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JP2024063458A - Liquid ejection head and manufacturing method thereof - Google Patents

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JP2024063458A
JP2024063458A JP2022171430A JP2022171430A JP2024063458A JP 2024063458 A JP2024063458 A JP 2024063458A JP 2022171430 A JP2022171430 A JP 2022171430A JP 2022171430 A JP2022171430 A JP 2022171430A JP 2024063458 A JP2024063458 A JP 2024063458A
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JP
Japan
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wires
recording element
connection
element substrate
liquid ejection
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Pending
Application number
JP2022171430A
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Japanese (ja)
Inventor
和彦 江島
Kazuhiko Ejima
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Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
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Publication date
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Abstract

【課題】液体吐出ヘッドの電気的信頼性を確保する。【解決手段】液体吐出ヘッド10は、所定の配列方向に配列された複数の電極端子11を有する記録素子基板1と、複数の電極端子11に対向する位置に設けられた複数の接続端子12と、複数の電極端子11と複数の接続端子12とを電気的に接続する複数のワイヤー13と、複数の電極端子11と複数の接続端子12と複数のワイヤー13とを含む電気接続部11~13を封止する封止部5,6と、を有し、複数のワイヤー13の配列方向の端部に位置する少なくとも1つのワイヤー13bの接続端子12bに対する接続位置17は、他のワイヤー13aの接続端子12aに対する接続位置16よりも記録素子基板1に近い。【選択図】図2[Problem] To ensure electrical reliability of a liquid ejection head. [Solution] A liquid ejection head 10 has a recording element substrate 1 having a plurality of electrode terminals 11 arranged in a predetermined arrangement direction, a plurality of connection terminals 12 provided at positions facing the plurality of electrode terminals 11, a plurality of wires 13 electrically connecting the plurality of electrode terminals 11 and the plurality of connection terminals 12, and sealing portions 5, 6 sealing the electrical connection portions 11-13 including the plurality of electrode terminals 11, the plurality of connection terminals 12, and the plurality of wires 13, and a connection position 17 for at least one wire 13b located at an end of the arrangement direction of the plurality of wires 13 to a connection terminal 12b is closer to the recording element substrate 1 than a connection position 16 for the connection terminal 12a of the other wires 13a. [Selected Figure] Figure 2

Description

本発明は、液体吐出ヘッドおよびその製造方法に関する。 The present invention relates to a liquid ejection head and a manufacturing method thereof.

液体吐出ヘッドのワイヤーボンディングによる電気接続部は、一般に、液体や外力から保護するために封止材で封止されており、こうした封止部の信頼性を高める方法として、粘度の異なる2種類の封止材を用いる方法がある。この方法では、低粘度の封止材をワイヤー同士の細かな隙間などに充填した後、その上に高粘度の封止材を塗布し、その後、熱硬化により封止材を硬化させる。しかしながら、低粘度の封止材は流動性が高いため、不要な領域にまで流れ出してしまい、その結果、封止部全体の厚みが薄くなり、液体の浸透による腐食のために電気接続部が損傷を受けるおそれがある。特許文献1には、封止材の流れ出しを抑制するために、封止材で封止すべき被封止領域を囲むように補助ワイヤーによる流れ止めを形成する技術が記載されている。 Electrical connections made by wire bonding in liquid ejection heads are generally sealed with a sealant to protect them from liquids and external forces. To improve the reliability of such seals, two types of sealants with different viscosities are used. In this method, low-viscosity sealant is filled into small gaps between wires, and then high-viscosity sealant is applied on top of it, and the sealant is then hardened by thermal curing. However, because low-viscosity sealant has high fluidity, it flows out into unnecessary areas, resulting in a thin overall sealing part and the risk of damage to the electrical connections due to corrosion caused by liquid penetration. Patent Document 1 describes a technology in which a flow stopper is formed using auxiliary wires to surround the sealed area to be sealed with sealant in order to prevent the sealant from flowing out.

特開2009-128971号公報JP 2009-128971 A

しかしながら、特許文献1に記載の技術は、被封止領域を囲むように補助的なワイヤーボンディングを行うことで封止材の平面的な流れ出しを抑制しているため、そのようなワイヤーボンディングが行える場合に適用範囲が限定されてしまう。
そこで、本発明の目的は、電気的信頼性を確保する液体吐出ヘッドおよびその製造方法を提供することである。
However, the technology described in Patent Document 1 suppresses planar outflow of the sealing material by performing auxiliary wire bonding to surround the sealed area, so the range of application is limited to cases where such wire bonding can be performed.
SUMMARY OF THE PRESENT EMBODIMENT An object of the present invention is to provide a liquid ejection head that ensures electrical reliability and a method for manufacturing the same.

上述した目的を達成するために、本発明の液体吐出ヘッドは、所定の配列方向に配列された複数の電極端子を有する記録素子基板と、複数の電極端子に対向する位置に設けられた複数の接続端子と、複数の電極端子と複数の接続端子とを電気的に接続する複数のワイヤーと、複数の電極端子と複数の接続端子と複数のワイヤーとを含む電気接続部を封止する封止部と、を有し、複数のワイヤーの配列方向の端部に位置する少なくとも1つのワイヤーの接続端子に対する接続位置は、他のワイヤーの接続端子に対する接続位置よりも記録素子基板に近い。
また、本発明の液体吐出ヘッドの製造方法は、所定の配列方向に配列された複数の電極端子を有する記録素子基板と、複数の電極端子に対向する位置に設けられた複数の接続端子と、を有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、複数の電極端子と複数の接続端子とをワイヤーボンディングにより複数のワイヤーで電気的に接続し、複数の電極端子と複数の接続端子と複数のワイヤーとを含む電気接続部を形成する工程と、電気接続部を封止する封止部を形成する工程と、を含み、電気接続部を形成する工程が、複数のワイヤーの配列方向の端部に位置する少なくとも1つのワイヤーを、他のワイヤーよりも記録素子基板に近い位置で接続端子に接続することを含んでいる。
In order to achieve the above-mentioned object, the liquid ejection head of the present invention has a recording element substrate having a plurality of electrode terminals arranged in a predetermined arrangement direction, a plurality of connection terminals provided at positions opposite the plurality of electrode terminals, a plurality of wires electrically connecting the plurality of electrode terminals and the plurality of connection terminals, and a sealing portion that seals the electrical connection portion including the plurality of electrode terminals, the plurality of connection terminals, and the plurality of wires, and the connection position of at least one wire located at the end of the arrangement direction of the plurality of wires to the connection terminal is closer to the recording element substrate than the connection positions of the other wires to the connection terminals.
In addition, the manufacturing method of a liquid ejection head of the present invention is a manufacturing method of a liquid ejection head having a recording element substrate having a plurality of electrode terminals arranged in a predetermined arrangement direction, and a plurality of connection terminals provided at positions opposite the plurality of electrode terminals, and includes a step of electrically connecting the plurality of electrode terminals and the plurality of connection terminals with a plurality of wires by wire bonding to form an electrical connection portion including the plurality of electrode terminals, the plurality of connection terminals, and the plurality of wires, and a step of forming a sealing portion that seals the electrical connection portion, wherein the step of forming the electrical connection portion includes connecting at least one wire located at an end of the plurality of wires in the arrangement direction to the connection terminal at a position closer to the recording element substrate than the other wires.

本発明によれば、液体吐出ヘッドの電気的信頼性を確保することができる。 The present invention ensures electrical reliability of the liquid ejection head.

一実施形態に係る液体吐出ヘッドの斜視図および平面図である。1A and 1B are a perspective view and a plan view of a liquid ejection head according to an embodiment; 一実施形態に係る液体吐出ヘッドの平面図および断面図である。1A and 1B are a plan view and a cross-sectional view of a liquid ejection head according to an embodiment. 一実施形態に係る液体吐出ヘッドの製造方法の各工程を示す平面図である。5A to 5C are plan views illustrating steps of a method for manufacturing a liquid ejection head according to an embodiment of the present invention. 比較例において第1の封止材が流動する様子を示す平面図である。FIG. 11 is a plan view showing a state in which a first sealing material flows in a comparative example. 本実施形態において第1の封止材が流動する様子を示す平面図である。4 is a plan view showing a state in which a first sealing material flows in the embodiment. FIG. 一実施形態に係る第2のワイヤーの変形例を示す平面図である。FIG. 13 is a plan view showing a modified example of the second wire according to the embodiment.

以下、図面を参照して、本発明の実施の形態について説明する。 The following describes an embodiment of the present invention with reference to the drawings.

図1(a)および図1(b)はそれぞれ、本発明の一実施形態に係る液体吐出ヘッドの斜視図および平面図である。図1(c)は、図1(b)のA-A線に沿った断面図である。
液体吐出ヘッド10は、記録素子基板1と、電気配線基板2と、支持部材3と、保護部材4と、第1の封止材5と、第2の封止材6とを有している。記録素子基板1と電気配線基板2は、接着剤8a,8b(図3(b)、図3(d)参照)により支持部材3に接合されている。記録素子基板1と電気配線基板2は、液体を吐出するための電気信号や電力を電気配線基板2から記録素子基板1に供給するために、後述する電極端子11、接続端子12、およびワイヤー13を含む電気接続部11~13により互いに電気的に接続されている。その電気接続部11~13は、液体や外力から保護するために第1の封止材5と第2の封止材6とからなる封止部5,6によって封止されている。保護部材4は、接着剤8c(図3(g)参照)により電気配線基板2と支持部材3とに接合され、矩形状の記録素子基板1を露出させる矩形状の開口部4aを備えている。これにより、記録素子基板1と保護部材4との間には溝状の隙間Sが形成され、詳細は後述するが、第1の封止材5は、この隙間Sに充填されている。
Figures 1(a) and 1(b) are respectively a perspective view and a plan view of a liquid ejection head according to an embodiment of the present invention, and Figure 1(c) is a cross-sectional view taken along line AA in Figure 1(b).
The liquid ejection head 10 includes a recording element substrate 1, an electric wiring substrate 2, a support member 3, a protective member 4, a first sealing material 5, and a second sealing material 6. The recording element substrate 1 and the electric wiring substrate 2 are joined to the support member 3 by adhesives 8a and 8b (see FIG. 3(b) and FIG. 3(d)). The recording element substrate 1 and the electric wiring substrate 2 are electrically connected to each other by electric connection parts 11 to 13 including electrode terminals 11, connection terminals 12, and wires 13 described later in order to supply electric signals and power for ejecting liquid from the electric wiring substrate 2 to the recording element substrate 1. The electric connection parts 11 to 13 are sealed by sealing parts 5 and 6 consisting of a first sealing material 5 and a second sealing material 6 in order to protect them from liquid and external forces. The protective member 4 is joined to the electric wiring substrate 2 and the support member 3 by an adhesive 8c (see FIG. 3(g)), and has a rectangular opening 4a that exposes the rectangular recording element substrate 1. As a result, a groove-shaped gap S is formed between the recording element substrate 1 and the protective member 4, and the first sealing material 5 is filled into this gap S, as will be described in detail later.

図2(a)は、本実施形態の液体吐出ヘッドの平面図であり、図1(b)から第1および第2の封止材の図示を省略した図である。図2(b)は、図2(a)の点線で囲まれた領域を拡大して示す平面図であり、図2(c)および図2(d)はそれぞれ、図2(b)のB-B線およびC-C線に沿った断面図である。
記録素子基板1は、インクなどの液体を吐出する複数の吐出口(図示せず)と、液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生する複数のエネルギー発生素子(図示せず)とを有している。また、記録素子基板1は、長側面(第1の側面)1aに隣接して設けられ、長手方向(所定の配列方向)に配列された複数の電極端子11を有している。複数の電極端子11は、エネルギー発生素子に電気信号を供給する複数の第1の電極端子11aと、複数の第2の電極端子11bとを含んでいる。第2の電極端子11bは、複数の電極端子11の配列方向の両端部に設けられ、エネルギー発生素子への電気信号の供給には寄与しないダミー端子である。これに応じて、電気配線基板2は、複数の電極端子11に対向する位置に設けられた複数の接続端子12を有している。複数の接続端子12は、記録素子基板1に電気信号を供給する複数の第1の接続端子12aと、複数の第2の接続端子12bとを含んでいる。第2の接続端子12bは、複数の接続端子12の配列方向の両端部に設けられ、記録素子基板1への電気信号の供給には寄与しないダミー端子である。
Fig. 2(a) is a plan view of the liquid ejection head of this embodiment, with the first and second sealing materials omitted from Fig. 1(b). Fig. 2(b) is an enlarged plan view of the area surrounded by the dotted line in Fig. 2(a), and Fig. 2(c) and Fig. 2(d) are cross-sectional views taken along lines B-B and C-C in Fig. 2(b), respectively.
The recording element substrate 1 has a plurality of ejection ports (not shown) for ejecting liquid such as ink, and a plurality of energy generating elements (not shown) for generating energy used to eject the liquid. The recording element substrate 1 also has a plurality of electrode terminals 11 arranged adjacent to the long side surface (first side surface) 1a and arranged in the longitudinal direction (predetermined arrangement direction). The plurality of electrode terminals 11 include a plurality of first electrode terminals 11a that supply electric signals to the energy generating elements, and a plurality of second electrode terminals 11b. The second electrode terminals 11b are dummy terminals that are provided at both ends of the arrangement direction of the plurality of electrode terminals 11 and do not contribute to the supply of electric signals to the energy generating elements. In response to this, the electrical wiring substrate 2 has a plurality of connection terminals 12 provided at positions facing the plurality of electrode terminals 11. The plurality of connection terminals 12 include a plurality of first connection terminals 12a that supply electric signals to the recording element substrate 1, and a plurality of second connection terminals 12b. The second connection terminals 12 b are provided at both ends of the multiple connection terminals 12 in the arrangement direction, and are dummy terminals that do not contribute to the supply of electrical signals to the recording element substrate 1 .

複数の電極端子11と複数の接続端子12は、ワイヤーを用いたワイヤーボンディングによって電気的に接続されている。すなわち、液体吐出ヘッド10は、複数の電極端子11と複数の接続端子12とを電気的に接続する複数のワイヤー13を有している。複数のワイヤー13は、第1のワイヤー列14と、第1のワイヤー列14の両側にそれぞれ配置された第2のワイヤー列15とを構成している。第1のワイヤー列14は、第1の電極端子11aと第1の接続端子12aとを接続する複数の第1のワイヤー13aからなり、第2のワイヤー列15は、第2の電極端子11bと第2の接続端子12bとを接続する複数の第2のワイヤー13bからなる。したがって、第2のワイヤー13bは、電気配線基板2から記録素子基板1への電気信号の供給に寄与しないダミーワイヤーである。第2のワイヤー列15の第2の接続端子12bに対するボンディング位置(接続位置)17は、第1のワイヤー列14の第1の接続端子12aに対するボンディング位置(接続位置)16よりも記録素子基板1に近接している。これにより、後述するように、記録素子基板1と保護部材4との隙間Sに注入される低粘度の第1の封止材5の不要な流れ出しを抑制することができる。 The electrode terminals 11 and the connection terminals 12 are electrically connected by wire bonding using wires. That is, the liquid ejection head 10 has a plurality of wires 13 that electrically connect the electrode terminals 11 and the connection terminals 12. The wires 13 constitute a first wire row 14 and a second wire row 15 arranged on both sides of the first wire row 14. The first wire row 14 is made up of a plurality of first wires 13a that connect the first electrode terminal 11a and the first connection terminal 12a, and the second wire row 15 is made up of a plurality of second wires 13b that connect the second electrode terminal 11b and the second connection terminal 12b. Therefore, the second wires 13b are dummy wires that do not contribute to the supply of electrical signals from the electrical wiring board 2 to the recording element board 1. The bonding position (connection position) 17 for the second connection terminal 12b of the second wire row 15 is closer to the recording element substrate 1 than the bonding position (connection position) 16 for the first connection terminal 12a of the first wire row 14. This makes it possible to suppress unnecessary outflow of the low-viscosity first sealing material 5 injected into the gap S between the recording element substrate 1 and the protective member 4, as described below.

次に、図3を参照して、本実施形態の液体吐出ヘッドの製造方法について説明する。図3(a)から図3(i)は、本実施形態の製造方法の各工程における液体吐出ヘッドの平面図である。 Next, the manufacturing method of the liquid ejection head of this embodiment will be described with reference to FIG. 3. FIG. 3(a) to FIG. 3(i) are plan views of the liquid ejection head in each step of the manufacturing method of this embodiment.

まず、図3(a)に示すように、記録素子基板1に液体を供給するための流路7が形成された支持部材3を用意する。支持部材3の形状およびサイズは、記録素子基板1と電気配線基板2を接合できる形状およびサイズであれば特に限定されず、その材料も、セラミック、樹脂、金属などから幅広く選択することができる。本実施形態では、後述する接着剤8aとして熱硬化型のものが採用されるため、支持部材3の材料としては、耐熱性に優れ、線膨張係数が小さいアルミナが用いられる。
次に、図3(b)に示すように、支持部材3の流路7の開口部周縁に沿って、エポキシ樹脂からなる熱硬化型の接着剤8aを塗布する。そして、記録素子基板1に形成された供給路(図示せず)の位置を支持部材3の流路7の位置に合わせ、記録素子基板1を加熱しながら支持部材2に貼り合わせる。こうして、図3(c)に示すように、記録素子基板1は支持部材3に接合される。
次に、図3(d)に示すように、支持部材3の電気配線基板2が接合される位置に、エポキシ樹脂からなる熱硬化型の接着剤8bを塗布した後、加熱圧着により、図3(e)に示すように、電気配線基板2を支持部材3に接合する。
3A, a support member 3 is prepared in which a flow path 7 is formed for supplying liquid to the recording element substrate 1. The shape and size of the support member 3 are not particularly limited as long as they are capable of joining the recording element substrate 1 and the electric wiring substrate 2, and the material thereof can be selected from a wide range of materials such as ceramics, resins, and metals. In this embodiment, a thermosetting adhesive 8a, which will be described later, is used as the material for the support member 3, and therefore alumina, which has excellent heat resistance and a small linear expansion coefficient, is used.
Next, as shown in Fig. 3(b), a thermosetting adhesive 8a made of epoxy resin is applied along the periphery of the opening of the flow path 7 of the support member 3. Then, the position of the supply path (not shown) formed in the recording element substrate 1 is aligned with the position of the flow path 7 of the support member 3, and the recording element substrate 1 is bonded to the support member 2 while being heated. In this way, the recording element substrate 1 is joined to the support member 3, as shown in Fig. 3(c).
Next, as shown in FIG. 3( d ), a thermosetting adhesive 8 b made of epoxy resin is applied to the position of the support member 3 where the electric wiring board 2 is to be joined, and then the electric wiring board 2 is joined to the support member 3 by heat and pressure bonding, as shown in FIG. 3( e ).

次に、キャピラリ(図示せず)を用いたワイヤーボンディングを行い、図3(f)に示すように、複数の電極端子11と複数の接続端子12とを複数のワイヤー13で電気的に接続する。具体的には、複数のワイヤー13の配列方向の両端部に位置するワイヤー列15を中央部に位置するワイヤー列14よりも記録素子基板1に近い位置で接続端子12に接続するように、複数のワイヤー13のボンディングを行う。こうして、複数の電極端子11と複数の接続端子12と複数のワイヤー13とを含む、記録素子基板1と電気配線基板2の電気接続部11~13が形成される。
次に、図3(g)に示すように、支持部材3と電気配線基板2に、エポキシ樹脂からなる熱硬化型の接着剤8cを枠状に塗布し、加熱圧着により、図3(h)に示すように、保護部材4を支持部材3と電気配線基板2に接合する。このとき、保護部材4は、開口部4aから記録素子基板1と電気配線基板2の複数の接続端子12が露出する位置で電気配線基板2に接合される。なお、保護部材4の形状は、電気配線基板2を保護するために電気配線基板2の一部を覆い、それにより、記録素子基板1との間に複数の接続端子12を露出させる溝状の隙間が形成されれば、本実施形態のような枠状でなくてもよい。保護部材3の材料にも特に制限はないが、本実施形態では、支持部材3と同様に、耐熱性に優れ、線膨張係数が小さいアルミナが用いられる。
Next, wire bonding is performed using a capillary (not shown) to electrically connect the electrode terminals 11 and the connection terminals 12 with the wires 13, as shown in Fig. 3(f). Specifically, the wires 13 are bonded such that the wire rows 15 located at both ends in the arrangement direction of the wires 13 are connected to the connection terminals 12 at positions closer to the recording element substrate 1 than the wire row 14 located in the center. In this way, the electrical connections 11 to 13 between the recording element substrate 1 and the electrical wiring substrate 2, including the electrode terminals 11, the connection terminals 12, and the wires 13, are formed.
Next, as shown in FIG. 3(g), a thermosetting adhesive 8c made of epoxy resin is applied in a frame shape to the support member 3 and the electric wiring board 2, and the protective member 4 is bonded to the support member 3 and the electric wiring board 2 by heat and pressure bonding, as shown in FIG. 3(h). At this time, the protective member 4 is bonded to the electric wiring board 2 at a position where the recording element board 1 and the multiple connection terminals 12 of the electric wiring board 2 are exposed from the opening 4a. The shape of the protective member 4 does not have to be a frame shape as in this embodiment, as long as it covers a part of the electric wiring board 2 to protect the electric wiring board 2, thereby forming a groove-like gap between the recording element board 1 and the protective member 4, exposing the multiple connection terminals 12. There is no particular restriction on the material of the protective member 3, but in this embodiment, alumina, which has excellent heat resistance and a small linear expansion coefficient, is used, similar to the support member 3.

次に、ディスペンス法により、記録素子基板1と電気配線基板2との隙間Sに、低粘度の熱硬化性樹脂からなる第1の封止材5を注入する。具体的には、複数のワイヤー13の配列方向にディスペンスニードル(図示せず)を走査させ、第1のワイヤー列14のみを覆うように、記録素子基板1と電気配線基板2との隙間Sに第1の封止材5を注入する。そして、詳細は後述するが、第1の封止材5が第2のワイヤー列15に向けて外側に流動することで、図3(i)に示すように、上記隙間Sに第1の封止材5が充填される。
その後、同じくディスペンス法により、第1の封止材5の上から、電気接続部11~13のうち第1の封止材5で封止されていない部分に、高粘度の熱硬化性樹脂からなる第2の封止材6を塗布する。そして、第2の封止材6の塗布が終了した後、キュア炉にて第1の封止材5と第2の封止材6を硬化させることで、図1(b)に示す液体吐出ヘッド10が完成する。
Next, a first sealant 5 made of a low-viscosity thermosetting resin is injected into the gap S between the recording element substrate 1 and the electric wiring substrate 2 by a dispense method. Specifically, a dispense needle (not shown) is scanned in the arrangement direction of the plurality of wires 13, and the first sealant 5 is injected into the gap S between the recording element substrate 1 and the electric wiring substrate 2 so as to cover only the first wire row 14. Then, as will be described in detail later, the first sealant 5 flows outward toward the second wire row 15, so that the first sealant 5 fills the gap S as shown in FIG. 3(i).
Then, also by the dispensing method, a second sealing material 6 made of a high-viscosity thermosetting resin is applied from above the first sealing material 5 to the portions of the electrical connection parts 11 to 13 that are not sealed with the first sealing material 5. After application of the second sealing material 6 is completed, the first sealing material 5 and the second sealing material 6 are cured in a curing oven, thereby completing the liquid ejection head 10 shown in FIG.

ここで、図4および図5を参照して、本実施形態の第2のワイヤー列15による効果について説明する。図4(a)から図4(d)は、第2のワイヤー列を有していない比較例の液体吐出ヘッドにおいて、低粘度の第1の封止材が隙間内で流動する様子を模式的に示す拡大平面図であり、図2(b)に対応する図である。図5(a)から図5(d)は、第2のワイヤー列を有する本実施形態の液体吐出ヘッドにおいて、低粘度の第1の封止材が隙間内で流動する様子を模式的に示す拡大平面図であり、図2(b)に対応する図である。
第2のワイヤー列15を有していない比較例の構成では、記録素子基板1と保護部材4との隙間Sに注入された第1の封止材5(図4(a)参照)は、図4(b)に示すように、第1のワイヤー列14の配列方向の外側に流動し始める。このような流動は、記録素子基板1側では、図4(c)に示すように、記録素子基板1の長側面1aと短側面(第2の側面)1bとの交差部1cに到達した時点で停止するが、保護部材4側では停止せずに、さらに外側へと継続される。そして、第1の封止材5が保護部材4の開口部4aの角部4bに到達すると、図4(d)に示すように、記録素子基板1の交差部1cと保護部材4の角部4bとの間にメニスカスが形成されることで、第1の封止材5の流動は完全に停止する。したがって、比較例の構成では、保護部材4の開口部4aの角部4bまで第1の封止材5が到達しないと、その流動は停止しないため、本来は充填される必要のない領域にまで第1の封止材5が広がってしまう。
Here, the effect of the second wire row 15 of this embodiment will be described with reference to Fig. 4 and Fig. 5. Fig. 4(a) to Fig. 4(d) are enlarged plan views showing a schematic view of the low-viscosity first sealant flowing in the gap in a liquid ejection head of a comparative example having no second wire row, and correspond to Fig. 2(b). Fig. 5(a) to Fig. 5(d) are enlarged plan views showing a schematic view of the low-viscosity first sealant flowing in the gap in a liquid ejection head of this embodiment having the second wire row, and correspond to Fig. 2(b).
In the comparative example configuration not having the second wire array 15, the first sealant 5 (see FIG. 4A) injected into the gap S between the recording element substrate 1 and the protective member 4 starts to flow outward in the arrangement direction of the first wire array 14, as shown in FIG. 4B. On the recording element substrate 1 side, such flow stops when it reaches the intersection 1c between the long side 1a and the short side (second side) 1b of the recording element substrate 1, as shown in FIG. 4C, but on the protective member 4 side, it does not stop and continues further outward. Then, when the first sealant 5 reaches the corner 4b of the opening 4a of the protective member 4, a meniscus is formed between the intersection 1c of the recording element substrate 1 and the corner 4b of the protective member 4, as shown in FIG. 4D, and the flow of the first sealant 5 stops completely. Therefore, in the configuration of the comparative example, the flow of the first sealing material 5 does not stop until it reaches the corner 4b of the opening 4a of the protective member 4, and the first sealing material 5 spreads to areas that do not actually need to be filled.

一方、第2のワイヤー列15を有する本実施形態の構成では、第1の封止材5は、上述したように、第1のワイヤー列14のみを覆うように記録素子基板1と電気配線基板2との隙間Sに注入される(図5(a)参照)。こうして注入された第1の封止材5は、図5(b)に示すように、第2のワイヤー列15に向けて外側に流動を開始する。そして、第2のワイヤー列15に到達すると、図5(c)に示すように、第2のワイヤー列15のボンディング位置17と記録素子基板1との間の領域を伝って記録素子基板1側へと引き寄せられ、これにより、保護部材4側の第1の封止材5の流動は停止する。さらに、第1の封止材5が第2のワイヤー列15の最も外側の第2のワイヤー15aに到達すると、第2のワイヤー列15のボンディング位置17に沿った第1の封止材5の流動も停止する。最終的に、第1の封止材5が記録素子基板1の交差部1cに到達すると、図5(d)に示すように、その交差部1cと最も外側の第2のワイヤー15aのうち保護部材4側の端部17aとの間にメニスカスが形成される。これにより、第1の封止材5の流動は完全に停止する。
したがって、本実施形態の構成では、記録素子基板1を平面視したとき、第1の封止材5は、記録素子基板1と第2のワイヤー列15のボンディング位置17との間に充填され、それよりも保護部材4側には充填されない。加えて、第1の封止材5は、記録素子基板1の交差部1cと第2のワイヤー列15のボンディング位置17のうち交差部1cに最も近いボンディング位置17a(図5(d)参照)とを結ぶ線の内側に充填され、それよりも外側には充填されない。その結果、上述した比較例の構成に比べて、隙間S内で第1の封止材5が充填される範囲を狭めることができる。
On the other hand, in the configuration of this embodiment having the second wire row 15, the first sealant 5 is injected into the gap S between the recording element substrate 1 and the electric wiring substrate 2 so as to cover only the first wire row 14 as described above (see FIG. 5(a)). The first sealant 5 thus injected starts to flow outward toward the second wire row 15 as shown in FIG. 5(b). Then, when it reaches the second wire row 15, it is drawn toward the recording element substrate 1 along the region between the bonding position 17 of the second wire row 15 and the recording element substrate 1 as shown in FIG. 5(c), and thus the flow of the first sealant 5 on the protective member 4 side stops. Furthermore, when the first sealant 5 reaches the outermost second wire 15a of the second wire row 15, the flow of the first sealant 5 along the bonding position 17 of the second wire row 15 also stops. Finally, when the first sealing material 5 reaches the intersection 1c of the recording element substrate 1, as shown in Fig. 5(d), a meniscus is formed between the intersection 1c and the end 17a of the outermost second wire 15a on the protective member 4 side. This causes the flow of the first sealing material 5 to completely stop.
Therefore, in the configuration of this embodiment, when the recording element substrate 1 is viewed in plan, the first sealant 5 is filled between the recording element substrate 1 and the bonding position 17 of the second wire row 15, and is not filled further toward the protective member 4. In addition, the first sealant 5 is filled inside the line connecting the intersection 1c of the recording element substrate 1 and the bonding position 17a (see FIG. 5D) that is the closest to the intersection 1c among the bonding positions 17 of the second wire row 15, and is not filled outside of that. As a result, the range in which the first sealant 5 is filled in the gap S can be narrowed compared to the configuration of the comparative example described above.

このように、本実施形態によれば、第1のワイヤー列14の配列方向の外側に、第1のワイヤー列14よりも記録素子基板1に近い位置で電気配線基板2に接続された第2のワイヤー列15が設けられている。このような第2のワイヤー列15により、第1のワイヤー列14を覆うように隙間Sに注入された第1の封止材5の流動を意図的に止めることができ、第1の封止材5が不要な範囲に流れ出すことを抑制することができる。その結果、第1の封止材5とその上に塗布される第2の封止材6とからなる封止部全体の厚みを十分に確保することができ、電気接続部11~13の保護性能を向上させて液体吐出ヘッド10の電気的信頼性を向上させることができる。
第2のワイヤー列15を構成する第2のワイヤー13bの数は、図示した5本に限定されず、4本以下であっても、6本以上であってもよい。また、図示した実施形態では、図2(b)に示すように、第1のワイヤー列14と第2のワイヤー列15との間隔Dは、各ワイヤー列14,15内で隣接するワイヤー間のピッチPよりも広くなっているが、同じであってもよい。ただし、同じ場合には、第2のワイヤー列15に向けて流動する第1の封止材5が記録素子基板1側に引き寄せられることで(図5(d)参照)、第1のワイヤー列14を覆う第1の封止材5の厚みが第2のワイヤー列15に隣接する部分で薄くなる可能性がある。そのため、第1のワイヤー列14と第2のワイヤー列15との間隔Dは、図示したように、上記ピッチPよりも広いことが好ましい。換言すると、第2のワイヤー列15は、第1のワイヤー列14のうち最も外側の(第2のワイヤー列15に最も近い)ワイヤー13aに対して上記ピッチPよりも広い間隔Dをおいて配置されていることが好ましい。
Thus, according to this embodiment, the second wire array 15 is provided on the outside of the arrangement direction of the first wire array 14, and is connected to the electric wiring board 2 at a position closer to the recording element board 1 than the first wire array 14. Such a second wire array 15 can intentionally stop the flow of the first sealant 5 injected into the gap S so as to cover the first wire array 14, and can suppress the first sealant 5 from flowing out to an unnecessary area. As a result, the thickness of the entire sealing part consisting of the first sealant 5 and the second sealant 6 applied thereon can be sufficiently secured, and the protection performance of the electrical connection parts 11 to 13 can be improved, thereby improving the electrical reliability of the liquid ejection head 10.
The number of second wires 13b constituting the second wire row 15 is not limited to five as shown in the figure, and may be four or less, or six or more. In the illustrated embodiment, as shown in FIG. 2B, the interval D between the first wire row 14 and the second wire row 15 is wider than the pitch P between adjacent wires in each of the wire rows 14 and 15, but may be the same. However, in the case where they are the same, the first sealant 5 flowing toward the second wire row 15 is drawn toward the recording element substrate 1 (see FIG. 5D), so that the thickness of the first sealant 5 covering the first wire row 14 may become thinner in the portion adjacent to the second wire row 15. Therefore, the interval D between the first wire row 14 and the second wire row 15 is preferably wider than the pitch P as shown in the figure. In other words, the second wire row 15 is preferably arranged at an interval D wider than the pitch P with respect to the outermost wire 13a (closest to the second wire row 15) of the first wire row 14.

図6(a)および図6(b)は、本実施形態の第2のワイヤーの変形例を示す平面図であり、図2(b)に対応する図である。
第2のワイヤー列15の第2の接続端子12bに対するボンディング位置17は、第1のワイヤー列14の第1の接続端子12aに対するボンディング位置16よりも記録素子基板1に近接していれば、同じでなくてもよく、異なっていてもよい。具体的には、第2のワイヤー列15のボンディング位置17は、図6(a)に示すように、記録素子基板1の交差部1cに近づくにつれて段階的に記録素子基板1に近づいてもよく、図6(b)に示すように連続的に記録素子基板1に近づいてもよい。これにより、記録素子基板1と保護部材4との隙間Sに注入された第1の封止材5が保護部材4の開口部4aの角部4bに向かって流動することをより確実に抑制することができる。一方、図6(c)に示すように、複数の第2ワイヤー13bを互いに交差させて網目状に配置してもよく、これにより、メニスカスの形成がさらに促進され、第1の封止材5の流動をより確実に止めることができる。
6(a) and 6(b) are plan views showing modified examples of the second wire of the present embodiment, and correspond to FIG. 2(b).
The bonding position 17 of the second wire array 15 for the second connection terminal 12b may be different from the bonding position 16 of the first wire array 14 for the first connection terminal 12a, as long as it is closer to the recording element substrate 1 than the bonding position 16. Specifically, the bonding position 17 of the second wire array 15 may be closer to the recording element substrate 1 in stages as it approaches the intersection 1c of the recording element substrate 1, as shown in FIG. 6(a), or may be closer to the recording element substrate 1 continuously, as shown in FIG. 6(b). This makes it possible to more reliably suppress the first sealant 5 injected into the gap S between the recording element substrate 1 and the protective member 4 from flowing toward the corner 4b of the opening 4a of the protective member 4. On the other hand, as shown in FIG. 6(c), a plurality of second wires 13b may be arranged in a mesh shape by crossing each other, which further promotes the formation of a meniscus and more reliably stops the flow of the first sealant 5.

本実施形態の開示は、以下の構成および方法を含む。
(構成1)
所定の配列方向に配列された複数の電極端子を有する記録素子基板と、
前記複数の電極端子に対向する位置に設けられた複数の接続端子と、
前記複数の電極端子と前記複数の接続端子とを電気的に接続する複数のワイヤーと、
前記複数の電極端子と前記複数の接続端子と前記複数のワイヤーとを含む電気接続部を封止する封止部と、を有し、
前記複数のワイヤーの前記配列方向の端部に位置する少なくとも1つのワイヤーの前記接続端子に対する接続位置は、他のワイヤーの前記接続端子に対する接続位置よりも前記記録素子基板に近い、液体吐出ヘッド。
(構成2)
前記複数の接続端子を有する電気配線基板と、
前記電気配線基板の一部を覆う保護部材と、を有し、
前記記録素子基板と前記保護部材との間には、前記複数の接続端子を露出させる溝状の隙間が形成され、前記封止部は、前記隙間に充填された封止材を含む、構成1に記載の液体吐出ヘッド。
(構成3)
前記記録素子基板を平面視したとき、前記封止材は、前記記録素子基板と前記少なくとも1つのワイヤーの前記接続位置との間に充填されている、構成2に記載の液体吐出ヘッド。
(構成4)
前記記録素子基板が、前記隙間を構成する第1の側面と、前記第1の側面と交差する第2の側面とを有し、
前記記録素子基板を平面視したとき、前記封止材は、前記記録素子基板の前記第1の側面と前記第2の側面との交差部と、前記少なくとも1つのワイヤーの前記接続位置のうち前記交差部に最も近い接続位置とを結ぶ線の内側に充填されている、構成3に記載の液体吐出ヘッド。
(構成5)
前記少なくとも1つのワイヤーは、少なくとも2つのワイヤーを含む、構成1から4のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッド。
(構成6)
前記少なくとも2つのワイヤーは互いに交差している、構成5に記載の液体吐出ヘッド。
(構成7)
前記少なくとも2つのワイヤーの前記接続端子に対する接続位置は、前記交差部に近づくにつれて前記記録素子基板に近くなる、構成5または6に記載の液体吐出ヘッド。
(構成8)
前記少なくとも2つのワイヤーの前記接続端子に対する接続位置は、前記交差部に近づくにつれて段階的に前記記録素子基板に近くなる、構成7に記載の液体吐出ヘッド。
(構成9)
前記少なくとも2つのワイヤーの前記接続端子に対する接続位置は、前記交差部に近づくにつれて連続的に前記記録素子基板に近くなる、構成7に記載の液体吐出ヘッド。
(構成10)
前記他のワイヤーは、複数の他のワイヤーを含み、前記少なくとも1つのワイヤーは、前記複数の他のワイヤーのうち前記少なくとも1つのワイヤーに最も近い他のワイヤーに対して、前記複数の他のワイヤー間のピッチよりも広い間隔をおいて配置されている、構成1から9のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッド。
(構成11)
前記少なくとも1つのワイヤーは、前記記録素子基板への電気信号の供給に寄与しないダミーワイヤーである、構成1から10のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッド。
(構成12)
前記少なくとも1つのワイヤーは、前記配列方向の両端部に設けられている、構成1から11のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッド。
(構成13)
所定の配列方向に配列された複数の電極端子を有する記録素子基板と、前記複数の電極端子に対向する位置に設けられた複数の接続端子と、を有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、
前記複数の電極端子と前記複数の接続端子とをワイヤーボンディングにより複数のワイヤーで電気的に接続し、前記複数の電極端子と前記複数の接続端子と前記複数のワイヤーとを含む電気接続部を形成する工程と、
前記電気接続部を封止する封止部を形成する工程と、を含み、
前記電気接続部を形成する工程が、前記複数のワイヤーの前記配列方向の端部に位置する少なくとも1つのワイヤーを、他のワイヤーよりも前記記録素子基板に近い位置で前記接続端子に接続することを含む、液体吐出ヘッドの製造方法。
(構成14)
前記複数の接続端子を有する電気配線基板を、前記複数の接続端子が前記複数の電極端子に対向するように配置する工程と、
前記電気配線基板の一部を覆うように保護部材を配置し、前記記録素子基板と前記保護部材との間に、前記複数の接続端子を露出させる溝状の隙間を形成する工程と、を含み、
前記封止部を形成する工程が、前記複数のワイヤーのうち前記他のワイヤーのみを覆うように前記隙間に封止材を注入することを含む、構成13に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
The disclosure of this embodiment includes the following configurations and methods.
(Configuration 1)
a recording element substrate having a plurality of electrode terminals arranged in a predetermined arrangement direction;
a plurality of connection terminals provided at positions opposite to the plurality of electrode terminals;
a plurality of wires electrically connecting the plurality of electrode terminals and the plurality of connection terminals;
a sealing portion that seals an electrical connection portion including the plurality of electrode terminals, the plurality of connection terminals, and the plurality of wires,
A liquid ejection head, wherein a connection position of at least one of the plurality of wires located at an end in the arrangement direction to the connection terminal is closer to the recording element substrate than connection positions of other wires to the connection terminal.
(Configuration 2)
an electric wiring board having the plurality of connection terminals;
a protective member for covering a portion of the electric wiring board;
The liquid ejection head described in configuration 1, wherein a groove-shaped gap exposing the plurality of connection terminals is formed between the recording element substrate and the protective member, and the sealing portion includes a sealant filled in the gap.
(Configuration 3)
3. The liquid ejection head according to configuration 2, wherein, when the recording element substrate is viewed in plan, the sealant is filled between the recording element substrate and the connection position of the at least one wire.
(Configuration 4)
the recording element substrate has a first side surface that defines the gap and a second side surface that intersects with the first side surface,
A liquid ejection head as described in configuration 3, wherein, when the recording element substrate is viewed in a plane, the sealing material is filled inside a line connecting an intersection between the first side surface and the second side surface of the recording element substrate and a connection position among the connection positions of the at least one wire that is closest to the intersection.
(Configuration 5)
5. The liquid ejection head of any one of configurations 1 to 4, wherein the at least one wire includes at least two wires.
(Configuration 6)
The liquid ejection head according to configuration 5, wherein the at least two wires cross each other.
(Configuration 7)
7. The liquid ejection head according to configuration 5 or 6, wherein connection positions of the at least two wires to the connection terminals are closer to the recording element substrate as they approach the intersection.
(Configuration 8)
8. The liquid ejection head according to configuration 7, wherein connection positions of the at least two wires to the connection terminals are gradually closer to the recording element substrate as they approach the intersection.
(Configuration 9)
8. The liquid ejection head according to configuration 7, wherein connection positions of the at least two wires to the connection terminals become successively closer to the recording element substrate as they approach the intersection.
(Configuration 10)
A liquid ejection head described in any one of configurations 1 to 9, wherein the other wires include a plurality of other wires, and the at least one wire is arranged at a distance from a wire among the plurality of other wires that is closest to the at least one wire at a distance greater than the pitch between the plurality of other wires.
(Configuration 11)
11. The liquid ejection head according to any one of configurations 1 to 10, wherein the at least one wire is a dummy wire that does not contribute to supplying an electrical signal to the recording element substrate.
(Configuration 12)
12. The liquid ejection head according to any one of configurations 1 to 11, wherein the at least one wire is provided at both ends in the arrangement direction.
(Configuration 13)
A method for manufacturing a liquid ejection head having a recording element substrate having a plurality of electrode terminals arranged in a predetermined arrangement direction, and a plurality of connection terminals provided at positions facing the plurality of electrode terminals, comprising the steps of:
a step of electrically connecting the plurality of electrode terminals and the plurality of connection terminals with a plurality of wires by wire bonding to form an electrical connection portion including the plurality of electrode terminals, the plurality of connection terminals, and the plurality of wires;
forming a sealing portion that seals the electrical connection portion;
A method for manufacturing a liquid ejection head, wherein the process of forming the electrical connection portion includes connecting at least one wire located at an end of the plurality of wires in the arrangement direction to the connection terminal at a position closer to the recording element substrate than the other wires.
(Configuration 14)
a step of disposing an electric wiring board having the plurality of connection terminals such that the plurality of connection terminals face the plurality of electrode terminals;
and disposing a protective member so as to cover a portion of the electric wiring board, and forming a groove-shaped gap between the recording element board and the protective member, through which the plurality of connection terminals are exposed;
14. The method of claim 13, wherein the step of forming the sealing portion includes injecting a sealant into the gap so as to cover only the other wires of the plurality of wires.

1 記録素子基板
2 電気配線基板
4 保護部材
5 第1の封止材
10 液体吐出ヘッド
11a 第1のワイヤー
11b 第2のワイヤー
REFERENCE SIGNS LIST 1 recording element substrate 2 electric wiring substrate 4 protective member 5 first sealing material 10 liquid ejection head 11a first wire 11b second wire

Claims (14)

所定の配列方向に配列された複数の電極端子を有する記録素子基板と、
前記複数の電極端子に対向する位置に設けられた複数の接続端子と、
前記複数の電極端子と前記複数の接続端子とを電気的に接続する複数のワイヤーと、
前記複数の電極端子と前記複数の接続端子と前記複数のワイヤーとを含む電気接続部を封止する封止部と、を有し、
前記複数のワイヤーの前記配列方向の端部に位置する少なくとも1つのワイヤーの前記接続端子に対する接続位置は、他のワイヤーの前記接続端子に対する接続位置よりも前記記録素子基板に近い、液体吐出ヘッド。
a recording element substrate having a plurality of electrode terminals arranged in a predetermined arrangement direction;
a plurality of connection terminals provided at positions opposite to the plurality of electrode terminals;
a plurality of wires electrically connecting the plurality of electrode terminals and the plurality of connection terminals;
a sealing portion that seals an electrical connection portion including the plurality of electrode terminals, the plurality of connection terminals, and the plurality of wires,
A liquid ejection head, wherein a connection position of at least one of the plurality of wires located at an end in the arrangement direction to the connection terminal is closer to the recording element substrate than connection positions of other wires to the connection terminal.
前記複数の接続端子を有する電気配線基板と、
前記電気配線基板の一部を覆う保護部材と、を有し、
前記記録素子基板と前記保護部材との間には、前記複数の接続端子を露出させる溝状の隙間が形成され、前記封止部は、前記隙間に充填された封止材を含む、請求項1に記載の液体吐出ヘッド。
an electric wiring board having the plurality of connection terminals;
a protective member for covering a portion of the electric wiring board;
The liquid ejection head according to claim 1 , wherein a groove-shaped gap exposing the plurality of connection terminals is formed between the recording element substrate and the protective member, and the sealing portion includes a sealant filled in the gap.
前記記録素子基板を平面視したとき、前記封止材は、前記記録素子基板と前記少なくとも1つのワイヤーの前記接続位置との間に充填されている、請求項2に記載の液体吐出ヘッド。 The liquid ejection head according to claim 2, wherein, when the recording element substrate is viewed in plan, the sealing material is filled between the recording element substrate and the connection position of the at least one wire. 前記記録素子基板が、前記隙間を構成する第1の側面と、前記第1の側面と交差する第2の側面とを有し、
前記記録素子基板を平面視したとき、前記封止材は、前記記録素子基板の前記第1の側面と前記第2の側面との交差部と、前記少なくとも1つのワイヤーの前記接続位置のうち前記交差部に最も近い接続位置とを結ぶ線の内側に充填されている、請求項3に記載の液体吐出ヘッド。
the recording element substrate has a first side surface that defines the gap and a second side surface that intersects with the first side surface,
A liquid ejection head as described in claim 3, wherein, when the recording element substrate is viewed in a plane, the sealing material is filled inside a line connecting an intersection between the first side surface and the second side surface of the recording element substrate and a connection position among the connection positions of the at least one wire that is closest to the intersection.
前記少なくとも1つのワイヤーは、少なくとも2つのワイヤーを含む、請求項1から4のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッド。 The liquid ejection head according to any one of claims 1 to 4, wherein the at least one wire includes at least two wires. 前記少なくとも2つのワイヤーは互いに交差している、請求項5に記載の液体吐出ヘッド。 The liquid ejection head according to claim 5, wherein the at least two wires cross each other. 前記少なくとも2つのワイヤーの前記接続端子に対する接続位置は、前記交差部に近づくにつれて前記記録素子基板に近くなる、請求項5に記載の液体吐出ヘッド。 The liquid ejection head according to claim 5, wherein the connection positions of the at least two wires to the connection terminals become closer to the recording element substrate as they approach the intersection. 前記少なくとも2つのワイヤーの前記接続端子に対する接続位置は、前記交差部に近づくにつれて段階的に前記記録素子基板に近くなる、請求項7に記載の液体吐出ヘッド。 The liquid ejection head according to claim 7, wherein the connection positions of the at least two wires to the connection terminals gradually become closer to the recording element substrate as they approach the intersection. 前記少なくとも2つのワイヤーの前記接続端子に対する接続位置は、前記交差部に近づくにつれて連続的に前記記録素子基板に近くなる、請求項7に記載の液体吐出ヘッド。 The liquid ejection head according to claim 7, wherein the connection positions of the at least two wires to the connection terminals become successively closer to the recording element substrate as they approach the intersection. 前記他のワイヤーは、複数の他のワイヤーを含み、前記少なくとも1つのワイヤーは、前記複数の他のワイヤーのうち前記少なくとも1つのワイヤーに最も近い他のワイヤーに対して、前記複数の他のワイヤー間のピッチよりも広い間隔をおいて配置されている、請求項1から4のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッド。 The liquid ejection head according to any one of claims 1 to 4, wherein the other wires include a plurality of other wires, and the at least one wire is disposed at a distance from a wire among the plurality of other wires that is closest to the at least one wire at a distance greater than the pitch between the plurality of other wires. 前記少なくとも1つのワイヤーは、前記記録素子基板への電気信号の供給に寄与しないダミーワイヤーである、請求項1から4のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッド。 The liquid ejection head according to any one of claims 1 to 4, wherein the at least one wire is a dummy wire that does not contribute to supplying an electrical signal to the recording element substrate. 前記少なくとも1つのワイヤーは、前記配列方向の両端部に設けられている、請求項1から4のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッド。 The liquid ejection head according to any one of claims 1 to 4, wherein the at least one wire is provided at both ends in the arrangement direction. 所定の配列方向に配列された複数の電極端子を有する記録素子基板と、前記複数の電極端子に対向する位置に設けられた複数の接続端子と、を有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、
前記複数の電極端子と前記複数の接続端子とをワイヤーボンディングにより複数のワイヤーで電気的に接続し、前記複数の電極端子と前記複数の接続端子と前記複数のワイヤーとを含む電気接続部を形成する工程と、
前記電気接続部を封止する封止部を形成する工程と、を含み、
前記電気接続部を形成する工程が、前記複数のワイヤーの前記配列方向の端部に位置する少なくとも1つのワイヤーを、他のワイヤーよりも前記記録素子基板に近い位置で前記接続端子に接続することを含む、液体吐出ヘッドの製造方法。
A method for manufacturing a liquid ejection head having a recording element substrate having a plurality of electrode terminals arranged in a predetermined arrangement direction, and a plurality of connection terminals provided at positions facing the plurality of electrode terminals, comprising the steps of:
a step of electrically connecting the plurality of electrode terminals and the plurality of connection terminals with a plurality of wires by wire bonding to form an electrical connection portion including the plurality of electrode terminals, the plurality of connection terminals, and the plurality of wires;
forming a sealing portion that seals the electrical connection portion;
A method for manufacturing a liquid ejection head, wherein the process of forming the electrical connection portion includes connecting at least one wire located at an end of the plurality of wires in the arrangement direction to the connection terminal at a position closer to the recording element substrate than the other wires.
前記複数の接続端子を有する電気配線基板を、前記複数の接続端子が前記複数の電極端子に対向するように配置する工程と、
前記電気配線基板の一部を覆うように保護部材を配置し、前記記録素子基板と前記保護部材との間に、前記複数の接続端子を露出させる溝状の隙間を形成する工程と、を含み、
前記封止部を形成する工程が、前記複数のワイヤーのうち前記他のワイヤーのみを覆うように前記隙間に封止材を注入することを含む、請求項13に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
a step of disposing an electric wiring board having the plurality of connection terminals such that the plurality of connection terminals face the plurality of electrode terminals;
and disposing a protective member so as to cover a portion of the electric wiring board, and forming a groove-shaped gap between the recording element board and the protective member, through which the plurality of connection terminals are exposed;
The method for manufacturing a liquid ejection head according to claim 13 , wherein the step of forming the sealing portion includes injecting a sealant into the gap so as to cover only the other wires of the plurality of wires.
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