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JP2020075390A - Method of inspecting liquid injection head - Google Patents

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JP2020075390A
JP2020075390A JP2018209430A JP2018209430A JP2020075390A JP 2020075390 A JP2020075390 A JP 2020075390A JP 2018209430 A JP2018209430 A JP 2018209430A JP 2018209430 A JP2018209430 A JP 2018209430A JP 2020075390 A JP2020075390 A JP 2020075390A
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pressure
fluid
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pressure ratio
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JP2018209430A
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昌也 元吉
Masaya Motoyoshi
昌也 元吉
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SII Printek Inc
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SII Printek Inc
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Abstract

To provide a method of inspecting a liquid injection head that can inspect injection characteristics easily and correctly .SOLUTION: An method of inspecting a liquid injection head uses a liquid injection head comprising: a channel in which a fluid flows from a first channel port to a second channel port; and a discharge port which is provided in the channel between the first channel port and the second channel port and discharges part of the fluid flowing in the channel to outside, to open the first channel port and close the second channel port so as to flow a fluid at a prescribed flow rate from the first channel port to the channel, thus measuring a first pressure which is a pressure of the fluid which flows from the first channel port to the discharge port. The method closes the first channel port and opens the second channel port so as to flow the fluid at a prescribed flow rate from the second channel port to the channel, thus measuring a second pressure which is a pressure of the fluid flowing from the second channel port to the discharge port. The method calculates a pressure ratio on the basis of the first pressure and the second pressure, and determines whether there is leakage of the fluid flowing in the channel from the first channel port to the second channel port or not on the basis of the pressure ratio.SELECTED DRAWING: Figure 3

Description

本開示は、流体が流れる流路を備えた液体噴射ヘッドの検査方法に関する。   The present disclosure relates to a method for inspecting a liquid jet head including a flow path through which a fluid flows.

対象物に液滴状の液体を噴射するために液体噴射ヘッドが用いられており、その液体噴射ヘッドは、液体が流れる流路を備えている。液体の噴射時には、流路を流れる液体の一部が外部に放出されるため、液体噴射ヘッドから対象物に液体が噴射される。   A liquid ejecting head is used to eject a liquid droplet in a target, and the liquid ejecting head includes a flow path through which the liquid flows. At the time of ejecting the liquid, a part of the liquid flowing through the flow path is discharged to the outside, so that the liquid is ejected from the liquid ejecting head to the object.

液体噴射ヘッドの噴射特性を検査するために、様々な検討がなされている。具体的には、記録用途の液体噴射ヘッドの噴射特性を検査する場合には、液体の漏れを検出するために検査孔が用いられている(例えば、特許文献1参照)。   Various studies have been made to inspect the ejection characteristics of a liquid ejection head. Specifically, when inspecting the ejection characteristics of a liquid ejection head for recording use, an inspection hole is used to detect liquid leakage (see, for example, Patent Document 1).

特開2017−185733号公報JP, 2017-185733, A

液体噴射ヘッドの噴射特性を検査するために様々な検討がなされているが、既存の検査では手順が煩雑であると共に精度が十分でないため、改善の余地がある。   Various examinations have been made to inspect the ejection characteristics of the liquid ejecting head, but there is room for improvement in the existing inspection because the procedure is complicated and the accuracy is not sufficient.

そこで、噴射特性を容易かつ正確に検査することが可能な液体噴射ヘッドの検査方法を提供することが望まれている。   Therefore, it is desired to provide a method for inspecting a liquid ejecting head that can easily and accurately inspect the ejection characteristics.

本開示の一実施形態の液体噴射ヘッドの検査方法は、第1流路口から第2流路口に向かって流体が流れる流路と、第1流路口と第2流路口との間において流路に設けられると共に流路を流れる流体の一部を外部に放出する放出口とを備えた液体噴射ヘッドを用いて、第1流路口を開放すると共に第2流路口を閉塞しながら第1流路口から流路に所定の流量で流体を流すことにより、第1流路口から放出口に向かって流れる流体の圧力である第1圧力を測定し、第1流路口を閉塞すると共に第2流路口を開放しながら第2流路口から流路に所定の流量で流体を流すことにより、第2流路口から放出口に向かって流れる流体の圧力である第2圧力を測定し、第1圧力および第2圧力に基づいて圧力比を算出し、圧力比に基づいて第1流路口から第2流路口に向かって流路を流れる流体の漏れの有無を判定するものである。   A method for inspecting a liquid ejecting head according to an embodiment of the present disclosure provides a flow path in which a fluid flows from a first flow path opening to a second flow path opening and a flow path between the first flow path opening and the second flow path opening. A liquid jet head provided with a discharge port for discharging a part of the fluid flowing through the flow path to the outside is used to open the first flow path opening and close the second flow path opening from the first flow path opening. The first pressure, which is the pressure of the fluid flowing from the first flow path port toward the discharge port, is measured by flowing the fluid at a predetermined flow rate in the flow path, and the first flow path port is closed and the second flow path port is opened. While flowing the fluid from the second flow passage port to the flow passage at a predetermined flow rate, the second pressure, which is the pressure of the fluid flowing from the second flow passage opening toward the discharge port, is measured, and the first pressure and the second pressure are measured. The pressure ratio is calculated based on the pressure ratio, and the presence or absence of leakage of the fluid flowing through the flow path from the first flow path opening to the second flow path opening is determined based on the pressure ratio.

本開示の一実施形態の液体噴射ヘッドの検査方法によれば、第1流路口から第2流路口に向かって流体が流れると共に放出口から流体の一部が外部に放出される流路を備えた液体噴射ヘッドを用いて、第1圧力および第2圧力を測定すると共に圧力比を算出したのち、その圧力比に基づいて流体の漏れの有無を判定しているので、液体噴射ヘッドの噴射特性を容易かつ正確に検査することができる。   According to the liquid ejecting head inspection method of the embodiment of the present disclosure, the flow path includes a flow path in which the fluid flows from the first flow path opening toward the second flow path opening and a part of the fluid is discharged to the outside from the discharge opening. Since the liquid ejection head is used to measure the first pressure and the second pressure and the pressure ratio is calculated, the presence or absence of fluid leakage is determined based on the pressure ratio. Can be inspected easily and accurately.

本開示の一実施形態の液体噴射ヘッドの検査方法に用いられる液体噴射ヘッドの構成を表す平面図である。FIG. 3 is a plan view illustrating a configuration of a liquid ejecting head used in the liquid ejecting head inspection method according to the embodiment of the present disclosure. 液体噴射ヘッドに設けられた流路を説明するための平面図である。FIG. 6 is a plan view for explaining a flow path provided in the liquid jet head. 液体噴射ヘッドの検査方法(前準備手順)を説明するための流れ図である。6 is a flowchart for explaining a method (preliminary preparation procedure) for inspecting a liquid jet head. 液体噴射ヘッドの検査方法(内部リークの判定手順)を説明するための流れ図である。6 is a flowchart for explaining a method of inspecting a liquid ejecting head (procedure for determining internal leak). 流量Mと圧力P1との相関関係CP1を表す図である。It is a figure showing correlation CP1 of flow volume M and pressure P1. 流量Mと圧力P2との相関関係CP2を表す図である。It is a figure showing correlation CP2 of flow volume M and pressure P2. 流量Mと圧力比Rとの相関関係CRを表す図である。It is a figure showing correlation CR of flow volume M and pressure ratio R. 液体噴射ヘッドの検査方法に関する第1変形例を説明するための流れ図である。8 is a flowchart for explaining a first modification example regarding the method for inspecting the liquid jet head. 液体噴射ヘッドの検査方法に関する第2変形例を説明するための流れ図である。9 is a flowchart for explaining a second modification example regarding the method for inspecting the liquid ejecting head.

以下、本開示の一実施形態に関して、図面を参照しながら詳細に説明する。なお、説明する順序は、下記の通りである。

1.液体噴射ヘッドの検査方法
1−1.液体噴射ヘッドの構成
1−2.液体噴射ヘッドの検査手順
1−3.作用および効果
2.変形例
Hereinafter, an embodiment of the present disclosure will be described in detail with reference to the drawings. The order of description is as follows.

1. Inspection method of liquid jet head 1-1. Configuration of liquid jet head 1-2. Inspection procedure of liquid jet head 1-3. Action and effect 2. Modification

<1.液体噴射ヘッドの検査方法>
本開示の一実施形態の液体噴射ヘッドの検査方法に関して説明する。
<1. Liquid ejection head inspection method>
A method for inspecting a liquid jet head according to an embodiment of the present disclosure will be described.

この液体噴射ヘッドの検査方法に用いられる液体噴射ヘッドは、例えば、対象物に液体を噴射する。液体噴射ヘッドの用途は、対象物に液体が噴射されることを要する用途であれば、特に限定されない。   The liquid ejecting head used in the method for inspecting the liquid ejecting head ejects liquid onto an object, for example. The application of the liquid ejecting head is not particularly limited as long as the liquid ejecting head is required to eject the liquid.

ここで説明する液体噴射ヘッドは、例えば、被記録媒体に記録用の液体を噴射することにより、その被記録媒体に画像を記録する。すなわち、液体噴射ヘッドは、例えば、液体噴射記録層装置であるプリンタ(いわゆるインクジェットプリンタ)に用いられる。被記録媒体の種類は、特に限定されないが、例えば、紙およびフィルムなどである。   The liquid ejecting head described here ejects a recording liquid onto a recording medium to record an image on the recording medium. That is, the liquid jet head is used, for example, in a printer (so-called inkjet printer) which is a liquid jet recording layer device. The type of recording medium is not particularly limited, and examples thereof include paper and film.

<1−1.液体噴射ヘッドの構成>
図1は、液体噴射ヘッドの一具体例であるインクジェットヘッド100の平面構成を表している。図2は、インクジェットヘッド100に設けられた流路Lを説明するために、図1に対応する平面構成を示している。なお、図2では、後述するインクジェットヘッド100の検査工程に用いられる圧力センサ60,70を併せて示している。
<1-1. Liquid jet head configuration>
FIG. 1 shows a plan configuration of an inkjet head 100, which is a specific example of a liquid jet head. FIG. 2 shows a plan configuration corresponding to FIG. 1 in order to explain the flow path L provided in the inkjet head 100. Note that FIG. 2 also shows pressure sensors 60 and 70 used in an inspection process of the inkjet head 100 described later.

インクジェットヘッド100は、循環機構により循環されている記録用の液体(インク1)を用いる循環方式を採用している。このインクジェットヘッド100は、例えば、後述する複数のチャネルの延在方向と交差する方向にインク1が噴射されるサイドシュートタイプである。   The inkjet head 100 employs a circulation system that uses a recording liquid (ink 1) that is circulated by a circulation mechanism. The inkjet head 100 is, for example, a side shoot type in which the ink 1 is ejected in a direction intersecting with the extending direction of a plurality of channels described later.

具体的には、インクジェットヘッド100は、例えば、図1および図2に示したように、ヘッドチップ10と、電子制御盤30と、導入口40T(第1流路口)を有する導入ポート40と、排出口50T(第2流路口)を有する排出ポート50とを備えている。   Specifically, the inkjet head 100 includes, for example, as shown in FIGS. 1 and 2, a head chip 10, an electronic control panel 30, an introduction port 40 having an introduction port 40T (first flow path port), And a discharge port 50 having a discharge port 50T (second flow path port).

このインクジェットヘッド100では、導入口40Tから排出口50Tに向かうインク1の流路Lが形成されていると共に、その導入口40Tと排出口50Tとの間において流路Lにノズル孔11H(放出口)が設けられている。この流路Lでは、導入口40Tから流路Lにインク1が供給されると、そのインク1が導入口40Tから排出口50Tに向かって流れると共に、そのインク1の一部が必要時(記録時)においてノズル孔11Hから外部に放出される。なお、後述するように、インクジェットヘッド100の検査工程では、流路Lに検査用の流体Fが供給される。図2では、流路Lを太い破線で示している。   In this inkjet head 100, a flow path L for the ink 1 from the introduction port 40T to the discharge port 50T is formed, and the nozzle hole 11H (emission port) is formed in the flow path L between the introduction port 40T and the discharge port 50T. ) Is provided. In this flow path L, when the ink 1 is supplied from the introduction port 40T to the flow path L, the ink 1 flows from the introduction port 40T toward the discharge port 50T, and a part of the ink 1 is needed (recording). At the time), it is discharged from the nozzle hole 11H to the outside. As will be described later, in the inspection process of the inkjet head 100, the inspection fluid F is supplied to the flow path L. In FIG. 2, the flow path L is indicated by a thick broken line.

この流路Lは、導入口40Tからノズル孔11Hに至る流路L1と、排出口50Tからノズル孔11Hに至る流路L2とを含んでいる。   This flow path L includes a flow path L1 from the inlet 40T to the nozzle hole 11H and a flow path L2 from the discharge port 50T to the nozzle hole 11H.

ヘッドチップ10は、ノズル孔11Hから放出することにより、そのインク1を被記録媒体に噴射する。このヘッドチップ10は、例えば、電子制御盤30よりも遠い側から順に積層されたノズルプレート11、アクチュエータプレート12およびカバープレート13を含んでいる。   The head chip 10 ejects the ink 1 onto the recording medium by discharging from the nozzle holes 11H. The head chip 10 includes, for example, a nozzle plate 11, an actuator plate 12, and a cover plate 13, which are sequentially stacked from the side farther from the electronic control board 30.

ノズルプレート11は、インク1の噴射口であるノズル孔11Hを有している。ここでは、ノズルプレート11は、例えば、複数のノズル孔11Hを有しており、その複数のノズル孔11Hは、例えば、図1中の左右方向に配列されている。ただし、図1では、図示内容を簡略化するために、1個のノズル孔11Hだけを示している。   The nozzle plate 11 has a nozzle hole 11H which is an ejection port of the ink 1. Here, the nozzle plate 11 has, for example, a plurality of nozzle holes 11H, and the plurality of nozzle holes 11H are arranged, for example, in the left-right direction in FIG. However, in FIG. 1, only one nozzle hole 11H is shown in order to simplify the illustration.

アクチュエータプレート12は、例えば、図示しない複数のチャネル(インク1が導入される複数の噴射チャネルおよびインク1が導入されない複数のダミーチャネル)を有している。このアクチュエータプレート12は、例えば、記録時において、インク1が導入された噴射チャネルの内圧を電気的に変化させることにより、その噴射チャネルからノズル孔11Hを経由して外部にインク1を噴射させる。カバープレート13は、例えば、図示しない複数のスリットを有しており、その複数のスリットを経由してアクチュエータプレート12(複数の噴射チャネル)にインク1を導入させる。   The actuator plate 12 has, for example, a plurality of channels (not shown) (a plurality of ejection channels into which the ink 1 is introduced and a plurality of dummy channels into which the ink 1 is not introduced). For example, the actuator plate 12 ejects the ink 1 from the ejection channel to the outside via the nozzle hole 11H by electrically changing the internal pressure of the ejection channel into which the ink 1 is introduced at the time of recording. The cover plate 13 has, for example, a plurality of slits (not shown), and allows the ink 1 to be introduced into the actuator plate 12 (a plurality of ejection channels) via the plurality of slits.

このインクジェットヘッド100では、上記したように、導入ポート40(導入口40T)から導入されたインク1がヘッドチップ10を経由して排出ポート50(排出口50T)まで流れる。このため、ヘッドチップ10の内部に流路Lが形成されている。   In the inkjet head 100, as described above, the ink 1 introduced from the introduction port 40 (introduction port 40T) flows to the ejection port 50 (ejection port 50T) via the head chip 10. Therefore, the flow path L is formed inside the head chip 10.

電子制御盤30は、インクジェットヘッド100の全体の動作を制御する。この電子制御盤30は、例えば、回路基板31と、駆動回路32と、フレキシブル基板33とを含んでいる。回路基板31は、例えば、ヘッドチップ10に立設されている。駆動回路32は、例えば、回路基板31に設けられており、集積回路(IC)などの電子部品を含んでいる。フレキシブル基板33は、例えば、ヘッドチップ10および駆動回路32のそれぞれに接続されている。   The electronic control board 30 controls the overall operation of the inkjet head 100. The electronic control board 30 includes, for example, a circuit board 31, a drive circuit 32, and a flexible board 33. The circuit board 31 is erected on the head chip 10, for example. The drive circuit 32 is provided on the circuit board 31, for example, and includes an electronic component such as an integrated circuit (IC). The flexible substrate 33 is connected to each of the head chip 10 and the drive circuit 32, for example.

導入ポート40は、導入口40Tが設けられた管状の部品であり、ヘッドチップ10(カバープレート13)の一端部に接続されている。排出ポート50は、排出口50Tが設けられた管状の部品であり、ヘッドチップ10(カバープレート13)の他端部に接続されている。なお、導入ポート40および排出ポート50のそれぞれは、例えば、インク1を循環させるために、図示しない供給チューブなどに接続可能である。   The introduction port 40 is a tubular component provided with an introduction port 40T, and is connected to one end of the head chip 10 (cover plate 13). The discharge port 50 is a tubular component provided with a discharge port 50T, and is connected to the other end of the head chip 10 (cover plate 13). Each of the introduction port 40 and the discharge port 50 can be connected to, for example, a supply tube or the like (not shown) in order to circulate the ink 1.

<1−2.液体噴射ヘッドの検査手順>
図3および図4のそれぞれは、インクジェットヘッド100の検査方法を説明するための流れを表している。ただし、図3では、前準備手順の流れを示していると共に、図4では、内部リークの判定手順の流れを示している。
<1-2. Liquid ejection head inspection procedure>
Each of FIG. 3 and FIG. 4 shows a flow for explaining the inspection method of the inkjet head 100. However, FIG. 3 shows the flow of the preparatory procedure, and FIG. 4 shows the flow of the internal leak determination procedure.

図5は、流量Mと圧力P1との相関関係CP1を表していると共に、図6は、流量Mと圧力P2との相関関係CP2を表している。図7は、流量Mと圧力比Rとの相関関係CRを表している。   5 shows the correlation CP1 between the flow rate M and the pressure P1, and FIG. 6 shows the correlation CP2 between the flow rate M and the pressure P2. FIG. 7 shows the correlation CR between the flow rate M and the pressure ratio R.

ここでは、インクジェットヘッド100の噴射特性を検査するために、検査用の流体Fおよび圧力センサ60,70と共に図示しない検査用の制御基板を用いて、そのインクジェットヘッド100の内部(流路L)において流体Fの漏れ(いわゆる内部リーク)が発生しているか否かを判定する。この内部リークは、例えば、アクチュエータプレート12(ダミーチャネル)が破損しているため、インクジェットヘッド100の内部において本来はインク1が入り込まないダミーチャネルにインク1が入り込んでいることなどに起因して発生する。   Here, in order to inspect the ejection characteristics of the inkjet head 100, an inspection fluid F and pressure sensors 60, 70 and an unillustrated control board for inspection are used in the interior of the inkjet head 100 (flow path L). It is determined whether or not the fluid F leaks (so-called internal leak). The internal leak occurs, for example, because the actuator plate 12 (dummy channel) is damaged, so that the ink 1 enters the dummy channel where the ink 1 should not originally enter inside the inkjet head 100. To do.

圧力センサ60は、導入ポート40(導入口40T)の近傍に配置されており、流路L1を流れる流体Fの圧力(圧力P1)を測定する。圧力センサ70は、排出ポート50(排出口50T)の近傍に配置されており、流路L2を流れる流体Fの圧力(圧力P2)を測定する。制御基板は、圧力センサ60,70などを制御すると共に、後述する取得処理、算出処理および判定処理などの一連の処理を行う。   The pressure sensor 60 is arranged in the vicinity of the introduction port 40 (the introduction port 40T) and measures the pressure (pressure P1) of the fluid F flowing in the flow path L1. The pressure sensor 70 is arranged in the vicinity of the discharge port 50 (discharge port 50T) and measures the pressure (pressure P2) of the fluid F flowing through the flow path L2. The control board controls the pressure sensors 60, 70 and the like, and also performs a series of processes such as an acquisition process, a calculation process, and a determination process described later.

以下では、内部リークの判定手順を行うための前準備手順に関して説明したのち、その内部リークの判定手順に関して説明する。この場合には、随時、既に説明した図1および図2を参照する。なお、以下で説明する相関関係CP1,CP2,CRの取得処理、圧力比Rの算出処理および内部リークの有無の判定処理などの一連の処理は、例えば、上記した制御基板により行われる。   In the following, a preparatory procedure for performing the internal leak determination procedure will be described, and then the internal leak determination procedure will be described. In this case, refer to FIG. 1 and FIG. 2 already described as needed. It should be noted that a series of processes such as a process for obtaining the correlations CP1, CP2, CR, a process for calculating the pressure ratio R, and a process for determining the presence / absence of internal leak, which will be described below, are performed by the control board described above, for example.

[前準備手順]
前準備手順では、内部リークが発生していない正常なインクジェットヘッド100を用いて、図3に示したように、以下の手順を順に行う。
[Preparation procedure]
In the preparatory procedure, the following procedure is sequentially performed using the normal inkjet head 100 in which no internal leak has occurred, as shown in FIG.

最初に、導入口40Tを開放すると共に排出口50Tを閉塞しながら、その導入口40Tから流路Lに流体Fを流すことにより、圧力センサ60を用いて、導入口40Tの近傍において、その導入口40Tからノズル孔11Hに向かって流れる流体Fの圧力(第1圧力である圧力P1)を測定する。この圧力P1は、流路L1を流れる流体Fの圧力である。この場合には、流体Fの流量Mを変更しながら圧力P1を測定する作業を繰り返す(ステップS11)。これにより、図5に示したように、流量Mと圧力P1との相関関係CP1があらかじめ取得される(ステップS12)。   First, while the inlet 40T is opened and the outlet 50T is closed, the fluid F is caused to flow from the inlet 40T to the flow path L, so that the pressure sensor 60 is used to introduce the fluid F near the inlet 40T. The pressure of the fluid F flowing from the opening 40T toward the nozzle hole 11H (pressure P1 as the first pressure) is measured. This pressure P1 is the pressure of the fluid F flowing through the flow path L1. In this case, the operation of measuring the pressure P1 while changing the flow rate M of the fluid F is repeated (step S11). Thereby, as shown in FIG. 5, the correlation CP1 between the flow rate M and the pressure P1 is acquired in advance (step S12).

流体Fの種類は、流動性を利用して流路Lの内部を移動可能な物質であれば、特に限定されないが、例えば、空気および窒素ガスなどの気体である。相関関係CP1を取得する場合には、例えば、流量Mを変化させながら複数の圧力P1を測定したのち、その複数の圧力P1に基づいて近似直線N1を引く。   The type of the fluid F is not particularly limited as long as it is a substance that can move inside the flow path L by utilizing fluidity, and is, for example, gas such as air and nitrogen gas. To obtain the correlation CP1, for example, the plurality of pressures P1 are measured while changing the flow rate M, and then the approximate straight line N1 is drawn based on the plurality of pressures P1.

この相関関係CP1は、後述する内部リークの判定手順において、その内部リークが発生していない正常なインクジェットヘッド100に関する流量Mと圧力P1との対応関係を把握するために用いられる。例えば、図5に示したように、流体Fの流量Mを流量MAに設定した場合において圧力P1を測定すると、インクジェットヘッド100において内部リークが発生していなければ、その圧力P1は流量MAに対応する圧力P1Aになるはずである。   The correlation CP1 is used to grasp the correspondence between the flow rate M and the pressure P1 regarding the normal inkjet head 100 in which the internal leak does not occur in the internal leak determination procedure described later. For example, as shown in FIG. 5, when the pressure P1 is measured when the flow rate M of the fluid F is set to the flow rate MA, if the internal leak does not occur in the inkjet head 100, the pressure P1 corresponds to the flow rate MA. Pressure should be P1A.

続いて、導入口40Tを閉塞すると共に排出口50Tを開放しながら、その排出口50Tから流路Lに流体Fを流すことにより、圧力センサ70を用いて、排出口50Tの近傍において、その排出口50Tからノズル孔11Hに向かって流れる流体Fの圧力(第2圧力である圧力P2)を測定する。この圧力P2は、流路L2を流れる流体Fの圧力である。この場合には、流体Fの流量Mを変更しながら圧力P2を測定する作業を繰り返す(ステップS13)。これにより、図6に示したように、流量Mと圧力P2との相関関係CP2があらかじめ取得される(ステップS14)。   Subsequently, while closing the inlet 40T and opening the outlet 50T, the fluid F is caused to flow from the outlet 50T to the flow path L, so that the pressure sensor 70 is used to discharge the fluid in the vicinity of the outlet 50T. The pressure of the fluid F flowing from the outlet 50T toward the nozzle hole 11H (pressure P2 that is the second pressure) is measured. This pressure P2 is the pressure of the fluid F flowing through the flow path L2. In this case, the operation of measuring the pressure P2 while changing the flow rate M of the fluid F is repeated (step S13). Thereby, as shown in FIG. 6, the correlation CP2 between the flow rate M and the pressure P2 is acquired in advance (step S14).

流体Fの種類は、圧力P1を測定した場合に用いた流体Fの種類と同様である。相関関係CP2を取得する場合には、例えば、流量Mを変化させながら複数の圧力P2を測定したのち、その複数の圧力P2に基づいて近似直線N2を引く。   The type of fluid F is the same as the type of fluid F used when measuring the pressure P1. When obtaining the correlation CP2, for example, a plurality of pressures P2 are measured while changing the flow rate M, and then an approximate straight line N2 is drawn based on the plurality of pressures P2.

この相関関係CP2は、後述する内部リークの判定手順において、その内部リークが発生していない正常なインクジェットヘッド100に関する流量Mと圧力P2との対応関係を把握するために用いられる。例えば、図6に示したように、流体Fの流量Mを流量MAに設定した場合において圧力P2を測定すると、インクジェットヘッド100において内部リークが発生していなければ、その圧力P2は流量MAに対応する圧力P2Aになるはずである。   This correlation CP2 is used to grasp the correspondence between the flow rate M and the pressure P2 regarding the normal inkjet head 100 in which the internal leak does not occur in the internal leak determination procedure described later. For example, as shown in FIG. 6, when the pressure P2 is measured when the flow rate M of the fluid F is set to the flow rate MA, if the internal leak does not occur in the inkjet head 100, the pressure P2 corresponds to the flow rate MA. Pressure P2A to be applied.

最後に、上記した相関関係CP1,CP2に基づいて、流量Mごとの圧力比R(=P2/P1)を算出することにより(ステップS15)、図7に示したように、流量Mと圧力比Rとの相関関係CRをあらかじめ取得する(ステップS16)。これにより、近似直線N3が得られるため、前準備手順が完了する。   Finally, by calculating the pressure ratio R (= P2 / P1) for each flow rate M based on the above-mentioned correlations CP1 and CP2 (step S15), as shown in FIG. The correlation CR with R is acquired in advance (step S16). As a result, the approximate straight line N3 is obtained, so that the preparatory procedure is completed.

この相関関係CRは、後述する内部リークの判定手順において、その内部リークが発生していない正常なインクジェットヘッド100に関する流量Mと圧力比Rとの対応関係を把握するために用いられる。例えば、図7に示したように、流体Fの流量Mを流量MAに設定した場合において圧力比Rを算出すると、インクジェットヘッド100において内部リークが発生していなければ、その圧力比Rは流量MAに対応する圧力比RAになるはずである。   The correlation CR is used to grasp the correspondence between the flow rate M and the pressure ratio R regarding the normal inkjet head 100 in which the internal leak does not occur in the internal leak determination procedure described later. For example, as shown in FIG. 7, when the pressure ratio R is calculated when the flow rate M of the fluid F is set to the flow rate MA, if the internal leak does not occur in the inkjet head 100, the pressure ratio R will be the flow rate MA. Should be the pressure ratio RA corresponding to

[内部リークの判定手順]
内部リークの判定手順では、その内部リークの有無が不明であるインクジェットヘッド100を用いて、図4に示したように、以下の手順を順に行う。この場合には、上記したように、相関関係CP1,CP2,CRがあらかじめ取得されている。
[Procedure for determining internal leak]
In the internal leak determination procedure, the following procedure is sequentially performed using the inkjet head 100 whose presence or absence of the internal leak is unknown, as shown in FIG. In this case, as described above, the correlations CP1, CP2, CR are acquired in advance.

最初に、内部リークの有無を判定するための基準となる基準圧力PSを取得する(ステップS21)。この場合には、所望の値(所定の流量M)となるように流体Fの流量Mを決定したのち、上記した相関関係CRに基づいて流量Mに対応する圧力比Rを特定することにより、その圧力比Rを基準圧力比RSとする。この基準圧力比RSは、流路Lに流体F(流量M)を流した際に、内部リークが発生していなければ算出されるはずである圧力比Rである。   First, a reference pressure PS, which is a reference for determining the presence or absence of an internal leak, is acquired (step S21). In this case, the flow rate M of the fluid F is determined so as to have a desired value (predetermined flow rate M), and then the pressure ratio R corresponding to the flow rate M is specified based on the above-mentioned correlation CR. The pressure ratio R is set as a reference pressure ratio RS. The reference pressure ratio RS is a pressure ratio R that should be calculated if no internal leak occurs when the fluid F (flow rate M) is passed through the flow path L.

続いて、導入口40Tを開放すると共に排出口50Tを閉塞しながら、その導入口40Tから流路Lに流体F(流量M)を流すことにより、圧力センサ60を用いて、導入口40Tからノズル孔11Hに向かって流れる流体Fの圧力(圧力P1)を測定する(ステップS22)。流体Fの種類は、前準備手順において用いられた流体Fの種類と同様である。   Subsequently, while opening the inlet 40T and closing the outlet 50T, the fluid F (flow rate M) is caused to flow from the inlet 40T to the flow path L, so that the pressure sensor 60 is used to discharge the nozzle from the inlet 40T. The pressure (pressure P1) of the fluid F flowing toward the hole 11H is measured (step S22). The type of fluid F is the same as the type of fluid F used in the preparatory procedure.

続いて、導入口40Tを閉塞すると共に排出口50Tを開放しながら、その排出口50Tから流路Lに流体F(流量M)を流すことにより、圧力センサ70を用いて、排出口50Kからノズル孔11Hに向かって流れる流体Fの圧力(圧力P2)を測定する(ステップS23)。流体Fの種類は、前準備手順において用いられた流体Fの種類と同様である。   Subsequently, while closing the inlet 40T and opening the outlet 50T, the fluid F (flow rate M) is caused to flow from the outlet 50T to the flow path L, so that the pressure sensor 70 is used to discharge the nozzle from the outlet 50K. The pressure (pressure P2) of the fluid F flowing toward the hole 11H is measured (step S23). The type of fluid F is the same as the type of fluid F used in the preparatory procedure.

続いて、圧力P1,P2に基づいて圧力比R(=P2/P1)を算出したのち(ステップS24)、その圧力比Rに基づいて内部リークの有無を判定する。具体的には、例えば、圧力比Rを基準圧力比RSと比較する(ステップS25)。この基準圧力比RSは、上記したように、内部リークが発生していなければ算出されるはずである圧力比Rであるため、その圧力比Rと基準圧力比RSとの対応関係に基づいて、内部リークの有無を判定することができる。この場合には、例えば、圧力比Rが基準圧力比RSに対して所定の範囲内(RS−X≦R≦RS+X)であるか否かを確認する(ステップS26)。Xの値は、特に限定されないため、例えば、圧力P1,P2のそれぞれの測定誤差などの要因を加味した上で、任意に設定可能である。ここでは、Xの値は、例えば、基準圧力比RSの3%に相当する値である。   Then, after calculating the pressure ratio R (= P2 / P1) based on the pressures P1 and P2 (step S24), the presence or absence of internal leak is determined based on the pressure ratio R. Specifically, for example, the pressure ratio R is compared with the reference pressure ratio RS (step S25). As described above, the reference pressure ratio RS is the pressure ratio R that should be calculated if the internal leak does not occur. Therefore, based on the correspondence relationship between the pressure ratio R and the reference pressure ratio RS, The presence or absence of internal leak can be determined. In this case, for example, it is confirmed whether or not the pressure ratio R is within a predetermined range (RS−X ≦ R ≦ RS + X) with respect to the reference pressure ratio RS (step S26). Since the value of X is not particularly limited, it can be arbitrarily set after taking into consideration factors such as measurement errors of the pressures P1 and P2. Here, the value of X is, for example, a value corresponding to 3% of the reference pressure ratio RS.

圧力比Rが基準圧力比RSに対して所定の範囲内でない場合(ステップS26N)には、許容マージン(X)を加味した上でも圧力比Rが基準圧力RSとは大きく異なっているため、内部リークが発生していると判定する(ステップS27)。   When the pressure ratio R is not within the predetermined range with respect to the reference pressure ratio RS (step S26N), the pressure ratio R is significantly different from the reference pressure RS even when the allowable margin (X) is taken into consideration. It is determined that a leak has occurred (step S27).

この場合には、インクジェットヘッド100の内部において、流路L1,L2のうちの一方または双方が破損(例えば、亀裂などが発生)していると考えられる。流路L1が破損していると、その流路L1において流路抵抗が発生するため、圧力P1が低下する。このため、圧力P1の低下に起因して、圧力比Rが基準圧力比RSとは大きく異なってしまう。また、流路L2が破損していると、その流路L2において流路抵抗が発生するため、圧力P2が低下する。このため、圧力P2の低下に起因して、圧力比Rが基準圧力比RSとは大きく異なってしまう。   In this case, it is considered that one or both of the flow paths L1 and L2 are damaged (for example, a crack is generated) inside the inkjet head 100. If the flow path L1 is damaged, flow path resistance is generated in the flow path L1 and the pressure P1 is reduced. Therefore, the pressure ratio R greatly differs from the reference pressure ratio RS due to the decrease in the pressure P1. If the flow path L2 is damaged, flow path resistance is generated in the flow path L2, and the pressure P2 decreases. Therefore, the pressure ratio R greatly differs from the reference pressure ratio RS due to the decrease in the pressure P2.

一方、圧力比Rが基準圧力比RSに対して所定の範囲内である場合(ステップS26Y)には、許容マージン(X)を加味した上で圧力比Rが基準圧力RSにほぼ一致しているため、内部リークが発生していないと判定する(ステップS28)。   On the other hand, when the pressure ratio R is within the predetermined range with respect to the reference pressure ratio RS (step S26Y), the pressure ratio R is substantially equal to the reference pressure RS in consideration of the allowable margin (X). Therefore, it is determined that the internal leak has not occurred (step S28).

これにより、圧力比Rに基づいて内部リークの有無が判定されるため、その内部リークの判定手順が完了する。   As a result, the presence or absence of the internal leak is determined based on the pressure ratio R, and the procedure for determining the internal leak is completed.

<1−3.作用および効果>
このインクジェットヘッド100の検査方法では、導入口40Tから排出口50Tに向かって流体Fが流れると共にノズル孔11Hから流体Fの一部が外部に放出される流路Lを備えたインクジェットヘッド100を用いて、圧力P1,P2を測定すると共に圧力比Rを算出したのち、その圧力比Rに基づいて内部リークの有無を判定している。
<1-3. Action and effect>
In this inspection method of the inkjet head 100, the inkjet head 100 including the flow path L through which the fluid F flows from the inlet 40T to the outlet 50T and a part of the fluid F is discharged to the outside from the nozzle hole 11H is used. After the pressures P1 and P2 are measured and the pressure ratio R is calculated, the presence or absence of internal leak is determined based on the pressure ratio R.

この場合には、流路Lの前半部(流路L1)を流れる流体Fの圧力P1と、流路Lの後半部(流路L2)を流れる流体Fの圧力P2とが測定されたのち、その圧力P1,P2から算出される圧力比Rに基づいて、内部リークの有無が判定される。これにより、単に流路Lの全体を流れる流体Fの圧力に基づいて内部リークの有無が判定される場合と比較して、その判定の精度が外気温(インクジェットヘッド100の周辺環境の温度)などの外乱の影響を受けにくくなるため、その判定の精度が向上する。   In this case, after the pressure P1 of the fluid F flowing through the first half of the flow path L (flow path L1) and the pressure P2 of the fluid F flowing through the second half of the flow path L (flow path L2) are measured, The presence or absence of internal leak is determined based on the pressure ratio R calculated from the pressures P1 and P2. As a result, the accuracy of the determination is the outside temperature (the temperature of the surrounding environment of the inkjet head 100) and the like as compared with the case where the presence or absence of the internal leak is determined based on the pressure of the fluid F flowing through the entire flow path L. Since it is less likely to be affected by the external disturbance, the accuracy of the determination is improved.

しかも、内部リーク、すなわち外部からは確認することが困難であるインクジェットヘッド100の内部破損に起因した流体Fの漏れの有無を判定するために、そのインクジェットヘッド100を破壊する必要がないと共に、そのインクジェットヘッド100に検査用の孔などを新たに設ける必要がない。これにより、流路Lに流体Fを流したのち、圧力P1,P2を測定すると共に圧力比Rを算出するという簡単な作業を行うだけで、内部リークの有無が判定される。   Moreover, it is not necessary to destroy the inkjet head 100 in order to determine the presence or absence of the internal leak, that is, the leakage of the fluid F due to the internal damage of the inkjet head 100, which is difficult to confirm from the outside. There is no need to newly provide an inspection hole or the like in the inkjet head 100. Thus, the presence or absence of the internal leak can be determined only by performing the simple work of measuring the pressures P1 and P2 and calculating the pressure ratio R after flowing the fluid F through the flow path L.

よって、インクジェットヘッド100(流路L)において内部リークが発生しているか否かは容易かつ正確に判定されるため、そのインクジェットヘッド100の噴射特性を容易かつ正確に検査することができる。   Therefore, whether or not an internal leak has occurred in the inkjet head 100 (flow path L) is easily and accurately determined, so that the ejection characteristics of the inkjet head 100 can be easily and accurately inspected.

この場合には、特に、上記した検査方法をインクジェットヘッド100の出荷前の噴射検査に組み込むことにより、そのインクジェットヘッド100の出荷前の噴射検査を容易かつ正確に行うことができる。   In this case, in particular, by incorporating the above-described inspection method into the jet inspection of the inkjet head 100 before shipping, the jet inspection of the inkjet head 100 before shipping can be easily and accurately performed.

この他、内部リークが発生していない正常なインクジェットヘッド100を用いて基準圧力比RSをあらかじめ取得しておき、圧力比Rを基準圧力比RSと比較すると共に、その圧力比Rが基準圧力比RSに対して所定の範囲内でない場合に内部リークが発生していると判定すれば、圧力比Rが正常時の圧力比R(基準圧力比RS)と比較されることにより、その圧力比Rが基準圧力比RSから一定の範囲を越える程度までずれていた際に、内部リークが発生していると判定される。よって、圧力比Rを基準圧力比RSと比較するという簡単な作業を行うことにより、測定誤差などの影響を抑制しながら内部リークの有無がより高精度に判定されるため、より高い効果を得ることができる。   In addition, the reference pressure ratio RS is acquired in advance using the normal inkjet head 100 in which no internal leak occurs, and the pressure ratio R is compared with the reference pressure ratio RS, and the pressure ratio R is the reference pressure ratio. If it is determined that the internal leak is occurring when RS is not within the predetermined range, the pressure ratio R is compared with the pressure ratio R (reference pressure ratio RS) at the normal time to thereby determine the pressure ratio R. Is deviated from the reference pressure ratio RS to an extent exceeding a certain range, it is determined that an internal leak has occurred. Therefore, by performing the simple operation of comparing the pressure ratio R with the reference pressure ratio RS, the presence or absence of the internal leak can be determined with higher accuracy while suppressing the influence of the measurement error and the like, and a higher effect can be obtained. be able to.

この場合には、内部リークが発生していない正常なインクジェットヘッド100を用いて相関関係CRをあらかじめ取得しておき、その相関関係CRに基づいて流量Mに対応する圧力比Rを基準圧力比RSとすれば、流量Mの値が変更されても、その相関関係CRに基づいて変更後の流量Mに対応する正常時の圧力比R(基準圧力比RS)が特定される。これにより、流量Mの値に依存せずに、内部リークの有無を判定するための基準となる基準圧力比RSが正確に決定される。よって、流量Mを変更しても内部リークの有無が高精度に判定されるため、さらに高い効果を得ることができる。   In this case, the correlation CR is acquired in advance using the normal inkjet head 100 in which no internal leak occurs, and the pressure ratio R corresponding to the flow rate M is calculated based on the correlation CR as the reference pressure ratio RS. Then, even if the value of the flow rate M is changed, the normal pressure ratio R (reference pressure ratio RS) corresponding to the changed flow rate M is specified based on the correlation CR. As a result, the reference pressure ratio RS serving as a reference for determining the presence or absence of the internal leak is accurately determined without depending on the value of the flow rate M. Therefore, even if the flow rate M is changed, the presence / absence of an internal leak can be determined with high accuracy, and a higher effect can be obtained.

また、流体Fとして気体を用いれば、以下で説明する理由により、より高い効果を得ることができる。すなわち、流体Fとして液体を用いる場合には、インクジェットヘッド100を検査した結果、流路Lの破損に起因した内部リークが発生していないと、出荷前のインクジェットヘッド100(流路L)に不要な液体が付着するため、その不要な液体を除去するために流路Lの洗浄が必要になる。これに対して、流体Fとして気体を用いる場合には、上記した液体を用いる場合とは異なり、出荷前のインクジェットヘッド100に液体が付着しないため、流路Lの洗浄が不要になる。よって、不要な液体の付着に起因した洗浄処理を必要とせずに、インクジェットヘッド100の噴射特性が容易かつ正確に検査されるため、より高い効果を得ることができる。   If a gas is used as the fluid F, a higher effect can be obtained for the reason described below. That is, when a liquid is used as the fluid F, it is not necessary for the inkjet head 100 (flow path L) before shipping unless an internal leak due to the damage of the flow path L occurs as a result of inspecting the inkjet head 100. Since such a liquid adheres, it is necessary to clean the flow path L to remove the unnecessary liquid. On the other hand, when a gas is used as the fluid F, unlike the case where the liquid is used, the liquid does not adhere to the inkjet head 100 before shipping, and thus the cleaning of the flow path L is not necessary. Therefore, the ejection characteristics of the inkjet head 100 can be easily and accurately inspected without requiring a cleaning process due to unnecessary liquid adhesion, and a higher effect can be obtained.

この他、気体を用いると、インクジェットヘッド100(流路L)に液体が付着しないため、内部リークが発生しているインクジェットヘッド100を廃棄する際に、その液体を考慮(処理)する必要がなくなるため、その液体の処理が不要になる観点においても利点が得られる。   In addition to this, when gas is used, the liquid does not adhere to the inkjet head 100 (flow path L), and therefore it is not necessary to consider (process) the liquid when discarding the inkjet head 100 having an internal leak. Therefore, an advantage can be obtained from the viewpoint that the treatment of the liquid is unnecessary.

<2.変形例>
上記したインクジェットヘッド100の検査手順に関しては、以下で説明するように、種々の変形が可能である。なお、以下で説明する一連の変形例に関しては、任意の2種類以上が互いに組み合わされてもよい。
<2. Modification>
The inspection procedure of the inkjet head 100 described above can be modified in various ways, as described below. In addition, about a series of modified examples demonstrated below, arbitrary 2 or more types may be combined together.

[変形例1]
図5〜図7に示したように、相関関係CP1,CP2に基づいて相関関係CRを取得した場合において、内部リークの有無を判定する工程を1回だけ行った。この内部リークの有無を判定する工程とは、上記したように、所望の流量Mとなるように流体Fの流量Mを決定することにより、その流量Mに対応する基準圧力比RSを特定したのち、圧力比Rを基準圧力比RSと比較する工程である。
[Modification 1]
As shown in FIGS. 5 to 7, when the correlation CR is acquired based on the correlations CP1 and CP2, the step of determining the presence or absence of the internal leak is performed only once. As described above, the step of determining the presence or absence of the internal leak includes determining the flow rate M of the fluid F so as to obtain the desired flow rate M, and then specifying the reference pressure ratio RS corresponding to the flow rate M. , The step of comparing the pressure ratio R with the reference pressure ratio RS.

しかしながら、内部リークの有無を判定する工程の回数は、1回に限られず、2回以上でもよい。この場合においても、内部リークの有無が判定されるため、同様の効果を得ることができる。この場合には、特に、流体Fの流量Mを変更しながら内部リークの有無を判定する工程を2回以上(例えば、3回)行えば、判定の精度がより向上するため、より高い効果を得ることができる。   However, the number of steps for determining the presence or absence of the internal leak is not limited to once, and may be two or more. Also in this case, the presence or absence of the internal leak is determined, so that the same effect can be obtained. In this case, in particular, if the step of determining the presence or absence of the internal leak while changing the flow rate M of the fluid F is performed twice or more (for example, three times), the accuracy of the determination is further improved, so that a higher effect is obtained. Obtainable.

[変形例2]
図5に示したように、相関関係CP1を取得するために、流量Mを変更しながら複数の圧力P1を測定することにより、近似直線N1を得た。また、図6に示したように、相関関係CP2を取得するために、流量Mを変更しながら複数の圧力P2を測定することにより、近似直線N2を得た。
[Modification 2]
As shown in FIG. 5, in order to obtain the correlation CP1, an approximate straight line N1 was obtained by measuring a plurality of pressures P1 while changing the flow rate M. Further, as shown in FIG. 6, in order to obtain the correlation CP2, the approximate straight line N2 was obtained by measuring a plurality of pressures P2 while changing the flow rate M.

しかしながら、流量Mを変更せずに固定する場合、すなわち流量Mを一定の値に設定する場合には、例えば、相関関係CP1を取得するために、特定の値である流量Mに対応する圧力P1だけを測定しておいてもよいと共に、相関関係CP2を取得するために、特定の値である流量Mに対応する圧力P2だけを測定しておいてもよい。この場合においても、流量Mに対応する圧力P1,P2が特定されることにより、その流量Mに対応する圧力比R(基準圧力比RS)が特定されるため、同様の効果を得ることができる。   However, when the flow rate M is fixed without being changed, that is, when the flow rate M is set to a constant value, for example, in order to obtain the correlation CP1, the pressure P1 corresponding to the flow rate M that is a specific value is obtained. It is also possible to measure only the pressure P2 and to measure the pressure P2 corresponding to the flow rate M that is a specific value in order to obtain the correlation CP2. Also in this case, since the pressure ratio R (reference pressure ratio RS) corresponding to the flow rate M is specified by specifying the pressures P1 and P2 corresponding to the flow rate M, the same effect can be obtained. ..

[変形例3]
図4では、圧力比Rだけに基づいて内部リークの有無を判定した。しかしながら、図4に対応する図8に示したように、圧力比Rに基づいて内部リークの有無を判定した上で、さらに、圧力P1,P2の双方に基づいて内部リークの有無を判定してもよい。
[Modification 3]
In FIG. 4, the presence or absence of internal leak was determined based on only the pressure ratio R. However, as shown in FIG. 8 corresponding to FIG. 4, after determining the presence or absence of the internal leak based on the pressure ratio R, the presence or absence of the internal leak is further determined based on both the pressures P1 and P2. Good.

具体的には、前準備手順(図3)と、圧力比Rに基づいた内部リークの判定手順(図4)を行ったのち、最初に、内部リークの有無を判定するための基準となる基準圧力P1S,P2Sを取得する(ステップS31)。この場合には、相関関係CP1に基づいて流量Mに対応する圧力P1を特定することにより、その圧力P1を基準圧力P1Sとすると共に、相関関係CP2に基づいて流量Mに対応する圧力P2を特定することにより、その圧力P2を基準圧力P2Sとする。この基準圧力P1Sは、流路L1に流体F(流量M)を流した際に内部リークが発生していなければ測定されるはずである圧力P1であると共に、基準圧力P2Sは、流路L2に流体F(流量M)を流した際に内部リークが発生していなければ測定されるはずである圧力P2である。   Specifically, after performing the preparatory procedure (FIG. 3) and the internal leak determination procedure (FIG. 4) based on the pressure ratio R, first, a reference serving as a reference for determining the presence or absence of the internal leak. The pressures P1S and P2S are acquired (step S31). In this case, the pressure P1 corresponding to the flow rate M is specified based on the correlation CP1 to set the pressure P1 as the reference pressure P1S, and the pressure P2 corresponding to the flow rate M is specified based on the correlation CP2. By doing so, the pressure P2 becomes the reference pressure P2S. The reference pressure P1S is the pressure P1 that should be measured if no internal leak occurs when the fluid F (flow rate M) flows through the flow path L1, and the reference pressure P2S is the flow path L2. It is the pressure P2 that should be measured if no internal leak occurs when the fluid F (flow rate M) is passed.

続いて、圧力P1に基づいて内部リークの有無を判定する。具体的には、例えば、圧力P1を基準圧力P1Sと比較する(ステップS32)。この基準圧力P1Sは、上記したように、内部リークが発生していなければ測定されるはずである圧力P1であるため、その圧力P1と基準圧力P1Sとの対応関係に基づいて内部リークの有無を判定することができる。この場合には、例えば、圧力P1が基準圧力P1Sに対して所定の範囲内(P1S−Y≦P1≦P1S+Y)であるか否かを確認する(ステップS33)。Yの値は、特に限定されないため、例えば、圧力P1の測定誤差などの要因を加味した上で、任意に設定可能である。ここでは、Yの値は、例えば、基準圧力P1Sの3%に相当する値である。   Then, the presence or absence of internal leak is determined based on the pressure P1. Specifically, for example, the pressure P1 is compared with the reference pressure P1S (step S32). As described above, the reference pressure P1S is the pressure P1 that should be measured if the internal leak does not occur. Therefore, the presence or absence of the internal leak is determined based on the correspondence between the pressure P1 and the reference pressure P1S. Can be determined. In this case, for example, it is confirmed whether or not the pressure P1 is within a predetermined range (P1S-Y ≦ P1 ≦ P1S + Y) with respect to the reference pressure P1S (step S33). The value of Y is not particularly limited, and can be arbitrarily set, for example, in consideration of factors such as a measurement error of the pressure P1. Here, the value of Y is, for example, a value corresponding to 3% of the reference pressure P1S.

圧力P1が基準圧力P1Sに対して所定の範囲内でない場合(ステップS33N)には、許容マージン(Y)を加味した上でも圧力P1が基準圧力P1Sとは大きく異なっているため、内部リークが発生していると判定する(ステップS34)。   If the pressure P1 is not within the predetermined range with respect to the reference pressure P1S (step S33N), the pressure P1 is significantly different from the reference pressure P1S even when the allowance margin (Y) is taken into consideration, so that internal leakage occurs. (Step S34).

一方、圧力P1が基準圧力P1Sに対して所定の範囲内である場合(ステップS33Y)には、引き続き、圧力P2に基づいて内部リークの有無を判定する。具体的には、例えば、圧力P2を基準圧力P2Sと比較する(ステップS35)。この基準圧力P2Sは、上記したように、内部リークが発生していなければ測定されるはずである圧力P2であるため、その圧力P2と基準圧力P2Sとの対応関係に基づいて内部リークの有無を判定することができる。この場合には、例えば、圧力P2が基準圧力P2Sに対して所定の範囲内(P2S−Z≦P2≦P2S+Z)であるか否かを確認する(ステップS36)。Zの値は、特に限定されないため、例えば、圧力P2の測定誤差などの要因を加味した上で、任意に設定可能である。ここでは、Zの値は、例えば、基準圧力P2Sの3%に相当する値である。   On the other hand, when the pressure P1 is within the predetermined range with respect to the reference pressure P1S (step S33Y), the presence or absence of the internal leak is continuously determined based on the pressure P2. Specifically, for example, the pressure P2 is compared with the reference pressure P2S (step S35). As described above, the reference pressure P2S is the pressure P2 that should be measured if the internal leak does not occur. Therefore, the presence or absence of the internal leak is determined based on the correspondence between the pressure P2 and the reference pressure P2S. Can be determined. In this case, for example, it is confirmed whether or not the pressure P2 is within a predetermined range (P2S-Z≤P2≤P2S + Z) with respect to the reference pressure P2S (step S36). Since the value of Z is not particularly limited, it can be arbitrarily set after taking into consideration factors such as a measurement error of the pressure P2. Here, the value of Z is, for example, a value corresponding to 3% of the reference pressure P2S.

圧力P2が基準圧力P2Sに対して所定の範囲内でない場合(ステップS36N)には、許容マージン(Z)を加味した上でも圧力P2が基準圧力P2Sとは大きく異なっているため、内部リークが発生していると判定する(ステップS34)。   When the pressure P2 is not within the predetermined range with respect to the reference pressure P2S (step S36N), the pressure P2 is significantly different from the reference pressure P2S even when the allowable margin (Z) is taken into consideration, so that internal leakage occurs. (Step S34).

一方、圧力P2が基準圧力P2Sに対して所定の範囲内である場合(ステップS36Y)には、許容マージン(Z)を加味した上で圧力P2が基準圧力P2Sにほぼ一致しているため、内部リークが発生していないと判定する(ステップS37)。   On the other hand, when the pressure P2 is within the predetermined range with respect to the reference pressure P2S (step S36Y), the pressure P2 is substantially equal to the reference pressure P2S in consideration of the allowable margin (Z). It is determined that no leak has occurred (step S37).

これにより、圧力比Rと共に圧力P1,P2に基づいて内部リークの有無が判定されるため、その内部リークの判定手順が完了する。   Thus, the presence or absence of the internal leak is determined based on the pressure ratio R and the pressures P1 and P2, and the procedure for determining the internal leak is completed.

この場合には、以下で説明する理由により、圧力比Rだけに基づいて内部リークの有無を判定する場合と比較して、より高い効果を得ることができる。すなわち、圧力比Rだけに基づいて内部リークの有無を判定する場合には、その内部リークの発生に起因して圧力P1,P2の双方が大幅に変動していても圧力比Rが変動していないと、その内部リークは発生していないと判定される可能性がある。具体的には、例えば、内部リークの発生に起因して圧力P1が低下していても、その内部リークの発生に起因して圧力P2も同様に低下していると、結果として、圧力比Rが変動していない状況が考えられる。しかしながら、圧力比Rに基づいて内部リークの有無が判定されるだけでなく、さらに、圧力P1,P2の双方に基づいて内部リークの有無が判定されると、圧力比Rが変動していなくても、圧力P1,P2のうちの一方または双方が変動していれば、内部リークが発生していると判定される。よって、内部リークの有無がより正確に判定されるため、より高い効果を得ることができる。   In this case, for the reason described below, a higher effect can be obtained as compared with the case of determining the presence or absence of the internal leak based on only the pressure ratio R. That is, in the case of determining the presence or absence of the internal leak based on only the pressure ratio R, the pressure ratio R is changed even if both the pressures P1 and P2 are greatly changed due to the occurrence of the internal leak. Otherwise, it may be determined that the internal leak has not occurred. Specifically, for example, even if the pressure P1 is reduced due to the occurrence of the internal leak, the pressure P2 is similarly reduced due to the occurrence of the internal leak. As a result, the pressure ratio R It is possible that there is no fluctuation. However, if the presence / absence of the internal leak is determined not only based on the pressure ratio R but also based on both the pressures P1 and P2, the pressure ratio R does not change. Also, if one or both of the pressures P1 and P2 fluctuate, it is determined that an internal leak has occurred. Therefore, the presence or absence of the internal leak can be determined more accurately, and a higher effect can be obtained.

特に、内部リークが発生していない正常なインクジェットヘッド100を用いて基準圧力P1Sをあらかじめ取得しておき、圧力P1を基準圧力P1Sと比較すると共に、その圧力P1が基準圧力P1Sに対して所定の範囲内でない場合に内部リークが発生していると判定すれば、圧力P1が正常時の圧力P1(基準圧力P1S)と比較されることにより、その圧力P1が基準圧力P1Sから一定の範囲を越える程度までずれていた際に、内部リークが発生していると判定される。よって、圧力比P1を基準圧力P1Sと比較するという簡単な作業を行うことにより、測定誤差などの影響を抑制しながら内部リークの有無がより高精度に判定されるため、より高い効果を得ることができる。   In particular, the reference pressure P1S is acquired in advance using the normal inkjet head 100 in which no internal leak occurs, the pressure P1 is compared with the reference pressure P1S, and the pressure P1 is set to a predetermined value with respect to the reference pressure P1S. If it is determined that the internal leak has occurred when the pressure P1 is not within the range, the pressure P1 is compared with the pressure P1 at the normal time (reference pressure P1S), so that the pressure P1 exceeds a certain range from the reference pressure P1S. When it deviates to some extent, it is determined that an internal leak has occurred. Therefore, by performing the simple operation of comparing the pressure ratio P1 with the reference pressure P1S, the presence or absence of the internal leak can be determined with higher accuracy while suppressing the influence of measurement error and the like, and thus a higher effect can be obtained. You can

ここで説明した作用および効果は、内部リークが発生していない正常なインクジェットヘッド100を用いて基準圧力P2Sをあらかじめ取得しておき、圧力P2を基準圧力P2Sと比較すると共に、その圧力P2が基準圧力P2Sに対して所定の範囲内でない場合に内部リークが発生していると判定しても、同様に得られる。   The operation and effect described here are obtained by previously acquiring the reference pressure P2S using the normal inkjet head 100 in which no internal leak occurs, comparing the pressure P2 with the reference pressure P2S, and using the pressure P2 as the reference. Even if it is determined that the internal leak is occurring when the pressure P2S is not within the predetermined range, the same result is obtained.

この他、内部リークが発生していない正常なインクジェットヘッド100を用いて相関関係CP1をあらかじめ取得しておき、その相関関係CP1に基づいて流量Mに対応する圧力P1を基準圧力P1Sとすれば、流量Mの値が変更されても、その相関関係P1に基づいて変更後の流量Mに対応する正常時の圧力P1(基準圧力P1S)が特定される。これにより、流量Mの値に依存せずに、内部リークの有無を判定するための基準となる基準圧力P1Sが正確に決定される。よって、流量Mを変更しても内部リークの有無が高精度に判定されるため、さらに高い効果を得ることができる。   In addition, if the correlation CP1 is acquired in advance using the normal inkjet head 100 in which no internal leak occurs, and the pressure P1 corresponding to the flow rate M is set as the reference pressure P1S based on the correlation CP1. Even if the value of the flow rate M is changed, the normal pressure P1 (reference pressure P1S) corresponding to the changed flow rate M is specified based on the correlation P1. As a result, the reference pressure P1S serving as a reference for determining the presence or absence of the internal leak is accurately determined without depending on the value of the flow rate M. Therefore, even if the flow rate M is changed, the presence / absence of an internal leak can be determined with high accuracy, and a higher effect can be obtained.

ここで説明した作用および効果は、内部リークが発生していない正常なインクジェットヘッド100を用いて相関関係CP2をあらかじめ取得しておき、その相関関係CP2に基づいて流量Mに対応する圧力P2を基準圧力P2Sとする場合においても、同様に得られる。   The operations and effects described here are obtained by previously acquiring the correlation CP2 using the normal inkjet head 100 in which no internal leak occurs, and based on the correlation CP2, the pressure P2 corresponding to the flow rate M is used as a reference. The same is obtained when the pressure is set to P2S.

もちろん、圧力P1に基づいて内部リークの有無を判定する場合において、その判定を行う回数は、例えば、上記した圧力比Rに基づいて内部リークの有無を判定する場合と同様に、1回だけに限られず、2回以上でもよい。また、圧力P2に基づいて内部リークの有無を判定する場合において、その判定を行う回数は、例えば、上記した圧力比Rに基づいて内部リークの有無を判定する場合と同様に、1回だけに限られず、2回以上でもよい。判定の回数を多くすれば、その判定の精度がより向上するため、より高い効果を得ることができる。   Of course, when the presence / absence of an internal leak is determined based on the pressure P1, the number of determinations is only once, as in the case of determining the presence / absence of an internal leak based on the pressure ratio R described above. The number is not limited, and may be two or more times. Further, in the case of determining the presence or absence of the internal leak based on the pressure P2, the number of times the determination is performed is only once, as in the case of determining the presence or absence of the internal leak based on the pressure ratio R described above. The number is not limited, and may be two or more times. If the number of judgments is increased, the accuracy of the judgment is further improved, so that a higher effect can be obtained.

[変形例4]
図8では、圧力P1,P2の双方に基づいて内部リークの有無を判定したが、図8に対応する図9に示したように、圧力P1,P2のうちのいずれか一方に基づいて内部リークの有無を判定してもよい。
[Modification 4]
In FIG. 8, the presence / absence of the internal leak is determined based on both of the pressures P1 and P2. However, as shown in FIG. 9 corresponding to FIG. 8, the internal leak is determined based on either of the pressures P1 and P2. The presence or absence of may be determined.

具体的には、前準備手順(図3)と、圧力比Rに基づいた内部リークの判定手順(図4)を行ったのち、最初に、基準圧力P1Sを取得する(ステップS41)。続いて、圧力P1に基づいて内部リークの有無を判定し、具体的には、例えば、圧力P1を基準圧力P1Sと比較する(ステップS42)。この場合には、例えば、圧力P1が基準圧力P1Sに対して所定の範囲内であるか否かを確認する(ステップS43)。   Specifically, after performing the preparatory procedure (FIG. 3) and the internal leak determination procedure (FIG. 4) based on the pressure ratio R, first, the reference pressure P1S is acquired (step S41). Then, the presence or absence of the internal leak is determined based on the pressure P1, and specifically, for example, the pressure P1 is compared with the reference pressure P1S (step S42). In this case, for example, it is confirmed whether or not the pressure P1 is within a predetermined range with respect to the reference pressure P1S (step S43).

圧力P1が基準圧力P1Sに対して所定の範囲内でない場合(ステップS43N)には、内部リークが発生していると判定すると共に(ステップS44)、圧力P1が基準圧力P1Sに対して所定の範囲内である場合(ステップS43Y)には、内部リークが発生していないと判定する(ステップS45)。   When the pressure P1 is not within the predetermined range with respect to the reference pressure P1S (step S43N), it is determined that an internal leak has occurred (step S44), and the pressure P1 is within the predetermined range with respect to the reference pressure P1S. If it is within the range (step S43Y), it is determined that the internal leak has not occurred (step S45).

これにより、圧力比Rと共に圧力P1に基づいて内部リークの有無が判定されるため、その内部リークの判定手順が完了する。もちろん、ここでは圧力比Rと共に圧力P1に基づいて内部リークの有無を判定する場合に関して説明したが、圧力比Rと共に圧力P2に基づいて内部リークの有無を判定してもよい。   Thus, the presence or absence of the internal leak is determined based on the pressure P and the pressure P1, and the procedure for determining the internal leak is completed. Of course, here, the case where the presence or absence of the internal leak is determined based on the pressure P and the pressure P1 has been described, but the presence or absence of the internal leak may be determined based on the pressure P and the pressure P2.

この場合においても、圧力比Rが変動していなくても圧力P1または圧力P2が変動していれば内部リークが発生していると判定されるため、同様の効果を得ることができる。これ以外の作用および効果は、圧力P1,P2の双方に基づいて内部リークの有無を判定した場合と同様である。   Even in this case, even if the pressure ratio R does not change, if the pressure P1 or the pressure P2 changes, it is determined that an internal leak has occurred, and therefore the same effect can be obtained. The other actions and effects are similar to those in the case where the presence or absence of the internal leak is determined based on both the pressures P1 and P2.

[変形例5]
流体Fとして気体を用いたが、その流体Fとしてインク1などの液体を用いてもよい。この場合においても、インクジェットヘッド100(流路L)において内部リークが発生しているか否かは容易かつ正確に判定されるため、同様の効果を得ることができる。ただし、上記したように、インク1の付着に起因した洗浄処理などが必要になることを回避するためには、流体Fとして気体を用いることが好ましい。
[Modification 5]
Although gas is used as the fluid F, a liquid such as the ink 1 may be used as the fluid F. In this case as well, it is possible to easily and accurately determine whether or not an internal leak has occurred in the inkjet head 100 (flow path L), and therefore the same effect can be obtained. However, as described above, it is preferable to use gas as the fluid F in order to avoid the need for a cleaning process or the like due to the adhesion of the ink 1.

[変形例6]
圧力比Rを算出する場合において、分母を圧力P1とすると共に分子を圧力P2としたが(R=P2/P1)、例えば、分母を圧力P2とすると共に分子を圧力P1としてもよい(R=P1/P2)。また、圧力P1,P2の双方に基づいて内部リークの有無を判定する場合において、圧力P1に基づいて内部リークの有無を判定したのち、圧力P2に基づいて内部リークの有無を判定したが、例えば、圧力P2に基づいて内部リークの有無を判定したのち、圧力P1に基づいて内部リークの有無を判定してもよい。これらの場合においても、同様の効果を得ることができる。
[Modification 6]
When the pressure ratio R is calculated, the denominator is the pressure P1 and the numerator is the pressure P2 (R = P2 / P1). However, for example, the denominator may be the pressure P2 and the numerator is the pressure P1 (R = P2). P1 / P2). Further, in the case of determining the presence or absence of the internal leak based on both the pressures P1 and P2, the presence or absence of the internal leak is determined based on the pressure P1, and then the presence or absence of the internal leak is determined based on the pressure P2. Alternatively, the presence or absence of the internal leak may be determined based on the pressure P2, and then the presence or absence of the internal leak may be determined based on the pressure P1. Even in these cases, the same effect can be obtained.

[変形例7]
圧力比Rを算出したのち、内部リークの有無を判定するために圧力比Rを基準圧力比RSと比較したが、その基準圧力比RSを用いずに圧力比Rだけに基づいて内部リークの有無を判定してもよい。
[Modification 7]
After calculating the pressure ratio R, the pressure ratio R was compared with the reference pressure ratio RS in order to determine the presence / absence of internal leak. However, the presence / absence of internal leak was determined based on only the pressure ratio R without using the reference pressure ratio RS. May be determined.

この場合には、例えば、複数のインクジェットヘッド100を用いて圧力P1,P2を測定することにより、インクジェットヘッド100ごとに圧力比Rを算出したのち、各インクジェットヘッド100の圧力比Rを比較する。これにより、例えば、各インクジェットヘッド100の圧力比Rが所定の範囲内である場合には、各インクジェットヘッド100において内部リークが発生していないと判定する。一方、例えば、一部のインクジェットヘッド100の圧力比Rが所定の範囲外であるのに対して、それ以外のインクジェットヘッド100の圧力比Rが所定の範囲内である場合には、その一部のインクジェットヘッド100において内部リークが発生していると判定する。   In this case, for example, the pressure ratio R is calculated for each inkjet head 100 by measuring the pressures P1 and P2 using a plurality of inkjet heads 100, and then the pressure ratio R of each inkjet head 100 is compared. Accordingly, for example, when the pressure ratio R of each inkjet head 100 is within a predetermined range, it is determined that no internal leak has occurred in each inkjet head 100. On the other hand, for example, when the pressure ratio R of some of the inkjet heads 100 is outside the predetermined range, while the pressure ratio R of the other inkjet heads 100 is within the predetermined range, part of it It is determined that the internal leak has occurred in the inkjet head 100.

この場合においても、インクジェットヘッド100(流路L)において内部リークが発生しているか否かは圧力比Rに基づいて容易かつ正確に判定されるため、同様の効果を得ることができる。   In this case as well, the same effect can be obtained because whether or not an internal leak has occurred in the inkjet head 100 (flow path L) is easily and accurately determined based on the pressure ratio R.

[変形例8]
インクジェットヘッド100がサイドシュートタイプである場合に関して説明したが、例えば、そのインクジェットヘッド100はエッジシュートタイプでもよい。エッジシュートタイプのインクジェットヘッド100では、複数のチャネルの延在方向と交差する方向にインク1が噴射されるサイドシュートタイプのインクジェットヘッド100とは異なり、複数のチャネルの延在方向と同様の方向にインク1が噴射される。この場合においても、同様の効果を得ることができる。
[Modification 8]
Although the case where the inkjet head 100 is the side shoot type has been described, for example, the inkjet head 100 may be the edge shoot type. The edge chute type inkjet head 100 is different from the side chute type inkjet head 100 in which the ink 1 is ejected in the direction intersecting the extending direction of the plurality of channels, and in the same direction as the extending direction of the plurality of channels. Ink 1 is ejected. Even in this case, the same effect can be obtained.

以上、一実施形態を挙げながら本開示に関して説明したが、本開示の態様は、上記した一実施形態において説明された態様に限定されない。このため、本開示の態様に関しては、種々の変形が可能である。   Although the present disclosure has been described above with reference to the embodiment, the aspects of the present disclosure are not limited to the aspects described in the above-described embodiment. Therefore, various modifications can be made to the aspects of the present disclosure.

具体的には、液体噴射ヘッドの用途は、上記したように、対象物に液体が噴射されることを要する用途であれば、特に限定されない。よって、液体噴射ヘッドの用途は、上記したプリンタ(インクジェットプリンタ)に限定されず、ファクシミリおよびオンデマンド印刷機などでもよい。   Specifically, the application of the liquid ejecting head is not particularly limited as long as it is an application that requires ejecting a liquid onto an object as described above. Therefore, the application of the liquid ejecting head is not limited to the printer (inkjet printer) described above, and may be a facsimile, an on-demand printing machine, or the like.

なお、本明細書中に記載された効果はあくまで例示であって限定されるものではなく、また、他の効果があってもよい。   It should be noted that the effects described in this specification are merely examples and are not limited, and may have other effects.

また、本開示は、以下のような構成を取ることも可能である。
(1)
第1流路口から第2流路口に向かって流体が流れる流路と、前記第1流路口と前記第2流路口との間において前記流路に設けられると共に前記流路を流れる前記流体の一部を外部に放出する放出口と、を備えた液体噴射ヘッドを用いて、
前記第1流路口を開放すると共に前記第2流路口を閉塞しながら、前記第1流路口から前記流路に所定の流量で前記流体を流すことにより、前記第1流路口から前記放出口に向かって流れる前記流体の圧力である第1圧力を測定し、
前記第1流路口を閉塞すると共に前記第2流路口を開放しながら、前記第2流路口から前記流路に前記所定の流量で前記流体を流すことにより、前記第2流路口から前記放出口に向かって流れる前記流体の圧力である第2圧力を測定し、
前記第1圧力および前記第2圧力に基づいて、圧力比を算出し、
前記圧力比に基づいて、前記第1流路口から前記第2流路口に向かって前記流路を流れる前記流体の漏れの有無を判定する、
液体噴射ヘッドの検査方法。
(2)
前記流体の漏れが発生していない前記液体噴射ヘッドを用いて前記第1圧力および前記第2圧力に基づいて算出される前記圧力比である基準圧力比をあらかじめ取得しておき、
前記流体の漏れの有無を判定する際に、前記圧力比を前記基準圧力比と比較し、
前記圧力比が前記基準圧力比に対して所定の範囲内でない際に、前記流体の漏れが発生していると判定する、
上記した(1)に記載の液体噴射ヘッドの検査方法。
(3)
前記流体の漏れが発生していない前記液体噴射ヘッドを用いて前記流量と前記圧力比との相関関係をあらかじめ取得しておき、
前記基準圧力比を取得する際に、前記流量と前記圧力比との相関関係に基づいて、前記所定の流量に対応する前記圧力比を前記基準圧力比とする、
上記した(2)に記載の液体噴射ヘッドの検査方法。
(4)
さらに、前記第1圧力および前記第2圧力のうちの少なくとも一方に基づいて、前記流体の漏れの有無を判定する、
上記した(1)ないし(3)のいずれかに記載の液体噴射ヘッドの検査方法。
(5)
前記流体の漏れが発生していない前記液体噴射ヘッドを用いて測定される前記第1圧力である第1基準圧力をあらかじめ取得しておき、
前記流体の漏れの有無を判定する際に、前記第1圧力を前記第1基準圧力と比較し、
前記第1圧力が前記第1基準圧力に対して所定の範囲内でない際に、前記流体の漏れが発生していると判定すると共に、
前記流体の漏れが発生していない前記液体噴射ヘッドを用いて測定される前記第2圧力である第2基準圧力をあらかじめ取得しておき、
前記液体の漏れの有無を判定する際に、前記第2圧力を前記第2基準圧力と比較し、
前記第2圧力が前記第2基準圧力に対して所定の範囲内でない際に、前記流体の漏れが発生していると判定する、
上記した(4)に記載の液体噴射ヘッドの検査方法。
(6)
前記流体の漏れが発生していない前記液体噴射ヘッドを用いて前記流量と前記第1圧力との相関関係をあらかじめ取得しておき、
前記第1基準圧力を取得する際に、前記流量と前記第1圧力との相関関係に基づいて、前記所定の流量に対応する前記第1圧力を前記第1基準圧力とすると共に、
前記流体の漏れが発生していない前記液体噴射ヘッドを用いて前記流量と前記第2圧力との相関関係をあらかじめ取得しておき、
前記第2基準圧力を取得する際に、前記流量と前記第2圧力との相関関係に基づいて、前記所定の流量に対応する前記第2圧力を前記第2基準圧力とする、
上記した(5)に記載の液体噴射ヘッドの検査方法。
(7)
前記流体として気体を用いる、
上記した(1)ないし(6)のいずれかに記載の液体噴射ヘッドの検査方法。
Further, the present disclosure can also take the following configurations.
(1)
A flow passage through which a fluid flows from the first flow passage opening toward the second flow passage opening, and one of the fluids that are provided in the flow passage between the first flow passage opening and the second flow passage opening and flow through the flow passage. Using a liquid jet head having a discharge port for discharging the portion to the outside,
By opening the first flow path opening and closing the second flow path opening, the fluid is caused to flow from the first flow path opening to the flow path at a predetermined flow rate, so that the first flow path opening to the discharge opening is performed. Measuring a first pressure, which is the pressure of the fluid flowing toward it,
The first flow path port is closed and the second flow path port is opened, and the fluid is flowed from the second flow path port to the flow path at the predetermined flow rate, whereby the second flow path port releases the discharge port. Measuring a second pressure, which is the pressure of the fluid flowing toward
Calculating a pressure ratio based on the first pressure and the second pressure,
On the basis of the pressure ratio, the presence or absence of leakage of the fluid flowing through the flow path from the first flow path opening to the second flow path opening is determined.
Liquid jet head inspection method.
(2)
A reference pressure ratio, which is the pressure ratio calculated based on the first pressure and the second pressure using the liquid jet head in which the fluid does not leak, is acquired in advance,
Comparing the pressure ratio with the reference pressure ratio when determining the presence or absence of fluid leakage,
When the pressure ratio is not within a predetermined range with respect to the reference pressure ratio, it is determined that the fluid has leaked.
The liquid jet head inspection method according to (1) above.
(3)
The correlation between the flow rate and the pressure ratio is obtained in advance by using the liquid ejecting head in which the fluid does not leak,
When acquiring the reference pressure ratio, based on the correlation between the flow rate and the pressure ratio, the pressure ratio corresponding to the predetermined flow rate is the reference pressure ratio,
The liquid jet head inspection method according to (2) above.
(4)
Furthermore, the presence or absence of leakage of the fluid is determined based on at least one of the first pressure and the second pressure.
The method for inspecting a liquid jet head according to any one of (1) to (3) above.
(5)
A first reference pressure, which is the first pressure measured using the liquid jet head in which the fluid does not leak, is acquired in advance,
Comparing the first pressure with the first reference pressure when determining the presence or absence of fluid leakage;
When the first pressure is not within a predetermined range with respect to the first reference pressure, it is determined that the fluid is leaking,
A second reference pressure, which is the second pressure measured using the liquid jet head in which the fluid does not leak, is acquired in advance,
Comparing the second pressure with the second reference pressure when determining the presence or absence of leakage of the liquid,
When the second pressure is not within a predetermined range with respect to the second reference pressure, it is determined that the fluid is leaking.
The liquid jet head inspection method according to (4) above.
(6)
The correlation between the flow rate and the first pressure is acquired in advance by using the liquid ejecting head in which the fluid does not leak,
When acquiring the first reference pressure, based on the correlation between the flow rate and the first pressure, the first pressure corresponding to the predetermined flow rate as the first reference pressure,
A correlation between the flow rate and the second pressure is acquired in advance using the liquid ejecting head in which the fluid does not leak,
When obtaining the second reference pressure, the second pressure corresponding to the predetermined flow rate is set as the second reference pressure based on the correlation between the flow rate and the second pressure.
The liquid jet head inspection method according to (5) above.
(7)
Using gas as the fluid,
The method for inspecting a liquid jet head according to any one of (1) to (6) above.

1…インク、11H…ノズル孔、40T…導入口、50T…排出口、100…インクジェットヘッド、F…流体、L(L1〜L3)…流路、P1,P2…圧力、P1S,P2S…基準圧力、R…圧力比、RS…基準圧力比。   1 ... Ink, 11H ... Nozzle hole, 40T ... Inlet port, 50T ... Ejection port, 100 ... Inkjet head, F ... Fluid, L (L1 to L3) ... Flow path, P1, P2 ... Pressure, P1S, P2S ... Reference pressure , R ... pressure ratio, RS ... reference pressure ratio.

Claims (7)

第1流路口から第2流路口に向かって流体が流れる流路と、前記第1流路口と前記第2流路口との間において前記流路に設けられると共に前記流路を流れる前記流体の一部を外部に放出する放出口と、を備えた液体噴射ヘッドを用いて、
前記第1流路口を開放すると共に前記第2流路口を閉塞しながら、前記第1流路口から前記流路に所定の流量で前記流体を流すことにより、前記第1流路口から前記放出口に向かって流れる前記流体の圧力である第1圧力を測定し、
前記第1流路口を閉塞すると共に前記第2流路口を開放しながら、前記第2流路口から前記流路に前記所定の流量で前記流体を流すことにより、前記第2流路口から前記放出口に向かって流れる前記流体の圧力である第2圧力を測定し、
前記第1圧力および前記第2圧力に基づいて、圧力比を算出し、
前記圧力比に基づいて、前記第1流路口から前記第2流路口に向かって前記流路を流れる前記流体の漏れの有無を判定する、
液体噴射ヘッドの検査方法。
A flow passage through which a fluid flows from the first flow passage opening to the second flow passage opening, and one of the fluids that are provided in the flow passage between the first flow passage opening and the second flow passage opening and flow through the flow passage. Using a liquid jet head having a discharge port for discharging the portion to the outside,
By opening the first flow path opening and closing the second flow path opening, the fluid is caused to flow from the first flow path opening to the flow path at a predetermined flow rate, so that the first flow path opening to the discharge opening is performed. Measuring a first pressure, which is the pressure of the fluid flowing toward it,
The first flow path port is closed and the second flow path port is opened, and the fluid is flowed from the second flow path port to the flow path at the predetermined flow rate, whereby the second flow path port releases the discharge port. Measuring a second pressure, which is the pressure of the fluid flowing toward
Calculating a pressure ratio based on the first pressure and the second pressure,
On the basis of the pressure ratio, the presence or absence of leakage of the fluid flowing through the flow path from the first flow path opening to the second flow path opening is determined.
Liquid jet head inspection method.
前記流体の漏れが発生していない前記液体噴射ヘッドを用いて前記第1圧力および前記第2圧力に基づいて算出される前記圧力比である基準圧力比をあらかじめ取得しておき、
前記流体の漏れの有無を判定する際に、前記圧力比を前記基準圧力比と比較し、
前記圧力比が前記基準圧力比に対して所定の範囲内でない際に、前記流体の漏れが発生していると判定する、
請求項1記載の液体噴射ヘッドの検査方法。
A reference pressure ratio, which is the pressure ratio calculated based on the first pressure and the second pressure using the liquid ejecting head in which the fluid does not leak, is acquired in advance,
Comparing the pressure ratio with the reference pressure ratio when determining the presence or absence of fluid leakage,
When the pressure ratio is not within a predetermined range with respect to the reference pressure ratio, it is determined that the fluid has leaked.
The method for inspecting a liquid jet head according to claim 1.
前記流体の漏れが発生していない前記液体噴射ヘッドを用いて前記流量と前記圧力比との相関関係をあらかじめ取得しておき、
前記基準圧力比を取得する際に、前記流量と前記圧力比との相関関係に基づいて、前記所定の流量に対応する前記圧力比を前記基準圧力比とする、
請求項2記載の液体噴射ヘッドの検査方法。
The correlation between the flow rate and the pressure ratio is obtained in advance by using the liquid ejecting head in which the fluid does not leak,
When acquiring the reference pressure ratio, based on the correlation between the flow rate and the pressure ratio, the pressure ratio corresponding to the predetermined flow rate is the reference pressure ratio,
The method for inspecting a liquid jet head according to claim 2.
さらに、前記第1圧力および前記第2圧力のうちの少なくとも一方に基づいて、前記流体の漏れの有無を判定する、
請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載の液体噴射ヘッドの検査方法。
Furthermore, the presence or absence of leakage of the fluid is determined based on at least one of the first pressure and the second pressure.
A method for inspecting a liquid ejecting head according to claim 1.
前記流体の漏れが発生していない前記液体噴射ヘッドを用いて測定される前記第1圧力である第1基準圧力をあらかじめ取得しておき、
前記流体の漏れの有無を判定する際に、前記第1圧力を前記第1基準圧力と比較し、
前記第1圧力が前記第1基準圧力に対して所定の範囲内でない際に、前記流体の漏れが発生していると判定すると共に、
前記流体の漏れが発生していない前記液体噴射ヘッドを用いて測定される前記第2圧力である第2基準圧力をあらかじめ取得しておき、
前記液体の漏れの有無を判定する際に、前記第2圧力を前記第2基準圧力と比較し、
前記第2圧力が前記第2基準圧力に対して所定の範囲内でない際に、前記流体の漏れが発生していると判定する、
請求項4記載の液体噴射ヘッドの検査方法。
A first reference pressure, which is the first pressure measured using the liquid jet head in which the fluid does not leak, is acquired in advance,
Comparing the first pressure with the first reference pressure when determining the presence or absence of fluid leakage;
When the first pressure is not within a predetermined range with respect to the first reference pressure, it is determined that the fluid is leaking,
A second reference pressure, which is the second pressure measured using the liquid jet head in which the fluid does not leak, is acquired in advance,
Comparing the second pressure with the second reference pressure when determining the presence or absence of leakage of the liquid,
When the second pressure is not within a predetermined range with respect to the second reference pressure, it is determined that the fluid is leaking.
The liquid jet head inspection method according to claim 4.
前記流体の漏れが発生していない前記液体噴射ヘッドを用いて前記流量と前記第1圧力との相関関係をあらかじめ取得しておき、
前記第1基準圧力を取得する際に、前記流量と前記第1圧力との相関関係に基づいて、前記所定の流量に対応する前記第1圧力を前記第1基準圧力とすると共に、
前記流体の漏れが発生していない前記液体噴射ヘッドを用いて前記流量と前記第2圧力との相関関係をあらかじめ取得しておき、
前記第2基準圧力を取得する際に、前記流量と前記第2圧力との相関関係に基づいて、前記所定の流量に対応する前記第2圧力を前記第2基準圧力とする、
請求項5記載の液体噴射ヘッドの検査方法。
The correlation between the flow rate and the first pressure is acquired in advance by using the liquid ejecting head in which the fluid does not leak,
When acquiring the first reference pressure, based on the correlation between the flow rate and the first pressure, the first pressure corresponding to the predetermined flow rate as the first reference pressure,
A correlation between the flow rate and the second pressure is acquired in advance using the liquid ejecting head in which the fluid does not leak,
When obtaining the second reference pressure, the second pressure corresponding to the predetermined flow rate is set as the second reference pressure based on the correlation between the flow rate and the second pressure.
The method for inspecting a liquid jet head according to claim 5.
前記流体として気体を用いる、
請求項1ないし請求項6のいずれか1項に記載の液体噴射ヘッドの検査方法。
Using gas as the fluid,
The method for inspecting a liquid ejecting head according to claim 1.
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