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JP2020079769A - Disk resonator - Google Patents

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JP2020079769A
JP2020079769A JP2018213773A JP2018213773A JP2020079769A JP 2020079769 A JP2020079769 A JP 2020079769A JP 2018213773 A JP2018213773 A JP 2018213773A JP 2018213773 A JP2018213773 A JP 2018213773A JP 2020079769 A JP2020079769 A JP 2020079769A
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circular
circular flat
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disk resonator
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公平 長楽
亜紀子 松井
Akiko Matsui
亜紀子 松井
山田 哲郎
Tetsuo Yamada
哲郎 山田
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Kazuo Takahashi
一生 高橋
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Abstract

【課題】円板共振器による測定精度を向上させることを目的とする。【解決手段】円板共振器は、第1励振線を内蔵した第1円形平板と、円形銅箔と、第2励振線を内蔵した第2円形平板と、環状弾性体と、ケース部と、押圧部と、を備え、前記ケース部は、前記第1円形平板と前記円形銅箔と前記第2円形平板と前記環状弾性体をこれらの中心軸を合わせた状態で収納する円柱状の収納部を備え、前記押圧部は、前記環状弾性体に突き当てられ、前記収納部に収納された前記第1円形平板と前記円形銅箔と前記第2円形平板とを、前記環状弾性体を介して押圧する突き当て部材を備える。【選択図】図3An object of the present invention is to improve the measurement accuracy of a disc resonator. A disk resonator includes a first circular flat plate containing a first excitation line, a circular copper foil, a second circular flat plate containing a second excitation line, an annular elastic body, a case portion, and a pressing portion, wherein the case portion is a cylindrical storage portion that stores the first circular flat plate, the circular copper foil, the second circular flat plate, and the annular elastic body with their central axes aligned. wherein the pressing portion is abutted against the annular elastic body, and presses the first circular flat plate, the circular copper foil, and the second circular flat plate stored in the storage portion via the annular elastic body A pressing abutment member is provided. [Selection drawing] Fig. 3

Description

本発明は、円板共振器に関する。   The present invention relates to a disc resonator.

昨今、ICT(Information and Communication Technology)機器に通信速度の高速化等の流れの中、ICT機器に使用されるプリント基板に用いられる基材自体の伝送損失を改善する低損失化が進んでいる。このような事情を背景として、基材となる材料の比誘電率、誘電正接等の誘電特性を正確に測定することが求められている。このような誘電特性を測定する機器として、例えば、特許文献1には、一対の金属板で円板共振シートと試料(基材)を挟んだ状態で測定を行う円板共振器が開示されている。   In recent years, in the trend of increasing the communication speed of ICT (Information and Communication Technology) devices, reduction of transmission loss of a base material itself used for a printed circuit board used in ICT devices has been advanced. Against the background of such circumstances, it is required to accurately measure the dielectric properties such as the relative dielectric constant and the dielectric loss tangent of the base material. As a device for measuring such dielectric properties, for example, Patent Document 1 discloses a disk resonator that performs measurement with a disk resonance sheet and a sample (base material) sandwiched between a pair of metal plates. There is.

特開2014−106224号公報JP, 2014-106224, A

ところで、一対の金属板で円板共振シートと試料(基材)を挟んでその誘電特性の測定を行う場合、一対の金属板が均一に押圧されず、金属板間に空隙が生じると金属板間に空気層が形成される。空気層の存在は、測定結果に影響を及ぼす。このため、基材となる材料の比誘電率、誘電正接等の誘電特性を正確に測定するためには、一対の金属板の間に空隙を生じさせないように金属板を均一に押圧することが求められる。しかしながら、特許文献1では、この点について何ら開示されていない。   By the way, when the dielectric property is measured by sandwiching the disk resonance sheet and the sample (base material) with a pair of metal plates, if the pair of metal plates are not pressed uniformly and a gap occurs between the metal plates, the metal plate An air layer is formed between them. The presence of the air layer affects the measurement result. Therefore, in order to accurately measure the dielectric properties such as the relative permittivity and the dielectric loss tangent of the material serving as the base material, it is required to uniformly press the metal plate so as not to create a gap between the pair of metal plates. . However, Patent Document 1 does not disclose anything about this point.

1つの側面では、本明細書開示の発明は、円板共振器による測定精度を向上させることを目的とする。   In one aspect, the invention disclosed herein aims to improve the measurement accuracy of a disc resonator.

1つの態様では、円板共振器は、第1励振線を内蔵した第1円形平板と、円形銅箔と、第2励振線を内蔵した第2円形平板と、環状弾性体と、ケース部と、押圧部と、を備え、前記ケース部は、前記第1円形平板と前記円形銅箔と前記第2円形平板と前記環状弾性体をこれらの中心軸を合わせた状態で収納する円柱状の収納部を備え、前記押圧部は、前記環状弾性体に突き当てられ、前記収納部に収納された前記第1円形平板と前記円形銅箔と前記第2円形平板とを、前記環状弾性体を介して押圧する突き当て部材を備える。   In one aspect, the disk resonator includes a first circular flat plate containing a first excitation line, a circular copper foil, a second circular flat plate containing a second excitation line, an annular elastic body, and a case portion. And a pressing portion, and the case portion is a cylindrical storage for storing the first circular flat plate, the circular copper foil, the second circular flat plate, and the annular elastic body with their central axes aligned. The pressing portion is abutted against the annular elastic body, and the first circular flat plate, the circular copper foil, and the second circular flat plate accommodated in the accommodating portion are interposed via the annular elastic body. It is provided with an abutting member that presses with.

本発明は、円板共振器による測定精度を向上させることができる。   The present invention can improve the measurement accuracy of the disc resonator.

図1は実施形態の円板共振器をネットワークアナライザーに接続した測定システムの説明図である。FIG. 1 is an explanatory diagram of a measurement system in which the disk resonator of the embodiment is connected to a network analyzer. 図2は実施形態の円板共振器の斜視図である。FIG. 2 is a perspective view of the disc resonator of the embodiment. 図3は実施形態の円板共振器の断面図である。FIG. 3 is a sectional view of the disc resonator of the embodiment. 図4は実施形態の円板共振器の分解斜視図である。FIG. 4 is an exploded perspective view of the disc resonator of the embodiment. 図5は実施形態の円板共振器の分解断面図である。FIG. 5 is an exploded sectional view of the disc resonator of the embodiment. 図6(A)は比較例の円板共振器を用いたときに円形銅箔に作用する圧力の分布を示す説明図であり、図6(B)は実施形態の円板共振器を用いたときに円形銅箔に作用する圧力の分布を示す説明図である。FIG. 6(A) is an explanatory view showing the distribution of pressure acting on the circular copper foil when the disk resonator of the comparative example is used, and FIG. 6(B) uses the disk resonator of the embodiment. It is explanatory drawing which shows the distribution of the pressure which sometimes acts on a circular copper foil. 図7は斜め巻きコイルスプリングの反力特性を示すグラフである。FIG. 7 is a graph showing the reaction force characteristics of the obliquely wound coil spring. 図8(A)はケース部を筒状部の下端部で断面とし、柱部と開口部の配置を示す説明図であり、図8(B)は対向する柱部と開口部の大きさを比較する説明図である。FIG. 8A is an explanatory view showing the arrangement of the column portion and the opening portion with the case portion being a cross section at the lower end portion of the tubular portion, and FIG. 8B shows the size of the opposing column portion and the opening portion. It is explanatory drawing compared. 図9(A)はケース部に開口部を設けた場合の測定結果の一例を示すグラフであり、図9(B)はケース部に開口部を設けていない場合の測定結果の一例を示すグラフである。FIG. 9A is a graph showing an example of the measurement result when the case is provided with an opening, and FIG. 9B is a graph showing an example of the measurement result when the case is not provided with an opening. Is.

以下、本発明の実施形態について、添付図面を参照しつつ説明する。ただし、図面中、各部の寸法、比率等は、実際のものと完全に一致するようには図示されていない場合がある。また、図面によっては、説明の都合上、実際には存在する構成要素が省略されていたり、寸法が実際よりも誇張されて描かれていたりする場合がある。   Embodiments of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings. However, in the drawings, the dimensions, ratios, etc. of the respective parts may not be shown to be completely the same as actual ones. Further, depending on the drawings, for the sake of explanation, there may be cases where actually existing constituent elements are omitted or the dimensions are drawn more exaggerated than they actually are.

図1を参照すると、実施形態の円板共振器1は、ケーブル19とケーブル25を介してネットワークアナライザー101に接続され、測定装置100として使用される。ネットワークアナライザー101は、所望の周波数を出力し、円板共振器1にセットされた測定対象の誘電特性の測定を行う。   Referring to FIG. 1, the disc resonator 1 of the embodiment is connected to a network analyzer 101 via a cable 19 and a cable 25, and is used as a measuring device 100. The network analyzer 101 outputs a desired frequency and measures the dielectric characteristic of the measurement target set in the disk resonator 1.

図2を参照すると、円板共振器1は、ケース部10と押圧部としてのカバー部30を備えている。また、図3から図5を参照すると、円板共振器1は、第1円形平板としての第1純銅平板18と、円形銅箔22と、第2円形平板としての第2純銅平板24と、環状弾性体としての環状に形成した斜め巻きコイルスプリング(以下、単に「スプリング」という)26とを備える。ケース部10とカバー部30の材質は、円板共振器1による試験の再現性と円板共振器1自体の機械的強度の観点から適宜選定することができる。本実施形態では、熱膨張係数が純銅と近い材質であるステンレスを選定している。   Referring to FIG. 2, the disc resonator 1 includes a case portion 10 and a cover portion 30 as a pressing portion. Further, referring to FIG. 3 to FIG. 5, the disk resonator 1 includes a first pure copper flat plate 18 as a first circular flat plate, a circular copper foil 22, and a second pure copper flat plate 24 as a second circular flat plate. An obliquely wound coil spring (hereinafter, simply referred to as “spring”) 26 formed in an annular shape as an annular elastic body is provided. The materials of the case portion 10 and the cover portion 30 can be appropriately selected from the viewpoint of the reproducibility of the test by the disc resonator 1 and the mechanical strength of the disc resonator 1 itself. In this embodiment, stainless steel, which is a material having a thermal expansion coefficient close to that of pure copper, is selected.

ケース部10は、本体部10aとこの本体部10aに連設された円柱状の筒状部10bを備える。筒状部10bの外周壁には、雄ネジ部12が形成されている。ケース部10の内側には、収納部13が設けられている。筒状部10bの内周部は、収納部13の一部となっている。収納部13の内周壁面は、概ね円形状であり、その内径は、Rinとなっている。収納部13の内周壁面は、第1純銅平板18や第2純銅平板24等の摺接面13aとなっている。   The case portion 10 includes a main body portion 10a and a cylindrical tubular portion 10b connected to the main body portion 10a. A male screw portion 12 is formed on the outer peripheral wall of the tubular portion 10b. A storage portion 13 is provided inside the case portion 10. The inner peripheral portion of the tubular portion 10b is a part of the storage portion 13. The inner peripheral wall surface of the storage portion 13 has a substantially circular shape, and the inner diameter thereof is Rin. The inner peripheral wall surface of the storage portion 13 is a sliding contact surface 13a of the first pure copper flat plate 18, the second pure copper flat plate 24, and the like.

ケース部10は、収納部13の上縁部に収納部13内から空気を排出する空気排出部14を備えている(図4参照)。空気排出部14は、4か所に設けられている。空気排出部14の設置個所を結ぶと、概ね正方形が描かれる。すなわち、空気排出部14は、円形である収納部13に概ね内接する正方形の4つの角部に設けられている。   The case portion 10 includes an air discharge portion 14 that discharges air from the inside of the storage portion 13 at the upper edge portion of the storage portion 13 (see FIG. 4 ). The air discharge parts 14 are provided at four places. When the installation locations of the air exhaust unit 14 are connected, a substantially square shape is drawn. That is, the air discharge parts 14 are provided at four corners of a square that are inscribed in the storage part 13 that is circular.

ケース部10は、筒状部10bの基端部に柱部15と開口部16を備えている。柱部15と開口部16については、後に詳説する。   The case portion 10 includes a column portion 15 and an opening portion 16 at the base end portion of the tubular portion 10b. The pillar 15 and the opening 16 will be described in detail later.

収納部13には、第1純銅平板18、円形銅箔22、第2純銅平板24及びスプリング26がこれらの中心軸を合わせた状態で収納される。図4を参照すると、これらの中心軸は、いずれも軸線AXに合わせた状態とされている。本実施形態では、第1純銅平板18、円形銅箔22、第2純銅平板24及びスプリング26の軸線AX方向の高さ位置を調節するためのスペーサ17が設置されている。このため、本実施形態では、収納部13の最も底の部分にスペーサ17が配置され、その上に第1純銅平板18が積層される。そして、この第1純銅平板18の平滑面18a上に測定対象となる第1基材20が積層される。第1基材20の上側には、中心部に円形銅箔22を保持したシクロオレフィンポリマー(COP)製のガイド部材21が積層される。さらに、ガイド部材21の上側に測定対象となる第2基材23が積層される。第2基材23上には平滑面24aが第2基材23に密着するように第2純銅平板24が積層される。スプリング26は、第2純銅平板24の平滑面24aの裏面側に環状に設けられた収納溝24cに設置されている。   The first pure copper flat plate 18, the circular copper foil 22, the second pure copper flat plate 24, and the spring 26 are stored in the storage portion 13 with their central axes aligned. Referring to FIG. 4, all of these central axes are aligned with the axis line AX. In this embodiment, the first pure copper flat plate 18, the circular copper foil 22, the second pure copper flat plate 24, and the spacer 17 for adjusting the height position of the spring 26 in the axis AX direction are installed. Therefore, in the present embodiment, the spacer 17 is arranged at the bottommost portion of the storage portion 13, and the first pure copper flat plate 18 is laminated on the spacer 17. Then, the first base material 20 to be measured is laminated on the smooth surface 18a of the first pure copper flat plate 18. A guide member 21 made of cycloolefin polymer (COP) holding a circular copper foil 22 at the center is laminated on the upper side of the first substrate 20. Further, the second base material 23 to be measured is laminated on the upper side of the guide member 21. A second pure copper flat plate 24 is laminated on the second base material 23 so that the smooth surface 24 a is in close contact with the second base material 23. The spring 26 is installed in a storage groove 24c that is annularly provided on the back surface side of the smooth surface 24a of the second pure copper flat plate 24.

ここで、第1純銅平板18、第2純銅平板24及びガイド部材21はいずれも円形形状を有しており、その外径は、いずれもRoutに設定されている。Routは、収納部13の内径Rinに対応させて設定されており、第1純銅平板18、ガイド部材21及び第2純銅平板24は、収納部13に収納される際に、それぞれの縁部が収納部13の摺接面13aに摺接する。これにより、第1純銅平板18、ガイド部材21及び第2純銅平板24の位置合わせを容易に行うことができる。ガイド部材21は、その中心部に円形銅箔22を保持しており、この結果、第1純銅平板18、第2純銅平板24と円形銅箔22の位置合わせも容易に行うことができる。また、平滑面18a及び平滑面24aが傾くことも抑制される。   Here, each of the first pure copper flat plate 18, the second pure copper flat plate 24, and the guide member 21 has a circular shape, and the outer diameters thereof are all set to Rout. Rout is set so as to correspond to the inner diameter Rin of the accommodating portion 13, and when the first pure copper flat plate 18, the guide member 21, and the second pure copper flat plate 24 are accommodated in the accommodating portion 13, the respective edges are set. The sliding contact surface 13a of the storage portion 13 is slidably contacted. Thereby, the first pure copper flat plate 18, the guide member 21, and the second pure copper flat plate 24 can be easily aligned. The guide member 21 holds the circular copper foil 22 in the center thereof, and as a result, the first pure copper flat plate 18, the second pure copper flat plate 24 and the circular copper foil 22 can be easily aligned with each other. Further, the smooth surface 18a and the smooth surface 24a are also prevented from being inclined.

また、スプリング26も第2純銅平板24の平滑面24aの裏面側にその中心を軸線AXと合わせて環状に設けられた収納溝24cに設置されるため、環状に成形されたスプリング26の中心軸と第2純銅平板24の中心軸とを容易に一致させることができる。   Further, since the spring 26 is also installed on the back surface side of the smooth surface 24a of the second pure copper flat plate 24 in the annular storage groove 24c with its center aligned with the axis AX, the central axis of the spring 26 formed in the annular shape. And the central axis of the second pure copper flat plate 24 can be easily matched.

本実施形態の円板共振器1では、第1基材20と第2基材23も順次積層し、収納部13内に収納する。ここで、第1基材20及び第2基材23は、概ね矩形(正方形)に成形されており、その角部を収納部13に設けた空気排出部14に合わせて収納部13内に収納される。これにより、第1基材20及び第2基材23も位置合わせされた状態で収納部13内に収納される。ここで、第1基材20及び第2基材23を概ね矩形に成形しているのは、矩形に加工することが容易であるという基材の加工作業性を重視したものであり、第1基材20及び第2基材23の形状は矩形に限定されるものではない。例えば、第1純銅平板18等の外径と一致させた円形であってもよい。   In the disk resonator 1 of the present embodiment, the first base material 20 and the second base material 23 are also sequentially stacked and housed in the housing portion 13. Here, the first base material 20 and the second base material 23 are formed in a substantially rectangular shape (square), and the corners thereof are stored in the storage portion 13 in accordance with the air discharge portion 14 provided in the storage portion 13. To be done. As a result, the first base material 20 and the second base material 23 are also accommodated in the accommodating portion 13 in the aligned state. Here, the reason why the first base material 20 and the second base material 23 are formed in a substantially rectangular shape is that the workability of the base material that is easily processed into a rectangular shape is emphasized, and The shapes of the base material 20 and the second base material 23 are not limited to rectangles. For example, the circular shape may be the same as the outer diameter of the first pure copper flat plate 18 or the like.

このように、本実施形態の円板共振器1によれば、収納部13内に第1純銅平板18、第1基材20、円形銅箔22を保持したガイド部材21、第2基材23及び第2純銅平板24を順次積層するだけで、これらの位置合わせを行うことができる。   As described above, according to the disk resonator 1 of the present embodiment, the guide member 21 that holds the first pure copper flat plate 18, the first base material 20, and the circular copper foil 22 in the storage portion 13, and the second base material 23. These can be aligned simply by sequentially laminating the second pure copper flat plate 24.

第1純銅平板18は、中心部に第1励振線18bを内蔵している。第1励振線18bはブラケット19aを備えたケーブル19から延びている。ケーブル19は、ブラケット19aを介して第1純銅平板18に固定されている。同様に、第2純銅平板24は、中心部に第2励振線24bを内蔵している。第2励振線24bはブラケット25aを備えたケーブル25から延びている。ケーブル25は、ブラケット25aを介して第2純銅平板24に固定されている。ケーブル19及びケーブル25は、それぞれネットワークアナライザー101に接続される。このような第1純銅平板18と第2純銅平板24をともに収納部13内に収納することで、第1励振線18bと第2励振線24bの位置合わせが行われる。   The first pure copper flat plate 18 has a first excitation line 18b built in at the center thereof. The first excitation line 18b extends from the cable 19 provided with the bracket 19a. The cable 19 is fixed to the first pure copper flat plate 18 via a bracket 19a. Similarly, the second pure copper flat plate 24 has a second excitation line 24b built in at the center thereof. The second excitation line 24b extends from the cable 25 provided with the bracket 25a. The cable 25 is fixed to the second pure copper flat plate 24 via the bracket 25a. The cable 19 and the cable 25 are connected to the network analyzer 101, respectively. By accommodating both of the first pure copper flat plate 18 and the second pure copper flat plate 24 in the accommodating portion 13, the first excitation line 18b and the second excitation line 24b are aligned.

つぎに、カバー部30について説明する。カバー部30は、本体部30aの内側にケース部10が備える雄ネジ部12と螺合する雌ネジ部31を有するとともに、スプリング26に当接する突き当て部材33を内蔵している。突き当て部材33は、ベアリング32を介してカバー部30の内側に設けられている。突き当て部材33は、カバー部30がケース部10に組み付けられた状態においてスプリング26を介して収納部13に収納された第1純銅平板18、第1基材20、円形銅箔22、第2基材23及び第2純銅平板24を押圧する。   Next, the cover portion 30 will be described. The cover portion 30 has a female screw portion 31 that is screwed into the male screw portion 12 of the case portion 10 inside the main body portion 30a, and also has an abutting member 33 that abuts against the spring 26. The butting member 33 is provided inside the cover 30 via the bearing 32. The abutting member 33 includes the first pure copper flat plate 18, the first base material 20, the circular copper foil 22, and the second pure copper plate 18, which are housed in the housing unit 13 via the spring 26 when the cover unit 30 is assembled to the case unit 10. The base material 23 and the second pure copper flat plate 24 are pressed.

突き当て部材33は、軸線AX方向に沿って延びる筒状部33aと軸線AX方向と直交する方向に拡がるように筒状部33aに連設された鍔状部33bを有する。鍔状部33bは、スプリング26に当接する突き当て面33b1を有する。   The abutting member 33 has a tubular portion 33a extending along the axis AX direction and a flanged portion 33b connected to the tubular portion 33a so as to spread in a direction orthogonal to the axis AX direction. The brim-shaped portion 33b has an abutting surface 33b1 that abuts on the spring 26.

カバー部30の本体部30aと突き当て部材33との間に介在するベアリング32は、環状の内周壁部32aと、環状の外周壁部32cと、これらに狭持されたボール32bを備える。筒状部33aは、ベアリング32の内周壁部32aの内側に嵌め込まれる。そして、ベアリング32の外周壁部32cにカバー部30の本体部が嵌め込まれる。これにより、突き当て部材33がベアリング32を介してカバー部30に設けられた状態となっている。   The bearing 32 interposed between the main body portion 30a of the cover portion 30 and the butting member 33 includes an annular inner peripheral wall portion 32a, an annular outer peripheral wall portion 32c, and balls 32b sandwiched between these. The tubular portion 33a is fitted inside the inner peripheral wall portion 32a of the bearing 32. Then, the main body portion of the cover portion 30 is fitted into the outer peripheral wall portion 32c of the bearing 32. As a result, the butting member 33 is provided on the cover portion 30 via the bearing 32.

このようなカバー部30をケース部10に組み付ける場合、本体部30aを回転させ、雄ネジ部12と雌ネジ部31とを螺合させる。雄ネジ部12と雌ネジ部31との螺合が進むと、まず、突き当て部材33の突き当て面33b1がスプリング26に当接する。すると、突き当て部材33と突き当て部材33が嵌め込まれたベアリング32の内周壁部32aは、突き当て面33b1とスプリング26との摩擦によって回転が止まる。この状態からベアリング32の外周壁部32cと一体となっている本体部30aをさらに回転させ、カバー部30をさらに締め込むと、突き当て部材33がスプリング26を押圧する。この押圧する力が第2純銅平板24を介して第1基材20、円形銅箔22及び第2基材23を密着させる。このとき、スプリング26は同心円状に第2純銅平板24をその全周に亘って均等に押圧する。この結果、測定対象である第1基材20及び第2基材23、さらには、円形銅箔22もその全域に亘って均一に押圧される。   When the cover portion 30 is assembled to the case portion 10, the main body portion 30a is rotated and the male screw portion 12 and the female screw portion 31 are screwed together. When the male screw portion 12 and the female screw portion 31 are screwed together, first, the butting surface 33b1 of the butting member 33 comes into contact with the spring 26. Then, the abutting member 33 and the inner peripheral wall portion 32a of the bearing 32 in which the abutting member 33 is fitted stop rotating due to friction between the abutting surface 33b1 and the spring 26. From this state, when the main body portion 30a integrated with the outer peripheral wall portion 32c of the bearing 32 is further rotated and the cover portion 30 is further tightened, the abutting member 33 presses the spring 26. This pressing force brings the first base material 20, the circular copper foil 22 and the second base material 23 into close contact with each other via the second pure copper flat plate 24. At this time, the spring 26 presses the second pure copper flat plate 24 concentrically evenly over the entire circumference thereof. As a result, the first base material 20 and the second base material 23, which are measurement targets, and the circular copper foil 22 are also uniformly pressed over the entire area.

本実施形態では、環状のスプリング26を用いることで第2純銅平板24を同心円状に均等に押圧することができ、第1純銅平板18と第2純銅平板24との間に空隙を生じることがなく、空気層が形成されることを回避することができる。この結果、空気層の影響を受けることがない正確な測定結果を得ることができる。   In the present embodiment, by using the annular spring 26, the second pure copper flat plate 24 can be pressed concentrically and uniformly, and a gap may be generated between the first pure copper flat plate 18 and the second pure copper flat plate 24. It is possible to avoid the formation of an air layer. As a result, it is possible to obtain accurate measurement results that are not affected by the air layer.

ここで、図6(A)に比較例の円板共振器を用いたときに円形銅箔に作用する圧力の分布を示すとともに、図6(B)は実施形態の円板共振器1を用いたときに円形銅箔に作用する圧力の分布を示す。圧力の分布は色の濃淡で表されており、色の濃さが同じ領域は均一に圧力が分布していることを示している。   Here, FIG. 6(A) shows the distribution of pressure acting on the circular copper foil when the disk resonator of the comparative example is used, and FIG. 6(B) uses the disk resonator 1 of the embodiment. The distribution of the pressure acting on the circular copper foil when it is exposed is shown. The distribution of pressure is represented by shades of color, and it is shown that the pressure is evenly distributed in a region having the same shade of color.

比較例の円板共振器は、第1純銅平板と第2純銅平板を挟持する一対の押圧板を備えている。一対の押圧板は矩形であり、その四隅をボルト締めすることで第1純銅平板と第2純銅平板を狭持している。このように、四隅をボルト締めする形態であると、ボルトの締め付けトルクや締め付けの順番に起因して第1純銅平板と第2純銅平板が相対的に傾き、両者間に空隙が生じることがある。この結果、図6(A)に示すように円形銅箔部の圧力分布が均一ではない状態となることがある。   The disk resonator of the comparative example includes a pair of pressing plates that sandwich the first pure copper flat plate and the second pure copper flat plate. The pair of pressing plates are rectangular, and the four corners thereof are bolted to hold the first pure copper flat plate and the second pure copper flat plate. In this manner, when the four corners are tightened with bolts, the first pure copper flat plate and the second pure copper flat plate are relatively inclined due to the tightening torque of the bolts and the order of tightening, and a gap may be formed between them. . As a result, the pressure distribution in the circular copper foil portion may not be uniform as shown in FIG. 6(A).

これに対し、本実施形態の円板共振器1を用いた場合には、図6(B)に示すように円形銅箔部の圧力分布が均一であることが分かる。このため、本実施形態の円板共振器1を用いることで、空気層が形成されることを回避し、測定精度を向上させることができる。   On the other hand, when the disc resonator 1 of the present embodiment is used, it can be seen that the pressure distribution in the circular copper foil portion is uniform as shown in FIG. 6(B). Therefore, by using the disc resonator 1 of the present embodiment, it is possible to avoid the formation of an air layer and improve the measurement accuracy.

このように本実施形態の円板共振器1では、空気層の形成が回避されるが、空気層の形成を回避するには、収納部13内から空気がスムーズに排出されると都合がよい。本実施形態の円板共振器1は、空気排出部14を備えているため、第1純銅平板18や第1基材20等を順次収納部13内で積層し、これらを突き当て部材33によって押圧する際に、収納部13内から空気を排出することができる。この結果、収納部13内で積層される各部材を密着させ、空気層の形成を回避することができる。   As described above, in the disk resonator 1 of the present embodiment, the formation of the air layer is avoided, but in order to avoid the formation of the air layer, it is convenient for the air to be smoothly discharged from the storage portion 13. .. Since the disk resonator 1 of the present embodiment includes the air discharge part 14, the first pure copper flat plate 18, the first base material 20 and the like are sequentially stacked in the storage part 13, and these are abutted by the abutting member 33. Air can be discharged from the inside of the storage portion 13 when pressing. As a result, it is possible to prevent the formation of an air layer by closely contacting the members stacked in the storage unit 13.

つぎに、図7を参照して、スプリング26の反力の特性について説明する。図7は、環状が水平方向に拡がるようにセットされたスプリング26に対し、上下方向から荷重が加えられた際に得られた圧縮率と反力との関係を示すグラフである。このグラフによれば、スプリング26は、その圧縮率が増加してもその反力がほとんど変化しない領域を有する。本実施形態の円板共振器1では、このスプリング26の反力一定領域を用いる。これにより、カバー部30のケース部10に対する締込量が多少変化してもスプリング26が発揮する反力は一定となり、常に同一条件で測定を行うことができる。なお、圧縮率が変化しても、その反力が一定となる反力一定領域を有する部材であればスプリング26に代えて採用することができる。例えば、エラストマ製のパッキン部材を採用してもよい。   Next, the characteristic of the reaction force of the spring 26 will be described with reference to FIG. 7. FIG. 7 is a graph showing the relationship between the compression ratio and the reaction force obtained when a load is applied from above and below to the spring 26 in which the annular shape is set to expand in the horizontal direction. According to this graph, the spring 26 has a region in which its reaction force hardly changes even if its compression rate increases. In the disk resonator 1 of this embodiment, the constant reaction force region of the spring 26 is used. As a result, the reaction force exerted by the spring 26 becomes constant even if the tightening amount of the cover portion 30 with respect to the case portion 10 changes to some extent, and the measurement can always be performed under the same conditions. A member having a constant reaction force region in which the reaction force is constant even if the compression ratio changes can be used instead of the spring 26. For example, an elastomer packing member may be used.

つぎに、図3、図4、図8(A)及び図8(B)を参照してケース部10の筒状部10bの基端部に設けられた柱部15と開口部16について説明する。図3を参照すると、柱部15は、第1純銅平板18、円形銅箔22及び第2純銅平板24が収納部13に収納されたときに円形銅箔22の側方に位置する箇所に設けられている。また、図4を参照すると、柱部15に隣接させて開口部16が設けられている。開口部16は、収納部13をその外部と連通させている。このような開口は、収納部13内から空気を排出するだけでなく、測定時の不要な共振の発生を抑制するために設けられている。   Next, the column portion 15 and the opening portion 16 provided at the base end portion of the tubular portion 10b of the case portion 10 will be described with reference to FIGS. 3, 4, 8A, and 8B. . Referring to FIG. 3, the pillar portion 15 is provided at a position located on the side of the circular copper foil 22 when the first pure copper flat plate 18, the circular copper foil 22 and the second pure copper flat plate 24 are stored in the storage unit 13. Has been. Further, referring to FIG. 4, an opening 16 is provided adjacent to the pillar 15. The opening portion 16 communicates the storage portion 13 with the outside thereof. Such an opening is provided not only for discharging air from the storage portion 13 but also for suppressing generation of unnecessary resonance at the time of measurement.

図8(A)及び図8(B)を参照すると、本実施形態の円板共振器1は、三つの柱部151、152、153と、三つの開口部161、162、163が交互に配置されている。また、各柱部151、152、153と開口部161、162、163とは収納部13の中心部(軸線AX)を隔てて対向させて配置されている。   Referring to FIGS. 8A and 8B, in the disk resonator 1 of the present embodiment, three pillars 151, 152, 153 and three openings 161, 162, 163 are alternately arranged. Has been done. Further, the pillars 151, 152, 153 and the openings 161, 162, 163 are arranged to face each other with the central portion (axis AX) of the storage portion 13 interposed therebetween.

ここで、各柱部の端部151a、152a、153aとし、これらの端部151a、152a、153aと収納部13の軸線AXと結んだときの角度をθ1とする。θ2は、例えば、柱部151の二つの端部151aと軸線AXとを結んだときの角度であり、柱部151の範囲を示している。柱部152と柱部153の範囲も同様にθ2に設定されている。一方、θ1は、例えば、柱部151の一つの端部151aと、開口部163を隔てた柱部152の端部152aと軸線AXを結んだときの角度であり、開口部163の範囲を示している。開口部161と開口部162の範囲も同様にθ1に設定されている。ここで、θ1とθ2は、θ2<θ1に設定されている。これにより、各柱部151、152、153の範囲は、各開口部161、162、163よりも狭くなっている。   Here, the ends 151a, 152a, 153a of the respective pillars are defined as an angle, and the angle when the ends 151a, 152a, 153a are connected to the axis AX of the storage part 13 is defined as θ1. θ2 is, for example, an angle when the two ends 151a of the pillar 151 and the axis AX are connected, and indicates the range of the pillar 151. The range between the pillar portion 152 and the pillar portion 153 is also set to θ2. On the other hand, θ1 is, for example, the angle when one end 151a of the pillar 151 and the end 152a of the pillar 152 that separates the opening 163 and the axis AX are connected, and indicates the range of the opening 163. ing. The ranges of the openings 161 and 162 are also set to θ1. Here, θ1 and θ2 are set to θ2<θ1. As a result, the range of the pillars 151, 152, 153 is narrower than that of the openings 161, 162, 163.

この結果、柱部151、152、153を対向配置された開口部161、162、163側へ投影したときに、投影された柱部151、152、153の範囲が、開口部161、162、163の範囲よりも狭くなるように設定されている。すなわち、柱部同士が対向しないように配置されている。   As a result, when the pillars 151, 152, 153 are projected toward the openings 161, 162, 163 that are arranged opposite to each other, the projected range of the pillars 151, 152, 153 is the openings 161, 162, 163. It is set to be narrower than the range. That is, the pillar portions are arranged so as not to face each other.

具体的に、図8(B)を参照すると、柱部152に対向する位置に開口部162が設けられている。ここで、柱部152の幅Wpillarは、開口部162の幅Wopenよりも狭くなっている。柱部151に対向する位置には開口部161が設けられ、柱部153に対向する位置には開口部163が設けられているが、これらの寸法関係は、いずれも柱部152と開口部162の関係と同様に設定されている。   Specifically, referring to FIG. 8B, the opening 162 is provided at a position facing the pillar 152. Here, the width Wpillar of the pillar portion 152 is narrower than the width Wopen of the opening portion 162. An opening 161 is provided at a position facing the pillar 151, and an opening 163 is provided at a position facing the pillar 153. The dimensional relationships between them are both the pillar 152 and the opening 162. It is set similarly to the relationship of.

柱部151、152、153と開口部161、162、163をこのような配置とすることにより、測定時の不要な共振の発生が抑制される。ここで、図9(A)と図9(B)を参照して開口部161、162、163を設置したことの効果について説明する。図9(A)は開口部161、162、163を設けたときの測定結果の一例を示し、図9(B)は開口部を設けていないときの測定結果の一例を示している。図9(A)に示す測定結果と、図9(B)に示す測定結果を比較すると、図9(B)に示す測定結果には、図中、a、b、cで示す不要な振幅が表れている。一方、図9(A)に示す測定結果では、不要な振幅は表れておらず、正確な測定結果が得られていることが分かる。   By arranging the pillars 151, 152, 153 and the openings 161, 162, 163 in this way, generation of unnecessary resonance during measurement is suppressed. Here, the effect of installing the openings 161, 162, 163 will be described with reference to FIGS. 9A and 9B. 9A shows an example of the measurement result when the openings 161, 162, 163 are provided, and FIG. 9B shows an example of the measurement result when the openings are not provided. Comparing the measurement results shown in FIG. 9(A) with the measurement results shown in FIG. 9(B), the measurement results shown in FIG. 9(B) show unnecessary amplitudes indicated by a, b, and c in the figure. It appears. On the other hand, in the measurement result shown in FIG. 9A, unnecessary amplitude does not appear, and it can be seen that an accurate measurement result is obtained.

本実施形態の円板共振器1によれば、突き当て部材33によりスプリング26を介して第1純銅平板18、円形銅箔22及び第2純銅平板24を押圧する。これにより、第1基材20及び第2基材23をセットした状態においても第1純銅平板18と第2純銅平板24との間に空隙が生じることがない。この結果、第1基材20及び第2基材23に一定の荷重が加わり、空気層の形成が回避され、測定精度を向上させることができる。   According to the disk resonator 1 of the present embodiment, the abutting member 33 presses the first pure copper flat plate 18, the circular copper foil 22 and the second pure copper flat plate 24 via the spring 26. Thereby, no gap is generated between the first pure copper flat plate 18 and the second pure copper flat plate 24 even when the first base material 20 and the second base material 23 are set. As a result, a constant load is applied to the first base material 20 and the second base material 23, the formation of an air layer is avoided, and the measurement accuracy can be improved.

また、本実施形態の円板共振器1は、収納部13に第1純銅平板18、第1基材20、円形銅箔22、第2基材23及び第2純銅平板24を順次積層するように収納する。このとき、各要素は、収納部13の摺接面13aに摺接するので、容易に位置決めをすることができ、測定するための円板共振器1の組み立て再現性が高い。このため、例えば、異なる測定者が円板共振器1を扱っても同様の測定結果を得ることができる。   Further, in the disk resonator 1 of the present embodiment, the first pure copper flat plate 18, the first base material 20, the circular copper foil 22, the second base material 23, and the second pure copper flat plate 24 are sequentially stacked in the storage portion 13. To store. At this time, each element is in sliding contact with the sliding contact surface 13a of the accommodating portion 13, so that positioning can be performed easily, and the reproducibility of assembly of the disk resonator 1 for measurement is high. Therefore, for example, the same measurement result can be obtained even when different measurers handle the disk resonator 1.

円板共振器1は、雄ネジ部12に雌ネジ部31を螺合させ、ケース部10にカバー部30を締め込むだけで良いため、この点においても組み立て再現性が高い。   In the disk resonator 1, it is only necessary to screw the female screw portion 31 into the male screw portion 12 and tighten the cover portion 30 into the case portion 10. Therefore, the assembly reproducibility is also high in this respect.

また、円板共振器1は、柱部15と開口部16を備えているため、測定時の不要な共振の発生が抑制されている。   Further, since the disc resonator 1 includes the column portion 15 and the opening portion 16, generation of unnecessary resonance during measurement is suppressed.

以上本発明の好ましい実施形態について詳述したが、本発明は係る特定の実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形、変更が可能である。   Although the preferred embodiments of the present invention have been described in detail above, the present invention is not limited to the specific embodiments, and various modifications within the scope of the gist of the present invention described in the claims. It can be changed.

1 円板共振器
10 ケース部
10b 筒状部
12 雄ネジ部
13 収納部
13a 摺接面
14 空気排出部
15 柱部
16 開口部
18 第1純銅平板
18b 第1励振線
20 第1基材
21 ガイド部材
22 円形銅箔
23 第2基材
24 第2純銅平板
24b 第2励振線
26 スプリング
30 カバー部
31 雌ネジ部
33 突き当て部材
33b1 突き当て面
100 測定システム
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 disk resonator 10 case part 10b cylindrical part 12 male screw part 13 storage part 13a sliding contact surface 14 air discharge part 15 pillar part 16 opening 18 first pure copper flat plate 18b first excitation wire 20 first base material 21 guide Member 22 Circular copper foil 23 2nd base material 24 2nd pure copper flat plate 24b 2nd excitation line 26 Spring 30 Cover part 31 Female screw part 33 Abutting member 33b1 Abutting surface 100 Measuring system

Claims (9)

第1励振線を内蔵した第1円形平板と、
円形銅箔と、
第2励振線を内蔵した第2円形平板と、
環状弾性体と、
ケース部と、
押圧部と、
を備え、
前記ケース部は、前記第1円形平板と前記円形銅箔と前記第2円形平板と前記環状弾性体をこれらの中心軸を合わせた状態で収納する円柱状の収納部を備え、
前記押圧部は、前記環状弾性体に突き当てられ、前記収納部に収納された前記第1円形平板と前記円形銅箔と前記第2円形平板とを、前記環状弾性体を介して押圧する突き当て部材を備えた円板共振器。
A first circular flat plate containing a first excitation line;
Circular copper foil,
A second circular flat plate containing a second excitation line;
An annular elastic body,
Case part,
Pressing part,
Equipped with
The case portion includes a cylindrical storage portion that stores the first circular flat plate, the circular copper foil, the second circular flat plate, and the annular elastic body with their central axes aligned.
The pressing portion is abutted against the annular elastic body, and presses the first circular flat plate, the circular copper foil, and the second circular flat plate housed in the housing part through the annular elastic body. A disk resonator having a pad member.
前記収納部は、少なくとも前記第1円形平板と、前記第2円形平板が摺接する摺接面を備えた請求項1に記載の円板共振器。   The disk resonator according to claim 1, wherein the housing portion includes at least a sliding contact surface with which the first circular flat plate and the second circular flat plate slide. 中心部に前記円形銅箔を保持するとともに、前記摺接面に摺接するガイド部材を備えた請求項2に記載の円板共振器。   The disk resonator according to claim 2, further comprising a guide member that holds the circular copper foil in a central portion and that is in sliding contact with the sliding contact surface. 前記ケース部は、前記第1円形平板と前記円形銅箔と前記第2円形平板が前記収納部に収納されたときに前記円形銅箔の側方に位置する箇所に、柱部と、当該柱部と隣接するとともに前記収納部を外部と連通させる開口部と、を備えた請求項1から3のいずれか一項に記載の円板共振器。   The case portion has a pillar portion and a pillar portion at a position located laterally of the circular copper foil when the first circular flat plate, the circular copper foil, and the second circular flat plate are stored in the storage portion. The disk resonator according to any one of claims 1 to 3, further comprising: an opening that is adjacent to the portion and that allows the storage portion to communicate with the outside. 前記柱部と前記開口部とは前記収納部の中心部を隔てて対向させて配置され、前記柱部を対向配置された前記開口部側へ投影したときに、投影された前記柱部の範囲が、前記開口部の範囲よりも狭い請求項4に記載の円板共振器。   The pillar portion and the opening portion are arranged so as to face each other with a central portion of the storage portion facing each other, and when the pillar portion is projected to the opening portion side that is arranged to face each other, the range of the projected pillar portion. Is narrower than the range of the said opening part, The disk resonator of Claim 4. 前記ケース部は、内周部を少なくとも前記収納部の一部とする筒状部を備え、当該筒状部の外周壁に雄ネジ部を備え、
前記押圧部は、前記雄ネジ部と螺合する雌ネジ部を有するとともに、前記突き当て部材を内蔵したカバー部である請求項1から5のいずれか一項に記載の円板共振器。
The case portion includes a tubular portion whose inner peripheral portion is at least a part of the storage portion, and an external thread portion on an outer peripheral wall of the tubular portion,
The disk resonator according to any one of claims 1 to 5, wherein the pressing portion is a cover portion that has a female screw portion that is screwed into the male screw portion and that has the abutting member built therein.
前記突き当て部材は、ベアリングを介在させて前記カバー部に設けられた請求項6に記載の円板共振器。   The disk resonator according to claim 6, wherein the butting member is provided on the cover portion with a bearing interposed. 前記ケース部は、前記収納部の上縁部に前記収納部から空気を排出する空気排出部を備えた請求項1から7のいずれか一項に記載の円板共振器。   The disk resonator according to any one of claims 1 to 7, wherein the case portion includes an air discharge portion that discharges air from the storage portion at an upper edge portion of the storage portion. 前記環状弾性体は、環状に形成した斜め巻きコイルスプリングである請求項1から8のいずれか一項に記載の円板共振器。   9. The disk resonator according to claim 1, wherein the annular elastic body is an obliquely wound coil spring formed in an annular shape.
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