JP2020046268A

JP2020046268A - Inspection device and inspection method

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Publication number: JP2020046268A
Application number: JP2018174144A
Authority: JP
Inventors: 池田　浩和; Hirokazu Ikeda; 浩和池田
Original assignee: SB Sheet Waterproof Systems Co Ltd
Current assignee: SB Sheet Waterproof Systems Co Ltd
Priority date: 2018-09-18
Filing date: 2018-09-18
Publication date: 2020-03-26
Anticipated expiration: 2038-09-18
Also published as: JP7213645B2

Abstract

【課題】躯体に対する防水シートの接合状態を検査する際、その検査作業を迅速かつ楽に行うことができる検査装置および検査方法を提供すること。【解決手段】検査装置１は、躯体１００に対する防水シート３００の接合状態を検査する装置である。この検査装置１は、防水シート３００を表側から気密的に覆い、その覆った状態で防水シート３００との間に空間２０を形成するフード部２と、空間２０内を減圧する操作を行う操作部３３を有する減圧部３とを備える。操作部３３は、フード部２から５００ｍｍ以上１２００ｍｍ以下の高さに配置される。フード部２は、その少なくとも一部が透明性を有し、減圧部３により空間２０内を減圧した減圧状態で、空間２０内の防水シート３００の状態を視認可能である。【選択図】図１PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an inspection device and an inspection method capable of performing the inspection work quickly and easily when inspecting the joint state of a waterproof sheet to a skeleton. An inspection device 1 is an device that inspects the state of bonding of a waterproof sheet 300 to a skeleton 100. The inspection device 1 has a hood portion 2 that airtightly covers the waterproof sheet 300 from the front side and forms a space 20 between the waterproof sheet 300 and the waterproof sheet 300, and an operation unit that performs an operation of reducing the pressure in the space 20. It is provided with a decompression unit 3 having 33. The operation unit 33 is arranged at a height of 500 mm or more and 1200 mm or less from the hood unit 2. At least a part of the hood portion 2 is transparent, and the state of the waterproof sheet 300 in the space 20 can be visually recognized in a decompressed state in which the space 20 is decompressed by the decompression unit 3. [Selection diagram] Fig. 1

Description

本発明は、検査装置および検査方法に関する。 The present invention relates to an inspection device and an inspection method.

近年、建築物の高耐久化が求められるに伴って、多くの建築物の屋上やベランダ等において、防水シートを躯体上に敷設施工した防水構造が採用されている。防水構造では、防水シートは、円盤状の固定部材を介して、躯体に対して固定されている場合がある。また、防水シートと固定部材とは、溶着により接合されている。そして、この接合状態を検査する検査方法が知られている（例えば、特許文献１参照）。 2. Description of the Related Art In recent years, with the demand for high durability of buildings, a waterproof structure in which a waterproof sheet is laid and constructed on a frame has been adopted in many buildings such as rooftops and verandas. In the waterproof structure, the waterproof sheet may be fixed to the skeleton via a disk-shaped fixing member. Further, the waterproof sheet and the fixing member are joined by welding. An inspection method for inspecting the bonding state is known (for example, see Patent Document 1).

特許文献１に記載の検査方法では、防水シートに対し、固定部材の周辺の部分を吸盤で吸引して、そのまま鉛直上方に向かって持ち上げて、防水シートと固定部材との接合状態の良否を判断する。 In the inspection method described in Patent Literature 1, a portion around the fixing member is sucked by a suction cup with respect to the waterproof sheet, and is lifted vertically upward as it is, to judge whether or not the joint state between the waterproof sheet and the fixing member is good. I do.

特許第４１９７９８９号公報Japanese Patent No. 4197989

しかしながら、特許文献１に記載の検査方法では、吸盤で防水シートを持ち上げる際、作業者は、屈んだ姿勢で、すなわち、吸盤に手が届く位置までひざまずきながら、その持ち上げ作業を行わなければならず、身体への負担が大きい。 However, in the inspection method described in Patent Literature 1, when lifting the waterproof sheet with the suction cup, the operator must perform the lifting work in a bent posture, that is, while kneeling to a position where the suction cup can be reached. The burden on the body is great.

また、特許文献１に記載の検査方法では、１つの固定部材に対する防水シートの接合状態の良否判断には、吸盤で防水シートを持ち上げる箇所は、１箇所では不十分であり、固定部材の周方向に沿って複数箇所要するため、その分、検査時間がかかるという問題もある。 Further, in the inspection method described in Patent Document 1, in order to judge the quality of the joining state of the waterproof sheet with respect to one fixing member, one place where the waterproof sheet is lifted by the suction cup is insufficient, and the circumferential direction of the fixing member is insufficient. There is also a problem that an inspection time is required correspondingly because a plurality of points are required along the line.

本発明の目的は、躯体に対する防水シートの接合状態を検査する際、その検査作業を迅速かつ楽に行うことができる検査装置および検査方法を提供することにある。 An object of the present invention is to provide an inspection apparatus and an inspection method capable of performing an inspection operation quickly and easily when inspecting a joint state of a waterproof sheet with a skeleton.

このような目的は、下記（１）〜（１０）の本発明により達成される。
（１）躯体に対する防水シートの接合状態を検査する検査装置であって、
前記防水シートを表側から気密的に覆い、その覆った状態で前記防水シートとの間に空間を形成するフード部と、
前記空間内を減圧する操作を行う操作部を有する減圧部とを備え、
前記操作部は、前記フード部から５００ｍｍ以上１２００ｍｍ以下の高さに配置され、
前記フード部は、その少なくとも一部が透明性を有し、前記減圧部により前記空間内を減圧した減圧状態で、該空間内の前記防水シートの状態を視認可能であることを特徴とする検査装置。 Such an object is achieved by the following (1) to (10) of the present invention.
(1) An inspection device for inspecting a bonding state of a waterproof sheet to a frame,
A hood portion that air-tightly covers the waterproof sheet from the front side, and forms a space between the waterproof sheet and the covered state in the covered state.
A pressure reducing unit having an operation unit that performs an operation of reducing the pressure in the space,
The operation unit is arranged at a height of 500 mm or more and 1200 mm or less from the hood unit,
The inspection is characterized in that at least a part of the hood has transparency, and a state of the waterproof sheet in the space can be visually recognized in a reduced pressure state in which the space is reduced by the pressure reducing unit. apparatus.

（２）前記防水シートの状態に応じて、前記接合状態の良否の判断が可能である上記（１）に記載の検査装置。 (2) The inspection device according to (1), wherein it is possible to determine whether the bonding state is good or bad according to a state of the waterproof sheet.

（３）前記防水シートは、円板状をなす固定部材を介して前記躯体に接合されるものであり、
前記フード部は、前記防水シートを表側から覆った状態で前記固定部材を包含する程度の大きさを有する上記（１）または（２）に記載の検査装置。 (3) The waterproof sheet is joined to the skeleton via a disk-shaped fixing member,
The inspection device according to (1) or (2), wherein the hood portion has a size such that the hood portion covers the fixing member when the waterproof sheet is covered from the front side.

（４）前記フード部は、前記防水シートを表側から覆った状態で該防水シートと接する部分にパッキンを有する上記（１）ないし（３）のいずれかに記載の検査装置。 (4) The inspection device according to any one of (1) to (3), wherein the hood portion has a packing at a portion in contact with the waterproof sheet in a state where the waterproof sheet is covered from the front side.

（５）前記フード部は、外形形状が異なる複数種のものが用意されており、該複数種のものの中から選択して用いられる上記（１）ないし（４）のいずれかに記載の検査装置。 (5) The inspection device according to any one of (1) to (4), wherein a plurality of types of hood portions having different external shapes are prepared, and the hood portion is selected from the plurality of types and used. .

（６）前記減圧部は、前記フード部に接続され、前記空間内に連通する連通管と、
前記連通管に接続され、該連通管を介して前記空間内を吸引する吸引部とを有する上記（１）ないし（５）のいずれかに記載の検査装置。 (6) a communication pipe connected to the hood section and communicating with the space;
The inspection apparatus according to any one of (1) to (5), further comprising: a suction unit connected to the communication pipe and suctioning the space through the communication pipe.

（７）前記操作部は、前記連通管の前記フード部と反対側に配置されている上記（６）に記載の検査装置。 (7) The inspection device according to (6), wherein the operation unit is disposed on a side of the communication pipe opposite to the hood unit.

（８）前記減圧部は、前記操作部の高さを調整する高さ調整部を有する上記（１）ないし（７）のいずれかに記載の検査装置。 (8) The inspection device according to any one of (1) to (7), wherein the decompression unit includes a height adjustment unit that adjusts a height of the operation unit.

（９）前記減圧状態を解消する減圧解消部を備える上記（１）ないし（８）のいずれかに記載の検査装置。 (9) The inspection device according to any one of (1) to (8), further including a decompression eliminating unit configured to eliminate the decompressed state.

（１０）上記（１）ないし（９）のいずれかに記載の検査装置を用いて、前記接合状態を検査する検査工程を有することを特徴とする検査方法。 (10) An inspection method comprising an inspection step of inspecting the bonding state using the inspection device according to any one of (1) to (9).

本発明によれば、躯体に対する防水シートの接合状態を検査する際、その検査作業を迅速かつ楽に行うことができる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, when inspecting the joining state of the waterproof sheet with respect to a skeleton, the inspection operation | work can be performed quickly and easily.

図１は、本発明の検査装置（第１実施形態）を用いた防水シートの接合状態を検査する過程（本発明の検査方法が有する検査工程）を順に示す垂直断面図である。FIG. 1 is a vertical sectional view sequentially showing a process (inspection process of the inspection method of the present invention) of inspecting a bonded state of a waterproof sheet using an inspection device (first embodiment) of the present invention. 図２は、本発明の検査装置（第１実施形態）を用いた防水シートの接合状態を検査する過程（本発明の検査方法が有する検査工程）を順に示す垂直断面図である。FIG. 2 is a vertical cross-sectional view sequentially showing a process (inspection process of the inspection method of the present invention) of inspecting the bonding state of the waterproof sheet using the inspection device (first embodiment) of the present invention. 図３は、本発明の検査装置（第１実施形態）を用いた防水シートの接合状態を検査する過程（本発明の検査方法が有する検査工程）を順に示す垂直断面図である。FIG. 3 is a vertical sectional view sequentially showing a process (inspection process of the inspection method of the present invention) of inspecting the bonding state of the waterproof sheet using the inspection device (first embodiment) of the present invention. 図４は、本発明の検査装置（第１実施形態）を用いた防水シートの接合状態を検査する過程（本発明の検査方法が有する検査工程）を順に示す垂直断面図である。FIG. 4 is a vertical cross-sectional view sequentially showing a process (inspection process of the inspection method of the present invention) of inspecting the bonding state of the waterproof sheet using the inspection device (first embodiment) of the present invention. 図５は、防水シートの接合状態が良である場合の一例を示す垂直断面図である。FIG. 5 is a vertical cross-sectional view illustrating an example of a case where the bonding state of the waterproof sheet is good. 図６は、図５中の矢印Ａ方向から見た図である。FIG. 6 is a diagram viewed from the direction of arrow A in FIG. 図７は、防水シートの接合状態が不良である場合の一例を示す垂直断面図である。FIG. 7 is a vertical cross-sectional view illustrating an example of a case where the bonding state of the waterproof sheet is defective. 図８は、図７中の矢印Ｂ方向から見た図である。FIG. 8 is a view as seen from the direction of arrow B in FIG. 図９は、本発明の検査装置の第２実施形態を示す垂直断面図である。FIG. 9 is a vertical sectional view showing a second embodiment of the inspection apparatus of the present invention. 図１０は、本発明の検査装置の第２実施形態を示す垂直断面図である。FIG. 10 is a vertical sectional view showing a second embodiment of the inspection apparatus of the present invention. 図１１は、本発明の検査装置（第３実施形態）が備えるフード部の変形例を示す斜視図である。FIG. 11 is a perspective view showing a modification of the hood provided in the inspection device (third embodiment) of the present invention. 図１２は、本発明の検査装置（第３実施形態）が備えるフード部の変形例を示す斜視図である。FIG. 12 is a perspective view showing a modified example of the hood provided in the inspection device (third embodiment) of the present invention. 図１３は、本発明の検査装置（第３実施形態）が備えるフード部の変形例を示す斜視図である。FIG. 13 is a perspective view showing a modification of the hood provided in the inspection device (third embodiment) of the present invention. 図１４は、本発明の検査装置（第３実施形態）が備えるフード部の変形例を示す斜視図である。FIG. 14 is a perspective view showing a modification of the hood provided in the inspection device (third embodiment) of the present invention.

以下、本発明の検査装置および検査方法を添付図面に示す好適な実施形態に基づいて詳細に説明する。 Hereinafter, an inspection apparatus and an inspection method of the present invention will be described in detail based on preferred embodiments shown in the accompanying drawings.

＜第１実施形態＞
図１〜図４は、それぞれ、本発明の検査装置（第１実施形態）を用いた防水シートの接合状態を検査する過程（本発明の検査方法が有する検査工程）を順に示す垂直断面図である。図５は、防水シートの接合状態が良である場合の一例を示す垂直断面図である。図６は、図５中の矢印Ａ方向から見た図である。図７は、防水シートの接合状態が不良である場合の一例を示す垂直断面図である。図８は、図７中の矢印Ｂ方向から見た図である。なお、以下では、説明の都合上、図１〜図５および図７中（図９〜図１４についても同様）の上側を「上（上方）」または「表」、下側を「下（下方）」または「裏」と言う。また、図２〜図４では、作業者を省略している。 <First embodiment>
FIGS. 1 to 4 are vertical cross-sectional views sequentially showing a process (inspection process of the inspection method of the present invention) of inspecting the bonding state of the waterproof sheet using the inspection device (first embodiment) of the present invention. is there. FIG. 5 is a vertical cross-sectional view illustrating an example of a case where the bonding state of the waterproof sheet is good. FIG. 6 is a diagram viewed from the direction of arrow A in FIG. FIG. 7 is a vertical cross-sectional view illustrating an example of a case where the bonding state of the waterproof sheet is defective. FIG. 8 is a view as seen from the direction of arrow B in FIG. In the following, for convenience of description, the upper side in FIGS. 1 to 5 and 7 (similarly in FIGS. 9 to 14) is “up (upper)” or “table”, and the lower side is “lower (lower)”. ) "Or" back ". 2 to 4, the worker is omitted.

図１〜図４に示すように、躯体１００には、防水構造２００が施工されている。躯体１００の中で、防水構造２００が施工される部分としては、特に限定されず、例えば、平屋の屋根やベランダ等が挙げられ、本実施形態では、床面１０１を有している。なお、床面１０１は、図１〜図４中、例えば、左側から右側に向かって緩やかに傾斜して下っているのが好ましい。これにより、雨水等が傾斜方向下側に向かって流れることができ、防水構造２００での排水効果が向上する。 As shown in FIGS. 1 to 4, a waterproof structure 200 is installed on the skeleton 100. The portion of the frame 100 where the waterproof structure 200 is to be constructed is not particularly limited, and includes, for example, a one-story roof or a veranda, and has a floor surface 101 in the present embodiment. In addition, it is preferable that the floor surface 101 is gently inclined downward from left to right in FIGS. Thereby, rainwater or the like can flow downward in the inclined direction, and the drainage effect of the waterproof structure 200 is improved.

防水構造２００は、躯体１００上に敷設され、躯体１００に対する防水性を有する防水シート３００と、防水シート３００の裏側、すなわち、躯体１００と防水シート３００との間に配置された固定部材４００とを有している。 The waterproof structure 200 includes a waterproof sheet 300 laid on the skeleton 100 and having waterproof properties for the skeleton 100, and a fixing member 400 disposed on the back side of the waterproof sheet 300, that is, between the skeleton 100 and the waterproof sheet 300. Have.

防水シート３００は、１枚当たり、複数の固定部材４００を介して、躯体１００に接合される。 The waterproof sheet 300 is joined to the frame 100 via a plurality of fixing members 400 per sheet.

防水シート３００の構成材料としては、例えば、ポリ塩化ビニルのような塩化ビニル系樹脂、ポリオレフィン系樹脂、エチレン酢酸ビニル共重合体等が挙げられ、これらのうちの１種または２種以上を組み合わせて用いることができるが、ポリ塩化ビニルであるのが好ましい。 Examples of the constituent material of the waterproof sheet 300 include a vinyl chloride resin such as polyvinyl chloride, a polyolefin resin, an ethylene vinyl acetate copolymer, and the like, and one or more of these may be used in combination. Although it can be used, it is preferably polyvinyl chloride.

固定部材４００は、円板状をなし、直径が例えば５０ｍｍ〜１００ｍｍの部材である。固定部材４００は、例えば、ビス止めにより躯体１００に固定されている。 The fixing member 400 has a disk shape and a diameter of, for example, 50 mm to 100 mm. The fixing member 400 is fixed to the frame 100 by, for example, screwing.

固定部材４００は、金属板４０１と、金属板４０１の上面を被覆する被覆層４０２とを有している。金属板４０１は、例えば、ガルバリウム鋼板（登録商標）やステンレス鋼板等の各種鋼板で構成されている。被覆層４０２は、例えば、ポリ塩化ビニルで構成された膜で構成されている。これにより、例えば防水シート３００がポリ塩化ビニルで構成されている場合、防水シート３００と被覆層４０２との密着性を向上させることができる。なお、防水シート３００と被覆層４０２とは、溶着、融着（熱融着、高周波融着、超音波融着等）、接着（接着剤や溶媒による接着）等の各種接合方法により接合されている。 The fixing member 400 has a metal plate 401 and a coating layer 402 that covers the upper surface of the metal plate 401. The metal plate 401 is made of, for example, various steel plates such as a galvalume steel plate (registered trademark) and a stainless steel plate. The coating layer 402 is made of, for example, a film made of polyvinyl chloride. Thus, for example, when the waterproof sheet 300 is made of polyvinyl chloride, the adhesion between the waterproof sheet 300 and the covering layer 402 can be improved. The waterproof sheet 300 and the coating layer 402 are joined by various joining methods such as welding, fusion (thermal fusion, high frequency fusion, ultrasonic fusion, and the like) and adhesion (adhesion with an adhesive or a solvent). I have.

このような構成の防水構造２００を施工した後には、固定部材４００（躯体１００）に対する防水シート３００の接合状態（以下単に「接合状態」と言う）の良否を検査する検査工程に移る。この検査工程では、検査装置１を用いる。 After the waterproof structure 200 having such a configuration is installed, the process proceeds to an inspection process for inspecting whether or not the bonding state of the waterproof sheet 300 to the fixing member 400 (the skeleton 100) (hereinafter, simply referred to as “bonding state”). In this inspection process, the inspection device 1 is used.

図１〜図４に示すように、検査装置１は、フード部２と、減圧部３と、減圧解消部４とを備えている。以下、各部の構成について説明する。 As shown in FIGS. 1 to 4, the inspection device 1 includes a hood 2, a pressure reducing unit 3, and a pressure reducing unit 4. Hereinafter, the configuration of each unit will be described.

フード部２は、いわゆる「平場」での接合状態の検査時に、防水シート３００を表側から気密的に覆うことができる（図１参照）。このとき、フード部２で防水シート３００が覆われた部分では、その裏側に固定部材４００が位置している。固定部材４００の位置は、平面視で、できる限りフード部２の中心と重なった位置であるのが好ましい。なお、以下では、フード部２が防水シート３００を表側から覆った状態を「カバー状態」と言う。 The hood portion 2 can airtightly cover the waterproof sheet 300 from the front side when inspecting the joined state in a so-called “flat field” (see FIG. 1). At this time, in the portion where the waterproof sheet 300 is covered by the hood portion 2, the fixing member 400 is located on the back side. It is preferable that the position of the fixing member 400 be a position that overlaps with the center of the hood portion 2 as much as possible in plan view. Hereinafter, a state in which the hood portion 2 covers the waterproof sheet 300 from the front side is referred to as a “cover state”.

また、フード部２は、カバー状態で、防水シート３００との間に空間（減圧空間）２０を形成することができる。空間２０内は、減圧部３によって減圧される。
フード部２は、フード本体２１と、パッキン２２とを有している。 Further, the hood portion 2 can form a space (decompression space) 20 between the hood portion 2 and the waterproof sheet 300 in a cover state. The inside of the space 20 is decompressed by the decompression unit 3.
The hood section 2 has a hood main body 21 and a packing 22.

フード本体２１は、本実施形態では、半球状またはドーム状をなす。フード本体２１は、その内側で空間２０を画成することができる。 The hood body 21 has a hemispherical or dome shape in the present embodiment. The hood body 21 can define a space 20 inside.

また、カバー状態にあるフード本体２１（フード部２）は、平面視で、固定部材４００を包含する程度の大きさを有する。 The hood main body 21 (hood portion 2) in the cover state has a size that includes the fixing member 400 in a plan view.

フード本体２１は、内部の視認性を確保するために、透明性を有する材料で構成されている。このような材料としては、特に限定されず、例えば、ポリカーボネート等のような各種樹脂を用いることができる。 The hood main body 21 is made of a transparent material in order to secure the visibility inside. Such a material is not particularly limited, and for example, various resins such as polycarbonate can be used.

フード部２は、カバー状態で防水シート３００と接する部分に、弾性を有するパッキン２２が設けられている。本実施形態では、パッキン２２は、フード本体２１の下側縁部２１１に設けられており、その縁部に沿ったリング状をなす。これにより、カバー状態で防水シート３００との間に隙間が生じるのが防止され、よって、空間２０内の気密性を確実に維持することができる。そして、減圧部３を操作すれば、空間２０内を迅速に減圧することができる。 The hood portion 2 is provided with an elastic packing 22 at a portion in contact with the waterproof sheet 300 in a cover state. In the present embodiment, the packing 22 is provided on the lower edge 211 of the hood main body 21 and forms a ring shape along the edge. This prevents a gap from being formed between the waterproof sheet 300 and the waterproof sheet 300 in the cover state, so that the airtightness in the space 20 can be reliably maintained. By operating the decompression unit 3, the pressure in the space 20 can be rapidly reduced.

パッキン２２の構成材料としては、特に限定されず、例えば、ポリウレタン系等の各種熱可塑性エラストマーを用いることができる。 The constituent material of the packing 22 is not particularly limited, and for example, various thermoplastic elastomers such as polyurethane-based can be used.

減圧部３は、カバー状態で空間２０内を減圧することができる。減圧部３は、フード部２に接続された連通管３１と、空間２０内を吸引する吸引部３２と、吸引部３２を操作する操作部３３とを有している。 The pressure reducing unit 3 can reduce the pressure inside the space 20 in a cover state. The decompression unit 3 includes a communication pipe 31 connected to the hood unit 2, a suction unit 32 that suctions the inside of the space 20, and an operation unit 33 that operates the suction unit 32.

連通管３１は、フード本体２１の上部（頂部）に接続され、鉛直上方に向かって突出した硬質管である。この連通管３１は、空間２０内に連通している。 The communication pipe 31 is a hard pipe connected to the upper part (top part) of the hood main body 21 and protruding vertically upward. The communication pipe 31 communicates with the inside of the space 20.

連通管３１には、吸引部３２が接続されている。吸引部３２は、連通管３１内で摺動するガスケット３２１と、ガスケット３２１に連結されたプランジャ３２２とを有している。 A suction part 32 is connected to the communication pipe 31. The suction part 32 has a gasket 321 that slides in the communication pipe 31 and a plunger 322 connected to the gasket 321.

ガスケット３２１は、弾性を有する円柱状をなす部材で構成されている。このガスケット３２１の外周部が連通管３１の内周部に対し密着しつつ摺動することにより、ガスケット３２１と連通管３１との間の気密性を確実に保持することができ、よって、連通管３１を介して空間２０内を確実に吸引することができる。 The gasket 321 is formed of a columnar member having elasticity. The outer peripheral portion of the gasket 321 slides while being in close contact with the inner peripheral portion of the communication tube 31, so that the airtightness between the gasket 321 and the communication tube 31 can be reliably maintained, and thus the communication tube The space 31 can be reliably sucked through the space 31.

また、連通管３１は、ガスケット３２１の上側への移動限界を規制する規制部３１１を有している。規制部３１１は、連通管３１の内周部から突出形成された突出部で構成されている。そして、図２に示すように、ガスケット３２１が上側に移動した際、規制部３１１に当接することにより、ガスケット３２１の上側への移動限界が規制される。これにより、ガスケット３２１が連通管３１から離脱するのが防止される。 In addition, the communication pipe 31 has a restricting portion 311 for restricting the upward movement limit of the gasket 321. The restricting portion 311 is configured by a protruding portion formed to protrude from the inner peripheral portion of the communication pipe 31. Then, as shown in FIG. 2, when the gasket 321 moves upward, the gasket 321 comes into contact with the restricting portion 311, thereby restricting the upward movement limit of the gasket 321. This prevents the gasket 321 from being detached from the communication pipe 31.

なお、図１に示すように、ガスケット３２１の下限位置は、操作部３３が連通管３１の上端３１２に当接することにより規制される。 In addition, as shown in FIG. 1, the lower limit position of the gasket 321 is regulated by the operation unit 33 contacting the upper end 312 of the communication pipe 31.

ガスケット３２１の上部には、棒状をなすプランジャ３２２が連結されている。プランジャ３２２は、鉛直上方に向かって延在しており、その上部で操作部３３と連結されている。なお、プランジャ３２２と操作部３３とは、一体的に形成されているのが好ましい。 A rod-shaped plunger 322 is connected to an upper portion of the gasket 321. The plunger 322 extends vertically upward, and is connected to the operation unit 33 at an upper portion thereof. In addition, it is preferable that the plunger 322 and the operation part 33 are formed integrally.

操作部３３は、吸引部３２の操作、すなわち、空間２０内を減圧する操作を行うことができる。操作部３３の形状としては、特に限定されず、例えば、平板状、棒状等とするのが好ましい。これにより、操作部３３は、把持し易い部分となる。 The operation unit 33 can perform an operation of the suction unit 32, that is, an operation of reducing the pressure in the space 20. The shape of the operation unit 33 is not particularly limited, and is preferably, for example, a flat plate, a bar, or the like. Thus, the operation unit 33 is a portion that is easy to grasp.

そして、図１に示す状態から吸引部３２を操作する際には、図２に示すように、作業者Ｗは、操作部３３を把持して、そのまま上方に向かって、すなわち、矢印α_３３方向に引張ることにより、その吸引操作を行うことができる。これにより、空間２０内は、減圧状態となる。また、減圧状態にある空間２０内では、防水シート３００に対して、上方に向かった吸引力Ｆが作用し、防水シート３００の固定部材４００と接合されていない部分は、浮き上がる（図５、図７参照）。 Then, when operating the suction unit 32 from the state illustrated in FIG. 1, as illustrated in FIG. 2, the operator W holds the operation unit 33 and directly upwards, that is, in the direction of the arrow α _33. , The suction operation can be performed. Thereby, the inside of the space 20 is in a reduced pressure state. Further, in the space 20 in the decompressed state, the upwardly directed suction force F acts on the waterproof sheet 300, and a portion of the waterproof sheet 300 not joined to the fixing member 400 rises (FIGS. 5 and 5). 7).

接合状態には、図５に示す「良」の場合と、図７に示す「不良」の場合とがある。ここで、「接合状態が良」とは、固定部材４００の被覆層４０２の上面４０２ａのほぼ全体（例えば９０％以上）が防水シート３００と接合されていることを言う。「接合状態が不良」とは、固定部材４００の被覆層４０２の上面４０２ａが防水シート３００と接合されていない、または、接合されていても、防水シート３００との接合面積が上面４０２ａの例えば９０％未満のことを言う。 The bonding state includes a case of “good” shown in FIG. 5 and a case of “bad” shown in FIG. Here, “the bonding state is good” means that almost the entire upper surface 402 a (for example, 90% or more) of the covering layer 402 of the fixing member 400 is bonded to the waterproof sheet 300. “The bonding state is poor” means that the upper surface 402a of the covering layer 402 of the fixing member 400 is not bonded to the waterproof sheet 300, or even if it is bonded, the bonding area with the waterproof sheet 300 is, for example, 90% of the upper surface 402a. Say less than%.

そして、図６に示すように、接合状態が良の場合には、防水シート３００の固定部材４００と接合された部分の輪郭ＯＬ_３００は、固定部材４００の上面４０２ａの輪郭ＯＬ_４０２ａと同じかまたはそれに近似した形状となる。なお、図６中では、輪郭ＯＬ_４０２ａは、円形をなし、輪郭ＯＬ_３００も、輪郭ＯＬ_４０２ａとほぼ同じ大きさの円形をなす。 As shown in FIG. 6, when the joining state is good, the contour OL _{300 of} the portion of the waterproof sheet 300 joined to the fixing member 400 is the same as the contour OL _402a of the upper surface 402a of the fixing member 400 or It has a shape similar to that. In FIG. 6, the outline OL _402a has a circular shape, and the outline OL ₃₀₀ has a circular shape substantially the same size as the outline OL _402a .

一方、図８に示すように、接合状態が不良の場合には、防水シート３００の固定部材４００と接合された部分の輪郭ＯＬ_３００は、固定部材４００の上面４０２ａの輪郭ＯＬ_４０２ａと明らかに異なる形状となる。なお、図８中では、輪郭ＯＬ_４０２ａは、円形をなしているが、輪郭ＯＬ_３００は、ほぼ半月状をなしている。 On the other hand, as shown in FIG. 8, when the bonding state is poor, the outline OL _{300 of} the portion of the waterproof sheet 300 joined to the fixing member 400 is clearly different from the outline OL _{402 a} of the upper surface 402 a of the fixing member 400. Shape. In FIG. 8, the outline OL _402a has a circular shape, but the outline OL ₃₀₀ has a substantially half-moon shape.

作業者Ｗは、透明性を有するフード本体２１を介して、減圧状態の空間２０内の防水シート３００の状態、すなわち、輪郭ＯＬ_３００を視認することができる。これにより、作業者Ｗは、防水シート３００の状態、すなわち、輪郭ＯＬ_３００の形状に応じて、接合状態の良否を判断することができる。 The worker W can visually recognize the state of the waterproof sheet 300 in the space 20 in the decompressed state, that is, the outline OL ₃₀₀ , via the transparent hood main body 21. Thereby, the worker W can determine the quality of the joining state according to the state of the waterproof sheet 300, that is, the shape of the outline OL ₃₀₀ .

このように、接合状態を検査する検査工程で検査装置１を用いることにより、輪郭ＯＬ_３００を観察するという簡単な方法で、検査作業を迅速に行うことができる。 As described above, by using the inspection device 1 in the inspection process for inspecting the bonding state, the inspection operation can be quickly performed by the simple method of observing the outline OL ₃₀₀ .

また、前述したように、カバー状態にあるフード本体２１は、平面視で、固定部材４００を包含する程度の大きさを有する。これにより、固定部材４００を包含した状態で空間２０内を吸引すれば、その１回の吸引で、接合状態の良否判断を正確に行うことができる。 Further, as described above, the hood main body 21 in the cover state has a size that includes the fixing member 400 in a plan view. Thus, if the inside of the space 20 is sucked while the fixing member 400 is included, it is possible to accurately judge the quality of the joined state by one suction.

また、検査装置１では、操作部３３は、連通管３１のフード部２と反対側に配置されている。これにより、検査装置１を用いて接合状態を検査する際、操作部３３を高い位置に配置することができる。この操作部３３の高さＨ_３３としては、フード部２の最下点、すなわち、フード部２のパッキン２２が当接する防水シート３００から５００ｍｍ以上１２００ｍｍ以下であり、好ましくは６００ｍｍ以上１１００ｍｍ以下であり、より好ましくは７００ｍｍ以上１０００ｍｍ以下である。 In the inspection device 1, the operation unit 33 is disposed on the side of the communication pipe 31 opposite to the hood 2. Accordingly, when inspecting the bonding state using the inspection device 1, the operation unit 33 can be arranged at a high position. The height _{H 33} of the operation portion 33, the lowest point of the receptacle 2, i.e., not more than 1200mm from tarpaulin 300 500 mm or more packing 22 of the hood portion 2 abuts, preferably be 600mm or 1100mm or less And more preferably 700 mm or more and 1000 mm or less.

高さＨ_３３を上記数値範囲に設定することにより、作業者Ｗが一般的な体格の持ち主である場合、この作業者Ｗは、立ったまま操作部３３を操作することができ、よって、楽な姿勢で検査作業を行うことができる。
なお、高さＨ_３３は、ガスケット３２１の位置に関わらず、この範囲内にある。 By setting the height _H33 in the above numerical range, when the worker W has a general physique, the worker W can operate the operation unit 33 while standing, and thus can easily operate. Inspection work can be performed in a proper posture.
The height _{H 33,} regardless of the position of the gasket 321, is within this range.

また、連通管３１、プランジャ３２２、操作部３３の構成材料としては、特に限定されず、例えば、各種樹脂材料や各種金属材料等を用いることができる。 The constituent materials of the communication pipe 31, the plunger 322, and the operation unit 33 are not particularly limited, and for example, various resin materials, various metal materials, and the like can be used.

減圧解消部４は、空間２０内の減圧状態を解消することができる。減圧解消部４は、吸気管４１と、フード部２の外側で吸気管４１を開閉する切換弁４２とを有している。 The decompression elimination section 4 can eliminate the decompression state in the space 20. The pressure reducing unit 4 includes an intake pipe 41 and a switching valve 42 that opens and closes the intake pipe 41 outside the hood 2.

吸気管４１は、フード本体２１の連通管３１と異なる部分に接続され、鉛直上方に向かって突出した硬質管である。この吸気管４１は、空間２０内に連通している。 The intake pipe 41 is a hard pipe that is connected to a portion of the hood main body 21 different from the communication pipe 31 and protrudes vertically upward. The intake pipe 41 communicates with the inside of the space 20.

切換弁４２は、吸気管４１の上部に設けられている。切換弁４２を操作することにより、吸気管４１を開閉することができる。これにより、図２に示すように、空間２０内を減圧状態とするときには、吸気管４１を閉状態とすることができる。また、図３に示すように、空間２０内の減圧状態を解消するときには、吸気管４１を開状態にして大気解放することができる。これにより、空気Ｇが吸気管４１を介して空間２０内に吸引される、すなわち、流入することができ、よって、図４に示すように、フード部２を防水シート３００から容易に離間させることができる。 The switching valve 42 is provided above the intake pipe 41. By operating the switching valve 42, the intake pipe 41 can be opened and closed. Thereby, as shown in FIG. 2, when the inside of the space 20 is in a reduced pressure state, the intake pipe 41 can be in a closed state. Further, as shown in FIG. 3, when the depressurized state in the space 20 is eliminated, the intake pipe 41 can be opened to release to the atmosphere. Thereby, the air G can be sucked into the space 20 via the intake pipe 41, that is, can flow in. Therefore, as shown in FIG. 4, the hood portion 2 is easily separated from the waterproof sheet 300. Can be.

なお、切換弁４２のフード部２の最下点からの高さＨ_４２は、操作部３３の高さＨ_３３と同様の数値範囲内にあるのが好ましい。これにより、作業者Ｗが一般的な体格の持ち主である場合、この作業者Ｗは、立ったまま切換弁４２を操作することができる。 The height H ₄₂ of the lowest point of the hood portion 2 of the switching valve 42 is preferably in a same numerical range as the height H ₃₃ of the operation unit 33. As a result, when the worker W has a general physique, the worker W can operate the switching valve 42 while standing.

次に、検査装置１の使用方法の一例について、図１〜図４を参照しつつ説明する。
［１］まず、図１に示すように、検査装置１を防水シート３００上に載置してカバー状態とする。このとき、平面視で、フード部２が固定部材４００を包含する位置に、検査装置１を配置する。 Next, an example of a method of using the inspection device 1 will be described with reference to FIGS.
[1] First, as shown in FIG. 1, the inspection device 1 is placed on a waterproof sheet 300 to be in a cover state. At this time, the inspection device 1 is arranged at a position where the hood portion 2 includes the fixing member 400 in a plan view.

また、操作部３３が連通管３１の上端３１２に当接しており、ガスケット３２１は、下限位置にある。
また、切換弁４２により、吸気管４１が閉状態となっている。 In addition, the operation unit 33 is in contact with the upper end 312 of the communication pipe 31, and the gasket 321 is at the lower limit position.
Further, the intake pipe 41 is closed by the switching valve 42.

［２］次いで、図２に示すように、操作部３３を把持して、そのまま矢印α_３３方向に引張る。この引張り操作は、ガスケット３２１の上限位置となるまで、すなわち、ガスケット３２１が規制部３１１で規制されるまで行われる。これにより、空間２０内が減圧状態となり、防水シート３００に吸引力Ｆが作用する。 [2] Next, as shown in FIG. 2, and holds the operation section 33, as it is pulled in the arrow alpha ₃₃ direction. This pulling operation is performed until the gasket 321 reaches the upper limit position, that is, until the gasket 321 is regulated by the regulating portion 311. As a result, the space 20 is depressurized, and the suction force F acts on the waterproof sheet 300.

検査装置１では、操作部３３の引張り操作は、ガスケット３２１が下限位置から上限位置まで移動するまで行われる。これにより、作業者Ｗが熟練者か否かに関わらず、防水シート３００に作用する吸引力Ｆを一定に維持することができる。 In the inspection device 1, the pulling operation of the operation unit 33 is performed until the gasket 321 moves from the lower limit position to the upper limit position. Thereby, regardless of whether the worker W is an expert or not, the suction force F acting on the waterproof sheet 300 can be kept constant.

例えば、作業者Ｗが比較的初心者であり、検査装置１で操作部３３の操作の限界が規制されていない場合、吸引力Ｆが防水シート３００に過剰に作用して、防水シート３００を固定部材４００から剥離したり、防水シート３００を破損したりするおそれがある。また、その反対に、吸引力Ｆが不足すると、防水シート３００が浮かず、その結果、接合状態の良否判断に必要な輪郭ＯＬ_３００が見えづらくなり、正確な良否判断を行うのが困難となるおそれがある。 For example, when the worker W is a relatively beginner and the limit of the operation of the operation unit 33 is not regulated by the inspection device 1, the suction force F excessively acts on the waterproof sheet 300, and the waterproof sheet 300 is fixed to the fixing member. There is a possibility that the waterproof sheet 300 may be peeled off or the waterproof sheet 300 may be damaged. Conversely, if the suction force F is insufficient, the waterproof sheet 300 will not float, and as a result, the contour OL ₃₀₀ required for determining the quality of the joined state will be difficult to see, making it difficult to make an accurate quality determination. There is a risk.

これに対し、吸引力Ｆを一定に維持することができることにより、初心者にありがちなこのような不具合を確実に防止することができる。 On the other hand, since the suction force F can be kept constant, it is possible to reliably prevent such a problem that is often encountered by beginners.

また、操作部３３の高さＨ_３３が上記数値範囲に設定されているため、作業者Ｗは、立ったまま楽な姿勢で操作部３３を操作することができる。
そして、前述したように、輪郭ＯＬ_３００を観察して、接合状態の良否判断を行う。 Further, since the height H ₃₃ of the operation unit 33 is set in the above range, the worker W can operate the operating section 33 in a comfortable position while standing.
Then, as described above, the contour OL ₃₀₀ is observed, and the quality of the joined state is determined.

［３］次いで、図３に示すように、切換弁４２を操作して、吸気管４１を開状態とする。これにより、空気Ｇが空間２０内に入り込んで、減圧状態が解消される。 [3] Next, as shown in FIG. 3, the switching valve 42 is operated to open the intake pipe 41. Thereby, the air G enters the space 20 and the reduced pressure state is eliminated.

［４］次いで、図４に示すように、検査装置１を防水シート３００上から持ち上げて、検査工程を終了する。 [4] Next, as shown in FIG. 4, the inspection device 1 is lifted from above the waterproof sheet 300, and the inspection process is completed.

＜第２実施形態＞
図９および図１０は、それぞれ、本発明の検査装置の第２実施形態を示す垂直断面図である。 <Second embodiment>
9 and 10 are vertical sectional views showing a second embodiment of the inspection apparatus of the present invention.

以下、これらの図を参照して本発明の検査装置および検査方法の第２実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。
本実施形態は、減圧部の構成が異なること以外は前記第１実施形態と同様である。 Hereinafter, a second embodiment of the inspection apparatus and the inspection method of the present invention will be described with reference to these drawings, but the description will be focused on the differences from the above-described embodiment, and the description of the same items will be omitted. .
This embodiment is the same as the first embodiment except that the configuration of the pressure reducing unit is different.

図９、図１０に示すように、本実施形態では、吸引部３２は、真空ポンプで構成されている。従って、吸引部３２の作動を操作する操作部３３は、吸引部３２と電気的に接続された操作パネルとなっている。 As shown in FIGS. 9 and 10, in the present embodiment, the suction unit 32 is configured by a vacuum pump. Therefore, the operation unit 33 that operates the suction unit 32 is an operation panel electrically connected to the suction unit 32.

また、減圧部３は、操作部３３の高さＨ_３３を段階的または無段階に調整する高さ調整部３４を有している。これにより、作業者Ｗの体格に合わせて検査装置１を使用でき、よって、その作業者Ｗにとって楽な姿勢で検査作業を行うことができる。なお、高さＨ_３３は、調整前および調整後のいずれも、前記第１実施形態で述べた数値範囲内にある。 The decompression unit 3 has a height adjusting unit 34 to adjust the height H ₃₃ of the operation unit 33 to stepwise or steplessly. Thereby, the inspection device 1 can be used according to the physique of the worker W, and thus the inspection work can be performed in a posture that is easy for the worker W. The height _H33 is within the numerical range described in the first embodiment before and after the adjustment.

高さ調整部３４は、連通管３１と吸引部３２とを連結する連結管３４１で構成されている。連結管３４１は、上端部が吸引部３２に固定されている。一方、連結管３４１は、下端側で連通管３１に対して摺動する。この摺動により、高さＨ_３３が変化する。 The height adjusting section 34 is configured by a connecting pipe 341 that connects the communication pipe 31 and the suction section 32. The upper end of the connection pipe 341 is fixed to the suction unit 32. On the other hand, the connecting pipe 341 slides on the lower end side with respect to the communication pipe 31. This sliding, the height _{H 33} is changed.

また、連通管３１の外周部には、弾性を有するパッキン３５が固定されている。これにより、連通管３１と連結管３４１との間の気密性を維持することができるとともに、調整後の高さＨ_３３を維持することができる。 An elastic packing 35 is fixed to an outer peripheral portion of the communication pipe 31. Thus, it is possible to it is possible to maintain the airtightness between the connecting tube 341 and communication pipe 31, to maintain the height H ₃₃ after adjustment.

＜第３実施形態＞
図１１〜図１４は、それぞれ、本発明の検査装置（第３実施形態）が備えるフード部の変形例を示す斜視図である。 <Third embodiment>
FIGS. 11 to 14 are perspective views each showing a modified example of the hood part provided in the inspection device (third embodiment) of the present invention.

以下、これらの図を参照して本発明の検査装置および検査方法の第３実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。 Hereinafter, a third embodiment of the inspection apparatus and the inspection method according to the present invention will be described with reference to these drawings. .

本実施形態は、フード部の外形形状が異なること以外は前記第１実施形態と同様である。 This embodiment is the same as the first embodiment except that the outer shape of the hood is different.

本実施形態では、フード部２は、外形形状が異なる複数種のものが用意されている。そして、検査装置１では、検査箇所に応じて、これら複数種のフード部２の中から１つのフード部２を選択して用いられる。選択されたフード部２は、減圧部３に接続される。検査箇所としては、例えば、前記第１実施形態で述べた「平場」と呼ばれる部分、その他に、「入隅」と呼ばれる部分、「出隅」と呼ばれる部分等がある。 In the present embodiment, a plurality of types of hood portions 2 having different outer shapes are prepared. Then, in the inspection device 1, one hood portion 2 is selected and used from the plurality of types of hood portions 2 according to the inspection location. The selected hood unit 2 is connected to the decompression unit 3. The inspection location includes, for example, a portion called “flat corner” described in the first embodiment, a portion called “entrance corner”, a portion called “outside corner”, and the like.

本実施形態では、一例として、図１１〜図１４に示すフード部２が挙げられている。図１１に示すフード部２は、入隅に用いられる。図１２に示すフード部２は、平場に用いられる。図１３に示すフード部２は、入隅に用いられる。図１４に示すフード部２は、出隅に用いられる。 In the present embodiment, the hood section 2 shown in FIGS. 11 to 14 is exemplified as an example. The hood part 2 shown in FIG. 11 is used in a corner. The hood unit 2 shown in FIG. 12 is used in a flat place. The hood part 2 shown in FIG. 13 is used in a corner. The hood part 2 shown in FIG. 14 is used at a protruding corner.

このように検査装置１では、検査箇所に応じて、フード部２を使い分けることができ、よって、接合状態の検査を容易かつ正確に行なうことができる。 As described above, in the inspection apparatus 1, the hood portion 2 can be properly used according to the inspection location, and thus the inspection of the bonding state can be easily and accurately performed.

以上、本発明の検査装置および検査方法を図示の実施形態について説明したが、本発明は、これに限定されるものではない。検査装置を構成する各部は、同様の機能を発揮し得る任意の構成のものと置換することができる。また、任意の構成物が付加されていてもよい。 The inspection apparatus and the inspection method of the present invention have been described above with reference to the illustrated embodiments, but the present invention is not limited to these embodiments. Each part constituting the inspection apparatus can be replaced with an arbitrary part having the same function. Further, an arbitrary component may be added.

また、本発明の検査装置および検査方法は、前記各実施形態のうちの、任意の２以上の構成（特徴）を組み合わせたものであってもよい。 Further, the inspection apparatus and the inspection method of the present invention may be a combination of any two or more configurations (features) of the above embodiments.

また、減圧部は、前記各実施形態で述べた構成のものに限定されず、例えば、その他に、コンプレッサや掃除機、真空ポンプ、バキューム装置等で構成することもできる。 Further, the decompression unit is not limited to the configuration described in each of the above embodiments. For example, the decompression unit may be configured by a compressor, a vacuum cleaner, a vacuum pump, a vacuum device, or the like.

１検査装置
２フード部
２０空間（減圧空間）
２１フード本体
２１１下側縁部
２２パッキン
３減圧部
３１連通管
３１１規制部
３１２上端
３２吸引部
３２１ガスケット
３２２プランジャ
３３操作部
３４高さ調整部
３４１連結管
３５パッキン
４減圧解消部
４１吸気管
４２切換弁
１００躯体
１０１床面
２００防水構造
３００防水シート
４００固定部材
４０１金属板
４０２被覆層
４０２ａ上面
Ｆ吸引力
Ｇ空気
Ｈ_３３高さ
Ｈ_４２高さ
ＯＬ_３００輪郭
ＯＬ_４０２ａ輪郭
Ｗ作業者
α_３３矢印 1 inspection device 2 hood section 20 space (decompression space)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 21 Hood main body 211 Lower edge part 22 Packing 3 Pressure reduction part 31 Communication pipe 311 Restriction part 312 Upper end 32 Suction part 321 Gasket 322 Plunger 33 Operation part 34 Height adjustment part 341 Connection pipe 35 Packing 4 Pressure reduction part 41 Intake pipe 42 Switching The valve 100 skeleton 101 floor surface 200 waterproof structure 300 waterproof sheet 400 fixed member 401 the metal plate 402 coated layers 402a upper surface F attraction force G air H ₃₃ height H ₄₂ height OL ₃₀₀ outline OL _402a contour W worker alpha ₃₃ arrow

Claims

An inspection device for inspecting a bonding state of a waterproof sheet to a skeleton,
A hood portion that air-tightly covers the waterproof sheet from the front side, and forms a space between the waterproof sheet and the covered state in the covered state.
A pressure reducing unit having an operation unit that performs an operation of reducing the pressure in the space,
The operation unit is arranged at a height of 500 mm or more and 1200 mm or less from the hood unit,
The inspection is characterized in that at least a part of the hood has transparency, and a state of the waterproof sheet in the space can be visually recognized in a reduced pressure state in which the space is reduced by the pressure reducing unit. apparatus.

The inspection device according to claim 1, wherein it is possible to determine whether the bonding state is good or bad according to a state of the waterproof sheet.

The waterproof sheet is joined to the skeleton via a disk-shaped fixing member,
The inspection device according to claim 1, wherein the hood has a size such that the hood includes the fixing member when the waterproof sheet is covered from the front side.

The inspection device according to any one of claims 1 to 3, wherein the hood portion has a packing at a portion in contact with the waterproof sheet in a state where the waterproof sheet is covered from the front side.

The inspection device according to any one of claims 1 to 4, wherein a plurality of types of the hood portion having different external shapes are prepared, and the hood portion is selected from the plurality of types and used.

A communication pipe connected to the hood section and communicating with the inside of the space,
The inspection device according to any one of claims 1 to 5, further comprising: a suction unit connected to the communication tube and configured to suction the inside of the space through the communication tube.

The inspection device according to claim 6, wherein the operation unit is disposed on a side of the communication pipe opposite to the hood unit.

The inspection device according to claim 1, wherein the pressure reducing unit includes a height adjustment unit that adjusts a height of the operation unit.

The inspection device according to any one of claims 1 to 8, further comprising a decompression removing unit configured to eliminate the decompressed state.

An inspection method, comprising: an inspection step of inspecting the bonding state using the inspection apparatus according to claim 1.