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JP2020068182A - Emergency stop equipment - Google Patents

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JP2020068182A
JP2020068182A JP2018202020A JP2018202020A JP2020068182A JP 2020068182 A JP2020068182 A JP 2020068182A JP 2018202020 A JP2018202020 A JP 2018202020A JP 2018202020 A JP2018202020 A JP 2018202020A JP 2020068182 A JP2020068182 A JP 2020068182A
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晃司 安川
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Abstract

【課題】カバーの有無によらず、作業者がボタンを誤操作する可能性を低減できる緊急停止用機器を提供する。【解決手段】緊急停止用機器１はボタン２と近接センサ３と警告部とを備える。ボタン２は、作業者によって操作される操作部２１を有する。近接センサ３は操作部２１の頭頂面に設けられており、作業者の近接を検出する。警告部は近接センサ３による作業者の近接の検出に応答して、作業者に対して警告を行う。【選択図】図１PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an emergency stop device capable of reducing the possibility that an operator may erroneously operate a button regardless of the presence or absence of a cover. An emergency stop device 1 includes a button 2, a proximity sensor 3, and a warning unit. The button 2 has an operation unit 21 operated by an operator. The proximity sensor 3 is provided on the parietal surface of the operation unit 21 and detects the proximity of the worker. The warning unit gives a warning to the worker in response to the detection of the worker's proximity by the proximity sensor 3. [Selection diagram] Figure 1

Description

この発明は、緊急停止用機器に関する。   The present invention relates to an emergency stop device.

半導体製造工場内（例えばクリーンルーム内）には、半導体製造装置が設置される。この半導体製造装置には、種々の機械駆動部（例えばモータによって駆動される負荷など）が設けられている。このような機械駆動部の動作中に作業者が近づくことは、安全上の観点から望ましくない。   A semiconductor manufacturing apparatus is installed in a semiconductor manufacturing factory (for example, in a clean room). This semiconductor manufacturing apparatus is provided with various mechanical drive units (for example, a load driven by a motor). It is not desirable from the viewpoint of safety that an operator approaches during the operation of the mechanical drive unit.

そこで半導体製造装置には、緊急停止用の押しボタンが設けられることがある。例えばある作業者が動作中の機械駆動部に近づいたときに、別の作業者がこの押しボタンを操作することにより、当該機械駆動部の動作を停止させる。これにより、作業者の安全を確保できる。   Therefore, a semiconductor manufacturing apparatus may be provided with a push button for emergency stop. For example, when a worker approaches the machine drive unit in operation, another worker operates the push button to stop the operation of the machine drive unit. Thereby, the safety of the worker can be secured.

なお本願に関連する技術として特許文献１を挙げる。   Patent Document 1 is given as a technique related to the present application.

特開２００５−２８０９０４号公報JP, 2005-280904, A

作業者が作業に没頭して、緊急停止用の押しボタンの存在に気付かない場合がある。この場合、作業者は意図せずにその押しボタンを押してしまうことがある。あるいは、作業者が部品を運搬している最中に、押しボタンの存在に気付かずにその押しボタンを押してしまうこともあり得る。このような押しボタンの誤操作は好ましくない。そこで、押しボタンへの誤操作を抑制すべく、押しボタンを覆うカバーを設けることが考えられる。   The worker may be absorbed in the work and may not notice the existence of the push button for the emergency stop. In this case, the operator may unintentionally press the push button. Alternatively, an operator may push the push button while not being aware of the presence of the push button while the component is being transported. Such an erroneous operation of the push button is not preferable. Therefore, it is conceivable to provide a cover for covering the push button in order to suppress an erroneous operation on the push button.

しかしながら、このようなカバーを設けると、作業者が緊急時に押しボタンを操作しにくくなる。電気設備安全規格IEC60204-1においては、「非常停止用機器は容易にアクセスできるように配置しなければならない」と規定されており、上記カバーはこの規定を満足しない。   However, providing such a cover makes it difficult for the operator to operate the push button in an emergency. In the electrical equipment safety standard IEC60204-1, it is stipulated that "emergency stop devices must be arranged so that they can be easily accessed", and the above cover does not satisfy this stipulation.

そこで、本願は、カバーの有無によらず、作業者がボタンを誤操作する可能性を低減できる緊急停止用機器を提供することを目的とする。   Therefore, an object of the present application is to provide an emergency stop device that can reduce the possibility of an operator erroneously operating a button regardless of the presence or absence of a cover.

緊急停止用機器の第１の態様は、緊急停止用機器であって、作業者によって操作される操作部を有するボタンと、前記操作部の頭頂面に設けられており、作業者の近接を検出する近接センサと、前記近接センサによる作業者の近接の検出に応答して、作業者に対して警告を行う警告部とを備える。   A first aspect of the emergency stop device is an emergency stop device, which is provided on a button having an operation unit operated by an operator and on the top surface of the operation unit, and detects the proximity of the operator. And a warning unit that warns the worker in response to the detection of the proximity of the worker by the proximity sensor.

緊急停止用機器の第２の態様は、第１の態様にかかる緊急停止用機器であって、前記近接センサは前記操作部の前記頭頂面の中心を含む領域に設けられる。   A second aspect of the emergency stop device is the emergency stop device according to the first aspect, wherein the proximity sensor is provided in a region including a center of the crown surface of the operation unit.

緊急停止用機器の第３の態様は、第１または第２の態様にかかる緊急停止用機器であって、前記近接センサの検出範囲を設定する入力部をさらに備える。   A third aspect of the emergency stop device is the emergency stop device according to the first or second aspect, further including an input unit that sets a detection range of the proximity sensor.

緊急停止用機器の第４の態様は、第３の態様にかかる緊急停止用機器であって、前記入力部は前記操作部の側面に設けられている。   A fourth aspect of the emergency stop device is the emergency stop device according to the third aspect, and the input unit is provided on a side surface of the operation unit.

緊急停止用機器の第５の態様は、第１から第４のいずれか一つの態様にかかる緊急停止用機器であって、前記警告部は前記操作部の内部に設けられている。   A fifth aspect of the emergency stop device is the emergency stop device according to any one of the first to fourth aspects, and the warning unit is provided inside the operation unit.

緊急停止用機器の第６の態様は、第５の態様にかかる緊急停止用機器であって、前記警告部は警告音を出力し、前記操作部には、前記警告部と向かい合う領域に貫通孔が形成されている。   A sixth aspect of the emergency stop device is the emergency stop device according to the fifth aspect, wherein the warning unit outputs a warning sound, and the operation unit has a through hole in a region facing the warning unit. Are formed.

緊急停止用機器の第７の態様は、第６の態様にかかる緊急停止用機器であって、前記貫通孔は複数の貫通孔を含み、前記複数の貫通孔の一つを取り囲むように、残りの貫通孔が形成されている。   A seventh aspect of the emergency stop device is the emergency stop device according to the sixth aspect, wherein the through hole includes a plurality of through holes, and the remaining parts are provided so as to surround one of the plurality of through holes. Through holes are formed.

緊急停止用機器の第８の態様は、第１から第７のいずれか一つの態様にかかる緊急停止用機器であって、前記近接センサは、対象物までの距離を測定し、前記警告部は、前記距離が第１値であるときに、前記距離が、前記第１値よりも大きい第２値であるときの警告レベルよりも高い警告レベルで警告を行う。   An eighth aspect of the emergency stop device is the emergency stop device according to any one of the first to seventh aspects, wherein the proximity sensor measures a distance to an object, and the warning unit is When the distance is the first value, the warning is issued at a warning level higher than the warning level when the distance is the second value larger than the first value.

緊急停止用機器の第９の態様は、第１から第８のいずれか一つの態様にかかる緊急停止用機器であって、前記近接センサは、超音波を送波する距離センサを含む。   A ninth aspect of the emergency stop device is the emergency stop device according to any one of the first to eighth aspects, and the proximity sensor includes a distance sensor that transmits an ultrasonic wave.

緊急停止用機器の第１の態様によれば、作業者がボタンに近づくと、警告部によって警告が行われる。よって、作業者がボタンを誤操作する可能性を低減できる。しかも、ボタンにカバーを設ける必要がない。   According to the first aspect of the emergency stop device, when the worker approaches the button, the warning is issued by the warning unit. Therefore, it is possible to reduce the possibility that the operator operates the button by mistake. Moreover, it is not necessary to provide a cover on the button.

緊急停止用機器の第２の態様によれば、頭頂面の中心を含む領域への近接はボタンの誤操作を生じやすいところ、当該領域に近づく作業者を、より適切に検出できる。   According to the second aspect of the emergency stop device, proximity to the area including the center of the crown surface is apt to cause an erroneous button operation, but an operator approaching the area can be detected more appropriately.

緊急停止用機器の第３の態様によれば、設置環境に応じた検出範囲を設定できる。   According to the third aspect of the emergency stop device, the detection range can be set according to the installation environment.

緊急停止用機器の第４の態様によれば、操作部の側面は作業者によって触れられにくい。よって、通常使用時に、作業者が誤って入力部に対して入力を行う可能性を低減できる。   According to the fourth aspect of the emergency stop device, the side surface of the operation unit is hard to be touched by the operator. Therefore, it is possible to reduce the possibility that the operator erroneously makes an input to the input unit during normal use.

緊急停止用機器の第５の態様によれば、作業者は押しボタンの位置をより速やかに認識できる。また警告部が操作部によって保護されるので、警告部の信頼性を向上できる。   According to the fifth aspect of the emergency stop device, the operator can more quickly recognize the position of the push button. Further, since the warning section is protected by the operation section, the reliability of the warning section can be improved.

緊急停止用機器の第６の態様によれば、警告音をより効果的に外部に出力することができる。   According to the sixth aspect of the emergency stop device, the warning sound can be more effectively output to the outside.

緊急停止用機器の第７の態様によれば、警告音を効果的に広げて伝搬させることができる。   According to the seventh aspect of the emergency stop device, the warning sound can be effectively spread and propagated.

緊急停止用機器の第８の態様によれば、作業者がボタンに近づくと、高い警告レベルで警告が行われる。よって、作業者がボタンを誤操作する可能性をより低減できる。   According to the eighth aspect of the emergency stop device, when the worker approaches the button, the warning is issued at a high warning level. Therefore, it is possible to further reduce the possibility that the operator operates the button by mistake.

緊急停止用機器の第９の態様によれば、半導体製造装置に適している。なぜなら、半導体製造装置内では、電磁波を用いた各種センサが用いられているものの、超音波は電磁波と干渉せず、互いの測定精度を低減させないからである。   According to the ninth aspect of the emergency stop device, it is suitable for a semiconductor manufacturing apparatus. This is because, although various sensors using electromagnetic waves are used in the semiconductor manufacturing apparatus, ultrasonic waves do not interfere with the electromagnetic waves and do not reduce mutual measurement accuracy.

緊急停止用機器の外観の一例を概略的に示す斜視図である。It is a perspective view which shows schematically an example of the external appearance of an emergency stop apparatus. 緊急停止用機器の電気的な構成の一例を概略的に示す機能ブロック図である。It is a functional block diagram which shows roughly an example of the electric constitution of the apparatus for emergency stop. 半導体製造工場内の様子の一例を概略的に示す図である。It is a figure which shows schematically an example of the inside of a semiconductor manufacturing factory. 緊急停止用機器の動作の一例を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows an example of operation | movement of the apparatus for emergency stop. 緊急停止用機器の外観の一例を概略的に示す図である。It is a figure which shows roughly an example of the external appearance of the apparatus for emergency stop. 緊急停止用機器の動作の一例を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows an example of operation | movement of the apparatus for emergency stop.

以下、添付される図面を参照しながら実施の形態について説明する。なお、図面は概略的に示されており、説明の便宜のため、適宜、構成の省略、または、構成の簡略化がなされ得る。また、図面にそれぞれ示される構成などの大きさおよび位置の相互関係は必ずしも正確に記載されるものではなく、適宜変更され得るものである。   Hereinafter, embodiments will be described with reference to the accompanying drawings. Note that the drawings are schematically illustrated, and for convenience of description, the configuration may be omitted or the configuration may be simplified as appropriate. Further, the mutual relationship between the sizes and the positions of the configurations and the like shown in the drawings is not always exactly described, and may be changed appropriately.

また、以下に示される説明では、同様の構成要素には同じ符号を付して図示し、それらの名称と機能とについても同様のものとする。したがって、それらについての詳細な説明を、重複を避けるために省略する場合がある。   Moreover, in the following description, the same components are denoted by the same reference numerals and illustrated, and their names and functions are also the same. Therefore, detailed descriptions thereof may be omitted to avoid duplication.

＜１．緊急停止用機器＞
図１は、緊急停止用機器１の外観の一例を概略的に示す斜視図である。図２は、緊急停止用機器１の電気的な構成の一例を概略的に示す機能ブロック図である。 <1. Emergency stop device>
FIG. 1 is a perspective view schematically showing an example of the external appearance of the emergency stop device 1. FIG. 2 is a functional block diagram schematically showing an example of the electrical configuration of the emergency stop device 1.

この緊急停止用機器１は所定の機械装置（例えば図３の半導体製造装置１０）に取り付けられる。この機械装置は、例えばモータ等によって駆動される機械駆動部を含む。動作中の機械駆動部に作業者が接触することは安全上の観点から望ましくない。   The emergency stop device 1 is attached to a predetermined mechanical device (for example, the semiconductor manufacturing device 10 in FIG. 3). This mechanical device includes a mechanical drive unit that is driven by, for example, a motor. From a safety point of view, it is not desirable for a worker to come into contact with the mechanical drive unit during operation.

例えば半導体製造装置１０は、半導体用の基板に処理液を吐出して、その処理液に応じた処理を基板に対して行う基板処理装置と、その基板処理装置へと処理液を供給する処理液供給装置とを含んでいる。基板処理装置は、例えば、基板を保持しつつ水平面内で高速に回転させるスピンチャックと、基板に処理液を吐出するノズルとを備えている。基板を回転させつつ処理液を基板の上面に供給することで、基板の上面に着液した処理液が基板の回転に伴う遠心力を受けて広がる。これにより、基板の全面に処理液を作用させることができる。よって、処理液に応じた処理を基板に対して行うことができる。   For example, the semiconductor manufacturing apparatus 10 includes a substrate processing apparatus that discharges a processing solution onto a semiconductor substrate and performs processing according to the processing solution on the substrate, and a processing solution that supplies the processing solution to the substrate processing apparatus. And a feeding device. The substrate processing apparatus includes, for example, a spin chuck that holds a substrate and rotates at high speed in a horizontal plane, and a nozzle that discharges a processing liquid onto the substrate. By supplying the processing liquid to the upper surface of the substrate while rotating the substrate, the processing liquid that has landed on the upper surface of the substrate is subjected to centrifugal force due to the rotation of the substrate to spread. This allows the treatment liquid to act on the entire surface of the substrate. Therefore, it is possible to perform the processing according to the processing liquid on the substrate.

このような基板処理装置において、例えば、回転中のスピンチャックに作業者が接触することは危険である。また、処理液の種類によっては、作業者がその処理液に触れることが望ましくない場合もある。この場合、作業者は基板に近づくことは望ましくない。   In such a substrate processing apparatus, for example, it is dangerous for an operator to come into contact with a rotating spin chuck. Further, depending on the type of treatment liquid, it may not be desirable for the operator to touch the treatment liquid. In this case, it is not desirable for the operator to approach the substrate.

緊急停止用機器１は、作業者からの操作に応じて、機械装置（例えば半導体製造装置１０）の動作を停止させることができる。この緊急停止用機器１は、基板処理装置の動作を停止させてもよく、処理液供給装置の動作を停止させてもよい。あるいは、緊急停止用機器１はその両方の動作を停止させてもよい。要するに、緊急停止用機器１は機械装置の全体を停止させてもよく、その一部のみを停止させてもよい。例えばＳｅｍｉ（Semiconductor Equipment and Materials International）規格において、緊急停止用機器１はＥＭＯ（Emergency off）であってもよく、ＥＭＳ（Emergency stop）であってもよい。以下では、一例として、緊急停止用機器１は基板処理装置および処理液供給装置の両方の動作を停止させて、半導体製造装置１０の動作を停止させるものとする。   The emergency stop device 1 can stop the operation of the mechanical device (for example, the semiconductor manufacturing apparatus 10) according to the operation by the operator. The emergency stop device 1 may stop the operation of the substrate processing apparatus or the processing liquid supply apparatus. Alternatively, the emergency stop device 1 may stop both operations. In short, the emergency stop device 1 may stop the entire mechanical device or only a part thereof. For example, in the Semi (Semiconductor Equipment and Materials International) standard, the emergency stop device 1 may be EMO (Emergency off) or EMS (Emergency stop). In the following, as an example, the emergency stop device 1 stops the operations of both the substrate processing apparatus and the processing liquid supply apparatus, and stops the operation of the semiconductor manufacturing apparatus 10.

図１および図２に例示するように、緊急停止用機器１は押しボタン２と近接センサ３と警告部４と制御部５とを含んでいる。   As illustrated in FIGS. 1 and 2, the emergency stop device 1 includes a push button 2, a proximity sensor 3, a warning unit 4, and a control unit 5.

＜１−１．押しボタン＞
押しボタン２は、緊急停止用の操作ボタンである。作業者が押しボタン２を押すことにより、緊急停止用機器１は機械装置の動作を停止させる。以下では、緊急停止用機器１の説明のために、Ｘ軸を導入する。Ｘ軸は、押しボタン２の押し込み方向に沿う軸である。また以下では、押し込み側を＋Ｘ側と呼び、その反対側を−Ｘ側とも呼ぶ。 <1-1. Push button>
The push button 2 is an operation button for emergency stop. When the worker presses the push button 2, the emergency stop device 1 stops the operation of the mechanical device. In the following, the X axis is introduced for the purpose of explaining the emergency stop device 1. The X axis is an axis along the pushing direction of the push button 2. Further, hereinafter, the pushing side is referred to as + X side, and the opposite side is also referred to as -X side.

図１に例示するように、押しボタン２は操作部２１と支持部２２とを含んでいる。操作部２１は、作業員によって押される部分である。この操作部２１は、緊急停止という観点から、目立つことが望ましく、赤色に形成されていることが望ましい。よって、操作部２１は、赤の顔料が混入された材料によって形成されるとよい。   As illustrated in FIG. 1, the push button 2 includes an operation portion 21 and a support portion 22. The operation unit 21 is a portion pushed by a worker. From the viewpoint of an emergency stop, the operating portion 21 is preferably conspicuous and is preferably formed in red. Therefore, the operation unit 21 may be formed of a material in which the red pigment is mixed.

操作部２１は例えば頭部２１１と側壁部２１２とを含んでいる。頭部２１１は平面視において（つまりＸ軸方向に沿って見て）、例えば円形形状を有している。側壁部２１２は例えば頭部２１１の周縁に立設される。つまりここでは、操作部２１は、頭部２１１を底とした有底の略円筒形状を有している。操作部２１は、円筒形状の中心軸がＸ軸方向に沿う姿勢で配置される。例えば操作部２１の内部には、後に詳述する警告部４および制御部５が収納される。   The operation unit 21 includes, for example, a head portion 211 and a side wall portion 212. The head 211 has, for example, a circular shape in a plan view (that is, viewed along the X-axis direction). The side wall part 212 is provided upright on the periphery of the head part 211, for example. That is, here, the operation unit 21 has a substantially cylindrical shape with a bottom having the head 211 as a bottom. The operation unit 21 is arranged such that the central axis of the cylindrical shape is along the X-axis direction. For example, inside the operation unit 21, a warning unit 4 and a control unit 5 which will be described in detail later are housed.

支持部２２は操作部２１をＸ軸方向に移動可能に支持している。例えば支持部２２は、Ｘ軸方向を軸とした略円筒状の形状を有している。例えば、支持部２２の内径は操作部２１の側壁部２１２の外径よりも広く、支持部２２の−Ｘ側の一部は側壁部２１２の＋Ｘ側の一部と重なっている。言い換えれば、操作部２１の＋Ｘ側の一部が支持部２２の内部に挿入されている。   The support portion 22 supports the operation portion 21 so as to be movable in the X-axis direction. For example, the support portion 22 has a substantially cylindrical shape whose axis is in the X-axis direction. For example, the inner diameter of the support portion 22 is wider than the outer diameter of the side wall portion 212 of the operation portion 21, and a part of the −X side of the support portion 22 overlaps a part of the + X side of the side wall portion 212. In other words, a part of the operation unit 21 on the + X side is inserted into the support unit 22.

支持部２２の内部には、操作部２１のＸ軸方向における位置に応じて開閉する接点（不図示）が設けられている。当該接点は、例えば、作業者が押しボタン２を押していない状態で閉じる、いわゆるｂ接点である。この場合、接点は、操作部２１が初期位置に位置する状態で閉じており、操作部２１が初期位置から＋Ｘ側に移動して接点位置に到達することにより、開く。   Inside the support portion 22, a contact (not shown) that opens and closes according to the position of the operation portion 21 in the X-axis direction is provided. The contact is, for example, a so-called b contact that is closed when the operator does not press the push button 2. In this case, the contact is closed when the operation unit 21 is located at the initial position, and is opened when the operation unit 21 moves from the initial position to the + X side and reaches the contact position.

より具体的には、支持部２２の内部には、操作部２１に連結された可動導体（不図示）と、支持部２２に連結された固定導体（不図示）とが設けられている。これら可動導体および固定導体が接点を構成する。可動導体および固定導体はＸ軸方向において向かい合って設けられる。可動導体は固定導体に対して＋Ｘ側に位置している。可動導体および固定導体は操作部２１が初期位置に位置する状態において、互いに接触している。つまり、初期的には接点は閉じている。作業者が操作部２１を＋Ｘ側に押し込むと、この操作部２１に連結された可動導体が＋Ｘ側に移動し、固定導体から離れる。つまり、接点が開く。   More specifically, inside the support portion 22, a movable conductor (not shown) connected to the operation portion 21 and a fixed conductor (not shown) connected to the support portion 22 are provided. The movable conductor and the fixed conductor form a contact. The movable conductor and the fixed conductor are provided to face each other in the X-axis direction. The movable conductor is located on the + X side with respect to the fixed conductor. The movable conductor and the fixed conductor are in contact with each other when the operating portion 21 is located at the initial position. That is, the contacts are initially closed. When the operator pushes the operating portion 21 toward the + X side, the movable conductor connected to the operating portion 21 moves to the + X side and separates from the fixed conductor. That is, the contact opens.

当該接点は、例えば、電源（不図示）と半導体製造装置１０とを接続する配線上に接続されていてもよい。この場合、操作部２１が初期位置に位置する状態では、当該接点が閉じているので、電源から半導体製造装置１０へと電力が供給される。一方で、操作部２１が＋Ｘ側に押し込まれると、当該接点が開き、電源から半導体製造装置１０へ供給される電力が遮断される。これにより、半導体製造装置１０の動作が停止する。   The contact may be connected, for example, on a wiring that connects a power source (not shown) and the semiconductor manufacturing apparatus 10. In this case, since the contact is closed when the operation unit 21 is located at the initial position, power is supplied from the power supply to the semiconductor manufacturing apparatus 10. On the other hand, when the operation unit 21 is pushed toward the + X side, the contact is opened and the power supplied from the power supply to the semiconductor manufacturing apparatus 10 is shut off. As a result, the operation of the semiconductor manufacturing apparatus 10 is stopped.

なお支持部２２の内部には、操作部２１を−Ｘ側に押圧する弾性部材（不図示）が設けられていてもよい。また支持部２２の内部には、作業者によって接点位置まで押し込まれた操作部２１をロックするロック機構（不図示）およびそのロックを解除する解除機構（不図示）が設けられてもよい。これらは本実施の形態の本質とは異なるため、詳細な説明を省略する。   An elastic member (not shown) that presses the operating portion 21 toward the −X side may be provided inside the support portion 22. Further, inside the support portion 22, a lock mechanism (not shown) for locking the operation portion 21 pushed to the contact position by the operator and a release mechanism (not shown) for releasing the lock may be provided. Since these are different from the essence of the present embodiment, detailed description will be omitted.

＜１−２．近接センサ＞
近接センサ３は操作部２１の頭部２１１に設けられている。この近接センサ３は平面視において、頭部２１１の中央に設けられている。要するに、近接センサ３は頭部２１１のうち−Ｘ側の面（頭頂面）に設けられている。図１の例では、近接センサ３は、頭頂面の中心を含む領域に設けられている。 <1-2. Proximity sensor>
The proximity sensor 3 is provided on the head 211 of the operation unit 21. The proximity sensor 3 is provided at the center of the head 211 in a plan view. In short, the proximity sensor 3 is provided on the −X side surface (crown surface) of the head 211. In the example of FIG. 1, the proximity sensor 3 is provided in a region including the center of the parietal surface.

この近接センサ３は、自身に近接する対象物を検出する。例えば近接センサ３は反射型の距離センサを含む。より具体的な一例として、近接センサ３は−Ｘ側に測定波を出力し、対象物で反射した測定波を検出する。測定波は電磁波または超音波を含む。ここでは一例として測定波として超音波を採用する。この超音波は半導体製造工場内の使用に好適である。なぜなら、半導体製造工場内には、赤外線等の電磁波を用いた各種のセンサが設けられるところ、近接センサ３の測定波が超音波であれば、これらのセンサの電磁波と干渉しないからである。つまり、センサの精度低下を回避できる。   The proximity sensor 3 detects an object in proximity to itself. For example, the proximity sensor 3 includes a reflection type distance sensor. As a more specific example, the proximity sensor 3 outputs a measurement wave to the −X side and detects the measurement wave reflected by the object. The measurement wave includes electromagnetic waves or ultrasonic waves. Here, as an example, an ultrasonic wave is adopted as the measurement wave. This ultrasonic wave is suitable for use in a semiconductor manufacturing factory. This is because various sensors using electromagnetic waves such as infrared rays are provided in the semiconductor manufacturing factory, but if the measurement wave of the proximity sensor 3 is an ultrasonic wave, it does not interfere with the electromagnetic waves of these sensors. That is, it is possible to avoid a decrease in the accuracy of the sensor.

この近接センサ３は、超音波を−Ｘ側に送波する送波器と、対象物で反射した超音波を受波する受波器とを有している。近接センサ３は送波器から送波される超音波と、受波器で受波される超音波とに基づいて、対象物までの距離を求めることができる。例えば近接センサ３は超音波を送波してから受波されるまでの時間に基づいて、対象物までの距離を算出する。近接センサ３によって測定された距離（以下、測定距離とも呼ぶ）Ｄが所定の距離基準値Ｄｒｅｆよりも短ければ、対象物（ここでは作業者）は近接センサ３に接近している、といえる。   The proximity sensor 3 includes a wave transmitter that transmits an ultrasonic wave to the −X side and a wave receiver that receives the ultrasonic wave reflected by an object. The proximity sensor 3 can determine the distance to the object based on the ultrasonic waves transmitted from the wave transmitter and the ultrasonic waves received by the wave receiver. For example, the proximity sensor 3 calculates the distance to the target object based on the time from when the ultrasonic wave is transmitted to when the ultrasonic wave is received. If the distance D (hereinafter also referred to as the measured distance) D measured by the proximity sensor 3 is shorter than the predetermined distance reference value Dref, it can be said that the object (the worker here) is approaching the proximity sensor 3.

近接センサ３の測定動作の開始および停止は制御部５によって制御される。例えば制御部５が開始信号を近接センサ３に出力することで、近接センサ３は測定動作を開始し、制御部５が停止信号を近接センサ３に出力することで、近接センサ３は測定動作を停止する。   The control unit 5 controls the start and stop of the measurement operation of the proximity sensor 3. For example, when the control unit 5 outputs a start signal to the proximity sensor 3, the proximity sensor 3 starts the measurement operation, and when the control unit 5 outputs a stop signal to the proximity sensor 3, the proximity sensor 3 performs the measurement operation. Stop.

＜１−３．制御部＞
制御部５は緊急停止用機器１の全体を統括する制御部である。制御部５は例えば操作部２１の内部に設けられる。制御部５は近接センサ３および警告部４と電気的に接続されている。制御部５には、近接センサ３の検出結果を示す結果信号が入力される。この結果信号は、近接センサ３によって測定された測定距離Ｄの情報を含む。制御部５は近接センサ３の検出結果に基づいて作業者が接近しているか否かを判断する。具体的には、制御部５は測定距離Ｄが所定の距離基準値Ｄｒｅｆよりも短いか否かを判断し、測定距離Ｄが距離基準値Ｄｒｅｆよりも短いと判断したときに、作業者が緊急停止用機器１（より具体的には押しボタン２の操作部２１）に接近していると判断する。制御部５は作業者の接近を検出したと判断したときには、警告部４に警告を行わせる。 <1-3. Controller>
The control unit 5 is a control unit that controls the entire emergency stop device 1. The control unit 5 is provided inside the operation unit 21, for example. The control unit 5 is electrically connected to the proximity sensor 3 and the warning unit 4. A result signal indicating the detection result of the proximity sensor 3 is input to the control unit 5. The result signal includes information on the measurement distance D measured by the proximity sensor 3. The control unit 5 determines whether or not the worker is approaching based on the detection result of the proximity sensor 3. Specifically, the control unit 5 determines whether or not the measurement distance D is shorter than a predetermined distance reference value Dref, and when it is determined that the measurement distance D is shorter than the distance reference value Dref, the worker is urgent. It is determined that the stopping device 1 (more specifically, the operation unit 21 of the push button 2) is approaching. When it is determined that the approach of the worker is detected, the control unit 5 causes the warning unit 4 to give a warning.

なお制御部５は電子回路機器であって、例えばデータ処理装置および記憶媒体を有していてもよい。データ処理装置は例えばＣＰＵ（Central Processor Unit）などの演算処理装置であってもよい。記憶部は非一時的な記憶媒体（例えばＲＯＭ（Read Only Memory）またはハードディスク）および一時的な記憶媒体（例えばＲＡＭ（Random Access Memory））を有していてもよい。非一時的な記憶媒体には、例えば制御部５が実行する処理を規定するプログラムが記憶されていてもよい。処理装置がこのプログラムを実行することにより、制御部５が、プログラムに規定された処理を実行することができる。もちろん、制御部５が実行する処理の一部または全部がハードウェアによって実行されてもよい。   The control unit 5 is an electronic circuit device and may include, for example, a data processing device and a storage medium. The data processing device may be an arithmetic processing device such as a CPU (Central Processor Unit). The storage unit may have a non-temporary storage medium (for example, a ROM (Read Only Memory) or a hard disk) and a temporary storage medium (for example, a RAM (Random Access Memory)). The non-temporary storage medium may store, for example, a program that defines processing executed by the control unit 5. When the processing device executes this program, the control section 5 can execute the process specified in the program. Of course, part or all of the processing executed by the control unit 5 may be executed by hardware.

図２の例では、制御部５には電源回路８が接続されている。この電源回路８は、外部の電源（例えば商用電源：不図示）に接続されている。電源回路８には、外部の電源から電圧が入力される。電源回路８は当該電圧を制御部５に適した電圧に変換し、変換後の電圧を制御部５に出力する。例えば電源回路８には、２４［Ｖ］の直流電圧が入力される。電源回路８はこの２４［Ｖ］の直流電圧を例えば５［Ｖ］の直流電圧に変換し、変換後の直流電圧を制御部５に出力する。   In the example of FIG. 2, the power supply circuit 8 is connected to the control unit 5. The power supply circuit 8 is connected to an external power supply (eg commercial power supply: not shown). A voltage is input to the power supply circuit 8 from an external power supply. The power supply circuit 8 converts the voltage into a voltage suitable for the control unit 5, and outputs the converted voltage to the control unit 5. For example, a DC voltage of 24 [V] is input to the power supply circuit 8. The power supply circuit 8 converts the DC voltage of 24 [V] into a DC voltage of 5 [V], for example, and outputs the converted DC voltage to the control unit 5.

近接センサ３および警告部４は制御部５から給電されてもよい。あるいは、近接センサ３および警告部４は制御部５を迂回して、電源回路８から直接に給電されてもよい。   The proximity sensor 3 and the warning unit 4 may be powered by the control unit 5. Alternatively, the proximity sensor 3 and the warning unit 4 may bypass the control unit 5 and be directly supplied with power from the power supply circuit 8.

また、近接センサ３、警告部４および制御部５への給電は、作業者による押しボタン２の操作とは独立していてもよく、あるいは、依存していてもよい。つまり、作業者が押しボタン２を操作して半導体製造装置１０への給電が遮断されたときに、制御部５等への給電が維持されてもよく、あるいは、遮断されてもよい。   Further, the power supply to the proximity sensor 3, the warning unit 4, and the control unit 5 may be independent of or dependent on the operation of the push button 2 by the operator. That is, when the operator operates the push button 2 to cut off the power supply to the semiconductor manufacturing apparatus 10, the power supply to the control unit 5 or the like may be maintained or may be cut off.

＜１−４．警告部＞
警告部４は作業者に警告を行うことができる。例えば警告部４は光源４１と音出力部４２とを含んでいる。光源４１は例えばＬＥＤ（Light Emitting Diode）であり、その発光が制御部５によって制御される。光源４１は例えば操作部２１の内部に設けられる。この場合、操作部２１は可視光についての透光性を有している。例えば操作部２１は、ポリカーボネートもしくはポリ塩化ビニルなどの樹脂によって形成される。光源４１から生じた光は操作部２１を透過する。光源４１が発光することにより、操作部２１は部分的または全体的に光ることとなる。この発光により、作業者に対して警告を行うことができる。 <1-4. Warning section>
The warning unit 4 can warn the operator. For example, the warning unit 4 includes a light source 41 and a sound output unit 42. The light source 41 is, for example, an LED (Light Emitting Diode), and its light emission is controlled by the control unit 5. The light source 41 is provided inside the operation unit 21, for example. In this case, the operation unit 21 has a property of transmitting visible light. For example, the operation unit 21 is formed of a resin such as polycarbonate or polyvinyl chloride. The light generated from the light source 41 passes through the operation unit 21. When the light source 41 emits light, the operation unit 21 partially or wholly illuminates. This light emission can give a warning to the operator.

光源４１は複数設けられていてもよい。この場合、複数の光源４１は、Ｘ軸方向に沿って見て、側壁部２１２の中心を取り囲むように設けられていてもよい。より具体的には、複数の光源４１は側壁部２１２の周方向に沿って、互いに略等間隔に設けられていてもよい。これによれば、操作部２１が全体的に光るので、作業者は発光に気付きやすい。   A plurality of light sources 41 may be provided. In this case, the plurality of light sources 41 may be provided so as to surround the center of the side wall portion 212 when viewed along the X-axis direction. More specifically, the plurality of light sources 41 may be provided at substantially equal intervals along the circumferential direction of the side wall portion 212. According to this, since the operation part 21 shines as a whole, the operator can easily notice the light emission.

音出力部４２は例えばブザーまたはスピーカであり、その音出力が制御部５によって制御される。音出力部４２は例えば操作部２１の内部に設けられる。この音出力部４２が警告音（例えばビープ音、あるいは、音声）を出力することにより、その警告音（空気の振動）が操作部２１を介して周囲に伝搬される。これにより、作業者に対して警告を行うことができる。   The sound output unit 42 is, for example, a buzzer or a speaker, and its sound output is controlled by the control unit 5. The sound output unit 42 is provided inside the operation unit 21, for example. The sound output unit 42 outputs a warning sound (for example, a beep sound or a voice), and the warning sound (vibration of air) is propagated to the surroundings via the operation unit 21. This allows the operator to be warned.

なお、警告部４は必ずしも光源４１および音出力部４２の両方を有している必要はなく、少なくともいずれか一方を有していればよい。また警告部４は、光源４１および音出力部４２の少なくともいずれか一方に替えて、あるいは、光源４１および音出力部４２の少なくともいずれか一方とともに、画像信号に基づいて画像を表示可能な表示装置を有していてもよい。当該表示装置が警告用の画像を表示することで、作業者に対して警告を行うことができる。   The warning unit 4 does not necessarily have to have both the light source 41 and the sound output unit 42, and may have at least one of them. The warning unit 4 is a display device capable of displaying an image based on an image signal in place of at least one of the light source 41 and the sound output unit 42 or together with at least one of the light source 41 and the sound output unit 42. May have. The display device displays a warning image, so that the worker can be warned.

＜１−５．入力部＞
ところで、緊急停止用機器１の周囲の環境は、その緊急停止用機器１が設けられる工場内の設備配置に依存する。図３は、工場内の半導体製造装置群の構成の概念的な一例を示す平面図である。図３の例では、工場内には、４つの半導体製造装置１０が配置されている。以下では、４つの半導体製造装置１０をそれぞれ半導体製造装置１０ａ〜１０ｄとも呼ぶ。図３の例では、４つの半導体製造装置１０は矩形状に示されており、また略マトリクス状に配置されている。図３の例では、半導体製造装置１０ａと半導体製造装置１０ｂとが横方向に並んでおり、半導体製造装置１０ｃと半導体製造装置１０ｄとが横方向に並んでいる。また半導体製造装置１０ａと半導体製造装置１０ｃとが縦方向に並んでおり、半導体製造装置１０ｂと半導体製造装置１０ｄとが縦方向に並んでいる。半導体製造装置１０の相互間の空間は、作業者が移動する通路として機能し得る。図３の例では、半導体製造装置１０ａと半導体製造装置１０ｃとの間の間隔（通路の幅）は半導体製造装置１０ｂと半導体製造装置１０ｄとの間の間隔（通路の幅）よりも広い。 <1-5. Input section>
By the way, the environment around the emergency stop device 1 depends on the equipment layout in the factory where the emergency stop device 1 is installed. FIG. 3 is a plan view showing a conceptual example of the configuration of the semiconductor manufacturing device group in the factory. In the example of FIG. 3, four semiconductor manufacturing apparatuses 10 are arranged in the factory. Hereinafter, the four semiconductor manufacturing apparatuses 10 will also be referred to as semiconductor manufacturing apparatuses 10a to 10d, respectively. In the example of FIG. 3, the four semiconductor manufacturing apparatuses 10 are shown in a rectangular shape and are arranged in a substantially matrix shape. In the example of FIG. 3, the semiconductor manufacturing apparatus 10a and the semiconductor manufacturing apparatus 10b are arranged side by side in the lateral direction, and the semiconductor manufacturing apparatus 10c and the semiconductor manufacturing apparatus 10d are arranged in the lateral direction. Further, the semiconductor manufacturing apparatus 10a and the semiconductor manufacturing apparatus 10c are arranged in the vertical direction, and the semiconductor manufacturing apparatus 10b and the semiconductor manufacturing apparatus 10d are arranged in the vertical direction. The space between the semiconductor manufacturing apparatuses 10 can function as a path through which a worker moves. In the example of FIG. 3, the distance (width of the passage) between the semiconductor manufacturing equipment 10a and the semiconductor manufacturing equipment 10c is wider than the distance (width of the passage) between the semiconductor manufacturing equipment 10b and the semiconductor manufacturing equipment 10d.

また図３の例では、半導体製造装置１０ａおよび半導体製造装置１０ｃの互いに向かい合う側面には、緊急停止用機器１が設けられている。同様に、半導体製造装置１０ｂおよび半導体製造装置１０ｄの互いに向かい合う側面には、緊急停止用機器１が設けられている。より具体的には、緊急停止用機器１はＸ軸（押し込み方向に沿う軸）が縦方向に沿う姿勢で、半導体製造装置１の側面に設けられている。この場合、押しボタン２は通路に面する。   Further, in the example of FIG. 3, the emergency stop device 1 is provided on the side surfaces of the semiconductor manufacturing apparatus 10a and the semiconductor manufacturing apparatus 10c that face each other. Similarly, the emergency stop device 1 is provided on the side surfaces of the semiconductor manufacturing apparatus 10b and the semiconductor manufacturing apparatus 10d that face each other. More specifically, the emergency stop device 1 is provided on the side surface of the semiconductor manufacturing apparatus 1 in a posture in which the X axis (the axis along the pushing direction) is along the vertical direction. In this case, the push button 2 faces the passage.

このような工場において、近接センサ３の検出範囲が複数の緊急停止用機器１において同じに設定されると、次に説明する不都合が生じ得る。例えば、近接センサ３の検出範囲を半導体製造装置１０ａと半導体製造装置１０ｃとの間の通路の幅に応じた値に設定すると、半導体製造装置１０ｂと半導体製造装置１０ｄとの間の通路の幅に対しては、広すぎる値になり得る。この場合、作業者が半導体製造装置１０ｂと半導体製造装置１０ｄとの間の通路を通過しただけで、半導体製造装置１０ｂおよび半導体製造装置１０ｄの緊急停止用機器１において、警告部４が警告を行い得る。   In such a factory, if the detection range of the proximity sensor 3 is set to be the same in a plurality of emergency stop devices 1, the following inconvenience may occur. For example, when the detection range of the proximity sensor 3 is set to a value corresponding to the width of the passage between the semiconductor manufacturing apparatus 10a and the semiconductor manufacturing apparatus 10c, the width of the passage between the semiconductor manufacturing apparatus 10b and the semiconductor manufacturing apparatus 10d is set. On the other hand, it can be too wide. In this case, the worker simply passes through the passage between the semiconductor manufacturing apparatus 10b and the semiconductor manufacturing apparatus 10d, and the warning unit 4 gives a warning in the emergency stop device 1 of the semiconductor manufacturing apparatus 10b and the semiconductor manufacturing apparatus 10d. obtain.

逆に、近接センサ３の検出範囲を半導体製造装置１０ｂと半導体製造装置１０ｄとの間の通路の幅に応じた値に設定すると、半導体製造装置１０ａと半導体製造装置１０ｃとの間の通路の幅に対しては、狭すぎる値になり得る。この場合、作業者は半導体製造装置１０ａと半導体製造装置１０ｃとの間の通路であっても、押しボタン２により近い状態で警告が行われる。よって、押しボタン２への接触（押圧）を回避するための時間が少なくなり得る。   Conversely, if the detection range of the proximity sensor 3 is set to a value corresponding to the width of the passage between the semiconductor manufacturing apparatus 10b and the semiconductor manufacturing apparatus 10d, the width of the passage between the semiconductor manufacturing apparatus 10a and the semiconductor manufacturing apparatus 10c. Can be too narrow for. In this case, the worker gives a warning in a state closer to the push button 2 even in the passage between the semiconductor manufacturing apparatus 10a and the semiconductor manufacturing apparatus 10c. Therefore, the time for avoiding contact (pressing) with the push button 2 can be reduced.

そこで、図１に例示するように、緊急停止用機器１は入力部６を含んでいてもよい。入力部６は、近接センサ３の検出範囲を設定する入力を受け付ける。入力部６は制御部５に電気的に接続される。例えば入力部６は押しボタン２の側面に設けられるとよい。図１の例では、入力部６は操作部２１の側壁部２１２に設けられている。   Therefore, as illustrated in FIG. 1, the emergency stop device 1 may include an input unit 6. The input unit 6 receives an input for setting the detection range of the proximity sensor 3. The input unit 6 is electrically connected to the control unit 5. For example, the input unit 6 may be provided on the side surface of the push button 2. In the example of FIG. 1, the input unit 6 is provided on the side wall portion 212 of the operation unit 21.

例えば入力部６は、可変抵抗６１と、可変抵抗６１の抵抗値を変更するための操作部６２とを有している。例えば、操作部６２は円柱状の形状を有しており、その中心軸が、押しボタン２の側壁部２１２の径方向に沿うように、かつ、回転可能に設けられている。操作部６２の頭部には、例えばすりわり、十字孔、四角孔または六角孔が形成されていてもよい。この場合、作業者は操作部６２の頭部の孔の形状に応じた工具を用いて、操作部６２を回転させることができる。可変抵抗６１の抵抗値は操作部６２の回転位置に応じて変化する。   For example, the input unit 6 has a variable resistor 61 and an operation unit 62 for changing the resistance value of the variable resistor 61. For example, the operating portion 62 has a cylindrical shape, and is rotatably provided so that its central axis extends along the radial direction of the side wall portion 212 of the push button 2. The head of the operation portion 62 may be formed with, for example, a slot, a cross hole, a square hole, or a hexagonal hole. In this case, the operator can rotate the operation unit 62 using a tool according to the shape of the hole in the head of the operation unit 62. The resistance value of the variable resistor 61 changes according to the rotational position of the operation unit 62.

可変抵抗６１の抵抗値は制御部５によって認識される。例えば、可変抵抗６１には直流電源が接続されている。この直列回路には、可変抵抗６１を流れる電流を検出するセンサ（不図示）が設けられる。当該センサによって検出された電流値は制御部５へと出力される。制御部５は当該電流値に基づいて可変抵抗６１の抵抗値を求めることができる。   The resistance value of the variable resistor 61 is recognized by the control unit 5. For example, a DC power source is connected to the variable resistor 61. This series circuit is provided with a sensor (not shown) that detects a current flowing through the variable resistor 61. The current value detected by the sensor is output to the control unit 5. The control unit 5 can obtain the resistance value of the variable resistor 61 based on the current value.

制御部５は可変抵抗６１の抵抗値に応じて検出範囲を設定する。例えば制御部５は可変抵抗６１の抵抗値が大きいほど、検出範囲を広く設定する。近接センサ３の検出範囲は、例えば十数［ｃｍ］〜数［ｍ］程度の範囲内で任意に設定可能である。   The control unit 5 sets the detection range according to the resistance value of the variable resistor 61. For example, the control unit 5 sets the detection range wider as the resistance value of the variable resistor 61 increases. The detection range of the proximity sensor 3 can be arbitrarily set within a range of, for example, a dozen [cm] to several [m].

ところで、上述のように制御部５は、近接センサ３によって検出された測定距離Ｄが距離基準値Ｄｒｅｆよりも短いときに、作業者が接近していると判断する。よって、この距離基準値Ｄｒｅｆは作業者の接近検出についての検出範囲を示しているといえる。そこで、以下では、検出範囲として距離基準値Ｄｒｅｆを採用する。つまり、制御部５は距離基準値Ｄｒｅｆを作業者による入力部６への入力に応じて設定する。   By the way, as described above, the control unit 5 determines that the worker is approaching when the measured distance D detected by the proximity sensor 3 is shorter than the distance reference value Dref. Therefore, it can be said that the distance reference value Dref indicates the detection range for detecting the approach of the worker. Therefore, hereinafter, the distance reference value Dref is adopted as the detection range. That is, the control unit 5 sets the distance reference value Dref according to the input to the input unit 6 by the operator.

以上のように、入力部６によって近接センサ３の検出範囲を設定することができる。よって、複数の緊急停止用機器１が設けられる場合に、それぞれに適した検出範囲を設定することができる。   As described above, the detection range of the proximity sensor 3 can be set by the input unit 6. Therefore, when a plurality of emergency stop devices 1 are provided, a detection range suitable for each can be set.

＜２．緊急停止用機器１の動作の一例＞
図４は、緊急停止用機器１の動作の一例を示すフローチャートである。まずステップＳ１にて、作業者は近接センサ３の検出範囲を設定する。この設定は、緊急停止用機器１を半導体製造装置１０に取り付ける際、または、緊急停止用機器１付きの半導体製造装置１０を工場に設置する際に行われる。より具体的には、作業者は入力部６の操作部６２を操作して検出範囲を入力する。制御部５は当該操作に応じて検出範囲（距離基準値Ｄｒｅｆ）を設定する。これにより、設置環境に応じた検出範囲を設定することができる。 <2. Example of operation of emergency stop device 1>
FIG. 4 is a flowchart showing an example of the operation of the emergency stop device 1. First, in step S1, the operator sets the detection range of the proximity sensor 3. This setting is performed when the emergency stop device 1 is attached to the semiconductor manufacturing apparatus 10, or when the semiconductor manufacturing apparatus 10 with the emergency stop device 1 is installed in a factory. More specifically, the operator operates the operation unit 62 of the input unit 6 to input the detection range. The control unit 5 sets the detection range (distance reference value Dref) according to the operation. As a result, the detection range can be set according to the installation environment.

次に制御部５は近接センサ３に対して測定動作の開始信号を出力する。近接センサ３はこの開始信号の入力に応答して、−Ｘ側に超音波を送波する。そして近接センサ３は、受波した超音波に基づいて対象物の距離を測定し、その測定距離Ｄを示す結果信号を制御部５に出力する。   Next, the control unit 5 outputs a start signal of the measurement operation to the proximity sensor 3. The proximity sensor 3 sends an ultrasonic wave to the -X side in response to the input of the start signal. Then, the proximity sensor 3 measures the distance to the object based on the received ultrasonic wave and outputs a result signal indicating the measured distance D to the control unit 5.

次にステップＳ２にて、制御部５は、近接センサ３から入力された結果信号に基づいて、作業者が押しボタン２に近づいているか否かを判断する。制御部５はこの結果信号に含まれる測定距離Ｄが距離基準値Ｄｒｅｆよりも短いか否かを判断する。制御部５は測定距離Ｄが距離基準値Ｄｒｅｆよりも短いと判断したときに、作業者が接近していると判断する。一方で、制御部５は測定距離Ｄが距離基準値Ｄｒｅｆよりも長いと判断したときに、作業者が接近していないと判断する。   Next, in step S2, the control unit 5 determines, based on the result signal input from the proximity sensor 3, whether or not the worker is approaching the push button 2. The control unit 5 determines whether or not the measured distance D included in this result signal is shorter than the distance reference value Dref. When the control unit 5 determines that the measured distance D is shorter than the distance reference value Dref, the control unit 5 determines that the worker is approaching. On the other hand, when the control unit 5 determines that the measured distance D is longer than the distance reference value Dref, it determines that the worker is not approaching.

作業者の接近を検出していないときには、制御部５は再びステップＳ２を実行し、作業者の接近を検出しているときには、ステップＳ３にて、制御部５は警告部４に警告を行わせる。具体的には、制御部５は光源４１を発光させつつ、音出力部４２に警告音を出力させる。   When the approach of the worker is not detected, the control unit 5 executes step S2 again. When the approach of the worker is detected, the control unit 5 causes the warning unit 4 to give a warning in step S3. . Specifically, the control unit 5 causes the sound output unit 42 to output a warning sound while causing the light source 41 to emit light.

これによれば、作業者が押しボタン２の存在に気付かずに、押しボタン２に近づいたときに、警告部４が警告を行う。よって、作業者は、自身の近くに押しボタン２が存在することを認識できる。したがって、作業者が押しボタン２を誤操作する可能性を低減することができる。   According to this, when the worker approaches the push button 2 without noticing the existence of the push button 2, the warning unit 4 gives a warning. Therefore, the worker can recognize that the push button 2 exists near himself. Therefore, it is possible to reduce the possibility that the operator operates the push button 2 by mistake.

なお作業者が意図的に押しボタン２を押す際にも警告が行われるが、その場合には、作業者は警告を無視して押しボタン２を押す。この押下に応答して、緊急停止用機器１は半導体製造装置１０を停止させる。これにより、他の作業者が動作中の半導体製造装置１０に近づいた場合に、当該他の作業者の安全を確保することができる。   A warning is also issued when the worker intentionally pushes the push button 2, but in that case, the worker ignores the warning and pushes the push button 2. In response to this pressing, the emergency stop device 1 stops the semiconductor manufacturing apparatus 10. Thereby, when another worker approaches the semiconductor manufacturing apparatus 10 in operation, the safety of the other worker can be ensured.

ところで、押しボタン２の誤操作を回避すべく、押しボタン２へのアクセスを物理的に困難にする手法が従来から存在する。例えば押しボタン２を全体的に囲むカバーを設ける場合がある。このカバーは開閉可能に設けられてる場合がある。この場合、作業者はまずカバーを開いた上で、押しボタン２を操作する。あるいは、カバーが外力によって容易に破壊可能に設けられている場合がある。この場合、作業者はカバーを破壊した上で、押しボタン２を操作する。もしくは、当該カバーに替えてカードリングが設けられる場合もある。このガードリングはＸ軸方向に沿って見て、押しボタン２の周囲を取り囲む。このガードリングは押しボタン２の頭頂面よりも−Ｘ側に突出している。よって、作業者が手のひらで押しボタンを押そうとすると、手の指などがガードリングに当って、押しボタン２を押しにくい。逆に言えば、作業者が意図せずに押しボタン２に近づいても、ガードリングに先に当接するので、押しボタン２が押下されにくいのである。   By the way, conventionally, there is a method of physically making access to the push button 2 difficult in order to avoid an erroneous operation of the push button 2. For example, a cover that entirely surrounds the push button 2 may be provided. This cover may be opened and closed. In this case, the operator first opens the cover and then operates the push button 2. Alternatively, the cover may be provided so as to be easily broken by an external force. In this case, the operator operates the push button 2 after destroying the cover. Alternatively, a card ring may be provided instead of the cover. The guard ring surrounds the periphery of the push button 2 when viewed along the X-axis direction. The guard ring projects toward the -X side from the top surface of the push button 2. Therefore, when the operator tries to push the push button with the palm of the hand, the finger or the like of the hand hits the guard ring, and it is difficult to push the push button 2. In other words, even if an operator unintentionally approaches the push button 2, the push button 2 is hard to be pressed because it comes into contact with the guard ring first.

しかしながら、これらの手法は作業者による押しボタン２の操作を物理的により困難とするので、作業者は緊急時において押しボタン２を操作しにくい。よって、速やかに半導体製造装置１０の動作を停止しにくい。また、カバーおよびカードリングを取り付けることが禁じられた工場も存在する。   However, these methods physically make it difficult for the operator to operate the push button 2, and thus it is difficult for the operator to operate the push button 2 in an emergency. Therefore, it is difficult to quickly stop the operation of the semiconductor manufacturing apparatus 10. Also, some factories are prohibited from installing covers and card rings.

本実施の形態では、これらの手法を採用する必要がない。したがって、作業者は緊急時において、上記の物理的な困難なしに、押しボタン２を操作することができる。よって、より速やかに半導体製造装置１０の動作を停止させることができる。また上記手法を採用することが禁じられた工場においても、押しボタン２の誤操作を抑制することができる。   In the present embodiment, it is not necessary to adopt these methods. Therefore, the operator can operate the push button 2 in an emergency without the above-mentioned physical difficulties. Therefore, the operation of the semiconductor manufacturing apparatus 10 can be stopped more quickly. In addition, even in a factory where the adoption of the above method is prohibited, it is possible to suppress erroneous operation of the push button 2.

一方で、ケースまたはガードリングが許可された工場においては、緊急停止用機器１の押しボタン２に対して、ケースまたはガードリングを取り付けても構わない。これによれば、作業者が押しボタン２を誤操作する可能性をさらに低減することができる。   On the other hand, in a factory where the case or the guard ring is permitted, the case or the guard ring may be attached to the push button 2 of the emergency stop device 1. According to this, it is possible to further reduce the possibility that the operator erroneously operates the push button 2.

また、上述の例では、近接センサ３は、押しボタン２の頭頂面の中心を含む領域に設けられている。さて、押しボタン２の操作部２１を＋Ｘ側に移動させて押しボタン２を操作するには、作業者は操作部２１の頭頂面の中央付近を＋Ｘ側に押圧することが望ましい。言い換えれば、作業者が誤って押しボタン２の頭頂面の中央付近を＋Ｘ側に押圧すると、押しボタン２が誤操作しやすい。上述の例では、近接センサ３が、押しボタン２の頭頂面の中心を含む領域に設けられているので、誤操作を生じやすい領域への作業者の近接をより適切に検出することができる。ひいては、作業者による押しボタン２の誤操作をより効果的に抑制できる。   Further, in the above example, the proximity sensor 3 is provided in a region including the center of the crown surface of the push button 2. By the way, in order to move the operation portion 21 of the push button 2 to the + X side and operate the push button 2, it is desirable that the operator press the vicinity of the center of the top surface of the operation portion 21 to the + X side. In other words, if the operator mistakenly presses the vicinity of the center of the top surface of the push button 2 toward the + X side, the push button 2 is likely to be erroneously operated. In the above-described example, since the proximity sensor 3 is provided in the area including the center of the crown surface of the push button 2, it is possible to more appropriately detect the proximity of the operator to the area in which an erroneous operation is likely to occur. As a result, an erroneous operation of the push button 2 by the operator can be suppressed more effectively.

また上述の例では、警告部４が操作部２１の内部に設けられている。これにより、警告部４を外部から保護することができる。よって、警告部４の信頼性を向上できる。   In the above example, the warning unit 4 is provided inside the operation unit 21. As a result, the warning unit 4 can be protected from the outside. Therefore, the reliability of the warning unit 4 can be improved.

また警告部４が操作部２１の内部に設けられていれば、警告は押しボタン２の内部から行われることとなる。よって、作業者は当該警告に基づいて押しボタン２の位置をより速やかに認識することができる。例えば光源４１により押しボタン２が発光すれば、作業者はその光の発生場所を押しボタン２と認識できる。あるいは、音出力部４２により押しボタン２から警告音が発生すると、作業者はその音の方向に基づいて押しボタン２の存在方向を速やかに認識することができる。   If the warning unit 4 is provided inside the operation unit 21, the warning will be issued from inside the push button 2. Therefore, the worker can more quickly recognize the position of the push button 2 based on the warning. For example, if the push button 2 emits light by the light source 41, the operator can recognize the place where the light is generated as the push button 2. Alternatively, when the sound output unit 42 generates a warning sound from the push button 2, the operator can quickly recognize the direction in which the push button 2 exists based on the direction of the sound.

また上述の例では、入力部６は押しボタン２の操作部２１の側面に設けられている。この操作部２１の側面は作業者によって触れられにくい。よって、通常使用時に、作業者が誤って入力部６に対して入力を行う可能性を低減できる。したがって、半導体製造装置１０の設置時に設定された検出範囲が維持されやすい。つまり、入力部６への誤操作も抑制することができる。   In the above example, the input unit 6 is provided on the side surface of the operation unit 21 of the push button 2. It is difficult for the operator to touch the side surface of the operation unit 21. Therefore, it is possible to reduce the possibility that the operator erroneously makes an input to the input unit 6 during normal use. Therefore, the detection range set when the semiconductor manufacturing apparatus 10 is installed is easily maintained. That is, an erroneous operation on the input unit 6 can be suppressed.

＜３．音出力用の孔＞
図５は、緊急停止用機器１Ａの構成の一例を概略的に示す斜視図である。緊急停止用機器１Ａは音出力用の貫通孔７の有無を除いて、緊急停止用機器１と同様の構成を有している。この音出力用の貫通孔７は、操作部２１の内部に設けられた音出力部４２からの音を効率よく外部に出力するための孔であり、操作部２１に形成されている。図５の例では、この貫通孔７は操作部２１の側面（つまり側壁部２１２）に形成されている。貫通孔７は側壁部２１２をその厚み方向に貫通しており、操作部２１の内部空間と外部空間とを繋げている。 <3. Sound output hole>
FIG. 5 is a perspective view schematically showing an example of the configuration of the emergency stop device 1A. The emergency stop device 1A has the same configuration as the emergency stop device 1 except for the presence or absence of the through hole 7 for outputting sound. The sound output through hole 7 is a hole for efficiently outputting the sound from the sound output section 42 provided inside the operation section 21 to the outside, and is formed in the operation section 21. In the example of FIG. 5, the through hole 7 is formed on the side surface (that is, the side wall portion 212) of the operation portion 21. The through hole 7 penetrates the side wall portion 212 in its thickness direction, and connects the internal space and the external space of the operation portion 21.

音出力部４２は操作部２１の内部において、貫通孔７と向かい合う領域に設けられるとよい。より具体的には、音出力部４２は側壁部２１２の径方向において貫通孔７と向かい合うとよい。また音出力部４２は貫通孔７の近傍に設けられるとよい。より具体的には、音出力部４２はＸ軸方向に沿って見て、側壁部２１２の中心と貫通孔７との間の領域に設けられる。   The sound output section 42 may be provided in the area facing the through hole 7 inside the operation section 21. More specifically, the sound output part 42 may face the through hole 7 in the radial direction of the side wall part 212. Further, the sound output section 42 may be provided near the through hole 7. More specifically, the sound output part 42 is provided in a region between the center of the side wall part 212 and the through hole 7 when viewed along the X-axis direction.

図５の例では、複数の貫通孔７が形成されている。図５の例では、複数の貫通孔７として、１つの貫通孔７ａと、この貫通孔７ｂを取り囲む複数（ここでは８個）の貫通孔７ｂとが示されている。より具体的には、複数の貫通孔７ｂは、貫通孔７ａを中心とした円上において、互いに略等間隔となる位置にそれぞれ形成されている。音出力部４２は操作部２１の内部において、少なくとも貫通孔７ａと向かい合う位置に設けられるとよい。   In the example of FIG. 5, a plurality of through holes 7 are formed. In the example of FIG. 5, as the plurality of through holes 7, one through hole 7a and a plurality of (here, eight) through holes 7b surrounding the through hole 7b are shown. More specifically, the plurality of through holes 7b are formed at positions at substantially equal intervals on a circle centered on the through hole 7a. The sound output unit 42 may be provided inside the operation unit 21 at least at a position facing the through hole 7a.

このような緊急停止用機器１Ａによれば、音出力部４２からの警告音は複数の貫通孔７を通って外部へと出力される。警告音が貫通孔７を通過するので、音出力部４２からの警告音の音量が小さくなりにくく、警告音を作業者に届けやすい。また複数の貫通孔７ｂが貫通孔７ａの周りを囲むように形成されている。よって、警告音（空気の振動）が回折して周りに広がりやすい。つまり、警告音がより水平方向に近い方向にも進むので、押しボタン２に対して−Ｘ側に位置する作業者に警告音を届けやすい。したがって、作業者は警告音に気付きやすく、押しボタン２の存在に気付きやすい。   According to such an emergency stop device 1A, the warning sound from the sound output unit 42 is output to the outside through the plurality of through holes 7. Since the warning sound passes through the through hole 7, the volume of the warning sound from the sound output unit 42 is not easily reduced, and the warning sound is easily delivered to the operator. Further, a plurality of through holes 7b are formed so as to surround the through holes 7a. Therefore, the warning sound (vibration of air) easily diffracts and spreads around. That is, since the warning sound progresses in a direction closer to the horizontal direction, the warning sound can be easily delivered to the operator located on the −X side of the push button 2. Therefore, the operator easily notices the warning sound and easily notices the presence of the push button 2.

＜４．警告レベル＞
警告部４は複数の警告レベルで警告を行うことが可能であってもよい。ここでいう警告レベルとは、作業者に対して行われる警告の強さを示している。例えば制御部５は光源４１の発光態様または音出力部４２の警告音の出力態様を変更することで、警告レベルを変更することができる。より具体的な例として、制御部５は光源４１に強度の高い光を発光させることにより、高い警告レベルで警告を行うことができる。つまり、光の強度の高いほど、警告レベルは高い。あるいは、制御部５が光源４１を点滅させる場合、短い周期で光源４１を点滅させることにより、高い警告レベルで警告を行うことができる。つまり、点滅の周期が短いほど、警告レベルは高い。 <4. Warning level>
The warning unit 4 may be capable of issuing warnings at a plurality of warning levels. The warning level here indicates the strength of the warning given to the worker. For example, the control unit 5 can change the warning level by changing the light emission mode of the light source 41 or the warning sound output mode of the sound output unit 42. As a more specific example, the control unit 5 can issue a warning at a high warning level by causing the light source 41 to emit high-intensity light. That is, the higher the light intensity, the higher the warning level. Alternatively, when the control unit 5 causes the light source 41 to blink, by blinking the light source 41 in a short cycle, a warning can be issued at a high warning level. That is, the shorter the blinking cycle, the higher the warning level.

また制御部５は音出力部４２に大きな音量で警告音を出力させることにより、高い警告レベルで警告を行うことができる。あるいは、制御部５は高い音程（周波数）で警告音を出力することによっても、高い警告レベルで警告を行うことができる。つまり、警告音の音量が大きいほど、または、警告音の音程が高いほど、警告レベルは高い。あるいは、制御部５が音出力部４２に所定周期で繰り返し警告音を出力させる場合には、その周期が短いほど、高い警告レベルで警告を行うことができる。つまり、警告音の周期が短いほど、警告レベルは高い。   In addition, the control unit 5 can issue a warning at a high warning level by causing the sound output unit 42 to output a warning sound with a large volume. Alternatively, the control unit 5 can also issue a warning at a high warning level by outputting a warning sound at a high pitch (frequency). That is, the higher the volume of the warning sound or the higher the pitch of the warning sound, the higher the warning level. Alternatively, when the control unit 5 causes the sound output unit 42 to repeatedly output the warning sound at a predetermined cycle, the warning can be issued at a higher warning level as the cycle becomes shorter. That is, the shorter the cycle of the warning sound, the higher the warning level.

制御部５は測定距離Ｄが第１値であるときに、測定距離Ｄが、第１値よりも大きい第２値であるときの警告レベルよりも高い警告レベルで、警告部４に警告を行わせるとよい。これによれば、作業者が押しボタン２により近づくと、より高い警告レベルで警告が行われる。   When the measurement distance D has the first value, the control unit 5 issues a warning to the warning unit 4 at a warning level higher than the warning level when the measurement distance D has the second value larger than the first value. It is good to let According to this, when the worker approaches the push button 2, a warning is issued at a higher warning level.

図６は、緊急停止用機器１（あるいは、緊急停止用機器１Ａ）の上記動作の一例を示すフローチャートである。この図６の手順は、入力部６による検出範囲の設定が行われた状態で行われる。まずステップＳ１１にて、近接センサ３は、自身と対象物との間の測定距離Ｄを測定し、その結果信号を制御部５に出力する。次にステップＳ１２にて、制御部５は測定距離Ｄが距離基準値Ｄｒｅｆ以下であるか否かを判断する。測定距離Ｄが距離基準値Ｄｒｅｆよりも大きいときには、制御部５は再びステップＳ１１を実行する。   FIG. 6 is a flowchart showing an example of the above operation of the emergency stop device 1 (or the emergency stop device 1A). The procedure of FIG. 6 is performed in a state where the detection range is set by the input unit 6. First, in step S11, the proximity sensor 3 measures the measurement distance D between itself and the target object, and outputs the result signal to the control unit 5. Next, in step S12, the control unit 5 determines whether the measured distance D is less than or equal to the distance reference value Dref. When the measured distance D is larger than the distance reference value Dref, the control unit 5 executes step S11 again.

測定距離Ｄが距離基準値Ｄｒｅｆ以下であるときには、ステップＳ１３にて、制御部５は測定距離Ｄに応じた警告レベルで警告部４に警告を行わせる。   When the measured distance D is less than or equal to the distance reference value Dref, the control unit 5 causes the warning unit 4 to warn at the warning level according to the measured distance D in step S13.

例えば制御部５は、前回のステップＳ１１で測定された測定距離Ｄと、今回のステップＳ１１で測定された測定距離Ｄとの大小を比較してもよい。そして制御部５は、今回の測定距離Ｄが前回の測定距離Ｄよりも小さいときに、警告レベルをより高いレベルに変更する。これによれば、作業者が押しボタン２に近づくほど、より高い警告レベルで警告が行われる。   For example, the control unit 5 may compare the measurement distance D measured in the previous step S11 with the measurement distance D measured in the current step S11. Then, the control unit 5 changes the warning level to a higher level when the current measurement distance D is smaller than the previous measurement distance D. According to this, as the operator approaches the push button 2, the warning is issued at a higher warning level.

あるいは、測定距離Ｄと警告レベルとの関係が予め定められて、その関係を示す関係情報が制御部５の記憶媒体に記憶されていてもよい。当該関係において、例えば、測定距離Ｄの範囲と当該範囲に応じた警告レベルとが設定されている。制御部５は、ステップＳ１１にて測定された測定距離Ｄと、記憶媒体に記憶された関係情報とに基づいて、警告レベルを決定し、その警告レベルで警告部４に警告を行わせる。これによっても、作業者が押しボタン２に近づくほど、より高い警告レベルで警告が行われる。   Alternatively, the relationship between the measured distance D and the warning level may be predetermined, and the relationship information indicating the relationship may be stored in the storage medium of the control unit 5. In this relationship, for example, the range of the measurement distance D and the warning level according to the range are set. The control unit 5 determines the warning level based on the measured distance D measured in step S11 and the related information stored in the storage medium, and causes the warning unit 4 to issue a warning at the warning level. As a result, the closer the worker is to the push button 2, the higher the warning level the warning is given.

以上のように、緊急停止用機器１は、作業者が押しボタン２に近づくほど、より高い警告レベルで警告が行われる。つまり、作業者が誤って押しボタン２を操作する可能性がより高い状況で、より高い警告レベルでの警告が行われる。よって、作業者は、押しボタン２を誤って操作する可能性が高い状況で、警告に気付きやすく、ひいては、押しボタン２の存在に気付きやすい。したがって、作業者による押しボタン２の誤操作を回避しやすい。一方で、押しボタン２を誤操作する可能性が低い状況では、低い警告レベルで警告が行われる。よって、作業者は、警告がない場合に比べれば、押しボタン２の存在に気付きやすく、また警告レベルが低いので自身の作業を続行しやすい。   As described above, in the emergency stop device 1, as the worker approaches the push button 2, the warning is issued at a higher warning level. That is, in a situation in which there is a higher possibility that the operator operates the push button 2 by mistake, a warning at a higher warning level is issued. Therefore, the operator is likely to notice the warning and, by extension, the presence of the push button 2 in a situation where the push button 2 is likely to be operated by mistake. Therefore, it is easy to avoid an erroneous operation of the push button 2 by the operator. On the other hand, in a situation where there is a low possibility that the push button 2 is erroneously operated, a warning is given at a low warning level. Therefore, the operator is more likely to notice the presence of the push button 2 than if there is no warning, and is easy to continue his / her work since the warning level is low.

以上のように、緊急停止用機器は詳細に示され記述されたが、上記の記述は全ての態様において例示であって限定的ではない。したがって、緊急停止用機器は実施の形態を適宜、変形、省略することが可能である。また各種の実施の形態は相互に組み合わせることができる。   As described above, although the emergency stop device has been shown and described in detail, the above description is an example in all aspects and is not limiting. Therefore, the emergency stop device can be modified or omitted from the embodiment as appropriate. Further, various embodiments can be combined with each other.

例えば、一つの半導体製造装置１０において、複数の緊急停止用機器１が設けられる場合、警告部４は複数の緊急停止用機器１で兼用されてもよい。例えば図３の例では、一つの半導体製造装置１０の一側面には、２つの押しボタン２が設けられている。各押しボタン２には、個別に近接センサ３が設けられる。よって、押しボタン２のそれぞれに近接する作業者を個別に検出することができる。一方で、例えば１つの警告部４が２つの押しボタン２の間において半導体製造装置１０の一側面に設けられてもよい。警告部４は、押しボタン２のいずれか一方の近接センサ３が作業者の近接を検出したときに、警告を行ってもよい。これによっても、作業者が押しボタン２に近接すると、警告が行われるので、作業者は押しボタン２に近接していることを認識できる。   For example, when a plurality of emergency stop devices 1 are provided in one semiconductor manufacturing apparatus 10, the warning unit 4 may be shared by the plurality of emergency stop devices 1. For example, in the example of FIG. 3, two push buttons 2 are provided on one side surface of one semiconductor manufacturing apparatus 10. Each push button 2 is individually provided with a proximity sensor 3. Therefore, the worker who approaches each of the push buttons 2 can be individually detected. On the other hand, for example, one warning unit 4 may be provided on one side surface of the semiconductor manufacturing apparatus 10 between the two push buttons 2. The warning unit 4 may issue a warning when the proximity sensor 3 of either one of the push buttons 2 detects the proximity of the worker. Also by this, when the worker approaches the push button 2, a warning is issued, so that the worker can recognize that the worker is approaching the push button 2.

また上述の例では、近接センサ３は距離センサを含むとして説明した。しかしながら、近接センサ３は例えばカメラを含んでいてもよい。制御部５は、カメラによって取得された撮像画像に対して画像処理を行って、作業者の近接を検出してもよい。   Further, in the above example, the proximity sensor 3 has been described as including a distance sensor. However, the proximity sensor 3 may include, for example, a camera. The control unit 5 may perform image processing on the captured image acquired by the camera to detect the proximity of the worker.

また上述の例では、緊急停止用機器について説明した。しかしながら、本実施の形態は必ずしもこれに限らない。つまり、押しボタンは緊急停止用のボタンでなくてもよい。さらに言えば、ボタンは必ずしも押しボタンである必要はなく、例えばユーザの指の接触を検知して切り替わる手動スイッチであってもよい。要するに、スイッチ装置が、ボタン（手動スイッチを含む）と、そのボタンのうちユーザによって操作される領域内に設けられた近接センサと、その近接センサがユーザの近接を検出したときに警告を行う警告部とを含んでいればよい。このようなスイッチ装置において、ユーザがボタンに近接すると、警告部が警告を行う。したがって、ユーザによってボタンが誤操作される可能性を低減できる。   In the above example, the emergency stop device has been described. However, the present embodiment is not necessarily limited to this. That is, the push button does not have to be an emergency stop button. Furthermore, the button does not necessarily have to be a push button, and may be, for example, a manual switch that detects a touch of a user's finger and switches. In short, the switch device warns when a button (including a manual switch), a proximity sensor provided in an area of the button operated by the user, and the proximity sensor detects proximity of the user. It suffices to include a section. In such a switch device, the warning unit gives a warning when the user approaches the button. Therefore, it is possible to reduce the possibility that the button is erroneously operated by the user.

１，１Ａ 緊急停止用機器
２ ボタン（押しボタン）
３ 近接センサ
４ 警告部
６ 入力部
２１ 操作部 1,1A Emergency stop device 2 button (push button)
3 Proximity sensor 4 Warning part 6 Input part 21 Operation part

Claims (9)

緊急停止用機器であって、
作業者によって操作される操作部を有するボタンと、
前記操作部の頭頂面に設けられており、作業者の近接を検出する近接センサと、
前記近接センサによる作業者の近接の検出に応答して、作業者に対して警告を行う警告部と
を備える、緊急停止用機器。 An emergency stop device,
A button having an operation unit operated by an operator,
A proximity sensor, which is provided on the top surface of the operation unit, detects proximity of an operator,
An emergency stop device comprising: a warning unit that warns the worker in response to the detection of the proximity of the worker by the proximity sensor. 請求項１に記載の緊急停止用機器であって、
前記近接センサは前記操作部の前記頭頂面の中心を含む領域に設けられる、緊急停止用機器。 The emergency stop device according to claim 1,
The emergency sensor is an emergency stop device provided in a region including the center of the crown surface of the operation unit. 請求項１または請求項２に記載の緊急停止用機器であって、
前記近接センサの検出範囲を設定する入力部をさらに備える、緊急停止用機器。 The emergency stop device according to claim 1 or 2, wherein
An emergency stop device further comprising an input unit for setting a detection range of the proximity sensor. 請求項３に記載の緊急停止用機器であって、
前記入力部は前記操作部の側面に設けられている、緊急停止用機器。 The emergency stop device according to claim 3,
The emergency stop device, wherein the input unit is provided on a side surface of the operation unit. 請求項１から請求項４のいずれか一つに記載の緊急停止用機器であって、
前記警告部は前記操作部の内部に設けられている、緊急停止用機器。 The emergency stop device according to any one of claims 1 to 4,
The emergency stop device is provided inside the operation unit. 請求項５に記載の緊急停止用機器であって、
前記警告部は警告音を出力し、
前記操作部には、前記警告部と向かい合う領域に貫通孔が形成されている、緊急停止用機器。 The emergency stop device according to claim 5,
The warning section outputs a warning sound,
The emergency stop device, wherein a through hole is formed in a region of the operation unit facing the warning unit. 請求項６に記載の緊急停止用機器であって、
前記貫通孔は複数の貫通孔を含み、
前記複数の貫通孔の一つを取り囲むように、残りの貫通孔が形成されている、緊急停止用機器。 The emergency stop device according to claim 6,
The through hole includes a plurality of through holes,
An emergency stop device in which a remaining through hole is formed so as to surround one of the plurality of through holes. 請求項１から請求項７のいずれか一つに記載の緊急停止用機器であって、
前記近接センサは、対象物までの距離を測定し、
前記警告部は、前記距離が第１値であるときに、前記距離が、前記第１値よりも大きい第２値であるときの警告レベルよりも高い警告レベルで警告を行う、緊急停止用機器。 The emergency stop device according to any one of claims 1 to 7,
The proximity sensor measures a distance to an object,
When the distance has a first value, the warning unit gives a warning at a warning level higher than a warning level when the distance has a second value larger than the first value. . 請求項１から請求項８のいずれか一つに記載の緊急停止用機器であって、
前記近接センサは、超音波を送波する距離センサを含む、緊急停止用機器。 The emergency stop device according to any one of claims 1 to 8,
The proximity sensor is an emergency stop device including a distance sensor that transmits ultrasonic waves.
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