JP2023119361A - 複層ガラスパネル - Google Patents

Abstract

【課題】簡易な構成によりガス吸着材のガス吸着性能を安定的に確保できる複層ガラスパネルを提供する。
【解決手段】対向する一対のガラス板１Ａ，１Ｂと、一対のガラス板１Ａ，１Ｂの外縁全域に設けられ、一対のガラス板１Ａ，１Ｂの間に密閉された間隙部Ｖを形成する周縁封止材５と、間隙部Ｖに配置される複数の間隔保持部材２と、一対のガラス板１Ａ，１Ｂのうち間隙部Ｖの側で対向する一対の板面１２，１３の一方面１３に配置され、一対の板面１２，１３の他方面１２から離間するガス吸着材６と、を備え、ガス吸着材６は、多孔質構造を有するゼオライト系の非金属ゲッター材と、非金属ゲッター材を連結する無機バインダー材と、を含んでいる。
【選択図】図２

Description

本発明は、複層ガラスパネルに関する。

特許文献１には、一対のガラス板の間に減圧空間が形成された複層ガラスパネルの製造方法が開示されている。複層ガラスパネルには、減圧空間に枠体等から放出されるガスを吸着するためのガス吸着材が配置されている。複層ガラスパネルは、ガス吸着材によって減圧空間に残存するガスが吸着されることで、減圧空間の熱貫流率（Ｕ値）が更に低減されるため、断熱性を向上させることができる。

特許文献１の複層ガラスパネルでは、ガス吸着材がゲッター材（ゼオライト）によって構成されている。ゲッター材は、複層ガラスパネルの製造時等において加熱されて活性化されることで、枠体等から放出されるガスを吸着する。ただし、ゲッター材は、活性化温度以上まで加熱できない場合には利用できない。そのため、特許文献１に記載の複層ガラスパネルの製造方法では、粉末を含むパッケージ材でゲッター材を覆い、活性化工程において、パッケージ材で包まれたゲッター材を加熱して活性化させ、更に、封止工程において、粉末が溶融したパッケージ材でゲッター材を封止している。封止工程において活性化工程の加熱温度よりも高い温度で加熱することで、ゲッター材は活性化された状態で封止され、ゲッター材の活性化状態が維持される。

国際公開第２０１９／００３９９７号

しかし、特許文献１の複層ガラスパネルでは、ガス吸着材であるゲッター材がパッケージ材によって覆われるため、パッケージ材の影響によりゲッター材によるガス吸着性能が低下するおそれがある。また、ガス吸着材が一対のガラス板の両方に接している場合には、ガス吸着材は、ガラス板に接する部位においてガスとの接触が妨げられてガスとの接触面積が減少するため、ガス吸着材のガス吸着性能が低下することにもなる。

そこで、簡易な構成によりガス吸着材のガス吸着性能を安定的に確保できる複層ガラスパネルが望まれている。

本発明に係る複層ガラスパネルの特徴構成は、対向する一対のガラス板と、一対の前記ガラス板の外縁全域に設けられ、一対の前記ガラス板の間に密閉された間隙部を形成する周縁封止材と、前記間隙部に配置される複数の間隔保持部材と、一対の前記ガラス板のうち前記間隙部の側で対向する一対の板面の一方面に配置され、一対の前記板面の他方面から離間するガス吸着材と、を備え、前記ガス吸着材は、多孔質構造を有するゼオライト系の非金属ゲッター材と、前記非金属ゲッター材を連結する無機バインダー材と、を含んでいる点にある。

ガス吸着材は、通常、ゼオライト系の非金属ゲッター材を粉末状にして構成される。本構成によれば、ガス吸着材が、多孔質構造を有するゼオライト系の非金属ゲッター材と、非金属ゲッター材を連結する無機バインダー材と、を含んで構成されているので、ガス吸着材は無機バインダー材によって粉末状の非金属ゲッター材が安定的に保持される。これにより、ガス吸着材は、特許文献１の複層ガラスパネルのように、非金属ゲッター材をパッケージ材によって覆う必要がなく、複層ガラスパネルは、簡易な構成によってガス吸着材のガス吸着性能を安定的に確保することができる。

ここで、仮に、ガス吸着材に含まれるバインダー材が有機材料によって構成される場合には、ガス吸着材を活性化温度まで加熱した際に有機材料からガスが発生することになる。このため、複層ガラスパネルにおいて間隙部にガスが残留して断熱性能が低下するおそれがある。一方、本構成では、ガス吸着材が無機バインダー材を含む構成であるので、ガス吸着材を活性化温度まで加熱したとしても無機バインダー材からはガスが発生しない。これにより、複層ガラスパネルにおいて断熱性能を維持することができる。

更に、本構成では、ガス吸着材が一対のガラス板のうち間隙部の側で対向する一対の板面の一方面に配置されて他方面から離間するので、ガス吸着材は、ガラス板の他方面によってガスとの接触面積を減少させることなく、ガスとの接触面積を多く確保することができる。その結果、複層ガラスパネルは、簡易な構成によってガス吸着材のガス吸着性能を安定的に確保することができる。

他の特徴構成は、何れか一方の前記ガラス板において表裏に貫通した吸引孔を介して前記間隙部が減圧された状態で前記吸引孔を封止する吸引孔封止材、を更に備え、前記ガス吸着材と前記間隔保持部材とは、前記板面に対する垂直方向視においてそれぞれ異なる位置に配置されている点にある。

本構成によれば、複層ガラスパネルは間隙部が減圧される減圧複層ガラスパネルであって、ガス吸着材が、ガラス板の板面に対する垂直方向視において間隔保持部材とは異なる位置に配置されている。これにより、ガス吸着材は、減圧される間隙部において間隔保持部材とは異なる適所に配置され、表面積が確保される。その結果、減圧複層ガラスパネルにおいても、簡易な構成によってガス吸着材のガス吸着性能を安定的に確保することができる。

他の特徴構成は、前記ガス吸着材は、前記周縁封止材と前記間隔保持部材との間に配置されている点にある。

本構成のように、ガス吸着材が周縁封止材と間隔保持部材との間に配置されると、ガス吸着材は複層ガラスパネルの周縁近くに配置することができる。これにより、複層ガラスパネルにおいてガス吸着材の外観上の影響を抑制することができる。また、仮に、ガス吸着材が隣接する複数の間隔保持部材の間に配置される場合には、ガス吸着材の寸法に合わせて隣接する複数の間隔保持部材の間隔を大きくする必要があり、複層ガラスパネルにおいて一対のガラス板の保持強度が低下するおそれがある。一方、本構成のように、ガス吸着材が周縁封止材と間隔保持部材との間に配置されていると、隣接する複数の間隔保持部材の間隔は所定のピッチにより一定に設定できるので、複層ガラスパネルは複数の間隔保持部材の間において一対のガラス板の保持強度を維持し易くなる。これにより、複層ガラスパネルにおいて一対のガラス板の保持強度の低下を抑制することができる。

他の特徴構成は、前記ガス吸着材は、隣接する複数の前記間隔保持部材の間に配置されている点にある。

複数の間隔保持部材を有する複層ガラスパネルでは、周縁封止材と周縁封止材に隣接する間隔保持部材との間の距離がガス吸着材の幅よりも小さい場合には、両者の間にガス吸着材を配置できない。そのような場合には、本構成のように、ガス吸着材を隣接する複数の間隔保持部材の間に配置することで、複層ガラスパネルにガス吸着材を確実に配置することができる。ガス吸着材は、例えば、周縁封止材に隣接する間隔保持部材と、当該間隔保持部材に隣接する間隔保持部材との間に配置されることで、一対のガラス板の周縁近くに配置することができる。これにより、複層ガラスパネルにおいてガス吸着材の外観上の影響を抑制することができる。

他の特徴構成は、前記ガス吸着材は、前記周縁封止材と前記間隔保持部材との間の距離が４０ｍｍ以下であり、且つ、前記ガス吸着材と前記周縁封止材との間の距離、及び、前記ガス吸着材と前記間隔保持部材との間の距離が、いずれも１ｍｍ以上である点にある。

複層ガラスパネルにおいて、周縁封止材と間隔保持部材との間の距離が大きくなり過ぎると、一対のガラス板の保持強度が低下する。そこで、本構成では、ガス吸着材が配置される周縁封止材と間隔保持部材との間の距離を４０ｍｍ以下にしている。これにより、複層ガラスパネルにおいて一対のガラス板の保持強度の低下を抑制することができる。また、本構成では、ガス吸着材は、周縁封止材との間の距離、及び、間隔保持部材との間の距離が、いずれも１ｍｍ以上であるので、ガス吸着材は周縁封止材及び間隔保持部材と離間した状態で配置することできる。これにより、ガス吸着材は、表面にガスとの接触面積を多く確保することができる。その結果、複層ガラスパネルにおいてガス吸着材のガス吸着性能を安定的に確保することができる。

他の特徴構成は、前記ガス吸着材は、隣接する複数の前記間隔保持部材の間の距離が４０ｍｍ以下であり、前記ガス吸着材と隣接する複数の前記間隔保持部材との間の距離がいずれも１ｍｍ以上である点にある。

複層ガラスパネルにおいて、隣接する複数の間隔保持部材の距離が大きくなり過ぎると、複層ガラスパネルにおいて一対のガラス板の保持強度が低下する。そこで、本構成では、隣接する複数の間隔保持部材の間の距離を４０ｍｍ以下にしている。これにより、複層ガラスパネルにおいて一対のガラス板の保持強度の低下を抑制することができる。また、本構成では、ガス吸着材は、隣接する複数の間隔保持部材との間の距離がいずれも１ｍｍ以上であるので、ガス吸着材は隣接する複数の間隔保持部材と離間した状態で配置することができる。これにより、ガス吸着材は、表面にガスとの接触面積を多く確保することができる。その結果、複層ガラスパネルにおいてガス吸着材のガス吸着性能を安定的に確保することができる。

他の特徴構成は、前記ガス吸着材は、前記一方面の前記板面に沿う線状に配置され、幅が１ｍｍ以上１５ｍｍ以下であり、長さが１ｍｍ以上２０００ｍｍ以下であり、当該板面に対する高さが１０μｍ以上１９０μｍ以下である点にある。

本構成によれば、ガス吸着材がガラス板の一方面の板面に沿う線状に配置され、ガス吸着材の幅及び長さが所定の範囲内であることで、複層ガラスパネルにおいて、ガス吸着材は、ガス吸着性能を十分に発揮することができ、外観上の影響を抑制することができる。ガス吸着材は、幅が１ｍｍ未満であるとガス吸着性能を十分に発揮できず、幅が１５ｍｍ超になるとガス吸着材が目立つ過ぎて複層ガラスパネルの外観を損なうことになる。また、ガス吸着材は、長さが１ｍｍ未満であるとガス吸着材においてガス吸着性能を十分に発揮できず、長さが２０００ｍｍ超になるとガス吸着材が目立つ過ぎて複層ガラスパネルの外観を損なうことになる。さらに、本構成では、ガス吸着材は、板面に対する高さが１０μｍ以上１９０μｍ以下である。これにより、複層ガラスパネルにおいて、ガス吸着材は、ガス吸着性能を十分に発揮することができ、ガラス板の他方面に接触し難くなるため、当該ガラス板が高硬度のガス吸着材に接触して損傷する事態を回避することができる。一方、ガス吸着材は、高さが１０μｍ未満であるとガス吸着性能を十分に発揮できず、高さが１９０μｍ超になるとガラス板に衝撃等が作用した際にガス吸着材がガラス板の他方面に接触し易くなり、ガラス吸着材がガラス板の他方面に接触した場合には当該ガラス板が高硬度のガス吸着材によって損傷するおそれがある。また、ガス吸着材の高さが１９０μｍ超になることで、ガス吸着材が一対のガラス板の両面に接触する場合には、ガス吸着材によって一対のガラス板の間で熱移動が発生するため、複層ガラスパネルの断熱性能が低下することにもなる。

他の特徴構成は、前記無機バインダー材はガス吸着性能を有する材料で構成されている点にある。

本構成のように、ガス吸着材に含まれる無機バインダー材がガス吸着性能を有する材料で構成されることで、複層ガラスパネルは、間隙部においてガス吸着材によるガス吸着が無機バインダー材によってさらに促進される。これにより、複層ガラスパネルは、間隙部の熱貫流率（Ｕ値）が低減されるので、断熱性をより向上させることができる。

他の特徴構成は、前記ガス吸着材は、前記一方面において連続した単一領域に配置されている点にある。

仮に、ガス吸着材がガラス板の一方面において複数の領域に配置される場合には、複層ガラスパネルは複数領域のガス吸着材の存在によって外観上の影響が大きくなるおそれがある。また、ガス吸着材を配置するために、周縁封止材と間隔保持部材との間の距離や、隣接する複数の間隔保持部材の間の距離を大きくした場合には、当該部位において一対のガラス板の保持強度が低下することにもなる。そこで、本構成では、ガス吸着材は、ガラス板の一方面において連続した単一の領域に配置される。これにより、複層ガラスパネルにおいてガス吸着材の外観上の影響を抑制できるとともに、一対のガラス板の保持強度の低下を抑制することもできる。

他の特徴構成は、一対の前記ガラス板は、矩形状に形成されて長辺部と短辺部とを有し、前記ガス吸着材は、前記短辺部に配置されている点にある。

一対のガラス板が矩形状に形成されて長辺部と短辺部とを有する場合には、ガス吸着材は、長辺部又は短辺部に配置することで、複層ガラスパネルにおいて外観上の影響を抑制することができる。本構成では、ガス吸着材を短辺部に配置しているため、一対のガラス板に配置されるガス吸着材の長さを短くすることができる。その結果、複層ガラスパネルにおいてガス吸着材の外観上の影響をより抑制することができる。

他の特徴構成は、前記無機バインダー材は分散剤を含んでいる点にある。

ガス吸着材が無機バインダー材を含むことで、ガス吸着材は無機バインダー材によって粉末状の非金属ゲッター材が安定的に保持される。このようなガス吸着材は、例えば水に混入させた状態でガラス板の板面に塗布することで配置される。この場合には、ガス吸着材は水中に分散された状態にする必要があるが、ガス吸着材を構成する非金属ゲッター材は水に混入され難いため、ガラス板の板面に塗布されたガス吸着材は十分なガス吸着性能を有し難い。そこで、本構成では、ガス吸着材に含まれる無機バインダー材が分散剤を含んで構成されている。これにより、ガス吸着材は、分散剤によって水に非金属ゲッター材が混入され易くなるため、ガラス板の板面に塗布されたガス吸着材において十分なガス吸着性能の確保が容易になる。

他の特徴構成は、前記ガス吸着材は、金属ゲッター材を更に含み、前記板面に対する垂直方向視において、前記金属ゲッター材と前記非金属ゲッター材とは異なる位置に配置されている点にある。

本構成によれば、ガス吸着材が、非金属ゲッター材の他に、金属ゲッター材を更に含み、金属ゲッター材が非金属ゲッター材とは異なる位置に配置されることで、ガス吸着材は金属ゲッター材によってもガス吸着が可能になる。具体的には、非金属ゲッター材は物理吸着によって短期的にガス吸着するのに対し、金属ゲッター材は化学吸着によって長期的にガス吸着する点で、両者の作用が異なる。このように、ガス吸着材は、ガス吸着性能を発揮する時間が異なる非金属ゲッター材と金属ゲッター材とを有することで、ガス吸着性能をさらに向上させることができる。尚、金属ゲッター材と非金属ゲッター材とは、板面に対する垂直方向視において異なる位置であれば、両者が一方面に配置されてもよいし、非金属ゲッター材が一方面に配置されて金属ゲッター材が他方面に配置されてもよい。

他の特徴構成は、前記金属ゲッター材は蒸発型金属ゲッター材である点にある。

本構成のように、金属ゲッター材は蒸発型金属ゲッター材であると、金属ゲッター材を加熱して活性化させることで、金属ゲッター材の一部が蒸発して吸着分子が脱離し、間隙部に吸着分子が分散するようになる。これにより、ガス吸着材は、当該吸着分子によって間隙部のガスを効果的に吸着することができる。その結果、複層ガラスパネルにおいてガス吸着材のガス吸着性能をさらに向上させることができる。

他の特徴構成は、前記蒸発型金属ゲッター材がバリウム及びアルミニウムを含む合金で構成されており、且つ、前記周縁封止材がガラスフリットである点にある。

本構成のように、ガス吸着材を構成する蒸発型金属ゲッター材がバリウム及びアルミニウムを含む合金で構成されることで、蒸発型金属ゲッター材を加熱して活性化した場合に、バリウムが昇華するようになる。これにより、ガス吸着材は、バリウムの昇華によって間隙部に分散される吸着分子がガスを吸着するので、複層ガラスパネルにおいてガス吸着材のガス吸着性能を確実に向上させることができる。

ここで、蒸発型金属ゲッター材であるバリウム及びアルミニウムを含む合金を活性化させるには、８００℃以上の高温で加熱する必要がある。ガス吸着材（蒸発型金属ゲッター材）は、複層ガラスパネルにおいて外観上の影響を抑制するうえで、周縁封止材に近接して配置することが好ましい。ただし、仮に周縁封止材の融点が低い場合には、蒸発型金属ゲッター材としてのバリウム及びアルミニウムを含む合金を加熱した際に、周縁封止材が溶融する可能性があるため、ガス吸着材（蒸発型金属ゲッター材）を周縁封止材に近接して配置することができない。そこで、本構成では、周縁封止材がガラスフリットである。ガラスフリットは、ガラス質の無機物であり、３００℃～９５０℃の範囲で軟化点を設定でき、用途に応じて組成を選択することができる。このため、蒸発型金属ゲッター材であるバリウム及びアルミニウムを含む合金を活性化するために加熱しても、周縁封止材は溶融され難い。したがって、本構成によれば、ガス吸着材（蒸発型金属ゲッター材）としてのバリウム及びアルミニウムを含む合金を、複層ガラスパネルにおいて外観の影響が少ない周縁封止材の近くに配置することができる。

第一実施形態における複層ガラスパネルの一部切欠き斜視図である。 第一実施形態における複層ガラスパネルの吸引孔周辺縦断面図である。 第一実施形態における複層ガラスパネルの平面図である。 複層ガラスパネルの製造方法を示すフローチャートである。 第一実施形態の変形例における吸引孔周辺縦断面図である。 第二実施形態における複層ガラスパネルの吸引孔周辺縦断面図である。 第二実施形態の変形例における吸引孔周辺縦断面図である。 試験モデルにおけるガラスパネルの説明図である。 試験１の結果を示すグラフ（Ｕ値評価）である。 試験２の結果を示すグラフ（Ｕ値評価）である。

以下に、本発明に係る複層ガラスパネルの実施形態について、図面に基づいて説明する。本実施形態では、複層ガラスパネルの一例として、真空複層ガラスパネルとして説明する。ただし、以下の実施形態に限定されることなく、その要旨を逸脱しない範囲内で種々の変形が可能である。

〔第一実施形態〕
図１及び図２に示されるように、複層ガラスパネル（以下、「ガラスパネル」と称する）Ｐは、対向する一対のガラス板１Ａ，１Ｂと、周縁封止材５と、吸引孔封止材１５と、複数のスペーサー２（間隔保持部材の一例）と、ガス吸着材６と、を備える。周縁封止材５は、一対のガラス板１Ａ，１Ｂの外縁３の全域に設けられ、一対のガラス板１Ａ，１Ｂの間に密閉された間隙部Ｖを形成する。複数のスペーサー２は間隙部Ｖに配置される。一対のガラス板１Ａ，１Ｂは、第１ガラス板１Ａと第２ガラス板１Ｂによって構成される。

ここで、第１ガラス板１Ａが有する２つの板面のうち、第２ガラス板１Ｂに対向しない側を第１面１１、第２ガラス板１Ｂに対向する側を第２面１２、第２ガラス板１Ｂが有する２つの板面のうち、第２面１２に対向する側を第３面１３、第２面１２に対向しない側を第４面１４と定義する。

第１ガラス板１Ａは、表裏に貫通した吸引孔４を有する。吸引孔４は、吸引孔４及びその周縁を覆う吸引孔封止材１５で封止されている。吸引孔封止材１５は、一対のガラス板１Ａ，１Ｂの一方において吸引孔４を介して間隙部Ｖが減圧された状態で吸引孔４を封止する。

ガラスパネルＰにおいて、例えば、一対のガラス板１Ａ，１Ｂは透明なフロートガラスである。一対のガラス板１Ａ，１Ｂはこれに限るものではない。一対のガラス板１Ａ，１Ｂには、上記のような用途に応じて、例えば、型板ガラス、表面処理により光拡散機能を備えたすりガラス、網入りガラス、線入ガラス板、強化ガラス、倍強化ガラス、低反射ガラス、高透過ガラス板、セラミックガラス板、熱線や紫外線吸収機能を備えた特殊ガラス、又は、これらの組み合わせ等、種々のガラスを適宜選択して使用することができる。さらに、一対のガラス板１Ａ，１Ｂの組成についても、ソーダ珪酸ガラス、ソーダ石灰ガラス、ホウ珪酸ガラス、アルミノ珪酸ガラス、各種結晶化ガラス等を使用することができる。

一対のガラス板１Ａ，１Ｂの間に形成された間隙部Ｖは、例えば、１．３３Ｐａ（１．０×１０^－２Ｔｏｒｒ）以下に減圧されている。間隙部Ｖは、その内部の空気が吸引孔４を介して外部に排出されることによって減圧され、上述の減圧状態を維持するために周縁封止材５及び吸引孔封止材１５によって封止されている。ガラスパネルＰは、ほぼ真空になるまで間隙部Ｖの圧力を減圧してもよく、間隙部Ｖの圧力を減圧しない構成でもよい。

スペーサー２は円柱状であり、その直径が０．３ｍｍ以上１．０ｍｍ以下、高さが３０μｍ以上１．０ｍｍ以下である。スペーサー２は、ガラス板１Ａ，１Ｂに作用する大気圧に起因する圧縮応力を負荷されても座屈しない材料、例えば、圧縮強度が４．９×１０８Ｐａ（５×１０３ｋｇｆ／ｃｍ^２）以上の材料、好ましくは、ステンレス鋼（ＳＵＳ３０４）等により形成されている。

但し、スペーサー２は、ステンレス鋼に限るものではなく、例えば、インコネル、鉄、アルミニウム、タングステン、ニッケル、クロム、チタン等の金属、炭素鋼、クロム鋼、ニッケル鋼、ニッケルクロム鋼、マンガン鋼、クロムマンガン鋼、クロムモリブデン鋼、珪素鋼、真鍮、ハンダ、ジュラルミン等の合金、又は、セラミックやガラス等、高剛性を有するもので形成されてもよい。また、スペーサー２は、円柱状に限らず、角形状や球状等の各種形状であってもよい。

第２ガラス板１Ｂは、第３面１３にＬｏｗ－Ｅ膜１７が形成されている。Ｌｏｗ－Ｅ膜１７は、例えば銀を主成分とした低放射層を有して構成されている。

周縁封止材５及び吸引孔封止材１５として、ガラスフリットや、溶解温度が２５０℃以下であるはんだ、例えば９１．２Ｓｎ－８．８Ｚｎ（共晶点温度：１９８℃）の組成を有するはんだが用いられる。周縁封止材５は、これに限るものではなく、Ｓｎ、Ｃｕ、Ｉｎ、Ｂｉ、Ｚｎ、Ｐｂ、Ｓｂ、Ｇａ、及びＡｇから成る群から選択された少なくとも１つの材料を含む金属材料であって溶解温度が２５０℃以下となる封着材、又は常温で固化する樹脂から成る封着材を用いて一対のガラス板１Ａ，１Ｂの外周縁部を封止してもよい。

また、上記金属材料は、Ｔｉ、Ａｌ、及びＣｒから成る群から選択された少なくとも１つの材料を含んでいてもよい。これにより、周縁封止材５と一対のガラス板１Ａ,１Ｂのガラス成分との接着性を向上させることができる。

ガス吸着材６が、第２ガラス板１Ｂの第３面１３に配置されている。ガス吸着材６は、非金属ゲッター材を含む第一ガス吸着材６１と、金属ゲッター材６３を含む第二ガス吸着材６２と、によって構成されている。第一ガス吸着材６１は、非金属ゲッター材に加えて無機バインダー材を更に含む。

第一ガス吸着材６１の非金属ゲッター材は、気体分子を吸着することのできる多孔質構造を有する非金属製のゲッター材であり、一例としてゼオライト系、活性炭素、酸化マグネシウムのゲッター材である。ゼオライト系のゲッター材は、イオン交換されたゼオライトを含む。イオン交換物質は、例えばＫ、ＮＨ_４、Ｂａ、Ｓｒ、Ｎａ、Ｃａ、Ｆｅ、Ａｌ、Ｍｇ、Ｌｉ、Ｈ、Ｃｕである。第一ガス吸着材６１は、非金属ゲッター材を含んでいることから、金属ゲッター材６３では吸着しにくい炭化水素系ガス（ＣＨ_４、Ｃ_２Ｈ_６等）、アンモニアガス（ＮＨ_３）の気体分子を、有効に吸着することができる。

第一ガス吸着材６１は、例えば、第２ガラス板１Ｂの第３面１３に塗布されることで配置される。具体的には、第一ガス吸着材６１は、例えば粉末状の非金属ゲッター材に無機バインダー材と水とを追加し、水中に非金属ゲッター材を混入させてペースト状にしたものを第２ガラス板１Ｂの板面（第３面１３）に塗布することで配置される。第一ガス吸着材６１が無機バインダー材を含むことで、第一ガス吸着材６１は、粉末状の非金属ゲッター材が混入される無機バインダー材によって安定的に保持される。無機バインダー材としては、例えば、アルカリケイ酸塩（ケイ酸ナトリウム、ケイ酸カリウム等）、リン酸塩（リン酸ナトリウム、リン酸アルミニウム、リン酸マグネシウム等）、粘土鉱物（カオリン、スメクタイト、タルク等）等が挙げられる。

第一ガス吸着材６１に含まれる無機バインダー材は、ガス吸着性能を有する材料で構成されていることが好ましい。さらに、無機バインダー材は分散剤を含んでいるとより好ましい。分散剤としては、例えば、増粘剤である、スメクタイト（ｓｍｅｃｔｉｔｅ）、ベントナイト、ヒュームドシリカ等が挙げられる。試料において、非金属ゲッター材としてのゼオライト、無機バインダー材としてのカオリン及び水の配合比率は、ゼオライト１０：カオリン１：水１６～１８を目安に適宜調整される。

第一ガス吸着材６１をペースト状（または液状）にする場合には、第一ガス吸着材６１に含まれる非金属ゲッター材は水中に分散された状態にする必要がある。ここで、第一ガス吸着材６１において粉末状の非金属ゲッター材は水に混入され難いため、第２ガラス板１Ｂの板面（第３面１３）に塗布された第一ガス吸着材６１は十分なガス吸着性能を有し難い。一方、第一ガス吸着材６１に含まれる無機バインダー材が分散剤を含むことで、第一ガス吸着材６１は、分散剤によって水に非金属ゲッター材が混入され易くなる。これにより、第２ガラス板１Ｂの板面（第３面１３）に塗布されたペースト状の第一ガス吸着材６１は、非金属ゲッター材が適度に分散されるため、十分なガス吸着性能の確保が容易になる。第一ガス吸着材６１は、例えば、ゼオライト（非金属ゲッター材）、カオリン（無機バインダー材）、及びスメクタイト（分散剤）を含む場合には、これらと水との配合比率を、ゼオライト１０：カオリン１：スメクタイト１：水１６～１８とすることで、ガラスパネルＰの板面に塗布可能な状態にすることができる。

第二ガス吸着材６２は、金属ゲッター材６３を内包する溝部を有する環状容器６４と、によって構成される。図２～図３に示されるように、第２ガラス板１Ｂの第３面１３には、第二ガス吸着材６２を収容する収容孔１８が環状に形成されており、第二ガス吸着材６２が収容孔１８の底面に配置されている。収容孔１８は、第２ガラス板１Ｂにおいて吸引孔４に対向する位置に形成される。収容孔１８に収容される金属ゲッター材６３は、例えばステンレス製の環状容器６４に内包される。

第二ガス吸着材６２の金属ゲッター材６３は、気体分子を化学的に吸着することのできる金属表面を有する金属製のゲッター材である。金属ゲッター材６３としては、非蒸発型である、ジルコニウム系（Ｚｒ－Ａｌ、Ｚｒ－Ｖ－Ｆｅ等）のゲッター材、又は、蒸発型である、Ｔｉ，Ｂａ，Ｍｇ等の金属、ＢａＡｌ、ＭｇＡｌ等の合金が用いられている。第二ガス吸着材６２は、金属ゲッター材６３を含んでいることから、Ｈ_２０、Ｎ_２、Ｏ_２、Ｈ_２、ＣＯ_２等の気体分子を、有効に吸着することができる。

金属ゲッター材６３には、蒸発型の金属ゲッター材６３が好ましく、例えばバリウム及びアルミニウムを含む合金を用いることができる。蒸発型の金属ゲッター材６３は、所定の熱量が加えられることで蒸発して第１ガラス板１Ａの第２面１２に付着する。第２面１２に付着した当該金属ゲッター材６３は、間隙部Ｖにおいて飛散した各種気体分子を吸着する。第２面１２に付着した金属ゲッター材６３の吸着能力は、金属ゲッター材６３が第２面１２に付着する面積に比例するため、ガラスパネルＰでは、蒸発した金属ゲッター材６３を第２面１２に広範囲に亘って付着させる方が好ましい。

このように、ガス吸着材６は、一対のガラス板１Ａ，１Ｂのうち間隙部Ｖの側で対向する一対の板面１２，１３のうちの第３面１３（一方面の一例）に、第一ガス吸着材６１と第二ガス吸着材６２とが離間して配置され、一対の板面１２，１３のうちの第３面１３（他方面の一例）から離間する。

第一ガス吸着材６１は、第２ガラス板１Ｂの第３面１３において連続した単一領域に配置されている。ここで、仮に、第一ガス吸着材６１が第２ガラス板１Ｂの第３面１３において複数の領域に配置される場合には、ガラスパネルＰは複数領域の第一ガス吸着材６１の存在によって外観上の影響が大きくなるおそれがある。また、第一ガス吸着材６１を配置するために、周縁封止材５とスペーサー２との間の距離Ｄ１を大きくした場合には、当該部位において一対のガラス板１Ａ，１Ｂの保持強度が低下することにもなる。本実施形態のように、第一ガス吸着材６１は、第２ガラス板１Ｂの第３面１３において連続した単一の領域に配置されることで、ガラスパネルＰにおいて第一ガス吸着材６１の外観上の影響を抑制できるとともに、一対のガラス板１Ａ，１Ｂの保持強度の低下を抑制することもできる。

第二ガス吸着材６２が蒸発型の金属ゲッター材６３（例えばバリウム及びアルミニウムを含む合金）で構成されることで、蒸発型の金属ゲッター材６３を加熱して活性化した場合に、バリウムが昇華するようになる。これにより、第二ガス吸着材６２は、バリウムの昇華によって間隙部Ｖに分散される吸着分子がガスを吸着するので、ガラスパネルＰにおいてガス吸着材６のガス吸着性能を確実に向上させることができる。ここで、蒸発型の金属ゲッター材６３であるバリウム及びアルミニウムを含む合金を活性化させるには、８００℃以上の高温で加熱する必要がある。第二ガス吸着材６２（蒸発型の金属ゲッター材６３）は、ガラスパネルＰにおいて外観上の影響を抑制するうえで、周縁封止材５に近接して配置することが好ましい。ただし、仮に周縁封止材５の融点が低い場合には、蒸発型の金属ゲッター材６３としてのバリウム及びアルミニウムを含む合金を加熱した際に、周縁封止材５が溶融する可能性があるため、第二ガス吸着材６２（蒸発型の金属ゲッター材６３）を周縁封止材５に近接して配置することができない。

このため、周縁封止材５としてははんだよりも融点が高いガラスフリットが好ましい。ガラスフリットは、 ガラス質の無機物であり、３００℃～９５０℃の範囲で軟化点を設定でき、用途に応じて組成を選択することができる。このため、蒸発型の金属ゲッター材６３であるバリウム及びアルミニウムを含む合金を活性化するために加熱しても、周縁封止材５であるガラスフリットは溶融され難い。したがって、周縁封止材５をガラスフリットとすることで、第二ガス吸着材６２（蒸発型の金属ゲッター材６３）としてのバリウム及びアルミニウムを含む合金を、ガラスパネルＰにおいて外観の影響が少ない周縁封止材５の近くに配置することができる。

第一ガス吸着材６１は、通常、ゼオライト系の非金属ゲッター材を粉末状にして構成される。本実施形態によれば、第一ガス吸着材６１が、多孔質構造を有するゼオライト系の非金属ゲッター材と、非金属ゲッター材を連結する無機バインダー材と、を含んで構成されているので、第一ガス吸着材６１は無機バインダー材によって粉末状の非金属ゲッター材が安定的に保持される。これにより、第一ガス吸着材６１は、非金属ゲッター材をパッケージ材によって覆う必要がなく、ガラスパネルＰは、簡易な構成によってガス吸着材６のガス吸着性能を安定的に確保することができる。ここで、仮に、第一ガス吸着材６１に含まれるバインダー材が有機材料によって構成される場合には、第一ガス吸着材６１を活性化温度まで加熱した際に有機材料からガスが発生することになる。このため、ガラスパネルＰにおいて間隙部Ｖにガスが残留して断熱性能が低下するおそれがある。一方、本実施形態では、第一ガス吸着材６１が無機バインダー材を含む構成であるので、第一ガス吸着材６１を活性化温度まで加熱したとしても無機バインダー材からはガスが発生しない。これにより、ガラスパネルＰにおいて断熱性能を維持することができる。

更に、本実施形態は、ガス吸着材６が一対のガラス板１Ａ，１Ｂのうち間隙部Ｖの側で対向する一対の板面１２，１３の第３面１３（一方面の一例）に配置されて第２面１２（他方面の一例）から離間するので、ガス吸着材６は、ガラス板１Ａの第２面１２（他方面）によってガスとの接触面積を減少させることなく、ガスとの接触面積を多く確保することができる。その結果、ガラスパネルＰは、簡易な構成によってガス吸着材６のガス吸着性能を安定的に確保することができる。

図３に示されるように、ガラスパネルＰにおいて、一対のガラス板１Ａ，１Ｂ（図３では第２ガラス板１Ｂのみを示す。）は、矩形状に形成されている。一対のガラス板１Ａ，１Ｂは、上下方向に延びる左右の長辺部３ａ，３ｂと左右方向に延びる上下の短辺部３ｃ，３ｄとを有する。本実施形態では、第一ガス吸着材６１は、ガラスパネルＰの下側の短辺部３ｄに配置され、第２ガラス板１Ｂの第３面１３（図２参照）に沿う線状に配置されている。図示しないが、第一ガス吸着材６１は、ガラスパネルＰの上側の短辺部３ｃに配置されてもよい。

一対のガラス板１Ａ，１Ｂが矩形状に形成されて長辺部３ａ，３ｂと短辺部３ｃ、３ｄとを有する場合には、第一ガス吸着材６１は、長辺部３ａ，３ｂ又は短辺部３ｃ、３ｄに配置することで、ガラスパネルＰにおいて外観上の影響を抑制することができる。本実施形態では、第一ガス吸着材６１を短辺部３ｄ（又は３ｃ）に配置しているため、一対のガラス板１Ａ，１Ｂに配置される第一ガス吸着材６１の長さを短くすることができる。その結果、ガラスパネルＰにおいて第一ガス吸着材６１の外観上の影響をより抑制することができる。

また、ガラスパネルＰにおいて、第一ガス吸着材６１及び第二ガス吸着材６２とスペーサー２とは、一対のガラス板１Ａ，１Ｂの板面に対する垂直方向視においてそれぞれ異なる位置に配置されている。したがって、ガス吸着材６は、減圧される間隙部Ｖにおいてスペーサー２とは異なる適所に配置され、表面積が確保される。その結果、減圧複層ガラスパネルであるガラスパネルＰにおいて、簡易な構成によってガス吸着材６のガス吸着性能を安定的に確保することができる。

また、本実施形態のように、第一ガス吸着材６１が周縁封止材５とスペーサー２との間に配置されることで、第一ガス吸着材６１はガラスパネルＰの外縁３の近くに配置することができる。これにより、ガラスパネルＰにおいてガス吸着材６の外観上の影響を抑制することができる。

仮に、第一ガス吸着材６１が隣接する複数のスペーサー２，２の間に配置される場合には、第一ガス吸着材６１の寸法に合わせて隣接する複数のスペーサー２，２の間隔を大きくする必要があり、ガラスパネルＰにおいて一対のガラス板１Ａ，１Ｂの保持強度が低下するおそれがある。一方、本実施形態のように、第一ガス吸着材６１が周縁封止材５とスペーサー２との間に配置されていると、隣接する複数のスペーサー２，２の間隔は所定のピッチＰｄにより一定に設定できるので、ガラスパネルＰは複数のスペーサー２，２の間において一対のガラス板１Ａ，１Ｂの保持強度を維持し易くなる。これにより、ガラスパネルＰにおいて一対のガラス板１Ａ，１Ｂの保持強度の低下を抑制することができる。

第一ガス吸着材６１は、周縁封止材５とスペーサー２との間の距離Ｄ１が４０ｍｍ以下であり、且つ、第一ガス吸着材６１と周縁封止材５との間の距離Ｄ２、及び、第一ガス吸着材６１とスペーサー２との間の距離Ｄ３が、いずれも１ｍｍ以上であると好ましい。

ガラスパネルＰにおいて、周縁封止材５とスペーサー２との間の距離Ｄ１が大きくなり過ぎると、一対のガラス板１Ａ，１Ｂの保持強度が低下する。第一ガス吸着材６１が配置される周縁封止材５とスペーサー２との間の距離Ｄ１は４０ｍｍ以下であることで、ガラスパネルＰにおいて一対のガラス板１Ａ，１Ｂの保持強度の低下を抑制することができる。また、第一ガス吸着材６１は、周縁封止材５との間の距離Ｄ２、及び、スペーサー２との間の距離Ｄ３が、いずれも１ｍｍ以上であることで、第一ガス吸着材６１は周縁封止材５及びスペーサー２と離間した状態で配置することできる。これにより、第一ガス吸着材６１は、表面にガスとの接触面積を多く確保することができる。その結果、ガラスパネルＰにおいて第一ガス吸着材６１のガス吸着性能を安定的に確保することができる。

第一ガス吸着材６１は、第３面１３の板面に沿う線状に配置され、幅Ｗ（図２参照）が１ｍｍ以上１５ｍｍ以下であり、長さＬ（図３参照）が１ｍｍ以上２０００ｍｍ以下であり、当該板面（第３面１３）に対する高さＨ（図２参照）が１０μｍ以上１９０μｍ以下であると好ましい。

このように、第一ガス吸着材６１が第２ガラス板１Ｂの第３面１３の板面に沿う線状に配置され、第一ガス吸着材６１の幅Ｗ及び長さＬが所定の範囲内であることで、ガラスパネルＰにおいて、第一ガス吸着材６１は、ガス吸着性能を十分に発揮することができ、外観上の影響を抑制することができる。第一ガス吸着材６１は、幅が１ｍｍ未満であるとガス吸着性能を十分に発揮できず、幅が１５ｍｍ超になると第一ガス吸着材６１が目立つ過ぎてガラスパネルＰの外観を損なうことになる。また、第一ガス吸着材６１は、長さＬが１ｍｍ未満であると第一ガス吸着材６１においてガス吸着性能を十分に発揮できず、長さが２０００ｍｍ超になると第一ガス吸着材６１が目立つ過ぎてガラスパネルＰの外観を損なうことになる。さらに、第一ガス吸着材６１は、板面（第３面１３）に対する高さＨが１０μｍ以上１９０μｍ以下であることで、ガラスパネルＰにおいて、第一ガス吸着材６１は、ガス吸着性能を十分に発揮することができ、第１ガラス板１Ａの第２面１２に接触し難くなるため、第１ガラス板１Ａが高硬度の第一ガス吸着材６１に接触して損傷する事態を回避することができる。一方、第一ガス吸着材６１は、高さＨが１０μｍ未満であるとガス吸着性能を十分に発揮できず、高さＨが１９０μｍ超になると第１ガラス板１Ａに衝撃等が作用した際に第一ガス吸着材６１が第１ガラス板１Ａの第２面１２に接触し易くなり、第一ガス吸着材６１が第１ガラス板１Ａの第２面１２に接触した場合には第１ガラス板１Ａが高硬度の第一ガス吸着材６１によって損傷するおそれがある。また、第一ガス吸着材６１の高さが１９０μｍ超になることで、第一ガス吸着材６１が一対のガラス板１Ａ，１Ｂの両面（第２面１２及び第３面１３）に接触する場合には、第一ガス吸着材６１によって一対のガラス板１Ａ，１Ｂの間で熱移動が発生するため、ガラスパネルＰの断熱性能が低下することにもなる。

また、本実施形態において、第一ガス吸着材６１に含まれる無機バインダー材がガス吸着性能を有する材料で構成されることで、ガラスパネルＰは、間隙部Ｖにおいて第一ガス吸着材６１によるガス吸着が無機バインダー材によってさらに促進される。これにより、ガラスパネルＰは、間隙部Ｖの熱貫流率（Ｕ値）が低減されるので、断熱性をより向上させることができる。

また、本実施形態では、ガス吸着材６が、非金属ゲッター材（第一ガス吸着材６１）の他に、金属ゲッター材６３（第二ガス吸着材６２）を更に含み、金属ゲッター材６３（第二ガス吸着材６２）が非金属ゲッター材（第一ガス吸着材６１）とは異なる位置に配置されている。これにより、ガス吸着材６は金属ゲッター材６３（第二ガス吸着材６２）によってもガス吸着が可能になる。具体的には、非金属ゲッター材は物理吸着によって短期的にガス吸着するのに対し、金属ゲッター材６３は化学吸着によって長期的にガス吸着する点で、両者の作用が異なる。このように、ガス吸着材６は、ガス吸着性能を発揮する時間が異なる非金属ゲッター材（第一ガス吸着材６１）と金属ゲッター材６３（第二ガス吸着材６２）とを有することで、ガス吸着性能をさらに向上させることができる。

なお、金属ゲッター材（第二ガス吸着材６２）と非金属ゲッター材（第一ガス吸着材６１）とは、一対のガラス板１Ａ，１Ｂの板面（例えば第１面１１）に対する垂直方向視において異なる位置であれば、両者が同じ板面（第２面１２又は第３面１３）に配置されてもよいし、非金属ゲッター材が第２面１２及び第３面１３の一方面に配置されて金属ゲッター材６３が第２面１２及び第３面１３の他方面に配置されてもよい。上述したように、第二ガス吸着材６２が蒸発型の金属ゲッター材６３で構成されることで、蒸発型の金属ゲッター材６３を加熱して活性化した場合に昇華するようになる。この金属ゲッター材６３が第一ガス吸着材６１に付着すると、ガス吸着性能が低下するおそれがあるが、第一ガス吸着材６１と第二ガス吸着材６２とを異なる位置に配置することで、第一ガス吸着材６１のガス吸着性能を維持できる。

また、本実施形態では、第二ガス吸着材６２を構成する金属ゲッター材６３が蒸発型金属ゲッター材であるため、金属ゲッター材６３を加熱して活性化させることで、金属ゲッター材６３の一部が蒸発して吸着分子が脱離し、間隙部Ｖに吸着分子が分散するようになる。これにより、第二ガス吸着材６２は、当該吸着分子によって間隙部Ｖのガスを効果的に吸着することができる。その結果、ガラスパネルＰにおいてガス吸着材６のガス吸着性能をさらに向上させることができる。

ガラスパネルＰは、図４に示されるフローチャートに基づいて製造される。まず、フロートガラスから成る所定の厚さの２枚のガラス素板（不図示）を所定の寸法、例えば、１２００ｍｍ×９００ｍｍに夫々切断し、同一形状且つ同一サイズであるガラス板１Ａ，１Ｂを準備する（ステップＳ３１）。次に、第１ガラス板１Ａに、その四隅のうちいずれか１つの近傍において吸引孔４をドリル等によって穿設し（ステップＳ３２）、第２ガラス板１Ｂに、吸引孔４に対向する位置において溝状の収容孔１８をドリル等によって穿設する（ステップＳ３３）（穿設ステップ）。

次に、クリーンルームやケミカルクリーンルーム等の空気の汚染状態を化学的又は物理的に制御可能な空間内において、液体洗浄法を用いて一対のガラス板１Ａ，１Ｂを洗浄する（ステップＳ３４）（洗浄ステップ）。この液体洗浄法で用いられる洗浄液は、例えば、アルカリ洗剤又はオゾン水を含有する。また、該洗浄液には、研磨材が含有されている。研磨材としては、例えば酸化セリウムを主成分とする微粒子が用いられる。

次いで、第２ガラス板１Ｂをほぼ水平に支持し、スペーサー２を一定のピッチＰｄで配設して、収容孔１８に蒸発型の金属ゲッター材６３を収容するとともに、第２ガラス板１Ｂの所定箇所に第一ガス吸着材６１を塗布する（ステップＳ３５）（ゲッター材配設ステップ）。その後、第２ガラス板１Ｂにその上方から第１ガラス板１Ａを載置して、一対のガラス板１Ａ，１Ｂのペアリングを行う（ステップＳ３６）。なお、第一ガス吸着材６１は、ゼオライト系の非金属ゲッター材を粉末状にした後、カオリン、スメクタイト及び水を追加してペースト状にしたものである。

さらに、ペアリングされた一対のガラス板１Ａ，１Ｂをほぼ水平に保ち、周縁封止材５として軟化点が４００℃～５００℃のガラスフリットを用いて、一対のガラス板１Ａ，１Ｂの外周縁部を封止する（ステップＳ３７）（封止ステップ）。周縁封止材５として溶解温度が２５０℃以下であるはんだを用いてもよい。例えば、周縁封止材５として、例えば９１．２Ｓｎ－８．８Ｚｎ（共晶点温度：１９８℃）の組成を有するはんだを用いてもよい。ｓ

周縁封止材５がガラスフリットの場合には、一対のガラス板１Ａ，１Ｂ及び周縁封止材５を約４００℃まで加熱して両者を溶着する。これにより、一対のガラス板１Ａ，１Ｂの外周縁部が周縁封止材５（ガラスフリット）によって封止する。

周縁封止材５がはんだの場合には、ステップＳ３７において、移動機構（不図示）を、一対のガラス板１Ａ，１Ｂの間隙部Ｖの周縁部Ｖ１に沿ってレール部材（不図示）上を一定速度で移動させ、一対のガラス板１Ａ，１Ｂの開先部分１９から導入板（不図示）を間隙部Ｖに挿入する（図１参照）。これにより、周縁封止材５が導入板を介して一対のガラス板１Ａ，１Ｂの周縁部Ｖ１全体に亘って浸入し、一対のガラス板１Ａ，１Ｂの周縁部Ｖ１が周縁封止材５によって気密に封止される。ここで、開先部分１９とは、ガラスパネルＰの角部に設けてあり、導入板を間隙部Ｖに挿入する際に、容易に実施できるよう、一対のガラス板１Ａ，１Ｂの間隙部Ｖ側の角部を面取りしてある箇所である。ここで、一対のガラス板１Ａ，１Ｂ及び周縁封止材５を約２００℃まで加熱して両者を溶着する。これにより、一対のガラス板１Ａ，１Ｂの外周縁部が周縁封止材５（はんだ）によって封止する。

次のステップＳ３８において、間隙部Ｖの圧力を１．３３Ｐａ以下にまで減圧するべく間隙部Ｖの気体を外部へ排出する真空引きを行う。具体的には、吸引孔４の近傍において吸引孔４を覆うように排気カップを第１ガラス板１Ａの大気側の主面に取付け、この排気カップに接続された不図示のロータリーポンプやターボ分子ポンプによって間隙部Ｖの気体を吸引する。

ただし、ステップＳ３８で用いるポンプは、上述のロータリーポンプやターボ分子ポンプに限られず、排気カップに接続でき、吸引可能なものであればよい。

第一ガス吸着材６１の活性化は、減圧工程の前後又は減圧工程に並行して行う。例えば、周縁封止材５がガラスフリットの場合には、周縁封止材５による封止後に、第一ガス吸着材６１の非金属ゲッター材を約４００℃に加熱して活性化する。周縁封止材５がはんだの場合には、周縁封止材５による封止後に、第一ガス吸着材６１の非金属ゲッター材を約２００℃に加熱して活性化する。また、間隙部Ｖを高温で減圧させている最中に第一ガス吸着材６１の非金属ゲッター材を活性化してもよく、第一ガス吸着材６１の非金属ゲッター材は、別途個別に局所加熱して活性化させてもよい。

次いで、吸引孔４を覆う吸引孔封止材１５を滴下させて、吸引孔４の近傍のガラス表面と吸引孔封止材１５を接着させて吸引孔４を封止する（ステップＳ３９）。吸引孔封止材１５がガラスフリットの場合には、吸引孔封止材１５が約３００℃に加熱されて吸引孔４を封止する。吸引孔封止材１５がはんだの場合には、吸引孔封止材１５が約２００℃に加熱されて吸引孔４を封止する。これにより、一対のガラス板１Ａ，１Ｂ間に形成された間隙部Ｖが密閉される。

尚、上述した各工程のうち、一対のガラス板１Ａ，１Ｂの主面を洗浄して（ステップＳ３４）から吸引孔４の近傍のガラス表面と吸引孔封止材１５を接着させて封止する（ステップＳ３９）までの各工程は、いずれも大気雰囲気下で実施される。

次いで、収容孔１８に収容された蒸発型の金属ゲッター材６３を、不図示の高周波装置を用いて局部的に加熱する（ステップＳ４０）。具体的には、蒸発型の金属ゲッター材６３を８００℃～１２００℃の状態に約１５秒維持することによって活性化（フラッシュ）し、ガラス板１Ａの内側の主面（第２面１２）に金属ゲッター材６３を蒸着させる。ガラス板１Ａの第２面１２に付着した金属ゲッター材６３は、間隙部Ｖに飛散した各種気体分子と接触して、その気体分子からなる水、ＣＯ、ＣＯ_２、Ｎ_２、Ｈ_２、Ｏ_２等のガスを吸着して除去し、本処理を終了する。

本実施形態によれば、一対のガラス板１Ａ，１Ｂの外周縁部を封止した（ステップＳ３７）後、且つ、吸引孔４を封止した（ステップＳ３９）後に、蒸発型の金属ゲッター材６３を局部的に加熱する（ステップＳ４０）ので、ガラス板１Ａの第２面１２に付着した金属ゲッター材６３が間隙部Ｖに飛散した気体分子を吸着することができ、間隙部Ｖの減圧度を長時間に亘って維持することができる。また、仮に一対のガラス板１Ａ，１Ｂの洗浄が不十分である場合でも、気体分子を吸着することができ、間隙部Ｖの減圧度を長時間に亘って維持することができる。しかも、金属ゲッター材６３（第二ガス吸着材６２）と非金属ゲッター材（第一ガス吸着材６１）とは異なる位置にあるので、第一ガス吸着材６１が金属ゲッター材６３では吸着しにくい炭化水素系ガス（ＣＨ_４、Ｃ_２Ｈ_６等）、アンモニアガス（ＮＨ_３）の気体分子を、有効に吸着することができる。

ガラスパネルＰは、建築物、自動車、船舶等の窓ガラス、又は冷蔵庫や保温装置等の各種装置の扉や壁部等、種々の用途で使用することができる。

〔第一実施形態の変形例〕
図５に示すように、ガラスパネルＰにおいて、第一ガス吸着材６１は、第１ガラス板１Ａの第２面１２に配置してもよい。この場合でも、第一ガス吸着材６１が第２面１２に塗布されるものであることから、一対のガラス板１Ａ，１Ｂのペアリングが容易である。

〔第二実施形態〕
図６に示すように、ガラスパネルＰにおいて、第一ガス吸着材６１は、第２ガラス板１Ｂの第３面１３のうち、隣接する複数のスペーサー２、２の間に配置してもよい。

複数のスペーサー２を有するガラスパネルＰでは、周縁封止材５と周縁封止材５に隣接するスペーサー２との間の距離Ｄ１（図２参照）が第一ガス吸着材６１の幅Ｗよりも小さい場合には、両者の間に第一ガス吸着材６１を配置できない。そのような場合には、第二実施形態のように、第一ガス吸着材６１を隣接する複数のスペーサー２の間に配置することで、ガラスパネルＰに第一ガス吸着材６１を確実に配置することができる。第一ガス吸着材６１は、例えば、周縁封止材５に隣接するスペーサー２と、当該スペーサー２に隣接するスペーサー２との間に配置されることで、一対のガラス板１Ａ，１Ｂの外縁３の近くに配置することができる。これにより、ガラスパネルＰにおいて第一ガス吸着材６１の外観上の影響を抑制することができる。

第一ガス吸着材６１は、隣接する複数のスペーサー２，２の間の距離Ｄ４（ピッチＰｄとほぼ同じ）が４０ｍｍ以下であり、第一ガス吸着材６１と隣接する複数のスペーサー２，２との間の距離Ｄ５及びＤ６がいずれも１ｍｍ以上であると好ましい。

ガラスパネルＰにおいて、隣接する複数のスペーサー２，２の間の距離Ｄ４が大きくなり過ぎると、ガラスパネルＰにおいて一対のガラス板１Ａ，１Ｂの保持強度が低下する。隣接する複数のスペーサー２，２の間の距離Ｄ４が４０ｍｍ以下であることで、ガラスパネルＰにおいて一対のガラス板１Ａ，１Ｂの保持強度の低下を抑制することができる。また、第一ガス吸着材６１は、隣接する複数のスペーサー２，２との間の距離Ｄ５及びＤ６がいずれも１ｍｍ以上であることで、第一ガス吸着材６１は隣接する複数のスペーサー２，２と離間した状態で配置することができる。これにより、第一ガス吸着材６１は、表面にガスとの接触面積を多く確保することができる。その結果、ガラスパネルＰにおいて第一ガス吸着材６１のガス吸着性能を安定的に確保することができる。

〔第二実施形態の変形例〕
図７に示すように、ガラスパネルＰにおいて、第一ガス吸着材６１は、第１ガラス板１Ａの第２面１２に配置してもよい。この場合でも、第一ガス吸着材６１が第２面１２に塗布されるものであることから、一対のガラス板１Ａ，１Ｂのペアリングが容易である。

［試験例］
図８に、試験１、試験２に用いるガラスパネルＰ１を示す。ガラスパネルＰ１は、一対のガラス板１Ａ，１Ｂがいずれも３００ｍｍ角の正方形状であり、板厚３．１ｍｍのフロートガラスである。一対のガラス板１Ａ，１Ｂの間に配置されるスペーサー２は、直径０．５ｍｍ、高さ０．２ｍｍであり、複数のスペーサー２のピッチＰｄを４０ｍｍに設定した。第１ガラス板１Ａに吸引孔４が形成され、第２ガラス板１Ｂの第３面１３に、金属ゲッター材６３を収容するための第一収容孔２１と非金属ゲッター材を収容するための第二収容孔２２とが形成される。第一収容孔２１は、第２ガラス板１Ｂにおいて左下の角部Ｃ１より上方及び右方に５０ｍｍ離れた位置に形成された有底円筒状の孔である。第二収容孔２２は、第２ガラス板１Ｂにおいて右下の角部Ｃ２より上方及び左方に５０ｍｍ離れた位置に形成された有底円筒状の孔である。第一収容孔２１及び第二収容孔２２は、いずれも直径６ｍｍ、深さ１ｍｍである。

ガラスパネルＰ１の周縁を封止する周縁封止材５、及び、吸引孔４を封止する吸引孔封止材１５は、共にＳｎ－Ｚｎ合金の「はんだ」であり、融点２００℃、密度０．００７３（ｇ／ｍｍ^３）、比熱２４３，０００（Ｊ／ｇ・Ｋ）である。周縁封止温度、真空排気温度、及び、吸引孔封止温度は、いずれも２００℃以下である。

〔試験１〕
試料１のガラスパネルでは、第一収容孔２１に金属ゲッター材として蒸発型のバリウム－アルミニウム（Ｂａ－Ａｌ）合金５ｍｇを収容し、第二収容孔２２（非金属ゲッター材）を有さない構成とした。試料２のガラスパネルは、試料１の第一収容孔２１の構成を含み、更に第二収容孔２２に非金属ゲッター材としてペレット状のゼオライト（ｚｅｏｌｉｔｅ）１ｍｇ～２０ｍｇを収容した、試料３のガラスパネルは、試料１の第一収容孔２１の構成を含み、更に第二収容孔２２にゼオライトに無機バインダー材のカオリン（ｋａｏｌｉｎ）を混入してペースト状にしたゲッター材を収容した。ゼオライト（非金属ゲッター材）にカオリン（無機バインダー材）が混入される場合には、これらと水との配合比率を、ゼオライト１０：カオリン１：水１６～１８とすることで、ガラスパネルの板面に塗布可能な状態（ペースト状）にすることができる。したがって、試料３のガラスパネルは、カオリンを０．１ｍｇ～２ｍｇ含む。試料４は、試料１の第一収容孔２１の構成を含み、更に第二収容孔２２にカオリンのみを収容した。試料４のガラスパネルは、カオリンを１ｍｇ～２０ｍｇ含む。

試料１～４において、熱貫流率（Ｕ値）をそれぞれ計測した。試験１の試験結果を図９に示す。なお、図９では、試料１～４において、バリウム－アルミニウム（Ｂａ－Ａｌ）合金を「Ｂａ」と略して表記した。

〔試験１の結果〕
図９に示されるように、Ｕ値は、試料１では約０．８２（Ｗ／ｍ^２Ｋ）、試料２では約０．７２（Ｗ／ｍ^２Ｋ）、試料３では約０．６４（Ｗ／ｍ^２Ｋ）、試料４では約０．７８（Ｗ／ｍ^２Ｋ）となった。上記の結果から、非金属ゲッター材（ゼオライト）に無機バインダー材（カオリン）を混入したガス吸着材を含む試料３のガラスパネルにおいて、Ｕ値が最も低くなることが実証された。これらのことから、第一ガス吸着材６１が、非金属ゲッター材に加えて無機バインダー材を更に含むことで、ガス吸着性能が向上することが分かる。

〔試験２〕
試料５は試料１に対応し、試料６は試料３に対応する。試料７は、試料３のペースト状のゼオライト及びカオリンに更に分散剤としてスメクタイト（ｓｍｅｃｔｉｔｅ）を追加したものである。試料６～７について、ゼオライト、カオリン、及びスメクタイトの総投入量を変更してそれぞれの熱貫流率（Ｕ値）を計測した。試験２の試験結果を図１０に示す。なお、図１０では、試料５～７において、バリウム－アルミニウム（Ｂａ－Ａｌ）合金を「Ｂａ」と略して表記した。

ゼオライト（非金属ゲッター材）にカオリン（無機バインダー材）やスメクタイト（分散剤）を混入する場合には、これらと水との配合比率を、ゼオライト１０：カオリン１：スメクタイト１：水１６～１８とすることで、ガラスパネルＰの板面に塗布可能な状態（ペースト状）にすることができる。試料６では、ゼオライト及びカオリンの総投入量を４ｍｇ及び１６ｍｇとし、これらの配合比率を、ゼオライト１０：カオリン１とした。この配合比率によれば、総投入量４ｍｇのうち、ゼオライトが３．６３ｍｇ（４ｍｇ×１０／１１）となり、カオリンが０．３７ｍｇ（４ｍｇ×１／１１）となる。また、総投入量１６ｍｇのうち、ゼオライトが１４．５４ｍｇ（１６ｍｇ×１０／１１）となり、カオリンが１．４６ｍｇ（１６ｍｇ×１／１１）となる。

試料７では、ゼオライト、カオリン、及びスメクタイトの総投入量を７ｍｇ及び９ｍｇとし、これらの配合比率を、ゼオライト１０：カオリン１：スメクタイト１とした。この配合比率によれば、総投入量７ｍｇのうち、ゼオライトが５．６４ｍｇ（７ｍｇ×１０／１２）となり、カオリンが０．５８ｍｇ（７ｍｇ×１／１２）、スメクタイトが０．５８ｍｇ（７ｍｇ×１／１２）となる。また、総投入量９ｍｇのうち、ゼオライトが７．５０ｍｇ（９ｍｇ×１０／１２）となり、カオリンが０．７５ｍｇ（９ｍｇ×１／１２）、スメクタイトが０．７５ｍｇ（９ｍｇ×１／１２）となる。
〔試験２の結果〕
図１０に示されるように、試料６では、ゼオライト及びカオリンを計４ｍｇ投入したところ、Ｕ値が初期（試料５のガラスパネル）の約０．８２（Ｗ／ｍ^２Ｋ）から約０．６６（Ｗ／ｍ^２Ｋ）まで大きく下降した。試料６について、ゼオライト及びカオリンの総投入量を１６ｍｇまで増加したところ、Ｕ値は約０．６４（Ｗ／ｍ^２Ｋ）となりＵ値の下降が緩やかになった。試料７では、ゼオライト、カオリン、及びスメクタイトを計７ｍｇ投入したところ、Ｕ値が初期（試料５のガラスパネル）の約０．８２から約０．７２（Ｗ／ｍ^２Ｋ）まで下降した。試料７について、ゼオライト、カオリン、及びスメクタイトの総投入量を９ｍｇまで増加したところ、Ｕ値が約０．６３（Ｗ／ｍ^２Ｋ）まで下降した。上記の結果から、非金属ゲッター材（ゼオライト）に所定量の無機バインダー材（カオリン）を混入したガス吸着材を含む試料６、及び、非金属ゲッター材（ゼオライト）に所定量の無機バインダー材（カオリン）と分散剤（スメクタイト）とを混入したガス吸着材を含む試料７のガラスパネルにおいて、Ｕ値が最も低くなることが実証された。試料７では、試料６に比べて若干、塗布量が必要となるものの、分散剤により第一ガス吸着材６１の取り扱いが容易となる。

［その他の実施形態］
（１）上記実施形態では、第一ガス吸着材６１が一対のガラス板１Ａ，１Ｂの一方面（第２面１２又は第３面１３）の板面に沿う線状に配置される例を示したが、第一ガス吸着材６１は、円形、角形等、線状以外の形状であってもよい。また、上記実施形態では、第一ガス吸着材６１が一対のガラス板１Ａ，１Ｂの一方面（第２面１２又は第３面１３）において連続した単一領域に配置されている例を示したが、第一ガス吸着材６１は一方面（第２面１２又は第３面１３）において複数の領域に分散させて配置してもよい。

（２）上記実施形態では、第一ガス吸着材６１が矩形状のガラスパネルＰの短辺部３ｃ，３ｄに配置される例を示したが、第一ガス吸着材６１は矩形状のガラスパネルＰの長辺部３ａ，３ｂに配置してもよい。

（３）上記実施形態では、第二ガス吸着材６２として蒸発型の金属ゲッター材６３を用いている例を示したが、第二ガス吸着材６２は、これに限るものではなく、加熱されて活性化することにより気体分子を吸着して除去する非蒸発型の金属ゲッター材６３を用いてもよい。また、第二ガス吸着材６２は、非蒸発型の金属ゲッター材と蒸発型の金属ゲッター材とを併用してもよく、また、ガラスパネルＰにおいて第二ガス吸着材６２（金属ゲッター材６３及び収容孔１８）を複数箇所に配置してもよい。複数の第二ガス吸着材６２は、一対のガラス板１Ａ，１Ｂの第２面１２及び第３面１３の一方または両方に配置してもよい。

（４）上記実施形態では、ガラスパネルＰにおいて、第２ガラス板１Ｂの第３面１３に形成される例を示したが、Ｌｏｗ－Ｅ膜１７は、第１ガラス板１Ａの第２面１２に形成されていてもよい。

本発明は、複層ガラスパネルに広く利用可能である。

１Ａ ：第１ガラス板
１Ｂ ：第２ガラス板
２ ：スペーサー（間隔保持部材）
３ ：外縁
３ａ，３ｂ：長辺部
３ｃ、３ｄ：短辺部
４ ：吸引孔
５ ：周縁封止材
６ ：ガス吸着材
１１ ：第１面
１２ ：第２面
１３ ：第３面
１４ ：第４面
１５ ：吸引孔封止材
１８ ：収容孔
６１ ：第一ガス吸着材
６２ ：第二ガス吸着材
６３ ：金属ゲッター材
６４ ：環状容器
Ｈ ：第一ガス吸着材の高さ
Ｌ ：第一ガス吸着材の長さ
Ｐ ：ガラスパネル（複層ガラスパネル）
Ｖ ：間隙部
Ｗ ：第一ガス吸着材の幅

Claims (14)

1. 対向する一対のガラス板と、
   一対の前記ガラス板の外縁全域に設けられ、一対の前記ガラス板の間に密閉された間隙部を形成する周縁封止材と、
   前記間隙部に配置される複数の間隔保持部材と、
   一対の前記ガラス板のうち前記間隙部の側で対向する一対の板面の一方面に配置され、一対の前記板面の他方面から離間するガス吸着材と、を備え、
   前記ガス吸着材は、多孔質構造を有するゼオライト系の非金属ゲッター材と、前記非金属ゲッター材を連結する無機バインダー材と、を含んでいる複層ガラスパネル。
2. 何れか一方の前記ガラス板において表裏に貫通した吸引孔を介して前記間隙部が減圧された状態で前記吸引孔を封止する吸引孔封止材、を更に備え、
   前記ガス吸着材と前記間隔保持部材とは、前記板面に対する垂直方向視においてそれぞれ異なる位置に配置されている請求項１に記載の複層ガラスパネル。
3. 前記ガス吸着材は、前記周縁封止材と前記間隔保持部材との間に配置されている請求項１又は２に記載の複層ガラスパネル。
4. 前記ガス吸着材は、隣接する複数の前記間隔保持部材の間に配置されている請求項１又は２に記載の複層ガラスパネル。
5. 前記ガス吸着材は、前記周縁封止材と前記間隔保持部材との間の距離が４０ｍｍ以下であり、且つ、前記ガス吸着材と前記周縁封止材との間の距離、及び、前記ガス吸着材と前記間隔保持部材との間の距離が、いずれも１ｍｍ以上である請求項３に記載の複層ガラスパネル。
6. 前記ガス吸着材は、隣接する複数の前記間隔保持部材の間の距離が４０ｍｍ以下であり、前記ガス吸着材と隣接する複数の前記間隔保持部材との間の距離がいずれも１ｍｍ以上である請求項４に記載の複層ガラスパネル。
7. 前記ガス吸着材は、前記一方面の前記板面に沿う線状に配置され、幅が１ｍｍ以上１５ｍｍ以下であり、長さが１ｍｍ以上２０００ｍｍ以下であり、当該板面に対する高さが１０μｍ以上１９０μｍ以下である請求項１から６のいずれか一項に記載の複層ガラスパネル。
8. 前記無機バインダー材はガス吸着性能を有する材料で構成されている請求項１から７のいずれか一項に記載の複層ガラスパネル。
9. 前記ガス吸着材は、前記一方面において連続した単一領域に配置されている請求項１から８のいずれか一項に記載の複層ガラスパネル。
10. 一対の前記ガラス板は、矩形状に形成されて長辺部と短辺部とを有し、
    前記ガス吸着材は、前記短辺部に配置されている請求項１から９のいずれか一項に記載の複層ガラスパネル。
11. 前記無機バインダー材は分散剤を含んでいる請求項１から１０のいずれか一項に記載の複層ガラスパネル。
12. 前記ガス吸着材は、金属ゲッター材を更に含み、前記板面に対する垂直方向視において、前記金属ゲッター材と前記非金属ゲッター材とは異なる位置に配置されている請求項１から１１のいずれか一項に記載の複層ガラスパネル。
13. 前記金属ゲッター材は蒸発型金属ゲッター材である請求項１２に記載の複層ガラスパネル。
14. 前記蒸発型金属ゲッター材がバリウム及びアルミニウムを含む合金で構成されており、且つ、前記周縁封止材がガラスフリットである請求項１３に記載の複層ガラスパネル。
    

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