JP2022030669A - 切削装置 - Google Patents

Abstract

【課題】ボードを自動で交換可能な切削装置を提供する。【解決手段】被加工物を切削ブレードで切削する切削装置であって、切削ブレードによって切削されて溝が形成されるボードを保持するチャックテーブルと、スピンドルと、スピンドルの先端部に固定され切削ブレードが装着されるマウントフランジと、を有する切削ユニットと、マウントフランジに装着された切削ブレードとブレード保管部に保管された切削ブレードとを交換し、且つ、チャックテーブルに載置されたボードとボード保管部に保管されたボードとを交換する交換装置と、を備え、交換装置は、切削ブレード及びボードを吸引保持する保持部を備え、保持部は、切削ブレード又は切削ブレードを固定するための基台に接触して切削ブレードを吸引保持するブレード吸引パッドと、ブレード吸引パッドの先端よりも保持部の外側に突出してボードを支持するボード支持部と、を備える。【選択図】図６

Description

本発明は、被加工物を切削ブレードで切削する切削装置に関する。

ＩＣ（Integrated Circuit）、ＬＳＩ（Large Scale Integration）等のデバイスが複数形成されたウェーハを分割することにより、デバイスをそれぞれ備える複数のデバイスチップが製造される。また、複数のデバイスチップを所定の基板上に実装した後、実装されたデバイスチップを樹脂でなる封止材（モールド樹脂）で被覆することにより、パッケージ基板が得られる。このパッケージ基板を分割することにより、パッケージ化された複数のデバイスチップを備えるパッケージデバイスが製造される。デバイスチップやパッケージデバイスは、携帯電話、パーソナルコンピュータ等の様々な電子機器に搭載される。

上記のウェーハ、パッケージ基板等の被加工物を分割する際には、切削装置が用いられる。切削装置は、被加工物を保持するチャックテーブルと、被加工物に切削加工を施す切削ユニットとを備える。切削ユニットは、スピンドルと、スピンドルの先端部に固定されるマウントフランジとを備えており、マウントフランジに被加工物を切削する環状の切削ブレードが装着される。

切削ブレードは、ナットによってマウントフランジに固定される。そして、マウントフランジに切削ブレードが装着された状態でスピンドルを回転させると、切削ブレードが回転する。回転する切削ブレードをチャックテーブルによって保持された被加工物に切り込ませることにより、被加工物が切削され、分割される。

切削ブレードは、被加工物の加工によって摩耗するため、定期的に交換される。切削ブレードを交換する際は、まず、切削ブレードを固定しているナットを緩めて取り外し、使用済みの切削ブレードをマウントフランジ取り外す。その後、交換用の切削ブレード（未使用の切削ブレード）をマウントフランジに装着し、ナットで交換用の切削ブレードを固定する。

切削ブレードの交換を手作業で行うと、手間がかかる上、作業中に切削ブレードやナットが誤って落下する恐れがある。そこで、切削ブレードの交換を自動で行う試みがなされている。特許文献１には、切削ユニット（スピンドルユニット）に装着されている切削ブレードの交換を自動で行うブレード交換装置が搭載された切削装置が開示されている。

上記のブレード交換装置は、切削ブレードの着脱を行う切削ブレード着脱機構と、切削ブレードを切削ユニットに固定するためのナットの着脱を行うナット着脱機構とを備えている。また、切削ブレード着脱機構は、使用済みの切削ブレードを把持する第１保持部（第１の切削ブレード把持手段）と、交換用の切削ブレードを把持する第２保持部（第２の切削ブレード把持手段）とを備えている。

特開２００７－９８５３６号公報

切削装置では、切削ブレードの他、切削ブレードのメンテナンスや検査を行うためのボードが使用される。例えば、切削ブレードによって被加工物を加工する際には、切削ブレードの形状の修正や切削ブレードの切れ味の確保等を目的として、切削ブレードの先端部を意図的に摩耗させるドレッシングが実施される。このドレッシングは、切削ブレードをドレッシングボードに切り込ませることによって行われる。また、切削ブレードを検査用ボードに切り込ませて検査用ボードに溝を形成し、この溝の形状や寸法を測定することにより、切削ブレードの先端部の形状や下端位置（切り込み深さ）の確認が行われることがある。

上記のドレッシングボードや検査用ボード等のボードは、切削ブレードによって切削される消耗品であり、定期的に交換される。しかしながら、前述の通り切削ブレードの交換作業については自動化が進められているものの、ボードの交換作業は手動で実施されている。そのため、ボードの交換作業には手間がかかる。

また、仮にボードの交換を自動で行う場合には、ブレード交換装置に加えて、ボードの交換を行うボード交換装置を構築し、切削装置に搭載する必要がある。そのため、切削装置内にブレード交換装置とボード交換装置との両方を設置するための広いスペースを確保することが要求される。その結果、切削装置のサイズが増大し、切削装置の構成要素のレイアウトも制限されてしまう。

本発明はかかる問題に鑑みてなされたものであり、ボードを自動で交換可能な切削装置の提供を目的とする。

本発明の一態様によれば、被加工物を切削ブレードで切削する切削装置であって、該切削ブレードによって切削されて溝が形成されるボードを保持するチャックテーブルと、スピンドルと、該スピンドルの先端部に固定され該切削ブレードが装着されるマウントフランジと、を有する切削ユニットと、該マウントフランジに装着された該切削ブレードとブレード保管部に保管された該切削ブレードとを交換し、且つ、該チャックテーブルに載置された該ボードとボード保管部に保管された該ボードとを交換する交換装置と、を備え、該交換装置は、該切削ブレード及び該ボードを吸引保持する保持部を備え、該保持部は、該切削ブレード又は該切削ブレードを固定するための基台に接触して該切削ブレードを吸引保持するブレード吸引パッドと、該ブレード吸引パッドの先端よりも該保持部の外側に突出して該ボードを支持するボード支持部と、を備え、該保持部によって吸引保持された該ボードは、該ブレード吸引パッドに接触しない状態で該ボード支持部によって支持される切削装置が提供される。

なお、好ましくは、該保持部は、吸引源に接続される吸引路、又は、気体供給源に接続される気体供給路を有し、該吸引路又は該気体供給路は、該保持部の該切削ブレード又は該ボードと対面する面側に連通している。また、好ましくは、該交換装置は、２つの該保持部を有し、一方の該保持部は、該マウントフランジに装着された該切削ブレード、又は、該チャックテーブルに載置された該ボードを保持し、他方の該保持部は、該ブレード保管部に保管された該切削ブレード、又は、該ボード保管部に保管された該ボードを保持する。

また、好ましくは、該切削ブレードは、環状の持ち手と、該持ち手の外周部に形成された切刃とを備え、該保持部は、該持ち手に負圧を作用させて該持ち手を吸引保持する。また、好ましくは、該基台は、第１面と、該切削ブレードを支持する第２面と、該第１面から該第２面に至る貫通孔と、を備え、該保持部は、該第１面に負圧を作用させて該基台を吸引保持するとともに、該貫通孔を介して該第２面に負圧を作用させて該切削ブレードを吸引保持する。

本発明の一態様に係る切削装置は、切削ブレード及びボードを交換可能な交換装置を備える。これにより、切削ブレードの交換だけでなくボードの交換も自動で実施することが可能となり、ボードの交換作業が簡易化される。また、交換装置は、切削ブレード及びボードを保持可能な保持部を備える。これにより、切削ブレードを保持する機構とボードを保持する機構とを別途独立して設ける必要がなく、切削装置のサイズの増大が抑制される。

切削装置を示す斜視図である。 ハブタイプの切削ブレードが装着される切削ユニットを示す分解斜視図である。 ワッシャータイプの切削ブレードが装着される切削ユニットを示す分解斜視図である。 交換ユニットを示す斜視図である。 交換装置が交換位置に配置された交換ユニットを示す斜視図である。 交換装置を示す斜視図である。 図７（Ａ）は交換装置を示す側面図であり、図７（Ｂ）は交換装置を示す正面図である。 図８（Ａ）は保持部を示す正面図であり、図８（Ｂ）は保持部を示す断面図である。 図９（Ａ）はハブタイプの切削ブレードを保持する保持部を示す断面図であり、図９（Ｂ）はワッシャータイプの切削ブレードを保持する保持部を示す断面図である。 図１０（Ａ）はストックユニットを示す斜視図であり、図１０（Ｂ）はブレード保管部を示す斜視図である。 図１１（Ａ）は交換用切削ブレード保持ステップにおける交換装置を示す模式図であり、図１１（Ｂ）はナット取り外しステップにおける交換装置を示す模式図であり、図１１（Ｃ）は第１退避ステップにおける交換装置を示す模式図であり、図１１（Ｄ）は使用済み切削ブレード保持ステップにおける交換装置を示す模式図である。 図１２（Ａ）は第２退避ステップにおける交換装置を示す模式図であり、図１２（Ｂ）は切削ブレード装着ステップにおける交換装置を示す模式図であり、図１２（Ｃ）は第３退避ステップにおける交換装置を示す模式図であり、図１２（Ｄ）はナット装着ステップにおける交換装置を示す模式図である。 図１３（Ａ）は大型のボードを保持する保持部を示す斜視図であり、図１３（Ｂ）は大型のボードを保持する保持部を示す断面図である。 図１４（Ａ）は小型のボードを保持する保持部を示す斜視図であり、図１４（Ｂ）は小型のボードを保持する保持部を示す断面図である。 図１５（Ａ）は交換用ボード保持ステップにおける交換装置を示す模式図であり、図１５（Ｂ）は使用済みボード保持ステップにおける交換装置を示す模式図であり、図１５（Ｃ）は退避ステップにおける交換装置を示す模式図であり、図１５（Ｄ）は載置ステップにおける交換装置を示す模式図である。 ストックユニットが設置された切削装置を示す斜視図である。 回転式の載置部を備えるストックユニットを示す斜視図である。

以下、添付図面を参照して本発明の一態様に係る実施形態を説明する。まず、本実施形態に係る切削装置の構成例を説明する。図１は、切削装置２を示す斜視図である。なお、図１において、Ｘ軸方向（加工送り方向、第１水平方向、前後方向）とＹ軸方向（割り出し送り方向、第２水平方向、左右方向）とは、互いに垂直な方向である。また、Ｚ軸方向（鉛直方向、上下方向、高さ方向）は、Ｘ軸方向及びＹ軸方向と垂直な方向である。

切削装置２は、切削装置２を構成する各構成要素を支持又は収容する基台４を備える。基台４の前方側の角部には、昇降台６ａを備えるエレベータ６が設けられている。エレベータ６は昇降機構（不図示）を備えており、昇降台６ａをＺ軸方向に沿って昇降させる。

エレベータ６の昇降台６ａ上には、切削装置２で使用される各種の用具（部品、消耗品等）が収容される容器８と、切削装置２による切削加工の対象となる複数の被加工物１１を収容するカセット１０とが載置される。図１には、昇降台６ａ上に容器８が載置され、容器８上にカセット１０が載置されている例を示している。なお、容器８に収容される用具の詳細については後述する。

カセット１０は、互いに対向する一対の側面を有する。また、カセット１０の各側面にはそれぞれ、カセット１０の高さ方向に沿って所定の間隔で配置された複数のガイドレール１０ａが固定されている。カセット１０の両側面に固定され同じ高さ位置に配置された一対のガイドレール１０ａにより、被加工物１１を含むフレームユニット（被加工物ユニット）１７が支持される。

例えば被加工物１１は、シリコン等の半導体材料でなる円盤状のウェーハである。被加工物１１は、格子状に配列された複数の分割予定ライン（ストリート）によって複数の領域に区画されており、この領域の表面（上面）側にはそれぞれ、ＩＣ、ＬＳＩ等のデバイスが形成されている。被加工物１１を分割予定ラインに沿って切削して分割することにより、デバイスをそれぞれ備える複数のデバイスチップが製造される。

ただし、被加工物１１の材質、形状、構造、大きさ等に制限はない。例えば被加工物１１は、シリコン以外の半導体（ＧａＡｓ、ＩｎＰ、ＧａＮ、ＳｉＣ等）、ガラス、セラミックス、樹脂、金属等でなるウェーハであってもよい。また、被加工物１１に形成されるデバイスの種類、数量、形状、構造、大きさ、配置等にも制限はなく、被加工物１１にはデバイスが形成されていなくてもよい。さらに、被加工物１１は、ＣＳＰ（Chip Size Package）基板、ＱＦＮ（Quad Flat Non-leaded package）基板等のパッケージ基板であってもよい。

被加工物１１の裏面（下面）側には、被加工物１１よりも直径が大きい円形のテープ（ダイシングテープ）１３が貼付される。テープ１３としては、円形に形成されたフィルム状の基材と、基材上に設けられた粘着層（糊層）とを有するシート等を用いることができる。例えば、基材はポリオレフィン、ポリ塩化ビニル、ポリエチレンテレフタラート等の樹脂でなり、粘着層はエポキシ系、アクリル系、又はゴム系の接着剤等でなる。また、粘着層には、紫外線の照射によって硬化する紫外線硬化型の樹脂を用いてもよい。

テープ１３の外周部は、金属等でなり中央部に円形の開口を備える環状のフレーム１５に貼付される。なお、フレーム１５の開口の直径は被加工物１１の直径よりも大きく、被加工物１１はフレーム１５の開口の内側に配置される。

被加工物１１及びフレーム１５にテープ１３が貼付されると、被加工物１１がテープ１３を介してフレーム１５によって支持される。これにより、被加工物１１、テープ１３、フレーム１５を含むフレームユニット１７が構成される。そして、１又は複数のフレームユニット１７が、カセット１０に収容される。

基台４の上面側の、エレベータ６にＸ軸方向で隣接する領域には、開口４ａが設けられている。開口４ａの内部には、被加工物１１を洗浄する洗浄ユニット１２が配置されている。洗浄ユニット１２は、被加工物１１を保持するスピンナテーブル１４と、スピンナテーブル１４の上方に設けられ純水等の洗浄液を供給するノズル（不図示）とを備える。

スピンナテーブル１４には、スピンナテーブル１４をＺ軸方向に概ね平行な回転軸の周りで回転させるモータ等の回転駆動源（不図示）が接続されている。スピンナテーブル１４によって被加工物１１を保持した状態で、スピンナテーブル１４を回転させつつノズルから洗浄液を被加工物１１に供給することにより、被加工物１１が洗浄される。なお、洗浄液としては、液体（純水等）とエアーとが混合された気液混合流体等を用いることもできる。

洗浄ユニット１２の上方には、フレームユニット１７を保持する一対のガイドレール１６がＸ軸方向に沿って設けられている。一対のガイドレール１６には、一対のガイドレール１６をＹ軸方向に沿って互いに接近及び離隔するように移動させる移動機構（不図示）が接続されている。一対のガイドレール１６でフレームユニット１７を挟み込むことにより、フレームユニット１７のＹ軸方向における位置が調整される。

基台４の上面側の、ガイドレール１６にＹ軸方向で隣接する位置には、矩形状の開口４ｂが設けられている。開口４ｂは、長手方向がＸ軸方向に沿うように形成されている。開口４ｂの内部には、平板状のテーブルカバー１８が設けられている。また、テーブルカバー１８のＸ軸方向における両側には、Ｘ軸方向に伸縮可能な蛇腹状の防塵防滴カバー２０が設けられている。

テーブルカバー１８上には、被加工物１１等を保持するチャックテーブル（保持テーブル）２２が設けられている。チャックテーブル２２の上面は、被加工物１１等を保持する平坦な保持面を構成している。また、チャックテーブル２２の周囲には、フレーム１５等を把持して固定する複数のクランプ２４が設けられている。

例えばチャックテーブル２２は、ステンレス鋼等の金属でなる円柱状の枠体（不図示）を備える。また、枠体の中央部の上面側には円形の凹部が形成されており、この凹部にはポーラスセラミックス等の多孔質材料でなる円盤状のポーラス部材が嵌め込まれている。チャックテーブル２２の保持面は、ポーラス部材、チャックテーブル２２の内部に設けられた流路（不図示）、バルブ（不図示）等を介して、エジェクタ等の吸引源（不図示）に接続されている。

例えばフレームユニット１７は、被加工物１１の表面側が上方に露出し、被加工物１１の裏面側（テープ１３側）がチャックテーブル２２の保持面と対向するように、チャックテーブル２２上に配置される。また、フレーム１５が複数のクランプ２４によって固定される。この状態で、チャックテーブル２２の保持面に吸引源の負圧を作用させると、被加工物１１がテープ１３を介してチャックテーブル２２によって吸引保持される。

また、テーブルカバー１８上には、一対のチャックテーブル（サブテーブル）２６がチャックテーブル２２に隣接して設けられている。一対のチャックテーブル２６は、チャックテーブル２２の後方側に、Ｙ軸方向において互いに離隔した状態で配置されている。

チャックテーブル２６の上面は、切削加工のセットアップ、検査、評価等に用いられる板状の部材を保持する平坦な保持面を構成する。例えば、チャックテーブル２６の保持面は矩形状に形成され、チャックテーブル２６の内部に設けられた流路（不図示）、バルブ（不図示）等を介して、エジェクタ等の吸引源（不図示）に接続されている。このチャックテーブル２６によって、後述のボード１９，２１（図１０（Ａ）参照）等が保持される。

テーブルカバー１８の下方には、移動ユニット（不図示）及び回転駆動源（不図示）が設けられている。移動ユニットは、ボールねじ式の移動機構等によって構成され、チャックテーブル２２及びチャックテーブル２６をテーブルカバー１８とともにＸ軸方向に沿って移動させる。また、回転駆動源は、モータ等によって構成され、チャックテーブル２２をＺ軸方向に概ね平行な回転軸の周りで回転させる。

開口４ｂの前方側（開口４ａと隣接する領域）は、被加工物１１の搬入及び搬出が行われる搬送領域に相当する。また、開口４ｂの後方側は、被加工物１１の加工が行われる加工領域に相当する。移動ユニットによってチャックテーブル２２及びチャックテーブル２６をＸ軸方向に沿って移動させることにより、チャックテーブル２２及びチャックテーブル２６を搬送領域又は加工領域に位置付けることができる。

加工領域の上方には、被加工物１１が切削される空間を形成する加工室（カバー）２８が設けられている。図１では、加工室２８の輪郭を二点鎖線で示している。加工室２８は、例えば金属等によって直方体状に形成され、加工領域を覆うように配置される。また、加工室２８の搬送領域側の側面には、後述の交換装置１００（図６等参照）が通過可能な出入口（開口）２８ａが設けられている。

加工室２８の内側には、被加工物１１を切削する一対の切削ユニット３０が設けられている。切削ユニット３０は、環状の切削ブレードを回転させて被加工物１１に切り込ませることにより、被加工物１１を切削する。例えば切削ユニット３０には、ハブタイプの切削ブレード３６（図２参照）が装着される。

図２は、ハブタイプの切削ブレード３６が装着される切削ユニット３０を示す分解斜視図である。切削ユニット３０は筒状のハウジング３２を備え、ハウジング３２にはＹ軸方向に沿って配置された円柱状のスピンドル３４が収容されている。

スピンドル３４の先端部（一端側）はハウジング３２の外部に露出しており、スピンドル３４の先端部にはねじ穴３４ａが形成されている。また、スピンドル３４の基端部（他端側）には、モータ等の回転駆動源が接続されている。このスピンドル３４の先端部に、環状の切削ブレード３６が装着される。スピンドル３４の先端部に装着された切削ブレード３６は、回転駆動源からスピンドル３４を介して伝達される動力によって回転する。

切削ブレード３６は、金属等でなる環状の持ち手（基台）３８と、持ち手３８の外周縁に沿って形成された環状の切刃４０とが一体となって構成されている。切削ブレード３６の中央部には、切削ブレード３６（持ち手３８）を厚さ方向に貫通する円形の開口３６ａが設けられている。

持ち手３８は、互いに概ね平行な表面（第１面）３８ａと裏面（第２面）３８ｂとを備える。持ち手３８の表面３８ａは、切削ブレード３６の着脱時に保持される環状の保持面を構成する。また、切刃４０は、持ち手３８の裏面３８ｂ側の外周部に形成されている。例えば切刃４０は、ダイヤモンド等でなる砥粒がニッケルめっき層等の結合材によって固定された電鋳砥石によって構成される。

スピンドル３４の先端部には、切削ブレード３６が装着されるマウントフランジ４２が固定される。マウントフランジ４２は、切削ブレード３６を支持する円盤状のフランジ部４４と、フランジ部４４の表面４４ａの中央部から突出する円柱状のボス部（支持軸）４６とを備える。また、マウントフランジ４２には、フランジ部４４の中央部及びボス部４６の中央部を貫通する貫通孔４２ａが設けられている。

フランジ部４４の外周部には、表面４４ａから突出する環状の凸部４４ｂが設けられている。凸部４４ｂの先端面は、表面４４ａと概ね平行に形成されており、切削ブレード３６を支持する環状の支持面４４ｃを構成する。

ボス部４６の先端部の外周面には、ねじ部４６ａが形成されており、ねじ部４６ａには環状のナット４８が締結される。ナット４８の中央部には、ナット４８を厚さ方向に貫通する円形の開口４８ａが形成されている。開口４８ａはボス部４６と概ね同径に形成され、開口４８ａにはボス部４６のねじ部４６ａに対応するねじ溝が設けられている。また、ナット４８には、ナット４８を厚さ方向に貫通する複数の貫通孔４８ｂが、ナット４８の周方向に沿って概ね等間隔に形成されている。

ねじ５０を、マウントフランジ４２の貫通孔４２ａを介してスピンドル３４のねじ穴３４ａに挿入し、ねじ穴３４ａに螺合させて締め付けることにより、マウントフランジ４２がスピンドル３４の先端部に固定される。そして、切削ブレード３６の開口３６ａにボス部４６を挿入すると、切削ブレード３６がマウントフランジ４２に装着される。この状態で、ボス部４６のねじ部４６ａにナット４８を締結すると、切削ブレード３６がフランジ部４４の支持面４４ｃとナット４８とによって挟持され、マウントフランジ４２に固定される。

一方、切削ユニット３０には、ワッシャータイプの切削ブレード５２（図３参照）が装着されてもよい。図３は、ワッシャータイプの切削ブレード５２が装着される切削ユニット３０を示す分解斜視図である。

切削ブレード５２は、砥粒がメタルボンド、レジンボンド、ビトリファイドボンド等の結合材によって固定された環状の切刃によって構成されている。また、切削ブレード５２の中央部には、切削ブレード５２を厚さ方向に貫通する円形の開口５２ａが設けられている。

スピンドル３４の先端部には、切削ブレード５２が装着されるマウントフランジ５４が装着される。マウントフランジ５４は、スピンドル３４の先端部に固定される固定マウント５６と、固定マウント５６に装着された切削ブレード５２を固定する基台（押さえフランジ）６２とを備える。

固定マウント５６は、切削ブレード５２を支持する円盤状のフランジ部５８と、フランジ部５８の表面５８ａの中央部から突出する円柱状のボス部（支持軸）６０とを備える。また、固定マウント５６には、フランジ部５８の中央部及びボス部６０の中央部を貫通する貫通孔５６ａが設けられており、貫通孔５６ａの内側には後述のワッシャー６６を支持する環状の受け部５６ｂが設けられている。

フランジ部５８の外周部には、表面５８ａから突出する環状の凸部５８ｂが設けられている。凸部５８ｂの先端面は、表面５８ａと概ね平行に形成されており、切削ブレード５２を支持する環状の支持面５８ｃを構成する。

ボス部６０は、フランジ部５８の表面５８ａから突出する環状の第１ボス部（第１支持軸）６０ａと、第１ボス部６０ａの先端から突出する環状の第２ボス部（第２支持軸）６０ｂと、第２ボス部６０ｂの先端から突出する環状の第３ボス部（第３支持軸）６０ｃとを備える。第２ボス部６０ｂの直径は第１ボス部６０ａの直径よりも小さく、第３ボス部６０ｃの直径は第２ボス部６０ｂの直径よりも小さい。また、第１ボス部６０ａ、第２ボス部６０ｂ、第３ボス部６０ｃは、同心円状に設けられている。

固定マウント５６には、切削ブレード５２を固定するための基台６２が装着される。基台６２は、金属等でなる環状の部材であり、互いに概ね平行な表面（第１面）６２ａと裏面（第２面）６２ｂとを備える。基台６２の表面６２ａは、基台６２の着脱時に保持される環状の保持面に相当する。また、基台６２の裏面６２ｂは、切削ブレード３６を支持する環状の支持面に相当する。

基台６２の中央部には、基台６２の表面６２ａから裏面６２ｂに至る円形の開口６２ｃが設けられている。また、基台６２の外周縁と開口６２ｃとの間の領域には、基台６２の表面６２ａから裏面６２ｂに至り基台６２を貫通する複数の貫通孔６２ｄが、基台６２の周方向に沿って概ね等間隔に形成されている。

固定マウント５６のボス部６０の先端部の外周面には、ねじ部６０ｄが形成されており、このねじ部６０ｄには環状のナット６４が締結される。ナット６４の中央部には、ナット６４を厚さ方向に貫通する円形の開口６４ａが形成されている。開口６４ａは第３ボス部６０ｃと概ね同径に形成され、開口６４ａにはボス部６０のねじ部６０ｄに対応するねじ溝が設けられている。また、ナット６４には、ナット６４を厚さ方向に貫通する複数の貫通孔６４ｂが、ナット６４の周方向に沿って概ね等間隔に形成されている。

固定マウント５６は、ねじ６８によってスピンドル３４に装着される。具体的には、まず、ワッシャー６６が固定マウント５６の受け部５６ｂに配置される。この状態で、ねじ６８を、ワッシャー６６及び固定マウント５６の貫通孔５６ａを介して、スピンドル３４のねじ穴３４ａに挿入し、ねじ穴３４ａに螺合させて締め付ける。これにより、固定マウント５６がスピンドル３４の先端部に固定される。

また、切削ブレード５２の開口５２ａと基台６２の開口６２ｃとにボス部６０を順に挿入すると、切削ブレード５２及び基台６２が固定マウント５６に装着される。なお、基台６２の裏面６２ｂ側には、裏面６２ｂから突出する環状の凸部（不図示）が設けられている。この凸部は、外周面が切削ブレード５２の開口５２ａの輪郭に沿い、内壁（内周面）が第１ボス部６０ａの外周面の輪郭に沿うように形成されている。

基台６２の凸部は、切削ブレード５２の開口５２ａの内側に嵌め込まれる。これにより、基台６２と切削ブレード５２との位置合わせが行われる。また、第１ボス部６０ａが基台６２の凸部の内壁の内側に嵌め込まれ、第２ボス部６０ｂが、基台６２の開口６２ｃに嵌め込まれる。

この状態で、第３ボス部６０ｃに形成されたねじ部６０ｄにナット６４を締結すると、切削ブレード３６及び基台６２が固定マウント５６に固定される。これにより、切削ブレード３６がフランジ部５８の支持面５８ｃと基台６２の裏面６２ｂとによって挟持され、マウントフランジ５４に固定される。

上記のようにして、切削ブレード３６又は切削ブレード５２が、図１に示す一対の切削ユニット３０それぞれに装着される。なお、一対の切削ユニット３０に装着された切削ブレード３６又は切削ブレード５２は、互いに対面するように配置される。

一対の切削ユニット３０にはそれぞれ、チャックテーブル２２によって保持された被加工物１１等を撮像する撮像ユニット７０が装着されている。例えば撮像ユニット７０は、可視光を受光して電気信号に変換する撮像素子を備える可視光カメラや、赤外線を受光して電気信号に変換する撮像素子を備える赤外線カメラ等によって構成される。撮像ユニット７０の撮像によって得られた画像に基づいて、被加工物１１と切削ユニット３０との位置合わせ等が行われる。

さらに、基台４の上方には、被加工物１１を搬送する第１搬送ユニット７２が設けられている。第１搬送ユニット７２には、第１搬送ユニット７２をＸ軸方向及びＹ軸方向に沿って移動させる移動機構（不図示）が接続されている。また、第１搬送ユニット７２はエアシリンダを備えており、エアシリンダはＺ軸方向に沿って昇降するロッドを内蔵している。

エアシリンダのロッドの下端部には、フレームユニット１７のフレーム１５等を保持する保持ユニット７２ａが固定されている。例えば保持ユニット７２ａは、フレームユニット１７のフレーム１５の上面側を吸引して保持する複数の吸引パッドを備える。また、保持ユニット７２ａのエレベータ６側の端部には、フレームユニット１７のフレーム１５等の端部を把持する把持機構７２ｂが設けられている。

第１搬送ユニット７２が備える保持ユニット７２ａの上方には、被加工物１１を搬送する第２搬送ユニット７４が設けられている。第２搬送ユニット７４には、第２搬送ユニット７４をＹ軸方向に沿って移動させる移動機構（不図示）が接続されている。また、第２搬送ユニット７４はエアシリンダを備えており、エアシリンダはＺ軸方向に沿って昇降するロッドを内蔵している。

エアシリンダのロッドの下端部には、フレームユニット１７のフレーム１５等を保持する保持ユニット７４ａが固定されている。保持ユニット７４ａの構成は、第１搬送ユニット７２の保持ユニット７２ａと同様である。

また、チャックテーブル２２の側方には、切削ユニット３０に装着された切削ブレード３６，５２等の交換を行う交換ユニット７６が設けられている。交換ユニット７６の構成の詳細については後述する。

基台４の交換ユニット７６側の縁部には、板状のカバー７８が設けられている。カバー７８の一端部は、ヒンジ８０を介して基台４に接続されており、カバー７８はヒンジ８０を中心に回転可能となっている。

切削ユニット３０による被加工物１１の加工が行われる際には、カバー７８は図１に実線で示すように、Ｚ軸方向に沿って立った状態（開状態）となる。一方、交換ユニット７６による切削ブレード３６，５２等の交換が行われる際には、カバー７８は図１に二点鎖線で示すように、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に沿って横たわった状態（閉状態）となる。

切削装置２を構成する各構成要素（エレベータ６、洗浄ユニット１２、ガイドレール１６、チャックテーブル２２、クランプ２４、チャックテーブル２６、切削ユニット３０、撮像ユニット７０、第１搬送ユニット７２、第２搬送ユニット７４、交換ユニット７６等）はそれぞれ、制御ユニット（制御部）８２に接続されている。制御ユニット８２は、切削装置２の各構成要素の動作を制御するための制御信号を生成し、切削装置２の稼働を制御する。

例えば制御ユニット８２は、コンピュータによって構成され、切削装置２の稼働に必要な各種の処理（演算等）を行う処理部８２ａと、処理部８２ａによる処理に用いられる各種の情報（データ、プログラム等）が記憶される記憶部８２ｂとを含む。処理部８２ａは、ＣＰＵ（Central Processing Unit）等のプロセッサを含んで構成される。また、記憶部８２ｂは、主記憶装置、補助記憶装置等を構成する各種のメモリを含んで構成される。

上記の切削装置２によって、被加工物１１の切削加工が行われる。被加工物１１を加工する際は、まず、加工の対象となる被加工物１１を含むフレームユニット１７が、カセット１０に収容される。そして、カセット１０がエレベータ６の昇降台６ａ上に載置される。

カセット１０に収容されたフレームユニット１７は、第１搬送ユニット７２によってカセット１０から搬出される。具体的には、第１搬送ユニット７２は把持機構７２ｂでフレーム１５の端部を把持した状態で、カセット１０から離れるようにＸ軸方向に沿って移動する。これにより、フレームユニット１７がカセット１０から引き出され、一対のガイドレール１６上に配置される。そして、フレームユニット１７が一対のガイドレール１６によって挟み込まれ、フレームユニット１７の位置合わせが行われる。

次に、第１搬送ユニット７２は保持ユニット７２ａでフレーム１５の上面側を保持し、フレームユニット１７を搬送領域に配置されたチャックテーブル２２上に搬送する。また、チャックテーブル２２は、被加工物１１の裏面側（テープ１３側）を吸引保持した状態で、搬送領域から加工領域に移動する。これにより、被加工物１１が加工室２８の内側に配置される。

そして、撮像ユニット７０で被加工物１１を撮像することによって取得された画像に基づいて被加工物１１と切削ユニット３０との位置合わせが行われた後、被加工物１１が切削ユニット３０によって切削される。例えば、被加工物１１は分割予定ラインに沿って切削され、複数のデバイスチップに分割される。

切削加工が完了すると、チャックテーブル２２は搬送領域へ移動する。そして、第２搬送ユニット７４は保持ユニット７４ａでフレーム１５の上面側を保持し、フレームユニット１７をチャックテーブル２２から洗浄ユニット１２へ搬送する。そして、洗浄ユニット１２によって被加工物１１の洗浄が行われる。

被加工物１１の洗浄が完了すると、第１搬送ユニット７２は保持ユニット７２ａでフレーム１５を保持し、フレームユニット１７を一対のガイドレール１６上へ搬送する。そして、フレームユニット１７が一対のガイドレール１６によって挟み込まれ、フレームユニット１７の位置合わせが行われる。その後、第１搬送ユニット７２は把持機構７２ｂでフレーム１５を把持した状態でカセット１０側に向かって移動し、フレームユニット１７をカセット１０に収容する。

制御ユニット８２の記憶部８２ｂには、上記の切削装置２の一連の動作を記述するプログラムが記憶されている。そして、オペレーターが切削装置２に被加工物１１の加工を指示すると、処理部８２ａは記憶部８２ｂから該プログラムを読み出して実行し、切削装置２の各構成要素の動作を制御するための制御信号を順次生成する。

ここで、切削ユニット３０に装着された切削ブレード３６，５２は、被加工物１１を切削することによって徐々に摩耗するため、定期的に交換される。切削装置２では、交換ユニット７６によって切削ブレード３６，５２の交換が自動で実施される。

図４は、交換ユニット７６を示す斜視図である。交換ユニット７６は、切削ブレード３６，５２の交換を行う交換装置（交換機構）１００と、交換装置１００を移動させる移動ユニット（移動機構）８４とを備える。移動ユニット８４は、交換装置１００をＺ軸方向に沿って移動させる昇降機構８６と、昇降機構８６に連結され交換装置１００をＸ軸方向及びＹ軸方向と平行な方向（水平方向）に沿って移動させる多関節アーム９０とを備える。

昇降機構８６は、Ｚ軸方向に沿って配置された柱状のベース板８８を備え、多関節アーム９０をベース板８８に沿ってＺ軸方向に移動させる。例えば昇降機構８６は、ベース板８８の下部に設けられ、シャフトに駆動プーリーが固定されたモータ（不図示）と、ベース板８８の上部に設けられた従動プーリー（不図示）とを備える。駆動プーリーと従動プーリーとには１本の歯付無端ベルト（不図示）が架けられ、歯付無端ベルトには金属製の第１支持具９２Ａが固定される。

昇降機構８６のモータのシャフトを第１の方向に回転させると第１支持具９２Ａが上昇し、第１の方向とは逆の第２の方向に回転させると第１支持具９２Ａが下降する。これにより、第１支持具９２ＡがＺ軸方向に沿って昇降する。

ただし、昇降機構８６の構成は、第１支持具９２Ａの昇降が可能であれば制限はない。例えば昇降機構８６は、ボールネジ式の昇降機構であってもよい。ボールネジ式の昇降機構は、Ｚ軸方向に沿って配置された一対のガイドレール（不図示）を有する。また、一対のガイドレールには、平板状の移動プレート（不図示）がガイドレールに沿ってスライド可能な状態で取り付けられる。

移動プレートの表面（第１面）側には、第１支持具９２Ａが固定される。また、移動プレートの裏面（第２面）側には、ナット部（不図示）が設けられている。このナット部は、一対のガイドレールと概ね平行に配置されたボールネジに螺合される。ボールネジの一端部にはパルスモータ（不図示）が連結されており、このパルスモータを回転させると第１支持具９２ＡがＺ軸方向に沿って昇降する。

第１支持具９２Ａには、モータ等の回転駆動源を有する第１回転機構９４Ａが固定されている。この回転駆動源は、回転軸がＺ軸方向に概ね平行に配置されるように設けられている。第１回転機構９４Ａには、Ｘ軸方向及びＹ軸方向と平行な方向に沿って配置された第１アーム９６Ａの一端部が取り付けられている。

第１アーム９６Ａの他端部には、第２回転機構９４Ｂが取り付けられている。第２回転機構９４Ｂは、回転軸がＺ軸方向に概ね平行に配置されたモータ等の回転駆動源を有する。第２回転機構９４Ｂには、Ｘ軸方向及びＹ軸方向と平行な方向に沿って配置された第２アーム９６Ｂの一端部が取り付けられている。

第２アーム９６Ｂの他端部には、第３回転機構９４Ｃが取り付けられている。第３回転機構９４Ｃは、回転軸がＺ軸方向に概ね平行に配置されたモータ等の回転駆動源を有する。第３回転機構９４Ｃには、金属製の第２支持具９２Ｂが取り付けられている。そして、第２支持具９２Ｂには、切削ブレード３６，５２等の交換を行う交換装置１００が装着されている。

交換装置１００は、ベース板８８に隣接する位置（退避位置）に配置される。そして、切削ブレード３６，５２等の交換を行う際は、移動ユニット８４が駆動し、交換装置１００が基台４の上方（交換位置）に配置される。図５は、交換装置１００が交換位置に配置された交換ユニット７６を示す斜視図である。

交換装置１００は、昇降機構８６によってＺ軸方向に沿って昇降するとともに、多関節アーム９０によってＸ軸と及びＹ軸と平行な平面（水平面）に沿って移動する。すなわち、交換装置１００は、昇降機構８６及び多関節アーム９０によって任意の位置に位置付けられる。

次に、交換装置１００の構成例について説明する。図６は、交換装置１００を示す斜視図である。また、図７（Ａ）は交換装置１００を示す側面図であり、図７（Ｂ）は交換装置１００を示す正面図である。なお、図７（Ｂ）では、後述の連結部材１１４ａ，１１４ｂの図示を省略している。以下、主に図６を参照して交換装置１００の構成を説明する。

交換装置１００は、切削ブレード３６，５２及びナット４８，６４（図２及び図３参照）の着脱を行う着脱ユニット１０２を備える。また、着脱ユニット１０２には、着脱ユニット１０２を回転させる回転機構１０４が連結されている。

回転機構１０４は、着脱ユニット１０２に連結される回転部（シャフト）１０６と、回転部１０６を、回転部１０６の内部を通る直線を回転軸１０６ａとして回転（自転）させるモータ等の回転駆動源（不図示）とを備える。回転駆動源は、回転部１０６を回転軸１０６ａの周りで双方向（第１の方向と、第１の方向とは逆方向の第２の方向）に回転させる。回転部１０６が回転すると、回転部１０６に連結された着脱ユニット１０２が回転部１０６に連動して回転軸１０６ａの周りを回転する。

着脱ユニット１０２は、回転機構１０４の回転部１０６に連結された枠体１１０を備える。枠体１１０は、金属等でなり互いに概ね平行に配置された一対の板状の支持部材１１２ａ，１１２ｂを備える。

支持部材１１２ａ，１１２ｂの間には、直方体状の連結部材１１４ａ，１１４ｂが設けられている。連結部材１１４ａは、支持部材１１２ａ，１１２ｂの一端部（回転部１０６側）に固定され、連結部材１１４ｂは、支持部材１１２ａ，１１２ｂの他端部（回転部１０６とは反対側）に固定されている。すなわち、支持部材１１２ａ，１１２ｂは、連結部材１１４ａ，１１４ｂを介して互いに連結されている。

枠体１１０には、切削ブレード３６，５２を切削ユニット３０に装着するためのナット４８，６４（図２及び図３参照）を保持して回転させるナット回転部（ナット着脱ユニット）１２０が装着されている。ナット回転部１２０は、ナット４８，６４を保持するナット保持部１２２と、ナット保持部１２２に連結された柱状の回転部（シャフト）１２４（図７（Ｂ）参照）とを備える。

回転部１２４は、筒状のハウジング１２６に収容されている。回転部１２４の一端側（先端部）はハウジング１２６から露出しており、回転部１２４の一端側にナット保持部１２２が接続される。また、回転部１２４の他端側（基端部）は、回転部１２４を、回転部１２４の内部を通る直線を回転軸１２４ａとして回転（自転）させるモータ等の回転駆動源１２８に連結されている。

回転駆動源１２８は、回転部１２４を回転軸１２４ａの周りで双方向（第１の方向と、第１の方向とは逆方向の第２の方向）に回転させる。回転部１２４が回転すると、回転部１２４に連結されたナット保持部１２２が回転部１２４に連動して回転軸１２４ａの周りを回転する。

なお、支持部材１１２ａの中央部には、支持部材１１２ａを厚さ方向に貫通する開口（不図示）が設けられており、支持部材１１２ｂの中央部には、支持部材１１２ｂを厚さ方向に貫通する開口（不図示）が設けられている。そして、ハウジング１２６から露出する回転部１２４の一端側は、支持部材１１２ａの開口に挿入され、支持部材１１２ａから枠体１１０の外側に向かって突出する。また、回転部１２４の他端側は、ハウジング１２６の端部とともに支持部材１１２ｂの開口に挿入され、支持部材１１２ｂから枠体１１０の外側に向かって突出する。

回転部１２４の一端側は、枠体１１０の外側でナット保持部１２２に連結される。また、回転部１２４の他端側は、枠体１１０の外側で回転駆動源１２８に連結される。これにより、枠体１１０がナット保持部１２２と回転駆動源１２８とによって挟まれ、ナット回転部１２０が枠体１１０に装着される。そして、ナット回転部１２０は、ナット保持部１２２の回転軸（回転軸１２４ａに相当）が回転部１０６の回転軸１０６ａと垂直な方向に沿うように配置される。

ナット保持部１２２は、回転部１２４の一端側に固定された円柱状の回転部材１３０を備える。回転部材１３０は、ばね等によって支持部材１１２ａとは反対側に向かって付勢されており、外力が付与されると支持部材１１２ａ側に向かって移動する。

また、回転部材１３０は、支持部材１１２ａとは反対側に位置する表面１３０ａを備える。そして、回転部材１３０には、表面１３０ａから突出する複数（図６では４個）の保持ピン１３２が、表面１３０ａの周方向に沿って概ね等間隔に設けられている。

保持ピン１３２は、ナット４８の貫通孔４８ｂ（図２参照）又はナット６４の貫通孔６４ｂ（図３参照）に対応して形成されており、貫通孔４８ｂ，６４ｂに挿入可能となっている。なお、保持ピン１３２の数、大きさ、配置等は、貫通孔４８ｂ，６４ｂに応じて適宜設定される。

回転部材１３０の周囲には、ナット４８，６４を把持する複数（図６では４個）の把持部材１３４が、回転部材１３０の周方向に沿って概ね等間隔に配置されている。把持部材１３４はそれぞれ柱状に形成されており、把持部材１３４の基端部（一端側）は回転部材１３０の外周面に固定されている。

把持部材１３４の先端部（他端側）は回転部材１３０の表面１３０ａから突出しており、この先端部には、回転部材１３０の中心側に向かって屈曲した爪部１３４ａが形成されている。また、把持部材１３４は、ばね等によって回転部材１３０の半径方向外側に向かって付勢されており、外力が付与されると爪部１３４ａが回転部材１３０の半径方向内側に向かって移動する。

さらに、回転部材１３０の周囲には、中空の円柱状に形成されたカバー１３６が設けられている。カバー１３６は、回転部材１３０とは独立して回転軸１２４ａの周りで回転可能に構成されており、回転部材１３０と複数の把持部材１３４の基端側とを囲むように配置されている。回転部材１３０の表面１３０ａがカバー１３６の内側（支持部材１１２ａ側）に向かって押圧されると、回転部材１３０を付勢するばね等が縮み、回転部材１３０が複数の把持部材１３４とともにカバー１３６の内側に押し込まれる。

回転部材１３０が押圧されてカバー１３６の内側に押し込まれると、複数の把持部材１３４の先端側（爪部１３４ａ側）がカバー１３６の内壁と接触して押圧され、把持部材１３４を付勢するばね等が縮む。これにより、複数の把持部材１３４の先端側が回転部材１３０の半径方向内側に向かって移動する。そして、複数の把持部材１３４は、その長さ方向がカバー１３６の内壁に沿うように配置された状態となる（閉状態）。このとき、把持部材１３４の爪部１３４ａは、例えば回転部材１３０の外周縁よりも回転部材１３０の半径方向内側に配置される。

一方、回転部材１３０に対する押圧が解除されると、回転部材１３０がカバー１３６の外側に向かって移動し、把持部材１３４の先端側がカバー１３６の内壁によって押圧された状態が解除される。これにより、複数の把持部材１３４の先端側が回転部材１３０の半径方向外側に向かって移動する。そして、複数の把持部材１３４の先端側が、閉状態の際よりも回転部材１３０の半径方向外側に配置された状態となる（開状態）。このとき、把持部材１３４の爪部１３４ａは、例えば回転部材１３０の外周縁よりも回転部材１３０の半径方向外側に配置される。

さらに、回転部材１３０の外周面には、回転部材１３０の外周面から突出する複数（例えば４個）のピン１３８が設けられている。また、カバー１３６には、カバー１３６を外周面から内周面（内壁）まで貫通する複数（例えば４個）の開口１３６ａが設けられている。そして、ピン１３８の先端部はそれぞれ、開口１３６ａに挿入される。

開口１３６ａの支持部材１１２ａとは反対側に位置する端部は、段差状に形成されており、第１ピン受け部１３６ｂと第２ピン受け部１３６ｃとを含む。第２ピン受け部１３６ｃは、第１ピン受け部１３６ｂよりも回転部材１３０の表面１３０ａから離れた位置（支持部材１１２ａ側）に配置されている。

ナット保持部１２２は、初期状態ではピン１３８が第１ピン受け部１３６ｂに接触した状態となっている。そして、回転部材１３０が押圧されてカバー１３６の内側に押し込まれると、ピン１３８が第１ピン受け部１３６ｂから離れる。この状態で回転部１２４を第１の方向に回転させると、ピン１３８が第１ピン受け部１３６ｂ側から第２ピン受け部１３６ｃ側に移動する。

その後、回転部材１３０の押圧が解除されると、ピン１３８が第２ピン受け部１３６ｃと接触し、第２ピン受け部１３６ｃによって支持された状態となる。これにより、回転部材１３０がカバー１３６の内側に押し込まれた状態が維持され、複数の把持部材１３４が閉状態に維持される。

一方、カバー１３６の内側に押し込まれた状態の回転部材１３０が、さらに押圧されてカバー１３６の内側に押し込まれると、ピン１３８が第２ピン受け部１３６ｃから離れる。この状態で回転部１２４を第１の方向とは反対の第２の方向に回転させると、ピン１３８が第２ピン受け部１３６ｃ側から第１ピン受け部１３６ｂ側に移動する。

その後、回転部材１３０の押圧が解除されると、ピン１３８が第１ピン受け部１３６ｂと接触し、第１ピン受け部１３６ｂによって支持された状態となる。これにより、回転部材１３０はカバー１３６の内側から押し出され、複数の把持部材１３４が開状態となる。

上記のナット回転部１２０は、ナット４８，６４を保持して回転する。具体的には、まず、保持ピン１３２がナット４８の貫通孔４８ｂ（図２参照）又はナット６４の貫通孔６４ｂ（図３参照）に挿入されるように、回転部材１３０の表面１３０ａがナット４８，６４と接触する。この状態で回転部材１３０がカバー１３６の内側に押し込まれると、複数の把持部材１３４が閉状態となり、爪部１３４ａがナット４８，６４の外周面と接触してナット４８，６４を把持する。

複数の把持部材１３４によってナット４８，６４が保持された状態で、回転駆動源１２８で回転部１２４（図７（Ｂ）参照）を回転させると、回転部１２４に連結された回転部材１３０が回転し、把持部材１３４によって保持されたナット４８，６４も回転する。

ナット回転部１２０でナット４８，６４を保持して回転させることにより、切削ユニット３０に装着された切削ブレード３６，５２の交換を行う際の、ナット４８，６４の取り外し及び締め付けを自動で行うことができる。

例えば、切削ユニット３０のマウントフランジ４２に装着されたナット４８（図２参照）を取り外す際は、まず、昇降機構８６及び多関節アーム９０（図４及び図５参照）によって交換装置１００を移動させ、加工室２８の出入口２８ａ（図１参照）を介して交換装置１００を加工室２８の内部に配置する。そして、回転機構１０４によって着脱ユニット１０２を回転させ、ナット保持部１１２をマウントフランジ４２と対向させる。

その後、ナット保持部１１２をマウントフランジ４２側に移動させる。これにより、マウントフランジ４２に装着されているナット４８に、回転部材１３０の表面１３０ａ側が押し付けられる。このとき、回転部材１３０が備える複数の保持ピン１３２は、ナット４８の貫通孔４８ｂに挿入される。

そして、回転部材１３０がナット４８によって押圧されて回転部材１３０がカバー１３６の内側に押し込まれ、複数の把持部材１３４が閉状態となる。これにより、ナット４８が複数の把持部材１３４の爪部１３４ａによって把持される。

次に、回転駆動源１２８によって回転部１２４（図７（Ｂ）参照）を回転させ、回転部材１３０を回転軸１２４ａの周りで第１の方向（ナット４８を緩める方向）に回転させる。これにより、回転部材１３０によって把持されたナット４８が回転して緩み、マウントフランジ４２のボス部４６から取り外される。なお、回転部材１３０がカバー１３６の内側に押し込まれた状態で第１の方向に回転すると、ピン１３８が第１ピン受け部１３６ｂ側から第２ピン受け部１３６ｃ側に移動する。

その後、ナット保持部１１２をマウントフランジ４２から離れる方向に移動させる。このとき、ピン１３８が第２ピン受け部１３６ｃによって支持されることにより、回転部材１３０はカバー１３６の内側に押し込まれた状態が維持される。これにより、複数の把持部材１３４がナット４８を把持した状態（閉状態）が維持される。

一方、切削ユニット３０のマウントフランジ４２にナット４８を取り付ける際は、まず、ナット４８を保持した状態のナット保持部１１２をマウントフランジ４２と対向させ、ナット保持部１１２をマウントフランジ４２側に移動させる。これにより、ナット保持部１１２よって保持されているナット４８がマウントフランジ４２のボス部４６の先端部に位置付けられるとともに、回転部材１３０がカバー１３６の内側に押し込まれる。

次に、回転駆動源１２８によって回転部１２４（図７（Ｂ）参照）を回転させ、回転部材１３０を回転軸１２４ａの周りで第１の方向とは逆方向の第２の方向（ナット４８を締める方向）に回転させる。これにより、ナット４８が回転してマウントフランジ４２のボス部４６に形成されたねじ部４６ａに締め付けられ、マウントフランジ４２に装着される。なお、回転部材１３０がカバー１３６の内側に押し込まれた状態で第２の方向に回転すると、ピン１３８が第２ピン受け部１３６ｃ側から第１ピン受け部１３６ｂ側に移動する。

その後、ナット保持部１１２をマウントフランジ４２から離れる方向に移動させる。このとき、ピン１３８が第１ピン受け部１３６ｂによって支持される。そして、回転部材１３０がカバー１３６の内側から押し出され、複数の把持部材１３４によるナット４８の把持が解除される。

なお、複数の把持部材１３４を閉状態又は開状態に維持する方法は、上記に限定されない。例えば、回転部材１３０にピン１３８を設ける代わりに、カバー１３６をカバー１３６の高さ方向に沿って移動させるアクチュエーターを着脱ユニット１０２に設けてもよい。例えばアクチュエーターは、エアシリンダ等によって構成され、支持部材１１２ａに固定される。このアクチュエーターによってカバー１３６を移動させることにより、複数の把持部材１３４の閉状態と開状態とを自由に切り替えることができる。

支持部材１１２ａ，１１２ｂの間には、金属等でなる環状部材１４０が設けられている。環状部材１４０は、ハウジング１２６（回転部１２４）を囲み、且つ、ハウジング１２６と接触しないように、支持部材１１２ａ，１１２ｂと概ね平行な状態で配置されている。

環状部材１４０は、複数の弾性体（弾性部材）１４２ａを介して支持部材１１２ａに連結されるとともに、複数の弾性体（弾性部材）１４２ｂを介して支持部材１１２ｂに連結されている。すなわち、環状部材１４０は弾性体１４２ａ，１４２ｂによって吊られ、支持部材１１２ａ，１１２ｂと接触していない状態で保持される（図７（Ｂ）参照）。

例えば弾性体１４２ａ，１４２ｂは、ばね、ゴム等の伸縮可能な部材でなる。環状部材１４０に外力が付与されると、弾性体１４２ａ，１４２ｂの伸縮によって環状部材１４０は任意の方向に移動又は回転する。

環状部材１４０の外周面には、切削ブレード３６，５２を保持する保持部１５０Ａ（第１保持部）及び保持部１５０Ｂ（第２保持部）が連結されている。保持部１５０Ａ，１５０Ｂは、樹脂、金属等でなる円盤状の部材であり、環状部材１４０とは反対側を向く円形状の表面１５０ａ側で切削ブレード３６，５２を保持する。保持部１５０Ａ，１５０Ｂは、保持部１５０Ａの表面１５０ａと保持部１５０Ｂの表面１５０ａとが枠体１１０の外側を向くように、枠体１１０を挟んで互いに対向するように配置されている。

保持部１５０Ａ，１５０Ｂはそれぞれ、回転機構１０４の回転部１０６の周方向（回転方向）において、ナット保持部１２２と９０°離れるように配置される。そして、ナット保持部１２２と、保持部１５０Ａの表面１５０ａと、保持部１５０Ｂの表面１５０ａとは、回転部１０６の回転軸１０６ａの周りに互いに離隔した状態で、回転軸１０６ａとは反対側を向くように配置されている。

次に、保持部１５０Ａ，１５０Ｂの構成例について説明する。図８（Ａ）は保持部１５０Ａを示す正面図であり、図８（Ｂ）は保持部１５０Ａを示す断面図である。なお、以下では保持部１５０Ａの構成及び機能について説明するが、保持部１５０Ｂの構成及び機能も保持部１５０Ａと同一である。

保持部１５０Ａは、樹脂、金属等でなる円盤状の枠体１５２を備える。枠体１５２は、互いに概ね平行な表面（第１面）１５２ａと裏面（第２面）１５２ｂとを備える。枠体１５２の表面１５２ａ側が、保持部１５０Ａの表面１５０ａ側に相当する。そして、枠体１５２の表面１５２ａ側の中央部には、円形の第１溝（第１凹部）１５２ｃが設けられている。なお、第１溝１５２ｃの直径は、切削ブレード３６の持ち手３８の表面３８ａ（図９（Ａ）参照）の直径、及び、基台６２の表面６２ａ（図９（Ｂ）参照）の直径よりも大きい。

さらに、第１溝１５２ｃの底部の中央部には、円形の第２溝（第２凹部）１５２ｄが設けられている。そして、図８（Ｂ）に示すように、第２溝１５２ｄの底部には、環状の第３溝（第３凹部）１５２ｅが、第２溝１５２ｄの外周に沿って所定の幅で形成されている。

第３溝１５２ｅには、環状のブレード吸引パッド１５４が嵌め込まれている。ブレード吸引パッド１５４は、弾性変形が可能な弾性材料（ゴム、樹脂等）でなる弾性部材である。ブレード吸引パッド１５４は、第３溝１５２ｅの内側に埋め込まれた基部１５４ａと、基部１５４ａから突出する一対のリップ部（先端部）１５４ｂとを含む。一方のリップ部１５４ｂは、枠体１５２の半径方向外側に位置する第３溝１５２ｅの側壁に沿って設けられている。また、他方のリップ部１５４ｂは、枠体１５２の半径方向内側に位置する第３溝１５２ｅの側壁に沿って設けられている。

一対のリップ部１５４ｂは、基部１５４ａから離れるほど互いに離隔するように、枠体１５２の表面１５２ａに対して傾斜している。すなわち、一対のリップ部１５４ｂはそれぞれ、第３溝１５２ｅの幅方向において、第３溝１５２ｅの内側から外側に向かって配置されている。

基部１５４ａのうち、一対のリップ部１５４ｂの間の空間と重なる領域には、基部１５４ａを貫通する複数の貫通孔１５４ｃが設けられている。例えば図８（Ａ）に示すように、基部１５４ａには６つの貫通孔１５４ｃが、ブレード吸引パッド１５４の周方向に沿って概ね等間隔に形成される。貫通孔１５４ｃの一端側は枠体１５２の表面１５２ａ側で開口しており、貫通孔１５４ｃの他端側は第３溝１５２ｅの底部に設けられた環状の吸引路１５２ｆに連結されている。

吸引路１５２ｆの一端側は、第３溝１５２ｅの底で開口し、ブレード吸引パッド１５４の貫通孔１５４ｃを介して保持部１５０Ａの表面１５０ａ側（枠体１５２の表面１５２ａ側）に連通している。また、吸引路１５２ｆの他端側には、チューブ、パイプ等によって構成される流路１５６の一端側が接続される。

流路１５６の他端側は、バルブ１５８を介して吸引源１６０に接続されている。例えば、バルブ１５８は開閉が電気的に制御される電磁弁によって構成され、吸引源１６０はエジェクタによって構成される。バルブ１５８を開くと、吸引源１６０による負圧（吸引力）が吸引路１５２ｆに作用する。

また、流路１５６のうち吸引路１５２ｆとバルブ１５８との間の領域には、流路１５６の圧力を測定する圧力測定器（圧力センサ）１６２が接続されている。例えば圧力測定器１６２は、ゲージ圧（絶対圧と大気圧との差）に基づいて流路１５６の内部の負圧を測定する。圧力測定器１６２によって測定された流路１５６の圧力値は、制御ユニット８２（図１参照）に出力され、記憶部８２ｂに記憶される。

なお、ブレード吸引パッド１５４として、互いに径が異なり同心円状に配置された２本のＯリングを用いることもできる。この場合、一方のＯリングは枠体１５２の半径方向外側に位置する第３溝１５２ｅの側壁に沿って設けられ、他方のＯリングは枠体１５２の半径方向内側に位置する第３溝１５２ｅの側壁に沿って設けられる。そして、２本のＯリングの間の領域が、吸引路１５２ｆに連結される。

上記の保持部１５０Ａによって、切削ブレードが保持される。具体的には、切削ブレードの交換を実施する際、切削ユニット３０に装着されている切削ブレード（使用済みの切削ブレード）や、未使用の切削ブレード（交換用の切削ブレード）が、保持部１５０Ａによって保持される。なお、保持部１５０Ａは、ハブタイプの切削ブレードとワッシャータイプの切削ブレードとのいずれも保持できる。

図９（Ａ）は、ハブタイプの切削ブレード３６を保持する保持部１５０Ａを示す断面図である。保持部１５０Ａで切削ブレード３６を保持する際は、まず、バルブ１５８を開き、吸引源１６０の負圧を吸引路１５２ｆに作用させる。そして、保持部１５０Ａの表面１５０ａ側を切削ブレード３６に対向させた状態で、保持部１５０Ａを切削ブレード３６の持ち手３８に近づける。

持ち手３８の表面３８ａが第１溝１５２ｃに挿入されて一対のリップ部１５４ｂの先端に接触すると、一対のリップ部１５４ｂの間の空間が密閉され、吸引源１６０の負圧によって減圧される。これにより、持ち手３８の表面３８ａに負圧が作用し、切削ブレード３６はブレード吸引パッド１５４に接触した状態で保持部１５０Ａによって吸引保持される（接触吸引）。

図９（Ｂ）は、ワッシャータイプの切削ブレード５２を保持する保持部１５０Ａを示す断面図である。保持部１５０Ａで切削ブレード５２を保持する際、保持部１５０Ａは、基台６２の表面６２ａ側を吸引するとともに、基台６２に設けられた貫通孔６２ｄを介して切削ブレード５２を吸引する。

具体的には、まず、バルブ１５８を開き、吸引源１６０の負圧を吸引路１５２ｆに作用させる。そして、保持部１５０Ａの表面１５０ａ側を基台６２及び切削ブレード５２に対向させた状態で、保持部１５０Ａを基台６２に近づける。

基台６２の表面６２ａが第１溝１５２ｃに挿入されて一対のリップ部１５４ｂの先端に接触すると、一対のリップ部１５４ｂの間の空間が密閉され、吸引源１６０の負圧によって減圧される。これにより、基台６２の表面６２ａに負圧が作用し、基台６２はブレード吸引パッド１５４に接触した状態で保持部１５０Ａによって吸引保持される（接触吸引）。

また、基台６２には、表面６２ａのうちブレード吸引パッド１５４に対応する領域と、裏面６２ｂのうち切削ブレード５２と接触する領域とで開口する複数の貫通孔６２ｄが設けられている。そして、吸引源１６０の負圧は、複数の貫通孔６２ｄを介して基台６２の裏面６２ｂにも作用する。これにより、基台６２の裏面６２ｂによって支持されている切削ブレード５２が、基台６２を介して保持部１５０Ａによって吸引保持される。

なお、保持部１５０Ａは基台６２のみを保持することもできる。具体的には、切削ブレード５２と接触していない状態の基台６２を、図９（Ｂ）に示すように保持部１５０Ａによって吸引する。このとき、吸引源１６０の負圧は基台６２の貫通孔６２ｄを介して僅かにリークするものの、貫通孔６２ｄの直径や吸引源１６０の吸引力を適切に設定することにより、基台６２を保持できる。例えば、貫通孔６２ｄの直径は１ｍｍ程度に設定される。

その後、基台６２を保持した状態の保持部１５０Ａを移動させ、保持部１５０Ａの表面１５０ａ側を所定の場所に保管された切削ブレード５２に対向させる。そして、保持部１５０Ａを切削ブレード５２に近づけ、基台６２の裏面６２ｂに切削ブレード５２を接触させると、切削ブレード５２が基台６２を介して保持部１５０Ａによって吸引保持される。

上記のように、保持部１５０Ａによって切削ブレード３６，５２が保持される。なお、保持部１５０Ａによって所望の対象物が適切に保持されているか否かは、圧力測定器１６２によって流路１５６の圧力を測定することによって判別することができる。

例えば、保持部１５０Ａで切削ブレード３６を保持すると（図９（Ａ）参照）、吸引路１５２ｆが密閉される。そのため、保持部１５０Ａが切削ブレード３６を保持している状態での流路１５６の圧力Ｐ_ａ１と、保持部１５０Ａが切削ブレード３６と接触していない状態での流路１５６の圧力Ｐ_ａ２（＞Ｐ_ａ１）とは異なる。よって、圧力測定器１６２によって測定された圧力と、予め設定された閾値Ｐ_ｔｈａ（Ｐ_ａ１＜Ｐ_ｔｈａ＜Ｐ_ａ２）とを比較することにより、切削ブレード３６が保持部１５０Ａによって保持されているか否かを判別できる。

また、保持部１５０Ａで切削ブレード５２を保持する場合（図９（Ｂ）参照）、保持部１５０Ａが切削ブレード５２及び基台６２を吸引保持している状態での流路１５６の圧力Ｐ_ｂ１と、保持部１５０Ａが基台６２のみを吸引保持している状態での流路１５６の圧力Ｐ_ｂ２（＞圧力Ｐ_ｂ１）と、保持部１５０Ａが切削ブレード５２及び基台６２のいずれも保持していない状態での流路１５６の圧力Ｐ_ｂ３（＞Ｐ_ｂ２）とは異なる。

そのため、圧力測定器１６２によって測定された圧力と、予め設定された閾値Ｐ_ｔｈｂ１（Ｐ_ｂ１＜Ｐ_ｔｈｂ１＜Ｐ_ｂ２）及び閾値Ｐ_ｔｈｂ２（Ｐ_ｂ２＜Ｐ_ｔｈｂ２＜Ｐ_ｂ３）とをそれぞれ比較することにより、切削ブレード５２や基台６２が保持部１５０Ａによって保持されているか否かを判別できる。

上記の判別は、例えば、制御ユニット８２（図１参照）の記憶部８２ｂに予め閾値（Ｐ_ｔｈａ、Ｐ_ｔｈｂ１、Ｐ_ｔｈｂ２）を記憶しておき、圧力測定器１６２によって測定された圧力と閾値とを比較する処理を処理部８２ａに実行させることによって実施できる。この場合、記憶部８２ｂには、測定された圧力と閾値とを比較する処理が記述されたプログラムが記憶される。そして、処理部８２ａは記憶部８２ｂにアクセスして該プログラムを読み出し、実行することにより、測定された圧力と閾値との比較を行う。

上記のように、保持部１５０Ａによって切削ブレード３６，５２が保持される。なお、保持部１５０Ｂによって切削ブレード３６，５２が保持される場合の手順も、保持部１５０Ａの場合と同様である。

また、枠体１５２の表面１５２ａ側のうち、吸引路１５２ｆの内側の領域には、円柱状の第４溝（第４凹部）１５２ｇが設けられている。そして、第４溝１５２ｇの直径は、マウントフランジ４２のボス部４６（図２参照）の直径、及び、マウントフランジ５４の第３ボス部６０ｃ（図３参照）の直径よりも大きく設定される。これにより、保持部１５０Ａ，１５０Ｂを切削ユニット３０に近づけた際、ボス部４６，６０の先端部が第４溝１５２ｇに挿入され、保持部１５０Ａ，１５０Ｂとボス部４６，６０との接触が回避される。

ここで、図６及び図７（Ｂ）に示すように、保持部１５０Ａ，１５０Ｂは、弾性体１４２ａ，１４２ｂを介して回転機構１０４の回転部１０６に連結されている。これにより、保持部１５０Ａ，１５０Ｂはそれぞれ、表面１５０ａ側が傾動可能な状態に維持される。すなわち、保持部１５０Ａ，１５０Ｂに外力が付与された際、表面１５０ａは任意の方向に自在に傾くことが可能となっている。

そのため、保持部１５０Ａ，１５０Ｂの表面１５０ａ側に上記の切削ブレード３６や基台６２が接触した際、保持部１５０Ａ，１５０Ｂは、表面１５０ａが切削ブレード３６の表面３８ａや基台６２の表面６２ａと平行に配置されるように傾く。これにより、保持部１５０Ａ，１５０Ｂの表面１５０ａ側が切削ブレード３６や基台６２と適切に接触し、切削ブレード３６や基台６２が確実に吸引保持される。

上記の交換装置１００によって、切削ブレード３６，５２の交換が行われる。切削ブレード３６，５２の交換は、切削ユニット３０に装着されている使用済みの切削ブレード３６，５２を取り外し、その後、交換用の切削ブレード３６，５２を切削ユニット３０に装着することによって行われる。交換用の切削ブレード３６，５２は、予め切削装置２にストックされている。

図１０（Ａ）は、交換用の切削ブレード３６，５２等を保管するストックユニット２００を示す斜視図である。ストックユニット２００は、切削ブレード３６，５２等が載置される載置部（載置台）２０２を備える。例えば載置部２０２は、被加工物１１を支持するフレーム１５（図１参照）と同一の形状に形成された板状の部材であり、載置部２０２の上面は切削ブレード３６，５２等が載置される平坦な載置面２０２ａを構成している。

載置部２０２の載置面２０２ａ上には、切削ブレードを保管する複数のブレード保管部２０４が設けられている。例えば、ハブタイプの切削ブレード３６を保管する複数のブレード保管部２０４（ブレード保管部２０４Ａ）と、ワッシャータイプの切削ブレード５２を保管する複数のブレード保管部２０４（ブレード保管部２０４Ｂ）とが、それぞれ載置面２０２ａ上に配置される。

図１０（Ｂ）は、ブレード保管部２０４を示す斜視図である。例えばブレード保管部２０４は、切削ブレード３６，５２が収容されるプラスチック製のケース（ブレードケース）によって構成され、載置部２０２の載置面２０２ａ上に固定されている。図１０（Ｂ）には一例として、円形の底面と、底面の外周部から底面と垂直な方向に突出する環状の側壁とを備えるブレード保管部２０４Ａ（ブレードケース）を示している。

ブレード保管部２０４Ａの中央部には、底面から突出する柱状の凸部２０４ａが設けられている。ブレード保管部２０４Ａで切削ブレード３６を保管する際には、切削ブレード３６の開口３６ａに凸部２０４ａが挿入されるように、切削ブレード３６がブレード保管部２０４Ａ内に配置される。同様に、ブレード保管部２０４Ｂで切削ブレード５２を保管する際には、切削ブレード５２の開口５２ａに凸部２０４ａが挿入されるように、切削ブレード５２がブレード保管部２０４Ｂ内に配置される。

また、載置部２０２の載置面２０２ａ上には、基台６２を保管する基台保管部（押さえフランジ保管部）２０６が設けられている。基台保管部２０６は、ブレード保管部２０４と同様に構成され、基台保管部２０６には基台６２が収容される。

さらに、載置部２０２には、切削ブレード３６，５２の交換に用いられる部品以外の用具が保管されてもよい。例えば、載置部２０２の載置面２０２ａ上には、切削ブレード３６，５２のドレッシングに用いられる板状のボード（ドレッシングボード）１９を保管するボード保管部（ドレッシングボード保管部）２０８や、切削ブレード３６，５２の検査に用いられる板状のボード（検査用ボード）２１を保管するボード保管部（検査用ボード保管部）２１０が設けられる。

切削ブレード３６，５２によって被加工物１１を加工する際には、切削ブレード３６，５２の形状の修正や切削ブレード３６，５２の切れ味の確保等を目的として、切削ブレード３６，５２の先端部を意図的に摩耗させるドレッシングが実施される。このドレッシングは、切削ブレード３６，５２をボード１９に切り込ませ、ボード１９に線状の溝を形成することによって行われる。例えばボード１９は、グリーンカーボランダム（ＧＣ）、ホワイトアランダム（ＷＡ）等でなる砥粒を、レジンボンド、ビトリファイドボンド等の結合材で固定することによって形成される。

ドレッシングを実施すると、切削ブレード３６，５２の結合材がボード１９と接触して摩耗し、切削ブレード３６，５２の形状がスピンドル３４と同心状に整えられるとともに（真円出し）、砥粒が結合材から適度に露出する（目立て）。このようにドレッシングが施された切削ブレード３６，５２を用いることにより、被加工物１１の加工の精度が向上する。

また、切削ブレード３６，５２によって被加工物１１を加工する際には、切削ブレード３６，５２をボード２１に切り込ませ、切削ブレード３６，５２の形状の検査や位置の修正が行われることがある。例えば、切削ブレード３６，５２をボード２１に切り込ませ、ボード２１に形成された溝を観察することにより、切削ブレード３６，５２の先端部が所望の形状となっているか否かが検査される。また、ボード２１に形成された溝の長さに基づいて、切削ブレード３６，５２の下端の位置（切り込み深さ）が算出され、切削ブレード３６，５２の高さ位置の調整が行われる。

ボード２１としては、例えばシリコンでなる板状の部材（シリコンボード）が用いられる。ただし、ボード２１の材質は、切削ブレード３６，５２によってボード２１を切削可能であれば制限はない。ボード２１の材質の例は、被加工物１１と同様である。

切削ブレード３６，５２によるボード１９，２１の切削は、一対のチャックテーブル２６（図１参照）によってボード１９，２１を保持した状態で実施される。このとき、一方のチャックテーブル２６には一方の切削ユニット３０に装着された切削ブレード３６，５２によって切削されるボード１９又はボード２１が保持され、他方のチャックテーブル２６には他方の切削ユニット３０に装着された切削ブレード３６，５２によって切削されるボード１９又はボード２１が保持される。すなわち、一対のチャックテーブル２６は、一対の切削ユニット３０に対応して設置されている。

ただし、切削ブレード３６，５２によるボード１９，２１の切削は、チャックテーブル２２（図１参照）によってボード１９，２１を保持した状態で実施してもよい。この場合、例えばボード１９，２１は、被加工物１１と同様にテープ１３を介してフレーム１５によって支持される。そして、ボード１９，２１は、テープ１３を介してチャックテーブル２２によって吸引保持される。

なお、載置部２０２上にストックされた各種の用具には、その用具に関する情報を含む識別マークが付されていてもよい。例えば、図１０（Ｂ）に示す切削ブレード３６には、切削ブレード３６の識別マーク２１２が付されている。識別マーク２１２の例としては、バーコードや２次元コードが挙げられる。なお、識別マーク２１２は、切削ブレード３６に直接印字されていてもよいし、識別マーク２１２が印字されたシールを切削ブレード３６に貼り付けてもよい。

例えば、切削ブレード３６，５２に付される識別マークには、切削ブレード３６，５２の種類（ハブタイプ又はワッシャータイプ）、外径、内径、厚さ、砥粒の材質及び粒径、結合材の材質、シリアル番号等の情報が含まれる。また、ボード１９に付される識別マークには、ボード１９のサイズ、形状、砥粒の材質及び粒径、結合材の材質、シリアル番号等の情報が含まれる。また、ボード２１に付される識別マークには、ボード１９のサイズ、形状、材質、シリアル番号等の情報が含まれる。

切削ブレード３６，５２等に付された識別マークは、切削装置２に備えられた読み取りユニットによって読み取られる。読み取りユニットは、識別マークの種類に応じて適宜選択される。例えば、カメラ、バーコードリーダー等が用いられる。

例えば、切削ユニット３０に隣接して設けられた撮像ユニット７０（図１参照）が、読み取りユニットとしても機能し、撮像ユニット７０によって識別マークが読み取られる。ただし、読み取りユニットは撮像ユニット７０とは別途独立して切削装置２内に設置されていてもよい。

読み取りユニットによって読み取られた情報は、制御ユニット８２（図１参照）に入力され、記憶部８２ｂに記憶される。そして、制御ユニット８２は、切削ブレード３６，５２の交換等を行う際、記憶部８２ｂに記憶された情報を参照しつつ、交換ユニット７６によって保持する対象物を特定する。

上記のストックユニット２００は、切削装置２に設けられた容器８（図１参照）に収容される。そして、ストックユニット２００は、第１搬送ユニット７２によって容器８から引き出され、例えば閉状態のカバー７８上に搬送される。

なお、容器８の洗浄ユニット１２側には、開閉可能なドア（不図示）が設けられている。容器８からストックユニット２００を取り出す際は、エレベータ６が昇降し、容器８の高さ位置を一対のガイドレール１６の高さ位置に合わせる。

また、ストックユニット２００の載置部２０２の形状は、被加工物１１を支持するフレーム１５の形状に対応している。そのため、フレームユニット１７をチャックテーブル２２上に搬送する際と同様の動作により、ストックユニット２００を閉状態のカバー７８上に搬送できる。

なお、ストックユニット２００の配置場所は、カバー７８上に限られない。例えば、一対のガイドレール１６上にストックユニット２００を配置してもよい。また、カバー７８の設置を省略し、チャックテーブル２２上にストックユニット２００を配置することもできる。

次に、切削装置２の切削ユニット３０に装着された切削ブレード３６，５２を交換するブレードの交換方法の具体例について説明する。なお、以下では一例として、マウントフランジ４２に装着された切削ブレード３６（図２参照）の交換方法について説明する。

まず、ストックユニット２００が備える載置部２０２の載置面２０２ａ上に、交換用の切削ブレード３６を載置する（準備ステップ）。具体的には、載置部２０２の載置面２０２ａ上に固定された複数のブレード保管部２０４Ａにそれぞれ、交換用の切削ブレード３６（未使用の切削ブレード３６）を収容する。交換用の切削ブレード３６が補充されたストックユニット２００は、容器８（図１参照）に収容される。

そして、第１搬送ユニット７２によってストックユニット２００を容器８から引き出し、閉状態のカバー７８上に搬送する。これにより、交換用の切削ブレード３６がカバー７８によって保持される。なお、前述の通り、ストックユニット２００は一対のガイドレール１６上やチャックテーブル２２上に配置されてもよい。

次に、載置部２０２の載置面２０２ａ上に載置された交換用の切削ブレード３６を、交換装置１００の保持部１５０Ｂによって保持する（交換用切削ブレード保持ステップ）。図１１（Ａ）は、交換用切削ブレード保持ステップにおける交換装置１００を示す模式図である。

交換用切削ブレード保持ステップでは、まず、交換装置１００を昇降機構８６及び多関節アーム９０（図４及び図５参照）によって移動させ、カバー７８等によって保持された載置部２０２上に配置する。また、回転機構１０４（図６等参照）によって枠体１１０を回転させ、保持部１５０Ｂを載置部２０２の載置面２０２ａと対向させる。

次に、交換装置１００を下降させ、ブレード保管部２０４Ａに保管されている交換用の切削ブレード３６に保持部１５０Ｂを接触させる。そして、保持部１５０Ｂによって交換用の切削ブレード３６を吸引保持する。

その後、交換装置１００を上昇させ、保持部１５０Ｂを載置部２０２の載置面２０２ａから離れる方向に移動させる。これにより、交換用の切削ブレード３６が保持部１５０Ｂによって持ち上げられる。

次に、切削ユニット３０のマウントフランジ４２に装着されているナット４８を、マウントフランジ４２から取り外す（ナット取り外しステップ）。図１１（Ｂ）は、ナット取り外しステップにおける交換装置１００を示す模式図である。

ナット取り外しステップでは、まず、交換装置１００を昇降機構８６及び多関節アーム９０（図４及び図５参照）によって移動させ、交換装置１００を加工室２８（図１参照）内に配置する。また、交換装置１００のナット保持部１２２を、切削ブレード３６及びナット４８が装着された状態のマウントフランジ４２と対向させる。

そして、マウントフランジ４２に装着されているナット４８を、ナット保持部１２２によって保持して回転させる。具体的には、複数の把持部材１３４（図６等参照）によってナット４８を把持した状態で、回転部材１３０（図６等参照）を回転駆動源１２８によって回転させることにより、ナット４８を第１の方向（ナット４８が緩む方向）に回転させる。その結果、ナット４８が緩み、マウントフランジ４２から取り外される。

次に、ナット保持部１２２とマウントフランジ４２とを離隔させる（第１退避ステップ）。図１１（Ｃ）は、第１退避ステップにおける交換装置１００を示す模式図である。

第１退避ステップでは、多関節アーム９０（図４及び図５参照）によって交換装置１００をマウントフランジ４２とは反対側に向かって移動させる。これにより、ナット保持部１２２がナット４８を保持した状態でマウントフランジ４２から離れる方向に移動する。

次に、切削ユニット３０のマウントフランジ４２に装着されている切削ブレード３６を、交換装置１００の保持部１５０Ａによって保持する（使用済み切削ブレード保持ステップ）。図１１（Ｄ）は、使用済み切削ブレード保持ステップにおける交換装置１００を示す模式図である。

使用済み切削ブレード保持ステップでは、まず、回転機構１０４の回転部１０６（図６等参照）を回転させることにより、保持部１５０Ａの表面１５０ａ側（図８（Ａ）等参照）をマウントフランジ４２と対向させる。そして、交換装置１００をマウントフランジ４２側に移動させ、マウントフランジ４２に装着されている使用済みの切削ブレード３６に保持部１５０Ａを接触させる。そして、保持部１５０Ａによって使用済みの切削ブレード３６を吸引保持する。

次に、保持部１５０Ａとマウントフランジ４２とを離隔させる（第２退避ステップ）。図１２（Ａ）は、第２退避ステップにおける交換装置１００を示す模式図である。

第２退避ステップでは、多関節アーム９０（図４及び図５参照）によって交換装置１００をマウントフランジ４２とは反対側に向かって移動させる。これにより、保持部１５０Ａが使用済みの切削ブレード３６を保持した状態でマウントフランジ４２から離れる方向に移動し、使用済みの切削ブレード３６がマウントフランジ４２から取り外される。

次に、交換装置１００の保持部１５０Ｂによって保持されている交換用の切削ブレード３６を、マウントフランジ４２に装着する（切削ブレード装着ステップ）。図１２（Ｂ）は、切削ブレード装着ステップにおける交換装置１００を示す模式図である。

切削ブレード装着ステップでは、まず、回転機構１０４の回転部１０６（図６等参照）を回転させることにより、交換用の切削ブレード３６を保持している保持部１５０Ｂの表面１５０ａ（図８（Ａ）等参照）側をマウントフランジ４２と対向させる。

そして、交換装置１００をマウントフランジ４２側に移動させ、交換用の切削ブレード３６の開口３６ａ（図２参照）にマウントフランジ４２のボス部４６（図２参照）が挿入されるように、交換用の切削ブレード３６を配置する。この状態で、保持部１５０Ｂによる交換用の切削ブレード３６の吸引保持を解除すると、交換用の切削ブレード３６がマウントフランジ４２に装着される。

次に、保持部１５０Ｂとマウントフランジ４２とを離隔させる（第３退避ステップ）。図１２（Ｃ）は、第３退避ステップにおける交換装置１００を示す模式図である。

第３退避ステップでは、多関節アーム９０（図４及び図５参照）によって交換装置１００をマウントフランジ４２とは反対側に向かって移動させる。これにより、保持部１５０Ｂがマウントフランジ４２から離れる方向に移動し、マウントフランジ４２に装着された交換用の切削ブレード３６から離れる。

次に、ナット保持部１２２によって保持されているナット４８を、マウントフランジ４２に装着する（ナット装着ステップ）。図１２（Ｄ）は、ナット装着ステップにおける交換装置１００を示す模式図である。

ナット装着ステップでは、まず、回転機構１０４の回転部１０６（図６等参照）を回転させることにより、ナット４８を保持しているナット保持部１２２をマウントフランジ４２と対向させる。また、交換装置１００をマウントフランジ４２側に移動させ、ナット４８をマウントフランジ４２のボス部４６（図２参照）の先端部に位置付ける。

そして、回転部材１３０（図６等参照）を回転駆動源１２８によって回転させることにより、複数の把持部材１３４（図６等参照）によって把持されているナット４８を、第２の方向（ナット４８が締まる方向）に回転させる。その結果、ナット４８がマウントフランジ４２のボス部４６（図２参照）に締め付けられ、マウントフランジ４２に装着される。これにより、切削ブレード３６がマウントフランジ４２とナット４８とによって挟持され、スピンドル３４の先端部に固定される。

以上の手順により、マウントフランジ４２に装着されている切削ブレード３６の交換が行われる。そして、保持部１５０Ａによって保持されている使用済みの切削ブレード３６は、ストックユニット２００のブレード保管部２０４Ａに載置される。

なお、上記の工程において、マウントフランジ４２と交換装置１００との接近及び離隔は、切削ユニット３０（マウントフランジ４２）を移動させることによって実施してもよい。例えば、第１退避ステップ、第２退避ステップ、及び第３退避ステップでは、切削ユニット３０を交換装置１００から離れるようにＹ軸方向に沿って移動させることにより、交換装置１００とマウントフランジ４２とを互いに離隔させてもよい。

また、上記ではマウントフランジ４２に装着されている切削ブレード３６の交換について説明したが、マウントフランジ５４に装着されている切削ブレード５２（図３参照）の交換も同様の手順で実施される。ただし、切削ブレード５２を交換する際は、前述の通り、切削ブレード５２とともに基台６２が保持部１５０Ａ，１５０Ｂによって保持される（図９（Ｂ）参照）。すなわち、上記の切削ブレード３６の交換に代えて、切削ブレード５２及び基台６２の交換が行われる。

また、切削ブレード５２を交換する場合は、交換用切削ブレード保持ステップにおいて、保持部１５０Ｂで基台６２を保持した後、保持部１５０Ｂで切削ブレード３６を保持する。具体的には、まず、保持部１５０Ｂを、基台保管部２０６（図１０（Ａ）参照）に保管されている基台６２に対向させ、基台６２を保持部１５０Ｂによって保持する。

次に、基台６２を保持した状態の保持部１５０Ｂを、ブレード保管部２０４Ｂ（図１０（Ａ）参照）に保管されている交換用の切削ブレード５２に対向させ、基台６２を保持部１５０Ｂによって保持する。このとき切削ブレード５２は、基台６２に形成されている貫通孔６２ｄ（図９（Ｂ）参照）を介して切削ブレード５２に作用する吸引源１６０の負圧によって保持される。

上記の通り、交換装置１００は、切削ユニット３０に装着された使用済みの切削ブレード３６，５２と、ブレード保管部２０４（図１０（Ａ）参照）に保管された交換用の切削ブレード３６，５２とを交換できる。これにより、切削ブレード３６，５２の交換作業を自動化することができる。

また、交換装置１００は、切削ブレード３６，５２の交換に加えて、チャックテーブル２２又はチャックテーブル２６（図１参照）に載置された使用済みのボード１９，２１と、ボード保管部２０８，２１０（図１０（Ａ）参照）に保管された交換用のボード１９，２１との交換を実施することもできる。以下、ボード１９，２１を交換する際の保持部１５０Ａ，１５０Ｂの動作について説明する。

ボード１９は、チャックテーブル２２又はチャックテーブル２６によって保持された状態で、切削ブレード３６，５２によって切削される。これにより、切削ブレード３６，５２のドレッシングが実施される。同様に、ボード２１は、チャックテーブル２２又はチャックテーブル２６によって保持された状態で、切削ブレード３６，５２によって切削される。そして、ボード２１に形成された溝に基づいて、切削ブレード３６，５２の検査が実施される。

ボード１９を用いて切削ブレード３６，５２のドレッシングを実施すると、ボード１９には溝が形成される。そして、ボード１９の全体に渡って溝が形成されると、使用済みのボード１９は交換用のボード１９（未使用のボード１９）に交換される。同様に、切削ブレード３６，５２の検査に使用された使用済みのボード２１も、所定のタイミングで交換用のボード２１（未使用のボード２１）に交換される。

ここで、交換装置１００の保持部１５０Ａ，１５０Ｂは、切削ブレード３６，５２だけでなく、ボード１９，２１等の板状の部材も保持できる。そして、交換装置１００によってボード１９，２１の交換が行われる。

図１３（Ａ）はボード１９Ａを保持する保持部１５０Ａを示す斜視図であり、図１３（Ｂ）はボード１９Ａを保持する保持部１５０Ａを示す断面図である。ボード１９Ａは、保持部１５０Ａの表面１５０ａ（枠体１５２の表面１５２ａ）の全体を覆うことが可能な形状及び大きさを有する大型のボード１９である。例えば、ボード１９Ａは矩形状に形成され、ボード１９Ａの長さ及び幅は枠体１５２の直径以上である。なお、図１３（Ａ）では説明の便宜上、ボード１９Ａの輪郭のみを二点鎖線で示している。

枠体１５２の表面１５２ａのうち第１溝１５２ｃの半径方向外側の領域は、ボード１９Ａを支持するボード支持部（ボード支持面）１５０ｈを構成している。ボード支持部１５２ｈは、枠体１５２の半径方向と概ね平行な環状の平坦面である。保持部１５０Ａによってボード１９Ａが保持される際、ボード１９はボード支持部１５２ｈに接触し、ボード支持部１５２ｈによって支持される。

なお、図１３（Ｂ）に示すように、ボード支持部１５２ｈは、ブレード吸引パッド１５４の先端（一対のリップ部１５４ｂの先端）よりも保持部１５０Ａの外側に突出している。具体的には、ボード支持部１５２ｈは、枠体１５２の厚さ方向（図１３（Ｂ）の左右方向）において、ブレード吸引パッド１５４の先端よりも保持部１５０Ａの表面１５０ａ側に配置されている。また、ボード支持部１５２ｈは、ブレード吸引パッド１５４の半径方向外側に配置されている。

保持部１５０Ａでボード１９Ａを保持する際は、ボード支持部１５２ｈの全体がボード１９Ａと接触するように、保持部１５０Ａが配置される。これにより、第１溝１５２ｃがボード１９Ａによって覆われて塞がれる。その結果、枠体１５２の内部（第１溝１５２ｃ、第２溝１５２ｄ、第３溝１５２ｅ、吸引路１５２ｆ、第４溝１５２ｇ）が密閉される。このときボード１９Ａは、ブレード吸引パッド１５４と接触しない（図１３（Ｂ）参照）。

この状態で、バルブ１５８を開いて吸引源１６０の負圧を吸引路１５２ｆに作用させると、枠体１５２の内部が減圧され、ボード１９Ａは保持部１５０Ａによって吸引保持される。そして、ボード１９Ａはブレード吸引パッド１５４と接触しない状態で、ボード支持部１５２ｈによって支持される（非接触吸引）。

なお、保持部１５０Ａによって保持可能なボードは、上記のボード１９Ａに限定されない。図１４（Ａ）はボード１９Ｂを保持する保持部１５０Ａを示す斜視図であり、図１４（Ｂ）はボード１９Ｂを保持する保持部１５０Ａを示す断面図である。

ボード１９Ｂは、保持部１５０Ａの表面１５０ａ（枠体１５２の表面１５２ａ）の一部のみを覆うことが可能な形状及び大きさを有する小型のボード１９である。例えば、ボード１９Ｂは矩形状に形成され、ボード１９Ａの長さは枠体１５２の直径以上、ボード１９Ａの幅は枠体１５２の第１溝１５２ｃの直径未満である。なお、図１４（Ａ）では説明の便宜上、ボード１９Ｂの輪郭を二点鎖線で示している。

保持部１５０Ａでボード１９Ｂを保持する場合には、枠体１５２の表面１５２ａ側に、複数の凸部（突起）１５２ｉが設けられる。複数の凸部１５２ｉは、枠体１５２の表面１５２ａから突出するように形成され、枠体１５２の周方向に沿って概ね等間隔に配列されている。また、凸部１５２ｉの先端面は、枠体１５２の表面１５２ａと概ね平行に形成され、ボード１９Ｂを保持するボード支持部（ボード支持面）１５２ｊを構成している。なお、図１４（Ａ）には枠体１５２に４個の凸部１５２ｉが設けられている例を示しているが、凸部１５２ｉの個数に制限はない。

保持部１５０Ａでボード１９Ｂを保持する際は、複数の凸部１５２ｉのボード支持部１５２ｊがボード１９Ｂと接触するように、保持部１５０Ａが配置される。このとき、ボード１９Ｂは枠体１５２の表面１５２ａには接触しないため、第１溝１５２ｃはボード１９Ｂによって塞がれない。したがって、枠体１５２の内部（第１溝１５２ｃ、第２溝１５２ｄ、第３溝１５２ｅ、吸引路１５２ｆ、第４溝１５２ｇ）は密閉されない。

そして、保持部１５０Ａは、ベルヌーイ効果を利用してボード１９Ｂを保持する。具体的には、保持部１５０Ａには、エアー等の気体が供給される気体供給路１５２ｋが設けられる。例えば気体供給路１５２ｋは、一端側が第４溝１５２ｇの内側で開口するように形成される。また、気体供給路１５２ｋの他端側には、チューブ、パイプ等によって構成される流路１６４の一端側が接続されている。

流路１６４の他端側は、バルブ１６６を介して気体供給源１６８に接続されている。例えば、バルブ１６６は開閉が電気的に制御される電磁弁によって構成される。また、気体供給源１６８は、流路１６４にエアー等の気体を所定の流量で供給する。バルブ１６６を開くと、気体供給源１６８から流路１６４を介して気体供給路１５２ｋに気体が供給され、気体供給路１５２ｋから第４溝１５２ｇの内側に気体が噴射される。

なお、気体供給路１５２ｋは、第４溝１５２ｇの内壁の半径方向に対して傾斜するように形成されている。そのため、気体供給路１５２ｋから噴射された気体は、第４溝１５２ｇの内壁に衝突しながら旋回するように流動する。これにより、枠体１５２の内部で旋回流が生じる。そして、気体は枠体１５２の半径方向に広がりながら表面１５２ａ側に向かって螺旋状に流動し、枠体１５２の表面１５２ａとボード１９Ｂとの隙間から外部に向かって噴射される。

枠体１５２の内部で発生した旋回流により、枠体１５２の内部の中心部における圧力がベルヌーイの定理に従って低下する。これにより、ボード１９Ｂの中央部が枠体１５２の内部に向かって引き寄せられ、ボード１９Ｂが保持部１５０Ａによって吸引保持される。このときボード１９Ｂは、ブレード吸引パッド１５４と接触しない状態で、複数のボード支持部１５２ｊによって支持される（非接触吸引）。そして、ボード１９Ｂに旋回流が衝突することに起因するボード１９Ｂの回転が、ボード１９Ｂとボード支持部１５２ｊとの間に作用する摩擦によって防止される。

上記のように、気体供給路１５２ｋを設けることにより、保持部１５０Ａの表面１５０ａの全体を覆うことができない小型のボード１９を保持することが可能となる。なお、枠体１５２に設けられる気体供給路１５２ｋの数に制限はない。例えば、枠体１５２には、第４溝１５２ｇの内壁の周方向に沿って概ね等間隔に開口する複数の気体供給路１５２ｋが設けられていてもよい。

また、上記では保持部１５０Ａによってボード１９Ａ，１９Ｂを保持する場合について説明したが、保持部１５０Ｂ（図６等参照）も同様にボード１９Ａ，１９Ｂを保持できる。また、保持部１５０Ａ，１５０Ｂはそれぞれ、様々な大きさのボード２１（図１０（Ａ）参照）を、ボード１９Ａ，１９Ｂと同様に保持できる。

ここで、使用済みのボード１９，２１には、切削ブレード３６，５２によって切削された際に発生した屑（切削屑）が付着していることが多い。そのため、仮にボード１９，２１がブレード吸引パッド１５４に接触すると、ブレード吸引パッド１５４に切削屑が付着し、ブレード吸引パッド１５４の汚れや劣化が生じやすい。

また、使用済みのボード１９，２１には切削ブレード３６，５２によって溝が形成されており、ボード１９，２１の表面には凹凸が存在する。さらに、ボード１９は砥粒を含有しており、ボード１９の表面では結合材から露出した砥粒によって微細な凹凸が形成されている。そのため、仮にボード１９，２１がブレード吸引パッド１５４に接触すると、ボード１９，２１の凹凸によってブレード吸引パッド１５４の摩耗や損傷が生じやすい。

しかしながら、保持部１５０Ａ，１５０Ｂを用いると、ボード１９，２１を保持する際、ボード１９，２１はボード支持部１５２ｈ，１５２ｊによって支持され、ブレード吸引パッド１５４に接触しない（図１３（Ｂ）及び図１４（Ｂ）参照）。これにより、ブレード吸引パッド１５４の汚れや損傷が防止され、ブレード吸引パッド１５４は切削ブレード３６，５２を適切に保持可能な状態に維持される。

なお、気体供給路１５２ｋ（図１４（Ａ）及び図１４（Ｂ）参照）が設けられた保持部１５０Ａ，１５０Ｂによってボード１９Ａ（図１３（Ａ）及び図１３（Ｂ）参照）を保持する場合には、気体供給路１５２ｋから気体を噴射することによって、ボード１９Ａの保持の解除をアシストすることもできる。

具体的には、保持部１５０Ａ，１５０Ｂによって保持されたボード１９Ａが所望の位置に配置された状態で、バルブ１５８を閉じてブレード吸引パッド１５４によるボード１９Ａの吸引を解除するとともに、バルブ１６６を開いて気体供給路１５２ｋからボード１９Ａに向かって気体を噴射させる。これにより、ボード１９Ａが保持部１５０Ａ，１５０Ｂから離れる方向に向かって押され、ボード１９Ａがブレード吸引パッド１５４から離れやすくなる。

次に、交換装置１００を用いたボードの交換方法の具体例について説明する。以下では一例として、チャックテーブル２６に載置されたボード１９を交換する場合について説明する。

まず、ストックユニット２００（図１０（Ａ）参照）が備える載置部２０２の載置面２０２ａ上に、交換用のボード１９を載置する（準備ステップ）。具体的には、載置部２０２の載置面２０２ａ上に固定されたボード保管部２０８に、交換用のボード１９（未使用のボード１９）を収容する。交換用のボード１９が補充されたストックユニット２００は、容器８（図１参照）に収容される。

そして、第１搬送ユニット７２によってストックユニット２００を容器８から引き出し、閉状態のカバー７８上に搬送する。これにより、交換用のボード１９がカバー７８上に準備される。なお、ストックユニット２００は、一対のガイドレール１６上やチャックテーブル２２上に配置されてもよい。

次に、載置部２０２の載置面２０２ａ上に載置された交換用のボード１９を、交換装置１００の保持部１５０Ｂによって保持する（交換用ボード保持ステップ）。図１５（Ａ）は、交換用ボード保持ステップにおける交換装置１００を示す模式図である。

交換用ボード保持ステップでは、まず、交換装置１００を昇降機構８６及び多関節アーム９０（図４及び図５参照）によって移動させ、カバー７８等によって保持された載置部２０２上に配置する。また、回転機構１０４（図６等参照）によって枠体１１０を回転させ、保持部１５０Ｂを載置部２０２の載置面２０２ａと対向させる。

次に、交換装置１００を下降させ、載置部２０２の載置面２０２ａ上に配置された交換用のボード１９に保持部１５０Ｂを接触させる。そして、保持部１５０Ｂによって交換用のボード１９を吸引保持する。

なお、交換用のボード１９が保持部１５０Ｂのボード支持部１５２ｈの全体を覆うことが可能な場合には、吸引源１６０の吸引力によって交換用のボード１９を保持する（図１３（Ａ）及び図１３（Ｂ）参照）。一方、交換用のボード１９が保持部１５０Ｂのボード支持部１５２ｈの全体を覆うことができない場合には、気体供給源１６８から気体供給路１５２ｋに気体を供給し、ベルヌーイ効果によって交換用のボード１９を保持する（図１４（Ａ）及び図１４（Ｂ）参照）。

その後、交換装置１００を上昇させ、保持部１５０Ｂを載置部２０２の載置面２０２ａから離れる方向に移動させる。これにより、交換用のボード１９が保持部１５０Ｂによって持ち上げられる。

次に、チャックテーブル２６によって保持されている使用済みのボード１９を、交換装置１００の保持部１５０Ａによって保持する（使用済みボード保持ステップ）。図１５（Ｂ）は、使用済みボード保持ステップにおける交換装置１００を示す模式図である。

使用済みボード保持ステップでは、まず、交換装置１００を昇降機構８６及び多関節アーム９０（図４及び図５参照）によって移動させ、交換装置１００を使用済みのボード１９が配置されているチャックテーブル２６上に配置する。また、回転機構１０４の回転部１０６（図６等参照）を回転させることにより、保持部１５０Ａをチャックテーブル２６と対向させる。

そして、交換装置１００をチャックテーブル２６側に移動させ、チャックテーブル２６によって保持されている使用済みのボード１９に保持部１５０Ａを接触させる。そして、保持部１５０Ａによって使用済みのボード１９を吸引保持する。

なお、使用済みのボード１９が保持部１５０Ａのボード支持部１５２ｈの全体を覆うことが可能な場合には、吸引源１６０の吸引力によって使用済みのボード１９を保持する（図１３（Ａ）及び図１３（Ｂ）参照）。一方、使用済みのボード１９が保持部１５０Ａのボード支持部１５２ｈの全体を覆うことができない場合には、気体供給源１６８から気体供給路１５２ｋに気体を供給し、ベルヌーイ効果によって使用済みのボード１９を保持する（図１４（Ａ）及び図１４（Ｂ）参照）。

次に、保持部１５０Ａとチャックテーブル２６とを離隔させる（退避ステップ）。図１５（Ｃ）は、退避ステップにおける交換装置１００を示す模式図である。

退避ステップでは、昇降機構８６（図４及び図５参照）によって交換装置１００を上昇させ、チャックテーブル２６とは反対側に向かって移動させる。これにより、保持部１５０Ａが使用済みのボード１９を保持した状態でチャックテーブル２６から離れる方向に移動し、使用済みのボード１９が持ち上げられる。

次に、交換装置１００の保持部１５０Ｂによって保持されている交換用のボード１９を、チャックテーブル２６上に載置する（載置ステップ）。図１５（Ｄ）は、載置ステップにおける交換装置１００を示す模式図である。

載置ステップでは、まず、回転機構１０４の回転部１０６（図６等参照）を回転させることにより、交換用のボード１９を保持している保持部１５０Ｂをチャックテーブル２６と対向させる。そして、交換装置１００をチャックテーブル２６側に移動させ、交換用のボード１９をチャックテーブル２６上に位置付ける。その後、保持部１５０Ｂによる交換用のボード１９の吸引保持を解除すると、交換用のボード１９がボード１９上に載置される。

以上の手順により、チャックテーブル２６上に配置されているボード１９の交換が行われる。そして、保持部１５０Ａによって保持されている使用済みのボード１９は、ストックユニット２００のボード保管部２０８に載置される。なお、上記ではボード１９の交換について説明したが、チャックテーブル２６上にボード２１が載置されている場合には、ボード２１の交換も同様の手順で実施できる。

また、上記では、切削装置２で使用される各種の用具（切削ブレード３６，５２、基台６２、ボード１９，２１等）が載置される載置部２０２を備えるストックユニット２００（図１０（Ａ）参照）が、容器８（図１参照）に収容され、カバー７８（図１参照）等の上に搬送される例について説明した。ただし、切削ブレード３６，５２等の保管の態様はこれに限定されない。

図１６は、ストックユニット２５０が設置された切削装置２を示す斜視図である。図１６に示す切削装置２は、容器８（図１参照）の代わりに、交換ユニット７６の近傍に設けられ切削装置２で使用される各種の用具を保管するストックユニット２５０を備える。例えばストックユニット２５０は、基台４の開口４ｂに隣接する領域に配置される。

ストックユニット２５０は、切削装置２で使用される切削ブレード３６，５２、基台６２、ボード１９，２１（図１０（Ａ）参照）等の用具を保管する。具体的には、ストックユニット２５０は、各種の用具が載置される回転式の載置部（載置台）２５２を備える。

図１７は、回転式の載置部２５２を備えるストックユニット２５０を示す斜視図である。例えば載置部２５２は、円盤状に形成された板状の部材であり、載置部２５２の上面は各種の用具が載置される平坦な載置面２５２ａを構成している。

載置部２５２の載置面２５２ａ上には、切削ブレード等が載置される。図１７では一例として、載置部２５２の載置面２５２ａ上に、切削ブレード５２と基台６２とが載置されている場合を示している。

載置部２５２の載置面２５２ａ上には、切削ブレード５２を保管する複数のブレード保管部２５４と、基台６２を保管する押さえフランジ保管部２５６とが固定されている。なお、ブレード保管部２５４、押さえフランジ保管部２５６の構成はそれぞれ、図１０（Ａ）に示すブレード保管部２０４、基台保管部２０６と同様である。ブレード保管部２５４と押さえフランジ保管部２５６とは、載置部２５２の周方向に沿って概ね等間隔に配置される。

載置部２５２の中央部の下面側には、モータ等の回転駆動源（不図示）から伝達される動力によって回転する回転部（シャフト）２５８が連結されている。回転駆動源で回転部２５８を回転させると、載置部２５２がＺ軸と概ね平行な回転軸の周りで回転する。

載置部２５２の下側には、切削ブレード５２等に付された識別マークを読み取る読み取りユニット２６０が設けられている。例えば切削ブレード５２には、切削ブレード５２に関する情報を含む識別マーク（図１０（Ｂ）の識別マーク２１２参照）が付されている。そして、切削ブレード５２は、識別マークが付された面が載置面２５２ａと対向するようにブレード保管部２５４に収容される。

読み取りユニット２６０は、例えば可視光カメラ、赤外線カメラ等によって構成され、載置部２５２及びブレード保管部２５４を介して、切削ブレード５２に付された識別マークを読み取る。そのため、載置部２５２及びブレード保管部２５４の材質は、読み取りユニット２６０の種類に応じて選択される。

例えば、読み取りユニット２６０が可視光カメラである場合、載置部２５２及びブレード保管部２５４の全体又は一部が、可視光が透過する部材によって構成される。具体的には、載置部２５２としては、プラスチック、ガラス（例えば、石英ガラス、ホウケイ酸ガラス）等の透明体でなる基板を用いることができる。また、ブレード保管部２５４としては、プラスチック等の透明体でなるケースを用いることができる。

ただし、載置部２５２及びブレード保管部２５４の材質は、読み取りユニット２６０の種類に応じて適宜変更できる。例えば、読み取りユニット２６０が赤外線カメラである場合には、載置部２５２及びブレード保管部２５４は赤外線が透過する部材によって構成される。

読み取りユニット２６０は、一のブレード保管部２５４の直下に配置される。そして、読み取りユニット２６０の直上に配置されたブレード保管部２５４に保管されている切削ブレード５２に付された識別マークが、読み取りユニット２６０によって読み取られる。

また、載置部２５２を回転させることにより、読み取りユニット２６０の直上に配置されるブレード保管部２５４を変更することができる。これにより、載置部２５２に載置されている任意の切削ブレード５２に付された識別マークの読み取りが可能となる。読み取りユニット２６０によって読み取られた識別マークの情報は、制御ユニット８２（図１６参照）に出力される。

なお、読み取りユニット２６０は載置部２５２の上側に設けられていてもよい。この場合、切削ブレード５２は、識別マークが付された面が上方に露出するようにブレード保管部２５４に収容される。

例えば、切削ブレード５２の交換を行う際は、ストックユニット２５０に交換用の切削ブレード５２及び基台６２を準備する。そして、交換ユニット７６は、ストックユニット２５０に保管されている交換用の切削ブレード５２及び基台６２を交換装置１００で保持する（図９（Ｂ）参照）。

このとき制御ユニット８２は、切削ブレード５２に付されている識別マークに含まれる情報に基づいて交換ユニット７６を制御し、所定の切削ブレード５２を交換装置１００に保持させる。これにより、所望の切削ブレード５２を交換用の切削ブレード５２として選択できる。その後、切削ユニット３０に装着されている使用済みの切削ブレード５２及び基台６２を、交換用の切削ブレード５２及び基台６２と交換する（図１１（Ａ）～図１２（Ｄ）参照）。

なお、載置部２５２の載置面２５２ａ上には、図１０（Ａ）に示すボード保管部２０８，２１０が固定されていてもよい。この場合、ストックユニット２５０には交換用のボード１９，２１も保管される。そして、交換ユニット７６は、ストックユニット２５０に保管されている交換用のボード１９，２１を保持し、チャックテーブル２６上に載置されている使用済みのボード１９，２１と交換できる（図１５（Ａ）～図１５（Ｄ）参照）。

以上の通り、本実施形態に係る切削装置２は、切削ブレード３６，５２及びボード１９，２１を交換可能な交換装置１００を備える。これにより、切削ブレード３６，５２の交換だけでなくボード１９，２１の交換も自動で実施することが可能となり、ボード１９，２１の交換作業が簡易化される。また、交換装置１００は、切削ブレード３６，５２及びボード１９，２１を保持可能な保持部１５０Ａ，１５０Ｂを備える。これにより、切削ブレード３６，５２を保持する機構とボード１９，２１を保持する機構とを別途独立して設ける必要がなく、切削装置２のサイズの増大が抑制される。

さらに、上記の交換装置１００が備える保持部１５０Ａ，１５０Ｂは、ボード１９，２１をブレード吸引パッド１５４に接触させることなく保持できる。これにより、ブレード吸引パッド１５４の汚れや損傷が防止される。

なお、上記実施形態に係る構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。

１１ 被加工物
１３ テープ（ダイシングテープ）
１５ フレーム
１７ フレームユニット（被加工物ユニット）
１９，１９Ａ，１９Ｂ ボード（ドレッシングボード）
２１ ボード（検査用ボード）
２ 切削装置
４ 基台
４ａ，４ｂ 開口
６ エレベータ
６ａ 昇降台
８ 容器
１０ カセット
１０ａ ガイドレール
１２ 洗浄ユニット
１４ スピンナテーブル
１６ ガイドレール
１８ テーブルカバー
２０ 防塵防滴カバー
２２ チャックテーブル（保持テーブル）
２４ クランプ
２６ チャックテーブル（サブテーブル）
２８ 加工室（カバー）
２８ａ 出入口（開口）
３０ 切削ユニット
３２ ハウジング
３４ スピンドル
３４ａ ねじ穴
３６ 切削ブレード
３６ａ 開口
３８ 持ち手（基台）
３８ａ 表面（第１面）
３８ｂ 裏面（第２面）
４０ 切刃
４２ マウントフランジ
４２ａ 貫通孔
４４ フランジ部
４４ａ 表面
４４ｂ 凸部
４４ｃ 支持面
４６ ボス部（支持軸）
４６ａ ねじ部
４８ ナット
４８ａ 開口
４８ｂ 貫通孔
５０ ねじ
５２ 切削ブレード
５２ａ 開口
５４ マウントフランジ
５６ 固定マウント
５６ａ 貫通孔
５６ｂ 受け部
５８ フランジ部
５８ａ 表面
５８ｂ 凸部
５８ｃ 支持面
６０ ボス部（支持軸）
６０ａ 第１ボス部（第１支持軸）
６０ｂ 第２ボス部（第２支持軸）
６０ｃ 第３ボス部（第３支持軸）
６０ｄ ねじ部
６２ 基台（押さえフランジ）
６２ａ 表面（第１面）
６２ｂ 裏面（第２面）
６２ｃ 開口
６２ｄ 貫通孔
６４ ナット
６４ａ 開口
６４ｂ 貫通孔
６６ ワッシャー
６８ ねじ
７０ 撮像ユニット
７２ 第１搬送ユニット
７２ａ 保持ユニット
７２ｂ 把持機構
７４ 第２搬送ユニット
７４ａ 保持ユニット
７６ 交換ユニット
７８ カバー
８０ ヒンジ
８２ 制御ユニット（制御部）
８２ａ 処理部
８２ｂ 記憶部
８４ 移動ユニット（移動機構）
８６ 昇降機構
８８ ベース板
９０ 多関節アーム
９２Ａ 第１支持具
９２Ｂ 第２支持具
９４Ａ 第１回転機構
９４Ｂ 第２回転機構
９４Ｃ 第３回転機構
９６Ａ 第１アーム
９６Ｂ 第２アーム
１００ 交換装置（交換機構）
１０２ 着脱ユニット
１０４ 回転機構
１０６ 回転部（シャフト）
１０６ａ 回転軸
１１０ 枠体
１１２ａ，１１２ｂ 支持部材
１１４ａ，１１４ｂ 連結部材
１２０ ナット回転部（ナット着脱ユニット）
１２２ ナット保持部
１２４ 回転部（シャフト）
１２４ａ 回転軸
１２６ ハウジング
１２８ 回転駆動源
１３０ 回転部材
１３０ａ 表面
１３２ 保持ピン
１３４ 把持部材
１３４ａ 爪部
１３６ カバー
１３６ａ 開口
１３６ｂ 第１ピン受け部
１３６ｃ 第２ピン受け部
１３８ ピン
１４０ 環状部材
１４２ａ，１４２ｂ 弾性体（弾性部材）
１５０Ａ 保持部（第１保持部）
１５０Ｂ 保持部（第２保持部）
１５０ａ 表面
１５２ 枠体
１５２ａ 表面（第１面）
１５２ｂ 裏面（第２面）
１５２ｃ 第１溝（第１凹部）
１５２ｄ 第２溝（第２凹部）
１５２ｅ 第３溝（第３凹部）
１５２ｆ 吸引路
１５２ｇ 第４溝（第４凹部）
１５２ｈ ボード支持部（ボード支持面）
１５２ｉ 凸部（突起）
１５２ｊ ボード支持部（ボード支持面）
１５２ｋ 気体供給路
１５４ ブレード吸引パッド
１５４ａ 基部
１５４ｂ リップ部（先端部）
１５４ｃ 貫通孔
１５６ 流路
１５８ バルブ
１６０ 吸引源
１６２ 圧力測定器（圧力センサ）
１６４ 流路
１６６ バルブ
１６８ 気体供給源
２００ ストックユニット
２０２ 載置部（載置台）
２０２ａ 載置面
２０４，２０４Ａ，２０４Ｂ ブレード保管部
２０６ 基台保管部（押さえフランジ保管部）
２０８ ボード保管部（ドレッシングボード保管部）
２１０ ボード保管部（検査用ボード保管部）
２１２ 識別マーク
２５０ ストックユニット
２５２ 載置部
２５２ａ 載置面
２５４ ブレード保管部
２５６ 押さえフランジ保管部
２５８ 回転部（シャフト）
２６０ 読み取りユニット

Claims (5)

1. 被加工物を切削ブレードで切削する切削装置であって、
   該切削ブレードによって切削されて溝が形成されるボードを保持するチャックテーブルと、
   スピンドルと、該スピンドルの先端部に固定され該切削ブレードが装着されるマウントフランジと、を有する切削ユニットと、
   該マウントフランジに装着された該切削ブレードとブレード保管部に保管された該切削ブレードとを交換し、且つ、該チャックテーブルに載置された該ボードとボード保管部に保管された該ボードとを交換する交換装置と、を備え、
   該交換装置は、該切削ブレード及び該ボードを吸引保持する保持部を備え、
   該保持部は、該切削ブレード又は該切削ブレードを固定するための基台に接触して該切削ブレードを吸引保持するブレード吸引パッドと、該ブレード吸引パッドの先端よりも該保持部の外側に突出して該ボードを支持するボード支持部と、を備え、
   該保持部によって吸引保持された該ボードは、該ブレード吸引パッドに接触しない状態で該ボード支持部によって支持されることを特徴とする切削装置。
2. 該保持部は、吸引源に接続される吸引路、又は、気体供給源に接続される気体供給路を有し、
   該吸引路又は該気体供給路は、該保持部の該切削ブレード又は該ボードと対面する面側に連通していることを特徴とする請求項１に記載の切削装置。
3. 該交換装置は、２つの該保持部を有し、
   一方の該保持部は、該マウントフランジに装着された該切削ブレード、又は、該チャックテーブルに載置された該ボードを保持し、
   他方の該保持部は、該ブレード保管部に保管された該切削ブレード、又は、該ボード保管部に保管された該ボードを保持することを特徴とする請求項１又は２に記載の切削装置。
4. 該切削ブレードは、環状の持ち手と、該持ち手の外周部に形成された切刃とを備え、
   該保持部は、該持ち手に負圧を作用させて該持ち手を吸引保持することを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の切削装置。
5. 該基台は、第１面と、該切削ブレードを支持する第２面と、該第１面から該第２面に至る貫通孔と、を備え、
   該保持部は、該第１面に負圧を作用させて該基台を吸引保持するとともに、該貫通孔を介して該第２面に負圧を作用させて該切削ブレードを吸引保持することを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の切削装置。

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