table I.
<金属配線パターンの形成(表面改質剤の塗布後の水洗処理なし)>
下記工程(A)~(F)を行い、金属配線パターンを形成した。
<Formation of metal wiring pattern (no washing treatment after application of surface modifier)>
The following steps (A) to (F) were carried out to form a metal wiring pattern.
[工程(A)]
絶縁層の上に金属層が形成された10cm×10cmの銅張積層板(パナソニック社製R-1766)を酸洗浄した。酸洗浄には、酸洗浄液(サンワ化学工業社製CP-30)とスプレー型の洗浄装置を用いた。次いで、当該銅張積層板を水洗した。
[Step (A)]
A 10 cm x 10 cm copper-clad laminate (R-1766 manufactured by Panasonic Corporation) having a metal layer formed on an insulating layer was subjected to acid cleaning. For the acid cleaning, an acid cleaning solution (CP-30 manufactured by Sanwa Chemical Industry Co., Ltd.) and a spray-type cleaning device were used. The copper-clad laminate was then washed with water.
[工程(B)]
酸洗浄及び水洗をした銅張積層板の金属層の上に対して、100mLの表面改質剤を、スプレー装置にて循環させながら1分間塗布した。このスプレー装置は、銅張積層板に付着せず余剰となった表面改質剤が、タンクを経由して循環し、繰り返し塗布される仕組みになっている。塗布のスプレー圧は0.2MPaとし、塗布温度は25℃とした。表面改質剤の塗布後、水洗処理をせずに、金属層の上をPVAローラーにて水切りし、80℃のエアナイフにて乾燥させて、表面改質層を形成した。
[Step (B)]
100 mL of the surface modifier was applied for 1 minute on the metal layer of the copper-clad laminate that had been acid-washed and washed with water, while circulating it with a spray device. This spray device is designed so that the excess surface modifier that did not adhere to the copper-clad laminate is circulated through a tank and repeatedly applied. The spray pressure for application was 0.2 MPa, and the application temperature was 25°C. After application of the surface modifier, the metal layer was drained with a PVA roller without washing with water, and dried with an air knife at 80°C to form a surface-modified layer.
なお、吸光度変化率Zを求めるために、工程(B)の前後で、表面改質剤の吸光度X及び吸光度Yを測定した。まず、塗布前に、表面改質剤の吸光度Xを測定した。また、塗布後に、スプレー装置のタンクに残っている表面改質剤を取り出し、表面改質剤の吸光度Yを測定した。各吸光度は、分光光度測定で得られる吸収スペクトルの300~800nmの波長域内における最大吸収極大の吸光度を採用した。分光光度測定には、分光光度計U-3900H(日立ハイテク社製)を用いた。測定した吸光度X及び吸光度Yから下記式Aにより求めた吸光度変化率Zは、表Iに示すとおりである。
式A Z[%]=(X-Y)/X×100
In order to determine the absorbance change rate Z, the absorbance X and absorbance Y of the surface modifier were measured before and after step (B). First, the absorbance X of the surface modifier was measured before application. After application, the surface modifier remaining in the tank of the spray device was removed, and the absorbance Y of the surface modifier was measured. Each absorbance was the absorbance of the maximum absorption maximum in the wavelength range of 300 to 800 nm of the absorption spectrum obtained by spectrophotometric measurement. A spectrophotometer U-3900H (manufactured by Hitachi High-Tech Corporation) was used for the spectrophotometric measurement. The absorbance change rate Z calculated from the measured absorbance X and absorbance Y using the following formula A is as shown in Table I.
Formula A Z [%] = (X-Y) / X x 100
[工程(C)]
形成した表面改質層の上に、ドライフィルムレジスト(旭化成社製AK-4034)を、ホットロールラミネーターによりラミネートして、レジスト層を形成した。ラミネートの条件は、ロール温度105℃、エアー圧力0.35MPa、及びラミネート速度1.5m/minとした。使用したドライフィルムレジストは、一方の面にポリエチレンテレフタレートフィルムからなる支持体を有し、もう一方の面にポリエチレンフィルムからなる保護層を有する。ラミネートは、保護層を剥離しながら、保護層があった面を、表面改質層を介して金属層と接着させるようにして、行った。
[Step (C)]
A dry film resist (AK-4034 manufactured by Asahi Kasei Corporation) was laminated on the formed surface modified layer by a hot roll laminator to form a resist layer. The lamination conditions were a roll temperature of 105°C, an air pressure of 0.35 MPa, and a lamination speed of 1.5 m/min. The dry film resist used had a support made of a polyethylene terephthalate film on one side and a protective layer made of a polyethylene film on the other side. The lamination was performed by peeling off the protective layer while adhering the surface where the protective layer was located to the metal layer via the surface modified layer.
[工程(D)]
クロムガラスマスクを用いて、平行光露光機(オーク社製HMW-801)により、レジスト層に露光した。露光条件には、ドライフィルムレジストの推奨条件である、60mj/cm2を採用した。マスクパターンは、ライン/スペースが50μm/50μmとなるラインを100本形成するものを使用した。露光後のレジスト層から支持体を剥離した。その後、炭酸ナトリウム(Na2CO3)1質量%の水溶液からなる現像液、及びアルカリ現像機を用いて、30℃の条件で、レジスト層の未露光部分を溶解除去した。次いで、レジスト層を水洗して、現像した。以上の操作により、レジスト層をパターニングした。
[Step (D)]
The resist layer was exposed to light using a parallel light exposure machine (Oak HMW-801) using a chrome glass mask. The exposure conditions were 60 mj/cm 2 , which is the recommended condition for dry film resist. The mask pattern used was one that formed 100 lines with a line/space of 50 μm/50 μm. The support was peeled off from the resist layer after exposure. Then, using a developer consisting of an aqueous solution of 1 mass % sodium carbonate (Na 2 CO 3 ) and an alkali developer, the unexposed portion of the resist layer was dissolved and removed under conditions of 30° C. Next, the resist layer was washed with water and developed. The resist layer was patterned by the above operations.
[工程(E)]
ディップ方式にて、温度30℃、ディップ時間1分の条件で、表面改質層及び金属層をエッチングした。エッチング液には塩酸(HCl)2質量%及び塩化第二鉄(FeCl3)2質量%の水溶液を用いた。
[Step (E)]
The surface modification layer and the metal layer were etched by a dipping method under conditions of a temperature of 30° C. and a dipping time of 1 minute. An aqueous solution of 2 mass % hydrochloric acid (HCl) and 2 mass % ferric chloride (FeCl 3 ) was used as the etching solution.
[工程(F)]
水酸化ナトリウム(NaOH)3質量%の水溶液からなる剥離液を用いて、温度50℃の条件で、銅張積層板からレジスト層を剥離した。
[Step (F)]
The resist layer was stripped from the copper-clad laminate at 50° C. using a stripping solution consisting of an aqueous solution of 3 mass % sodium hydroxide (NaOH).
<金属配線パターンの形成(表面改質剤の塗布後の水洗処理あり)>
工程(B)のみを以下のように変更した以外は上記工程(A)~(F)と同様にして、調製した表面改質剤のうちいくつかを選択して用い、金属配線パターンを形成した。
<Formation of metal wiring pattern (with water washing treatment after application of surface modifier)>
Metal wiring patterns were formed using selected ones of the prepared surface modifiers in the same manner as in the above steps (A) to (F), except that only step (B) was changed as follows.
工程(B)のうち、表面改質剤の塗布までは上記と同様に行った。表面改質剤の塗布後、水洗処理として、スプレー装置にて水を50秒間塗布した。水の塗布のスプレー圧は0.2MPaとし、塗布温度は25℃とした。 In step (B), the process was carried out in the same manner as above up to the application of the surface modifier. After the application of the surface modifier, water was applied for 50 seconds using a spray device as a water rinsing treatment. The spray pressure for applying water was 0.2 MPa, and the application temperature was 25°C.
次いで、金属層の上をPVAローラーにて水切りし、80℃のエアナイフにて乾燥させて、表面改質層を形成した。この表面改質層の厚さは、表IIに示すとおりであった。 Then, the metal layer was drained with a PVA roller and dried with an air knife at 80°C to form a surface-modified layer. The thickness of this surface-modified layer was as shown in Table II.
<レジスト密着性>
形成した金属配線パターンを顕微鏡にて観察を行い、下記の基準でレジスト密着性を評価した。レジスト密着性が高い程、金属層とレジスト層の間へのエッチング液の浸み込みを防止でき、金属配線の残存率が高くなる。評価結果は表IIに示すとおりであった。
AA:金属配線の残存率が99%以上である。
A :金属配線の残存率が97%以上99%未満である。
B :金属配線の残存率が95%以上97%未満である。
C :金属配線の残存率が95%未満である。
<Resist adhesion>
The formed metal wiring pattern was observed under a microscope, and the resist adhesion was evaluated according to the following criteria. The higher the resist adhesion, the more the etching solution can be prevented from penetrating between the metal layer and the resist layer, and the higher the remaining rate of the metal wiring. The evaluation results are shown in Table II.
AA: The remaining rate of the metal wiring is 99% or more.
A: The remaining rate of the metal wiring is 97% or more and less than 99%.
B: The remaining rate of the metal wiring is 95% or more and less than 97%.
C: The remaining rate of the metal wiring is less than 95%.
<密着ばらつき>
金属配線パターンを同様に10個形成し、それぞれのレジスト密着性を評価した。10個のレジスト密着性の評価結果に基づいて、下記の基準で密着ばらつきを評価した。評価結果は表IIに示すとおりであった。
A:10個の全てで、評価結果が同じである。
B:10個のうち1個、評価結果が異なる。
C:10個のうち2個以上、評価結果が異なる。
<Adhesion variation>
Ten metal wiring patterns were formed in the same manner, and the resist adhesion of each was evaluated. Based on the evaluation results of the ten resist adhesions, the adhesion variation was evaluated according to the following criteria. The evaluation results are shown in Table II.
A: The evaluation results are the same for all 10 pieces.
B: One out of ten had a different evaluation result.
C: Two or more out of 10 have different evaluation results.
以上の結果から、本発明の表面改質剤は、比較例の表面改質剤と比べて、金属層と樹脂層との間の密着性をより向上させることができるものであることが確認できる。 These results confirm that the surface modifier of the present invention can further improve the adhesion between the metal layer and the resin layer compared to the surface modifier of the comparative example.
1 絶縁層
2 金属層
3 表面改質層
4 レジスト層
5 金属張積層板
6 積層体
7 金属配線パターン
1 Insulating
Claims (11)
下記式Aで求められる吸光度変化率Zが、5~30%の範囲内である
ことを特徴とする表面改質剤。
式A Z[%]=(X-Y)/X×100
[塗布前の前記表面改質剤の吸光度を、吸光度Xとする。銅板への塗布後に前記銅板に付着せず余剰となった前記表面改質剤の吸光度を、吸光度Yとする。各吸光度は、分光光度測定で得られる吸収スペクトルの300~800nmの波長域内における最大吸収極大の吸光度を採用する。] A surface modifier that forms a surface modification layer between a metal layer and a resin layer,
A surface modifier characterized in that a rate of change in absorbance Z calculated by the following formula A is within a range of 5 to 30%.
Formula A Z [%] = (X-Y) / X x 100
[The absorbance of the surface modifier before application is defined as absorbance X. The absorbance of the excess surface modifier that does not adhere to the copper plate after application to the copper plate is defined as absorbance Y. Each absorbance is the absorbance of the maximum absorption maximum in the wavelength range of 300 to 800 nm of the absorption spectrum obtained by spectrophotometric measurement.]
ことを特徴とする請求項1に記載の表面改質剤。 2. The surface modifier according to claim 1, wherein the absorbance change rate Z is within a range of 10 to 30%.
ことを特徴とする請求項1に記載の表面改質剤。 2. The surface modifier according to claim 1, wherein the absorbance change rate Z is within a range of 15 to 25%.
前記吸着剤化合物が、含窒素化合物である
ことを特徴とする請求項1に記載の表面改質剤。 containing an adsorbent compound,
The surface modifier of claim 1 , wherein the adsorbent compound is a nitrogen-containing compound.
前記吸着剤化合物が、含窒素化合物であり、
前記溶剤化合物が、水又はアルコール類である
ことを特徴とする請求項1に記載の表面改質剤。 comprising an adsorbent compound and a solvent compound;
the adsorbent compound is a nitrogen-containing compound;
The surface modifier according to claim 1 , wherein the solvent compound is water or an alcohol.
前記吸着剤化合物が、含窒素複素環化合物であり、
前記溶剤化合物が、水又はアルコール類である
ことを特徴とする請求項1に記載の表面改質剤。 comprising an adsorbent compound and a solvent compound;
the adsorbent compound is a nitrogen-containing heterocyclic compound;
The surface modifier according to claim 1 , wherein the solvent compound is water or an alcohol.
前記吸着剤化合物が、6-5縮合環、5-5縮合環、及び5員環のうち少なくともいずれかを有する含窒素複素環化合物であり、
前記溶剤化合物が、水又はアルコール類である
ことを特徴とする請求項1に記載の表面改質剤。 comprising an adsorbent compound and a solvent compound;
the adsorbent compound is a nitrogen-containing heterocyclic compound having at least one of a 6-5 fused ring, a 5-5 fused ring, and a 5-membered ring,
The surface modifier according to claim 1 , wherein the solvent compound is water or an alcohol.
前記吸着剤化合物が、下記一般式W、一般式X、又は一般式Yで表される構造を有する含窒素複素環化合物であり、
前記溶剤化合物が、水又はアルコール類である
ことを特徴とする請求項1に記載の表面改質剤。
The adsorbent compound is a nitrogen-containing heterocyclic compound having a structure represented by the following general formula W, general formula X, or general formula Y:
The surface modifier according to claim 1 , wherein the solvent compound is water or an alcohol.
金属層の上に、請求項1から請求項8までのいずれか一項に記載の表面改質剤を塗布して、厚さ15nm以下の表面改質層を形成する工程を有する
ことを特徴とするプリント配線板の製造方法。 A method for manufacturing a printed wiring board, comprising the steps of:
A method for producing a printed wiring board, comprising the step of applying the surface modifier according to any one of claims 1 to 8 onto a metal layer to form a surface modified layer having a thickness of 15 nm or less.
ことを特徴とする請求項9に記載のプリント配線板の製造方法。 The method for producing a printed wiring board according to claim 9, wherein the surface modification layer has a thickness of 5 nm or less.
ことを特徴とする請求項9に記載のプリント配線板の製造方法。 The method for producing a printed wiring board according to claim 9, wherein the metal layer is a layer containing copper or a copper alloy as a main component.
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