JP2024062201A - 付着物除去装置および付着物除去方法ならびにスラリ回収装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】スラリを回収する回収タンク11の内壁面に付着する付着物を除去する付着物除去装置1であって、回収タンク11の内壁面12A,13A,14Aに向かって噴射するノズル2A,2Bと、所定の溶媒量の溶媒が充填される溶媒タンク3A,3Bと、溶媒タンク3A,3Bの上部とノズル2A,2Bとを接続する配管6A,6Bと、溶媒タンク3A,3Bの下部に圧縮エアを供給するエア供給部4であり、圧縮エアの供給の初期においては溶媒タンク3A,3B内の溶媒をノズル2A,2Bから噴射させ、中期においては溶媒タンク3A,3B内に残った溶媒と圧縮エアとが混在した液滴をノズル2A,2Bから噴射させ、溶媒タンク3A,3B内の溶媒が無くなった終期においては圧縮エアをノズル2A,2Bから噴射させるように圧縮エアの圧力が設定されるエア供給部4とを含む。
【選択図】図1
Description
2A 第1ノズル
2B 第2ノズル
3A 第1溶媒タンク
3B 第2溶媒タンク
4 エア供給部
40 減圧弁
41 圧力制御弁
42 圧力計
43 第1電磁弁
44 エアーフィルタ
45A 第2電磁弁
45B 第3電磁弁
46A,46B 逆止弁
5 溶媒供給部
50 溶媒供給タンク
51 ポンプ
52A 第4電磁弁
52B 第5電磁弁
53A,53B 逆止弁
6A 第1配管
6B 第2配管
10 スラリ回収装置
11 回収タンク
12 チャンバ
13 回収部
14 蓋体
Claims (5)
- スラリを回収する回収タンクの内壁面に付着する付着物を除去する付着物除去装置であって、
前記回収タンクの内壁面に向かって噴射するノズルと、
所定の溶媒量の溶媒が充填される溶媒タンクと、
前記溶媒タンクの上部と前記ノズルとを接続する配管と、
前記溶媒タンクの下部に圧縮エアを供給するエア供給部であり、前記圧縮エアの供給の初期においては前記溶媒タンク内の溶媒を前記ノズルから噴射させ、中期においては前記溶媒タンク内に残った溶媒と前記圧縮エアとが混在した液滴を前記ノズルから噴射させ、前記溶媒タンク内の溶媒が無くなった終期においては前記圧縮エアを前記ノズルから噴射させるように前記圧縮エアの圧力が設定されるエア供給部と
を含む付着物除去装置。 - 前記ノズルは、前記回収タンク内の上部に配設される第1ノズルと、前記回収タンク内の下部に配設される第2ノズルとを有し、
前記溶媒タンクは、前記第1ノズルに供給される溶媒が充填される第1溶媒タンクと、前記第2ノズルに供給される溶媒が充填される第2溶媒タンクとを有し、
前記配管は、前記第1溶媒タンクの上部と前記第1ノズルとを接続する第1配管と、前記第2溶媒タンクの上部と前記第2ノズルとを接続する第2配管とを有する
請求項1記載の付着物除去装置。 - 前記溶媒タンクに所定量の溶媒を供給する溶媒供給部を含む請求項1または2に記載の付着物除去装置。
- スラリを回収する回収タンクの内壁面に付着する付着物を除去する付着物除去方法であって、
所定の溶媒量の溶媒が充填される溶媒タンクの下部に所定の圧力に設定された圧縮エアを供給することにより、前記圧縮エアの供給の初期においては前記溶媒タンク内の溶媒を、前記溶媒タンクの上部と前記ノズルとを接続する配管を通じ、前記回収タンクの内壁面に向かってノズルから噴射させ、中期においては前記溶媒タンク内に残った溶媒と前記圧縮エアとが混在した液滴を前記ノズルから噴射させ、前記溶媒タンク内の溶媒が無くなった終期においては前記圧縮エアを前記ノズルから噴射させる
ことを特徴とする付着物除去方法。 - 請求項1または2に記載の付着物除去装置を備えたスラリ回収装置。
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-
2022
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