JP2020071191A - Dispenser - Google Patents
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Abstract
【課題】分注異常検出や分注量推定を高精度に実施するため、ノズル近傍の微小な圧力変化を測定することができる小型の圧力センサを備えた分注装置を提供する。【解決手段】本発明に係る分注装置は、分注する液体の流路の途中に圧力センサを配置し、圧力センサは前記液体を通過させる第1流路を有し、前記第1流路と接する第1面の剛性は第2面の剛性よりも低い。【選択図】図3Kind Code: A1 A dispensing device equipped with a small pressure sensor capable of measuring minute pressure changes in the vicinity of a nozzle is provided in order to detect dispensing errors and estimate a dispensing amount with high accuracy. A dispensing device according to the present invention has a pressure sensor arranged in the middle of a flow path of a liquid to be dispensed, the pressure sensor has a first flow path through which the liquid passes, and the first flow path The rigidity of the first surface in contact with is lower than the rigidity of the second surface. [Selection drawing] Fig. 3
Description
本発明は、液体を吸引または吐出する分注装置に関する。 The present invention relates to a dispensing device that sucks or discharges a liquid.
分注装置は、サンプルまたは試薬などの液体を一定量に取り分ける分注を実施する装置であり、血液分析装置などにおいて採用されている。分注装置は、細長いノズル、ノズルに接続する配管、圧力の供給によりノズル先端から液体分注を可能とするシリンジ、配管内の圧力を測定する圧力センサ、を備える。圧力センサは、配管内の詰まりなどの分注異常を検出するために使われている。これに加えて圧力センサは、液体の吸引時と吐出時との間の圧力変化から、分注量を推定することが望まれている。 The dispensing device is a device for performing dispensing in which a liquid such as a sample or a reagent is divided into a fixed amount, and is used in a blood analyzer and the like. The dispenser includes an elongated nozzle, a pipe connected to the nozzle, a syringe that allows liquid to be dispensed from the nozzle tip by supplying pressure, and a pressure sensor that measures the pressure in the pipe. The pressure sensor is used to detect a dispensing abnormality such as clogging in the pipe. In addition to this, it is desired that the pressure sensor estimate the dispensed amount from the pressure change between when the liquid is sucked and when the liquid is discharged.
分注量の推定に際しては、ノズル近傍の微小な圧力変化を測定するために、ノズル近傍のアーム部に設置可能な小型の圧力センサが必要である。このような小型圧力センサとして、下記特許文献1は、分注装置内の2つの配管(ステンレス材)の間に柔軟性のあるシリコン樹脂チューブを接続し、樹脂チューブの変形を圧電フィルムによって測定し、樹脂チューブの変形から圧力を測定する圧力センサを開示している。
In estimating the dispensed amount, a small pressure sensor that can be installed in the arm portion near the nozzle is necessary to measure a minute pressure change near the nozzle. As such a small-sized pressure sensor, in
下記特許文献2は、配管に接続される上流側接続口と下流側接続口とを有した圧力センサ構造を開示している。特許文献2は、配管の上部にセンサ本体が設置される構造を有しており、上流側接続口から下流側接続口に続く配管の中間部に開口部があり、その開口部をセンサ本体の受圧面で封止している。さらに、開口部に気泡が溜まらないように、配管内の流れの方向を開口部の方向に変えるための突起を有する。
The following
特許文献1のようにチューブの変形を用いて圧力を測定する場合、シリコン樹脂チューブの変形がチューブ円周上全体に分散されるので、圧力の変化に対する圧電フィルム貼り付け部分の変形量が小さくなる。これにより測定感度が低下する。また、チューブの柔軟性により振動などの外乱を受けやすいので、測定ノイズが発生し、測定精度が低下する。さらに、シリコン樹脂チューブとステンレスチューブとの間の接続部分の段差により、気泡発生の恐れがある。
When the pressure is measured by using the deformation of the tube as in
特許文献2のように配管の中間部に突起を形成すると圧力損失や乱流が発生するので、同文献の圧力センサ構造は、微小圧力の測定には不向きである。また、突起部を設けて流路を折り曲げた構造は、センサの小型化に対しても不向きである。
Since the pressure loss and the turbulent flow are generated when the protrusion is formed in the middle portion of the pipe as in
本発明は、上記のような課題に鑑みてなされたものであり、分注異常検出や分注量推定を高精度に実施するため、ノズル近傍の微小な圧力変化を測定することができる小型の圧力センサを備えた分注装置を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above problems, in order to accurately perform dispensing abnormality detection and dispensing amount estimation, it is possible to measure a minute pressure change in the vicinity of the nozzle of a small size. An object of the present invention is to provide a dispensing device equipped with a pressure sensor.
本発明に係る分注装置は、分注する液体の流路の途中に圧力センサを配置し、圧力センサは前記液体を通過させる第1流路を有し、前記第1流路と接する第1面の剛性は第2面の剛性よりも低い。 In the dispensing device according to the present invention, a pressure sensor is arranged in the flow path of the liquid to be dispensed, the pressure sensor has a first flow path that allows the liquid to pass therethrough, and the first sensor is in contact with the first flow path. The rigidity of the surface is lower than the rigidity of the second surface.
本発明に係る分注装置によれば、微小な圧力変化を計測することができ、かつ気泡がたまりにくい小型圧力センサを備えた分注装置を提供することができる。微小な圧力変化を計測できることにより、分注異常検出や分注量推定を高精度に実現することができる。 According to the dispensing device of the present invention, it is possible to provide a dispensing device that can measure a minute pressure change and that includes a small pressure sensor in which bubbles are less likely to accumulate. Since it is possible to measure a minute pressure change, it is possible to highly accurately detect the dispensing abnormality and estimate the dispensing amount.
<実施の形態1>
図1は、本発明の実施形態1に係る分注装置1の基本構成を示す図である。分注装置1の流路系は、ノズル2、シリンジポンプ4、電磁弁5、ギアポンプ6、システム水タンク7を有し、各部品は配管8によって接続されている。シリンジポンプ4は、容器9、プランジャ10、ボールねじ11、駆動モータ12を備える。駆動モータ12は、サンプル分注機構13などを駆動するモータと同様に制御部14によって制御される。アーム16内のノズル2近傍には、小型の圧力センサ15が配置されている。サンプル分注機構13は、アーム16を上下方向に移動し、または水平面内で回転させることにより、ノズル2を所望の位置に移動させる。制御部14は、その機能を実装した回路デバイスなどのハードウェアを用いて構成することもできるし、その機能を実装したソフトウェアを演算装置が事項することにより構成することもできる。
<
FIG. 1 is a diagram showing a basic configuration of a
図2は、液体を吸引した直後の配管8内の状態を示す。配管8内は、シリンジ圧力を伝達するためのシステム水21で満たされており、シリンジポンプ4による圧力変化によってノズル2から液体22を吸引・吐出することができる。ノズル2から液体22を吸引するときは、電磁弁5を閉にした状態で、シリンジポンプ4内のプランジャ10を引く。ノズル2から液体を吐出するときは、電磁弁5を閉にした状態で、シリンジポンプ4内のプランジャ10を容器9に押し込む。
FIG. 2 shows a state in the
サンプルなどの液体22を吸引する場合は、液体22が配管8内の中のシステム水21と混ざらないように、分節空気23を吸引した後で液体22を吸引する。液体22を吐出した後はノズル2を洗浄する。ノズル2を洗浄する際には、ノズル2の外壁に洗浄用の水をあてると同時に、流路内部のシステム水21を押し出す。洗浄工程においてノズル2内のシステム水21を押し出す際には、ギアポンプ6の圧力を利用することにより、シリンジポンプ4で押し出すときよりも高圧でシステム水21が送り出される。
When sucking the
圧力センサ15の配置位置としては、図2が示すように、分注時に吸引した液体22もしくは分節空気23が圧力センサに触れない範囲で、なるべくノズル2に近づけて配置することが望ましい。ノズル2から遠い位置に圧力センサ15を配置すると、ノズル2から圧力センサ15までの配管長が長くなり、周囲温度の変化による配管8の熱膨張の影響を受けるからである。またノズル2から圧力センサ15までの距離が離れると、ポンプの駆動による振動などの外乱影響を受けやすくなるので、ノズル2の微小な圧力変化を測定することが困難になる。したがって圧力センサ15は、できる限りノズル2に近づけることが望ましい。
As shown in FIG. 2, the
具体的には、圧力センサ15は、ノズル2を上下移動させる機構(図1においてはサンプル分注機構13)とアーム16との接点よりもノズル2に近い側に配置することが望ましい。分注装置1がアーム16を備えていない場合であっても、移動機構の可動部分よりもノズル2に近い側に配置することが望ましい。ノズル2からこれ以上離れると、外乱や熱膨張の影響が大きくなるからである。
Specifically, the
図3は、圧力センサ15の構造例を示す図である。図3上段は流路に平行な側断面図である。図3下段は流路に垂直な断面図である。圧力センサ15は、筐体32と歪み測定素子31を備える。本実施例の筐体32の流路に垂直な断面形状は円形になっているが、限定するものではなく四角形などの形状でもよい。筐体32は、同軸穴33とねじ穴34を有する。同軸穴33は配管8の内径と同じ直径と中心を有する。継手37も配管8の内径と同じ直径を有する配管38を有する。継手37は、ねじ穴34に嵌合することができる。ねじ穴34は、継手37をねじ穴34に嵌合したとき、配管38と同軸穴33が直線A上で接続されるように構成されている。これにより、配管38と同軸穴33が配管8と接続され、サンプル流路を形成することができる。
FIG. 3 is a diagram showing a structural example of the
筐体32の外壁の一方側の面36(第1面)には凹部35が設けられている。筐体32は、凹部35を有する部分が他方側の面よりも薄くなっている。したがって凹部35側の面は他方側の面よりも剛性が低い。歪み測定素子31は、面36上に配置されている。システム水21が同軸穴33内を流れることにより内部圧力が変化し、凹部35の面36がたわみ変形する。歪み測定素子31がその歪みを測定することにより、筐体32内の圧力を測定する。歪み測定素子31は、歪みゲージ、歪みセンサチップ、圧電素子などによって構成することができる。
A
図4は、図3下段の領域Bを拡大した図である。図4において、同軸穴33の内面に圧力(図中のP)がかかっている。面36の変位Δdは薄い壁の部分に集中し、壁が厚くなるにつれて徐々に減少する。したがって、歪み測定素子31を歪みがより集中する歪み部分41または歪み部分42に設置することにより、歪みの測定精度が向上する。さらにその歪みから圧力Pを算出することができるので、圧力の測定精度も向上する。
FIG. 4 is an enlarged view of region B in the lower part of FIG. In FIG. 4, pressure (P in the figure) is applied to the inner surface of the
歪み部分41においては歪み測定素子31が収縮する方向に圧力がかかり、歪み部分42においては歪み測定素子31が伸長する方向に圧力がかかる。歪み測定素子31をこれら2つの部位に配置して2つの測定結果を併用することにより、測定精度が向上する。いずれか一方のみを用いることもできる。
In the
圧力センサ15による測定結果を用いて分注異常を検出する方法としては、以下のものが考えられる。正常状態や異常状態など各種分注状態における圧力を基準データとしてあらかじめ制御部14上に保存しておく。分注装置1のオペレーション時において、制御部14は基準データから正常範囲と異常範囲を定め、異常範囲の圧力波形が得られたときに分注異常と判断する。図2に示したように、ノズル2の近傍に圧力センサ15を配置することにより、正常状態と異常状態の圧力差を精度よく判定することができる。
The following methods are conceivable as a method of detecting the dispensing abnormality using the measurement result of the
制御部14が圧力センサ15による測定結果を用いて液体22の分注量を測定する方法としては、以下の2つの方法が考えられる。
The following two methods are conceivable as methods for the
1つ目の方法は、圧力測定値とシステム水21の流量との間の関係をあらかじめ求めておき、圧力から得られたシステム水21の流量を時間積分して液体22の分注量を求めるものである。
In the first method, the relationship between the pressure measurement value and the flow rate of the
図5は、圧力センサ15による測定結果を用いて液体22の分注量を測定する2つ目の方法を説明する図である。図5上段が示すように、2つの圧力センサ15と15’を任意の間隔Lで並べるか、または図5下段が示すように、2つの歪み測定素子31と31’を任意の間隔L’で並べた2つの凹部35と35’を設け、それらの圧力測定値の差によりシステム水21の流量を求める。その後の手順は1つ目の方法と同じである。
FIG. 5: is a figure explaining the 2nd method of measuring the dispensed amount of the liquid 22 using the measurement result by the
2つ目の方法において、圧力測定値の差とシステム水21との間の流量の関係は下記式1で表される。Qはシステム水21の流量、△pは圧力センサ15と15’との間または歪み測定素子31と31’との間の圧力差、fは無次元の摩擦損失係数、Lは圧力センサ15と15’との間または歪み測定素子31と31’との間の距離、ρはシステム水21の密度、Dは同軸穴33の内径(配管8の内径と同じ)である:
Q=(32・Δp)/(f・L・ρ・π2・D4)・・・式1
In the second method, the relationship between the pressure measurement difference and the flow rate between the
Q = (32 · Δp) / (f · L · ρ ·
<実施の形態1:まとめ>
本実施形態1に係る分注装置1は、流路を形成する同軸穴33の歪みを用いて圧力を測定するので、流路の経路上に圧力センサ15を一体化して形成することができる。これにより圧力センサ15を小型化し、ノズル2近傍に配置することができる。したがってノズル2近傍の微小な圧力変化を測定できるので、ノズル詰まりや空吸いなどの異常を精度よく検出するとともに、分注量を精度よく測定することができる。
<Embodiment 1: Summary>
Since the
<実施の形態2>
図6は、本発明の実施形態2に係る分注装置1が備える圧力センサ15の構造例を示す図である。図6上段は流路と平行な側断面図である。図6下段は流路に垂直な断面図である。
<Second Embodiment>
FIG. 6 is a diagram showing a structural example of the
本実施形態2において、圧力センサ15は実施形態1と同様に、筐体32と歪み測定素子31を備える。継手37は、配管38を直線C上に接続するために用いられる。ただし本実施形態2において、同軸穴33は筐体32の中心から筐体32の外表面に向かって距離Sだけオフセットしている。これにより歪み測定素子31を配置する側の面が薄くなるので、凹部35を設ける必要はない。
In the second embodiment, the
同軸穴33がオフセットしているので、継手37も同軸穴33と連通する位置までオフセットした穴66を備える。継手37を穴64に嵌合することにより、穴66と同軸穴33が連通するように構成されている。穴64は、継手37を押し込むことによって接続することができるように構成することが望ましいが、実施形態1のねじ穴34を用いることもできる。
Since the
図7は、図6下段の領域Dを拡大した図である。図7において、同軸穴33の内面に圧力Pがかかっている。筐体32の変位Δdは壁が薄い部分に集中し、壁が厚くなるにつれて徐々に減少する。したがって、歪み測定素子31を歪みがより集中している歪み部分71に設置することにより、歪みの測定効率が向上し、高感度で圧力を測定することができる。
FIG. 7 is an enlarged view of the area D in the lower part of FIG. In FIG. 7, pressure P is applied to the inner surface of the
<実施の形態2:まとめ>
本実施形態2に係る分注装置1は、実施形態1と同様に小型の圧力センサ15をノズル2近傍に配置することにより、ノズル2近傍の微小な圧力変化を測定できる。また本実施形態2においては凹部35が必要ないので、筐体32を加工する工程が簡易化される利点がある。他方で同軸穴33を形成する際に加工精度が必要であるので、求められる仕様などに応じて実施形態1と2を適宜選択すればよい。
<Second Embodiment: Summary>
The
<実施の形態3>
図8は、本発明の実施形態3に係る分注装置1が備える圧力センサ15の構造例を示す図である。図8上段は流路に平行な側断面図である。図8下段は流路に垂直な断面図である。本実施形態3における圧力センサ15は筐体32と歪み測定部803を備える。歪み測定部803は歪みセンサチップであり、流路の外壁の一部として使用されている(システム水21と直接接触する)。
<Third Embodiment>
FIG. 8: is a figure which shows the constructional example of the
筐体32は、歪み測定部803(第1部材)、ベース804(第2部材)、キャップ805を配置する凹部806を備える。凹部806は、筐体32の流路814を紙面の上下方向に縦断して形成される。歪み測定部803、ベース804、キャップ805によって構成されるユニットをセンサアセンブリ802と呼ぶ。筐体32は、センサアセンブリ802をクランプ用継手807でクランプしてシールするための、位置決め穴808とクランプ用ねじ穴809を有している。
The
筐体32は、配管接続用継手811を接続するねじ穴812を有する。配管接続用継手811は、流路814と同軸穴33を接続するための部材である。筐体32はさらに、クランプ側から配管8を接続するため、クランプ用継手807を介して配管接続用継手811’を接続するクランプ用継手ねじ穴813を有する。
The
センサアセンブリ802、クランプ用継手807、配管接続用継手811を用いることにより、流路814/配管8/同軸穴33を、段差なく同軸上に形成することができる。センサアセンブリ802のクランプによるシーリングを実現するため、ゴム、ガスケットなどのシーリング材を挟んでもよい。
By using the
歪み測定素子31は、歪み測定部803のもっとも薄い面に組み込まれ、この面の変形を測定する。歪み測定素子31は歪みによって抵抗が変化するので、歪み測定素子31の抵抗変化により圧力を算出することができる。
The
信号パッド815は、歪み測定部803上に配置され、歪み測定素子31と電気的に接続されている。ワイヤ816を介して、基板818上の端子817と信号パッド815を接続する。端子817と信号パッド815を介して、歪み測定素子31による測定結果を取得することができる。
The
配管内のシステム水21の圧力変化を受けて歪み測定部803がたわむことにより歪み測定素子31の抵抗が変化する。この抵抗と圧力との間の対応関係をあらかじめデータテーブルとして記録しておくことにより、圧力を測定できる。例えば、圧力と抵抗値の関係を定式化して、測定した抵抗値を圧力に変換してもよい。歪み測定素子31の抵抗変化の求め方としては、例えばホイートストンブリッジの4つの抵抗のうち1つを歪み測定素子31に置き換え、ホイートストンブリッジの出力から抵抗変化を求めることができる。
The
歪み測定部803とベース804は、配管8の内径と同じ同軸穴33が同軸上に形成されるように、図8下段が示すように同軸穴33を上下から挟む形状に形成されている。これにより、流路814と配管8との間の接続部分に段差を生じないので、圧力損失や気泡の巻き込みを防止できる。
The
歪み測定部803は、ステンレススティール、シリコン、ガラスなどのヤング率の高い材料で作ることができる。ベース804とキャップ805は、より剛性が高いステンレススティール、シリコン、アルミニウム、パイレックスガラスなどで作ることができる。歪み測定素子31を配置する部分を薄くするため、歪み測定部803をベース804よりも薄く形成してもよい。
The
歪み測定部803とベース804を接合する方法としては、パーツの材質により好ましいものを選定する。シリコンとパイレックスガラスの場合は、陽極接合が好ましい。金属同士または金属とシリコンを接合している場合、メタル接合または半田等のロウ付けが好ましい。半田づけの場合は半田の濡れ性を向上するための薄膜形成が必要である。例えばアルミニウムとシリコンを基材とする場合、チタン/白金/金の3層構成の薄膜をアルミニウムとシリコンの表面にそれぞれスパッタで形成することで接合できる。歪み測定部803とベース804は接着剤によって接合してもよい。
As a method of joining the
キャップ805と歪み測定部803との間には空隙が形成されている。例えばポンプの故障などによって流路に高い圧力がかかった場合であっても、歪み測定部803の歪みは空隙部分を上限として抑制される。これにより歪み測定部803が破壊することを防止できる。
A gap is formed between the
1:分注装置
2:ノズル
4:シリンジポンプ
5:電磁弁
6:ギアポンプ
7:システム水タンク
8:配管
9:容器
10:プランジャ
11:ボールねじ
12:駆動モータ
13:サンプル分注機構
14:制御部
15:圧力センサ
16:アーム
21:システム水
22:液体
23:分節空気
31、31’:歪み測定素子
32:筐体
33:同軸穴
34:ねじ穴
35、35’:凹部
41、42、71:歪み部分
803:歪み測定部
804:ベース
805:キャップ
1: Dispensing device 2: Nozzle 4: Syringe pump 5: Solenoid valve 6: Gear pump 7: System water tank 8: Piping 9: Container 10: Plunger 11: Ball screw 12: Drive motor 13: Sample dispensing mechanism 14: Control Part 15: Pressure sensor 16: Arm 21: System water 22: Liquid 23:
Claims (12)
前記液体を吸引または吐出するノズル、
前記液体の圧力を測定する圧力センサ、
を備え、
前記圧力センサは、前記液体を通過させる第1流路を有し、
前記圧力センサは、前記第1流路と接する第1および第2面を有し、
前記第1面の剛性は、前記第2面の剛性よりも小さく、
前記圧力センサは、前記第1面の歪みに基づき前記圧力を測定する第1測定素子を有しており、
前記分注装置はさらに、前記第1流路と前記ノズルを接続することにより前記液体を前記第1流路から前記ノズルまで通過させる、センサ−ノズル間流路を備える
ことを特徴とする分注装置。 A dispensing device for dispensing a liquid,
A nozzle for sucking or discharging the liquid,
A pressure sensor for measuring the pressure of the liquid,
Equipped with
The pressure sensor has a first flow path through which the liquid passes,
The pressure sensor has first and second surfaces in contact with the first flow path,
The rigidity of the first surface is smaller than the rigidity of the second surface,
The pressure sensor has a first measuring element that measures the pressure based on the strain of the first surface,
The dispensing device further includes a sensor-nozzle flow passage, which connects the first flow passage and the nozzle to allow the liquid to pass from the first flow passage to the nozzle. apparatus.
ことを特徴とする請求項1記載の分注装置。 The dispensing device according to claim 1, wherein the first surface is configured to be thinner than the second surface, so that the rigidity of the first surface is smaller than the rigidity of the second surface.
前記第1面は凹部を有し、
前記凹部における前記第1面の厚さは、前記第2面の厚さよりも薄い
ことを特徴とする請求項2記載の分注装置。 The first flow path is formed so as to penetrate the pressure sensor,
The first surface has a recess,
The dispensing device according to claim 2, wherein the thickness of the first surface of the recess is smaller than the thickness of the second surface.
前記アームの内部には、前記液体を通過させる第2流路が形成されており、
前記圧力センサは、前記第1流路と前記第2流路が連通するように、前記アームの内部に配置されている
ことを特徴とする請求項1記載の分注装置。 The dispensing device includes an arm that holds the nozzle, and a drive unit that moves the nozzle by moving the arm,
A second flow path is formed inside the arm for passing the liquid,
The said pressure sensor is arrange | positioned inside the said arm so that the said 1st flow path and the said 2nd flow path may connect. The dispensing apparatus of Claim 1 characterized by the above-mentioned.
前記圧力センサは、前記ノズルの一部として形成されている
ことを特徴とする請求項1記載の分注装置。 The dispensing device includes the nozzle,
The dispensing device according to claim 1, wherein the pressure sensor is formed as a part of the nozzle.
前記圧力センサは、前記配管部材を嵌合させる嵌合穴を有し、
前記配管部材が前記嵌合穴に対して嵌合することにより、前記第1流路と前記第3流路が連通するように配置されている
ことを特徴とする請求項1記載の分注装置。 The dispensing device includes a piping member having a third flow path through which the liquid passes,
The pressure sensor has a fitting hole for fitting the piping member,
The pipetting device is arranged so that the first flow path and the third flow path communicate with each other by fitting the piping member into the fitting hole. ..
前記分注装置はさらに、前記液体の体積を求める演算部を備え、
前記演算部は、前記第1および第2測定素子による測定結果の差分により前記液体の流量を求めるとともに、前記流量を時間積分することにより、前記ノズルが吸引しまたは前記ノズルから吐出された前記液体の体積を求める
ことを特徴とする請求項1記載の分注装置。 The pressure sensor further includes a second measuring element that measures the pressure based on the strain of the first surface,
The dispensing device further comprises a computing unit for determining the volume of the liquid,
The calculation unit obtains the flow rate of the liquid by the difference between the measurement results of the first and second measurement elements, and integrates the flow rate over time, so that the liquid sucked by the nozzle or discharged from the nozzle. The dispensing device according to claim 1, wherein the volume of
ことを特徴とする請求項5記載の分注装置。 The first flow path is arranged at a position offset from a central axis of the pressure sensor toward the first surface along a direction in which the first flow path extends. Dispenser.
前記第1部材の厚さは、前記第2部材の厚さよりも薄く、
前記第1測定素子は、前記第1部材に埋め込まれている
ことを特徴とする請求項1記載の分注装置。 The pressure sensor has a first member and a second member that sandwich the first flow path,
The thickness of the first member is thinner than the thickness of the second member,
The dispensing device according to claim 1, wherein the first measuring element is embedded in the first member.
ことを特徴とする請求項9記載の分注装置。 The dispensing device according to claim 9, wherein the pressure sensor includes a cap that covers the surface of the first member to reinforce the rigidity of the first member.
ことを特徴とする請求項10記載の分注装置。 The dispensing device according to claim 10, wherein a gap portion is formed between the first member and a facing surface of the cap facing the first member.
前記圧力センサは、前記ノズルと前記駆動機構との間において前記液体が通過する経路上に配置されている
ことを特徴とする請求項1記載の分注装置。 The dispensing device further includes a drive mechanism for moving the nozzle in the vertical direction,
The dispenser according to claim 1, wherein the pressure sensor is arranged on a path through which the liquid passes between the nozzle and the drive mechanism.
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| JP2018207210A JP2020071191A (en) | 2018-11-02 | 2018-11-02 | Dispenser |
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2018
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