JP2021020358A - 液体吐出ヘッド - Google Patents

Abstract

【課題】２つの共通流路の体積を互いに異ならせなくとも、２つの共通流路の固有周期を互いに異ならせ、濃度ムラを抑制する。【解決手段】ヘッド１０の流路部材１１には、共通流路３１〜３４と、共通流路３１〜３４とＺ方向に重なる凹部５１〜５４とが形成されている。共通流路３１〜３４のＸ方向の長さは、互いに実質的に同じである。凹部５２のＹ方向の長さＷ５２は、凹部５３のＹ方向の長さＷ５３よりも短い。共通流路３２を画定する膜１３２のコンプライアンスは、共通流路３３を画定する膜１３３のコンプライアンスよりも小さい。凹部５４のＹ方向の長さＷ５４は、凹部５１のＹ方向の長さＷ５１よりも短い。共通流路３４を画定する膜１３４のコンプライアンスは、共通流路３１を画定する膜１３１のコンプライアンスよりも小さい。【選択図】図４

Description

本発明は、２以上の共通流路を有する液体吐出ヘッドに関する。

特許文献１の段落００５９には、２つのノズル列がそれぞれ連通する２つの共通液室（共通流路）の体積を互いに異ならせることで、２つの共通液室の固有周期を互いに異ならせ、濃度ムラを抑制することが記載されている。

特開２０１７−１９６８４７号公報

２つの共通液室（共通流路）の固有周期を互いに異ならせるため、特許文献１のように２つの共通液室の体積を互いに異ならせる場合、以下のような課題が生じ得る。

例えば、２つの共通液室の体積を互いに異ならせるにあたり、２つの共通液室の高さ方向の長さを互いに異ならせる場合、２つの共通液室のうち、高さ方向の長さが長い一方の共通液室に連通する個別液室において、圧力室からノズルまでの長さが長くなり、駆動周期を短くできない。そのため、高速記録を実現し難い。

また例えば、２つの共通液室の体積を互いに異ならせるにあたり、２つの共通液室の幅方向の長さを互いに異ならせる場合に、２つの共通液室のうち、一方の共通液室の幅方向の長さを、他方の共通液室の幅方向の長さよりも長くすると、液体吐出ヘッドが幅方向に大型化してしまう。或いは、２つの共通液室のうち、一方の共通液室の幅方向の長さを、他方の共通液室の幅方向の長さよりも短くすると、一方の共通液室の流路抵抗が大きくなり、アンダーリフィル現象が生じ得る。

本発明の目的は、２つの共通流路の体積を互いに異ならせなくとも、２つの共通流路の固有周期を互いに異ならせ、濃度ムラを抑制できる、液体吐出ヘッドを提供することにある。

本発明の第１観点に係る液体吐出ヘッドは、第１方向及び前記第１方向と直交する第２方向に平行なノズル面であって、前記第１方向に配列された複数の第１ノズルと、前記第１方向に配列されかつ前記第２方向に前記複数の第１ノズルと並ぶ複数の第２ノズルと、が形成されたノズル面を有する流路部材を備え、前記流路部材には、前記第１方向に延び、前記複数の第１ノズルに連通する第１共通流路と、前記第１方向に延び、前記第２方向に前記第１共通流路と並び、前記複数の第２ノズルに連通する第２共通流路と、が形成されており、前記流路部材は、前記第１共通流路及び前記第２共通流路を画定し、前記第１方向及び前記第２方向に平行な第１面と、前記第１方向及び前記第２方向と直交する第３方向において前記第１面とは反対側の、前記第１方向及び前記第２方向に平行な第２面と、を有する膜部材を有し、前記第２面には、前記第３方向に前記第１共通流路と重なる第１凹部と、前記第３方向に前記第２共通流路と重なる第２凹部と、が形成されており、前記第１凹部の前記第２方向の長さと、前記第２凹部の前記第２方向の長さとが、互いに異なることを特徴とする。

本発明の第２観点に係る液体吐出ヘッドは、第１方向及び前記第１方向と直交する第２方向に平行なノズル面であって、前記第１方向に配列された複数の第１ノズルと、前記第１方向に配列されかつ前記第２方向に前記複数の第１ノズルと並ぶ複数の第２ノズルと、が形成されたノズル面を有する流路部材を備え、前記流路部材には、前記第１方向に延び、前記複数の第１ノズルに連通する第１共通流路と、前記第１方向に延び、前記第２方向に前記第１共通流路と並び、前記複数の第２ノズルに連通する第２共通流路と、が形成されており、前記第１共通流路の前記第１方向の長さと、前記第２共通流路の前記第１方向の長さとが、互いに実質的に同じであり、前記流路部材は、前記第１共通流路を画定する第１膜と、前記第２共通流路を画定する第２膜と、を有し、前記第１膜の弾性コンプライアンスと、前記第２膜の弾性コンプライアンスとが、互いに異なることを特徴とする。

第１観点では、第１凹部の第２方向の長さと、第２凹部の第２方向の長さとが、互いに異なる。第２観点では、第１膜の弾性コンプライアンスと、第２膜の弾性コンプライアンスとが、互いに異なる。第１観点及び第２観点によれば、当該特徴により、第１共通流路及び第２共通流路の体積を互いに異ならせなくとも、第１共通流路及び第２共通流路の固有周期を互いに異ならせることができる。ひいては、濃度ムラを抑制できる。

本発明の第１実施形態に係るヘッドを備えたプリンタの平面図である。 ヘッドの平面図である。 図２のＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿ったヘッドの断面図である。 図２のＩＶ−ＩＶ線に沿ったヘッドの断面図である。 本発明の第２実施形態に係るヘッドの図２に対応する平面図である。 本発明の第３実施形態に係るヘッドの図４に対応する断面図である。 本発明の第４実施形態に係るヘッドの図２に対応する平面図である。 図７のＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ線に沿ったヘッドの断面図である。 本発明の第５実施形態に係るヘッドの図２に対応する平面図である。

＜第１実施形態＞
先ず、図１を参照し、本発明の第１実施形態に係るヘッド１０を備えたプリンタ１００の全体構成について説明する。

プリンタ１００は、４つのヘッド１０を含むヘッドユニット１と、プラテン３と、搬送機構４と、制御部５とを備えている。

以下の説明において、Ｚ方向は鉛直方向、Ｘ方向及びＹ方向は水平方向である。Ｘ方向及びＹ方向は共にＺ方向と直交する。Ｘ方向はＹ方向と直交する。Ｘ方向は「第１方向」、Ｙ方向は「第２方向」、Ｚ方向は「第３方向」に該当する。

プラテン３の上面（Ｚ方向の一方の面）に、用紙９が載置される。

搬送機構４は、Ｙ方向にプラテン３を挟んで配置された２つのローラ対４１，４２を有する。制御部５の制御により搬送モータ（図示略）が駆動されると、ローラ対４１，４２が用紙９を挟持した状態で回転し、用紙９がＹ方向に沿った搬送方向に搬送される。

ヘッドユニット１ｘは、Ｘ方向に長尺であり、位置が固定された状態でノズル２１（図２及び図３参照）から用紙９に対してインクを吐出するライン式である。４つのヘッド１０は、Ｘ方向に千鳥状に配置されている。４つのヘッド１０は、それぞれ、本発明の「液体吐出ヘッド」に該当する。

制御部５は、ＲＯＭ（Read Only Memory）、ＲＡＭ（Random Access Memory）及びＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）を有する。ＡＳＩＣは、ＲＯＭに格納されたプログラムに従い、記録処理等を実行する。記録処理において、制御部５は、ＰＣ等の外部装置から入力された記録指令（画像データを含む。）に基づき、各ヘッド１０のドライバＩＣ及び搬送モータ（共に図示略）を制御し、用紙９上に画像を記録する。

次いで、図２〜図４を参照し、ヘッド１０の構成について説明する。

ヘッド１０は、流路部材１１と、アクチュエータユニット１２とを有する。

流路部材１１は、図３及び図４に示すように、Ｚ方向に積層された５枚のプレート１１１〜１１５と、Ｙ方向に並んでプレート１１５の下面１１５ｂに接着された３枚のプレート１１６と、Ｙ方向に並んでプレート１１５の下面１１５ｂに接着された４枚のプレート１１７とを有する。プレート１１５は、５枚のプレート１１１〜１１５のうち最も下側に配置されている。

３枚のプレート１１６には、それぞれ、ノズル２１が形成されている。ノズル２１は、図２に示すように、Ｙ方向に並ぶ６つのノズル列Ｒ１〜Ｒ６を構成している。各ノズル列Ｒ１〜Ｒ６は、Ｘ方向に配列された６個のノズル２１で構成されている。

Ｙ方向においてノズル列Ｒ１とノズル列Ｒ６との間に、ノズル列Ｒ２〜Ｒ５が位置する。Ｙ方向においてノズル列Ｒ２とノズル列Ｒ５との間に、ノズル列Ｒ３，Ｒ４が位置する。Ｙ方向においてノズル列Ｒ３とノズル列Ｒ５との間に、ノズル列Ｒ４が位置する。

Ｙ方向におけるノズル列Ｒ１とノズル列Ｒ２との間隔Ｓ１、Ｙ方向におけるノズル列Ｒ３とノズル列Ｒ４との間隔Ｓ１、及び、Ｙ方向におけるノズル列Ｒ５とノズル列Ｒ６との間隔Ｓ１は、互いに同じである。Ｙ方向におけるノズル列Ｒ２とノズル列Ｒ３との間隔Ｓ２、及び、Ｙ方向におけるノズル列Ｒ４とノズル列Ｒ５との間隔Ｓ２は、互いに同じである。間隔Ｓ１は、間隔Ｓ２よりも小さい。

３枚のプレート１１６のうち、図４で最も左側（Ｙ方向の一端）にあるプレート１１６には、ノズル列Ｒ１，Ｒ２（図２参照）に属する１２個のノズル２１が形成されている。３枚のプレート１１６のうち、図４でＹ方向の中央にあるプレート１１６には、ノズル列Ｒ３，Ｒ４（図２参照）に属する１２個のノズル２１が形成されている。３枚のプレート１１６のうち、図４で最も右側（Ｙ方向の他端）にあるプレート１１６には、ノズル列Ｒ５，Ｒ６（図２参照）に属する１２個のノズル２１が形成されている。

各プレート１１６の下面が、ノズル面１１ｘに該当する。ノズル面１１ｘは、Ｘ方向及びＹ方向に平行である（即ち、Ｚ方向と直交する）。

プレート１１４には、図４に示すように、Ｙ方向に並ぶ４つの共通流路３１〜３４が形成されている。各共通流路３１〜３４は、図２に示すように、Ｘ方向に延びている。

Ｙ方向において共通流路３１と共通流路３４との間に、共通流路３２，３３が位置する。Ｙ方向において共通流路３２と共通流路３４との間に、共通流路３３が位置する。

４つの共通流路３１〜３４は、Ｘ方向の長さが互いに同じであり、かつ、Ｚ方向の長さ（深さ）が互いに同じである。共通流路３１，３４は、Ｙ方向の長さ（幅）Ｗ３１，Ｗ３４が互いに同じであり、体積が互いに同じである。共通流路３２，３３は、Ｙ方向の長さ（幅）Ｗ３２，Ｗ３３が互いに同じであり、体積が互いに同じである。幅Ｗ３２，Ｗ３３は、幅Ｗ３１，Ｗ３４よりも大きい。また、幅Ｗ３２，Ｗ３３は、間隔Ｓ１よりも大きく、間隔Ｓ２よりも小さい。

Ｙ方向において共通流路３１と共通流路３２との間に、ノズル列Ｒ１，Ｒ２が位置する。Ｙ方向において共通流路３２と共通流路３３との間に、ノズル列Ｒ３，Ｒ４が位置する。Ｙ方向において共通流路３３と共通流路３４との間に、ノズル列Ｒ５，Ｒ６が位置する。

共通流路３１は、ノズル列Ｒ１を構成する６個のノズル２１に連通している。共通流路３２は、ノズル列Ｒ２を構成する６個のノズル２１と、ノズル列Ｒ３を構成する６個のノズル２１とに連通している。共通流路３３は、ノズル列Ｒ４を構成する６個のノズル２１と、ノズル列Ｒ５を構成する６個のノズル２１とに連通している。共通流路３４は、ノズル列Ｒ６を構成する６個のノズル２１に連通している。

４つの共通流路３１〜３４は、それぞれ、Ｘ方向の一端に設けられた開口３１ｘ〜３４ｘを介して、カートリッジ７０の貯留室７０ａに連通している。貯留室７０ａには、インク（例えば、ブラックインク）が貯留されている。貯留室７０ａが「第１貯留室」に該当し、インクが「第１液体」に該当する。開口３１ｘ〜３４ｘと貯留室７０ａとの間には、ポンプＰが配置されている。制御部５（図１参照）の制御によりポンプＰが駆動されると、貯留室７０ａ内のインクが４つの共通流路３１〜３４に供給される。

プレート１１１には、図３に示すように、圧力室２２が形成されている。圧力室２２は、ノズル２１毎に設けられている。圧力室２２は、図２に示すように、Ｚ方向から見て略矩形状であり、Ｙ方向の長さがＸ方向の長さよりも長い。

プレート１１２，１１３には、図３に示すように、圧力室２２とノズル２１とを接続する流路２３の上端部分と、圧力室２２と共通流路３１〜３４のいずれかとを接続する流路２４とが形成されている。流路２３，２４は、それぞれ、圧力室２２毎に設けられている。流路２３は、圧力室２２のＹ方向の一端からＺ方向の下方に延びている。流路２４は、圧力室２２のＹ方向の他端と、共通流路３１〜３４のいずれかのＹ方向の他端とを接続している。各共通流路３１〜３４のＹ方向の他端と、各共通流路３１〜３４に連通する流路２３との間に、各共通流路３１〜３４のＹ方向の一端が位置する。

プレート１１４には、４つの共通流路３１〜３４に加え、流路２３の中央部分も形成されている。

プレート１１５には、流路２３の下端部分が形成されている。流路２３は、プレート１１２〜１１５に形成された貫通孔で構成されている。

プレート１１５には、さらに、図４に示すように、４つの凹部５１〜５４が形成されている。プレート１１５は、平坦な上面１１５ａと、４つの凹部５１〜５４が形成された下面１１５ｂとを有する。４つの凹部５１〜５４は、例えばハーフエッチングで形成されている。

プレート１１５が「膜部材」に該当し、上面１１５ａが「第１面」に該当し、下面１１５ｂが「第２面」に該当する。上面１１５ａは、共通流路３１〜３４を画定し、Ｘ方向及びＹ方向に平行である（即ち、Ｚ方向と直交する）。下面１１５ｂは、Ｚ方向において上面１１５ａとは反対側の面であり、Ｘ方向及びＹ方向に平行である（即ち、Ｚ方向と直交する）。

４つの凹部５１〜５４は、それぞれ、４つの共通流路３１〜３４とＺ方向に重なっている。

４つの凹部５１〜５４は、Ｘ方向の長さが互いに同じである。４つの凹部５１〜５４のＸ方向の長さは、４つの共通流路３１〜３４のＸ方向の長さと同じである。４つの凹部５１〜５４は、それぞれ、４つの共通流路３１〜３４のＸ方向の全域とＺ方向に重なっている。

４つの凹部５１〜５４は、Ｚ方向の長さ（深さ）が互いに同じである。したがって、プレート１１５において凹部５１〜５４の底を構成する膜１３１〜１３４の、Ｚ方向の長さ（厚み）は、互いに同じである。

４つの凹部５１〜５４は、Ｙ方向の長さ（幅）Ｗ５１〜Ｗ５４が互いに異なる。

幅Ｗ５１は、幅Ｗ３１よりも大きい。幅Ｗ５４は、幅Ｗ３４よりも小さい。幅Ｗ３１，Ｗ３４は互いに同じであることから、幅Ｗ５１は幅Ｗ５４よりも大きい。凹部５１は、共通流路３１に対してＹ方向の両側に突出しており、共通流路３１とＺ方向に重なる部分と、共通流路３１とＺ方向に重ならない部分とを含む。凹部５４は、全体が共通流路３４とＺ方向に重なっており、共通流路３４とＺ方向に重ならない部分を含まない。

幅Ｗ５３は、幅Ｗ３３よりも大きい。幅Ｗ５２は、幅Ｗ３２よりも小さい。幅Ｗ３２，Ｗ３３は互いに同じであることから、幅Ｗ５３は幅Ｗ５２よりも大きい。凹部５３は、共通流路３３に対してＹ方向の両側に突出しており、共通流路３３とＺ方向に重なる部分と、共通流路３３とＺ方向に重ならない部分とを含む。凹部５２は、全体が共通流路３２とＺ方向に重なっており、共通流路３２とＺ方向に重ならない部分を含まない。

膜１３１〜１３４は、それぞれ、凹部５１〜５４の底において、共通流路３１〜３４を画定する部分であり、凹部５１〜５４と共通流路３１〜３４とがＺ方向に重なる領域にある。したがって、膜１３１のＹ方向の長さ（幅）は、共通流路３１の幅Ｗ３１に等しい。膜１３４のＹ方向の長さ（幅）は、凹部５４の幅Ｗ５４に等しい。膜１３２のＹ方向の長さ（幅）は、凹部５２の幅Ｗ５４に等しい。膜１３３のＹ方向の長さ（幅）は、共通流路３３の幅Ｗ３３に等しい。

膜１３１のＹ方向の長さ（＝幅Ｗ３１）は、膜１３４のＹ方向の長さ（＝幅Ｗ５４）よりも大きい。膜１３３のＹ方向の長さ（＝幅Ｗ３３）は、膜１３２のＹ方向の長さ（＝幅Ｗ５２）よりも大きい。

４枚のプレート１１７は、それぞれ、４つの凹部５１〜５４を覆うように、プレート１１５の下面１１５ｂに接着されている。これにより、膜１３１〜１３４は露出されず、各膜１３１〜１３４と各プレート１１７との間に空間が形成されている。

アクチュエータユニット１２は、図３に示すように、流路部材１１の上面（プレート１１１の上面）に配置されている。

アクチュエータユニット１２は、下から順に、振動板１２１、共通電極１２２、複数の圧電体１２３及び複数の個別電極１２４を含む。振動板１２１及び共通電極１２２は、流路部材１１の上面の略全体に配置されており、流路部材１１に形成された全ての圧力室２２を覆っている。一方、圧電体１２３及び個別電極１２４は、圧力室２２毎に設けられており、圧力室２２のそれぞれとＺ方向に重なっている。

振動板１２１は、例えば、ステンレス鋼等の金属材料、チタン酸ジルコン酸鉛を主成分とする圧電材料、合成樹脂材料等からなる。圧電体１２３は、チタン酸ジルコン酸鉛を主成分とする圧電材料からなる。

複数の個別電極１２４及び共通電極１２２は、ドライバＩＣ（図示略）と電気的に接続されている。ドライバＩＣは、共通電極１２２の電位をグランド電位に維持する一方、個別電極１２４の電位を変化させる。具体的には、ドライバＩＣは、制御部５からの制御信号に基づいて駆動信号を生成し、当該駆動信号を個別電極１２４に付与する。これにより、個別電極１２４の電位が所定の駆動電位とグランド電位との間で変化する。このとき、振動板１２１及び圧電体１２３において個別電極１２４と圧力室２２とで挟まれた部分が、圧力室２２に向かって凸となるように変形することにより、圧力室２２の容積が変化し、圧力室２２内のインクに圧力が付与される。当該インクは、流路２３を通ってノズル２１から吐出される。これと同時に、共通流路３１〜３４内のインクが、流路２４を通って圧力室２２に供給される。

例えば、本実施形態において、共通流路３２が「第１共通流路」、共通流路３３が「第２共通流路」、ノズル列Ｒ２，Ｒ３を構成するノズル２１が「第１ノズル」、ノズル列Ｒ４，Ｒ５を構成するノズル２１が「第２ノズル」、ノズル列Ｒ２が「第１ノズル列」、ノズル列Ｒ３が「第２ノズル列」、ノズル列Ｒ４が「第３ノズル列」、ノズル列Ｒ５が「第４ノズル列」、膜１３２が「第１膜」、膜１３３が「第２膜」、凹部５２が「第１凹部」、凹部５３が「第２凹部」に該当する。ここで、膜１３２，１３３のコンプライアンスを比較すると、膜１３２，１３３のＸ方向及びＺ方向の長さは互いに同じであるが、膜１３２のＹ方向の長さ（＝幅Ｗ５２）が膜１３３のＹ方向の長さ（＝幅Ｗ３３）よりも小さいことから、膜１３２のコンプライアンスは膜１３３のコンプライアンスよりも小さい。

本実施形態によれば、凹部５２のＹ方向の長さＷ５２と、凹部５３のＹ方向の長さＷ５３とが、互いに異なる（図４参照）。膜１３２のコンプライアンスと、膜１３３のコンプライアンスとが、互いに異なる。これにより、共通流路３２，３３の体積を互いに異ならせなくとも、共通流路３２，３３の固有周期を互いに異ならせることができる。ひいては、濃度ムラを抑制できる。

また、例えば、本実施形態において、共通流路３４が「第１共通流路」、共通流路３１が「第２共通流路」、ノズル列Ｒ６を構成するノズル２１が「第１ノズル」、ノズル列Ｒ１を構成するノズル２１が「第２ノズル」、膜１３４が「第１膜」、膜１３１が「第２膜」、凹部５４が「第１凹部」、凹部５１が「第２凹部」に該当する。ここで、膜１３１，１３４のコンプライアンスを比較すると、膜１３１，１３４のＸ方向及びＺ方向の長さは互いに同じであるが、膜１３４のＹ方向の長さ（＝幅Ｗ５４）が膜１３１のＹ方向の長さ（＝幅Ｗ３１）よりも小さいことから、膜１３４のコンプライアンスは膜１３１のコンプライアンスよりも小さい。

本実施形態によれば、凹部５４のＹ方向の長さＷ５４と、凹部５１のＹ方向の長さＷ５１とが、互いに異なる（図４参照）。膜１３４のコンプライアンスと、膜１３１のコンプライアンスとが、互いに異なる。これにより、共通流路３４，３１の体積を互いに異ならせなくとも、共通流路３４，３１の固有周期を互いに異ならせることができる。ひいては、濃度ムラを抑制できる。

凹部５２のＹ方向の長さ（幅）Ｗ５２と、凹部５３のＹ方向の長さ（幅）Ｗ５３とが、互いに異なる（図４参照）。この場合、膜１３２，１３３のコンプライアンスを異ならせるにあたり、凹部５２，５３のＺ方向の長さ（深さ）を異ならせる場合に比べ、製造が容易であり、部品点数の増加も抑制できる。具体的には、凹部５２，５３の深さを異ならせる場合は、エッチングの深さを調整したり、膜部材を構成する部品の点数を増加させたりする必要が生じ得る。これに対し、本実施形態のように、凹部５２，５３の幅Ｗ５２，Ｗ５３を異ならせる場合は、エッチングの幅を調整するだけでよく、エッチングの深さを調整する場合に比べて容易であり、また、部品点数の増加も不要である。

凹部５４のＹ方向の長さ（幅）Ｗ５４と、凹部５１のＹ方向の長さ（幅）Ｗ５１とが、互いに異なる（図４参照）。この場合、膜１３４，１３１のコンプライアンスを異ならせるにあたり、凹部５４，５１のＺ方向の長さ（深さ）を異ならせる場合に比べ、製造が容易であり、部品点数の増加も抑制できる。具体的には、凹部５４，５１の深さを異ならせる場合は、エッチングの深さを調整したり、膜部材を構成する部品の点数を増加させたりする必要が生じ得る。これに対し、本実施形態のように、凹部５４，５１の幅Ｗ５４，Ｗ５１を異ならせる場合は、エッチングの幅を調整するだけでよく、エッチングの深さを調整する場合に比べて容易であり、また、部品点数の増加も不要である。

共通流路３２のＸ方向の長さと、共通流路３３のＸ方向の長さとが、互いに同じである（図２参照）。共通流路３２，３３の一方のＸ方向の長さを、他方のＸ方向の長さよりも長くすると、ヘッド１０がＸ方向に大型化してしまう。これに対し、本実施形態では、共通流路３２，３３のＸ方向の長さを互いに同じにすることで、ヘッド１０がＸ方向に大型化するのを抑制できる。

共通流路３４のＸ方向の長さと、共通流路３１のＸ方向の長さとが、互いに同じである（図２参照）。共通流路３４，３１の一方のＸ方向の長さを、他方のＸ方向の長さよりも長くすると、ヘッド１０がＸ方向に大型化してしまう。これに対し、本実施形態では、共通流路３４，３１のＸ方向の長さを互いに同じにすることで、ヘッド１０がＸ方向に大型化するのを抑制できる。

凹部５３のＹ方向の長さＷ５３は、凹部５２のＹ方向の長さＷ５２よりも長く、共通流路３３のＹ方向の長さＷ３３よりも長い（図４参照）。この場合、プレート１１５にＹ方向の位置ズレが生じた場合でも、凹部５３と共通流路３３とが重なる領域を確保できる。したがって、共通流路３３について、所望の固有周期をより確実に得ることができる。

凹部５１のＹ方向の長さＷ５１は、凹部５４のＹ方向の長さＷ５４よりも長く、共通流路３１のＹ方向の長さＷ３１よりも長い（図４参照）。この場合、プレート１１５にＹ方向の位置ズレが生じた場合でも、凹部５１と共通流路３１とが重なる領域を確保できる。したがって、共通流路３１について、所望の固有周期をより確実に得ることができる。

膜１３２のＹ方向の長さ（＝幅Ｗ５２）と、膜１３３のＹ方向の長さ（＝幅Ｗ３３）とが、互いに異なる（図４参照）。この場合、膜１３２，１３３のＺ方向の長さ（厚み）を異ならせる場合に比べ、製造が容易であり、部品点数の増加も抑制できる。具体的には、膜１３２，１３３の厚みを異ならせる場合は、エッチングの深さを調整したり、膜１３２，１３３を構成する部品の点数を増加させたりする必要が生じ得る。これに対し、本実施形態のように、膜１３２，１３３のＹ方向の長さ（幅）を異ならせる場合は、エッチングの幅を調整するだけでよく、エッチングの深さを調整する場合に比べて容易であり、また、部品点数の増加も不要である。

膜１３４のＹ方向の長さ（＝幅Ｗ５４）と、膜１３１のＹ方向の長さ（＝幅Ｗ３１）とが、互いに異なる（図４参照）。この場合、膜１３４，１３１のＺ方向の長さ（厚み）を異ならせる場合に比べ、製造が容易であり、部品点数の増加も抑制できる。具体的には、膜１３４，１３１の厚みを異ならせる場合は、エッチングの深さを調整したり、膜１３４，１３１を構成する部品の点数を増加させたりする必要が生じ得る。これに対し、本実施形態のように、膜１３４，１３１のＹ方向の長さ（幅）を異ならせる場合は、エッチングの幅を調整するだけでよく、エッチングの深さを調整する場合に比べて容易であり、また、部品点数の増加も不要である。

共通流路３２のＹ方向の長さＷ３２と、共通流路３３のＹ方向の長さＷ３３とが、互いに同じである（図２参照）。共通流路３２，３３の一方のＹ方向の長さを、他方のＹ方向の長さよりも長くすると、ヘッド１０がＹ方向に大型化してしまう。或いは、共通流路３２，３３の一方のＹ方向の長さを、他方のＹ方向の長さよりも短くすると、一方の共通流路の流路抵抗が大きくなり、アンダーリフィル現象が生じ得る。これに対し、本実施形態では、共通流路３２，３３のＹ方向の長さを互いに同じにすることで、ヘッド１０がＹ方向に大型化するのを抑制でき、かつ、アンダーリフィル現象を抑制できる。

共通流路３４のＹ方向の長さＷ３４と、共通流路３１のＹ方向の長さＷ３１とが、互いに同じである（図２参照）。共通流路３４，３１の一方のＹ方向の長さを、他方のＹ方向の長さよりも長くすると、ヘッド１０がＹ方向に大型化してしまう。或いは、共通流路３４，３１の一方のＹ方向の長さを、他方のＹ方向の長さよりも短くすると、一方の共通流路の流路抵抗が大きくなり、アンダーリフィル現象が生じ得る。これに対し、本実施形態では、共通流路３４，３１のＹ方向の長さを互いに同じにすることで、ヘッド１０がＹ方向に大型化するのを抑制でき、かつ、アンダーリフィル現象を抑制できる。

共通流路３２のＺ方向の長さと、共通流路３３のＺ方向の長さとが、互いに同じである（図４参照）。共通流路３２，３３のＺ方向の長さが互いに異なる場合は、Ｚ方向の長さが長い一方の共通流路に連通する圧力室２２において、圧力室２２からノズル２１までの長さが長くなり、駆動周期を短くできない。そのため、高速記録を実現し難い。これに対し、本実施形態では、共通流路３２，３３のＺ方向の長さを互いに同じにすることで、圧力室２２からノズル２１までの長さが長くなるのを抑制し、駆動周期を短くできる。ひいては、高速記録を実現できる。

共通流路３４のＺ方向の長さと、共通流路３１のＺ方向の長さとが、互いに同じである（図４参照）。共通流路３４，３１のＺ方向の長さが互いに異なる場合は、Ｚ方向の長さが長い一方の共通流路に連通する圧力室２２において、圧力室２２からノズル２１までの長さが長くなり、駆動周期を短くできない。そのため、高速記録を実現し難い。これに対し、本実施形態では、共通流路３４，３１のＺ方向の長さを互いに同じにすることで、圧力室２２からノズル２１までの長さが長くなるのを抑制し、駆動周期を短くできる。ひいては、高速記録を実現できる。

Ｙ方向において共通流路３２と共通流路３３との間に、ノズル列Ｒ３を構成する６個のノズル２１及びノズル列Ｒ４を構成する６個のノズル２１が配置されている（図２参照）。この場合、ノズル列Ｒ３を構成するノズル２１とノズル列Ｒ４を構成するノズル２１とのＹ方向の間隔が短くなり、ノズル列Ｒ３を構成するノズル２１の吐出タイミングとノズル列Ｒ４を構成するノズル２１の吐出タイミングとが同じに（又は近く）なるのが一般である。この場合において、共通流路３２，３３の固有周期が互いに同じであると、各ノズル列Ｒ３，Ｒ４を構成するノズル２１から吐出されるインクに、共通流路３２，３３での共振の影響が同時に及ぶことや、共通流路３２，３３での共振により、ノズル列Ｒ３を構成するノズル２１とノズル列Ｒ４を構成するノズル２１との間のクロストークが顕著になることがあり、これにより、濃度ムラが顕著になり得る。また、共通流路３２に連通するノズル列Ｒ３のノズル２１から吐出されるインクの量が増えて濃度が高くなる位置と、共通流路３３に連通するノズル列Ｒ４のノズル２１から吐出されるインクの量が増えて濃度が高くなる位置とが近くなることにより、濃度ムラが顕著になり得る。このような場合に本発明を適用することで、上記問題を抑制し、本発明の効果を実効的に得ることができる。

Ｙ方向におけるノズル列Ｒ３とノズル列Ｒ４との間隔Ｓ１は、Ｙ方向におけるノズル列Ｒ２とノズル列Ｒ３との間隔Ｓ２、及び、Ｙ方向におけるノズル列Ｒ４とノズル列Ｒ５との間隔Ｓ２のいずれよりも小さい（図２参照）。この場合、ノズル列Ｒ３を構成するノズル２１とノズル列Ｒ４を構成するノズル２１とのＹ方向の間隔が短くなり、これらノズル２１の吐出タイミングが同じに（又は近く）なるのが一般である。この場合において、共通流路３２，３３の固有周期が互いに同じであると、各ノズル列Ｒ３，Ｒ４を構成するノズル２１から吐出されるインクに、共通流路３２，３３での共振の影響が同時に及ぶことや、共通流路３２，３３での共振により、ノズル列Ｒ３を構成するノズル２１とノズル列Ｒ４を構成するノズル２１との間のクロストークが顕著になることがあり、これにより、濃度ムラが顕著になり得る。また、共通流路３２に連通するノズル列Ｒ３のノズル２１から吐出されるインクの量が増えて濃度が高くなる位置と、共通流路３３に連通するノズル列Ｒ４のノズル２１から吐出されるインクの量が増えて濃度が高くなる位置とが近くなることにより、濃度ムラが顕著になり得る。このような場合に本発明を適用することで、上記問題を抑制し、本発明の効果を実効的に得ることができる。

共通流路３２，３３は、同一の貯留室７０ａに連通している（図２参照）。当該構成では、共通流路３２に連通するノズル２１と、共通流路３３に連通するノズル２１とにおいて、吐出される液体の種類が同じである。この場合に、共通流路３２，３３の固有周期が互いに同じであると、濃度ムラが顕著になり得る。このような場合に本発明を適用することで、本発明の効果（濃度ムラを抑制する効果）を実効的に得ることができる。

共通流路３４，３１は、同一の貯留室７０ａに連通している（図２参照）。当該構成では、共通流路３４に連通するノズル２１と、共通流路３１に連通するノズル２１とにおいて、吐出される液体の種類が同じである。この場合に、共通流路３４，３１の固有周期が互いに同じであると、濃度ムラが顕著になり得る。このような場合に本発明を適用することで、本発明の効果（濃度ムラを抑制する効果）を実効的に得ることができる。

＜第２実施形態＞
続いて、図５を参照し、本発明の第２実施形態に係るヘッド２１０について説明する。

第１実施形態では、膜１３１〜１３４（凹部５１〜５４）のＸ方向の長さが互いに同じである。これに対し、本実施形態では、膜２３２（凹部２５２）のＸ方向の長さと膜２３３（凹部２５３）のＸ方向の長さとが互いに異なり、膜２３４（凹部２５４）のＸ方向の長さと膜２３１（凹部２５１）のＸ方向の長さとが互いに異なる。

膜２３２，２３３（凹部２５２，２５３）のＹ方向の長さは互いに同じであり、膜２３４，２３１（凹部２５４，２５１）のＹ方向の長さは互いに同じである。膜２３２（凹部２５２）のＹ方向の長さは、共通流路３２の幅Ｗ３２に等しい。膜２３３（凹部２５３）のＹ方向の長さは、共通流路３３の幅Ｗ３３（＝幅Ｗ３２）に等しい。膜２３４（凹部２５４）のＹ方向の長さは、共通流路３４の幅Ｗ３４に等しい。膜２３１（凹部２５１）のＹ方向の長さは、共通流路３１の幅Ｗ３１（＝幅Ｗ３４）に等しい。

膜２３１，２３３（凹部２５１，２５３）のＸ方向の長さは、それぞれ、共通流路３１，３３のＸ方向の長さよりも長い。膜２３１，２３３（凹部２５１，２５３）は、それぞれ、共通流路３１，３３に対してＸ方向の両側に突出しており、共通流路３１，３３とＺ方向に重なる部分と、共通流路３１，３３とＺ方向に重ならない部分とを含む。

膜２３２，２３４（凹部２５２，２５４）のＸ方向の長さは、それぞれ、共通流路３２，３４のＸ方向の長さよりも短い。膜２３２，２３４（凹部２５２，２５４）は、それぞれ、全体が共通流路３２，３４とＺ方向に重なっており、共通流路３２，３４とＺ方向に重ならない部分を含まない。

例えば、本実施形態において、凹部２５２が「第１凹部」、凹部２５３が「第２凹部」に該当する。凹部２５３のＸ方向の長さは、凹部２５２のＸ方向の長さよりも長く、共通流路３３のＸ方向の長さよりも長い。この場合、プレート１１５（図４参照）にＸ方向の位置ズレが生じた場合でも、凹部２５３と共通流路３３とが重なる領域を確保できる。したがって、共通流路３３について、所望の固有周期をより確実に得ることができる。

また、例えば、本実施形態において、凹部２５４が「第１凹部」、凹部２５１が「第２凹部」に該当する。凹部２５１のＸ方向の長さは、凹部２５４のＸ方向の長さよりも長く、共通流路３１のＸ方向の長さよりも長い。この場合、プレート１１５（図４参照）にＸ方向の位置ズレが生じた場合でも、凹部２５１と共通流路３１とが重なる領域を確保できる。したがって、共通流路３１について、所望の固有周期をより確実に得ることができる。

例えば、本実施形態において、膜２３２が「第１膜」、膜２３３が「第２膜」に該当する。ここで、膜２３２，２３３のコンプライアンスを比較すると、膜２３２，２３３のＹ方向及びＺ方向の長さは互いに同じであるが、膜２３２のＸ方向の長さが膜２３３のＸ方向の長さよりも小さいことから、膜２３２のコンプライアンスは膜２３３のコンプライアンスよりも小さい。

本実施形態によれば、膜２３２，２３３のコンプライアンスを異ならせるにあたり、膜２３２，２３３のＺ方向の長さ（厚み）を異ならせる場合に比べ、製造が容易であり、部品点数の増加も抑制できる。具体的には、膜２３２，２３３の厚みを異ならせる場合は、エッチングの深さを調整したり、膜２３２，２３３を構成する部品の点数を増加させたりする必要が生じ得る。これに対し、本実施形態のように、膜２３２，２３３のＸ方向の長さを異ならせる場合は、エッチングの長さを調整するだけでよく、エッチングの深さを調整する場合に比べて容易であり、また、部品点数の増加も不要である。

また、例えば、本実施形態において、膜２３４が「第１膜」、膜２３１が「第２膜」に該当する。ここで、膜２３４，２３１のコンプライアンスを比較すると、膜２３４，２３１のＹ方向及びＺ方向の長さは互いに同じであるが、膜２３４のＸ方向の長さが膜２３１のＸ方向の長さよりも小さいことから、膜２３４のコンプライアンスは膜２３１のコンプライアンスよりも小さい。

本実施形態によれば、膜２３４，２３１のコンプライアンスを異ならせるにあたり、膜２３４，２３１のＺ方向の長さ（厚み）を異ならせる場合に比べ、製造が容易であり、部品点数の増加も抑制できる。具体的には、膜２３４，２３１の厚みを異ならせる場合は、エッチングの深さを調整したり、膜２３４，２３１を構成する部品の点数を増加させたりする必要が生じ得る。これに対し、本実施形態のように、膜２３４，２３１のＸ方向の長さを異ならせる場合は、エッチングの長さを調整するだけでよく、エッチングの深さを調整する場合に比べて容易であり、また、部品点数の増加も不要である。

＜第３実施形態＞
続いて、図６を参照し、本発明の第３実施形態に係るヘッド３１０について説明する。

第１実施形態（図４）では、膜１３１〜１３４のＺ方向の長さ（厚み）が互いに同じである。これに対し、本実施形態（図６）では、膜３３２のＺ方向の長さ（厚み）と膜３３３のＺ方向の長さ（厚み）とが互いに異なり、膜３３４のＺ方向の長さ（厚み）と膜３３１のＺ方向の長さ（厚み）とが互いに異なる。

膜３３２，３３３のＹ方向の長さは互いに同じであり、膜３３４，３３１のＹ方向の長さは互いに同じである。膜３３２のＹ方向の長さは、共通流路３２の幅Ｗ３２に等しい。膜３３３のＹ方向の長さは、共通流路３３の幅Ｗ３３（＝幅Ｗ３２）に等しい。膜３３４のＹ方向の長さは、共通流路３４の幅Ｗ３４に等しい。膜３３１のＹ方向の長さは、共通流路３１の幅Ｗ３１（＝幅Ｗ３４）に等しい。

本実施形態の流路部材３１１は、第１実施形態の流路部材１１においてプレート１１５を３枚のプレート３１５〜３１７に置き換えたものである。３枚のプレート３１５〜３１７は、Ｚ方向に積層されており、「膜部材」を構成する。３枚のプレート３１５〜３１６のうち、最も上側に配置されたプレート３１５には、貫通孔が形成されていない。Ｚ方向においてプレート３１５とプレート３１７との間に配置されたプレート３１６には、共通流路３１，３４のそれぞれとＺ方向に重なる部分に、２つの貫通孔が形成されている。３枚のプレート３１５〜３１６のうち、最も下側に配置されたプレート３１７には、共通流路３１〜３４のそれぞれとＺ方向に重なる部分に、４つの貫通孔が形成されている。

プレート３１６，３１７に形成された共通流路３１とＺ方向に重なる貫通孔が、凹部３５１に該当する。プレート３１７に形成された共通流路３２とＺ方向に重なる貫通孔が、凹部３５２に該当する。プレート３１６，３１７に形成された共通流路３３とＺ方向に重なる貫通孔が、凹部３５３に該当する。プレート３１７に形成された共通流路３４とＺ方向に重なる貫通孔が、凹部３５４に該当する。

膜３３１は、プレート３１５における共通流路３１とＺ方向に重なる部分である。膜３３２は、プレート３１５，３１６における共通流路３２とＺ方向に重なる部分である。膜３３３は、プレート３１５における共通流路３３とＺ方向に重なる部分である。膜３３４は、プレート３１５，３１６における共通流路３４とＺ方向に重なる部分である。

膜３３１，３３３の厚みは、１枚のプレート３１５の厚みに等しい。膜３３２，３３４の厚みは、２枚のプレート３１５，３１６の厚みに等しい。

なお、各プレート３１５〜３１７には、プレート１１５と同様、流路２３の下端部分（図３参照）が形成されている。

３枚のプレート１１６は、プレート３１７の下面に接着されている。

４枚のプレート１１７は、それぞれ、４つの凹部３５１〜３５４を覆うように、プレート３１７の下面に接着されている。これにより、膜３３１〜３３４は露出されず、各膜３３１〜３３４と各プレート３１７との間に空間が形成されている。

本実施形態において、凹部３５１，３５３のＺ方向の長さ（深さ）は、互いに同じであり、２枚のプレート３１６，３１７の厚みに等しい。凹部３５２，３５４のＺ方向の長さ（深さ）は、互いに同じであり、１枚のプレート３１７の厚みに等しい。凹部３５１，３５３のＺ方向の長さ（深さ）は、凹部３５２，３５４のＺ方向の長さ（深さ）よりも大きい。

例えば、本実施形態において、膜３３２が「第１膜」、膜３３３が「第２膜」に該当する。ここで、膜３３２，３３３のコンプライアンスを比較すると、膜３３２，３３３のＸ方向及びＹ方向の長さは互いに同じであるが、膜３３２のＺ方向の長さ（厚み）が膜３３３のＺ方向の長さ（厚み）よりも大きいことから、膜３３２のコンプライアンスは膜３３３のコンプライアンスよりも小さい。

本実施形態によれば、膜３３２のＺ方向の長さ（厚み）と、膜３３３のＺ方向の長さ（厚み）とが、互いに異なる。この場合、膜３３２，３３３のＹ方向の長さ（幅）やＸ方向の長さを異ならせなくとも、膜３３２，３３３の弾性コンプライアンスを異ならせることができる。

また、例えば、本実施形態において、膜３３４が「第１膜」、膜３３１が「第２膜」に該当する。ここで、膜３３４，３３１のコンプライアンスを比較すると、膜３３４，３３１のＸ方向及びＹ方向の長さは互いに同じであるが、膜３３４のＺ方向の長さ（厚み）が膜３３１のＺ方向の長さ（厚み）よりも大きいことから、膜３３２のコンプライアンスは膜３３３のコンプライアンスよりも小さい。

本実施形態によれば、膜３３４のＺ方向の長さ（厚み）と、膜３３１のＺ方向の長さ（厚み）とが、互いに異なる。この場合、膜３３４，３３１のＹ方向の長さ（幅）やＸ方向の長さを異ならせなくとも、膜３３４，３３１の弾性コンプライアンスを異ならせることができる。

＜第４実施形態＞
続いて、図７及び図８を参照し、本発明の第４実施形態に係るヘッド４１０について説明する。

本実施形態では、流路部材１１が、支持部９１〜９３をさらに有する。各支持部９１〜９３は、図８に示すように、凹部４５１〜４５４内に配置され、Ｚ方向において共通流路３１〜３４とで膜４３１〜４３４を挟み、膜４３１〜４３４を支持している。各支持部９１〜９３は、膜４３１〜４３４に固定された上端と、プレート１１７に固定された下端とを有する。

膜４３２，４３３（凹部４５２，４５３）のＹ方向の長さは互いに同じであり、膜４３４，４３１（凹部４５４，４５１）のＹ方向の長さは互いに同じである。膜４３２（凹部４５２）のＹ方向の長さは、共通流路３２の幅Ｗ３２に等しい。膜４３３（凹部４５３）のＹ方向の長さは、共通流路３３の幅Ｗ３３（＝幅Ｗ３２）に等しい。膜４３４（凹部４５４）のＹ方向の長さは、共通流路３４の幅Ｗ３４に等しい。膜４３１（凹部４５１）のＹ方向の長さは、共通流路３１の幅Ｗ３１（＝幅Ｗ３４）に等しい。

膜４３１〜４３４（凹部４５１〜４５４）は、共通流路３１〜３４とＺ方向に一致している。即ち、膜４３１〜４３４（凹部４５１〜４５４）は、全体が共通流路３１〜３４とＺ方向に重なっており、共通流路３４とＺ方向に重ならない部分を含まない。

図７に示すように、凹部４５１，４５３のそれぞれに、２つの支持部９１が設けられている。凹部４５２，４５４のそれぞれに、２つの支持部９１と、８つの支持部９２と、１つの支持部９３とが設けられている。

支持部９１は、Ｚ方向に延びる円柱状であり、各凹部４５１〜４５４のＹ方向の中央に位置する。各凹部４５１〜４５４において、２つの支持部９１は、Ｘ方向に互いに離隔している。

支持部９２は、Ｚ方向に延びる半円柱状であり、各凹部４５２，４５４のＹ方向の一端及び他端に位置する。支持部９２は、図８に示すように、プレート１１５における凹部４５２，４５４を画定する側壁からＹ方向に突出している。

支持部９３は、Ｚ方向及びＹ方向に延びる板状であり、各凹部４５２，４５４のＸ方向の中央に位置する。支持部９３は、各膜４３２，４３４と各プレート１１７との間に形成された空間を、Ｘ方向に区画している。

例えば、本実施形態において、膜４３２が「第１膜」、膜４３３が「第２膜」に該当する。ここで、膜４３２，４３３のコンプライアンスを比較すると、膜４３２，４３３のＸ方向、Ｙ方向及びＺ方向の長さは互いに同じであるが、膜４３２に対して設けられた支持部の数が膜４３３に対して設けられた支持部の数よりも多いことから、膜４３２のコンプライアンスは膜４３３のコンプライアンスよりも小さい。

また、例えば、本実施形態において、膜４３４が「第１膜」、膜４３１が「第２膜」に該当する。ここで、膜４３４，４３１のコンプライアンスを比較すると、膜４３４，４３１のＸ方向、Ｙ方向及びＺ方向の長さは互いに同じであるが、膜４３４に対して設けられた支持部の数が膜４３１に対して設けられた支持部の数よりも多いことから、膜４３４のコンプライアンスは膜４３１のコンプライアンスよりも小さい。

本実施形態によれば、支持部９１〜９３を設け、さらに支持部９１〜９３の数を異ならせることで、簡単に、膜４３２，４３４の弾性コンプライアンスを小さくできる。

＜第５実施形態＞
続いて、図９を参照し、本発明の第５実施形態に係るヘッド５１０について説明する。

第１実施形態（図２）において、共通流路３１〜３４は、同一のカートリッジ７０の貯留室７０ａに連通している。これに対し、本実施形態（図９）では、共通流路３１，３２は同一のカートリッジ７１の貯留室７１ａに連通し、共通流路３３，３４は同一のカートリッジ７２の貯留室７２ａに連通しているが、共通流路３１，３２と共通流路３３，３４とで連通している貯留室が異なっている。

貯留室７１ａ，７２ａには、同じ種類のインク（例えば、ブラックインク）が貯留されている。貯留室７１ａが「第１貯留室」に該当し、貯留室７２ａが「第２貯留室」に該当し、インクが「第１液体」に該当する。開口３１ｘ，３２ｘと貯留室７１ａとの間、開口３３ｘ，３４ｘと貯留室７２ａとの間には、それぞれ、ポンプＰが配置されている。制御部５（図１参照）の制御により各ポンプＰが駆動されると、貯留室７１ａ内のインクが共通流路３１，３２に供給され、貯留室７２ａ内のインクが共通流路３３，３４に供給される。

本実施形態によれば、共通流路３２に連通するノズル２１と、共通流路３３に連通するノズル２１とにおいて、吐出される液体の種類が同じである。この場合に、共通流路３２，３３の固有周期が互いに同じであると、濃度ムラが顕著になり得る。このような場合に本発明を適用することで、本発明の効果（濃度ムラを抑制する効果）を実効的に得ることができる。

また、本実施形態によれば、共通流路３４に連通するノズル２１と、共通流路３１に連通するノズル２１とにおいて、吐出される液体の種類が同じである。この場合に、共通流路３４，３１の固有周期が互いに同じであると、濃度ムラが顕著になり得る。このような場合に本発明を適用することで、本発明の効果（濃度ムラを抑制する効果）を実効的に得ることができる。

＜変形例＞
以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上述の実施形態に限られるものではなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいて様々な設計変更が可能なものである。

第１共通流路の体積と、第２共通流路の体積とは、互いに同じであることに限定されず、互いに異なってもよい。

第１共通流路の第１方向の長さと、第２共通流路の第１方向の長さとは、上述の実施形態では互いに同じであるが、これに限定されない。本発明の第２観点において、第１共通流路の第１方向の長さと、第２共通流路の第１方向の長さとは、互いに実質的に同じであればよい（つまり、両者に３ｍｍ程度の差があってもよく、或いは、両者の差が、長い方の長さの１０％以下であってもよい）。本発明の第１観点において、第１共通流路の第１方向の長さと、第２共通流路の第１方向の長さとは、互いに異なってもよい。

複数の第１ノズル（即ち、第１共通流路に連通するノズルの数）と、複数の第２ノズル（即ち、第２共通流路に連通するノズルの数）とは、上述の実施形態では互いに同じであるが、互いに異なってもよい（例えば、数個の差があってもよい）。

上述の各実施形態の構成を組み合わせてもよい。例えば、第２実施形態（図５）において、第１膜及び第２膜の第１方向の長さだけでなく、第１膜及び第２膜の第２方向又は第３方向の長さを互いに異ならせてもよい。第３実施形態（図６）において、第１膜及び第２膜の第３方向の長さだけでなく、第１膜及び第２膜の第１方向又は第２方向の長さを互いに異ならせてもよい。第１膜及び第２膜の第１方向、第２方向又は第３方向の長さが互いに異なる構成において、第４実施形態（図７、図８）の支持部を設けてもよい。

第２支持部は、複数に限定されず、１つであってもよい。第２支持部が無い場合において、第１支持部は、複数に限定されず、１つであってもよい。

上述の実施形態では、膜の外側にプレートがあり、膜が露出されていないが、膜が露出されてもよい。

ノズルの配置は、上述の実施形態に限定されない。例えば、第１実施形態（図２）では、Ｙ方向において共通流路３２と共通流路３３との間に、２つのノズル列Ｒ３，Ｒ４が配置されているが、１つのノズル列が配置されてもよい。また、第１実施形態（図２）では、共通流路３２に対して２つのノズル列Ｒ２，Ｒ３が配置され、共通流路３３に対して２つのノズル列Ｒ４，Ｒ５が配置されているが、各共通流路３２，３３に対して１つのノズル列が配置されてもよい。

ノズルから吐出される液体は、インクに限定されず、任意の液体（例えば、インク中の成分を凝集又は析出させる処理液等）であってよい。

アクチュエータは、圧電素子を用いたピエゾ方式のものに限定されず、その他の方式（例えば、発熱素子を用いたサーマル方式、静電力を用いた静電方式等）のものであってもよい。

液体吐出ヘッドは、ライン式に限定されず、シリアル式であってもよい。

本発明は、プリンタに限定されず、ファクシミリ、コピー機、複合機等にも適用可能である。また、本発明は、画像の記録以外の用途で使用される液体吐出装置（例えば、基板に導電性の液体を吐出して導電パターンを形成する液体吐出装置）にも適用可能である。

１０；２１０；３１０；４１０；５１０ ヘッド（液体吐出ヘッド）
１１；３１１ 流路部材
１１ｘ ノズル面
２１ ノズル
３１〜３４ 共通流路
５１〜５４；２５１〜２５４；３５１〜３５４ 凹部
７０ａ；７１ａ，７２ａ 貯留室
９１〜９３ 支持部
１００ プリンタ
１１５ プレート（膜部材）
１１５ａ 上面（第１面）
１１５ｂ 下面（第２面）
１３１〜１３４；２３１〜２３４；３３１〜３３４；４３１〜４３４ 膜

Claims (18)

1. 第１方向及び前記第１方向と直交する第２方向に平行なノズル面であって、前記第１方向に配列された複数の第１ノズルと、前記第１方向に配列されかつ前記第２方向に前記複数の第１ノズルと並ぶ複数の第２ノズルと、が形成されたノズル面を有する流路部材を備え、
   前記流路部材には、
   前記第１方向に延び、前記複数の第１ノズルに連通する第１共通流路と、
   前記第１方向に延び、前記第２方向に前記第１共通流路と並び、前記複数の第２ノズルに連通する第２共通流路と、が形成されており、
   前記流路部材は、
   前記第１共通流路及び前記第２共通流路を画定し、前記第１方向及び前記第２方向に平行な第１面と、前記第１方向及び前記第２方向と直交する第３方向において前記第１面とは反対側の、前記第１方向及び前記第２方向に平行な第２面と、を有する膜部材を有し、
   前記第２面には、前記第３方向に前記第１共通流路と重なる第１凹部と、前記第３方向に前記第２共通流路と重なる第２凹部と、が形成されており、
   前記第１凹部の前記第２方向の長さと、前記第２凹部の前記第２方向の長さとが、互いに異なることを特徴とする液体吐出ヘッド。
2. 前記第２凹部の前記第２方向の長さは、前記第１凹部の前記第２方向の長さよりも長く、前記第２共通流路の前記第２方向の長さよりも長いことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
3. 前記第２凹部の前記第１方向の長さは、前記第１凹部の前記第１方向の長さよりも長く、前記第２共通流路の前記第１方向の長さよりも長いことを特徴とする請求項１又は２に記載の液体吐出ヘッド。
4. 前記流路部材は、
   前記第３方向において前記第１共通流路とで前記膜部材を挟み、前記膜部材を支持する第１支持部をさらに有することを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
5. 前記流路部材は、
   複数の前記第１支持部を有し、
   前記第３方向において前記第２共通流路とで前記膜部材を挟み、前記膜部材を支持する第２支持部をさらに有し、
   前記第１支持部の数が、前記第２支持部の数よりも多いことを特徴とする請求項４に記載の液体吐出ヘッド。
6. 前記第１共通流路の前記第１方向の長さと、前記第２共通流路の前記第１方向の長さとが、互いに実質的に同じであることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
7. 第１方向及び前記第１方向と直交する第２方向に平行なノズル面であって、前記第１方向に配列された複数の第１ノズルと、前記第１方向に配列されかつ前記第２方向に前記複数の第１ノズルと並ぶ複数の第２ノズルと、が形成されたノズル面を有する流路部材を備え、
   前記流路部材には、
   前記第１方向に延び、前記複数の第１ノズルに連通する第１共通流路と、
   前記第１方向に延び、前記第２方向に前記第１共通流路と並び、前記複数の第２ノズルに連通する第２共通流路と、が形成されており、
   前記第１共通流路の前記第１方向の長さと、前記第２共通流路の前記第１方向の長さとが、互いに実質的に同じであり、
   前記流路部材は、
   前記第１共通流路を画定する第１膜と、
   前記第２共通流路を画定する第２膜と、を有し、
   前記第１膜の弾性コンプライアンスと、前記第２膜の弾性コンプライアンスとが、互いに異なることを特徴とする液体吐出ヘッド。
8. 前記第１膜の前記第２方向の長さと、前記第２膜の前記第２方向の長さとが、互いに異なることを特徴とする請求項７に記載の液体吐出ヘッド。
9. 前記第１膜の前記第１方向の長さと、前記第２膜の前記第１方向の長さとが、互いに異なることを特徴とする請求項７又は８に記載の液体吐出ヘッド。
10. 前記第１膜の前記第１方向及び前記第２方向と直交する第３方向の長さと、前記第２膜の前記第３方向の長さとが、互いに異なることを特徴とする請求項７〜９のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
11. 前記第１膜の弾性コンプライアンスは、前記第２膜の弾性コンプライアンスよりも小さく、
    前記流路部材は、
    前記第１方向及び前記第２方向と直交する第３方向において前記第１共通流路とで前記第１膜を挟み、前記第１膜を支持する第１支持部をさらに有することを特徴とする請求項７〜１０のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
12. 前記流路部材は、
    複数の前記第１支持部を有し、
    前記第３方向において前記第２共通流路とで前記第２膜を挟み、前記第２膜を支持する第２支持部をさらに有し、
    前記第１支持部の数が、前記第２支持部の数よりも多いことを特徴とする請求項１１に記載の液体吐出ヘッド。
13. 前記第１共通流路の前記第２方向の長さと、前記第２共通流路の前記第２方向の長さとが、互いに実質的に同じであることを特徴とする請求項１〜１２のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
14. 前記第１共通流路の前記第１方向及び前記第２方向と直交する第３方向の長さと、前記第２共通流路の前記第３方向の長さとが、互いに実質的に同じであることを特徴とする請求項１〜１３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
15. 前記第２方向において前記第１共通流路と前記第２共通流路との間に、前記複数の第１ノズル及び前記複数の第２ノズルが配置されたことを特徴とする請求項１〜１４のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
16. 前記複数の第１ノズルは、前記第２方向に並ぶ第１ノズル列及び第２ノズル列を構成し、
    前記複数の第２ノズルは、前記第２方向に並ぶ第３ノズル列及び第４ノズル列を構成し、
    前記第２方向において前記第１ノズル列と前記第４ノズル列との間に、前記第２ノズル列及び前記第３ノズル列が位置し、
    前記第２方向における前記第２ノズル列と前記第３ノズル列との間隔は、前記第２方向における前記第１ノズル列と前記第２ノズル列との間隔、及び、前記第２方向における前記第３ノズル列と前記第４ノズル列との間隔のいずれよりも小さいことを特徴とする請求項１〜１５のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
17. 前記第１共通流路は、第１液体を貯留する第１貯留室に連通し、
    前記第２共通流路は、前記第１貯留室に連通することを特徴とする請求項１〜１６のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
18. 前記第１共通流路は、第１液体を貯留する第１貯留室に連通し、
    前記第２共通流路は、前記第１液体と同じ種類の液体を貯留する第２貯留室に連通することを特徴とする請求項１〜１６のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。

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