JP2023011395A - 放熱部材 - Google Patents
放熱部材 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2023011395A JP2023011395A JP2021115230A JP2021115230A JP2023011395A JP 2023011395 A JP2023011395 A JP 2023011395A JP 2021115230 A JP2021115230 A JP 2021115230A JP 2021115230 A JP2021115230 A JP 2021115230A JP 2023011395 A JP2023011395 A JP 2023011395A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pin fins
- fin
- pin
- fin group
- surface area
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- H10W40/22—
-
- H10W40/47—
Landscapes
- Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)
- Cooling Or The Like Of Electrical Apparatus (AREA)
Abstract
Description
図1は、本開示の第1実施形態に係る放熱部材1の構成を示す図である。図1における上段は、放熱部材1の第3方向一方側から視た平面図であり、図1における下段は、放熱部材1の第2方向一方側へ視た側面図である。
上記のように、ピンフィン30A,30B,30Cは、円柱状であり、少なくとも1つの領域RB,RCにおいて配置されるピンフィン30B,30Cの径DB,DCは、別の領域RAにおいて配置されるピンフィン30Aの径DAよりも太い。これにより、冷却性能の向上の必要性が高い箇所で、ピンフィンの径を太くすることで、レイノルズ数および熱伝達係数を大きくすることができる。
図1に示すフィン群3A,3B,3Cにおいては、ピンフィン30A,30B,30Cは、いわゆる千鳥状に配置されている。すなわち、少なくとも1つのフィン群3A,3B,3Cの少なくともいずれかにおいて、第2方向に並ぶピンフィン30A,30B,30Cをフィン列として、第1方向に隣り合うフィン列同士で、互いに一方のフィン列における第2方向に隣り合うピンフィンの間に、他方のフィン列におけるピンフィンが配置される。これにより、フィン群における乱流効果が高まり、冷却性能を向上させることができる。
放熱部材1は、例えば、鍛造によりピンフィン30A,30B,30Cとベース部2とを一体的に形成することで形成される。この場合、図7に示すように、ピンフィン30A,30B,30Cとベース部2とは、一体の部材として構成される。これにより、ピンフィン30A,30B,30Cとベース部2との接合部は、ピンフィン30A,30B,30Cとベース部2と同じ材質であるため、接合部での熱伝導率を後述のロウ付けなどよりも大きくすることができる。
図1に示す構成では、フィン群3A,3B間の構成は、次のようになっている。放熱部材1は、第1方向に隣り合うフィン群3A,3Bにおける第1方向一方側の第1フィン群3Bと、第1方向他方側の第2フィン群3Aと、を有する。第1フィン群3Bにおける最も第1方向他方側の第2方向に並ぶピンフィン30Bの一列PBと、第2フィン群3Aにおける最も第1方向一方側の第2方向に並ぶピンフィン30Aの一列PAとで、ピンフィンの第2方向位置は一致する。これにより、第1フィン群3Bにおける最も第1方向他方側のピンフィンの一列PBにおける圧力損失を低減できる。なお、図1に示すフィン群3B,3C間でも同様の構成とされている。
図10は、本開示の第2実施形態に係る放熱部材1の構成を示す平面図である。なお、図10においては、図1と同様に図示しない複数の発熱体が冷媒Wの流れ方向に沿って配置される。
図12は、本開示の第3実施形態に係る放熱部材1の構成を示す図である。図12の上段は、第3方向一方側から視た平面図を示し、図12の下段は、第2方向一方側へ視た側面図である。なお、図12の下段においては、ウォータージャケット6の側面断面もあわせて図示している。また、図12においては、図1と同様に図示しない複数の発熱体が冷媒Wの流れ方向に沿って配置される。
以上、本開示の実施形態を説明した。なお、本開示の範囲は上述の実施形態に限定されない。本開示は、発明の主旨を逸脱しない範囲で上述の実施形態に種々の変更を加えて実施することができる。また、上述の実施形態で説明した事項は、矛盾を生じない範囲で適宜任意に組み合わせることができる。
2 ベース部
3A 上流側フィン群
3B 中央フィン群
3C 下流側フィン群
4A、4B,4C 発熱体
5 ロウ材
6 ウォータージャケット
10 放熱フィン部
21 第3方向一方側面
22 第3方向他方側面
30 ピンフィン
30A,30B,30C ピンフィン
30R 凹部
30T 凸部
61 天面部
61A 下面
301A,301B,301C ピンフィン
302,303,304 ピンフィン
RA,RB,RC 領域
W 冷媒
Claims (12)
- 冷媒が流れる方向に沿う第1方向、かつ第1方向に直交する第2方向に広がり、第1方向および第2方向に直交する第3方向に厚みを有する板形状のベース部と、
前記ベース部から第3方向一方側に柱状に突出する複数のピンフィンから構成される少なくとも1つのフィン群と、
を有し、
前記冷媒が接触可能な表面積を前記ピンフィンの表面積として、
少なくとも1つの領域において配置される前記ピンフィンの表面積は、別の領域において配置される前記ピンフィンの表面積よりも広い、放熱部材。 - 前記冷媒が流れる下流側である第1方向一方側に向かうにつれて、表面積が広くなる前記ピンフィンを有する、請求項1に記載の放熱部材。
- 前記フィン群は、第1方向に複数並び、
同じ前記フィン群における個々の前記ピンフィンの表面積は同じであり、
前記フィン群ごとに個々の前記ピンフィンの表面積は、異なっている、請求項1または請求項2に記載の放熱部材。 - 前記複数の前記フィン群において前記冷媒が流れる下流側である第1方向一方側の前記フィン群ほど、個々の前記ピンフィンの表面積が広くなる、請求項3に記載の放熱部材。
- 前記少なくとも1つの領域において配置される前記ピンフィンの第3方向長さは、前記別の領域において配置される前記ピンフィンの第3方向長さよりも長い、請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の放熱部材。
- 前記少なくとも1つの領域と前記別の領域とで、前記ピンフィンの表面に径方向内側に凹んで形成される凹部と、前記ピンフィンの表面に径方向外側に突出して形成される凸部の少なくとも一方によって前記ピンフィンの表面積が異なっている、請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の放熱部材。
- 前記少なくとも1つのフィン群の少なくともいずれかにおいて、第2方向に並ぶ前記ピンフィンをフィン列として、第1方向に隣り合う前記フィン列同士で、互いに一方の前記フィン列における第2方向に隣り合う前記ピンフィンの間に、他方の前記フィン列における前記ピンフィンが配置される、請求項1から請求項6のいずれか1項に記載の放熱部材。
- 前記少なくとも1つのフィン群の少なくともいずれかにおいて、第2方向に並ぶ前記ピンフィンをフィン列として、第1方向に隣り合う前記フィン列同士で、前記ピンフィンの第2方向位置は一致する、請求項1から請求項7のいずれか1項に記載の放熱部材。
- 少なくともいずれかの前記ピンフィンと前記ベース部とは、一体の部材として構成される、請求項1から請求項8に記載の放熱部材。
- 少なくともいずれかの前記ピンフィンと前記ベース部とは、別体の部材として構成される、請求項1から請求項9のいずれか1項に記載の放熱部材。
- 第1方向に隣り合う前記フィン群における第1方向一方側の第1フィン群と、第1方向他方側の第2フィン群と、を有し、
前記第1フィン群における最も第1方向他方側の第2方向に並ぶ前記ピンフィンの一列と、前記第2フィン群における最も第1方向一方側の第2方向に並ぶ前記ピンフィンの一列とで、前記ピンフィンの第2方向位置は一致する、請求項1から請求項10のいずれか1項に記載の放熱部材。 - 第1方向に隣り合う前記フィン群における第1方向一方側の第3フィン群と、第1方向他方側の第4フィン群と、を有し、
前記第3フィン群における最も第1方向他方側の第2方向に並ぶ前記ピンフィンの一列と、前記第4フィン群における最も第1方向一方側の第2方向に並ぶ前記ピンフィンの一列とで、互いに一方の前記ピンフィンの一列における第2方向に隣り合う前記ピンフィンの間に、他方の前記ピンフィンの一列における前記ピンフィンが配置される、請求項1から請求項11のいずれか1項に記載の放熱部材。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2021115230A JP7675582B2 (ja) | 2021-07-12 | 2021-07-12 | 放熱部材 |
| CN202210805867.9A CN115621222A (zh) | 2021-07-12 | 2022-07-08 | 散热部件 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2021115230A JP7675582B2 (ja) | 2021-07-12 | 2021-07-12 | 放熱部材 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2023011395A true JP2023011395A (ja) | 2023-01-24 |
| JP7675582B2 JP7675582B2 (ja) | 2025-05-13 |
Family
ID=84857444
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2021115230A Active JP7675582B2 (ja) | 2021-07-12 | 2021-07-12 | 放熱部材 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP7675582B2 (ja) |
| CN (1) | CN115621222A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2026023419A1 (ja) * | 2024-07-22 | 2026-01-29 | 東京エレクトロン株式会社 | ステージ、および基板処理装置 |
Citations (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003047258A (ja) * | 2001-07-30 | 2003-02-14 | Hiroshima Aluminum Industry Co Ltd | 水冷式ヒートシンク |
| JP2008140831A (ja) * | 2006-11-30 | 2008-06-19 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 放熱構造体 |
| US20090145581A1 (en) * | 2007-12-11 | 2009-06-11 | Paul Hoffman | Non-linear fin heat sink |
| JP2010153785A (ja) * | 2008-11-28 | 2010-07-08 | Fuji Electric Systems Co Ltd | 半導体冷却装置 |
| JP2012069892A (ja) * | 2010-09-27 | 2012-04-05 | Denso Corp | 半導体冷却器 |
| JP2013165097A (ja) * | 2012-02-09 | 2013-08-22 | Nissan Motor Co Ltd | 半導体冷却装置 |
| US20150107801A1 (en) * | 2013-10-21 | 2015-04-23 | International Business Machines Corporation | Coolant-cooled heat sink configured for accelerating coolant flow |
| JP2016039202A (ja) * | 2014-08-06 | 2016-03-22 | スズキ株式会社 | インバータ装置 |
| WO2016194158A1 (ja) * | 2015-06-03 | 2016-12-08 | 三菱電機株式会社 | 液冷冷却器、及び液冷冷却器に於ける放熱フィンの製造方法 |
| JP2017135285A (ja) * | 2016-01-28 | 2017-08-03 | 株式会社豊田自動織機 | 冷却器、及び冷却器の製造方法 |
| CN110678043A (zh) * | 2019-09-30 | 2020-01-10 | 潍柴动力股份有限公司 | 一种液冷散热器和一种电机控制器 |
-
2021
- 2021-07-12 JP JP2021115230A patent/JP7675582B2/ja active Active
-
2022
- 2022-07-08 CN CN202210805867.9A patent/CN115621222A/zh active Pending
Patent Citations (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003047258A (ja) * | 2001-07-30 | 2003-02-14 | Hiroshima Aluminum Industry Co Ltd | 水冷式ヒートシンク |
| JP2008140831A (ja) * | 2006-11-30 | 2008-06-19 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 放熱構造体 |
| US20090145581A1 (en) * | 2007-12-11 | 2009-06-11 | Paul Hoffman | Non-linear fin heat sink |
| JP2010153785A (ja) * | 2008-11-28 | 2010-07-08 | Fuji Electric Systems Co Ltd | 半導体冷却装置 |
| JP2012069892A (ja) * | 2010-09-27 | 2012-04-05 | Denso Corp | 半導体冷却器 |
| JP2013165097A (ja) * | 2012-02-09 | 2013-08-22 | Nissan Motor Co Ltd | 半導体冷却装置 |
| US20150107801A1 (en) * | 2013-10-21 | 2015-04-23 | International Business Machines Corporation | Coolant-cooled heat sink configured for accelerating coolant flow |
| JP2016039202A (ja) * | 2014-08-06 | 2016-03-22 | スズキ株式会社 | インバータ装置 |
| WO2016194158A1 (ja) * | 2015-06-03 | 2016-12-08 | 三菱電機株式会社 | 液冷冷却器、及び液冷冷却器に於ける放熱フィンの製造方法 |
| JP2017135285A (ja) * | 2016-01-28 | 2017-08-03 | 株式会社豊田自動織機 | 冷却器、及び冷却器の製造方法 |
| CN110678043A (zh) * | 2019-09-30 | 2020-01-10 | 潍柴动力股份有限公司 | 一种液冷散热器和一种电机控制器 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2026023419A1 (ja) * | 2024-07-22 | 2026-01-29 | 東京エレクトロン株式会社 | ステージ、および基板処理装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN115621222A (zh) | 2023-01-17 |
| JP7675582B2 (ja) | 2025-05-13 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2023011389A (ja) | 放熱部材 | |
| JPWO2016194158A1 (ja) | 液冷冷却器、及び液冷冷却器に於ける放熱フィンの製造方法 | |
| US9713284B2 (en) | Locally enhanced direct liquid cooling system for high power applications | |
| US10015907B2 (en) | Heat dissipating device | |
| TWI805433B (zh) | 具有針柱式鰭片的水冷散熱板、以及具有其的封閉式水冷散熱器 | |
| JP2011233688A (ja) | 半導体冷却器 | |
| WO2022244628A1 (ja) | ヒートシンク構造 | |
| JP2023011395A (ja) | 放熱部材 | |
| JP2023011392A (ja) | 放熱部材 | |
| TWI812374B (zh) | 具有不等間距鰭片組的車用水冷散熱板、以及具有其的封閉式車用水冷散熱器 | |
| JP2023037693A (ja) | 冷却装置 | |
| JP2003100974A (ja) | 空冷式半導体ヒートシンク | |
| JP5756332B2 (ja) | ヒートシンク | |
| JP5129942B2 (ja) | 半導体装置 | |
| TWI811045B (zh) | 具有不等表面積鰭片組的車用水冷散熱板、以及具有其的封閉式車用水冷散熱器 | |
| US12194831B2 (en) | Vehicle water-cooling heat sink plate having fin sets with different fin pitch distances | |
| CN115966531A (zh) | 功率模块的散热系统 | |
| KR200228898Y1 (ko) | 방열판 | |
| JP2008218828A (ja) | 冷却装置及び冷却装置付半導体装置 | |
| JP2024123329A (ja) | 放熱部材、および冷却装置 | |
| CN114514606A (zh) | 包括蛇形通路的冷却系统 | |
| US20240381566A1 (en) | Cooling plate | |
| TW201414980A (zh) | 散熱器 | |
| JP2024130014A (ja) | 半導体用冷却器 | |
| JP2023135729A (ja) | 冷却部材 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20240610 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20241224 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20241226 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20250221 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20250422 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20250428 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7675582 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |